Теоретическое и экспериментальное исследование пьезоэлектрического возбуждения МЭМС резонаторов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.01, кандидат наук Камран Кешаварздивколаи

• Камран Кешаварздивколаи
• кандидат наук
• 2022

Оглавление диссертации кандидат наук Камран Кешаварздивколаи

СОДЕРЖАНИЕ

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. РЕЗОНАТОРЫ ММГ РАЗЛИЧНЫХ ТИПОВ

1.1. Принцип действия ММГ

1.2. Конструкция кольцевых резонаторов ММГ

1.3. ММГ изготовленные по технологии HARPSS

1.4. Пьезоэлектрические резонаторы ММГ

1.5. ПММГ на основе АШ

1.6. Технология формирования ЦТС кантилеверов

1.7. Выводы по главе

ГЛАВА 2. ТЕОРЕТИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ КЛЮЧЕВЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МЭМС РЕЗОНАТОРОВ

2.1. Пьезоэлектрические материалы, используемые в резонаторах ПММГ

2.2. Фундаментальные свойства и способы получения АШ

2.3. Сегнетоэлектрические пленки системы ЦТС

2.3.1. Структура и свойства пленок ЦТС

2.3.2. Методы изготовления пленок ЦТС

2.3.3. Изготовление пленок ЦТС для МЭМС устройств

2.4. Технологические характеристики тонкопленочных структур на основе РЩТС^

2.5. Травление пленок ЦТС

2.6. Выводы по главе

ГЛАВА 3. МОДЕЛИРОВАНИЕ РЕЗОНАТОРОВ ПММГ

3.1. Интегрированный программный пакет СоуеМогЖагв®

3.2. Моделирование электромеханических АЧХ АШ микромоста

3.3. Проектирование кольцевого пьезоэлектрического чувствительного элемента

4

3.4. Моделирование параметров кольцевого резонатора ПММГ на основе AlN и

ЦТС

3.5. Выводы по главе

ГЛАВА 4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ

4.1. Изготовление пленок ЦТС

4.2. Измерение P(E) и C-V характеристик

4.3. Формирование структуры ЦТС кантилеверов

4.4. Аналитический расчет резонансных характеристик ЦТС кантилеверов

4.5. Экспериментальный метод измерения резонансных характеристик ЦТС кантилеверов

4.6. Выводы по главе

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Список собственных публикаций по теме диссертации

Список литературы

Приложение А

Приложение Б

Приложение В

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Теоретическое и экспериментальное исследование пьезоэлектрического возбуждения МЭМС резонаторов»

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность темы и степень её разработанности

Микроэлектромеханические системы (МЭМС) относятся к наиболее перспективным изделиям современной микроэлектроники, их совершенствование в большей мере определяет развитие микросистемной техники. Одним из ведущих направлений развития МЭМС-технологии является развития микромеханических гироскопов (ММГ), обеспечивающие высокую точность и надежность. Такие приборы относятся к инерционным датчикам, диапазон применения которых весьма широк - аэрокосмические, автомобильные системы управления, стабилизация спутниковых антенн и т.д.

К настоящему времени в большинстве ММГ, изготовленных по кремниевой технологии МЭМС, используются резонаторы или чувствительные вибрирующие элементы, от качества которого в значительной степени зависит чувствительность прибора. Применение пьезоэлектрических материалов для возбуждения МЭМС резонаторов, имеет ряд преимуществ, в частности, низкое энергопотребление, длительный срок службы и низкий уровень шумов.

Для возбуждения амплитуды колебания пьезоэлектрического резонатора ММГ в режиме движения, а также для детектирования выходного сигнала в режиме чувствительности используются обратный и прямой пьезоэффекты, соответственно. В режиме движения необходим большой поперечный пьезоэлектрический коэффициент (е31д) в сочетании с отклоняющими конструкциями, а в режиме чувствительности требуется относительная низкая диэлектрическая проницаемость (ег,33), в котором обнаруживается электрическое напряжение, индуцированное деформацией, соответствующее силе Кориолиса [1].

При проектировании пьезоэлектрических МЭМС резонаторов выбор материалов определяется следующими параметрами: добротность (0,

коэффициент электромеханической связи (К, %), модуль Юнга (Е, Па), и пьезомодуль в направлений рабочих деформаций (<% пм/В). Среди материалов наилучшими пьезоэлектрическими свойствами, обладают пленки цирконата титаната свинца Pb(ZrxTi1-x)Oз (ЦТС) с составом, близким к морфотропной фазовой границе, и являются лучшими кандидатами для применения в резонаторах ММГ. Пленки ЦТС обладают высоким значением пьезоэлектрического коэффициента ^33, превышающим ~100 пм/В, что приводит к мощному электромеханическому преобразованию [2].

Для изготовления МЭМС резонаторов необходимо использовать пленки ЦТС толщиной 1-5 мкм. Однако формированию пленок больших толщин препятствует их растрескивание вследствие высоких механических напряжений, возникающих в циклах нагрева и охлаждения в процессах нанесения и кристаллизации [3]. Помимо основных проблем интеграции пленок ЦТС в кремниевую технологию, таких как взаимная диффузия, вторичные фазы, адгезия электродов, чтобы получить максимальный поперечный пьезоэлектрический коэффициент, необходимо оптимизировать состав и текстуры пленок. При осаждении пленок ЦТС очень важно формирование перовскитной фазы. Именно перовскитная фаза имеет большой коэффициент электромеханической связи, что позволяет МЭМС резонаторам обладать высокой производительностью.

На сегодняшний день свойства и технологии получения пленок ЦТС для применения в МЭМС технологии, особенно для изготовления резонаторов ММГ, недостаточно изучены, в частности, экспериментальные исследования резонансных характеристик МЭМС резонаторов. Таким образом, изготовление пленок ЦТС и проектирование на них основе МЭМС резонаторов, определяет актуальность темы настоящего диссертационного исследования.

В диссертационной работе существенное внимание уделяется пленкам ЦТС, а также исследуется технология получения нитрида алюминия (А1Ы). Кроме того, рассматриваются различные типы ММГ, их резонансные

характеристики, проведено моделирование резонаторов и анализируется технологии изготовления кантилеверов на основе пленок ЦТС.

В связи с вышесказанным, целью настоящего исследования является: развитие научных основ, разработка и исследование МЭМС резонаторов с пьезоэлектрическим механизмом возбуждения, принимаемых в вибрационных ММГ. Для достижения поставленной цели были поставлены следующие основные задачи:

1. Изучить принцип работы МЭМС гироскопов, рассмотреть механизмы возбуждения и детектирования сигналов в этих устройствах, провести аналитический и сопоставительный обзор современного состояния работ по исследованию и разработке различных МЭМС резонаторов;

2. Разработать конечно-элементные модели для анализа параметров чувствительных элементов и на основе этих моделей привести конечно-элементное моделирование основных рабочих характеристик пьезоэлектрических МЭМС резонаторов;

3. На основе моделирования провести сравнения пьезоэлектрических свойств пленок ЦТС и AlN для применения в ММГ;

4. Изготовить и экспериментально исследовать образцы пьезоэлектрических резонаторов на примере ЦТС кантилеверов.

Объект исследования:

Основными объектами исследований являются:

1. Пленки цирконата-титаната свинца (PbZr0,48Ti0,52O3/Pt/TЮ2/SЮ2/Si), полученные из пленкообразующих растворов в научно-образовательном центре «Технологический центр» РТУ МИРЭА. Для изготовления пленок ЦТС использовали платинированные кремниевые подложки ^-типа со структурой: И (150 нм) - ТЮ2 (30 нм) - SiO2 (300 нм) - Si (800 мкм). Пленкообразующий раствор ЦТС наносили на слой Pt методом послойного центрифугирования с промежуточной сушкой при температуре 180°С и пиролизом при температуре 390°С.

2. ЦТС кантилеверы формировались при помощи поверхностной микрообработки кремнии, путём вытравливания жертвенного слоя из-под кантилеверов. Работы по разработке и технологии формирования, а также определению резонансных характеристик ЦТС кантилеверов выполнялись в лаборатории технологии микро- и наносистемной техники Ярославского Филиала Физико-технологического института Российской академии наук (ЯФ ФТИАН им. К.А. Валиева РАН). Научная новизна исследования:

1. Исследованы пьезоэлектрические эффекты в конструкциях МЭМС резонаторов на основе многослойных структур 8^8Ю2/АШ и 8^8Ю2/ТЮ2/РЩТС. Проведено моделирование вертикальных и горизонтальных колебаний подвижных частей резонаторов, получены значения собственных частот и форм колебаний в А1Ы микромостах и ЦТС кольцевых чувствительных элементах исследуемых конструкций.

2. Исследованы возможности использования пьезоэлектрических материалов А1Ы и ЦТС для конструкций МЭМС резонаторов. Использование ЦТС в резонаторах МЭМС существенно увеличивает эффективность колебаний резонатора (увеличивается амплитуда колебаний), что расширяет возможности создания и использования колебательных структур для различных МЭМС резонаторов, но приводит к необходимости использования свинцовосодержащих материалов.

3. Разработаны и исследованы компоненты колебательной структуры МЭМС резонаторов. Разработана методика создания колебательных элементов на основе использования пьезоэлектрических свойств относительно толстых пленок ЦТС (>1 мкм), сформированных золь-гель методом, для возбуждения кольцевого резонатора МЭМС гироскопа.

4. Разработан метод формирования кольцевых резонаторов на основе структуры 8^Ю2/А1Ы и 8^8Ю2/ТЮ2/РЩТС. Исследованы внутренние

механические напряжения в слоях ЦТС и металлических электродах, сформированнных на структурах Si.

5. Впервые, экспериментально получены зависимости резонансных частот ЦТС кантилеверов, обладающих высоким (~ 10) отношением длины к ширине.

Практическая и научная значимость:

Спроектирована конструкция кольцевых резонаторов на основе структуры Si/SiO2/AlN и Si/SiO2/TiO2/Pt/ЦТС и создана конструкция кантилеверов Si/SiO2/TiO2/Pt/ЦТС/Pt. Разработана технология формирования ЦТС пленки на основе цирконата-титаната свинца (PbZr0,48Ti0,52O3/Pt/TiO2/SiO2/Si), полученные из пленкообразующих растворов золь-гель методом. Полученные теоретические и экспериментальные результаты диссертационной работы позволяют расширить существующие предоставления о пьезоэлектрическом возбуждении МЭМС резонаторов и могут использоваться при оптимизации чувствительных элементов вибрационных МЭМС гироскопов.

Основные положения, выносимые на защиту: 1. Пленки ЦТС толщиной до ~ 1,4 мкм, изготовленные методом химического осаждения из растворов на подложках Si/SiO2/TiO2/Pt позволяют создавать резонаторы микромеханических элементов, обеспечивающих необходимую амплитуду колебаний и технологичность процесса изготовления.

2. Создание многослойных кремниевых структур с использованием материалов ЦТС получаемых золь-гель методом дает возможность изготавливать сложнофункциональные МЭМС устройства, такие как микромеханические гироскопы, акселерометры и другие микромеханические элементы.

3. Показано, что пленка ЦТС является предпочтительным материалом для применения в пьезоэлектрических МЭМС резонаторах, так как перемещение ЦТС резонатора почти на три порядка больше чем АШ.

4. Пленки ЦТС толщиной более ~ 1,4 мкм, изготовленные методом химического осаждения из растворов на подложках Si/SiO2/TiO2/Pt приводят к повышенным напряжениям, деформациям и дефектам в виде растрескивания.

Достоверность научных положений, результатов и выводов:

Достоверность полученных оригинальных результатов и убедительность проведенных исследований обеспечивается моделированием при помощи САПР CoventorWare®, версия 2012, а также применением высокоточного оборудования и подтверждается проведенными экспериментальными исследованиями, согласованностью их результатов с аналитическими расчетами и существующими моделями.

Апробация результатов диссертационных исследований: Результаты работы докладывались на следующих конференциях:

• Seventh scientific conference of Iranian students in Russian Federation, Proceedings, Gubkin Russian state university of oil and gas, April 2014.

• Tenth scientific conference of Iranian students in Russian Federation, Proceedings, Gubkin Russian state university of oil and gas, April, 2017.

• Second national conference major, infrastructure of electrical engineering, energy and nanotechnology, University of Tehran, 9 May 2018, Tehran - Iran.

• XXV Международная научно-практическая конференция «Российская наука в современном мире», 15 октября 2019, Москва.

Публикации по теме диссертации

Результаты исследований опубликованы в 8 печатных работах, из них 4 статей в научно-технических журналах, входящих в перечень ВАК (две статьи в журнале «Нано- и микросистемная техника» и две статьи в журнале «Датчики и системы»). Список работ проведен в конце диссертации. Структура и объем диссертации

Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, основных выводов и списка используемой литературы. Общий объем диссертации

составляет 133 страниц машинописного текста, включая 3 приложения, 43 рисунок, 8 таблиц. Список используемой литературы включает 129 наименований. Приложение включает три наименования и содержит шесть страниц. Заключение содержит основные результаты диссертационной работы.

Заключение диссертации по теме «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника на квантовых эффектах», Камран Кешаварздивколаи

4.6. Выводы по главе 4

В данной главе представлена методика изготовления ЦТС кантилеверов. В качестве пьезоэлектрического МЭМС резонатора на основе пленок ЦТС, были спроектированы структуры кантилеверного типа различных размеров. Формирование ЦТС кантилеверов состоялось из двух стадий.

1. На первой стадии золь-гель методом изготавливалось пленки PbZr0,48Ti0,52O3/Pt/TЮ2/SЮ2/Si типа. Толщина слоя ЦТС после завершения всех технологических этапов составила около 1,4 мкм, подходящая для применения в МЭМС резонаторах. Измерялись основные характеристики пленки, такие как петель сегнетоэлектрического гистерезиса и вольт-фарадные характеристики. Совокупности измерений P(E) и C-V характеристик показали что, изготовленный образец должен имеет хорошие пьезоэлектрические параметры для применения в пьезоэлектрических МЭМС резонаторах.

2. На второй стадий после изготовления пленки ЦТС и измерения его основных характеристик, необходимо было осаждать верхний металлический электрод и формировать структуры кантилеверов. На основе сформированных пленок, были изготовлены кантилеверы длиной от 500 до 1000 мкм и шириной от 100 до 300 мкм. Измерение резонансных характеристик освобожденных ЦТС кантилеверов проводилось с помощью метода светового рычага. Определены зависимости добротности и резонансной частоты от длины и ширины ЦТС кантилеверов. Показано что, с увеличением длины кантилеверов, резонансная частота уменьшается, а добротность кантилеверов, наоборот, увеличивается. Экспериментально полученные значения резонансных частот хорошо согласуются с аналитическим расчетом зависимости частоты от длины и ширины ЦТС кантилеверов.

В диссертационной работе теоретически и экспериментально исследованы пьезоэлектрические механизмы возбуждения МЭМС резонаторов. Основные выводы и результаты исследований, проведенных в настоящей работе заключается в следующем:

1. Исследованы пьезоэлектрические эффекты в конструкциях МЭМС резонаторов на основе многослойных структур 81/8Ю2/АШ и 81/8Ю2/ТЮ2/РЩТС Проведено моделирование продольных и поперечных колебаний подвижных частей резонаторов, получены значения собственных частот и форм колебаний в АШ микромостах и ЦТС кольцевых чувствительных элементах исследуемых конструкций.

2. Показано, что использование ЦТС в резонаторах МЭМС существенно увеличивает эффективность колебаний резонатора, что расширяет возможности создания и использования колебательных структур для различных МЭМС резонаторов, но приводит к необходимости использования свинцовосодержащих материалов.

3. Разработаны и исследованы компоненты колебательной структуры МЭМС резонаторов. Разработана методика создания колебательных элементов на основе использования пьезоэлектрических свойств относительно толстых пленок ЦТС (>1 мкм), сформированных золь-гель методом, для возбуждения кольцевого резонатора МЭМС гироскопа.

4. Показано, что пленки ЦТС толщиной до ~ 1,4 мкм, изготовленные методом химического осаждения из растворов на подложках 81/8Ю2/ТЮ2/Р1 позволяют создавать резонаторы микромеханических элементов, обеспечивающих необходимую амплитуду колебаний и технологичность процесса изготовления.

5. Установлено, что пленка ЦТС является предпочтительным материалом для применения в пьезоэлектрических МЭМС резонаторах, так как

перемещение ЦТС резонатора почти на три порядка больше по сравнению с AlN.

6. Проведен аналитический расчет резонансных характеристик ЦТС кантилеверов. Показано, что использование модель кантилеверов с высокой точностью 5%) описывает экспериментальные результаты.

Список собственных публикаций по теме диссертации

Публикации в ведущих рецензируемых журналах, рекомендованных ВАК

А1. Кешаварздивколаи К., Лукичев В.Ф., Кальнов В.А., Певцов Е.Ф. Моделирование AlN микромоста для применения в ВЧ-МЭМС переключателях // Датчики и системы. - 2017. - № 10 (218) . - С. 49-54.

А2. Кешаварздивколаи К., Лукичев В.Ф., Кальнов В.А., Певцов Е.Ф. Сравнительная оценка частотных характеристик AlN и ЦТС, применяемых в качестве резонатора в вибрационных кольцевых гироскопах // Нано- и микросистемная техника. - 2018. - том 20. - № 3. - С. 186-192.

А3. Кешаварздивколаи К., Лукичев В.Ф., Кальнов В.А., Певцов Е.Ф. Кольцевые МЭМС-гироскопы на основе нитрида алюминия // Датчики и системы. - 2018. - № 8-9 (228). - С. 41-45.

А4. Лукичев В.Ф., Амиров И.И., Уваров И.В., Кешаварздивколаи К., Воротынцев Д.А., Серегин Д.С., Воротилов К.А. Изготовление и резонансные характеристики PZT кантилеверов // Нано- и микросистемная техника. - 2021. - том 23. - № 5. - С. 255-260.

Прочие публикации по теме диссертации

А5. Keshavarzdivkolaee K. Sensors based on thin piezoelectric film of AlN // Seventh Scientific Conference of Iranian Students in Russian Federation, Proceedings, Gubkin Russian State University of oil and Gas. - Moscow. -12 April 2014. - P. 79.

А6. Keshavarz-divkolaee K. Modeling of AlN microbridge resonator for MEMS mass sensing applications // Tenth Scientific Conference of Iranian Students

in Russian Federation, Proceedings, Gubkin Russian State University of oil and Gas. - Moscow. - 8 April 2017.

А7. Keshavarzdivkolaee K. Piezoelectric ring resonator and its applications in microelectromechanical gyroscopes // Second National Conference Major, Infrastructure of Electrical Engineering, Energy and Nanotechnology, University of Tehran. - Tehran, Iran. - 9 May 2018.

А8. Кешаварздивколаи К. Применение пьезоэлектрических материалов в конструкциях микроэлектромеханических гироскопах // XXV Международная научно-практическая конференция «Российская наука в современном мире». - Москва. - 15 октября 2019.

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Камран Кешаварздивколаи, 2022 год

Список литературы

1. Yoshida S., Hanzawa H., Wasa K., Tanaka S. Fabrication and characterization of large figure-of-merit epitaxial PMnN-PZT/Si transducer for piezoelectric MEMS sensors // Sensors and actuators A: Physical. - 2016. - Vol. 239. - P. 201-208.

2. Tommasi A., Coletta G., Balma D., Marasso S.L., Perrone D., et al. Process optimisation of a MEMS based PZT actuated microswitch // Microelectronic engineering. - 2014. - Vol. 119. - P. 137-140.

3. Подгорный Ю.В., Воротилов К.А., Лавров П.П., Сигов А.С. Вольтамперная характеристика пористых пленок ЦТС // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 9. - С. 3-12.

4. Распопов В.Я. Микромеханические приборы. - М.: Машиностроение. -2007. - 400 с.

5. Yang J.S., Fang H.Y. A new ceramic tube piezoelectric gyroscope // Sensors and Actuators A: Physical. - 2003. - Vol. 107, № 1. - P. 42-49.

6. Apostolyuk V. Coriolis vibratory gyroscope, theory and design.- Kiev: Springer. - 2016.

7. El-Sayed A.M., Ghoneima M., Mahmoud M.A.E. Modeling of nonlinearities in vibratory ring gyroscope // Japan-Egypt international conference on electronics, communications and computers (JEC-ECC). - 2013. - P. 52-57.

8. Лукьянов Д.П., Распопов В.Я., Филатов Ю.В. Прикладная теория гироскопов. - СПБ.: ГНЦ РФ ОАО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор». - 2015. - 316 с.

9. Ковалев А.С., Лычев Д.И., Шадрин Ю.В. Результаты экспериментального исследования характеристик микромеханического гироскопа при совмещении резонансных частот // Навигация и управление движением. - Сборник докладов VIII конференции

молодых ученых. - СПБ.: ГНЦ РФ - ЦНИИ «Электроприбор». - 2006. -С. 158-163.

10. Meyer A.D., Rozelle D.M., Trusov A.A., Sakaida D.K. Mill-HRG inertial sensor assembly - a reality // IEEE/ION position, location and navigation symposium (PLANS). - 2018. - P. 20-23.

11. Meyer A.D., Rozelle D.M. Milli-HRG inertial navigation system // Proceedings of the IEEE/ION position, location and navigation symposium.

- 2012. - P. 24-29.

12. He G., Najafi K. A single-crystal silicon vibrating ring gyroscope // 15th IEEE international conference on micro electro mechanical systems. - 2002.

- P. 718-721.

13. Ayazi F., Najafi K. Design and fabrication of a high-performance polysilicon vibrating ring gyroscope // The eleventh annual international workshop on micro electro mechanical systems. - 2002. - P. 621-626.

14. Ayazi F., Najafi K. A HARPSS polysilicon vibrating ring gyroscope // Journal of microelectromechanical systems. - 2001. - Vol. 10. - № 2. - P. 169-179.

15. Wang J., Chen Li., Zhang M., Deyong Chen. A Micro-machined vibrating ring gyroscope with highly symmetric structure for harsh environment // 5th IEEE international conference on nano/micro engineered and molecular systems. - 2010. - P. 1180-1183.

16. Liu J., Chen D., Wang J. Regulating parameters of electromagnetic micromachined vibrating ring gyroscope by feedback control // Micro & nano letters. - 2012. - Vol. 7. - P. 1234-1236.

17. Zaman M.F., Sharma A., Amini B.V., Ayazi F. The resonating star gyroscope // 18th IEEE international conference on micro electro mechanical systems. - 2005. - P. 355-358.

18. Hopkin I.D., Fell C.P., Townsend K., Mason T.R. Patent US5932804 USA, International Classes G01P 9/04. Vibrating structure gyroscope, British

Aerospace Public Limited Company. - US/09/021306; filing date 10.02.1998; issued date 03.08.1999. - 10 p.

19. Матвеев В.В., Распопов В.Я. Основы построения бесплатформенных инерциальных навигационных систем. - СПБ.: ГНЦ РФ ОАО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор». - Под общ. ред. д.т.н. В. Я. Распопова. -2009. - 280 с.

20. Ayazi F., Najafi K. High aspect-ratio combined poly and single-crystal silicon (HARPSS) // Journal of microelectromechanical systems. - 2000. -Vol. 9. - № 3. - P. 288-294.

21. Воротилов К.А., Мухортов В.М., Сигов А.С. Интегрированные сегнетоэлектрические устройство: Монография / Под ред. чл.-корр. РАН Сигова А.С. - М.: Энергоатомиздат. - 2011. - 175 с.

22. Бардин В.А., Васильев В.А., Чернов П.С. Принципы построения и перспективы исследований пьезоактюаторов для нано- и микропозиционирования // Нано- и микросистемная техника. - 2015. -№ 1(174). - С. 37-48.

23. Kotru S., Highsmith A., Zhong J., Rincon V., Jackson J.E., Ashley P. Feasibility study of a micromachined single-axis vibratory gyroscope using piezoelectric PNZT thin films for actuation and sensing // Smart Mater. Struct. - 2010.- Vol. 19. - № 8. - P. 085001.

24. Kotru S., Zhong J., Highsmith A., Jackson J.E., Design and fabrication of meso-scale gyroscope // IEEE workshop on microelectronics and electron devices. - 2008. - P. 5-8.

25. Zhou X., Wu Y.L., Wu X.Z., Zhang Y.M., Zheng Y. A novel ring vibrating gyroscope based on side piezo-electrodes // J. Cent. South Univ. - 2016. -Vol. 23. - P. 555-561.

26. Шарапов В.М., Полищук Е.С., Кошевой Н.Д., Ишанин Г.Г., Минаев И.Г., Совлуков А.С. / Датчики: Справочное пособие. - Под общ. ред. В.М. Шарапова. - М.: Техносфера. - 2012. - 624 с.

27. Ronald I., Masson S., Ducloux O., Traon O.L., Bosseboeu A. GaAs 3-axis Coriolis vibrating micro rate gyro: concept and preliminary characterization // Procedia engineering. - 2010. - Vol. 5. - P. 1442-1445.

28. Ronald I., Masson S., Ducloux O., Traon O.L., Bosseboeu A. GaAs-based tuning fork microresonators: A first step towards a GaAs-based Coriolis 3-axis Micro-Vibrating Rate Gyroscope (GaAs 3-axis ^CVG) // Sensors and actuators A: Physical. - 2011. - Vol. 172. - № 1. - P. 204-211.

29. Wu X., Chen W., Lu Y., Xiao Q., Ma G., Zhang W., Cui F. Vibration analysis of a piezoelectric micromachined modal gyroscope (PMMG) // J. Micromech. Microeng. - 2009. - Vol. 19. - № 12. - P. 125008.

30. Lu Y., Wu X., Zhang W., Chen W., Cui F., Liu W. Optimization and analysis of novel piezoelectric solid micro-gyroscope with high resistance to shock // Microsyst Technol. - 2010. - Vol. 16. - P. 571-584.

31. Lu Y., Wu X., Zhang W., Chen W., Cui F., Liu W. Research on reference vibration for a two-axis piezoelectric micro-machined gyroscope // J. Micromech. Microeng. - 2010. - Vol. 20. - № 7. - P. 075039.

32. Xie L., Wu X., Li S., Wang H., Su J., Dong P. A Z-axis quartz cross-fork micromachined gyroscope based on shear stress detection // Sensors. - 2010. - № 10. - P. 1573-1588.

33. Krupa K., Gorecki C., Jozwicki R., Jozwik., Andrei A. Interferometric study of reliability of microcantilevers driven by AlN sandwiched between two metal layers // Sensors and actuators A: Physical. - 2011. - Vol. 171. - № 2.- P. 306-316.

34. Yang J., Si C., Yang F., Han G., Ning J., Yang F., Wang X. Design and simulation of a novel piezoelectric AlN-Si cantilever gyroscope // Micromachines. - 2018. - Vol. 9. - № 2. - P. 1-8.

35. Gorelick S., Dekker J.R., Gou B., Rimminen H. Piezoelectrically actuated linear resonators on ring-shaped suspensions for applications in MEMS

phase-sensitive gyroscope // Procedia Engineering. - 2014. - Vol. 87. - № 2. - P. 1597-1600.

36. Fabian T.G., Gabriele V., Igor I.I. Novel thin-film piezoelectric aluminum nitride rate gyroscope // In Proceedings of the IEEE international ultrasonics symposium, dresden, Germany. - 2012. - P. 1067-1070.

37. Fabian G., Kirti M., Kansho Y. Experimentally validated aluminum nitride based pressure, temperature and 3-axis acceleration sensors integrated on a single chip // In Proceedings of the IEEE 27th international conference on micro electro mechanical systems, San Francisco, CA, USA. - 2014. - P. 729-732.

38. Каменщиков М.В., Солнышкин А.В., Богмолов А.А., Пронин И.П. Проводимость и вольт-амперные характеристики тонкопленочных гетероструктур на основе ЦТС // Физика твердого тела. - 2011. - том 53. - вып. 10. - С. 1975-1979.

39. Воротилов К.А., Сигов А.С. Сегнетоэлектрические запоминающие устройства // Физика твердого тела. - 2012. - том 54. - вып. 5. - С. 843848.

40. Kim S.B., Park H., Kim S.H., Wikle H.C, Park J.H, Kim D.J. Comparison of MEMS PZT Cantilevers Based on d31 and d33 modes for vibration energy harvesting // Journal of microelectromechanical systems. - 2013. - Vol. 22. -№ 1. - P. 26-33.

41. Cho H., Park J., Park Y.J. Micro-fabricated flexible PZT cantilever using d33 mode for energy harvesting // Micro and nano systems letters. - 2017. - Vol. 5. - № 20. - P. 1-5.

42. Deng L., Wen Z., Zhao X., Yuan C., Luo G., Mo J. High voltage output MEMS vibration energy harvester in d31 mode with PZT thin film // Journal of microelectromechanical systems. - 2014. - Vol. 23. - № 4. - P. 855-861.

43. Park J.C., Park J.Y., Lee Y.P. Modeling and characterization of piezoelectric d33 mode MEMS energy harvester // Journal of microelectromechanical systems. - 2010. - Vol. 19. - № 5. - P. 1215-1222.

44. Lin S.C., Wu W.J. Piezoelectric micro energy harvesters based on stainless-steel substrates // Smart Mater. Struct. - 2013.- Vol. 22. - № 04. - P. 045016.

45. Tang G., Liu J.Q., Yang B., Luo J.B., Liu H.S., Li Y.G., Yang C.S., et al. Fabrication and analysis of high-performance piezoelectric MEMS generators // J. Micromech. Microeng. - 2012. - Vol. 22. - № 06. - P. 065017.

46. Kuo C.L., Lin S.C., Wu W.J. Fabrication and performance evaluation of a metal-based bimorph piezoelectric MEMS generator for vibration energy harvesting // Smart Mater. Struct. - 2016. - Vol. 25. - № 10. - P. 105016.

47. Shen D., Park J.H., Noh J.H., Choe S.Y., Kim S.H., et al. Micromachined PZT cantilever based on SOI structure for low frequency vibration energy harvesting // Sensors and actuators A: Physical. - 2009. - Vol. 151, № 1. - P. 103-108.

48. Lee B.S., Lin S.C., Wu W.J., Wang X.Y., Chang P.Z., Lee C.K. Piezoelectric MEMS generators fabricated with an aerosol deposition PZT thin film // J. Micromech. Microeng. - 2009. - Vol. 19. - № 6. - P. 065014.

49. Kim M., Lee S.K., Yang Y.S., Jeong J., Min N.K., Kwon K.H. Design and fabrication of vibration based energy harvester using microelectromechanical system piezoelectric cantilever for low power applications // J. Nanosci. Nanotechnol. - 2013. - Vol. 37. - № 12. - P. 7932-7937.

50. Isarakorn D., Briand D., Janphuang P., Sambri A., Gariglio S., et al. The realization and performance of vibration energy harvesting MEMS devices based on an epitaxial piezoelectric thin film // Smart Mater. Struct. - 2010. -Vol. 20. - № 2. - P. 025015.

51. Keiji M., Isaku K., Kiyotaka W., Hidetoshi K. High-efficiency piezoelectric energy harvesters of c-axis-oriented epitaxial PZT films transferred onto stainless steel cantilevers // Sensors and actuators A: Physical. - 2010. - Vol. 163, № 1. - P. 428-432.

52. Guimiao Li., Zhiran Yi., Yili Hu., Jingquan Liu., Bin Yang. Highperformance low-frequency MEMS energy harvester via partially covering PZT thick film // J. Micromech. Microeng. - 2018. - Vol. 28. - № 09. - P. 095007.

53. Fang H.B., Liu J.Q., Xu Z.Y., Dong L., Wang L., Chen D., Cai B.C., Liu Y. Fabrication and performance of MEMS-based piezoelectric power generator for vibration energy harvesting // Microelectronic Journal. - 2006. - Vol. 37. - № 11. - P. 1280-1284.

54. Hua Yu., Jielin Z., Licheng D., Zhiyu W. A vibration-based MEMS piezoelectric energy harvester and power conditioning circuit // Sensors. -2014. - № 14. - P. 3323-3341.

55. Shen D., Park J.H., Ajitsaria J., Choe S.Y., Howard C.W.III, Kim D.J. The design, fabrication and evaluation of a MEMS PZT cantilever with an integrated Si proof mass for vibration energy harvesting // J. Micromech. Microeng. - 2008. - Vol. 18. - № 5. - P. 055017.

56. Ledermann N., Muralt P., Baborowski J., Gentil S., Mukati K., Cantoni M., Siefert A., Setter N. {100}-Textured, piezoelectric (Pb(Zrx,Ti1-x)Ü3) thin films for MEMS: integration, deposition and properties // Sensors and actuators A: Physical. - 2003. - Vol. 105. - P. 162-170.

57. Tonisch K., Cimalla V., Foerster C.h., Romanus H., Ambacher O., Dontsov D. Piezoelectric properties of polycrystalline AlN thin films for MEMS application // Sensors and actuators A: Physical. - 2006. - Vol. 132. - P. 658-663.

58. Andrei A., Krupa K., Jozwik M., Delobelle P., Hirsinger L., Gorecki C., Nieradko L., Meunier C. AlN as an actuation material for MEMS

applications The case of AlN driven multilayered // Sensors and actuators A: Physical. - 2008. - Vol. 141. - P. 565-576.

59. Fang T.H., Chang W.J., Lin C.M. Nanoindentation characterization of ZnO film // Materials Science and Engineering: A. - 2007. - Vol. 452-453. - P. 715-720.

60. Yang P.F., Wen H.C., Jian S.R., Lai Y.S., Wu S., Chen R.S. Characteristics of ZnO thin films prepared by radio frequency magnentron sputtering // Microelectronics Reliability. - 2008. - Vol. 48. - P. 389-394.

61. Placidi M., Moreno J.C., Godignon P., Mestres N., Frayssinet E., Semond F., Serre C. Highly sensitive strained AlN on Si (111) resonators // Sensors and actuators A: Physical. - 2009. - Vol. 150. - P. 64-78.

62. Takikawa H., Kimura K., Miyano R., Sakakibara T., et al. Effect of substrate bias on AlN thin film preparation in shielded reactive vacuum arc deposition // Thin Solid Films. - 2001. - Vol. 386. - P. 276-280.

63. Wang H.L., Lv H.M., Chen G.D., Ye H.G. Synthesis of hexagonal AlN microbelts at low temperature // Journal of alloys and compounds. - 2009. -Vol. 477. - P. 580-582.

64. Gupta N., Dutta S., Pandey A., Vanjari SRK., Kaur D. Effect of growth and residual stress in AlN (0002) thin films on MEMS accelerometer design // J Mater Sci: Mater Electron. - 2020. - Vol. 31. - P. 17281-1720.

65. Bludau O., Rohling C.C., Knobber F., Kirste L., et al. AlN based microgenerators for powering implantable sensor devices // Phys. Status Solidi. - 2011. - Vol. 8. - № 2. - P. 476-478.

66. Xu F., Wolf R.A., Yoshimura T., Trolier-McKinstry S. Piezoelectric films for MEMS applications // IEEE Proceeding 11th international symposium on electrets. - 2002. - P. 386-396.

67. Es-Souni M., Kuhnke M., Piorra A., Solterbeck C.-H. Pyroelectric and piezoelectric properties of thick PZT films produced by a new sol-gel route // Journal of European ceramic society. - 2005. - Vol. 25. - P. 2499-2503.

68. Gentil S., Kohli M., Seifert A. PZT thick films by diol chemical solution deposition // Journal of Electroceramics. - 2007. -Vol. 19. - № 4. - P. 307310.

69. Wang Z.J., Bi H.Y., Kokawa H., Zhang L., Tsaur J., Ichiki M., Maeda R. Preparation and characterization of PZT thin films deposited by pulsed laser deposition on template layer // Journal of European ceramic society. - 2004. -Vol. 16. - № 6. - P. 1629-1632.

70. Liufu D., Kao K.C. Piezoelectric, dielectric and interfacial properties of aluminum nitride films // J. Vac. Sci. Technol. A. - 1998. -Vol. 16. - № 4. -P. 2360-2366.

71. Dubois M.A., Muralt P. Properties of aluminum nitride thin films for piezoelectric transducers and microwave filter applications // Appl. Phys. Lett. - 1999. - Vol. 74. - № 20. - P. 3032-3034.

72. Wang L.P., Ginsburg E., Gerfers F., Samara-Rubio D., et al. Sputtered AlN thin films for piezoelectric MEMS devices // Proc. IEEE sensor conference. -2006. - P. 10-13.

73. Martin F., Muralt P., Dubois M.A., Pezous A. Thickness dependence of the properties of highly c-axis textured AlN thin film // J. Vac. Sci. Technol. A. -2004. - Vol. 22(2). - P. 361-365.

74. Tabbal M., Merel P., Chaker M., Pepin H. Pulsed laser deposition of c-axis oriented aluminum nitride thin films on silicon // Eur. Phys. J. Appl. Phys. -2001. - Vol. 14. - P. 115-119.

75. Alexander T.P., Bukowski T.J., Uhlmann D.R., Teowee G., McCarthy K.C., Dawley J., Zelinski B.J.J. Dielectric properties of sol-gel derived ZnO thin films // Proceeding of the 10th IEEE International symposium on applications of ferroelectric. - 1996. - Vol. 2. - P. 585-588.

76. Molarius J., Kaitila J., Pensala T., Ylilammi M. Piezoelectric ZnO films by RF sputtering // Journal of materials and science: materials in electronics. -2003. - Vol. 14. - P. 431-435.

77. Dang W.L., Fu Y.Q., Luo J.K., Flewitt A.J., Milne W.I. Deposition and characterization of sputtered ZnO films // Superlattices and microstructures. - 2007. - Vol. 42. - P. 89-93.

78. Villanueva Y.Y., Liu D.R., Cheng P.T. Pulsed laser deposition of zinc oxide // Thin Solid Films. - 2006. - Vol. 501. - P. 366-369.

79. Сафронов А.Я., Горнев Е.С., Зайцев Н.А., Матюшкин И.В. Разработка конструкции и технологии изготовления микросистем на основе кремния и тонких пленок пьезокерамики // Нано- и микросистемная техника. - 2006. - № 8. - С. 30-33.

80. Рабе К.М. Физика сегнетоэлектриков: современный взгляд / Под ред. Рабе К.М., Анна Ч.Г., Трискона Ж.-М.; пер. с англ. - М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011. - 440 с.

81. Matrin L.W., Chu Y.H., Ramesh R. Advances in the growth and characterization of magnetic, ferroelectric, and multiferroic oxide thin films // Materials Science and Engineering R. - 2010. - Vol. 68. - P. 89-133.

82. Кукушкин С.А., Тентилова И.Ю., Пронин И.П. Механизм фазового превращения пирохлорной фазы в перовскитовую в пленках цирконат-титаната свинца на кремниевых подложках // Физика твердого тела. -2012. - том 54. - вып. 3. - С. 571-575.

83. Wallace M. Performance of PZT based MEMS devices with integrated ZnO electronics / Doctoral thesis, The Pennsylvania State University, USA. -2016.

84. Potrepka D.M., Fox G.R., Sanchez L.M., Polcawich R.G. Pt/TiO2 growth templates for enhanced PZT films and MEMS devices // Mater. Res. Soc. Symp. Proc. - 2011. - Vol. 1299. - P. 67-72.

85. Серегин Д.С., Воротилов К.А., Сигов А.С., Зубкова Е.Н., Абдуллаев Д.А., Котова Н.М., Вишневский А.С. Формирование и свойства пористых пленок цирконата-титаната свинца // Физика твердого тела. -2015. - том 57. -вып. 3. - С. 487-490.

86. Сергеева О.Н., Богомолов А.А., Киселев Д.А., Малинкович М.Д., Пронин И.П., Каптелов Е.Ю., Сенкевич С.В., Пронин В.П. Пироэлектрические и пьезоэлектрические свойства тонких пленок PZT на морфотропной фазовой границе // Физика твердого тела. - 2014. -том 56. -вып. 4. - С. 687-691.

87. Muralt P., Dubois M.A., Seifert A., Taylor. D.V., Ledermann N., Hiboux S. In-plane piezoelectric coefficient of PZT thin films as a function of composition // Ferroelectrics. - 1999. - Vol. 224. - P. 235-242.

88. Sim J.S., Zhao J.S., Lee H.J., Lee K., Hwang G.W., Hwang C.S. Characteristics of polycrystalline SrRuO3 thin-film bottom electrodes for metallorganic chemical-vapor-deposited PbZr0,2Ti08O3 // Thin films journal of the electrochemical society. - 2006. - Vol. 153. - № 11.- P. 777-786.

89. Millon C., Malhaire C., Barbier D. Ti and TiOx seeding influence on the orientation and ferroelectric properties of sputtered PZT thin films // Sensors and actuators A: Physical. - 2004. - Vol. 113. - P. 376-381.

90. Jeong Y.S., Lee H.U., Lee S.A., Kim J.P., et al. Annealing effect of platinum-based electrodes on physical properties of PZT thin films // Current applied physics. - 2009. - Vol. 9. - № 1.- P. 115-119.

91. Duval F.F.C., Dorey R.A., Haigh R.H., Whatmore R.W. Stable TiO2/Pt electrode structure for lead containing ferroelectric thick films on silicon MEMS structures // Thin solid films. - 2003. - Vol. 444. - № 1-2.- P. 235240.

92. Izyumskaya N., Alivov Y.I., Cho S.J., Morkoc H., Lee H., Kang Y.S. Processing, structure, properties, and applications of PZT Thin Films // Critical Rev. Solid State Mater. Sci. - 2007. - Vol. 32. - № 3-4. - P. 111202.

93. Millon C., Malhaire C., Dubois C., Barbier D. Control of the Ti diffusion in Pt/Ti bottom electrodes for the fabrication of PZT thin film transducers // Mat.Sci. Semiconductor Proc. - 2003. - Vol. 5. - № 2-3.- P. 243-247.

94. Smith G.L., Pulskamp J.S., Sanchez L.M, Potrepka D.M., et al. PZT-based piezoelectric MEMS technology // J. Am. Ceram. Soc. - 2012. - Vol. 95. -№ 6.- P. 1777-1792.

95. Liang R.H., Remiens D., Soyer C., Sama N., Dong X.L., Wang G.S. Etching characteristics and absence of electrical properties damage of PZT thin films etched before crystallization // Microelectronic engineering. - 2008. - Vol. 85. - № 4. - P. 670-674.

96. Puliyalil H., Cvelbar U. Selective Plasma Etching of Polymeric Substrates for Advanced Applications // Nanomaterials. - 2016. - Vol. 6. - № 6. - P. 108.

97. Gosset N., Boufnichel M., Bahette E., Khalfaoui W., et al. Single and multilayered materials processing by argon ion beam etching: study of ion angle incidence and defect formation // J. Micromech. Microeng. - 2015. -Vol. 25. - № 9. - P. 095011.

98. Subasinghe S.S., Goyal A., Srinivas A. Tadigadapa. High aspect ratio plasma etching of bulk Lead Zirconate Titanate // Micromachining and microfabrication process technology XI,. - 2006. - P. 61090D.

99. Абдуллаев Д.А., Зубкова Е.Н., Воротилов К.А. Реактивно-ионное травление пленок цирконата-титаната свинца (обзор) // Нано- и микросистемная техника. - 2015. - № 1. - С. 19-26.

100. Богуш М.В. Проектирование пьезоэлектрических датчиков на основе пространственных электротермоупругих моделей. - М.: Техносфера. -2014. - 312 с.

101. Сайт компании CoventorWare® [Электронный ресурс] // URL: https://www.coventor.com (дата обрушения: 05.03.2017).

102. Кешаварздивколаи К., Лукичев В.Ф., Кальнов В.А., Певцов Е.Ф. Моделирование AlN микромоста для применения в ВЧ-МЭМС переключателях // Датчики и системы. - 2017. - № 10 (218) . - С. 49-54.

103. Кешаварздивколаи К., Лукичев В.Ф., Кальнов В.А., Певцов Е.Ф. Сравнительная оценка частотных характеристик AlN и ЦТС, применяемых в качестве резонатора в вибрационных кольцевых гироскопах // Нано- и микросистемная техника. - 2018. - том 20. - № 3. - С. 186-192.

104. Кешаварздивколаи К., Лукичев В.Ф., Кальнов В.А., Певцов Е.Ф. Кольцевые МЭМС-гироскопы на основе нитрида алюминия // Датчики и ^стемы. - 2018. - № 8-9 (228). - С. 41-45.

105. Варадан В., Виной К., Джозе К. ВЧ МЭМС и их применение. - пер. с анг. под ред. Ю.А. Заболотной. - М.: Техносфера. - 2004. - 525 с.

106. Корицкий Ю.В. Справочник по электротехническим материалам. - М.: Энеогоатомиздат. Том 3. -1988. - 728 с.

107. Лукичев В.Ф., Лебедев К.В., Кальнов В.А. Моделирование характеристик низковольтного МЭМС-переключателя латерального типа с пружиной типа "меандр" // Нано- и микросистемная техника. -2017. - Том 19. -№ 7. - С. 49-54.

108. Wang Q.M., Zhang T., Chen Q., Du X.H. Effect of DC bias field on the complex materials coefficients of piezoelectric resonators // Sensors and actuators A: Physical. - 2003. - Vol. 109. - P. 149-155.

109. Афонин С.М., Афонин П.С. Моделирование характеристик пьезоэлектрических блочных актюаторов для нано- и микроманипуляторов // Нано- и микросистемная техника. - 2006. - № 11. - С. 25-30.

110. Бардин А.В., Васильев В.А. Принципы построения пьезоактюаторов для нано- и микроперемещений // В сб.: "Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы": Труды XVI международной конференции. Ульяновск: УлГу. - 2013. - С. 316-317.

111. Русинов В.Н. Murata: пьезоэлектрические, магниторезистивные и пироэлектрические датчики. - М.: Додэка-XXI. - 2003. - 80 с.

112. Vigevani G. MEMS Aluminum nitride technology for inertial sensors / Ph.D dissertation. - Berkeley University of California. - 2011.

113. Tao Y., Wu X., Xiao D., Wu Y., Cui H., Xi X., Zhu B. Design, analysis and experiment of a novel ring vibratory gyroscope // Sensors and actuators A: Physical. - 2011. - Vol. 168. - P. 286-299.

114. Певцов Е.Ф., Деменкова Т.А., Аль-Натах Р.И. Основы моделирования и проектирования МЭМС в САПР CoventorWare [Электронный ресурс]: учебное пособие. - Московский технологический университет (МИРЭА). - 2016. - 85 с.

115. Певцов Е.Ф., Чуйко А.В., Гришунин К.А. Моделирование волнового твердотельного гироскопа // Международный форум «Микроэлектроника -2018», 4-я международная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули». - 2018. - 580 с.

116. Виноградов Д.А., Наседкин А.В., Паринов И.А., Рожков Е.В. Определение электрических и механических характеристик пьезоэлектрических элементов // Дефектоскопия. - 2002. - № 2. - С. 1825.

117. Смажевская Е.Г., Фельдман Н.Б. Пьезоэлектрическая керамика. - М.: Изд-во «Советское радио». - 1971. - 200 с.

118. Головнин В.А., Каплунов И.А., Малышкина О.В., Педько Б.Б., Мовчикова А.А. Физические основы, методы исследования и практическое применение пьезоматериалов. - М.: Техносфера. - 2017. -272 с.

119. Котова Н.М., Подгорный Ю.В., Серегин Д.С., Воротилов А.С. Влияние методики приготовления пленкообразующих растворов на электрофизические свойства сегнетоэлектрических пленок ЦТС // Нано-и микросистемная техника. - 2010. - № 10. - C. 11-16.

120. Vorotilov K., Sigov A., Seregin D., Podgorny Yu., Zhigalina O., Khmelenin D. Crystallization behaviour of PZT in multilayer heterostructures // Phase Transitions: Multinatl. - 2013. - V. 86. - № 11. - P. 1152-1165.

121. Kotova N.M., Vorotilov K.A., Seregin D.S., Sigov A.S. Role of precursors in the formation of lead zirconate-titanate thin films // Inorganic Materials. -2014. - V. 50. - № 6. - P. 661-666.

122. Лалетин Р.А., Бурханов А.И., Сигов А.С., Воротилов К.А. Воздействие низко- и инфранизкочастотных электрических полей на поведение доменной структуры пленок PZT при различных механических напряжениях в материале // Нано- и микросистемная техника. - 2006. -№ 5. - С. 26-28.

123. Зубкова Е.Н., Абдуллаев Д.А., Серегин Д.С., Котова Н.М., Воротилов К.А. Особенности микроструктуры пористых пленок ЦТС // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. -2013. - т. 13. - № 2. - С. 82-86.

124. Petrov V.V., Varzarev Y.N., Kamentsev A.S., Rozhko A.A., Pakhomova O.A. PZT thin films on silicon substrates: formation and research of properties // Nano Hybrids and Composites. - 2020. - V. 28. - P. 65-70.

125. Yi J.W., Shih W.Y., Shih W.H. Effect of length, width, and mode on the mass detection sensitivity of piezoelectric unimorph cantilevers // J. Appl. Phys. - 2002. - Vol. 92. - № 3. - P. 1680-1686.

126. Zheng X.Q., Sanchez L.M., Pulskamp J.S., Polcawich R.G., Feng P.X.L., Characterization of thin film lead zirconate titanate (PZT) multimode piezoelectric cantilevers vibrating in ultrasonic band // IEEE international frequency control symposium (IFCS), New Orleans, LA, USA. - 2016.

127. Уваров И.В., Наумов В.В., Аминов М.К., Куприянов А.Н. Амиров И.И. Исследование резонансных характеристик микро- и нанотрубок // Нано-и микросистемная техника. - 2012. - № 12(137). - C. 45-48.

128. Uvarov I.V., Naumov V.V., Amirov I.I. Resonance properties of multilayer metallic nanocantilevers // Proceedings of SPIE. - 2013. - Vol. 8700. - P. 87000S-1.

129. Лукичев В.Ф., Амиров И.И., Уваров И.В., Кешаварздивколаи К., Воротынцев Д.А., Серегин Д.С., Воротилов К.А. Изготовление и резонансные характеристики PZT кантилеверов // Нано- и микросистемная техника. - 2021. - том 23. - № 5. - С. 255-260.