Закономерности формирования структуры в поверхностном слое деталей из конструкционных металлических материалов в процессе вакуумной ионно-плазменной обработки тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.16.06, кандидат технических наук Соколов, Игорь Викторович

• Соколов, Игорь Викторович
• кандидат технических наук
• 2009

Оглавление диссертации кандидат технических наук Соколов, Игорь Викторович

Введение.

Глава I Состояние вопроса.

1.1. Вакуумная ионно-плазменная обработка конструкционных материалов авиационной техники.

1.1.1. Комплексная обработка поверхности.

1.1.2. Многокомпонентные покрытия.

1.1.3. Многослойные покрытия.

1.1.4. Оборудование для процессов вакуумной ионно-плазменной обработки.

1.2. Технология, осуществляемая при вакуумной ионно-плазменной обработке.

1.2.1. Технологические параметры процессов формирования покрытий.

1.2.2. Формирование покрытий различного служебного назначения.

1.3. Контроль качества формируемых покрытий.

1.3.1. Сканирующая туннельная микроскопия.

1.3.2. Зонды для сканирующей туннельной микроскопии.

1.3.3. Поверка сканирующих зондов и сканирующих туннельных микроскопов.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Закономерности формирования структуры в поверхностном слое деталей из конструкционных металлических материалов в процессе вакуумной ионно-плазменной обработки»

Актуальность работы. Вакуумная ионно-плазменная (ВИП) обработка поверхности является эффективным способом повышения работоспособности деталей авиационной техники за счёт создания модифицированных поверхностных слоев или нанесения покрытий. Формирование в поверхностном слое деталей из конструкционных металлических материалов заданной структуры, позволяющей обеспечить необходимый уровень эксплуатационных свойств, достигается путём воздействия на поверхность высокоэнергетических потоков частиц газовой и металлической плазмы. Результатом такого воздействия являются либо структурные изменения в исходной поверхности детали, так называемый процесс модифицирования, либо формирование покрытия, структурное состояние которого зависит от многих факторов, в том числе исходной структуры поверхностного слоя подложки детали. Поэтому вопросы, связанные с изучением состояния поверхности на различных этапах ВИП обработки, актуальны для оптимизации процессов нанесения покрытий и модифицирования.

Эффективность применения таких видов обработки зависит не только от параметров технологического процесса, но и от подготовки структуры поверхности детали на предшествующих этапах, при этом диапазон структурных изменений может колебаться от атомного до микроуровня, что требует применения методов исследований с широким диапазоном измерения от 10 нм до 500 нм и выше. Из вышесказанного следует, что изучение закономерностей формирования структуры поверхностного слоя деталей из конструкционных металлических материалов, на различных этапах ВИП обработки, для оптимизации технологии производства этих деталей, с целью повышения комплекса эксплуатационных свойств является актуальной.

Цель работы: Состояла в установлении закономерности формирования структуры, в том числе наноструктурных составляющих, в поверхностном слое деталей из конструкционных металлических материалов методом сканирующей туннельной микроскопии на различных этапах ВИП обработки и разработке рекомендаций по оптимизации режимов техпроцессов для повышения комплекса эксплуатационных свойств изделий авиационной техники.

Для достижения поставленной цели необходимо было решить следующие задачи:

1. Установить закономерности воздействия различных видов финишной обработки на изменения структуры и рельефа поверхностного слоя конструкционных металлических материалов и определить их влияние на качество и структуру поверхности после ВИП обработки.

2. Установить закономерности влияния энергетических параметров плазменных потоков на формирование нанорельефа и наноструктуры в поверхностных слоях конструкционных металлических материалов на различных этапах ВИП обработки.

3. Разработать требования к конфигурации сканирующих зондов, создать устройство для их изготовления и методику аттестации сканирующих зондов.

4. Разработать методику сканирования поверхностного слоя для оценки нанорельефного и наноструктурного состояния поверхности конструкционных металлических материалов.

Научная новизна состоит в следующем:

1. Установлены закономерности влияния структуры и рельефа исходного поверхностного слоя конструкционных металлических материалов на качество формируемой поверхности в процессах модифицирования и нанесения покрытий при ВИП обработке. Показано, что основой качественного формирования поверхности в процессе ВИП обработки является исходная поверхность после финишной обработки деталей при образовании исходного нанорельефа с максимальной высотой неровностей 20 нм, величиной среднего отклонения неровностей по площади скана Sa равной 10 нм.

2. Установлено, что в процессе формирования покрытий наиболее существенным дефектом является рост аномальных кристаллических образований, форма которых зависит от энергетических параметров и элементного состава плазменного потока. Показано, что плазменный поток Ti может формировать аномальные кристаллические образования с базисной или призматической структурой, кинетика роста и разрушения которых определяется параметрами плазменного потока и изменением его элементного состава.

3. Установлено, что воспроизводимость нанорельефа и наноструктуры исследуемых поверхностей, в виде изображений — сканов, зависит от конфигурации зонда и постоянства радиуса закругления острия зонда (иглы). Показано, что радиус закругления острия зонда 10 нм обеспечивает высокую точность и стабильность измерений при сканировании структуры поверхностного слоя конструкционных металлических материалов.

4. Установлены закономерности формирования нанорельефа и наноструктур в поверхностных слоях конструкционных металлических материалов при различных видах технологических воздействий в процессах ВИП обработки. Показано, что величина изменений нанорельефа и наноструктуры поверхностного слоя определяется энергией воздействия потоков газовой и металлической плазмы. Наиболее информативной величиной поверхностных структурных изменений является среднее отклонение неровностей по площади поверхности скана - Sa. Так значение величины Sa в процессе ионного азотирования титанового сплава ВТб изменяется от 12.5 нм до 19.2 нм при увеличении температуры процесса от

500°С до 600°С и от 42.2 нм до 71.2 нм при росте температуры с 700°С до 800°С.

Практическая значимость работы.

1. Модернизировано оборудование и разработана технология получения зондовых игл с регламентируемым радиусом закругления, оптимальным для контроля рельефа и структуры поверхности конструкционных металлических материалов или деталей. Разработана методика сканирования, позволяющая оценивать эффективность технологических воздействий в исследуемой точке поверхностного слоя с отклонением 1 мкм при поле сканирования 5мкм.

2. Разработаны методические материалы по аттестации зондовых игл и проведению исследований структурных изменений поверхностного слоя конструкционных металлических материалов путём сканирования поверхности с позиционированием в постоянных координатах относительно сканирующего зонда (ММ 1-1620-2-2009).

3. На основе установленных закономерностей изменения величины нанорельефа и наноструктуры поверхностного слоя конструкционных металлических материалов от энергии воздействия потоков газовой и металлической плазмы оптимизированы энергетические параметры потоков газовой плазмы на технологическом этапе очистки и активации поверхности процессов ВИЛ обработки.

Заключение диссертации по теме «Порошковая металлургия и композиционные материалы», Соколов, Игорь Викторович

ВЫВОДЫ ПО РАБОТЕ

1. Проведённые исследования позволили установить закономерности влияния структуры и рельефа исходного поверхностного слоя конструкционных металлических материалов на качество формируемой поверхности в процессах модифицирования и нанесения покрытий при ВИП обработке. Основой качественного формирования поверхности в процессе ВИП обработки является исходная поверхность после финишной обработки деталей при образовании исходного нанорельефа с максимальной высотой неровностей 20 нм, величиной среднего отклонения неровностей по площади скана Sa равной 10 нм. При осуществлении этапа ионного травления в процессе ВИП обработки происходит структурная корректировка исходной наноструктуры конструкционного материала и сформированный нанорельеф поверхности детали является основополагающим для последующих процессов модифицирования и нанесения покрытий.

2. Установлено, что в процессе формирования покрытий наиболее существенным дефектом является рост аномальных кристаллических образований, форма которых зависит от энергетических параметров и элементного состава плазменного потока. Доказано, что плазменный поток Ti может формировать аномальные кристаллические образования с базисной или призматической структурой с выходом на поверхность отдельных участков кристаллографических плоскостей. Кинетика роста и разрушения аномальных кристаллические образования определяется параметрами плазменного потока и изменением его элементного состава, и может происходить на протяжении всего процесса конденсации металлической плазмы при ВИП обработке.

3. Установлено, что воспроизводимость нанорельефа и наноструктуры исследуемых поверхностей, в виде изображений - сканов, зависит от конфигурации зонда и постоянства радиуса закругления острия зонда (иглы). Радиус закругления острия зонда 10 нм обеспечивает высокую точность и стабильность измерений при сканировании структуры поверхностного слоя конструкционных металлических материалов.

4. Установлены закономерности формирования нанорельефа и наноструктур в поверхностных слоях конструкционных металлических материалов при различных видах технологических воздействий в процессах ВИП обработки. Величина изменений нанорельефа и наноструктуры поверхностного слоя определяется энергией воздействия потоков газовой и металлической плазмы. Наиболее информативной величиной поверхностных структурных изменений является среднее отклонение неровностей по площади поверхности скана - Sa. Значение величины Sa в процессе ионного азотирования титанового сплава ВТ6 изменяется от 12.5 нм до 19.2 нм при увеличении температуры процесса от 500°С до 600°С и от 42.2 нм до 71.2 нм при росте температуры с 700°С до 800°С.

5. Модернизировано оборудование и разработана технология получения зондовых игл с регламентируемым радиусом закругления, оптимальным для контроля рельефа и структуры поверхности конструкционных металлических материалов или деталей. Разработана методика сканирования, позволяющая оценивать эффективность технологических воздействий в исследуемой точке поверхностного слоя с отклонением 1 мкм при поле сканирования 5мкм. Разработаны методические материалы по аттестации зондовых игл и проведению исследований структурных изменений поверхностного слоя конструкционных металлических материалов путём сканирования поверхности с позиционированием в постоянных координатах относительно сканирующего зонда (ММ 1-1620-2-2009).

6. На основе установленных закономерностей изменения величины нанорельефа и наноструктуры поверхностного слоя конструкционных металлических материалов от энергии воздействия потоков газовой и металлической плазмы оптимизированы энергетические параметры потоков газовой плазмы на технологическом этапе очистки и активации поверхности процессов ВИП обработки.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Соколов, Игорь Викторович, 2009 год

1. А.Ф. Гордеев, «Нанесение покрытий: Предварительная обработка деталей для напыления», Технология материалов №11, 1999, 13-20 стр.

2. А.Ф. Гордеев, «Нанесение покрытий: Подготовка поверхности под напыление», Технология материалов №12, 1999, 13-19 стр.

3. А.Ф. Гордеев, «Нанесение покрытий:. Подготовка поверхности напылением подслоя», Технология материалов №6, 2000, 22-27 стр.

4. Ю.И. Головин, «Введение в нанотехнологию», М., 2003. 112 стр.

5. Под ред. П.П.Мальцева «Нанотехнологии. Наноматериалы. Наносистемная техника. Мировые достижения» изд.: Техносфера РИД ЗАО, 2008, 430 стр.

6. А.И. Гусев, «Нано материалы, структуры, технологии», Москва: Физматлит, 2007 ,415 стр.

7. В. JI. Миронов, «Основы сканирующей зондовой микроскопии», изд:Техносфера, 2005, 144 стр.

8. М. М. Криштал, И.С. Ясников, В.И. Полунин, A.M. Филатов, А.Г. Ульяненков, «Сканирующая электронная микроскопия и рентгеноспектральный микроанализ в примерах практического применения», изд.: Техносфера, 2009, 208 стр.

9. А.В. Плохов, Л.И. Тушинский «Исследование физических свойств покрытий», Технология материалов, №6, 2006, 28-34 стр.

10. А.В. Плохов, Л.И. Тушинский «Исследование защитных свойств покрытий», № 9, 2006, 22-26 стр.

11. Da Yung Wang, Chi Lung Chang, Cheng Hsun Hsu, Hua Ni Lin Synthesis of (Ti,Zr)N hard coatings by unbalanced magnetron sputtering // Surface and Coatings Technology №130, 2000, p.p.64-68.

12. Ильин А.А., Бецофен С .Я., Скворцова С.В., Петров JI.M., Банных И.О. Структурные аспекты ионного азотирования титановых сплавов // Металлы, 2002, №3, с.6-15.

13. Мубояджян С.А., Каблов Е.Н., Будиновский С.А. Вакуумно-плазменная технология получения защитных покрытий из сложнолегированных сплавов // МиТОМ, 1995, №2. с. 15-18.

14. Мубояджян С.А., Будиновский С.А. Конденсированные и конденсационно-диффузионные покрытия для лопаток турбин из жаропрочных сплавов с направленной кристаллической структурой // МиТОМ, 1996, №4, с. 15-18.

15. Yagodkin Yu.D., Pastuhov К.М., Muboyadjyan S.A., Kablov E.N. Application of Ion-Beam Treatment in Turbine Blade Production Technology // Surface and Coatings Technology № 84, 1996, p. 590-593.

16. Мубояджян C.A., Будиновский С.А. Промышленная установка МАП-1 для нанесения защитных покрытий различного назначения // Авиационная промышленность, 1995, № 7-8, с. 44-48.

17. Абраимов Н.В., Елисеев Ю.С., Крымов В.В. Химико-термическая обработка и защитные покрытия в авиадвигателестроении // М., Высшая школа, 1999, 526 с.

18. Sillich R.N., Bolster R.N. and Singer I.L. in Hubter G.K., Holland O.W., Clayton C.R. and White C.W. (eds.) Ion Implantation and Ion Beam Processing of Materials //Elsevier, Amsterdam, 1985, p. 637.

19. Pope L.E., Yost F.G., Follstaedt D.M., Picraux S.T. and Knapp J.A. in Hubler G.K., Holland O.W., Clayton C.R. and White C.W. (eds.) Ion1.plantation and Ion Beam Processing of Materials // Elsevier, Amsterdam, 1985, p. 681.

20. Singer I.L. in Hubler G.K., Holland O.W., White O.W., Clayton C.R. and White C.W. (eds.) Ion Implantation and Ion Beam Processing of Materials // Elsevier, Amsterdam, 1985, p. 585.

21. Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками. Под редакцией Поута Дж.М. // М., Машиностроение, 1987, 424 с.

22. Комаров Ф.Ф. Ионная имплантация в металлических материалах // М., Металлургия, 1990, 216 с.

23. Плешивцев Н.В., Бажин А.И. Физика воздействия ионных пучков на материалы // М., Вузовская книга, 1998, 392 с.

24. Shengli Ma, Yanhuai Li, Kewei Xu The composite of nitrided steel of H13 and TiN coatings by plasma duplex treatment and the effect of pre-nitriding // Surface and Coatings Technology, №137, 2001, p.p. 116-121.

25. Sonoda T. and et. al Coating and superplastic Ti-alloy substrates Ti and Ti-O films by magnetron DC sputtering // Thin Solid Films, №386, 2001, p.p. 227-232.

26. Manory Rafael R., Perry Anthony J. Some effects of ion beam treatments on titanium nitride coatings of commercial quality // Surface and Coatings Technology, №114, 1999, p.p. 137-142.

27. Itoh Y., Itoh A., Azuma H., Hioki T. Improving the tribological properties of Ti-6A1-4V alloy by nitrogen-ion impantation // Surface and Coatings Technology, №111, 1999, c. 172-176

28. Rudenija S. Duplex TiN coatings deposited by arc plating for increased corrosion resistance of stainless steel substrates // Surface and Coatings Technology, №114, 1999, p.p. 129-136.

29. Wilson A.D., Leyland A., Matthews A. A comparative study of the influence of plasma treatments, PVD coatings and ion implantation on thetribological performance of Ti-6A1-4V // Surface and Coatings Technology, №111, 1999, p.p.70-80

30. Knotek O., Bohmer M., Leyendecker T. On the structure and properties of sputtered Ti and Al based hard compound // Vac. Sci. Technol., A4(6), Nov/Dec, 1986, p.p. 2695-2700.

31. Hasegava H., Kimura A., Suzuki T. TiixAlxN, Tij.xZrxN and Ti.xCrxN films synthesized by the AIP method // Surface and Coatings Technology, №132, 2000, p.p. 76-79.

32. Discerens M., Patscheider J., Levy F. Improving the properties of titanium nitride by incorporation of silicon // Surface and Coatings Technology №108-109, 1998, p.p. 241-246.

33. Nose M., Zhou M., Nagae Т., Мае Т., Yokota M., Saji S. Properties of Zr-Si-N coatings prepared by RF reactive sputtering // Surface and Coatings Technology, №132, 2000, p.p. 163-168.

34. Lewis D.B., Donohue L.A. The influence of the yttrium content on structure and properties of TiixyzAlxCryYzN PVD hard coatings // Surface and Coatings Technology №114, 1999, pp. 187-199.

35. Menzel S., Gobel Th., Bartsch K., Wetzig K. Phase transitions in PACVD-(Ti, A1)N coatings // Thin solid films. 1999. №345, p.p. 263-269.

36. Leoni M., Scardi P., Rossi S. et al (Ti, Cr)N and Ti/TiN PVD coatings on 304 stainless steel substrates: Texture and residual stress // Thin solid films, 1999, №345, p.p. 187-199.

37. Musil J., Karvankova P., Kasl J. Hard and super Zr-Ni-N nanocomposite films // Surface and Coatings Technology №139, 2001, p.p. 101-109.

38. Li T.S., Li H., Pan F. Microstructure and nanoidentation hardness of Ti/TiN multilayered films // Surface Coating and Technology №137, 2001, p.p. 225-229.

39. Kaelson L., Haltman L., Sundgren J.E. Influence of residual stresses on mechanical properties TiCxNi.x // Thin Solid Films, 2000, №371, p.p. 167177.

40. Патент США №2157478 (1937).

41. Патент США №2239642 (1937).

42. Патент США №3625848 (1968).

43. Патент США №3836451 (1970).

44. Патент Великобритании №1322670 (1973).56. А.с. СССР №284883 (1969).

45. А.с. СССР №359977 (Бюл. изобр. №18, 1976).

46. А.с. СССР №367755 (Бюл. изобр. №18, 1976).

47. А.с. СССР №1491039 Беляев В.Н., Власов А.Д., Моляр А.Г., Петров JI.M. и др. Многслойное покрытие изделий из нержавеющих и конструкционных сталей

48. Богданович В.И., Малкин В.И. Докукина И.А. Применение титана в узлах пар трения космических аппаратов // Проблемы машиностроения и автоматизации, 1998, №2-3, с. 100-104.

49. Богданович В.И., Снопов С.Г., Лебедев А.П. Износостойкость конструкционных материалов с тонкими покрытиями // Передовой технический опыт, 1986, №3, с.46-48.

50. Барвинок В.А., Богданович В.И., Цидулко А.Г. Опыт разработки и внедрения технологий напыления защитных покрытий // В кн.: Защитные покрытия в машиностроении, Киев: ИЭС им. Патона, 1987, с. 172-175.

51. Богданович В.И., Малкин В.И. Исследование ионно-плазменной технологии для металлизации композиционных материалов // Вопросы авиационной науки и техники. Сер. Технология авиационного двигателестроения, 1989, вып.1, с.86-88.

52. Богданович В.И., Плотников А.П., Корнилов В.Б. Исследование механизма возникновения отслаивающих напряжений в покрытиях // Вопросы специальной радиотехники. Сер. Теория и техника антенн, 1990, вып. 2(45), с.57-61.

53. Богданович В.И., Барвинок В.А., Юмашева Т.Л. Перспективность разработок в области получения новых материалов методами вакуумной ионно-плазменной технологии // Рыночная экономика: Сб. науч. Трудов, Самара, 1998, с.448-453.

54. А.с. №1737933 Катодный узел 10.02.96.

55. А.с.№2061787 Катодный узел электродугового испарителя 10.06.96.

56. А.с. №2059737 Электродуговой испаритель металлов 10.05.96.

57. А.с. №2046836 Способ локализации области перемещения катодных пятен вакуумной дуги на поверхности испарения протяженного катода 27.10.95.

58. А.с. №93043133/02 Установка для вакуумно-плазменной обработки изделий в среде рабочего газа. 31.08.93.

59. А.с. №2001972 Установка для нанесения упрочняющих покрытий методом электродугового испарения. 30.10.93.

60. А.с. №2036245 Способ химико-термической обработки изделий ионно-плазменным методом в среде реакционного газа. 27.07.95.

61. А.с. №2026414 Способ обработки изделий. 10.01.95.

62. А.с. №2039843 Способ комплексной обработки изделий. 20.07.95.

63. А.с. №2037599 Способ нанесения покрытий на изделия методом ионного распыления и устройства для его осуществления. 19.06.95.

64. А.с. №2033475 Способ вакуумного конденсационного нанесения покрытий. 20.04.95.

65. А.с. №2037558 Вакуумная печь. 19.06.95.

66. А.с. №2026431 Способ нагрева электропроводящих изделий в рабочей камере. 10.01.95.

67. А.с. №1552687 Электродуговой испаритель. 15.12.94.

68. А.с. №1531830 Электродуговой испаритель с магнитным управлением зоной испарения. 30.03.94.

69. А.с. №1505064 Электродуговой испаритель 15.12.94.

70. А.с. №93044940/02 Электродуговой испаритель ферромагнитных материалов. 10.09.93.

71. А.с. №2001159 Установка электродугового нанесения металлических покрытий в вакууме. 15.10.93.

72. Бабад-Захряпин А.А. Дефекты покрытий // М., изд. Энергоатомиздат, 1987, 152с.

73. Петров JT.M., Чертов С.И., Ильин А.А., Назимов О.П. Исследование кинетики окисления титанового сплава ТС-6 // В сб.тезисов научно-технической конференции молодых ученых и специалистов, М., 1983, с. 1.

74. Петров JT.M., Чертов С.И., Ильин А.А., Назимов О.П. Исследование влияния газонасыщения на структуру и свойства листов из титановых сплавов. // Тезисы докладов научно-методической конференции 25-летия СФМАТИ, Ступино, 1982, с. 2.

75. Моляр А.Г., Мних В.Н., Ткаленко Д.А., Петров Л.М. Исследование методов очистки деталей под вакуумную обработку // Тезисы докладов отраслевой конференции «Прогрессивные технологические процессы и оборудование для термообработки», Тбилиси, 1988, с. 11.

76. Binnig G., Rohrer Н. Scanning Tunneling Microscopy From Birth to Adolescence // Rev. Mod. Phys. 1987. Vol. 59. P. 615-625

77. N. John DiNardo, Nanometer-scale Science and Technology using Scanning Probe Microscopy // Department of Physics Drexel University, 2001

78. В. К. Неволин, Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии // Министерство образования и науки Российской Федерации ГОУ ВПО Московский государственный институт электронной техники (Технический университет), Учебное пособие, 2004г.

79. Бахтизин Р.З. Сканирующая туннельная микроскопия. // Соросовский образовательный журнал. 2000. Том 6. №11. С. 83-89.

80. К.Н.Ельцов, А.Н.Климов, В.Ю.Юров и др., Письма в ЖЭТФ, 1995, 62(5), с.431

81. Nathan Olfert, A reliable electrochemical etching procedure for tungsten STM tips // Surface Canada 2004

82. L.S. Dongmo, J.S. Villarrubia*, S.N. Jones, T.B. Renegar, M.T. Postek, J.F. Song, Experimental test of blind tip reconstruction for scanning probe microscopy // Ultramicroscopy 85 (2000) 141-153

83. Карташев В.А., Карташев B.B., Математическая модель процесса электрохимической заточки иглы туннельного микроскопа // ИПМ им. М.В.Келдыша РАН, Москва, 2007

84. Исследование топографии поверхности методом сканирующей туннельной микроскопии (СТМ). Описание лабораторной работы // Сост. Д.О. Филатов, А.В. Круглов. — Н. Новгород: НОЦ СЗМ Нижегородского государственного университета, 2001-22 с.

85. Н.Н. Холстинина, Д.В. Сурнин, Методика изготовления и аттестация вольфрамовых игл для СТМ // ВЕСТНИК УДМУРТСКОГО УНИВЕРСИТЕТА 2007. №4

86. Anne-Sophie Lucier, Preparation and Characterization of Tungsten Tips Suitable for Molecular Electronics Studies // Center for the Physics of Materials, Department of Physics McGill University, Canada, 2004

87. P.B. Лапшин, Автоматическая распределенная калибровка сканера зондового микроскопа // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2006, №11, с. 69-73

88. ГОСТ Р 8.630-2007, Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки

89. ГОСТ Р 8.628-2007, Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

90. ГОСТ Р 8.629-2007, Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки

91. А.А.Бухарев, В.С.Лобков, В.М.Яндуганов, Е.А.Самарский, Н.В.Бердунов, Сканирующая зондовая микроскопия дифракционных решеток, сформированных лазерным излучением // Оптика и спектроскопия, 1995, том 79, №3, с.417-425

92. А. Борисов, Т. Аблязизов, Кто победит в России: HD DVD или Blue-Ray ? // информационно-технический журнал «Техника и технологии кино», № 5/06

93. Спроул Роберт JI. Современная физика // М.: Наука, 1974, 86 с.

94. Епифанов Г.И. Физика твердого тела // М.: Высшая школа, 1977, 230 с.

95. Царев Б.И. Контактная разность потенциалов // М. Гостехиздат, 1949

96. Черепин В.Т. Итоги науки и техники. Металловедение и термическая обработка // М., том 14, 1980, с. 19.

97. Черепин В.Т., Васильев И.А. Методы и приборы для анализа поверхности материалов. Справочник // Наукова думка, 1982, с.33.

98. Грин М. Поверхностные свойства твердых тел // М.: Мир, 1972, с. 195.

99. Кальницкий А.П., Файнштейн А.И. // Измерительная техника, №5, 1980, с.56.

100. Thomas A. Microhardness measurement as a quality control technicue for thin, hard coatings // Surface Engineering, 1987, v.3, №2, p.l 17

101. П.А.Арутюнов, А.Л.Толстихина, B.H. Демидов, Система параметров для анализа шероховатости и микрорельефа поверхности материалов в сканирующей зондовой микроскопии // Заводская лаборатория. Диагностика материалов, №9, том 65, с.27

102. S. Yu. Vasil'ev, S. N. Pron'kin, G. A. Tsirlina, and O. A. Petrii, Scanning tunneling microscopy of disperse electrode nanomaterials: distortions and correction of images // Russian Journal of Electrochemistry, Vol. 37, No. 5, 2001, pp. 448^154

103. Claude Nogues , Meni Wanunu, A rapid approach to reproducible, atomically flat gold fdms on mica// Surface Science 573 (2004) L383-L389

104. Sieu D. Ha, Bilal R. Kaafarani, Stephen Barlow, Seth R. Marder, Antoine Kahn Multiphase Growth and Electronic Structure of Ultrathin

105. Hexaazatrinaphthylene on Au(lll) // J. Phys. Chem. С 2007, 111, 1049310497

106. M. Greiner and P. Kruse, Recrystallization of tungsten wire for fabrication of sharp and stable nanoprobe and field-emitter tips // REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS 78, 026104 2007

107. Соколов И.В. Контейнер для зонда сканирующего туннельного микроскопа (СТМ), для транспортировки и хранения в изопропиловом спирте // Патент на полезную модель №84153.