Повышение механической прочности кремниевых пластин путем снижения трещинообразования при их изготовлении тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.02.08, кандидат технических наук Радькова, Наталья Олеговна

• Радькова, Наталья Олеговна
• кандидат технических наук
• 2004

Оглавление диссертации кандидат технических наук Радькова, Наталья Олеговна

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1 ПРОБЛЕМА ПОВЫШЕНИЯ МЕХАНИЧЕСКОЙ ПРОЧНОСТИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН.

1.1 Образование и развитие трещин в хрупких, упругих материалах при их механической нагрузке.

1.2. Механизм образования трещин в хрупких, упругих материалах при их механической обработке.

1.3. Методы механической обработки кремниевых пластин.

1.4. Причины возникновения остаточных напряжений в кремниевых пластинах.

1.5. Анализ методов контроля качества кремниевых пластин.

1.5. Постановка целей и задач исследований.

ГЛАВА 2 МЕТОДИКА ПРОВЕДЕНИЯ ИССЛЕДОВАНИЙ.

2.1. Общая стратегия исследований.

2.2. Материалы, образцы, инструмент.

2.3.Определение механической прочности кремниевых пластин.

2.4. Определение глубины дефектного поверхностного слоя.

2.5. Регистрация электромагнитных сигналов кремниевых пластин при их механическом нагружении.

2.6.Выводы к главе 2.

ГЛАВА 3 ТЕОРЕТИКО-ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЙ АНАЛИЗ ОБРАЗОВАНИЯ ТРЕЩИН В КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИНАХ ПРИ ИХ ИЗГОТОВЛЕНИИ.

3.1.Образование микротрещин при абразивной обработке.

3.2. Факторы, определяющие образование трещин.

3.3. Влияние трещинообразования на механическую прочность кремниевых пластин.

3.4. Влияние остаточных напряжений на геометрические размеры трещин.

3.5. Выводы к главе 3.

ГЛАВА 4 ВЛИЯНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ОПЕРАЦИЙ НА МЕХАНИЧЕСКУЮ ПРОЧНОСТЬ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН.

4.1. Влияние механической обработки на глубину дефектного слоя и 88 прочность кремниевых пластин.

4.2. Влияние зернистости абразивного инструмента на прочность кремниевых пластин.

4.3. Выводы к главе 4.

ГЛАВА 5 ИССЛЕДОВАНИЕ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ, ВОЗНИКАЮЩЕГО ПРИ МЕХАНИЧЕСКОМ НАГРУЖЕНИИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН.

5.1. Регистрация электромагнитных сигналов кремниевых пластин при их механическом нагружении.

5.2. Влияние величины электропроводности и природы носителей зарядов на параметры электромагнитного излучения кремниевых пластин.

5.3. Частота колебаний кремниевой пластины и интенсивности электромагнитного излучения.

5.4. Выводы к главе 5.

ГЛАВА 6 ПРИМЕНЕНИЕ И ПЕРСПЕКТИВА ИСПОЛЬЗОВАНИЯ

РЕЗУЛЬТАТОВ ИССЛЕДОВАНИЙ.

6.1. Основные направления повышения механической прочности кремниевых пластин.

6.2. Перспективы использования результатов исследований по разработке метода неразрушающего контроля прочности.

6.3. Оценка технико-экономической эффективности повышения механической прочности кремниевых пластин.

6.3. Выводы к главе 6.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Повышение механической прочности кремниевых пластин путем снижения трещинообразования при их изготовлении»

АКТУАЛЬНОСТЬ »ТЕМЫ. В современной промышленности наряду с другими материалами широко используется кремний. Детали из кремния используются в самых разнообразных приборах, в том числе в солнечных батареях, которые применяются как в космической отрасли, так и в автомобилестроении в качестве источников электрической энергии.

Основой для изготовления изделий из кремния является кремниевая пластина. Значительное число кремниевых пластин не выдерживают весь технологический цикл и разрушаются из-за низкой механической прочности, вследствие образования трещин и появления остаточных напряжений в их поверхностном слое. Несомненно, снижение механической прочности пластин может быть обусловлено операциями, связанными с процесса выращивания слитка кремния и механической обработкой.

В этой связи важным является контроль качества кремниевых пластин как на начальном этапе производства, так и после каждой технологической операции. Анализ методов их контроля показал, что ни один из них практически не может быть использован для оперативного контроля прочностных свойств пластин. В исследованиях было установлено , что при импульсном механическом воздействии на кремневую пластину вокруг последней появляются электромагнитные поля. Несомненно, целесообразным является использование данного явления для контроля качества кремниевых пластин.

Актуальным является также проведение исследований по влиянию методов механической обработки на прочность кремниевых пластин, а так же разработка рекомендаций по повышению их качества.

ЦЕЛЬ РАБОТЫ: повышение механической прочности кремниевых пластин путем снижения трещинообразования при их изготовлении.

Для достижения поставленной цели следует решить следующие задачи:

1. Провести теоретические и экспериментальные исследования по влиянию технологических методов обработки на механическую прочность кремниевых пластин .

2. Провести теоретические и экспериментальные исследования по • влиянию остаточных напряжений на механическую прочность кремниевых пластин.

3. Разработать метод неразрушающего контроля качества кремниевых пластин на основе проведения исследований электромагнитного излучения при их механическом нагружении.

4. Разработать практические рекомендации по повышению механической прочности кремниевых пластин при их изготовлении.

НАУЧНАЯ НОВИЗНА РАБОТЫ:

1. Установлено, что прочность хрупких материалов обусловлена размерами микротерщин, образовавшимися при механической обработке.

2. Впервые на основе энергетической теории прочности получены теоретические уравнения, позволяющие оценить влияние зернистости инструмента и величины остаточных напряжений на механическую прочность кремниевых пластин.

3. Впервые установлено, что в пространстве, окружающем кремниевую пластину при ее механическом возбуждении возникает электромагнитное поле, качественные характеристики которого связаны с дефектами структуры .

ПРАКТИЧЕСКАЯ ЦЕННОСТЬ РАБОТЫ:

Разработаны установки для проведения методик испытаний на прочность пластин, изготовленных из хрупких материалов, и определения глубины их дефектного слоя.

2. Разработаны методика неразрушающего контроля качества кремниевых пластин и лабораторный вариант установки, который может быть положен в основу создания промышленных приборов.

3. Разработаны рекомендации по повышению механической прочности кремниевых пластин, при их изготовлении.

4. Предложена технология производства кремниевых пластин, позволяющая существенно снизить затраты на производство изделий из кремния. Внедрения результатов исследований в практику позволило решить важнейшую задачу по повышению механической прочности кремниевых пластин путем снижения трещинообразовния при их изготовлении, что позволило повысить качество полупроводниковых изделий.

Основные результаты и выводы сводятся к следующему:

1. Качество кремниевых пластин во многом обусловливается образованием и развитием микротрещин при их изготовлении.

2. На основании теоретических и экспериментальных исследований получены уравнения, позволяющие оценить влияние зернистости абразивного инструмента и величины остаточных напряжений на механическую прочность кремниевых пластин.

3. Экспериментально подтверждено, что прочность кремниевых пластин обусловлена размерами микротрещин, образующихся при механической обработке, которые в свою очередь зависят от зернистости инструмента и величины остаточных напряжений.

4. Если в пластинах имеются остаточные напряжения, сформировавшиеся при выращивании кристалла, то именно они являются лимитирующим фактором, обусловливающим размер микротрещин после механической обработки.

Заключение диссертации по теме «Технология машиностроения», Радькова, Наталья Олеговна

Основные результаты и выводы сводятся к следующему:

1. Качество кремниевых пластин во многом обусловливается образованием и развитием микротрещин при их изготовлении.

2. На основании теоретических и экспериментальных исследований получены уравнения, позволяющие оценить влияние зернистости абразивного инструмента и величины остаточных напряжений на механическую прочность кремниевых пластин

3. Экспериментально подтверждено, что прочность кремниевых пластин обусловлена размерами микротрещин, образующихся при механической обработке, которые в свою очередь зависят от зернистости инструмента и величины остаточных напряжений.

4. Если в пластинах имеются остаточные напряжения, сформировавшиеся при выращивании кристалла, то именно они являются лимитирующим фактором, обусловливающим размер микротрещин после механической обработки.

5. Разработан лабораторный вариант установки по неразрушающему контролю качества кремниевых пластин.

6. В результате исследований установлено, что при импульсном механическом возбуждении кремниевых пластин в пространстве их окружающем возникает электромагнитное излучение параметры которого (число импульсов, амплитуда) зависят от типа носителей заряда, величины электропроводности, площади антенны, расстояния между антенной и пластиной, а так же от величины остаточных напряжений.

7. Установлено, что с уменьшением механической прочности кремниевых пластин, которое обусловлено возрастанием остаточных напряжений, увеличивается интенсивность электромагнитного излучения.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В результате проведения теоретических и экспериментальных исследований получила дальнейшее развитие теория механической прочности хрупких тел, а так же научные основы обеспечения качества кремниевых пластин. На основе анализа процесса взаимодействия абразивного зерна с поверхностью хрупкого тела, и проведенных теоретических и экспериментальных исследований разработаны рекомендации, позволяющие повысить качество кремниевых пластин.

Особенностью данной работы является комплексный подход к оценке влияния операций механической обработки на предел прочности хрупких тел. В частности, показано, что механическая прочность пластин связана с микротрещинами, размер которых обусловлен не только зернистостью инструмента, но и величиной остаточных напряжений. Разработан оригинальный способ не-разрушающего контроля качества кремниевых пластин.

Результаты исследований позволяют определить основные направления повышения качества и механической прочности кремниевых пластин.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Радькова, Наталья Олеговна, 2004 год

1. Андрейкив, А.Е. Пространственные задачи теории трещин /А.Е. Андрейкив - Киев.: Наукова думка. - 1982. —348 с.

2. Беляев, Л.М. О времени высвечивания в процессах трибо и кристаллолю-минисценции /Л.М. Беляев, В.В. Набатов, Ю.Н. Мартышев // Кристаллография.- 1962.- Т 7.- вып.4. - С.576 -580.

3. Березин, A.B. Влияние повреждений на деформационные и прочностные характеристики твердых тел ./A.B. Березин-Москва.: Наука. — 1990. 134 с.

4. Бир, Г.Л.Симметрия и деформационные эффекты в полупроводниках. /Г.Л. Бир, Т.Е. Пикус М.: Наука, 1972.

5. Богатырев, В.А. Представление параметров силового воздействия абразивного инструмента на образовываемую поверхность линейным преобразователем /В.А. Богатырев, Л.П. Калафатова // Международный сборник научных трудов. Вып. 7 - Донецк. :Дон ГТУ- 1999.

6. Бондарец, Н.В. Проблемы контроля структурного совершенства монокристаллических пластин при изготовлении полупроводниковых приборов /Н.В. Бондарец, В.Н. Зеленов // Электронная промышленность. —1987. — Вып.2. — С. 25-30

7. Вишневская, Н.Л. Расчет напряженности самосоглас. Электрического поля, возникающего в диэлектрике при механическом воздействии /Н.Л. Вишневская, Л. А. Защинский // Изв. Вузов, Физика. 1977. - № 5. - С.71-76.

8. Власов, В.П. Электрический рельеф в процессах зародышеобразования и роста /В.П. Власов, Ю.М. Герасимов, Г.И. Дистлер // Кристаллография. — 1970. Т. 16. - Вып.2. - С.346 - 352.

9. Воробьев, A.A. Тектоноэлектрические явления и возникновение естественного импульса магнитного поля Земли /A.A. Воробьев // ЕИЭМПЗ. — Томск, 1979.-585 с.

10. Воробьев, A.A. Физические условия залегания и свойства глубинного веще-ства./А.А. Воробьев — Томск: Изд-во ТГУ, 1975.

11. П.Воробьев, Н.И. Влияние кристаллографических дефектов в кремнии на параметры мощного транзистора /Н.И. Воробьев // Электронная техника сер.З. Микроэлектроника, вып.5. -1974. С 95 -99.

12. Воллбрант, И. Генерирование электронов высоких энергий при разрушении твердого тела /И. Воллбрант, Ю.А. Хрусталев // Докл. АН СССР.- 1975. -Т.225. № 2.

13. Гинзбург, B.JI. Некоторые вопросы теории излучения и переходного рассеивания /B.JI. Гинзбург, В.Н. Цытович//Успехи физ. Наук. -1978. -Т. 126-Вып.4

14. Н.Голиков, В.И. Исследование поверхности монокристаллических подложек для эпитаксии после механической обработки. / В.И. Голиков, В.И. Карбань, А.Ф. Онипко и др.// Полупроводниковая техника и микроэлектроника. 1973.- Вып. 13 - С.3-16.

15. Григорович, В.К. Твердость и микротвердость металлов./В.К. Григорович-Изд-во Наука,- 1976.

16. Гольд, P.M. Импульсное ЭМ излучение минералов и горных пород, подверженным механическим нагреваниям./Р.М. Гольд и др. // Физика земли. — 1975. -№ 7. — С.109 111.

17. Гончаров, А.И. Акустическая эмиссия и ЭМ излучения при одноосном сжатии./ А.И. Гончаров // Докл. АН СССР. -1980. Т.225.- С.821- 824.

18. Грауи, Я. Основы технологии сверхбольших интегральных схем ./Я. Грауи -М.: Радио и связь.-1985-479 с.

19. Гуль, В.Е. Исследование электрических зарядов, возникающих при деформации полимеров / В.Е. Гуль, Г.А. Лущейкин, Б.А. Догодкин // Докл. АН СССР-1963.— Т.149.-№ 3.

20. Даценко, JI.И. Экспрессные изучения структурной однородности монокристаллических пластин / Л.И. Даценко и др.// Заводская лаборатория 1984. -Т.50.-№ 5. - С.38 -39.

21. Дерягин, Б.В. Роль электрических сил в процессах расщепления слюды /Б.В. Дерягин, М.С. Мецик // Физика твердого тела 1959 - Т. 1- Вып. 10. - С. 1521 - 1528.

22. Дерягин, Б.В. Аднезия твердого тела /Б.В. Дерягин, H.A. Короткова, В.П. Смилага.-М.: Наука, 1973.

23. Дерягин, Б.В. Энергетическое распределение электронов, эмитированных свежеобразованной поверхностью полимеров /Б.В. Дерягин и др.//Докл. АН СССР.- 1975.- Т. 222.- № з.

24. Дмитриевский, B.C., Частичные разряды при механических разрушениях твердых диэлектриков / В.С Дмитриевский , Л.Н. Корнилова // Изв. Томск, политех. ин-та.-1975- Т. 222. С. 12-15

25. Кайзер, В.В. Рекомбинация носителей тока в полупроводниках /В.В. Кайзер/ Под. ред. Бонч- Бруевича . -М.: ИЛ., 1959. С. 13.

26. Кайзер В.В. сб. Рекомбинация носителей тока в полупроводниках // Под. ред. Бонч- Бруевича . -М.: ИЛ., 1959. С. 13.

27. Казаков, О.Г., Исследование излучения кремниевых пластин при механическом воздействии /О.Г. Казаков, А.К. Стрельцов, В.И. Попков // Тезисы докладов 54-й научн. конф. проф.-преп. состава. Часть 2. Брянск.: Изд-во БГТУ, 1998.-С.27

28. Калафатова, Л.П. Исследование вероятности образования дефектов в обрабатываемой поверхности при шлифовании ситаллов /Л.П. Калафатова // Международный сборник научных трудов. Вып. 12. — Донецк.: Дон ГТУ. — 2000.

29. Коварский, В .Я. Метод промышленного контроля качества поверхности подложек кремния для эпитаксиального наращивания./В.Я. Коварский, Ю.Н. Кузненцов, Ю.М. Литвинов Электронная промышленность. -1974.— № 5 — С.38-42.

30. Концевой, Ю.А. Пластичность и прочности полупроводниковых материалов и структур./Ю.А. Концевой, Ю.М. Литвинов, Э.А. Фаттахов М.: Радио и связь.- 1982.- 129 с.

31. Корнфельд, М.И О происхождении избыточных зарядов в щелочно-галлоидных кристаллах /М.И. Корнфельд // Физика твердого тела 1970— Т. 12.-Вып. 1.

32. Корнфельд, М.И. Электризация ионного кристалла при пластической деформации /М.И. Корнфельд // Физика твердого тела 1973- Т. 15 - Вып. 10.

33. Корнфельд, М.И. Электрические заряды на поверхности щелочного-гаплоидного кристалла /М.И. Корнфельд // Физика твердого тела — 1972- Т. 13- Вып. 2.

34. Корнфельд, М.И. Пироэлектрические свойства пластически деформированного кристалла фтористого лития /М.И. Корнфельд // Физика твердого тела—1974.- Т. 16-Вып. 1.

35. Корнфельд, М.И Электризация ионного кристалла при расщеплении /М.И. Корнфельд//Физика твердого тела 1974.-Т. 16 — Вып. 11.

36. Корнфельд, М.И. Избыточные электрические заряды в щелочно-галлоидных кристаллах /М.И. Корнфельд // Физика твердого тела 1986 - Т. 10 - Вып. 8.

37. Корнфельд, М.И. Электризация ионного кристалла при пластичнской деформации и расщеплении/М.И. Корнфельд // Успехи физ. наук 1986Т. 116-Вып. 2.

38. Коротова, H.A. Эмиссия быстрых электронов при разрушении ионных кри-сталлов/Н.А. Коротова, Э. Л инке, Ю.А. Хрусталев // Докл. АН СССР—1973-Т. 208.-№ 1.64.

39. Коротова, H.A. Исследование электронной эмиссии при раскалывании твердых тел в вакууме /H.A. Коротова, В.В. Карасев // Докл. АН СССР.-1953 Т. 92.- №3.

40. Крылова, Н.О. Методика исследования микродефектов в монокристаллах кремния на топографическом спектрометре ДТС -1/Н.О. Крылова // Журнал технической физики 1983.-ТВ № 53.-№ 9-С 1750- 1753.

41. Лейкин, В.Н. Обзоры по электронной технике. Дислокации и их влияние на электрофизические параметры полупроводниковых приборов./В.Н. Лейкин -М 1978.-Вып. 2 .-642 с.

42. Леонов, М.Я. Метод инверсий в контактных задачах теории упруго-сти./М.Я. Леонов // Ин-т механики АН УССР 1953.-№1-С. 127 - 134.

43. Леонов, М.Я Розвиток найдр1бшших трщин в твердому Tmi/М.Я. Леонов,

44. B.В. Панасюк // Прикладная механика,- 1959 Вып. 5.- № 4 - С.391- 401.

45. Леонов, М.Я. Макронапряжения упругого тела /М.Я. Леонов, К.Н. Русинко //Журнал прикладной механики и технической физики 1963. № 5 — С. 104 -110.

46. Мартышев, Ю.П. Исследование свечения и электризации кристаллов при их деформации /Ю.П. Мартышев // Кристаллография.- 1965 — Т. 10 — Вып.2. —1. C. 224-226.

47. Маслов, E.H. Теория шлифования материалов/Е.Н. Маслов— М.: Машиностроение- 1974.

48. Минеев, В.Н. ЭДС, возникающая при ударном сжатии вещества /В.Н. Минеев, А.Г. Иванов // Успехи физ. наук.—1976.— Т. 119 Вып. 1.

49. Мирошниченко, М.И. Излучение электромагнитных импульсов при зарождении трещин в твердых диэлектриках/М.И. Мирошниченко, B.C. Куксенко //Физика твердого тела.-1980-Т. 22-Вып. 5. -С. 1531 1533.

50. Мирошниченко, М.И. Электромагнитные предвестники землетрясений/М.И. Мирошниченко, B.C. Куксенко М.: Наука., 1982. - С.88.

51. Мордкович, В.Н. Исследование электрофизических свойств кремния/В.Н. Мордкович // Электронная техника, сер. 2. Полупроводниковые приборы, вып. 5 (123).- 1978. С. 211 -229.

52. Налимов, В.В. Статистические методы планирования экспериментов/В.В. Налимов, H.A. Чернова-М.:Наука 1965.-340 с.

53. Павилайнен, В.С Влияние отжига на глубину нарушенного слоя монокристаллов кремния после шлифования/ B.C. Павилайнен, В.Н. Тимофеев //Физика и химия обработки материалов. 1973. - Вып.4 - С.80 — 83.

54. Панасюк, В.В. Определение разрушающей нагрузки для тела, ослабленной внешней круговой трещиной /В.В. Панасюк // Вопросы механики реального твердого тела.—1962.—№ 6.—С. 63 — 66.

55. Панасюк, В.В. Некоторые пространственные задачи теории равновесных трещин в деформируемом хрупком теле /В.В. Панасюк // Журнал прикладной механики и технической физики.-1962.- № 6 — С.85 — 93.

56. Панасюк, В.В. Некоторые пространственные задачи теории равновесия хрупких тел, имеющих трещины /В.В. Панасюк // Вопросы механики реального хрупкого тела 1964 - № 2.- С.З - 26.

57. Панасюк, В.В. Предельное равновесие хрупких тел с трещинами /В.В. Панасюк Киев.: Наукова думка. - 1968 - 246 с.

58. Перельман, М.Е. О радиоизлучении при хрупких разрушениях диэлектриков / М.Е. Перельман, И.Г. Хатиашвили / / Докл. АН СССР.- 1981.- Т. 256.- № 4. С. 824 - 826.

59. Пестриков, В.М. Механика разрушения твердых тел / В.М. Пестриков, Е.М. Морозов СПб. - Профессия. — 2002.

60. Попков, В.И. Разработка метода контроля качества полупроводниковых материалов /В.И. Попков, О.Г. Казаков, Н.О. Радькова // Качество машин. Сб. тр. 4-й междунар.-техн. конф. в 2 т./ Под общ. ред. Суслова А.Г. Брянск: БГТУ, 2001.-Т. 1-С. 142-144.

61. Попков, В.И. Методы оперативного контроля качества полупроводниковых материалов: Монография/ В.И. Попков, О.Г. Казаков, Н.О. Радькова -Брянск: Изд-во БГТУ, 2001. 51 с.

62. Попков, В.И. Методы неразрушающего контроля качества полупроводниковых материалов /В.И. Попков, О.Г. Казаков, Н.О. Радькова // Контроль и диагностика, 2002, № 1.- С. 18 23.

63. Попков, В.И. Влияние технологических факторов на физико-механические свойства кремниевых пластин / В.И. Попов, О.Г. Казаков, Н.О. Радькова // Справочник. Инженерный журнал, 2002, № 7 С.11 - 13.

64. Технологические остаточные напряжения/ Под ред. A.B. Подзея. М.: Машиностроение. — 1973. 216 с.

65. Расчеты экономической эффективности новой техники: Справочник / под общ. ред. Великанова. 2-е изд. перераб. и доп.- JL: Машиностроение. Jle-нингр. отд.,1990.

66. Рыжов, Э.В. Математические методы в технологических исследованиях / Э.В. Рыжов, O.A. Горленко Киев.: Наукова Думка - 1990.

67. Сулима, A.M. Поверхностный слой и эксплуатационные свойства деталей машин /A.M. Сулима, В.А. Шулов, Ю.Д. Ягодкин М.:. Машиностроение, 1988-240 с.

68. Суслов, А.Г. Технологическое обеспечение параметров поверхностного слоя деталей / А.Г. Суслов- М.: Машиностроение, 1988 240 с.

69. Суслов, А.Г. Научные основы технологии машиностроения/ А.Г. Суслов, A.M. Дальский М.: Машиностроение - 2001 - 684 с.

70. Тихомиров, В.Б. Планирование и анализ эксперимента (при проведение исследований в легкой и текстильной промышленности)/ В.Б. Тихомиров- М.: Легкая индустрия 1974.

71. Тюрикова, JI.А. и др. Исследование параметров радиоизлучения при нарушении адгезии полимерных твердых тел./ Л.А. Тюрикова //Докл. АН СССР-1971.-Т201.-№4.-С. 833-836.

72. Тюрикова, Л.А. Исследование радиоволн и других явлений, сопровождающий газовый разряд при нарушении адгезионного контакта полимеров/ Л.А. Тюрикова// Дисс. канд. хим. наук-М., 1972.- 185 с.

73. Финкель, В.И. и др. Электризация щелочно-галлоидных кристаллов в процессе скола /В.И. Финкель и др. // Физика твердого тела.—1973.— Т. 21. С. 1943 - 1947.

74. Финкель, В.И. Электрические эффекты при разрушении кристаллов, в связи с проблемой управления трещиной /В.И. Финкель и др.// Физика твердого тела.- 1975.- Т.17.-Вып.З. С. 770 - 776.

75. Финкель, В.И. Физические основы торможения разрушения/В.И. Финкель -М.: Металлургия, 1997.

76. Хатиашвили, И.Г Электромагнитное излучение полных кристаллов стимулирующей акустической волной / И.Г. Хатиашвили// Письма в журнал технической физики 1981.-Т 7.-Вып. 12.-С. 1128—1132.

77. Хатиашвили, И.Г. Генерация ЭМ излучения при прохождении акустических волн через кристаллические диэлектрики и некоторые горные породы / И.Г. Хатиашвили, М.Е. Перельман // Докл. АН СССР- 1982 Т. 263.- № 4. - С. 839-842.

78. Экономика машиностроительного производства: Учеб. для машиностр. спец. вузов / И.М.Бабук, Э.И. Горнаков, Б.И. Гусаков , A.M. Панин.; под общ. ред. И.М. Бабука. Минск: Высш. Школа, 1990.

79. Westergaard ,Н. М. J. Americ, Concrete Inst. - 1933 -№5. -№2. - P. 93 - 102.

80. Berlin-1958- S. 551 -590. 85.1rvin, G.R. Fracture Mechanics/ G.R.Irvin // Structural mechanics: Proc. 1st

81. Symp. naval structural mechanics. I960 - P 557 -591. 86. Ida, I Study of polishing of semiconductor crystal /1. Ida, Y.Arai,M.Suzuku //

82. Sack, R.A. Extension of Griffith theory of rupture to three dimensions /R.A. Sack // Proc. Phys. Soc. -1946.- № 58,- P. 729 - 736.