Повышение производительности и качества обработки поверхности крупногабаритных деталей сложной геометрической формы потоками металлической плазмы в вакууме тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.03.01, кандидат технических наук Рыбников, Сергей Иванович

• Рыбников, Сергей Иванович
• кандидат технических наук
• 2004

Оглавление диссертации кандидат технических наук Рыбников, Сергей Иванович

Оглавление.

Введение.

1. Теоретические и технологические особенности обработки поверхности материалов плазмой вакуумно-дугового разряда.

1.1. Перспективы применения вакуумных ионно-плазменных технологий модифицирования поверхностей материалов в машиностроении.

1.2. Физико-технические процессы в плазме, определяющие параметры технологического оборудования.

1.3. Формирование поверхностных слоев ускоренными потоками металлической плазмы.

1.4. Анализ современного оборудования для вакуумно-дугового нанесения покрытий.

1.5. Цели и задачи.

2. Формирование и транспортировка потоков металлической плазмы.

2.1. Совершенствование зондовой диагностики плазменных потоков.

2.2. Расчёт теплового режима катода вакуумно-дугового испарителя материалов.

2.3. Разработка систем транспортировки потоков плазмы наносимого материала на крупногабаритные изделия и детали сложной формы.

2.4. Результаты и выводы по главе.

3. Факторы, определяющие работоспособность защитных покрытий, и методики аттестации покрытий.

3.1. Требования, предъявляемые к покрытиям.

3.2. Методика исследования структуры, фазового и химического состава покрытий.

3.3. Методика коррозионных испытаний покрытий.

3.4. Методика испытаний на термоусталость.

3.5. Методика определения шероховатости поверхности покрытия.

3.6. Использование метода акустической эмиссии для исследования свойств покрытий.

3.7. Результаты и выводы по главе.

4. Ресурсосберегающие и экологически чистые технологии, оборудование и исследование свойств поверхности материалов.

4.1. Специализированная вакуумно-дуговая установка и технология нанесения защитных покрытий на лопатки газовых турбин.

4.2. Металлографический анализ структуры и термическая обработка литого кобальтового сплава для изготовления катодов ионно-плазменных установок.

4.3. Химические транспортные реакции при высокотемпературной коррозии лопаток газовых турбин.

4.4. Коррозионная стойкость покрытий системы CoCrAlY.

4.5. Термоциклическая прочность покрытий.

4.6. Структура и свойства покрытий.

4.7. Испаритель протяженной конструкции и его применение.

4.8. Технологическое применение систем транспортировки плазменных потоков.

4.9. Комбинированные технологии формообразования с применением защитных покрытий.

4.10. Результаты и выводы по главе.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Повышение производительности и качества обработки поверхности крупногабаритных деталей сложной геометрической формы потоками металлической плазмы в вакууме»

Во многих случаях эксплуатационные свойства деталей определяются состоянием их поверхностного слоя. Это объясняется тем, что поверхностный слой детали при ее эксплуатации подвергается наиболее сильно механическому, тепловому, химическому и другим воздействиям. Поэтому одним из наиболее эффективных способов повышения ресурса и надежности работы деталей является ионно-плазменное модифицирование их поверхности.

В последние годы интерес к технологиям обработки поверхности с целью повышения служебных свойств деталей и ресурса машин сильно возрос, особенно после того, как стало ясно, что, целенаправленно изменяя параметры технологических процессов, можно в нужном направлении изменять свойства поверхности и детали в целом. Обработка поверхности с нанесением покрытий позволяет проводить прецизионную размерную обработку поверхности, существенно повышать механическую прочность деталей, улучшать их антикоррозионные свойства и сопротивление износу, изменять коэффициенты трения, повышать теплозащитность деталей. При всех основных способах нагружения поверхностный слой деталей оказывается более нагруженным, чем сердцевина. Поверхностный слой в некоторой части детали может оказаться в самых неблагоприятных условиях (с точки зрения напряженности), поскольку рабочие напряжения складываются с технологическими остаточными микронапряжениями. Это приводит к принципиальным изменениям напряженности в поверхностном слое: резко~ возрастают результирующие напряжения, действующие в процессе эксплуатации, полностью меняется эпюра распределения напряжений по сечению детали. Таким образом, с позиции прочности детали важно, какая будет применена ее технологическая обработка, обусловливающая напряженное состояние материала поверхностного слоя.

Большой научный и практический интерес представляет разработка технологических процессов, основанных на формировании пленочных структур из плазмы наносимого материала, позволяющих наиболее эффективно управлять состоянием поверхностного слоя твердого тела. Процессы взаимодействия плазменных потоков с поверхностью твердого тела, механизмы изменения свойств поверхности под воздействием данных потоков, механизмы разрушения модифицированного поверхностного слоя в различных условиях эксплуатации, процессы создания новых перспективных материалов, в том числе и композиционных, являются на сегодняшний день недостаточно изученными и приоритетными направлениями поверхностной обработки материалов.

Одним из наиболее эффективных генераторов плазменных потоков наносимого материала является вакуумно-дуговой разряд, формирующийся в парах эродируемого материала катодным пятном вакуумной дуги. Технологические процессы модифицирования поверхности ускоренными потоками металлической плазмы на основе вакуумно-дугового разряда начали активно развиваться примерно с начала 70-х годов в Советском Союзе, а затем во многих странах мира. Однако и на сегодняшний день остается много неисследованных проблем. Высокие скорости плазменных потоков обусловливают особенности взаимодействия их с обрабатываемыми поверхностями, особенно сложных геометрических форм и больших размеров. Подбор технологических режимов модифицирования поверхности и внедрение в практику производства деталей упрочняющих технологий осуществляется в настоящее время в основном длительными экспериментальными исследованиями. Дальнейшее развитие метода модифицирования поверхностей потоками металлической плазмы, расширение номенклатуры обрабатываемых деталей сдерживается и отсутствием соответствующего оборудования.

Традиционные материалы покрытий, которые используются для защиты различных деталей, исчерпывают свои возможности с точки зрения обеспечения возрастающих требований к эксплуатационным свойствам. Поэтому активно ведется поиск новых материалов покрытий и новых интегрированных технологий, сочетающих различные процессы и методы и позволяющих получать поверхности, уникальные по геометрическому облику, композиции веществ, морфологии и свойствам. Однако развитие интегрированных технологий также сдерживается отсутствием соответствующего оборудования.

Состояние поверхностного слоя, а, следовательно, эксплуатационные свойства деталей определяются всеми стадиями технологического процесса -испарением материала, его транспортировкой и осаждением на поверхности.

Комплексное исследование условий формирования покрытий и изучение поверхностного слоя с учетом условий эксплуатации является прогрессивной тенденцией в повышении качества конструкционных материалов, в решении проблемы достижения высокой их конструктивной прочности и совместимости с окружающей средой. Анализ закономерностей поведения поверхностного слоя твердого тела, как в процессе ионно-плазменной обработки, так и в процессе эксплуатации с целью изучения физической природы взаимосвязи структуры, состава и строения с физико-механическими и химическими свойствами материалов и разработка научных основ управления этими свойствами является актуальной проблемой, имеющей важное народнохозяйственное значение.

Целью данной работы является создание оборудования и технологических основ направленного улучшения свойств поверхностных слоев твердых тел, обработанных потоками металлической плазмы в вакууме для повышения работоспособности и срока службы крупногабаритных деталей сложной геометрической формы.

Для достижения указанной цели в работе поставлены и решены следующие задачи:

- Создание технологического оборудования для поверхностной обработки крупногабаритных деталей сложной геометрической формы потоками металлической плазмы в вакууме.

- Разработка методов управления и систем транспортировки плазмонано-симого материала для равномерной обработки поверхности.

- Создание вакуумно-дуговых испарителей протяжённой конструкции с управляемой диаграммой направленности плазменного потока.

- Совершенствование зондовой диагностики основных параметров плазменных потоков, влияющих на свойства обрабатываемых поверхностей.

- Исследование теплового режима катода плазменного источника испаряемого материала.

- Разработка новых технологических процессов нанесения покрытий на созданном оборудовании для изделий сложной геометрической формы и исследование свойств покрытий.

- Экспериментальное исследование поверхностных свойств изделий, модифицированных процессом комбинированной обработки - плазмой вакуумно-дугового разряда с последующей магнитно-импульсной обработкой.

- Реализация предложенных разработок в промышленности.

Научная новизна:

-Исследована кинетика формирования вакуумно-дуговых коррозионно-стойких покрытий на лопатки стационарных энергетических газовых турбин с учётом процессов испарения наносимого материала, транспортировки плазменного потока и его взаимодействия с обрабатываемой поверхностью.

- Для упрощенной физической модели нагрева катода вакуумно-дугового испарителя получено аналитическое выражение, определяющее зависимость тока дугового разряда от времени для поддержания температуры катода на заданном уровне.

-Разработаны режимы термической обработки сплавов CoCrAlY, позволяющие за счёт ступенчатого или термоциклического отжига повысить пластичность и технологичность при обработке резанием катодов для вакуумно-дуговых установок из этого материала.

- Исследованы механизмы управления направленным движением катодных пятен вакуумной дуги по протяженной поверхности и созданы источники плазменных потоков с управляемой диаграммой направленности и с повышенной равномерностью испарения материала с боковой поверхности цилиндрического катода.

- Предложена математическая модель и разработаны принципы транспортировки потоков металлической плазмы для формирования равномерного покрытия по толщине с прогнозируемой шероховатостью поверхностного слоя.

- Усовершенствована математическая модель и получено аналитическое выражение, позволяющие повысить точность измерений параметров потока металлической плазмы с помощью одиночного электростатического зонда.

- Установлено положительное влияние магнитно-импульсной обработки на адгезионные свойства TiN покрытия, способствующее уменьшению на десятки процентов износа деталей с таким покрытием.

Практическая ценность:

Разработаны новые технологические процессы, элементы оборудования и технологические установки, впервые реализованные в промышленности при формообразовании новых деталей.

Достоверность полученных результатов подтверждается удовлетворительным совпадением результатов расчётов и экспериментов; положительным эффектом внедрения разработанных устройств и технологий в опытно - промышленных условиях и серийном производстве.

Реализация в промышленности. Разработанные на уровне патентов устройства для обработки деталей использованы при создании технологического оборудования. Впервые технология вакуумно-дугового нанесения коррозион-ностойких покрытий реализовано применительно к лопаткам стационарных газовых турбин (ГТ-100); опытная партия лопаток установлена в реальных турбинах для опытно-промышленной эксплуатации. Результаты диссертационной работы впервые использованы в серийном производстве мощных генераторных ламп объединения «Светлана» и применительно к другим изделиям на предприятиях Санкт-Петербурга.

Апробация работы. Основные результаты работы докладывались и обсуждались на научнотехнических конференциях и семинарах: «Генераторы низкотемпературной плазмы» в Новосибирске в 1989 г., «Современное электротермическое оборудование для поверхностного упрочнения деталей машин и инструмента» в Москве в 1990 г., «Поверхностный слой, точность и эксплуатационные свойства деталей машин» в Москве в 1991 г., «Газотермическое напыление в промышленности-93» в Санкт-Петербурге в 1993 г., «Новые конструкционные стали и сплавы и методы их обработки для повышения надёжности и долговечности изделий» в Запорожье в 1998 г., «Пленки и покрытия-98» в Санкт-Петербурге в 1998 г. и «Пленки и покрытия-2001» в Санкт-Петербурге в 2001 г., «Физические свойства металлов и сплавов» в Екатеринбурге в 2003 г.

Публикации. По теме диссертации опубликовано 19 печатных работ.

Структура и объём работы. Диссертация состоит из введения, четырёх глав и заключения, изложенных на 150 страницах машинописного текста, содержит 30 рисунков, 12 таблиц, список литературы, включающий 131 наименование и приложения.

Заключение диссертации по теме «Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки», Рыбников, Сергей Иванович

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

1. Теоретическими и экспериментальными исследованиями показаны направления повышения производительности и качества обработки поверхности изделий плазмой вакуумно-дугового разряда, связанные с разработкой технологий на основе многоиспарительных установок, с применением испарителей протяженной конструкции с управляемой диаграммой направленности плазменного потока, с использованием систем транспортировки плазменного потока, на основе комбинированных технологий.

2. Разработана для промышленного использования специализированная высокоэффективная установка вакуумно-дугового нанесения многослойных покрытий на крупногабаритные лопатки стационарных энергетических газовых турбин. На основе изучения процессов испарения наносимого материала, транспортировки плазменного потока и его взаимодействия с обрабатываемой поверхностью и с учетом особенностей работы установки разработана технологическая инструкция по нанесению металлокерамических покрытий на лопатки газовой турбины ГТ-100. На установку имеется полный комплект конструкторской документации, принадлежащий Институту проблем машиноведения РАН; установка защищена патентом на изобретение; технологическая инструкция имеет номер государственной регистрации.

3. На основе анализа методов управления движением катодных пятен вакуумной дуги по боковой поверхности протяженного цилиндрического катода разработан и запатентован вакуумно-дуговой испаритель, работающий в непрерывном режиме горения дуги, для равномерной обработки поверхности крупногабаритных изделий.

4. Впервые на основе вакуумно-дугового разряда разработана технология нанесения одного из наиболее современных и высокоэффективных антиэмиссионных покрытий (ZrC + Pt) на крупногабаритные и сложной геометрической формы сетки мощных генераторных ламп. Впервые данные покрытия на сетки реальных промышленно выпускаемых ламп были нанесены на экспериментальной установке в ИПМАШ РАН. Результаты экспериментальных исследований и промышленных испытаний данных ламп послужили основанием для широкого промышленного использования данной технологии и для создания специализированных установок на промышленном предприятии, как с применением многоиспарительных систем торцевого типа, так и с применением протяженных испарителей.

5. Разработана математическая модель для расчета магнитных систем транспортировки плазменных потоков, обеспечивающих равномерную обработку поверхности протяженных осесимметричных изделий простой и сложной геометрической формы. Получены аналитические выражения для расчета плаз-моводов при обработке внешней поверхности изделий цилиндрической и конусообразной формы. Экспериментально показано, что данные устройства не только обеспечивают высокую равномерность обработки поверхности, но и позволяют избавиться от основного недостатка метода — наличия дефектов на обрабатываемой поверхности в виде микрокапель продуктов эрозии катода.

6. Экспериментально установлено положительное влияние магнитноим-пульсной обработки плоской поверхности с нанесенным покрытием TiN на увеличение его износостойкости. Полученные результаты рекомендуются для использования при разработке комбинированной технологии формообразования: формовка деталей сложной формы из простой с предварительно нанесенным на ее поверхность покрытием вакуумно-дуговым методом.

7. Для определения скорости потока металлической плазмы - одного из основных факторов, определяющих эффективность обработки поверхности изделий, усовершенствована математическая модель и получено более точное математическое выражение, основанное на методике измерения параметров плазмы с помощью одиночного цилиндрического электростатического зонда.

8. Для упрощенной физической модели нагрева катода вакуумно-дугового испарителя получено аналитическое выражение, определяющее зависимость тока дугового разряда от времени для поддержания температуры катода на заданном уровне. Формирование покрытий при длительной работе испарителя и при условии поддержания температуры катода на заданном уровне способствует их однородности по всей толщине и, как следствие, повышению эксплуатационных свойств покрытий.

9. Разработаны режимы термической обработки сплавов CoCrAlY, позволяющие за счёт ступенчатого или термоциклического отжига повысить пластичность и технологичность при обработке резанием катодов для вакуумно-дуговых установок из этого материала;

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Рыбников, Сергей Иванович, 2004 год

1. Мрочек Ж.А., Эйзнер Б.А., Марков Г.В. Основы технологии формирования многокомпонентных вакуумных электродуговых покрытий. Минск: Навука итэхшка, 1991.-185с.

2. Физика и применение плазменных ускорителей. Материалы 2-ой ВНТК по плазменным ускорителям / Под редакцией Морозова А.И. -Минск: Наука и техника, 1974. -390с.

3. Гришин С.Д., Лесков Л.В., Козлов Н.П. Плазменные укорители. -М.: Машиностроение, 1983. -231с.

4. Методы плазменной технологии высоких энергий / С.Д. Гришин, A.M. Дородное, С.А. Мубояджян и др. // Плазменные ускорители. -Минск: ИФ АН БССР, 1976. -С.220-221.

5. Greene J.E. Optical spectoscopy for diagnostics and process control during glow charge etching and sputter deposition // J. Vac. Sci. Techno., 1978.-V.15.-N5.-P.1718-1728.

6. Kelly R. On the problem of whether mass or chemical bonding is more important to bombardment-induce compositional charges in alloys and oxides // Surface Sci.-1980.-V.100.-Nl. -P.545-546.

7. Предводителев A.A., Опекунов B.H. Эрозия поверхности материалов под действием ионной бомбардировки // Физ. и хим. обработки материалов. 1977.-№3. -С.44-61.

8. Дороднов A.M., Петросов В.А. О физических принципах и типах вакуумных технологических плазменных устройств // ЖТФ. 1981.-Т.51, №3. -С.504-524.

9. Барабанов Б.Н., Блинов И.Г., Дороднов A.M. Аппаратура плазменной технологии высоких энергий-«холодные системы» для генерации плазмы проводящих твёрдых веществ // Физ. и хим. обработки материалов. 1978.-№1. -С.476-478.

10. Барвинок В.А. Управление напряжённым состоянием и свойства вакуумных покрытий.- М. Машиностроение, 1990. -384с.

11. Богданович В.И. Вакуумные ионно-плазменные методы нанесения износостойких покрытий // В кн.: Прогрессивные процессы сварки и нанесения покрытий: Межвузовский сборник. -Куйбышев: КУАИ, 1987. -С.65-76.

12. Верещака А.С., Третьяков И.П. Режущие инструменты с износостойкими покрытиями. -М.: Машиностроение, 1986. -390с.

13. Волин Э.М. Ионно-плазменные методы получения износостойких покрытий // Технология лёгких сплавов. 1984.-№10. -С.55-88.

14. Григоров А.И., Дороднов A.M., Киселёв М.Д. Некоторые физические установок Пуск -77 // Технология автомобилестроения -М.: НИИавтопром, 1978. №12. -С.42-48.

15. Дороднов A.M. Технологические плазменные ускорители. // ЖТФ. 1978.-Т.48.- Вып.9. -С. 1858-1870.

16. Нанесение защитных покрытий методом физического осаждения // Materials Engineering. 1984.-Т.99.-№5. -Р.15.

17. Падалко В.Г., Толок В.Т. Методы плазменной технологии высоких энергий // Атомная энергетика. 1978.-Т.44.-Вып.5. -С.476-478.

18. Benning Hoff Hans. Физические методы нанесения твёрдых покрытий // Technische rundschau, 1986.-№78(47). -Р.36-39.

19. Cutting tools as good as gold // Metalworking Production, 1983.-N7. -P.45-47.

20. Rother Bernd. Основные приложения и применение плазменно-дугового напыления // Neue Hutte. 1987.-№32(4). -P. 121-126.

21. Кудинов B.B., Бобров Г.В. Нанесение покрытий напылением. Теория, технология и оборудование // Учебник для вузов -М.: Металлургия, 1992. -432с.

22. Фаррэл. Вакуумные дуговые разряды и коммутация цепей // ТИИЭР. 1973.-Т.61.-№8. -С.68-96.

23. Selzer A. Vacuum Interruption- a Review of the Vacuum Arc and Contact Functions // IEEE Trans. Ind. Appl. IA-8. 1972.-N6. -P.707-722.

24. Вакуумные дуги./ Под ред. Лафферти Дж. -М.: Мир, 1982. -432с.

25. Любимов Г.А., Раховский В.И. Катодное пятно вакуумной дуги // УФН 1978.- Вып.4. -С.665-703.

26. Месяц Г.А., Проскуровский В.И. Импульсный электрический разряд в вакууме. -Новосибирск: Наука, 1984. -256с.

27. Раховский В.И. Физические основы коммутации электрического тока в вакууме. -М.: Наука, 1970. -536с.

28. Фурсей Г.Н., Воронцов-Вельяминов П.Н. Качественная модель инициирования вакуумной дуги //ЖТФ. 1967.-Т.37.-Вып.10. -С. 1871-1885.

29. Сливков И.Н. Электроизоляция и разряд в вакууме. -М.: Атомиздат, 1972.

30. A. Van Oostrum. Surface Effects in Vacuum Breakdawn // In proc. 4th Int. Symp. Dischardes and Electrical Insulation in Vacuum, Waterloo, Ont., Canada.: Sept. 1970. -P. 1-12.

31. Reece M.R. The Vacuum Switch // Proc. Inst. Elec. End. Apr.l963.-V.l 10 -P.793-811.

32. Кимблин C.B. Ионные токи и электродные явления в вакуумной дуге // ТИИЭР. 1971.-Т.59.-№4. -С.121-130.

33. Khalifa М. Properties of Vacuum Arc Switching Ambient // Can. J. Technol. 1956.-V.34. -P.304-315.

34. Клярфельд Б.Н., Неретина H.A., Дружинина H.H. Разрушение металлов катодным пятном дуги в вакууме // ЖТФ. 1969.-Т.39.-Вып.6. -С.1061-1064.

35. Удрис Я.Я. О разрушении материала катодным пятном дуги // Радиотехника и электроника. 1963.-№6. -С.1057-1065.

36. Розанова Н.Б., Козлова М.В. О полёте макрочастиц вещества при электрическом пробое в вакууме // Радиотехника и электроника. 1959. №8. -С. 12671273.

37. К вопросу о влиянии теплофизических параметров материала на эрозию электродов в сильноточном дуговом разряде в вакууме / В.В.Канцель, Т.С.Куракина, В.С.Потокин и др. //ЖТФ. 1968.-Т.38.-Вып.6. -С. 1074-1077.

38. Кесаев И.Г., Пашкова В.В. Электромагнитная фиксация катодного пятна //ЖТФ. 1959.-Т.29.-Вып.З. -С.287-298.

39. Плютто А.А., Рыжков В.М., Капин А.Т. Высокоскоростные потоки плазмы вакуумных дуг//ЖЭТФ. 1964.-Т.47. -С.494.

40. Грановский B.JT. Электрический ток в газе. Установившийся ток. / Под ред. Сена JI.A. и Голанта В.Е. -М.: Наука, 1971. -543с.

41. Кесаев И.Г. Катодные процессы электрической дуги. -М.: Наука, 1968. -246с.

42. Мойжес Б.Я., Немчинский В.А. Эрозия и катодные струи вакуумной дуги // ЖТФ. 1980.- Т.50.- Вып.1. -С.78-86.

43. Влияние капельной фракции на газопоглащающие свойства титанового покрытия, формируемого из плазмы вакуумно-дугового разряда / Н.Э. Ветров,

44. В.Г. Кузнецов, А.А. Лисенков и др. // Вакуумная техника и технология.- 1999.-Т.9, №3.-С.27-30.

45. Синельников К.Д., Руткевич Б.Н. Лекции по физике плазмы. -Харьков: Изд. Харьковского госуниверситета, 1964. -241с.

46. Габович М.Д., Плешивцев Н.В., Семашко Н.Н. Пучки ионов и атомов для управляемого термоядерного синтеза и технологических целей. М.: Энерго-атомиздат, 1986. -248 с.

47. Современная кристаллография. -М.: Наука, 1979. Т.2, Т.З.

48. Технология тонких плёнок: справочник / Под ред. Л. Майселла, Р. Глэн-ка.- Т. 1.-664с.; Т.2.-768с.

49. Готт Ю.В. Взаимодействие частиц с веществом в плазменных исследованиях. -М.: Атомиздат, 1978. -272с.

50. Каминский М. Атомные и ионные столкновения на поверхности металла. -М.: Мир, 1967.-506с.

51. Аброян И.А., Андронов А.Н., Титов А.И. Физические основы электронной и ионной технологии. -М.: Высшая школа, 1984. -320с.

52. Валиев К.А., Раков А.В. Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике.- М.: Радио и связь, 1984. -352с.

53. Винйард Дж. Динамика радиационного повреждения.// Успехи физической науки. 1961. Т.74. Вып.З. -С.435-459.

54. Данилин Б.С., Киреев В.Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. -М.: Энергоатомиздат, 1987.- 264с.

55. Данилин Б.С., Киреев В.Ю. Ионное травление микроструктур. -М.: Советское радио, 1979. -232с.

56. Ивановский Г.Ф., Петров В.И. Ионно-плазменная обработка материалов. -М.: Радио и связь, 1986. -232с.

57. Bohdansky I., Roth I., Bay H.L. An analytikal formula and impotant parameters for low-energy ion sputtering // I. Appl. Phys. 1980, V.51, N5. -P.2861-2865; 1981. V.52. N3. -P.1610.

58. Poth I., Bohdansky I., Martinelli A.P. Low-energy light ion sputtering of metals and carbides.// Radiation Effects, 1980. V.48. -P.213-220

59. Аксёнов И.И.,Антуфьев Ю.П., Брень В.Г. Об условиях синтеза нитридов при конденсации плазменных потоков // Физ. и хим. обработки материалов. 1981. №4 -С.43-46.

60. Аксёнов И.И., Брень В.Г., Падалко В.Г. и др. Об условиях протекания химических реакций при конденсации потоков металлической плазмы // ЖТФ. 1978. Т.48.-Вып.6. -С.1164-1169.

61. Бабаева В.Г., Гусева М.Б. Адсорбция паров металла в присутствии ионного облучения //Изв. АН СССР. Сер. Физическая. 1973. Т.37.-№12. -С.2598-2602.

62. Барвинок В.А., Богданович В.И., Митин Б.С. и др. Закономерности формирования покрытий в вакууме // Физика и химия обработки материалов. 1986. №5. -С.92-97.

63. Достанко А.П., Грушецкий С.В., Киселевский Л.И. Плазменная металлизация в вакууме. М.: Наука, 1983. -279с.

64. Распыление твёрдых тел ионной бомбардировкой / Под редакцией Р. Бе-риша. М.: Мир, 1984. -С.484.

65. Плешивцев Н.В. Катодное распыление. М.: Атомиздат, 1968. -343с.

66. Мрочек Ж.А., Эйзнер Б.А., Ивашнёва В.И. и др.Исследование процесса распыления сплава ЭИ437Б ионной бомбардировкой // Электронная обработка материалов. 1990. №1. -С.45-46

67. Эйзнер Б.А., Марков Г.В., Ивашнёва В.И. Взаимодействие атомных частиц с твёрдым телом: Тезисы доклада 9-ой Всесоюзной конференции. М., 1989. Т.1.-С.165.

68. Эйзнер Б.А., Марков Г.В., Ивашнёва В.И. Структура многокомпонентных вакуумных электродуговых покрытий // Физика и химия обработки материалов. 1989. №4.-С.64-66.69. .Плазменные ускорители./ Под редакцией Л.А.Арцимовича.-М.: Машиностроение, 1973. 312с.

69. Дородное Ф.М. Промышленные плазменные установки: Учебное пособие / Изд. МВТУ им. Н.Э.Баумана. -М.: 1976.

70. Блинов В.Н., Падалко В.Г., Толок В.Т. Вакуумные плазменные и ионные методы осаждения износостойких покрытий // Всемирный электротехнический конгресс.- Москва, 21-25 июля 1977, доклад №56.-М.: Оргкомитет ВЭТК, 1977.

71. Каганов И.Л. Ионные приборы.- М.: Энергия, 1972. -528с.

72. Кирюшко В.И. и др. Методика измерения скорости расходящегося плазменного потока // Источники и ускорители плазмы: Харьков: ХАИ, 1983.-№7.

73. Абрамов И.С., Кузнецов В.Г., Лисенков А.А. Определение скорости направленного движения заряженных частиц в плазме // Электронные приборы: Межвуз. сб. науч. тр.- Рязань: РРТИ, 1988. -С.67-70.

74. Абрамов И.С., Вильдгрубе В.Г., Кузнецов В.Г. О производительности процесса нанесения покрытий с помощью вакуумно-дугового разряда // Меж-вуз. сб.: Вакуумная и плазменная электроника. Рязань: РРТИ, 1986. -С. 26-29.

75. Кузнецов В.Г. Тепловой режим катода в вакуумной дуге // Тезисы докл. НТС "Вакуумная техника и технология" СПб: ГТУ, 2003. -С. 26-27.

76. Промышленные установки электродугового нагрева и их параметры / Под ред. JI.E. Никольского.- М.: Энергия, 1971. -272с.

77. Juttner В. Cathode heating by vacuum arcs: a curvey // Beitrage aus der Plasma Physic. 1982. Bd.22, N 5. -S. 453-462.

78. Kuznezov V.G., Lisenkov A.A., Pavlova V.A., Vetrov N.Z. Influence of thermal cathode mode on properties of coatings deposited from metal plasma of vacuum-arc discharge // Plasma Devices and Operations. 2002.-V. 10. -P. 179-186.

79. Тепловые процессы при плавке нерасходуемым электродом / Под ред. JI.E. Никольского.- М.: Энергия, 1972.- 272с.

80. Кузнецов В.Г., Лисенков А.А., Песков О.Г. Вакуумно-дуговое нанесение покрытий на изделия сложной формы Тезисы докл. XXII Всесоюзной конф.: Перспективы развития техники радиовещательного приёма, радиовещания, звукоусиления, акустики. -Л.: 1988. -С.207.

81. Кузнецов В.Г., Рыбников С.И., Фёдоров В.И. О равномерности нанесения покрытий с помощью вакуумно-дуговых испарителей // Известия ЛЭТИ: Сб. научн. тр.- Л.: 1990. Вып. 419. -С.39-44.

82. Маталин А.А. Точность механической обработки и проектирование технологических процессов. -Л.: Машиностроение. 1970. -320с.

83. Валетов В.А., Васильков Д.В., Воронин А. В. и др. Автоматизированная система непараметрической оценки микрогеометрии поверхности / Меж-вуз.сб.научн.тр. -СПб: СЗПИ, 1995. -С.54-67.

84. Приборы и комплексы контроля качества машин. / Под ред. Галасовой К.П. СПб.: Изд. АО «НПЦ КОНТАКТ», 1995. -18с.

85. Фадин Ю.А., Лексовский A.M., Гинзбург Б.М. и др. Периодичность акустической эмиссии при сухом трении пары сталь латунь // Письма в ЖТФ. 1993.-Т.19, Вып.5.-С.10-13.

86. Щавелин В.М., Сарычев Г.А. Акустический контроль узлов трения ЯЭУ.-М.: Энергоатомиздат, 1988. -С. 176.

87. Фадин Ю.А., Козырев Ю.П., Булатов В.П. Оценка потери массы при абразивном изнашивании по данным акустической эмиссии // Трение и износ. 1999.-Т.20, № 2. -С. 193-196.

88. Бендат Дж., Пирсол А. Измерение и анализ случайных процессов. М.: Мир, 1974.-464с.

89. Валуев В.П., Рыбников С.И., Кузнецов В.Г. Нанесение вакуумно-дуговых покрытий на крупногабаритные изделия и изделия сложной формы. // Инструмент и технологии. 2004. №17-18. -С.33-39.

90. Повышение надёжности турбинных лопаток методом вакуумно-дугового нанесения покрытий / Буров И.В., Валуев В.П., Кузнецов В.Г. и др. // Сварочное производство. 1995.-№5. -С.13-16.

91. Патент №2155242 РФ, МКИ С23С14/46. Устройство для нанесения покрытий в вакууме / Кузнецов В.Г., Булатов В.П., Рыбников С.И. 2000. Б.И.№24.

92. Структура и некоторые свойства сплава ЖС6К с иттрием / Валуев В.П., Захаров М.М., Панюшин JI.A. и др. // Металловедение и ТОМ. 1980. № 4.-С.44-45.

93. Химушин Ф.Ф. Жаропрочные стали и сплавы. -М.: Металлургия, 1976. 672с.

94. Браун М.П. Перспективы исследований в области литейного металловедения // Повышение качества продукции литейного производства. Киев: ИПЛ АН УССР. 1978.-С. 17-23.

95. Симе Ч., Хагель В. Жаропрочные сплавы М.: Металлургия, 1976. -586с.

96. Приданцев М.В. Жаропрочные стареющие сплавы -М.: Металлургия, 1976. -220с.

97. Валуев В.П., Гуц А.В., Панюшин А.А. Влияние кобальта на жаростойкость никельалюминиевого сплава // Вопросы судостроения. Л.: Румб, 1977.-Вып.24. -С.86-99.

98. Термическая обработка литого кобальтового сплава для изготовления катодов ионно-плазменных установок / Валуев В.П., Синяков К.А., Кузнецов В.Г. и др. // Известия ВУЗов. Цветная металлургия, 1992.-№ 3-4. -С. 171-173.

99. Савицкий Е.М., Терехова В.Ф. Металловедение редкоземельных металлов. -М.: Наука, 1975.-271с.

100. Валуев В.П., Кузнецов В.Г., Рыбников С.И. Исследование состава и структуры катодов и плазменных покрытий из сплавов CoCrAlY // Труды 5-й Международной конференции «Плёнки и покрытия-98».-С-Пб, 1998.-С.472-473.

101. Рыбников С.И., Валуев В.П., Кузнецов В.Г. Структура и свойства кобальтового сплава для нанесения плазменных защитных покрытий // Физические свойства металлов и сплавов,- Екатеринбург: УГТУ-УПИ, 2003. -С.37-38.

102. Орышич И.В., Богаевский В.В. Исследование состава турбинных отложений и их влияние на высокотемпературную коррозию жаропрочных сплавов // Защита металлов. 1987.-Т.23, №1. -С. 104-110.

103. Никитин В.И. Коррозия и защита лопаток газовых турбин. -JL: Машиностроение, 1987. -277с.

104. Валуев В.П., Иванов С.И., Токаренко Т.В. Влияние технологических факторов на жаростойкость никелевого сплава // Судостроительная промышленность. Сер. Металловедение. Металлургия. -JL, 1988. В.1 -С.46-49.

105. О механизме хлоридно-сульфидной коррозии жаропрочных сплавов / Иванов С.И., Володин В.И., Симонов A.M. и др // Известия АН СССР. Неорганические материалы. 1988.-Т.24. -С.1929-1930.

106. Иванов С.И., Песков О.Г., Андреев В.А. Коррозионная стойкость сплавов системы CoCrAlY при хлоридно-сульфидной коррозии // Металлы. 1991.-№6. -С.174-176.

107. Получение и испытание коррозионной стойкости защитных оксидных покрытий на литых лопатках ГТУ / Пушкарев В.А., Валуев В.П., Иванов С.И. и др. // Коррозионностойкие покрытия. -СПб.: Наука, 1992. -С.133-136.

108. Валуев В.П., Валуева Т.В., Валуев А.В. Высокотемпературная хлоридно-оксидно-сульфидная коррозия жаропрочных сплавов // Современное машиностроение. -СПб.: ПИМаш.-2000. -С.281-287.

109. Коршунов Б.Г., Стефанюк C.JI. Введение в хлоридную металлургию редких металлов. -М.: Металлургия, 1970. -343с.

110. Особенности технологии вакуумно-дугового нанесения многокомпонентных покрытий / Кузнецов В.Г., Рыбников С.И., Буров И.В. и др. // Поверхностный слой, точность и эксплуатационные свойства деталей машин: Сб. научн.тр. Изд МАИ.-М., 1991,-С. 5-6.

111. Технология вакуумно-дугового нанесения защитных покрытий на лопатки стационарных энергетических газовых турбин / Кузнецов В.Г., Валуев В.П., Рыбников С.И. и др. // Труды 5-й Международной конференции «Плёнки и по-крытия-98».-СПб, 1998.-С.414-417.

112. Вакуумно-дуговая технология восстановления лопаток стационарных энергетических газовых турбин с выработавшим ресурс покрытием / Буров И.В., Кузнецов В.Г., Рыбников С.И. и др. // Современное энергомашинострое-ние.-СПб, 1997.-С.146-147.

113. Рентгеноструктурный и фазовый анализ продуктов высокотемпературной коррозии никелевых сплавов с покрытием CoCrAlY / Валуев А.В., Валуев В.П., Рыбников С.И. и др. // Современное энергомашиностроение: Сб. научн. тр. СПб: ПИМаш, 2003.-Вып. 5. С.37-40.

114. Патент №2072642 (Россия), МКИ Н05Н1/50. Вакуумно-дуговое устройство / Абрамов И.С., Быстров Ю.А., Лисенков А.А. и др. 1997. Б.И.№3.

115. Исследование свойств карбида циркония, полученного методом вакуумно-дугового нанесения / Кузнецов В.Г., Окишев В.Г., Рыбников С.И. и др. // Генераторы низкотемпературной плазмы: Сб. научн.тр. Наука.-Новосибирск.-1989.-Т.2.-С.367-368.

116. Получение плазменных антиэмиссионных покрытий на сетках мощных генераторных ламп / Буров И.В., Кузнецов В.Г., Рыбников С.И. и др. // Докла-дытмеждународного семинара «Газотермическое напыление в промышленно-сти-93».-СПб.-1993 .-С. 146-147.

117. Нанесение покрытий на большие поверхности вакуумно-дуговым методом / Кузнецов В.Г., Лисенков А.А., Рыбников С.И. и др. // Труды 6-й Международной конференции «Плёнки и покрытия-2001», СП6.-2001.-С.145-150.

118. Патент №2207399 (Россия), МКИ Н05Н1/50. Вакуумно-дуговое устройство / Буров И.В., Кузнецов В.Г., Рыбников С.И. и др. -2003.-Бюл.№18.

119. Кузнецов В.Г., Валуев В.П., Рыбников С.И. Управление потоками металлической плазмы при формировании покрытий // Труды 5-й Международной конференции «Плёнки и покрытия-98», СПб.- 1998.-С.226-228.

120. Вязкость и пластичность ионно-плазменных покрытий из нитрида титана / Моисеев В.Ф., Фукс-Рабинович Г.С., Досбаева Г.К. и др. // Заводская лаборатория. 1990.-№1. -С.57-59.

121. Белый И.В., Фертик С.М., Хименко JI.T. Справочник по магнитно-импульсной обработке металлов. -Харьков: Вища школа. 1977.-168с.

122. Сасов А.Ю. Система цифровой обработки изображений на базе микроЭВМ, совместимых с IBM PC // Микропроцессорные средства и системы. 1988.-Вып.№ 5. -С.58-61.

123. Кишкин С.Т., Клыпин А.А. Эффекты электрического и магнитного воздействия на ползучесть металлов и сплавов // Докл. АН СССР, 211(1973).-№2. -С.325.

124. Брагинский А.П. Классификация и анализ микро- и макродеформаций по акустической эмиссии / Физика и механика разрушения композиционных материалов. -Л.: ФТИ, 1986. -С.35-50.

125. Влияние магнитно-импульсной обработки на триботехнические свойства плазменного покрытия из нитрида титана / Булатов В.П., Кузнецов В.Г., Рыбников С.И. и др. //Трение и износ.-2000.-Т.21.-№6.-С.640-643.

126. Исследование влияния поверхностного деформирования на механизм износа покрытия из нитрида титана / Булатов В.П., Кузнецов В.Г., Рыбников С.И. и др. //Трение, износ, смазка.-2000.-Т.2,-№1.-С.6.