Инновационные технологии создания миниатюрного пьезоэлектрического балочного вибрационного гироскопа тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.14, кандидат технических наук Образцов, Роман Михайлович

• Образцов, Роман Михайлович
• кандидат технических наук
• 2009

Оглавление диссертации кандидат технических наук Образцов, Роман Михайлович

ВВЕДЕНИЕ.

Глава 1. Обзор научно-технической информации.

1.1. Области применения и основные типы гироскопов.

1.2. Вибрационные гироскопы. Состояние разработок и производства гироскопов. Обоснование выбора типа гироскопа для исследования и разработки.

1.2.1. Микромеханические гироскопы.

1.2.2. Диафрагменный вибрационный гироскоп.

1.2.3. Камертонные вибрационные гироскопы.

1.2.4. Балочные твердотельные вибрационные гироскопы.

1.2.5. Балочные пьезоэлектрические вибрационные гироскопы.

1.2.6. Состояние разработок и производства гироскопов.

1.2.7. Обоснование выбора типа гироскопа для исследования и разработки.

Глава 2. Исследование и разработка миниатюрного пьезоэлектрического балочного биморфного вибрационного гироскопа.

2.1. Выбор пьезоэлектрического материала и разработка конструкции чувствительного элемента вибрационного гироскопа.

2.2. Разработка алгоритма настройки чувствительного элемента вибрационного гироскопа.

2.3. Исследование и разработка упругих подвесов для балочного биморфного чувствительного элемента вибрационного гироскопа.

2.4. Разработка электрической схемы возбуждения чувствительного элемента и обработки информационных сигналов гироскопа.

Глава 3. Разработка технологии изготовления миниатюрного пьезоэлектрического балочного биморфного вибрационного гироскопа.

3.1. Технология изготовления пьезокерамических биморфных балок.

3.2. Технология изготовления и монтажа упругих подвесов на биморфную балку. Сборка чувствительного элемента.

3.3. Балансировка чувствительного элемента балочного вибрационного гироскопа.

3.4. Разработка принципов настройки параметров балочного вибрационного гироскопа.

3.5. Корпусирование и маркировка балочного вибрационного гироскопа.

Глава 4. Исследование и измерение характеристик миниатюрного пьезоэлектрического балочного биморфного вибрационного гироскопа

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Инновационные технологии создания миниатюрного пьезоэлектрического балочного вибрационного гироскопа»

Актуальность работы. В настоящее время существует необходимость решать ряд задач связанных со стабилизацией курса различных объектов, с определением их местоположения в пространстве, а также получения информации об их угловых скоростях, углах поворота и производных величин от этих параметров. Постоянно возрастающие требования к точностным и эксплутациопным характеристикам гироскопических приборов стимулировали исследователей многих стран мира не только к дальнейшим усовершенствованиям классических гироскопов с вращающимся ротором, по и к поискам принципиально новых идей, позволяющих решить проблему создания приборов для обнаружения вращения или угловой скорости объекта в пространстве, а также определения производных величии от этого параметра.

Типы, принципы построения и конструктивные исполнения гироскопов столь же разнообразны, как и области их применения.

Не являются исключением и пьезоэлектрические гироскопы, широко используемые в системах наведения, автомобильной промышленности, авиамоделировании, роботостроении, бытовой технике и игрушках. Гироскопы для таких применений должны обладать малыми массой и габаритами, низкими себестоимостью и энергопотреблением, а также достаточно высокой надёжностью.

Уникальное сочетание электрофизических параметров и упругих характеристик пьезокерамики позволяет прогнозировать создание в ближайшее время пьсзогироскопов с повышенной точностью и чувствительностью. Исключительно большими возможностями для решения этих задач обладает метод конечных элементов, с использованием которого решаются практически все перспективные задачи пьезомеханикп. К таким задачам, в частности, относится и проблема создания миниатюрного биморфпого вибрационного пьезогироскопа. Интерес к этим устройствам обусловлен с одной стороны простотой конструктивно-технологического исполнения и малыми габаритами, с другой стороны возможностью получения наукоемкого изделия с заданными характеристиками и низкой себестоимостью.

Сейчас выпускают вибрационные гироскопы в основном фирмы в США и Японии, такие как «Analog Devices», «Silicon Sensing Systems», «Fujitsu», «Murata», «Nec», «Tokin». В России же в настоящее время производство таких гироскопов отсутствует, тогда как ожидается, что рынок только автомобильных гироскопов достигнет порядка $4 млрд. в 2011 году, что отражает приблизительно 30%-пый совокупный средний темп роста между 2001 и 2011 годами.

Всё это определяет целесообразность и актуальность работы. Таким образом, возникает необходимость решения следующих задач:

1. Разработка математической конечно-элементной модели и выполнение математического моделирования методом конечных элементов конструкции чувствительного элемента пьезоэлектрического вибрационного гироскопа с учётом сокращения времени настройки и приложения внешней угловой скорости;

2. Развитие инновационных технологий производства пьезоэлектрических вибрационных гироскопов па основе анализа результатов моделирования чувствительного элемента при необходимости повышения качества изделий и снижения трудозатрат;

3. Разработка методики настройки пьезоэлектрического балочного биморфпого вибрационного гироскопа применительно к его мелкосерийному производству;

4. Разработка физических и технологических принципов построения схемы возбуждения чувствительного элемента и обработки информационных сигналов гироскопа с целыо обеспечения стабильной работы гироскопа в условиях перепада температур минус 40 °С - плюс 85 °С;

5. Разработка конструкторской и технологической документации для мелкосерийного производства пьезоэлектрических балочных вибрационных гироскопов.

Объектом исследования диссертационной работы является миниатюрный пьезоэлектрический балочный вибрационный гироскоп.

Предмет исследования: решение научно-методической задачи по развитию инновационных технологий создания миниатюрного пьезоэлектрического балочного вибрационного гироскопа.

Методы исследования. Для решения основных задач по теме диссертационной работы использовался аппарат программного конечно-элементного моделирования в применении к пьезоэлектрическим структурам; экспериментальные исследования базировались на положениях теории измерения, планирования эксперимента, а также применялись методы автоматизации конструирования и оптимизации изделий пьезотехники. Полученные данные обрабатывались с использованием методов математической статистики.

Достоверность результатов подтверждается высокой степенью корреляции данных, полученных расчетным путем методом конечных элементов, с данными, полученными экспериментально при внедрении результатов работы в производство.

Научная новизна работы заключается в следующем:

1. Разработаны основы ииновационпых технологий изготовления чувствительных элементов пьезоэлектрического балочного биморфного вибрационного гироскопа и методика организации технологической подготовки производства изделия в целом па базе математического конечно-элементного и натурного моделирования;

2. Разработан технологический процесс настройки чувствительного элемента гироскопа, обеспечивающий повышение качества изделий в приборостроительном производстве с 20 % до 95 % годных;

3. Разработана инновационная технология по корректировке параметров сечения биморфной балки на стадии распиловки поляризованной биморфной пластины для снижения трудоемкости изготовления изделия в целом в условиях мелкосерийного и серийного производства;

4. На основе натурного и конечно-элементного моделирования предложен конструктивный вариант подвесов, обеспечивающий повышение чувствительности гироскопа практически в полтора раза с 5 мВ/°/с до 7 мВ/7с и требующий меньшей монтажной площади в два раза (3 мм") по сравнению с известными Z-образпыми подвесами;

5. Разработаны конкретные конечно-элементные модели нескольких вариантов чувствительных элементов пьезоэлектрического балочного биморфного вибрационного гироскопа с возможностью конструктивно-технологического исполнения для поверхностного монтажа, на основе чего выработаны предложения по созданию новых конструктивных исполнений и технологических решений для производства разработанного гироскопа;

6. На основе анализа и результатов натурного моделирования предложена электрическая схема возбуждения чувствительного элемента и обработки информационных сигналов гироскопа в условиях перепада температур минус 40 °С - плюс 85 °С. Создана конструкция интегрального исполнения электрической схемы возбуждения чувствительного элемента и обработки информационных сигналов гироскопа, обеспечивающая снижение трудоемкости сборки электрической схемы в целом, повышения качества и надежности гироскопа.

Практическая значимость диссертационной работы. На основе полученных в процессе работы результатов реализованы следующие технические решения:

- снижены весовые показатели пьезоэлектрического балочного биморфного вибрационного гироскопа более чем в шесть раз, габаритные - в семь раз по сравнению с ранее разработанным в ОАО «НИИ «Элпа» ударопрочным балочным вибрационным гироскопом с использованием пьезокерамики БВГ-3 для специального применения при сохранении его основных функциональных возможностей. Решение этой задачи позволило создать миниатюрный гироскоп, отвечающий всем требованиям технологии монтажа электронных компонентов;

- использование автором инновационного подхода к изготовлению чувствительного элемента гироскопа повысило эффективность работы гироскопа -качество преобразования угловой скорости в электрическое напряжение за счет повышения механической добротности чувствительного элемента;

- повышена чувствительность гироскопа практически в полтора раза по сравнению с известными Z-образными подвесами с 5 мВ/7с до 7 мВ/°/с за счёт применения разработанных упругих подвесов для чувствительного элемента;

- увеличен процент выхода годных изделий с 20 % до 95 % за счет применения разработанного алгоритма настройки чувствительного элемента.

Проведенные в работе натурное моделирование настройки гироскопа и комплекс расчетов позволили получить результаты, на основе которых разработана методика настройки пьезоэлектрического балочного биморфного вибрационного гироскопа применительно к его мелкосерийному производству.

Внедрение результатов работы. Результаты диссертационной работы внедрены:

- в производство ОАО «НИИ «Элпа» при выполнении ряда опытпо-конструкторскпх работ: «Разработка технологии изготовления пьезокерамических биморфных гироскопов, включая методы контроля и аттестации по параметрам», «Разработка интеллектуальных малогабаритного угломерного пьезоэлектрического сенсорного модуля, а также модуля сенсорного акселерометрического (МСА) для автоматизированных систем наведения ориентации и телеметрии», «Разработка малогабаритного пьезоэлектрического гироскопа для малогабаритных иперциальпых навигационных систем»;

- при разработках НКТБ «Пьезоприбор» в рамках опытно-конструкторской работы по созданию вибрационного трубчатого пьезогироскопа.

На защиту выносятся следующие положения:

1. Математические конечно-элементные модели и результаты моделирования методом конечных элементов пьезоэлектрических балочных биморфных чувствительных элементов гироскопа;

2. Инновационные технологии создания миниатюрного пьезоэлектрического балочного вибрационного гироскопа, включающие следующие новые конструктивно-технологические решения:

- подвесы в виде прямоугольных плоских рамок с торсиопами для биморфной балки;

- способы настройки чувствительного элемента и параметров гироскопа;

- электрическая схема возбуждения чувствительного элемента и обработки информационных сигналов гироскопа;

3. Алгоритм настройки чувствительных элементов и методика настройки параметров пьезоэлектрических балочных биморфных вибрационных гироскопов;

4. Результаты исследований влияния технологических дефектов, возникающих при производстве пьезокерамичсских биморфных балок, па свойства чувствительного элемента и гироскопа в целом.

Апробация работы. Основные результаты работы докладывались и обсуждались на:

1. VI международной научно-технической конференции «Инновационные процессы пьезоэлектрического приборостроения и панотехпологий». 22-26 сентября 2008г. г.Апапа;

2. Научно-технических советах и защитах ОКР, проводимых ОАО «НИИ «Элпа».

Публикации. Материалы, отражающие результаты исследований по теме работы, опубликованы в пяти статьях (три из них в журналах, включенных в Перечень ведущих рецензируемых изданий ВАК), в 3-х научно-технических отчетах по опытно-конструкторским работам в ОАО «НИИ «Элпа», двух научных докладах в трудах Международных конференций и в двух патентных заявках на изобретение. Публикации выполнены в соавторстве с Паничем А.Е., Шахворостовым Д.Ю., Гриценко A.JL, Сафроповым А.Я., Климашипым В.М. Без соавторов опубликованы две работы.

Личный вклад автора. Все основные результаты диссертации получены лично автором. Автор непосредственно участвовал в планировании, выборе объектов и проведении диссертационного исследования, а также в ряде ОКР: «Разработка технологии изготовления пьезокерамических биморфных гироскопов, включая методы контроля и аттестации по параметрам», «Разработка малогабаритного пьезоэлектрического гироскопа для малогабаритных инерциальпых навигационных систем», по программе союзного государства «Россия-Белоруссия» - Функциональная СВЧ электроника «Разработка интеллектуальных малогабаритного угломерного пьезоэлектрического сенсорного модуля, а также модуля сенсорного акселерометрического (МСА) для автоматизированных систем наведения ориентации и телеметрии».

В обсуждении и интерпретации получеппых результатов принимали участие: профессор Панич А.Е., Головнин А.В., Шахворостов Д.Ю., МитькоВ.Н. и Крамаров Ю.А.

Структура и объем работы. Диссертационная работа состоит из введения, четырех глав, заключения. Работа содержит 102 рисунка, 3 таблицы, список литературы из 98 наименовании и 6 приложений. Полный объем диссертации составляет 174 страницы.

Заключение диссертации по теме «Технология приборостроения», Образцов, Роман Михайлович

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ ПО РАБОТЕ

В настоящей диссертационной работе выполнен системный анализ различных типов гироскопов, создана классификация вариантов существующих конструктивных решений. Представлен список основных отечественных фирм-разработчиков и изготовителей гироскопической продукции. По результатам анализа сделан вывод о необходимости разработки и производства гироскопа с малой себестоимостью и высоким потребительским спросом.

В ходе выполнения диссертационной работы решена научная задача по развитию инновационных технологий создания миниатюрного биморфиого вибрационного гироскопа. При этом получены следующие основные результаты:

1. Созданы конечно-элементные модели чувствительного элемента с упругими подвесами для пьезоэлектрического балочного биморфиого вибрационного гироскопа с учётом особенностей пьезокерампческого материала. Полученные в результате моделирования зависимости дали возможность оцепить влияние различных технологических факторов па параметры чувствительного элемента, что позволило определить допуски при его изготовлении.

2. На основе анализа результатов МКЭ-моделированпя найдены аппроксимирующие зависимости геометрических параметров сечения биморфной балки и разделительного пропила. Усовершенствована технология производства за счет введения в технологический процесс дополнительных операций корректировки параметров сечения биморфной балки на стадии распиловки биморфной пластины и настройки параметров чувствительного элемента и гироскопа, что позволяет существенно поднять качество производства и повысить процент выхода годных изделий с 20 % до 95 %.

3. Разработан новый тип упругих подвесов обладающий простотой монтажа, обеспечивающий практически в два раза большую чувствительность гироскопа и требующий в два раза меньшей монтажной площади по сравнению с известными типами подвесов. По результатам конечно-элементного и натурного моделирования подана заявка на изобретение «Упругий подвес для пьезоэлектрического балочного биморфиого вибрационного датчика угловой скорости и способ его монтажа».

4. Получен алгоритм балансировки чувствительного элемента путем МКЭ-моделировапия чувствительного элемента гироскопа, а посредством натурного моделирования и проведения экспериментальных исследований создай алгоритм настройки параметров гироскопа. На способ настройки подана заявка на изобретение «Способ балансировки пьезоэлектрического балочного биморфиого чувствительного элемента вибрационного датчика угловой скорости».

5. Разработана электрическая схема возбуждения чувствительного элемента и обработки информационных сигналов, обеспечивающая стабильность параметров гироскопа в интервале температур минус 40 "С - плюс 85 °С и устойчивость к внешним воздействиям вибраций и линейных ускорений. Результаты её работы в составе гироскопа совместно с чувствительным элементом полностью отвечают требованиям к гироскопам низкого класса точности.

6. В настоящее время ведётся разработка недорогого цифрового миниатюрного пьезогироскопа на базе уже созданного в настоящей работе с характеристиками не хуже представленного гироскопа. Этот прибор будет оснащен встроенным датчиком температуры, показания которого в цифровом виде будут доступны пользователю. Также помимо цифрового предусмотрен и аналоговый выход сигнала гироскопа. В дальнейшем планируется усовершенствовать разработанный малогабаритный пьезогироскоп для применения его в технике специального назначения.

7. Запланирована разработка трёхкоординатного балочного вибрационного пьезогироскопа, а также намечена разработка гироскопических приборов на основе представленного в настоящей работе гироскопа, измеряющих угол поворота и угловое ускорение объектов.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Образцов, Роман Михайлович, 2009 год

1. Крылов А.Н., Общая теория гироскопов и некоторых технических их применений. Собр. трудов, т. 8, М. JI., 1950.

2. Меркин Д.Р., Гироскопические системы, М., 1956.

3. РойтепбергЯ.Н., Гироскопы, М., 1966.

4. Граммель Р., Гироскоп, его теория и применения, пер. с нем., т. 1-2, М., 1952.

5. Пельпор Д.С., Гироскопические приборы и автопилоты, М., 1964.

6. Гай Э. Наводящиеся снаряды с инерциальпой навигационной системой на микромеханических датчиках, интегрированной с GPS //Гироскопия и навигация. — 1998. -№3.- С. 72-81.

7. Мартыненко Ю.Г. Тенденции развития современной гироскопии //Соросовский Образовательный Журнал. 1997. № 11. С. 120-127.

8. Булгаков Б.В., Прикладная теория гироскопов, 2 изд., М., 1955.

9. Николаи Е.Л., Теория гироскопов, JI. М., 1948.

10. Ишлинский А.Ю., Механика гироскопических систем, М., 1963.

11. Кудревич Б.И., Теория гироскопических приборов, т. 1-2, Л., 1963-65.

12. Ривкии С.С., Теория гироскопических устройств, ч. 1-2, Л., 1962-64 (библ.).

13. АнцевГ.В. Богословский С.В., Захаревич А.П., Новиков В.В., Сапожников Г.А., Шубарев В.А. Гироскоп на поверхностных акустических волнах. Патентная заявка № 2006110105/28 приоритет от 29.03.2006.

14. Патент: US 6516665. 11.02.2003 ВА «Micro-electro-mechanical gyroscope». Авторы: Varadan, et al.

15. Современное состояние теории и практических разработок микромеханических гироскопов //Гироскопия и навигация. 1998. №3. С.82.

16. Распопов В .Я. Микромеханические приборы. Учебное пособие: Тул. гос. университет. Тула, 2002 г., 392 с.

17. Duwel A. et al. «Experimental Study of thcrmoelastic damping in MEMS gyros»// Sensor and Actuators, 103. 2003, pp.70-75.

18. Петерсен К.Э. Кремний как микромехаиический материал. //ТИИЭР. 1982. Т.70. №5. С. 5-49.

19. Kim J., Clio D., MullerR.S. Why is (111) silicon a better mechanical material for MEMS? //Proceedings of Transducers 2001: 11th International Conference on Solid State Sensors and Actuators, Munich, Germany, June 2001, pp. 662-665.

20. Патент: US 7040163 ВВ. 12.08.2003. «Изолированное планарпое гироскопическое устройство с внутренними средствами для измерения и возбуждения». Авторы: Shcheglov K.V.; Challoner A.D. (California Institute of technology).

21. Патент: US 6584840 BB. 18.10.2001. «Датчик угловой скорости». Авторы: Higuchi Yuji, Oya Nobuyuki, Ito Takashi (Denso Corp; Nippon Soken). JP 2000 2000118323 19.04.2000.

22. Патент: JP 2001 2001099358. 30.03.2001. «Датчик угловой скорости». Авторы: Tsugai Masahiro, Konno Nobuaki, Yoshikawa Eiji, Fujita Hiroyuki (Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha).

23. Патент: JP 2000 2000359835. 27.11.2000. «Датчик угловой скорости». Авторы: Higuchi Yuji, Ito Takashi (Denso Corp; Nippon Sokcn).

24. Патент: JP 2003 2003338507. 29.09.2003. «Устройство для определения угловой скорости». Авторы: Mochida, Yoichi (Murata Manufacturing Co., Ltd.).

25. Патент: JP 2001079496. 14.12.2001. «Гироскоп с вертикальной вибрацией масс». Авторы: Kim, Jon-O, Lee, Sang-Woo (Murata Manufacturing Co., Ltd.).

26. Патент: KR2001 1993 204568. 27.07.1993. «Датчик угловой скорости». Автор: Hasegawa Tomoyasu (Samsung Electronics Co., Ltd.).

27. Патент: JP 1997 314460. 29.10.1997. «Датчик угловой скорости вибрационного типа». Авторы: Fudjiyoshi Motohiro, others:03 (Toyota Central Res&Dev).

28. Патент: JP 1997 140370. 29.05.1997. «Датчик угловой скорости». Авторы: Nagao Masaru, Esashi Masaki (Toyota Motor Corp; Esashi Masaki).

29. Кучерков С.Т. Определение необходимой степени вакуумирования рабочей полости осциллятора микромеханического гироскопа. //Гироскопия и навигация. 2002. № 1.С. 52-56.

30. Hideki Tamura, Yoshiro Tomikawa, Takayuki Kikuchi Vibratory gyro-sensor using a flexural same-form doble-mode diaphragm disk resonator //IEEE Ultrasonics Symposium. — 1998. — стр. 31-34.

31. A. Satoh, Y. Tomikawa, К. Sakurai, К. Ohnishi Piezoelectric vibratory gyrosensor using a trident tuning-fork resonator, //Third Joint Meeting of the Acoustical Society of America and the Acoustical Society of Japan. — 1996. — pp. 293-296.

32. Патент JP 3028999 B2 7098228 A. 28.09.1993. «Вибрационный гироскоп». Автор: Sugitani Nobuyoshi (Toyota Motor).

33. Патент ЕР 1619472 A2. 15.07.2005. «Датчик угловой скорости». Авторы: Tanaka Hiroshi, Yachi Masanori, Ono Masaaki (Fujitsu Media Devices Limited).

34. Патент US 7002284 BB. 11.12.2003. «Гироскоп с топкоплёночпым микромеханическим резонатором для систем навигации». Авторы: Ouchi Satoshi, Nozoe Tochiyuki, Nomura Koji, Tajika Ilirofumi (Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.).

35. Патент JP 3419632 B2 10047970 A. 08.08.1996. «Датчик угловой скорости». Авторы: Yoshida Tomio, others:04 (Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.; Nihon Dempa Kogyo Co).

36. Патент US 6959584 BB. 08.07.2003. «Датчик угловой скорости». Авторы: Nozoe Toshiyuki, Uemura Takeshi, Tamura Masami (Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.).

37. Патент JP 3183339 B2 2000065579 A. 25.08.1988. «Перестраиваемый пьезоэлектрический датчик гироскопа, имеющий форму вилки». Авторы: Inoue Takeshi, Yamamoto Mitsuru (Nec Corp.).

38. Патент JP 1996 196367. 25.07.1996. «Устройство для измерения угловой скорости». Авторы: Sugitani Nobuyoshi, Tsiju Kimihisa, Nonomura Yutaka, Ookuwa Masayuki (Toyota Motor Corp.; Toyota Central Res&Dev).

39. Патент JP 3183339 B2 2000065579 A. 25.08.1998. «Перестраиваемый пьезоэлектрический датчик гироскопа, имеющий форму вилки». Авторы: Inoue Takeshi, Yamamoto Mitsuru (Nec Corp.).

40. Патент: JP 3441932 B2 1 1 108665 A. 30.09.1997. «Пьезоэлектрический вибратор». Автор: Nishimura Mishiaki (Kyocera Corp.).

41. Патент: JP 3736257 B2 2001221638 A. 07.02.2000. «Колебательное устройство и датчик угловой скорости». Авторы: Funasaka Tsukasa, Iwamoto Osamu (Seiko Epson Corp.).

42. Патент: US 6584844 BB. 25.07.2001. «Гироскопическое измерительное устройство с пьезоэлектрическим возбуждением». Автор: Deitia Jose (Sagem Sa) 73504/16 FR 2000 200009959. 28.07.2000.

43. Патент: US 6437490 ВА. 22.03.2000. «Вибрационный гироскоп» Авторы: Yanagisawa Tohru, Yamamoto Izumi, Fujii Naoki (Citizen Watch Co., Ltd.).

44. Патент: RU 96115217/28. 10.02.1998. «Вибрационный датчик угловой скорости». Виноградов А.Н., Голяев Ю.Д., Запотылько Н.Р., Красивский И.Н., Мельников А.В. (Товарищество с ограниченной ответственностью Фирма «Кварк»),

45. Сафронов А.Я., Никифоров В.Г., Шахворостов Д.Ю., Калифатиди А.К., Барыкип В.В. Малогабаритные пьезоэлектрические вибрационные гироскопы широкого применения. «Электропика НТБ». Москва. 2007.

46. Патент: US 005117148 А. 26.05.1992. «Vibrator». Авторы: Takeshi Nakamura, Katsumi Fujimoto, Jiro Inoue, all of Nagaokakyo, Japan (Murata Manufacturing Co., Ltd., Nagaokakyo, Japan).

47. Патент: US 005569969 A. 29.10.1996. «Vibrator and vibratory gyroscope using the same». Авторы: Tohru Kasanami, Takeshi Nakamura, Keiichi Okano, Yoshiko Morishita, all of Nagaokakyo, Japan (Murata Manufacturing Co., Ltd., Kyoto-fu, Japan).

48. Патент: US 0058501 19 A. 15.12.1998. «Vibration gyroscope». Авторы: Kazuhiro Ebara (Toyama), Katsumi Fujimoto (Toyama-ken), Hiroshi Nishiyama (Toyama), all of Japan (Murata Manufacturing Co. Ltd., Japan).

49. Патент: JP 3663525 B2 9304080 A. 14.05.1996. «Пьезоэлектрической вибратор для вибрационного гироскопа». Авторы: Shuda Koichi, Abe Hiroshi (Tokin Corp).

50. Патент: JP 3136545 B2 5045169A. 09.08.1991. «Пьезоэлектрический вибрационный гироскоп». Автор: Abe Hiroshi (Tokin Corp).

51. Патент: JP 3418245 B2 7294263A. 27.04.1994. «Пьезоэлектрический вибрационный гироскоп». Авторы: Takahashi Masahiko, others: 01 (Tokin Corp).

52. Патент: JP 3597277 B2 90149171. 26.06.1995. «Пьезоэлектрический вибрационный гироскоп». Автор: Ono Nagayuki (Tokin Corp).

53. Патент: JP 3530611 B2 8210859. 31.01.1995. «Вибратор для пьезоэлектрического вибрационного гироскопа и способ регулирования резонансной частоты». Авторы: Abe Hiroshi, others:01 (Tokin Corp).

54. Патент: US 005336960 A. 09.08.1994. «Gyroscope using circular rod type piezoelectric vibrator». Авторы: Hiroshi Shimizu, Tetsuo Yoshida, Chikara Mashiko, all of Sendai, Japan Tokia Corporation; Hiroshi Shimizu, both of Miyagi, Japan.

55. J.S. Yang, H.Y. Fang A new ceramic tube piezoelectric gyroscope //Sensors and Actuators. — 26 April 2003. — стр.42-49.

56. Патент: ЕР 1164354 A2. 15.06.2001. Вибратор для вибрационного гироскопа, вибрационный гироскоп с таким вибратором и электронное устройство для вибрационного гироскопа. Авторы: Ishitoko Nobuyuki, Koike Masato (Murata Manufacturing Co. Ltd.).

57. Патент: JP 3627643 В2 2001188011. 17.10.2000. Вибрационный гироскоп. Автор: Fujimoto Katsumi (Murata Manufacturing Co. Ltd.).

58. Патент: JP 3206519 B2 11125526. 21.10.1997. Вибрационный гироскоп. Автор: Ishitoko Nobuyuki (Murata Manufacturing Co. Ltd.).

59. Патент: US 6666090 BB. 25.06.2001. Вибрационный гироскоп и электронное устройство для вибрационного гироскопа. Авторы: Mori Akira, Kumada Akira, Ebara Kazuhiro (Murata Manufacturing Co. Ltd.).

60. Патент: US 6668263 BB. 14.06.2001. Вибратор для гироскопического датчика угловой скорости. Авторы: Ishitoko Nobuyuki, Koike Masato (Murata Manufacturing Co. Ltd.).

61. Патент: WO 2006057128 Al. 24.10.2005. Пьезоэлектрический вибратор и способ его изготовления, вибрационный гироскоп. Авторы: Sugibayashi Hideaki, Okano Keiichi, Fujimoto Katsumi (Murata Manufacturing Co. Ltd.).

62. Патент: JP 3664950 B2 15.06.2000 Датчик угловой скорости Авторы: Fujimoto Katsumi, Okano Keiichi, Murohashi Koichi (Murata Manufacturing Co. Ltd.; Texas Instruments Japan).

63. Патент: US 5635786 A. 03.06.1997. Вибрационный гироскоп. Авторы: Katsumi Fujimoto (Toyama-ken), Takeshi Nakamura (Uji), Kazuhiro Ebara (Toyama), Nobuyuki Ishitoko (Toyama-ken), all of Japan (Murata Manufacturing Co. Ltd.; Kyoto-fu, Japan).

64. Патент: JP 3531295 B2 8338730 A. 13.06.1995. Вибратор и пьезоэлектрическое вибрационное устройство для измерения угловой скорости. Авторы: Sango Yoshitaka, others: 02 (Nippon Kogaku Kk).

65. Патент: US 6590316 BB. 26.12.2001. Вибратор, впбрацпоппый гироскоп и электронное устройство с гироскопом. Авторы: Koike Masato, Fujimoto Katsumi, Ishitoko Nobuyuki (Murata Manufacturing Co. Ltd.).

66. Патент: JP 3439861 B2 8201066. 25.01.1995. Вибрационный гироскоп. Авторы: Onishi Kazumasa, others: 01 (Alps Electric Co. Ltd.; Tomikawa Yoshiro).

67. Патент: JP 3122925 B2 8166242. 12.12.1994. Пьезоэлектрический осциллятор для пьезоэлектрического вибрационного гироскопа. Автор: Abe Iliroshi (Tokin Corp.)

68. Патент: JP 3770425 B2 10239061 A. 24.02.1997. Колебательное устройство для пьезоэлектрического датчика угловой скорости. Автор: Muramatsu Kenichi (Nippon Kogaku Kk).

69. Материалы сайта http://\v\v\v.medicon-miass.ru/2084343348.

70. Материалы сайта http://www.polyus.msk.ru/RU/lgru.html.

71. Материалы сайта http://www.microsystems.ru/files/publ/202.htm.

72. Материалы сайта http://www.rpz.ru/products/.

73. Материалы сайта http://www.rpkb.ru/index.php?pageid=14.

74. Материалы сайта hltp://w\vw.gyro.ru/MicroDathiki.htm.

75. Материалы сайта http://www.ppk.perm.su/baz.asp?ID=3&gID=16&EL=2.

76. Материалы сайта http://www.ppk.perm.su/baz.asp?ID=3&gID=16&EL=9.

77. Материалы сайта http://www.elektropribor.spb.ru/ru/rprod2-l.html.

78. Материалы рекламного проспекта.

79. Материалы сайта http://www.elpapiezo.ru/.

80. Образцов P.M. Малогабаритный вибрационный гироскоп с балочным биморфным чувствительным элементом из пьезоэлектрической керамики. //Нано-и микросистемная техника. 2008. № 10. С. 52-54.

81. АРС International «Пьезоэлектрическая керамика: принципы и применение». / Пер. с англ. С. П. Жукова. Мп. ООО «ФУАинформ», 2003. - 112с. АРС. С. 22-23/

82. Мирошников П.В., Сегалла А.Г., Сафронов А.Я., Никифоров В.Г. Патентная заявка па изобретение №2007133386/03 от 06.09.2007г. «Пьезокерамический материал».

83. ОСТ 11 0444-87 «Материалы пьсзокерамическис».

84. Р. Джонсон «Механические фильтры в электронике». / Пер. с англ. В.П. Малугина, к.т.н. B.C. Самойлова, В.А. Старостина, М.Ю. Червенко под ред. д.т.н. А.Е. Знаменского. Москва «Мир», 1986.

85. Образцов P.M. Разработка и анализ упругих подвесов для чувствительного элемента малогабаритного пьезоэлектрического биморфиого вибрационного гироскопа. // Пано- п микросистемная техника. 2009. № 2. С. 39-43.

86. Кучерков С.Г. Использование интегрирующих свойств вибрационного микромехапического гироскопа с резонансной настройкой для построения датчика угловой скорости компенсационного типа. //Гироскопия и навигация. 2002. №2. С.12-18.

87. Образцов P.M. Малогабаритный вибрационный гироскоп с балочным биморфным чувствительным элементом из пьезоэлектрической керамики. //Нано-и микросистемная техника. 2008. № 10. С. 52-54.

88. Образцов P.M., Гриценко A.JL, Шахворостов Д.Ю. и др. Патентная заявка на изобретение №2008107946 приоритет от 04.03.2008г. Упругий подвес для пьезоэлектрического балочного биморфного вибрационного датчика угловой скорости и способ его монтажа.

89. Патент US 6694813 BB «Vibrating gyroscope and electronic unit using the same». Автор: Koike Masato (Murata Manufacturing Co., Ltd.).

90. Гриднев С.А. Диэлектрики с метастабилыюй электрической поляризацией. //Соросовский образовательный журнал (физика), №5, 1997. Стр. 105-111.

91. Образцов P.M., Гриценко A.JL, Шахворостов Д.Ю. Способ балансировки пьезоэлектрического балочного биморфного чувствительного элемента вибрационного датчика угловой скорости. Патентная заявка на изобретение № 2009106432 приоритет от 26.02.2009г.