Генерация ионов при воздействии импульсных электрических полей и токов на многокомпонентные поверхностные структуры тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.04, доктор физико-математических наук Цыбин, Олег Юрьевич

• Цыбин, Олег Юрьевич
• доктор физико-математических наук
• 2003

Оглавление диссертации доктор физико-математических наук Цыбин, Олег Юрьевич

Страница

Введение.

Глава 1. Способ ЭПГИ на МПС в вакууме и методы исследования.

1.1. Способы генерации ионов на поверхности твердого тела в вакууме.

1.1.1. Электродинамическое возбуждение поверхности.

1.2 . Методы исследования характеристик потоков заряженных частиц.

1.2.1. Масс-спектральный анализ.

1.2.2. Анализ пространственных распределений.

1.2.3. Регистрация ионных сигналов.

1.3. Комплекс экспериментальных приборов и установок.

1.4. Выводы.

Глава 2. Генерация ионов на поверхности эффективных термоэмиттеров в режиме электронной эмиссии.

2.1. Характеристики эффективных термоэмиттеров.

2.2. Методика прямой экстракции частиц с поверхности катода.

2.3. Экспериментальные приборы и установки.

2.4. Результаты измерений и анализ характеристик генерации ионов в режиме электронной термоэмиссии.

2.5. Выводы

Глава 3. Генерация ионов с ионизацией распыленных частиц в приповерхностном электрическом поле.

3.1. Характеристики потока частиц в прикатодной области электронной пушки.

3.2. Генерация ионов на эмиттере из углеродных волокон.

3.3. Анализ процесса рециклинга в электростатическом диоде.

3.4. Выводы.

Глава 4. Электродинамическая десорбция газов с поверхности электропроводящих образцов. газов.

4.3. Особенности масс-спектральных характеристик десорбированных потоков частиц

4.4. Выводы

Глава 5. Получение ионов при импульсной стимулированной десорбции макромолекул.

5.1 . Методы формирования и характеристики макромолекулярных проб на поверхностях образцов.

5.2 . Ионные сигналы десорбированных частиц.:.

5.3 . Выводы.:.

Глава 6. ЭПГИ в импульсном электрическом разряде на поверхности диэлектрика.

6.1. Методы исследований и аппаратура.

6.2. Характеристики ионных потоков, генерируемых на поверхности диэлектриков.

6.3. Выводы.

Глава 7. Процессы ЭПГИ в МПС.

7.1. Выводы.

Глава 8. Процессы ЭПГИ в МПС в ЭВП.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Генерация ионов при воздействии импульсных электрических полей и токов на многокомпонентные поверхностные структуры»

Диссертация посвящена процессам поверхностной генерации ионов (ПГИ) при быстрой диссипации высокочастотной (ВЧ и СВЧ диапазонов) электромагнитной энергии, поступающей от внешних источников, на поверхности твердого тела в вакууме. Рассматриваются стимулированные фазовые переходы, в результате которых адсорбированные частицы освобождаются и покидают поверхность в различных зарядовых состояниях. Это направление принадлежит к приоритетным фундаментальным исследованиям и их приложениям в физической электронике, включающим взаимодействие ионов с поверхностью, физику и диагностику поверхности и потоков частиц, а также физику процессов в электронных вакуумных приборах (ЭВП), ионных источниках (ИИ) масс-спектрометров (МС) и др. Физика и техника ПГИ находятся в стадии развития, перед ними ставятся новые задачи, например, относящиеся к получению и исследованию макромолекулярных ионов. Состояние поверхности в виде многокомпонентной поверхностной структуры (МПС), содержащей адсорбированные атомные и многоатомные частицы в различных зарядовых состояниях, поверхностные дефекты и т.д., является наиболее распространенным в вакуумных устройствах, однако характеризуется сложностью и недостаточной изученностью. Несмотря на широкие исследования и применения известных методов ПГИ (корпускулярных, лазерных, полевых, химических, плазменных, термических, и др.), требуются новые эффективные способы генерации ионов и методы их исследования, особенно в сочетании с МПС. Построение детальной микроскопической картины ПГИ необходимо для развития фундаментальных физических представлений и их прикладного использования. Тема данной диссертации, в которой созданы такие способы, основанные на воздействии импульсных распределенных электрических полей и токов (ИРЭПТ), основные спектральные составляющие которых находятся в диапазоне частот МГц-ГГц (ВЧ ИРЭПТ), на МПС, а также методы их исследования, основанные преимущественно на масс-спектральном анализе (МСА), выявлены фундаментальные физические эффекты и построены прикладные решения электродинамической ПГИ (ЭПГИ), представляется актуальной. Целями диссертации явились:

• создание способа и устройств реализации ЭПГИ в МПС;

• создание методов исследования физических процессов, происходящих при этой генерации;

• построение комплекса знаний о физике ЭПГИ в МПС и выявление способов практических применений этих знаний.

В соответствии с указанными целями определены основные задачи: разработка способа и устройств реализации ЭПГИ, основанных на воздействии ВЧ ИРЭПТ на МПС в вакууме, а также методов исследования потоков частиц, переходящих из адсорбированного состояния на поверхности в ионизованную газовую фазу в вакууме; получение основных экспериментальных характеристик процессов преобразования ансамбля частиц из адсорбированного состояния в ионизованную газовую фазу при воздействии ВЧ ИРЭПТ на МПС в вакууме, и формирование на этой основе комплекса теоретических знаний о закономерностях ЭПГИ; применение созданных физических представлений для анализа процессов ЭПГИ и сопутствующих явлений в ЭВП; разработка прикладных физико-технических решений на основе созданных физических представлений и результатов анализа.

Научная новизна полученных и представленных в диссертации результатов работы.

Принципиально новыми являются следующие результаты:

1. Созданы способ и устройства реализации эффективной ЭПГИ при воздействии ВЧ ИРЭПТ на МПС в вакууме.

2. Разработаны и апробированы методы исследования процессов ЭПГИ, обладающие масс-спектральным (М-Сп), динамическим и пространственным разрешением в системах с высокой плотностью потоков мощности; способы диагностики МПС, а также активных сред и физических явлений в ЭВП.

3. Выявлены и изучены не известные ранее физические эффекты десорбции атомных и многоатомных ионизованных и нейтральных частиц с МПС металлических, полупроводниковых, диэлектрических и композиционных образцов, обусловленные ЭПГИ.

4. Получены с М-Сп разрешением характеристики ЭПГИ из поверхностных слоев электродов в рабочем объеме ЭВП, определено влияние генерации ионов на особенности физических явлений и предельно-достижимые значения параметров, в том числе на формирование активной среды, нестабильности высоковольтных зазоров, качество получаемых электронных и ионных пучков.

5. На основе полученных результатов предложены способы управления параметрами физических процессов в ЭВП, включающие выбор режимов и применение специальных видов пространственного распределения электрического поля.

Достоверность полученных результатов обеспечивается использованием широкого набора различных экспериментальных установок и приборов, тщательной отработкой комплекса различных методик исследования, многократной проверкой получаемых данных, заблаговременной широкой апробацией и публикацией результатов, сопоставлением с данными, имеющимися в научно-технической литературе.

Научная значимость диссертационной работы состоит в том, что в ней получили развитие физические представления, относящиеся к энергетическим возбуждениям в твердом теле, создаваемым воздействием ВЧ ИРЭПТ, к процессам релаксации в объеме и на поверхности, фазовым переходам на поверхности, кинетике стимулированной десорбции, ионизации, фрагментации и синтезу частиц. Эти представления аналитически и непротиворечивым образом дополняют имеющиеся физические знания, расширяют подготовленность научной базы к дальнейшему развитию фундаментальных знаний, а также методов исследований и технологий. Они могут быть использованы для интерпретации ряда соответствующих физических явлений в физике твердого тела, физической электронике, микроэлектронике и т.д. Развиты новые методические решения, которые расширяют возможности исследований поверхности, активных сред, ионообразования, формирования потоков частиц.

Практическая ценность диссертационной работы состоит в том, что ее результаты могут быть непосредственно использованы (например, обзоры [14]) при разработке и использовании экспериментальных методов в диагностике поверхности и физике твердого тела, где позволят получать более широкую и подробную научную информацию, относящуюся к генерации ионов и быстрым процессам энергетического активирования образцов. На основе созданных физических представлений разработаны и испытаны новые технологии, включающие диагностику электронных и ионных пучков, конструирование ЭВП, в том числе электронных пушек, импульсных ИИ для МС. Результаты могут быть использованы при разработке ЭВП, где позволят улучшить предельно-достижимые параметры и получить новые функции, в том числе повысить качество активной среды, надежность и долговечность устройств, а в МС - реализовать новый класс ИИ, в частности, необходимых для исследования макромолекул.

В настоящее время указанные результаты используются в учебных курсах и научных исследованиях в СПбГГТУ.

Основные положения, выносимые на защиту;

Десорбция атомных и многоатомных частиц из связанного состояния в МПС в газовую фазу в вакууме в различных зарядовых состояниях осуществляется воздействием ВЧ ИРЭПТ при плотности потока мощности выше порогового значения на твердотельные МПС с металлическими, полупроводниковыми, диэлектрическими и композиционными подложками в широком семействе электродинамических устройств: волноводных, контактных, индукционных, эмиссионных, инжекционных и разрядных, что явилось основой созданного способа реализации ЭПГИ.

Разработанные методы позволяют осуществлять исследования процессов ЭПГИ, в том числе измерять М-Сп, пространственные и динамические характеристики в системах с высокой плотностью потоков мощности, а также параметры состояния твердотельных МПС, активных сред и физических явлений в ЭВП.

Обнаружены и изучены эффекты генерации атомных и многоатомных ионизованных и нейтральных частиц, обусловленной активирующим воздействием ВЧ ИРЭПТ на МПС в вакууме с металлическими, полупроводниковыми, диэлектрическими и композиционными подложками, в том числе выявлены:

-Десорбция отрицательных ионов и нейтральных частиц с поверхности эффективного термоэмиттера (ЭТ), стимулированная отбираемым током в режиме импульсной эмиссии электронов.

-Процесс рециклинга, т.е. приповерхностного переноса атомных и многоатомных частиц по замкнутому циклу, включающему распыление, ионизацию распыленных частиц и их ускорение в электрическом поле, который при определенных условиях нарастает с интенсивным самораспылением и выходом кластеров.

-Десорбция с электропроводящих поверхностей металлов и полупроводников адсорбированных газов и осажденных молекул, характеризуемая быстрым (безинерционным) отрывом частиц, наличием нейтральной, положительной и отрицательной ионизованных составляющих в эжектированной парогазовой фазе, явлениями формирования прочной поверхностной фазы, матричного усиления выхода макромолекул, наличием корреляции между экспериментальными и известными параметрами масс-спектров частиц.

- Две последовательные стадии импульсной ЭПГИ на МПС пьезодиэлектриков и полимеров, причем состав экстрагируемого потока зависит от времени, типа диэлектрика и от определенного набора контролируемых факторов: плотности потока мощности на поверхность, флуэнса, способа подготовки поверхности.

4. В рабочем объеме ЭВП преобразование в парогазовую фазу атомных и многоатомных ионизованных и нейтральных частиц из поверхностных слоев электродов, обусловленное активирующим действием ВЧ ИРЭПТ, влияет на протекание физических процессов и предельно достижимые значения параметров и характеристик, в том числе на стабильность высоковольтных зазоров, формирование прочной поверхностной фазы в режимах тренировки, внутриимпульсную динамику ионной компоненты. Генерация ионов при отборе тока термоэмиссии позволяет осуществлять диагностику ЭТ. Приповерхностный рециклинг является основой построения ИИ с интенсивным самораспылением, а также метода диагностики качества ЭВП.

Апробация работы Материалы диссертации прошли апробацию в виде лекций и докладов на более чем 40 научных конференциях, семинарах, симпозиумах, школах и других мероприятиях в России и за рубежом, в том числе: 4й Всесоюзный симпозиум по сильноточной электронике, Томск, 1982г.; Десятая научная конференция «Электроника СВЧ», Минск, 1983г.; 11-я Межвузовская конференция по электронике СВЧ, Орджоникидзе, 1986г.; Семинар «Диагностика поверхности ионными пучками», Донецк, 1988г.; "Методы и средства диагностирования изделий электронной техники", -Всесоюзная конференция, М., 1989г.; 6й Всесоюзный семинар

Высокочастотная релятивистская электроника", Свердловск, 1989 г.; 7-я Всесоюзная Конференция по плазменным ускорителям и ионным инжекторам. - Харьков, 26-28 сентября 1989 г.; 5, 6, 7, 8, 9 и 10 -я Зимняя школа-семинар по электронике СВЧ и радиофизике, Саратов, СГУ, 1981 -1995 г.г.; 8 Всесоюзный симпозиум по сильноточной электронике. Свердловск, УрО АН, 1990г.; Десятый семинар по методам расчета электронно-оптических систем, Львов, 1990г.; «Волновые и колебательные явления в электронных приборах О-типа», Всесоюзный Семинар: Л., 1990г.; «Диагностика поверхности ионными пучками», Всесоюзный Семинар-совещание, М., 1990г.; Всесоюзный семинар по вторичной ионной и ионно-фотонной эмиссии, Харьков, 1991г.; 20я Международная конференция по явлениям в ионизованных газах, Пиза, Италия, 1991г.; 21я Всесоюзная конференция по эмиссионной электронике. Л., 29-31 января 1991 г.; Десятая, четырнадцатая и пятнадцатая конференции по взаимодействию ионов с поверхностью. Москва, МИФИ, 1991г., 1999г., 2001г.; Российская научно-техническая конференция «Инновационные наукоемкие технологии для России» 25-27 апреля 1995г., СПб, 1995г.; 2я Международная научно-техническая конференция «Вакуумная наука и техника», Гурзуф, 1995г.; Международная научно-практическая конференция « Измерительно-информационные' технологии в охране здоровья - Метромед 95» , СПб, СПбГТУ, 1995г.; Метромед -99, СПб, СПбГТУ, 1999г.; 11я Международная конференция по мощным пучкам частиц, Прага, 1996г.; Вторая

Международная конференция по проблемам физической метрологии ФИЗМЕТ-96, СПб, 1996г.; 2я, Зя, 4я и 5 я Научно-технические конференции «Фундаментальные исследования в технических университетах», СПб, СПбГТУ, 1998г., 1999г., 2000г., 2002г.; 2я Республиканская конференция по Физической Электронике. Ташкент, 1999г.; «Российские технологии для индустрии»- Международное совещание, СПб., 2000г.; Международная конференция «Десорбция -2000», Сан-Мало, Франция, 2000г.; Международная конференция «Десорбция -2002», Колорадо, США, 2002г.; Всероссийская научно-методическая конференция, СПб, СПбГТУ, 2000г. Работа была доложена и обсуждалась на совместных семинарах-совещаниях СПбГТУ - ФТИ РАН, на семинарах в НТО АП, НПО Исток, ИПФАН ( 1988 -1999г.), а также в Университетах Уппсала, Швеция (1999 г.), Йоэнсуу, Финляндия (2001 г.), Вилмингтон, Северная Каролина, США (2001 г.). Публикации

По материалам диссертации опубликованы 62 работы, в том числе 18 статей в журналах и сборниках (Известия АН, ЖТФ, ПЖТФ, и др.), монография (Издательство СПбГТУ, 1991г.), 35 публикаций в трудах конференций, 8 авторских свидетельств на изобретения. Основные публикации по теме диссертации приведены в списке литературы.

Исследования, представленные в диссертации, выполнены в ЛПИ-СПбГТУ-СПбГПУ в период приблизительно с 1980 года по настоящее время. Кроме того, циклы измерений проведены в ФТИ РАН (СПб), ОИЯИ (Дубна),

Ангстрем Лаборатория (Университет Уппсала, Швеция). Все основополагающие идеи диссертации инициированы и сформулированы автором самостоятельно. Экспериментальные результаты получены в основном с помощью студентов и аспирантов, научным руководителем работы которых являлся автор. По этим материалам успешно защищены две диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук, более 20 дипломных работ и магистерских диссертаций. Значительная часть результатов, полученных в диссертационной работе, была использована при выполнении НИР на кафедре Физическая электроника в совместных программах с НТО АП РАН (СПб), ИПФ АН (Нижний Новгород), НПО ИСТОК (Фрязино), ОИЯИ (Дубна), Исследовательским Центром INR (Карлсруэ, Германия), Университетом Уппсала (Швеция). Автор являлся ответственным исполнителем и научным руководителем этих НИР. Работа была поддержана грантом научной программы "Университеты России" в 1992-94 гг., в 2000 - 2002 гг. являлась частью работ, выполняемых по программе "Приоритетные направления научных исследований в высшей школе". Начиная с 2002 года, исследования поддержаны грантом Федеральной целевой программы «Интеграция науки и высшего образования». Структура диссертации

Диссертация состоит из введения, восьми глав, заключения, списков основных публикаций (62 наименования) и цитируемой литературы (286

Заключение диссертации по теме «Физическая электроника», Цыбин, Олег Юрьевич

ИТОГОВЫЕ ВЫВОДЫ И ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Важнейшие результаты диссертационной работы в целом составляют новое научное направление "Электродинамическая поверхностная генерация ионов", имеющее значительные перспективы дальнейшего научно-технического развития:

1. Создан комплекс электродинамических способов активирующего воздействия ВЧ ИРЭПТ на твердотельные МПС, в результате которого достигается эффективная ЭПГИ, т.е. преобразование атомных и многоатомных частиц из адсорбированного состояния в открытой системе «подложка - адсорбат» в газовую фазу с различными зарядовыми и структурными состояниями. Разработаны и испытаны электродинамические ионные источники с активирующими ПВТ: волноводные, контактные, индукционные, инжекционные, эмиссионные, распылительные, разрядные. Использованы МПС на подложках из металлов, полупроводников, композиционных материалов, диэлектриков.

2. Разработан метод прямой экстракции в МС атомных и многоатомных ионизованных и нейтральных частиц из вакуумного объема с высокой концентрацией энергии электрических полей и токов, позволяющий определять состав частиц в МПС и активных средах ЭВП. Сочетание способа ЭПГИ и разработанных методов анализа потока ионов явилось эффективным способом исследований физических процессов в ансамбле адсорбированных и десорбируемых частиц.

3. Обнаружены и изучены физические эффекты генерации атомных и многоатомных ионизованных и нейтральных частиц, обусловленной активирующим воздействием ВЧ ИРЭПТ на металлические, полупроводниковые, диэлектрические и композиционные подложки многокомпонентных поверхностных структур в вакууме, в том числе выявлены:

-Десорбция отрицательных ионов и нейтральных частиц с поверхности ЭТ в режиме импульсной эмиссии электронов, стимулированная отбираемым током.

-Процесс рециклинга, т.е. приповерхностного переноса атомных и многоатомных частиц по замкнутому циклу, включающему распыление, ионизацию распыленных частиц и их ускорение в электрическом поле, характеризуется при определенных условиях спонтанным нарастанием по типу неустойчивости с интенсивным самораспылением и выходом кластеров. Может служить основой ИИ, а также метода диагностики качества ЭВП. - Десорбция с электропроводящих поверхностей металлов и полупроводников адсорбированных газов и осажденных молекул, характеризуемая быстрым (безинерционным) отрывом частиц, наличием нейтральной, положительной и отрицательной ионизованных составляющих в эжектированной парогазовой фазе, явлениями формирования прочной поверхностной фазы, матричного усиления выхода макромолекул, наличием корреляции между экспериментальными и известными параметрами масс-спектров частиц. - Две последовательные стадии импульсной ЭПГИ на МПС пьезодиэлектриков и полимеров, причем состав экстрагируемого потока зависит от времени, типа диэлектрика и от определенного набора контролируемых факторов: плотности потока мощности на поверхность, флуэнса, способа подготовки поверхности.

4. В рабочем объеме ЭВП преобразование в парогазовую фазу атомных и многоатомных ионизованных и нейтральных частиц из поверхностных слоев электродов и изоляторов, обусловленное активирующим воздействием ВЧ ИРЭПТ, является фактором, воздействующим на протекание физических процессов и предельно-достижимые значения параметров и характеристик, в том числе на стабильность высоковольтных зазоров, формирование прочной поверхностной фазы в режимах тренировки, внутриимпульсную динамику ионной компоненты, качество активной среды и электронных пучков.

5. На основе полученных результатов предложены способы управления параметрами физических процессов в ЭВП, включающие выбор режимов и применение специальных видов пространственного распределения электрического поля.

Представляется, что метод ЭПГИ имеет перспективы аналитического применения в диагностике поверхности и масс-спектрометрии. Генерация ионов при отборе тока термоэмиссии позволяет осуществлять диагностику ЭТ. Приповерхностный рециклинг является основой построения ИИ с

289 интенсивным самораспылением, а также метода диагностики качества ЭВП. Полученные знания могут оказать положительное воздействие на расширение имеющейся научной базы, развитие физических представлений в смежных областях науки, например, в области экологии и медицины [59-62], а также таких технологий, как микроэлектроника, техника ЭВП, ИИ и МС.

Список литературы диссертационного исследования доктор физико-математических наук Цыбин, Олег Юрьевич, 2003 год

1. Цыбин О.Ю. Свободные кластеры и малые частицы в электронных вакуумных устройствах. /Проблемы физической электроники. Л., ФТИ АН, 1989г., с.94-118.

2. Цыбин О.Ю. Многоатомные агрегации в электронных вакуумных приборах. Лекции по электронике СВЧ и радиофизике. Саратов, СГУ, 1989, с.98-105.

3. Цыбин О.Ю. Фундаментальные исследования в области ионной физики и их прикладные применения. Материалы Зй Всероссийской конференции "Фундаментальные исследования в технических университетах", 10-11 июня 1999 года, СПбГТУ, СПб, 1999, с.86-87.

4. Лукша О.И., Цыбин О.Ю. Исследование характеристик активной среды в электронно-оптической системе гиротронного типа. В сб.: Физика и диагностика компонентов и активных сред электроники., Труды СПбГТУ, №436, 1991г., с.39-42.

5. Лукша О.И., Цыбин О.Ю. Исследование образования вторичных атомных частиц на катоде электронной пушки. Десятая конференция по взаимодействию ионов с поверхностью. М., МИФИ, 1991г., том 2, с.31-32.

6. Лукша О.И., Цыбин О.Ю. Исследование эмиссии атомных частиц с поверхности термокатода электронной пушки. ЖТФ, №10, 1992, с. 154-159.

7. Лукша О.И., Цыбин О.Ю. Ионная диагностика поверхностей эффективных термоэмиттеров в мощных ЭВП. Научное приборостроение. РАН, СПб., т.2. №4, 1992, с. 35-42.

8. Лукша О.И., Цыбин О.Ю. Диагностика поверхности эффективных термоэмитеров в электронных вакуумных приборах. Вакуумная техника и технология. Т.1., 1993. с.75 87.

9. Лукша О.И., Цыбин О.Ю. Пространственно-временная структура электронного потока в электронно-оптической системе гиротронного типа. Лекции по СВЧ электронике и радиофизике, 9 -я зимняя школа-семинар, Саратов, СГУ. 1993г., с.20-29.

10. Цыбин О.Ю. Влияние кластеров на процессы в структуре электронный поток- поверхность. ЖТФ, 1989, т.59, №3, с.208-210.

11. Малышкин В.Г., Цыбин О.Ю. Расчет прикатодного массопереноса в сильноточном диоде с учетом ионного распыления. Тезисы докладов 8 Всесоюзного симпозиума по сильноточной электронике. Свердловск, УрО АН, 1990г., ч.1, с. 178.

12. Tsybin O. Yu. Polyatomic Aggregation Dynamic Effects in Ionized Active Medium of Vacuum Tubes. International Conference on Phenomena in Ionized

13. Gases. Pisa, Italy, 1991, p. 899.

14. Петров Д.Р., Цыбин О.Ю. Вторичные процессы в МИП. " Диагностика поверхности ионными пучками". Тез. Докл. семинара- Донецк, 1988г., с. 174.

15. Петров Д.Р., Цыбин О.Ю. Вторичные процессы при формировании электронного потока в магнетронно-инжекторной пушке. Электронная техника. Сер. Электроника СВЧ. Вып. 10 (434), 1990 г., с.34-36.

16. Лукша О.И., Цыбин О.Ю., Шешко О.Л. Анализ вторичных частиц при бомбардировке поверхности молибдена комплексом ионов остаточного газа. Всесоюзн. Конф. по эмисс. электронике: Тез.докл.- Л., 1990.- Т.2.-С.180.

17. Цыбин О.Ю. Анализ прикатодного циклического процесса с ионным распылением поверхности. Десятая конференция по взаимодействию ионов с поверхностью. Москва, МИФИ, 1991г., том 2, с. 120-121.

18. Цыбин О.Ю. Способ получения мелкодисперсных частиц вещества в электронном вакуумном приборе. А.с.№ 1547596, приоритет от 1 июля 1987 года, per. 1.11.89г.

19. Ганичев Д.А., Толкачев В.Б., Цыбин О.Ю. Наблюдение эмиссии ионов в сильных СВЧ полях.- 21я Всесоюзн. Конф. по эмиссионной электронике. Тез.докл. Л., 29-31 января 1991 г., Т.1, с.261.

20. Тиранов Б.Л., Толкачев В.Б., Цыбин О.Ю. Пороговые условия эмиссии частиц с поверхности металла при воздействии СВЧ скин-тока. 7-я Всес. Конф. по плазменным ускорителям и ионным инжекторам. Харьков, 2628 сентября 1989 г., с.273.

21. Ганичев Д.А., Толкачев В.Б., Цыбин О.Ю. Масс-спектрометрическая регистрация ионов, образующихся в сильном электрическом поле. Труды СПбГТУ, № 436, 1991г., с.37-39.

22. Лукша О.И., Толкачев В.Б., Цыбин О.Ю. Вторичные частицы и ограничивающие явления в высокочастотных вакуумных релятивистских устройствах. Лекции по СВЧ электронике и радиофизике, 9 -я зимняя школа-семинар, Саратов, СГУ. 1993г., с.45-56.

23. Цыбин О.Ю., Мишин М.В. Исследование процессов эмиссии ионов при индуцировании импульса скин-тока на проводящей поверхности. 2я Международная научно-техническая конференция "Вакуумная наука и техника", Гурзуф, 1995г., с.23.

24. Мишин М.В., Цыбин О.Ю. Десорбция ионов с поверхности металла при индуцировании импульса скин-тока. Письма в ЖТФ, том 22, вып.4, 26 февраля 1996г., с. 21-24.

25. Цыбин О.Ю., Мишин М.В. Анализ состава потока частиц на основе эффекта короткоимпульсной десорбции. Вторая Международная конференция по проблемам физической метрологии ФИЗМЕТ 96, СПб, 1996г., с.174-175.

26. Цыбин О.Ю., Мишин М.В. Исследование быстрой динамики десорбции адатомов с поверхности металла в вакууме. // Фундаментальные исследования в технических университетах . Материалы научно-технической конференции, 16-17 июня 1997г. СПб, СПбГТУ, С.261-262.

27. Цыбин О.Ю., Мишин М.В. Импульсные ионные источники с поверхностным током. // Материалы Всероссийской научно-методической конференции 8-9 июня 2000 года. Санкт Петербургский Государственный технический университет, с.89 90.

28. Youri Tsybin, Oleg Tsybin, Per Hákansson. Theoretical Study of Surface Current Induced Ion Desorption. // Abstracts of "Desorption 2000" International Conference, Sant Malo, France, 3-7 September 2000. P. 0-26.

29. Oleg Tsybin. Short current-pulse induced ion desorption. // Abstracts of "Desorption 2000" International Conference, Sant Malo, France, 3-7 September 2000. P. P-18.

30. Цыбин О.Ю., Цыбин Ю.О., Кравец Н.М. Десорбция ионов при воздействии импульсов поверхностного тока на металлические и полупроводниковые образцы в вакууме. Известия АН, Серия физическая, т. 66, №8, 2002г., с. 1296-1303.

31. Engelko V., Giese Н., Mishin М., Schalk S., Tsybin О. Investigation of the Composition of an Ion Beam Produced Using a Multy Arc Source. // 11th International Conference on High Power Particle Beams, Beams 96, Praque, June 10-14, 1996, p.l 107-1110.

32. Цыбин О.Ю., Мишин M.B. Исследование продуктов взаимодействия плазмы с поверхностью полиэтилена методом масс-спектрометрии. // Материалы 14-й Международной конференции "Взаимодействие ионов с поверхностью". Москва, 1999. с. 242-244.

33. Цыбин О.Ю., Мишин М.В. Масс-спектр потока ионов при воздействии импульсного скользящего разряда на поверхность полиэтилена. II

34. Тезисы докладов 2й Республиканской конференции по Физической Электронике. Ташкент, 3-5 ноября 1999 года, с. 124

35. О.Ю.Цыбин, М.В.Мишин. Состав ионного потока в источнике с импульсным разрядом по поверхности диэлектрика. // Известия АН. Серия физическая, т.64, №4, 2000 г., с.758-760.

36. Соминский Г.Г., Цыбин О.Ю. Анализ процессов десорбции и распыления в высоковольтной магнетронной системе. Труды ЛПИ,- 1989.-№429, с.49-52.

37. Розанов Л.H., Дубинин Б.А., Цыбин О.Ю. Метрологические характеристики масс-спектрометрического течеискателя ТИ -14. Вакуумная техника и технология. Т.11, №1, 2001г., с. 17 22.

38. Цыбин О.Ю. Магнетронно-инжекторная пушка. А.с. №1586447, 15.04.1990г.

39. Цыбин О.Ю., Лукша О.И. Способ настройки электронно-оптической системы прибора магнетронного типа. А.с. № 1586448, 15.04.1990г.

40. Лукша О.И., Цыбин О.Ю. Электронно-оптическая система для СВЧ приборов. А.с. № 1697554, 08.08.1991г.

41. Лукша О.И., Цыбин О.Ю. Электронно-оптическая система гиротронного типа. A.c. № 1686967, 22.06.1991г.

42. Цыбин О.Ю. Способ создания сильноточного электронного пучка. A.c. №1438591, per. 15.07.1988г.

43. Нечаев В.Е., Цыбин О.Ю. Аналитические решения для некоторых нестатических режимов прикатодного потока электронов в скрещенных полях. // Десятый семинар по методам расчета электронно-оптических систем, Львов, 1990г., Тезисы докладов,, с. 109

44. Лукша О.И., Цыбин О.Ю. Исследование колебаний электронного потока в фокусирующем магнитном поле. // Волновые и колебательные явления в электронных приборах О-типа. Всесоюзн. Семинар: Тез.докл.- Л., 1990. с.91.

45. Петров H.H., Цыбин О.Ю. Методы и аппаратура научных исследований в физической электронике. СПбГТУ, 1991г., 66 с.

46. Гульбекян Г.Г., Мельников В.Н., Цыбин О.Ю. Диагностика пучка многозарядных тяжелых ионов с помощью распределенной мишени из малых частиц. Сообщения ОИЯИ, Дубна, Р9-91-558, 1991г., с. 1-6.

47. Архипов A.B., Лукша О.И., Толкачев В.Б., Цыбин О.Ю.- Способ формирования мишени для диагностики пучков заряженных частиц.-А.с. № 1475470, 22.12.1988г.

48. Лукша О.И., Цыбин О.Ю. Многоатомные агрегации в диагностике ЭВП.// Методы и средства диагностирования изделий электронной техники. Всесоюзн. Конф.: Тез. Докл.- М., 1989. с.72.

49. Лукша О.И., Цыбин О.Ю: Применение распределенной мелкодисперсной мишени для анализа структуры электронного потока. Письма в ЖТФ,- 1989,- Т.15., №23.- с.75-78.

50. Цыбин О.Ю., Цыбина М.Л., Маркелов И.М. Способ исследования биологической пробы с поверхности кожи. A.c. № 1772745, рег.01.07.1992г.

51. Цыбин О.Ю. Ионная физика и ее приложения для экологии и медицины. Тезисы докладов 2й Республиканской конференции по Физической Электронике. Ташкент, 3-5 ноября 1999 года, с. 35.

52. Мишин М.В., Цыбин О.Ю. Разработка и испытание масс-спектрометра медицинского назначения. // Сб. докладов Международной научно-практической конференции " Измерительно-информационные технологии в охране здоровья Метромед 95" , СПб, СПбГТУ, 1995г., с.69.

53. БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ ГЛАВА 1

54. Физическая энциклопедия, под ред. Прохорова A.M., М., 1990, с. 185-215.

55. Форрестер А.Т. Интенсивные ионные пучки: Пер. с англ. М.: Мир, 1991. 358с.

56. Браун Я. Физика и технология источников ионов. Пер. с англ. под ред. Машковой Е.С. М., Мир, 1998. 496 с.

57. Габович М.Д., Плешивцев Н.В., Семашко H.H. и др. Пучки ионов и атомов для УТС и технологических целей. М., Энергоатомиздат. 1986.-132с.

58. Семашко H.H. Инжекторы быстрых атомов водорода.// М., Энергоатомиздат.- 1981г.- 167 с.

59. Ионные инжекторы и плазменные ускорители. Ред. Морозов А.И. и Семашко H.H. // М.: Энергоатомиздат, 1990, 256с.

60. Hamilton G.W., Bacal М. Physics and Applications of Charged Particle Beam Sources //IEEE Trans.on Plasma Sei., Y.19, N6, Dec. 1991, PP. 1143-1151.

61. Протасов Ю.С., Чувашев C.H. Физическая электроника газоразрядных устройств: Эмиссионная электроника. М., Высшая школа,- 1992.-464 с.

62. Юрасова В.Е. Взаимодействие ионов с поверхностью. Избранные труды.-М.: 1999.-640с.

63. Взаимодействие заряженных частиц с твердым телом. Сб. под.ред

64. A.Грас-Марти, Г.М.Урбассека, Н.Р.Аристы, и др. Пер.под ред. А.А.Писарева,

65. П.Плешивцев Н.В., Бажин А.И. Физика воздействия ионных пучков на материалы. М.: Вузовская книга, 1998.-392 с.

66. Машкова Е.С., Молчанов В.А. Применение рассеяния ионов для анализа твердых тел. М.: Энергоатомиздат, 1995. - 176 с.

67. Р.А. Бараджиола, Т.Е. Мейди. Взаимодействие заряженных частиц с твердым телом. М.: "Высшая школа". 1994. 752 с.

68. Каминский М. Атомные и ионные столкновения на поверхности металла. М., Мир, 1967г., 306 с.

69. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой ( под ред. Р.Бериша ).-М.: Мир, 1986. 180с.

70. Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел. Сб.статей. Сост. и редактор перевода Е.С.Машкова. -М.:Мир, 1989. 350с.

71. Арифов У.А. Взаимодействие атомных частиц с поверхностью твердого тела. М.: Наука. 1968. 234 с.

72. Э.Зенгуил. Физика поверхности. М., Мир, 1990. 325с.

73. Вудраф Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности. -М.: Мир, 1989,- 568 с.

74. Фелдман JI., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок. М., Мир, 1989,-344 с.

75. Петров H.H., Аброян И.А. Диагностика поверхности с помощью ионных пучков. Л., 1977.132с.

76. Д.Бриггс, М.П. Сикх. Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. М.: Мир, 1987. 387с.

77. И.И.Пронин, М.В.Гомоюнова, Н.С.Фараджев, Д.А.Валдайцев. Визуализация атомной структуры приповерхностной области твердого тела. ЖТФ, т.69, №9, 1999. С.68-71.

78. K.Baudin, C.Deprun, Y.Le Веуес, J.A.Schultz, Ch.Schoppmann and E.A.Schweikert. A Spontaneous Desorption Source for Polyatomic Ion Production.//Rapid Commun.Mass Spectrom. 12, 1998, pp.852-856.

79. Давыдов С.Ю. Термо десорбция адатомов с поверхности металлов, содержащих дислокации. ФТТ, 1977,- т.19.-№8.-С.1418-1421.

80. Агеев В.Н., Бурмистрова О.П., Кузнецов Ю.А. Десорбция, стимулированная электронными возбуждениями. // УФН, 1989г., т. 158, вып.З, с.389 397.

81. Агеев В.Н. Адсорбционно-десорбционные процессы на поверхности твердого тела. //Поверхность. Физика, химия, механика. 1984. №3. с. 5-26.

82. Агеев В.Н. Электронно-стимулированная десорбция и ее применение для изучения адсорбции. // Поверхность. 1982. №4. с. 1-17.

83. Ueda К., Takano A. TOF Spectroscopy for Electron Stimulated Desorption of1.ns from Metal Surf. //OsakaUniv.Techn.Rep.V.38, N 1932, Oct. 1988, pp.217-221.

84. Еловиков С.С., Сушкова Ю.В., Шахурин Е.С., Максимов С.Е. Применение методов электронной спектрометрии и масс-спектрометрии для изучения электронно-стимулированной десорбции. //Поверхность. 1992. №6. с. 99-105.

85. Месяц Г.А., ред. Эмиссионная сильноточная электроника.// Новосибирск, 1984. 234 с.

86. Месяц Г.А. Эктоны. Екатеринбург: УИФ Наука, 1993 - 1994.-Т. 1-3.

87. Литвинов Е.А., Месяц Г.А., Проскуровский Д.И. Автоэмиссионные и взрывоэмиссионные процессы при вакуумных разрядах. // УФН, 1983 г., Т. 139, вып.2, с.265-302.

88. Поляков М.А., Фурсей Г.Н., Широчин Л.А. Интенсивная эмиссия ионов, инициируемая процессом взрывной электронной эмиссии. ЖТФ, 1988, т. 58, № 10, с. 1979-1985.

89. Markus R.B., Ken Chin, Yun Yuan, a.o. Simulation and Design of Field Emitters. // IEEE Transactions on ED, V.37, N6, June 1990, pp. 1545-1550.

90. Shima N., Tsukoda M. Microscopic theory of the field induced desorption // Surf. Sci., 194, 1988, N 1,2, 312-332.

91. Beckey H.D. Principles of Field Ionization and Field Desorption in Mass Spectrometry. //Pergamon Press, Oxford, 1979.

92. Monreal R., Apell S.P. Electromagnetic-field-enhanced desorption of atoms. // Physical Review B. V.41 .N.11. 1990. P.7852-7868.41 .Luke Hanley, Oleg Kornienko, Earl T.Ada, Eric Fuoco and Jennifer L.Trevor

93. Surface Mass-Spectrometry of Molecular Species. JMS, v.34, 1999, pp. 705-723.

94. Miller J.C., Haglund R.F. Laser ablation and desorption. AP, N.Y., 1998, 539p.

95. Грунвальд Э., Дивер Д., Кин Ф. Мощная инфракрасная лазерохимия. М.: Мир, 1981, 135 с.

96. Лазнева Э.Ф. Лазерная десорбция. Ред. Коноров П.П. ЛГУ, 1990. 200с.

97. Вавилов B.C., Кекслидзе Н.П., Смирнов Л.С. Действие излучений на полупроводники. -М.:Наука, 1988.- 137 с.

98. Gotz Т., Bergt М., Hoheisel W., Trager F., Stuke M. Non-thermal laser-induced desorption of metal atoms with bimodal kinetic energy distribution.//Appl.Phys. A63, 1996. P.3 15-320.

99. Анисимов С.И., Имас Я.А., Романов Г.С., Ходыко Ю.В. Действие излучения большой мощности на металлы. Л.: Наука, 1970, 274 с.

100. Honig R.E., Woolston J.R. Laser induced emission of electrons, ions and neutral atoms from solid surface. Appl. Phys. Letters, 1963, v.3, p. 138 - 140.

101. Honig R.E. Mass-spectrometric studies of interaction of laser beams with solids. In: Laser interaction and related plasma phenomena. / H.J Schwarz and H.Hora (Eds.), N.Y.: Academic Press, 1972, Chap.14, p. 423 467.

102. Григоров Л.Н. Лазерно-десорбционная масс-спектрометрия в исследовании поверхностных реакций синтеза низко- и высокомолекулярных соединений. -В кн.: Масс-спектрометрия и химическая кинетика. Ред. Тальрозе В.Л., М.: Наука, 1985, с. 180-191.

103. Plamen A.Demirev. Particle-induced desorption in mass spectrometry. Mass Spectrometry Reviews. 1995, 14, pp.279-308.

104. Alton G.D. Recent advancements in high intensity heavy negative ion sources based on the sputter principle. //Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A287, 1990, pp.139-149.

105. Alton G.D. The sputter-generation of negative ion beams. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B37/38, 1989, pp.45-55.

106. Alton G.D. The sputter-generation of negative ion beams: analytical modelling. // Nuclear Instruments&Methods in Physics Research B40/41, 1989, pp.302-307.

107. Назаров Э.Г, Расулев У.Х. Нестационарные процессы поверхностной ионизации. // Ташкент. "ФАН". 1991. С. 200. .

108. Dean R. Denison. Phonic Desorption.// Journal of Vacuum Science and Technology. V.6, N1, Jan.1969, p.214-216.

109. Krischer С. and Lichtman D. Ultrasonic Surface Wave-Induced Desorption.// Japan. J.Appl.Phys.Suppl. 2, Pt 2, 1974, pp.469-470.

110. Krueger F.R. and other. Desorption Induced Electron Transit. // DIET II Proc. 2-nd Worksheep. Berlin. 1985. Р/271-276.

111. Krueger F.R. A Simple Technique of Ion Generation from Organic Solid by Ultrashort Electric Pulses. // Organic Mass Spectrometry, V. 18, N 10, 1983. P.442-443.

112. Krueger F.R., Feigl P. Method for producing ions from non-volatile substances by means of ultra-short current pulses. Patent DE3303400, H01J49/10, 09.08.1984.

113. Kissel J. and Krueger F.R. Ion Formation by Impact of Fast Dust Particles and Comparison with Related Techniques.// Applied Physics, A-42, 1987, pp.69-85.

114. Мишин M.B. Пространственно-временные и масс-спектральные характеристики ионных потоков в источниках с поверхностным током. Дисс. на соискание ученой степени к. ф-м. наук. Научный руководитель Цыбин О.Ю. Санкт-Петербург, СПбГТУ, 2000г.

115. Болотов В.Е., Зайцев Н.И., Кораблев Г.С., Нечаев В.Е., Соминский Г.Г., Цыбин О.Ю. Исследование возможности диагностики сильноточных релятивистских пучков методом ионного тока.- Письма в ЖТФ, 1980, т.6, вып. 16, стр. 1013-1016.

116. Архипов А.В., Богданов Л.Ю., Воскресенский С.В., Левчук С.А., Соминский Г.Г. Развитие методов диагностики сильноточных электронныхпотоков. В сб. Проблемы физической электроники, JL, ФТИ АН СССР, 1989, с. 28-47.

117. Ng К.Т., Batchman Т.Е., Howrton Р.Н., Veasey D.L., Smith R.S. Cross-field amplitier measurements mith a rotating RJF E-field probe. IEEE Instr. and Measurement. Cont. Boulder, Colo, 1986, N Y., Conf. Rec. p. 257-260.

118. Авиви, Коуэн, Фридленд. Измерение энергии и распределения по скоростям в интенсивных пучках релятивистских электронов, направляемых магнитным полем. // Приборы для научн. исследований, 1986,- №3,- С.29 -31.

119. Диагностика пучков заряженных частиц в ускорителях (Сб. научн. тр. под ред. Слока В.К.) Н РТИ АН СССР,- М., 1984.

120. Kouichi Ono. Beam and Plasma Currents in an Injection of a Short-Pulsed, High-Current Electron Beam into Initially-Neutral Gases. Japanese J. of Appl.Phys. V.18, No 12, 1979. P. 2263-2274.

121. Намкунг, Хойнацки. Измерение эмиттанса электронных пучков с преобладанием влияния пространственного заряда. // Приборы для научных исследований, 1986.- №3.- с.23 -28.

122. Dennis Slaughter, Louis Koppel, Jerel Smith. X-ray diagnostics for current density profiling relativistic electron beams in vacuum and gas.// Journal of Applied Physics, V.59 4,- 15 February 1986.-P. 1013-1021.

123. Комиссаров П.Ю., Михайлов В.Г., Резвов B.A., Скляренко В.И., Унежев В.Н., Юдин Л.И. Бесконтактный измеритель сечения пучка. Одиннадцатое

124. Всесоюзное совещание по ускорителям заряженных частиц, Дубна, 25-27 Окт. 1988 г. Аннотации докладов, Дубна, ОИЯИ, Р9-88-738, 1988, с. 21.

125. M.Kase, I.Yokoyama, I.Takeshito, Y.Oikawa, M.Saito,Y.Yano. Beam diagnostic ejuipment for RIKEN rinj Cyclotron and its beam Lines. Proc. 11 Int. Conf. on Cyclotrons and their Application, Ionics, Tokyo, 1987, p.443-446.

126. P.Strehl. Beam diagnostic devices for a wide range of currents.Proc.9Int. Conf. on Cyclotrons and their Applications. Kunn, 1981, p.545-554.

127. Гришин С.Ф., Зайцев A.B., Курносов В.И., Юферов В.Б. Определение состава импульсного газовыделения в вакуумной камере микросекундного диода. // Вопросы атомной науки и техники. Серия "Ядерно-физические исследования". -М., 1991.- №1. с. 45-48.

128. Van Devender J.P., Stinnet R.W., Anderson RJ. Negative Ion Losses in Magnetically Insulated vacuum gaps. //Appl. Phys.Lett. -1981.-V.38.-№4, 229-231.

129. D.J.Johnson, E.J.T.Burns, J.P.Quintenz, K.M.Bieg, A.V. Farnsworth, Jr., L.P.Mix, and M.A.Palmer. Anode Plasma Behavior in a Magnetically Insulated Ion Diode. J.Appl.Phys. V.52(l), January 1981. P. 168-174.

130. Choi E.H., Shin H.M., Choi D.I., Uhin H.S. Influence of ion effects on high current relativistic diodes. J. Appl. Phys., 1987, v. 61, N 6, p. 2160-2165.

131. А.Г.Мозговой, В.А.Пападичев. Ускорение отрицательных тонов водорода, углерода, фтора, иода и свинца в импульсном сильноточном диоде с магнитной изоляцией. 9й Симпозиум по сильноточной электронике, М., ФИАН, 1992. С. 11,2.

132. Разников В.В., Разникова М.О. Информационно-аналитическая масс-спектрометрия. М., Наука, 1992.

133. Сазонов В.Н. Система масс-спектрометрических методов газового анализа для технологических исследований в производстве ЭВП. ЭлТ. Сер.4. Электровакуумные и газоразрядные приборы, 1991, вып. 1. с. 60-67.

134. Калябина И.А. Масс-спектрометрические методы анализа в электронной технике. Технология, организация производства и оборудование. Вып. 19 (599), М., ЦНИИ "Электроника", 1978, 36 с.

135. Габович М.Д., Коваленко В.П., Назаренко О.К.,Пацьора С.К. Письма в ЖТФ, 1979, т.5, № 10, с.581-583.

136. Popov S.G. Physics and Technology of Super Thin Internal Targets in Storage Rinds. ИЯФ CO АН СССР, препринт № 89-52, Новосибирск, 1989, 15 с.

137. Krebs К.Н. Application of physical effects for the detection of smallest ion currents. // Vacuum.-1983.-v.33- №№1-2.

138. Higatsberger M.J., Demorest H.L., Nier A.O. Вторичная эмиссия с нихрома V, CuBe, AgMg под действием бомбардировки положительными ионами. // Journal of Applied Physics, v.25.-№7.- 1954,- p.740 755.1. ГЛАВА 2

139. Гнучев Н.М. Контроль состава и структуры поверхности катодов ЭВП. Обзоры по электронной технике. Сер. Электроника СВЧ, вып. 6 (946) М.: ЦНИИ "Электроника", 1983, 60 с.

140. Ашкинази JI.A. Катоды для электровакуумных приборов СВЧ. Сб. Итоги науки и техники. М., ВИНИТИ, 1985, с. 311-343.

141. Толстогузов А.Б., Шуппе Г.Н. О механизме работы оскидного катода на основе исследования элементного состава его поверхности методом ионного рассеяния. РТ и ЭЛ, 1982, т. 27, № 3, с. 592-597.

142. Иремашвили Д.В., Подгорный В.И., Гончарук А.И., Морозов В.В. К вопросу об импульсной эмиссии гексаборидлантанового катода. Радиотехника и электроника, 1988, т.ЗЗ, № 6, с. 1330-1331.

143. Баранов В.И., Петросов В.А. О механизме снижения тока в вакуумном диоде с катодом из LaB6. ЖТФ, 1987, т. 57, № 9, с. 1735-1740.

144. Matheson R.M., Nergaard L.S. The decay and recovery of the pulsed-emission of oxide-coated cathodes. J. of Appl. Phys.,-1952, v.23, N 8, 869-875.

145. Feaster G.R. Pulse emission decay phenomenon in oxide-coated cathodes. J. of Appl. Phys.,-1949, v.20, N 4, 415-416.

146. Цехановский А.Л. Оценка качества оксидного катода по спаду тока в течение длительного импульса. Электронная техника, сер. 4 Электровакуумные и газоразрядные приборы, 1978, вып.1 (62), с. 109-115.

147. Шагайда А. А. Процесс ионообразования вблизи поверхности термоэмиттера при наличии объемного заряда. Труды XII конференции молодых ученых МФТИ. ВИНИТИ, деп. рук. № 6379-В87, 1987.

148. И.Пикус Г.Я., Тетеря В.П. Влияние электрического поля на испарение компонентов и работу выхода окиси бария. Изв. АН СССР, сер. физ.Ю 1971, т. 35, №5, с. 1023-1030.

149. H.Djubua B.Ch., Zemchikhin Е.М., Makarov A.P., Polivnikova O.V. Secondary electron emission, surface composition and modes of activation of metal alloy cathodes. Applied Surface Science, 111, 1997, p. 285-287.

150. Бондарцов Г.И., Лещинский И.Ш., Соминский Г.Г. Изучение дезактиви-ровки Pt-Ba катодов в амплитронах. ЭТ. Сер. 1 Эл.СВЧ. 1973. №11 .С.62-66.

151. Нормурадов М.Т., Сергеев Г.И., Умирзаков Б.Е. и др. Влияние остаточного газа в приборе и бомбардировки ионами азота на вторично-эмиссионные свойства Pd-Ba. ЭТ. Сер.1 Эл. СВЧ. 1987. №1.С.40-45.

152. Фоменко B.C. Эмиссионные свойства материалов материалов. Киев: Наукова Думка, 1970.

153. Christensen J.A. Summary of the Honterey Power Tube Conference. Microwave Journal, 1989, N2, p.26-43.

154. Shroff A.M., Firmain G. Long-Life Travelling Wave Tubes. Use of M-type Cathode. Life prediction model. Trans. IEEE on ED, 1985. - p. 346-349.

155. Шаповалов A.C. Экспериментальные исследования и обобщенная модель неоднородного эмиттера. Вопросы прикл. физики, 1989, вып. 1, с. 43-61.

156. Nexsen W.E., Turner W.C. Poisoning studies of on osmium- coated dispenser cathode. J. of Applied Physics, 1990, v. 68. -N 1. -p. 298-303.

157. Королев C.B. Методика аттестации термоэмиссионных материалов // Тезисы докладов на XXI Всесоюзной конференции по эмиссионной электронике. Ленинград. - 1990. - Т. 1, с. 211.

158. Королев С.В., Клейменов B.C., ЛазаревВ.Н. Эмиссионно-спектральный метод анализа поверхности // там же, с. 210.

159. Астакова Е.А., Иванов А.И., Ильин В.Н., Макарова С.П., Пухов А.Ю. Исследование эмиссионной однородности эффективных термокатодов. // Там же, с. 213.

160. Кудинцева Г.А., Мельников А.И., Морозов А.А., Култашев O.K., Куранова Е.Д., Поливникова О.В. Эмиссионные свойства и долговечность металлопористых катодов. // Радиотехника и электроника. 1991. - Т. 36. -№ 5.-С. 985-993.

161. Haloney С.Е., Richardson N. Some results of Auger Spectroscopy applied to impregnated cathodes //Appl. Surf.Sci, -1981. -v.8. p. 2-12.

162. Ingram P.K., Wilson G.J., Devonshire R. Measurement of the local work function of dispenser cathodes using an SPM technique/ Applied Surface Science. V. 146.-1999. P.363-370.

163. Макаров А.П., Култашев O.K., Куранова Е.Д., Земчихин E.M., Гурков Ю.В. Механизм работы и старения осмированного металлопористого катода, радиотехника и электроника, т.36, №11, 1991.-С.2196-2201.

164. Химический энциклопедический словарь. Под. ред. Кнуяна И.Л. М.:

165. Советская энциклопедия". 1983. С. 792

166. Gadzuk J.W. Resonance-assisted, hot-electron-induced desorption. Surface Science. 342. 1995. p.345-358.

167. Misewich J.A., Heinz T.F., Newns D.M. Desorption Induced by Multiple Electronic Transitions.// Physical Review Letters. V.68. N25. 1992. P.3737-3749.

168. Mads Brandbyge, Per Hedegard, Heinz T.F., Misewich J.A., and Newns D.M. Electronically driven adsórbate excitation mechanism in femtosecond-pulse laser desorption.// Physical Review B. V.52. N8. 1995. P.6042-6056.

169. Chakrabarti N., Sathyamurthy N., and Gadzuk J.W. Photoinduced Desorption of Molecules from Metal Surfaces Using Femtosecond Pulses A Model Dynamical Study. J.Phys.Chem. A. V. 102. 1998. P.4154-4157.1. ГЛАВА 3

170. Dallos А. Модифицированная электронная пушка для измерения давления и откачки в приборах с бегущей волной. Suplemento al nuovo cimento, v.5,- 1,-1967,-p. 15-24.

171. Сотников B.M. Генерация волнового рельефа на поверхности твердого тела при ионной бомбардировке. Поверхность, 1989, № 8, с. 45-51.

172. Goto К., Suzuki К., Dynamic observation of cone formation on Cu by ion sputtering, Nucl. Instr. and Methods in Physics Research, 1988, v. B33, p. 569573.

173. Данилин B.C., Сырчин В.К. Магнегронные распылительные системы. М.: Радио и связь, 1982. -73 с.

174. Арцимович Л.А. Плазменные ускорители. М.: Маш.стр., 1973. - 312 с.

175. Ласка В.Л., Митрофанов А.П., Карманенко С.Ф. Особенности транспортировки распыленных атомов при катодном распылении. Электронная техника. Сер. 4 Электровакуумные и газоразрядные приборы, МЭП СССР, 1985, вып. 1, с. 4.

176. Коржавый А.П., Кристя В.И. Диффузия распыленных атомов в разряде с полым катодом. Электронная техника. Сер.4. Электровакуумные игазоразрядные приборы: Научн.-техн. сб. ЦНИИ "Электроника". 1999.-Вып.З (126). С.5-7.

177. Ptitsin V.E. Instability of thermal field electron emission.// Surface Sci. 1991.-v.246. № 1-3, P.373-376.

178. Mohnjuk A.A., Gusev I.V., Belevsky V.P. Method and experimental arrangement for A1 thin film deposition from r.f. metal plasma with simultaneous self-ion bombardment. //Nucl.Instr.&Meth.Phys.Res., B, V.170, N 3-4, 0ct.2000. P.375 -84.1. ГЛАВА 4

179. Ландау Л.Д., Лифшиц E.M. Теоретическая физика. Т. VIII., Электродинамика сплошных сред. М.: "Наука". 1992. 661 С.

180. Займан Дж. Электроны и фононы. Теория явлений переноса в твердых телах. М.,ИЛ., 1962. 397 С.

181. Дж. Займан. Принципы теории твердого тела. М.: "Мир". 1974. С. 328.

182. Тамм И.Е. Основы теории электричества. М., Наука, 1989. 357 С.

183. Каценеленбаум Б.3. Высокочастотная электродинамика. М., Наука, 1966. 214 С.

184. Сивухин Д.В. Общий курс физики. Т. III. Электричество. Ч. 1.М.: "Наука. Физматлит". 1996. 320 С.

185. Дерендяев Ю.С. Иванов И.Н., Каминский А.К., и др. Исследование экранирования переменного магнитного поля проводящими экранами //

186. Препринт ОИЯИ, № Р9-8486. Дубна, 1974. С. 24.

187. Шнеерсон Г.А. Поля и переходные процессы в аппаратуре сверхсильных токов. М.: Изд-во "Энергоатомиздат", 1992. 356 С.

188. Смайт В. Электростатика и электродинамика. М.: ИЛ. 1954. 604 С. Ю.Стрэттон Дж. А. Теория электромагнетизма, М.-Л., 1984. 534 С.

189. Физические величины. Справочник. Под ред. И.С.Григорьева, Е.З.Мейлихова. М.: "Энергоатомиздат", 1991, 1232 с.1. ГЛАВА 5

190. Скурат В.Е. Получение и исследование ионов нелетучих органических веществ в газовой фазе и вакууме.// Итоги н т. Т.5. М., ВИНИТИ, 1990г.

191. Галль JI.H., Краснов Н.В., Куснер Ю.С., Николаев В.И., Приходько В.Г., Симонова Г.В. Электрогидродинамический ввод жидких веществ в масс-спектрометр. ЖТФ., т. 54, N8, 1984г. С. 1559-1571.

192. Полякова А.А. Молекулярный масс-спектральный анализ органических соединений. М.: Химия, 1983, 375 с.

193. Толстиков Г.А., ред. Строение и реакционная способность ионов органических соединений в газовой фазе. Уфа, БФАН, 1986, 147с.

194. Дж. Чепмен. Практическая органическая масс-спектрометрия. М., Мир, 1988, -216с.

195. Baranov I.A. а.о. Desorption of metal nanoclusters (2-40 nm) from a nanodispersed Au target by fast heavy clusters (Cg, 20 Mev) and atomic (fragment) projectiles.//Nucl.Instr&Methods, Phys.Res (B), v. 187. 2002.P.451-458.

196. Ulman Abraham. Formation and structure of Self-Assembled Monolayers. Chem. Rev., v.96, 1996, pp. 1533-1554.

197. Preisler Jan, Ping Hu, Rejtar Tomas, Moskovets Eugene, Barry L.Karger. Capillary Array Electrophoresis-MALDI Mass Spectrometry Using a Vacuum Deposition Interface. Anal. Chem. v.74, 2002, pp. 17-25.1. ГЛАВА 6

198. Галль Л.Н., Дашук П.Н., Краснов Н.В., Кузьмин А.Г., Лукашенко С.В., Николаев В. И. // Ионный источник со скользящим разрядом поповерхности диэлектрика для масс-спектрометрии. А.С. № 1132726, 25 февраля 1983.

199. Немец В.М., Петров А.А., Соловьев А.А. Спектральный анализ неорганических газов. // JL: Химия. 1988. 240 С.

200. Bellamy L.J. "Advancesin Infrared Group Frequencies". Chapman and Hall. London. 1975. 432 C.

201. Pouchert C.J. "The Aldrich Library of FT-Infrared Spectra." Lst ed. Aldrich Chemical. Milwaukee. 1986. 540 C.

202. Боровик E.C., Батраков Б.П. Исследование пробоя в вакууме. // ЖТФ. 1958. Т.28, №9. С. 1621-1624.

203. Gleichauf Р.Н. Electrical Breakdown over Insulators in High Vacuum // J/ Appl. Phys. 1955. V. 22, №5, 6. P. 394-398.

204. Boersch H., Hamisch Y., Ehrlich W. Oberflachene Hadungen uber Isolatoren in Vacuum. // Zs. Ang. Phys. 1963. Bd. 15, №6. S. 518.

205. Tourreil C., Srivastava K. A study of the Electrical charding of the surfase of insulators in vacuum. // Proceeding V International Symposium on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum. 1972. P. 295-299.

206. Cross J., Srivastava K. High speed photography of surface flashover of solid insulators under impulse voltages in vacuum // Proceeding V International Symposium on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum. 1972. P. 307313.

207. Broinorol J. В., Iensen D. Electron Avalanche and Surface Chargin on Alumina Insulators During Pulsed High-Voltage Stress // J. Appl. Phys. 1974. V.45, №8. P. 3260-3265.

208. Smith I. Insulation of high voltage across solid insulators in vacuum. // Proceeding I International Symposium on Insulation of High Voltages in Vacuum. 1964. P. 261.

209. Watson A. Pulsed Flashover in Vacuum. // J. Appl. Phys. 1967. V. 38. P. 2019.

210. Бугаев С,П.', Кремнев В.В., Терентьев Ю.И., и др. Исследование незавершенного импульсного разряда по поверхности титаната бария. // ЖТФ. 1971. Т. 41, №9. С. 1958-1962.

211. Бугаев С.П. Исследование механизма импульсного пробоя поверхности диэлектрика в вакууме. //ЖТФ. 1967. Т. 37, №10. С. 1861-1869.

212. Авдеенко А.А., Малов М.Д. Поверхностный пробой твердых диэлектриков в вакууме.//ЖТФ. 1977. Т. 47, №8. С. 1703-1711.

213. Anderson R.A. Mechanism of Fast Surface Flashover in Vacuum // Appl. Phys. Lett. 1974. V. 24, №2. P. 54-56.

214. Anderson R.A., Brainard J. P. Surface flashover model based on electron-stimulated desorption. // J. Appl. Phys. 1978. V. 18. P. 1019.

215. Ohki J. Surface flashover along a polycarbonate plate in vacuum under a nonuniform electric field. // Proceeding X International Symposium on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum. Columbia, USA, 1982, P. 322-326.

216. Hegeler F., Masten G., Krompholz, Hatfitld L. Current, Luminosity, and x-Ray Emission in the Early Phase of Dielectric Surface Flashover in Vacuum. // IEEE Trans. Plasma Sci. 1993. V. 21, №2. P. 223-227.

217. Engelko V., Giese. H., Schalk S. Formation of an intense proton beam of microsecond duration. // 11th International Conference on High Power Particle Beams, Beams 96, Praque, June 10-14, 1996, p.95.

218. Engelko V., Giese. H., Schalk S. Measurement of extent of intense ion beam charge neutralization // 11 International Conference on High Power Particle Beams, Beams 96, Praque, June 10-14, 1996, p.l 111-1114.

219. Lototsky M.V. and odher. An investigation of the hydrogen ion source withthmetal-hydrid emitter. // In. Hydrogen Energy Progress. XI Proc. 11 Word Hydrogen Energy Conf., Stuttgard, Germany, 23-28 June 1996. Vol. 2. P. 20392044 1983. C. 792.

220. Источники заряженных частиц с плазменным эмиттером. Сб. под ред.

221. П.М. Щанина. -Екатеринбург: УИФ Наука, 1993.-149 с.

222. Першин В.И. Десорбционный щелевой катод электронной пушки ЛИУ. // Радиотехника и электроника.- 1986.-t.31.- №6.- С. 1209-1212.

223. Gall L.N., Kouzmin A.G. Creeping discharge mass spectrometry: a new method for elemental analysis of dielectrics. // Eur. J. MSpectrom. V.8., 2002, p.297-212.

224. Галль Л.Н., Кузьмин А.Г. Скользящий разряд как метод ионизации в искровой масс-спектрометрии//ЖАХ. т.50, 1995. С.505.

225. Галль Л.Н., Кормилицын Д.В., Кузьмин А.Г. Анализ диэлектриков методом скользящего разряда в искровой масс-с.//ЖАХ. т.51, 1996. С.445.

226. Галль Л.Н., Кузьмин А.Г., Птицын В.Е. Развитие методов элементного анализа диэлектриков//Изв. АН, Физика, т.62, 1998 . С. 2002.1. ГЛАВА 7

227. Дэшман С. Научные основы вакуумной техники. М.: Мир. 1950. 432 с.

228. Де Бур Я. Динамический характер адсорбции. М.: ИЛ. 1962. 72 с.

229. Хофман Р. Строение твердых тел и поверхностей. М. :Мир. 1990. 212с.

230. Товбин Ю.К. Теория физико-химических процессов на границе раздела газ-твердое тело. М.: Наука. 1990. 285 с.

231. Роберте М., Макки У. Химия поверхности раздела металл газ. М.:Мир. 1981. 99 с.

232. Большов Л.А., Напартович А.П. О фазовых переходах в монослое на поверхности металла.// ЖЭТФ. 1973. Т64. С.1404-1413.

233. Грег С., Синг К. Адсорбция, удельная поверхность, пористость. М., Мир, 1984.

234. Дункен X., Лыгин В. Квантовая химия адсорбции на поверхности твердых тел. М.: "Мир", 1980. С. 288.

235. Лопаткин А.А. Теоретические основы физической адсорбции. М.: Изд-во Моск. ун-та, 1983. С. 344.

236. Киселев А.В. Межмолекулярные взаимодействия в адсорбции и хроматографии. М.: Высш.шк., 1986.-360с.

237. Тагиров Р. Б., Тагиров Л. Р. Об изотермах реальных газов. Изв. вузов. Физ. 1998. - 41, N 4. - С. 41-48. - Рус. - ISSN 0021-3411.

238. Memmel N. Surface Electron States. / Surface Science Reports, V.32, 1998. p. 91-163.

239. Viereck J., Stietz F., Stuke M., Wenzel Т., Trager F. The role of surface defects in laser-induced thermal desorption from metal surfaces. Surface Science, 383, 1997. L749-L754.

240. Golovlev V.V., Allman S.L., Garett W.R., Chen C.H. Laser-induced acoustic desorption of electrons and ions. Appl. Phys. Lett. V.71, N6. 1997. P. 852-854.

241. Golovlev V.V., Allman S.L., Garett W.R., Taranenko N.I., Chen C.H. Laser-induced acoustic desorption. Internatonal Journal of Mass Spectrometry and Ion Processes. V. 169/170. 1997. P.69-78.

242. Григоров Л.Н. О явлении механотермической десорбции макромолекул в газовую фазу,- Доклады АН СССР, 1986, т. 288, №6, с. 1393 1397.

243. Grimley Т.В. Interactions of adsórbate vibrations with phonons and electrons. Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena, 38, 1986, p. 1-9.

244. Grimley T.B., Holloway S. Detailed balancing in traping and desorption phenomena in non-equilibrium systems. Chemical Physics Letters, V. 161, N2, 1989. P. 163-165.

245. Гинзбург В.Л., Шабанский В.П. Кинетическая температура электронов в металлах и аномальная электронная эмиссия. // Доклады АН СССР. Физика. 1955. Т. 100, № 3. С. 445-448.

246. Каганов М.И., Лифшиц И.М., Танатаров Л.В. Релаксация между электронами и кристаллической решеткой. //ЖЭТФ. Т.31, 1956. с.232.

247. Ермолаев Ю.Л. А. Л. Санин. Электронная синергетика/ ЛГУ, 1989.-244 С.

248. Санин А. Л. Пространственные резонансы, структуры и волныэлектронного тока в неоднородных средах: Дис. д-ра физ мат. наук: 01.04.03;0104.04.-СПб.: Б.и.,1997.-289 С.

249. Усман Е.Ю., Матулевич Ю.Т. Поведение электронной подсистемы твердого тела в каскаде столкновений. Динамика электронной температуры. Изв.АН, Сер. физическая. Т.64, №4, 2000. С.787-790.

250. Fann W.S., S'torz R., Tom H.W.K., Bokor J. Electron termalization in gold. // Physical Review B. V.46. N.20. 1992. P. 13592-13595.

251. Elsayed-Ali H.E., Norris T.B., Pessot M.A., Mourou G.A. Time-Resolved Observation of Electron-Phonon Relaxation in Copper.//Physical Review Letters. V.58. N12.1987. P.1212-1215.

252. Gusev V.E., Wright O.B. Ultrafast nonequilibrium dynamics of electrons in metals. // Physical Review B. V.57, N5, 1998. P.2878-2888.

253. Oliver Kuhn, Volkhard May. Density matrix approach to the hot-electron stimulated photodesorption. Chemical Physics. 208. 1996. pp 117-126.

254. Gadzuk J.W. Resonance-assisted, hot-electron-induced desorption. Surface Science. 342. 1995. p.345-358.

255. Misewich J.A., Heinz T.F., Newns D.M. Desorption Induced by Multiple Electronic Transitions.// Physical Review Letters. V.68. N25. 1992. P.3737-3749.

256. Mads Brandbyge, Per Hedegard, Heinz T.F., Misewich J.A., and Newns D.M. Electronically driven adsórbate excitation mechanism in femtosecond-pulse laser desorption.// Physical Review B. V.52. N8. 1995. P.6042-6056.

257. Chakrabarti N., Sathyamurthy N., and Gadzuk J. W. Photoinduced Desoiption of Molecules from Metal Surfaces Using Femtosecond Pulses A Model Dynamical Study. J.Phys.Chem. A. V. 102. 1998. P.4154-4157.

258. S. Owega, E.P.C. Lai, and A.D.O.Bawagan. Surface Plasmon Resonance-Laser Desorption-Ionization Time of Flight Mass Spectrometry. Anal.Ceem.V.70, 1998, pp.2360-2365.

259. В.Ф. Гантмахер, М.Б. Левинсон. Рассеяние носителей тока в металлах и полупроводниках. М.: "Наука". 1984. С. 270.

260. Крохин A.A. Макаров Н.М., Ямпольский В.А. Теория поверхностного рассеяния электронов в металлах с пологими неровностями границы. // ЖЭТФ. 1991. Т.99, в.2. С. 520-529.

261. Бакалейников JI.А., Флегонтова Е.Ю., Погребицкий К.Ю. Аналитический и численный подходы к расчету функции выхода электронов средних энергий из однородных образцов. ЖТФ, т.71, вып.7, 2001. С. 14-20.

262. Вайсбурд Д.И., Семин Б.Н., Таванов Э.Г. и др./ Высокоэнергетичная электроника твердого тела // Новосибирск. Наука. 1982. 224 с.

263. Wright О.В., Gusev V.E. Ultrafast acoustic phonon generation in gold. //

264. PhysicaB. V.219&220, 1996. P.770-772.

265. Wright O.B., Gusev V.E. Ultrafast Generation of Acoustic Waves in Copper //

266. EE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, V.42,3. 1995. P.331-338.

267. Bierbaum P. Interaction of ultrasonic surface waves with conduction electrons in thin metal films. // Appl. Phys. Lett. V.21. N.12. 1972. P.595-598.

268. Голямина И.П., ред. / Ультразвук. Маленькая энциклопедия. М.: Советская энциклопедия. 1979.-400с.

269. Викторов И.А. Звуковые поверхностные волны в твердых телах. М., Наука, 1981г.

270. Такер Дж., Рэмптон В. Гиперзвук в физике твердого тела. М.: Мир, 1975, 416с.

271. Васильев А.Н., Гайдуков Ю.П. Электромагнитное возбуждение звука в металлах. //УФН 1983. Т. 141, №3. С. 431-467.

272. Гальперин Ю.М., Гуревич В.Л. Акусто-электроника полупроводников и металлов. М.: "Знание". 1978. С. 62.

273. Поверхностные акустические волны устройства и применения // Под. ред. Ю.В. Гуляева. ТИИЭР. Т. 64, № 5. 1976. С.323.

274. Клушин Д.В., Гусев М.Ю., Уразгильдин И.Ф. Механизмы формирования зарядового состояния атомной частицы при ее отлете от поверхности твердого тела. // ЖЭТФ, 1994. Т. 106, № 1. С.225-243.

275. Verkhoturov S.V., Schweikert Е.А., Chechik V., Saabarathy R.C., Crooks R.M., Parilis E.S. Auger Stimulated Ion Desorption of Negative Ions via K+Capture

276. Radioactive Decay.//Phys.Rev.Lett., V.87, Number3,2001. P.037601-1-4.

277. Krueger F.R. Thermodynamics of Ion Formation by Fast Dissipation of Energy at Solid Surfaces. Z. Naturforsch. v.38a, 1983, p.385-394.

278. Mitrelias Т., Ostanin V.P., Gruyters M., King D.A. Design of an ultrahigh vacuum compatible system for studying the influence of acoustic waves on surface chemical processes. Appl. Surf. Sci. 100/101 (1996), 305-310.1. ГЛАВА 8

279. Запевалов B.E., Малыгин C.A., Мануйлов В.Н., Цимринг Ш.Е. Катодная неустойчивость в мощных гиротронах. // Известия ВУЗов. Сер. Радиофизика.- 1990. -Т.ЗЗ.-№>10.- С. 1193-1194.

280. T.C.Genoni, M.R.Franz, B.G.Epstein, R.B.Miller, J.W.Pokew. Radial oscillations of a relativistic electron beam in an accelerating gap. // Journal of Applied Physics, V.52(4), April 1981, p.2646 2658.

281. Shigeru Isagawa, Masato Yoshida, Yasunao Takeuchi, a.o. Present Status of High Power CW Klystrons Developed for TRISTAN. 13 ISDEIV Proceedings,1989, P.l-8.

282. Suzuki K. Mass-analysis of charge carrier in the prebreakdown current flow through the uniform field vacuum gap.// Journal Physics. D Apply Physics.-1982, v.15, № 7, P.1227-1230.

283. Carter G., Nobes M.J., Katardjev I.V. a.o. The evolution of gradient discontinuities (edges) on sputter-eroded surfaces. Philosophical Magazine, ВД989, v. 59, N6, 619-636.

284. Беграмбеков JI.B., Захаров A.M., Пустобаев A.A., Тельковский В.Г. Развитие вискеров и конусов на бомбардируемой ионами поверхности. Физика и химия обработки материалов, 1989, № 5, с. 26-33.

285. Lau Y. Y. Effects of cathode surface rouhness on the guality of electron beams. J. of Appl. Phys. 1987, v. 61, N 1, p.36-44.

286. Кудрявцев Г.Г., Кулаков A.B., Несвиженский Ю.Б., Румянцев А.А., Афанасьев А.И. Деградационные явления и проблема надежности электровакуумных приборов. Препринт под ред. М.А.Сиверса. Л., ЛЭИС,1990, 23 с.

287. Гоголев Г.П., Прилуцкий B.C., Радченко Л.А. Процесс деградации сварных соединений элементов электровакуумных приборов. // ЭлТ. Сер.4. Электровакуумные и газоразрядные приборы. 1989.-№2 (125).- С.62-65.

288. Гоголев Г.П., Павлов Б.В., Радченко JI.A. Деградация рабочей поверхности анодов МГП. // ЭлТ. Сер.4. Электровакуумные и газоразрядные приборы. -1989.-№4,- С3.

289. Хмара В.А., Яшнов Ю.М. Условия нарушения электрической прочности вакуумных промежутков. ЭлТ. Сер.4. Электровакуумные и газоразрядные приборы: Н.-техн. сб. ЦНИИ "Электроника". 1985.-Вып. 1-С. 12.

290. Watanabe Н., Yoshimura N.,Katoh S., Kobayashi N. Microdischarge on an electron gun under high vacuum. J. Vac. Sci. Technol. A5 (1), Jan./Feb., 1987, 92-97.

291. Zalucki Z. Initiation of electrical breakdown by ionic bombardment in vacuum gap.//IEEE Transactions on Plasma Sci., 1985.- v. 13, №5, P. 315 320.

292. Сливков И.А. Процессы при высоком напряжении в вакууме. М., Энергоатомиздат, 1986.

293. Тарасова Л.В. Десорбционный механизм электрического пробоя в высоком вакууме. Доклады АН СССР, 1966, т. 167, № 2, с. 330-333.

294. Кассиров Г.М. Десорбционная модель начальной проводимости технического вакуума. VIII Всесоюз. симпозиум по сильноточной электронике. Тез. докл., Свердловск, Уро АН СССР, 1990, ч. III, 204 с.

295. Eoin W.Gray. Microparticles and their effects in vacuum diodes. // Journal of applied physics. v.59.- № 11,- 1 June 1986.-p. 3709 - 3715.

296. P.Латам. Вакуумная изоляция установок высокого напряжения. М., Энергоатомиздат, 1985, 192 с.

297. Nevrovskii V.A., Rakhovskii V.I. Ways of macroparticle generation in a prebreahdownstage.XIII Int. Symp. on Discharge and Elecr. Insul. in Vacuum, Paris, 1988, 97-99.

298. S. Seki, G. Korschinek, J. Sellmair. Observation of microparticles produced in an acceleration tube. //Nucl.Instr.&Meth.in Phys. Res. А287,- 1990. p. 72 - 75.

299. Y. Massanori, K. Seisaki. Поведение микрочастиц в вакуумной камере. // J. Vac. Soc. Jap. 1991. - 34.-№3,- С. 279 - 282.

300. Cooke C.M., Liu Z. Discharge Inception by Particles Near Insulator Surfaces: The Proximity Effect.// IEEE Transactions on Electrical Insulation. -V. EI-1 9.-№ 6. December 1984. - P.529 - 533.

301. Halbritter J. On contamination of electrode surface and electric field limilation. IEEE Trans, on Electrical Insulation, 1985, v. 20, N 4, p. 671-677.

302. Halbritter J. Dynamical enhauced electron emission and dischardes at contaminated surfaces. Appl. Phys. A39, 1986, N 1, p.49-57.

303. Gross G.D., Mazurek B. Fast Cathode processes in conditioning of vacuum electrodes. IEEE Trans, on Electrical Insulation, 1988, 23, N 4, p. 63.

304. Latham R.V. A new prospective on the origin of prebreakdown electron emission processes. IEEE Trans, on Electrical Insulation, 1988, 23, N 1, p. 9.

305. Niedermann Ph., Sankarraman N., Fischer O. Enhanced field emission from molybdenum disulfide. IEEE Trans, on Electrical Insul.,1988, v. 23, N 1, p. 3-8.

306. Конторин Ю.Ф., Манькин И.А. Вторичные частицы в электронных пучках приборов СВЧ.// Обзоры по электронной технике. Сер.1. Электроника СВЧ,- 1985. №2(1079). -50 С.

307. Ульянов А.Н., Юрьев В.И. Релаксационные колебания ионов в электронных потоках приборов типа "О" с длительным взаимодействием. // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ.-1974.-№Э.-С.З-12.

308. Юрьев В.И. Ионы в длинных электронных потоках. // Вопросы радиоэлектроники. Сер. Электроника СВЧ. -1964. №7,- С. 134 - 149.

309. Манькин И.А., Конторин Ю.Ф. Распределение плотности ионов по сечению электронного пучка. //ЖТФ -1973. -Т.43. -№1. С. 101-108.

310. Ставский Ю.В. Исследование процесса накопления ионов в протяженных электронных потоках. // Электронная техника. Сер. 1. Электроника СВЧ,-1974. -№3. С. 50-59.

311. Калинин Ю.А., Объедков И.И., Ставский Ю.В. Исследование влияния положительных ионов на выходные параметры ЛЕВО. // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ.- 1975. -№10. С. 3-11.

312. Объедков И.И., Ставский Ю.В. Накопление ионов в протяженном электронном пучке при аксиальном механизме их ухода из пролетного канала. // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ.- 1975. №9. - С. 93-95.

313. Ставский Ю.В. Стационарное распределение ионов в протяженных электронных потоках. // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ,-1975. -№1. С. 8-18.

314. Манькин И.А., Золотарев E.J1. Упрощенный анализ распределения плотности ионов в электронном пучке. // Радиотехника и электроника.-1978. Т.23. - №9. - С. 231 - 233.

315. Бобровский Ю.Л., Бочаров Е.И., Гаров H.A., Голант М.Б. Об ионной компенсации в ЭВП. // ЭТ, Сер.1. Эл.СВЧ,1980. №12. С. 56-57.

316. Шантурин Л.П. Положительные ионы в осесимметричных электронно-оптических системах. // ЭТ. Сер.1. Эл-ка СВЧ.- 1981. №9. - С.20-24.

317. Куделайнен В.И., Пахомчук В.В., Пестриков Д.В. Стационарное состояние ионов, компенсирующих заряд электронного пучка. // Журнал технической физики,- 1983. Т.53. -№4, -С.691-698.

318. Коваленко В.П., Фастовец С.Ф. Эффект динамической ионной фокусировки электронного пучка. // Физика плазмы. 1983.- Т.9.- №5,- С. 964-967.

319. Альтеркоп Б. А., Куперман В.Ю. Динамика ионной фокусировки электронного пучка в магнитном поле. // Физика плазмы. 1987,- Т. 13.-№7,- С. 836-843.

320. Куперман В.Ю., Тараканов В.П. Стационарное состояние и динамика накопления ионов в электронном пучке. // Физика плазмы. -1990.- Т.16,-№9,- С.1079-1084.

321. Богданов B.B. Ионизация газа электронным пучком.// Физика плазмы.-1979.-Т.5,- №5.-с.1035-1040.

322. Архипов A.B., Комашко A.B., Соминский Г.Г. Исследование характеристик длинноимпульсного электронного пучка в коллекторной области мощной ЛБВ.// ЭТ. Сер. 1. Эл. СВЧ 1996.- Вып. 1(467).- С 18-23.

323. Архипов A.B., Дворецкая Н.В., Комашко A.B., Соминский Г.Г. Влияние СВЧ полей на характеристики электронного пучка в коллекторной области мощной ЛБВ.//ЭТ. Сер. 1. Электроника СВЧ- 1997,-Вып. 1(471).- С 18-23.

324. Архипов A.B., Соминский Г.Г. Временная эволюция длинноимпульсного электронного пучка высокой плотности. // Журнал технической физики. -1997. -Т.67.- №12,- С.54-58.

325. Сазонов В.Н. Сорбционно-кинетическая модель формирования остаточной атмосферы ЭВП в процессе изготовления и эксплуатации. Эл. техника. Сер.4. Электровакуумные и газоразрядные приборы, 1991, вып. 1. с. 18.

326. Юсов Ю.П., Бережной В.П. Тенденции развития и задачи электрофизического диагностирования ИЭТ. Электронная промышленность, №7, 1990, с. 3-8.

327. Кутеев Б.В., Малюгин В.И., Соминский Г.Г., Цыбин О.Ю. Импульсные измерения ионной бомбардировки катодов в магнетроне. -ЭТ. Серия 1-Электроника СВЧ, 1974, вып. 1, стр. 105-106.

328. Ашихмин A.C., Базылев В.К., Коротченко В.А. Масс-спектрометрический анализ газов в отпаянных ЭВП. Эл. промышленность. №7. 1990. С.54-56.

329. Базылев В.К., Корогченко В.А. Измерение давления остаточных газов в отпаянных рентгеновских трубках. Электронная техника. Сер. 4. Электровакуумные и газоразрядные приборы. 1991. Вып.2. С.27.

330. Коротченко В.А. Разработка основ неразрушающих испытаний приборов вакуумной и плазменной электроники по параметрам межэлектродной среды. Диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук. М., МЭИ, 1990.

331. Базылев В.К., Коротченко В.А. Действие малого гармонического сигнала на колебания ионов в вакуумном диоде. Электронная техника. Сер.4. Электровакуумные и газоразрядные приборы. 1979. Вып.8(77). С. 19-21.

332. Ашихмин A.C., Базылев В.К., Коротченко В.А. Колебания ионного пространственного заряда в квазиэлектростатической потенциальной яме вакуумного диода. // Межвуз. сб. научн. тр. "Вакуумная и газоразрядная электроника". Рязань, РТИ. -1980. - С. 99 - 102.

333. Черепнин Н.В. Сорбционные явления в вакуумной технике. М.: Советское радио. 1973. - 384 с.

334. Светликина Й.А. и др. Тренировка СВЧ приборов. Обзоры по электронной технике. Электроника СВЧ, М., ЦНИИ Электроника, 1983.

335. Анисимов С.И., Капелович В.Л., Перельман Т.Л. Электронная эмиссия споверхности металлов при воздействии ультракоротких лазерных импульсов.

336. ЖЭТФ. т.66. 1974. С.776-781.