Молекулярно-пучковая масс-спектрометрия импульсных газовых потоков тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.14, кандидат физико-математических наук Коробейщиков, Николай Геннадьевич

• Коробейщиков, Николай Геннадьевич
• кандидат физико-математических наук
• 2003

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Коробейщиков, Николай Геннадьевич

§ 4.1. Введение.

§ 4.2. Влияние фонового газа на параметры импульсного газового потока.

4.2.1. Измерения в условиях проникновения фонового газа в импульсный поток.

4.2.2. Измерения при вариации фонового давления.

4.2.3. Анализ результатов.

4.2.4. Выводы.

§ 4.3. Скиммерное взаимодействие при формировании импульсных молекулярных пучков.

4.3.1. Измерения на разных расстояниях сопло - скиммер.

4.3.2. Измерения с разными скиммерами.

4.3.3. Анализ результатов.

4.3.4. Выводы.

Глава 5. Импульсные газовые струи с конденсацией

§ 5.1. Введение.

§ 5.2. Конденсация аргона в импульсной струе.

5.2.2. Измерения в импульсном потоке и сравнение со стационарной струей.

5.2.3. Анализ результатов.

5.2.4. Выводы.

§ 5.3. Конденсация моносилана в чистом газе и смеси с аргоном.

5.3.1. Обзорные импульсные масс-спектры.

5.3.2. Зависимости массовых пиков от давления торможения.

5.3.3. Анализ результатов.

5.3.4. Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Молекулярно-пучковая масс-спектрометрия импульсных газовых потоков»

Газовые и газоплазменные потоки и струи низкой плотности, образующиеся при расширении газов из различного вида источников в вакуум, широко используются для научных исследований и разнообразных технологических приложений. Одним из основных преимуществ струйных методов является их воспроизводимость. Параметры сверхзвуковых струй могут достаточно точно определяться расчетным путем и задаваться начальными условиями в источнике.

Современная электроника больших площадей (солнечные элементы, тонкопленочные транзисторы, сенсоры изображения, и т.д.) требует разработки новых высокоэффективных промышленных методов производства тонкопленочных материалов [1]. Одними из перспективных интенсивно развивающихся методов осаждения пленок являются струйные методы (jet vapor deposition, JVD, или gas jet deposition, GJD).

В отличие от обычных разрядных систем [2], в которых организуется относительно малый проток рабочих газов через разрядную камеру, в струйных методах рабочие вещества, используемые для осаждения пленок, травления или модификации поверхностей, направляются со значительной (до- или сверхзвуковой) скоростью непосредственно на обрабатываемую поверхность. Направленное движение рабочих газов обеспечивает значительные преимущества по сравнению с разрядом в покоящемся газе, в частности позволяет достигать высоких скоростей роста пленок различных материалов на больших поверхностях подложек. Для запуска газокинетических реакций в свободной струе и на подложке рабочая среда активируется различными способами (cemical vapor deposition, CVD): тлеющим разрядом, электронным пучком, термической плазмой либо лазерным излучением. Таким способом получают пленки самых разных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков, органических веществ) и разной структуры (поли- и микрокристаллические, аморфные) [3 - 27].

На практике реализованы различные варианты струйных методов, но обычно выделяют две принципиальных схемы. В первом случае рабочая среда активируется уже внутри источника [3-6]. При такой схеме низкотемпературная плазма формируется в плазмотроне, а рабочие газы вводятся вниз по потоку от выхода из плазмотрона. Это позволяет избежать взаимодействия между активными радикалами рабочих газов, что может влиять на характеристики пленок [2, 7].

В последнее время развиваются струйные методы, в которых рабочие газы истекают в вакуумную камеру из сопловых источников без предварительной обработки плазмой. В этом случае активация газов, необходимая для осаждения, осуществляется непосредственно в газовом потоке. Способы активации могут быть различными: электронные пучки [10, 11, 17], микроволновое [16, 27 - 28] или лазерное излучение [18]. Предложены также варианты методов, в которых эффект осаждения достигается за счет увеличения энергии удара молекул рабочего газа о подложку путем его ускорения в потоке легкого газа, чаще всего водорода [21 - 23].

При этом могут использоваться как непрерывные [8 - 11, 13 - 18], так и импульсные [12, 25 - 27] дозвуковые и сверхзвуковые газовые потоки. Отдельно стоит упомянуть работы по молекулярно-лучевой, или молекулярно-пучковой, эпитаксии (molecular beam epitaxy, МВЕ) [26 - 27].

При производстве газоструйными методами кремнийсодержащих пленок, являющихся основой солнечных элементов, в качестве рабочего газа, как правило, используются смеси силанов (моносилан SiH4, дисилан Si2H6) с инертными газами-разбавителями (гелием, аргоном, водородом) [2, 7, 10 - 11, 23 - 24].

Из опыта исследования сверхзвуковых струй хорошо известно, что при адиабатическом истечении температура газа в струе резко падает, в результате этого вещество переходит в состояние пересыщения. При определенных условиях (достаточном числе столкновений между молекулами за время расширения) в потоке развивается процесс конденсации: сначала образуются малые кластеры, затем более крупные комплексы [28]. Интерес к исследованиям нуклеации вызван в том числе тем, что процесс конденсации влияет на свойства среды, а также на протекание различных физико-химических процессов [29]. В частности, присутствие в потоке кластеров в значительной степени влияет на качество кремниевых пленок, получаемых газоструйным методом [30, 31].

Исходной целью настоящей работы являлось экспериментальное исследование процесса конденсации в свободной струе моносилана и его смеси с аргоном. Известно несколько экспериментальных работ, посвященных изучению конденсации моносилана. Однако детального изучения кластерообразования в сверхзвуковых потоках моносилана не проводилось. Не исследован также механизм протекания конденсации и образования смешанных кластеров при истечении смеси аргон-моносилан. Поэтому была поставлена задача по исследованию диапазона начальных параметров, соответствующим отдельным стадиям конденсации, выяснение механизмов кластерообразования в широком диапазоне давления торможения и, соответственно, плотностей газа в потоке.

В данной работе для проведения исследований был выбран масс-спектрометрический метод диагностики молекулярных пучков, сформированных из импульсных свободных сверхзвуковых струй.

Масс-спектрометрия широко и успешно используется в качестве инструмента для диагностики молекулярных пучков [32, 33]. Основное преимущество масс-спектрометра - возможность исследовать массовый состав смесевых газовых потоков. Однако, при использовании ионизационного метода для детектирования кластированных молекулярных пучков возникает ряд проблем, основными из которых является диссоциативная ионизация и фрагментация нейтральных кластеров при их взаимодействии с электронами, приводящая к искажению масс-спектров [33]. В настоящее время значительная часть вопросов (по крайней мере, для простых атомов и молекул) решена в имеющихся исследовательских работах, результаты которых были использованы при выполнении данного исследования.

Использование газовых струй ограниченной длительности 1 мс) потребовало разработки новых методик для молекулярно-пучковой масс-спектрометрии, обладающих высоким быстродействием, хорошим разрешением и информативностью.

Применение импульсных газовых струй позволяет значительно расширить диапазон расходов и исходных давлений в газовом источнике по сравнению с установками непрерывного действия. Так в ходе данной работы при использовании откачной вакуумной системы умеренной производительности мгновенный массовый расход газа достигал 12 г/с. Давление торможения в ходе экспериментов варьировалось в очень широких пределах - от 10"1 до 103 кПа.

История импульсных сверхзвуковых газовых струй и молекулярных пучков насчитывает почти 40 лет. За это время импульсные газовые потоки были успешно адаптированы в самых разных областях газовой динамики, начиная от б исследований газокинетических сечений до образования и изучения свойств сложных вандерваальсовых комплексов (обзор приложений импульсных струй приведен в Главе 1). Анализ литературы показал, что, во-первых, импульсные течения газа более сложны, и требуют для своего описания корректного учета большего набора параметров, чем стационарные струи, во-вторых, недостаточно изучена газодинамика нестационарных струй при разных режимах истечения газа (в частности - импульсное истечение в объем с умеренно низким давлением остаточного газа - 0,1 - 1 Па).

При использовании молекулярных пучков для диагностики сверхзвуковых газовых струй традиционно встает вопрос о корректности измерений и возможных искажениях, вносимых в параметры потока при формировании молекулярного пучка. Вопросы, связанные с невозмущенным формированием молекулярного пучка из стационарного сверхзвукового потока, достаточно подробно исследованы. Изучалось влияние фонового газа в камере расширения на параметры сверхзвукового потока, а также влияние взаимодействия сверхзвукового потока с пробоотборником - скиммером. Работы, в которых исследовались бы особенности формирования импульсных молекулярных пучков, отсутствуют.

Таким образом, в данной работе предстояло решить следующие задачи:

1) Разработка и отладка методик масс-спектрометрической диагностики молекулярных пучков, формируемых из импульсных сверхзвуковых струй. В том числе - кластированных пучков из потоков смесей газов.

2) Исследование газодинамики импульсных свободных струй и молекулярных пучков при истечении газа в пространство с пониженным давлением фонового газа.

3) Определение границ влияния возмущающих факторов (фоновый газ в камере расширения и скиммерное взаимодействие) при формировании импульсных газовых струй и молекулярных пучков.

4) Изучение конденсации в импульсных свободных струях моносилана и смесей моносилана с аргоном. Определение границ отдельных стадий конденсации в рабочих газах при вариации начальных условий в газовом источнике. Изучение механизма кластерообразования, в том числе - образования смешанных вандерваальсовых комплексов.

Заключение диссертации по теме «Теплофизика и теоретическая теплотехника», Коробейщиков, Николай Геннадьевич

5.3.4. Выводы

Приведенные результаты, полученные при исследовании конденсации в струях чистого моносилана и смеси моносилан - аргон, позволяют сделать следующие выводы.

В малых кластерах моносилана энергия связи молекул значительно превосходит энергию связи в кластерах аргона, что позволяет поддерживать высокую эффективность кластерообразования при ограниченной частоте столкновений молекул в струе. В результате в струе чистого моносилана течение переходит в

П Й режим развитой конденсации при параметре Р0*с1 ' ~60 кПа*мм.

При ионизации кластеров гидрогенизированного кремния (8Ш4)к электронным ударом в зависимости от размера и структуры кластеров образуются преимущественно либо ионы - олигомеры вида (8Ш4)М18МП+ при ионизации малых кластеров, либо мономерные осколки вида 81Н„+ при ионизации больших кластеров, где п =0-ьЗ. При этом в отличие от кластеров аргона, вероятности появления ионов димеров, тримеров и тетрамеров близки. Образование устойчивых ионов вида (8Щ4)п+ при ионизации кластеров гидрогенизированного кремния не зарегистрировано.

При адиабатическом струйном истечении смеси ЗШ4 + Аг малая добавка моносилана не оказывает заметного влияния на газодинамику струйного истечения. Локальная плотность частиц в потоке, а, следовательно, и число их столкновений между собой, определяются одноатомным аргоном. Газом-носителем задается также высокая скорость охлаждения потока (по изэнтропе одноатомного газа). При этом добавка «активного» с точки зрения конденсации моносилана приводит к повышению эффективности кластерообразования, поэтому конденсация в струе начинается при меньших давлениях Р0, чем при истечении чистых аргона и моносилана. Благодаря более высокой энергии связи вначале формируются только олигомеры чистого моносилана. Начало конденсации моносилана и сопутствующее выделение в поток теплоты приводит к тому, что пересыщение в струе частично снимается за счет передачи тепла конденсации в газ-носитель, аргон. Как следствие, конденсация аргона задерживается.

С ростом давления Р0 и, соответственно, локальной плотности газа и числа столкновений продолжает конденсироваться только моносилан на силановых же зародышах. Значительная часть примесного газа оказывается в связанном состоянии, что приводит к сильному падению интенсивности мономеров моносилана. Выделяющаяся энтальпия препятствует конденсации аргона, вызывая падение интенсивности на массе мономера аргона за счет уменьшения локальной плотности газа вниз по потоку и ограничивая рост аргоновых кластеров на уровне димеров.

При дальнейшем увеличении давления торможения увеличивается средний размер силановых кластеров. Обогащение молекулярного пучка большими кластерами гидрогенизированного кремния и их фрагментация при электронном ударе в ионизаторе приводят к интенсивному росту количества мономеров и падению сигналов на массах олигомеров моносилана.

С некоторого давления Р0 большая часть (или даже вся) примесь оказывается в связанном состоянии. Пересыщение среды приводит к массовой конденсации аргона и образованию смешанных аргон-силановых комплексов. Вероятно, с этого же момента начинается формирование крупных кластеров аргона, фрагменты которых регистрируются на линиях Аг3 и Аг4.

Заключение

В заключение коротко сформулируем основные результаты работы:

- Создан универсальный малогабаритный газодинамический комплекс ЛЭМПУС для исследования газодинамики и кинетики неравновесных процессов в сверхзвуковых стационарных и импульсных струях газов и газовых смесей.

- Разработан и испытан усовершенстванный вариант импульсного газового источника (электромагнитный клапан) со сменными звуковыми соплами и регулируемыми параметрами газовых импульсов, предназначенный для формирования импульсных газовых струй и молекулярных пучков.

- Разработаны и отлажены методики измерений и диагностическая аппаратура на основе квадрупольного масс-спектрометра для исследования импульсных струй газов и газовых смесей. Предложенный набор регистрируемых параметров позволяет полностью описать динамику импульсных струй, в том числе протекание конденсации в импульсных газовых потоках.

- Выполнено экспериментальное исследование динамики импульсного истечения газов (гелий, аргон, азот, моносилан) в пространство с пониженным давлением фона. Определены зависимости интегральных параметров, характеризующих импульсный поток, от давления торможения Ро, расстояния от источника х/ё, атомности истекающего газа.

- Получены экспериментальные данные по временам запуска (время установления стационарного течения) импульсных струй разных газов. Время запуска струи уменьшается с увеличением импульса истекающего газа и увеличивается с ростом противодавления фона. Показано, что результаты для каждого газа при различных режимах истечения обобщаются в безразмерных параметрах подобия

- Определены границы области стационарного течения в импульсных струях. Показано, что длительность стационарной области на данном расстоянии от источника не зависит от рода газа, определяется длительностью исходного импульса. Длительность области стационарного течения уменьшается при движении газового импульса вниз от источника и при увеличении давления фона и, наоборот, увеличивается с ростом импульса истекающего газа.

- Доказано, что при истечении из осесимметричного источника интенсивность газовых импульсов уменьшается обратно пропорционально первой степени от расстояния. На фиксированном расстоянии интенсивность импульсов уменьшается относительно полного расхода газа из сопла при увеличении давления торможения и с увеличением атомности газа.

- Результаты показали, что для исследованных режимов течения параметром подобия для распределения плотности газа в импульсных струях является число Рейнольдса ReL.

- Исследованы особенности импульсного истечения в условиях сильного проникновения фонового газа в поток. Показано, что в условиях рассеяния увеличение импульса источника приводит к торможению переднего фронта истекающего газа и, соответственно, к уменьшению полуширины газовых импульсов. Условия перехода от режима рассеяния к режиму вытеснения (сплошное истечение) зависят от расхода газа и плотности фона. Такой переход может происходить на разных расстояниях от источника в процессе движения газового импульса за счет увеличение плотности сжатых слоев газа. Приближенной границей перехода импульсного истечения от режима рассеяния к сплошному течению служит число Рейнольса по струе

ReL~l-h3

- Проведено экспериментальное исследование влияния скиммерного взаимодействия на параметры импульсных молекулярных пучков. Установлено, что параметром, описывающим взаимодействие импульсного потока со скиммером, является отношение чисел Кнудсена Кп5/Кпь. Скиммерное взаимодействие уменьшает интенсивность импульсных молекулярных пучков в условиях Кп5<10 и Кл5/Кпь<0,5.

- Изучена конденсация аргона при струйном импульсном истечении. Сравнения с результатами других авторов в стационарных струях показали, что в выбранных условиях конденсация в импульсной струе подобна конденсации в стационарных потоках. Результаты, полученные с соплами разного диаметра, показали, что для анализа конденсации в

О 8 импульсных струях можно использовать параметр подобия Р0*с1 .

- Изучена конденсация мносилана и его смесей с аргоном при струйном истечении, выделены отдельные стадии кластерообразования. Показано, что при струйном истечении смесей моносилана с аргоном в потоке протекает совместная конденсация с образованием смешанных комплексов вида Агп(8Ш4)т. Установлено, что добавление в аргон малой (до 10 %) примеси моносилана приводит к началу конденсации при меньших Р0. Конденсация моносилана препятствует конденсации газа-носителя - аргона. Образование смешанных аргон-силановых комплексов начинается после того, как почти вся примесь оказывается в связанном состоянии.

Благодарности

Работа выполнена в Отделе прикладной физики НГУ под непосредственным руководством зав. отдела, к.ф.-м.н. А.Е. Зарвина, кому автор выражает особую признательность. Разработка и отладка диагностической и регистрирующей аппаратуры в основном выполнялась В.В. Калядой. Отладка измерительных методик и проведение экспериментов производились автором совместно с сотрудниками ОПФ НГУ к.ф.-м.н. В.Ж. Мадирбаевым и Г.Г. Гартвич. Всем им автор выражает благодарность за оказанную помощь и полезные обсуждения полученных результатов.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Коробейщиков, Николай Геннадьевич, 2003 год

1. Thin film processes 1.. Editors by Vossen J.L. and Kern W. San Diego: Academic Press. 1991.265 p.

2. Luft W., Tsuo Y.S. Hydrogenated amorphous silicon alloy deposition processes // Appl. Phys. A. Series of Professional Referee Book. Ed. by A.M. Hermann. 1993. N.J.Basel-Hong Kong. Marsel Dekker Inc.

3. Wilbers A.T.M., Meeusen G.J., Haverlag M., Kroesen G.M.W., Schram D.C. Amorphous hydrogenated silicon films produced by an expanding argon-silane plasma investigated with spectroscopic IR ellipsometry // Thin Solid Films. 1991. Vol.204. P.59-75.

4. Barankova H., Bardos L., Berg S.Abnormal high rate deposition of TiN films by radio frequency plasma jet system//J. Electrochem. Soc. 1995. Vol.142. No.3. P.883-887.

5. Buuron A.J.M., Vandesanden M.C.M., Vanooij W.J, et al. Fast deposition of amorphous carbon films by an expanding cascaded arc plasma jet // J. Appl. Phys.,1995. Vol. 78. No.l. P. 528-540.

6. Qing Zhou, Otorbaev D.K., Brussaard G.J.H., van de Sanden M.C.M., Schram D.C. Diagnostics of the magnetized low-pressure hydrogen plasma jet: Molecular regime // J. Appl. Phys. 1996. Vol.80. No.3. P.1312-1323.

7. Perrm J., Leroy O., Bordage M.C. Cross-sections rate constants and transport coefficients in silane plasma chemistry // Contr. Plasma Phys. 1996. Vol.36. No.l. P.3-49.

8. Halpern B.L., Schmitt J.J., Golz J.W., Di Y., Johnson D.L. Gas jet deposition of thin films // Appl. Surf. Sci. 1991. Vol.48/49. P.19-26.

9. Maliik A., Wang X.W., Ma T.P., Cui G.J., Tamagawa T., Halpern B.L., Schmitt J.J. Interface traps in jet-vapor-deposited silicon nitride-silicon capacitors // J. Appl. Phys.1996. Vol.79. No.ll. P.8507-8510.

10. Sharafutdinov R.G., Sukhinin G.I., Veshchikov S.I., Biryukov S.A. // 10th Inter. Symp. Plasma Chem. Proceed. Bochum. Germany. 1991. Vol.3. P.4-22.

11. Eres D., Lowndes D.H., Tischler. Rapid heteroepitaxial growth of Ge films on (100) GaAs by pulsed supersonic free-jet chemical beam epitaxy // Appl. Phys. Lett. 1989. Vol.55. No.10. P.1008-1010.

12. Jones S.J., Myatt A., Ovshinsky H., Doehler J., Izu M. Use of gas jet deposition technique to prepare a-Si:H solar cells // Proc. of 26th Photovoltaic Specialists Conference. Sept. 30 Oct. 3. 1997. Anaheim. CA. P.659-662.

13. Engeln R., Letourneur K.G.Y., Boogaarts M.G.H., van de Sanden M.C.M., Schram D.C. Detection of CH in an expanding argon/acetylene plasma using cavity ring down absorption spectroscopy// Chem. Phys. Lett. 1999. Vol.310. P.405-410.

14. Ramayarananan R., Polasko K., Skelly D., Wong J., Mei S.-N., Lu T.-M. Unidirectional deposition of aluminium using nozzle jet beam technique // J. Vac. Sci. Technol. B. 1987. Vol.5. No.l. P.359-362.

15. Jones S.J., Crucet R., Deng X., Doehler J., Korf R., Myatt A., Izu M. Use of a gas jet technique to prepare microcrystalline silicon based solar cell at high i-layer deposition rates // MRS Spring Meeting 1999. Book of Abstracts. A 9.1.

16. Motooka Т., Fons P., Abe H., Tokuyama T. Selective dissociative ionization of SiH4, Si2H6 and Si^Hg by electron impact in supersonic free jets // Jpn. J. Appl. Phys. Pt.2. 1993. Vol.32. P. L879-L884.

17. Motooka Т., Abe H., Fons P., Tokuyama T. Epitaxial growth of Si by ArF laser-excited supersonic free jets of Si2H6 // Appl. Phys. Lett. 1993. Vol.63. P.3473-3475.

18. Pacheco K.A., Ferguson B.A., Li C., John S., Baneijee S., Mullins C.B. Epitaxial silicon growth using supersonic jets of disilane: A model study of energetic jet deposition // Appl. Phys. Lett. 1995. Vol.67. No.20. P.2951-2953.

19. Ferguson B.A., Sellidj A., Doris B.B., Mullins C.B. Supersonic-jet-assisted growth of GaN and GaAs films // J.Vac. Sci. Technol. 1996. Vol.A14. P.825-829.

20. Pacheco K.A., Ferguson B.A., and Mullins C.B. Growth and characterization of silicon thin films employing supersonic jets // J. Vacuum Science & Technology A. 1997. Vol. 15. No.4. P. 2190-2195.

21. Brown K.A., Ustin S.A., Lauhon L., Ho W. Supersonic jet epitaxy of aluminum nitride on silicon (100)// J. Appl. Phys. 1996. Vol. 79. No. 10. P. 7667-7671.

22. Eres D., Lowndes D.H., Tischler J.Z., Sharp J.W., Haynes Т.Е., Chisholm M.F. The effect of deposition rate on growth of epitaxial Ge on GaAs (100) // J. Appl. Phys. 1990. Vol.67. No.3. P.1361-1369.

23. Malik R., Gulari E., Li S.H., Bhattarcharya P.K., Singh J. Low temperature silicon epitaxy using supersonic molecular beams // J. Crystal Growth, 1995. Vol.150. P.984-988.

24. Nakano M., Sakaue H., Kawanoto H., Nagata A., Hirose M. Digital chemical vapor deposition of Si02 // Appl. Phys. Lett. 1990. Vol.57. No. 11. P. 1096-1098.

25. Hagena O.F.,Obert W. Cluster formation in expanding supersonic jets: effect of pressure, temperature, nozzle size and test gas // J. Chem. Phys. 1972. Vol. 56. No.5. P. 1793-1802.

26. Hagena O.F. Nucleation and growth of clusters in expanding nozzle flows // Surf. Sci. 1981. Vol.106. P.101-116.

27. Roca i Cabarrocas P., Gay P., Hadjadj A. Experimental evidence for nanoparticle deposition in continuous argon-silane plasmas: Effects of silicon nanoparticles on film properties// J. Vac. Sci. Technol. A. 1996. Vol. 14. No.2. P. 655-659.

28. Green F.T., Milne T.A. Mass-spectrometric detection of polymers in supersonic molecular beams II J. Chem. Phys. 1963. Vol.39. No.l 1. P.3150-3151.

29. Александров M.Jl., Куснер Ю.С. Газодинамические молекулярные, ионные и кластированные пучки. — Л.: Наука, 1989. 271 с.

30. Bier К., Hagena O.F. Optimum conditions for generating supersonic moleculartbbeams// Rarefied Gas Dynamics, Adv. Appl. Mech.: Proc. 4 Intern. Symp. Acad. Press, N. -Y. - L. 1966. Vol.11. P.260-278.

31. Inoue N., Uchida T. // Rev. Sci. Instrum. 1968. Vol.39. No.6. P.1461-1466.

32. Kuswa G., Stailings C., Stamm A. // Rev. Sci. Instrum. 1970. Vol.41. No.5. P.1362.

33. Inutake M., Kuriki K. // Rev. Sci. Instrum. 1972. Vol.43. No.6. P.1670-1675.

34. Gentry W.R., Giese C.F. Resolved single-quantum rotation excitation in HD + He collisions: First results from unique pulsed molecular beam apparatus // J. Chem. Phys. 1977. Vol.67. P.5389-5391.

35. Hall G., Lin K., McAuliffe M.J., Giese C.F., Gentry W.R State-to-state vibrational exitation of I2 in collisions with He II J. Chem. Phys. 1984. Vol.74. No. 12 (1). P.5577-5585.

36. Gentry W.R. Pulsed molecular beam experiments// Rarefied Gas Dynamics, Adv. Appl. Mech.: Proc. 14th Intern. Symp. Tokyo. 1984. Vol.11. P.793-807.

37. Continetti R.E., Balko В., Lee Y.T. J. // Chem. Phys.1990. Vol.93. No.12. P.5719. 42.Schnieder L., Seekamp-Rahn K., Liedeker F., Steuwe H., Welge K.H. Faraday

38. Discuss. Chem. Soc. 1991. Vol.91. P.259.

39. Баронов Г.С., Бронников Д.К., Варфоломеев A.E. и др. Эффект сверхравновесного заселения возбужденных состояний вырожденных колебательных мод С02 в условиях колебательно-поступательной неравноверности // Докл. АН СССР. 1987. Т. 297. С.1100-1103.

40. Zacharias Н., Loy М.М.Т., Roland P.A., Sudbo A.S. Rotational and electronic relaxation in pulsed supersonic beams of NO seeded in He and Ar // J. Chem. Phys. 1984. Vol.81. No.7. P. 3148 -3157.

41. Liverman M. G., Beck S. M., Monts D. L., Smalley R. E. Laser characterization of pulsed supersonic molecular jets and beams // Rarefied Gas Dynamics: Proc. 11th Intern. Symp. Paris. Ed. by R. Campargue. 1979. Vol.2. P.1037-1048.

42. Liverman M. G., Beck S. M., Monts D. L., Smalley R Fluorescence excitation spectrum of the 61 band of benzene in a pulsed supersonic jet // J. Chem. Phys. 1979. Vol.70. No. 1. P. 192.

43. Behlen F.M., Mikami N., Rice S.A. // Chem. Phys. Lett. 1979. Vol.60. No.2. P.364.

44. Rettner C.T., Marinero E.E., Zare R.N., Kung A.H. Pulsed free jets: novel nonlinear media for generation of vacuum ultraviolet and extreme ultraviolet radiation // J. Phys. Chem. 1984. Vol. 88. No.20. P.4459 4465.

45. Huisken F., Pertsch T.// Appl. Phys. B. 1986. Vol.41. No.l. P.173.

46. Lovejoy С. M., Nesbitt D. J. // J. Chem. Phys. 1986. Vol. 85. No.l 1. P.4890.

47. Макаров Г.Н, Малиновский Д.Е., Огурок Д.Д. Селективная инфракрасная многофотонная диссоциация молекул в импульсном газодинамическом потоке малой протяженности //ЖТФ. 1999. №1. С.35 -41.

48. Eldridge B.N., Yu M.L. Compact pulsed molecular beam system for real-time reactive scattering from solid surfaces // Rev. Sci. Instrum. 1987.Vol.58. No.6. P.1014-1026.

49. Chang H.C., Weinberg W.H. //Appl. Surf. Sci. 1979.Vol.3. No. 1. P. 104.

50. Hagena O.F., Obert W. //J. Chem. Phys. 1972. Vol.56. No.5. P.1793.

51. Rohlfmg E.A., Cox D.M., Kaldor A. Production and characterization of supersonic carbon cluster beams// J. Chem. Phys. 1984. Vol.81. No.7. P.3322 -3330.

52. BarthH.D., Huisken F. // J. Chem. Phys. 1987. Vol.87. No.6. P.2549.

53. Schulz C.P., Haugstatter R., Tittes H.-U. and Hertel I.V. Free sodium-water clusters: photoionization studies in a pulsed molecular beam source// Z. Phys. D Atoms, Molecules and Clusters. 1988. Vol.10. No.l. P.279-290.

54. Luo F., McBane G.C., Kim G., Giese C.F., Gentry W.R. // J. Chem. Phys. 1993. Vol.98. No.8. P.3564.

55. Димов Г.И. Быстродействующие затворы для импульсного напуска газа в вакуумные устройства //ПТЭ. 1968. №5. С.168-171.

56. Henins I, Marshal J. // Rev. Sci. Instrum. 1969.Vol.40. No.3. P.875.

57. Деревянкин Г.Е., Дудников В.Г., Журавлев П.А. Электромагнитный затвор для импульсного напуска газа // ПТЭ. 1975. №5. С.168-169.

58. Александров B.C., Новиков В.Г., Павлов Э.П., Перминов В.Д., Шестаков Б.А. Быстродействующий газовый клапан. Дубна, ОИЯИ, 1976, 19 с /Препринт Р9-10278/.

59. Gentry W.R., Giese C.F. 10-fisec pulsed molecular beam source and fast ionization gauge//Rev. Sci. Instrum. 1978.Vol.49. No.3. P.595-601.

60. Otis C.E., Johnson P.M. Simple pulsed valve for supersonic nozzle experiments // Rev. Sci. Instrum. 1980.Vol.51. No.5. P.l 128-1129.

61. Вуег R.L., Dunkan M.D. A 100 /xsec, reliable, 10 Hz pulsed supersonic molecular beam source // J. Chem. Phys. 1981. Vol.74. No.4. P.2174-2179.

62. Auerbach A., McDiarmid R. Modified pulsed valve for supersonic jet experiments // Rev. Sci. Instrum. 1980.Vol.51. No.9. P.2174-2175.

63. Bassi D., Iannotta S., Niccolini S. Pulsed molecular beam source // Rev. Sci. Instrum. 1981.Vol.52. No.l.P.8-11.

64. Adams Т.Е., Torckey B.H., Morrison J.S., Grant E.R. Handy fast valve for pulsed molecular beam//Rev. Sci. Instrum. 1981.Vol.52. No. 10. P.1981-1984.

65. Cross J.B., Valentini J.J. High frequency nozzle molecular beam source // Rev. Sci. Instrum. 1982.Vol.53. No.l. P.38-44.

66. Amirav A., Even U., Jortner J. // Chem. Phys. Lett. 1982. Vol.83. No.l. P. 1-11.

67. Andresen P., Faubel M., Haeusler D., Kraft G., Luelf H.W., Skofronick J.G. // Rev. Sci. Instrum. 1985. Vol.56. No.5. P.2038.

68. Баронов Г.С., Бронников Д.К., Варфоломеев A.E. и др. Быстродействующий клапан с щелевым соплом для получения импульсной сверхзвуковой струи большой протяженности // ПТЭ. 1987. №1. С. 199-201.

69. Lovejoy С.М., Nesbitt DJ. Slit pulsed valve for generation of long-path-length supersonic expansions // Rev. Sci. Instrum. 1987. Vol.58. No.5. P.807-811.

70. Li L., Lubman D.L. // Rev. Sci. Instrum. 1989. Vol.60. No.2. P.499.

71. Белоцерковец C.M., Бутковская Н.И., Васильев E.C., Морозов И.И. Установка для получения молекулярных кластеров в импульсном сверхзвуковом пучке // ПТЭ. 1992. №5. С.220-226.

72. Abad L., Bermejo D., Herrero V.J., Santos J., Tanarro I. Performance of a solenoid-driven pulsed molecular-beam source// Rev. Sci. Instrum. 1995. Vol.66. No.7. P.3826 -3832.

73. Atkinson D.B., Smith M.A. Design and characterization of pulsed uniform supersonic expansions for chemical applications // Rev. Sci. Instrum.1995. Vol.66. No.9. P.4434 -4446.

74. Бобылев В.Б., Бурдаков A.B., Локонов K.B. Электромагнитный газовый клапан с плоским соплом Лаваля //ПТЭ. 1996. №1. С.152-154.

75. Мазуренко М.И., Петухов В.А., Поведайло В.А., Семенов М.А., Смагин И.В. Электродинамический импульсный клапан для получения молекулярных пучков //ПТЭ. 2002. №2. С. 152-155.

76. Макаров Г.Н. Управление длительностью импульсов интенсивных молекулярных пучков //Письма в ЖЭТФ. 2002. Т.75, вып.З. С. 159-162.

77. Макаров Г.Н. Импульсные молекулярные пучки, управляемые с помощью скачка уплотнения // ЖТФ. 2002. Т.72, вып. 12. С.9-14.

78. Баженова Т.В., Гвоздева Л.Г. Нестационарные взаимодействия ударных волн. М.: Наука, 1977, 274 с.

79. Баженова Т.В., Гвоздева Л.Г., Лагутов Ю.П. и др. Нестационарные взаимодействия ударных и детонационных волн в газах. М.: Наука, 1986, 206 с.

80. Чекмарев С.Ф. Импульсные течения газа в сверхзвуковых соплах и струях. Новосибирск, Изд-во ИТ СО АН, 1990, 342 с.

81. Гусев В.Н. К вопросу о запуске сверхзвуковых сопел //Инж. Журн. 1961. Т.1, вып. 1.С. 164-168.

82. Чекмарев С.Ф. Неустановившееся радиальное расширение газа в затопленное пространство от внезапно включенного стационарного источника // ЖПМТФ. 1975. №2. С.70-79.

83. Chekmarev S.F. Unsteady supersonic radial gas expansion from a rapidly started source//Arch. Mech. 1978. Vol.40. No.4-5. P.383-392.

84. Чекмарев С.Ф., Станкус H.B. Газодинамическая модель и соотношения подобия для запуска сверхзвуковых сопел и струй // ЖТФ. 1984. Т.54, вып.8. С. 15761583.

85. Черный Г.Г. Газовая динамика. М.: Наука. 1988. 424 с.

86. Абрамович Г.Н. Прикладная газовая динамика М.: Наука, 1976. 888 с.

87. Saenger K.L. Pulsed molecular beams: A lower limit on pulse duration for fully developed supersonic expansions // J. Chem. Phys. 1981. Vol.75. No.5. P.2467-2469.

88. Saenger K.L., Fenn J.B. On the time required to reach fully development flow in pulsed supersonic free jets // J. Chem. Phys. 1983. Vol.79. No.2. P.6043-6045.

89. Ashkenas H., Sherman F.S. The structure and utilization of supersonic free jets in low density wind tunnels // Rarefied Gas Dynamics: Pros. 4th Intern. Symp., N.Y., 1966. Vol.2. P.84-105.

90. Bird G. A. Molecular gas dynamics and the direct simulation of gas flows. Clarenton Press. Oxford. 1994. P.451.

91. Быков Н.Ю., Лукьянов Г.А. Параллельное прямое моделирование Монте-Карло нестационарных течений разреженного газа на суперкомьютерах массивно-параллельной архитектуры. СПб. Ин-т высокопроизводительных вычислений и баз данных. Препринт №5-97. 1997. 33 с.

92. Быков Н.Ю., Лукьянов Г.А. Параллельное прямое моделирование методом Монте-Карло истечения газа в вакуум от импульсного источника // Теплофизика и аэромеханика. 1998. Т.5. №3. С.439-445.

93. Быков Н.Ю., Лукьянов Г.А. Газодинамика истечения струй от импульсного источника // XVIII Межд. семинар «Течения газа и плазмы в соплах, струях и следах», СПб, 2000, Тезисы докладов, С.77.

94. Еремин А.В., Кочнев В.А., Набоко И.М. Исследование формирования струй газа при истечении в разреженное пространство // ЖПМТФ. 1975. № 2. С.53-58.

95. Еремин А.В., Кочнев В.А., Куликовский А.А., Набоко И.М. Нестационарные процессы при запуске сильно недорасширенных струй // ЖПМТФ. 1978. № 1. С. 34-40.

96. Кочнев В.А., Набоко И.М. Экспериментальное исследование импульсных сверхзвуковых струй низкой плотности //ЖПМТФ. 1980. № 1. С. 107-113.

97. Шерман П.М. Увеличение скорости сверхзвукового потока вследствие конденсации // РТиК. 1971. Т.9. С.254-256.

98. Голуб В.В., Набоко И.М., Куликовский А.А. Исследование трехмерной волновой структуры нестационарного истечения газа из плоского звукового сопла//ЖПМТФ. 1976. № 1. С. 41-45.

99. Белавин В.А., Голуб В.В., Набоко И.М. Структура импульсных струй газов, истекающих через сверхзвуковые сопла// ЖПМТФ. 1979. № 1. С. 56-65.

100. Белавин В.А., Голуб В.В., Набоко И.М. Формирование импульсной струи за сверхзвуковым соплом при возможной релаксации газа на входе в сопло // Изв. АН СССР. Механика жидкости и газа. 1980. № 6. С. 129-135.

101. Голуб В.В., Григорьев В.В., Гринь Ю.И. и др. Исследование струйных течений за щелевым и клиновидным соплами на ударной трубе // ЖПМТФ. 1982. №6. С. 76-80.

102. Naboko I.M., Bazhenova T.V., Орага A.I., Belavin V.A. Formation of a jet of shock-heated gas outflowing into evacuated space II Acta. Astronaut. 1972. Vol. 17. P. 653-659.

103. Белавин B.H., Голуб B.B., Набоко И.М., Опара А.И. Исследование нестационарной структуры потока при истечении ударно-нагретого газа // ЖПМТФ. 1973. № 5. С. 34-40.

104. Голуб В.В., Набоко И.М., Куликовский А.А. Исследование трехмерной волновой структуры нестационарного истечения газа из плоского звукового сопла//ЖПМТФ. 1976. № 1. С.41-45.

105. Naboko I. M., Golub VV., Eremin A.V., Opara A.I., and Belavin V.A. Wave structure and density distribution in a nonstationary gas jets // Arch. Mech. 1977. Vol. 29. N 1. P. 69-80.

106. Добрынин Б.M., Кисляков В.Б., Масленников В.Г. Исследование импульсного сверхзвукового истечения аргона из конического сопла // ЖТФ. 1979. Т. 49, вып. 11. С. 2516-2519.

107. Масленников В.Г., Добрынин Б.М. Процесс установления начального участка плоских сверхзвуковых струй азота при различных значениях нерасчетности истечения // ЖТФ. 1981. Т. 51, вып. 6. С. 1229-1236.

108. Добрынин Б.М., Масленников В.Г., Сахаров В.А. Процесс установления плоского сверхзвукового струйного течения при различных физических свойствах истекающего и затопляющего струю газов // ЖТФ. 1987. Т. 57, вып. 1. С. 118-124.

109. Кау B.D., Raymond T.D., Rice J.K. Time-of-flight characterization of pulsed supersonic hélium free-jet expansions // Rev. Sci. Instrum. 1986. Vol.57. No.9. P. 2266-2273.

110. Зарвин А.Е., Коробейщиков Н.Г., Мадирбаев В.Ж., Гартвич Г.Г., Каляда В.В., Айрапетян B.C. Универсальный малогабаритный вакуумный комплекс для газокинетических исследований // ПТЭ. 2000. №5, С.64-70.

111. Зарвин А.Е., Колеватов В.Н., Каляда В.В.,Мадирбаев В.Ж. Формирователь коротких токовых импульсов для управления электронно-лучевой пушкой II ПТЭ, 1992, №2, С.177-178.

112. Мадирбаев В.Ж., Зарвин А.Е., Гартвич Г.Г., Каляда В.В. Импульсная электронно-пучковая система для диагностики газовых потоков П ПТЭ. 1996. №6, С.72-74.

113. Goulard R. Laser Raman scattering application // J. Quant. Sci. 1974. Vol.14. P.32-46.

114. Зарвин A.E. Время-пролетный метод измерения функций распределения скоростей молекул // В сб. "Неравновесные процессы в потоках разреженного газа". Изд-во ИТФ СО АН. Новосибирск. 1977. С.51 78.

115. Воскобойников Ю.Е., Зарвин А.Е., Полтавец А.А., Томсонс Я.Я., Ша-рафутдинов Р.Г. Определение функции распределения молекул по скоростям и ее моментов из время-пролетных измерений // ЖПМТФ, 1976, № 5, С.32-41.

116. Zarvin А.Е., Sharaiutdinov R.G. Gas flow parameter determination by molecular beam method // 6-th Int. Symposium on Molecular Beams. The Netherlands. 1977. Book of Abstracts. P. 311-314.

117. Гартвич Г.Г., Зарвин A.E., Каляда B.B., Мадирбаев В.Ж., Коробейщиков Н.Г. Аппаратура для масс-спектрометрического анализа импульсных сверхзвуковых газовых потоков // ПТЭ. 1996, №5. С.160-161.

118. Гартвич Г.Г., Дудников В.А., Зарвин А.Е., Каляда В.В., Мадирбаев В.Ж. Пространственно-временные характеристики сверхзвукового потока, формируемого с помощью импульсного электромагнитного клапана // ПТЭ. 1997, №2. С.134-136.

119. Рамзей Н. Молекулярные пучки. М.: ИЛ, 1960.

120. Куснер Ю.С. Ионизационный метод диагностики кластированных молекулярных пучков. В кн.: Диагностика потоков разреженного газа. Сб. научн. трудов, Изд-во ИТ СО АН, 1979. С.123-148.

121. Haaland P. Dissociative ionization of silane II Chem. Phys. Letters. 1990. Vol. 170. P.146- 152.

122. Krishnakumar E. and Srivastava S.K. Ionization cross sections of silane and disilane by electron impact // Contrib. Plasma Phys. 1995. Vol. 35. P. 395 404.

123. Basner R., Schmidt M., Tarnovsky V., Becker K. and Deutsch H. Dissotiative ionization of silane by electron impact // Int. J. Mass Spectr. and Ion Physics. 1997. Vol. 171. P. 83 -93.

124. Basner R., Shmidt M., Backer K. and Deutsch H. Electron impact ionization of organic silicon compounds //Adv. in Atom., Molec., and Optic Phys. 2000. Vol.43. P.147- 185.

125. Бочкарев A.A., Косинов B.A., Ребров A.K., Шарафутдинов Р.Г. Измерения параметров газового потока с помощью электронного пучка // Экспериментальные методы в динамике разреженных газов. Новосибирск, Изд-во ИТ СО АН, 1974. С.98-137.

126. Cattolica R. J. Modern developments in electron-beam fluorescence // Rarefied Gas Dynamics, 14th Intern. Symp.: Book of abstracts.- Aahen. 1990. Vol.1. P.20.

127. Гартвич Г.Г., Зарвин A.E., Мадирбаев В.Ж. Электронно-пучковая диагностика фтористого водорода: оптическая модель и ее ограничения // ЖПМТФ. 1994, №1. С.151-158.

128. Дулов В. Г., Лукьянов Г.А. Газодинамика процессов истечения. -Новосибирск: Наука, 1984, 234 с.

129. Коган М.Н. Динамика разреженного газа. М.: Наука, 1967.

130. Абрамович Г.Н. Прикладная газовая динамика. М.: Наука, 1969, 824 с.

131. Авдуевский B.C., Иванов А.В., Карпман И.М. и др. Влияния вязкости на течение в начальном участке сильно недорасширенной струи. // Докл. АН СССР, 1971. Т.197, №1. С.46-49.

132. Muntz Е.Р., Hamel В.В., Maguire B.L. Some characteristics of exhaust plume rarefaction//AIAA J. 1970. Vol.8. No.9. P. 1651-1658.

133. Лукьянов Г.А. Рассеяние гиперзвукового потока на сверхзвуковой струе газа при свободномолекулярном режиме взаимодействия// Изв. АН СССР, МЖГ. 1973. №1. С.176-179.

134. Belikov A. E., Khmel S. Ya., Sharafutdinov R. G. Electron-fluorescent detection of C02 cluster beam// 12th Int. Symp. on molecular beams: Book of abstracts, Italy, Perugia, May 29 June 2, 1989. P. 146-149.

135. Vostrikov A. A., Gilyova V. P., Dubov D. Yu. Electron-stimulated fluorescence and ejection of excited particles from clusters // Rarefied gas dynamics: Pros. 17th Intern. Symp., Aahen, Germany, July 8 14, 1990. - VCH, 1991. P.1197 - 1204.

136. Anderson J.B. Molecular beams from nozzle sources. Molecular beams and low density gasdynamics. Ed. by P.P. Wegener, N.Y., 1974. P.1-91.

137. Станкус H.B., Чекмарев С.Ф. Радиальное расширение совершенного и колебательно релаксирующего газа от внезапно включенного источника в вакуум//ЖПМТФ. 1981. №5, С.34-40.

138. Станкус Н.В. Численное исследование запуска сверхзвуковых сопел и недорасширенных струй при наличии колебательной релаксации. Новосибирск, 1983. 18 с. (Препринт / АН СССР. Сиб. Отд-ние. Ин-т теплофизики, №101-83).

139. Самарский А.А., Попов Ю.П. Разностные методы решения задач газовой динамики. М.: Наука, 1980. 352 с.

140. Kantrowitz A., Grey J. High intensity sourse for the molecular beam. Part 1. Theoretical// Rev. Sci. Instrum. 1951. Vol.22. No.5. P.328 334.

141. Parker H.M., Kuhlthau A.R., Zapata R., Scott J.E., Jr. The application of supersonic beam sources to low-density, high-velocity experimentation // Rarefied Gas Dynamics: Pros. 1st Intern. Symp., N.Y., 1960. Vol.2. P.69-76.

142. French J.B. Continuum-source molecular beams // AIAA J. 1965. Vol.3. No.6. P.3-16.

143. Oman R.A. Analysis of a skimmer for a high-intensity molecular beam using a three-fluid model // Phys. Fluids. 1963. Vol.6. No.7. P. 1030-1034.

144. Леонас В.Б. Современное состояние и некоторые новые результаты метода молекулярного пучка// УФН. 1964. Т.82. №2. С.287-310.

145. Fenn J.B., Anderson J.B. Background and sampling effects in free jet studies by molecular beam measurements // Rarefied Gas Dynamics: Pros. 1st Intern. Symp., N.Y., 1960. Vol.2. P.69-76.

146. Govers T.R., Le Roy R.L., Deckers J.M. The concurrent effects of skimmer interaction and background scattering on the intensity of a supersonic molecular beam // Rarefied Gas Dynamics: Pros. 6th Intern. Symp. 1969. Vol.2. P.997-1002.

147. Camparque R. Dimensionless number linked to background and skimmer jet interaction in nozzle beam generator // Rarefied Gas Dynamics: Pros. 6th Intern. Symp., 1969. Vol.2. P. 1003-1009.

148. Bossel U. On the optimization of skimmer geometry // Entropie 1971. No.42. P.12-17.

149. Зарвин A.E., Шарафутдинов Р.Г. Влияние газа окружающего пространства на функцию распределения скоростей молекул в молекулярном пучке // ЖПМТФ. 1976. №4. С.11-19.

150. Зарвин А.Е., Шарафутдинов Р.Г. Влияние возмущения потока перед скиммером на параметры молекулярного пучка // ЖПМТФ. 1978. №3. С.50-54.

151. Зарвин А.Е., Шарафутдинов Р.Г. О формировании сверхзвуковых молекулярных пучков с помощью скиммера// ЖПМТФ. 1979. №6. С.107-115.

152. Lubman D.M., Rettner С.Т., Zare R.N. How isolated are molecules in a molecular beam? // J. Phys. Chem. 1982. Vol.86. No.7. P. 1129-1135.

153. Кисляков Н.И., Ребров A.K., Шарафутдинов Р.Г. Диффузионные процессы в зоне смешения сверхзвуковой струи низкой плотности // ЖПМТФ. 1973. №1. С.121-128.

154. Bossel U. Skimmer interaction: Transition between a «shock» beam to a supersonic nozzle beam// Entropie. 1969. No.30. P.ll-15.

155. Bailey J. A., Dawbarn R., and Busby M. R. Effects of skimmer and endwall temperature of condensed molecular beams // AIAA J. 1976. Vol.14. No.l. P.91-93.

156. Belikov A. E., Khmel S. Ya., Sharafutdinov R. G. TOF analysis of C02 cluster beams// Rarefied gas dynamics: Proc. 17th Int. Symp. Aahen, Germany, July 8-14, 1990. VCH, 1991. P.1220-1226.

157. Петров Ю. И. Кластеры и малые частицы. -М.: Наука, 1986, 386 с.

158. Levy D. Н. Van der Waals molecules // Adv. Chem. Phys., 1981. Vol.47. P.323 -362.

159. Елецкий А. В., Смирнов Б. M. Свойства кластерных ионов // УФН. 1989. Т. 159, вып.1. С. 45-81.

160. Physics and chemistry of small clusters. Ed. by B.K. Rao and S.N. Khanna. NATO ASI Series B: Physics. 1987. Vol. 158. 243 p.

161. Symposium on clusters // Electron and atomic collisions/ Ed. by J. Eichler, J.V. Hertell, N. Stolterfoth. Amsterdam; Oxford: North Holland. 1984. P.579 627.

162. Nesbitt D.J. High-resolution infrared spectroscopy of weakly bound molecular complexes // Chem. Rev. 1988. Vol.11. No.l. P.843-870.

163. Куснер Ю.С., Приходько В.Г., Симонова Г.В., Фирстов В.Е. О механизме гомогенной конденсации при быстром адиабатическом расширении газа // ЖТФ. 1984. т.54, вып.9. С.1772 1781.

164. Сковородко П.А. Влияние гомогенной конденсации в свободной струе на интенсивность молекулярного пучка // Некоторые задачи гидродинамики и теплообмена. Под ред. В.Е. Накорякова. Новосибирск: ИТФ СО АН СССР, 1976. С. 106-119.

165. Bailey J. A., Dawbarn R., and Busby M. R. Effects of skimmer and endwall temperature of condensed molecular beams // AIAA J. 1976. Vol.14. No.l. P.91-93.

166. Востриков A.A., Дубов Д.Ю. Реальные свойства кластеров и модель конденсации. Препринт №112 ИТ СО АН СССР. 1984, 54 с.

167. Hagena O.F. Condensation in free jets: comparison of rare gases and metals // Z. Phys. D. Atoms, molecules and clusters. 1987. Vol. 4. P.291 - 299.

168. Хмель С.Я., Шарафутдинов Р.Г., Беликов A.E., Сковородко П. А. Электронно-флюоресцентная и молекулярно-пучковая диагностики потоков газа с кластерами. Препринт №271 ИТ СО РАН. 1994, 93 с.

169. Новопашин С.А., Перепелкин А.Л., Ярыгин В.Н. Начало конденсации и динамика роста кластеров при свободном расширении С02 из звукового сопла // ЖПМТФ. 1987, №4. С.143-146.

170. Knuth E.L., Schilling В., Toennies J.P. On scaling parameters for predicting cluster sizes in free jets // Rarefied Gas Dynamics: Proc. 19th Intern. Symp. Ed. by J. Harvey and G. Lord 1995. Vol.1. P.270-276.

171. Hagena O.F., von Wedel H. Cluster beams from gas mixtures: Effect of carrier gas on cluster size and beam intensity // Rarefied Gas Dynamics: Proc. 9th Intern. Symp. Ed. by E. Becker and M. Fiebig. 1974. Porz-Wahn:DFVLR-Press. Vol.1. P.F2.1-2.6.

172. Vasile M.J., Stevie F.A. Cluster formation of a seed component in rare gas free jet expansions //J. Chem. Phys. 1981. Vol.75. No.5. P. 2399-2405.

173. Lippmann D., and Schieve W.C. Effect of seed clusters on rate of condensation // J. Phys. Chem. 1993. Vol.93. No. 16. P.3978-3981.

174. Kim S.S., Stein G.D. Evidence for mixed clusters formed during sulfur hexafluoride expansions in an argon carrier gas// J. Appl. Phys. 1980. Vol.51. No.12. P.6419-6421.

175. Stephan K., Fulrell J.H.,Peterson K.I. An electron impact study of carbon dioxide dimers in a supersonic molecular beam: Appearance potensials of (CC>2)2+, (CO C02)+ and (Ar C02)+// J. Chem. Phys. 1982. Vol.77. No.5. P.2408-2415.

176. Ding A., Cassidy R.A., Cordis L.S. and Lampe F.W. The photoionization spectra of effusive and supersonic molecular beams of monosilane // J. Chem. Phys. 1985. Vol.83. No.7. P.3426 3432.

177. Randall R.W., Ibbotson J.B., Howard BJ. Spectroscopy and dynamics of rare gas-spherical top complexes. The infrared spectrum of the V3 band of argon-silane // J. Chem. Phys. 1994. Vol.100. No. 10. P.7051-7060.

178. Golomb D., Good R.E., Bailey A.B. M.R. Busrby, and R. Dawbarn. Dimers, clusters, and condensation in free jets. II // J. Chem. Phys. 1972. Vol.57. No.9. P.3844-3852.

179. Milne T.A., Vandegrift A.E., Green F.T. // J. Chem. Phys. 1970. Vol.52. P. 1552.

180. Palopezhentsev S.A., Yarygin V.N., Zarvin A.E., and Madirbaev V.Zh. The gas dynamics of expanding nozzle flows with condensation // Prog. 15 Int. Symp on Rarefied Gas Dynamics. (Grado, Italy, 1986). Vol. 2. P.179-187.

181. Buck U. and Krohne R. Cluster size determination from diffractive He atom scattering // J. Chem. Phys. 1996. Vol.105. No.13. P. 5408-5415.

182. R. Karnbach, M. Joppien, J. Stapelfeldt, J. Wormer and T. Moller // Rev. Sci. Instrum. 1993. Vol.64. P.2838-2842.

183. Knuth E. L. Dimer-formation rate coefficients from measurements of terminal dimer concentrations in free-jet expansions // J. Chem. Phys. 1977. Vol.66. No.8. P.3515-3525.

184. P.K. Sharma, E.L. Knuth, W.S. Young // J. Chem. Phys. 1976. Vol.64. P.4345-4351.

185. Reis Y.H., Fenn J.B. Separation of gas mixtures in supersonic jets // J. Chem. Phys. 1963. Vol.39. P.3240-3250.

186. Куснер Ю.С., Кутателадзе C.C., Приходько В.Г. и др. Инерционное газокинетическое разделение газовых смесей и изотопов // ДАН СССР, 1979. Т.247, №4. С.845-848.

187. Buck U. and Meyer Н. Scattering analysis of cluster beams: formation and fragmentation of small Arn clusters // Phys. Rev. Lett. 1984. Vol.52. No.2. P.109-112.

188. Buck U. and Meyer H. Electron bombardment fragmentation of Ar van der Waals clusters by scattering analysis // J. Chem. Phys. 1986. Vol.84. No.9. P.4854-4861

189. Basted A., Haberstadt N., Beswick J.A., Gadea F.X., Buck U., Galonska R., and Lauenstein C. // Chem. Phys. Letters. 1996. Vol.249. P. 1-5.

190. J. Farges, M.F. de Feraudy, B.Raoult and G.Torchet. // J. Chem. Phys. 1986. Vol.84. P.3491.

191. Кошкин Н.И., Ширкевич М.Г. Справочник по элементарной физике. М.: Наука, 1965 г., 248 с.