Импульсно-периодические лазеры на галогенидах инертных газов (XeF, KrF, XeCl) тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.08, кандидат физико-математических наук Кирюхин, Юрий Борисович

• Кирюхин, Юрий Борисович
• кандидат физико-математических наук
• 1984

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Кирюхин, Юрий Борисович

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА I. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ

§ 1.1. Кинетика образования возбужденных молекул галоге-нидов инертных газов и особенности генерации в электроразрядном эксимерном лазере

§ 1.2. Импульсно-периодичеокие экоимерные лазеры на галогенидах инертных газов

ГЛАВА П. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ УСТАНОВКИ И МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТОВ

§ 2.1. Стенд дня исследования физических характеристик импульсно-периодического эксимерного лазера

§ 2.2. Экспериментальная установка для исследования характеристик скользящего разряда в импульсно-перио . дическом режиме

§ 2.3. Установка по проведению пиролиза 1,2 дихлорэтана при лазерном инициировании реакции

ГЛАВА Ш. РАЗРЯДНЫЕ И ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЛАЗЕРНЫХ . . СИСТЕМ В ИМПУЛЬСНО-ПЕРИОДИЧЕСКОМ РЕЖИМЕ

§ 3.1. Электроразрядная система возбуждения объемного разря . да с распределенным катодом

§ 3.2. Электроразрядные системы с искровой УФ предыони-. . зацией

§ 3.3. Электроразрядная система с плазменным электродом

- 3 - стр,

3.3.1. Исследование скользящего разряда в импульсно-периодическом режиме

3.3.2. Особенности использования скользящего разряда в качестве плазменного электрода в импульсно-периоди-ческом режиме

ГЛАВА 1У. ИССЛЕДОВАНИЯ ФИЗИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ИМПУЛЬСНО ПЕРИОДИЧЕСКОГО ЭКСИМЕРНОГО ЛАЗЕРА

§ 4.1. Зависимость энергетических характеристик ИПЭЛ от профиля скорости и скорости потока газовой смеси

§ 4.2. Возмущения плотности газа, создаваемые акустическими колебаниями в эксимерном лазере

§ 4.3. Экспериментальные результаты по наблюдению однородности разряда и энергетическим характеристикам ИПЭЛ в импульсно-периодическом режиме при измене. нии доли Хе в газовой смеси НС1:Хе:Не

§ 4.4. Анализ основных кинетических процессов разряда, определяющих концентрацию электронов в смеси. , НС1:Хе:Не

§ 4.5. Изменение локального энерговклада при флуктуации , плотности газа в смеси НС1:Хе:Не

§ 4.6. Изменение локального энерговклада для газовой . смеси Ро, Хе, „КЕ ,. Не. .,

§ 4.7. Установление стационарного уровня мощности генерации в ИПЭЛ .

§ 4.8 Снижение мощности излучения ХеС1-лазера в результате изменения состава газовой смеси в процессе работы

§ 4.9. Расходимость излучения ИПЭЛ

ГЛАВА. У. ПРИМЕНЕНИЕ ИМПУЛЬСНО-ПЕРИОДИЧЕСКОГО XeCI ЛАЗЕРА В ХИМИИ ХЛОРОРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ

§ 5.1. Экспериментальные результаты по пиролизу 1,2 ди . хлорэтана с помощью излучения XeCI лазера

§ 5.2. Кинетическое рассмотрение реакции пиролиза

1,2 дихлорэтана

§ 5.3. Обсуждение экспериментальных результатов в рамках предложенной кинетической модели пиролиза 1,2 дихлорэтана

§5.4. Синтез винилхлорида при действии импульсно-пери-одического скользящего разряда

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Импульсно-периодические лазеры на галогенидах инертных газов (XeF, KrF, XeCl)»

Первые сообщения об эксимерных лазерах на г-алогенидах инертных газов относятся к 1975 году / 1,2 /. Интерес, возникший к лазерам на г-алогенидах инертных газов, обусловлен их высокими энергетическими параметрами. Спектр генерации этих лазеров попадает в УФ область и при использовании лазеров на красителях появляется возможность плавной перестройки спектра излучения, В последние годы определился ряд направлений использования этих лазеров: разделение изотопов, лазерная химия, высокая очи -стка вещества и т.д. Этот спектр приложений, как и целый ряд научных задач, требуют создания лазеров, работающих в импульсно-периодическом режиме с частотой несколько сотен герц и средней мощностью десятки ватт. Например, для наработки весовых количеств изотопов вопрос о создании импульсно-периодических эксимерных лазеров (ИПЭД) с энергией генерации в импульсе^! Дж при частоте следования импульсов сотни герц и низкой расходимости излучения имеет принципиальное значение / 3 /.При создании подобного класса лазеров необходимо решать физико-технические проблемы,. связанные, например, с вводом энергии в активный-объём за вре--мена, меньшие времени развития неустойчивости в разряде,- возникающей в результате флуктуации плотности газа в межэлектродном промежутке из-за действия акустических,колебаний; вопросы, связанные с ресурсом, работы, газовой смеси.,.

Исследования, проведенные за-период 1975-1983 гг.♦позволили поднять энергию генерации электроразрядных-эксимерных лазеров с 0,1- до 2 Дж / 4,5,6 / в моноимпульсном режиме. В недавней публикации-/ 7 / достигнута энергия генерации 13,8 Дж при использовании формирующей линии, заряжаемой до~ 190 кВ, которая в последующем коммутировалась многоканальным искровым разрядником на разрядный промежуток. Однако, при использовании тиратронного коммутатора в импульсно-периодических электроразрядных системах приходится снижать зарядные напряжения на накопительной ёмкости до 40 кВ, а, кроме того, тиратрон имеет фронт нарастания тока "5.10"^ А/с , что существенно ниже, чем у разрядника. В силу этого энергия и эффективность лазерных систем в импульсно-пе-риодическом режиме резко уменьшается. Посредством усложнения системы возбуждения разряда, как, например, в / 8 /, удается достигнуть энергии в импульсе0,2 Дж в частотном режиме, но при этом падает надежность системы и усложняется её эксплуатация. В целом ряде работ энергия генерации ШЭД не превышает ^0,1 Дж / 9-12 /.

Создание и исследование объёмного разряда в импульсно-пе-риодическом режиме, обеспечивающего энергию генерации лазера Дж, является основной задачей при создании мощных ШЭД.

При решении этой задачи возникает физическая проблема-, - связанная с уменьшением энергии генерации в.импульсе по мере роста частоты следования импульсов разряда. Это происходит в-результате. возникающих неоднородностей вклада энергии в разряд., являющихся следствием возмущений плотности газа в межэлектродном - . промежутке / 13,15 /. Как показано для. С02-ИШ1» уменьшение энергетических характеристик-происходит в результате действия следующих возмущающих процессов: адиабатического расширения пробки нагретого газа, влияния пограничных слоёв на электродах, ударных волн, акустических колебаний. Эксимерные ИПЛ, имея некоторую общность в устройстве с С02-ШШ, отличаются от последних: составом газовой смеси, режимом ввода энергии в разряд (импульоная мощность, вводимая в единицу объёма ИПЗЛ, на порядок выше, чем в С02-ШШ) • Это приводит к различию .в характере кинетических процессов в плазме разряда эксимерного лазера, В свою очередь, изменится и степень влияния возмущений плотности газа на величину флуктуации локального энерговклада в различные части разряда.

Исследование вопроса о причинах снижения мощности лазерного излучения во времени в результате изменения состава газовой смеси предполагает детальный анализ роли плазмохимических реакций в образовании продуктов в разряде, способных в дальнейшем влиять на выходную лазерную мощность посредством тушения возбужденных эксимерных молекул или поглощения излучения лазера. . Сечения этих процессов могут быть достаточно большими / 16,17 /.

Целью данной работы явилось: экспериментальное и расчетное исследование основных физических процессов и явлений,протекающих в ШЕЯ, определяющих его энергетические параметры, ресурс работы газовой,смеси и электродной системы, расходимость лазерного излучения; получение требуемой энергии генерации в.импульсе Дж, частоты повторения импульсов ~1000 Гц, КЦД ^I%. . Диссертация.состоит из введения, пяти глав, основных выводов и заключения.

Заключение диссертации по теме «Физика плазмы», Кирюхин, Юрий Борисович

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ

1. Проведены экспериментальные исследования разрядных и . энергетических характеристик, систем возбуждения объёмного разряда с искровой УФ. -предыонизацией в газовых смесях инертных газов с галогеносодержащими молекулами, имеадих геометрию, при которой продув газа осуществляется как поперёк, так и вдоль линий тока при использовании частично прозрачных для потока газов электродов. Показано, что частично прозрачные электроды в виде сетки, а также электроды с распределенным сопротивлением имеют малый ресурс работы. В ИГОЛ, коммутируемый тиратроном, найден режим ввода энергии, позволяющий осуществлять вклад в объёмный разрядаюо Дж за времена^100 не в объём^300 см3. Полученный фронт нарастания тока^Ю*2 А/с обеспечивает однородный объёмный разряд в течение всей длительности вклада энергии. Созданная система возбуждения объёмного разряда позволила получить энергию генерации v 1Де с КЦП>1 % при импульсно-периодическом режиме.работы. .

2. Впервые получен скользящий разряд как в инертных газах, так и в смесях с галогеносодержащими молекулами в импульсно-периодическом режиме, имеющий высокую степень однородности

10 кан/см) в широком интервале давлений газа (1-4 атм), частоты следования импульсов разряда, (до 10 кГц в режиме зарядки распределённой ёмкости диэлектрика).

Показано, что завершенный скользящий разряд сохраняет однородность . ('vio кан/см) без продува газовой смеси при удельных энерговкладах 200 * 500 Дж/л на частотах до. / = 500. Гц.

Повышенная устойчивость скользящего разряда в импульснопериодическом режиме в отсутствие продува объясняется высокой однородностью распределения тока в моноимпульсном режиме, достигаемой на стадии зарядки распределённой ёмкости диэлектрика. Эта стадия характеризуется высокими значениями Е/У , при которых преобладает прямая ионизация. Из-за малой I мм) толщины разряда существенна также роль процессов теплопроводности и диффузии возбужденных частиц из разрядной области.

На стадии зарядки распределённой ёмкости диэлектрика обнат-ружена структура свечения скользящего разряда вдоль линий тока.

Создана система возбуждения объёмного разряда, использующая в качестве одного из электродов (катода) скользящий разряд по поверхности диэлектрика, позволяющая заметно повысить устойчивость объёмного разряда в импульсно-периодическом режиме. .

3. Экспериментально показано, что структура свечения разряда в импульсно-периодическом режиме от импульса к импульсу повторяется для ряда выделенных частот следования импульсов. Это, наряду с измерениями плотности газа в канале лазера, указывает, что распределение плотности газа в межэлектродном промежутке к началу очередного импульса сохраняется. Для этих выделенных частот амплитуда возмущений плотности увеличена, что приводит к провалам мощности генерации.

Определено характерное время (число импульсов), за которое лазерная мощность выходит на стационарный уровень при частотах следования импульсов, для которых существенно влияние газодинамических возмущений. Это время и величина стационарного уровня мощности уменьшаются в ростом частоты следования разрядных, импульсов, что связано с увеличением амплитуды звуковых волн.

4. Впервые экспериментально показано, что граничная частота следования импульсов разряда, т.е. частота, при которой энергия в импульсе начинает уменьшаться, определяется концентрацией Хе в смеси. Снижение энергии цроисходит в результате изменения локального энерговклада в различных частях разрядного объёма, вызываемого флуктуациями плотности газа в межэлектродном промежутке,. возникающими при импульсно-периодиче ском вкладе энергии в разряд. С уменьшением концентрации Хе с 4 % до 0,2 % граничная частота возрастает в 2,5 - 3,5 раза, а максимальный уровень мощности лазерного излучения достигается выше, чем при использовании газовой смеси, характерной для моноимпульсного режима. Увеличение граничной частоты следования и мощности лазерного излучения в этом случае возможно без использования устройств по гашению ударных волн, возникающих в газодинамическом канале ИПЭЛ.

На основании проведённого анализа кинетических процессов в плазме разряда XeCI -лазера рассчитано и показано поведение во времени параметра,связывающего изменения локального.-энерговклада с флуктуацией плотности газа для смеси.HCl : Хе : Не = I : 20: :. 500. Его величина оказалась равной л/ 40. Показано, что максимальный вклад в величину параметра связи на участке роста концентрации электронов при концентрации электронов Лей 2 . Ю^см"3 даёт прямая ионизация,атомов Хе, а П-е> 2 . 1014см"~3-процессы ступенчатой ионизации. Своего наибольшего значения, V/ достигает в области максимума импульса тока.и генерации.

Параметр связи немонотонным образом зависит от доли Хе в v смеси. Уменьшение Хе с 4 % до 2 % приводит сначала к росту параметра связи на^20 %, а,при дальнейшем снижении Хе - до 0,2 %. он уменьшается в три раза. Это объясняется существенным снижением частоты прямой и ступенчатой ионизации, причем, при малых концентрациях Хе процессы пржмой ионизации превосходят ступенчатые.

5. Установлено, что в газодинамическом контуре XeCI ИПЭЛ при импульсно-периодическом режиме работы происходит накопление . молекулярного С12 с концентрацией 2 . 10*5см~3. Снижение лазерной мощности в этом случае связано с поглощением излучения молекулами С12, а также С1~, возникающих в результате протекания плазмохимических реакций в плазме разряда. Влияние процессов тушения эксимерных молекул XeCI молекулами С12 на лазерную мощность незначительно.

Увеличение на 30 энергии генерации XeCI ИПЭЛ при добавлении в смесь газов ^ объясняется повышением вероятности образования молекул HCl по сравнению с вероятностью образования С12.

6. Экспериментально показано, что возмущения плотности газа, возникающие в ИПЭЛ на частотах следования импульсов разряда до yVv 700 Гц и энерговкладах в разряд до 400 Дж/л, не оказывают влияния на расходимость лазерного излучения Q& 3 . I0"4 рад.

7. Пиролиз 1,2 дихлорэтана в присутствии лазерного излучения может проводиться при пониженных температурах 300 - 350 °С, при этом величина конверсии достигает 50-60 % с более высокой степенью чистоты получаемого продукта. В процессе пиролиза образуются продукты, интенсивно поглощающие излучение лазера, что приводит к линейному уменьшению квантового выхода реакции при увеличении мощности лазерного излучения. С ростом температуры квантовый выход реакции повышается. Когда сечение лазерного излучения меньше сечения реакционного объёма, заметное влияние на величину конверсии .оказывают процессы диффузии атомарного хлора из зоны облучения.

Анализ мономолекулярного распада 1,2 дихлорэтана позволил уточнить кинетическую схему, в рамках которой удаётся объяснить основные экспериментальные результаты как при тепловом пиролизе, так и при инициировании реакции, лазерным излучением.

8. Создан импульсно-периодический ХеС1-лазер с энергией в импульсе ~ I Дж, максимальной частотой следования импульсов~ I кГц и средней мощностью130 Вт.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Автор приносит - г лубокую благодарность своему научному руководителю к.ф.-м.н. В.М. Борисову.за постановку задачи, постоянное внимание и поддержку, В.Ю. Баранову за прочтение рукописи, ценные советы и замечания, позволившие улучшить представляемую работу, А.Ю. Виноходову, Н.Я. Смирнову за помощь в проведении экспериментов, Ф.И. Высикайло, В.П. Новикову»оказавшим помощь в теоретической обработке экспериментальных результатов, а также многим другим сотрудникам ФИАЭ, чьими услугами автор пользовался при выполнении работы и оформлении диссертации. Автор считает своим приятным долгом поблагодарить сотрудницу НИИХП К.А. Чагир за участие в проведении экспериментов по пиролизу 1,2 дихлорэтана § 5.1, а также сотрудников НИИХФ АН И.С. Заслонко, В.Н. Смирнова за помощь,оказанную при обсуждении кинетических процессов пиролиза 1,2 дихлорэтана § 5.2.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Кирюхин, Юрий Борисович, 1984 год

1. У. К.} Наг/ £ /?. e^^co/t cd2 n/n. jfZo/r7 Xeßz. /?/у>е. Ph</S. Ae//, 1976-, у 27, M4,

2. EvTing. Вые/ Fmc^lo/г tfpec/^v/r? о/

3. XeT in е£ес1го/г ¿earr? ~ exccieo/ Хе/1Л /r?ix/— trieg. - P/tyS. Л^гГ /7. , ¿97S, VJP, ЖУ,

4. Летохов B.C., Мишин В.И., Пурецкий A.A. Селективная фотоионизация атомов лазерным излучением. В кн.:Химия плазмы. М.: Атомиздат, 1977, 65 с.4« BurnAqrr? р. Twptotfeo/ jbezfo?:/?7<y/zce öf-l/ie c/ü'cAаг^е pampe о/ KeCg ¿afez,— Со/ыъип. v978, pi6i-i63.

5. Исследование характеристик фотоионизационных эксимерных лазеров. /В.М.Борисов, Ф.И.Высикайло, С.Г.Мамонов и др. Квантовая электроника, 1980, 7, с 593-597.

6. JerijearU W.X, fi&ok /f.Aeofofc/ /f. Р<уга/ъе/-zie ¿y-l&c/y о/ conxi&nt Е/а/ р&трео/ -KzF ¿«¿et. — IEEE, У. о/ #£-¿4, ¿$'78; р£77— i8d,

7. Waicrncyi>e X а па/ Р/г с/о А /?. Шо/е ajbezia^etfutf/o/inео/ c/L£'c/icy>zge /<гР а/го/ ХеС?-/?рре. P/iyS. Ае//.; 1932, /гЗ,р 799 т 8 4-.

8. Fcr/i(Реп. Т.¿'. РОО W fctf gas /z&n&jboz-/ ¿arfet,— IEEE; Qf-Jt, ¿980, ///У, pJ260-/Z€T.

9. Й RefifiiiTePy ¿'¿#¿1 XeC£ ¿cr^et ofeter-Ung. об ¿00 Hz. (Peazp&y ; Kei^k /?. PI J £ztey PH., ei. cr£ )-IEEE. X о/ QE-iT,321, A/8, P ¿315-£3i$.

10. FofkPet-L T.J. HLgk-pufae zcvie loyz KzF- Pppf. PkySf. , 19Г8? р46Г&-4&Г.

11. Warty, C. P., G-'M O.L. Zejbe&ito/z t&^e УеГ IEEE У. о/ QS-/3T, 19TSJ

12. Ограничение частоты следования импульсов в СО^-лазерах периодического действия./Баранов В.Ю.,Бреев В.В., Малюта Д.Д. и др./ Квантовая электроника, 1977, 4, № 9, с I86I-I867.

13. Межевов B.C. Экспериментальное исследование влияния возмущений плотности газа на энергетические характеристики COg ИПЛ. Дис.,.канд.физ.-мат.наук.-Москва, I98I.-II8 с.

14. Ко1ке £>.£. Яао(1а{Ц7е сарбазе о/ е^есб^о/гА" c/l¿'oZ¿/1<?; су по/ ¿о с/б/-ггК; 1969, I/1ГТ, ///, р93~Э7.оп- ^А о -¿о с/е^с/еА/г? е/г ¡^ Со^ 1А е /ъР^су^б'гГё ¿оп о/^ у ¿¡у о г.//ъ е.— Рк-у*?. ЯегК, /9Т1, уЗ/ л/1, ¿>5~#.

15. Уеу/геу Ту АегГо^ег ; /УАсго-САс&'п . л/есе,?-¿У&Ъ^ Со/г с/с ¿с о/?,? уго£ ААе Ао/ъо^&пе'ог/^

16. ОЪ/770/£1О/Ъ о/ /э и &<?£>/ СУ ¿¿СУ #0//7, с А е ¿/¿^сАсгр —1Э$0, -217.

17. Баранов В.Ю., Борисов В.М., Степанов Ю.Ю. Управление расходимостью и спектром ХеС1-лазера. Квантовая электроника, 1981, 8, №9, с 1861-1866.20. (то£Ые М.Р., ТАьги^А £./?. У&сш/ъ ¿/У етсд^Могг. уг<£?/г? ъесуеёсо/и' о/■ /пе-^с^АсуА Ае ро^

18. РъСе. — С А егг?. РАдр. } ,1. Э48€-493.21. \fefa-zco X Е., ^её^еЪ: й^ Воигг-о/—/ъее ^¿А ¿'¿оп ^есё^сг о/ с/б'о/£о/77бфс хе/го/г- —

19. У. САегъ. Рку^., 19Г£~, V/1/5)

20. Об особенностях импульсно-периодического режима эксимерных лазеров./Баранов В.Ю., Борисов В.М., Кирюхин Ю.Б. и др./-Квантовая электроника, 1983, 10, №3, с 541-546.

21. Лакоба И.С., Яковленко С.И. Активные среды эксиплексных лазеров. Квантовая электроника, 1980, 7, №14, с.678-719.

22. UQÍCÚS М; J?oÁ/t¿ Нап^с/по J7> foZ/rrcréca/z о/пер/ yuencA¿H^ fzocej^&s" ¿n — é¿/ze¿'. Pkj/S. ¿3TS, y32 , p JOS-iíS.

23. Исследование характеристик разряда и генерации эксимерных лазеров.Часть I. /Баранов В.Ю., Борисов В.М., Кирюхин Ю.Б. и др./ Москва, 1979.- 35с.(Препринт/ЙАЭ: № 3080).

24. Tkzee éody yí/encAín^ o-f KzF* ¿y rfz а/гс/ kctnc/ efnls¿'¿oK Ai/77. (Jccoáni M.J Manzano У. A, e-é. aé. ) fl/pé.

25. Елецкий A.B. Эксимерные лазеры. Успехи физических наук, 1978, т.125, вып.2, с 279-311.

26. Eden. У. <?v Waynan-é R. W. ¿¿tTeéíme соР-¿¿bionc/P <^¿/en^/b¿n-Q /лесг^с/ъ/ьеп.-^ XePfg) /у pkoiotyij ofXeP~¿> . Opé. ¿eéé^ J37g,pí2> —18.

27. Виъ/ъ/ьсгт /?. . ^ec/zéeS' S". К. Reyo/¿c/-¿¿?fee

28. Ume о/ foF. — У. CAesr?. Ph&F., ^f> 5367

29. Raxe oaf fácKlc/e &<Г. (Rokni M.

30. Manjaio X A., J&col SKM, el a?. ) TEEE, £ <?/ QlE-14, 1973, p464~47o.

31. Btcu/C.fl., £iftfLj y. J. 354 nn? Pcvfezs- crc&o/i on V-eF, -type. PkyS. AeU/ 1375, Vf£7/ p433~~ 439.

32. M. , ^afimieni R. G-qI/Z ¿'crtt/z&^co/z. G-f-feci^ ¿n tfc/pettorc/dcr/i.^ Xef~ ¿cruets'. — Comm., ¿978 , VSS, p 251 -£56.

33. Wayn&i-^ R. W. P c/tSc/iatge -/?zC£ ¿¿/pet/gt/oze^cesz^ ¿atfez CY£ о ■— ft/op?. P/zyf, Лe¿6, ¿977, VSO, p<534-£39.

34. Tarnot^ake K. , P'e^ez £>. W. /fu/nu^o/iio/z о/ &о/цп.с/fzee К*Р е/т?суу1оп jjbec^Zc/ /zo/77 Zeo/с-ёсгГе ^¿/е/гсАс/г^ о/ /Ct (SS^r^/zl г!

35. Hz (S^c^h) atoms. ~ J? Сбе^т. реи/ь? 13ГГ;1. V67j pJ37o- 4377.

36. Иесая/г К. У., P^anvezy М- R>, Phyp. LeU., t&r, V3i, pS99-eo3.

37. RegСсфno Т. M P Д. U., Ozee A £. cuPaico/z 0/ -¿Ae Jb/ioioсont ^a/tcon сto,sp¿Уес-lion oj- ike excimez ^¿абе о//?z2. — У, CAe/??. PkyJ. , V £8, /S/i,

38. Ckziftenfen C. p. Hij/i-Zefie^Cicon Zc/te ХеР ¿afi'ez . —

39. Pkyf. Lett., ¿977, V30, л/9;

40. Pike С. Т. P 10 tP? tepeiclie/z Zc/te XeP ictpezp. ~~ Tcz. Meei. PxCi/??. ¿arfeztf Zip. TecJin. P&p., Ckazeeglon j, C. 1979 , Уег*Г

41. JozAj M У- ¿973, W5 V± we ¿A •

42. Ищенко B.H., Лисицын B.H., Ражев A.M. 0 частотном режиме работы эксимерного лазера на KeF . Письма в ЖТФ, 1977, т.З, вып. 14, с 690-693.

43. Тарасенко В.Ф., Верховский B.C., Федоров А.И. «Злектроразряд-ный ХеС1-лазер.-Квантовая электроника, 1980,7,№9,с 1835-1838.

44. Lifetime ек1еп#соп о/ )СеС& еглс//СъСб ¿aj'Qzf

45. V/liti aMiiittes'. (tfcAee Т. X, J^e/ /0. X p Mjt> ei PAwr.teM., ¿gSO)1. V36, А//Л, p 943 -S4S-. '

46. Rate-Ao/^cWe с/?Га>¿¿у/гсЛе cfis'c/nftpe ¿aj'ezj'. — ItEE. J. о/979, AZIZ, p ¿338 -/347.

47. Clofeo/ сусёе vnnuf&z -/¿our- Ze^uzn ¿crjeet1. O^go/г fi. Д. в., PezT

48. Jnjizam., ¿981, VS^^a/7, fi 9#</-987.

49. Мощный электроразрядный лазер с генерацией излучения на длинах волн: 248 нм, 337 нм. (Баранов В.Ю., Борисов В.М., Кирю-хин Ю.Б. и др.) IX Всесоюзная конференция по когерентной и нелинейной оптике. Тезисы докладов. Ленинград: 1978.с238-240.

50. Об изменении характеристик ХеР -лазера при увеличении давления./Баранов В.Ю., Борисов В.М., Кирюхин Ю.Б. и др./ Квантовая электроника, 1978,т5,№ 10. с 2285-2289.

51. Борисов В.М. Исследование импульсных электроразрядных С02-лазерных систем. Дис.,.канд.физ.-мат.наук.-Москва, 1976.-- 144 с.

52. Зарослов Д.Ю. Исследование некоторых плазменных источников предыонизации импульсных С02-лазеров. Дис.,.канд.физтмат. наук.- Москва, 1978.-122 с.

53. Баранов В.Ю., Борисов В.М., Христофоров О.Б. Эксимерный электроразрядный лазер с плазменными электродами. Квантовая электроника, 1981, 8, № I, с 165-170.

54. Исследование процессов формирования и протекания скользящего разряда./Варанов В.Ю., Борисов В.М., Кирюхин Ю.Б. и др./.-Москва, 1981.-56 с.Шрепринт/ИАЭ: № 3472/7).

55. Бельков Б.П. Восстановление электрической прочности искровых промежутков после протекания больших импульсов тока. Журнал технической физики, 1974, т.44, вып.9, с 1946-1950.

56. Дашук Т.Н., Дементьев В.А., Ярышева М.Д. Электрооптические исследования развития скользящего разряда и формирование обратного лидера. Письма в ЖТФ, 1983, т.9, вып.2,с 89-93.

57. Недоспасов А.В., Новик А.Е. Скорость распространения фронта ионизации при пробое длинных разрядных трубок.- Журнал технической физики, 1960, т.30, № II, с 1329-1334.

58. Тамм И.Е. Основы теории электричества. М.: Наука, 1966,427 с.

59. Катаев И.Т. Ударные электромагнитные волны. М.¡Советское радио, 1963,- 283 с.

60. Красюк И.К., Липатов Н.И., Пашинин П.П. Формирование импульса УФ излучения в плазме поверхностного разряда фронтом ударной электромагнитной волны. Квантовая электроника, 1976, 3, № II, с 2384-2389.

61. Эксимерный импульсно-периодический лазер./Баранов В.Ю., Баронов Г.С., Киргохин Ю.Б. и др./.- Квантовая электроника, 1980,7, № 4, с 896-899.

62. Федоров А.И. Эксимерные лазеры на молекулах XeCI и ХеР*, возбуждаемые самостоятельным разрядом. Дис.,.канд.физ.-мат.наук. - Томск, 1982. - 155 с.

63. Низьев В.Г. Исследование диффузного разряда в (^-лазерных системах. Дисс.,.канд.физ.-мат.наук. - Москва,1977.-171 с.

64. Перегревно-акустическая неустойчивость в импульсно-периоди-ческих лазерах./Баранов В.Ю., Межевов B.C., Малюта Д.Д. и др./.- Физика плазмы, 1979,т.6, № 4, с 785-789.

65. Электронные кинетические коэффициенты слабоионизованной плазме на основе смесей He-Xe-^P^, He-Afc-^Pg./Шевера B.C., Шуаи-бов A.K., Герц С.Ю. и др./.- ТВТ, 1983, т.21, № I, с 175-180.

66. Мкртчан М.М., Платоненко В.Т. Кинетика газоразрядного лазера на эксимере ХеР. Квантовая электроника, 1979, т.6, №в,с1639.

67. Мае of о Miitfuo, Tofkagki Дкскско. Kinetic /кос/её j-oz Sei/-¿'ug-taeneof ¿¿¿'cA&tge XeC£ ¿cruets'.— Пар. У. /?рр£. 1331, I/2ij Л/8; р!Ш-Ц68.

68. Расчет характеристик электрического разряда в смесях газов, содержащих HCl и ^./Гальцев В.Е., Демьянов A.B., Кочетов И.В. и др./. Москва, 1979.- 32 с.(Препринт/ЙАЭ:№ 3156).

69. ФИАН, 1980, т.120, с 30-37.

70. Ra/эр Z). ? Eib^&^jez —Goëo/en Р. ToiaPon£ yoZ. losb¿z<y-¿¿orL erste/ &éé&c/L/77efzé ¿/г ffw-¿Qtf £y eêecézan ¿mperci. — CAe/r?. ;

71. Баранов В.Ю., Низьев В.Г., Пигульский C.B. Газодинамические возмущения потока газа в СО^-лазерах импульсно-периодичес-кого действия. Акустические волны. Квантовая электроника, 1979, 6, № I, с 185-189.

72. Ч.Дж.Найт Поперечные акустические волны в импульсных лазерах. Аэрокосмическая техника, 1983, I, * 3, с 2-1I.

73. Гросс Р., Ботта Д. Химические лазеры. М.: Мир, 1980, 379с.

74. Экспериментальное и теоретическое исследование предельных характеристик несамостоятельного разряда в смесях HCl с благородными газами./Демьянов A.B., Дятко H.A., Кочетов И.В. и др./.- Физика плазмы, 1981, 7, № 6, с I39I-I399.

75. Вирин Л.И., Джагацпонян Р.В., Карачевцев Г.В. Ионно-молеку- лярные реакции в газах. М.: Наука, 1979,- 279 с.

76. Ouen^kífb^. ktneÍLcf о/ e^ecézo/т. ¿ecr/7? pumpe с/ УеСе. (GtctfJ G-. Р. , T¿Uee f. К.} И'/¿&оп V/¿ , e-i о/в. ) — САет. PAyJ. ¿eéi.j </ $3; /гЗ,

77. CA^tenetJen. H. P. y Korr>po<K-L. Совй&оп. comptée* e^ciia-écon, ¿n. cA£otene — с/ореЫ кепо/ь.— CAe/7?, Plujf. leU., i9Sí,

78. Окабе X. Фотохимия малых молекул. M.: МИр, 1981.- 422с.

79. The He/Cia ¿otfez ¿// ¿58 nr*. (¿cActi* £. ? {9$2, VBT, p49~53.

80. James />., tfcAee 77 JA ¿t ¿tatf Wу/саёсоп Zesosi&^oi: ехс(/??еч:atfez. IEEE, У- oj 0E—J.5j 19ТЭ}f>355~—336.

81. ЪЪ. Goio/fiaz !/.f Rapopozt WR.f MuzZctyJ.fi,njeciion. ¿осАес/ tetfan&£oZ z&te

82. Aa^ic/e c/ttfeAcrt^e ¿atfez of /z&ztow ^¿^e ^/¿c/lk otft с/ /ti$/i fyvti&g yc/v&ty. IEEE Л 1980; QE-I6, ¿2 ,

83. Баранов В.Ю. Разработка физических принципов и создание импульсных и импульсно-периодических С (^-лазеров. Дис. докт.физ.-мат.наук.- Москва,-1980.- 281 с.85. iMgcu&plon о/ ¿кг- /necAc/nUS/n о//гее — ^¿Ус/ссаРо/ cAiotoe^A&netf. (/JaySzeeAty fcy

84. UkctV/a Mat+ensG., ei Bui£.tf>c. CAe.Sefyz?,1. VSij 19?2 j p 65-72.86. y0e6took K/?., Woftke* R.v?., WafcotLT. The Pyzo-lyfif oj 1,г -ftiekioze+Aa/te. —J. САе&.&с., (8), 1971;1. M3 , р5-77-&8г.

85. Кондратьев B.H. Константы скоростей химических газофазныхреакций. М ; Наука, 1972. - 327 с.88. \-\ovfleli К.Б. The pLjzoty'if о/ ¿-ЫсАiozoetkvnе.1.an?. F&zofc/ay ¿be., 1952; p25~34.

86. Трегер Ю.А., Пименов И.Ф., Гольфанд Е.А. Справочник по физи-кохимическим свойствам хлоралифатических соединений (Cj-Cg).-М.: Наука, 1976, 224 с.

87. Кондратьев В.Н., Никитин Е.Е. Химические процессы в газах.-- М.: Наука, 1981, 262 с.

88. Tz#c У F&ee-o// cczifetf of te-aciiong. ~ Zeitfc^ztf^ fat /г&сёъос^е^е wc/

89. Che we. Bebfr/г, £$7Y, 78 pV78-y$i

90. Бенеон С. Термохимическая кинетика. M.: Мир, I971.- 427 с.

91. Tzae У., ¿с/ёАеь/С. 17 °/г -Lion ¿eecfa, р S3£".

92. Еремин E.H. Основы химической кинетики. М.: Высшая школа, 1976. - 369 с.