Методы получения и характеристики полиимид - кремниевых микроактюаторов и устройств микромеханики на их основе тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.01, кандидат технических наук Корпухин, Андрей Сергеевич

• Корпухин, Андрей Сергеевич
• кандидат технических наук
• 2012

Оглавление диссертации кандидат технических наук Корпухин, Андрей Сергеевич

Основные термины, обозначения и сокращения.

Введение.

Глава 1 Анализ конструкций, технологий и характеристик полиимид -кремниевых микроактюаторов и устройств микросистемной техники на их основе (обзор литературы).

1.1 Анализ принципов функционирования, характеристик микроактюаторов и тепловых микроактюаторов.

1.2 Анализ принципа действия, конструкции, технологии изготовления и характеристик полиимид - кремниевых микроактюаторов и устройств микросистемной техники на их основе.

1.3 Физико-технологические и конструктивные ограничения при создании полиимид - кремниевых микроактюаторов.

Глава 2. Объекты и методы исследований.

2.1. Объекты исследований.

2.1.1 Объекты исследования смачивания раствором полиамидокислоты поверхности кремниевых пластин, подвергнутых различным обработкам, при введении УНТ варьируемой концентрации в ПАК и шероховатости получаемых полиимидных слоев с УНТ.

2.1.2 Объекты исследования эксплуатационных характеристик полиимид - кремниевых микроактюаторов при варьируемых условиях формирования и геометрии функциональных слоев.,.

2.1.3 Объекты исследования деформационно-прочностных характеристик полиимид - кремниевых микроактюаторов с армированным и не армированным УНТ полимерным слоем при испытаниях на разрыв.

2.1.4 Объекты исследования деградации термодеформационных и силовых характеристик полиимид - кремниевых микроактюаторов с полимерным слоем, армированным и неармированным углеродными нанотрубками.

2.2 Методы исследований эксплуатационных характеристик полиимид - кремниевых микроактюаторов.

Глава 3. Результаты исследований и разработка технологии.

3.1 Результаты исследований характера смачивания раствором полиамидокислоты поверхности кремниевых пластин с различной предварительной обработкой, при введении углеродных нанотрубок варьируемой концентрации в полиамидокислоту и шероховатости получаемых тонких полиимидных слоев с углеродными нанотрубками.

3.2 Результаты исследований эксплуатационных характеристик полиимид - кремниевых микроактюаторов при варьируемых условиях формирования.

3.2.1 Результаты исследований термодеформационных характеристик полиимид - кремниевых микроактюаторов при варьируемой модификации кремниевой поверхности, температуре имидизации полиимидных слоев и геометрии функциональных слоев.

3.2.2 Результаты исследований деформационно-прочностных характеристик полиимид - кремниевых микроактюаторов с армированным и не армированным углеродными нанотрубками полимерным слоем при испытаниях на разрыв.

3.2.3 Результаты исследований деградации термодеформационных и силовых характеристик полиимид - кремниевых микроактюаторов с полимерным слоем, армированным и неармированным углеродными нанотрубками.

3.3 Технология полиимид - кремниевых микроактюаторов.

Глава 4. Устройства микромеханики на основе полиимид - кремниевых микроактюаторов.

4.1 Микроструктурная система терморегуляции поверхности для малого космического аппарата.

4.2 Устройство управления поверхностью для крепления малогабаритной антенны.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Методы получения и характеристики полиимид - кремниевых микроактюаторов и устройств микромеханики на их основе»

Актуальность темы. В настоящее время одним из наиболее перспективных направлений микросистемной техники является создание тепловых микроактюаторов, которые по сравнению с электростатическими, электромагнитными, пьезоэлектрическими демонстрируют значительные усилия и перемещения. Технология тепловых микроактюаторов совместима с технологией интегральных схем, основана на приемах микрообработки, что обуславливает широкие возможности при изготовлении устройств микромеханики. Конструкция полиимид-кремниевых микроактюаторов (ПКМ) с У-образными канавками, состоящая из плоских параллельных кремниевых элементов, адгезионно связанных между собой слоем полиимида, и функционирующая на термомеханическом биморфном и шарнирном эффектах, является одной из наиболее привлекательных, из-за большего перемещения хвостовика микроактюатора по сравнению с аналогами и применяется для создания микророботов, перемещающихся по плоской поверхности, микроконвейеров и регулирования микропотоков газа. Большой вклад в изучение проблем создания ПКМ с У-образными канавками внесли фундаментальные и прикладные работы ученых Королевского университета Стокгольма Э. Кельвестена и Т. Эбефорса. В Российской Федерации моделированию и разработке технологий изготовления полиимид - кремниевых микроактюаторов и устройств микромеханики на их основе посвящены работы НИУ «МИЭТ» (г. Зеленоград) (д.т.н., проф. С.П. Тимошенков).

Однако, несмотря на имеющиеся данные о конструкции и способах формирования ПКМ, систематические сведения о возможностях направленного регулирования и способах повышения стабильности термодеформационных характеристик, методах их измерения и возможностей применения в особо жестких условиях эксплуатации отсутствуют, что ограничивает сферы приложений ПКМ. Широкие возможности практического использования ПКМ для космических применений, связанных с уменьшением массогабаритных характеристик космических аппаратов до размеров микро-, нано- и пикоспутников, а также с требованиями применения космических микророботов, обусловливают важность тематики работы.

Таким образом, проведения систематических исследований по управлению характеристиками с помощью технологических методов, разработка методов получения ПКМ, обеспечивающих регулирование и замедляющих деградацию функциональных характеристик, а также методов измерения характеристик ПКМ и устройств микромеханики на их основе, в том числе для космических применений является актуальной научной задачей.

Цель работы. Разработка и исследование технологии, обеспечивающей регулирование и долговременную стабильность эксплуатационных характеристик полиимид - кремниевых микроактюаторов и устройств микромеханики на их основе

Решаемые задачи:

1. Анализ известных подходов, конструкции, технологии и физико-технологических ограничений при изготовлении полиимид - кремниевых микроактюаторов и устройств микросистемной техники на их основе.

2. Разработка методов измерения деформационно - прочностных и деградации эксплуатационных характеристик ПКМ, использующих растяжение и многоцикловые изгибающие воздействия к полиимид - кремниевой балочной структуре микроактюаторов.

3. Разработка метода регулирования термодеформационных, силовых и деформационно-прочностных характеристик ПКМ параметрами технологических операций и варьированием толщиной функциональных слоев.

4. Разработка метода уменьшения деградации эксплуатационных характеристик ПКМ с использованием дублированных полиимидных слоев с инкорпированными нанотрубками.

5. Разработка и обоснование конструкции и технологии устройств микросистемной техники на основе полиимид - кремниевых микроактюаторов с новыми функциональными характеристиками, в том числе и для космического применения.

Новизна и научная ценность работы.

Разработан метод регулирования термодеформационных, силовых и деформационно-прочностных характеристик ПКМ, отличающийся возможностью целенаправленного формирования требуемых значений диапазона их изменения.

Разработан метод уменьшения деградации эксплуатационных характеристик ПКМ, отличающийся использованием дублированных полиимидных слоев с введенными нанотрубками, определена их предельная концентрация.

Разработаны методы измерения деформационно - прочностных и оценки деградации эксплуатационных характеристик ПКМ, отличающиеся применением исследований характера растяжения и многократных изгибающих воздействий ПКМ.

Предложены и обоснованы конструкции полиимид - кремниевых микроактюаторов и устройств на их основе, отличающиеся использованием кремниевых трапецевидных элементов в качестве резисторов и дублированных полиимидных слоев с инкорпированными нанотрубками.

Практическая значимость и результаты внедрения.

Предложена усовершенствованная конструкция ПКМ, включающая слоистую термодеформируемую консольно-закрепленную балку, состоящую из двухслойной полиимидной пленки, адгезионно связывающей кремниевые трапециевидные элементы, модифицированные в местах контакта с полиимидной пленкой у-аминопропилтриэтоксисиланом (АПТЭС). Полимерный слой, прилегающий к кремниевым элементам армирован УНТ с концентрацией приблизительно 1,25 масс.%.

Представлена разработанная технология изготовления полиимид -кремниевых микроактюаторов, обеспечивающая изготовление устройств микромеханики на их основе, в том числе, характеризующаяся следующими параметрами:

- регулируемые характеристики ПКМ технологическими режимами операций (модифицирование кремниевой поверхности, температура имидизации полиимида, в дублированный полиимидный слой), а также варьированием геометрией функциональных слоев;

- снижение показателей деградации силовых характеристик в 2 раза, термодеформационных в 3 раза, деформационно-прочностных от 25 до 40 %. за счет упрочнения полиимидного слоя введением в его состав УНТ с концентрацией приблизительно 1,25 масс. %.

Предложен метод измерения деформационно - прочностных и деградации эксплуатационных характеристик ПКМ.

Практическая значимость работы заключается в возможности создания на основе предложенных в работе методов и усовершенствованной структуры полиимид-кремниевого микроактюатора устройств и систем, работоспособных в жестких условиях эксплуатации (диапазон температур от 77 К до 673 К, плазма и т. д.), близких к условиям дестабилизирующих факторов космического пространства.

Результаты исследований использованы в научно-исследовательских и опытно-конструкторских работах ОАО «Российская корпорация ракетно-космического приборостроения и информационных систем», выполненных по заказам Российского фонда фундаментальных исследований, Роскосмоса и Министерства образования и науки Российской Федерации. Практическая значимость результатов работы подтверждена заключениями об их использовании в ОАО «Российская корпорация ракетно-космического приборостроения и информационных систем», «МАТИ» - РГТУ им. К.Э. Циолковского и Национальном Исследовательском Университетом «МЭИ».

Заключение диссертации по теме «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника на квантовых эффектах», Корпухин, Андрей Сергеевич

Выводы к главе 4

Проведены экспериментальные исследования устройств микромеханики -микроструктурной системы терморегуляции поверхности для малых КА и устройства управления поверхностью для перемещения антенны или зеркала. Описаны технологические процессы изготовления самих устройств с регулируемыми деформационно - прочностными, термодеформационными и силовыми характеристиками полиимид - кремниевых балочных тепловых микроактюаторов, на основе которых работают эти устройства. Представлены результаты исследований характеристик устройств.

Показано, что на основе полиимид - кремниевых микроактюаторов можно разрабатывать целый класс приборов и устройств, способных работать при повышенных температурах (около 373 К) с большим количеством циклов срабатывания (до 37 млн.) с замедленной деградацией по термодеформационным характеристикам в три, силовым - в два раза.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

1. Разработаны новые методы получения полиимид - кремниевых микроактюаторов и устройств микромеханики, обеспечивающие улучшенные эксплуатационные характеристики и основные показатели технологического процесса, исследованы характеристики микроактюаторов и устройств.

2. Предложена и обоснована конструкция полиимид - кремниевых микроактюаторов, отличающаяся использованием кремниевых трапецевидных элементов в качестве резисторов и дублированного дополнительного полиимидного слоя с инкорпированными нанотрубками.

3. Разработаны методы измерения характеристик ПКМ:

- деформационно - прочностных характеристик ПКМ (основан на применении испытаний на растяжение для микроактюаторов),

- эксплуатационных характеристик ПКМ (отличающийся применением многократных изгибающих воздействий к полиимид - кремниевой структуре микроактюаторов).

4. Разработаны методы получения ПКМ, обеспечивающие направленное регулирование термодеформационных, силовых и деформационно-прочностных характеристик ПКМ, отличающиеся возможностью целенаправленного формирования требуемых значений диапазона их изменения параметрами технологических операций (модификация поверхности кремния, температура имидизации полиимидного слоя, плазмохимическое травление) и варьированием геометрии функциональных слоев при формировании микроактюаторов.

5. Разработан метод снижения деградации эксплуатационных характеристик ПКМ, отличающийся использованием дублированных полиимидных слоев, один из которых армирован введенными нанотрубками. Исследованы характеристики ПКМ, полученные вышеуказанными методами, показано, что введение нанотрубок с предельной концентрацией 1,25 масс.%. в полимерную матрицу повышает деформационно - прочностные характеристики микроактюаторов по приблизительной оценке от 25% до 40%, обеспечивает снижение деградации термодеформационных характеристик в 3, а силовых в 2 раза из-за упрочнения полиимидного слоя и увеличения усталостной прочности ПКМ.

6. На основе проведенных исследований характеристик ПКМ и методов их получения разработана технология, обеспечивающая направленное регулирование и улучшение эксплуатационных характеристики ПКМ с помощью технологических приемов.

7. Предложены конструкции и технологии устройств микромеханики на основе ПКМ - микроструктурной системы терморегуляции поверхности для малого космического аппарата и устройства управления поверхностью для перемещения миниатюрной антенны или зеркала, способных работать в жестких условиях эксплуатации (диапазон температур от 77 К до 443 К, атомарный кислород и т. д).

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Корпухин, Андрей Сергеевич, 2012 год

1. Изделия микросистемной техники - основные понятия и термины // Вернер В.Д., Коломенская Н.Г., Лучинин В.В., Телец В.А. и др. // Нано- и микросистемная техника. 2007. №12.

2. Thorbjorn Ebefors, Polyimide V-groove joints for three dimensional silicon transducers//Thesis for the degree of Doctor of Philosophy at the Royal Institute of Technology. Stockholm. 2000.

3. T.Ebefors, E.Kalvesten, G.Stemme. Dynamic Actuation of Polyimide V-grooves Joints by Electrical Heating. Sensors and Actuators. 1998. V. 67. P. 199-204.

4. Gardner J., Varadan V., Awadelkarim O. Microsensors, MEMS and Smart Devices. John, LTD. Chichester. 2001. 503 p.

5. Springer Handbook of Nanotechnology. Bharat Bhushan (Ed). 2nd Edition. Springer. Berlin. 2007. 1916 p.

6. Prof. Dr.-Ing. Kasper, Microsystem Engineering, Chapter 13: Sensors

7. В. Варадан, К. Виной, К. Джозе. ВЧ МЭМС и их применение, Москва: Техносфера, 2004, 528 с.59.

8. И.В. Савельев. Курс общей физики: Учеб. Пособие. В 3-х т. Т.1. Механика. Молекулярная физика. 3-е изд., испр. - М.:Наука, Гл. ред. физ.-мат. лит., 1986, 432 с.

9. Д. Бэнкс, Chang Liua и Y. Bar-Cohenb www.mems.ru.

10. I. Shimoyama, О. Капо, and Н. Miura, "3D Micro-structures Folded by Lorentz Force," 1998 IEEE 11th International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS'98), Heidelberg, Germany, January 25-29, 1998, pp. 24-28.

11. M. Allen, M. Scheidl, and R. L. Smith, "Design and fabrication of movable silicon plates suspended by flexible supports," Proc. of IEEE 2nd Int. Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS'89), Salt Lake City, USA, 1989, pp. 76-81.

12. M. Allen, M. Scheidl, R. Smith, and A. Nikolich, "Movable Micromachined Silicon Plates with Integrated position Sensing," Sensors and Actuators A, vol. 21-23,pp. 211-214, 1990.

13. A.H. Губкин. Физика диэлектриков: Учебное пособие для ВУЗов. М.: "Высшая школа", 1971, С. 272.

14. Janocha, Hartmut (Ilrsg.): Aktoren: Grundlagen und Anwendungen. Springer, Berlin, Heidelberg, New York (1992).

15. N. C. Tien, "Silicon Micromachined Thermal Sensors and Actuators," Microscale Thermophysical Engineering, vol. 1, p. 289, 1997.

16. M. Elwenspoek, L. Smith, and B. Hok, "Active joints for microrobot limbs," IOP J. Micromech. & Microeng., vol. 2, pp. 221-223, 1992.

17. N. Takeshima and H. Fujita, "Polyimide Bimorph Actuators for a Ciliary Motion System," Proc. of IASME DSC-Vol. 32, Micromechanical Sensors, Actuators, and Systems, 1991, pp. 203-209.

18. M. Ataka, A. Omodaka, N. Takeshima, and H. Fujita, " Fabrication and operation of polyimide bimorph actuators for a ciliary motion system," IEEE Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 2, pp. 146-150, 1993.

19. G. Lin, C.-J. Kim, S. Konishi, and H. Fujita, "Design, Fabrication, and Testing of a C-Shape Actuator," Tech. Digest Transducers'95 and Eurosensors IX, Stockholm, Sweden, 1995, pp. 416-419.

20. J. Suh, S. Glader, R. Darling, C. Storment, and G. Kovacs, "Organic thermal and electrostatic ciliary microactuator array for object manipulation," Sensors and Actuators A, vol. 58, pp. 51-60, 1997.

21. H. Matoba, T. Ishikawa, C.-J. Kim, and R. Muller, "A Bistable Snapping Microactuator," The 7th IEEE International Micro Electro Mechanical Systems Workshop (MEMS'94), Oiso, Japan, January 25-28, 1994, pp. 45-50.

22. Y.-J. Yang and C.-J. Kim, "Testing and characterization of a bistablesnapping microactuator based on thermo-mechanical analysis," Tech. Digest Transducers'95 and Eurosensors IX, Stockholm, Sweden, 1995, pp. 337-340.

23. Trinh Chu Due, Gih-Keong Lau, Polymeri. Thermal microactuator with embedded silicon skeleton: part II—fabrication, characterization, and application for 2-DOF microgripper. Microelectromechanical systems/Vol. 17, No. 4, № 8, 2008.C. 823831.

24. W. Riethmiiller and W. Benecke, "Thermally Excited Silicon Microactuators," IEEE Trans. Electron Devices, pp. 758-763, 1988.

25. A.A. Жуков, A.A. Захаров, С.П. Тимошенков. Биморфный балочный актюатор с V-образными полиамидными канавками. Нано и микросистемная техника. № 7, 2007 г., с. 60-64.

26. Т. Ebefors, Е. Kalvesten, G. Stemme. Dynamic Actuation of Polyimide V-grooves Joints by Electrical Heating. Sensors and Actuators. 1998. V. 67. P. 199-204.

27. В.В. Лучинин, Ю.М. Таиров, А.А. Васильев Особенности материаловедческого и технологического базиса микросистем. Микросистемная техника, 1999.№ l.c.7-11.

28. А. Васильев, В. Лучинин, П. Мальцев. Микросистемная техника. Материалы, технологии, элементная база. Электронные компоненты, 2000, №4.

29. F. Carlsson, M. Thunblom, P. Johansson, A. Bakchinov, L. Lofdahl, T. Ebefors, and G. Stemme, "Using Silicon based Hot-Wires for Turbulence Measurements," Experiments in Fluid, 1999 (submitted).

30. T. Ebefors, J. Mattsson, E. Kalvesten, and G. Stemme, "A Micro Motion System based on Polyimide Joint Actuators," The 12th European Conference on Sol id-State Transducers (EUROSENSORS XII), Southampton, England, September 13-16, 1998, pp. 391-394.

31. T. Ebefors, J. Mattsson, E. Kalvesten, and G. Stemme, "A walking Silicon Micro-robot," The 10th International Conference on Solid-State Sensors and

32. Actuators (TRANSDUCERS'99), Sendai, Japan, 1999, pp. 1202-1205.

33. Madou, Marc: Fundamentals of Microfabrication. CRC Press, Boca Raton1997).

34. M. Trimmer, William S.: Microrobots and Micromechanical Systems. Sensors and Acuators, 19 (1989) p. 267-287.

35. R.S. Fearing, "Powering 3 Dimensional Microrobots: Power Density Limitations", IEEE Int. Conf. Robotics and Automation, 1998, tutorial on "Micro Mectronics and Micro Robotics".

36. P. Dario, R. Valleggi, M. C. Carrozza, M. C. Montesi, and M. Cocco, "Review: Microactuators for microrobots: a critical survey," Journal of Micromechanics and Microengineering, vol. 2, pp. 141-157, 1992.

37. W. Trimmer and R. Jebens, "Actuators for Micro Robots," 1989 IEEE 2nd International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS'89), 1989, pp. 547-1552.

38. Shimoyama, "Scaling in Microrobots," IEEE 95, 1995, pp. 208-211.

39. G. Thornell, "Lilliputian Reflections," Micro Structure Workshop (MSW'98), Uppsala, Sweden, March 24-25, 1998, pp. 24.1-24.6.

40. T. Ebefors, J. Mattsson, E. Kalvesten, G. Stemme, "A Robust Micro Conveyer Realized by Arrayed Polyimide Joint Actuators," IOP- Journal of Micromechanics and Microengineering, to appear, Sept. 2000, available at http://www.iop.org.

41. C-J Kim, A. Pisano, and R Muller, "Silicon-processed overhanging microgripper,"IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 1, pp. 3136, 1992.

42. E. Smela, M. Kallenbach, and J. Holdenried., "Electrochemically driven polypyrrole bilayers for moving and positioning bulk micromachined silicon," Journal of Microelectomechanical Systems, vol. 8, pp. 373-383, 1999.

43. T. Akiyama and H. Fujita, "A Quantiative Analysis of Scratch Drive

44. Actuator Using Buckling Motion," Proc. of IEEE 8th Int. Workshop on Micro Electro Mechanical System (MEMS'95), Amsterdam, the Netherlands, 1995, pp. 310315.

45. M. Bexell and S. Johansson, "Fabrication and evaluation of a piezoelectric miniature motor," Sensors and Actuators A, vol. 75, pp. 8-16, 1999.

46. C. Liu, T. Tsao, Y.-C. Tai, and C.-H. Ho, "Surface Micromachined Magnetic Actuators," The 7th IEEE International Micro Electro Mechanical Systems Workshop (MEMS'94), Oiso, Japan, January 25-28, 1994, pp. 57-62.

47. A. Teshigahara, M. Watanable, N. Kawahara, Y. Ohtsuka, and T. Hattori, "Performance of a 7-mm Microfabricated Car," IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 4, pp. 76-80, 1995.

48. H. L. Offereins, H. Sandmaier, К. Marusczyk, К. Kühl, and A. Plettner, "Compensating Corner Under-cutting of (100) Silicon in KOH," Sensors and Materials, vol.3, pp. 127-144, 1992.

49. XTP-3 HTR3 Series, OCG Microelectronic Materials, Inc., Photosensitive Polyimides, Unpublished report, OCG Microelectronics Materials, Inc., Santa Clara, CA, undated.

50. Merck, "Merck application booklet for HTR-3 polyimides Product description of the Selectilux HTR Program,", 1989.

51. Wenzel R.N. Resistance of solid surfaces to wetting by water // Industrial and Engineering Chemistry. 1936. V. 28. № 8. P. 988 994.

52. Wenzel R.N. Surface roughness and contact angle // The Journal of Physical Chemistry. 1949. V. 53. № 9. P. 1466 1467.

53. Cassie A.B.D., Baxter S. Wettability of porous surfases // Transactions of the Faraday Society. 1944. V. 40. P. 546 -551.

54. Cassie A.B.D. Contact angles // Discussions of the Faraday Society. 1948. V. 3.P. 11-15.

55. C.C. Горелик, М.Я. Дашевский. Материаловедение полупроводников и диэлектриков. Учебник для вузов. ММИСИС. 2003 г. 480 с. С. 451.

56. Способы обработки поверхности пластин перед нанесением полиимида. RU 2359357. Заявка: 2008102631/28, 22.01.2008.

57. Polyimides: Fundamental and application. Edited by M.Grosh, K.Mittal, Marcel Deker Inc., New York, Basel, Hong Kong, 1996, 891 p.

58. В.В. Соловьев, К.В. Гоголинский, С.С. Усеинов, H.A. Львова, A.C. Усеинов, В.Ф. Кулибаба. Особенности применения методананоиндентирования для измерения твердости на наномасштабе. Нанотехника. Инженерный журнал, №1 (13), 2008. c.l 11-115.

59. Д.В. Козлов, И.П. Смирнов, A.A. Жуков, В.А. Шахнов. Экспериментальное исследование силовых характеристик рабочего элемента тепловых микроактюаторов. Журнал «Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Серия Приборостроение. № 2. 2011.

60. П.Г. Бабаевский, A.A. Жуков, A.C. Корпухин, Г.М. Резниченко. Деформационно-прочностные свойства модифицированных полиимид-ремниевых упруго-шарнирных микроструктур. Нано- и микросистемная техника. Изд-во «Машиностроение». № 7. 2010, с. 15-18.

61. Бабаевский П.Г., Кулик С.Г. Трещиностойкость отвержденных полимерных композиций. М.: «Химия», 1991, 334 с.

62. Jentung Ku, Laura Ottenstein, Donya Douglas, Michael Pauken, Gajanana Birur. «Miniature Loop Heat Pipe with Multiple Evaporators for Thermal Control of Small Spacecraft» Интернет-ресурс. 2005.

63. Osiander, R., Firebaugh S.L., Champion, J.L., Farrar, D., and Garrison Damn, M.A., "Micromechanical Devices for Satellite Thermal Control," IEEE Sensors Journal, 4(4), 525-531 (2004).

64. Swanson T.S., and Birur G.C., "NASA Thermal Control Technologies for Robotic Spacecraft" .Applied Thermal Engineering,, 1055-1065 (2003).

65. Edward D. Flinn, «Microscopic radiators fly on satellites "skin"». Journal AEROSPACE AMERICA, № 8, 2006, 23-24.

66. Патент US № 6538796 от 25.03.2003. «MEMS device for spacecraft thermal control applications».

67. A.C. Корпухин, A.A. Жуков, И.П. Смирнов, Д.В. Козлов, П.Г. Бабаевский. Патент на изобретение № 2448896 от 25.03.2010 «Тепловой микромеханический актюатор и способ его изготовления»

68. А.С. Корпухин, А.С. Селиванов, А.А. Жуков, А.С. Дмитриев, Ю.М.

69. Урличич. Патент на изобретение № 2465181 от 27.10.2012 г. «Микроструктурная система терморегулирования КА».

70. A.C. Корпухин, A.A. Жуков, И.П. Смирнов, Д.В. Козлов. Патент на изобретение № 2456720 от 11.03.2011г. «Микросистемное устройство управления поверхностью для крепления малогабаритной антенны»