Эмиссия фотонов при взаимодействии электронов и ионов с поверхностью металлов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.04, доктор физико-математических наук Поп, Степан Степанович

• Поп, Степан Степанович
• доктор физико-математических наук
• 1984

Оглавление диссертации доктор физико-математических наук Поп, Степан Степанович

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА I. МЕТОДИКА ИССЛЕДОВАНИЙ И АППАРАТУРА.

1.1. Введение.

1.2. Установка для исследования электрон-фотонной эмиссии металлов

1.2.1.Камера взаимодействия

1.2.2.Источник электронов

1.2.3.Гониометрическое устройство

1.2.4.Система анализа и детектирования излучения

1.3. Установки для исследования ионно-фотонной эмиссии.

I.3.1.Общие схемы установок

1.3.2.Источники ионов "

1.3.3.Аппаратура айалийа и детектирования излучения

1.4. Методики измерения основных характеристик ЭФЭ 44 I.4.1.Основные определения

1.4.2.Измерение интенсивности и спектрального состава излучения

1.4.3.Измерение поляризационных характеристик

1.4.4.Измерение угловых характеристик

1.4.5.Измерение зависимостей от энергии и плотности тока электронов

1.4.6.Подготовка образцов.

1.5. Методики исследования основных характеристик

1.5.1. Общие сведения

1.5.2.Измерение интенсивности излучения и эмиссионных спектров

1.5.3.Измерение распределения интенсивности по ореолу свечения

1.5.4.Измерение скоростей вторичных возбужденных частиц.

1.5.5.Измерение выхода фотонов в зависимости от энергии, массы, плотности тока и сорта первичных ионов

1.5.6.Измерение динамических характеристик ИФЭ металлов при окислении

1.5.7.Измерение температурных зависимостей

1.5.8.Методика измерений с участием многозарядных ионов.

1.5.9.Подготовка мишеней

1.6. Абсолютные измерения интенсивноетей в близкой ультрафиолетовой и видимой областях спектра

I.6.1.Относительные измерения

1.6.2.Учет поляризующей способности аппаратуры

1.6.3.Абсолютные измерения

1.6.4.Ошибки измерений

ГЛАВА 2. РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЙ ЭЛЕКТРОННО-ФОТОННОЙ

ЭШССШ'ШТАЛЛОВ'.

2.1.Состояние вопроса.

2.2. Спектры оптического излучения

2.2.1.Благородные металлы

2.2.2.Тугоплавкие металлы

2.2.3.Зависимость от энергии и плотности тока возбуждающих электронов.

2.3. Абсолютная величина интенсивности ЭФЭ.

2.3.1.Зависимость от материала мишени

2.3.2.Зависимость от параметров электронного пучка.

2.4. Угловые характеристики.

2.4.1.Зависимость спектрального состава излучения от угла его наблюдения и угла падения электронов на мишень.

2.4.2.Угловые зависимости интенсивности излучения

2.5. Поляризационные характеристики

2.5.1.Степень поляризации излучения и ее спектральная зависимость.

2.5.2.Зависимость интенсивности поляризованного излучения и степени его поляризации от угла наблюдения.

2.6. Выводы.

ГЛАВА 3. ОСНОВНЫЕ МЕХАНИЗМЫ ЭЛЕКТРОННО-ФОТОННОЙ ЭМИССИИ

МЕТАЛЛОВ.

3.1. Введение.

3.2. Поверхностно-тормозное излучение

3.3. Излучательный распад поверхностных плазмонов

3.4. Межзонная излучательная рекомбинация

3.5. Электронно-фотонная спектроскопия - метод исследования свойств приповерхностных слоев твердого тела.

3.5.1. Изучение энергетической структуры.

3.5.2.Изучение адсорбционных процессов.

3.6. Выводы.

ГЛАВА 4. РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЙ И ЗАКОНОМЕРНОСТИ

И0НН0-Ф0Т0НН0Й ЭМИССИИ ЧИСТЫХ И ПОКРЫТЫХ КИСЛОРОДОМ ПОВЕРХНОСТЕЙ МЕТАЛЛОВ.

4.1. Состояние исследований

4.2. Эмиссионные спектры

4.2.1.Спектры At , Be , Щ и in.

4.2.2.Спектры Си., , Ац , Со , At f Р* и Sn,.

4.2.3. Спектры Мо , Та ш W.

4.2.4.Влияние сорта, заряда и энергии первичных ионов.

4.2.5.Влияние периодической структуры мишени

4.2.6.Спектры частиц первичного пучка

4.3. Зависимость выхода фотонов от температуры мишени.

4.3.1.Влияние имплантированных частиц первичного пучка на ИФЭ.

4.3.2. ИФЭ при полиморфном и магнитном превращении металлов.

4.4. Влияние состояния поверхности на интенсивность ИФЭ.

4.4.1.Зависимость интенсивности линейчатого излучения от давления кислорода

4.4.2.Влияние адсорбированного, имплантированного и растворенного в металле кислорода на ИФЭ . . 253 4.4.3. Зависимость выхода фотонов от плотности тока первичных ионов.

4.5. Зависимость выхода фотонов от энергии первичных ионов

4.5.1.Функции эмиссии для атомных линий.

4.5.2.Функции эмиссии для ионных линий

4.6. Скорости вторичных возбужденных частиц

4.6.1.Средние скорости вторичных частиц первичного пучка

4.6.2.Скорости возбужденных распыленных атомов металлов.

4.6.3.Влияние состояния поверхности металла на скорость распыленных возбужденных частиц

4.7. Абсолютные величины выхода фотонов для чистых и покрытых кислородом поверхностей металлов

4.7.1.Зависимость от материала мишени и состояния ее поверхности.

4.7.2.Влияние матрицы на вероятность возбуждения распыленных атомов примеси

4.7.3.Заселенности возбужденных состояний распыленных атомов.

4.8. Выводы.

ГЛАВА. 5. МЕХАНИЗМЫ И0БН0-Ф0Т0БН0Й ЭМИССИИ.

5.1. Введение.

5.2. Общие представления о процессах и механизмах образования возбужденных вторичных частиц

5.3. Идентификация основных механизмов ИФЭ металлов

5.4. Квантовомеханическая модель возбуждения распыленных атомов

5.4.1.Анализ теоретических работ

5.4.2.Исходные положения модели.

5.4.3.Учет процессов нерадиационного девозбуждения.

5.4.4.Учет других электронно-обменных процессов

5.4.5.Выбор возмущающего потенциала и модельных параметров.

5.5. Кинетический механизм формирования возбужденных состояний атомов

5.6. О применимости термодинамического подхода к описанию ИФЭ

5.7. Природа излучателей молекулярных полос

5.8. Ионно-фотонная спектроскопия - метод диагностики поверхности.

5.8.1.Состояние вопроса

5.8.2.Физические принципы. Качественный и количественный анализ.

5.8.3.Послойный анализ.

5.8.4.Исследование процессов на поверхности

5.8.5.Достоинства и недостатки метода

5.9. Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Эмиссия фотонов при взаимодействии электронов и ионов с поверхностью металлов»

Диссертация посвящена экспериментальному исследованию явлений оптического излучения при взаимодействии электронов и ионов малых и средних энергий с поверхностью металлов.

Быстрое развитие ряда областей современной науки, в которых важно знание явлений и процессов, протекающих в приповерхностных слоях вещества при облучении его поверхности потоком заряженных частиц, требует все более детального изучения закономерностей и механизмов вторично-эмиссионных явлений, разработки совершенных методов их исследования. Фундаментальные знания о микроскопической природе этих специфических явлений необходимы для решения актуальных проблем в таких областях науки и техники как физика и химия плазмы, физика твердого тела, физическая электроника, мик-* роэлектроника, материаловедение и т.д. |l-I9]. В этом аспекте явления эмиссии фотонов при бомбардировке металлов электронами и ионами, относящиеся к вторично-эмиссионным явлениям, занимают среди них важное место. Излучение, испускаемое при ионной бомбардировке твердого тела, содержит информацию как о нейтральных, так и об ионизированных вторичных частицах (в т.ч. атомных,молекулярных и полиатомных) не в интегральном виде, как это имеет место при изучении катодного распыления или вторичной ионной эмиссии, а в дифференциальном - каждой частоте фотонов соответствует определенное электронное состояние, которое вторичная частица данного сорта и зарядности получает в процессах взаимодействия первичного иона с поверхностью и при отлете от нее. Характеристики этого излучения зависят от физико-химических овойств поверхности, влияющих на процессы формирования квантовых состояний отлетающих частиц, поэтому важно выявить их взаимосвязь. Из

- 9 лучение, испускаемое при облучении поверхности электронами, дополняет эту информацию сведениями об излучательных процессах релаксации возбужденных состояний электронной системы самого материала мишени, существенно обогащая наши знания о каналах потерь энергии первичных электронов в веществе, а, следовательно, о поверхностных и объемных свойствах твердого тела. Получение аналогичных сведений при ионной бомбардировке затруднено необходимостью использования достаточно быстрых частиц (сотни и более кэВ), сильно распыляющих поверхность и образующих дефекты в значительном по толщине слое. Таким образом, новая информация, которую дает изучение эмиссии фотонов при электронной и ионной бомбардировке поверхности твердого тела, позволяет не только составить представление о механизмах формирования электронных состояний распыленных и рассеянных частиц различной заредности,об элементарных процессах возбуждения и радиационного распада одно-частичных и коллективных возбуждений электронных состояний металла, но также способствует расширению и углублению понимания механизмов других эмиссионных явлений: катодного распыления,вторичных ионной и электронной эмиссии, фотоэлектронной эмиссии и др. Немаловажно и то, что знание характеристик и механизмов данных явлений стимулирует теоретические исследования, дает возможность апробировать различные модели.

Интенсивное изучение эмиссионных явлений при взаимодействии электронов и ионов с твердым телом в значительной мере связано с совершенствованием имеющихся, а также разработкой новых методов диагностики поверхности и исследования физико-химических процессов, протекающих в приповерхностных слоях веществ. Растущий интерес к таким методам обусловлен чрезвычайно возросшей ролью поверхности в современном приборостроении, основанном на использовании поверхностных свойств твердого тела; приготовлении и обра

- 10 ботке в вакууме материалов с новыми структурами и свойствами.Постоянное увеличение сложности и уменьшение размеров электронных устройств, особенно изделий твердотельной электроники и интегральной оптики, потребовало разработки новых технологий, успешное создание которых немыслимо без глубоких знаний того, что собой представляет граница твердое.тело - вакуум (или плазма), каковы ее состав, структура, электронное строение, динамические характеристики и т.п. Таким образом, потребности современной науки и техники в понимании процессов взаимодействия заряженных частиц с твердым телом привели к быстрому развитию диагностических методов и разработке оборудования, что, в свою очередь, создало предпосылки для получения знаний об этих процессах на качественно новом уровне. Часть методов, созданных на основе вторично-эмиссионных явлений, уже широко используется в различных областях науки и техники. Это, например, вторичная ионная масс-спектрометрия (БИМС), электронная Оже-спектроскопия (ЭОС),рентгеновская и ультрафиолетовая фотоэлектронные спектроскопии (РФЭС и УФЭС), дифракция медленных электронов (ДМЭ) и многие другие [4-8, 14-19]. Некоторые методы находятся лишь в стадии разработки и определения возможностей их практического применения. К последним относятся и оптические методы, которые развиваются на основе изучаемых в данной работе явлений [20-22]. Выполненные исследования показывают перспективность использования этих методов, дающих очень тонкую информацию о процессах на поверхности и в приповерхностных слоях толщиной 1-2 нм и меньше (главы 3,5).

Отметим, что к началу 70-х годов (т.е. к началу исследований автора) считалось, что при бомбардировке поверхности металла электронами и ионами сравнительно низких энергий свечение вообще не должно наблкдаться. Предполагалось, что наблвдаемое все же из

- II лучение обусловлено загрязнениями поверхности, и его следует отнести к известным явлениям катодо- или ибнолюминесценции. Выполненные к тому времени немногочисленные исследования были ограничены и разрознены по объектам и методикам, а, главное, по технике эксперимента, которая не обеспечивала необходимой чистоты вакуумных условий, ограничивала спектральный диапазон наблвдаемого излучения и др. Лишь после середины 70-х годов, благодаря возрастающему числу исследований (в т.ч. и работ автора), выполненных в сверхвысоковакуумных условиях с использованием светосильных спектральных монохроматоров для широкого диапазона длин волн и малошумящих высокочувствительных детекторов излучения, были получены убедительные доказательства того, что явления испускания фотонов при облучении металла электронами и ионами - это новые эмиссионные явления, на основе которых могут быть развиты весьма соверпенные диагностические методики, В отечественной литературе эти явления получили названия электронно-фотонная и ионно-фотонная эмиссии (ЭФЭ, Ш>Э), а развиваемые на их основе методы -электронно-фотонная и ионно-фотонная спектроскопии (ЭФС, ШЗ), соответственно. Для успешного развития этих методов требовалось знание физической природы и закономерностей лежащих в их основе явлений.

Целью работы являлось экспериментальное исследование основных закономерностей и механизмов явлений электронно-фотонной и ионно-фотонной эмиссий металлов, выявление связи изучаемых характеристик и процессов со свойствами атомной, кристаллической и электронной структуры материала мишени, состояния ее поверхности. При этом ставились следующие основные задачи:

- создать комплекс экспериментального оборудования и методик для исследования качественных и количественных характеристик

- 12 явлений ЭФЭ и Ш>Э металлов в условиях сверхвысокого вакуума;

- исследовать интенсивность, спектральный состав и поляризацию излучения в широком диапазоне длин волн (20-800 нм для ШЭ и 200-800 нм для ЭФЭ) для металлов с различными физико-химическими свойствами;

- исследовать зависимость характеристик ЭФЭ от энергии, плотности тока, угла падения электронов и от угла наблкдения излучения, а для ИФЭ от энергии, плотности тока, сорта и заряда первичных ионов;

- изучить зависимость качественных и количественных параметров явлений от материала мишени, состояния ее поверхности, температуры и кристаллической структуры;,

- определить вероятности возбуждения в различные состояния вторичных атомов и скорости их отлета от чистой и покрытой кислородом поверхности металла при бомбардировке различными ионами;

- идентифицировать основные механизмы ЭФЭ и характеристического излучения ШЭ металлов, дать возможную теоретическую интерпретацию наблюдаемых экспериментально закономерностей на основе существующих и развитых в работе моделей исследуемых явлений.

Результаты систематических исследований ЭФЭ изложены в главе 2. Приведены экспериментальные данные: а) об абсолютной величине интенсивности излучения и ее спектральном распределении в интервале длин волн от 200 до 830 нм для моно- и поликристаллов благородных и тугоплавких металлов; б) о зависимостях степени поляризации излучения от материала мишени, длины волны и угла наблкдения излучения; в) о зависимостях интенсивности излучения от энергии и угла падения бомбардирующих электронов, а также от угла его наблвдения;г) о зависимостях спектрального состава излучения от чистоты поверхности и от весовой толщины пленок.

- 13

Анализ полученных экспериментальных данных по ЭФЭ металлов позволил установить (см.главу 3), что возбуждаемые электронами малых и средних энергий одночастичные и коллективные состояния электронной системы металла с определенной вероятностью релакси-руют излучательно. Изучены особенности радиационного распада поверхностных мод плазменных возбуждений в серебре, вероятность их проявления в зависимости от состояния поверхности, условий возбуждения и наблюдения. Показано, что установленные в данной работе закономерности для одной из компонент ЭФЭ серебра (в частности, спектральные, угловые и поляризационные характеристики) хорошо согласуются с расчетом в рамках механизма поверхностно-тормозного излучения. Выявлена связь особенностей спектральных распределений ЭФЭ меди и золота, которые обусловлены из лучательным распадом одночастичных возбуждений Ст.е.проявлением механизма излучательной рекомбинации неравновесных электронов и дырок, возбуждаемых первичными электронами) с электронной энергетической структурой металла. Расчеты, выполненные для меди в рамках модели рекомбинационного излучения удовлетворительно согласуются с измеренным спектром ЭФЭ. Показано, что с наибольшей вероятностью проявляются прямые межзонные переходы между особыми точками энергетических зон. Наблюдаемая корреляция спектров ЭФЭ благородных и ряда других металлов с электронной структурой их валентных зон позволила развить основы новой оптической методики исследования электронной энергетической структуры твердых тел (глава 3).

В работе систематизированы и обобщены результаты обширных исследований эмиссии фотонов распыленными и рассеянными атомами, ионами и молекулами для большого числа взаимодействующих пар первичный ион - мишень (глава 4). Определены важнейшие количественные характеристики Ш>Э металлов, включая коэффициенты эмиссии

- 14 фотонов, вероятности возбуждения различных электронных состояний атомов, скорости вторичных возбужденных частиц. Изучены зависимости этих характеристик от параметров первичного пучка ионов, а также от атомной, кристаллической и электронной структуры материала мишени. Установлена роль адсорбированных и имплантированных электроотрицательных атомов кислорода, а также имплантированных электроположительных атомов калия на характеристики ШЭ металлов. Обнаруженная высокая чувствительность характеристик Ш>Э к чистоте поверхности использована для диагностики исследуемых образцов. На основе анализа установленных закономерностей ИФЭ идентифицированы основные механизмы явления, развита новая кван-товомеханическая модель возбуждения распыленных атомов (глава 5). Количественно обоснована неприемлемость термодинамических моделей для описания измеренных характеристик ШЭ металлов. Показано, что низкоэнергетические состояния вторичных атомов, дающие основной вклад в характеристическое излучение ЙБЭ, формируются посредством отрывного механизма, тогда как автоионизационные состояния двухэлектронного возбуждения атомов и возбужденные состояния ионов образуются посредством кинетического механизма. Определено, что основной вклад в ШЭ (при бомбардировке мишени в направлении нормали к ее поверхности) вносят медленные атомы, формирование электронных состояний которых происходит на некото0 ром расстоянии от поверхности (^2 А). Установлена связь между величиной вероятности возбуждения вторичных атомов и скоростью их отлета от поверхности, а также определены их средние значения по разработанной методике с использованием ЭВМ ECI020. Отмечается подобие ряда закономерностей явлений эмиссии фотонов и ионов при ионной бомбардировке металлов.

В качестве основных объектов исследования выбраны металлы

- 15 различных групп периодической системы элементов, различающиеся между собой физико-химическими свойствами. Были.выбраны металлы, для которых достаточно хорошо отработаны методики очистки поверхности на атомном уровне, а также металлы, обладающие слабой или, наоборот, сильной химической активностью к атмосферным газам. В случае изучения ЭФЭ выбирались металлы с известной энергетической электронной структурой. Основные исследования выполнены с Be, , At , M(j , благородными (Сю, Ад , Аи,) и тугоплавкими (Мо , Га , W ) металлами. Использованы особо чистые вещества (чистотой 99,99 и 99,999$) в виде массивных образцов моно- и поликристаллов. Исследования ЭФЭ выполнены также на свежеприготовленных тонких пленках благородных металлов. Апробация некоторых возможностей разрабатываемых оптических методик диагностики поверхности выполнена на отдельных сплавах, окислах и полупроводниках сложного состава.

Бомбардировка мишеней производилась электронами с энергией 5-1000 эВ и ионами с энергией 0,1-30 кэВ, которые зондировали тонкие приповерхностные слои вещества вплоть до монослоя. В качестве первичных ионов использовались однозарядные положительные ионы водорода, атмосферных и инертных газов, а также ионы калия и некоторые многозарядные ионы. Основные исследования выполнены с ионами Лг и К при бомбардировке чистых поверхностей металлов и в условиях напуска кислорода, парциальное давление которого вблизи мишени изменялось от 10""*° до Ю~5 Торр. В главе 2 дано описание основных узлов созданных оригинальных установок и использованных методик, в т.ч. методик контроля чистоты исследуемых поверхностей металлов на основе развиваемых оптических методов. Изучение характеристик ЭФЭ и ИФЭ выполнено в условиях сверхвысокого вакуума, состав остаточных газов контролировался масс

- 16 спектрометрически. Очистка поверхности тугоплавких металлов производилась высокотемпературным прогревом в сочетании с ионным травлением, обезуглероживанием и электронной бомбардировкой. Исследуемые грани монокристаллов выводились с помощью рентгено-структурного анализа.

ОСНОВНЫЕ ПОЛОЖЕНИЯ, ШНОСИШЕ НА ЗАЩИТУ

1. Электронно-фотонная эмиссия меди, золота и тугоплавких металлов в исследуемом диапазоне длин волн обусловлена излуча-тельной " релаксацией' дырок, возбуждаемых в валентной зоне бомбардирующими электронами. Предлагается и обосновывается методика электронно-фотонной спектроскопии для изучения энергетической структуры твердых тел.

2. Экспериментально обнаруженные основные особенности в спектре ЭФЭ серебра обусловлены проявлением механизмов излуча-тельного распада поверхностных плазмонов и поверхностно-тормозного излучения.

3. Характеристическое излучение ИФЭ металлов содержит две группы линий и полос, интенсивность которых по-разному зависит от состояния поверхности, энергии, плотности тока и сорта бомбардирующих ионов.

4. Возбужденные вторичные атомы, дающие линии одной группы, образуются посредством отрывного механизма, в соответствии с которым ионная бомбардировка ответственна лишь за распыление атомов, а их возбуждение происходит в результате неадиабатического взаимодействия валентных электронов отлетающего атома с поверхностью.

5. Возбужденные ионы, в том числе двухзарядные, и атомы в автоионизационных состояниях, дающие линии другой группы, образуются при неупругих атомных соударениях в металле (кинетический механизм).

6. Термодинамические модели неприемлемы для количественного описания установленных экспериментально закономерностей ЙБЭ металлов, а развиваемая на их основе методика безэталонного элементного анализа не находит физического обоснования.

7. Предложенная модель отрывного механизма удовлетворительно описывает экспериментально измеренные характеристики эмиссии возбужденных атомов металлов. Она учитывает три одновременно про-» текаадих процесса: а) возбуждение атомов из основного состояния; б) электронный обмен между основным состоянием атома и состояниями зоны проводимости металла; в) нерадиационное девозбуздение.

8. Эмиссия возбужденных ионов и атомов в автоионизационных состояниях описывается моделью, согласно которой неупругое соударение в металле приводит к образованию дырки в одной из глубоких электронных оболочек вторичной частицы. При отлете атома от поверхности дырка "захлопывается" его валентным электроном с испусканием либо рентгеновского кванта и образованием высоковозбужденного атома, либо - Оже-электрона с образованием возбужденных состояний иона.

9. Закономерности характеристического излучения ШЭ металлов обусловлены атомной, кристаллической и электронной структурой металлов. Адсорбированный или имплантированный кислород существенно изменяет качественные и количественные характеристики ИФЭ металлов, тогда как имплантированные калий или аргон не дают их заметного изменения. Методики ионно-фотонной спектроскопии перспективны для решения диагностических задач.

Совокупность полученных в настоящей работе научных данных, разработанные методики и техника эксперимента дают основание

- 18 утверждать о развитии нового направления в физической электронике - электронно-фотонной и ионно-фотонной эмиссий как физической основы перспективных методик для диагностики поверхности.

Основные результаты и положения работы докладывались и обсуждались на 3, 4, 5 и 6 Всесоюзных конференциях по взаимодействию атомных частиц с твердым телом (Киев, 1974; Харьков,1976; Минск, 1978 и 1981); 16, 17 и 18 Всесоюзных конференциях по эмиссионной электронике (Махачкала, 1976; Ленинград, 1979; Москва, 1981); 7 Международной конференции по атомным столкновениям в твердом теле (Москва, 1977); 4, 5 и 6 Всесоюзных конференциях по спектроскопии вакуумного ультрафиолета и взаимодействию излучения с веществом (Ужгород, 1975; Ленинград, 1978; Москва, 1982); I и 2 Всесоюзных совещаниях-семинарах по диагностике поверхности ионными пучками (Ужгород,„1977; Донецк, 1980); I и 2 Всесоюзных ионной и совещаниях по вторичнойчюнно-фотонной эмиссии (Харьков, 1980 и 1983); Сессии Научного Совета "Физика плазмы" (Звенигород, 1976); Всесоюзном семинаре по взаимодействию ионных пучков с изолированными атомами и поверхностью твердых тел (Ленинград, 1978); Всесоюзном симпозиуме по взаимодействию атомных частиц с твердым телом (Ташкент, 1979); на заседании Рабочей группы по проблеме "Поверхностные эффекты в термоядерных установках" (Москва, 1980); 4 и 5 Всесоюзных симпозиумах по проблеме физики вторичной и фотоэлектронной эмиссии (Ленинград, 1981; Рязань, 1983); 2 Всесоюзном совещании по рассеянию частиц твердым телом (Ташкент, 1981); Всесоюзном симпозиуме по физике поверхности твердых тел (Киев, 1983) и ряде других совещаний и семинаров. Материалы диссертации представ-* лялись и опубликованы в тезисах У1 и IX Международных конференций по взаимодействию атомных частиц в твердом теле (Амстердам,1975 и Белфелд, 1983).

Научные результаты работы получены при выполнении под руководством и непосредственном участии автора 9-и научно-исследовательских работ, в т.ч. 2 тем по заданию Госкомитета Совета Министров СССР по науке и технике, частично отражены в соответствующих научных итоговых отчетах по этим работам, внедрены на ряде отраслевых предприятий. Основное содержание работы опубликовано в 86 научных работах в журналах и сборниках отечественных и зарубежных изданий.

Заключение диссертации по теме «Физическая электроника», Поп, Степан Степанович

5.9. Выводы

Наиболее важные выводы, полученные при анализе и апробации теоретических моделей, описывающих установленные экспериментально закономерности ШЭ металлов, можно сформулировать следующим образом:

1. Возбужденные состояния атомов с энергией возбуждения, меньшей первого потенциала ионизации, образуются в отрывном механизме, а возбужденные состояния ионов и автоионизационные состояния атомов - в кинетическом механизме.

2. Экспериментально установленные закономерности эмиссии возбужденных вторичных атомов удовлетворительно описываются развитой квантовомеханической моделью, в которой учитываются три одновременно протекающих процесса: а) возбуждение атома из основного состояния в переменном поле сил, действующих на валентные электроны отлетающей частицы со стороны поверхности; б) нерадиационное девозбуждение образующихся возбужденных состояний; в)электронный обмен между основным состоянием эмиттируемого атома и состояниями зоны проводимости металла. Другие известные квантовоме-ханические и термодинамические модели непригодны для описания наблюдаемых характеристик эмиссии возбужденных вторичных атомов металлов.

3. Эмиссия возбужденных ионов и перевозбужденных атомов наи

- 338 более успешно описывается моделью, согласно которой образование возбужденных вторичных частиц происходит в две стадии: сначала частица, испытав неупругое соударение с первичным ионом (или атомом отдачи), переходит в долгоживущее возбужденное состояние за счет образования дырки в одной из внутренних оболочек; затем, при отлете от поверхности дырка захлопывается валентным электроном, в т.ч. с определенной вероятностью излучательно. Состояния перевозбужденного атома формируются, если избыток энергии идет на образование жесткого кванта (рентгеновского), а состояния ионов - при Оже-девозбуждении. Эта модель исходит из модели Койе, развитой для описания вторичной ионной эмиссии.

4. Установлена природа излучателей полос в спектре ИФЭ для чистой и покрытой кислородом (или азотом) поверхности молибдена. В случае чистой поверхности это димеры металла, для окисленной -молекулы Л1о0 , а для покрытой азотом - молекулы Мо№ .

5. Разработаны физические принципы метода ионно-фотонной спектроскопии поверхности твердых тел и проведена апробация метода для изучения элементного состава поверхности, концентрационных профилей имплантированных частиц, структуры многослойного покрытия, процессов окисления.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В диссертации рассмотрены явления и процессы, приводящие к испусканию оптического излучения при бомбардировке чистых и покрытых кислородом поверхностей металлов электронами и ионами малых и средних энергий. Установлены и исследованы основные механизмы явлений электронно-фотонной и ионно-фотонной эмиссии металлов, ответственные за образование и излучательную релаксацию возбужденных вторично-эмиттируемых частиц, а также низкоэнергетических состояний электронной системы металла. В обоих случаях регистрировалось излучение и изучались его основные характеристики (интенсивность, спектральный состав, поляризация и др.) в зависимости от материала мишени, состояния ее поверхности (чистоты, периодической и электронной структуры), параметров бомбардирующих электронов и ионов (энергии, плотности тока, угла падения и др.). В случае электронно-фотонной эмиссии характеристики излучения связаны с одночастичными и коллективными возбуждениями электронной системы металла, которые с определенной вероятностью релакси-руют с испусканием фотонов. В случае ионно-фотонной эмиссии характеристики наблюдаемого излучения определяются закономерностями формирования возбужденных состояний вторичных моноатомных и полиатомных частиц как в процессе эволюции системы металл-отлетающая частица, так и в процессах парных неупругих соударений в металле частиц пучка и материала мишени. Здесь важную роль играют электронно-обменные процессы, учет которых составляет специфику задачи о вероятности для вторичной частицы отлететь в возбужденном состоянии. Ситуация существенно отличается от той, которая имеет место при возбуждении частиц в газовой фазе или в плазме. Коли

- 340 чественные характеристики ИФЭ зависят в первую очередь от электронных свойств отлетающей частицы, однако и электронная структура поверхности оказывает существенное воздействие на образование возбужденных состояний вторичных частиц.

Полученные в работе конкретные качественные и количественные данные о закономерностях и механизмах явлений эмиссии фотонов при бомбардировке поверхности металлов низкоэнергетическими заряженными частицами изложены в выводах к главам. Целесообразным представляется сделать несколько замечаний по поводу перспективы дальнейших исследований.

Наиболее важные задачи дальнейших исследований ШЭ состоят в изучении количественных характеристик явления для многокомпонентных мишеней (представляющих интерес с точки зрения практических потребностей), в частности: а) скоростей вторичных атомов, ионов, молекул, которые возбуждены в различные состояния; б) вероятностей возбуждения различных компонент распыления. По ЭФЭ представляется важным расширение исследований как в область вакуумного ультрафиолета, в которой лежат частоты плазмонов у многих металлов и излучение, соответствующее высокоэнергетическим одночастичным возбуждениям, так и в инфракрасную область, где можно ожидать интересные результаты при изучении полупроводников и диэлектриков при низких температурах. Очень важно расширить теоретические исследования данных явлений, которые позволят разработать аналитические основы методов ЭФС и ИФС и ускорить их практическое применение. Несомненна необходимость как можно быстрее осуществить переход к полной автоматизации измерений, создать современное промышленное оборудование для диагностических целей на основе явления ЭФЭ и ИФЭ.

В заключение автор считает приятным долгом выразить благодарность Запесочному И.П., предложившему еще в 1971 г.развивать в Проблемной научно-исследовательской лаборатории Уж1У новое научное направление и оказывавшему постоянную помощь; поблагодарить сотрудников и аспирантов Евдокимова С.А., Крицкого В.А., Дробнича В.Г., Дащенко А.И., Имре А.И., Бандурина Ю.А., Кляпа М. П., Мастюгина В.А., которые принимали активное участие в исследованиях, а также сотрудников и студентов кафедры квантовой электроники и Проблемной лаборатории физики электронных столкновений, оказывавших помощь на протяжении выполнения всей работы.

Автор признателен Борзяку П.Г., Кулюпину Ю.А., Артамонову О.М., Юрасовой В.Е. и их аспирантам за совместные исследования, полезные дискуссии и обсуждение результатов.

Список литературы диссертационного исследования доктор физико-математических наук Поп, Степан Степанович, 1984 год

1. Добрецов Л.Н., Гомоюнова М.В. Эмиссионная электроника.-М.: Наука, 1966, -564 с.

2. Каминский М. Атомные и ионные столкновения на поверхности металла. -М.: Мир, 1967, -506 с.

3. Арифов У.А. Взаимодействие атомных частиц с поверхностью твердого тела. -М.: Наука, 1968. -370 с.

4. Черепин В.Т., Васильев М.А. Вторичная ионно-ионная эмиссия металлов и сплавов. -Киев: Наукова думка, 1975. -239 с.

5. Петров Н.Н., Аброян И.А. Диагностика поверхности с помощью ионных пучков. -Изд. ЛГУ, 1977. -160 с.

6. Векслер В.И. Вторичная ионная эмиссия металлов. -М.: Наука, 1978. -240 с.

7. Черепин В.Т. Ионный зонд. -Киев: Наукова думка,1981. -325 с.

8. Щульман А.Р., Фридрихов С.А. Вторично-эмиссионные методы исследования твердого тела. -М,: Наука, 1977. -551 с.

9. Бронштейн И.М., Фрайман Б.С. Вторичная электронная эмиссия.-М.: Наука, 1969, -407 с.

10. Борзяк П.Г., Кулюпин Ю.Н. Электронные процессы в островковых металлических пленках.-Киев: Наукова думка, 1980. -239 с.

11. Копецкий Ч.В. Изучение физико-химических и механических свойств поверхности. -Вестник АН СССР, 1979, № 9, с.4-15.

12. Немошкаленко В.В., Алешин В.Г. Электронная спектроскопия кристаллов. -Киев: Наукова думка, 1976. -335 с.

13. Плешивцев Н.В. Катодное распыление. -М. :Атомиздат,1968.-243с.

14. Находкин Н.Г., Мельник П.В., Коваль И.Ф. Ионизационная спектроскопия поверхности твердого тела.-Поверхность. Физика, химия, механика, 1982, № 10, с.1-14.

15. Диагностика поверхности ионными пучками: Материалы лекций

16. Всесоюзного совещания-семинара. Ужгород, 1977. -242 с.

17. Диагностика поверхности ионными пучками: Материалы лекций Всесоюзного совещания-семинара. Донецк. 1980. -311 с.

18. Новое в исследовании поверхности твердого тела (под ред. Т.Джаядевайя, Р.Ванселова) -М.: Мир, 1977, вып.2. -370 с.

19. Методы анализа поверхностей (под ред.А.Зандерны),-М.:Мир, 1979. -582 с.

20. Электронная и ионная спектроскопия твердых тел (под ред. Л.Фирмэнса, Дж.Венника, В.Декейсера) -М.i Мир,1981. -467 с.

21. Поп С.С., Крицкий В.А. Эмиссия фотонов при взаимодействии электронов с поверхностью твердого тела.-В сб.Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия.-Харьков,Х1У, 1980. с.86-88.

22. Поп С.С. Оптическая спектроскопия частиц, возбужденных при взаимодействии ионов с поверхностью твердого тела. -В кн.: Диагностика поверхности ионными пучками. -Ужгород, УжГУ, 1977, с.178-199.

23. Поп С.С. Основные механизмы генерации электромагнитного излучения при бомбардировке поверхностей металлов электронамии ионами малых и средних энергий. -В кн.: Диагностика поверхности ионными пучками. -Донецк, Дон.ЕУ, 1980, с.76-87.

24. Поп С.С. Сечения возбуждения при медленных столкновениях ионов калия и цезия с атомами Не , Ne и Аг . Дисс.к-та физ.-мат.наук. -Ужгород, 1971. 130 с.

25. Поп С.С., Евдокимов С.А., Крицкий В.А., Сайнюк Н.Т. Эмиссия фотонов при бомбардировке поверхности меди ионами калия с энергией 0,1-20 кэВ. В сб.: Взаимодействие атомных частиц с твердым телом. ч.2. -Киев, 1974, с.14-16.

26. Имре А.И., Дащенко А.Й., Поп С.С., Запесочный И.П., Стахно Э.

27. П., Вукстич B.C. -Экспериментальная установка с пересекающимися пучками для исследования процессов столкновений электронов и ионов. -Тезисы докл. 4 Всес.конф. по физике эл. и ат. столкн. -Рига: Зинантне, 1969, с.128.

28. Евдокимов С.А. Исследование эмиссии фотонов при ионной бомбардировке поверхности алюминия, никеля, меди, молибдена и вольфрама: Дне. .канд.физ.-мат.наук, Ужгород,1977. -169 с.

29. Дробнич В.Г. Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов эмиссии возбужденных распыленных частиц при бомбардировке металлов ( А1 и мо ) ионами килоэлектронвольтных энергий. -Дис.к-та физ.-мат.наук. -Ужгород, 1982. -186 с.

30. Крицкий В.А. Исследование оптического излучения при взаимодействии медленных электронов с поверхностью поликристаллических образцов благородных металлов. -Дис.к-та физ.-мат. наук. -Ужгород, 1982. 154 с.

31. Опачко И.И. Исследование ионизованных компонент плазмы и их использование в физических экспериментах. -Автоферерат дис. к-та физ.-мат.наук. -Киев, 1979. -15 с.

32. Поп С.С., Браверман Э.Н. Высоковольтный источник ионов щелочных и щелочноземельных металлов. -Тез.докл.5-ой Всесоюзной конференции по физике электронных и атомных столкновений, Ужгород: УжГУ, 1972, с.216-217.

33. Зайдель А.Н., Островская Г.В., Островский Ю.И. Техника и практика спектроскопии. -М.: Наука, 1976. -392 с.

34. Papanicolaou B.G., Papageorgopoulos С.A., Chen J.M. Cathodo-luminescence of copper and nickel surfaces.- J. Phys. Chem. Solids, 1976, v.37, No 4, p.403-409.

35. Henningsen J.O. Cyclotron masses and orbital diameters in Agdetermined by cyclotron resonance in a thin slab.-Phys.Stat. Sol., 1969, v.32, No 1, p.239-242.

36. Stern R.M. Tungsten (110) surface characteristics in low-energy electron diffraction.- Appl. Phys. Lett., 1964, v.5,1. No 11, p.218-220.

37. Птушинский Ю.Г., Чуйков Б.А. Масс-спектрометрическое исследование взаимодействия кислорода с гранями (НО) и (100) монокристалла вольфрама. -ФТТ, 1968, т.10, № 3, с.722-728.

38. Артамонов О.М., Крицкий В.А., Поп С.С., Самарин С.Н. Изменение спектров излучения, вызванного взаимодействием медленных электронов с монокристаллами w , жо , Та в процессе термической очистки. -ЖТФ, 1980, т.50, № 7, с.1574-1576.

39. Thomas G.E. Bombardment-induced light emission.- Surface Sci., 1979, v.90, No 2, p.381-416.

40. Зайдель A.H. Таблицы спектральных линий. M.: Наука, 1977, -798 с.

41. Стриганов А.Р., Свентицкий Н.С. Таблицы спектральных линий нейтральных и ионизированных атомов.-М. -.Атомиздат, 1969,-899с.

42. Тихонов А.Н., Арсенин В.Я. Методы решения некорректных задач. -М.: Наука, 1974. -223 с.

43. Верлань А.Ф., Сизиков B.C. Методы решения интегральных уравнений с программами для ЭВМ.-Киев:Наукова думка,1978.-291 с.

44. Фогель Я.М. К вопросу о выборе величины плотности тока пучка первичных ионов при изучении методом ВИИЭ процессов на поверхности твердых тел.-ЖТФ,1976, т.46, № ,с.1787-1788.

45. Werner H.W., Grefte Н.А.М. Investigation of surface layers by

46. SIMS and SUMS.- Surface Sci., 1973, v.35, p.458-472.

47. Дробнич В.Г., Поп С.С., Бандурин Ю.А., Мастюгин В.А. Зависимость ионно-фотонной эмиссии Be , мо и Pt от температуры мишени. -В сб.: Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия. Харьков: ХФТИ, 1983, с.128-130.

48. Опачко И.И., Лукша О.В., Запесочный И.П., Поп С.С., Фирцак Ю.Ю. Особенности получения пленок сложного соединения с помощью гигантских лазерных импульсов.-УФЖ, 1977, т.22, № 4, с.659-663.

49. Малышев В.И. Введение в экспериментальную спектроскопию.-М.: Наука, 1979, -478 с.

50. Смолкин М.И., Бердников Н.Б. Спектральная плотность энергетической яркости водородных и дейтериевых ламп в ультрафиолетов вой области спектра.-Опт.и спектр.,1963, т.14,№3, с.414-416.

51. Артамонов О.М. Свечение поверхности w (100) при облучении электронами с энергией 0-400 эВ. В кн.: ХУ Всесоюзн.конф. по эмиссионной электронике (Киев, дек.1973 г.): Тез.докл. Киев: Изд.Ин-та физики АН УССР, 1973, 4.1. с.102-103.

52. Артамонов О.М. Свечение поверхности w(IOO) при облучении медленными электронами.-ЖТФ, 1975, т.45, J& 2, с.178-179.

53. Борзяк П.Г., Завилопуло А.Н., Кулюпин Ю.А., Коновалов И.А., Пилипчак К.И., Шпеник О.Б. Свечение металлических пленок при их бомбардировке медленными электронами. -ДАН УССР, сер.А, 1975, В 8, с.731-732.

54. Артамонов О.М., Самарин С.Н., Яковлев И.И. Исследование адсорбционных процессов на поверхности монокристаллического вольфрама катодолюминесцентным методом.-Изв.АН СССР, Сер.физ., 1979, т.43, с.450-455.

55. Артамонов О.М., Крицкий В.А., Поп С.С., Самарин С.И. Электрон-фотонная эмиссия слоев и массивных образцов серебра.-В кн.: Эмиссионная электроника. -Л., ЛГУ, 1982, с.73-99.

56. Артамонов О.М., Самарин С.И. Излучательное взаимодействие медленных электронов с поверхностью монокристалла та(Ш) и адсорбированными на ней молекулами. Деп.рук.Вест.ЛГУ, сер. физ.-хим., 1975 (№ 1432-75 ДЕП ВИНИТИ).

57. Артамонов О.М., Дималова Е.В., Кучма А.Е., Самерин С.Н., Яковлев И.И. Температурная зависимость эмиссии фотонов при облучении тонкой пленки серебра медленными электронами.-Опт. и спектр., 1981, т.50, с.911-915.

58. Артамонов О.М., Самарин С.Н. Свечение грани (III) монокристалла Та при облучении медленными электронами. -Опт. и спектр., 1976, т.40, вып.2, с.316-318.

59. Артамонов О.М., Самарин С.Н., Яковлев И.И. Спектральное распределение свечения слоев Ag на w(IIO) при возбуждении медленными электронами. -Письма в ЖТФ, 1980, т.6, № 6,с.321-323.

60. Артамонов О.М. Взаимодействие медленных электронов с поверхностью твердого тела.-Дис.доктора физ.-мат.наук. Л.: ЛГУ, 1981. -380 с.

61. Артамонов О.М. Роль поверхностного тормозного излучения в электрон-фотонной эмиссии.-Изв.АН СССР, сер.физ., 1982,т.46, № 12, с.2333-2338.

62. Artamonov O.M., Samarin S.N. Radiative interaction of slow electrons with metal surfaces.- Rad. Eff., 1979, v.40, No 4, p.201-208.

63. Borziak P., Konovalov I., Kulyupin Yu., Pilipchak K. Cathodoluminescence from metal films.- Thin Solid Films, 1976, v.35, No 1, p.L9-L12.

64. Shchurenko A., Kulyupin Yu., Stetsenko B. Light radiation from sodium films bombarded with slow electrons.- Solid State Commun., 1980, v.33, No 1, p.141-142.

65. Коновалов И.А. Оптическое излучение при бомбардировке металлов медленными электронами. Автореферат дис.канд.физ.-мат.наук. -Киев: Ин-т физики АН УССР, 1980, -16 с.

66. Борзяк П.Г., Гегузин И.И., Дацюк В.Н., Коновалов И.А.,Ку-люпин Ю.А., Пилипчак К.Н. Рекомбинационное излучение света молибденом при его бомбардировке медленными электронами.-ЖЭТФ, 1981, № 4, с.1514-1523.

67. Кулюпин Ю.А. Электронные свойства малых металлических частиц и островковых металлических пленок. Автореферат дис.докт. физ.-мат.наук: Киев, Инт физики АН УССР, 1978. -44 с.

68. Борзяк П.Г., Кулюпин Ю.А., Стеценко Б.В., Щуренко А.И. Электрон-фотонная эмиссия пленок натрия.-В сб.: Современные проблемы вторичной и фотоэлектронной эмиссии.-JI.: ЛГУ, 1981, с.50-51.

69. Борзяк П.Г., Кулюпин Ю.А. Излучение света при взаимодействии медленных электронов с металлами.-УФЖ,1979,т.24,№2,с.204-214.

70. Кляп М.П., Крицкий В.А., Кулюпин Ю.А., Кучеренко Ю.Н., Пилипчак К.Н., Поп С.С. Электрон-фотонная эмиссия меди,-ЖЭТФ, 1984, т.86, вып.З, C.III7-II23.

71. Поп С.С., Крицкий В.А. Эмиссия фотонов при взаимодействии электронов с поверхностью твердого тела. Радиотехника и электроника, 1981, т.26, №11, с.2398-2408.

72. Крицкий В.А., Поп С.С., Запесочный И.П. Спектры свечения поверхности поликристаллических образцов серебра и золота, бомбардируемых электронами. -Тез.докл.16 Всес. конф. по эмиссионной электронике. Махачкала, 1976, с.106-107.

73. Крицкий В.А., Поп С.С., Дробнич В.Г. Спектры оптического излучения поверхностей поликристаллов золота и серебра, бомбардируемых медленными электронами.-Изв.АН СССР, сер.физ., 1976, т.40, № 12, с.2600-2603.

74. Крицкий В.А., Поп С.С. Исследование спектров оптического излучения поверхности поликристаллов w и Мо , облучаемых медленными электронами.-Материалы научн.конф.аспирантов и молодых ученых.-УжГУ,1976.-ДЕП ВИНИТИ, № 4501-76,с.86-96.

75. Крицкий В.А.Поп С.С., Запесочный И.П. Исследование свечения поверхности монокристаллов (Ш)ма , (III) Та и поликристаллических образцов Мо, и Ag , облучаемых электронами. -Изв.АН СССР, сер.физ., 1979, т.43, № 3, с.478-483.

76. Кляп М.П., Крицкий В.А., Поп С.С. Выход фотонов при электронной бомбардировке металлов. В кн.: Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия.-Харьков: ХФТИ, 1983, с.145-147.

77. Поп С.С., Сусликов JI.M., Крицкий В.А. Катодо- и фотолюминесценция монокристаллов CdGa^s^ и Ag^AsS^ .-В сб.: ХУП Всесоюзная конф.по эмиссионной электронике. -Л.: ЛИЯФ, 1978,с.381-383.

78. Поп С.С., Крицкий В.А., Запесочный И.П. Обнаружение поверхностных и объемных плазмонов при электрон-фотонной эмиссии поверхности серебра.-Письма в ЗШ, 1979, т.5, № 23, с.1452-1455.I

79. Бобонич П.П., Спесивых А.А., Кляп М.Ш, Поп С.С. Электронно-фотонная спектроскопия поверхности некоторых полупроводников сложного состава.-В сб.: Современные проблемы физики вторичной и фотоэлектронной эмиссии. Л.: ЛГУ,1981,с.60-61.

80. Крицкий В.А., Кляп М.П., Овчинников В.Л. Поляризация оптического излучения поверхности поликристалла серебра при бомбардировке электронами малой энергии. -Письма в ЖТФ, 1981, т.7, Ш 5, с.290-294.

81. Поп С.С., Крицкий В.А., Кляп М.П., Запесочный И.П. Оптическое излучение меди и золота под действием электронов малых энергий.-ФТТ, 1981, т.23, № 7, с.2052-2057.

82. Tomas M.S., Lucas А.А., Sunjic M. Emission of radiation by charged particles reflected from solid surfaces.- Solid State Commun., 1972, v.10, No 12, p.1181-1184.

83. Tomas M.S., Lucas A.A., Sunjic M., Juretic D. Coherent surface bremsstrahlung in low-energy-electron diffraction and reflection-high-energy-electron diffraction.- Phys. Rev. B, 1974, v.9, No 4, p.1489-1498.

84. Williams M.W., Ashley J.C., Kretschmann E., Callcott T.A., Chung M.S., Arakawa E.T. Splitting of surface-plasmon emission spectra from potassium.- Phys. Lett., 1979, V.A73, No 3, p.231-233.

85. Kretschmann E., Perrell T.L., Ashley J.С. Splitting of the dispersion relation of surface plasmons on a rough surface.-Phys. Rev. Lett., 1979, v.42, No 19,-p.1312-1314.

86. Kretschmann E., Callcott T.A., Arakawa E.T. Theory of emission spectra from metal films irradiated by low energy electrons near normal incidence.- Surface Sci., 1980, v.91, No 1, p.237-244.

87. Chung M.S., Callcott- T.A., Kretschmann E., Arakawa E.T. Radiation from silver films bombarded by low-energy electrons.- Surface Sci., 1980, v.91, No 1, p.245-263.

88. Pendry J.B. New probe for unoccupied bands at surfaces.-Phys. Rev. Lett., 1980, v.45, No 16, p.1356-1358.

89. Baptist R., Chauvet G. Inverse photjoemission of platinum.-J.Phys.C: Solid State Phys., 1982, v.15, No 10, p.2313-2320.

90. Mahan A.H., Gallagher A. Transition radiation for the diagnosis of low-enej?gy electron beams.- Rev.Sci. Instrum., 1976, v.47, No 1, p.81-83.

91. Bastasz R., Colmenares C.A., Somorjai G.A. Electron induced luminescence as a technique for studying of the adsorption of oxygen and the oxidation of thorium.- Surface Sci., 1978, v.71, No 2, p.397-406.

92. Lilienfeld J.E. Die sichtbare Strahlung des Brennfleckes von Rbntgenr'dhren. Physik. Zeitschr., 1919, Bd.20, N 12, S.280-282.

93. Mohler F.L., Boeckner C. Radiation from metals bombarded by low-speed electrons.- J.Research Nat.Bur.Standards, 1931,v.6, p.673-681.

94. Boeckner С. Radiation from caesium and other metals bombarded by slow electrons.- J.Research Nat. Bur. Standards, 1932, v.9, p.413-418.

95. Boerscii H., Radeloff C., Sauerbrey G. Experimental detection of transition radiation.- Phys.Rev.Lett. ,1961,v.7 |No 2tp.52-34.

96. Boersch H., Radeloff C., Sauerbrey G. Uber die an Metallen durch Elektronen ausgelSste sichtbare und ultraviolette Strahlung. An massiven Metallen ausgel'dste Strahlung.- Z. Phys., 1961, Bd.165, H.4, S.464-484.

97. Boerscii H., Dobberstein P., Fritzsche D., Sauerbrey G. Transition Radiation, Bremsstrahlung und Plasmastrahlung.

98. Z. Phys., 1965, Bd.187, H.2, S.97-118.

99. Арутюнян Ф.Р., Мхитарян A.X., Оганесян P.A., Ростомян Б.О., Ханикянц E.K. Свечение металлов под действием нерелятивистских электронов.- ЖЭТФ, 1972, т.63, вып.4, C.II5I-II58.

100. Кобзев А.П., Михаляк С., Рутковски Е., Франк И.М. Оптическое излучение, возбуждаемое нерелятивистскими заряженными частицами на поверхности металлов.- Ядерная физ., 1972,т.15, & 2, с.326-333.

101. Беляев А.Б., Горбатый Н.А. Исследование оптического излучения поликристаллических поверхностей w , Та и Мо , бомбардируемых электронами средних энергий.- В сб.: Современные проблемы физики вторичной и фотоэлектронной эмиссии,- 353

102. Ленинград, ЛГУ, 1981, с.58-59.

103. Bonaot A., Debever. J.M., Напив J. Cathodo-luminescence of copper.-Solid State Commun., 1972., v.10, No 1, p.173-174.

104. Steinmann W. Experimental verification of radiation of plasma oscillations in thin silver films.- Phys.Rev.Lett., I960, v.5, No 10, p.470-472.

105. Brown R.W., Wessel P., Trounson E.P. Plasmon reradiation from silver films.-Phys.Rev.Lett.,1960,v.5,No 10,p.472-473.

106. Гинзбург В.Л., Франк И.М. Излучение равномерно движущегося электрона, возникающее при его переходе из одной среды в другую.- ЖЭТФ, 1946, т.16, вып.1, с.15-28.

107. Силин В.П., Фетисов Е.П. О переходном излучении и коллективных колебаниях в металлических пленках.- ЖЭТФ, 1963, т.45, № 5, с.1572-1580.

108. Пафомов В.Е. Излучение заряженной частицы при наличии границ раздела.- Труды физ. ин-та АН СССР, 1969, т.44, с. 28167.'

109. Ferrell R.A. Predicted radiation of plasma oscillations in metal films.- Phys.Rev., 1958, v.lll, No 5, p.1214-1222.

110. Франк И.М. Переходное излучение и оптические свойства вещества.- УФН, 1965, т.87, » 2, с.189-210.

111. Steinmann W. Optical plasma resonances in solids.- Phys. Stat. Sol., 1968, v.28, No 2, p.437-462.

112. Sevier K.D. Low-energy electron spectrometry.- Wiley-Inter-science, N.Y., 1972, 397 p.

113. Taft E.A., Philipp H.R. Optical constants of silver.-Phys. Rev., 1961, v.121, No 4, p.1100-1103.

114. Пайнс Д. Элементарные возбуждения в твердых телах.- М.: Мир, 1965.- 382 с.

115. Платцман Ф., Вольф П. Волны и взаимодействия в плазме твердого тела.- М.: Мир, 1975.- 438 с. 11Э. Молоцкий П.И. О горячей катодолюминесценции меди.- ФТТ, 1980, т.22, I, с.258-259.

116. Томчук П.М. Излучение света диспергированными металлическими пленками под действием тока,- УФЖ, 1979, т.24, № 2,с.182-192.

117. Davis L.S. Theory of surface plasmon excitation in metal-insulator-metal tunnel junction.-Phys.Rev.B, 1977, v.16, No 6, p.2482-2490.

118. Rahman T.S., Maradudin A.A. Surface-plasmon dispersion relation in the*presence of surface raughness.- Phys.Rev.B, 1980, v.21, No 6, p.2137-2143.

119. Mooradian A. Photoluminescence of metals.- Phys.Rev.Lett., 1969, v.22, No 5, p.185-187.

120. Huebner R.H., Arakawa E.T., MacRae R.A., Hamm R.N. Optical constants of vacuum-evaporated silver films.- J.Opt.Soc. Amer., 1964, v.54, No 12, p.1434-1437.

121. Ritchie R.H. Optical emission from surface plasmons.-Phys. Stat. Sol., 1970, v.39, No 1, p.297-308.

122. Ritchie R.H. Surface plasmons in solids.- Surface Sci.,1973, v.34, No 1, p.1-19.

123. Sauerbrey G., Woeckel E., Dobberstein P. Radiative decay of electron-induced surface plasmons in rough surfaces.-Phys.Stat.Sol.(b), 1973, v.60, No 2, p.665-678.

124. Daniels J. Energieverlustmessungen an Silber mit hoher Energieaufl*6sung.-Z.Phys., 1967, Bd.203, H.3, S.235-249.

125. Ngai K.L., Economou E.N. Polarization properties of surface plasma radiation excited by electrons.- Solid State Commun.,1974, v.15, No 8, p.1387-1390.

126. Burdick G.A. Energy band structure of copper.- Phys.Rev., 1963, v.129, No 1, p.138-150.

127. Hodges L., Ehrenreich H., Lang N.D. Interpolation scheme for band structure of noble and transition metals: ferro-magnetism and neutron diffraction in Ni.-Phys.Rev., 1966, v.152, No 2, p.505-526.

128. Matizuki K., Sparks M. Range of excited electrons and holes in metals and semiconductors.- J.Phys.Soc.Japan, 1964,v.19, No 4, p.486-498.

129. B'6hm W., Labs D. Transition radiation as a secondary standard source in the VUV.- Appl. Opt., 1971, v.10, No 9, p.2021-2023.

130. Battye F.L., Goldmann A., Kasper L., Hiifner S. Photoelect-ron spectra of the noble metals.- Z.Phys,, 1977, V.B27,1. No 3, p.209-214.

131. Smith N.V. Photoelectron energy spectra and the band structures of the noble metals.- Phys.Rev.B, 1971, v.3, No 6,p.1862-1878.

132. Грицина B.B., Киян T.C., 1утт P., Коваль А.Г., Фогель Я.М. Влияние безызлучательных переходов на спектр свечения возбужденных частиц, выбитых из твердых мишеней быстрыми ионами аргона. -Изв.АЛ СССР, серия физ., 1971, т.35, № 3,с.578-584.

133. Грицына В.В., Киян Г.С., Логачев Ю.Е., Фогель Я.М. О свечении молекулярных частиц, выбитых с поверхности металлов пучков ионов с энергией 30 кэВ.-В кн.: Взаимодействие атомных частиц с твердым телом: Тез.докл.Ш Всесоюзн.конф.,Киев,1974, 4.2, с.7-9.

134. Киян Т.С., Грицина В.В., Фогель Я.М. Определение энергетической ширины зоны проводимости окиси магния спектроскопическим методом.-В кн.: Взаимодействие атомных частиц с твердым телом. -Харьков: ХГУ, 1976, ч.2, с.178-180.

135. Киян Т.О., Грицына В.В., Фогель Я.М. 0 непрерывных спектрах, излучаемых частицами, выбитыми ионным пучком с поверхности металлических мишеней. -ЖЭТФ, 1975, т.21, вып.1, с.77-81.

136. Грицына В.В. Свечение возбужденных частиц отлетающих от поверхности твердых мишеней при ионной бомбардировке.-В сб.: Диагностика поверхности ионными пучками.-Ужгород: УжГУ, 1977, с.200-215.

137. Киян Т.С., Грицына В.В., Фогель Я.М. О непрерывных спектрах излучаемых частицами, выбитыми ионным пучком из металлических мишеней. -ЮТФ, 1978, т.74, № 4, с.139«404.

138. Грицына В.В. О моделях образования возбужденных частиц при ионной бомбардировке твердых тел. -Поверхность.Физика, химия, механика. 1982, № 4, с.62-71.

139. Коваль А.Г., Рапп И.Ю., Кизин П.С. Исследование анизотропии свечения, возникающего при бомбардировке монокристалла KaGi ионами Аг+ . В кн.: Взаимодействие атомных частиц с веществом. -Харьков: ХГУ, 1976, ч.2, с.216-217.

140. Белых С.Ф., Векслер В.И., Евтухов Р.Н., Лифшиц И.Ф. Спектральное исследование вторичной эмиссии возбужденных атомов при бомбардировке тантала и молибдена ионами цезия.-ФТТ, 1975, т.17, вып.6, с.I852-1853.

141. Белых С.Ф., Векслер В.И. О природе образования непрерывного спектра фотонов, испукаемых продуктами катодного распыления. -Изв.АН СССР, сер.физ., 1979, т.43, №3, с.589-594.

142. Векслер В.И. Двухфотонный механизм образования непрерывного спектра оптического излучения, испускаемого продуктами распыления металлов.-ФТТ,1980,т.22, № 9, с.2620-2626.

143. Белых С.Ф. Испускание фотонов непрерывного спектра продуктами распыления металлов.-Автореф.диссертации канд.физ.-мат.наук.-Ташкент, 1982, 16 с.

144. Париже Э.С., Ферлегер В.Х. Непрерывный спектр излучения света при бомбардировке поверхности твердого тела тяжелыми ионами.-В сб.: Взаимодействие атомных частиц с твердым те-лем. Тез. докл.ГУ Всесоюзн.конф.,Харьков, ХГУ, 1976, ч.2, с.202-205.

145. Бажин А.И., Лабзин В.Г. Использование пучков для исследования концентрационных зависимостей бинарных соединений.-Тез. симпозиума по взаимод.атомных частиц с поверхностью тв.тела. -Ташкент: ФАН, 1979, с.229-230.

146. Бажин А.И. Применение ионно-фотонной эмиссии для анализа твердых тел.-В сб.: Диагностика поверхности ионными пучками. -Донецк: Дон.ГУ, 1980, с.25-34.

147. Бажин А.И., Лабзин В.Г., Рыжов В.Н. Пространственное распределение эмиссии фотонов при бомбардировке металлов ионами аргона.-В сб.: Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия.-Харьков: ХГУ, 1980, с.П5-П7.

148. Бажин А.И., Козель В.В., Ступак В.А. Влияние условий ионной бомбардировки на вторичную ионную и фотонную эмиссию молибдена, вольфрама и тантала.-В сб.: Взаимодействие атомных частиц с твердым телом.-Минск: МРТИ, Г98Г, ч.1,с.235-237.

149. Бажин А.И., Теплов С.В., Шестов В.П. 0 кинетическом механизме ионно-фотонной эмиссии.-В сб.: Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия.-Харьков: ХФТИ, 1983, с.116-118.

150. Бажин А.Й., Ступак В.А., Суханьска М., Шестов В.П. Хемилю-минесцентная модель непрерывного излучения твердых тел при ионной бомбардировке.-Поверхность. Физика, химия, механика, 1983, .» 3, с.51-55.

151. Бажин А.Й., Коновалова И.Г., Теплов С.В. Моделирование механизма образования возбужденных состояний распыленных частиц при ионной бомбардировке металлов.-В сб.: Диагностика поверхности ионными пучками.-Запорожье: ЗМЙ, 1983, с.76-77.

152. Полякова Г.Н., Ранюк А.И., Опалев О.А., Герасименко В.Н. Энергетические распределения возбужденных атомов меди, распыленных ионами аргона с энергией 6-15 кэВ.-В сб.:Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия.-Харьков:ХГУ,1980,с.101-103.

153. Кучеренко Ю.Н., Хриновский В.З., Шелудченко Л.М. Спектры излучения атомных комплексов, возникающих при ионной бомбардировке молибдена.-В сб.: Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия.-Харьков: ХФТИ, 1983, с.ПЗ-115.

154. Евдокимов С.А., Поп С.С., Дробнич Б.Г., Запееочный Й.П. Исследование свечения, возникающего при бомбардировке ионами к* поверхности алюминия.-Письма в ЖШ, 1975, т.I, вып.22, с.1027-1030.

155. Евдокимов С.А., Поп С.С., Дробнич В.Г., Гара С.Ф. Спектры свечения, возникающего при бомбардировке некоторых переходных металлов ионами калия.-В сб.: Взаимодействие атомных частиц с твердым телом.-Харьков: ОТ", 1976, ч.2, с.181-183.

156. Поп С.С., Имре А.й., Дащенко А.И., Евдокимов С.А. Исследование спектров излучения при бомбардировке поверхности молибдена и вольфрама ионами инертных газов.-В сб.: Взаимодействие атомных частиц с твердым телом. -Харьков: ХЕУ, 1976,ч.2, с.184-187.

157. Поп С.С., Имре А.И., Дащенко А.И., Евдокимов С.А. Исследование эмиссии фотонов при бомбардировке поверхности алюминия ионами атмосферных газов.-В сб.: Взаимодействие атомных частиц с твердым телом.-Харьков: Х1У, 1976, ч.2, с.190-191.

158. Поп С.С., Дробнич В.Г., Евдокимов С.А., Запесочный И.П. Об особенностях эмиссии фотонов при бомбардировке поверхности алюминия ионами во*-, , , аг+ , ае++ . В сб.: Взаимодействие атомных частиц с твердым телом.-Харьков: ХГУ, 1976, ч.2, с.192-193.

159. Евдокимов С. А., Поп С. С., Дробнич В. Г., Запес очный И.П. Распыление возбужденных атомов при бомбардировке медной мишени ионами к* с энергией от I до 15 кэВ.-В сб. : Взаимодействие атомных частиц с твердым телом.-Харьков: Х1У, 1976, ч.2,с.194-197.

160. Поп С.С., Имре А.И., Запесочный И.П., Дащенко А.И., Евдокимов С.А. Исследование сплошного спектра излучения при взаимодействии ионов инертных газов с поверхностью вольфрама и молибдена.-Письма в ЖТФ, 1976, т.2, вып.8, с.421-425.

161. Поп С.С., Запесочный И.П., Имре А.И., Евдокимов С.А., Дащенко А.И. Непрерывное излучение при ионной бомбардировке некоторых металлов.-ЖЭТФ, 1977, т.73, вып.1(7), с.90-98.

162. Поп С.С., Евдокимов С.А., Дробнич В.Г. Исследование материалов первой стенки термоядерного реактора методом оптической спектроскопии вторичных частиц.-Изв.ЛЭТИ, 1978, вып.236,с.237-240.

163. Евдокимов С.А., Поп С.С., Бандурин Ю.А. Химический эффект в фотонной эмиссии при ионной бомбардировке магния и цинка.-В сб.: Взаимодействие атомных частиц с твердым телом.-Минск: МРТИ, 1978, ч.З, с.112-114.

164. Дробнич В.Г., Поп С.С., Евдокимов С.А. Исследование закономерностей непрерывного излучения, возникающего при бомбардировке ионами атмосферных газов молибденовой мишени.-УФЖ,1979, т.24, № 8, C.I2I3-I2I9.

165. Евдокимов С.А., Дробнич В.Г., Поп С.С., Запесочный И.П. Контроль покрытий мишеней адсорбатами в экспериментах по ионнофотонной эмиссии.-В сб.:Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия.-Харьков, ХГУ, 1980, с.98-100.

166. Дробнич В.Г., Евдокимов С.А., Поп С.С., Бандурин Ю.А. Зависимость интенсивности непрерывного излучения от плотности тока при ионной бомбардировке Мо .-В сб.: Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия.-Харьков,ХГУ, 1980, с.П0-ГГ2.

167. Дробнич В.Г., Евдокимов С.А., Бандурин Ю.А., Поп С.С.,Запесочный И.П. Зависимость вероятности распыленных атомов от скорости при ионной бомбардировке ai -мишени.-В сб. ^агностика поверхности ионными пучками.-Донецк:Дон.ГУ, Г980,с Л37-Г38.

168. Г77. Дробнич В.Г., Евдокимов С.А., Поп С.С., Бандурин Ю.А. Подобие закономерностей ионно-фотонной и вторичной ионно-ионной эмиссии.-В сб.:Взаимодействие атомных частиц с твердым телом. -Минск: МРТИ, Г981, с.238-240.

169. Г78. Поп С.С. Эмиссия фотонов при ионной бомбардировке твердого тела.-В сб.: Тез.докл.ХУШ Всес.конф.по эмиссионной электронике. -М.: Наука, Г98Г, с.25-27.

170. Г80. Бандурин Ю.А., Бачурин В.И., Дробнич В.Г., Поп С.С., Черныш B.C., Юрасова В.Е. Ионно-фотонная эмиссия кобальта при полиморфном превращении.-Письма в КТФ, 1982, т.8, с.760-762.

171. Г8Г. Поп С.С., Дробнич В.Г., Евдокимов С.А., Запесочный И.П. Возбуждение вторично-эмиттированных частиц при ионной бомбардировке алюминия.-Ж1Х1?, Г982, т.52, № 3, с.452-455.

172. Евдокимов С.А., Бандурин Ю.А., Поп С.С. Анализ многослойных покрытий методом оптической спектроскопии вторичных частиц.-ЖПС, 1982, т.36, № 4, с.670-672.

173. Евдокимов С.А., Дробнич В.Г., Поп С.С., Бандурин Ю.А. Влияние адсорбированного кислорода на эмиссию возбужденных частиц при ионной бомбардировке поверхности молибдена.-УФЖ, 1982, т.27, В 5, с.744-747.

174. Дробнич В.Г., Бандурин Ю.А., Мастюгин В.А., Поп С.С. Скорости возбужденных частиц, распыленных при ионной бомбардировке чистых и покрытых кислородом поверхностей металлов.-В сб.: Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия.-Харьков:ХФТИ,1983, с.140-142.

175. Поп С.С. Эмиссия фотонов при взаимодействии электронов и ионов с поверхностью твердых тел.-В сб.: Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия.-Харьков:ХФТИ, 1983, с.106-109.

176. Дробнич В.Г., Поп С.С., Бандурин Ю.А. Модели образования возбужденных состояний атомов, распыленных при ионной бомбардировке металлов.-В сб.: Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия.-Харькош ХФТИ, 1983, с.ПО-112.

177. Поп С.С., Дробнич В.Г., Бандурин Ю.А. Заселенности возбужденных состояний распыленных атомов при ионной бомбардировке Be ,ai и AI2O3.-B сб.: Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия.-Харьков: ХГУ, 1983, с.106-109.

178. Бандурин Ю.А., Демаков К.Д., Дробнич В.Г., Никольский Ю.В.,

179. Поп G.C., Столярова В.Г. Изучение имплантационных профилей алюминия в кремнии методом ионно-фотонной спектроскопии.В сб.:Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия. Харьков:ХФТИ, 1983, с.190-192.

180. Поп С.С., Дробнич В.Г., Бандурин Ю.А. Влияние матрицы на вероятность возбуждения распыленных атомов примеси.-В сб.:Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия.-Харьков, ХФТИ,1983, с.143-144.

181. Поп С.С., Дробнич В.Г., Бандурин Ю.А, Температурная зависимость эмиссии фотонов при бомбардировке монокристалла молибдена ионами калия.-Поверхность. Физика, химия, механика,1983, вып.5, с.73-75.

182. Коваль А.Г., Логачев Ю.Е., Коппе В.Т. Исследование эмиссии возбужденных частиц с поверхности ванадия. -В сб.: Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия.-Харьков:ХФТИ, 1983,с.I3I-I33.

183. Коваль А. Г. , Логачев Ю.Е. Исследование ионно-фотонной эмиссии с поверхности ниобия. -В сб.: Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия.^Харьков: ХФТИ, 1983, с.137-139.

184. Андреев А.А., Юрасова В.Е. Ионно-фотонная эмиссия никеля при магнитном фазовом переходе. -В сб.: Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия. -Харьков: ХФТИ, 1983, c.II9-I2I.

185. Багдасарян А.С., Лабзин В.Г., Раджабов Т.Д. Кинетические особенности в интенсивноетях спектральных линий распыленных частиц. -В сб.: Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия.-Харьков: ХГУ, 1983, с.122-124.

186. Рыжов В.Н.-, Теплов С.В. Влияние угла бомбардировки на интенсивность ионно-фотонной эмиссии лития.-В сб.: Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия.-Харьков: ХФТИ, 1983,с.156-157.

187. Арифов Т.У., Васильева Е.К., Груич Д.Д., Пешехонов В.П.,

188. Пичко С.В., Сеттарова З.С. Исследование свечения при взаимодействии ионов аргона с поверхностью металлов и диэлектриков. -В сб.: Взаимодействие атомных частиц с твердым телом, .-Харьков: ХГУ", 1976, ч.2, с.210-213.

189. Pop S.S., Yevdokimov S.A., Imre A.I., Dashchenko A.I., Zapesochny I.P. Excitation of sputtered and scattered particles under ion bombardment of some metal surfaces.- In: Proc. VII Inter. Corif. on Atomic Collisions in Solids.- Moscow, 1977, p.365-366.

190. Bandurin Yu.A., Batchurin V.I., Drobnitch V.G., Pop, S.S., Yurasova V.E. Tempereture dependence of cobalt ion-photon emission.- In: Proc. X Intern. Conf. on Atomic Collisions in Solids, Bielefeld, Germany, 1983, p.23.

191. Pop S.S., Drobnitch V.G., Bandurin Yu.A. Population of sputtered atoms excited states at Be and A1 ion bombarding.- In:

192. Proc. X Intern. Conf. on Atomic Collisions in Solids, Bielefeld, Germany, 1983, p.25

193. Drobnitch. V.G., Pop S.S., Bandurin Yu.A. The model of atomic excited states formation during ion bombardment of metals.- In: Proc. 9th Intern. Vaccuum Congr. and 5th Intern. Conf. on Solid Surfaces, Madrid, 1983, p. 72-73.

194. Kijan T.S., Gritsyna V.V., Pogel Ya.M. On the spectrum emitted by excited particles ejected from the surface of a calcium target by a beam of Ar+ ions.- Nucl. Instr. and Methods, 1976, v.132, p.435-438.

195. Gritsyna V.V., Kijan T.S., Koval A.G., Pogel Ya.M. Luminescence of particles of scattering hydrogen ions at the surface of metallic targets.- Phys. Lett., 1968, v.27A, No 5, p.292-293.

196. Gritsyna V.V., Kijan T.S., Koval A.G., Pogel Ya.M. An investigation of the velocity spectrum of excited particles by fast ions from a solid as a means to study its electronic level structure.-Rad.Effects, 1972, v.14, No 1-2, p.77-79.

197. Kijan T.S., Gritsyna V.V., Pogel Ya.M. On the continuous spectrum emitted by particles ejected from the surface of solid targets by an ion beam.- Nucl. Instr. and Methods, 1976, v.132, p.415-417.

198. Kijan T.S., Gritsyna V.V., Pogel' Ya.M. Influence of the radiationless transitions on an intensity of the optical radiation emitted by excited atoms ejected from solids by an ion beam.- Z. Physik, 1978, V.A285, p.257-258.

199. Pazdzersky V.A., Tsipinyuk B.A. Excited atom emission from metals under ion bombardment.- Vacuum, 1982., v.32, No 12, p .72.3-728.

200. Arnold W. Ueber Luminescenz.-Ann.Phy6., 1897, Bd.6l, S.311.

201. Stark J., Wendt G. Serienemission an festen Metallverbin-dungen durch Kanalstrahlen. Schwellenwerk der erregenden Energie.- Ann. Phys., 1912, Bd.38, S.689-696.

202. Mayer H. On the radiation of metal surfaces bombarded by positive alkaly ions.- Phyl.Mag., 1933, v.16, p.594-606.

203. Chaudhry R.M., Khan A.* Chaudhry M.M. Emission of ultraviolet radiation from metals by alkali-positive ions.-Nature, 1964, v.2.01, p.284-285.

204. Fluit J.M., Friedman L., Eck J., Snoek C., Kistemaker J. Photons and metastable atoms produced in sputtering experiments (5-20 keV).- In: Proc. Intern. Conf. on Ionization Phenomena in Gases, Munich, 1961, Amsterdam, 1962, v.l,p.131-149.

205. Kistemaker J., Snoek C. Surface phenomena related with sputtering.- Le Bombardment Ionique, C.N.R.S., Paris, 1962, v.113, p.51-61.

206. Bierman D.J., Saris F.W., Kistemaker J. Photon emission from ion-bombardment metal surfaces.- In: Proc. 9th Intern. Conf. on Phenomena in Ionized Gases, Bucharest, 1969» v.2, p.106.

207. Van der Weg W.F., Bierman D.J. Excitation of Cu atoms by Ar ions and subsequent radiationless deexcitation of scattered particles near a Cu surface.- Physica, 1969, v.44, No 2, p.206-218.

208. Braun M., Emmoth В., Buchta R. The influence of aluminium oxide layers on ion bombardment induced light emission.-In: Proc. 7th Intern. Vac. Congr. and 3rd Intern. Conf. Solid Surfaces, Vienna, 1977, p.501-503.

209. Meriaux J.-P. Etude du fenomene d'ionoluminescence atomique et application a la microanalyse. These de docteur essciences physiques. Lyon, 1971.-104 p.

210. Meriaux J.-P., Goutte R., Guilland C. The influence of chemically active gas on the light emission of metallic targets bombarded by positive ions.- Appl. Phys., 1975, v.7, No 4, p.313-320.

211. Kerkov H. Photon emission during bombardment of solids with alkali ions in the energy range between 2 and 10 keV.-Phys. Status Solidi, 1972, v.AlO, No 2, p.501-508.

212. White C.W., Tolk N.H. Photon emission produced by particle-surface collisions.- J. Nucl. Mater., 1976, v.63, No 1,p.506-512.

213. White C.W. Ion induced optical emission for surface and depth profile analysis.- Nucl. Instr. and Methods, 1978, v.149, No 1-3, p.497-506.

214. Kelly R., Dzioba S., Tolk N.H., Tully J.C. Atomic, molecular, and continuum radiation from ion—bombarded В and BgO-^.

215. Surface Sci., 1981, v.102, No 2-3, p.486-505.

216. Kelly R. Statistical model for the formation of excited atoms in the sputtering process.- Phys. Rev. B, 1982., v.25, No 2, p.700-712.

217. White C.W., Tolk N.H., Kraus J., Van der Weg W.P. Continuum optical radiation produced by low-energy heavy particle bombardment of metal targets.- Nucl. Instr. and Methods, 1976, v.132, p.419-425

218. Carter G., Armour D.G., Snowdon K.J. Cascade and quasither-mal processes in excited atom sputtering.- Rad. Effects, 1978, v.35, No 3, p.175-187.

219. Snowdon K.J., Carter G., Armour D.G., Andersen В., Veje E. A comparison of gas-phase, plasma, sputtering and beam-foil excitation.- Surface Sci., 1979, v.90, No 2, p.429-441.

220. Martel J.G., Olson N.T. Ion bombardment induced photon and secondary electron emission.- Nucl. Instr. and Methods, 197.2, v.105, No 2, p.269-275.

221. Thomas G.E., Kluizenaar. E.E. The influence of reactive gases on the ion bombardment-induced light emission from surfaces.- Vide, 1973, v.28, No 167, p.190-193.

222. Thomas G.E., Kluizenaar E.E. A chemical effect on light emission from ion-bombarded copper and aluminium surfaces.-Intern. J. Mass Spectrom. Ion Phys., 1974, v.15, No 2,p. 165,-179.

223. Thomas G.E., Kluizenaar E.E. Bombardment-induced light emission for the analysis of surface.- Acta Electron., 1975, v.18, No 1, p.63-69.

224. Thomas G.E. Letter to the editor. The chemical effect in bombardment induced light emission.- Rad. Effects, 1977, v.31, No 3, p.185-186.

225. Kelly R., Kerkdijk C.B. Bombardment-induced photon emissionfrom aluminium and AI2O3 targets.- Surface Sci., 1974, v.46, No 2, p.537-557.

226. Kerkdijk C.B., Kelly R. Photon emission from a bombarded

227. A1 target and its dependece on oxygen.- Surface Sci., 1975, v.47, No 1, p.294-300.

228. Kerkdijk C.B., Kelly R. Oxygen-dependent photon emission from Ne+-bombardment Mg.- Rad. Effects, 1978, v.38, No 1-2, p.73-81.

229. Kerkdijk C.B., Smits O.M., Olander D.R., Saris F.W. The shape of doppler-broadened spectral lines produced by light atom reflection from metals. II. Experimental protons on copper.- Surface Sci., 1975, v.49, No 1, p.45-60.

230. Kerkdijk O.B.Schartner K.H.,Kelly R.,Saris F.W. Continuum photon emission by some metals under heavy particle bombardment.- Nucl.Instr. and Methods, 1976, v.132, p.427-434.

231. Tolk N.H., White C.W., Sigmund P. Broad-band optical radiation from low-energy ion-metal collisions.- Bull. Am. Phys. Soc., 1973, v.18, p.686-690.

232. Martin P.J., MacDonald R.J. The influence of single crystal structure on photon and secondary ion emission from Ar+ ion bombarded aluminium.- Rad. Effects, 1977, v.32, No 3-4,p. 17.7-185.

233. Martin P.J., MacDonald R.J. The spectroscopy of ion-induced photon emission and its application to quantitative surface analysis.- Surface Sci., 1977, v.62, No 2, p.551-566.

234. Andersen N., Andresen В., Veje E. Atomic excitation in sputtering process.- In: Proc. Sputtering Symp., Wien, 1980, P.726-735.

235. Andersen N., Andre sen B.,Vej,e E. Atomic excitations in sputtering processes.-Rad.Eff.,1982, v.6o, No 1-4, p.119-127.

236. Jensen K., Veje E. An experimental study of optical radiation from sputtered species.- Z.Physik, 1974, v.269, No 3, p.293-300.

237. Loxton G.M., MacDonald R.J., Taglayer E. A comparison of measurements of the energy of atoms sputtered in excited states.- Surface Sci., 1981, v.102, p.L76-L80.

238. Loxton C.M., MacDonald R.J., Martin P.J. The influence of non-radiative transitions on bombardment induced photon emission from Ti and Ti oxide.- Surface Sci., 1980, v.93, No 1, p.84-156.

239. MacDonald R.J., Garrett R.P. A method of quantitative analysis based on ion bombardment induced secondary ion and photon emission.- Surface Sci., 1978, v.78, p.371-385.

240. MacDonald R.J., Martin P.J. A study of the interaction of oxygen with chromium using ion bombardment induced photon and secondary ion emission.- Surface Sci., 1977, v.67,p.237-250.

241. Rausch E.O., Bazhin A.I., Thomas E.W. On the origin of broadband optical emission from Mo, Nb and W bombarded by heavy ions.- J. Chem. Phys., 1976, v.65, No 11, p.4447-4454.

242. Braun M., Emmoth В., Buchta R. Concentration profiles and sputtering yields measured by optical radiation of sputtered particles.- Rad. Effects, 1976, v.28, No 1-2, p.77-83.

243. Dzioba S., Auciello 0., Kelly R. On the kinetic energies of sputtered excited particles. I. Atoms sputtered from Li, LiP and NaCl.- Rad.Effects, 1980, v.45, No 3-4, p.235-246.

244. Dzioba S., Kelly R. On the kinetic energies of sputtered excited particles. II. Theory and applications to group II A fluorides.- Surface Sci., 1980, v.100, p.119-134.

245. Wright R.B., Gruen D.M. Secondary photon emission studies of ion bombarded beryllium.- Nucl. Instr. and Meth., 1980, v.170, No 1-3, p.577-583.

246. Brozdowska-Warczak В., Gabla L. Bombardment-induced photon emission from metallic and semiconducting surfaces as a function of target temperature.- Acta Physica Polonica, 1980, V.A58, No 2, p.241-244.

247. Dziurda W., Gabla L., Pedrys R., Tuleta M. Phase transition on a Ni (111) surface in the presence of oxygenous environment.- Surface Sci., 1981, v.105, p.L277-L280.

248. Gabla L. Photon emission from sputtered atoms as a function of the phase transition in the target.- Nucl. Instr. and Methods, 1982, v.194, No 1-3, p.603-605.

249. Szymonski M., Poradzisz A., Gabla L. A comparison of radiation from sputtered atoms with radiation from projectiles scattered on oxidized magnesium at varing angle of incidence.- Surface Sci., 1981, v.112, No 3, p.254-260.

250. Schartner K.H., Plaig H.J., Hasselkamp D., Scharmann A. Light emission from sputtered oxygen.- Nucl. Instr. and Methods, 1980, v.168, No 1-3, p.419-423.

251. AndrS H.J., PIShn H.J., Gaupp A., FrShling R. Nuclear spin polarization produced by ion-beam-surface-interaction, its optical detection and use in atomic quantum-beat experiment.- Z. Phys. a, 1977, v.281, p.15-20.

252. Shimizu R. Simultaneous measurements of photon and ion emissions from ion bombarded A1 in an oxygen atmosphere.- Surface Sci., 1977, v.69, No 1, p.349-353.

253. Hippler R., Kruger W., Scharmann A., Schartner K.N. Line shape measurements of atoms sputtered from polycrystalline Cu, Zn and A1 by 300 keV Ar+ bombardment.- Nucl. Instr. and Methods, 1976, v.132, p.439-444.

254. Coles J.M. A study of the feasibility of a surface plasma influencing secondary ion and photon emission under medium-energy ion bombardment.-Surface.Sci.,1979,v.79,No 2,p.549-574.

255. Blaise G. Similarities in photon and ion emissions induced by sputtering.- Surface Sci,, 1976, v.6o, No 12, p.65-75.

256. Thomas E.W., Zivitz M., Baird E.W., Harriss J.E., Rausch E.O. Scattering of ,10-30 keV H+, H^ and H^ ions from surfaces: excited state composition and scattered H+ flux.-J. Nucl. Materials, 1976, v.63, No 1, p.205-209.

257. Good-Zamin C.J., Shehata M.T., Squires D.B., Kelly R. On the problem of whether excited states amongst sputtered particles are of thermal origin.- Rad. Effects, 1978, v.35,1. No 3, p.139-149.

258. Tsong I.S.T. Reply to "Photon emission, from sputtered atoms-the observation of apparent local thermodynamic equilibrium in the excitation" by R.J.MacDonald, R.P.Garrett and P.J. Martin.- Surface Sci., 1978, v.75, No 1, p.L159-Ll60.

259. Tsong I.S.T., Yusuf N.A. Does local thermodynamic equilibrium exist in the excitation process of sputtered atoms? -Surface Sci., 1979, v.90, No 2, p.417-428.

260. Tsong I.S.T. Photon emission from sputtered particles during ion bombardment.- Phys. Stat. Sol., 1971, v.A7, No 2, p.451-458.

261. Tsong I.S.T., Tsuji S. The effect of adsorbed and recoil-implanted oxygen on sputtered excited atoms.- Surface Sci., 1980, v.94, No 2-3, p.269-280.

262. Tsong I.S.T., Yusuf N.A. Absolute photon yields in the sputter-induced optical emission process.- Appl. Phys. Lett., 1978, v.33, No 12, p.999-1002.

263. Tsong I.S.T., Yusuf N.A. Velocity measurements of sputtered atoms in excited states.- Nucl. Instr. and Methods, 1980, v.170, No 1-3, p.357-362.

264. Williams P., Tsong I.S.T., Tsuji S. A comparison of absolute yields of excited neutral and positive ions from ion-bombarded surfaces.- Nucl. Instr. and Methods, 1980, v.170, No 1-3, p.591-595.

265. Yu M.L. A comment on the effect of Cs on photon and secondary ion emission during sputtering.- Surface Sci., 1979, v.90, No 2, p.442-446.

266. Taglayer E., Heiland W., MacDonald R.J. The study of sputtering effects in oxides and metal-adsorbed-gas systems using combined analytical techniques.- Surface Sci., 1979, v.90, No 2, p.661-675.

267. Joyes P., Hennequin J.P. Tempe de deexcitation auger d'un trou cree par bombardment ionique sur un niveau electroni-que lie d'un atome du metal irradie.- J. Phys., 1968, v.29, No 5-6, p.483-487.

268. Joyes P. Etude theoretique de 1'emission ionique secondaireT J. Phys., 1969, v.30, No 4, p.365-376.

269. Joyes P. Evaluation theoreque de la pulverisation cathodi-que isotrope.- J. Phys., 1968, v.29, No 8-9, p.774-790.

270. Фриш С.Э. Оптические спектры атомов.- М.-Л.: ГИФМЛ, 1963.640 с.

271. Onderderlinden D. Single-crystal sputtering including the channeling phenomenon.- Can. J. Phys., 1968, v.46, No 11, p.739-745.

272. Папп В.-Ф.З. Исследование процессов ионизации атомов неона, аргона, криптона и ксенона электронным ударом по излучению в области вакуумного ультрафиолета.- Дис. канд. физ.-мат. наук, Ужгород, 1977.- 140 с.

273. Комник Ю.Ф. Физика металлических , пленок: размерные и структурные эффекты.- М.: Атомиздат, 1979.- 263 с.

274. Alsen Z.R., Lee B.W., Ignatiev A., Van Hove M.A. The state of the surface of martensitically transforming cobalt single crystals.- Solid State Commun., 1978, v.25, No 9, p.641-644.

275. Chernysh V.S., Johansen A., Sarholt-Kristensen Z. Sputtering yields measurement on single crystal cobalt.- Rad. Effects, 1980, v.57, p.119-124.

276. Dawson P.H. Oxygen-adsorption on molibdenum studied by low-energy secondary-ion mass spectrometry and electron-induced desorption.- Phys. Rev. B, 1977, v.15, No 12, p.5522-5534.

277. Lawrence G.M., Liszt H.S. Radiation lifetimes in resonance series of Ne.- Phys. Rev., 1969, v.178, No 1, p.122-125.

278. Meischner P., Yerbeek H. Energy distribution of charged and neutral hydrogen atoms backscattered from metal surface bombarded with 5 to 18 keV protons.- J. Mater., 1975, v.53,p.276-280.

279. Schroeer J.M., Rhodin T.N., Bradley R.С. A quantum-mechanical model for the ionization and excitation of atoms during sputtering.- Surface Sci., 1973, v.34, No 3, p.571-580.

280. Schroeer J.M. Calculation from first principles of the yield of ions and excited neutral atoms sputtered from metal surfaces.- Surface Sci., 1973, v.35, p.485-492.

281. Williams P. The sputtering process and sputtered ion emission.- Surface Sci., 1-79, v.90, No 2, p.588-634.

282. Sigmund P. Theory of sputtering. I. Sputtering yield of amorphous and polycrystalline targets.- Phys. Rev., 1969, v.184, No 2, p.383-416.

283. Hagstrum H.D. Theory of auger ejection of electrons from metals by ions.- Phys. Rev., 1954, v.96, No 2, p.336-365.

284. Blaise G., Nourtier A. Experimental and theoretical approach to the ionization process in secondary-ion emission.-Surface Sci., 1979, v.90, No 2, p.495-547.

285. Парилис Э.С. Эффект Оже.- Ташкент: Фан, 1969.- 210 с.

286. Парилис Э.С., Ферлегер В.А. Захваты и потери электронов вне поверхности металла при рассеянии быстрых атомных частиц.-Тез. симпозиума по взаимодействию атомных частиц с поверхностью твердого тела. Ташкент: Фан, 1979, с.46-47.

287. Bloss W., Hone D. Theory of charge exchange scattering from surfaces.- Surface Sci., 1978, v.72, No 2., p.277-297.

288. Blandin A., Nourtier A., Hone D.W. Localized time-dependent perturbation'in metals; formalism and simple examples.

289. J. Phys., 1976, v.37, No 4, p.369-378.

290. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Квантовая механика: нерелятивистская теория.- М.: Физматгиз, 1963.- 704 с.

291. Мигдал А.Б. Качественные методы в квантовой теории.- М.:1. Наука, 1975.- 335 с.

292. Wojciechowski K.F. Some remarks on the electronic configuration of a metal-adsorbate system.- Surface Sci., 1973, v.36, No 2, p.689-700.

293. Gadzuk J.W. Theory of atom-metal interactions. I. Alkali atom adsorption.- Surface.Sci.,196-7, v.6, No 2, p.133-158.

294. Дробнич В.Г., Поп С.С., Евдокимов С.А. Возбуждение' распыленных частиц при ионной бомбардировке металлов.- В сб.: Материалы научной конференции аспирантов и молодых ученых.-Ужгород: УжГУ, 1976. Деп. в ВИНИТИ 23 декабря 1976 г.,4501-76, с.97-107.

295. Anderson P.W. Localized magnetic states in metals.- Phys. Rev., 1961, v.124, No 1, p.41-53.

296. Newns D.M. Self-consistent model of hydrogen chemisorp-tion.- Phys. Rev., 1969, v.178, No 3, p.1123-1135.

297. Grozdanov T.P., Janev R.K. Survival probabilities of excited atoms emerging from a metal surface.- Phys. Lett.,1978, v.A65, No 5-6, p.396-398.

298. Mashkova E.S., Molchanov V.A. Correlated atomic collision sequences at solid surfaces.- Rad. Effects, 1972, v.13, p.183-190.