Процессы переноса продуктов плазмохимического синтеза в тлеющем разряде пониженного давления тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.17, кандидат наук Петровская, Марина Владимировна

• Петровская, Марина Владимировна
• кандидат наук
• 2013

Оглавление диссертации кандидат наук Петровская, Марина Владимировна

Оглавление

Введение.............................................................................................................4

Глава 1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР..............................................................11

1.1. Влияние структуры разряда в химически активных газах на механизмы образования полимерных продуктов на электродах и дисперсных частиц в объеме разряда....................................................................13

1.2. Эволюция газовой фазы в разряде..........................................................17

1.3. Кинетика образования полимера на электродах и дисперсных частиц в объеме.......................................................................................................21

1.4. Образование и движение дисперсных частиц в разряде......................22

1.5 Генерация, рост и самоорганизация пылевых структур в

тлеющем разряде.....................................................................................................26

1.6. Структура и новые свойства полимеров, полученных в разряде........33

1.6. Взаимодействие разряда с поверхностями............................................37

1.7. Технологическое применение полимерных пленок, полученных

в тлеющем разряде и наночастиц в промышленности........................................39

Выводы.............................................................................................................41

Глава 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ОСОБЕННОСТИ ИЗУЧЕНИЯ ПРОЦЕССОВ ПЕРЕНОСА В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ........................................42

2.1. Применение проточных и беспроточных реакторов тлеющего разряда для изучения массопереноса....................................................................45

2.2. Устройство экспериментальной установки...........................................48

2.3. Наличие свободной конвекции в объеме реактора...............................50

2.4. Исследование свойств полидисперсперсной фазы, осажденной в различных областях разрядной ячейки и реактора..............................................52

2.5. Особенности зондового метода измерения скоростей и пространственного осаждения дисперсных частиц в реакторе..........................54

2.6. Моделирование конвективных потоков с помощью расчётного комплекса ANS YS FLUENT...................................................................................58

2.7. Применение фотометода для изучения концентраций и скоростей движения дисперсных частиц..............................................................64

2.8. Распределение наночастиц по размерам в тлеющем разряде химически активных газов.....................................................................................70

Выводы.............................................................................................................77

2

Глава 3. ЗАРЯДКА СУБМИКРОННЫХ И НАНО- ОБЪЕКТОВ В

КАТОДНОЙ ОБЛАСТИ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА................................................78

3.1. Общие закономерности зарядки полидисперсных частиц с точки зрения классических динамических теорий.......................................................79

3.1.1. Электрические силы......................................................................80

3.1.2. Сила сопротивления среды...........................................................84

3.1.3. Сила тяжести..................................................................................90

3.1.4. Сила, обусловленная поляризацией частицы.............................91

3.1.5. Прочие силы взаимодействия......................................................91

3.2. Процесс зарядки частиц в катодном слое..........................................92

3.2.1. Общая характеристика процесса зарядки...................................93

3.2.2. Ударная зарядка.............................................................................96

3.2.3. Движение иона в поле с постоянной напряженностью...........100

3.2.4. Напряженность поля зеркального отображения......................103

3.2.5. «Диффузионный» механизм зарядки........................................105

3.3. Движение дисперсных частиц в поле катодного слоя....................109

3.3.2. Движение частицы в поле с постоянной напряженностью.....111

3.3.3. Коагуляция...................................................................................114

3.4. Моделирование катодных теней.......................................................118

3.3.1. Зарядка нити в катодном слое....................................................120

3.3.2. Движение ионов и частиц в катодной области в окрестности нити-зонда и образование тени......................................................................127

3.3.3. Напряженность поля объемного заряда в катодном слое.......134

Выводы.............................................................................................................140

Заключение.......................................................................................................141

Библиографический список............................................................................143

Приложения.....................................................................................................158

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Процессы переноса продуктов плазмохимического синтеза в тлеющем разряде пониженного давления»

Глава 1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР

Образование в тлеющем разряде химически активных веществ нано частиц и возникновение из них фрактальных структур является одним из перспективных направлений технологий сборки наносистем. Для разработки этого направления требуется изучение процессов генерации частиц в разряде, их зарядки, переноса в различных областях разряда и реактора и, в конечном счете, исследование образования фрактальных структур и их свойств.

Тлеющий разряд в химически активной плазме является многофакторной неравновесной открытой системой, где вследствие физических процессов генерации активных частиц возникают вторичные химические стадии, приводящие к образованию полимера на поверхности и дисперсных частиц в объеме [1,2]. Изучение такого разряда требует многостороннего подхода:

• на микроуровне необходимо рассмотрение первичных физических разрядных процессов с образованием активных частиц и кинетики их превращений во вторичные продукты синтеза;

• на макроуровне требуется изучение процессов роста полимера на поверхности, образования наночастиц в объеме, а также их сборки в результате процессов агрегации и коагуляции на поверхности и в объеме.

Имеется еще и третий уровень - возникновение конвективных потоков в разряде и реакторе [8,15-18,32,33,40,]. Они перемещают образующиеся дисперсные частицы в осевом и радиальном направлении, образуя мультифазные потоки сложной конфигурации, влияющие на процессы коагуляции, фрактальную структуру и свойства образующихся пленок и частиц [10,56,57,71,7482,101,120,121].

Сюда следует прибавить сложную структуру самого разряда, влияющую на интенсивность протекания этих процессов [1,2,7,8,12,25]. Различают вместе с электродами 10 различных областей, отличающихся по степени воздействия физических факторов на исходное вещество [11,43-46].

Наименее изученным является обширный комплекс вопросов относящихся

к тлеющему разряду в химически активных газах, которые можно свести к нескольким группам явлений, каждое из которых состоит из множества процессов, это:

• процессы зарядки и движения ионов и дисперсных частиц в катодной области разряда, поскольку именно там происходят основные процессы их генерации;

• образование сложных мультифазных потоков, выносящих дисперсные частицы из реактора;

• образование пленок полимера на поверхности электродов и поверхностях внутри разрядной камеры;

• возникновение дисперсного полимера в объеме разряда;

Наиболее изученными являются вопросы технологии, кинетики и свойств большого ряда полимерных пленок полученных в разряде, достаточно привести ранние монографии [1, 2, 6].

Образование мультифазных потоков в разряде и реакторе рассматривалось в весьма ограниченном количестве работ [8, 15, 18, 32, 33, 40, 41].

Различные вопросы возникновения дисперсных полимеров в реакторе тлеющего разряда в химически активных газах, их кинетические особенности и размерные факторы рассматривались в работах [1, 2, 6, 7, 8, 9, 12, 13, 14, 15, 16, 17,21,32,40, 50, 77-80].

Процессы зарядки и движения ионов, дисперсных частиц в катодной области разряда практически не исследовались. Имеется всего несколько экспериментальных работ по образованию «ионной тени» на катоде вследствие отклонения движения ионов от своих траекторий в результате их взаимодействия с заряженным зондом [8, 33, 39].

В тоже время указанные выше процессы в ряде случаев определяют размеры генерируемых разрядом дисперсных частиц и их фрактальную структуру. Влияние на размеры наночастиц, как один из механизмов их формирования может выступать как сборщик фрактальных наногрупп, состоящих из определенного количества наночастиц, что является в настоящее время актуальной задачей.

1.1. Влияние структуры разряда в химически активных газах

на механизмы образования полимерных продуктов на электродах и дисперсных частиц в объеме разряда.

Структура тлеющего разряда определяется теми физическими процессами, которые протекают в каждой из его областей. Всего разряд, как было отмечено ранее, может иметь десять характерных областей, включая электроды, если расстояние между ними несколько сантиметров. При небольшом расстоянии ~ 1см в разряде может отсутствовать область положительного столба, которая является необязательной для его горения.

В соответствии со структурой, в каждой области разряда протекают свои специфические физические и химические процессы, меняется их интенсивность [1,2,8,12,16,25,41,45-49]. Многообразие процессов, протекающих в различных областях разряда, определяет сложность таких нестационарных систем для анализа и эксперимента.

Возникновение различных областей в разряде, отличающихся по интенсивности образования полимера на поверхности и в объеме, связано с концентрациями и энергиями заряженных частиц - электронов и ионов [5,11,43-46,67]. Поскольку рост полимера определяется наличием химически активных частиц -радикалов, ионов, возбужденных частиц, то интенсивность их рождения будет определяться столкновениями молекул мономера с электронами. В монографиях [1,2] на примере экспериментов многих авторов показано, что скорость образования полимера на поверхности электрода, а также в объеме [7,8,12,16,25,32,71, 73-77] прямо пропорциональна току разряда, то есть концентрации электронов. Очевидно, что химические стадии определяются физическими процессами, протекающими в разряде.

Рассмотрим схематично картину таких процессов, протекающих в различных областях разряда [5,11,43-46].

Из катода электроны вылетают с энергией ~ 1эВ, недостаточной даже для возбуждения молекул. Ускоряясь, они приобретают энергию, достаточную для

возбуждения молекул в катодном свечении (е~ЗэВ). Поскольку молекулы имеют большой набор низких колебательных и вращательных уровней, то этот процесс идет интенсивно (отрицательное свечение). Увеличение энергии электронов за этой областью приводит к еще большему увеличению энергии электронов, свечение прекращается, поскольку энергии электронов оказываются выше потенциалов возбуждения (Фарадеево пространство). В этой области возникает ионизация молекул. Ток на катод определяется ионами из этой области. Поскольку падение потенциала здесь существенное (~200В), то ионы, падающие на катод, приобретают большие энергии вплоть до 100 эВ [11,51,52].

В плазме электроны имеют довольно низкие средние энергии ~ 1-2 эВ

О »Л

(плотность 10-10 ) и процесс ионизации идет существенно медленнее (за счет быстрых электронов из хвоста распределения), чем в катодной области. Анод ионы отталкивает, а электроны притягивает, энергия их слегка увеличивается и на аноде возникает анодное свечение.

Следует отметить важную особенность разряда - молекулы газа имеют

3 2

температуру близкую к температуре окружающей среды с энергией 5.10" - 10" эВ и плотность 1013 -1017 см"3 при давлении 10'1 - 5.102 Па [1,2,5,11,43-46]. Неравновесность разряда определяется его природой. Электроны существенно более подвижны, чем ионы, поэтому приобретают в катодной области и плазме температуру, существенно выше, той, чем обладают молекулы газа, которые имеют температуру близкую к температуре окружающей среды.

Отсутствие термодинамического равновесия между электронами и тяжелыми частицами в разряде определяет специфические условия протекания реакций в разряде со значительно более высокими выходами продуктов по сравнению с термодинамически равновесными [5,73].

Физические факторы влияют на процессы образования полимера на поверхности электродов и в объеме разряда. Высокий градиент потенциала в катодной области приводит к тому, что ионы, попадающие на поверхность электрода, приобретают значительные кинетические энергии [11,51,52,68]. Такие энергии позволяют ионам эффективно образовывать на поверхности ка-

тода активные центры, в результате чего скорость полимеризации на катоде на порядок выше, чем на аноде или в плазме [1,2].

Кроме того, высокие энергии ионов приводят к тому, что в результате бомбардировки дисперсные частицы, попадающие на поверхность электрода встраиваются в пленку [7,8,9]. С другой стороны эта бомбардировка приводит к переуплотнению пленок, вызывая повышенные внутренние сжимающие напряжения.

Так в работах [53-58] показано, что при толщине 0,1-1,5 мкм для пленок из ТФЭ удельная упругая сила Р = С(1, действующая в сечении условной пленки толщиной й и шириной I м, возрастает линейно с ростом толщины. Это указывает на равномерное распределение напряжений по сечению пленки. Уменьшение упругой силы и внутренних напряжений, существенно зависит от режимов их формирования. Для полимерных пленок из ТФЭ с ростом плотности тока внутренние напряжения уменьшаются, что связано с деструкцией полимера. Максимальные напряжения для пленок, полученных из ТФЭ, возникают при малых плотностях тока разряда (0,3 А/м2) и составляют 27МПа, а при токе разряда 5 А/м - 18 МПа. Подобно внутренним напряжениям изменяется и плот-

о л ^ о

ность пленок, снижаясь со значения 2,1-10" кг/м до 1,95-10" кг/м соответственно.

В работах [57,58] отмечено, что при формировании наноструктур в объеме разряда и осаждения таких частиц на поверхность вне электродов, внутренние напряжения практически отсутствуют.

Влияние ионной бомбардировки поверхности наглядно видно из работы [39], где прямым экспериментом показана роль ионной составляющей при образовании полимера на катоде. Целью работы было исследование скоростей полимеризационных процессов в катодной области тлеющего разряда при помощи диэлектрических нитей-зондов диаметром 25 мкм. Нити натягивались в приэлектродной зоне разряда на расстоянии ~1 мм от его поверхности. Полимерные пленки образовывались на поверхности электрода в реакторе низкочастотного (1 кГц) тлеющего разряда. Мономером служили пары тетрафторэти-

лена. Поверхность электрода под нитью изучалась при помощи интерференционного микроскопа. Измерялась толщина выросшей пленки и ее распределение на поверхности электрода под зондом. В работе наблюдался эффект «тени», представляющий собой участки катода с уменьшенной по толщине или отсутствующей пленкой, которые образуются под нитью, натянутой вблизи катода параллельно его поверхности. Эффект катодной тени, вызван экранированием ионного потока на катод. В данном случае ускоренные ионы не только выбивают электроны из катода, но и вызывают полимеризацию в тех местах, куда они попадают. Даже столь малое препятствие, как зонд толщиной 25 мкм, оказывается достаточным для заметного ослабления под ним полимеризационного процесса, вызванного ионной бомбардировкой. При этом если на всей поверхности катода полимерная пленка имеет объемно-сшитую структуру с недостатком фтора и представляет собой прочное твердое покрытие, то в области тени полимер обладает совершенно другими свойствами: рыхлый, слабосвязанный, легко удаляемый протиранием. Обнаруженный авторами [39] эффект наглядно показывает влияние ионной составляющей потока на формирование полимера на поверхности электрода - катода.

На анод поступают электроны с импульсом на несколько порядков меньше, чем обладают ионы на катоде, поэтому и скорости образования полимера на поверхности электродов на порядок меньше. Аналогичная картина складывается и в области плазмы. В плазме положительного столба нет высоких градиентов потенциала, поэтому ионы не могут приобрести таких энергий, как в катодном пространстве, поэтому и скорости образования полимера здесь также невелики, а внутренние напряжения практически отсутствуют [50,57,58].

В работах [47-49] было исследовано пространственное распределение скорости роста полимерной пленки в невозмущенной плазме смеси неона с метаном с помощью тонких проволочек. Найдено, что профиль распределения толщины полимерной пленки по длине плазменного столба плоский. Радиальное распределение толщины пленки на вольфрамовой проволочке имеет коси-нусоидальный вид. Такой вид распределения авторы связывают с потоками

ионов и радикалов на зонд, расположенный поперек положительного столба разрядной трубки. Измерения зависимости скорости роста пленки от разности потенциалов между поверхностью растущего полимерного слоя и плазмой показали, что скорость роста прямо пропорциональна потоку положительных ионов.

Таким образом, сложная структура разряда и различие физических механизмов и энергетики процессов оказывают ведущую роль в дальнейших химических стадиях, приводя, в конечном счете, к образованию полимера.

Скорости образования полимера на поверхности электрода или в плазме пропорциональны плотности разрядного тока для НЧ [1,2,6,7,8,12], или мощности ВЧ и СВЧ разрядов [1,2,9]. Инициирование химических процессов в объеме происходит электронами, приводя к образованию активных частиц - ионов, радикалов, возбужденных частиц [5,73]. Дальнейшие химические стадии приводят к образованию полимера на поверхности электрода, дисперсного полимера и газообразных продуктов синтеза в объеме.

Заключение диссертации по теме «Химическая физика, в том числе физика горения и взрыва», Петровская, Марина Владимировна

Выводы

1. В данной главе рассмотрены общие закономерности зарядки полидисперсных частиц с точки зрения классических динамических теорий. Установлены приоритетные механизмы зарядки частиц в катодном слое.

2. Проведена оценка зарядки генерируемых разрядом частиц разных размеров с учетом нескольких механизмов и проведено моделирование их движения в катодной области.

3. Установлено, что в катодном слое заряд наночастиц далек от «насыщения», заряд микрочастиц по порядку величины сравним с максимальным. Определен критический радиус частицы

4. С помощью разработанной модели движения частиц в катодном слое в окрестности диэлектрического зонда-нити рассчитана геометрия «ионной тени» на электроде, хорошо согласующаяся с экспериментально полученными результатами. Построенная модель вполне адекватно описывает процессы, связанные с потоками ионов и полидисперсных частиц в катодной области.

Заключение

Анализ современного состояния научных исследований в области критических технологий показывает, что научно-техническое направление развития физики микро- и наносистем является одним из перспективных направлений создания новых технологий, а экспериментальное и теоретическое исследование кинетики массопереноса продуктов плазмохимического синтеза в неравновесных условиях тлеющего разряда является одной из важных составляющих развития этого направления.

Изучение процессов, связанных с генерацией полидисперсных частиц нано- и микро-размеров, актуально с точки зрения фундаментальной науки и практического применения этих процессов для создания материалов с новыми свойствами.

Сложность и многосторонность процессов, протекающих в тлеющем разряде в среде химически-активных веществ с образованием полимера на поверхностях и в объеме реакционной камеры, потребовала разработки и применения нескольких методик:

- методики изучения макрокинетических закономерностей осаждения дисперсных частиц и полимера в различных зонах тлеющего разряда на всем пространстве реакционной камеры;

- методики лазерного зондирования и фотоэлектрической регистрации процессов эволюции дисперсной фазы в замкнутом разряде в различных средах;

- компьютерного моделирования конвективного массопереноса дисперсных частиц в объеме реактора помощью системы конечно-элементного анализа ANS YS, что фактически является проведением численного эксперимента;

- математического моделирования движения наночастиц в катодном слое тлеющего разряда с учетом различных механизмов зарядки, и возникновения на электроде «ионной тени» от микрообъектов на электроде.

Основные выводы по работе

1. Разработана методика временного многолучевого лазерного зондирования пространства реактора с фоторегистрацией развития дисперсной фазы. Зафиксированы скорости движения дисперсных частиц, их потоки из объема разряда и их временная эволюция, а также области интенсивной коагуляции.

2. Анализ результатов исследований конвективных макропотоков экспериментальными методами лазерной визуализации полимерных частиц и осаждения дисперсной фазы на нитях-зондах и теоретического моделирования методами конечно-элементного анализа показал удовлетворительное согласование экспериментальных и теоретических данных.

3. Проведена оценка зарядки генерируемых разрядом частиц разных размеров с учетом нескольких механизмов и проведено моделирование их движения в катодной области. Показано преобладание «ударного» механизма ионной зарядки. Установлено, что в катодном слое заряд наночастиц далек от «насыщения», заряд микрочастиц по порядку величины сравним с максимальным.

4. С помощью разработанной модели движения частиц в катодном слое в окрестности диэлектрического нити-зонда рассчитана геометрия «ионной тени» на электроде, хорошо согласующаяся с экспериментально полученными результатами. Построенная модель вполне адекватно описывает процессы, связанные с потоками ионов и полидисперсных частиц в катодной области.

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Петровская, Марина Владимировна, 2013 год

Библиографический список

1. Ткачук Б.В., Колотыркии В.М. Получение тонких полимерных пленок из газовой фазы. - М.:Химия, 1977. - 233 с.

2. Ясуда X. Полимеризация в плазме. - М.: Мир, 1988. - 376 с.

3. Максимов А.И., Хлюстова A.B. Физическая химия плазменно-растворенных систем // Химия высоких энергий. 2009. Т.43. № 3. С. 195-201.

4. Титов В.А., Рыбкин В.В., Смирнов С.А. Физико-химические процессы в системе неравновесная плазма - полимер // Химия высоких энергий. 2009. Т.43. №3. С. 218-226.

5. Словецкий Д.И. Механизмы химических реакций в неравновесной плазме. М.гНаука, 1980, 310 с.

6. Штеренберг A.M., Потапов В.К. Макрокинетика формирования дисперсной фазы в газоразрядных системах. - Самара, СамГТУ. - 1997. - 192 с.

7. Штеренберг A.M. Макрокинетика формирования дисперсной' фазы в объеме газоразрядных систем пониженного давления.: Дисс. ... док. физ.-мат. наук: 01.04.17 - Химическая физика, в том числе физика горения и взрыва. - М. - 1995.-379 с.

8. Опарин В.Б. Макрокинетика и процессы переноса в газовом разряде пониженного давления: Дисс... докт. физ.-мат. наук. - Самара: СамГТУ, 2005. -311. с.

9. Саксонский В.А., Щуров А.Н., Потапов В.К. /Особенности кинетики осаждения полимерных пленок в импульсном ВЧ разряде. // Докл. АН СССР. 1985. Т.280, № I. С.137-140.

10. Vladimirov S.V. and Ostrikov К. Self-Organization and Dynamics of Nano-particles in Chemically Active Plasmas for Low-Temperature Deposition of Silicon and Carbon-Based Nanostructured Films // Plasmas and Polymers. 2003.v.8. No. 2. P. 135.

11. Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.; Наука, 1992. 536 с.

12. Зынь В.И. Кинетика и топология полимеризационных процессов в га-

зоразрядных системах закрытого типа.: Дисс....док. физ.-мат. наук: 01.04.17 -Химическая физика в том числе физика горения и взрыва. -М. -1995. - 379с.

13. Zyn V.I., Oparin V.B, Sterenberg A.M. The mechanism of nucleating a polymeric aerosol in a glow discharge on the data of kinetic mass spectrometry<BR>/ Proc. 3 Int. Conf. Colloid Chem. & Phys-Chem. Mech. ICCC-2008. Moscow, MSU, CD Book of Abstracts,

14. Зынь В.И., Опарин В.Б., Штеренберг A.M., Сафонов,А.А.ДСуцарев И.А. Начальные стадии образования полимерного аэрозоля в тлеющем разряде/ В кн.: 5 Междунар. симп. по теор. и прикл. плазмохимии, т.1. Иваново: ИГХТУ, 2008, 169-171 с.

15. Опарин В.Б., Петровская М.В., Виноградов К.Н., Механизмы формирования наноразмерных кластеров в тлеющем разряде/ XVII Межд. конференции «Физика прочности и пластичности материалов», Самара, 2009г., с. 300

16. Опарин В.Б., Петровская М.В. Процессы образования газообразных и полимерных продуктов в тлеющем разряде в тетрафторэтилене и гексафторбен-золе // Химическая физика, 2009, т. 28, № 6, с. 73-78.

17. Опарин В.Б., Петровская М.В., Штеренберг A.M., Виноградов К.Н. К вопросу о распределении по размерам наночастиц в тлеющем разряде химически активных газов // Труды 10-й международной конференции «Актуальные проблемы современной науки». Естественные науки. Часть 7. Физическая химия. Самара: СГОУ(Н). 2009.

18. Опарин В.Б. Процессы переноса в тлеющем разряде химически активных газов // Вестник СамГТУ, сер. «Физико-математические науки», вып. 30, 2004, стр.150-165.

19. Заряд дисперсных полимерных частиц в тлеющем разряде /А.Н.Щуров В.И.Николаев, В.М.Колотыркин, Л.С.Тузов, Н.Н.Туницкий // Журн. физ. Химии. - 1979. - т.53, №4. - с. 930-934.

20. Образование, движение и конденсация кремнийорганических полимерных аэрозолей в тлеющем разряде /Зынь В.И., Потапов В.К., Тузов JI.C., Штеренберг A.M. // Химия высоких энергий, 1986, т.20, №6, с. 541-547.

21. Саксонский В.А. Кинетика полимеризации ряда углеводородов в ВЧ-разряде низкого давления.: Дисс. Канд. ...физ.-мат. Наук 01.04.17 - Химическая физика в том числе физика горения и взрыва.- М.-1985.-152 с

22. Investigation of Particulate Growth Processes in RF Silane Plasmas Using Light and Scanning Electron Microscopic Methods / H. Kawasaki, T. Fukuzama, H. Tsuruoka, T. Yoshioka, M. Shiratani, Y. Watanabe II Jap. J. Appl. Phys. Pt. 1. - 1994. - 33, №7B.-C. 4198-4201.

23. Liepins R., Sakaoku K. Submicron Polymer Powder in Electrodeless RF Induced Plasma Initiated Polymerization 11 J. Appl. Polym. Sci. 1972. V.16, № 10. C. 2633-2645.

24. Polymerization of Organosilicones in Microwave Discharges /A.M. Wrobel, M.R. Wertheimer, J. Dib, H. P. Schreiber II J. Macromol. Sci. : Chem. - 1980. - V. A 14, № 3. - C. 321-337

25. Зынь В.И., Опарин В.Б., Потапов B.K., Тузов JI.C. // Пространственное распределение полимеризационных процессов в реакторе тлеющего разряда. // Химия высоких энергий, 1989, Т.23, # 3, С.276-281

26. Масс-спектрометрическое исследование кинетики газоразрядных химических реакций в ТФЭ/ Зынь.В.И., Опарин В.Б., Потапов В.К., Тузов JI.C. // Химия высоких энергий, 1985, т.19, №4. с.374 - 378.

27. Опарин В.Б. Кинетическая масс-спектрометрия молекулярных продуктов полимеризации фторуглеродов в тлеющем разряде // В кн.: Тез. докл. 4 Всес. конфер. по масс-спектрометрии, Сумы, 1986,с. 78-79

28. Зынь.В.И., Опарин В.Б., Потапов В.К. Кинетическая масс-спектрометрия начальных стадий полимеризации ТФЭ в тлеющем разряде // Химия высоких энергий, 1989, т.23, №1, с.75-80.

29. Зынь В.И., Потапов В.К., Штеренберг A.M. Кинетика изменения масс-спектров и молекулярного состава газовой фазы тлеющего разряда в парах ГМДСА и ГМДСО // Химия высоких энергий. - 1986. - Т.20, № 1. - С.76-81.

30. Штеренберг A.M. Масс-спектрометрический контроль состава газовой фазы тлеющего разряда при полимеризации кремнийорганических соединений

// Тез. докл. 4 Всес. конф. по масс-спектрометрии, Сумы. - 1986.- ч.7. - С. 76-77.

31. Кинетика газоразрядной полимеризации и процессы переноса в парах фторуглеродных и кремнийорганических соединений / Зынь.В.И., Опарин В .Б., Потапов В.К., Тузов Л.С., Штеренберг A.M. // В кн.: Тез. Докл. 1 Всес. Симп. По макрокинетике и химической газодинамике. Черноголовка, ОИХФ АН СССР, 1984, т.2. №386, с.50.

32. Опарин В.Б. Конвекция и коагуляция в тлеющем разряде в среде гекс-афторбензола // Известия Самарского научного центра РАН, том 6, № 1, 2004, стр. 119-128.

33. Опарин В.Б.,Соснина М.В., Виноградов К.Н.Ионные потоки заряженных частиц в катодной области тлеющего разряда // Вестник Самар. Гос.Техн.Ун.-та, сер. Физико-математ. науки, 2007, № 1(14), с. 119-124.

34. Щуров А.Н. и др. Заряд дисперсных полимерных частиц в тлеющем разряде. // Журн.физ.химии, 1979, т.53; № 4,с.930-934.

35. Zyn V.I.,Oparin V.B.,Sterenberg A.M. Origin and growth of polymeric nano and microparticles in glow discharge /2 Vienna Interna-tional Conference "Micro- and Nano-Technology" Vienna, Austria,2007, 65-72c.

36. Зынь В.И., Потапов B.K., Штеренберг A.M. Кинетика изменения масс-спектров и молекулярного состава газовой фазы тлеющего разряда в парах ГМДСА и ГМДСО // Химия высоких энергий. 1986.Т.20, № 1 .С.76-81.

37. Зынь.В.И., Опарин В.Б., Штеренберг A.M. Механизм зарождения полимерного аэрозоля в тлеющем разряде по данным кинетической масс-спектрометрии /Тр. 3 междунар. конф. по коллоидной химии и физико-химической механике ICCC-2008. Москва, МГУ,2008,23-28 с.

38. Кравец Л.Н., Дмитриев С.Н., Гильман А.Б. Модификация свойств полимерных мембран под действием низкотемпературной плазмы // Химия высоких энергий т.43 .№6.2009.227.

39. Зынь В.И.Опарин В.Б. Эффект тени при полимеризаций в катодной плазме тлеющего разряда // Химия высоких энергий. 2001. том 35. № 4. с. 313314.

40. Опарин В.Б., Петровская М.В., Виноградов К.Н Формирование и перенос нанодисперсных частиц в тлеющем разряде в химически активных газах // Всероссийская конференция «Физико-химические аспекты технологии нанома-териалов их свойства и применение, Москва, НИФХИ им. Л.Я.Карпова.2009 г.

41. Опарин В.Б., Петровская М.В., Виноградов К.Н Формирование конвективных потоков наноразмерных кластеров в тлеющем разряде// Избранные труды, Москва, НИФХИ им. Л.Я.Карпова.2011 г. С. 178-183.

42. Виноградов Г.К. и др. Исследование пространственных распределений скорости пленкообразования в разрядах пониженного давления. // Химия высоких энергий, 1980, т. 14, №5, с.461-468.

43. Капцов H.A. Электрические явления в газах и вакууме. М.: Изд-во техн.и теорет.лит., 1950.-835 с.

44. Смирнов Б.М. Атомные столкновения и элементарные процессы в плазме.- М.: Атомиздат, 1968. -412 с.

45. Чан П., Тэлбот Л., Турян К. Электрические зонды в неподвижной и движущейся плазме.- М.: Мир, 1978,- 201с.

46. Русанов В.Д., Фридман A.A. Физика химически активной плазмы. - М.: Наука, 1984.-414 с.

47. Виноградов Г.К., Иванов Ю.А., Полак Л.С. О зондовом методе исследования пленкообразования. // Химия высоких энергий, 1979, т.13,№1, с.84-85.

48. Виноградов Г.К., и др. Пространственное распределение и кинетика пленкообразования в тлеющем разряде./ В кн.: 3 Всесоюзн. Симпоз. по плазмо-химии: Тез.докл. Ин-т нефтехим. синтеза, М.: 1979, с.20-24.

49. Иванов Ю.А., Лебедев Ю.А., Полак Л.В. Методы контактной диагностики в неравновесной плазмохимии. М.: Наука, 1981. - 142 с.

50. Белов И.А., Иванов А.С, Иванов Д.А, Паль А.Ф., Старостин А.Н., Филиппов A.B. Распределение частиц по размерам в коагулирующей пылевой плазме //Письма в ЖТФ. 1999. Т. 25. № 5. С. 89-95.

51. Егоров Н.П., Комаров В.Н. Масс-спектрометрическое исследование ионного состава тлеющего разряда. - Журн.техн.физики 1974, т.44, № 8, с. 1765147

52. Бондаренко A.B. Масс-энергетический анализ ионов в прикатодной области тлеющего разряда. - Журн.техн.физики, 1975, т.45,№ 2, с.308г311.

53. Зынь В.И.Опарин В.Б.Потапов В.К. Внутренние напряжения в пленках из тетрафторэтилена, полимеризованных в тлеющем разряде/ В кн.: Структура и свойства деформированных материалов. Куйбышев: КПтИ, 1984, с.106-108.

54. Зынь В.И., Опарин В.Б., Паркин A.A. Возникновение внутренних напряжений при плазмохимической полимеризации стирола. // В кн.: Тез.докл 9 Всесоюз. конф. по физике прочности и пластичности. Куйбышев: КптИ. 1979, с.ЗО.

55. Зынь В.И., Опарин В.Б., Паркин A.A. Развитие механических напряжений в пленках при газоразрядной полимеризации. // Поверхность. Физика, химия, механика, 1984, №4, с.66 - 72.

56. Проявление газоразрядного подобия в напряженных пленках, полученных полимеризацией в тлеющем разряде./ Зынь.В.И. Опарин В.Б.,Паркин A.A. Потапов В.К., Тузов JI.C. // Химия высоких энергий, 1984, т.18, № 5, с.472-475.

57. Опарин В.Б., Соснина М.В.Внутренние напряжения в электроразрядных наноструктурах // Тез. докл. 16 Междунар. конф. по физике прочности и пластичности материалов. Самара, СамГТУ, 2006, 225с.

58. Опарин В.Б., Соснина М.В .Внутренние напряжения в квазикристаллических электроразрядных наноструктурах // Труды 16 Междунар. конф. по физике прочности и пластичности материалов. Самара, СамГТУ, 2006, с. 48-52.

59. Словецкий Д.И., Кочка Я., Стухлик И. Масс-спектральное исследование стабильных продуктов разложения моносилана в тлеющем разряде. //Химия высоких энергий, 1983, т. 17, № 5, с.476-478.

60. Егоров Н.П., Комаров В.П., Куприянов С.Е. Масс-спектрометрическое исследование элементарных процессов в плазме газового разряда. В кн.: Химия плазмы /Под ред.Б.М.Смирнова, М.: Атомиздат, 1974, вып.1, с.203.

61. Пржонский A.M. Применение масс-спектрометрии для исследования

плазмохимических процессов. В кн.: Тепло и массообмен в плазмохимических процессах. Минск, ИТМО, 1982, с.123-146.

62. Tetrachlorosilane consum-option in radio frequency glow dischchfrge/ Bli-now L.M., Golovkin A.G., Kaganov L.I., Oparin V.B., Zyn V.I., Razhavski A.G., Sterenberg A.M. // Plasma Chem. A. Plasma Proc., 1998, v. 18, № 2, p. 509-533.

63. Полимерные пленки, полученные из гексафторбензола в разряде постоянного тока/ Е.Н.Демидова, В.М.Матюк, А.Н.Драчев, А.Б.Гильман,

A.М.Максимов,В .Е.Платонов // Химия высоких энергийт. 43.№1.2009г.

64. Грин X., Лейн В. Аэрозоли - пыли, дымы, туманы.Л.: Химия. 1969.428

с.

65. Electron Microscopy Studies of Plasma Polymerized Organosilicon Thin Films / J. Grebowicz, T. Pakula, A.M. Wrobel, M. Kryszewski // Thin Solid Films.-1980.-V.65,№3.C. 351-359.

66. Investingation of Particulate Growth Processes in RF Silane Plasmas Using ■ Light and Scanning Electron Microscopic Methods / H. Kawasaki, T. Fukuzama, H. Tsuruoka, T. Yoshioka, M. Shiratani, Y. Watanabe // Jap. J. Appl. Phys.Pt. 1.1994.33, № 7B.C. 4198-4201.

67. Remote Hydrogen Plasma Chemical Vapor Deposition of Amorphous Hy-drogenated Silicon-carbon Films from an Organosilane Molecular Cluster as a Novel Single-source Precursor: Structure, Growth, Mechanism and Properties of the Deposit. / A.M. Wrobel, S. Wickmanayaha, Y. Nakanishi, Y. Fukuda, Y. Hananaka // Chem. Mater. - 1995.- 7, № 7. C. 1403-1413.

68. M. Dhayal, J.W. Bradley. Using heated probes in plasma polymerising discharges/Surface and Coatings Technology 184 (2004) 116-122

69. Оптико-электронные методы изучения аэрозолей. / Под ред. С.П. Беляева, Н.К. Никифорова, В.В. Смирнова, Г.И. Щелчкова М.: Энергоиздат, 1981. -232 с.

70. Основы электрогазодинамики дисперсных систем. / И.П. Верещагин,

B.И. Левитов, Г.З. Мирзабекян, М.М. Пашин. - М.: Энергия, 1974.- 480 с.

71. A.Milella, F.Palumbo, P.Favia, G.Cicala, R. d'Agostino Deposition mecha-

nism of nanostructured thin films from tetrafluoroethylene glow discharges // Pure Appl. Chem.vol.77.№2.p.399-414.2005.

72. Иванов С.И. Масс- спектрометрическое исследование полимеризации ТФЭ в ВЧ разряде. // Химия высоких энергий. 1979. т. 13 с. 70 -74.

73. Д.И.Словецкий. Возбужденные атомы и молекулы в физикохимиче-ских процессах и диагностике неравновесной плазмы // Химия высоких энер-гий.2009.т.43№3,С. 209-217.

74. Штеренберг A.M., Харитонов А.Ю., Шурыгина В.А. Физические аспекты топологии и кинетики формирования дисперсной фазы в тлеющем разряде пониженного давления // Вестник Самарского государственного технического университета. Серия: Физико-математические науки, 2007, т.1 №14. 114119

75. Melikhov G.K., Shterenberg A.M., Zyn V.l. Formation of surface relief in plasma polymerized films // Journal of Physics D: Applied Physics. 2006. T. 39. C. 944.

76. Штеренберг A.M. Моделирование процессов коагуляции полимерных субмикронных частиц в тлеющих разрядах // Вестник Самарского государственного технического университета. Серия: Физико-математические науки. 1998. №6. С. 55-65.

77. Штеренберг A.M. Макрокинетика коагуляции субмикронных частиц в объеме тлеющего разряда. // Вестник Самарского государственного технического университета. Серия: Физико-математические науки, (2001), 12 (март), 124-126

78. Штеренберг A.M., Филиппов Д.А. Моделирование процессов коагуляции на основе применения систем кинетических дифференциальных нелинейных уравнений // Вестник Самарского государственного технического университета. Серия: Физико-математические науки. 2006. № 42. С. 207-209.

79. Штеренберг A.M.Bлияние зарядки полимеров на процессы коагуляции частиц дисперсной фазы в тлеющих разрядах // Известия Самарского научного центра Российской академии наук. 2005. Т. 7. № 2. С. 385.

80. Штеренберг A.M., Филиппов Д.А. Моделирование процессов коагуляции на основе применения систем кинетических дифференциальных нелинейных уравнений. // Вестник Самарского государственного технического университета. Серия: Физико-математические науки. 2006. № 42. С. 207-209.

81. С.И.Кузина, Г.И.Савенков, А.И.Михайлов, А.Н.Пономарев Радиаци-онно-химические свойства нанопленок, сформированных в плазме из продуктов деструкции полипропилена // Сб.Трудов 3 Международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохимии. Иваново. Т. 2. С. 255 -258.2002г.

82. Байдаровцев Ю.П., Савенков Г.Н., Шевченко В.В., Шульга Ю.М. // Высокомол. соед. 2000. Т. А--42. № 3. С. 435.

83. Кравец JI. И., Дмитриев С. Н., Гильман А. Б. Модификация свойств полимерных мембран под действием низкотемпературной плазмы // Химия высоких энергий. 2009. т.43. № З.с. С. 227-234.

84. Шамирян Д., Paraschiv V., Boullart W, Бакланов М. Р. Плазмохимиче-ское травление: от микро к наноэлектронике // Химия высоких энергий, 2009, т.43. № 3, с. С. 250-258.

85. С. Ф. Садова, Е. В. Панкратова Модифицирование поверхности текстильных материалов из природных волокон воздействием низкотемпературной плазмы и перспективные технологии // Химия высоких энергий, 2009, т.43. № З.С. 281-288.

86. Е. В. Кувалдина, В. В. Рыбкин Взаимодействие активных частиц плазмы кислорода с полипропиленом // Химия высоких энергий, 2008, т.42. № 1. С. 64-68.

87. А. И. Драчев, Е. Н. Демидова, А. Б. Гильман Полимерные пленки из анилина, полученные в разряде постоянного тока // Химия высоких энергий, 2008, т.42. № 1.С. 69-73.

88. Василец В.Н.и др. Прививочная сополимеризация жидкокристаллических мономеров на фторуглеродную полимерную подложку. // Жидкие кристаллы и их практическое использование. 2006. № 4. С. 138-145.

89. В. В. Рыбкин, Т. Г. Шикова, В. А. Титов Окислительная модификация

поверхности полипропилена в разряде атмосферного давления с электролитным катодом // Химия высоких энергий, 2008, т.42. № 6. С. 536-539.

90. Максимов А.И., Никифоров А.Ю. Сопоставление возможностей плазменного и плазменно-растворного модифицирования полимерных материалов в жидкой фазе. //Химия высоких энергий т.41.№6.2007.513.

91. Пискарев М.С., Гильман А.Б., Облонкова Е.С.,Кузнецов A.A. Модификация поверхности пленки поливинилиденфторида пд воздействием тлеющего низкочастолтного разряда // Химия высоких энергий т.41.№6.2007.520.

92. Опарин В.Б. Свойства полимеров, полученных полимеризацией в плазме и возможности их применения в нефтяной отрасли // Известия Самарского научного центра РАН, сер. Проблемы нефти и газа, 2004, стр. 136-151.

93. Гордиец Б.Ф Самосогласованная модель образования и роста наноча-стиц в низкотемпературной плазме // Химическая физика. 2008. Т. 27. № 4. С. 79-93.

94. Сухинин Г.И., Федосеев A.B. Зарядка пылевых частиц в неравновесной плазме стратифицированного тлеющего разряда // Физика плазмы.т.33.№ 12. 2007.C.1117-1126.

95. Олеванов М. А., Манкелевич Ю. А., Рахимова Т. В. Механизмы коагуляции и роста пылевых частиц в низкотемпературной плазме // ЖЭТФ, 2004, т. 125, вып. 2, с. 324-344.

96. Манкелевич Ю.А. и др. Коагуляция пылевых частиц в аргоновой плазме ВЧ-разряда // Физика плазмы.т.35.№ 3. 2009. с.219-228.

97. Амиров И.И., Шумилов A.C. Механизм формирования микроигл на поверхности кремния во фторсодержащей плазме в циклическом травление/осаждение процессе // Химия высоких энергий, т.42.№ 5. 2008.С.446-450

98. Кукушкин А.Б., Ранцев-Картинов В.А. Микропылевые каркасные структуры в электрических разрядах как новый тип наноматериала // Микросистемная техника.№ 3. 2002 с. 22-30.

99. Ляхович A.M., Кодолов В.И., Широбоков М.А. О механизме формирования полимерных пленок из гептана в низкотемпературной плазме понижен-

ного давления // Химия высоких энергий, т. 42, №6. 2008 с.544-549.

100. Карасев В.Ю.и др. Оптическое сканирование пылевых ЗО-структур, формируемых в тлеющем разряде // Оптика и спектроскопия, т.106.№ 6. 2009. с.894-898.

101. Яфаров Р.К.Получение наноалмазных композиционных материалов в плазме микроволнового газового разряда низкого давления // Журнал технической физики т. 76 .№ 1 . 2006.С.42-48.

102. Н. Kawasaki, J. Kida, К. Sakamoto et al. Study on growth processes of particles in germane radio frequency discharges using laser light scattering and scanning electron microscopic methodsJ. Appl. Phys. 83, 5665 (1998).

103. T. Fukuzava, S. Kushima, Y. Matsuoka et al., J. Growth of particles in cluster-size range in low pressure and low power SiH4 rf discharges Appl. Phys. 86, 3543 (1999).

104. M. T. Swihart, S. Nijhawan, M. R. Mahajan et al., Modeling the nucleation kinetics and aerosol dynamics of particle formation during CVD of silicon from silane // J. Aerosol Sci. 29, 1998. S.79.

105. U. R. Kortshagen, U. V. Bhandarkar, M. T. Swihart, and M. T. Girshick, Generation and growth of nanoparticles in low-pressure plasmas // Pure & Appl. Chem. 71.1999.1871.

106. M. T. Swihart and S. L. Girshick // J. Phys. Chem. В 103. 1999. с. 64.

107. U. V. Bhandarkar, M. Т. Swihart, S. L. Girshick, and U. R. Kortshagen // J. Phys. D: Appl. Phys. 33. 2000.C.2731.

108. Kio-Seon Kim and M. Ikegawa // Plasma Sourc. Sci. Technol. 5, 1996. c.311.

109. P. Haaland, A. Garscadden, and B. Gangul // Appl. Phys. Lett. 69, 1996.C. 904.

110. S. J. Choi and M. J. Kushner // J. Appl. Phys. 74, 1993c.853.

111. H. Цытович // УФН 167.1997c. 57.

112. V. A. Schweigert and I. V. Schweigert, J. Phys. D: Appl. Phys. 29, 655 (1996).

113. Н. и. Keller, J. Blum, В. Donn et al., Adv. Space Res. 13(7), 73 (1993).

114. F. Y. Huang, H. H. Hwang, and M. J. Kushner, J. Vac. Sci. Technol. A 14(2), 562 (1996).

115. F. Y. Huang and M. J. Kushner, J. Appl. Phys. 81, 5960 (1997).

116. A. Bouchoule, L. Boufendi, J. Hermann et al. Formation of dense submi-cronic clouds in low pressure Ar-SiHt RF reactor: Diagnostics and growth processes from monomers to large size particulates // Pure & Appl. Chem. 68. 1996. c.l 121 .

117. Y. Watanabe, M. Shiratani, H. Kawasaki et al. Growth processes of particles in high frequency silane plasmas J. Vac. Sci. Technol. A 14(2), 540 (1996). .

118. K. Watanabe, K. Nishimura, and T. Sato, Advances in Dusty Plasmas, ed. by P. K. Shukla, D. A. Mendis, and T. Desai, World Sci., Singapore. 1998. p. 394.

119. Воробьев B.C., Петров О.Ф., Фортов B.E. Упорядоченные пылевые структуры в плазме тлеющего разряда // ЖЭТФ, т.131.№ 4. 2007 с.750-760

120. Ляховнч A.M., Лялина Н.В. Формирование полимерных пленок в низкотемпературной плазме этилена // Поверхность. Рентгеновские, синхротрон-ные и нейтронные исследования. № 5. 2008. с.88-92

121. Василец В.Н., Тальрозе Р.В., Севастьянов В.И., Пономарёв А.Н. Энергосберегающие технологии модифицирования полимерных материалов с использованием плазмы газового разряда и ВУФ излучения // Известия Российской академии наук. Энергетика. № 2. 2008.133-148.

122. Саркисов О.А.и др. Морфология и молекулярная структура полиурета-новых пленок, обработанных плазмой тлеющего разряда // Журнал прикладной спектроскопии т. 74.№ 6 2007.С.785-789.

123. Бульба А.Ви др. Самоорганизация и рост пылевых структур в тлеющем разряде // Химия высоких энергий т.40.№ 2. 2006.С. 155-160.

124. Паль А.Ф.им др.Влияние электрического поля анодного слоя тлеющего разряда на рост ориентированных углеродных нанотрубок // Физика плазмы,1т.ЗЗ.№1.2007.с.48-58.

125. Данилов А. Бетонная наука // Российские нанотехнологии, т 5, №1- 2, 2010,С.12-14.

126. Манкелевич Ю.А. Коагуляция пылевых частиц в аргоновой плазме ВЧ разряда // Физика плазмы т.35.№ 3. 2009.С. 219-228.

127. Y. Hayashi and К. Tachibana Analysis of Spherical Carbon Particle Growth in Methane Plasma by Mie-Scattering Ellipsometry // Jpn. J. Appl. Phys. 33(1), No. 7B. 1994.C. 4208.

128. Garscadden A. Nucleation, growth, and morphology of dust in plasmas // Pure & Appl. Chem. Vol. 66, Issue 61.994.C.1319 .

129. H. Kawasaki et al. Study on growth processes of particles in germane radio frequency discharges using laser light scattering and scanning electron microscopic methods // J. Appl. Phys. 83. 1998 p.5665.

130. Золотухин И.В. Фракталы в физике твердого тела // Соросовский Образовательный Журнал. 1998. №7. С. 108-113.

131. Верещагин И.П., Левитов В.И., Мирзабекян Г.З., Пашин М.М. Основы электрогазодинамики дисперсных систем. М.'.Энергия. 1974. 480с.

132. Мак-Даниель И. Процессы столкновений в ионизованных газах. М.: Мир. 1967. 832с.

133. Олеванов М. А., Манкелевич Ю. А., Рахимова Т. В. О влиянии пылевых частиц на свойства низкотемпературной плазмы // ЖЭТФ, 2003, т. 123, вып. 3, с. 503-517.

134. Савельев A.M., Старик A.M. Особенности взаимодействия ионов и электронов с наночастицами в плазме, образующейся при горении углеводородного топлива плазмы // ЖЭТФ, 2006, т. 76, вып. 4, с. 53-60.

135. Щекатолина С.А., Григоренко С.В. Диффузионная зарядка ультрамелких частиц атмосферного аэрозоля // ФАС-37, Одесса, 2000,с 56-62.

136. Рудяк В.Я., Белкин А.А., Краснолуцкий С.Л. К статистической теории процессов переноса наночастиц в газах и жидкостях (обзор) // Теплофизика и аэромеханика, 2005, том 12, № 4, с 525-544.

137. Смирнов С.А., Баранов Г.А. Газодинамика и термоионизационная неустойчивость катодной области тлеющего разряда. //Журнал технической физики, 2001, том 71, вып. 7, с 30-38

138. Григорьев Ф.И. Ионно-плазменная обработка полимерных материалов в технологии микроэлектроники: // Моск. гос. И-нт электроники и математики.

• М., 2008.-36 с.

139. Использование метода ИК-спектроэллипсометрии для исследования изменения свойств поверхности политетрафторэтилена в результате модификации в низкотемпературной плазме/ Макеев М.О., Иванов Ю.А., Мешков CA,. Гильман А.Б., Яблоков С.А.// Материалы VII Международной научно-технической конференции, 23 - 27 ноября 2010 г. С 268-273.

140. Влияние обработки в плазме на адгезионные свойства пленок политетрафторэтилена/ Пискарев М.С., Яблоков.М.Ю., Кечикьян A.C., Гильман А.Б, Кузнецов A.A.// Материалы V Международной научно-технической школы-конференции,М, Молодые ученые, 2 0 0 8, часть 3,МИРЭА10 - 13 ноября 2008 г. С 17-20

141. Обоснование и методика кинетического исследования процессов пред-полимеризации в нестационарном тлеющем разряде. Штеренберг A.M., Зынь В.И., Шацкий A.B., Андреева A.B., Куцарев И. // Химическая физика и мезо-скопия. 2011. том 13, №4, с. 591-601.

142. Методика подготовки образцов при исследовании межфазных взаимодействий в системах «железо-полимерная пленка» /Лялина Н. В., Ляхович А. М., Шаков А. А., Сюгаев A.B., Решетников С.М.//Химия, 2006. № 8 с.37-44.

143. Чеховой А. Н. Классификация наноматериалов и нанотехнологий для машиностроения и метрология наносостояния //Конструкции из композиционных материалов № 4, 2005, С 8-17.

144. Максим Щ. Материалы активные и умные // Российские нанотехноло-гии, том 5, №1-2, 2 010,1 с.8-11.

145. Масанов А. Что такое эффект лотоса // Российские нанотехнологии | т. 5 №1-2,2 01 0 с.11.

146. Применение тлеющего разряда в текстильной и строительной промышленности: монография /М.В. Акулова [и др.] Иван. гос. хим.-техн. ун-т. Иваново, 2008 -232 с.

147. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Гидродинамика // M.: Наука, 1986. 736 с.

148. Варгафтик Н.Б. Справочник по теплофизическим свойствам газов и жидкостей. - 2-е изд. - М.: Наука, 1972. - 720 с.

149. Рудяк В. Я., Краснолуцкий С. Л. Диффузия наночастиц в разреженном газе // Журн. техн. физики. 2002. Т. 72, вып. 7. С. 13-20.

150. Рудяк В.Я., Дубцов С.Н., Бакланов A.M. О зависимости коэффициента диффузии наночастиц от температуры // Письма в ЖТФ, 2008, 34(12), 48—54

151. Pauthenier M., Moreau-Hanot M. La charge des particle sspheriques dans unchamp ionize // Journal of Physique Radium. — 1932 г.. — 3. — С. 590-615.

152. Arendt P., Kallmann H. Uber den Mechanismus der Aufladung von Nebelteilchen // Z. fur Phys. 1926. - B. 35. - № 6. - S. 421 - 441.

153. Фукс H.A. Механика аэрозолей. - M.: Изд-во АН СССР, 1955. - 352 с.

154. Щерба Е.А. О взаимодействии двух заряженных проводящих шаров при малых расстояниях между ними/ Е.А.Щерба, А.И.Григорьев, В.А.Коромыслов // ЖТФ.. 2002.. Т. 72,. № 1.. С. 15-19.

155. Петровская М.В. Расчет коэффициента сопротивления при движении нано- и микрочастиц в разреженном газе // Материалы IX Международной научно-практической конференции «Актуальные научные достижения - 2013». - Прага, 2013. - т. 17. - С.26-29.

156. Петровская М.В., Опарин В.Б. Применение фотометода для изучения процессов массопереноса в объеме реактора тлеющего разряда // Научная перспектива, 2013. - № 6(40). - С. 62-63.

157. Петровская М.В., Опарин В.Б. Исследование конвективных потоков в объеме реактора тлеющего разряда // Материалы VIII Международной научно-практической конференции «Тенденции и инновации современной науки». -Краснодар, 2013. - С. 60