Исследование и разработка технологии обработки подложек для приборных пластин связанным алмазно-абразивным инструментом тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.14, кандидат технических наук Котляров, Юрий Владимирович

• Котляров, Юрий Владимирович
• кандидат технических наук
• 2006

Оглавление диссертации кандидат технических наук Котляров, Юрий Владимирович

Введение.

Глава 1. Особенности алмазно-абразивной обработки материалов (обзор).

1.1. Традиционные технологии алмазно-абразивной обработки подложек для приборных пластин.

1.2. Особенности обработки тонких пластин с помощью связанного алмазного инструмента

1.3. Выводы и постановка задачи исследований

Глава 2. Разработка новых типов связанного алмазно-абразивного инструмента для обработки подложек из кремния, арсенида галлия, сапфира и других материалов, используемых в качестве приборных пластин в микро -и оптоэлектронике.

2.1. Разработка алмазного инструмента на органической связке на основе эпоксидной смолы.

2.1.1. Влияние компонентов связки на свойства инструмента.

2.1.2. Выбор оптимальной зернистости алмазного порошка и его концентрации.

2.2. Подбор оптимального состава связки алмазного инструмента на основе термореактивной прессовочной массы.

2.3. Разработка пористого алмазного инструмента на основе эпоксидной смолы

Глава 3. Исследование и оптимизация технологических режимов прецизионной механической обработки подложек из кремния, арсенида галлия и сапфира для приборных пластин с помощью новых типов связанного алмазно-абразивного инструмента.

3.1. Исследование влияния различных типов связанного инструмента и режимов обработки на точность и качество обрабатываемой поверхности различных материалов.

3.2. Оптимизация состава смазочно-охлаждающей жидкости.

3.3. Исследование влияния различных типов алмазного порошка на режущую способность алмазного инструмента

Глава 4. Разработка и внедрение технологии шлифования и полирования подложек из кремния, арсенида галлия и сапфира для приборных пластин с помощью связанного алмазного инструмента.

4.1. Разработка шлифовального инструмента для односторонней обработки плоских поверхностей деталей

4.1.1. Внедрение технологии утонения приборных пластин из кремния, арсенида галлия и сапфира.

4.2. Разработка шлифовального инструмента для двусторонней обработки плоских поверхностей деталей.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование и разработка технологии обработки подложек для приборных пластин связанным алмазно-абразивным инструментом»

Работа посвящена решению важной проблемы в области производства современных приборов микро - и оптоэлектроники, связанной с эффективной прецизионной обработкой подложек из кремния, арсенида галлия, сапфира и других материалов, используемых в качестве приборных пластин при изготовлении кристаллов широкого класса приборов. Существующие традиционные технологии шлифования подложек из указанных материалов с помощью свободного абразива и последующего химико-механического полирования (ХМП) достигли пределов своих возможностей, как с точки зрения повышения качества и точности обработки, так и с точки зрения себестоимости выпускаемой продукции.

В последнее десятилетие наряду с повышенными требованиями к приборным пластинам по структурным, электрофизическим параметрам предъявляются высокие требования к их геометрическим параметрам -локальному отклонению от плоскостности (STIR), разнотолщинности (TTV), микрошероховатости и чистоте поверхности.

Расширение номенклатуры изделий, в первую очередь в части увеличения диаметра обрабатываемых приборных пластин, требует не только существенного изменения, но и, прежде всего, создания нового технологического процесса с использованием качественно новых инструментов и вспомогательных материалов. Экономическая целесообразность также диктует необходимость снижения припусков на обработку на отдельных этапах технологического процесса. Это ведёт к ужесточению требований к точностным характеристикам применяемого инструмента и параметрам технологических режимов.

Размерный ряд отечественной технологии обработки подложек из кремния, арсенида галлия и сапфира не обновлялся с середины 80-х годов, тогда как номенклатура изделий существенно изменилась. До сих пор наиболее распространённым является процесс шлифования свободным абразивом.

В настоящее время традиционное шлифование подложек из кремния, арсенида галлия и сапфира осуществляется, как правило, с помощью свободного абразива в виде суспензий. При шлифовании свободным абразивом диспергирование материала происходит в результате воздействия на его поверхность абразивных зерен, находящихся между поверхностью обрабатываемой подложки и поверхностью шлифовальной планшайбы. При шлифовании хрупких неметаллических материалов наряду с неровностями поверхности, представляющими рельефный слой, всегда сопутствует объемная сетка микротрещин, распространяющихся вглубь материала. При этом глубина рельефного слоя соизмерима с размером абразивных зерен, а глубина трещиноватого слоя существенно превышает глубину рельефного слоя и составляет, например, для стекла от 4 до 6 диаметров абразивного зерна.

К основным недостаткам такой технологии следует отнести:

- большую глубину нарушенного слоя, для удаления которого требуется длительное травление и полирование;

- трудность получения высокой точности геометрической формы поверхности при длительном процессе ХМП, что особенно актуально для заготовок больших размеров;

- низкую производительность труда;

- низкую культуру производства с плохими условиями труда, характеризуемыми малой степенью механизации и автоматизации процессов;

- большой расход абразивных порошков за счет низкого коэффициента их полезного использования;

- низкую временную стабильность процесса шлифования свободным абразивом и процесса ХМП.

В последнее время на операциях тонкого шлифования стекла и некоторых других хрупких неметаллических материалов хорошо зарекомендовал себя алмазный инструмент на органической связке, который по сравнению с инструментом на металлической связке и свободным абразивом обеспечивает уменьшение глубины нарушенного слоя. Однако не известно примеров применения связанного алмазно-абразивного инструмента для обработки кремния, арсенида галлия и сапфира.

Задача технологического процесса обработки приборных пластин с помощью связанного алмазного инструмента - это удаление нарушений, возникших на первых этапах обработки, и получение свободной от механических повреждений поверхности пластин, в первую очередь с геометрическими параметрами, удовлетворяющими современным методам микроэлектроники. Параметры плоскостности и разнотолщинности, закладывающиеся на операциях резки и предварительного шлифования свободным абразивом, зачастую ухудшаются на последующих операциях по удалению остаточных повреждений, например, химико-механическое полирование (ХМП).

Таким образом, актуальность работы вызвана постоянно растущими требованиями к качеству подложек приборных пластин, используемых в производстве широкого класса приборов микро - и оптоэлектроники. С другой стороны, необходимость выполнения данной работы связана с несовершенством существующих технологических процессов шлифования свободным абразивом и химико-механического полирования подложек из кремния, арсенида галлия и сапфира.

Не менее остро стоит вопрос о разработке новой технологии утонения приборных пластин на основе кремния, арсенида галлия и сапфира со сформированными структурами приборов.

Таким образом, актуальность данной работы определяется необходимостью разработки принципиально новой высокоэффективной технологии прецизионной механической обработки подложек из кремния, арсенида галлия и сапфира для приборных пластин с помощью связанного алмазно-абразивного инструмента.

Заключение диссертации по теме «Технология приборостроения», Котляров, Юрий Владимирович

1.3 Выводы и постановка задачи исследований

Подводя итоги выполненного анализа состояния теории и достигнутых практических результатов в области алмазной обработки изделий в связи с поставленной в данной работе задачей можно сделать следующие выводы:

1. Переход при тонком алмазном шлифовании изделий от свободного абразива к связанному алмазному инструменту обеспечивает качественно новый уровень технологии, характеризуемый резким ростом производительности обработки, увеличением износостойкости инструмента и улучшением культуры производства. Однако не известно случаев применения связанного алмазного инструмента для финишного шлифования тонких изделий с относительной толщиной h / D < 1 /100 с высокими требованиями к точности формы обрабатываемой поверхности.

2. Не известно также примеров использования традиционных типов связанного алмазного инструмента для обработки подложек из кремния, арсенида галлия и сапфира для приборных пластин, что можно объяснить более высокими удельными давлениями при алмазном шлифовании указанных материалов.

3. Для исключения влияния деформаций детали на точность геометрической формы обрабатываемой поверхности относительная толщина должна быть не менее 0,2 , т. е. h / D > 1/5. При шлифовании точных поверхностей тонких деталей с относительной толщиной h / D ~ 1/100 возникают значительные трудности, связанные с деформациями детали под действием остаточных напряжений в материале и деформациями под действием растягивающих напряжений, возникающих в нарушенном поверхностном слое.

4. Однако существующие технологии обработки прецизионных подложек из кремния, арсенида галлия и сапфира с помощью свободного абразива уже не обеспечивают возросших требований микро- и оптоэлектроники ни по качественным, ни по экономическим показателям.

5. Известные типы связанного алмазного инструмента предназначены для эксплуатации при высоких удельных давлениях от 0,03 до 0,15 МПа и высоких относительных линейных скоростях (порядка 10.40 м/с). Однако такие режимы обработки тонких подложек с высокими требованиями к точности формы поверхности не приемлемы. Это связано с механическими деформациями деталей в процессе их обработки, а также с деформациями пластин после обработки под действием растягивающих напряжений, возникающих в глубоком нарушенном поверхностном слое.

Целью данной работы является разработка нового высокоэффективного технологического процесса шлифования и полирования подложек из кремния, арсенида галлия и сапфира, используемых в качестве приборных пластин, обеспечивающего качественно новые результаты, а именно, снижение глубины нарушенного, трещиноватого слоя на операциях шлифования без снижения производительности процесса обработки.

Решение данной задачи включает следующие основные этапы:

- создание новых типов связанного алмазно-абразивного инструмента;

- исследование и разработка технологии шлифования и полирования различных материалов с помощью связанного алмазно-абразивного инструмента;

- определение оптимального состава алмазного инструмента и смазочно-охлаждающей жидкости для обработки различных материалов;

- оптимизация конструкции инструмента и оборудования для обработки различных материалов и реализации различных технологических процессов: шлифование, полирование или утонение подложек.

ГЛАВА 2. РАЗРАБОТКА НОВЫХ ТИПОВ СВЯЗАННОГО АЛМАЗНО-АБРАЗИВНОГО ИНСТРУМЕНТА ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖЕК ИЗ КРЕМНИЯ, АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ, САПФИРА И

ДРУГИХ МАТЕРИАЛОВ, ИСПОЛЬЗУЕМЫХ В КАЧЕСТВЕ ПРИБОРНЫХ ПЛАСТИН В МИКРО - И ОПТОЭЛЕКТРОНИКЕ

Как уже отмечалось выше, применение инструмента со связанными алмазными зернами взамен абразивных суспензий при тонком шлифовании материалов обеспечивает достижение следующих преимуществ:

- повышение производительности шлифования при съеме равных припусков материала на один-два порядка;

- снижение глубины нарушенного при обработке слоя материала, в первую очередь, глубины трещиноватого слоя;

- снижение более чем на порядок шероховатости поверхности при обработке связанным алмазным инструментом и свободным абразивом равной зернистости;

- снижение относительного объемного износа связанного абразива.

В силу своих упруго-пластических свойств наиболее высокие результаты удается достичь при использовании в алмазном инструменте органической связки для тонкого и доводочного шлифования. Известные типы связанного алмазного инструмента предназначены для эксплуатации при высоких удельных давлениях от 0,03 до 0,15 МПа и высоких относительных линейных скоростях 10. 40 м/сек [12].

Однако, как будет показано далее в данном разделе, для изделий с относительной толщиной h/D < 1/100 при обработке поверхностей с высокими требованиями к точности их формы такие режимы не приемлемы, так как вызывают значительные деформации деталей в процессе обработки.

В связи с этим первоначально в данной работе необходимо решить вопрос о создании новых составов и связок для изготовления алмазного инструмента, работающего при низких удельных давлениях порядка 0,01.0,05 МПа и низких относительных линейных скоростях инструмента и обрабатываемой детали - порядка 1 .3 м/сек.

В силу указанных выше причин исследования в данной работе проводились по созданию алмазного инструмента на органической связке.

2.1. Разработка алмазного инструмента на органической связке на основе эпоксидной смолы

При изготовлении связанного алмазно-абразивного инструмента в качестве связующего была использована эпоксидно-диановая смола, а в качестве с отвердителя - полиэтиленполиамин (ПЭПА). Выбор эпоксидно-диановой смолы связан с тем, что, во-первых, упруго-эластичные свойства связки на основе этой смолы можно регулировать в широком интервале в зависимости от условий ее полимеризации. Во-вторых, процесс изготовления алмазно-абразивного инструмента на основе эпоксидно-диановой смолы не требует дорогостоящего оборудования, например, мощных прессов и пресс-форм, и отличается простотой. В третьих, использование смолы в качестве основного связующего позволяет легко переходить к различным типоразмерам алмазно-абразивных элементов и к различной их форме. Кроме того, инструмент на основе эпоксидно-диановой смолы выгодно отличается от других типов инструмента низкой ценой и, наконец, является экологически чистым изделием.

2.1.1. Влияние компонентов связки на свойства инструмента

Итак, в качестве связующего при разработке первого варианта алмазного инструмента была выбрана эпоксидно-диановая смола с отвердителем - полиэтиленполиамин [64]. Для определения оптимального состава для изготовления алмазного инструмента необходимо правильно выбрать тип алмазного порошка, и связующее, состоящее из наполнителя и функциональной добавки. В качестве наполнителя была выбрана двуокись церия, а в качестве функциональной добавки - смесь сернокислого никеля и щавелевой кислоты.

Использование в качестве наполнителя двуокиси церия, имеющей сравнительно низкую прочность и тонкодисперсную чешуйчатую структуру, способствует улучшению упруго- пластических свойств инструмента и снижению его засаливания в процессе эксплуатации.

Кроме того, двуокись церия способствует удалению микронеровностей на обрабатываемой поверхности, то есть участвует в формировании микрорельефа, как вспомогательный абразив. Комплекс «двуокись церия -алмазные зерна» в указанных соотношениях образует каркас массы с высокоразвитой поверхностью, имеющей высокую реакционную способность. В то же время в каркасе отсутствуют сыпучие конгломераты, которые в процессе шлифования выделили бы отдельные несвязанные алмазные зерна.

Функциональная добавка, состоящая из смеси сернокислого никеля и щавелевой кислоты, выполняет двойственную функцию. Во-первых, это трибохимическое воздействие реагентов на поверхность стекла в зоне контакта инструмента с обрабатываемой деталью, а во-вторых, взрыхление связки и обновление новых алмазоносных слоев за счет растворения мелкодисперсных частиц указанных химических реагентов под действием воды, являющейся основой состава смазочно-охлаждающей жидкости.

При подборе оптимального состава для изготовления алмазного инструмента исследовалось влияние различных компонентов и их соотношения на режущую способность инструмента и качество обработанной поверхности. Подбор оптимального количества компонентов осуществлялся в широком диапазоне (Табл. 1).

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В процессе исследований получены следующие основные результаты:

1. Разработан технологический процесс прецизионной механической обработки подложек из кремния, арсенида галлия и сапфира для приборных пластин с помощью новых типов связанного алмазно-абразивного инструмента.

2. Шлифовальный инструмент на базе новых связанных алмазно-абразивных элементов, обладающий высокими режущими способностями и обеспечивающий высокое качество обработки, что подтверждено промышленными внедрениями на предприятиях России, ближнего и дальнего зарубежья.

3. Оптимизированные технологические режимы шлифования и полирования подложек из кремния, арсенида галлия и сапфира с помощью различных типов связанного алмазно-абразивного инструмента;

4. Результаты исследований влияния различных типов связанного инструмента и режимов обработки на точность и качество обрабатываемой поверхности различных материалов;

5. Новая смазочно-охлаждающая жидкость, обеспечивающая работу инструмента в режиме самозатачивания при низких удельных нагрузках.

6. Оптимальные условия и режимы прецизионного шлифования деталей с относительной толщиной 0,01 и менее.

7. Основные принципы конструирования шлифовального инструмента и оборудования для обработки плоских поверхностей деталей.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Котляров, Юрий Владимирович, 2006 год

1. Грибов Б.Г., Мозжухин Д.Д., Родионов Р. А. Требования к фотошаблонам и фотошаблонным заготовкам для СБИС // Специальная электроника. Сер. 3. Микроэлектроника. 1983. - Вып. 2(43).

2. Стеклянные подложки в производстве прецизионных фотошаблонов / Б.Г. Грибов, A.M. Мазин, Р.А. Родионов, Л.В. Шевякова // Обзоры по электронной технике. Сер. 6. Материалы. 1985. - Вып. 4(1133).

3. Пути улучшения фотошаблонных заготовок / Б.Г. Грибов, Д.Д. Мозжухин, Р.А. Родионов, В.Н. Тихонов // Электронная промышленность. -1984,-№4.-С. 32-34.

4. Грибов Б.Г., Прилипко В.И., Родионов Р.А. Снижение потребления дефицитного сырья в производстве фотошаблонных заготовок // Электронная промышленность. 1980. - № 3. - С. 58-60.

5. Богуславский И.А., Бутаев A.M., Яборов А.Н. Механическая прочность флоат-стекла // Стекло и керамика. 1976. - № 10. - С. 7-8.

6. Бутаев A.M., Остролуцкая Н.В., Ромакин А.Н. Прочность и поверхностные дефекты термически полированного листового стекла // Физика и химия стекла. 1982. - Т. 8, № 3. - С. 288-290.

7. Рентгеноспектральное исследование поверхности листового стекла / Н.Н.Семенов, Ю.Н.Ромащенко, И.А.Брытов и др. // Физика и химия стекла. -1982.-Т. 8, №4.-С. 412-415.

8. Исследование физико-механических свойств стеклянных пластин, используемых для изготовления фотошаблонов / А.М.Мазин, Л.Н.Шевякова, Д.Л.Федорова и др. // Электронная техника. Сер. 6. Материалы. 1979. -Вып. 4(129).-С. 90-95.

9. Грибов Б.Г., Родионов Р.А., Шевякова Л.Н. Основы современной зарубежной технологии изготовления заготовок для фотошаблонов с железоокисным маскирующим покрытием // Специальная электроника. Сер.

10. Микроэлектроника. 1980. - Вып. 2(37). - С. 40.

11. Прецизионные пластины для фотошаблонов / Б.Г. Грибов, В.А. Папов, Р.А. Родионов, Д.Л. Федорова // Электронная промышленность. 1980. - № 8-9.-С. 100-102.

12. Подготовка поверхности стеклянных пластин для маскирующих слоев / Б.Г. Грибов, Е.Ю. Гриненко, Р.А. Родионов и др. // Электронная промышленность. 1980. - № 8-9. - С. 102-105.

13. Абразивные материалы для прецизионной обработки стеклянных пластин / В.Н. Алексеев, Б.Г. Грибов, Р.А. Родионов и др. // Электронная промышленность. 1980. - № 8-9. - С. 105-107.

14. Оптимизация режимов механической обработки стеклянных заготовок для фотошаблонов / Н.И.Астафурова, Б.Г.Грибов, А.М.Мазин и др. // Электронная промышленность. 1980. - № 8-9. - С. 108-110.

15. Основные виды дефектов в производстве фотошаблонов и пути их устранения / Р.А. Родионов, Л.Ф. Чернова, В.И. Васильева и др. // Электронная техника. Сер. 7. Технология, организация производства и оборудование. — 1982.— Вып. 6(115).-С. 15.

16. Рогов В.В. Финишная алмазно-абразивная обработка неметаллических деталей. Киев: Навукова думка. - 1985. - 264 с.

17. Технология оптических деталей / Под ред. М.Н. Семибратова. М.: Машиностроение, 1978.-415 с.

18. Формообразование оптических поверхностей / Под ред. К.Г. Куманина. -М.: Оборонгиз, 1962. 432 с.

19. Рогов В.В., Филатов Ю.Д., Бурман Л.Л. Исследование процесса формообразования поверхностей оптических деталей из стекла при тонкомалмазном шлифовании // Оптико-механическая промышленность. 1985. - № 2. - С. 37-40.

20. Пути повышения точности формообразования оптических поверхностей / В.В. Рогов, Ю.Д. Филатов, B.C. Чередник, J1.M. Друченко // Сверхтвердые материалы. 1985. - № 3. - С. 64-66.

21. Тонкое шлифование очковых линз алмазным инструментом / В.В. Рогов и др. // Синтетические алмазы. 1976. - № 1. — С. 69-70.

22. Ходаков Г.С., Глухов Ю.А. Тонкое шлифование оптических деталей алмазным инструментом // Оптико-механическая промышленность. 1981. -№7.-С. 48-56.

23. Мастюгин Л.И., Ходаков Г.С. Влияние температуры смазочно-охлаждающей жидкости на величину съема и шероховатость обработанной поверхности при тонком алмазном шлифовании оптического стекла // Оптико-механическая промышленность. 1985. - № 5. - С. 54-55.

24. Spira М. Diamant werkzeuge in der Bearbeitung von Optichen Glas. Ind. Diamant, Rdsch. - 1977. - № 3. - P. 159-161.

25. Ходаков Г.С. Износ алмазного инструмента в процессе шлифования оптических материалов // Оптико-механическая промышленность. 1985. -№9.-С. 17-21.

26. Глухов Ю.А. Особенности тонкого алмазного шлифования плоских оптических деталей // Оптико-механическая промышленность. 1985. - № 8. - С. 36-40.

27. Лев Н.И., Шушканова Т.Г. Инструменты на органической связке для тонкого алмазного шлифования оптических деталей // Оптико-механическая промышленность. 1981. - № 11. - С. 30-31.

28. Применение инструмента со связанным абразивом для обработки кристаллов КРС-5 и КРС-6 / Н.Ф. Козлов и др. // Оптико-механическая промышленность. 1983. № 4. - С. 40-42.

29. Лобанов А.В., Перцов Н.В., Силин С.С. Повышение эффективностишлифования применением абразивного инструмента с наполнителем // Физика и химия обработки материалов. 1979. - № 2. - С. 154-157.

30. Мастюгин Л.И. Влияние наполнителей эпоксидных связок на свойства алмазного инструмента // Оптико-механическая промышленность. 1987. -№ 2. - С. 50-51.

31. Кузнецов С.М., Бурман JI.JI. Упруго-пластическая деформация стекла при алмазном шлифовании // Сверхтвердые материалы. 1980. - № 3. - С. 4247.

32. Ходаков Г.С. Механизм абразивного шлифования стекла // Оптико-механическая промышленность. 1985. - № 5. - С. 31-36.

33. Модулирование абразивного разрушения поверхности оптических стекол при тонком алмазном шлифовании / Е.М. Фетисова, В.П. Коровкин, В.М. Альтшуллер, Ю.В. Ашкеров // Оптико-механическая промышленность. 1985.-№8.-С. 40-42.

34. Крюкова С.В., Еремина Н.И., Бондарь В.В. Исследование влияния условий шлифования на шероховатость поверхностей стекол различного состава// Оптико-механическая промышленность. 1984. - № 6. - С. 16-18.

35. Исследование сил трения при склерометрическом моделировании шлифования оптических материалов / Ю.В. Ашкеров, В.М. Альтшуллер, В.П. Коровкин, М.В. Репкин // Оптико-механическая промышленность. 1983. -№ 12.-С. 24-26.

36. Мастюгин Л.И. Определение шлифующей способности и стабильности алмазных инструментов // Оптико-механическая промышленность. 1983. -№ 12.-С. 26-28.

37. Коровкин В.П. Трение и диспергирование при тонком алмазном шлифовании оптического стекла // Оптико-механическая промышленность. -1981.-№ 10,-С. 24-28.

38. Захаренко И.П. Опыт применения алмазного инструмента для обработки неметаллических материалов. Обзор. М.: НИИМаш, 1979. 44 с.

39. Шехшер Ю.Н., Бурман JI.JL, Лепитова Н.П. Новый состав для шлифования стекла// Синтетические алмазы. 1970. - № 5. - С. 4-6.

40. Хрульков В.А. и др. Новые СОЖ, применяемые при шлифовании труднообрабатываемых материалов / В.А. Хрульков, B.C. Матвеев, В.В. Волков. М.: Машиностроение. - 1982. - 64 с.

41. Альтшуллер В.М., Ашкеров Ю.В., Коровкин В.П. Роль смазочно-охлаждающей жидкости в процессе тонкого алмазного шлифования оптического стекла // Оптико-механическая промышленность. 1983. - № 8. -С. 38-41.

42. Mackillan N.H., Kungfington R.D., Westwood A.R.C., J. of materials science. - 1974. - Vol. 9 - P. 637.

43. Коровкин В.П., Альтшуллер B.M. Смазочно-охлаждающие жидкости для алмазной обработки оптического стекла // Оптико-механическая промышленность. 1987. - № 6. - С. 56-61.

44. Особенности изготовления тонких линз с жестким допуском на толщину / С.М. Прохорчик и др. // Оптико-механическая промышленность. -1982.-№ 11.-С. 32-34.

45. Пат 3922821 США, МКИ4 В 24 В 1/00. Способ шлифования и применяемая при этом охлаждающая жидкость.

46. А. С. 1074895 СССР, МКИ4 С 10 М 3/26. Смазочно-охлаждающая жидкость для алмазной обработки оптического стекла / В.П. Коровин, П.А. Гембицкий, В.М. Альтшуллер, Ю.В. Ашкеров (СССР) // Открытия. Изобретения. 1984. - № 7.

47. Коровкин В.П., Альтшуллер В.М., Ашкеров Ю.В. Применение нового состава СОЖ, способствующего повышению эффективности тонкого алмазного шлифования оптического стекла // Оптико-механическая промышленность. 1985. - № 12. - С. 20-22.

48. Красник В.Г. Повышение эффективности водных СОЖ при алмазном шлифовании // Сверхтвердые материалы. 1985. - № 6. - С. 45-47.

49. Ардамацкий A.JI. Алмазная обработка оптических деталей. Л.: Машиностроение, 1978. -232 с.

50. Качанов Н.Н. Технология шлифовки и полировки листового стекла. -М.: Изд-во АН СССР, 1958. 382 с.

51. Гетц И. Шлифовка и полировка стекла. Л.: Стройиздат, 1967. - 278 с.

52. Винокуров В.М. Исследование процесса полировки стекла. М.: Машиностроение, 1967. - 196 с.

53. Бардин А.Н. Технология оптического стекла. М.: Высшая школа, 1963.-519 с.

54. Ящерицын П.И. и др. Тонкие доводочные процессы обработки деталей машин и приборов / П.И. Ящерицын, А.Г. Зайцев, А.И. Барботько. Минск: Наука и техника, 1976. - 328 с.

55. Дубровский В.А. Соотношение химических и механических процессов при полировке стекла // Стекло и керамика. 1961. - № 11. - С. 9-13.

56. А. С. 536953 СССР, МКИ4 В 24 D 3/00. Абразивная масса для изготовления инструмента / В.Т. Чалый, В.В. Рогов и др. (СССР) // Открытия. Изобретения. 1976. - № 44.

57. А. С. 569434 СССР, МКИ4 В 24 В 37/04. Способ полирования поверхностей деталей / В.В. Рогов, В.Т. Чалый и др. (СССР) // Открытия. Изобретения. 1977. - № 31.

58. Перспективы создания инструмента из СТМ на полимерной связке для полирования оптических деталей / В.В. Рогов, В.Т. Чалый, А.П. Денисенко и др. // Сверхтвердые материалы. 1979. - № 2. - С. 28-35.

59. Трибохимические явления в процессе оптического полирования стеклаинструментов из СТМ / В.В. Рогов и др. // Сверхтвердые материалы. 1983. -№2.-С. 39-42.

60. А. с. 1028013 СССР, МКИ4 С 03 С 21/00. Состав для обработки пластин / Р.А. Родионов и др. (СССР). 1981.

61. А. с. 1031368 СССР, МКИ4 Н 01 L 21/302. Состав для обработки стеклянных изделий / Р.А. Родионов и др. (СССР). 1981.

62. А. с. 1074125 СССР, МКИ4 С 09 G овальный состав для обработки стеклянных изделий / Б.Г. Грибов, А.Ф. Исаев, Р.А. Родионов, Д.Д. Мозжухин и др. (СССР). 1982.

63. Отечественные составы для прецизионных фотошаблонных заготовок / JI.H. Шевякова, A.M. Мазин, Р.А. Родионов, Б.Г. Грибов // Стекло и керамика, 1982. -№ 11.-С. 13.

64. Шлишевский Б.Э., Мигуськина З.А. Интенсификация процессов полирования стекла химреагентами // Оптико-механическая промышленность. 1977. - № 11. - С. 44-45.

65. Храмцовский И.А., Пшеницын В.И. Влияние полирующего абразива на оптические характеристики поверхностного слоя // Оптико-механическая промышленность. 1987. - № 7. - С. 29-31.

66. Изменение оптических характеристик поверхностного слоя стекла при полировании / В.И. Пшеницын и др. // Оптико-механическая промышленность. 1987. - № 8. - С. 28-31.

67. А. с. 1361863 СССР, МКИ4 В 24 D 3/34. Состав для изготовления алмазного инструмента / B.C. Кондратенко, С.С. Кондратенко, А.Э. Юницкий, В.А. Гуров (СССР). 1986.

68. Особенности алмазной шлифовки прецизионных стеклопластин / И.И. Алейник, Ю.Х. Гукетлев, B.C. Кондратенко и др. // Электронная промышленность. 1988. - № 1Т. - С. 56-59.

69. Патент РФ №2062293 МКИ 6 С 10 М 173/02 // Смазочно-охлаждающая жидкость для механической обработки стекла и диэлектриков. / Кондратенко

70. B.C., Котляров Ю.В., Зуй А.И.

71. Патент РФ № 2168539 МКИ 7 С 10 М 173/02 // Смазочно-охлаждающая жидкость для механической обработки материалов. / Котляров Ю.В., Ануфриев Л.П., Емельянов В.А.

72. Алмазная шлифовка экранов кинескопов / В.А. Гуров, И.М. Кнышев, B.C. Кондратенко, С.С. Кондратенко // Электронная промышленность. -1989.-№6.-С. 23.

73. А. с. 1533175 СССР, МКИ4 В 24 D 3/00. Масса для изготовления алмазного инструмента / Кондратенко B.C., Кнышев И.М. (СССР). 1988.