Роль физико-химических свойств материала и конфигурации поверхности холодного катода в обеспечении его работоспособности в тлеющем разряде тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.07, кандидат технических наук Дерюгина, Елена Олеговна

• Дерюгина, Елена Олеговна
• кандидат технических наук
• 2004

Оглавление диссертации кандидат технических наук Дерюгина, Елена Олеговна

Введение.

Глава 1. Физические процессы, происходящие при взаимодействии плазмы тлеющего разряда с поверхностью холодных катодов (литературный обзор).

1.1. Особенности гелий-неоновых лазеров.

1.2. О процессах в тлеющем разряде и на поверхности катодов.

1.3. Материалы и конструкции современных холодных катодов.

1.4. Методы прогнозирования долговечности холодных катодов в тлеющем разряде.*.

Выводы к главе 1.

Глава 2. Изучение физико-химических свойств материалов для холодных катодов.

2.1. Эмиссионные свойства холодных катодов.

2.2. Пороговая энергия распыления.

2.3. Термодинамические свойства материалов для холодных катодов.

Выводы к главе 2.

Глава 3. Экспериментальное исследование влияния формы холодного катода на его работоспособность.

3.1. Особенности конфигурации экспериментальных образцов.

3.2. Техника эксперимента при получении материалов металл-диэлектрик на поверхностях различного профиля.

3.3. Исследование работоспособности холодных катодов с различной геометрией поверхности.

Выводы к главе 3.

Глава 4. Разработка способа оценки качества холодных катодов.

4.1. Послеразрядная эмиссия материалов с оксидными пленками.

4.2. О модели послеразрядной эмиссии холодных катодов.

4.3. Особенности способа оценки качества холодных катодов.

Ф Выводы к главе 4.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Роль физико-химических свойств материала и конфигурации поверхности холодного катода в обеспечении его работоспособности в тлеющем разряде»

В настоящее время в связи с бурным развитием техники всё больший интерес вызывают многокомпонентные материалы и слоистые структуры, так называемые сандвич-материалы. Применение таких материалов в промышленности потребовало решения проблемы их устойчивости к воздействию различного вида излучений, что является одной из задач физики конденсированного состояния.

На основе многокомпозиционных материалов в последнее десятилетие разрабатывают холодные катоды газоразрядных приборов, широко используемых в современной науке, технике и медицине. Важнейшими из газоразрядных приборов с холодным катодом являются гелий-неоновые (Не-Ме) лазеры, не превзойденные до сих пор по монохромности пучка излучения.

Такие их особенности, как холодный катод, малая потребляемая мощность, высокая долговечность (средняя наработка на ресурс), высокая когерентность излучения, позволяют этим приборам успешно конкурировать с доведенными в настоящее время до высокого совершенства полупроводниковыми лазерами, а по ряду свойств и превосходить их.

Наблюдаемые в Не-Ые лазере тлеющего разряда с холодным катодом процессы катодного распыления и жестчения газа определяют его срок службы (долговечность). Поскольку требования по долговечности таких лазеров непрерывно возрастают, то поиску материалов для холодных катодов и совершенствованию технологии их изготовления посвящено достаточно много работ как отечественных, так и зарубежных исследователей. Однако данные этих исследований до настоящего времени не были обобщены и проанализированы во взаимосвязи, в том числе с основными свойствами используемых материалов.

Все возрастающие требования по миниатюризации и долговечности отечественных гелий-неоновых лазеров как обычной (ГН-1, ГН-3, ГН-5м, ГН-7м), так и моноблочной (ЗЛК-16, ЛГК-200) конструкций предопределяют не только разработку и применение материалов для холодных катодов, но и постановку фундаментальных исследований. Они должны быть посвящены изучению физических процессов, происходящих при бомбардировке катодных материалов в гелий-неоновом разряде, во взаимосвязи с их физико-химическими свойствами. Только с применением результатов таких исследований будет возможна разработка новых или оптимизация уже известных материалов, конструкций холодных катодов и способов их изготовления. Этим определяется актуальность и своевременность представленной проблемы, поскольку без их решения не видны пути создания малогабаритных (миниатюрных) Не-Ые лазеров, остро востребованных в настоящее время, например, в навигационной технике (лазерная гироскопия).

Целью настоящей работы является научное обоснование выбора материалов системы металл-диэлектрик для холодных катодов малогабаритных Не-№ лазеров на основе физических и физико-химических свойств веществ, выявление влияния формы холодного катода на его работоспособность в аномальном тлеющем разряде и изыскание способов контроля параметров материала холодного катода с целью прогнозирования его долговечности.

Для достижения поставленной цели предстояло решить следующие задачи:

Исследовать взаимосвязь между физико-химическими свойствами материалов и устойчивостью их к распылению в условиях тлеющего разряда с параметрами, наблюдаемыми в малогабаритных Не-Ие лазерах. Для этого необходимо было определиться с объектом и методом исследования материалов в виде образцов холодных катодов в отпаянных приборах, моделирующих условия малогабаритных лазеров.

Изучить, каким образом влияет на работоспособность, в том числе и срок службы (долговечность), холодного катода в аномальном тлеющем разряде форма рабочей, бомбардируемой поверхности. Для этого необходимо было выполнить аналитические исследования и обобщить известные данные по этому вопросу, выполнить экспериментальные работы и разработать соответствующие методики исследований, получить экспериментальные образцы катодов и спроектировать соответствующие методы отпаянных или разборных приборов с объектами исследований, имеющих различную конфигурацию катодной полости.

Исследовать пути снижения средней плотности тока на исследуемых материалах холодных катодов типа металл-диэлектрик.

Разработать новый способ контроля качества холодного катода, учитывающий определенные физические свойства как поверхности, так и материала, из которого он изготавливается.

Учитывая современные возможности вычислительной техники и программирования, увязать физические и физико-химические свойства исходных материалов, данные о влиянии формы холодного катода на его работоспособность в аномальном тлеющем разряде, проработать упрощение методики выбора холодных катодов из материалов системы металл-диэлектрик.

Научная новизна результатов работы заключается в следующем:

Теплота сублимации металлов и теплота образования высокомолекулярных соединений во взаимосвязи с пороговой энергией распыления и коэффициентом вторичной ионно-электронной эмиссии наиболее полно характеризуют устойчивость холодных катодов системы металл-диэлектрик к воздействию аномального тлеющего разряда с параметрами, характерными для малогабаритных гелий-неоновых лазеров;

Экспериментально установлено, что форма холодного катода, при прочих равных условиях, не играет определяющей роли в обеспечении его долговечности, поскольку в условиях аномального тлеющего разряда не обнаружено равномерного распределения плотности тока даже на поверхности сферической полости, а снижение плотности тока существенно улучшает его работоспособность;

Установлена взаимосвязь параметров тока послеразрядной эмиссии //7э и среднеквадратичного отклонения 1ПЭ от среднего тока послеразрядной эмиссии Ощэ, характеризующего однородность эмиссионных свойств материала металл-оксид с долговечностью (прогнозируемой) холодного катода в гелий-неоновом разряде и предложен на этой основе способ контроля качества материала холодного катода.

Практическая ценность работы состоит в следующем:

Предложен способ выбора материалов холодных катодов, учитывающий основные физико-химические свойства исходных материалов и рекомендовано применение многослойных металлических материалов А1-Ее-А1, Ег-И! -Ъх и многослойных композиций А1-диэлектрик-А1, 2г-диэлектрик^г в качестве рабочих поверхностей полых холодных катодов, образованных плоскими пластинами;

Предложен метод определения среднего ресурса (долговечности) материала холодного катода в приборе по величине изменения общего давления лазерной смеси АРне-ие с определением точного времени завершения работы холодного катода по резкому увеличению величины напряжения горения игор;

Предложен путь существенного увеличения долговечности малогабаритных Не-№ лазеров снижением средней плотности тока нагрева, как минимум, в два раза благодаря применению двуполостного холодного катода.

Апробация работы осуществлена путём доклада основных положений и выводов на 11 международных и Всероссийских научно-технических конференциях.

Заключение диссертации по теме «Физика конденсированного состояния», Дерюгина, Елена Олеговна

Общие выводы по работе

1. Физико-химические свойства материалов, такие как теплота сублимации металлов и теплота образования высоко молекулярных соединений

Д#£о и Двместе с пороговой энергией распыления б,/, и коэффициентом вторичной ионно-электронной эмиссии у, более полно характеризуют устойчивость холодных катодов системы металл-диэлектрик к воздействию аномального тлеющего разряда. В лазерной гелий-неоновой смеси в диапазоне давлений РНе.н=\50.Л50 Па структуры с высокими термодинамическими параметрами (Ве-ВеО, М§-М§0, А1-А1203, Тг-Хг02) имеют низкую распыляемость катодной поверхности в условиях аномального разряда при плотностях тока 0,1 . 0,5 мА/см и, следовательно, высокую долговечность.

2. Установлено, что форма бомбардируемой в лазере поверхности, наряду с прочими равными условиями, не играет определяющей роли в обеспечении долговечности поскольку в аномальном тлеющем разряде в гелий-неоновой смеси в рассматриваемом диапазоне давлений и разрядных токов, судя по результатам выполненных исследований секционированных холодных катодов, ни на одной из них не обнаружено равномерного распределения плотности разрядного тока (в том числе и на сферической).

3. Показано, что долговечность моноблочного малогабаритного Не-Ые лазера может быть существенно увеличена при сохранении общего разрядного тока применением двух миниатюрных холодных катодов, а следовательно снижением в 2 раза плотности тока на бомбардируемой поверхности.

4. Предложен способ контроля качества материала холодного катода типа металл-диэлектрик, основанный на прогнозировании его долговечности (с вероятностью более 99%) по величине двух параметров: току постэмиссии 1пэ и среднему квадратичному отклонению 1пэ от среднего тока постэмиссии Ощэ. характеризующему однородность эмиссионных свойств. Экспериментально установлено, что гарантированный срок службы (более 5000 часов) для материалов типа AI-AI2O3 обеспечивается, если ток постэмиссии холодных катодов, изготовленных из него, лежит в диапазоне 10" .10" А.

5. Доказано, что при изучении свойств холодных катодов в аномальном тлеющем разряде постоянный контроль напряжения горения Ueop позволяет точно установить момент выхода из строя холодного катода, что улучшило достоверность способа определения работоспособности отпаянного прибора по результатам измерения флуктуаций величины общего давления т-ш.

6. Рекомендовано применение многослойных металлических материалов типа Al-Fe-Al, Zr-Ni-Zr, получаемых холодным плакированием и многослойных материалов А1-диэлектрик-А1, Zr-диэлeктpик-Zr, где металлические плёнки нанесены на стекло, кварц или ситалл в качестве рабочих поверхностей полых холодных катодов, образованных такими пластинами, и показавших высокую работоспособность в аномальном тлеющем He-Ne разряде.

7. Показано, что применение потоковых вычислений, применение ЭВМ и программного обеспечения значительно упрощают процесс оптимизации выбора материала и формы холодного катода.

Заключение

Процессы катодного распыления и жесчение газа определяют срок службы холодного катода в аномальном тлеющем разряде в гелий-неоновой смеси. Коэффициент распыления холодного катода зависит от энергии, заряда и массы иона (Не, №), а также от энергии связи атомов материала катода. Традиционная методика выбора материалов для холодных катодов заключалась в расчете коэффициента распыления, а также путём эмпирического подбора материалов на основе известных экспериментальных данных. Причём большинство этих данных получено при энергиях распыляющих частиц, превосходящих 1 кэВ, что не соответствует энергиям, наблюдаемым в аномальном тлеющем разряде малогабаритных Не-Ые лазеров. С другой стороны известно, что коэффициент распыления большинства химических соединений, превосходит коэффициент распыления соответствующих элементов. Особенностью распыления таких соединений является высокая пороговая (€,/,), достигающая 300.500 эВ. Поэтому, поскольку характеризует распыляемость материала катода, целесообразно рассматривать и физико-химические свойства веществ, например, термодинамические. Величина связана с ними и по величинам характеризуется также значениями теплот сублимации (для металлов) и теплот образования (для сложных соединений), т.е. по термодинамическим свойствам возможно составить представление об устойчивости к распылению в разряде тех или иных веществ.

Такой подход, осуществлённый в данной работе, позволил объяснить высокую устойчивость к распылению в аномальном тлеющем разряде материалов системы металл-диэлектрик, например, таких как Ве-ВеО, М§0, Хг-Хт02, АЬА^Оз (имеющих теплоту сублимации АН°/Ш соответственно

-590, -601, -1094, -1675 кДж/моль).

Понятно, что даже самая устойчивая к распылению композиция металл-диэлектрик в аномальном тлеющем разряде, хотя и с меньшей скоростью, будет всё же распыляться. Будут также происходить процессы поглощения газов из объёма Не-Ие прибора. Это сопровождается перепылением распылённого вещества с поверхности холодного катода и переосаждением распылённого материала.

Однако найденный в своё время и хорошо апробированный многими исследователями метод определения работоспособности холодного катода в отпаянном газоразрядном приборе по величине изменения общего давления в нём АР достаточно полно учитывает суммарной эффект от воздействия вышеперечисленных физических процессов, а предложеный в данной работе контроль величины напряжения горения игор позволяет четко определить момент выхода из строя холодного катода.

Выполненные в работе экспериментальные исследования показали, что в аномальном тлеющем разряде в Не-Ке смеси форма холодного катода не играет определяющей роли по сравнению с плотностью разрядного тока. Резкое снижение плотности разрядного тока, например, применением двух холодных катодов позволяет создавать малогабаритный Не-Ые лазер с высокой долговечностью независимо от конфигурации холодного катода.

Предложенный и достаточно полно изученный в выполненной работе способ определения качества материала холодного катода до постановки его в действующий Не-№ лазер, основанный на определении его эмиссионных свойств (тока послеразрядной эмиссии 1ПЭ) и однородности эмиссионных свойств материала по поверхности холодного катода (а,яэ) с достаточно высокой вероятностью (99%) характеризует долговечность катода в приборе. Экспериментально подтверждено, что гарантированный срок службы холодных катодов Б обеспечивается если ток послеразрядной эмиссии лежит в диапазоне

10"1610"17 А. Это подтверждено контролем параметра 1пэ на различных технологических переделах изготовления моноблочного Не-Ие лазера.

Способ определения качества материалов холодных катодов апробирован на образцах цилиндрической формы и может быть распространен на катоды любой конфигурации. С точки зрения практического применения, наиболее удобной конфигурацией полого холодного катода является плоская конструкция, поскольку требуемые диски легко получаются из многослойных лент (А1-Ре-А1, и др.), а также путём напыления металлических слоёв на диэлектрические подложки из стекла, кварца или ситалла. Технологии плакирования многослойных лент на прецизионных прокатных станах и вакуумного напыления на плоские объекты к настоящему времени хорошо отработаны.

Выбор материалов для холодных катодов Не-№ лазеров по параметрам и термодинамическим (физико-химических) свойств с помощью современных вычислительных средствам и программного обеспечения не составляет технических трудностей.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Дерюгина, Елена Олеговна, 2004 год

1. Савельев A.M., Соловьева Т.И. Состояние лазерной гироскопии за рубежом // Зарубежная радиоэлектроника. 1981. - №8. - С. 77-92.

2. Hochuli U., Haldemann P. Cold cathode for possible use in 6328 A single mode He-Ne lasers // Rev. Sci. Insr. 1965. - V.36, №10. - P. 1493-1494.

3. Hochuli U., Haldemann P., Hardwick D. Cold cathode for He-Ne lasers // IEEE J. of Quant. Electr. 1967. - V.3, № 11. - P. 612-614.

4. Cathodes for He-Ne lasers / D.A. Chance, V. Brusio, V.S. Crawford, R.D. Macinnes // IBM J. Res: Develop. 1979. - V.23, № 2. - P. 119-127.

5. Бычков H.A. Научно-методическое обеспечение управления качеством холодных катодов на этапе разработки и организации производства // Наукоёмкие технологии. 2004. - №1. - С. 29-34.

6. Европейский патент 0212 463. Gas discharge device/ С. М. Ford. 1986.

7. Патент 4 595.377 США. Cold cathode fabrication for ring laser gyroscope /К. J. Ramsey. 1986.

8. Fein E., Salisbury W. Integrated construction of low-cost gas lasers // Applied Optics. 1977. - V. 16, № 8. - P. 2308-2314.

9. Актон Д.Р., Свифт Д.Д. Газоразрядные лампы с холодным катодом. -М.: Энергия, 1965.-480 с.

10. Москалёв Б.И. Разряд с полым катодом. -М.: Энергия, 1972. 526 с.

11. Зыкова Е.В., Кучеренко Е.Т., Брыкайло И.Н. Коаксиальный полый катод для гелий-неоновых лазеров // Вестник Киевского университета. Физика. 1983.-Вып. 24.-С. 85-89.

12. Боярчиков O.A., Соболев В.Д., Шипалов A.C. Выбор оптимальной длины полого цилиндрического разряда // Электронная техника. Сер. Газоразрядные приборы. 1971. - Вып.3(23). - С. 18-21.

13. Кучеренко Е.Т., Зыкова Е.В., Макосевская JI.H. Исследование тлеющего разряда с секционированными полыми катодами // Украинский физический журнал. 1972. - Т. 17, № 12 - С. 2063-2065.

14. Ткаченко В.М., Тютюнник В.Б. Исследование параметров плазмы в разряде с цилиндрическим полым катодом в гелии // Журнал технической физики. 1976. - Т.46. - С. 1449-1458.

15. Велик В.А., Коржавый А.П., Лазарева JI.B. Особенности конструкций холодных катодов миниатюрных газовых лазеров // Электронная техника. Сер. Материалы. 1977. - Вып. 4. - С. 29-35.

16. Кучеренко Е.Т. Получение окисных пленок алюминия переменной толщины в плазме газового разряда // Вакуумные технологии и оборудование.- Харьков, 2001.- С. 279-282.

17. Кучеренко Е.Т., Зыкова Е.В. Исследование холодных катодов на основе диэлектрических пленок // Вестник Киевского университета. Физика.- 1986.-Вып. 27.-С. 73.

18. Кучеренко Е.Т., Зыкова Е.В., Тищенко В.Г. Холодный алюминиевый катод для гелий-неонового лазера // Вюник Кшвського ушверситету. 1971. -№12.-С. 122.

19. Ананьин B.C., Беляев В.А., Покосовский JI.H. Поведение окисных пленок алюминия в тлеющем разряде // Электронная техника. Сер. Электровакуумные и газоразрядные приборы. 1972. - Вып. 2.- С. 54-62.

20. Суховский В.Н., Коржавый А.П., Кочурихин В.Е. Нитриды переходных металлов перспективные материалы для долговечных пленочных катодов // Электронная техника. Сер. Материалы. - 1989. - Вып. 6. - С. 70-71.

21. Прасицкий В.В. Современные катоды для отпаянных приборов // Электронная промышленность. 1996. - № 3. - С. 91-92.

22. Бондаренко Г.Г., Лищук H.B. Химические и электрохимические способы повышения долговечности холодных катодов // Физика и химия обработки материалов. 1998. - № 3. - С. 96-98.

23. Мартынов В.Ф. Оптимизация геометрических размеров холодных катодов для He-Ne лазера // Квантовая электроника. 1973. - №6(18). - С. 4852.

24. Зыкова Е.В., Кучеренко Е.Т., Айвазов В.Я. Исследование тлеющего разряда с холодным катодом, покрытым диэлектрическими пленками // Радиотехника и электроника. 1979. - Т.24, № 7. - С. 1461-1466.

25. Коржавый А.П., Пролейко Э.П., Файфер С.И. Холодные катоды для ГРП // Электронная промышленность. 1973. - № 4. - С. 23.

26. Мирзоева С.Д., Звонецкий В.И., Шишков A.B. Влияние активных добавок на эмиссионные свойства композиционных плёночных эмиттеров // Электронная техника. Сер. Материалы. 1980. - Вып. 3. - С 67-69.

27. Крютченко О.Н., Маннанов А.Ф., Носов A.A. Особенности взаимодействия плазмы газового разряда с поверхностью холодного катода // Радиотехника и электроника. 1992. - Т. 7, № 1 - С 1716-1718.

28. Оптимизация катодного узла малогабаритных гелий-неоновых лазеров / О.Н. Крютченко, А.Ф. Маннанов, В.А. Степанов, М.В. Чиркин // Электронная техника. Сер. Квантовая электроника. 1993. - Вып. 1-2. - С. 8083.

29. Крютченко О.Н., Степанов В.А., Чижиков А.Е. Некоторые особенности изготовления холодных катодов из MgO // Электронная техника. Сер. Материалы. 1982. - Вып. 12. - С. 7-11.

30. Крютченко О.Н., Маннанов А.Ф., Степанов В.А. Оптимизация конструкции катодного узла малогабаритных He-Ne лазеров // Лазерная техника и оптоэлектроника. 1993. - Вып. 1-2(68-69). - С. 80-83.

31. Механизмы проводимости оксидного покрытия холодных катодов газоразрядных приборов / О.Н. Крютченко, A.B. Маннанов, A.A. Носов, и др. // Поверхность. Физика. Химия. Механика. 1994. - № 6. - С. 93-99.

32. Термическая активировка металл-диэлектрических эмиттеров на основе окиси магния / A.A. Аристархова, Ю.Е. Дмитриевский, О.Н Крютченко и др. // Петербургский журнал электроники. 1993. - № 3. - С. 57-62.

33. Механизм деградации поверхности холодного катода в гелий-неоновых лазерах / О.Н. Крютченко, А.Ф. Маннанов, A.A. Носов и др. // Радиотехника и электроника. 1996. - Т. 11, № 8. - С. 990-994.

34. Бондаренко Г.Г., Коржавый А.П. Ионно-плазменное напыление алюминиевых и бериллиевых покрытий на внутренние поверхности полых цилиндрических катодов // Металлы. 1995. - №4. - С. 167-171.

35. Влияние рельефа поверхности на ионное распыление материалов катодов газоразрядных лазеров / Г.Г. Бондаренко, А.П. Коржавый, В.И. Кристя, Д.Н. Сигов // Металлы. 1993. - №3. - С. 97-100.

36. Теоретическое рассмотрение физического распыления материала катода гелий-неонового лазера / Г.Г. Бондаренко, А.П. Коржавый, В.И. Кристя и др. // Материалы. 1996. - №5. - С. 54-60.

37. Коржавый А.П. Материалы с высокой устойчивостью к распылению на основе лёгких металлов для холодных источников электронов // Наукоёмкие технологии. 2001. - №4. - С. 29-32.

38. Аитов Р.Д., Коржавый А.П., Кристя В.И. Влияние зарядки поверхности на коэффициент вторичной электронной эмиссии композиционных катодов // Радиотехника и электроника. 1995. - Вып. 11. -С. 1692-1695.

39. Дерюгина Е.О., Пролейко Э.П. Метод создания катодов для датчиков лазерных гироскопов // Наукоёмкие технологии. 2002. - №5. - С. 6-18.

40. Szapizo В., Rocca J.J., Prabhuzam Т. Electron yield of glow discharge • cathode materials under helium ion bombardment // Appl. Phys. Lett. 1988. - V.53,№5.-P. 358-360.

41. Helm H. Experimental measurements of the current balance at the cathode of a cylindrical hollow cathode glow disharge // Beitz. Plasma Phys. 1979. - V. 19, №. 4.-P. 233-257.

42. Куприяновский А.П., Светцов В.И., Сергеев В.Ю. Поглощение газов в разряде и долговечность приборов // Обзоры по электронной технике. Сер. Электровакуумные и газоразрядные приборы. 1989. - Вып. 2(1425). - 42 с.

43. Hall L.H. Lifetimes of cold cathodes for He-Ne gas lasers // J. Appl. Phys. 1988. - V. 64, №5. - P. 2631-2637.

44. Ивлев A.M., Коржавый А.П., Москвина А.И. Долговечность алюминиевых катодов при малых давлениях газа // Электронная техника. Сер. Электровакуумные и газоразрядные приборы. 1979. - Вып. 8. - С. 67-72.

45. Взаимодействие холодных катодов и активной среды гелий-неоновых лазеров / Е.А. Трофимов, Э.М. Труханенко, В.Ф. Арцихович, С.И. Файфер // Электронная техника. Сер. Материалы. 1975. - Вып. 1(82). - С. 28-32.

46. Korzhavyi А.Р. Advanced Metallic Materials for Vacuum Devices // Journal of Advanced Materials. 1994. - V. 1(1). - P. 46-53.

47. Zr. cold cathode // Laser Focus. 1972. -№2. - P. 13-15.

48. Влияние переосажденных атомов на динамику распределения их потока вдоль поверхности полого катода в тлеющем разряде / Г.Г. Бондаренко, О.Г. Бонк, В.И. Кристя и др. // Известия РАН. Сер. Физическая. 2000. - Т. 64, №4.-С. 752-755.т

49. Бонк О.Г., Кристя В.И. Моделирование переосаждения распыленного вещества на мишень по ступенчатым поверхностным рельефам, распыляемую в плазме тлеющего разряда // Поверхность. 2001. - №5. - С. 40-44.

50. Расчет переосажденного вещества на сетчатый холодный катод в тлеющем разряде / Г.Г. Бондаренко, О.Г. Бонк, В.И. Кристя, В.В. Прасицкий // Металлы. 2001. - №3. - С. 83-84.

51. Аитов Р.Д., Коржавый А.П., Кристя В.И. Эмиссионные свойства холодных катодов с оксидной плёнкой на поверхности для отпаянных газоразрядных приборов // Обзоры по электронной технике. Сер. Материалы. -1991. Вып.6(1612). -46 с.

52. Влияние некоторых технологических факторов на срок службы холодного катода / А.И.Перелыгин, Ю.Г.Садофьев, В.С.Ананьин, Е.А.Морозов // Электронная техника. Сер.4. Электровакуумные и газоразрядные приборы.- 1974. Вып.8. - С. 98-102.

53. Пекшев П.Ю., Сафиуллин В.А. Пористость плазменно-напыленного оксида алюминия // Изв. СО АН СССР. Сер. Техн. наук. 1988. - Вып.5, № 18. -С. 99-110.

54. Бажин А.И., Ступак В.А., Яблуков Б.Г. Зависимость ИЭЭ от толщины диэлектрического покрытия на металлической подложке // Диагностика поверхности ионными пучками: Тезисы докладов Всесоюзного совещания-семинара. Одесса, 1990. - С. 69-76.

55. Вов J., Hendriks М. Plasma-induced fixed oxide charge // J. Appl. Phys.- 1989. V. 66, №3. - P. 1244-1251.

56. Lefebvre P., Vigoroux J.P., Perrean J. Charge phenomena induced by low-energy ion bombardment in Si02 // J. Appl. Phys. 1989. - Vol.65, №4. - P. 16831693.

57. Bilee H.X., Rawlinga I.R. Surface potential barrier and field lowering of work function for metal cathodes covered with dielectric layers // Phenomena in Ionized Gases: Proc. IX Int. Conf. Bucharest, 1969. - P. 84.

58. Ion-electron emission: the effect of oxidation / J.Perron, B.V.Alonso, R.A.Baragiola, A.Oliva-Florio // Surf. Sci. 1982. - V.120, №2. - P. 427-434.

59. Szapiro В., Rocca J.J. Electron emission from glow-discharge cathode materials due to neon and argon ion bombardment // J. Appl. Phys. 1989. - V.65, №9.-P. 3713-3716.

60. Ion secondary electron emission from А120з end MgO films/N.R.Rajopadhye, V.A.Joglekar, V.H.Bhoraskar, S.V.Bhoraskar // Solid State Commun. 1986. - V.60, №8. - P. 675-679.

61. Коржавый А.П., Рожков A.M., Прозоров A.H. Некоторые вопросы ионно-электронной эмиссии твердых тел и разработки холодных катодов квантовых приборов // Обзоры по электронной технике. Сер. Материалы. -1988. Вып.4(1194). - С. 36.

62. Electron microscopic and ellipsometric studies on oxidized aluminium layers / P.B.Barna, Z.Bodo, G.Gergely et al. // Vacuum. -1983. V.33, №1/2. -P. 93-97.

63. Spectral ellipsomertric ТЕМ and electron spectroscopic investigations on oxidized aluminium thin films / P.B.Barna, Z.Bodo, J.Adam // Vacuum. 1985. - V.36, №7-9. - P. 465-469.

64. Higashi G.S. Fleming C.G. Sequential surface chemical reaction limited growth of high quality A1203, dielectrics // Appl. Phys. Lett. 1989. - V.55, №19. -P. 1963-1965.

65. Matsumura K. Ionization of atomic oxygen on the surface of a specimen in plasma anodization // J. Appl. Phys. 1989. - V.65, №5. - P. 18661873.

66. Hall L.H. Lifetimes of cold cathodes for helium-neon gas lasers // J. Appl. Phys. 1988. - Vol.64, №5. - P. 2631-2637.

67. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под ред. Р.Бериша.- М.: Мир, 1984.-336 с.

68. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под ред. Р.Бериша.- М.: Мир, 1986.-488 с.

69. Плешивцев Н.В. Катодное распыление. М.: Атомиздат, 1968.- 344 с.

70. Шульга В.И. Угловые зависимости и механизмы распыления (машинное моделирование) // Поверхность. 1982. - № 3. - С. 38-41.

71. Райзер Ю.П. Основы современной физики газоразрядных процессов. -М.: Наука, 1980.-416 с.

72. Каминский М. Атомные и ионные столкновения на поверхности металла. М.: Наука, 1967. - 506 с.

73. Коржавый А.П., Кристя В.И., Прасицкий В.В. Модель катодного распыления в смеси газов // Диагностика поверхности ионными пучками: Тезисы докладов V Всесоюзного совещания-семинара. -Донецк, 1988. С. 204.

74. Кристя В.И. О вкладе ионов примеси в распыление катода плазмой тлеющего разряда // Диагностика поверхности ионными пучками: Тезисы докладов V Всесоюзного совещания-семинара. Донецк, 1988. - С. 106-107.

75. Кучинский В.В., Шейнин Е.Г. Энергетический спектр быстрых атомов в темном катодном пространстве // Изв. вузов. Сер. Физика. 1987. - №8. - С. 62-67.

76. Райзер Ю.П. Современный уровень понимания явлений в катодных частях тлеющего разряда // ТВТ. 1966. - Т.24, № 5. - С.964-994.

77. Семенова В.Б., Коржавый А.П. Методы разработки и конструктивные особенности электродных систем современных газовых лазеров // Обзоры по электронной технике. Сер. Лазерная техника и оптоэлектроника. 1982. -Вып.3(900). - С. 72.

78. Аитов Д.Д., Коржавый А.П., Кристя В.И. Эмиссионные свойства холодных катодов с оксидной пленкой на поверхности для отпаянных газоразрядных приборов // Обзоры по электронной технике. Сер. Материалы -М.: Электроника, 1991. Вып. 5(1612). -47 с.

79. Коржавый А.П., Файфер С.И. Новые методы получения полых цилиндрических катодов // Электронная промышленность. 1980. - Вып. 3(87). -С. 15-17.

80. Определение потенциала поверхности диэлектрического слоя на мишени, бомбардируемой ионным пучком / Г.Г. Бондаренко, А.И. Бажин, А.П. Коржавый и др.// ЖТФ. 1998. - Т.68, № 9. - С. 126-128.

81. Дефекты и физические свойства многокомпонентных электронных материалов / К.Г. Никифоров, А.П. Коржавый, В.В. Горбачев и др. / Под ред. К.Г. Никифорова. Калуга: Изд-во КГПУ им. К.Э. Циолковского, 1999. - 215 с.

82. Поведение металлических композиций на основе меди и алюминия в условиях длительной ионно-электронной бомбардировки / Г.Г. Бондаренко, С.М. Жданов, А.П. Коржавый, А.Н. Тихонов // Перспективные материалы. -1999. № 3. - С.29-39.

83. Распыление различных материалов ионами и атомами / А.Я. Барсхая, С.П.Варшавский, О.И. Рязанцева, Д.А.Сена // ЖТФ. 1987. - Т.57, № 6. -С. 1223-1225.

84. Мартыненко Т.Н. Распыление пористых материалов // ЖТФ. -1968.- Т.38, №4. С.759-760.

85. Морозов В.В., Тесаков B.C., Шлюко В.Я. Катодное распыление пористого гексаборида лантана // ЖТФ. 1977. - Т.47, № 12. -С. 2526-2529.

86. Дозован A.A. Распыление пористых тел с порами сферической формы ускоренными ионами // Диагностика поверхности ионными пучками: Тезисы докладов V Всесоюзного совещания-семинара. -Донецк, 1988. С. 118-119.

87. Нарушение изотропности движения атомов вблизи поверхности и определение коэффициентов конденсации атомов металла в плазме / А.Г.Диглинский, А.М.Измайлов, В.В.Кучинский, В.С.Сухомлинов // ЖТФ.- 1987. Т.57, № 9. - С. 1741-1745.

88. Распределение распыляемых атомов в объеме тлеющего разряда / А.П. Коржавый, В.И.Кристя, Н.В. Лищук, В.В. Прасицкий // Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия: Тезисы докладов V Всесоюзного семинара.- Харьков, 1986. 4.2. - С. 78-79.

89. Раджабов Т.Д., Искандерова З.А. Взаимодействие газовых ионов с постоянно возобновляемыми поверхностями // Физические явления при бомбардировке твердого тела атомными частицами: Материалы Всесоюзной конференции. Ташкент, 1974. - Кн.2. - С. 13-17.

90. Азаров A.A., Пожарский В.А., Шипалов A.C. К вопросу жестчения газа в приборах тлеющего разряда // Электронная техника. Сер. Электровакуумные и газоразрядные приборы. 1986. - № 4. - С. 42-44.

91. Коржавый А.П., Рожков A.M., Прозоров А.Н. Некоторые вопросы ионно-электронной эмиссии твердых тел и разработки холодных катодов квантовых приборов // Обзоры по электронной технике. Сер. Материалы -М.: Электроника, 1986. Вып.4 (1194). -С. 35.

92. Расширение областей применения Зеемановского лазерного гироскопа ЗЛК-16-1 / Ю.Д. Голяев, М.С. Дроздов, А.П. Коржавый и др. // Технология гироскопии и навигация: Материалы Международной конференции. Санкт-Петербург, 2000. - С. 13-24.

93. Валахов Е.П., Ковалев A.C., Рахимов А.Т. Физические явления в газоразрядной плазме. М.: Наука, 1987. - 160 с.

94. Зыкова Е.В., Кучеренко Е.Т., Айвазов В.Я. Исследование тлеющего разряда с холодными катодами, покрытыми диэлектрическими пленками // Радиотехника и электроника. 1979. - Т.24, № 7. - С. 1464-1466.

95. Takeishi Y. Ejection of electrons from barium oxide by noble gas ions // J. Phys. Soc. Jap. -1962. V.17, № 2. - P.326-341.

96. Елецкий A.B., Смирнов B.M. Физические процессы в газовых лазерах. М.: Энергоиздат, 1985. - 152 с.

97. Назаркин М.Д., Польгин В.И. Основные положения и принципы прогнозирования работоспособности ГРП // Электронная техника. Сер. Электровакуумные и газоразрядные приборы. 1974. - №2. - С. 124-127.

98. Патент РФ № 2126185 Способ оценки качества холодных катодов. 1998.

99. Киреев В.А. Методы практических расчётов в термодинамике химических реакций. М.: Химия, 1975. - 320 с.

100. Владимиров Л.П. Термодинамические расчеты равновесия металлургических реакций. М.: Металлургия, 1970. - 257 с.

101. Глинка Н.Л. Общая химия. M.-JL: Химия, 1964. - 688 с.

102. Эспе В. Технология электровакуумных материалов. M.-JL: Госэнергоиздат, 1962. - Т. 1. - 632 с.

103. Лившиц Б.Г., Крапухин В.В., Линецкий Я.Л. Физические свойства металлов и сплавов. М.: Металлургия, 1980. - 320 с.

104. Ансельм А.И. Введение в теорию полупроводников. Л.: Физматиз, 1962.-420 с.

105. Беляев P.A. Окись бериллия -М.: Госатомиздат, 1962. 168 с.

106. Хейли В.Ф. Анодное оксидирование алюминия и его сплавов. М.: Металлургия, 1986. - 151 с.

107. Окисление металлов / Под ред. Ж. Бенара. М.: Металлургия, 1968. -120 с.

108. Юнг X. Анодные окисные плёнки. М.: Энергия, 1967. - 732 с.

109. Папиров И.И. Окисление и защита бериллия. М.: Металлургия, 1968.- 120 с.

110. Термодинамические свойства неорганических веществ / У.Д. Верятин, В.П. Маширев, Н.Г. Рябцев и др. М.: Атомиздат, 1965. - 460 с.

111. Татаринова Н.В., Чистяков П.Н. Электронная эмиссия с бариевого холодного катода, возникающая после импульса тока в газе // Известия АН СССР. Сер. Физическая. 1960. - Т. 24, №6. - С. 635-639.

112. Установка определения качества холодных катодов газоразрядных приборов / А.К. Ерохин, А.П. Коржавый, С.Н. Петрунько и др. // Электронная промышленность. 1989. - Вып. 5. - С. 32.

113. Чистяков П.Н., Синельникова М.В., Рябинская Ж.Т. Влияние катодных явлений на возникновение повторных импульсов пробоев газа // Радиотехника и электроника. 1952. - №5. - С. 877-882.

114. Чистяков П.Н., Татаринова Н.В. Статистическое запаздывание пробоя в инертном газе при чисто металлическом и активизированном катоде // Радиотехника и электроника. 1963. - №7. - С. 1246-1252.

115. Орлов Ю.И. О статическом запаздывании зажигания разряда в газе // Электронная техника. Сер. Электровакуумные и газоразрядные приборы. 1975.-Вып. 5.-С. 10-18.

116. Дешман С. Научные основы вакуумной техники. М.: Мир, 1964. -715 с.

117. Коржавый А.П., Кристя В.И., Прасицкий В.В. Метод расчёта срока службы холодных катодов в газоразрядных приборах // Электронная техника. Сер. Материалы. 1988. - №1. - С. 73-75.

118. Белова И.К., Дерюгина Е.О. О классификации и свойствах потоковых ЭВМ для научных исследований // Известие высших учебных заведений. Цветная металлургия. 2000. - №5. - С. 72-76.

119. Дерюгина Е.О. Алгоритмы управления памятью. Калуга: Изд. Н. Бочкарёвой, 1997. - 24 с.

120. Дерюгина Е.О. Лазеры: достижения и проблемы квантовой электроники. М.: Изд. МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2003. - 16 с.