Оптимизация технологии вакуумной ионно-плазменной обработки поверхностей деталей авиационной техники тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.16.06, кандидат технических наук Спектор, Виктор Семенович

• Спектор, Виктор Семенович
• кандидат технических наук
• 2005

Оглавление диссертации кандидат технических наук Спектор, Виктор Семенович

Введение.

Глава I Состояние вопроса.

1.1. Современные тенденции «конструирования» вакуумных ионно-плазменных покрытий.

1.1.1. Комплексные методы нанесения покрытий.

1.1.2. Многокомпонентные покрытия.

1.1.3. Многослойные покрытия.

1.2. Оборудование для вакуумной ионно-плазменной обработки поверхности.

1.3. Методы контроля качества покрытий.

1.4. Параметры технологического процесса вакуумной ионно-плазменной обработки.

1.5. Эксплуатационные свойства вакуумных ионно-плазменных покрытий различного назначения.

1.6. Влияние технологических параметров формирования покрытий на их служебные свойства.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Оптимизация технологии вакуумной ионно-плазменной обработки поверхностей деталей авиационной техники»

Актуальность работы. Одним из направлений повышения работоспособности изделий авиационной техники является использование покрытий различного служебного назначения для защиты рабочих поверхностей деталей. При этом реализуется новый комплекс физико-химических и эксплуатационных свойств, не свойственный материалу основы. Значительный интерес, проявляемый к исследованиям и разработкам покрытий, объясняется кроме того тем, что они позволяют обеспечить как работоспособность поверхностных слоев изделий в экстремальных условиях эксплуатации, так и ремонтоспособность изделий.

Вакуумные ионно-плазменные технологии рассматриваются в настоящее время как наиболее перспективные технологии при производстве изделий авиационной техники. Они позволяют создавать сложные композиции различных видов покрытий, а также осуществлять комплексную обработку с предварительным диффузионным модифицированием. Это в свою очередь позволяет создавать градиентные структуры поверхностных слоев со специальными свойствами без ухудшения механических свойств в объеме изделий. При этом модифицирование поверхности дает значительный положительный эффект как за счет повышения ресурса работы изделий, так и за счет снижения затрат на мероприятия по повышению несущей способности основного материала, включая дополнительное легирование и совершенствование технологий производства полуфабрикатов и изделий.

Однако имеющиеся проблемы сдерживают широкое применение вакуумных ионно-плазменных технологий в производстве ответственных деталей авиационной техники.

Прежде всего, это проблема оптимизации технологии подготовки поверхности деталей перед вакуумной ионно-плазменной обработкой. Эта технология должна быть достаточно универсальной и обеспечивать высокую эффективность очистки поверхности деталей после любой предшествующей технологической операции. Кроме того, для сохранения микроструктуры в объеме детали, нагрев поверхности при очистке не должен превышать 200-300°С.

Вторая проблема связана с необходимостью сохранения исходного комплекса механических свойств материала детали. Это делает необходимым разработку таких технологических режимов, которые не только не снижают, но в ряде случаев даже повышают служебные характеристики материала детали за счет создания на поверхности композиционной структуры. Для эффективного решения этой проблемы необходимо создание основ метрологической системы оценки уровня служебных свойств и структурного состояния материалов, подвергнутых различным видам поверхностной обработки. Это позволит обеспечить воспроизводимость свойств поверхностных слоев материалов в технологических процессах.

Таким образом, исследования, направленные на решение проблемы применения экологически чистых вакуумных ионно-плазменных комплексных технологий модифицирования поверхности и нанесения покрытий для деталей авиационной техники, обеспечивающие гарантированный уровень эксплуатационных свойств, являются актуальными.

Цель работы состояла в установлении закономерностей формирования структуры и комплекса свойств поверхностных слоев деталей из сталей, титановых и жаропрочных никелевых сплавов при вакуумном ионно-плазменном модифицировании поверхности, нанесении покрытий и оптимизации на этой основе комплексных технологий обработки поверхности деталей авиационной техники.

Для достижения постановленной цели необходимо было решить следующие задачи:

1. Установить закономерности формирования структуры и комплекса свойств поверхностных слоев образцов из сталей, титановых и жаропрочных никелевых сплавов на различных этапах вакуумной ионно-плазменной обработки с использованием серийных установок типа «Булат» и определить пути оптимизации вакуумных ионно-плазменных технологий;

2. Разработать технологические способы повышения эффективности этапов очистки и активации поверхности перед модифицированием и нанесением покрытия;

3. Разработать методику оценки качества подготовки поверхности и эффективности проведения различных этапов технологического процесса модифицирования и нанесения покрытий;

4. На основе установленных закономерностей разработать структурную схему установок нового поколения и комплекс аппаратурных и технологических мероприятий, обеспечивающих воспроизводимость структуры поверхностных слоев и высокий уровень эксплуатационных свойств.

Научная новизна работы состоит в следующем:

1. Разработан метод очистки и активации поверхности деталей из сталей, титановых и жаропрочных никелевых сплавов ускоренной ионной газовой плазмой, обеспечивающий полное удаление оксидов без внесения макро- и микроструктурных дефектов. Показано, что для поверхностей с параметром шероховатости < 0,3 мкм энергия ионов не должна превышать 200 эВ, а для поверхностей сЯа> 0,3 мкм - 400 эВ.

2. Разработана комплексная система оценки эффективности этапов технологического процесса вакуумной ионно-плазменной обработки и качества формируемой поверхности изделий из сталей, титановых и жаропрочных никелевых сплавов. В рамках этой системы предложены:

- метод количественной оценки эффективности процессов очистки и активации поверхности по изменению величины поверхностного потенциала;

- рентгеновский флюоресцентный метод неразрушающего контроля толщины покрытия.

3. Установлены закономерности влияния энергетических параметров металлической плазмы на структурное состояние поверхностного слоя при модифицировании, а также на структуру, кристаллографическую текстуру и когерентность границ слоев при формировании многослойных покрытий.

Практическая значимость работы.

1. На базе серийной установки «Булат 6Т» разработана компоновочная схема универсальной установки модульного типа, которая позволяет реализовать комплексные технологии, сочетающие модифицирование и нанесение покрытий на поверхности деталей из сталей, титановых и жаропрочных никелевых сплавов, применяемых в авиастроении.

2. Разработаны методические материалы «Комплексная оценка качества формирования ионно-вакуумных покрытий и диффузионного модифицирования поверхности деталей и изделий машиностроения» (ММ 1-3430-4-2002), которые используются в производстве деталей авиационной техники в ОАО «НИАТ» и ОАО «ОКБ Сухого» и учебном процессе при подготовке магистров по направлению «Материаловедение и технология новых материалов» и специалистов по специальности «Материаловедение и технология материалов и покрытий» в «МАТИ»-Российском государственном технологическом университете им. К.Э. Циолковского.

3. Установлен количественный критерий выбора оптимальной температуры ионной очистки, при которой наибольшая дефектность поверхностных оксидов соответствует максимальной величине потенциала поверхности. Обоснованы и рекомендованы температуры ионной очистки поверхности (~400°С для титановых сплавов и ~350°С для сталей), обеспечивающие удаление оксидов с обрабатываемой поверхности при минимальном уровне энергетического воздействия плазмы на поверхность, что гарантирует сохранение исходной микрогеометрии поверхности и микроструктуры материала изделия.

4. На основе установленных закономерностей реализована технологическая схема модифицирования поверхности тормозных колодок из стали 12Х18Н10Т для авиационных шасси, включающая ионное азотирование и нанесение ZrN многослойных покрытий в едином технологическом цикле. Разработана и реализована комплексная технология обработки ниппельных соединений трубопроводов авиационной техники из титановых сплавов, сочетающая низкотемпературную очистку и активацию поверхности с вакуумным ионно-плазменным нанесением многослойных покрытий, позволяющая получить на поверхности многослойные эррозионностойкие градиентные структуры.

Заключение диссертации по теме «Порошковая металлургия и композиционные материалы», Спектор, Виктор Семенович

ВЫВОДЫ ПО РАБОТЕ

1. Установлены физико-химические закономерности вакуумного ионно-плазменного модифицирования поверхности и формирования покрытий, выявлены факторы, управляющие процессом создания поверхностных структур, обеспечивающих стабильный уровень эксплуатационных свойств изделий. Показано, что величина поверхностного потенциала (ф), измеряемая после каждого этапа технологического процесса нанесения покрытия и модифицирования поверхности, является объективным количественным критерием оценки качества поверхности и стабильности эксплуатационных свойств.

2. Установлено, что эффективным способом удаления поверхностных дефектов подложки при ионной очистке и активации поверхности является обработка её ионами газовой плазмы с энергией ~ 200 эВ для деталей с исходной шероховатостью <0,3 мкм. Для исходной поверхности с большей шероховатостью энергия ионов должна быть повышена до 400 эВ. Предложен количественный критерий оценки энергетического состояния поверхности по величине поверхностного потенциала. Установлена зависимость величины потенциала от степени загрязнения поверхности и способа последующей очистки.

3. Определены оптимальные температуры ионной очистки поверхности (~400°С для титановых сплавов и ~350°С для сталей), позволяющие обеспечить наиболее полное удаление оксидов с обрабатываемой поверхности с минимальным уровнем энергетического воздействия плазмы на поверхность, что гарантирует сохранение исходной геометрии и структуры изделия.

4. Установлено, что воздействие активной газовой и металлической плазмы на обрабатываемую поверхность заключается в совместном протекании процессов разогрева подложки, травления и диффузии элементов плазмы на глубину 30-50 нм. Исследование воздействия активной плазмы разных металлов (Т1, А1, Ът, Си и плазм сложного состава Ре-Сг-№) показало, что на этапе перехода к процессу конденсации возможно осаждение металлических атомов и образование оксидов. Последний процесс активизируется с повышением температуры подложки, что ухудшает качество формируемых поверхностных структур и адгезию.

5. Разработана комплексная система оценки качества формируемых поверхностей в процессе ионно-вакуумного модифицирования и нанесения покрытий, что позволяет обеспечить воспроизводимость служебных свойств покрытий и модифицированных слоев.

6. Разработана и реализована комплексная технология модифицирования поверхности тормозных колодок из стали 12Х18Н10Т для авиационных шасси, включающая ионное азотирование и нанесение многослойного покрытия.

7. Разработана технология получения многослойных 'ПЫ/'П/ТлЫ. покрытий на ниппельных соединениях трубопроводов для авиационных гидросистем, основанная на низкотемпературной очистке и активации поверхности, которая позволила снизить дефектность и соответственно проницаемость границы раздела металл/покрытие.

8. Разработана технология низкотемпературного ионного азотирования втулки из сплава ВТ6, включающая ступенчатое повышение концентрации азота в смеси с аргоном от 10 до 20% при температуре проведения процесса 600-650°С, что обеспечило формирование протяженного упрочненного слоя в 70-80 мкм, состоящего из твердого раствора азота в титане и £-Т1гМ нитрида. Это позволило получить величину микротвердости на поверхности детали 7,5 ГПа и высокую износостойкость.

- 175

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Спектор, Виктор Семенович, 2005 год

1. Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками (под редакцией Поута Дж.М.) // М. Машиностроение, 1987,424.

2. Абраимов Н.В., Елисеев Ю.С., Крымов В.В. Авиационное материаловедение и технология обработки металлов // М., Высшая школа, 1998,446 с.

3. Абраимов Н.В., Елисеев Ю.С., Крымов В.В. Химико-термическая обработка и защитные покрытия в авиадвигателестроении // М., Высшая школа, 1999, 526 с.

4. Sillich R.N., Bolster R.N. and Singer I.L. in Hubter G.K., Holland O.W., Clayton C.R. and White C.W. (eds.) Ion Implantation and Ion Beam Processing of Materials // Elsevier, Amsterdam, 1985, p. 637.

5. Pope L.E., Yost F.G., Follstaedt D.M., Picraux S.T. and Knapp J.A. in Hubler G.K., Holland O.W., Clayton C.R. and White C.W. (eds.) Ion Implantation and Ion Beam Processing of Materials // Elsevier, Amsterdam, 1985, p. 681.

6. Singer I.L. in Hubler G.K., Holland O.W., White O.W., Clayton C.R. and White C.W. (eds.) Ion Implantation and Ion Beam Processing of Materials // Elsevier, Amsterdam, 1985, p. 585.

7. Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками. Под редакцией Поута Дж.М. // М., Машиностроение, 1987, 424 с.

8. Комаров Ф.Ф. Ионная имплантация в металлических материалах // М., Металлургия, 1990, 216 с.

9. Плешивцев Н.В., Бажин А.И. Физика воздействия ионных пучков на материалы // М., Вузовская книга, 1998, 392 с.

10. Ильин А.А., Петров Л.М., Бецофен С.Я., Спектор B.C. Ионно-вакуумные технологии создания градиентных, нанометрических поверхностных структур в конструкционных материалах // Сборник трудов

11. I Российско-Японского семинара «Оборудование и технологии для производства компонентов твердотельной электроники и наноматериалов», М, МИСиС, 2005, с. 251-259.

12. Musil J., Vlcek J., Ruzicka M. Recent progress in plasma nitriding // Vacuum №59, 2000, p.p.940-951.

13. Baek W.S., Kwon S.C., Lee S.R. et al A study of the interfacial structute between the TiN film and the iron nitride layer in a duplex plasma surface treayment // Surface and Coatings Technology №114, 1999, p.p.94-100.

14. Da Yung Wang, Chi Lung Chang, Cheng Hsun Hsu, Hua Ni Lin Synthesis of (Ti,Zr)N hard coatings by unbalanced magnetron sputtering // Surface and Coatings Technology №130, 2000, p.p.64-68.

15. Boxman R.L., Zhitomirsky V.N., Grimberg I., Rapoport L., Goldsmith S. Structure and hardness of vacuum arc deposited multi-component nitride coatings of Ti, Zr, and Nb // Surface and Coatings Technology №125, 2000, p.p.257-262.

16. Moller W.C., Parascandola S., Telbizova T. et.al., Surface processes and diffusion mechanisms of ion nitriding of stainless steel and aluminium // Surface and Coatings Technology №136, 2001, p.p.73-79.

17. Ильин A.A., Бецофен С.Я., Скворцова C.B., Петров JT.M., Банных И.О. Структурные аспекты ионного азотирования титановых сплавов // Металлы, 2002, №3, с.6-15.

18. Мубояджян С.А., Каблов E.H., Будиновский С.А. Вакуумно-плазменная технология получения защитных покрытий из сложнолегированных сплавов//МиТОМ, 1995, №2. с. 15-18.

19. Мубояджян С.А., Будиновский С.А. Конденсированные и конденсационно-диффузионные покрытия для лопаток турбин из жаропрочных сплавов с направленной кристаллической структурой // МиТОМ, 1996, №4, с. 15-18.

20. Yagodkin Yu.D., Pastuhov K.M., Muboyadjyan S.A., Kablov E.N. Application of Ion-Beam Treatment in Turbine Blade Production Technology // Surface and Coatings Technology № 84, 1996, p. 590-593.

21. Мубояджян C.A., Будиновский C.A. Промышленная установка МАП-1 для нанесения защитных покрытий различного назначения // Авиационная промышленность, 1995, № 7-8, с. 44-48.

22. Мубояджян С.А., Помелов Я.А. Вакуумно-плазменная технология высоких энергий // В сб.: Вопросы авиационной науки и техники. Серия "Авиационные материалы", 1983, № 1 с. 64-70 (ВИАМ).

23. Афанасьев Н.И., Бушнев JI.C. Мубояджян С.А. и др. Структура и свойства жаростойких покрытий из сплава Ni-Cr-Al-Y // Известия вузов MB и ССО СССР, Физика, 1986, №12, с. 22-25.

24. Барабанов Б.Н., Блинов И.Г., Дороднов A.M., Дулова C.B., Минайчев В.Е., Мирошкин С.И., Мубояджян С.А. и др. Аппаратура плазменной технологии высоких энергий «холодные» системы для генерации плазм проводящих твердых веществ // ФХОМ, 1978, № 1, с. 44-51.

25. Верещака A.C., Третьяков И.П. Режущие инструменты с износостойкими покрытиями // М.: Машиностроение, 1986, 192 с.

26. Волин Э.М. Ионно-плазменные методы получения износостойких покрытий // Технология легких сплавов, 1984, №10, с. 55-88.

27. Григоров А.П., Дороднов A.M., Киселев М.Д. Некоторые физические основы установок Пуск-77 // Технология автомобилестроения, М.: НИИавтопром, 1978. т.2, с. 42-48.

28. Данилин Б.С, Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы // М.: Радио и связь, 1982, 72 с.

29. Падалко В.Г., Толок В.Т. Методы плазменной технологии высоких энергий // Атомная энергетика, 1978, т.44, вып.5, с. 476-478.

30. Физика и применение плазменных ускорителей. Под ред. А.И. Морозова // Материалы 2-й ВНТК по плазменным ускорителям, Минск: Наука и техника, 1974, 390 с.

31. Benning Hoff Hanns Физические методы нанесения твердых покрытий // Technische rundschau. 1986, №78.

32. Shengli Ma, Yanhuai Li, Kewei Xu The composite of nitrided steel of H13 and TiN coatings by plasma duplex treatment and the effect of pre-nitriding // Surface and Coatings Technology, №137, 2001, p.p. 116-121.

33. Sonoda T. and et. al Coating and superplastic Ti-alloy substrates Ti and Ti-0 films by magnetron DC sputtering // Thin Solid Films, №386, 2001, p.p. 227232.

34. Manory Rafael R., Perry Anthony J. Some effects of ion beam treatments on titanium nitride coatings of commercial quality // Surface and Coatings Technology, №114, 1999, p.p. 137-142.

35. Itoh Y., Itoh A., Azuma H., Hioki T. Improving the tribological properties of Ti-6A1-4V alloy by nitrogen-ion impantation // Surface and Coatings Technology, №111,1999, с. 172-176

36. Rudenija S. Duplex TiN coatings deposited by arc plating for increased corrosion resistance of stainless steel substrates // Surface and Coatings Technology, №114, 1999, p.p. 129-136.

37. Hasegava H., Kimura A., Suzuki T. Ti,.xAlxN, Ti,.xZrxN and Ti,.xCrxN films synthesized by the AIP method // Surface and Coatings Technology, №132, 2000, p.p. 76-79.

38. Discerens M., Patscheider J., Levy F. Improving the properties of titanium nitride by incorporation of silicon // Surface and Coatings Technology №108-109, 1998, p.p. 241-246.

39. Nose M., Zhou M., Nagae T., Mae T., Yokota M., Saji S. Properties of Zr-Si-N coatings prepared by RF reactive sputtering // Surface and Coatings Technology, №132, 2000, p.p. 163-168.

40. Lewis D.B., Donohue L.A. The influence of the yttrium content on structure and properties of Tiixy.zAlxCryYzN PVD hard coatings // Surface and Coatings Technology №114,1999, pp. 187-199.

41. Menzel S., Gobel Th., Bartsch K., Wetzig K. Phase transitions in PACVD-(Ti, A1)N coatings // Thin solid films. 1999. №345, p.p. 263-269.

42. Leoni M., Scardi P., Rossi S. et al (Ti, Cr)N and Ti/TiN PVD coatings on 304 stainless steel substrates: Texture and residual stress // Thin solid films, 1999, №345, p.p. 187-199.

43. Musil J., Karvankova P., Kasl J. Hard and super Zr-Ni-N nanocomposite films // Surface and Coatings Technology №139, 2001, p.p. 101109.

44. Andersen K.N., Bienk E.J., Schweitz K.O., Reitz H., Chevallier J. Deposition, microstructure and mechanical and tribological properties ofmagnetron sputtered TiN/TiAIN multilayers // Surface Coating and Technology №123, 2000, p.p. 219-226.

45. Li T.S., Li H., Pan F. Microstructure and nanoidentation hardness of Ti/TiN multilayered films // Surface Coating and Technology №137, 2001, p.p. 225-229.

46. Kaelson L., Haltman L., Sundgren J.E. Influence of residual stresses on mechanical properties TiCxN,.x // Thin Solid Films, 2000, №371, p.p. 167-177.

47. Патент СШA №2157478 (1937).

48. Патент США №2239642 (1937).

49. Патент США №3625848 (1968).

50. Патент США №3836451 (1970).

51. Патент Великобритании №1322670 (1973).65. А.с. СССР №284883 (1969).

52. А.с. СССР №359977 (Бюл. изобр. №18, 1976).

53. А.с. СССР №367755 (Бюл. изобр. №18, 1976).

54. А.с. СССР №1491039 Беляев В.Н., Власов А.Д., Моляр А.Г., Петров JI.M. и др. Многслойное покрытие изделий из нержавеющих и конструкционных сталей

55. Петров JI.M., Бецофен С .Я., Роняк Р.Н Формирование структуры многослойных ионно-вакуумных покрытий // Тезисы докладов научно-технич. конф. "Покрытия, упрочнение, очистка. Экологичеки безопасные технологии и оборудование", М., 1995, с.43-44.

56. Богданович В.И., Снопов С.Г., Лебедев А.П. Износостойкость конструкционных материалов с тонкими покрытиями // Передовой технический опыт, 1986, №3, с.46-48.

57. Барвинок В.А., Богданович В.И., Цидулко А.Г. Опыт разработки и внедрения технологий напыления защитных покрытий // В кн.: Защитные покрытия в машиностроении, Киев: ИЭС им. Патона, 1987, с. 172-175.

58. Богданович В.И., Малкин В.И. Исследование ионно-плазменной технологии для металлизации композиционных материалов // Вопросы авиационной науки и техники. Сер. Технология авиационного двигателестроения, 1989, вып.1, с.86-88.

59. Богданович В.И., Плотников А.П., Корнилов В.Б. Исследование механизма возникновения отслаивающих напряжений в покрытиях // Вопросы специальной радиотехники. Сер. Теория и техника антенн, 1990, вып. 2(45), с.57-61.

60. Богданович В.И., Барвинок В.А., Юмашева T.JI. Перспективность разработок в области получения новых материалов методами вакуумной ионно-плазменной технологии // Рыночная экономика: Сб. науч. Трудов, Самара, 1998, с.448-453.

61. A.c. №1737933 Катодный узел 10.02.96.

62. А.с.№2061787 Катодный узел электродугового испарителя 10.06.96.

63. A.c. №2059737 Электродуговой испаритель металлов 10.05.96.

64. A.c. №2046836 Способ локализации области перемещения катодных пятен вакуумной дуги на поверхности испарения протяженного катода 27.10.95.

65. A.c. №93043133/02 Установка для вакуумно-плазменной обработки изделий в среде рабочего газа. 31.08.93.- 18382. A.c. №2001972 Установка для нанесения упрочняющих покрытий методом электродугового испарения. 30.10.93.

66. A.c. №2036245 Способ химико-термической обработки изделий ионно-плазменным методом в среде реакционного газа. 27.07.95.

67. A.c. №2026414 Способ обработки изделий. 10.01.95.

68. A.c. №2039843 Способ комплексной обработки изделий. 20.07.95.

69. A.c. №2037599 Способ нанесения покрытий на изделия методом ионного распыления и устройства для его осуществления. 19.06.95.

70. A.c. №2033475 Способ вакуумного конденсационного нанесения покрытий. 20.04.95.

71. A.c. №2037558 Вакуумная печь. 19.06.95.

72. A.c. №2026431 Способ нагрева электропроводящих изделий в рабочей камере. 10.01.95.

73. A.c. №1552687 Электродуговой испаритель. 15.12.94.

74. A.c. №1531830 Электродуговой испаритель с магнитным управлением зоной испарения. 30.03.94.

75. A.c. №1505064 Электродуговой испаритель 15.12.94.

76. A.c. №93044940/02 Электродуговой испаритель ферромагнитных материалов. 10.09.93.

77. A.c. №2001159 Установка электродугового нанесения металлических покрытий в вакууме. 15.10.93.

78. A.c. №2013464 Способ комплексной обработки изделий. 30.05.94.

79. Бабад-Захряпин A.A. Дефекты покрытий // М., изд. Энергоатомиздат, 1987, 152с.

80. Петров JI.M., Чертов С.И., Ильин A.A., Назимов О.П. Исследование кинетики окисления титанового сплава ТС-6 // В сб. тезисов научно-технической конференции молодых ученых и специалистов, М., 1983, с. 1.

81. Петров JI.M., Чертов С.И., Ильин A.A., Назимов О.П. Исследование влияния газонасыщения на структуру и свойства листов изтитановых сплавов. // Тезисы докладов научно-методической конференции 25-летия СФМАТИ, Ступино, 1982, с. 2.

82. Моляр А.Г., Мних В.Н., Ткаленко Д.А., Петров Л.М. Исследование методов очистки деталей под вакуумную обработку // Тезисы докладов отраслевой конференции «Прогрессивные технологические процессы и оборудование для термообработки», Тбилиси, 1988, с. 11.

83. Спроул Роберт Л. Современная физика // М.: Наука, 1974, 86 с.

84. Епифанов Г.И. Физика твердого тела // М.: Высшая школа, 1977,230 с.

85. Царев Б.И. Контактная разность потенциалов // М. Гостехиздат,1949

86. Черепин В.Т. Итоги науки и техники. Металловедение и термическая обработка//М., том 14, 1980, с. 19.

87. Черепин В.Т., Васильев И.А. Методы и приборы для анализа поверхности материалов. Справочник // Наукова думка, 1982, с.33.

88. Грин М. Поверхностные свойства твердых тел // М.: Мир, 1972, с.195.

89. Кальницкий А.П., Файнштейн А.И. // Измерительная техника, №5, 1980, с.56.

90. С.М. Сарычев, А.И. Чернявский, JI.M. Петров, B.C. Спектор. Оценка энергетического состояния поверхности методом измерения контактной разности потенциалов. Научные труды МАТИ, в.5(77), 2004, с. 96-100.

91. Бецофен СЛ., Петров JI.A. Особенности рентгеновского измерения остаточных напряжений в TiN тонких покрытиях // Изв. АН СССР. Металлы, 1991, №1, с. 179-185.

92. Ягодкин Ю. Д., Пастухов К.М., Миляева Е.В., Мубояджанян С.А., Будиновский С.А. Рентгенографическое исследование остаточных макронапряжений в защитных покрытиях для лопаток газовых турбин // МиТОМ, № 11, 1997, с. 30-34.

93. Betsofen S.Ya., Petrov L.M. The Texture & Macrostress for Cutting Tool PVD Proceedings of the International Conference on Texture and Anisotropy Polycrystals // Clausthal, Germany, 1997, Edited by R.A. Schwarzer, p.p. 641647.

94. Betsofen S.Ya. Nondestructive X-ray methods of quality control for thin ceramic coatings // Refractory Metals & Hard Materials, v. 14, 1996, p.p.213-221.

95. Rikerby D.C., Bellamy B.A., Jones A.M. Internal stress and microstructure of titanium nitride coatings // Surface Eng., 1987, v.3, №2, p. 138.

96. Chollet L., Boving H., Hintermann H.E. Residual stress measurements of refractory coatings as a nondestructive evaluation //J. Mater, for Energy Systems, 1985, v.6, №4, p. 293.

97. Manory Rafael R., Perry Anthony J. Some effects of ion beam treatments on titanium nitride coatings of commercial quality // Surface and Coatings Technology, № 114, 1999, p.p. 137-142.

98. Бецофен С.Я., Петров JI.M., Лазарев Э.М., Коротков Н.А. Структура и свойства ионно-плазменных TiN покрытий // Изв. АН СССР, Металлы, 1990, №3, с. 158-165.

99. Thomas A. Microhardness measurement as a quality control technique for thin, hard coatings // Surface Engineering, 1987, v.3, № 2, p.l 17.

100. Бецофен С.Я. Исследование характеристик тонких керамических покрытий с помощью измерения микротвердости // Изв. РАН, Металлы, 1993, №2, с. 181-186.

101. Jehn Н.А., Kopacz U. Ultramikrohartemessungen an aufgestaubten hartstoffschichten//Proc.l 1th Plansee-Seminar, 1985, pp.1-19.

102. Бецофен С.Я., Петров Л.М. Прибор для неразрушающего определения толщины покрытий // Тезисы докладов научно-технической конференции "Покрытия, упрочнение, очистка. Экологически безопасные технологии и оборудование", М, 1995, с.45.

103. S.Y .Betsofen Film Thickness Measurements Make TiN Coatings Reliable // Advanced Coatings & Surface Technology, Technical Insights INC. Copyright, 1996, p.p.3-4.

104. Петров Л.М., Лантух А.Ю. Некоторые аспекты поверхностных энергетических процессов, протекающих на катоде электродугового разряда вакуумных установок // Научные труды МАТИ-60 лет, вып. 3(75), изд. Латмэс, 2000., с. 61-65.

105. Палатник JI.C., Фукс М.Я., Косевич В.М. Механизм образования и субструктура конденсированных пленок. М., Наука, 1972, с. 320.

106. Петров J1.M., Бецофен С.Я., Дервук В.В. Формирование композиционных износостойких покрытий: состав, технология, состояние подложки, структура // Научные труды МАТИ, вып. 1(73), 1998, изд. Латмэс, с.67-71

107. Петров J1.M., Сарычев С.М., Спектор B.C., Иванчук С.Б. Влияние ионного азотирования на процесс окисления титановых сплавов // Тезисы докладов Всероссийской научно-технической конференции «Новые материалы и технологии» (НМТ-2004), с. 82-83.

108. Ильин A.A., Спектор B.C., Петров Л.М. Комплексная оценка обеспечения работоспособности титановых сплавов методами вакуумной, ионно-плазменной обработки // Авиац. пром., №2, 2005, с.27-32.

109. Бецофен С.Я., Петров Л.М., Сарычев С.М., Спектор B.C. Дифракционные методы исследования модифицированных поверхностных слоев титановых сплавов // Научные труды МАТИ, в.5(77), 2004, с. 14-18.

110. Ильин A.A., Романовский Е.А., Бецофен С.Я., Петров Л.М., Спектор B.C., Серков М.В. Исследование структуры TiN покрытий методами ядерного обратного рассеяния протонов и рентгеноструктурного анализа // Металлы, 2005, №2, с. 33-37.