Применение метода совпадений для исследования эмиссии вторичных частиц при ионной бомбардировке твердого тела тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.04, кандидат физико-математических наук Дубский, Геннадий Алексеевич

• Дубский, Геннадий Алексеевич
• кандидат физико-математических наук
• 1984

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Дубский, Геннадий Алексеевич

Введение . 5*

Глава I. Экспериментальные и теоретические представления об эмиссии вторичных частиц при ионной бомбардировке твердого тела.

§ I. Некоторые закономерности рассеяния ионов поверхностями моно- и поликристаллов.

§ 2. Экспериментальные данные и некоторые теоретические представления вторичной ионной эмиссии (ВЙЭ) металлов . 1S

§ 3. Энергетические спектры распыленных ионов

3d - переходных металлов.

§ 4. Ионно-электронная эмиссия (ИЭЭ). Автоионизавдонный механизм образования электронов . ЪЗ

§ 5. Постановка задачи и цель работы

Глава II. Экспериментальная установка и методика проведения эксперимента.

§ I. Общая схема установки.5%

§ 2. Источник ионов и устройства формирования ионного пучка.

§ 3. Анализаторы энергии и массы распыленных и рассеянных ионов. £>Ъ

§ 4. Канальные электронные умножители и особенности их применения.Ц

§ 5. Электронные измерительные устройства в каналах регистрации рассеянных и распыленных ионов и электронов.

§ 6. Юстировка системы регистрации заряженных частиц . £Z

§ 7. Приготовление поверхностей исследуемых металлов.ZQ

§ 8. Методика получения экспериментальных данных при взаимодействии ионов с твердым телом двухкаяальным методом и методом совпадений . Я Ъ

Глава III. Одновременные исследования рассеяния и

ЙЭЭ кобальта. в С

§ I. Энергетические распределения ионов Не4" рассеянных поликристаллом Со в oL и J£ - фазе для разных углов падения первичного пучка . f?/

§ 2. Энергетические спектры ЙЭЭ поликристалла

Со вблизи точки с£ - ^ перехода.

§ 3. Температурная зависимость интегрального выхода рассеянных иоров и электронов при бомбардировке ионами ^ поликристалла Со . Ю

§ 4. Выводы.

Глава 1У. Одновременное исследование рассеяния и

ИЭЭ никеля.Щ

§ I. Энергетические распределения электронов при ИЭЭ пары NI для ферро- и парамагнитного состояния мишени .Щ

§ 2. Влияние магнитного фазового перехода в f\lL на рассеяние ионов Ne+.//5*

§ 3. ИЭЭ и влияние на нее магнитного фазового перехода в Ml . jtf

§ 5.

Глава У.

§ 3.

§ 4.

Угловое распределение электронов ИЭЭ пары Не"*" -> . ^Н

Выводы к главе 1У . 1Z

Исследование автоионизавдонного механизма образования ионов двухканальной методикой со схемой совпадений.'.izt

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Применение метода совпадений для исследования эмиссии вторичных частиц при ионной бомбардировке твердого тела»

Энергетические распределения ионов и электронов ИЭЭ (5 кэВ ) . цо

1.1 Поликристалл Nl . 1Ъо

1.2 Монокристалл .

Пространственное распределение рассеянных ионов и электронов ИЭЭ (5 кэВ .

2.1 Поликристалл NL .цц

2.2 Монокристалл NI (И <).<f$$

Изменение пространственного распределения рассеянных ионов Ne+ и электронов при магнитном фазовом переходе в Hi . /4/

Применение схемы совпадений для исследования рассеяния и ИЭЭ для Hi . да

4.1 Геометрия опыта .♦•••■/43

4.2 Определение отношения сигнал/шум в схеме совпадений. да

4.3.1.Угловые корреляционные зависимости L- ье ) для поликристалла с^ .Ж

4.3.2.Угловые корреляционные зависимости . L- № ) для монокристаллаИ) .да 4.4. Расчет неупругих потерь при взаимодействии двух атомных частиц.151

-У

4.5. Изменение угловой корреляционной зависимости ( i - Le ) при изменении энергии первичных ионов . jSZ

4.6. Изменение угловой корреляционной зависимости ( L - 1е ) црИ магнитном фазовом переходе в монокристалле Ш(1Н) . /5*5"

§ 5. Выводы к главе У. 159

Заключение . 160

Литература.- 1С*>

ВЩЩ2НИЕ

В настоящее время большое внимание уделяется изучению взаимодействия ионов с поверхностью твердого тела. При таком взаимодействии происходят самые разнообразные процессы, которые ведут к эмиссии заряженных и нейтральных частиц и к изменению свойств бомбардируемой поверхности за счет радиационных нарушений и имплантации первичных ионов. Исследование этих процессов приобрело в последнее время большое значение в связи с решением ряда новых научно-технических задач. К таким задачам относятся, например, проблема создания радиационно-стой-ких материалов с заданными свойствами для технологии ядерной и термоядерной энергетики; получение тонкопленочных упрочняющих и антикоррозионных покрытий; разработка методов анализа структуры и состава поверхности с помощью ионных пучков и др.

Несмотря на то, что накоплен большой экспериментальный материал по процессам, сопровождающим ионную бомбардировку поверхности твердого тела, многие вопросы остаются нерешенными. Так, не вполне ясно, каким образом влияют на эмиссию вторичных заряженных частиц переходы ферромагнетик-парамагнетик, а также изменение структуры при полиморфном превращении; практически нет работ, в которых бы исследовалось одновременно в одних и тех же условиях несколько видов эмиссии при ионной бомбардировке твердого тела. В связи с этим не установлена четкая связь между процессами, определяющими эмиссию заряженных атомных частиц и электронов при ионной бомбардировке образца.

В настоящей диссертации проведено одновременное исследование процессов рассеяния ионов и ионно-электронной эмиссии

ИЭЭ) никеля и кобальта с применением в ряде случаев техники совпадений.

Нель работы. С помощью двухканальной установки провести одновременное исследование характеристик рассеяния ионов и ЙЭЭ 3d - переходных металлов Со и Nl в области фазовых переходов I и II рода.

Используя схему совпадений, исследовать угловую корреляцию между рассеянием ионов поверхностью поликристалла и ион-но-электронной эмиссией, (L -ie), возникающими вследствие автоионизационного механизма распада отраженного возбужденного атома 1\|еР**. Проследить за изменением корреляционной зависимости L - 1е при магнитном фазовом переходе в Ni .

Научная новизна. I. Впервые создана установка для изучения элементарных актов взаимодействия атомных частиц с твердым телом, в которой используется двухканалышй метод регистрации эмиссии вторичных частиц со схемой совпадений.

2. Исследованы энергетические и пространственные распределения отраженных ионов и электронов, образующихся при бомбардировке кобальта и никеля ионами неона с энергией 5 кэВ. Установлена анизотропия в пространственном распределении отраженных ионов и электронов, возникающих при ионной бомбардировке поликристаллического никеля и кобальта. Обнаружены осцилляции температурной зависимости интегрального по энергии выхода рассеянных ионов, отраженных от никеля и кобальта при температурах фазового перехода.

3. С помощью схемы совпадений установлена угловая корреляция между электронами и отраженными ионами ( i - le ), обра зующимися в результате автоионизации возбужденного атома неона отраженного от поверхности поли- и монокристалла Mi Обнаружено изменение корреляционной зависимости I - & при переходе л/£ из ферромагнитного в парамагнитное состояние.

Научная и практическая ценность работы .Разработан новый в радиационной физике твердого тела двухканальный метод со схемой совпадения для одновременного исследования процессов эмиссии частиц при ионной бомбардировке твердого тела. Ранее такая методика применялась только для газовых мишений. Двух-канальная методика позволяет исследовать одновременно эмиссию двух типов частиц из одного участка бомбардируемой поверхности, а использование схемы совпадений дает возможность установить корреляцию между различными видами эмиссии.

Использованные в установке сферические электростатические анализаторы с большим средним радиусом (100 мм) позволяют исследовать тонкую структуру энергетических спектров вторичных частиц.

С помощью разработанной и изготовленной установки изучено энергетическое и пространственное распределение рассеянных ионов неона и электронов, образующихся при бомбардировке мишеней из никеля и кобальта. Исследовано влияние фазовых переходов I и XI рода на эти характеристики. Применение схемы совпадения позволило установить угловую корреляцию между компонентами ИЭЭ и рассеяния, образующимися в результате автоионизационного механизма распада возбужденного состояния атомов неона, отраженных от поликристалла и монокристалла никеля.

Полученные результаты важны как для понимания физики процессов, сопровождающих взаимодействие ионов с твердотельной мишенью, так и для практического применения. Они открывают новые возможности анализа состава и структуры поверхности по рассеянию ионов и ИЭЭ, для применения методов ионной бомбардировки при изучении физики твердого тела, эмиссионных явлений и др.

Защищаемые положения.

1. Двухканальная установка с масс-энерго-анализаторами заряженных частиц в каждом канале, сопряженная со схемой совпадений, позволяет получать качественно новую информацию о процессах взаимодействия заряженных частиц с твердым телом.

2. Вблизи температуры фазовых переходов I и II рода для никеля и кобальта наблюдаются осцилляции температурной зависимости выхода рассеянных ионов неона с начальной энергией

5 кэВ.

3. Корреляционные зависимости между электронами и рассеянными ионами, возникающими при бомбардировке мишени из никеля ионами неона с энергией 3-8 кэВ, позволяют выделить автоионизационный механизм рождения этих частиц, связанный с распадом перевозбужденного состояния рассеянного атома неона.

Диссертационная работа состоит из введения, пяти глав, заключения, списка литературы.

Заключение диссертации по теме «Физическая электроника», Дубский, Геннадий Алексеевич

§5. Выводы к главе У

1.Получены энергетические распределения рассеянных на моноид поликристалле никеля ионов неона и электронов ИЭЭ при бомбардировке мишени первичным потоком ионов с энергией 5 кэВ.

2.Иденцифицированы пики энергетического спектра электронов с энергией 24 и 27 эВ, соответствующие автоионизационному механизму образования рассеянных ионов неона при распаде возбужденных состояний (2р^3 2)IS и (,2рЪ 2)XJ) .

3.Получены пространственные распределения электронов с энергией 27 эВ и рассеянных ионов неона с энергией 1408 эВ на поли- и монокристалле никеля, образовавшихся в результате автоионизации рассеянных атомов неона. Выявлена сильная анизотропия выхода электронов с энергией 27 эВ и ионов с энергией 1408 эВ.

4.Получена угловая корреляционная зависимость между рассеянными ионами неона с энергией 1408 эВ и электронами с энергиями 27 эВ для поли- и моиокриспаллической поверхности никеля. Установлено, что число корреляционных пиков соответствует числу пиков в пространственном распределении ионов неона с энергией 1408 эВ.

5.Исследовано поведение корреляционной зависимости от энергии первичного пучка ионов. Показано, что при изменении энергии первичного пучка угловое положение и интенсивность корреляционных пиков меняются.

6.Исследовано влияние магнитного фазового перехода на вид угловой корреляционной зависимости, полученной для монокристалла никеля. Выявлено, что ферромагнитное и парамагнитное состояние рассеивающей поверхности по разному влияет на процессы автоионизации рассеянных атомов неона.

ЗАКЛКЯЕНИЕ

В диссертационной работе проведены исследования дифференциальных и интегральных характеристик рассеяния и ИЭЭ 3 - переходных металлов Со и Ni с помощью разработанной и созданной многоканальной экспериментальной установки, имеющей высокоразрешающие энерго-масс-анализирующие системы. Эти исследования позволили выявить ранее неизвестные аномалии в поведении тока рассеянных на поликристалле Со и Ш ионов вблизи температур, соответствующих фазовым переходам I и II рода.

С помощью быстродействующей техники совпадений, входящей в состав экспериментальной установки, было прослежено одновременно образование рассеянных ионов неона и электронов при ИЭЭ определенной энергии и направлений вылета. Получены угловые корреляционные кривые и прослежена их эволюция при изменении кристаллографии и магнитного состояния мишени, и энергии ионов первичного пучка.

Из проделанной работы можно сделать следующие выводы:

1. Впервые создана двухканальная экспериментальная установка со схемой совпадения, позволяющая проводить комплексные исследования процессов образования вторичных ионов и электронов, возникающих при бомбардировке ионами поверхности твердого тела.

2. Проведено одновременное исследование процессов рассеяния и ИЭЭ кобальта и никеля при бомбардировке ионами неона с энергией 5 кэВ. Получены энергетические и пространственные

-Шраспределения отраженных ионов и электронов.

3. Обнаружена анизотропия в пространственном распределении ИЭЭ и отражения ионов (для фиксированных энергий электронов и ионов) при взаимодействии ионов неона с поверхностью поликристаллического никеля и кобальта.

4. Получены энергетические спектры электронов, выходящих при бомбардировке никеля и кобальта ионами неона. Спектры содержат большое число пиков, часть из которых связана с автоионизационным механизмом образования электронов и рассеянных ионов.

5. Проведено одновременное исследование рассеяния и ИЭЭ при фазовых переходах I и II рода в кобальте и никеле и установлена корреляция в температурных зависимостях этих процессов.

6. Обнаружены осцилляции температурной зависимости выхода отраженных от никеля и кобальта ионов неона с энергией

5 кэВ вблизи температур фазового перехода.

7. Впервые применен метод совпадений для исследования взаимодействия атомных частиц с твердым телом. Методом совпадений установлены корреляционные зависимости i - № между рассеянными никелем и ионами неона с Е = 1408 эВ и электронами с Ее= 27 эВ, образующимися в результате автоионизационного механизма распада возбужденного состояния рассеянного атома неона.

-1U

8. Обнаружено качественное изменение корреляционной зависимости L - L? при увеличении энергии бомбардирующих ионов неона с 3-х до 7-ми кэВ.

9. Получена корреляционная зависимость t - ie для случая бомбардировки грани (III) никеля ионами неона с энергией 5 кэВ, обладающая более сложной структурой, чем для поликристалла.

10. Исследовано изменение корреляционной зависимости для грани (III) л/it при переходе никеля из ферромагнитного в парамагнитное состояние. Установлено, что наибольшее изменение представляет пик, соответствующий выходу ионов неона вблизи открытого канала [iQO] .

Б заключении хочу выразить глубокую благодарность научным руководителям- Вере Евгеньевне ^расовой и Льву Борисовичу Ше-лякину за предложенную интересную и перспективную тему, и внимательное руководство; В.А. Абраменко, Г. Шаршмитдту, Н.М. Пер-сианцевой, С.В. Губину за активное участие в создании установки и получении экспериментальных результатов; О.Б. Фирсову, В.Г. Неудачину, L.B. Мартыненко, B.C. Сенашенко и Е.Е. Никитину за обсуждение результатов этой работы.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Дубский, Геннадий Алексеевич, 1984 год

1. Brunnee С. Uber die 1.nenreflexion und Sekundarenenemission beim Aufreffen von(Alkaluonen auf reine Molybdan-Oberflachen, Zs. fur Phys.J 1957. Ift2, 161.

2. Панин Б.Б., Взаимодействие атомных частиц средних энергий10.100, кэБ) с твердыми телами, МТФ, 1962, 42, 313.

3. Smith D.P. Scattering of Low-Energy Noble Gas Ions from Metal Surface, J. Appl. Phys., 1967» £8, 340.

4. Strehlow W.H., Smith D.P., Determination of the crystallogra-phic polarity of CdS by ion scattering, Appl. Phys. Lett., 1968, 34.

5. Smith D.P., Analysis of surface composition with low-energy backscattered ions, Surf. Sci., 1971» 2£, 171.

6. Пашкова E.G., Молчанов Б.А., Рассеяние ионов средних энергий поверхностью твердых тел, "Атомиздат", М., 1980.

7. Кишеневский JI.M., Ионизация и нейтрализация быстрых атомных частиц, покидающих поверхность металла, Изв. АН СССР, сер, физ. 1974, 38, 392.

8. Ball D.J., Buck Т.М., MacNair D., The energy spectrum of ejected atoms during the higt energy sputtering,Surf. Sci.,1972, 20, 69.

9. Buck T.M., Ball D.J., Energy spectra of 6-32 keV neutral and ionized Ar and He scattered from Ru targets; ionized fraction as funtion of energy,Surf. Sci., 1У75» 4Z, 244.

10. Нижняя СЛ., Парилис Э.С., Фергелер В.Х., Степень ионизации атомов при рассеянии в полуканалах и на адсорбированных молекулах на поверхности монокристалла, Поверхность, 1981,№4, 79.

11. Williams P., The sputtering process and sputtered ion emission, Surf. Sci., 1979» 20, 58818. Snowdon K.J., MacDonald R.J., Secondary ion energy spectraof policristalline transition metals and aluminium, Int.

12. Jour, of Llass Spectr. and Ion Phys., 1978, 28, 255.

13. Bayly A.R., MacDonald R.J., The spattering process and energy spectra of transition metals, Had. Eff., 1977, jj>4» 169.

14. Blaise G., Slodzian G. Distribution energetiques des ion secondaires, Rev. Phys. Appl., 1973» 8, 105.

15. Jurela Z., Energy distribution of secondary ion from 15 poly-crystalline targets, Rad. Eff., 1973, 12» 175*

16. Benninghoven A., Mueller A., Surface investigation on solids by the statical method of secondary ion mass-spectroscopy, Surf. Sci., 1973, 427.

17. Hennequin J., Distributions energetique et angulaire de Remission ionique secondare, Jour. Phys., 1968, 22, 957.

18. Slodzian G., Hennequin J. Sur 16mission ionique secondaire des metaux en presence doxygene, C. r. Paris, 1966, B2631 1246.

19. Фогель Я.М., Слабоспицкий P.П., Карнаухов И.М., Масс-спектро-метрические исследования вторичной положительной и отрицательной ионной эмиссии, возникающей при бомбардировке поверхности молибдена положительными ионами, Ж, I960, 30, 824.

20. Bradley R.O., Secondary positive ion emission from metal surfaces, J. Appl. Phys., 1959» 20, 1.

21. Wehner G.K., Sputtering yields for normally incident Hg+ ion bombardment at low ion energy, Phys. Rev., 1957, 108, 35.

22. Лебедев С.Я., Стависский B.C., Шутько Ю.В., Катодное распыление при бомбардировке ускоренными ионами цезия, Изв. АН СССР, сер. физ. 1964, 28, 1488.

23. Плешивцев Н.В., Катодное распыление, Атомиздат, 1968.

24. Уманский Я.С., Скаков D.A., Физика металлов, "Паука", М.,1978, с.210.

25. Черныш B.C., Температурные Эффектн при взаимодействии ионных пучков с монокристаллами, Лисс. канд. физ.-мат. наук МГУ, 1975.

26. Бачурин В.И., Черныш B.C., Широков А.В., Шмелев А.Б., Вторичная ионная эмиссия никеля, кобальта и инвара вблизи точек, фазового перехода, Поверхность, Гб, 1982, 110,37* Andersen С.A., Hinthorn© J.К., Ion microprobe mass analyzer, Science, 1972, 853.

27. Thomas G., Kluzenuaar E., A chemical effect on leght emission from ion- bombardment copper and aluminium surface, Int. J. Mass Spectrom. Ion. Phys., 1974, v. 15» 2.

28. Williams P., Evans C., Anomalous enhancement of negative sputtered ion emission by oxyden,J. Surf. Sci.,1978, 78,324.

29. Tsong Y*, Yu sut N., Appl. Phys. Lett., 1978,22, 999» Absolute photpn yields in the sputter-induced optical emission process.

30. Guenot D., Diplome d'Etudes Superieures, ursay, France, 1%6

31. Blaise G., SlodzianG., Evolution des rendementes, de 1*emission ionique des alliages avec la natur du solute. 1. Resultats experimentaux, 2. Resultats Theory, 1974, ^43.

32. Sroubek Z., A quantum-mechanical model for ionisation and excitation of atom during sputtering, Surf.Sci., 1974, 44, 47.5U. Schroeer J.M., A quantum-mechanical model for atom during sputtering, Surf. Sci., 1973» 571 •

33. Cini M., A new theory of sims at metal surfaces, Surf. Sci., 1976, %t> 71.

34. Antal J., On the quantum theory of the emission of secondary ions, Phys. Lett., 1976, £4, 281.

35. Andersen G.A., Hithorne j., Progress in analytic methods for the ion microprobe mass analyzer, Jour. Anal. Ghem., 1973, 4£,1421.

36. Morgan A., Werner H., Un the use of the Saha- Eggert equa-tionfor SIMS analysis, Anal. Ghem., 1976, 48, 6У9.-М

37. Bayly A., MacDonald R., The energy spectra of secondary ions emitted daring ion bombardment, 1978, jj>6, 242.

38. Snowdon K., MacDonald R., Secondary ion energy spectra of polycrystalline transition metals and aluminium, Inter. Jour, of mass spect. and ion phys., 1978, 28, 255.

39. Dennis E., MacDonald R., The energy spectra of sputtering ions, Rad. Eff. , 1972, Щ, 24558) Joyes P., Ion surface interaction, Sputtering and relatedphenomena, edited by R. Bhrisch. (Gordon and Breach, London) 1975, 159.

40. Martin P., Bayly A., MacDonald R., J.Kelly, Surf. Sci. 1976, 60, 549. De-excitation processes near the surface of ion bombarded Si02 and Si.

41. Adler D., Solid State Physics, 1968, 21, 1.

42. Hennequin J., Joyes P., Oastaing R., Emission d*electrons par desexcitation Auger d'atomes ejectes d'une cible metal-lique par pulverisation cathodique, 0. r. Paris, 1967, В265» 512.

43. Lesegno P.V., Joyes P., Sur la intensites relatifes d'emis-sion d'electrons Auger par less metaux legers sounns a un bombardment ionique, G.r. Paris, 1972, 275» B95.

44. Hennequin J., Emission dfelectron Auger par les atomes d'une cible metallique soumis a bombardment ionique, Jour, de Phys. 1968, 22, 1053.

45. Hennequin J., besegno p., Distribution energetique des electrons Auger emis par les metaux legers soumis a un bombardment ionique, C.R. Paris, 272, В 1259, 1971.

46. Slater J., One-electron energies of atoms, molecules and solids, Phys. Rev., 1955 , 2§» Ю39

47. Hagstrum H.D., Theory of Auger ejections of electrons and from metals by ions, Phys. Rev., 1954, 2i> 35669) Принцева H.B., Рахимов P.P., труды Второго всесоюзного симпозиума: Взаимодействие атомных частиц с твердым телом, Москва, 1972.

48. Дорожкин А.А., Петров Н.П., Оже-электроны при ионном облучении химических соединений, Поверхность, 1982, № 9, 65.

49. Сошка М., Сошка В., Ионно-электронная эмиссия с поверхности магнитных сплавов, в кн.: Взаимодействие атомных частиц с твердым телом, Мат. 1У Всесоюз. конф., Минск, 1981.

50. Машкова Е.С., Молчанов В.А., Ионно-электронная эмиссия изпри высоких температурах, 1974, 44, № I, 301.

51. Soszka W., Stepin Т., Ion-electron emission on transit from Curie temperature, Acta Phys. Pol. 1979, A56, 911.

52. Дорожкин A.A., Петров Н.П., Автоионизационные явления при взаимодействии частиц с поверхностью, в кн. Автоионизационные явления в атомах, П научный семинар, Москва, МГУ, 1981, с. 209.

53. Joyes P., Rad. Eff. 1973» v. 29, 235»-14076) Joyes P., Hennequin J., (Temps de desexcitation Auger d,un trou cree par bombardement ionique sur un niveau electron-ique lie d*un atome du metal irradie, Jour, de Phys. 1968,29, 485.

54. Кораблев Б.В., в кн. Электронная Оже-спектроскопия, Л. из-во ЛПИ, 1973.

55. Микушкин В.М., Огурцов Г.Н., Флакс И.П. Экспериментальное определение энергий автоионизационных состояний иона неона, в кн. Автоионизационные явления в атомах, П научный семинар, Москва, МГУ", 1981, с. 145.

56. Зандерна А., Методы анализа поверхности, "Мир", М., 1978.

57. Черепин В.Т., Майферт Ю.П., Локальный анализ концентрационных распределений элементов в твердых телах методом масс-спектральной микроскопии, Препринт, ИМФ, АН УССР, 71.8 Киев, 1971.

58. Каминский М., Атомные и ионные столкновения на поверхности металла, "Мир", М., 1967.

59. Афросимов В.В., Гордеев Ю.С., Ионизационные явления в газах, СЕРМА, Париж, 1964.

60. Kessel Q., Morgenstern R., Muller В., Angular correlation between autoionization electrons and scattered ion in 2000 eV He+ — He collisions, Phys. Rev., 1979, A20, N 3, 804.

61. Boskamp E., Giebling 0., Morgenstern R., Nienhuis G., Angular correlation between autoionisation electrons from Ne (гр^Зз2)^ and scattered ions in He+ — Ne collisions, Jour, of Phys. "В", At And Mol. Phys., 1982, 1j>, N 20, 3745.

62. Brandt D., Resonant transfere and excitation in ion-atom collisions, Phys. Rev. "A" Gen. Phys., 1983, 2£, N 3, 1314.- 1Н

63. Шаршмидт Г. Особенности процесса распыления ГЦК-металлов; Дисс. кнд. физ.-мат. наук, МГУ, 1983.

64. Niwa У., Nishimura Т., Noroye Н., Tshuhiya Т.,Photoelectron-photoion coincidence spectrometer with double field TOFmass analysis, J. of Mass Spect. and Ion Bhys. ,1979»30. 63.

65. HubbellH., Herzog R., Sputtering ion source for solids, Jour.APPl. Phys., 1963, 21. 2893.

66. Миньков И.1.1., Повышение разрешающей способности сферических анализаторов, Ж,-1962, 32, 12, 1409.

67. Козлов И.Г., Методы энергетического анализа электронных п от ок о в, Ат оми з д ат , М., 19 71.

68. Абраменко В.А., Дубский Г.А., Шелякин Л.Б.,Компактный эннер-го-масс-анализатор, Мат Бсес. сем. Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия, Харьков, 1983, с.285,

69. Вилдгрубе Г.С., Айбунд М.П., Даниленко И.К., Дунаевская И.В., Умножители с непрерывным динодом, Электронная техника,1. Сер. 4, вып.4,1968, с.З.

70. Айбунд М.П., Дунаевская И.В., Электронный умножитель' с открытым выходом, Электронная техника,Сер.4f вып.4, 1968,с.45.

71. Wright W.H., Calibration of Satellite-Borne Soft Particle Spectrometer, Rev. Sci. Inst., 1968, 22» 1909.-т

72. Egidi а. , Marconero R. , Channeltron Fatique and Efficiency for Protons and Electrons, Rev. Sci. Instr., 1969, 40, 88.

73. Bennani A.L., Pebay J., Nguyen В., Mesure absolue de l'effi-cacite de detection des electrons pas un multiplicateur tu-bulaire (Ghanneltron), J. Phys. Exp., 1973, 6, NS-15, 556.

74. Sharber J.R., Winningham J.D., Sheldon W.R., A directional low energy electron detector employing channel electron multipliers, "IEEE Trans. Nucl. Sci.", 1968, NS-15, 636.

75. Зинченко И.О., Курс лекций по электронной оптике, йз-во ХГУ, 1961.

76. Wheeler A., Structure and Properties of Solid Surface, University of Chicago Press, 1955, 439, 455.

77. Trapnell B.M.W., Chemisorption, New-York-London, 1965.

78. Alme O.E., Collection and sputtering experiments with noble gas ions, Nucl. Instr. and Meth., 1961, 11., 257.

79. Almen O.E. ,, Bruce G., Sputtering experiments in the high energy region, Nucl. Inst, and Method., 1961, Ц, 279.

80. Werner H.W., Vacuum, 1972, 22, 613, Instrumental aspects of secondary ion mass spectrometry and secondary ion imaging mass spectrometry.

81. Morrison J.H., SlodEian J". Anal. Chem. 1975, 4Z, 932A. The theory aspects of secondary ion mass spectrometry.

82. Ю7) Рехин Е.И., Метод совпадений, Атомиздат, М., 1979.

83. Bassett P.J., Gallon Т.Е., Prutton N., A high energy resolution Auger electron spectrometer using concentric hemispheres, Sci. Instr., 1972, 1008.

84. Slodzian G., In secondary ion mass spectrometry, edited by K.P.J., Heinrich (NBS publication No. SP-427, 1975).

85. Париже E.C., Тураев Н.Ю., К теории отражения ионов и атомов от поверхности твердого тела, Докл. АН Уз ССР, 1965,161, t$4.

86. Свойства металлов и сплавов, часть I, Физ, свойства, пой ред. Самсонова Г.В., " Иеталлургия", М., 1976.

87. Хэгструм X., Оке-нейтрализация. В кн. Электронная спектроскопия твердых тел, "Мир", М., 1981, с.323, 354.

88. Атлас Оже-спектров спектрометра "ВАРИАН", 1975.

89. Siegbahn K.,Norling С., Fahiman A., Atomic, molecularand Solid State structure studied by means of electron spectroscopi, ESGA, UPPSALA,1967.

90. Bearden J.A., Burr A.F., Sputtering yield measurment, Rev.

91. Mod. Phys., 1967» IS» 1*5?

92. Sigmund P., Collision Theory of displacement aainag. 5.-Some aspects of sputtering, Rev. Roum. Phys., 1972,1Z,1u79.

93. Fluit J.,Friedman L., Snoek C., Kistemaker J., Foton and metastable atoms rormed by sputtering (,5-20 keV), Int. Conf. of Ionisational Phenomena in (jasses, Amsterdam, 1962.

94. Новикова С.И», Термическое расширение твердых тел,1. Наука", Ы., 1974,с.284.

95. Sigmund P., Theory of Sputtering,

96. Phys. Rev., 1969, 184, 383.123. харламочкин E.G., Кинетика распыления аморфного и кристаллического вещества, Дисс. канд. физ.-мат. н. МГУ, 1983.

97. Добрецов Л.Н., Гомоюнова М„В., Эмиссионная электроника, "Наука", М., 1966, 195.

98. Mott N.F., Jones Н., The Theory of properties of metals and alloys, Oxford, 1966.

99. Бобашев С.В., Амусья М.Л., Шейнерман С.А., Влияние автоионизационного уровня неона на интенсивность линии /V^IT А =40,71 нЫ при столкновении № . , Труды II науч. сем.- Автоионизационные явления в атомах, Москва, 190I, с.302.

100. Пономарев Б.К., Тиссен В.Г., Намагниченность никеля в поле ло 3? кЭ при температурах ло 700К, Ш'Ф, 1977, 73, 332.

101. Поташинский , Покровский , Флуктуационная теорияфазовых переходов, " Наука", М., 1982.

102. Карпова Е.Е. Особенности распыления лантанидов при магнитном фазовом переходе, £исс. канд. физ.-мат. наук, МГУ, 1984.

103. Борн Н., Прохождение атомных частиц через вещество, Перевод с анг., "Мир", М., I960.

104. Hagstrum H.D., Scatering of noble gases ions by solidssurface, Phys.Rev., 1961,122, 758.

105. Петров H.H., Вторичная эмиссия с раскаленного металла поддействием ионов цезия и калия, ФТТ, I960, 2, 9 40.

106. Френкель Я.И., Введение в теорию металлов, "Наука", JI., 1972, с.396.

107. Ziman J.M., The physics of metals, Cambridge, atthe University Press, 1969*

108. Harrison 7/., Solid State Theory, McGraw-Hill Book Company, 1970.

109. Крэкнелл А., Уонг К., Поверхность Ферми, Атомиздат, III.,1978.

110. Kittell С., Quantum Theory of Solids, ITeley New-York,1963.

111. T38. Абакумов А.И., Васильев Ы.А., Косячков A.A., Кувакин M.B., Черепин В.Т., Черншп B.C., Особенности распыления металлов при магнитном фазовом перехоле, Письма в л.УТФ, 1975, I, 945.

112. Шульга В.И., Расчет на OBIi отражения ионов и распыления монокристаллов, Цисс. кащг. физ.-мат. наук, ИГУ, IS71.

113. Schroeer J.M., Rhodin T.N., Bradley R.C., A quantum mechanical model for the ionisation and excitation of atomsduring sputtering, Surf. Sci., 1973> J54, 571»

114. Schroeer J.M., Calculation from first principles of the yield ions and excited neutral atoms sputtered frommetal, Surf. Sci., 1973} 485.

115. Фирсов О.Б., Качественная трактовка средней энергии возбуждения электронов при атомных столкновениях, л.ЗТФ, 1959, 36, 1517. Кишиневский Л.М., Неупругие потери и сечение ионизации, Изв. АН СССР, сер. физ., 196Я, ?6, 1410.