Термомеханическая обработка материалов проходной оптики лазеров среднего ИК - диапазона тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.06, кандидат технических наук Петраков, Валерий Сергеевич

• Петраков, Валерий Сергеевич
• кандидат технических наук
• 2006

Оглавление диссертации кандидат технических наук Петраков, Валерий Сергеевич

Введение.

1 Проблемы повышения лазерной стойкости материалов силовой ИК оптики. Обзор литературы.

1.1 Механизмы повреждения материалов силовой ИК оптики под действием излучения СОг-лазеров.

1.2 Материалы силовой лазерной оптики и способы улучшения их эксплуатационных характеристик.

1.3 Постановка задачи исследования.

2 Методика проведения экспериментальных исследований.

2.1 Кристаллы для исследования.

2.2 Методика исследования напряжений и структуры деформационно-упрочненных кристаллов.

2.3 Методика термомеханической обработки крупногабаритных кристаллических заготовок.

2.4 Методы исследования стойкости щелочногалоидных кристаллов к воздействию лазерного излучения.

2.4.1 Аппаратура для исследования стойкости ЩГК к воздействию широкоапертурного лазерного излучения.

2.4.2 Методика определения стойкости ЩГК к воздействию излучения С02-лазеров.

2.5 Выводы по главе 2.

3 Термомеханическая обработка кристаллов КС1.

3.1 Примеси в щелочногалоидных кристаллах.

3.2 Пластичность ЩГК и деформационное упрочнение кристаллов КС 1.

3.3 Морфология пластичности кристаллов КС1.

3.4 Исследование влияния режимов деформационного упрочнения на механические характеристики КС1.

3.4.1 Температурная зависимость предела текучести деформационно-упрочненных кристаллов.

3.4.2 Температурная зависимость характеристик релаксации напряжений в деформационно-упрочненных кристаллах.

3.5 Влияние деформационного упрочнения на оптические характеристики кристаллов КС1.

3.5.1 Влияние деформации на коэффициент поглощения кристаллов КС1 на длине волны 10,6 мкм.

3.5.2 Влияние деформации на расходимость оптического луча.

3.6 Выводы по главе 3.

4 Исследование лазерной стойкости деформационно-упрочненных щелочногалоидных кристаллов.

4.1 Морфология повреждений, возникающих под действием импульсного лазерного излучения.

4.2 Стойкость кристаллов КС1 к воздействию непрерывного, импульсного и импульсно-периодического лазерного излучения.

4.3 Выводы по главе 4.

5 Возможности использования пластической деформации для создания плоских дифракционных оптических элементов мощных ССЬ-лазеров.

5.1 Дифракционные оптические элементы - фокусаторы ИК- излучения.

5.2 Получение дифракционного рельефа на поверхности кристалла КС1.

5.2.1 Выбор материала пуансона и изготовление пуансона для получения высокого качества поверхности деформируемого кристалла КС1.

5.2.2 Создание дифракционного рельефа на поверхности КС в режиме термомеханической обработки.

5.3 Влияние температуры и степени деформации на оптическое пропускание деформированных кристаллов КС1 с дифракционным рельефом.

5.4 Выводы по главе 5.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Термомеханическая обработка материалов проходной оптики лазеров среднего ИК - диапазона»

Разработка мощных широкоапертурных СО- и СО2- лазеров обострила потребность в материалах для изготовления крупногабаритных оптических элементов (окон, призм, линз и т.п.) для силовых оптических трактов, способных работать без разрушения в условиях воздействия ИК излучения с интенсивностью, достигающей десятков киловатт в непрерывном и энергией несколько килоджоулей в импульсном режимах генерации.

Воздействие лазерного излучения на материал имеет сложный характер. Действие лазерного излучения может приводить к общему нагреву материала и возникновению термических напряжений, к локальному нагреву неоднородностей материала, которые являются концентраторами напряжений, к появлению электромагнитных полей на уровне пробоя, к появлению плазменных факелов вблизи поверхности материала, вызывающих нагрев материала и возникновение ударных волн, и т.д. Характер воздействия лазерного излучения во многом зависит от вида излучения (импульсное или непрерывное, сфокусированное или широкоапертурное) и от свойств оптического материала.

В настоящее время выполнен комплекс теоретических и экспериментальных исследований, направленных на повышение работоспособности оптических элементов силовой ИК оптики. Разработаны принципы создания проходной оптики импульсных и непрерывных лазеров среднего ИК диапазона, способы повышения лазерной стойкости, надежности и срока службы элементов силовой ИК оптики, а также конструкции окон вывода излучения мощных широкоапертурных импульсных и импульсно-периодических СОг лазеров. Созданы физические модели процессов лучевого разрушения материалов под действием лазерного излучения. Открыт эффект накопления повреждений при облучении материалов лазерным излучением.

Важнейшим требованием к материалам для элементов лазерной оптики является низкий коэффициент поглощения в ИК области спектра. Окна вывода излучения СОг-лазеров изготавливают из полупроводниковых соединений типа

А3В5 и А2В6 (GaAs, ZnSe, CdTe) и щелочногалоидных кристаллов. Из-за сильной температурной зависимости концентрации носителей заряда, а следовательно и коэффициента поглощения, полупроводниковые кристаллы могут быть использованы при относительно низких плотностях мощности излучения (до 0,5л

3 кВт/см ). Щелочногалоидные кристаллы (ЩГК), имеющие достаточно низкий коэффициент поглощения в ИК области спектра, порядка 10"4см'', перспективны для изготовления крупногабаритных оптических элементов (ОЭ) силовых оптических трактов. Недостатком кристаллов является низкая механическая прочность, в связи с высокой анизотропией свойств, приводящей к легкому раскалыванию кристаллов по плоскостям спайности, появлению трещин и разрушению ЩГК в условиях термомеханических перегрузок. Для увеличения лазерной стойкости оптических элементов из ЩКГ и расширения возможностей их использования в оптических трактах мощных лазерных установок необходимо повысить механическую прочность кристаллов. Так как один из основных методов упрочнения ЩГК -легирование приводит к одновременному увеличению поглощения в ИК области спектра, то поиск методов упрочнения ЩГК определяет актуальность данной работы.

Целью работы является разработка метода повышения стойкости оптических элементов из ЩГК к лазерному воздействию путем увеличения механической прочности кристаллов при сохранении высоких оптических характеристик ЩГК. Для достижения поставленной цели необходимо решить следующие задачи:

• исследовать деформационное упрочнение кристаллов в процессе термомеханической обработки (ТМО);

• найти оптимальные условия деформационного упрочнения ЩГК, обеспечивающие упрочнение кристаллов, сохранение низкого коэффициента поглощения и устойчивость полученной микроструктуры при повышенных температурах;

• изучить влияние деформационного упрочнения на оптическое качество и стойкость ЩГК к воздействию импульсного и непрерывного лазерного излучения;

• разработать способ термомеханической обработки крупногабаритных кристаллов и разработать метод изготовления дифракционных оптических элементов проходной ИК лазерной оптики с помощью пластической деформации.

Научная новизна работы заключается в следующем:

1. Установлена зависимость упрочнения ЩГК от вида микроструктуры, полученной в результате ТМО в диапазоне температур 300-900 К.

2. Определены оптимальные условия ТМО, обеспечивающие упрочнение кристаллов, сохранение низкого коэффициента поглощения и устойчивость полученной микроструктуры при повышенных температурах: температура деформации 400-450 К, степень деформации 10-15%, скорость деформации 0,010,1 мм/мин.

3. Установлено, что изготовленные из упрочненных кристаллов оптические элементы проходной лазерной оптики имеют повышенную стойкость к лазерному воздействию при различных режимах облучения: значения порогов лазерного повреждения объема и поверхности деформационно-упрочненных ЩГК в 1,2-1,5 раза выше, чем у монокристаллов. Показана возможность использования пластической деформации путем одноосного сжатия пластин КС1 для получения дифракционных оптических элементов на поверхности ЩГК.

Практическая значимость работы заключается в следующем: Разработаны режимы ТМО для деформационного упрочнения оптических элементов из кристаллов КС1. Разработано стендовое оборудование для получения крупногабаритных деформационно-упрочненных заготовок оптических элементов широкоапертурных С02-лазеров из кристаллических пластин ЩГК диаметром до 300 мм путем сжатия при температурах 300 - 900 К при усилиях до 1200 кН и скоростях деформации 0,01-1 мм/мин. Из деформационно-упрочненных кристаллов изготовлены окна вывода излучения TEA и CW С02-лазеров с апертурой до 150 мм, стойкостью в 1,2-1,5 раз превышающей стойкость окон из исходных монокристаллов.

Разработан метод получения дифракционных оптических элементов путем деформации сжатием монокристаллов ЩГК, позволяющий получать дифракционные решетки, линзы Френеля и другие дифракционные оптические элементы проходной ИК лазерной оптики.

Основные результаты работы докладывались и обсуждались на семи международных и республиканских научных конференциях:

• научно-технической конференции "Технология производства и обработки оптического стекла и материалов". Москва, 15-16 ноября 2000 г. Дом оптики.

• IV Всероссийской научно-технической конференции "Проблемы создания лазерных систем". Радужный, 25-27 сентября 2002 г.

• VI Intern. Conf. "AMPL'2003". Tomsk, 15-19 September 2003г.

• второй Международной конференции по физике кристаллов «Кристаллофизика 21-го века», посвященной памяти М.П.Шаскольской. Москва, 28-30 октября 2003 г.

• симпозиуме «Лазеры на парах металлов». Лоо, 21-23 сентября 2004 г.

• республиканской научно-технической конференции «Лазеры. Измерения. Информация». С-Петербург, 8-9 июня 2005г.

• VII Intern. Conf. "AMPL'2005". Tomsk, 12-16 September 2005г.

По теме диссертации опубликовано 13 печатных работ: 4 статьи в журналах и 9 тезисов докладов.

Диссертация состоит из введения, пяти глав, выводов и списка литературы,

Заключение диссертации по теме «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники», Петраков, Валерий Сергеевич

5.4 Выводы по главе 5

1. Разработан способ получения оптических элементов, не требующих дополнительной механической обработки поверхности, с поверхностями высокого оптического качества (не ниже 13 класса чистоты) путем пластической деформации пластин КС1 между полированными пластинами, изготовленными из кремния, до степени деформации 10-20% со скоростью 0,01-0,1 мм/мин при температуре 450-500 К.

2. Разработан способ получения плоских дифракционных элементов на поверхности оптических элементов проходной оптики ИК лазеров путем термомеханической обработки, заключающийся в переносе дифракционного рельефа кремниевого пуансона на поверхность ЩГК при высокотемпературной пластической деформации, позволяющий создавать упрочненные оптические элементы с устойчивой однородной мелкозернистой структурой, с рельефом на поверхности для формирования лазерного луча с заданными пространственными характеристиками.

3. Изготовлен плоский дифракционный оптический элемент - дифракционная решетка, путем переноса рельефа Si-пуансона на поверхность кристаллов КС1 в процессе одноосного сжатия.

Заключение. Основные результаты работы и выводы

На основании экспериментальных исследований пластической деформации кристаллов КС1, микроструктуры, релаксации напряжений, оптической однородности деформированных кристаллов, состояния примесных центров в кристаллах, оптической стойкости кристаллов к воздействию широкоапертурного лазерного Ж излучения с длиной волны 10,6 мкм, с апертурой до 15 см, были получены следующие основные результаты:

1. Создан экспериментальный стенд, позволяющий проводить термомеханическую обработку монокристаллических пластин из КС1, диаметром до 300 мм, высотой до 130 мм, при температурах до 900 К, нагрузках до 1200 кН, скорости деформации 0,01-1 мм/мин.

2. Установлено, что эффект деформационного упрочнения КС1 возрастает с ростом степени предварительной пластической деформации до 8 = 1015 %, а затем как с увеличением степени деформации, так и с ростом температуры ТМО эффект упрочнения снижается.

3. Исследование температурной зависимости деформационного упрочнения показало, что от комнатной до температур 400-500 К температурная зависимость деформационного упрочнения слабая (первый атермический участок); при 500-550 К наблюдается резкий спад предела текучести деформационно-упрочненных кристаллов, а при Т>550К наблюдается второй атермический участок. Температурная зависимость предела текучести деформационно-упрочненных кристаллов подобна температурной зависимости предела текучести кристаллов, упрочненных примесями, и по температурным интервалам совпадает с известными температурными зависимостями интенсивности рассеяния света в кристаллах КС1, связанными с состоянием примесных центров в кристаллах.

4. Начало температурного спада деформационного упрочнения происходит в области температур начала рекристаллизации (температура 500 — 550 К) и характеризуется образованием мелкозернистой однородной структуры, при этом термомеханические напряжения в кристалле в значительной степени релаксированы. Такая структура сохраняет свои свойства в течение длительного времени и при нагреве до Т = 350 - 400 К, что важно для эксплуатации оптических элементов. Высокотемпературный атермический участок деформационного упрочнения соответствует области собирательной рекристаллизации.

5. Установлено, что с увеличением степени предварительной деформации неоднородность кристалла, определяющая расходимость лазерного луча, растет. При деформации до 20 % расходимость луча не превышала 0,3 мрад; деформацию до степени 15 % заведомо можно использовать для упрочнения кристаллов без существенного увеличения расходимости лазерного луча в оптических элементах.

6. Испытания стойкости оптических элементов из КС1 к воздействию излучения СОг-лазера при различных режимах облучения показали, что лазерная стойкость оптических элементов из деформационно-упрочненных кристаллов в 1,2-1,5 раза выше, чем у элементов, изготовленных из исходных монокристаллов.

7. Показана возможность одновременного использования пластической деформации ЩГК при термомеханической обработке как для создания упрочняющей структуры кристалла, так и для изготовления дифракционных оптических элементов управления лучом ИК лазера (фокусаторов, дифракционных решеток и т.п.) путем переноса рельефа пуансона на поверхность деформированной заготовки. В результате такой ТМО получается готовый оптический элемент с деформационно-упрочненной однородной мелкозернистой структурой, с поверхностью высокого оптического качества, с дифракционным управляющим рельефом на поверхности.

Таким образом, для повышения стойкости элементов широкоапертурной силовой оптики мощных лазеров среднего ИК диапазона предложен метод деформационного упрочнения кристаллических заготовок и разработан режим термомеханической обработки монокристаллических пластин КС1 путем одноосной пластической деформации при температуре 450 - 500 К, скорости деформации 0,01 - 0,1 мм/мин и степени деформации 10 - 15 %.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Петраков, Валерий Сергеевич, 2006 год

1. Месяц Г.А., Осипов В.В., Тарасенко В.Ф. Импульсные газовые лазеры.- М.: Наука, 1991.- 272 с.

2. Абильсиитов Г.А., Велихов Е.П., B.C. Голубев и др. Мощные газоразрядные СОг-лазеры и их применение в технологии М.: Наука, 1984.- 108 с.

3. Летохов B.C., Устинов Н.Д. Мощные лазеры и их применение.- М.: Советское радио, 1980.- 112с.

4. Воронова И.М., Максимов Ю.П., Савушкин В.Н. Оптические материалы для лазеров ИК-диапазона. Отчет.- ОНТИ-ЮО.- М., 1987.- 45 с.

5. Бахарев М.С., Миркин Л.И., Шестериков С.А. и др. Структура и прочность материалов при лазерных воздействиях. М.: МГУ, 1988.-224 с.

6. Рэди Дж. Действие мощного лазерного излучения на вещество. Пер. с англ. -М.: Мир, 1974.- 472с.

7. Карась В.Р. Перспективные материалы для окон С02-лазеров. Обзорная информация. Серия: Монокристаллы.- М.: НИИТЭХИМ и ВНИИ Монокристаллов, 1978.- 53 с.

8. Карлов Н.В., Сисакян Е.В. Оптические материалы для СОг-лазеров // Изв. АН СССР. Сер.физ.- 1980,- Т.44.- №8.- с. 1631-1638.

9. Дацкевич Н.П., Карлов Н.В., Кузьмин Г.П. и др. Оптическая прочность РЖ-материалов для импульсных С02-лазеров при больших пятнах облучения // Краткие сообщения по физике.- 1983.- № 6.- с. 3-7.

10. Материалы лазерной оптики// Военная техника и экономика. Серия Т.- 1978.-№ 1.-с. 90-102.

11. Deutsch T.F. Laser window materials on overview // J. of Electronic Materials.-1975.- V.4.- № 4.- P. 663-719.

12. Sparks M., Gottis M. Pressure-induced optical distortion in laser windows//Appl. Phys.- 1973.- V.44.- № 2.- P. 787-794.

13. Lussier F.M. Guide to IR-transmitting materials// Laser Focus.- 1976.- V.- 12.- № 12.-P. 47-50.

14. Klein C.A. Stress-induced birefringence, critical window orientation and thermal lensing experiments//NBS Spec. Publ. Washington; D.S.: U.S. Government Printing office -1981.-№620.-P. 117-128.

15. Bennett H.E. Thermal distortion thresholds for optic trains handling high pulse powers //NBS Spec. Publ. Washington; D.S.: U.S. Government Printing office.-1976.-№462.-P. 11-24.

16. Taylor R.L., Donadio R.N. Donadio R.N. An infrared alternative: vapor-deposited materials // Laser Focus.-1981.- V.- 17.- № 7.- P. 41 -43.

17. Marsh J., Savage J. Infrared optical materials for 8-13 цт // Infrared Phys.- 1974.-V.-14.-№ 12.-P. 85-91.

18. Hargreaves W.A. Magnesium fluoride update and summary of optical properties // Laser Focus.- 1982.- V.-18.- № 9.- P. 86-93.

19. Klein C.A., Willingham C.B. Elastic properties of chemically vapor-deposited ZnS and ZnSe// NBS Spec. Publ. Washington; D.S.: U.S. Government Printing office.-1985.-№697.-P. 137-140.

20. Можлевский Б.М., Тумпурова В.Ф., Чудновский А.Ф. и др. Теплопроводность фторидов щелочно-земельных металлов // ИФЖ. -1976,- Т.30.- № 2. с. 322-327.

21. Бондарев А.С., Жулай В.Я., Зайончковский Н.В. Лучевая прочность кристаллов КС1, полученных в реактивной атмосфере // ВОТ.- 1985,- Серия X.- № 7 (207).-с. 24-27.

22. Зайончковский Н.В. и др. Поглощение и лучевая прочность кристаллов хлористого натрия, полученных в кварцевом и платиновом тиглях // ВОТ.- 1985.-Серия X.- № 7 (207).- с. 32-35.

23. Борисов Б.А., Прокофьев С.В., Спендиаров Н.Н. и др. Получение пластин селе-нида цинка диаметром 120 и 160 мм с малым поглощением методом направленной кристаллизации из стехиометрического расплава // ВОТ,- 1984.- Серия X.- № 4.- с. 23-26.

24. Величко И.А., Прокофьев С.В. Выращивание оптически однородных кристаллических пластин селенида цинка из расплава // ВОТ.- 1982.- Серия X.- № 170.-с. 26-27.

25. Валов Ю.А., Гарибин Е.А., Носов В.Б. и др. поликристаллические образцы селенида цинка, полученные из газовой фазы // ВОТ.- 1983.- Серия X.- № 9.- с. 27-29.

26. Гравель JI.A. и др. О возможности получения кристаллов селенида цинка с улучшенными оптическими свойствами // ВОТ,-1981,- Серия X.- № 161.-е. 3337.

27. Зайончковский Н.В., Носов В.Б., Сержантова М.В. Поглощение и лучевая прочность на длине волны 10,6 мкм моно- и поликристаллического ZnSe // ВОТ,- 1988.- Серия Х.-№ 7.- с. 24-30.

28. Бондарев А.С., Жулай В.Я., Зайончковский Н.В. Поглощение и лучевая прочность на длине волны 10,6 мкм моно- и поликристаллического ZnSe, полученного различными методами // ВОТ.-1985-Серия Х.-№ 7.- с.27-32.

29. Бломберген Н. Электрический пробой в твердых телах под действием лазерного излучения //Квантовая электроника.-1974.-Т.1.-№4,- с.786-805.

30. Дышко А.А., Луговой В.И., Прохоров A.M. Самофокусировка интенсивных световых пучков // Письма в ЖЭТФ.- 1967.- Т. 6.- № 5.- с. 655-659.

31. Алешкевич В.А., Ахманов С.А., Жданов Б.В. и др. Роль тепловой самофокусировки при оптическом пробое прозрачных диэлектриков в поле наносекундных импульсов // Квантовая электроника.- 1975.- Т.2.- № 6.- С. 1179-1185.

32. Ашкинадзе Б.М., Владимиров В.И., Лихачев В.А. и др. Разрушение прозрачных диэлектриков под действием мощного лазерного излучения // ЖЭТФ.- 1966.- Т. 5.-№5.- с. 1187-1201.

33. Кызыласов Ю.И., Старунов B.C., Фабелинский И.А. Вынужденное рассеяние Манделыитама-Бриллюэна и разрушение стекол в гигантском импульсе рубинового лазера // ФТТ.- 1970.- Т. 12.- № 1.- с. 233-239.

34. Zeitz F. // Physical Review.- 1949.- V. 76.- № 9.- P. 1376-1393.

35. Bass M. and Barrett H.H. Laser-Induced Damage Probability at 1,06 fim and 0,69 |um // Applied Optics.- 1973.- V.12.- № 4.- P. 690-699.

36. Алешкевич И.А., Ахманов C.A., Жданов Б.В. и др. Исследование частотных характеристик оптического пробоя твердых прозрачных диэлектриков в поле на-носекундных лазерных импульсов // ЖТФ.- 1976.- Т. 46.- Вып. 8.- С. 1693-1699.

37. Yablonovitch Е. Optical Dielectric Strength of Alkali-Halide Crystals Obtained by Laser-Induced Breakdown // Applied Physics Letters.- 1971.- V.19.- № 11.- P. 495497.

38. Bass M. and Barrett H.H.Avalanche // IEEEJ. Quant. Electr. 1972. V.QE-0. №9. P. 338-343

39. Bass M., Fradin D.W. // IEEEJ. Quant. Electr. 1973. V.QE-0. №9. p.890-896.

40. Fradin D.W., Bloembergen N., Lettelier J.P. //Applied Physics Letters.- 1973.- N22-№ 12.- P. 635-636.

41. Горшков Б.Г., Данилейко Ю.К., Епифанов A.C. и др. Лазерное разрушение щелочногалоидных кристаллов // Физический ин-т им. И.Н. Лебедева АН СССР.-1976.- Препринт ФИАН № 174.

42. Алешин И.В., Бонч-Бруевич A.M., Зинченко В.И., Имас Я.А., Комолов В.Л. // ЖТФ. 1973. Т.43. № 12. С.2625-2629.

43. Soilean M.J. et al. Frequency and focal volume dependence of laser-induced breakdown in wide band gap insulator// b|BS Spec. Publ. Washington; D.S.: U.S. Government Printing office. 1980.- № 568.- P. 497-517.

44. Fradin D.W., Bua D.P. Laser-Induced Damage in ZnSe //Appl. Phys. Lett. 1974.V.24. p.555-557.

45. Tang C.C., Leung K.M., Bass M. // Laser-Induced Damage in Optical Materials: Proc.of Symp./NBS Spec. Publ. №462. Wash. 1976. D.C., p.346-349.

46. Бессараб А.Б., Кормер С.Б., Павлов Д.Б. и др. Статистические закономерности поверхностного разрушения оптического стекла под действием широких пучков лазерного излучения //Квант.электроника, 1977. Т.4. №2. С.436-438.

47. Soilean M.J., Bass.M., Van Stryland E.W. // Laser-Induced Damage in Optical Materials: Proc.of Symp./NBS Spec. Publ. №541. Wash. D.C. 1978., p.309-317.

48. Данилейко Ю.К., Сидорин A.B. Связь статистики лазерного разрушения твердых прозрачных материалов со статистикой структурных дефектов // Квантовая электроника.- 1979.- Т. 6.- № 12,- С. 256-259.

49. Горшков Б.Г. Исследование механизмов разрушения ионных кристаллов под действием импульсного лазерного излучения наносекундного диапазона // Труды ФИАН.- М.: Наука, 1982.- Т.137.- С. 81-134.

50. Ковалев В.И. Исследование механизма пробоя на поверхности материалов ИК-оптики под действием излучения импульсного СОг-лазера // Труды ФИАН.-М.: Наука, 1982.-Т.-136.-С. 51-117.

51. Горшков Б.Г., Данилейко Ю.К., Маненков А.А. и др. Размерный эффект и статистика лазерного разрушения ЩГК на длине волны 10,6 мкм // Квантовая электроника.- 1981,- Т.8.-№ 1.- С. 148-154.

52. Данилейко Ю.К., Маненков А.А., Нечитайло B.C. и др. Роль поглощающих включений в механизме разрушения прозрачных диэлектриков лазерным излучением//ЖЭТФ.-1972.-Т.63.-№ 3.-С. 1030-1035.

53. Данилейко Ю.К., Маненков А.А., Нечитайло B.C. О механизме лазерного разрушения прозрачных материалов, обусловленном тепловым взрывом поглощающих неоднородностей // Квантовая электроника. 1978.- Т. 5.- № 1,- С. 194195.

54. Косолобов С.Н., Соколовский Р.И., Тюрин E.JI. Ударный механизм диссипации энергии лазерного излучения в прозрачном диэлектрике, содержащем микровключения и примеси //ЖТФ.- 1987.- Т.48.- № 9.- С. 1986 1987.

55. Рогалин В.Е., Самойлова Т.И., Тищенко Н.А., Шаскольская М.П. О порообразовании в щелочно-галоидных монокристаллах под действием импульса электромагнитного излучения // ФТТ.-1980.-Т. 22.-№ 12.-С. 3549-3554.

56. Tand С.С., Leung К.М., Bass М. Re-examination of laser-induced breakdown in the alkali halides at 10,6 (im // Laser Induced Damage in Optical Materials Proc. of

57. Symp. NBS Spec. Publ. Washington; D.S.: U.S. Government Printing office.- 1976.-№ 462.- P. 346-349.

58. Горшков Б.Г., Данилейко Ю.К., Николаев B.H. Эффект многократного воздействия в лазерном разрушении оптических материалов // Квантовая электроника.- 1983.- Т. 10.- № 3.- С. 640-643.

59. Маненков А.А., Матюшин Г.А., Нечитайло B.C. и др. О природе эффекта накопления в лазерном разрушении оптических материалов // Квантовая электроника.- 1983.- Т. 10.- № 12.- С. 2426-2432.

60. Блистанов А.А., Васильева JI.A., Горн И.А. и др. Лазерное старение кристаллов хлористого калия // МИСиС.- М. 1987.- 19с.- Деп. в ВИНИТИ 28.05.87, № 6474 -В87.

61. Демочко Ю.А., Азаров В.В., Богданова Т.И. и др. О кинетике накопления лазерных повреждений в прозрачных диэлектриках // Квантовая электроника.-1983.- Т. 10.-№5,-С. 1041-1042.

62. Данилейко Ю.К. Статистические закономерности лазерного разрушения оптических материалов с дефектами // Физический ин-т им И.Н. Лебедева АН СССР.- 1989.- Препринт ФИАН № 55.- 25с.

63. Flanuery М., Sparks М. Extrinsic absorption in infrared laser window materials // NBS Spec. Publ. Washington; D.S.: U.S. Government Printing office.- 1977.- № 509.- P. 3-23.

64. Deutsch T.F. Absorption coefficient of infrared laser window materials // J. Phys. Chem. Solids.- 1973.- V. 34.- № 12.- P. 2091-2104.

65. Lipson H.G., Larkin J.J., Bendow В., Mitra S.S. Molecular-impurity absorption in KC1 for infrared laser windows //J. Electron. Mater.- 1975.- V. 4.- № 1.- P. 1-24.

66. Harrington J.A., Gregory D.A., Otto W.F. Infrared absorption in chemical laser window materials//Appl. Opt.- 1976.-V. 15.-№ 8.-P. 1953-1959.

67. Hass M., Bendow B. Residual absorption in infrared materials // Appl. Opt.- 1977.-V. 16.-№ 11.-P. 2882-2890.

68. Bennett H.E. Proc. of a Symposium on Damage in Laser Materials // NBS Spec. Publ. Washington; D.S.: U.S. Government Printing office.- 1970.- № 341.- P. 51.

69. Hopper R.W., Uhlman D.R. // Appl. Phys.- 1970.- V. 41.- № 10.- P. 4023-4037.

70. Казанцев С.Г. Материалы силовой РЖ оптики: связь лазерной стойкости с их фундаментальными характеристиками // Тезисы докладов 2 Международной конференции по росту и физике кристаллов. 28-30 октября 2003,- М.: МИСиС, 2003.-С.223.

71. Трибельский М.И. Об установившемся движении волны непрозрачности при оптическом пробое конденсированных прозрачных сред // ФТТ.- 1976.- Т. 18.-Вып.5.- С. 1347-1350.

72. Поюровская И.Е., Трибельский М.И. Фишер В.И. О волне ионизации, поддерживаемой мощным лазерным излучением // ЖЭТФ.- 1982.- Т. 82,- Вып. 6.- С. 1840-1852.

73. Анисимов С.И., Макшанцев Б.И. Роль поглощающих неоднородностей в оптическом пробое прозрачных сред // ФТТ.-1973.- Т.15.- Вып. 4.- С. 1090-1095.

74. Алешин И.В., Анисимов С.И., Бонч-Бруевич и др. Оптический пробой прозрачных сред, содержащих микронеоднородности // ЖЭТФ.- 1976.- Т. 70.- Вып. 4.-С. 1214-1224.

75. Петровский Г.Т., Бороздин С.Н., Демиденко В.А. и др. Оптические кристаллы и поликристаллы // Оптический журнал.-1993.-№ 11.-С.77-93.

76. Hellwarth R.W. Damage in Laser Materials // NBS Spec. Publ. Washington; D.S.: U.S. Government Printing office.- 1970,- № 341.- P.67.

77. Blombergen N. Role of cracks, pores and absorption inclusions on laser induced damage threshold at surfaces of transparent dielectrics // Appl. Optics.- 1973.- V. 12.-№4.-P. 661-664.

78. Rosenstock H.B., Gregory D.A., Harrington J.A. Infrared bulk and surface absorption by nearly transparent crystals // Appl. Optics.- 1976.- V. 15.- № 9.- P. 2075-2079.

79. Hass M, Harrington J.A., Gregory D.A., Davisson J.W. Infrared absorption limits of HF and DF laser windows // Applied Physics Letters.- 1976.- V. 28.- № 10.- P. 610611.

80. Allen S.D., Rudisill J.E. Bulk and surface calorimetric measurements at CO wavelengths // Appl. Optics.- 1977.- V. 16.- № 11.- P. 2914-2918.

81. Наумова Н.Н., Пухов A.M., Смирнов В.Н. Растрескивание поверхности ЩГК под действием излучения сильноточного импульсного разряда // ОМП.- 1989.-№ 9.- С.15-17.

82. Васильева Л.А. Влияние щелочно-земельной примеси на пороги оптического разрушения и накопление лазерного повреждения при допороговом воздействии в кристаллах хлористого калия. Автореферат диссертации. М. 1992 г.

83. Bass М., Leung К.М. The dependence of the pulsed 10,6 цш laser damage was irradiated //IEEE J. Quant. Electron.- 1976.- V. 12.- № 2.- P. 82-83.

84. Блистанов A.A., Волошинская H.M., Глотов Е.П. и др. Пороговые условия разрушения монокристаллов хлористого калия при воздействии излучения непрерывного СОг-лазера // Квантовая электроника.- 1984.- Т.Н. № 12.- С. 23892396.

85. Fradin D.W., Bass М. Comparison of laser-induced surface and bulk damage // Appl. Phys. Lett.- 1973.- V. 22.- № 4.- P. 157-159.

86. Newman B.F. Optical materials for high-power lasers: recent achievements // Laser Focus. 1982.- V. 18.- № 2.- P. 53-56.

87. Ringle J.A., Boling N.L., Dube G. An acid treatment for raising the surface damage threshold of laser glass // Applied Physics Letters.- 1974.- V.25.- № 10.- P. 598-600.

88. Lipson H.G., Ligor P.A. Round robin on calorimetric measurement of 10,6 fim absorption in KC1 // Elect.-Opt. Syst. design.-1978.- № 11.-P.56-62.

89. Алешин И.В., Александрова Л.В., Бонч-Бруевич A.M. и др. Влияние химической обработки на порог оптического пробоя поверхности стекол // ЖТФ.-1975.- Т.45.- № 1.- С. 200-203.

90. Conner J.I., Collins C.V. Effect of ion beam polishing on alkali-halides laser-window materials // Mat. Res. Bull.- 1974.- V.9.- № 4.- P. 1531-1542.

91. Бессараб A.B., Кормер С.Б., Павлов Д.В. и др. Статистические закономерности поверхностного разрушения оптического стекла под действием широких пучков лазерного излучения // Квантовая электроника.- 1977. Т.4.- № 2.- С. 328 -324.

92. Armington A.F., Rosen Н., Lipson Н. Strengthening of halides for infrared windows // Elect. Mat.- 1973.- V.2.- № 2,- P. 127-135.

93. Becher P.F., Rice R.W. Strengthening effect in press forged KC1 // Appl. Phys.-1973.- V.44.- № 6.- P. 2915-2916.

94. Bowen N.K., Singh R.N., Kulin S.A. Polycrystalline alkali halides // Mat. Res. Bull. -1973.- V.8.- № 12.-P. 1389-1399.

95. Смирнов В.И. Дислокационная структура и упрочнение кристаллов.- М.: Наука, 1981.- 236 с.

96. Бронников А.Д, Вальковский С.Н., Горбунов А.В. и др. Проходные оптические элементы для технологических С02-лазеров // Изв. АН СССР, сер. физ.- 1983.-Т.47.- № 8.- С. 1527-1532.

97. Блистанов А.А., Кугаенко О.М., Тагиева М.М. и др. // Физика разрушения: тезисы докладов IV Всесоюзной конференции по физике разрушения. Киев, 18-20 ноября 1980г. Киев, ИПМ, 1980.- Т. 2.- С. 252-254.

98. Волкова Н.В., Цирульник П.Н. // Оптико-мех. промышленность. 1972. №12. с. 35-36.

99. Шаскольская М.П., Добржанский Г.Ф., Кугаенко О.М., Тагиева М.М., Сойфер Л.М., Уланов С.Ф. // ФТТ.1981.Т.23. ,№6.с.1834-1837.

100. Уланов С.Ф., Шаскольская М.П. // ФТТ.1981. т.23, вып.4, с. 1242-1243.

101. Блистанов А.А., Кугаенко О.М., Казанцев С.Г. и др. Влияние термомеханической обработки на лучевую стойкость и оптическое качество ЩГК // Тезисы докладов Фёдоровской сессии. Ленинград, 21-24 мая 1990 г.- Л.: ЛГИ, 1990.- С. 12.

102. Шмид Б., Боас В. Пластичность кристаллов. М.-ГОНТИ.- 1938.

103. Блистанов А.А., Гусев Э.Б., Добржанский Г.Ф., Смушков И.В., Тагиева М.М., Шаскольская М.П. В кн. Динамика дислокаций. Харьков, изд. ФТИНТ, 1968, 470-480.

104. Блистанов А.А., Тагиева М.М., Шаскольская М.П. Сб. Дефекты в оптических монокристаллах. Москва, изд. Металлургия, 1976, стр.4-9.

105. Fleischer J, J.Appl.Phys., 33, 3504, 1962

106. А.А.Блистанов, А.Н.Павлов, М.П.Шаскольская //ФТТ. 1972. Т 14. С.230.

107. Блистанов А.А., Кугаенко О.М., Чуб Ф.С. // Кристаллография. 1979. Т.24. С.310

108. Блистанов А.А., Васильева JI.B., Кугаенко О.М., Шаскольская М.П. // Кристаллография. 1986. Т.31. Вып.З. С.505-509.

109. Блистанов А.А., Васильева JI.B., Кугаенко О.М., Уланов С.Ф., Шаскольская М.П. //Кристаллография. 1986. Т.31. Вып.1. С. 120-125.

110. Обухова О.В., Тагиева М.М., Шаскольская М.П. Влияние состояния примеси РЬ на механические свойства кристаллов КС1 и NaCl // Кристаллография. 1969. Т. 14. Вып.5, с.948-951.

111. Ван Бюрен. Дефекты в кристаллах. Перевод под ред. Орлова А.Н. и Регеля В.Р.- Изд Ин.Лит. -М. 1962. С.459.

112. Spraekling М.Т. Plastic deformation of simple ionic crystals. London : Academic Press, 1977.- 308 p

113. Бенгус B.3., Комник C.H. Некоторые особенности деформационного упрочнения щелочно-галоидных кристаллов // Физика деформационного упрочнения монокристаллов. Киев: 1972. - С.54-74.

114. Бенгус В.З., Комник С.Н., Левченко В.А. О природе стадийности деформационного упрочнения щелочно-галоидных кристаллов // Труды ФТИНТ АН УССР.-1969.-№ 5.- С.152-168.

115. Казанцев С.Г. Эволюция дефектной структуры ЩГК при пластической деформации крупногабаритных заготовок окон широкоапертурных СОг-лазеров // Оптика атмосферы и океана,- 1998.- Т.Н.- № 2-3.- С. 166-170.

116. Blistanov A.A., Kazantsev S.G., Kugaenko О.М., Petrakov V.S. Hardening AHC at an irradiation by CW C02-laser // VI Intern. Conf. "AMPL'2003": Abstracts. -Tomsk: IAO SB RAS, 2003. P. 71-72.

117. Концеевой Ю.А., Литвинов Ю.М., Фаттахов Э.А. Пластичность и прочность полупроводниковых материалов и структур. -М.: Радио и связь. 1982. - 240 с.

118. Казанцев С.Г. Оптический пробой поверхности щелочно-галоидных кристаллов микросекундными импульсами широкоапертурного СОг-лазера // Квантовая электроника.- 1998.- Т. 25.- № 4.- С.333-336.

119. Казанцев С.Г. Лазерная стойкость перспективных материалов силовой ИК-оптики. // Известия ВУЗов. Физика. №10 (1998), с.68-84.// Изв. ВУЗов. Физика.-1998.-№ 10.- С.68-84.

120. Блистанов А.А., Казанцев С.Г., Кугаенко О.М. ЩГК как материал окон СОг-лазеров // Известия ВУЗов. Материалы электронной техники.- 2002.- № 1С.4-15;

121. Блистанов А.А., Васильева Л.А., Казанцев С.Г., Кугаенко О.М., Петраков B.C., Малинкович М.Д. Разработка физических основ создания проходной оптики мощных широкоапертурных ИК-лазеров // Известия ВУЗов. Материалы электронной техники.-2005.-№ 3 С. 34 43

122. Казанцев С.Г., Блистанов А.А., Кугаенко О.М., Петраков B.C. Морфология повреждения оптических элементов на основе ЩГК излучением широкоапертур-ного С02-лазера. // Кристаллография, 44, № 4 (1999), с. 689-693.

123. Блистанов А.А., Казанцев С.Г., Кугаенко О.М., Петраков B.C. Термомеханическая обработка материалов проходной оптики импульсных лазеров среднего ИК диапазона. // Известия ВУЗов. Материалы электронной техники.-2005.-№ 2-С. 37-39.

124. Блистанов А.А., Кугаенко О.М., Петраков B.C., Казанцев С.Г. Термомеханическая обработка щелочногалоидных кристаллов. // Тез. докл. науч.-техн. конф. "Технология производства и обработки оптического стекла и материалов", М., 15-16 ноября 2000 г., ГОИ.

125. Blistanov А.А., Vasiljeva L.A., Kazantsev S.G., Kugaenko О.М., PetrakovV.S. Formation of the colorings centers and the accumulation effect in AHC // VII Intern. Conf. "AMPL'2005". Abstracts. Tomsk, 12-16 September 2005. Tomsk: IAO SB RAS, 2005. - P.

126. Оптические элементы, фокусирующие когерентное излучение в произвольную фокальную линию./ В.В, Попов, A.M. Прохоров, Д.М. Сагателян и др. // Препринт ФИ АН СССР №69. -М., 1983. 41 с.

127. Слюсарев Г.Г. Оптические системы с фазовыми слоями // ДАН СССР. 1957. -Т.113. №4. - С.780-783.

128. Н.И. Кириллов. Высокоразрешающие фотоматериалы для голографии и процессы их обработки. -М.: Наука, 1979.

129. Обработка материалов излучением С02-лазеров: Обзорн. инф. ЦИНТЛ АН СССР. -Шатура

130. Гончарский А.В., Попов В.В., Степанов В.В. Введение в компьютерную оптику.-М.: Изд-во МГУ. -1991. -312 с.

131. Донцова В.В., Коронкевич В.П., Ленкова Г.А. Оптический способ изготовления киноформных линз // Препринт ИАиЭ СО АН СССР № 92Новосибирск. 1979. - 47 с.

132. Коронкевич В.П., Ленкова Г.А., Михальцова И.А. Киноформные линзы. Ч. 1. Оптический метод получения фотошаблонов. // Автометрия. 1977. - №5. -С.71-79.

133. Донцова В.В., Коронкевич В.П., Ленкова Г.А. Киноформные линзы Ч. 2. Изготовление линз и исследование их оптических характеристик. // Автометрия. -1979. №1. - С.75-83.

134. Веревкин В.А., Донцова В.В., Ленкова Г.А. Оптический способ изготовления одномерных киноформов. // Автометрия. 1978. - № 3. - С.71-79.

135. Беляков Л. В. Некоторые характеристики дифракционных решеток, полученных фототравлением полупроводников. // ЖТФ. 1974. - Т. 44. - №6. - С. 13311333.

136. Концевой Ю.А., Литвинов Ю.М., Фаттахов Э.А. Пластичность и прочность полупроводниковых материалов и структур. -М.: Радио и связь. 1982. - 240 с.