Исследование и разработка процессов очистки сточных вод и отработанных технологических растворов от соединений мышьяка, галлия, индия и сурьмы с применением отработанных растворов травления меди тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.16.03, кандидат технических наук Мешалкин, Александр Васильевич

• Мешалкин, Александр Васильевич
• кандидат технических наук
• 2000

Оглавление диссертации кандидат технических наук Мешалкин, Александр Васильевич

ВВЕДЕНИЕ.

1. АНАЛИТИЧЕСКИЙ ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ ПО ПРОЦЕССАМ ОЧИСТКИ СТОЧНЫХ ВОД И ОТРАБОТАННЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ РАСТВОРОВ ОТ СОЕДИНЕНИЙ МЫШЬЯКА, ГАЛЛИЯ, ИНДИЯ И СУРЬМЫ.

1.1. Очистка воды коагулянтами.

1.2. Методы регенерации растворов хлорида железа (III)

1.2.1. Электрохимические методы.

1.2.2. Химические методы.

1.2.2.1. Извлечение меди цементацией.

1.2.2.2. Химическое окисление железа (II).

1.3. Условия соосаждения As, Ga, In, Sb и тяжелых металлов с оксигидратом железа (III).

1.4. Жидкостное химическое травление полупроводников

А1 J ' Bv и составы отработанных травителей.

1.5. Методы выделения соединений мышьяка и галлия из концентрированных растворов.

1.6. Электрохимические методы очистки сточных вод.

1.6.1. Электрофлотация.

1.6.2. Электрокоагуляция.

1.6.3. Гальванокоагуляция.

1.7. Ферритная очистка сточных вод.

2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ.

2.1. Характеристика исходных материалов.

2.2. Применяемые лабораторные установки.

2.3. Аналитический контроль исследуемых процессов.

3. ОБЕЗВРЕЖИВАНИЕ МЕДЬСОДЕРЖАЩИХ РАСТВОРОВ ХЛОРИДОВ ЖЕЛЕЗА.

3.1. Цементация.

3.2. Окисление.• • • •

3.2.1. Хлорирование.

3.2.2. Окисление пероксидом водорода.

3.3. Технологическая схема.81.

4. ОЧИСТКА ПРОИЗВОДСТВЕННЫХ СТОЧНЫХ ВОД ОТ СОЕДИНЕНИЙ МЫШЬЯКА, ГАЛЛИЯ, ИНДИЯ И СУРЬМЫ.

4.1. Седиментация.

4.2. Электрофлотация.

4.3. Технологическая схема.

4.4. Утилизация осадка.

5. ОБЕЗВРЕЖИВАНИЕ ОТРАБОТАНННЫХ ТРАВИТЕЛЕЙ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ.

5.1. Образование галлийсодержащих осадков при нейтрализации травителей.

5.2. Травители на основе Шз :НгОг :НгО.

5.3. Травители на основе Щ БОд :НгОг :НгО.

5.4. Технологические схемы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование и разработка процессов очистки сточных вод и отработанных технологических растворов от соединений мышьяка, галлия, индия и сурьмы с применением отработанных растворов травления меди»

Основными веществами-загрязнителями сточных вод производства полупроводников А111являются соединения мышьяка, галлия, а также сурьмы и индия. Предельно-допустимые концентрации мышьяка, сурьмы и индия в воде составляют 0,05 мг/л, галлия - 0,1 мг/л. Типовые технологические схемы очистки сточных вод полупроводникового производства обычно предусматривают выделение из них соединений мышьяка и не учитывают сброс соединений галлия, индия и сурьмы, по токсичности соизмеримых с последним. Образующиеся в полупроводниковом производстве отработанные технологические растворы, содержащие также соединения мышьяка и галлия в концентрациях до нескольких десятков г/л, обезвреживаются по технологии очистки воды. Чаще всего используется известково-фосфатный вариант реагентного метода , приводящий к образованию чрезмерно объемного осадка, сильной засолености обработанных сточных вод, значительному расходу реагентов, обусловливая актуальность разработки более эффективных техпроцессов очистки , устраняющих вышеперечисленные недостатки. В связи с отсутствием в настоящее время на предприятиях достаточного количества финансовых средств, к разрабатываемым техпроцессам предъявляется жесткое требование минимизации капитальных и эксплуатационных затрат при их реализации, например, за счет возможности использования имеющегося оборудования реагентной очистки и утилизации отходов производства.

Кроме жидких отходов, содержащих соединения мышьяка, галлия, а также индия и сурьмы, на предприятиях по производству полупроводников зачастую накапливаются отработанные медьсодержащие растворы хлорного железа (токсичные отходы 1 класса опасности), образующиеся в процессе изготовления печатных плат, выводных рамок, сетчатых трафаретов и т.п., подлежащих регенерации или обезвреживанию. Общим недостатком всех методов регенерации растворов хлорного железа является сопутствие им токсичного хлора (ПДКврз = 1 мг/м3), который или используется в качестве окислителя, или образуется в процессе электрохимического окисления. Наличие хлора при реализации процессов регенерации растворов хлорида железа (III) и ряд других недостатков этих методов делает актуальной разработку простого, доступного, безопасного и эффективного способа их утилизации, причем в границах того же полупроводникового производства.

Помимо отработанных медьсодержащих растворов хлорного железа на промышленных предприятиях зачастую образуются другие железосодержащие растворы (отработанные электролиты железнения, травильные растворы и др) , проблема утилизации которых может быть также решена путем реализации предлагаемых технических решений в процессах очистки сточных вод от ионов тяжелых металлов.

Целью работы было изучение условий и разработка на базе полученных данных технологических схем обезвреживания от соединений мышьяка, галлия, индия и сурьмы сточных вод и отработанных пероксидаммиачных и сернокислотных травителей арсенида галлия с использованием (утилизацией) отработанных технологических железосодержащих растворов.

В результате выполнения работы найдено комплексное решение экологических проблем обезвреживания сточных вод, отработанных травителей арсенида галлия и отработанных железосодержащих технологических растворов. Основные научные результаты работы следующие:

- определены продукты реакций травления арсенида галлия в кислотных и щелочных травителях, облегчающие разработку техпроцессов их обезвреживания;

- изучены условия одновременного осаждения соединений мышьяка, галлия, индия и сурьмы на коллекторе - осадке оксигидрата железа in);

- разработан техпроцесс одновременной очистки сточных вод от соединений мышьяка и галлия, а также индия и сурьмы, основанный на их со-осаждении с осадком оксигидрата железа (III), обеспечивающий глубину очистки на уровне остаточной концентрации по каждому элементу, не превышающей 0,05 мг/л, включающий утилизацию железосодержащих растворов;

- разработан техпроцесс очистки щелочных травителей арсенида галлия с глубиной очистки по каждому элементу не менее 0,05 мг/л, включающий утилизацию железосодержащих растворов;

- разработан техпроцесс очистки кислотных травителей арсенида галлия с глубиной очистки по каждому элементу, не менее 0,05 мг/л, включающий утилизацию железосодержащих растворов.

Практическая значимость работы заключается в том, что ее внедрение обеспечивает:

- возможность использования имеющегося на предприятиях оборудования реагентной очистки (метод известкования) сточных вод с с одновременным снижением нагрузки на эксплуатируемые насосы, вакуум-фильтры, сушильное оборудование;

- небольшой расход реагентов;

- повышение качества очищенной воды за счет ее одновременной очистки не только от мышьяка, но и от галлия, индия, сурьмы, а также тяжелых металлов и органических веществ коллоидной степени дисперсности; обеспечения нормируемого диапазона pH; снижения солесодержания;

- возможность резкого уменьшения объемов и массы образующихся шламов;

- возможность утилизации отработанных железосодержащих технологических растворов и электролитов в процессах очистки промышленных сточных вод; 4

- 8

- значительное снижение платежей предприятия за хранение осадков и загрязнение сточных вод.

На действующем производстве ОАО НИИМЭТ (г.Калуга) внедрены, основанные на разработанном методе техпроцессы обезвреживания щелочных и кислотных травителей арсенида галлия и очистки сточных вод от соединений мышьяка и галлия.

Заключение диссертации по теме «Металлургия цветных и редких металлов», Мешалкин, Александр Васильевич

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Разработанные технологические схемы очистки мышьяксодержащих жидких сред внедрены на действующем производстве ОАО "Научно-исследовательский институт материалов электронной техники" (г.Калуга), обеспечивая глубину очистки по мышьяку и галлию на уровне остаточных концентраций в несколько сотых долей мг/л при производительности оборудования не менее 12 м3 СВ/сутки. Для реализации процессов очистки, используется стандартное оборудование периодического действия линии нейтрализации, подвергнутое незначительным переделкам и дополненное сифоном, блоком фильтрации и блоком сушки. Расходы реагентов и объемы образующихся осадков при реализации разработанных техпроцессов очистки в сопоставлении с ранее используемыми представлены в табл.15.

Итоги выполненной работы могут быть сформулированы следующими выводами :

1. Изучен процесс цементации на стальной стружке отработанных медьсодержащих растворов хлорного железа в отсутствии интенсивного перемешивания. Установлено, что процесс протекает с повышением температуры раствора до 30-40 °С и в первые моменты времени сопровождается резким повышением концентрации Си+, которая затем медленно спадает; параллельно протекает процесс неуклонного снижения до нуля концентрации Ре3+ , соответствующего повышения концентрации Ре2+ и значения рН (до 2,5); изменение температуры раствора происходит синхронно с изменением концентрации Си+. Для достижения остаточной концентрации меди в растворе на уровне 10 мг/л при интенсивном непрерывном перемешивании необходимо несколько часов, при слабом периодическом - несколько суток .

2. Разработан не требующий сложного оборудования техпроцесс обезвреживания отработанных медьсодержащих растворов хлоридов железа и

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Мешалкин, Александр Васильевич, 2000 год

1. Крешков А.П. Основы аналитической химии. т.1. М.: Химия,- 1976. -405 с.

2. Алексеев В.Н. Курс качественного химического полумикроанализа.- М.: Химия, 1973. - 525 с.

3. Алексеев В.Н. Количественный анализ. М.: Госхимиздат,- 1963. 562 с.

4. Макаров Л.Л. Курс прикладной радиохимии. Л.: Изд-во ЛГУ,- 1966. 264 с.

5. Радиоактивные индикаторы в химии. Основы метода. М. : Высшая школа, 1975. - 252 с.

6. Золотов Ю.А., Кузьмин Н.М. Концентрирование микроэлементов.- М.: Химия, 1982. - 286 с.

7. Руднев H.A., Малафеева Г.И., Тузова A.M. и др. Соосаждение микропримесей с осадками гидроксидов металлов. // Вторая всесоюзная конференция по методам концентрирования в аналитической химии. Тезисы докладов. М.: Наука, - 1977. - 282 с.

8. Андреев А.Н., Андреев П.П. Интенсификация процесса электрокоагуляции мышьяка в сточных водах // Цв. металлургия, 1984, - N 8, -с.49 - 52.

9. Серова В.А., Коган Б.И. Способы очистки сточных вод и технологических растворов от мышьяка. М.: Цветметинформация, - 1977. - 52 с.

10. Плотников В.И., Усатова Л.П. Соосаждение малых количеств мышьяка с гидроокисями металлов // Ж. аналит. химии, 1964, - т.19, -в.10, - с.1183 - 1187.

11. Запольский А.К., Баран A.A. Коагулянты и флокулянты в процессах очистки воды. Л.: Химия, - 1987. - 205 с.

12. Бабенков Е.Д. Очистка воды коагулянтами. М.: Наука, - 1977.

13. Громогласов A.A., Копылов A.C., Пильщиков А.П. Водоподготов-ка: процессы и аппараты. М.: Энергоатомиздат, - 1990. - 402 с.

14. Стерман Л.С., Покровский В.Н. Физические и химические методы обработки воды на ТЭС. М.: Энергоатомиздат, - 1991. - 328 с.

15. Ткачев К.В., Запольский А.К., Касиль Ю.К. Технология коагулянтов. Л.: Химия, - 1978, -186 с.

16. Кульский Л.А., Левченко Т.М., Петрова М.В. Химия и микробиология воды. Практикум. Киев: Вища школа, - 1987. - 180 с.

17. Кульский Л.А., Когановский A.M., Гороновский И.Т., Шевченко М.А. Физико-химические основы очистки воды коагуляцией.- Киев: Изд-во АН УССР, 1950. - 108 с.

18. Кургаев Е.Ф. Основы теории и расчета осветлителей. М. : Госстройиздат, - 1962. 160 с.

19. Технология многослойных печатных плат. / Федулова A.A., Устинов Ю.А., Котов Е.П., Шутов В.П./ М.: Радио и связь, - 1990, - 254 с.

20. Федулова A.A., Котов Е.П., Явич Э.Р. Химические процессы в технологии изготовления печатных плат.- М.: Радио и связь, 1981, -186 с.

21. Черняев В.Н. Физико-химические процессы в технологии РЭА.- М.: Высшая школа, 1987. - 376 с.

22. Баранов И.К. Регенерация отработанных травильных растворов в производстве печатных плат. М.: ЦНИИ "Электроника", - 1981, - 38 с.

23. Балагурова Т.А., Кучеренко В.И., Флеров В.Н. Катодное выделение меди из отработанных травильных растворов // Ж. прикл. химии, 1973, т.46, - в.2, - с.324-328.

24. Фиошин М.Я. Успехи в области электросинтеза неорганических соединений. М.: Химия, - 1974. - 276 с.

25. Ларин В.И., Хоботова Э.Б., Горобец С.Д. Регенерация желе-зо-медно-хлоридных растворов // Ж. прикл. химии, 1989, - т.62, -в.9, - с.2074-2077.

26. Наумов Ю.И., Кучеренко В.И., Флеров В.И. О влиянии добавки СиСЪ на анодное окисление ионов железа (II) в концентрированных хло-ридных растворах // Электрохимия, 1984, - т.20, - в,3, - с.372-374.

27. Базалей В.П., Бондаренко А.В., Коломиец В.В. Регенерация травильных растворов на основе хлорного железа // Прогрессивная технология изготовления печатных план. Тезисы докладов. Пенза: 1989. 168 с.

28. Лапицкий М.Л., Бескин А.Л. Снятие осадков цветных.металлов с катодной поверхности // Цв. металлы, 1988, - N 3, - с.23-26.

29. A.c. N 1258876, МКИ С 25 G 1/36. Способ регенерации отработанных травильных растворов хлорного железа. Опубл. 23.09.86, Бюл. N 35.

30. A.c. N 1158624, МКИ С 25 G 7/02, С 23 F 1/36. Способ регенерации железо-медно-хлоридных растворов. Опубл. 30.05.85, Бюл. N 20.

31. A.c. N 1158613, МКИ С 23 G 1/36. Способ регенерации отработанных травильных растворов хлорного железа. Опубл. 30.05.85, Бюл. N 20.

32. A.c. N 548051 , МКИ С 25 F 7/02. Способ регенерации желе-зо-медно-хлоридных травильных растворов. Опубл. 05.10.77, Бюл. N 37.

33. A.c. N 1475950, МКИ С 22 В 15/00. Способ извлечения меди из растворов. Опубл. 30.04.89, Бюл. N 16.

34. Кругликов С.С. Регенерация травильных растворв и рекуперация меди в производстве печатных плат // Гальванотехника и обраб. поверхности. 1993, - т.2, - в.4, - с.69-72.

35. Алкацев И.М. Процессы цементации в цветной металлургии. М. : Металлургия, - 1981, - 102 с.

36. Левин А.И. Электрохимия цветных металлов. М.: Металлургия,- 1982. 256 с.

37. Эррера Ф.С., Карбасов Б.Г., Ротинян А.Л. О кинетике процесса контактного вытеснения металлов // Ж. прикл. химии. 1982, - т.55, -в.5, - с.1176 - 1178.

38. Зареченский В.М. , Ларин В.И. Контактное выделение меди на железе из концентрированных растворов хлоридов меди (II) и железа (III) // Вестник Харьковск. ун та, - 1983, - N 242, - с.28 - 33.

39. Эррера Ф.С., Карбасов Б.Г., Ротинян А.Л. Исследование кинетики контактного вытеснения металлов // Цв. металлы, 1985, - N 6, -с.33-35.

40. Санчес Ф.С., Карбасов Б.Г, Виноградова-Волжская Е.Г. Контактный обмен на вращающемся цилиндре в системе Си2+ Fe //Ж. прикл. химии, - 1987, - т.67, - в.1, - с.193-195.

41. Воронцова В.И., Варенцов В.К. Применение цементации для обезвреживания травильных растворов // Пути и средства повышения экологической безопасности гальванических производств. Тезисы докладов. -М.: 1991. 102 с.

42. Прикладная электрохимия / Под ред. Л.А.Ротиняна. Л.: Химия,- 1974. 468 с.

43. Стендер В.В. Прикладная электрохимия. Харьков: Изд-во ХГУ,- 1961. 540 с.

44. Энциклопедия современной техники. Конструкционные материалы.т.З . М.: СЭ, - 1965, - с.195.

45. A.c. N 591523, МКИ С 25 В 3/02. Устройство для цементации металлов из растворов. Оп. 05.02.75. Бюл. N5.

46. A.c. N 380728, МКИ С 22 В 15/12. Аппарат для непрерывной цементации металлов из растворов. Оп.15.05.73. Бюл. N 21.

47. A.c. N 846593, МКИ С 22 В 15/12. Аппарат для извлечения металлов лов из растворов цементацией. Оп. 15.07.81. Бюл. N 26.

48. A.c. N 607849, МКИ С 22 В 3/02. Вибрационный цементатор. Оп. 25.05.78. Бюл. N 19.

49. Лурье Ю.Ю. Справочник по аналитической химии.- М.: Химия, 1971. - 454 с.

50. Позин М.И. Технология минеральных солей. Л.: Госхимиздат, -1961. - 1008 с.

51. Докучаева А.Н., Лепинь Л.К., Мацеевский Б.П. Влияние солей меди (II) на кинетику окисления кислородом солей железа (II) в водных растворах // Изв. АН Латв. ССР, Сер. химич., 1973, - в. 4,с.434-439.

52. Шамб У., Сеттерфилд Ч., Вентвортс Р. Перекись водорода. М.: ИЛ, - 1958. - 452 с.

53. Новиков А.И. Использование соосаждения с гидроокисью железа для разделения малых количеств элементов // Изв. СО АН СССР, сер. химич. наук, 1965, - N 11, - в.З, - с.64-68.

54. Смирнов Д.Н., Генкин В.Е. Очистка сточных вод в процессах обработки металлов. М.: Металлургия, - 1980. - 196 с.

55. Соломин Г.А., Гончарова Т.О. Адсорбция ионов тяжелых металлов гидроксидами алюминия и железа (III) // Гидрохимические материалы, т.46. -Л.: Гидрометеоиздат, 1968. - с.150.

56. Новиков А.И., Щекотурова Е.К. Разделение и концентрированиецинка, галлия, германия, мышьяка и селена соосаждением с гидроокисью железа // Радиохимия. 1972, - т.14, - в.1, - с.152 - 154.

57. Колесников В.А., Шалыт Е.А. Комплекс технологий электрохимической водоочистки с регенерацией ценных компонентов в гальваническом производстве // Гальванотехника и обраб. поверхности. 1992, - т.1, -в.2, - с.87 - 92.

58. Колесников В.А., Кокарев Г.А., Ильин В.И., Шалыт Е.А. и др. Экологические проблемы гальванического производства // Электроосаждение металлов и сплавов.- М.: МХТИ им. Д.И.Менделеева, 1991.с.188-197.

59. Зайцев В.Н. Использование фосфата кальция как носителя в целях концентрирования и разделения некоторых элементов .// Изв. СО АН СССР, сер. химич. наук. 1965, - N 11, - в.З. - с.69-78.

60. Николаев A.B., Мазурова A.A., Сердюк Т.К., Шемонаева Г. В. Захват солей мышьяковой и мышьяковистой кислот фосфатом кальция // Там же.- 1972, N 12, - в.5. - с.121-127.

61. Николаев A.B., Мазурова A.A. К захвату мышьяковой и мышьяковистой кислот на природных минералах // Там же. 1972, - N 14, - в. 6. - с.58-60.

62. Плотников В.И. О закономерностях соосаждения некоторых анионов с гидроокисями металлов // Изв. СО АН СССР, сер. хим. наук. 1965, N 11, - в.З, - с.46 - 49.

63. Пахолков B.C., Двинин С.Г., Марков В.Ф. Сорбция ионов трех- и пятивалентного мышьяка из водных растворов оксигидратами и неорганическими ионитами на их основе // Ж. прикл. химии. 1980, - т.53, -в.2, - с.280 - 285.

64. Захарова Н.С., Козьмина Л.Д., Лелюк Л.Г., Рубцова В.И., Рыбина Г.К. Исследование возможности применения реагентных способов длягочистки сточных вод от мышьяка и сопутствующих элементов // Электрон, техника, сер.6 Материалы. 1976, - в.9, - с.106 - 113.

65. Извлечение благородных металлов и очистка сточных вод металлургических и гальванических производств. Обзорная информация. М. : ЦНИИЦветмет, - 1989. - 64 с.

66. Ахмадеев В.Я., Савина Н.В. Физико-химические методы очистки сточных вод от мышьяка и извлечение редких и рассеянных металлов из растворов. Обзоры по ЭТ, серия 7, в.14(259). М.: ЦНИИ "Электроника", - 1974. - 36 с.

67. Немодрук A.A. Аналитическая химия сурьмы. М.: Наука, 1978. - 368 с.

68. G.Jander, H.Hofman // Z. anorgan. und allgem.Chem., 1958,-B.296, - 1/6, -S.134.

69. Кабанова JI.M., Пономарев В.Д.// Тр. Алтайского горнометаллург НИИ. Изд-во АН КазССР. Алма-Ата: - т.З, - 1956. - с.136.

70. Suzuki Shigern, Jshida Joshihazu. "Гэсуйдо кекайси" , J.Jap.Sewage Works Assoc., 1975, - V.12, - N134, - p.34-37. Перевод ВЦП N Ц-79033.- М.: 1976. - 14 с.

71. Седова В.А., Вишнякова H.H. Закономерности вымывания мышьяка (V) водой из мышьяксодержащих осадков оксигидроокиси железа (Ш) // Ж. прикл. химии. 1984, - т.57, - в.4. - с.960.

72. Седова В.А., Вишнякова H.H. Закономерности вымывания мышьяка водой из мышьяксодержащих шламов // Цв. металлы. 1983, - N 9,с.27-29.

73. Чалый В.П. Гидроокиси металлов. Киев: Наукова думка, 1972. - 208 с.

74. Чухланцев В.Г. Произведение растворимости ряда арсенатов // Ж. неорган, химии. 1956, - т.1, - в.9. - с.1975-1982.

75. Курносов А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем М.: Высшая школа, - 1986.- 368 с.

76. Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников / Под ред. Б.Д.Луфт. М.: Радио и связь, - 1982. 208 с.

77. Мешалкин A.B., Шипова O.A., Дмитриенко Е.М. Обезвреживание концентрированных мышьяксодержащих технологических растворов производства полупроводников на основе арсенида галлия //Ж. прикл. химии.- 1998, т.71, - в.4, - с.634-638.

78. Мешалкин A.B. Очистка производственных жидких сред от мышьяка, галлия, индия и сурьмы // Экология человека и технологий. МГТУ им. Н.Э.Баумана, Калужский филиал.: Калуга, 1999. -476 с.

79. Хусид Л.Б., Луфт Б.Д., Перевощиков В.А. Исследование процесса химической полировки монокристаллов полупроводниковых соединений д1I Igv. м.: Институт радиотехники и электроники АН СССР, - 1979. -36 с.

80. Алферов Ж.И., Гуревич С.А., Мизеров М.Н., Портной Е.Л. Контролируемое травление эпитаксиальных слоев GaAs и твердых растворов AlxGai-xAs и его применение в интегральной оптике // ЖТФ, 1975,т.45, в.12, - с.2602-2606.

81. Wu X.S., Goldren L.A., Merz Y.L. Selective etching characteristics of HF for AlxGai-xAs/GaAs // Electron. Lett. 1985, - v.21, -N 13, - p.558-559.

82. Notten P.H. The etching of InP in HCl-solutions a chemical mechanism // J.Electrochem.Soc. 1984, - v.131, - N 11,p.2641-2644.

83. Возмилова Л.Н., Ступина H.M. Травление арсенида галлия в смесях азотной кислоты с другими неорганическими кислотами // Арсенидгаллия. Вып.III. Томск: Изд-во Томского университета, - 1970. с.210-216.

84. Мешалкин А.В., Новикова О.В., Дорогова Ю.Г. Полирующее травление InP (100) // Ж. прикл. химии. 1992, - т.65, - в.8,с.1769-1774.

85. Barycka J., Zubel J. Chemical etching of (100) GaAs in sulfuric acid hidrogen peroxide - water system // J. Mater. Sci. - 1987,- v.22, N 4, - p.1299-1304.

86. Mori J., Watanabe N. A new etching system Нз PO4 -H2 O2 -H2 0 for GaAs and its kinetics // J. Electrochem. Soc. 1978, - v.125, - N 9,- p.1510-1517.

87. Молодякова Л.П., Андреев B.M. Универсальный травитель для обработки арсенида галлия // Неорган. материалы. 1977, - т.13, - в. 7,- с.1178-1181.

88. Мешалкин А.В., Потолоков Н.А. Селективное и декорирующее травление химическое травление эпитаксиальных слоев А1хGai хAs/GaAs в растворах солей железа (III) // Ж. прикл. химии. - 1995, - т.68, -в.5, - с.840-842.

89. Андреев В.М., Румянцев Д.В., Салиева O.K. Влияние переходных слоев на спектральное распределение фотоответа AlGaAs гетерофотоэле-ментов // ЖТФ, 1985, - т.55, - в.6, - с.1124-1129.

90. Tijburg R.P., Т.von Dongen. Selective etching of III-V compounds with redox systems // J.Electrochem.Soc. 1976, - v.123, - N 5,-p.7687-691.

91. Гатос H.K., Лавин Н.К. Характеристики поверхностей {111} интерметаллических соединений III V групп // Новое в получении монокристаллов полупроводников. - М.: ИЛ, - 1962. - 368 с.

92. Беликов А.А., Филин Г.В. Травление меди при изготовлении печатных плат // Обмен опытом в радиопром. 1981, - N 1, - с.32-34.

93. Воробьева С.В. О сульфидных комплексах мышьяка (III) в растворах // Ж. неорган, химии. 1977, - т.XXII, - в.10, - с.2725-2728.

94. Махметов М.Ж., Сагадиева А.К., Малышев В.П., Чупраков В.И. Растворимость арсената кальция // Ж. прикл. химии. 1978, - т.51, -в.7, - с.1508-1510.

95. Махметов М.Ж. , Сагадиева А.К., Чупраков В.И. Исследование растворимости арсената железа // Там же. 1981, - т.54, - в . 5,с.1009-1011.

96. Krause Е., Ettel V.A. Solubilities of ferric arsenate compounds // Hydrometallurg. 1989, - v.22, - N3, - p.311-337.

97. Салин А.А., Мокина Е.П., Моисеева О.В. Очистка промывной кислоты от мышьяка с помощью сульфидов // Тезисы НИПИ "Казмеханобр". 1973, сб.11, - с.27-30.

98. Тюленева Л.И., Тюленев Г.В., Чучалин Л.К. О взаимодействии трисульфида мышьяка с водой // Изв. СО АН СССР. Сер. химич. наук. -1973, N14, - в.6, - с.70-73.

99. Robins R.G. The stability of arsenic in gold mine processing wastes // Precious Metals: Mining, Extr. and Process. Proc. Int. Sump. AIME, Annu. Meet., Los Angeles, Calif., Febr. 27-29, 1984. Warrendale, Pa, 1984, - p.241-249.

100. Дымов A.H., Савостин А.П. Аналитическая химия галлия.- М. , Наука, 1968. - 366 с.

101. Тананаев И.В., Чудинова H.H. О фосфатах, содержащих галлий и одновалентный катион // Ж. неорган. химии. 1965, - т.Х, - в.4. -с.780-785.

102. Жуков А.И., Монгайт И.Л., Родзиллер И.Д. Методы очистки производственных сточных вод. Справочное пособие. М.: Стройиздат, 1977. - 208 с.

103. Заботина Л.Н., Гулькин Л.Н., Нуждин А.И. Состояние проблемы обезвреживания кислых мышьяксодержащих сточных вод // Химич. промышленность. 1988, - N 10, - с.37-41.

104. Матов Б.Н. Электрофлотационная очистка сточных вод. Кишинев: Картя Молдовеняска, - 1982. - 170 с.

105. Гольман A.M. Ионная флотация. М.: Недра, - 1982. - 144 с.

106. Воронин H.H., Демидов В.Д., Черкасов А.Е. // Цв. металлы, -1990, N 3, - с.104-107.

107. Воронин H.H., Ворончихина Л.А. Некоторые закономерности флотации гидроксидов тяжелых металлов // Там же, 1991, - N 7,с.61-62.

108. Скрылев Л.Д., Бабинец С.К., Костиков В.В. Флотационная очистка сточных вод гальванических производств // Химия и технология воды. 1990, - т.12, - в.7, - с.168-170.

109. Скрылев Л.Д., Пурич А.Н., Солдаткина Л.М. Очистка сточных вод участка травления печатных плат от ионов тяжелых металлов флотацией // Там же, 1992, - т.14, - в.12, - с.924-929.

110. Eller P.M. Environ carsinogens selec Meth. // Anal. 1986, - v.8, - p.231-238.

111. Гольман A.M., Крайзман M.А. Газогенераторы электрофлотационных аппаратов (анализ конструкций, классификация и перспективы развития) // Совершенствование флотации руд и растворенных веществ. М. :1. Наука, 1976. - с.92-108.

112. Макаренко В.К., Климов А.Ю. Электрофлотационное устройство для извлечения взвешенных веществ из жидкостей // Электрон. обработка матер. 1982, - N 4(106), - с.89-90.

113. Мамаков A.A. Современное состояние и перспективы применения электрической флотации веществ. Ч. 1 и 2. -Кишинев: Штиинца, 1975. 206 с.

114. A.c. N 402392. МКИ С 22 В. Способ электрофлотации полезных ископаемых. Бюл. изобр. и откр., 1973, N 42.

115. A.c. N 655404. МКИ В 22 В. Устройство для извлечения взвешенных веществ из жидкости. Бюл. изобр. и откр., 1979, N 13.

116. A.c. N 655404. МКИ В 22 В. Электрофлотационное устройство для извлечения взвешенных частиц из жидкости, Бюл. изобр. и откр., 1979, N 13.

117. Кульский Л.А., Смирнов О.П., Баландин Е.М. Влияние фазо-во-дисперсного состава водной суспензии на параметры процесса ее электролитической обработки // Химия и технология воды, 1980, - т. 2, - в.4, - с.359-363.

118. Кичигин В.И., Светашова Е.С. Исследование анодных процессов, протекающих при электрохимической очистке технологических стоков мукомольных заводов // Электрон, обработка матер. 1982, - N 4,с.36-40.

119. Кульский Л.А., Гребенюк Б.Д., Савлук О.С. Электрохимия в процессах очистки воды . Киев: Техника, - 1987, - 180 с.

120. Назарян Н.М., Ефимов В.Г. Электрокоагуляторы для очистки промышленных стоков. Харьков: Изд-во ХГУ, - 1983. - 142 с.

121. Шведов А.П., Якушев Л.В. Использование электрофореза, электрокоагуляции и электрофлотации для очистки радиоактивных вод // Радиохимия, 1970, - т.12, - в.6.

122. Кульский A.A., Строкач П.П., Слипченко В.А., Сайгак Е.И. Очистка воды электрокоагуляцией.- Киев: Буд1вельник, 1978. - 111 с.

123. Дмитриев В.Д., Максимов Ю.И. Об использовании электрокоагуляции в водооборотном цикле гальванопокрытий // Электрон. обработка матер. 1981, - N 1, - с.63-67.

124. Ягеленс И.И., Григорович М.М., Даубарас Р.Ю. Очистка стоков гальваноцехов электрохимическим методом. 3. Электрокоагуляционная очистка растворов различного состава // Тр. АН Лит. ССР, В, 1981, -N2/123,- с.39-45.

125. Родионов А.И., Клушин В.Н., Торочешников Н.С. Техника защиты окружающей среды. М.: Химия, - 1989. - 512 с.288 с.

126. Гвоздев В.Д., Ксенофонтов B.C. Очистка производственных сточных вод и утилизация осадков. М.: Химия, - 1988. 408 с.

127. Коваленко Ю.А., Кондрикова Н.М., Коварский Н.Я. Влияние анионного состава раствора на сорбционные свойства электрогенерированного оксигидрата железа // Ж. прикл. химии. 1978, - т.51, - в. 5,с,1001-1004.

128. Слипченко В.А., Вязовская Л.М., Бондаренко H.A. Влияние анионного и катионного состава мицелярных примесей воды на процесс растворения железного анода // Электрон, обработка матер. 1982, N4(106), - с.47-49.

129. Электрокоагуляционный метод очистки сточных вод от ионов тяжелых металлов. /Г.А.Семецкий/. М. : ЦНИИИТЭИ цветной металлургии, -1978. - 24 с.

130. Смирнов Д.Н., Генкин В.Е. Очистка сточных вод в процессах обработки металлов. М.: Металлургия, - 1980. - 196 с.

131. Временные рекомендации по электрохимической очистке промышленных сточных вод от шестивалентного хрома с использованием стальных электродов. М.: Изд-ва ВОДГЕО, - 1977. - 36 с.

132. Андреев А.Н. , Андреев П.П. Интенсификация процесса электрокоагуляции мышьяка в сточных водах // Цв. металлургия. 1984, - N 8, - с.49 - 52.

133. Понайотов В. Электрохимическая технология для очистки сточных вод от мышьяка и других тяжелых металлов // Электрон. обработка матер. 1994, - N 2, - с.41-45.

134. Электрокоагуляционный способ очистки нейтральных сточных вод от мышьяка и взвешенных веществ // Установки и процессы по переработке и утилизации отходов. Вып.4. - М.: ВОДГЕО, - 1989. - с.20-21.

135. Перечень разработок в области очистки промышленных сточных вод и обогащения руд. Алма-Ата: Казмеханобр. - 1991. - 118 с.

136. Соколова Л.П., Кокорина Е.Б., Давыдова Л.Е. Гальванокоагуляционный метод очистки сточных вод с утилизацией образующегося отхода // Пути и средства повышения экологической безопасности гальванических производств. Тезисы докладов. М.: - 1991. -108 с.

137. Феофанов В.А., Жданович Л.П., Дзюбинский Ф.А. Очистка промывных и оборотных вод гальваники // Очистка промышленных сточных вод и приборы экологического контроля воды и воздуха. Тезисы докладов.1. М. : 1992. - 108 с.

138. Гладышева А.И., Спасская Л.Ф. Очистка сточных вод завода "Рязцветмет" методом гальванокоагуляции // Цв. металлы. 1992, - N 2,- с.33-34.

139. Запольский A.K., Образцов B.B. Комплексная переработка сточных вод гальванического производства. Киев: Тэхника, - 1976. - 224 с.

140. Хабаров О.С. Очистка сточных вод в металлургии.- М. : Металлургия, 1976. - 224 с.

141. Родовенчик В.М., Гомеля Н.Д., Терещенко О.Н. Исследование процессов . утилизации железосодержащих растворов ферритным методом // Экотехнологии и ресурсосбережение. 1995, - N 4, - с.61-64.

142. Najari Naohizo , Tanaka Nobuo, Sakai Jukio. Electrolutic ferrite fermation system for heavy metal removal // J. Water. Pol-lut.Contr. Fed., 1980, - v.52, - N 7, - p.1898-1906.

143. A.c. N 975586. МКИ3 С 02 F 1/58.Способ очистки водных растворов от сульфата натрия.

144. Заявка 58-34086. Япония. МКИ С 02 А 1/62. Обработка сточных вод, содержащих ионы тяжелых металлов.

145. Заявка 58-34085. Япония. МКИ С 02 А 1/62. Удаление ионов тяжелых металлов из сточных вод.

146. Заявка 58-43284. Япония. МКИ С 02 А 1/62. Удаление ионов тяжелых металлов из сточных вод.

147. A.c. N 729138. МКИ2 С 02 С 5/02. Способ обработки сернокислотных железосодержащих отработанных растворов.

148. Пат. N 3682592. США. МКИ С 01 В 7/08. Treatment of waste HCl pickle liquor.

149. A.c. N 1065352. МКИ3 С 02 F 1/62. Способ очистки сточных вод от ионов тяжелых металлов.

150. Заявка N 1562589. Великобритания. МКИ3 С 25 D 21/16, 3/30. Electrotinning process and apparaturs.

151. Рабинович В.А., Хавин З.Я. Краткий химический справочник -Л.: Химия, 1991. - 427 с.

152. Шарло Г. Методы аналитической химии. т.2, М.: Химия, 1969. - 1020 с.

153. Подчайнова В.Н., Симонова Л.Н. Аналитическая химия меди. М.: Наука, 1990. 360 с.

154. Немодрук А,А. Аналитическая химия мышьяка. М.: Наука, 1976. - 342 с.

155. Коростелев П.П. Реактивы и растворы в металлургическом ана лизе. М.; Металлургия, - 1977. - 380 с.

156. Киш П.П., Головей М.И. Спектрофотометрическое изучение реак ции галлия с ксиленоловым оранжевым // Ж. аналит. химии. 1965, Т.20, - в.7, - с.794-799.

157. Орловский С.Т., Киш П.П. Фотометрическое определение индия ксиленоловым оранжевым // Укр. химич. журн. 1963, - т.29, - в. 2, с.209-213.

158. Казачкова Л.Н., Рыбина Г.К., Захарова Н.С. Определение гал лия и индия с ксиленоловым оранжевым // Зав. лаб. 1979, - в. 7,с. 17.

159. Х.Ли, К.Невилл. Справочное руководство по эпоксидным смолам М.: Энергия, - 1973. - 416 с.

160. Финкельштейн М.И. Промышленное применение эпоксидных лакок расочных материалов. Л.: Химия, - 1983. - 120 с.

161. Федоров П.И., Мохосеев М.В., Алексеев Ф.П. Химия галлия, ин дия и таллия. Новосибирск: Наука, 1977. - 120 с.

162. Вассерман И.М. Химическое осаждение из растворов. -Л.: Хи ми я, 1980. - 260 с.

163. Цитович И.К. Курс аналитической химии. М.: Высшая школа,- 147 1994. 496 с.

164. Рцхиладзе В.Г. Мышьяк. М.: Металлургия, - 1969. - 120 с.

165. Гороновский И.Т., Назаренко Ю.П., Некряч Е.Ф. Краткий спра вочник по химии. Киев: Наукова думка, 1974. - 800 с.