Длинноимпульсные электроразрядные лазеры на смесях инертных газов и азота с фторсодержащими молекулами тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.21, кандидат физико-математических наук Тельминов, Алексей Евгеньевич

• Тельминов, Алексей Евгеньевич
• кандидат физико-математических наук
• 2009

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Тельминов, Алексей Евгеньевич

Введение

ГЛАВА 1. ФИЗИКА ПРОЦЕССОВ В АЗОТНОМ, ЭКСИМЕРНЫХ ЛАЗЕРАХ И ЛАЗЕРЕ НА АТОМАРНЫХ ЛИНИЯХ ФТОРА. ГЕНЕРАТОРЫ НАКАЧКИ ГАЗОВЫХ ЛАЗЕРОВ.

1.1. Механизмы создания инверсии населенностей в газовых лазерах.

1.1.1. Эксимерные лазеры.

1.1.2. Лазер на атомарных переходах фтора.

1.1.3. Азотный лазер.

1.2. Генераторы накачки с емкостными накопителями, применяемые для создания активной среды газовых лазеров.

1.3. Генераторы с прерывателем тока (ГПТ).

1.4. Лазеры с накачкой от ГПТ.

ГЛАВА 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ АППАРАТУРА И МЕТОДИКИ

ИЗМЕРЕНИЙ.

2.1. Электроразрядный лазер с накачкой от генератора с промежуточным индуктивным накопителем, и прерывателем тока на основе SOS-диодов.

2.2. Мощный широкоапертурный азотный лазер.

2.3. Диагностическая аппаратура и методики измерений.

2.4. Особенности режимов накачки газовых лазеров от ГПТ.

ГЛАВА 3. ХАРАКТЕРИТИКИ ОБЪЕМНОГО РАЗРЯДА И

ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ В СМЕСЯХ ИНЕРТНЫХ ГАЗОВ С ФТОРСОДЕРЖАЩИМИ МОЛЕКУЛАМИ ПРИ НАКАЧКЕ ГПТ.

3.1. Лазер на молекулах XeF*.

3.2. Электроразрядный КгР*-лазер.

3.3. Лазер на переходах атома фтора (FI).

3.4. Рентгеновское излучение искровой системы предыонизации и плазмы объемного разряда в лазере с индуктивным накопителем энергии.

ГЛАВА 4. ГЕНЕРАЦИЯ НА ПЕРВОЙ И ВТОРОЙ ПОЛОЖИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМАХ АЗОТА ПРИ ВОЗБУЖДЕНИИ ГПТ.

4.1. Исследование характеристик объемного разряда и лазерного излучения в смесях азота с NF3 и SF6.

4.2. Моделирование азотного лазера с накачкой самостоятельным разрядом в смесях N2 с электроотрицательными газами.

4.3. Обсуждение результатов численных расчетов и сравнение их с экспериментом.

4.4. Широкоапертурный азотный лазер.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Длинноимпульсные электроразрядные лазеры на смесях инертных газов и азота с фторсодержащими молекулами»

Актуальность работы. Увеличение длительности импульса и энергии излучения электроразрядных газовых лазеров имеет большое практическое и научное значение. С одной стороны, снижение импульсной мощности излучения позволяет существенно увеличить энергию в импульсе, а также среднюю мощность излучения, передаваемую по световоду. С другой стороны, увеличение числа проходов в резонаторе дает возможность эффективно управлять такими параметрами • лазерного излучения, как расходимость и ширина линии генерации, что важно для различных технологических приложений электроразрядных лазеров. Поэтому задачи исследований, поставленные и решаемые в данной диссертационной работе, актуальны.

Для увеличения длительности импульса излучения электроразрядных газовых лазеров необходимо увеличить длительность импульса накачки, что приводит к рассогласованию импеданса генератора накачки и сопротивления объемного разряда, и как следствие влечет падение коэффициента полезного действия (КПД) генерации. Поэтому задачи повышения длительности импульсов генерации, энергии излучения и эффективности работы электроразрядного лазера достаточно тесно связаны. Значительные длительности импульсов излучения газового лазера и его КПД могут быть получены при решении следующих двух основных проблем: 1) формирование и поддержание в течение длительного времени (0,1 мкс и более) однородного объемного разряда в газовых смесях, содержащих молекулы доноров фтора; 2) обеспечение высокой эффективности передачи энергии, запасенной в накопительном элементе генератора накачки, в активную среду лазера (плазму объемного разряда). Для этого разработан метод накачки двойным разрядом с использованием достаточно сложных импульсных генераторов с емкостными накопителями энергии и коммутаторами на основе искровых разрядников и магнитных ключей [1-9].

При этом генератор накачки формирует сначала высоковольтный предымпульс, инициирующий объемный разряд в лазерном промежутке, а затем основной накопитель (конденсатор или формирующая линия) вкладывает в активную среду лазера основную часть запасенной энергии в режиме согласования импедансов. Подобные генераторы с использованием импульсных формирующих линий позволили создать электроразрядные лазеры на хлоридах инертных газов с эффективностью до 4-5 % и длительностью импульса генерации до 1 мкс [1 — 5]. Однако, до настоящего времени не удалось одновременно увеличить длительность и эффективность генерации в смесях, содержащих NF3 или F2 (F2, XeF, KrF, и ArF - лазеры, лазеры на линиях атомарного фтора), из-за быстрого развития контракции объемного самостоятельного разряда [6, 7, 10].

Ранее в ИСЭ СО РАН был предложен способ формирования и поддержания объемного разряда при помощи генераторов с прерывателями тока (ГПТ) на основе взрывающихся проводников[11] плазменно-эрозионных [12] и полупроводниковых прерывателей на основе SOS-диодов [13]. Проведены исследования возбуждения различных газовых лазеров двойным разрядом от ГПТ. Получены уникальные параметры излучения эксимерных ХеС1- лазеров на 308 нм: плотность мощности 150 мДж/см" при длительности импульса на полувысоте до 300 не [14, 15]. Получен предельный КПД (до 10% относительно вложенной в активную среду энергии) электроразрядных HF(DF)^a3epOB [16, 17]. Была осуществлена эффективная накачка С02-лазера, КПД которого составил 15% [18]. Однако характеристики разряда и лазерного излучения в смесях инертных газов и азота с фторсодержащими молекулами подробно не исследовались [19].

Данная диссертационная работа является продолжением исследований по возбуждению электроразрядных лазеров при помощи генераторов с полупроводниковыми прерывателями тока. Основное внимание при выполнении работы уделялось исследованию параметров объемного разряда и лазерных характеристик в смесях Ne-Xe(Kr)-NF3(F2), N2-SF6(NF3), He-F2

NF3).

Целью данной работы является: увеличение длительности импульсов излучения и энергии генерации азотных, эксимерных XeF- и KrF- лазеров и лазера на переходах атомарного фтора, при накачке двойным разрядом с формированием высоковольтного предымпульса ГПТ и прерывателем тока на основе SOS-диодов.

Для достижения поставленной цели необходимо было решить следующие задачи:

1. Определить параметры предымпульсов, формируемых генератором с прерывателем тока, при которых достигается максимальная длительность объемной стадии разряда в газовых смесях с фторсодержащими молекулами.

2. Экспериментально исследовать характеристики объемного разряда и параметров генерации при различных режимах накачки XeF, KrF, N2 и

FI - лазеров с использованием ГПТ и двухконтурных LC — генераторов с обострительными и накопительными емкостями.

Методы исследования. Основным методом исследования в работе является физический эксперимент, включающий в себя измерения энергетических, временных и спектральных характеристик лазерного излучения и электрических параметров самостоятельного объемного разряда в различных газовых смесях. Дополнительно проводилось сравнение экспериментальных результатов и результатов численного моделирования N2- и KrF-лазеров с накачкой поперечным объемным разрядом.

Научные положения, выносимые на защиту:

1. При накачке смесей KrF— и XeF-лазеров с содержанием электроотрицательной добавки <1,5 Тор генератором с прерывателем тока, высоковольтный предымпульс с передним фронтом 10-20 не обеспечивающий максимальную напряженность поля на лазерном промежутке не менее Е/р = 5 кВ/смхатм и скорость нарастания тока разряда не менее dl\dt = 2,6 кА/нс увеличивает длительность импульсов генерации на X = 353 и 248 нм до —100 не.

2. Реализация одновременной генерации на второй (CflJ,, — В3П8) и первой (B3IJg - A3Z?~U) положительных системах азота увеличивает длительность импульса УФ-излучения до 100 не за счет разгрузки нижнего лазерного уровня В3ПУ.

3. При возбуждении смесей азота с NF3 и SF6 LC-генераторами с соотношением величин обострительной и накопительной емкостей С/: С0< 1 : 20 и периоде колебаний тока в цепи С/ менее 35 не реализуется двухпичковый режим генерации лазера на самоограниченных переходах азота на длине волны 337,1 нм.

4. В электроразрядном XeF—лазере с накачкой от генератора с прерывателем тока при передаче в промежуточный индуктивный накопитель 10% запасаемой энергии и длительности импульса тока разряда 150 не реализуется режим генерации с внутренним КПД до 3%.

Достоверность научных положений и других результатов подтверждается:

-применением общепринятых методик измерения параметров объемного разряда и лазерного излучения, использованием современной регистрационной аппаратуры,

-согласованием полученных экспериментальных данных, результатов численных расчетов и данных, приведенных в работах других авторов, -воспроизводимостью полученных результатов;

Новизна защищаемых положений и других результатов:

1. Определены параметры предымпульсов, формируемых генератором с полупроводниковым прерывателем тока, при которых длительность объемной стадии разряда в рабочих смесях XeF-, KrF- и FI- лазеров возрастает до 100 - 200 не.

2. Экспериментально показана возможность разгрузки нижнего лазерного уровня перехода С3Пи —» В3П8 молекулы азота на X = 337,1 нм вынужденными переходами первой положительной системы азота B3ng

- А3£"и на I = 869,5 - 1046,9 нм.

3. Впервые при накачке самостоятельным поперечным разрядом реализован режим работы азотного лазера на длине волны X = 337.1 нм с двумя пиками излучения в течение одного импульса возбуждения.

4. Впервые в электроразрядном XeF - лазере при длительности импульса возбуждения -150 не реализован* КПД относительно вложенной энергии 3%.

5. Впервые зарегистрировано рентгеновское излучение из искровых промежутков системы УФ — предыонизации электроразрядных лазеров.

6. Впервые получены максимальные на данное время энергия и импульсная мощность «излучения азотного лазера на X = 337,1 нм. При активной- длине лазера 1 = 1 м и поперечном сечении области объемного разряда до 6х 10 см. в смеси N2 - SF6 энергия излучения на молекулах азота достигала! 80 мДж при пиковой мощности* излучения до 6 МВт.

Научная ценность результатов:

1. Установлено; что ГПТ позволяет формировать предымпульсы с оптимальными для различных газовых смесей, содержащих молекулы галогенов, амплитудой напряжения, длительностью переднего фронта и скоростью нарастания^ тока разряда, что повышает стабильность и время горения объемной стадии разряда, улучшает энергетические и временные параметры лазерного излучения в газовых смесях инертных газов и азота с молекулами SF6, NF3, F2.

2. Экспериментально^ показана возможность увеличения длительности импульса УФ - генерации-азотного лазера до.—100 не за счет разгрузки нижнего лазерного уровня'вынужденнымишереходами на первой (B3IJg

- А32?и) положительной системе азота.

3. Показано, что система предыонизации на основе искровых промежутков, кроме УФ* и ВУФ излучения формирует импульсы мягкого рентгеновского излучения, которые могут влиять на формирование объемного разряда в различных газовых смесях. Практическая значимость работы заключатся в следующем:

1. Разработаны импульсные генераторы с полупроводниковыми прерывателями тока, позволяющие реализовать оптимальные режимы накачки двойным разрядом и получить максимальные энергетические и временные характеристики импульсов излучения различных газовых лазеров.

2. Найдены новые режимы работы азотного лазера при накачке от ГТГГ, в которых наблюдаются два пика излучения в течение одного импульса накачки, а полная длительность импульса генерации достигает 50 не. В данных режимах достигается максимальная энергия излучения на X = 337,1 нм и Х - 869,5 - 1046,9 нм.

3. Создан электроразрядный эксимерный KrF лазер с накачкой от ГПТ с энергией в импульсе 0,65 Дж и длительностью импульса излучения —90 не на полувысоте при полной длительности импульса излучения до 120 не.

4. Создан электроразрядный эксимерный XeF лазер с накачкой от генератора с полупроводниковым прерывателем тока с энергией в импульсе 0,4 Дж при электрическом КПД до 1,6% и КПД от вложенной энергии 3%. Полная длительность импульса составила 200 не, а длительность на полувысоте 100 не.

5. Получены максимальные энергия и мощность излучения лазера на атомарных переходах фтора при накачке двойным разрядом от ГПТ. Энергия и мощность излучения достигали значений 7.5 мДж и 400 МВт, соответственно.

Апробация работы:

Основные результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались на следующих международных и российских конференциях: International Conference on High-Power Laser Ablation VI, VII, Taos, NM, USA,

2006, 2008; 13th International Conference on Method of Aerophysical Research (ICMAR), Novosibirsk, Russia, 2007; International Conference ICONO/LAT, Minsk, Belarus, 2007; Харитоновские чтения - международная научная конференция «Мощные лазеры и исследования физики высоких плотностей энергий», РФЯЦ - ВНИИЭФ, г.Саров, Россия, 2006 и 2008; VII и VIII Международные конференции Импульсные лазеры на переходах атомов и молекул, г.Томск, Россия, 2005, 2007; 13th and 14th Symposiums on High Current Electronics, Tomsk, 2006, 2008, 9th Russian-Chinese Symposium on Laser Physics and Laser Technologies, Tomsk, 2008.

Личный вклад автора состоит в участии в постановке экспериментов, разработке и создании экспериментальных установок, проведении экспериментальных исследований, интерпретации и анализе полученных результатов.

Моделирование двухпичковой генерации азотного лазера Гл. 4 п. 4.2, 4.3 проводилось на основе модели, разработанной научным сотрудником лаборатории теоретической физики ИСЭ СО РАН А.И. Сусловым. Расчеты параметров электроразрядных KrF - лазеров производились на основе модели, разработанной в лаборатории газовых лазеров ИСЭ СО РАН д.ф-м.н. Ю.И. Бычковым, к.ф.-м.н. А.Г. Ястремским и к.ф.-м.н. С.А. Ямпольской.

Постановка задачи и общее руководство работой осуществлялось профессором, д.ф.-м.н. (специальность 01.04.03-радиофизика) Тарасенко В.Ф. Экспериментальные исследования проводились в Институте сильноточной электроники СО РАН под руководством научного консультанта, с.н.с, к.ф.-м.н. (специальность 01.04.04-физическая электроника) А.Н. Панченко Представленные в диссертационной работе результаты получены лично автором или совместно с соавторами при его непосредственном участии.

Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения, 4-х глав, заключения, и библиографического списка. Диссертационная работа

Заключение диссертации по теме «Лазерная физика», Тельминов, Алексей Евгеньевич

Заключение

В настоящей работе представлены результаты экспериментальных исследований по возбуждению электроразрядных лазеров генераторами с прерывателями тока. Основное внимание при выполнении работы уделялось исследованию параметров объемного разряда и лазерных характеристик в смесях Ne - Xe(Kr) - NF3(F2), N2 - SF6(NF3), Не - F2 (NF3).

1. Показана перспективность применения генераторов с прерывателями тока для формирования однородного разряда в лазерных смесях содержащих фториды (FI, N2, KrF, XeF).

2. Создан ряд длинноимпульсных (XeF, KrF, FI и N2 — лазеры) лазеров с накачкой генератором с полупроводниковым прерывателем тока.

3. Показано, что предымпульс напряжения с высокой амплитудой и крутым фронтом совместно с резким нарастанием тока разряда и подсветкой УФ и рентгеновским излучением значительно улучшает устойчивость и время жизни объемного разряда в галогеносодержащих газовых смесях.

4. Получено увеличение длительности импульсов (ти) генерации в азотных и эксиплексных лазерах на молекулах XeF (ти=200 не) и KrF (т„=150 не). Длительность лазерного излучения на 337,1 нм в смесях азота с NF3 и SF6 достигала ти=50 не.

5. Показана возможность разгрузки нижнего лазерного уровня второй положительной системы азота генерацией на первой положительной системе азота, которая приводит к дополнительному удлинению импульса генерации (до 100 не).

6. Получены наибольшие энергия 7.5 мДж и мощность излучения 400 кВт лазера на красных линиях фтора с накачкой от генератора с прерывателем тока и промежуточным индуктивным накопителем энергии.

7. Получен КПД от вложенной энергии 3% для XeF -лазера. Столь высокие КПД до сих пор достигались только при накачке таких лазеров пучком электронов, где отсутствуют проблемы, связанные с контракцией разряда. Электрический КПД составил 1.5 %.

8. Для KrF - лазера получен импульс генерации, продолжающийся до конца импульса тока, что говорит о хорошей однородности разряда и возможности дальнейшего удлинения импульса генерации.

9. Осуществлена накачка азотного лазера в двух режимах работы генератора с прерывателем тока. В режиме, когда в индуктивность передается большая часть энергии основного накопителя, получен эффективный режим работы азотного лазера с КПД 0.17 %, от вложенной энергии. В режиме, когда в индуктивность передается малая часть энергии основного накопителя, получен двухпичковый режим работы азотного лазера на длине волны 337.1 нм.

10. Показано, что искровая система предыонизации помимо УФ излучения испускает также рентгеновское излучение. Данное рентгеновское излучение может оказывать влияние на формирование разряда в различных газовых смесях. В частности наличие дополнительной подсветки рентгеновским излучением позволяет объяснить увеличение энергии эксимерных и HF(DF)- не цепных лазеров, полученное в наших экспериментах.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Тельминов, Алексей Евгеньевич, 2009 год

1. Long W.H., Plummer J., Stappaerts E.A. Efficient discharge pumping of an XeCl laser using a high-voltage prepulse // Appl. Phys. Lett.- 1983.- Vol.43.-№8.- P. 735-737.

2. Taylor R.S., and Leopold K.E. Ultralong optical-pulse corona preionized XeCl laser // J. Appl.Phys.- 1989.- Vol.65.- №.1.- P.22-29.

3. Fisher C.H., De Hart Т.Е., Ewing J.J. et al. High efficiency XeCl laser with spiker and magnetic isolation // Appl. Phys. Lett.- 1986.- Vol.48.- №23.-P. 1574- 1576.

4. Hueber J-M., Fontaine B. L., Bernard N., Forestier В. M., Sentis M. L., and Delaporte Ph. C. Long pulse KrCl excimer laser at 222 nm // Applied Physics Letters.- 1992.- Vol.61.- №19.- P. 2269-2271.

5. Casper L.C., Bastiaens H.M.J., Peters P.J.M., Boiler K.-J. and Hofstra R.M. Long-pulse KrCl laser with a high discharge quality // Applied Physics B: Lasers and Optics.- 2007.- Vol.88.- №1.- P. 61-66.

6. Kushner M. J. Microarcs as a Termination Mechanism of Optical Pulses in Electric-Discharge-Excited KrF Excimer Lasers // IEEE Transactions on Plasma Science.- 1991.- Vol.19.- №2.- P. 387-399.

7. Demyanov A.V., Feenstra L., Peters P J.M., Napartovich A.P., Witteman WJ. Kinetic modelling of a discharge-pumped ArF excimer laser and the effects of discharge filamentation // Appl. Phys. В.- 2001.- Vol.72.- №7.- P. 823-833.

8. Peters P.J.M., Trentelman M., Witteman WJ. Optimisation of the pulse duration of a discharge-pumped XeF(B-X) excimer laser // Appl. Phys. B.-1995.- Vol.60.- №6.- P.553-556.

9. Ю.Бычков Ю.И., Котов Ю.А., Лосев В.Ф., Тарасенко В.Ф. Применение колебательного контура с прерывателем тока для возбуждения лазеров на самоограниченных переходах // Квантовая электроника. 1976. - Т. 3.-№7.-С. 1607- 1608.

10. П.Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Газовые лазеры с накачкой от генератора с плазменным прерывателем тока и индуктивным накопителем // Квантовая электроника 1990.- Т. 17.- № 1.- С. 32-34.

11. Baksht Е.Н., Panchenko A.N., and Tarasenko V.F. Discharge Lasers Pumped by Generators with Inductive Energy Storage // IEEE J. Quant. Electron.-1999.- Vol.35.- №3.- P.261-265.

12. Bychkov Yu.I., Baksht E.H., Panchenko A.N., Tarasenko V.F., Yampolskaya S.A., and Yastremsky A.G. Formation of pumping discharge of XeCl laser by means of semiconductor opening switch // Proc. SPIE.- 2001.- Vol.4747.-P.99-105.

13. Baksht E.H., Panchenko A.N., Tarasenko V.F., Matsunaga Т., and Goto T. Long-pulse discharge XeF and KrF lasers pumped by a generator with inductive energy storage // Jap. J. Appl. Phys.- 2002.- Vol.41.- №6A.- P.3701-3703.

14. Panchenko A.N., and Tarasenko F.V. Pulsed Gas Lasers Pumped by Generators with Inductive Energy Storage // Laser Physics.- 2006.- Vol. 16-№1.- P. 23-39.

15. Панченко A.H., Орловский B.M., Тарасенко В.Ф., Бакшт Е.Х. Эффективные режимы генерации HF лазера с накачки нецепнойхимической реакцией, инициируемой самостоятельным разрядом // Квантовая электроника.- 2003.- Т.ЗЗ.- №5.- С. 401-407.

16. Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Эффективные HF(DF) лазеры, с накачкой нецепной химической реакцией, инициируемой самостоятельным разрядом // Письма в ЖТФ.- 2004.- Т.ЗО.- Вып. 11.-С.22-28.

17. Бакшт Е.Х., Орловский В.М., Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Эффективный электроразрядный СОг-лазер с предымпульсом, формируемым генератором с индуктивным накопителем энергии // Письма в ЖТФ.- 1998.- Т.24.- №4.- С.57-61.

18. Hag P.J., Danning Т.Н. The covalent and ionic states of the xenon halides // J.Chem.Phys.- 1978.- Vol.69.- №5.- P.2209-2220.

19. Елецкий A.B. Эксимерные лазеры // УФН.- 1978.- T.125.- Вып.2.- С.279-314.

20. Бычков Ю.И., Королев Ю.Д., Месяц Г.И. и др. Инжекционная газовая электроника.- Новосибирск: Наука.- 1982.- 236 с.

21. Rothe D.E., Wallace С., Retach I. Efficiency optimization for discharge -excited high-energy excimer lasers // Proc. Conf. Excimer Lasers. 1983. -N.Y.- 1983. - P.33 -43.

22. Osborne H.R., Smith P.W., Hutchinson M.H.R. The effect of pulse forming line impedance on the performance of an X ray preionized XeCl discharge laser // Opt, Comm. - 1985. -Vol. 52.- №6. - P. 415 - 420.

23. Taylor R.S., and Leopold K.E. Pre-preionization of a long optical pulse magnetic-spiker sustainer XeCl laser // Rev. Sci. Instrum.- 1994.- Vol.65.-№12.- P. 3621-3627.

24. Mathew D., Bastianes H.MJ., Boiler K.-J., and M.Peters P.J. Current filamentation in discharge-excited F2-based excimer laser // Appl.Phys.Lett.-2006.- Vol.88.- №10.- Paper №101502.- 3 p.

25. Жупиков A.A., Ражев A.M. Эксимерный KrF-лазер на основе буферного газа Не с энергией 0.8 Дж и КПД 2% // Квант. Электроника.- 1998.-.Т.25.-№ 8.- С. 687 689.

26. Mizoguchi Н., Endoh A., Jethwa J., Racz В., and Schgifer F.P. Rapid Discharge-Pumped Wide Aperture X-ray Preionized KrF Laser // Appl. Phys. В.- 1991.- Vol. 52.- №3.- P. 195 199.

27. Taylor R.S., and Leopold K.E. Magnetic spiker exitation of gas-discharge laser // J. Appl.Phys. В.: Lasers and Optics.- 1994.- Vol. 59.- № 5.- P. 479508.

28. Kovacs M.A., and Ultee C.J. Visible laser action in fluorine I // Appl.Phys. Lett.- 1970.- Vol.17.- №1.- P.39-40.

29. Peet V.E. and Treshchalov A.B. Study of a Discharge-Pumped Atomic Fluorine Laser// Laser Physics.- 1993.-Vol. 3.- №1.- P.88-93.

30. Parvin P., Mehravaran H., and Jaleh B. Spectral lines of the atomic-fluorine laser from 2 psi (absolute) to 5,5 atm // Applied Optics.- 2001.- Vol.40.-№21.- P.3 532-353 8.

31. Razhev A.M., Mkhitaryan V.M., Churkin D.S. 703-to 731-nm FI laser excited by a transverse inductive discharge // JETP Letters.- 2005.- Vol.82.-№5.- P. 259-262.

32. Donald C.Morton. Atomic data for resonance absorption lines. I -Wavelengths longward of the Lyman limit // Astrophysical Journal Supplement Series.- 1991.- Vol.77.- №1.- P. 119-202.

33. Hocker L.O., and Trinh Bang Phi Pressure dependence of the atomic fluorine laser transition intensities // Applied Physics Letters.- 1976.- Vol.29.- №8.- P. 493-494.

34. Schaefer G., Kirkici H. On the excitation mechanism of the CW atomic fluorine laser// IEEE Journal of Quantum Electronics.- 1989.- Vol.25.- №11.-P. 2344 2349.

35. Радциг A.A., Смирнов Б.М. Параметры атомов и атомных ионов. Справочник.-М.: Энергоатомиздат.- 1986.-344 с.

36. Радциг А.А., Смирнов Б.М Справочник по атомной и молекулярной физике, М.: Атомиздат.- 1980.- 240 с.

37. Sansonetti Е., and Martin W.C. Handbook of Basic Atomic Spectroscopic Data // Journal of Physical and Chemical Reference Data.- 2005.- Vol.34.-Issue 4.- P. 1559-2259.

38. Zaeferani M.S., Parvin P., Sadighi R. Pressure dependence of the spectral lines of high power, high pressure atomic fluorine laser punped by a charge transfer from He2+ // Optics & Laser Technology.- 1996.- Vol. 28.- №3.- P. 203-205.

39. Collins C.B., Lee F.W., and Carroll J.M. An atomic-fluorine laser punped by charge transfer from He2+ at high pressure // AppLPhys. Lett.- 1980.- Vol. 37.-№10.-P. 857-859.

40. Razhev A. M., Zhupikov A.A., and Churkin D. S. Nitrogen, atomic fluorine and C02 lasers excited by a pulsed inductive discharge // Proc. SPIE.- 2007.-Vol.6938.- paper №693803.- 10 p.

41. Schaefer Gerhard. Fast Plasma Mixing-A new excitation method for CW gas lasers // IEEE J. of Quantum Electronics.- 1986.- Vol. 22.- №10.- P. 2022-2025.

42. Chapovsky P.L., Kochubei S.A., Lisitsyn V.N., and Razhev A.M., Excimer ArF/XeF Lasers Providing High-Power Stimulated Radiation in Ar/Xe and F Lines // Applied Physics A: Materials Science & Processing.- 1977.- Vol. 14.-№2.-P. 231-233.

43. Koprinkov I. G., Stamenov K.V., and Stankov. K.A. Intense laser generation from an atomic-fluorine laser // Appl. Phys. B: Photophysics and Laser Chemistry.- 1984.- Vol. 33.- № .- P. 235-238.

44. Heard H.G. Ultra-violet Gas Laser at Room Temperature // Nature.- 1963.-Vol. 200.- № 4907.- P. 667.

45. Ali A.W., Kolb A.C., and Anderson A.D. Theory of the pulsed molecular nitrogen laser// Applied Optics.- 1967.- Vol.6.- №12.- P. 2115-2125.

46. Бычков Ю.И., Лосев В.Ф., Савин B.B., Тарасенко В.Ф. Повышение эффективности N2 лазера // Квантовая электроника.- 1975.- Т.2.- №2.-С. 2047-2053.

47. Shipman J.D., Jr. Travelling Wave Excitation of High Power Gas Laser // Appl. Phys. Lett.- 1967.- Vol.10.- №1.- P. 3-4.

48. Levatter J.I., Lin S.-C. High-power generation from a parallel-plates-driven pulsed nitrogen laser// Appl. Phys. Lett.- 1974.- Vol.25.- №12.- P. 703-705.

49. Woodward B.W., Ehlers V.J., and Lineberger W.C. A reliable repetively pulsed, high power nitrogen laser // Rev. Sci. Instrum.- 1973.- Vol. 44.- №7.-P. 882-887.

50. Willet C.S., and Litynski D.M. Power increase of N2 UV and IR lasers by addition of SF6// Appl. Phys. Lett.- 1975.- Vol.26.- №3.- P.l 18-120.

51. Fellows C.E., Rodegheri C.C., Tauber U., Tsui K.H., de Castro M.P.P., and Carvalho C.E.M. Alpha particle bias ionization in a pulsed nitrogen laser // Appl. Phys. B: Lasers and Optics.- 2004.- Vol.78.- №3-4.- P.421^24.

52. Rahimian K., Ghoreyshi S., and Hariri A. Behavioral studies of gain and saturation energy density in a N2 laser with corona preionization // Laser Physics. 2006.- Vol.16.- №3.- P. 447-454.

53. Panchenko A.N., Tel'minov A.E., and Tarasenko V.F. Long-pulse excimer and nitrogen lasers pumped by generators with inductve energy storage // Известия ВУЗов. Физика.- 2006.- T.49.- №11. Приложение.- С. 476-479.

54. Kunabenchi R.S., Gorbal M.R. and Savadatti M.I. Nitrogen Lasers // Progress in Quantum Electronics.- 1984.- Vol.9.- №4.- P. 259-329.

55. Lofthus A. and Krupenie P. H., The Spectrum of Molecular Nitrogen // Journal of Physical and Chemical Reference Data.- 1977.- Vol.6.- №1.-P.l 13-307.

56. McFarlane R.A. Observation of а 'П-1Е" Transition in the N2 Molecule // Phys. Rev.- 1965.- Vol.140.- №4A.- P. A1070 A1071.

57. McFarlane R.A. Measurements on the wlAu^a'ng Transition in Molecular Nitrogen // Phys. Rev.- 1966.- Vol.146.- №1.- P. 37-39.

58. Tagliaferri A.A., Gallardo M., Massone C.A., Garavaglia M. UV stimulated emission from N2 and NO // Physics Letters A.- 1973.- Vol.45.- №3.- P. 211212.

59. McFarlane R.A. Precision spectroscopy of new infrared emission system of molecular nitrogen // IEEE J. Quant. Electr.- 1966.- Vol.QE-2.- №8.- P. 229232.

60. Basov N.G., Danilychev V.A., Dolgikh V.A., Kerimov O.M., Lobanov A.M. and Suchkov A.F. Ultraviolet high-pressure laser using an Ar+N2 mixture // JETP Lett.- Vol.20.- №2.- P. 53-54.

61. Golden J., Eden J.G., Mahaffey R.A., Pasour J.A., AH A.W., and Kapetanakos C.A. Intense proton-beam-pumped Ar-N2 laser // Appl. Phys. Lett.- 1978.- Vol.33.- №2.- P.143-146.

62. Dube A., Jayasankar K., Prabakaran L., Kumar V., and Gupta P.K. Nitrogen laser irradiation (337 nm) causes temporary inactivation of clinical isolates of Mycobacterium tuberculosis // Lasers in Medical Science.- 2004.- Vol. 19.-№1.-P. 52-56.

63. Dadgea W.J., Krishnamurthy V.N., and Aiyera R.C. Nitrogen laser induced fluorescence in laser dyes for sensing of organic compounds // Sensors and Actuators B: Chemical.- 2006.- Vol. 113.- №2.- P. 805-808.

64. Rebhan U., Hildebrandt J., and Skopp G. A High Power N2-Laser of Long Pulse Duration // Applied Physics A: Material Science&Processing.- 1980.-Vol.23.- №4.- P. 341-344.

65. Буранов C.H., Горохов B.B, Карелин В.И. Репин П.Б. Электроразрядный ^-лазер с добавками SF6 и Не // Квантовая электроника.- 1990.-Т.17.-№2.-С. 161-163.

66. Armandillo Е., Kearsley A.J., High-power nitrogen laser // Appl. Phys. Lett.-1982.-Vol.41.-№7.-P. 611-613.

67. Sanz F.E., Perez J.M.G. A high power high energy pure N2 laser in the first and second positive system // Appl. Phys. В.- 1991.- Vol.52.- №1.- P.42-45.

68. Dong Hwan Kim, Hong Chu, Young Min Jhon, and Sang Sam Choi, Controllable pulse duration of a XeCl laser // Rev. Sci. Instrum.- 1994.-Vol.65.- №12.- P. 3634-3638.

69. Efthimiopoulos Т., Radzewiczt C., and Katharakis M. An auto-pre-pulse and long-pulse XeCl laser //Meas. Sci. Technol.- 1995.- Vol.6.- №2.- P. 167-169.

70. Панчеко А.Н. Тарасенко В.Ф. Накачка газовых лазеров от генератора с индуктивным накопителем // Квантовая электроника.- 1990.- Т. 17.- №1.-С. 32-34.

71. Ломаев М.И., Тарасенко В.Ф. ^-лазер с накачкой от генератора с индуктивным накопителем энергии и полупроводниковым прерывателем тока // Квантовая электроника.- 1995.- Т. 22.- №5.- С. 441-442.

72. Бакшт Е.Х., Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Эффективный-длинноимпульсный XeCl лазер с предимпульсом формируемым индуктивным накопителем энергии // Квантовая электроника.- 2000.-Т.ЗО.- № 6.- С. 506-508.

73. Басов В.А., Коновалов И.Н. Электроразрядный ХеС1-лазер с КПД 4% и энергией генерации 14 Дж // Квантовая электроника.- 1996.- Т.23,- №9.-С. 787-790.

74. Балбоненко Е.Ф., Басов В.А., Коновалов И.Н., Сак К.Д., Червяков В.В. Источник мягкого рентгеновского излучения для электроразрядного эксимерного лазера // ПТЭ.- 1994.- №4.- С. 112-114.

75. Ломаев М.И., Мельченко С.В., Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Нестационарный режим возбуждения электроразрядных эксимерных лазеров // Изв. АН СССР. Серия физическая.- 1984.- Т48.- №7.- С. 13851388.

76. Makarov, Bonnet J., Pigache D. High efficiency discharge-pumped XeCl laser // Appl. Phys. В.- 1998.- Vol. 66.- №4.- P.417-426.

77. Панченко A.H., Тарасенко В.Ф., Тельминов A.E. Эффективный электроразрядный XeF лазер с накачкой от генератора с индуктивным накопителем энергии // Квантовая электроника.- 2006.- Т.36.- №5.- С. 403-407.

78. Trentelman М., Peters P.J.M., Mei Q.-C., and Witteman W.J. Gas-discharge XeF (B—>X) laser excited by a prepulse-main-pulse circuit with magneticswitching // Journal of Optical Society of America, В.- 1995.- Vol.12.- №12.-P.2494-2501.

79. Рукин C.H. Генераторы мощных наносекундных импульсов с полупроводниковыми прерывателями тока// ГГГЭ.- 1999.- №4.- С. 5-36.

80. Верховский B.C., Мельченко С.В., Тарасенко В.Ф. Генерация на молекулах ArF*, KrCl*, XeCl* и XeF* при возбуждении быстрым разрядом // Квантовая электроника.- 1981.- Т.8.- № 2.- С. 417-419.

81. Баранов В.Ю., Борисов В.М., Кирюхин Ю.Б., Степанов Ю.Ю. Об изменении характеристик электроразрядного XeF — лазера при увеличении давления // Квантовая электроника.- 1978.- Т.5.- №10.ч1. С. 2285-2289.

82. Sadighi-Bonabi R., Lee F.W., and Collins C.B. Gain, saturation, and optimization of the XeF discharge laser // J. Appl. Phys.- 1982.- Vol.52.-№12.- P. 8508-8515.

83. Mandl A., and Litzenberger L. XeF laser at a high electron beam pump rate // Appl. Phys. Lett.- 1987.- Vol.51.- №13.- P. 955-957.

84. Nishida N., and Tittel F.K. Intrinsic efficiency comparison in various low-pressure XeF laser mixtures pumped at high excitation rates and with short-pulse electron beam pumping // Appl. Phys. Lett.- 1988.-'Vol.52.- №22.- P. 1847-1849.

85. Mandl A., XeF(B X) long-pulse laser studies // J. Appl. Phys.- 1992.-Vol.71.- № 4.- P.1630-1637.

86. Bigio I J., and Begley R.F. High-power visible laser action in neutral atomic fluorine // App. Phys. Lett.- 1976.- Vol.28.- №5.- P.263-264.

87. Ниген У. Газовые лазеры /Под ред. И. Мак-Даниэль.- М.: Мир, 1986.552 с.

88. Баранов В. Ю., Борисов В. М., Степанов Ю. Ю. Электроразрядные эксимерные лазеры на галогенидах инертных газов.- М.: Энергоатомиздат, 1988.-216 с.

89. Mesyats G.A., Osipov V.V., Tarasenko V.F. Pulsed gas lasers // SPIE. Opt. Eng. Press: Bellingham, Washington, USA.- 1995.-374 p.

90. Станкевич Ю.Л., Калинин В.Г. Быстрые электроны и рентгеноское излучение в начальной стадии развития импульсного искрового разряда в воздухе // ДАН СССР.- 1967.- Т. 177.- №1.- С. 72-73.

91. Noggle R.C., Kriger Е.Р., Way Land I.R. A search for X-rays from helium and air discharges at atmospheric pressure // J. Appl. Phys.- 1968.- V.39.-№10. -P. 4746-4748.

92. Тарасова Л.В., Худякова Л.Н. Рентгеновское излучение при импульсных разрядах в воздухе // ЖТФ.- 1969.- Т. 39.- С. 1530-1533.

93. Павловский А.И., Босамыкин B.C., Карелин В.И., Никольский B.C. Электроразрядный ОКГ с инициированием в активном объеме // Квантовая электроника.- 1976.- Т. 3.- №5.- С. 601-603.

94. Буранов С.Н., Горохов В.В., Карелин В.И., Павловский А.И., Репин П.Б. Широкоапертурный источник рентгеновского излучения для предыонизации электроразрядных лазеров большого объема // Квантовая электроника.- 1991.-Т. 18.- №7 .- С. 891-893

95. Павлинский Г.В. Физика рентгеновского излучения: сборник задач.-Иркутск: ИГУ, 2003.- 47 с.

96. Saloman E.B., Hubbell J.H. and Scofield J.H. X-Ray Attenuation Cross Sections for Energies 100 eV to 100 keV and Elements Z = 1 to = 92 // At. Data Nucl. Data Tables. 1988.-Vol. 38.- P. 1-197.

97. Алексеев С.Б., Бакшт E.X., Костыря И.Д., и др. УФ лазеры на смесях N2-SF6 и N2-NF3 с накачкой поперечным и продольным разрядом // Квантовая электроника.- 2004.- Т. 34.- № 11.- С. 1033-1039.

98. Bruno Godard. A simple High-Power Large-Efficiency N2 Ultraviolet Laser // IEEE Journal of Qantum Electronics.- 1974.- Vol. 10.- №2.- P. 147-153.

99. Rebhan U., Hildebrandt J., Skopp G. A High power N2-laser of long pulse duration // Applied Physics. 1980. Vol. 23.- №.11.- P. 341-344.

100. Fletcher C.A.J. Computational Galerkin Methods // Springer.- 1984.- New York.

101. Panchenko A.N., Tel'minov A.E., and Tarasenko V.F. Efficient discharge lasers with semiconductor opening switch in pumping circuit // Proc. XIII ICMAR, Partr II.- Novosibirsk, Russia.- 2007.- P. 137-142.

102. Энциклопедия низкотемпературной плазмы / Под ред. В.Е. Фортова.-М.:, Наука, 2000.- T.III. с 263.

103. Панченко A.H., Тарасенко В.Ф., Тельминов A.E. Рентгеновское излучение искровой системы предыонизации и плазмы объемного разряда в лазере с индуктивным накопителем энергии // Квантовая электроника.-2007.- Т.37.- №1.- С. 103-107.

104. Herron T.J. Evaluated Chemical Kinetics Data for Reactions of N(2D), N(2P), and N2 (A3E+U) in the Gas Phase // J. Phys. Chem. Ref. Data.- 1999.-Vol.28.- №5.- P.1453-1483.

105. Химия плазмы / Под ред. Б.М. Смирнова. М.: Энергоатомиздат, вып. 10.- 1983.- С. 108.

106. Коссый И.А., Костинский А.Ю., Матвеев А.А., Силаков В.П. Плазмохимические процессы в азотно-кислородной смеси // Труды ИОФАН. 1994. - Т. 47. - С. 37-57.

107. Nandi D., Rangwala S.A., Kumar S.V.K., Krishnakumar E. Absolute cross sections for dissociative electron attachment to NF3 // International Journal of Mass Spectrometry.- 2001.- Vol. 205.- №1-3.- P. 111-117.

108. Christophorou L.G., and Olthoff J.K. Electron attachment cross sections and negative ion states of SF6 // International Journal of Mass Spectrometry.-2001.- Vol.205.- № 1-3 P.27-41.

109. ПЗ.Панченко A.H., Тарасенко В.Ф., Тельминов A.E. УФ азотный лазер с накачкой поперечным разрядом, формирующий двойные импульсы генерации // Оптика атмосферы и океана.- 2006.- Т.19.- №2-3.- С. 178181.

110. Suchard, S. N., Galvan L., and Sutton D. G.Quasi-cw laser emission from the second positive band of nitrogen // Appl. Phys. Lett.- 1975.- Vol.26.- №9.-P. 521-523.

111. Лосев В.Ф., Тарасенко В.Ф. Влияние добавок SF6 на характеристики N2-лазера // ЖТФ.- 1976.- Т. 46.- № 10.- С.2202 2204.

112. Panchenko A.N., Tarasenko V.F., TePminov А.Е. UV and an IR lasers pumped by generators with inductive energy storage // Proc. 15th Int. Symp. on High Current Electronics.- 2008.- P. 526-529.

113. Коновалов И.Н., Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф., Тельминов А.Е. Широкоапертурный электроразрядный азотный лазер // Квантовая электроника.- 2007.- Т.37 №7.- С. 623-627.

114. Буранов С.Н., Горохов В.В., Карелин В.И., Репин П.Б. Электроразрядный N2- лазер с добавками SF6 и Не // Квантовая электроника.- 1990.- Т. 17.- № 11.- С. 161.

115. Ломаев М.И., Тарасенко В.Ф., Верховский B.C. УФ-генерация в азоте и смесях N2 Не (Ne, Ar, NF3) при накачке поперечным разрядом // Электронная техника. Лазерная техника и оптоэлектроника.- 1991.-вып. 1.(57).- С. 58-62.

116. Tzolov V.P., Grozdanov К.A., Atanasov P.A. Nitrogen laser employing twin sliding discharges // J. of Appl. Phys.- 1994.- Vol.75.- №2.- P.1210-1212.

117. Аполлонов В.В., Ямщиков В.А. К вопросу об эффективности электроразрядного ^-лазера // Квантовая электроника.- 1997.- Т.24.-№6.- С. 483-486.

118. Тарасенко В.Ф. Эффективность азотного УФ лазера с накачкой самостоятельным разрядом // Квантовая электроника.- 2001.- Т.31.- № 6.-С.489^494.