Разработка технологических основ формирования многослойных пленок с комплексом функциональных свойств на основе наноструктурированных и поликристаллических слоев нитридов элементов III и IV групп периодической системы тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.16.09, кандидат наук Каменева, Анна Львовна

• Каменева, Анна Львовна
• кандидат наук
• 2013

Оглавление диссертации кандидат наук Каменева, Анна Львовна

СОДЕРЖАНИЕ

СПИСОК УСЛОВНЫХ ОБОЗНАЧЕНИЙ И СОКРАЩЕНИЙ....................... 12

ВВЕДЕНИЕ...................................................................................... 15

ГЛАВА 1. Аналитический обзор........................................................... 28

1.1. Особенности получения ионно-плазменных поликристаллических пленок.................................................................................... 28

1.2. Сложность получения ионно-плазменных поликристаллических пленок

с заданными стабильными эксплуатационными свойствами................. 29

1.3. Технологическо-эксплуатационная наследственность процесса изготовления ТИ и ПТ на процесс структурообразования ионно-плазменных поликристаллических пленок....................................................... 30

1.4. Технологическо-эксплуатационная наследственность процессов испарения/распыления катодов/мишеней на процесс структурообразования ионно-плазменных поликристаллических пленок.............................. 33

1.5. Зависимость процесса структурообразования ионно-плазменных поликристаллических пленок от технологических и температурных условий его протекания.......................................................................... 39

1.5.1. Влияние технологических параметров процесса осаждения ионно-плазменных поликристаллических пленок на их температуру в процессе структурообразования................................................................. 39

1.5.2. Влияние технологических и температурных параметров процесса осаждения ионно-плазменных поликристаллических пленок на стадии их структурообразования................................................................. 43

1.5.3. Влияние технологических параметров процесса осаждения ионно-плазменных поликристаллических пленок на их структуру, состав и свойства.......................................................................................... 46

1.5.4. Влияние технологических и температурных параметров процесса осаждения ионно-плазменных поликристаллических пленок на их дефектность...................................................................................... 50

1.5.5. Прогнозирование структуры ионно-плазменных поликристаллических пленок по изменению технологических и температурных параметров

в процессе их структурообразования.............................................. 51

1.5.6. Способы управления структурой ионно-плазменных поликристаллических пленок в процессе их структурообразования.............................. 58

1.6. Опыт получения ионно-плазменных поликристаллических пленок с заданными стабильными эксплуатационными свойствами..................... 60

1.7. Комплекс технологических решений для достижения поставленной

в работе цели............................................................................ 61

Выводы по главе 1............................................................................. 62

ГЛАВА 2. Оборудование и температурные условия формирования многослойных пленок на основе двух- и треккомпонентных слоев нитридов тугоплавких металлов и их соединений с легкоплавкими металлами и неметалл-

лами............................................................................................... 64

2 Л. Технические характеристики вакуумных установок........................... 64

2.2. Изменение температуры подложки и подслоя в зависимости от высокого напряжения и продолжительности ионной очистки........................ 64

2.3. Изменение температуры двухкомпонентных слоев пленок в зависимости от ТехП процесса их осаждения, типа и количества источников плазмы................................................................................... 69

2.4. Изменение температуры трехкомпонентных слоев пленок в зависимости от ТехП процесса их осаждения, типа и количества источников плазмы................................................................................... 73

2.5. Эксплуатационные характеристики используемых для упрочнения ТИ

и ПТ двух- и трехкомпонентных слоев пленок................................. 76

Выводы по главе 2............................................................................. 80

ГЛАВА 3. Изучение процесса испарения/распыления катодов/мишеней и его ч влияния на процесс формирования наноструктурированных и поликристаллических слоев многослойных пленок....................................................... 81

3.1. Методика исследования морфологических особенностей и дефектности поверхности зоны эрозии/области распыления и осаждаемых слоев пленок.................................................................................... 81

3.2. Изучение зависимости процесса испарения/распыления зоны эрозии/ области распыления однокомпонентных и композиционных катодов/ мишеней от способа их изготовления и охлаждения, элементного состава и теплофизических свойств и технологических особенностей источника плазмы........................................................................ 82

3.2.1. Изучение зависимости процесса испарения материала зоны эрозии тугоплавкого Т1 катода от способа его охлаждения........................... 82

3.2.2. Изучение зависимости процесса испарения материала зоны эрозии легкоплавкого А1 катода от способа его охлаждения.......................... 83

3.2.3. Изучение зависимости процесса распыления тугоплавкой Л мишени от способа ее охлаждения............................................................... 84

3.2.4. Изучение зависимости процесса распыления легкоплавкой А1 мишени

от способа ее охлаждения............................................................ 85

3.2.5. Изучение зависимости процесса распыления многокомпонентных композитных мишеней от их элементного состава, способа изготовления

и технологических особенностей источника плазмы.......................... 86

ч

3.3. Изучение процессов дефектообразования в двух-, трех- и многокомпонентных слоях пленок в зависимости от технологических особенностей и количества источников плазмы, способа изготовления и охлаждения, элементного состава и теплофизических свойств катодов/мишеней....... 90

3.3.1. Изучение процессов дефектообразования в двухкомпонентных слоях пленок в зависимости от технологических особенностей источников плазмы способа охлаждения литого тугоплавкого катода/мишени......... 90

3.3.2. Изучение процессов дефектообразования в трехкомпонентных слоях пленок в зависимости от технологических особенностей и количества источников плазмы способа охлаждения и теплофизических свойств катодов/мишеней...................................................................... 97

3.3.3. Изучение процессов дефектообразования в многокомпонентных слоях пленок в зависимости от технологических особенностей источника плазмы, элементного состава и способа изготовления........................ 101

3.3.4. Сопоставление одновременно протекающих процессов испарения/распыления материала зоны эрозии/об ласти распыления однокомпонент-ных и многокомпонентных композитных катодов/мишеней и дефектообразования в двух-, трех- и многокомпонентных слоях пленок........... 103

Выводы по главе 3............................................................................. 103

ГЛАВА 4. Установление технологических и температурных условий формирования наноструктурированных и поликристаллических слоев многослойных пленок в зависимости от термического состояния подложки и катодов/мишеней, ТехП и ТемП процесса осаждения и технологических особенностей источника плазмы.................................................................... 106

4.1. Методика исследования структуры и морфологических особенностей поверхности многокомпонентных слоев многослойных пленок............ 106

4.2. Изучение процесса структурообразования двухкомпонентных слоев пленок на кратковременно нагретой подложке в зависимости от технологических особенностей источника плазмы, ТехП и ТемП процесса осаждения............................................................................... 107

4.2.1. Изучение процесса структурообразования двухкомпонентных TiN пленок в зависимости от ТехП и ТемП процесса ЭДИ............................ 107

4.2.2. Процесс структурообразования двухкомпонентных ZrN пленок в зависимости от ТехП и ТемП процесса ЭДИ.......................................... 118

4.2.3. Процесс структурообразования двухкомпонентных ZrN пленок в зависимости от ТехП и ТемП процесса МР........................................... 119

4.2.4. Процесс структурообразования двухкомпонентных TiN слоев пленок

в зависимости от ТехП и ТемП процесса МР.................................... 125

4.2.5. Обобщение экспериментальных данных по изучению процесса струк-турообразования двухкомпонентных пленок на кратковременно нагретой подложке в зависимости от термического состояния подложки и катодов/мишеней, ТехП и ТемП процесса осаждения, технологических

особенностей источника плазмы................................................... 125

4.2.6. Оптимизация процесса получения многослойных наноразмерных пленок на основе поликристаллических и наноструктурированных двухкомпонентных слоев на кратковременно нагретой подложке............... 128

4.3. Изучение процесса структурообразования трехкомпонентных слоев многослойных пленок в зависимости от термического состояния подложки, теплофизических свойств материалов катодов/мишеней, ТехП и ТемП процесса осаждения слоев и технологических особенностей источника плазмы........................................................................ 129

4.3.1. Изучение процесса структурообразования трехкомпонентных слоев пленок на основе нитридов двух тугоплавких металлов на кратковременно нагретой подложке в зависимости от ТехП и ТемП процесса осаждения слоев и технологических особенностей источника плазмы.... 129

4.3.2. Обобщение экспериментальных данных по изучению процесса структурообразования трехкомпонентных Ть^г^^ слоев пленок на кратковременно нагретой подложке с использованием различных источников

плазмы................................................................................... 134

4.3.3. Разработка способов стабилизации структуры подложки и процесса структурообразования, конструкции и состава многослойных пленок на основе трехкомпонентных Т^г^К слоев в зависимости от технологических особенностей источника плазмы.......................................... 135

4.3.4. Изучение процесса структурообразования трехкомпонентных слоев пленок на основе нитридов тугоплавкого и легкоплавкого металлов в зависимости от ТехП и ТемП термической обработки подложки и процесса осаждения слоев, технологических особенностей источника плазмы................................................................................... 138

4.3.5. Обобщение экспериментальных данных по изучению процесса структурообразования трехкомпонентных поликристаллических и наноструктурированных Тг^Г!-^ слоев пленок с использованием различных источников плазмы.................................................................... 149

4.3.6. Разработка способов стабилизации структуры подложки и процесса структурообразования, конструкции и состава многослойных трехкомпонентных Т^г^дЫ слоев пленок в зависимости от технологических особенностей источника плазмы................................................... 151

4.3.7. Процесс структурообразования многокомпонентных слоев пленок на основе нитридов тугоплавких металлов и их соединений с неметаллами в зависимости от технологических особенностей источника плазмы

и ТехП процесса осаждения......................................................... 153

Выводы по главе 4............................................................................. 154

ГЛАВА 5. Изучение строения, фазового и элементного состава, термической стабильности и напряжений в многослойных пленках на основе двух- и трех-компонентных слоев в зависимости от термического состояния подложки и катодов/мишеней, ТехП и ТемП процесса осаждения слоев и технологических особенностей источника плазмы............................................................. 158

5.1. Методики изучения структуры, состава, напряжений, термической стабильности и толщины двух- и трехкомпонентных пленок................... 158

5.2. Изучение строения, фазового состава и напряжений в двухкомпонент-ных слоях пленок на основе нитрида тугоплавкого металла на кратковременно нагретой подложке в зависимости от технологических особенностей источника плазмы, ТехП и ТемП процесса осаждения........... 164

5.2.1. Изучение строения, фазового состава и напряжений в двухкомпонент-ных TiN слоях пленок в зависимости от ТехП и ТемП процесса ЭДИ, MP, ЭДИ+МР........................................................................... 164

5.2.2. Изучение строения, фазового состава и напряжений в двухкомпонент-ных ZrN слоях пленок в зависимости от ТехП и ТемП процесса ЭДИ, MP, ЭДИ+МР........................................................................... 168

5.2.3. Обобщение экспериментальных данных по изучению строения, фазового состава и напряжений в TiN и ZrN слоях пленок, формируемых

с использованием различных источников плазмы.............................. 172

5.3. Изучение строения, фазового и элементного состава, напряжений в трехкомпонентных слоях пленок на основе нитридов двух тугоплавких металлов в зависимости от технологических особенностей источника плазмы, ТехП и ТемП термической обработки подложки и процесса осаждения........................................................................ 173

5.3.1. Изучение строения и фазового состава Ti^Zr^N слоев пленок в зависимости от технологических особенностей источника плазмы, ТехП и ТемП термической обработки подложки и процесса осаждения............ 173

5.3.2. Элементный состав трехкомпонентных Ti^Zr^N слоев пленки............. 175

5.3.3. Напряженное состояние трехкомпонентных T/^Zr^N слоев пленок....... 176

5.3.4. Обобщение экспериментальных данных по изучению строения, фазового и элементного состава, напряжений в трехкомпонентных TiYZri_AN слоях пленок, формируемых с использованием различных источников плазмы................................................................................... 178

5.4. Строение, фазовый и элементный состав, напряжения в трехкомпо-нентных слоях пленок на основе нитридов тугоплавкого и легкоплавкого металлов в зависимости от технологических особенностей источника плазмы, ТехП и ТемП термической обработки подложки и процесса осаждения............................................................................... 179

5.4.1. Строение и фазовый состав Т^АУЧ слоев пленок............................ 179

5.4.2. Элементный состав и термическая стабильность трехкомпонентных ТН^АУЧ слоев пленок.................................................................... 182

5.4.3. Напряженное состояние трехкомпонентных Т^АУЧ слоев пленок...... 184

5.4.4. Обобщение экспериментальных данных по изучению строения, фазового и элементного состава, термической стабильности и напряжений в трехкомпонентных ТЬ^АУЧ слоях пленок, формируемых с использованием различных источников плазмы........................................... 186

Выводы по главе 5........................................................................... 189

ГЛАВА 6. Изучение функциональных свойств многослойных пленок на основе двух-, трех- и многокомпонентных слоев в зависимости от их строения, фазового и элементного состава, термической стабильности........................... 192

6.1. Методики изучения функциональных свойств многослойных пленок на основе двух-, трех- и многокомпонентных слоев и эксплуатационных свойств упрочненного технологического инструмента и пар трения...... 192

6.2. Функциональные свойства двухкомпонентных слоев пленок на основе нитрида тугоплавкого металла в зависимости от их строения, фазового и элементного состава, ТехП процесса осаждения и технологических особенностей источника плазмы.................................................. 201

6.2.1. Трибологические и механические свойства двухкомпонентных ПК

и слоев пленок.................................................................. 201

6.2.2. Коррозионные свойства двухкомпонентных Т11Ч, слоев пленок в зависимости от ТехП осаждения и технологических особенностей источника плазмы........................................................................ 202

6.2.3. Физико-механические, трибологические и адгезионные свойства Т11Ч,

слоев пленок...................................................................... 204

6.2.4. Обобщение экспериментальных данных по изучению функциональных свойств двухкомпонентных Т1Ы и ZrN слоев пленок в зависимости от их строения, фазового и элементного состава, ТехП процесса осаждения и технологических особенностей источника плазмы..................... 208

6.3. Изучение функциональных свойств трехкомпонентных слоев пленок на основе нитрида двух тугоплавких металлов в зависимости от их строения, фазового и элементного состава, ТехП и ТемП процесса осаждения

и технологических особенностей источника плазмы.......................... 209

6.3.1. Физико-механические и адгезионные свойства, хрупкость и трещино-

стойкость трехкомпонентных Т^г^И слоев пленок.......................... 209

6.3.2. Коррозионные свойства трехкомпонентных ТУ^г^Ы слоев пленок........212

6.4. Изучение функциональных свойств трехкомпонентных слоев пленок на основе нитрида тугоплавкого и легкоплавкого металлов в зависимости от их строения, фазового и элементного состава, ТехП процесса осаждения и технологических особенностей источника плазмы.................. 214

6.4.1. Физико-механические и адгезионные свойства, хрупкость и трещино-стойкость трехкомпонентных Т^АУЧ слоев пленок..........................214

6.4.2. Коррозионные свойства многокомпонентных ТЬ-^АУЧ слоев пленок.....218

6.4.3. Обобщение экспериментальных данных по изучению функциональных свойств трехкомпонентных ТУ^Г!.^ и Тл^АУЧ слоев пленок в зависимости от их строения, фазового и элементного состава, ТехП процесса осаждения и технологических особенностей источника плазмы........ 219

6.5. Эксплуатационные свойства двух- и трехкомпонентных слоев пленок при обработке различных материалов в зависимости от технологических особенностей источника плазмы.............................................222

6.5.1. Стойкость двухкомпонентных Т11Ч, ЕгЫ и трехкомпонентных Т^П-дЫ, Т^.дАУЧ и ТьВ-8ьЫ слоев пленок при обработке сильвинитовой руды и аустенитной стали..................................................................................................................................................................222

6.5.2. Стойкость двухкомпонентных ТОЧ, ZrU и трехкомпонентных Тг^г^К, Т^АУЫ и ТьВ-8ьЫ слоев пленок при обработке различных материалов.................................................................................... 224

6.5.3. Обобщение экспериментальных результатов лабораторных и промышленных испытаний технологического инструмента и пар трения с многослойными пленками................................................................. 236

Выводы по главе 6............................................................................. 236

ГЛАВА 7. Технологии получения многослойных пленок на основе двух-

и трехкомпонентных слоев с одновременным и попеременным использованием различных источников плазмы...................................................... 238

7.1. Основы получения высокоэкономичной многослойной двухкомпо-нентной Т1-вТ1Ып.с-тачн.с*-Т11ч[нх пленки.......................................... 238

7.2. Основы получения многокомпонентной многослойной ТьТ1М-*7г-ZrN•-Zr-•TixZr1_xN-Zr^-TixZrl_xN пленки......................................... 240

7.3. Основы получения многокомпонентной многослойной Т^г-ИБ-'Т^г^-Т^г-Ш'-Т^г^ пленки............................................. 243

7.4. Основы получения многокомпонентной многослойной ^мр-*Т1Ымр-ггКэди'-Тигг^мр+эди пленки..................................................... 247

7.5. Основы получения многокомпонентной многослойной Т1эди-*Т1Кмр-

Т11 АуЧмр+эди*-Т11_.гА1лКмр+эди пленки......................................... 250

7.6. Основы получения многокомпонентной многослойной Т1Мп.с-*Т1]Чн.с-Т^-^УЧих'-Тп-^У^нх пленки.................................................... 254

Выводы по главе 7............................................................................. 257

ЗАКЛЮЧЕНИЕ.................................................................................260

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ.............................................................................. 268

ПРИЛОЖЕНИЕ 1. Оптимальные технологии подготовки поверхности ТИ и ПТ и тестовых образцов перед осаждением многослойной пленки.............. 303

ПРИЛОЖЕНИЕ 2. Закономерности изменения структуры, фазовогои элементного состава, строения и напряжений в двухкомпонентных Т11Ч, пленках и трехкомпонентных Т^г^-^М, Т^АУЧ слоях пленок в зависимости от технологических особенностей источника плазмы и параметров осаждения 310

ПРИЛОЖЕНИЕ 3. Закономерности изменения механических, трибологиче-ских, физико-механических и адгезионных свойств, хрупкости, трещиностой-кости и стойкости к отслоению двухкомпонентных Т1>1, и трехкомпонентных Тг^гх-^ и Т^АЬДЧ слоев пленок в зависимости от их строения, фазового и элементного состава, ТехП и ТемП процесса осаждения и технологи-

ческих особенностей источника плазмы.................................................. 359

ПРИЛОЖЕНИЕ 4. Оценка экономического эффекта упрочнения технологического инструмента и пар трения путем осаждения многослойных пленок на основе двухкомпонентных Т11Ч, ZrN, трехкомпонентных Тг^г^К, Т^АУЧ и многокомпонентных ТьВ-8ьК слоев пленок..........................................390

ПРИЛОЖЕНИЕ 5. Технология получения высокоэкономичной многослойной двухкомпонентной Ть*Т1Мп с-ТО<1н.с,-Т11Чн.с пленки с комплексом стабильных функциональных свойств методом электродугового испарения..................... 394

ПРИЛОЖЕНИЕ 6. Оптимальная технология получения многокомпонентной многослойной Ti-TiN-•Zr-ZrN•-Zr-•TiлZrl^N-Zr•-TiдZrl_дN пленки с высокой износостойкостью и термической устойчивостью методом магнетронного распыления...................................................................................... 397

ПРИЛОЖЕНИЕ 7. Оптимальная технология получения многокомпонентной многослойной Т1,гг-ИБ-*Т1лгг1_^-Т1,гг-ИБ*-Т1л:гг1_лК пленки с высокой износостойкостью, термической устойчивостью и повышенной работоспособностью электродуговым испарением......................................................... 402

ПРИЛОЖЕНИЕ 8. Оптимальная технология получения многокомпонентной многослойной Т1мр-*Т1Кмр^гКэди,-Т1^г1_хМмр+эди пленки с высокой износостойкостью и трещиностойкостью комбинированным методом.....................405

ПРИЛОЖЕНИЕ 9. Оптимальная технология получения многокомпонентной многослойной Т1эди-*Т1КМр-Т11_лА1лЫМр+эди*-Т11-Д;А1лММр+эди пленки с высокими износо-, ударо-, тепло-, трещино- и коррозионно-стойкими свойствами комбинированным методом................................................................. 409

ПРИЛОЖЕНИЕ 10. Оптимальная технология получения многокомпонентной многослойной Т1Мп.с-вТ1Кнх-Т11_лА1лМн.с«-Т11_лА1лКн.с пленки с комплексом высоких физико-механических, трибологических и коррозионных свойств в низкотемпературных условиях электродугового испарения.............................. 413

АКТЫ ОБ ИСПОЛЬЗОВАНИИ РЕЗУЛЬТАТОВ ДИССЕРТАЦИОННОЙ РАБОТЫ......................................................................................... 417

ПРОТОКОЛЫ ИСПЫТАНИЙ.............................................................. 437

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка технологических основ формирования многослойных пленок с комплексом функциональных свойств на основе наноструктурированных и поликристаллических слоев нитридов элементов III и IV групп периодической системы»

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность темы. Опыт эксплуатации и результаты испытаний технологического инструмента и пар трения (ТИ и ПТ) показывают, что их преждевременный выход из строя, как правило, обусловлен невысокими износостойкими и антифрикционными (трибологическими), коррозионными и физико-механическими (ФМС) свойствами их материалов в зоне трения. В России в области получения, исследования и возможностей применения в горно- и нефтедобывающей, инструментальной, ремонтной, оборонной промышленности, технологическом машиностроении, авиастроении и электронной технике тонкопленочных ионно-плазменных покрытий (пленок) на основе нитридов элементов III и IV групп Периодической системы для упрочнения и защиты ТИ и ПТ постоянно проводятся в МГТУ «СТАНКИН»; БИТУ МИСиС, МГТУ им. Н.Э. Баумана; ОАО ЦНИТИ «Техномаш»; ОАО «НИИВТ им. С.А. Векшинского»; Самарском государственном аэрокосмическом университете им. академика С.П. Королева (национальном исследовательском университете); УлГУ; ВГУ и др.; за рубежом - в Scientific-Industrial Enterprise «Metal» (США); Scientific-Technical Association «Termosynthe-sis» (США); Scientific-Educational Center of SHS (США); Frederick Seitz Materials Research Laboratory and Department of Materials Science, University of Illinois (Urbana, Illinois), Research Institute for Technical Physics and Materials Science, Hungarian Academy of Sciences (Hungary); Linko'ping University, Thin Film Division, Physics Department (Sweden); Müszaki Fizikai es anyagtudomänyi kutatöintezet (Hungary); National Tsing Hua University (Republic of China); Institute of Physics, Czechoslovak Academy of Science (Czechoslovakia); ХФТИ (Украина); Белорусском государственном университете (Минск). Получению, анализу свойств и применению пленок посвящены работы С.Н. Григорьева, Е.А. Левашова, Ю.В. Панфилова, Д.В. Штан-ского, В.П. Табакова, В.А. Барвинка, В.И. Богдановича, В.В. Углова, В.А. Белоуса, А.Ф. Белянина, М.И. Самойловича, В.П. Сергеева, Р.Н. Mayrhofer, L. Hultman и др.

Получение пленок на поверхности ТИ и ПТ с заданной структурой и комплексом стабильных эксплуатационных свойств является сложной задачей. Неоднородность нагрева подложки на операциях ее термической обработки и некон-

тролируемый перепад температур на стадиях формирования пленок решается путем введения в технологию дополнительных технологических приемов или автоматического регулирования температуры пленки за счет использования рези-стивного нагревательного устройства из трубчатых ТЭНов; снижения количества и размеров микрокапельной фазы (МКФ) - за счет совершенствования электродуговых испарителей и применения многокатодных устройств.

Получение пленок с заданной стехиометрией, структурой и свойствами при высокой однородности их по толщине и площади затруднено невозможностью раздельного регулирования энергии и потока ионов, бомбардирующих мишень, отсутствием возможности управления потоком ионов, падающих на подложку, миграцией атомов и ионов по подложке, которые не позволяют управлять взаимосвязью между процессами распыления и осаждения пленок, а также различием значений коэффициентов распыления (Л"р) материалов катодов/мишеней, параметров их кристаллической решетки (КР), температурой, фазовым и химическим составом материала катодов/мишеней и способа их изготовления и охлаждения.

Из анализа отечественных и зарубежных материалов следует, что отсутствует комплексный подход к проблеме изучения причин дефектности пленок, т.е. каждая фирма занимается разработками в области конкретного направления: оборудования, технологии, методов контроля. Кроме того, комплексно не рассматриваются такие важнейшие вопросы, как управление основными процессами, участвующими в формировании пленок. Механизм поведения пленок при одновременном воздействии повышенных температур и нагрузок нуждается в дополнительном изучении. Информация о неравновесных условиях и высокой анизотропии скоростей формирования пленок по различным направлениям многообразна, но неоднородна.

Несмотря на многолетний опыт оптимизации и применения ионно-плазменных технологий, снижение нестабильности эксплуатационных свойств ТИ и ПТ остается актуальной проблемой, в частности, в понимании общих закономерностей, управляющих формированием реальной структуры пленок.

На основе анализа российских и зарубежных публикаций за период 19692013 гг. установлено, что до сих пор не разработано универсальных моделей структурных зон (МСЗ), а большинство применяемых МСЗ основано на зависимо-

сти структуры однослойных пленок не более чем от двух основных ТехП и справедливы только для конкретного метода осаждения.

Проблема улучшения износо- и трещиностойких свойств многочисленных многослойных пленок (МП) В.П. Табаковым решается варьированием элементного состава слоев за счет изменения количества и элементного состава катодов, содержания реакционного газа в газовой смеси с аргоном (Аг), управления температурой пленки путем изменения опорного напряжения. С.Н. Григорьев для изменения элементного состава слоев использует расходуемый материал из сплава элементов IV-VI групп Периодической системы, по меньшей мере, с одним элементом с более высоким коэффициентом ионного распыления и ступенчато с шагом, обеспечивающим заданную разницу между концентрацией Сг и/или А1 в расходуемом материале и концентрацией упомянутых элементов в МП или ее отдельных слоях, изменяет отрицательный потенциал на подложке. А.С. Верещака для повышения износостойкости, термостабильности и коррозионной стойкости, уменьшения адгезии с обрабатываемым материалом для получения МП в интервале температур 430... 5 50 К чередует двух- и многокомпонентные слои. N. Wangyang и М. Ronald для получения х = 0,53.. .0,58 молей и от 0 до примерно 15 мас.% гексагональной фазы, с текстурой (200) и (111) Ti^Al^N пленки формировали

в диапазоне 673...873 К. Учеными L. Ipaz, J.C. Caicedo, J. Esteve предложены МП с высокими механическими и трибологическими свойствами: критическая нагрузка 45 Н, коэффициент трения (/) 0,28, а также получены МП с различными механизмами формирования за счет уменьшения толщины слоев до 25 нм и увеличения их количества до 100.

Обзор литературы показывает: приоритетной задачей является выбор составов пленок и разработка конструкций МП с комплексом функциональных свойств; актуальной задачей - управление наиболее значимыми процессами, участвующими в формировании пленок, прогнозирование их структуры по ТехП и ТемП осаждения; научно-прикладной задачей - изучение фазовых и структурных изменений в пленках под влиянием условий их формирования для сообщения им комплекса высоких функциональных свойств и установление взаимной зависимости ФМС

и триб о логических свойств пленок. Решение указанных задач может позволить получать МП с комплексом высоких функциональных свойств.

Сложность и многофакторность процессов ионно-плазменных методов нанесения пленок не позволяет на современном уровне развития вакуумных технологий управлять всеми процессами, участвующими в структурообразовании наност-руктурированной и поликристаллической пленки. В абсолютном большинстве рассмотренных работ практически отсутствует корреляционная связь между результатами исследований фазового и элементного состава, параметров структуры и эксплуатационных свойств упрочненного ТИ и ПТ.

Попытки ученых, предпринимаемые для описания, анализа и прогнозирования эволюции структуры пленок в различных интервалах ТехП и ТемП, направлены на изучение закономерностей влияния последних на процесс структурообразо-вания пленок, поиск новых возможных способов полного описания явлений, ответственных за развитие различных структур пленки. При описании пленок со сложным составом и структурой приходится, в отсутствие общепризнанных теоретических моделей, экспериментально изучать процессы их структурообразова-ния в зависимости от ТехП процесса их осаждения.

В последние годы технология получения наноструктурированных и поликристаллических пленок, в том числе многослойных, привлекает внимание многих исследователей, но надо заметить, что не описаны подструктуры, образующиеся при переходе к наноструктурированному состоянию; нет глубокого понимания наиболее значимых процессов, участвующих в формировании МП, и их влияния на ее структурообразование; слабо изучены эволюции структуры, фазового и элементного состава, функциональных свойств МП на основе двух-, трех- и многокомпонентных слоев в зависимости от технологических (ТехП) и температурных (ТемП) параметров процесса осаждения при учете всех процессов, участвующих в их формировании.

Возникает проблема фундаментального подхода к изучению фазовых переходов в многофазных пленках в условиях использования неприменимых к ним некоторых макроскопических характеристик. Необходима разработка новых подходов к описанию процессов образования пленок, исследованию возможных структур-

ных и фазовых переходов, позволяющих описать процессы их структурообра-зования.

Вопрос о том, какими должны быть структурные и фазовые характеристики пленок с комплексом высоких ФМС, износостойких и антифрикционных свойств (ИАС) пока остается открытым, требует дополнительного изучения и представляет, как научный, так и практический интерес.

Цель работы

Целью работы является разработка научно обоснованных технологических решений получения многослойных наноразмерных пленок на основе нанострукту-рированных и поликристаллических слоев нитридов элементов III и IV групп Периодической системы с комплексом высоких ФМС, ИАС, адгезионных, коррозионных, трещино- и теплостойких свойств широкой области применения.

Для достижения поставленной цели потребовалось решить следующие задачи:

• Изучение эволюции структуры, фазового и элементного состава, функциональных свойств наноструктурированных и поликристаллических слоев двух-, трех- и многокомпонентных нитридов TiN, ZrN, Ti^Zr^N, Ti^Al^N и Ti-B-Si-N (слоев пленок) в зависимости от технологических особенностей и количества источников плазмы, ТехП и ТемП процессов термической подготовки подложки, испарения/распыления катодов/мишеней и осаждения слоев пленок.

• Исследование закономерностей получения поликристаллических и наноструктурированных слоев пленок с заданным фазовым и элементным составом, строением и функциональными свойствами.

• Разработка новых конструкций МП на основе поликристаллических и наноструктурированных слоев с градиентом фазового и элементного состава, структуры и функциональных свойств.

• Исследование функциональных свойств МП и разработка критериев выбора слоев для сообщения МП комплекса функциональных свойств.

• Разработка и внедрение в производство технологий получения МП на основе наноструктурированных и поликристаллических слоев пленок с последующим изготовлением ТИ и ПТ в горно- и нефтедобывающей, инструментальной, ремонтной, химической и оборонной промышленности, технологическом машиностроении и авиастроении.

Научные положения, выносимые на защиту:

1. Работоспособность многослойных пленок (МП) является синергетическим эффектом влияния каждого из входящих слоев в отдельности.

2. Из широко применяемых материалов слоев МП максимальным упрочняющим эффектом обладают слои на основе термически стабильных фаз: ТлзАЬ^ и

3. Полноценное изучение эволюции структуры слоев пленок с использованием моделей структурных зон невозможно без введения третьей оси - скорости нагрева слоя в процессе его осаждения.

4. Изучение фазовых превращений в слоях пленок невозможно без учета технологических и конструктивных особенностей используемых источников плазмы и теплофизических свойств материалов катодов / мишеней.

5. Основными параметрами, определяющими функциональные свойства МП, являются соотношение образуемых в слоях пленок фаз и отношение легирующего металла к базовому титану.

На защиту также выносятся:

1. Научно обоснованные технологические решения получения нанострукту-рированных и поликристаллических слоев пленок с заданной структурой, составом и комплексом функциональных свойств.

2. Результаты исследований процессов испарения/распыления и влияния на них элементного состава, способа изготовления и охлаждения катодов/мишеней, технологических особенностей и количества источников плазмы.

3. Закономерности протекания фазовых и структурных превращений в слоях пленок и влияние на них температурного состояния подложки и катода/мишени, а также технологических и температурных условий осаждения слоев пленок.

4. Закономерности получения наноструктурированных и поликристаллических слоев пленок с заданным строением, фазовым и элементным составом методами ЭДИ, МР и комбинированным методом (ЭДИ+МР).

5. Закономерности влияния строения, фазового и элементного состава слоев пленок на функциональные свойства МП. Установленный критерий выбора фазового и элементного состава, строения слоев МП и условий их формирования.

6. Конструкции многослойных пленок с градиентом структуры, фазового и элементного состава, комплексом функциональных свойств, полученных с использованием различных источников плазмы.

7. Результаты исследований корреляционной связи ФМС, ИАС, адгезионных, коррозионных, тепло- и трещиностойких свойств слоев пленок.

8. Результаты испытаний МП в горно- и нефтедобывающей, инструментальной, ремонтной, оборонной промышленности, технологическом машиностроении и авиастроении и рекомендации по их применению.

В совокупности, перечисленные положения составляют новые научные представления о процессе формирования МП с градиентом структуры, состава и функциональных, свойств и влиянии на данный процесс различных внешних и внутренних факторов.

Научная новизна:

1. Впервые установлено, что работоспособность многослойных пленок (МП) является синергетическим эффектом влияния каждого из входящих слоев в отдельности.

2. Впервые определено, что из широко применяемых материалов слоев МП максимальным упрочняющим эффектом обладают слои на основе термически стабильных фаз ТлзАуЧг и Т^г^.

3. Впервые показано, что полноценное изучение эволюции структуры слоев пленок с использованием моделей структурных зон невозможно без введения третьей оси - скорости нагрева пленки в процессе ее осаждения.

4. Впервые установлено, что изучение фазовых превращений в слоях пленок невозможно без учета технологических и конструктивных особенностей используемых источников плазмы и теплофизических свойств материалов катодов / мишеней

5. Впервые выявлено, что основными параметрами, определяющими функциональные свойства МП, являются соотношение образуемых в слоях пленок фаз и отношение легирующего металла к базовому титану.

6. Впервые изучена полная совокупность факторов, оказывающих влияние на функциональные свойства МП в целом, в частности внешних: технологические и конструктивные особенности и количество источников плазмы, ТехП и ТемП про-

цессов испарения/распыления катодов/мишеней, термической обработки подложки и осаждения слоев пленок и внутренних: Тиот1Т1т (Гподл - температура подложки и Гпд - температура плавления материала слоя пленки), начальная температура слоя (Гнач.с) и скорость ее увеличения (Тнагр с), строение, состав и свойства слоев пленок.

7. Впервые установлена корреляционная связь между процессами дефектооб-разования в слоях пленок и процессом испарения/распыления катодов/мишеней.

8. Впервые изучена эволюция структуры, фазового и элементного состава слоев пленок в зависимости от технологических и температурных условий формирования, технологических особенностей источников плазмы.

9. Определено влияние строения, фазового и элементного состава слоев пленок на их функциональные свойства, установлены условия равновесия образуемых фаз и строения слоев пленок.

10. Предложен механизм формирования МП с градиентом структуры, фазового и элементного состава, комплексом высоких функциональных свойств, основанный на том, что для их получения последовательно осаждают наноструктури-рованные и поликристаллические слои нитридов ZrN, Ti.vZri._jfN и Т^АУ^ с заданным строением, фазовым и элементным составом и функциональными свойствами.

11. Впервые теоретически и экспериментально обоснована возможность использования наноструктурированных и поликристаллических Т1>1, ZrN, ТЬ-^АУЧ и ТьВ^-Ы слоев в составе МП для многократного повышения работоспособности и долговечности ТИ и ПТ.

Практическая значимость состоит в том, что разработаны составы двенадцати конструкций многослойных пленок с градиентом структуры, состава и комплексом функциональных свойств для упрочнения ТИ и ПТ из инструментальных и конструкционных сталей, а также твердых сплавов, интенсивно разрушающихся в процессе эксплуатации под действием динамических контактных и теплосиловых нагрузок, агрессивной среды (КаОН, №С1 и КС1) в горно- и нефтедобывающей, инструментальной, ремонтной, химической и оборонной промышленности, технологическом машиностроении и авиастроении. Создана комплексная система контроля и управления основными процессами, участвующими в структурообра-

зовании наноструктурированных и поликристаллических слоев пленок, и технологии получения их с заданной структурой, фазовым и элементным составом, функциональными свойствами электродуговым испарением, магнетронным распылением и комбинированным методом. Разработаны комплексные методики оценки фазового и элементного состава, строения, термической стабильности, микронапряжений и функциональных свойств слоев многослойных пленок, позволяющие на этапе разработки новых составов и конструкций многослойных пленок рекомендовать оптимальные технологические и температурные условия формирования.

Научные результаты внедрены и использованы на ведущих предприятиях ремонтной и химической (филиал «Азот» ОХК «Уралхим»), машиностроительной (ЗАО «Березниковский механический завод» и ОАО «Пермский завод «Машиностроитель»), горнодобывающей (ОАО «Уралкалий», г. Березники - г. Соликамск), инструментальной (ЗАО «Инструментальный завод - Пермские моторы»), нефтедобывающей (ОАО «ПНИТИ») и оборонной промышленности (ОАО «Мотовили-хинские заводы»), авиастроения (ОАО «СТАР») и в научную деятельность ООО «НПП Поиск» и ОАО «ЦНИТИ «Техномаш».

Достоверность полученных результатов и выводов

Научные результаты, обоснования и выводы основываются на большом объеме экспериментов и подтверждаются результатами испытаний в современных промышленных условиях. Достоверность представленных результатов подтверждена использованием современного вакуумного оборудования, оснащенного различными источниками плазмы; современных электронных сканирующих и просвечивающих, атомно-силовых и туннельных микроскопов высокого разрешения, микрорентгеновского анализатора; рентгеновских дифрактометров; современных методов испытаний, приборов, их метрологического обеспечения, а также вычислительной техники. Полученные результаты подтверждаются выпуском опытных и промышленных партий ТИ и ПТ заданного качества в условиях промышленного производства.

Методы исследований и испытаний. Для достижения поставленной цели работы использовался системный подход с использованием электронной сканирующей и просвечивающей микроскопии высокого разрешения; атомно-силовой и туннельной микроскопии; ретгеновских установок типа ДРОН с различными ка-

мерами; микрорентгеновского анализатора типа МАР-3 и приставок для микроанализа растровых электронных микроскопов; адгезиметров; машины трения; высокоточного кругломера, оснащенного программой MarShell MarWin, современных измерительных систем FISCHERSCOPE Н100С и Micro-combi tester; микротвердомера ПМТ-З и динамического ультрамикротвердомера SHIMADZU DUH-211S; анализатора частотного отклика Solartron 1255 в комплексе с потенциостатом-гальваностатом Solartron 1287 (Solartron Analytical). Достоверность теоретических разработок и экспериментальных исследований, а также эффективность практических рекомендаций подтверждена результатом опытно-промышленной проверки и внедрения в производство разработанных технологических процессов.

Структура и объем диссертации

Диссертация состоит из введения, семи глав, выводов, списка литературы из 341 наименования и приложений. Приложения включают 10 актов об использовании результатов докторской диссертационной работы, 7 протоколов и актов испытаний на предприятиях, результаты экспериментальных исследований и разработанные технологии получения многослойных пленок. Работа содержит 302 страниц основного текста, включающих 28 таблиц и 112 рисунков.

Во введении формулируется цель работы и задачи, решаемые для достижения поставленной цели, перечислены научные результаты, выносимые на защиту, показаны научная новизна исследования и его практическая ценность.

В первой главе представлены современные на момент начала работы способы устранения технологическо-эксплуатационной наследственности (ТЭН) технологических операций и переходов изготовления ТИ и ПТ, процессов, участвующих в испарении/распылении катодов/мишеней, стабилизации структуры ТИ и ПТ, ТехП и ТемП протекания начального и последующих этапов процесса структурообразо-вания поликристаллических и наноструктурированных пленок, а также обозначены проблемы прогнозирования процесса структурообразования и фазовых превращений в пленках в неравновесных условиях ионно-плазменных процессов и разработке способов управления структурой и эксплуатационными свойствами.

Во второй главе рассмотрены технические характеристики промышленных и экспериментальных установок, использованных для формирования МП на основе двух-, трех и многокомпонентных слоев нитридов тугоплавких металлов и их

соединений с легкоплавкими металлами и неметаллами с одновременным или попеременным использованием различных источников плазмы. Установлены зависимости начальной температуры двухкомпонентных (TiN, ZrN) и трехкомпонент-ных (Ti^Zri^N, Ti) vAlAN) слоев МП и скорости ее изменения в процессе структу-рообразования от ТехП процессов испарения/распыления катодов/мишеней, термической обработки подложки и осаждения слоев МП.

В третьей главе представлены результаты изучения процесса испарения/распыления однокомпонентных катодов/мишеней из тугоплавкого (Ti) и легкоплавкого (А1) металлов и многокомпонентных композитных мишеней (Ti-B-Si) различного элементного состава, с использованием различных способов их охлаждения и изготовления. Впервые установлено, что одновременно протекающие процессы структурообразования материалов тугоплавких и легкоплавких одно-компонентных (Ti, Zr, А1) и композитных (Ti-B-Si) мишеней в процессе их испарения/распыления и дефектообразования двухкомпонентных (TiN, ZrN) и трех-компонентных (Ti^Zr] xN, Ti^Al^N) и многокомпонентных (Ti-B-Si-N) слоев МП одинаково вызваны динамикой изменения тепловых условий протекающих в них процессов и зависят от температуры плавления, теплопроводности, элементного состава, способов охлаждения и изготовления катодов/мишеней, технологических особенностей и количества и источников плазмы.

В четвертой главе разработаны способы стабилизации структуры подложки, процесса структурообразования двухкомпонентных (TiN, ZrN) и трехкомпонент-ных (TivZr]_vN, Tii_vAlxN) и многокомпонентных (Ti-B-Si-N) слоев пленок с заданным строением, составом и свойствами; разработаны конструкции и оптимизирован процесс получения поликристаллических и наноструктурированных слоев МП с градиентом структуры, состава и комплексом функциональных свойств. Разработаны процессы структурообразования двух-, трех- и многокомпнентных слоев пленок на основе нитридов тугоплавких металлов, тугоплавкого и легкоплавкого металлов и их МСЗ, позволяющие прогнозировать и контролировать структуры двухкомпонентных (TiN, ZrN) и трехкомпонентных (Ti i_vAlxN, TivZri_.vN) слоев МП в зависимости от ТехП и ТемП процессов их осаждения.

В пятой главе построен фрагмент изотермического сечения фазовой диаграммы равновесия Tii_^Al^N тройной системы при 1400 К, графики зависимостей

параметров KP основных фаз трехкомпонентных (Ti^Zr^-N, Ti i_A AI VN) слоев МП от содержания в них тугоплавкого и легкоплавкого металлов.

Созданы научные основы разработки состава и способа получения поликристаллических и наноструктурированных слоев МП, позволяющие управлять строением, фазовым и элементным составом, параметрами KP, термической стабильностью и напряжениями в наноразмерных МП.

В шестой главе разработаны научно обоснованные технологические решения получения многослойных наноразмерных пленок на основе поликристаллических и наноструктурированных слоев нитридов элементов III и IV групп Периодической системы с заданными функциональными свойствами в зависимости от технологических особенностей и количества источников плазмы. Продемонстрировано, что впервые разработанные и полученные многослойные наноразмерные пленки на основе двух- и трехкомпонентных поликристаллических и наноструктурированных слоев обладают уникальным комплексом высоких ФМС, ИАС, коррозион-но-, трещино- и теплостойких свойств, а также высокой стойкости к отслоению и низкой хрупкостью. Приведены методики контроля качества слоев МП непосредственно после технологического процесса их осаждения.

В седьмой главе описаны технологические основы получения многофункциональных МП на основе двухкомпонентных Ti-*TiNnx-TiNH.c*-TiNH.c (Zr-*ZrNnx-ZrNHX*-ZrNHX) и трехкомпонентных Ti-TiN-*Zr-ZrN*-Zr-*Ti^Zri ^N-Zr*-TivZri TN (Ti-TiN-»Ti-TiN»-Tii_^AlxN-Ti«-Tii_^AUN), Ti,Zr-HB-*TiAZr1_.vN-Ti,Zr-ME*-Ti^ZrljcN (Ti,Zr-HB-*Ti^Zri_xON-Ti,Zr-nB*-Ti^Zri_^ON), TiMp-,TiNMp-ZrN3flH,-TixZri_ANMp+3№ (TiMp-*ZrNMp-TiN3flHe-TixZri_^NMp+3flH)? Ti3flH-*TiNMp-Ti1_^Al^NMp+3igH,-Tii-^Al^NMp+3iiH (TisflH-^TiNMp-Ti^Zr^^NMp+sflH'-Ti^Zri^NMp+swi) и TiNnx-*TiNH.c-Tii_*AlxNH.c»-Tii_xAlTNH.c (TiNnx-eTiNHX-TiAZr1_^NHX*-Ti^Zri_^NHX) слоев с одновременным и попеременным использованием различных источников плазмы.

В заключении представлен обзор актов использования результатов работы. Материалы диссертационной работы и полученные результаты использованы и внедрены в следующих организациях: г. Пермь - ОАО «СТАР»; ОАО «ПНИТИ», ЗАО «Инструментальный завод - Пермские моторы», ОАО «Пермский завод «Машиностроитель», ОАО «Мотовилихинские заводы»; г. Березники - филиал «Азот» ОХК «Уралхим»; ЗАО «Березниковский механический завод», г. Соликамск -

г. Березники ОАО «Уралкалий», г. Йошкар-Ола - ООО «НПП Поиск», г. Москва -ОАО «ЦНИТИ «Техномаш».

Представлены выводы по работе и рекомендации по использованию ее результатов.

В приложениях приведены акты использования результатов диссертационной работы, протоколы и акты типовых испытаний ТИ и ПТ с разработанными МП с градиентом или заданными структурой, составом и комплексом функциональных свойств, а также результаты технологических исследований, исследований строения, фазового и элементного состава, разработанные МСЗ и структуры двух- и трехкомпонентных однослойных пленок, полная версия разработанных технологий термической обработки подложки и получения разработанных многослойных наноразмерных пленок на основе двух- и трехкомпонентных слоев.

Личный вклад автора. В диссертации изложены результаты работы, которые были выполнены автором в течение более 25 лет лично и в соавторстве. В работе представлены инженерные решения, используемые при модернизации вакуумных установок; разработка приспособления для теплоотвода от ТИ и ПТ в процессе упрочнения, новых конструкций, состава и метода осаждения слоев, технологии осаждения многослойных наноразменых пленок в целом, комплексных методик оценки фазового и элементного состава, структуры и свойств слоев МП, методик технологических, структурных, морфологических, фазовых и элементных исследований слоев пленок; оформление, многофакторное обобщение результатов; изучение процесса структурообразования слоев МП в зависимости от ТехП и ТемП процесса их осаждения. Разработка МСЗ двухкомпонентных пленок на основе нитрида тугоплавкого металла и трехкомпонентных пленок на основе тугоплавкого и легкоплавкого металлов в зависимости от основных ТехП и ТемП процесса их осаждения выполнена лично автором. Тестовые образцы с разработанными МП были изготовлены автором в период работы инженером бюро газотермического напыления отдела главного сварщика ППО «Моторостроитель» им. Я.М. Свердлова (ОАО «Пермский моторный завод», 1985-1988 гг.), инженером-технологом C.B. Ничковым в период творческого сотрудничества автора с РП «Азотхимремонт» ОАО «Азот» (1999-2005 гг.), канд. техн. наук П.В. Пащенко в рамках сотрудничества с ОАО «ЦНИТИ «Техномаш» (2002-2013 гг.) и инжене-

ром-технологом А.Ю. Клочковым (НЦ ПМ ПГТУ) в рамках выполнения госконтрактов ИП-05-07 от 12.12.2005 с Департаментом промышленности и науки Пермской области и 06-02/189 от 20.12.2006 г. с Министерством промышленности и природных ресурсов Пермского края. В части работ, выполненных в соавторстве и включенных в диссертацию, автор являлась инициатором проведенных работ (постановка общих и конкретных задач исследований, выбор методов их решения, анализ и обобщение результатов исследований, формулировка выводов и защищаемых положений) и внесла определяющий вклад в проведение экспериментов, разработку основных технологических решений и методик исследований, проведение теоретических расчетов, обработку, анализ и многофакторное обобщение результатов основной части всех проведенных исследований и испытаний.

Ряд результатов, вошедших в диссертацию, получен в соавторстве с В.Н. Анциферовым, М.И. Самойловичем, А.Ф. Беляниным, A.M. Хановым, В.Д. Житков-ским, И.И. Замалетдиновым, Д.В. Александровым, П.В. Пащенко, В.И. Кичиги-ным, А.Ю. Клочковым, P.C. Новиковым и Д.М. Караваевым. Автор выражает также благодарность сотрудникам, аспирантам (Е.М. Трофимову, С.М. Вдовину, Е.А. Шестакову, Т.О. Сошиной, JI.H. Гусельниковой), магистрам, дипломникам, бакалаврам и студентам, работавшим под ее руководством в Березниковском филиале ПГТУ, в ПГТУ (ПНИГТУ). В работах, опубликованных в соавторстве, фамилии которых указаны в списке публикаций, автору принадлежат результаты, сформулированные в защищаемых положениях и выводах диссертации.

Заключение диссертации по теме «Материаловедение (по отраслям)», Каменева, Анна Львовна

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Внедрение результатов работы

Материалы диссертационной работы и полученные результаты использованы в следующих организациях:

1. В ОАО «ЦНИТИ «Техномаш» (г. Москва) приняты к использованию комплексные методики исследования фазового и элементного состава, структуры и свойств многокомпонентных многослойных пленок на основе наноструктуриро-ванных и поликристаллических слоев нитридов элементов III и IV групп Периодической системы и критерии выбора их слоев.

2. В «НПП Поиск» (г. Йошкар-Ола) технология получения многокомпонентных многослойных TiMp-*TiNMp-ZrN3jiH,-TiAZr1_vNM]j+3/iM (TiMP-'ZrNMp-Ti^flH*-Тл^г^Кмр+эди) пленок внедрена для изготовления пар трения с высокой коррозионной, износо-, ударо-, тепло- и трещиностойкостью, которая позволит значительно повысить стойкость режущего инструмента при комплексном воздействии высоких температур, давлений и скоростей.

3. В ЗАО «Березниковский механический завод» (г. Березники) технология получения многокомпонентных многослойных Т1эди-*Т1Ымр-Т11_хАУЧмр+эди*-Т^.дАШмр+эди (Ti3flM-'TiNMp-TiAZri_.,NMp+3flH*-TixZri^NMp+3ÄH) пленок внедрена для улучшения износо- и трещиностойких, физико-механических и антифрикционных свойств сверл из быстрорежущих сталей, которая позволит значительно повысить их прочность на изгиб и стойкость к истирающим нагрузкам.

4. На ремонтном предприятии «Азотхимремонт» ОАО «Азот» (г. Березники) (новое название - филиал «Азот» ОХК «Уралхим») технология получения многокомпонентных многослойных Ti^r-HB-'Ti^Zri^N-Ti^r-HB^-Ti^Zri^N (Ti-ИБ-* Tii^AljN-Ti-HB'-Tii-jAljN) пленок внедрена для повышения износо-, теплостойкости и коррозионной стойкости сверл и фрезы из быстрорежущих сталей, которая позволит значительно повысить эффективность обработки коррозионно-стойких, жаропрочных, конструкционных легированных и углеродистых сталей (без термообработки, техническая необходимость) и наплавленного металла электродов.

5. В 111IO «Моторостроитель» им. Я.М. Свердлова (новое название - ЗАО «Инструментальный завод - Пермские моторы») (г. Пермь) технические предложения по увеличению адгезии покрытия к рабочей поверхности мелкоразмерного

инструмента, исследованию зависимости температуры мелкоразмерного сверла от его диаметра и продолжительности нагрева, определению прочности сцепления покрытия к подложке, теплоотводу от мелкоразмерного сверла в процессе осаждения покрытия на основе ТЖ с использованием разработанной бронзовой оснастки использованы для низкотемпературного получения нитридотитанового покрытия на мелкоразмерном инструменте. Результаты в виде технологического процесса внедрялись в цехе 62 для упрочнения сверл диаметром 1,58 мм.

6. На ОАО «ИНКАР» (новое название - ОАО «СТАР») (г. Пермь) технология получения многослойных двухкомпонентных Ть*Т11Мпх-Т1>4нх*-Т1]Мнх 2г1Чпх*-7г1Чнх) пленок внедрена для многократного повышения износо-, тепло-и трещиностойких свойств рабочих поверхностей пар трения топливорегулирую-щей аппаратуры.

7. На ОАО «ПНИТИ» (г. Пермь) технология получения многокомпонентных многослойных Т1КПХ-»Т1МНХ-Т11_ХАШНХ»-Т11_ЛА1^НХ (Т1Кпх-*Т1Кнх-Т1хгг1_л.:Ы„х*-Тг^Г1_л1Чн с) пленок внедрена для получения комплекса высоких физико-механических, коррозионных, износо- и трещиностойких свойств поверхности составных сверл, которая позволит значительно повысить эффективность нефтедобычи и увеличить скорость проходки скважины.

8. На ОАО «Сильвинит» (новое название - ОАО «Уралкалий») (г. Соликамск -г. Березники) рекомендована к внедрению технология получения многокомпонентных пленок на основе двух- и трехкомпонентных ТЮ-Т17гЫ-ТЮ и ТЬ-хАЦЧ наноструктурированных и поликристаллических слоев для сообщения поверхности резцов РС-14 и коронок ДУ-42 проходческого комбайна, обрабатывающих сильвинитовую руду, комплекс высоких физико-механических, коррозионных, износо-, тепло- и ударостойких свойств.

9. На ЗАО «Третий Спецмаш» (новое название - ОАО «Мотовилихинские заводы») (г. Пермь) технология получения высокоэкономичных многослойных двухкомпонентных Т1-,Т1КПХ-Т1КНХ,-Т1КНХ ^г-^гКп.с^гКн.с'^гНн.с) пленок внедрена для улучшения износо-, тепло- и трещиностойких свойств поверхности подшипников скольжения высокоэнергетических машин.

10. В комплексе «Механик» ОАО «Пермский завод «Машиностроитель» (г. Пермь) рекомендована к внедрению технология получения многокомпонентных многослойных Ть^К-^г-ггЫ'^г-^Т^Гх-дК^г^-Тг^г^К (ТьТ11Ч-*ТьТ1№-

Т^А^Ы-Ти-Т^АУ^) пленок, которая позволит значительно повысить износо-и теплостойкие, антифрикционные и коррозионные свойства фрез и паяных резцов, эффективность обработки ими труднообрабатываемых материалов.

Внедрение и использование разработанных технологий подтверждено актами использования результатов, протоколами испытаний, приведенными в приложении диссертационной работы, где также представлены оптимальные технологии получения разработанных МП на основе наноструктурированных и поликристаллических слоев двух-, трех- и многокомпонентных нитридов ТлИ, 7гГЧ, Ti.rZri_.xN, Т^АДО

Разработана оптимальная технология подготовки поверхности ТИ (ПТ) и тестовых образцов перед осаждением вновь разработанных МП.

Основные результаты работы

1. Исследованы и разделены на внешние (метод осаждения; технологические особенности и количество источников плазмы; способ термической обработки подложки; элементный состав, метод изготовления и охлаждения катодов/мишеней) и внутренние (Гподл/Тпл, Тнач с, Унагр с в процессе осаждения, структура, фазовый и элементный состав, свойства слоев пленок) факторы, влияющие на функциональные свойства слоев и многослойных пленок в целом.

2. Разработаны технологии термической обработки подложки перед осаждением МП, позволяющие устранить последствия технологическо-эксплуатационной наследственности технологических операций и переходов изготовления ТИ и ПТ, управлять температурой подложки, степенью равномерности ее нагрева, а также температурой подслоя, равной начальной температуре слоя МП.

3. Установлена зависимость процесса структурообразования и дефектообра-зования материала в зоне эрозии/области распыления однокомпонентных и многокомпонентных композитных катодов/мишеней от его температуры плавления, теплопроводности и элементного состава, способа охлаждения и изготовления катодов/мишеней и технологических особенностей и количества источников плазмы. Установлен способ устранения последствий технологическо-эксплуатационной наследственности технологических операций и переходов изготовления катодов/мишеней и стабилизации процесса структурообразования материала однокомпонентных и многокомпонентных композитных катодов/мишеней.

4. Разработаны комплексные методики оценки фазового и элементного состава, термической стабильности и напряжений в многокомпонентных системах на основе нитридов тугоплавких и/или легкоплавких металлов и их соединений с неметаллами. Построен фрагмент изотермического сечения фазовой диаграммы равновесия Tii-jALfN тройной системы при 1400 К.

5. Впервые экспериментально установлены закономерности фазовых и структурных превращений, изменения элементного состава слоев пленок на основе нитридов элементов III и IV групп Периодической системы под влиянием ТехП формирования, технологическими особенностями и количеством источника плазмы, процессами испарения/распыления катодов/мишеней, термической обработки подложки процесса осаждения слоев МП, выражающиеся в увеличении размера кристаллитов и микронапряжений KP, смене однокомпонентной текстуры на двух-или многокомпонентную, изменении степени текстурированности слоев пленок, объемных долей кубических c-TiN, c-ZrN и c-TiZrN2 фаз в слоях на основе нитридов тугоплавких металлов (TiN, ZrN и Ti^Zr^N) и гексагональных h-Ti2AlN и h-Ti3Al2N2 фаз - в слоях на основе нитридов тугоплавкого и легкоплавкого металлов (Ti1_AAlAN) и их полной свободной энергии, содержания легирующего металла Zr (AI) и отношения его к содержанию Ti. Установленная зависимость фазового и элементного состава от ТемП осаждения позволяет по фазовому составу слоев пленок определять ТемП его осаждения.

6. Разработаны МСЗ двух- и трехкомпонентных слоев пленок на основе нитридов тугоплавких и/или легкоплавких металлов в зависимости от ТехП и ТемП процесса термической обработки подложки и осаждения, способа изготовления и охлаждения катодов/мишеней, типа и количества источников плазмы. Установлены закономерности влияния типа и количества источников плазмы на процесс структурообразования формируемых наноструктурированных и поликристаллических двух-, трех- и многокомпонентных слоев пленок.

7. Создана комплексная система контроля и управления всеми процессами, участвующими в формировании двухкомпонентных TiN, ZrN, трехкомпонентных TijZri-^N, Tii-jAl^N и многокомпонентных Ti-B-Si-N слоев пленок, для обеспечения высокого комплекса функциональных свойств и наивысшего качества ТИ и ПТ при высокой повторяемости результатов. Установлены оптимальные сочета-

ния ТехП и ТемП, полностью исключающие дефектность формируемых пленок и систем и обеспечивающие стабильность их эксплуатационных свойств.

8. Исследовано влияние структуры, фазового и элементного состава, функциональных свойств двух-, трех- и многокомпонентных слоев на основе нитридов элементов III и IV групп Периодической системы на их функциональные свойства разработаны критерии выбора слоев для получения МП, содержащие слои не только различных материалов, но и одного материала различного строения, с комплексом функциональных свойств.

9. Предложен механизм формирования МП с градиентом структуры, фазового и элементного состава, комплексом высоких функциональных свойств, основанный на том, что для их получения последовательно осаждают двух-, трех- и многокомпонентные слои на основе нитридов элементов III и IV групп Периодической системы с заданным строением, фазовым и элементным составом, функциональными свойствами.

10. Разработаны конструкции МП на основе слоев нитридов элементов III и IV групп Периодической системы с комплексом высоких ФМС, ИАС, коррозионных, трещиностойких и теплостойких свойств и низкой хрупкостью.

11. Созданы технологические основы получения МП с градиентом структуры, фазового и элементного состава и комплексом высоких функциональных свойств. Создана комплексная система контроля и управления всеми процессами, участвующими в формировании пленок, для обеспечения наивысшего качества ТИ и ПТ при высокой повторяемости результатов. Установлены оптимальные сочетания ТехП, полностью исключающие дефектность формируемых МП, для обеспечения стабильности свойств осаждаемых слоев.

12. Получены результаты испытаний МП на основе слоев нитридов элементов III и IV групп Периодической системы в горно- и нефтедобывающей, инструментальной, ремонтной, химической и оборонной промышленности, технологическом машиностроении и авиастроении и даны рекомендации к их применению.

13. Установлено, что применение двухкомпонентных TiN, ZrN, трехкомпо-нентных Ti^Zr^N, Tii_xAlxN и многокомпонентных Ti-B-Si-N слоев пленок и многослойных структур на их основе, получаемых в условиях ЭДИ, МР, ЭДИ+МР, приводит к повышению ФМС, ИАС, коррозионных, ударо-, тепло- и трещино-

стойких свойств ТИ и ПТ в технологическом машиностроении, в инструментальном и ремонтном производствах, авиастроении.

14. Детальное изучение процессов изнашивания ТИ и ПТ позволяет обоснованно проводить выбор составов вновь разработанных МП и методов их формирования. Использование двухкомпонентных TiN, ZrN, трехкомпонентных Ti^Zr^N, Ti|_AAl^N и многокомпонентных Ti-B-Si-N слоев пленок и многослойных структур на их основе для упрочнения и защиты ТИ и ПТ позволит обрабатывать такие сложные материалы, как нержавеющие стали и жаропрочные сплавы.

15. Использование разработанных технологических процессов получения двухкомпонентных TiN, ZrN, трехкомпонентных Ti.xZri_xN, Tii_*AlxN и многокомпонентных Ti-B-Si-N слоев пленок и многослойных структур на их основе позволило повысить скорости нефтедобычи в 5 раз, стойкость режущего инструмента из быстрорежущих сталей и твердых сталей при обработке аустенитных и жаропрочных сталей, стойкость режущего инструмента при обработке калийной руды, стойкость пар трения топливорегулирующей аппаратуры. Выбор на основании комплексных исследований состава и технологии осаждения разработанных МП позволяет применять их для упрочнения ТИ и ПТ в различных отраслях промышленности.

16. Результаты работы лягут в основу создания серий ТИ и ПТ для машиностроительных, инструментальных, ремонтных предприятий и предприятий нефтяной промышленности, существенно превышающих мировой уровень по свойствам и условиям эксплуатации. Такой подход не только обеспечит потребности машиностроительных отраслей в России, но и позволит выйти на внешние рынки, используя накопленный опыт и развитые ранее направления по использованию ион-но-плазменных методик в электронном машиностроении. Одновременно в результате выполнения работы будут обеспечены возможности технологического перевооружения ряда инструментальных и машиностроительных заводов, где предполагается развернуть освоение технологий и промышленное производство на их базе ряда перспективных ТИ и ПТ. Что касается разработанных многофункциональных МП на основе двухкомпонентных TiN, ZrN, трехкомпонентных Ti^Zr^N, Tii_AAlxN и многокомпонентных Ti-B-Si-N слоев пленок, то предполагается, что они будут использоваться для упрочнения и защиты ТИ и ПТ различного назначения. Представленная работа выполнялась в интересах целого ряда предприятий

машиностроительного и авиастроительного комплексов (в частности, таких как ОАО «СТАР» (г. Пермь); ОАО «ПНИТИ» (г. Пермь), ЗАО «Инструментальный завод - Пермские моторы» (г. Пермь), ОАО «Пермский завод «Машиностроитель» (г. Пермь), ОАО «Мотовилихинские заводы» (г. Пермь); филиал «Азот» ОХК «Уралхим» (г. Березники); ЗАО «Березниковский механический завод» (г. Березники), ОАО «Уралкалий» (г. Соликамск), ООО «НИИ Поиск» (г. Йошкар-Ола).

17. Предполагаемый объект коммерциализации - ТИ и ПТ с термически и химически стойкими (для изделий машиностроения), упрочняющими и износостойкими с пониженным трением (для ТИ и ПТ) многофункциональными МП на основе двухкомпонентных TiN, ZrN, трехкомпонентных Ti^Zri_xN, Ti] vAl^N и многокомпонентных Ti-B-Si-N слоев пленок, получаемых по вновь разработанным оптимальным технологиям методами MP, ЭДИ и комбинированным методом, может быть использован для работы на любом технологическом оборудовании нового поколения. Прогнозируемые годовые объемы реализуемой продукции в текущих ценах определяются следующими факторами: обеспечение потребности разработчиков и производителей элементной базы и освоение производства изделий машиностроения и обрабатывающего инструмента; обеспечение окупаемости вложенных средств в течение 5-7 лет после начала производства. Выполнена оценка экономического эффекта от упрочнения ТИ и ПТ путем осаждения МП на основе двухкомпонентных TiN, ZrN, трехкомпонентных TixZri_AN, Ti и

многокомпонентных Ti-B-Si-N слоев пленок.

Благодарности

Автор считает приятным долгом выразить благодарность и искреннюю признательность научному консультанту профессору, академику РАН, д.т.н. В.Н. Анциферову за постоянное внимание, творческое участие и поддержку настоящей работы; коллегам, совместно с которыми были получены экспериментальные результаты, нашедшие отражение в диссертации, начальнику лаборатории «Наноструктуры и фотонные кристаллы» ОАО «ЦНИТИ «Техномаш» профессору, д.ф.-м.н., лауреату Государственной премии М.И. Самойловичу; начальнику Научно-исследовательской лаборатории вакуумных процессов ОАО «ЦНИТИ «Техномаш» профессору, д.т.н. А.Ф. Белянину; заведующему кафедрой «Конструирование машин и технология обработки материалов» профессору, д.т.н. A.M. Хано-

ву; к.т.н. В.Д. Житковскому; профессору, д.т.н. И.И. Замалетдинову; к.т.н. Д.В. Александрову; к.т.н. П.В. Пащенко; к.т.н. В.И. Кичигину; аспирантам Е.М. Трофимову, С.М. Вдовину, Е.А. Шестакову, А.Ю. Клочкову, P.C. Новикову, Т.О. Сошиной, JI.H. Гусельниковой и Д.М. Караваеву.

Автор выражает признательность за плодотворное сотрудничество сотрудникам технологического подразделения и руководству ОАО «Центральный научно-исследовательский технологический институт «Техномаш» (Москва), где автор был соискателем до 2005 г.; за проведение промышленных испытаний сверл и фрез с разработанными автором работы многокомпонентными МП: и.о. директора В.А. Теселкину и старшему мастеру ОЗП JI.A. Трофимовой РП «Азотхимре-монт» ОАО «Азот»; генеральному директору Ф.А. Гладких и главному технологу П.А. Ужегову ЗАО «Березниковский механический завод» (промышленные испытания в 2004 г., г. Березники, внедрение); генеральному директору O.A. Ковалеву, руководителю структурного подразделения Н.В. Лимонову и начальнику участка А.Н. Ларину ООО «Научно-внедренческое управление», РУ-2 ОАО «Сильвинит» III ЮЗП (промышленные испытания в 2006 г., г. Березники, г. Соликамск), и.о. главного инженера А.И. Коровину, заместителю главного механика рудника СКРУ-2 по забойному оборудованию Г.Г. Стриганову и бригадиру машинистов горных выемочных машин В.И. Мальгину ОАО «Сильвинит» (промышленные испытания в 2007 г., г. Соликамск), советнику управляющего директора, председателю научно-технического совета Ю.П. Дудкину, главному металлургу А.Г. Лапину и М.В. Разумейко ОАО «СТАР» (г. Пермь), A.B. Туробову и Е.Э. Вальц ОАО «ПНИТИ».

Автор также выражает признательность руководству ФГБОУ ВПО «Пермский национальный исследовательский политехнический университет», где выполнялась работа: президенту ПНИПУ д.т.н., проф. В.Ю. Петрову, ректору ПНИПУ проф., д.ф.-м.н. A.A. Ташкинову и генеральному директору ОАО «Центральный научно-исследовательский технологический институт «Техномаш» (Москва) к.т.н. В.Д. Житковскому за поддержку в работе над диссертацией.

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Каменева, Анна Львовна, 2013 год

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1. Спектор B.C. Оптимизация технологии вакуумной ионно-плазменной обработки поверхностей деталей авиационной техники: дис. ... канд. техн. наук / МАТИ. М., 2005. 191 с.

2. Табаков В.П. Повышение эффективности режущего инструмента путем направленного изменения параметров структуры и свойств материала износостойкого покрытия: дис. ... д-ра техн. наук / УлГТУ. Ульяновск, 1992. 641 с.

3. Соколов И.В. Закономерности формирования структуры в поверхностном слое деталей из конструкционных металлических материалов в процессе вакуумной ионно-плазменной обработки: дис. ... канд. техн. наук / МАТИ. М., 2009. 199 с.

4. Черкасов П.М. Повышение стойкости сверл малого диаметра из быстрорежущей стали за счет выбора рациональных режимов вакуумно-плазменной обработки: дис. ... канд. техн. наук / МГТУ «СТАНКИН». М., 2004. 131 с.

5. Гончаров B.C., Гончаров М.В., Солопов A.B. Повышение износостойкости режущего инструмента и штамповой оснастки методом КИБ // Технология ремонта, восстановления и упрочнения деталей машин, механизмов, оборудования, инструмента и технологической оснастки: материалы 7-й междунар. практ. конф.-выставки. СПб., 2005. С. 236-239.

6. Григорьев С.Н. Повышение надежности режущего инструмента путем комплексной ионно-плазменной поверхностной обработки: дис. ... д-ра техн. наук / МГТУ «СТАНКИН». М., 1995. 499 с.

7. Фукс-Рабинович Г.С. Способ упрочнения инструмента: пат. 2026419 РФ: МПК С23С14/38. Опубл. 09.01.1995.

8. Белянин А.Ф. Выращивание плазменными методами пленок алмаза и родственных материалов (алмазоподобных, нитрида алюминия, оксида цинка) и применение многослойных структур на основе этих пленок в микро- и акустоэлектро-нике: дис. ... д-ра техн. наук / ОАО ЦНИТИ «Техномаш». М., 2004. 388 с.

9. Кирюханцев-Корнеев Ф.В. Разработка твердых износостойких нанострук-турных покрытий в системах Ti-Si-N, Ti-B-N, Cr-B-N, Ti-Cr-B-N: дис. ... канд. техн. наук / МИСиС. М., 2004. 170 с.

10. Богданович В.И. Управление эксплуатационными свойствами деталей с вакуумными ионно-плазменными покрытиями при производстве летательных аппаратов: дис. ... д-ра техн. наук / СГАУ. Самара, 2002. 439 с.

П.Коротаев А.Д., Тюменцев А.Н., Пинжин Ю.П., Овчинников C.B., Коваль H.H., Гончаренко И.М. Сверхтвердые кристаллические покрытия // Физическая мезофизика, компьютерное конструирование и разработка новых материалов: тр. междунар. конф. Томск, 2004. С. 3-7.

12. Гончаров B.C., Гурьянов А.Н. Моделирование технологических процессов получения качественных ионно-плазменных покрытий //1111-2001: тр. 6-й междунар. конф. СПб., 2001. С. 191-195.

13. Фортуна C.B. Микроструктура покрытий на основе ннтрида титана, полученных вакуумными методами: дис. ... канд. техн. наук / Том. гос. арх.-строит. ун-т. Томск, 2006. 231 с.

14. Осипов A.B. Научное и технологическое обеспечение нанесения упрочняющих наноразмерных тонкопленочных покрытий для изделий электронной техники: дис. ... канд. техн. наук / ОАО ЦНИТИ «Техномаш». М., 2002. 328 с.

15. Решетняк E.H., Стрельницкий В.Е. Синтез упрочняющих наноструктур-ных покрытий // Вопросы атомной науки и техники. 2008. № 2. С. 119-130.

16. Münz W.D., Schulze D., Hauzer F.J. A new method for hard coatings: ABS™ (arc bond sputtering) // Surf, and Coat. Technol. 1992. Vol. 50. P. 169-178.

17. Береснев B.M., Погребняк А.Д., Азаренков H.A., Фареник В.И., Кирик Г.В. Нанокристаллические и нанокомпозитные покрытия, структура, свойства // ФИП. 2007. Т. 5, № 1-2. С. 4-27.

18. Мовчан Б.А., Демчишин A.B. Исследование структуры и свойств толстых вакуумных конденсатов никеля, титана, вольфрама, окиси алюминия и двуокиси циркония // ФММ. 1969. Т. 28, № 4. С. 653-660.

19. Трушин О.С., Бочкарев В.Ф., Наумов В.В. Моделирование процессов эпи-таксиального роста пленок в условиях ионно-плазменного напыления // Микроэлектроника. 2000. Т. 29, № 4. С. 296-309.

20. Thornton. J.A. Influence of apparatus geometry and deposition conditions on the structure and topography // J. Vac. Sc. and Tech. 1974. Vol. 11. P. 666-670.

21.Misjâk Fanni. Szerkezetkialakulâs Tôbbfâzisu Vékonyrétegekben: Doktori értekezés. Budapest: Muszaki Fizikai és anyagtudomânyi kutatôintézet, 2009. 117 p.

22. Anders A. A structure zone diagram including plasma-based deposition and ion etching // Thin Solid Films. 2010. Vol. 518. P. 4087-4090.

23. Derniaux Eric. Etude de structures NiCoCrAlY / A1203 / TiOx / Pt / AIN déposées par pulvérisation cathodique sur superalliage base Ni pour capteurs de pression haute temperature: Doctorat de l'Universite. Basse-Normandie: Université de Caen, 2007. 228 p.

24. Марченко И.Г., Неклюдов И.М. Особенности начальной стадии формирования структуры тонких пленках меди в первой температурной зоне // Вестник Харьковского университета. 2006. № 732. С. 67-72.

25. Petrov I., Hultman L., Helmersson U., Sundgren J.E., Greene J.E. Microstructure modification of TiN by ion bombardment during reactive sputter deposition // J. Thin solid films. 1989. Vol.169, № 2. P. 299-314.

26. Wen-Jun Chou. Processing and Properties of Metal Nitride Thin Films Deposited by PVD Methods // PhD thesis. The Republic of China: National Tsing Hua University, 1992. P. 177.

27. Thornton J. High-rate thick-film growth // Annu. Rev. Mater. Sci. 1977. Vol. 7. P. 239-260.

28. Messier R., Giri A.P., Roy R.A. Revised structure zone model for thin film physical structure // J. Vac. Sci. Technol. 1984. Vol. A2. P. 500-503.

29. Greene J.E. Handbook of deposition technologies for films and coatings / ed. by R.F. Bunshah. New Jersey: Noyes Publications, 1994. P. 681.

30. Hultman L., Sundgren J.E. Handbook of deposition technologies for films and coatings / ed. by R.F. Bunshah. New Jersey: Noyes Publications, 2001. P. 108.

31. Mattox D.M. Handbook of deposition technologies for films and coatings / ed. by R.F. Bunshah. New Jersey: Noyes Publications, 1998.

32. Raymond O. Elaboration par pulvérisation cathodique et caractérisation des propriétés physicochimiques de couches de nitrure d'aluminium piézo-électriques: application à la mesure à haute température de fluctuations de pression: Thèse de doctorat. Nantes, France: Université de Nantes, 2000.

33. Анциферов В.H., Каменева A.Л. Структурообразование (наноструктури-рование) пленок ионно-плазменными методами (обзор) // Высокие технологии

в промышленности России: материалы XIV междунар. науч.-техн. конф. М., 2008. С.448-453.

34. Alami J. Plasma Characterization. Thin Film Growth and Analysis in Highly Ionized Magnetron Sputtering // PhD thesis. Linkoping, Sweden: Linkoping University, 2005. P. 64.

35. Lu В., Laughlin D.E. Microstructure of longitudinal media. // The Physics of Ultrahigh-Density Magnetic Recording. Springer Series in Surface Sciences. Berlin, Germany: Springer-Verlag, 1998. Vol. 41.

36. Kaufman H.R., Harper J.M.E. Ion-Assist Applications of Broad-Beam Ion Sources // Proceedings of SPIE. 2004. Vol. 527. P. 50-68.

37. Wang L. Investigation of the mechanical behavior of freestanding polycrystal-line gold films deposited by evaporation and sputtering methods: Doctoral dissertation. Auburn, Alabama: Auburn University, 2007. 195 p.

38. Alejandro B. Rodriguez-Navarro. Model of texture development in poly-crystalline films growing on amorphous substrates with different topographies // Thin Solid Films. 2001. № 389. P. 288-295.

39. Schuler Т., Krajewski Т., Grobelsek I., Aegerter M.A. A Microstructural Zone Model for the Morphology of Sol-Gel Coatings // J. of Sol-Gel Science and Technology, 2004. Vol. 31, № 1-3. P. 235-239.

40. Infortuna A., Harvey A.S., Gauckler L. Microstructures of CGO and YSZ Thin Films by Pulsed Laser Deposition // Adv. Funct. Mater. 2008. Vol. 18. P. 127-135.

41. Grovenor C.R.M., Hentzell H.T.G., Smith D.A. The development of grain structure during growth of metallic films // Acta Metallogr. 1984. Vol. 32. P. 773-781.

42. Barna P.B., Adamik M. Fundamental structure forming phenomena of poly-crystalline films and the structure zone models // Thin Solid Films. 1998. Vol. 317. P. 27-33.

43. Барвинок В.А. Управление напряженным состоянием и свойства плазменных покрытий. М.: Машиностроение, 1990. 384 с.

44. Тер-Арутюнов Б.Г. Исследование влияния физико-химических свойств вакуумных ионно-плазменных покрытий на повышение износостойкости конструкционных материалов энергетического оборудования: дис. ... канд. техн. наук / Моск. энерг. ин-т (техн. ун-т). М., 2008. 187 с.

45. Гаврилов А.Г., Синелыциков А.К., Курбатова Е.И., Непомнящая С.А. Способ нанесения покрытий в вакууме: пат. 2061788 РФ: МПК С23С 14/34. Опубл. 10.06.1996.

46. Пат. 2071992 РФ, МПК С23С 14/46, H01J 27/04. Способ обработки изделий источником ионов / НПП «НОВАТЕХ». Опубл. 20.01.1997.

47. Белоус В.А., Лапшин В.И., Марченко И.Г., Неклюдов И.М. Радиационные технологии модификации поверхности. Ионная очистка и высокодозовая имплантация // ФИП. 2003. Т. 1, № 1. С. 40-48.

48. Коваль H.H., Толкачев B.C., Щанин П.М. Способ нанесения композиционных покрытий: пат. 2146724 РФ: МПК С23С14/06, С23С14/35. Опубл. 20.03.2000.

49. Табаков В.П., Рябов Г.К., Ширманов H.A., Рандин A.B. Способ получения износостойкого покрытия в вакууме: пат. 2203978 РФ: МПК С23С14/06, С23С14/24. Опубл. 10.05.2003.

50. Табаков В.П., Ширманов H.A., Смирнов М.Ю., Ермолаев A.A. Способ нанесения износостойкого покрытия на режущий инструмент: пат. 2207398 РФ: МПК С27С23С14/06, В23С5/06. Опубл. 27.06.2003.

51. Анциферов В.Н., Каменева А.Л., Вдовин С.М., Трофимов Е.М., Шеста-ков Е.А. Способ нанесения многослойного износостойкого покрытия: пат. 2346078 РФ: МПК С23С14/06, С23С14/24, С23С14/58. Опубл. 22.03.2007.

52. Табаков В.П., Ширманов H.A., Смирнов М.Ю., Ермолаев A.A. Способ нанесения износостойкого покрытия на режущий инструмент: пат. 2250931 РФ: МПК С23С14/06, С23С14/24. Опубл. 27.04.2005.

53. Анциферов В.Н., Каменева А.Л., Клочков А.Ю., Новиков P.C. Способ получения износостойкого покрытия: пат. 2361013 РФ: МПК С23С14/06, С23С 14/16, С23С 14/35, В23В 27/14. Опубл. 10.07.2009.

54. Анциферов В.Н., Каменева А.Л. Способ получения покрытия на основе сложных нитридов: пат. 2429311, РФ: МПК С23С14/06, С23С14/24, С23С14/35. Опубл. 20.09.2011.

55. Анциферов В.Н., Каменева А.Л. Способ получения износостойкого и термодинамически устойчивого многослойного покрытия на основе тугоплавких металлов и их соединений: пат. 2433209 РФ: МПК С23С 14/06, С23С 14/35; заявл. 15.06.10, опубл. 10.11.11, Бюл. № 31.

56. Табаков В.П., Циркин A.B., Чихранов A.B. Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента: пат. 2260631 РФ: МПК С23С14/06, С23С30/00, В23В27/14. Опубл. 20.09.2005.

57. Рыбин В.В., Горынин В.И., Попов В.О., Бережко А.И., Попова И.П. Способ ионно-плазменной обработки стальной поверхности режущего инструмента: пат. 2241782 РФ: МПК С23С14/48. Опубл. 23.04.2004.

58. Ящерицын П.И. Технологическое наследование эксплуатационных параметров деталей машин // Справочник. Инженерный журнал. 2004. № 9. С 20-22.

59. Верещака A.C. Работоспособность режущего инструмента с износостойкими покрытиями. М.: Машиностроение, 1993. 294 с.

60. Каменева A.JL, Сошина Т.О., Гусельникова JI.H. Изучение влияния напряжения смещения на подложке на процесс формирования поликристаллических пленок нитрида титана методом электродугового испарения // Высокие технологии в промышленности России: материалы XVI междунар. науч.-техн. конф., 2010. С. 392-401.

61. Петров JI.M., Милосердов И.В. Современные тенденции развития оборудования для ионно-вакуумного напыления // Покрытия, упрочнение, очистка. Экологически безопасные технологии и оборудование: тез. докл. межотрасл. науч. конф., совещ., сем. М., 1995. С. 1.

62. Рябчиков А.И., Рябчиков И.А., Степанов И.Б. Способ импульсно-периоди-ческой имплантации ионов и плазменного осаждения покрытий: пат. 2238999 РФ: МПК С23С 14/48, H01J 37/317. Опубл. 27.10.2004.

63. Штанский Д.В. Закономерности фазовых и структурных превращений в многокомпонентных сплавах и керамических пленках: дис. ... д-ра физ.-мат. наук / МИСиС. М., 2001. 328 с.

64. Верещака A.A., Пчелинцев А.К., Верещака A.C., Синицин B.C., Ласточкин С.С., Лапин В.Ф., Додонов А.И. Многослойно-композиционное износостойкое покрытие: пат. 2198243 РФ: МПК С23С30/00. Опубл. 10.02.2003.

65. Вакуумные дуги / под ред. Дж. Лафферти. М.: Мир, 1982. 432 с.

66. Барвинок В.А., Богданович В.И. Физические основы и математическое моделирование процессов вакуумного ионно-плазменного напыления. М.: Машиностроение, 1999. 309 с.

67. Богданович В.И., Козлов Г.М., Позднякова Г.Д. Исследование капельной фазы в ионно-плазменных покрытиях // Опыт и перспективы применения композиционных материалов в машиностроении. Куйбышев, 1989. С. 97-98.

68. Чихранов А.В. Повышение работоспособности режущего инструмента путем разработки и применения многоэлементных износостойких покрытий на основе модифицированного нитрида титана: дис. ... канд. техн. наук / УлГТУ. Ульяновск, 2006. 314 с.

69. Табаков В.П. Исследование износостойкости покрытий режущего инструмента, полученных с применением составных катодов // СТИН. 1996. № 3. С. 14-17.

70. Агабеков Ю.В. Защитно-декоративные керамические покрытия на изделиях массового потребления - вакуумные технологии и оборудование с использованием несбалансированных магнетронов // Электровакуумная техника и технология: тр. пост, действ, науч.-техн. сем. (за 1999-2002 гг.). М., 2003. С. 24-31.

71.Кузьмичев А.И. Импульсные магнетронные распылительные системы // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий. Харьков, 2001. С. 221-245.

72. Белянин А.Ф., Бульенков Н.А., Богомолов А.Б., Балакирев В.Г. Строение и применение тонких пленок A1N, полученных методом магнетронного ВЧ-распыления // Техника средств связи. М.: ЭКОС, 1990. Вып. 3. С. 4-24.

73. Белянин А.Ф., Зеленчук П.В., Казарьян В.К., Пастощук О.Б., Пащенко П.В. Люминесценция пленок A1N, активированных РЗЭ // Техника средств связи. М.: ЭКОС, 1988. Вып. 1. С. 57-60.

74. Varnin V.P., Teremetskaya I.G., Khomich A.V., Polyakov V.I., Perov P.I., Rossukanyi N.M., Rukovishnikov A.I., Belyanin A.F. CVD Diamond films on AIN/silicon substrates: growth, optical and photoelectrical properties // Diamond Films

tVi

95. The 6 European Conference on Diamond, Diamond-like and Related Materials. Barcelona. Spain, 1995. Abstr. Book. P. 8-124.

75. Baker M.A., Steiner A., Haupt J. et al. Auger electron spectroscopy/X-ray pho-toelectron spectroscopy study of Ti-B-N thin films // J. Vac. Sci. Technol. A. 1995. Vol. 13, №3. P. 1633-1638.

76. Paldey S., Deevi S.C. Single layer and multilayer wear resistant coatings of (Ti,Al)N: a review // Materials Science and Engineering A. 2003. Vol. 342. P. 58-79.

80. Belyanin A.F., Semenov A.P., Spitsyn B.V. Device for growing and doping in the growth process of thin A1N films // Wide Band Gap Electronic Materials / M.A. Pre-las [et al. (eds.)]. Netherlands. Kluwer Academic Publishers. NATO ASI Series. 3. High Technology. 1995. Vol. 1. P .297-303.

81. Семенов А.П. Техника распыления ионными пучками. Улан-Удэ: БНЦ СО РАН, 1996. 119 с.

82. Григорян А.Э., Рахбари Р.Г., Рогачев A.C., Левашов Е.А.. Пономарев В.И., Шевейко А.К., Штанский Д.В., Иванов А.К. Формирование структуры и свойств композиционных мишеней при безгазовом горении в системе Ti-Si-C. Структура и свойства магнетронных Ti-Si-C-N покрытий // Изв. вузов. Цветная металлургия. 2000. № 1. С. 55-69.

83. Левашов Е.А., Штанский Д.В. Перспективы создания композитных износостойких пленок осаждаемых с использованием СВС-мишени // Сб. статей / Моск. ин-т стали и сплавов. М., 1997. С. 541-546.

84. Berg S., Katardjiev I.V. Preferential sputtering effects in thin film processing // Journal Vacuum Science & Technology A. 1999. Vol. 17, № 4. P. 1916-1925.

85. Белянин А.Ф., Самойлович М.И., Пащенко П.В., Ключник Н.Т., Александров Д.В., Суетин Н.В., Дворкин В.В., Дзбановский H.H. Формирование тонких пленок магнетронным распылением металлических одно- и двухфазных мишеней // Нанотехнологии и фотонные кристаллы: материалы 2-го межрегион, сем. / МГТУ им. Н.Э. Баумана. М., 2004. С. 169-196.

86. Технология тонких пленок / под ред. Л. Майссела и Р. Глэнга. М.: Советское радио, 1977. Т. 1. 662 е.; Т. 2. 768 с.

87. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / под ред. Р. Бериша. М.: Мир, 1986.

88. Белянин А.Ф., Самойлович М.И., Семенов А.П. Пленки алмаза и алмазо-подобных материалов: формирование, строение и применение в электронике // Материалы, оборудование и технологии наноэлектроники и микрофотоники. Улан-Удэ: БНЦ СО РАН, 2003. С. 77-180.

89. Алимов С.С. Динамика системы плазма-поверхность в разрядах магне-тронного типа: дис. ... канд. физ.-мат. наук / Харьк. нац. ун-т им. В.Н. Каразина. Харьков, 2003. 164 с.

90. Бобков В.В., Алимов С.С., Слюсаренко Ю.В., Старовойтов Р.И. Трехмерные образования на поверхности катода в плазме тлеющего и магнетронного разрядов // Изв. РАН. Сер. физическая. 2004. Т. 68, № 3. С. 332-335.

91. Белянин А.Ф., Самойлович М.И., Александров Д.В., Пащенко П.В., Тимофеев М.А., Каменева A.JL, Талис A.JI. Морфологические особенности рельефа на поверхности мишеней при бомбардировке ионами // Тонкие пленки в электронике: материалы XVI междунар. симп., М., 2004. С. 302-310.

92. Имшенник B.C., Боброва H.A. Динамика столкновительной плазмы. М.: Энергоатомиздат, 1997. 320 с.

93. Семенов А.П., Белянин А.Ф., Мохосоев М.В., Манзанов Ю.Е., Халтано-ва В.М. К вопросу распыления оксида цинка ионным пучком // Поверхность. Физика, химия, механика. 1989. № 10. С. 78-80.

94. Wehner G.K. Cone formation as a result of whisker growth on ion bombarded metal surfaces // J. Vac. Sei. Technol. A. 1985. Vol. 3, № 4. P. 1821-1835.

95. Hauffe W. Development of the surface topography on poly crystalline metals by ion bombardment investigated by scanning electron microscopy // Phys. Stat. Sol.(a). 1971. Vol. 4. P. 111-120.

96. Алимов С.С., Бобков В.В., Слюсаренко Ю.В., Старовойтов Р.И. Эволюция конических новообразований на поверхности катода в тлеющем газовом разряде // Вестник Харьковского университета. Сер. физическая. Ядра, частицы, поля. 2000. Вып. 2, № 481. С. 71-78.

97. Эйзнер Б.А. Научные основы технологических процессов нанесения многокомпонентных покрытий различного функционального назначения вакуумным электродуговым методом: дис. ... д-ра техн. наук / Белорус, гос. ун-т. Минск, 1993. 463 с.

98. Лейви А.Я. Моделирование динамики конденсированных сред, облучаемых мощными пучками заряженных частиц: дис. ...канд. физ.-мат. наук / Ин-т электрофизики УрО РАН. Екатеринбург, 2008. 159 с.

99. Белянин А.Ф., Пащенко П.В., Ковальский К.А. Получение пленок магне-тронным распылением мишеней из эвтектического сплава Ag-Cu // Молекулярная биология, химия и физика неравновесных систем: материалы 6-й междунар. науч. конф. / Иван. гос. ун-т. Иваново, 2002. С. 227-231.

100. Григорьев Ф.И. Осаждение тонких пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков в технологии микроэлектроники: учеб. пособие / Моск. гос. ин-т электроники и математики. М., 2006. 36 с.

101. Richtmyer R.D. Taylor instability in shock acceleration of compressible fluids // Comm. Pure. Appl.Math. 1960. Vol. 13. P. 297-319.

102. Ройх И.JI., Колтунова Л.Н., Федосов С.Н. Нанесение защитных покрытий в вакууме. М.: Машиностроение, 1976. 368 с.

103. Хирс Д., Паунд Г. Испарение и конденсация. М.: Металлургия, 1966. 195 с.

104. Zhitomirsky V.N., Grimberg I., Rapoport L., Boxman R.L., Travitzky N.A., Goldsmith S. and Weiss B.Z. Bias voltage and incidence angle effects on the structure and properties of vacuum arc deposited TiN coatings // J. Surf. Coat. Technol. 2000. Vol. 133-134. P. 114-120.

105. Uglov V.V., Kuleshov A.K., Anishchik V.M., Khodasevich V.V., Danilionok M.M. and Zlotski S.V. Combined Vacuum-Arc Deposition of Protective Coatings on Basis of Transition Metals Nitrides Solid Solution. URL: http://conferences-2008.hcei. tsc.ru/cat/proc_2008/cmm/491 -494.pdf

106. Богданович В.И., Барвинок B.A. Системный анализ технологических методов обработки: учеб. пособие / КуАИ. Куйбышев, 1989. 68 с.

107. Клебанов Ю.Д., Мусатов В.Н., Сумароков В.Н. О предельной температуре подложки при нанесении покрытий испарением и конденсацией в вакууме // Физико-химическая обработка материалов. 1980. № 3. С. 60-63.

108. Бобров Г.В., Ильин А.А. Нанесение неорганических покрытий (теория, технология, оборудование). М.: Интермет Инжиниринг, 2004. 624 с.

109. Анищенко Л.М., Лавренюк С.Ю. Тепловые режимы подложек при нанесении пленочных покрытий // Физика и химия обработки материалов. 1981. № 2. С. 21-25.

110. Марков А.А., Внуков Ю.Н. К вопросу об оптимизации технологического процесса напыления на установках типа «БУЛАТ» // Совершенствование методов обработки в станкостроении: тез. докл. Всесоюз. науч.-техн. конф. / НИИМАШ. М., 1983. С. 107-109.

111. Мрочек Ж.А., Вершина А.К., Латушкина С.Д. Влияние технологических параметров процесса осаждения TiN-покрытий на их защитные свойства // Технология ремонта, восстановления и упрочнения деталей машин, механизмов, обору-

дования, инструмента и технологической оснастки: материалы 5-й междунар. практ. конф.-выставки. СПб., 2003. С. 36-39.

112. Андреев А.А., Шулаев В.М., Горбань В.Ф., Столбовой В.А. Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства // Физическая инженерия поверхности. 2007. Т. 5, № 3-4. С. 203-206.

113. Барвинок В.А., Богданович В.М., Митин Б.С., Бобров Г.В. Закономерности формирования покрытий в вакууме // Физика и химия обработки материалов. 1985. №5. С. 128-135.

114. Мизина В.В. Моделирование начальных стадий роста пленок на подложках: дис. ... канд. физ.-мат. наук / Сев.-Кавказ. гос. техн. ун-т. Ставрополь, 2006. 138 с.

115. Thobor A., Rousselot С., Clement С., Takadoum J., Martin N., Sanjines R., Levy F. Enhancement of mechanical properties of TiN/AIN multilayers by modifying the number and the quality of interfaces // Surface and Coatings Technology. 2000. № 124. P. 210-221.

116. Дробышевская A.A., Сердюк Г.А., Фурсова E.B., Береснев В.М. Нано-композитные покрытия на основе нитридов переходных металлов // ФИП. 2008. Т. 6, № 1-2. С. 81-88.

117. Стрелюхин В.А., Базыма В.И., Абрагимович В.В. Способ упрочнения инструмента и деталей: пат. 2019575 РФ: МПК С23С14/32. Опубл. 15.09.1994.

118. Ройтбурд A.JI. Теория формирования гетерофазной структуры при фазовых превращениях в твердом состоянии // Успехи физических наук. 1974. Т. 113, вып. 1. С. 69-104.

119. Буравихин В.А., Попов В.П., Горохов В.И. О причинах изменения температуры пленок в процессе конденсации их в вакууме // Физико-химическая обработка материалов. 1970. Т. 29, вып. 6. С. 1314-1316.

120. Хирс Дж. П., Хруска С. Дж., Паунд Г.М., Теория образования зародышей при осаждении на подложках // Монокристаллические пленки / под ред. З.Г. Пин-скера. М.: Мир, 1966. С. 15-43.

121. Ohring М. Materials Science of Thin Films: Deposition and Structure // The materials science of thin films. San Diego: Academic press. 1992. P. 724.

122. Petrov I., Barna P.B., Hultman L., Greene J.E. Microstructural evolution during film growth // J. of Vacuum Science and Technology. 2003. Vol. A 21, № 5. P. 117-128.

123. Barna Р.В., Radnoczi G.and Reicha F.M. Surface growth topography of grain boundaries in A1 thin films // Vacuum. 1988. Vol. 38. P. 527-532.

124. Adamik M., Barna P.B., Tomov L., Biro D. Problems of structure evolution in poly crystalline films: correlation between grain morphology and texture formation mechanisms // Pkys. Stat. Sol. (a). 1994. Vol. 145. P. 275.

125. Barna P.B., Adamik M. Formation and characterisation of the structure of surface coatings in protective coatings and thin films: synthesis, characterisation and applications // Y. Paleau, B. Barna (eds.). Kluwer Academic Publisher. 1997. Vol 21. P. 279-297.

126. Смоланов H.A., Панькин H.A. Влияние ионно-плазменной обработки на механические свойства изделий для производства кабеля // Вестник СГТУ. Физико-математические науки. 2004. № 27. С. 175-178.

127. Белянин А.Ф., Самойлович М.И., Дзбановский Н.Н., Пащенко П.В., Тимофеев М.А. Особенности формирования наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза // Высокие технологии в промышленности России: материалы XIII междунар. науч.-техн. конф. М.: Изд-во ЦНИТИ «Техномаш», 2007. С. 22-35.

128. Григорьев Ф.И. Осаждение тонких пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков в технологии микроэлектроники: учеб. пособие / Моск. гос. ин-т электроники и математики. М., 2006. 36 с.

129. Панькин Н.А. Влияние условий конденсации ионно-плазменного потока на структуру и свойства покрытий нитрида титана: дис. ... канд. физ.-мат. наук / Морд. гос. ун-т им. Н.П. Огарева. Саранск, 2008. 118 с.

130. Белянин А.Ф., Бульенков Н.А., Корсун Г.И., Тер-Маркарян А.А. Сильно-текстурированные пленки A1N, выращенные методом высокочастотного магне-тронного распыления // Техника средств связи. М.: ЭКОС, 1987. Вып. 1. С. 35-44.

131. Колесник JI.JI. Повышение однородности состава и равномерности толщины многослойных тонкопленочных покрытий на поверхностях большого размера: дис. ...канд. техн. наук / МГТУ им. Н.Э. Баумана. М., 2009. 143 с.

132. Flink A. Growth and Characterization of Ti-Si-N Thin Films: PhD thesis. Linkoping, Sweden: Linkoping University, 2008. 70 p.

133. Гончаренко И.М., Иванов Ю.Ф., Колубаева Ф.А. [и др.]. Формирование нанокристаллических Ti-Cu-N-покрытий в плазме дуговых разрядов низкого дав-

ления // Вакуумные нанотехнологии и оборудование: сб. докл. VII междунар. конф. / ННЦ ХФТИ. Харьков: Контраст, 2006. С. 221-225.

134. Kaelson L., Haltman L., Sundgren J.E. Influence of residual stresses on mechanical properties TiCxNii_, // Thin Solid Films. 2000. Vol. 371, № 1-2. P. 167-177.

135. Аникин B.H., Блинков И.В., Кратохвил P.B., Левкович Н.Г., Пацюра В.Ф. Упрочнение твердосплавных пластин под воздействием ионов средних энергий // Технология ремонта, восстановления и упрочнения деталей машин, механизмов, оборудования, инструмента и технологической оснастки: материалы 5-й междунар. практ. конф.-выставки. СПб., 2003. С. 334-340.

136. Аникеев В.Н., Дороднов A.M., Ивашкин А.Б. [и др.]. О выборе оптимальных режимов нанесения покрытий с помощью электродинамического квазистационарного ускорителя плазмы // Физика и химия обработки материалов. 1982. № 4. С. 56-60.

137. Mayrhofer Р.Н., Mitterer С., Hultman L., Clemens H. Microstructural design of hard coatings // Progress in Materials Science, 2006. Vol. 51. P. 1032-1114.

138. Тополянский П.А. Электроплазменные процессы нанесения упрочняющих покрытий на режущий инструмент и технологическую оснастку // Технология ремонта, восстановления и упрочнения деталей машин, механизмов, оборудования, инструмента и технологической оснастки: материалы 8-й междунар. практ. конф.-выставки. СПб., 2006. С. 92-111.

139. Kadlec S., Musil J., Vyskocil J. Growth and properties of hard coating prepared by physical vapor deposition methods // Surface and Coatings Technology. 1992. № 54/55. P. 287-296.

140. Thompson C.V. Structure evolution during processing of polycrystalline films //Annu. Rev. Mater. Sci. 2000. Vol. 30. P. 159-190.

141. Азаренков H.A., Береснев B.M., Погребняк А.Д., Маликов Л.В., Турбин П.В. Наноматериалы, нанопокрытия, нанотехнологии / Харьк. нац. ун-т им. В.Н. Каразина. Харьков, 2009. 209 с.

142. Kobashi К., Nishimura К., Kawate Y., Horiuchi T. // Synthesis of diamond by use of microwave plasma chemical-vapor deposition; morphology and growth of diamond films // Phys. Rev. 1988. Vol. 38. P. 4067-4084.

143. Бочкарев В.Ф., Горячев A.A., Наумов В.В. Установка для получения тонких пленок методом ионно-плазменного распыления: пат. 2046840 РФ: МПК С23С14/32, С23С14/00. Опубл. 27.10.1995.

144. Григорьев С.Н., Волин Э.М. Способ нанесения сложнолегированного покрытия на изделия ионно-плазменным методом в реактивной среде: пат. 2022058 РФ: МПК С23С14/32. Опубл. 30.10.1994.

145. Верещака A.C., Болотников Г.В., Кириллов А.К., Волин Э.М., Куванов М.К. Многослойное композиционное покрытие на режущий и штамповый инструмент: пат. №2096518 РФ: МПК С23С14/32. Опубл. 20.11.1997.

146. Табаков В.П., Циркин A.B., Чихранов A.B. Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента: пат. 2253694 РФ: МПК С23С14/06, С23С14/32. Опубл. 10.06.2005.

147. Табаков В.П., Циркин A.B., Чихранов A.B. Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента: пат. 2260633 РФ: МПК С23С14/06, С23С30/00, В23В27/14. Опубл. 20.09.2005.

148. Табаков В.П., Циркин A.B. Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента: пат. 2266350 РФ: МПК С23С14/06, С23С14/24. Опубл. 20.12.2005.

149. Табаков В.П., Ширманов H.A., Смирнов М.Ю., Циркин A.B. Способ повышения стойкости режущего инструмента: пат. 2219281 РФ: МПК С23С14/00, С23С14/06. Опубл. 20.12.2003.

150. Табаков В.П., Циркин A.B. Способ повышения стойкости режущего инструмента: пат. 2266974 РФ: МПК С23С14/06, С23С14/24. Опубл. 27.12.2003.

151. Табаков В.П., Ширманов H.A., Циркин A.B., Чихранов A.B., Порохин С.С. Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента: пат. 2266975 РФ: МПК С23С14/06, С23С14/48. Опубл. 27.12.2005.

152. Табаков В.П., Циркин A.B., Чихранов A.B.Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента: пат. 2253693 РФ: МПК С23С14/06, С23С14/32. Опубл. 10.06.2005.

153. Табаков В.П., Циркин A.B., Чихранов A.B. Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента: пат. 2253694 РФ: МПК С23С14/06, С23С14/32. Опубл. 10.06.2005.

154. Разработка технологического процесса нанесения покрытия TiN на осевой инструмент из быстрорежущей стали: отчет о НИР / Ульян, гос. техн. ун-т; рук. В.П. Табаков. Ульяновск, 1986. № ГР 0184 0058717. 113 с.

155. Каменева A.JL, Александров Д.В., Белянин А.Ф., Житковский В.Д., Са-мойлович М.И. Пленки ALN, ZrN, TiZrN: технологические особенности формирования // Нанотехнологии и фотонные кристаллы: материалы II межрег. сем. Калуга, 2004. С. 232-249.

156. Каменева A.JL, Александров Д.В., Белянин А.Ф., Житковский В.Д., Са-мойлович М.И. Структурные и морфологические особенности упрочняющих покрытий, получаемых методами магнетронного распыления и вакуумного испарения // Нанотехнологии и фотонные кристаллы: материалы II межрег. сем. Калуга, 2004. С. 126-168.

157. Белянин А.Ф., Самойлович М.И., Александров Д.В., Житковский В.Д., Каменева A.JI. Использование термозащитных покрытий на основе A1N в электронной технике // Тонкие пленки в электронике: материалы XVI междунар. симп. М., 2004. С. 348-354.

158. Белянин А.Ф., Самойлович М.И., Александров Д.В., Житковский В.Д., Каменева A.JI. Пленки A1N как защитное покрытие измерительных датчиков // Тонкие пленки в электронике: материалы XVI междунар. симп. М., 2004. С. 357359.

159. Белянин А.Ф., Самойлович М.И., Александров Д.В., Житковский В.Д., Каменева A.JI. Многослойные защитные покрытия термопечатающих матриц на основе A1N // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения: материалы междунар. науч.-практ. конф. INTERMATIC-2004 / МГИРЭА (ТУ). М., 2004. С. 31-34.

160. Белянин А.Ф., Самойлович М.И., Александров Д.В., Житковский В.Д., Каменева A.JI. Пленочные покрытия на основе A1N для измерительных датчиков // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения: материалы междунар. науч.-практ. конф. INTERMATIC-2004 / МГИРЭА (ТУ). М., 2004. С. 35-37.

161. Панфилов Ю.В. Электронные технологии и вакуумное технологическое оборудование - основа нанотехнологии // Высокие технологии в промышленности России: матералы XI междунар. науч.-техн. конф. М., 2003. С. 124-130.

162. Каменева A.JI., Сушенцов Н.И., Клочков А.Ю. Модернизация и автоматизация промышленного вакуумного оборудования для получения многофункциональных покрытий // Технология металлов. 2010. № 9. С. 39-43.

163. Cotrut С.М., Vladescu A., Antoniac I., Kiss A., Zamfir R., Zoita C.N., Braic M., Braic V. Corrosion resistance of the biocompatible nitride and carbide thin films // European Cells and Materials, 2007. Vol. 13. Suppl. 3. P. 1473-2262. http ://www. ecmj ournal. org/j ournal/supplements/volO 13 supp03/pdf/vol013 supp03 a34.

164. Каменева А.Л., Клочков А.Ю. Особенности получения наноструктуриро-ванных ионно-плазменных пленок с заданными свойствами: моногр. Пермь: Изд-во Перм. гос. техн. ун-та, 2010. 81 с.

165. Каменева А.Л., Караваев Д.М., Пепелышев А.В., Пименова Н.В. Методики изучения трибологических характеристик пленок // Технология металлов. 2012. № 2. С. 34-37; № 3. С. 48-52.

166. Ханов A.M., Каменева А.Л., Клочков А.Ю., Новиков Р.С. Разработка процессов получения наноструктурированных ионно-плазменных пленок с заданными свойствами // Науч.-иссл. и опытно-констр. работы (НИОКР) / Перм. науч. центр Урал, отд-ния РАН, Администрация Перм. края, Совет ректоров вузов Перм. края. Пермь, 2010. [перечень-вып. 7]. С. 34-35.

167. Разработка и оптимизация технологий получения упрочняющих и защитных покрытий: отчет о НИОКР: в 4 ч. / М-во пром. и природ, ресурсов Перм. края; Перм. гос. техн. ун-т; рук. Анциферов В.Н.; исполн. 1-й части: Ханов A.M., Каменева А.Л., Сушенцов Н.И.; исполн. 2, 3, 4-й частей: Ханов A.M., Каменева А.Л. Пермь, 2006.

168. Wen-Jun Chou. Processing and Properties of Metal Nitride Thin Films Deposited by PVD Methods: PhD thesis. The Republic of China: National Tsing Hua University, 1992. 177 c.

169. Dobrzanski L.A., Lukaszkowicz K. Mechanical properties of monolayer coatings deposited by PVD techniques // Materials Science and Engineering. 2007. Vol. 28. № 9. P. 549-556.

170. Шулаев B.M., Андреев А.А., Горбань В.Ф., Столбовой В.А. Сопоставление характеристик вакуумно-дуговых наноструктурных TiN покрытий, осаждаемых при подаче на подложку высоковольтных импульсов // ФИП. 2007. Т. 5, № 1-2. С. 94-97.

171. Mayrhofer P.H., Mitterer С., Musil J. Structure property relationships in single- and dual-phase nanocrystalline hard coatings // Surface and Coatings Technology. 2003. Vol. 174-175. P. 725-731.

172. Manory R.R., Kimmel G. X-ray characterization of TiNx films with CaF2-type structure // Thin Solid Films. 1987. Vol. 150. P. 277-282.

173. Шулаев B.M. Новые результаты исследований причин прироста твердости в наноструктурных покрытиях нестехиометрического кубического нитрида титана//Вестник ХНАДУ. 2010. Вып. 51. С. 130-134.

174. Musil J. Hard and superhard nanocomposite coatings // Surf. Coat. Technol, 2000. Vol. 125. P. 322-330.

175. Yang Sheng-Min, Chang Yin-Yu, Wang Da-Yung, Lin Dong-Yih, Wu WeiTe. Mechanical properties of nano-structured Ti-Si-N films syn-thesized by cathodic arc evaporation // Journal of Alloys and Compaunds. 2007. Vol. 440. P. 375-379.

176. Андреев А.А., Григорьев C.H., Горбань В.Ф., Столбовой B.A., Шулаев B.M. Вакуумно-дуговые наноструктурные TiN покрытия // Вестник МГТУ «Станкин». 2010. № 3. С. 14-17.

177. PalDey S., Deevi S.С. Single layer and multilayer wear resistant coatings of (Ti,Al)N: a review // Materials Science and Engineering. 2003. Vol. A342. P. 58-79.

178. Balaceanu M., Braic V., Braic M., Manea A., Tudor I., Popescu A., Pave-lescu G. Arc plasma deposition of TiN/ZrN and TiN/(Ti,Zr)N superlattice hard coatings // of 16th International sysposium on Plasma Chemistry. Taormina, Italy, June 22-27 2003.

179. Balaceanu M., Braic M., Macovei D., Genet M., Manea A., Pantelica D., Braic V., Negoita F. Pproperties of titanium based hard coatings deposited by the cathodic arc method. Microchemical and microstructural characteristics // Journal of Optoelectronics and Advanced Materials. 2002. № 4. P. 107-114.

180. Табаков В.П., Чихранов A.B. Определение механических характеристик износостойких ионно-плазменных покрытий на основе нитрида титана // Изв. Са-мар. науч. центра Рос. академии наук. 2010. Т. 12, № 4. С. 292-297.

181. Табаков В.П. Многоэлементные нитридные покрытия режущего инструмента. URL: http://www.nbuv.gov.Ua/portal/natural/Rits/2008_75/articles/51 .htm.

182. Табаков В.П., Чихранов А.В. Износостойкие покрытия режущего инструмента, работающего в условиях непрерывного резания / Ульян, гос. техн. ун-т. Ульяновск, 2007. 255 с.

183. Табаков В.П., Езерский В.И. Повышение работоспособности режущего инструмента путем направленного изменения состава износостойкого покрытия // Вестник машиностроения. 1989. № 12. С. 43-46.

184. Табаков В.П., Рандин А.В. Влияние конструкции ионно-плазменных покрытий на величину остаточных напряжений и прочность сцепления с инструментальной основой // Фундаментальные и прикладные проблемы технологии машиностроения: материалы междунар. науч.-техн. интернет-конф. Орел, 2002. С. 192195.

185. Dobrzanski L.A., Staszuk М., Pawlyta М., Kwasny W., Pancielejko M. Characteristics of Ti(C,N) and (Ti,Zr)N gradient PVD coatings deposited ontosinter // Journal of Achievements in Materials and Manufacturing Engineering. 2008. Vol. 31, № 2. P. 629-634.

186. Эйзнер А.Б. Трибологические свойства вакуумно-плазменных покрытий (Ti,Zr)N, осажденных при различных значениях опорного напряжения. URL: http://rudocs.exdat.com/docs/index-47361 .html

187. Циркин А.В. Новое износостойкое многослойное покрытие как способ многократного повышения стойкости торцовых фрез. URL: http://www.sciteclibrary. ru/rus/catalog/pages/6069.html.

188. Santana A.E., Karimi A., Derflinger V.H.. Schuetze A. Thermal treatment effects on microstructure and mechanical properties of TiAIN thin films // Tribology Letters. 2004. Vol. 17, № 4. P. 689-695.

189. Сергеев В.П., Федоршцева M.B., Воронов A.B., Сергеев О.В., Яновский В.П., Псахье С.Г. Трибомеханические свойства и структура нанокомпозит-ных покрытий Ti^AUN // Известия ТПУ. 2006. Т. 309, № 2. С. 149-153.

190. Musil J., Hruby Н. Superhard nanocomposite Tii-XA1XN films prepared by magnetron sputtering // Thin Solid Films. 2000. Vol. 365, № 1. P. 104-109.

191. Musil J., Vcek J. Магнетронное осаждение твердых нанокомпозитных покрытий и их свойства // Surface and Coatings Technology. 2001. Vol. 142-144. P. 557-566.

192. Meng-Ko Wu, Jyh-Wei Lee, Yu-Chen Chan, Hsien-Wei Chen, Jenq-Gong Duh. Influence of bilayer period and thickness ratio on the mechanical and tribological properties of CrSiN/TiAIN multilayer coatings // Surface and Coatings Technology. 2011. Vol. 206, № 7. P. 1886-1892.

193. Shum P.W., Li K.Y., Zhou Z.F., Shen Y.G. Structural and mechanical properties of titanium-aluminium-nitride films deposited by reactive close-field unbalanced magnetron sputtering // Surface and Coatings Technology. 2004. Vol. 185, № 2-3. P. 245-253.

194. Horling A., Hultman L., Oden M., Sjolen J., Karlsson L. Mechanical properties and machining performance of Tii^ALJM-coated cutting tools // Surface Coatings Technology. 2005. Vol. 191. P. 384-392.

195. Belous V.A., Vasyliev V.V., Goltvyanytsya V.S., Goltvyanytsya S.K., Lu-chaninov A.A., Reshetnyak E.N., Strel'nitskij V.E., Tolmacheva G.N., Danylina O. Structure and properties of Ti-Al-Y-N coatings deposited from filtered vacuum-arc plasma // Surface and Coatings Technology. 2011. Vol. 206. P. 1720-1726.

196. Kutschej K., Mayrhofer P.H., Kathrein M., Polcik P., Tessadri R., Mitterer C. Structure, mechanical and tribological properties of sputtered til-xalxn coatings with 0.5<x<0.75 // Surface and Coatings Technology. 2005. Vol. 200, № 7. P. 2358-2365.

197. Локтев Д., Ямашкин E. Основные виды износостойких покрытий // На-ноиндустрия. 2007. № 5. С. 24-30.

198. Береснев В.М. Влияние многокомпонентных и многослойных покрытий на процессы трения и износа // ФИЛ. 2004. Т. 2, № 4. С. 214-219.

199. Applied tool coating technology // www.star-su.com.

200. PLATIT// http://www.technopolice.ru/index.php/platit.html

201. Chu K., Shum P.W., Shen Y.G. Substrate bias effects on mechanical and tribological properties of substitutional solid solution (Ti, A1)N films prepared by reactive magnetron sputtering // Materials Science and Engineering: B. 2006. Vol. 131, № 1-3. P. 62-71.

202. Ruo-xuan Huanga, Zheng-bing Qib, Peng Sunb, Zhou-cheng Wangb, Chong-hu Wuc. Influence of substrate roughness on structure and mechanical property of TiAIN coating fabricated by cathodic arc evaporation // The Fourth International Conference on Surface and Interface Science and Engineering. 2011. Vol. 160-167. P. 1875-1892.

203. Ryabchikov A.I., Ryabchikov I.A., Stepanov I.B., Sivin D.O., Eremin S.E. Plasma Immersion Ion Charge State and Mass Spectrometer // Изв. вузов. Физика. 2006. № 8. С. 530-533.

204. Береснев В.М., Федоренко А.И., Гриценко В.И, Перлов Д.Л. Исследование фрикционных свойств композиционных покрытий, полученных вакуумно-дуговым методом // ФИП. 2003. Т. 1, № 2. С. 180-183.

205. Анциферов В.Н., Бездудный Ф.Ф., Белянчиков Л.Н., Бецофен С.Я., Бон-даренко Г.Г. [и др.]. Новые материалы. М.: Изд-во МИСИС, 2002. 736 с.

206. Белянин А.Ф., Самойлович М.И. Пленки алмаза и алмазоподобных материалов: формирование, строение и применение в электронике // Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства электронной техники): моногр. сб. М.: Изд-во ЦНИТИ «Техномаш», 2003. С. 19-110.

207. Анциферов В.Н., Каменева А.Л. Изучение процессов формирования пленок на основе Ti-Al-N в неравновесных условиях электродугового испарения // Высокие технологии в промышленности России: материалы XIV междунар. науч,-техн. конф. М.: Изд-во ЦНИТИ «Техномаш», 2008. С. 430-438.

208. Марков В.Ф., Маскаева Л.Н. Определение периода кристаллической решетки и состава химически осажденных пленок твердых растворов замещения: учеб. электрон, текст, изд. / под ред. Ю.Н. Макурина. Екатеринбург: Изд-во УГТУ-УПИ, 2005. 20 с.

209. Holec D., Rachbauer R., Chen L., Wang L., Luef D., Mayrhofer P.H. Phase stability and alloy-related trends in Ti-Al-N, Zr-Al-N and Hf-Al-N systems from first principles // Surface Coatings Technology. 2011. Vol. 206. P. 1698-1704.

210. Wustefeld Ch., Rafaja D., Dopita M., Motylenko M., Baehtz C., Michotte C., Kathrein M. Decomposition kinetics in Tii_xAlxN coatings as studied by in-situ X-ray diffraction during annealing // Surface Coatings Technology. 2011. Vol. 206. P. 17271734.

211. Straumanis M.E., Faunce C.A., James W.J. The defect structure and bonding of zirconium nitride containing excess nitrogen. Inorg. Chem. 1966. Vol. 5, № 11. P. 2027-2030.

212. Лоладзе Т.Н. Прочность и износостойкость режущего инструмента. М.: Машиностроение, 1982. 320 с.

213. Андриевский Р.А. Синтез и свойства фаз внедрения // Успехи химии. 1997. № 66 (1). С. 57-76.

214. Hoglund С. Growth and Phase Stability Studies of Epitaxial Sc-Al-N and Ti-Al-N Thin Films // Dissertation. Linkoping University, Sweden, 2010. 118 p.

215. Procopio A.T., El-Raghy Т. and Barsoum M.W. Synthesis of Ti4AlN3 and Phase Equilibria in the Ti-Al-N System // Met. Mater. Trans. 2000. Vol. 31 A. P. 373-378.

216. Каменева A.JI., Караваев Д.М. Улучшение трибологических характеристик пленок на основе ZrN путем оптимизации технологических условий процесса магнетронного распыления // Освоение минеральных ресурсов Севера: проблемы и решения: сб. тр. 9-й междунар. науч.-практ. конф. / Филиал СПГГИ (ТУ) «Вор-кутинский горный институт». Воркута, 2011. С. 289-293.

217. Baptista А.Р.М. Friction and wear of TiN coatings contribution of CETRIB / INEGI to the TWA 1-1993 VAMAS round-robin // Wear. 1996. Vol. 192. P. 237-240.

218. Петржик М.И., Штанский Д.В., Левашов E.A. Современные методы оценки механических и трибологических свойств функциональных поверхностей // Высокие технологии в промышленности России: материалы X междунар. науч.-техн. конф. М.: Изд-во ЦНИТИ «Техномаш», 2004. С. 311-318.

219. Milosev I., Strehblow Н.-Н., Navinsek В. Oxidation of ternary TiZrN hard coatings studied by XPS // Surface and Interface Analysis. 1998. Vol. 26, № 4. P. 242-248.

220. Каменева А.Л. Износостойкое и коррозионностойкое покрытие на основе TiC-(Ti,Zr)N- TiC для повышения стойкости режущего инструмента в горнодобывающей промышленности // Народное хозяйство Республики Коми: науч.-техн. журн. / Воркут. горн. ин-т. Воркута, 2011. Т. 20, № 1. С. 93-97.

221. Каменева А.Л. Установление корреляционной связи процесса формирования пленок на основе Ti-Al-N методом электродугового испарения с процессами, протекающими на поверхности испаряемых катодов // Вестник МГТУ им. Г.И. Носова. Магнитогорск, 2010. № 3. С. 42-44.

222. Каменева А.Л. Установление корреляционной связи процесса формирования пленок на основе Ti-Al-N методом электродугового испарения и процессами, протекающими на поверхности испаряемых катодов Ti-Al-N // Вестник ПГТУ. Машиностроение, материаловедение. 2010. Т. 12, № 4. С. 138-145.

223. Белянин А.Ф., Каменева А.Л., Самойлович М.И. Изучение рельефа областей распыления мишеней из экзотермической смеси Ti-B-Si и сплава системы Ti-B-Si, развивающегося в условиях ограниченного охлаждения под воздействием ионов в процессе формирования тонких пленок методом магнетронного распыле-

ния // Молодежная наука Верхнекамья: материалы четвертой регион, конф. / Бе-резн. фил. ПГТУ. Березники, 2007. С. 140-152.

224. Анциферов В.Н., Каменева A.J1. Изучение морфологических особенностей рельефа на поверхности титановой мишени при бомбардировке ионами // От наноструктур, наноматериалов и нанотехнологий к наноиндустрии: тез. докл. все-рос. конф. с междунар. интернет-участием. Ижевск, 2007. С. 15.

225. Каменева A.JI. Изучение свойств наноразмерных покрытий, наследуемых в процессе формирования // Конструкции из композиционных материалов. 2006. №4. С. 231-234.

226. Каменева A.JI., Гусельникова JI.H., Сошина Т.О. Изучение стадий формирования поликристаллических пленок нитрида титана методом электродугового испарения в зависимости от концентрации азота в газовой смеси // Нанотехнологии функциональных материалов НФМ'10: материалы междунар. науч.-техн. конф. СПб.: Изд-во Политехи, ун-та, 2010. С. 409-411.

227. Каменева A.JI., Сошина Т.О., Гусельникова Л.Н. Установление зависимости стадий формирования поликристаллических пленок нитрида титана методом электродугового испарения от напряжения смещения на подложке // Нанотехнологии функциональных материалов НФМ'10: материалы междунар. науч.-техн. конф. СПб.: Изд-во Политехи, ун-та, 2010. С. 86-88.

228. Каменева А.Л., Белянин А.Ф., Самойлович М.И. Изучение морфологических особенностей формирования покрытий на основе ZrN, Ti-Zr-N и Ti-B-Si-N, осажденных методами вакуумного испарения и магнетронного распыления // Оборудование и технологии термической обработки металлов и сплавов. Функциональные покрытия для повышения качества поверхностей изделий машиностроения: сб. докл. 7-й междунар. конф. Харьков, 2006. С. 47-58.

229. Каменева А.Л., Сошина Т.О. Низкотемпературные способы осаждения ионно-плазменных пленок // Высокие технологии в промышленности России: материалы XVII междунар. науч.-техн. конф. М.: Изд-во ЦНИТИ «Техномаш», 2011. С. 241-246.

230. Каменева А.Л., Сушенцов Н.И., Клочков А.Ю. Установление зависимости морфологии, свойств, теплового и напряженного состояния пленок от технологических параметров магнетронного распыления // Технология металлов. 2010. № 11. С. 38-42.

231. Каменева А.Л., Сушенцов Н.И., Клочков А.Ю. Установление зависимости морфологии, свойств, теплового и напряженного состояния пленок от технологических параметров электродугового испарения // Технология металлов. 2010. № 10. С. 41-47.

232. Каменева А.Л. Изучение влияния технологических условий формирования пленок методом магнетронного распыления на их реальную структуру // Высокие технологии в промышленности России: материалы XV междунар. науч.-техн. конф. М.: Изд-во ЦНИТИ «Техномаш», 2009. С. 500-515.

233. Анциферов В.Н., Каменева А.Л., Сметкин A.A., Торсунов М.Ф. Получение и изучение механизма роста ионно-плазменных наноструктурированных пленок на основе ZrN // Нанотехнологии и наноматериалы Пермского края / Перм. ЦНТИ. Пермь, 2009. С. 11-20.

234. Каменева А.Л., Ханов A.M. Влияние технологических и конструктивных особенностей источника плазмы на процесс формирования и стадии роста плазменных покрытий // Технология ремонта, восстановления и упрочнения деталей машин, механизмов, оборудования, инструмента и технологической оснастки: материалы 8-й междунар. практ. конф.-выставки. СПб., 2006. С. 45-56.

235. Каменева А.Л., Демин Д.Ю., Гриднев П.С., Чебукин Е.А., Трофимов Е.М. Изучение условий формирования многослойных тонкопленочных покрытий на основе Ti-Zr-N // Молодежная наука Верхнекамья: материалы второй регион, конф. / Березн. фил. ПГТУ. Березники, 2005. С. 64-67.

236. Каменева А.Л., Анциферов В.Н., Вдовин С.М., Шестаков Е.А., Трофимов Е.М. Изучение структуры наноразмерных покрытий на основе Ti-Zr-N на всех стадиях процесса вакуумно-дугового осаждения // Пленки и покрытия - 2007: тр. 8-й междунар. конф. СПб., 2007. С. 154-156.

237. Анциферов В.Н., Каменева А.Л., Пименова Н.В., Клочков А.Ю. Изучение структуры ионно-плазменных наноструктурированных покрытий на всех стадиях процесса осаждения // Новые перспективные материалы и технологии их получения: сб. науч. тр. междунар. конф. Волгоград: Изд-во ВолгГТУ, 2007. С. 20-22.

238. Анциферов В.Н., Каменева А.Л., Пименова Н.В. Изучение структуры и формирования наноразмерных ионно-плазменных покрытий // Высокие технологии в промышленности России: материалы XIII междунар. науч.-техн. конф. М.: Изд-во ЦНИТИ «Техномаш», 2007. С. 328-335.

239. Анциферов В.Н., Каменева A.JI. Экспериментальное исследование строения многокомпонентных наноразмерных пленок, сформированных ионно-плазменными методами // Изв. вузов. Порошковая металлургия и функциональные покрытия. 2007. № 1. С. 53-61.

240. Каменева A.JI., Штейникова В.В. Изучение неравновесных метастабиль-ных состояний пленок на основе Ti-Al-N, формируемых с помощью различных источников плазмы // Конструкции из композиционных материалов. 2009. № 4. С. 64-70.

241. Каменева A.JI. Установление условий формирования поликристаллических пленок на основе Ti-Al-N // НАНО-2011: материалы 4-й всерос. конф. по на-номатериалам / Ин-т металлургии и материаловедения им. A.A. Байкова РАН. М., 2011. С. 339.

242. Каменева A.JI., Сушенцов Н.И., Трофимов Е.М. Изучение влияния технологических и температурных условий формирования пленок на основе Ti-Al-N методом электродугового испарения на их структуру, свойства, механизм и стадии формирования // Вестник ПГТУ. Машиностроение, материаловедение. 2010. Т. 12, № 1. С. 63-75.

243. Каменева А.Д., Трофимов Е.М., Шестаков Е.А., Вдовин С.М. Исследование стадий роста многокомпонентных наноструктурированных покрытий на основе Ti-B-Si-N, формируемых методом магнетронного распыления // Материалы и технологии XXI века: материалы IV междунар. науч.-техн. конф. Пенза, 2006. С. 10-13.

244. Каменева A.JI. Влияние технологических и конструктивных особенностей источника плазмы на процесс формирования и стадии роста наноструктурированных покрытий на основе Ti-B-Si-N при магнетронном распылении // Вестник ПГТУ. Механика и технология материалов и конструкций. 2006. № 9. С. 7-16.

245. Каменева A.JI., Вдовин С.М., Шестаков Е.А., Трофимов Е.М. Формирование многокомпонентных наноструктурированных покрытий методом магнетронного распыления // Современные технологии в машиностроении: материалы IX науч.-практ. конф. / Приволж. дом знаний. Пенза, 2005. С. 54-56.

246. Каменева A.JI., Белянин А.Ф., Самойлович М.И., Пащенко П.В., Каменева А.Л., Трофимов Е.М. Изучение особенностей формирования многокомпонент-

ных тонкопленочных покрытий на основе TiBSiN // Тонкие пленки в электронике: материалы XVII междунар. симп. МГТУ им. Н.Э. Баумана. М., 2005. С. 481-487.

247. Каменева A.JI. Особенности получения наноструктрированных покрытий методом магнетронного распыления // Пленки и покрытия - 2007: тр. 8-й Междунар. конф. СПб., 2007. С. 157-159.

248. Каменева A.JL, Сапегин Г.А. Особенности формирования наноструктурированных пленок ионно-плазменными методами // Физикохимия ультрадисперсных (нано-) систем: материалы VIII Всерос. конф. Белгород: Изд-во МИФИ, 2008. С. 118-119.

249. Каменева A.JL, Александров Д.В. Исследование дефектности поверхности с помощью системы микроанализа «Видео-Тест-Мастер» // Проблемы и перспективы развития железнодорожного транспорта: материалы всерос. науч.-техн. конф. Екатеринбург, 2003. С. 150-154.

250. Каменева А.Л., Самойлович М.И., Житковский В.Д., Александров Д.В., Белянин А.Ф. Использование компьютерной металлографии при исследовании структуры тонкопленочного покрытия // Высокие технологии в промышленности России и особенности преподавания в техническом вузе: материалы регион, науч.-практ. конф. Березники, 2004. С. 117-119.

251. Анциферов В.Н., Каменева А.Л. Структурообразование (наноструктури-рование) пленок ионно-плазменными методами (обзор) // Высокие технологии в промышленности России: материалы XIV междунар. науч.-техн. конф. М.: Изд-во ЦНИТИ «Техномаш», 2008. С. 448-453.

252. Каменева А.Л. Изменение процесса структурообразования, фазового состава и механических свойств ионно-плазменных пленок TiN под влиянием тока дуги // Конструкции из композиционных материалов. 2011. № 2. С. 60-70.

253. Анциферов В.Н., Каменева А.Л. Изучение процесса структурообразования ионно-плазменных пленок на основе тугоплавких соединений в зависимости от температурных условий формирования // Материаловедение тугоплавких соединений: тр. II междунар. Самсоновской конф. Киев, 2010. С. 133.

254. Каменева А.Л., Анциферов В.Н. Изучение особенностей строения пленочных покрытий, полученных в условиях ионно-плазменных методов // Современные информационные и электронные технологии. СИЭТ-2007: тр. 8-й междунар. науч.-практ. конф. / Одес. нац. политехи, ун-т. Одесса, 2007. С. 382.

255. Каменева A.JI. Функциональные упрочняющие покрытия и проблемы наноструктурирования // Материалы, оборудование и технологии наноэлектрони-ки и микрофотоники. Улан-Удэ: БНЦ СО РАН, 2003. С.223-356.

256. Antsiferov V.N., Kameneva A.L. Experimental study of the structure of multi-component nanostructured coatings on the basis of Ti-Zr-N alloys formed by ionic plasma methods (статья) // Russian journal of Non-ferrous metals. Vol. 48, no 6. P. Allerton press, Inc. 2007. P. 485-499.

257. Каменева A.JI. Закономерности структурообразования наноструктуриро-ванных покрытий на основе сложных нитридов, получаемых вакуумно-дуговым испарением // Конструкции из композиционных материалов. 2007. № 3. С. 49-57.

258. Каменева A.JI., Белянин А.Ф., Самойлович М.И. Изучение процесса формирования наноструктурированных покрытий на основе Ti-B-Si-N при магне-тронном распылении // Высокие технологии в промышленности России: материалы XII междунар. науч.-техн. конф. М., 2006. С. 211-221.

259. Изучение закономерностей процессов структурообразования в неравновесных металлических системах и покрытиях: отчет о НИР (заключ.) / Перм. гос. техн. ун-т; рук. Клейнер JI.M.; исполн. Каменева A.JI., Язовских В.М. Пермь, 2006. 103 с. № ГР 01200606741. Инв. № 02200802473.

260. Изучение процессов наноструктурирования функциональных покрытий на основе Ti-B-Si-N и других сложных нитридов: информ. к НИР / Березн. фил. Перм. гос. техн. ун-та; рук. Каменева A.JI. Березники, 2005. 2 с. №ГР 01200503527.

261. Каменева A.JI., Каменева Д.В. Изучение процесса структурообразования ионно-плазменных пленок в зависимости от температурных условий формирования // Вестник ПГТУ. Машиностроение, материаловедение. 2010. Т. 12, № 2. С. 46-57.

262. Каменева A.JI. Повышение работоспособности упрочненного инструмента и пар трения за счет управления процессом структурообразования упрочняющих пленок на основе Ti-Al-N // Освоение минеральных ресурсов Севера: проблемы и решения: тр. 9-й междунар. науч.-практ. конф. / Филиал СПГГИ (ТУ) «Воркутинский горный институт». Воркута, 2011. С. 277-282.

263. Каменева A.JI., Карманов В.В., Сошина Т.О., Каменева Д.В., Винокуров Н.В. Структурообразование пленок Ti-Al-N под влиянием температурных условий их формирования // Технология металлов. 2012. № 10. С. 35-44.

264. Каменева А.Л. Эволюция представлений о структурных зонах пленок, формируемых методами вакуумных технологий // Изв. вузов. Порошковая металлургия и функциональные покрытия. 2011. № 4. С. 41-48.

265. Каменева А.Л. Эволюция представлений о структурных зонах поликристаллических наноструктурированных пленок, формируемых методами вакуумных технологий: моногр. Пермь: Изд-во Перм. нац. исслед. политехи, ун-та, 2012. 189 с.

266. Каменева А.Л. Модель структурных зон покрытий из TiN, TiAIN, формируемых электродуговым испарением металла в активной газовой среде // Изв. вузов. Порошковая металлургия и функциональные покрытия. 2012. № 1. С. 52-57.

267. Каменева А.Л. Способ получения многослойного покрытия: пат. 2487189 РФ: МПК С23С14/24. Опубл. 10.07.2013, Бюл. 19.

268. Положительное решение о выдаче патента на изобретение Каменевой А.Л. «Способ получения многослойного износостойкого покрытия» от 06.05.2013; заявка№ 2012113451 от 06.04.2012.

269. Каменева А.Л., Гусельникова Л.Н., Сошина Т.О. Влияние концентрации азота в газовой смеси на структурные и фазовые изменения в пленках нитрида титана в процессе электродугового испарения // Высокие технологии в промышленности России: материалы XVI междун. науч.-техн. конф. М.: Изд-во ЦНИТИ «Техномаш», 2010. С. 402-410.

270. Kameneva A.L., Guselnikova L.N., Soshina Т.О. An influence of a substrate voltage bias and temperature conditions on structure and phase modification in single-component ion-plasmas' films // e-Journal of Surface Science and Nanotechnology. 11 February 2011. Vol. 9. P. 34-39.

271. Kameneva A.L. Forming Stages of Polycrystalline Tin Films Depending on the Nitrogen Concentration in Mixed Gas // Materials Sciences and Applications (MSA). January 2011. Vol. 2, no. 1. P. 6-13.

272. Kameneva A.L., Guselnikova L.N., Soshina Т.О. Forming and nanostructur-ing processes of film with main hexagonal phase TiN0,3 during arc spraying // Journal of Biophysical Chemistry (JBPC). February 2011. Vol. 2, № 1. P. 26-31.

273. Каменева A.JI. Влияние давления газовой смеси на структурные и фазовые изменения в пленках нитрида титана в процессе электродугового испарения // Упрочняющие технологии и покрытия. М.: Машиностроение, 2011. № 7. С. 20-30.

274. Каменева A.JI. Структурные и фазовые превращения в пленках в зависимости от положения подложки в потоке плазмообразующих частиц // Конструкции из композиционных материалов. 2011. № 1. С. 50-62.

275. Каменева A.JI. Структурные и фазовые превращения в пленках в зависимости от положения подложки в потоке плазмообразующих частиц // Конструкции из композиционных материалов. 2011. № 1. С. 51-62.

276. Каменева А.Л., Клочков А.Ю., Пименова Н.В., Торсунов М.Ф., Крохале-ва Е.Г. Влияние технологических параметров электродугового испарения на температуру поверхности конденсации, фазовый состав, структуру и свойства пленок на основе ZrN // Упрочняющие технологии и покрытия. 2008. № 12. С. 31-40.

277. Каменева А.Л. Изменение функциональных свойств двухкомпонентных пленок в зависимости от их морфологии, структуры и фазового состава // Высокие технологии в промышленности России: материалы XVIII междунар. науч.-техн. конф. М., 2012. С. 241-246.

278. Каменева А.Л. Изучение влияния технологических и температурных условий формирования пленок на основе Ti-Al-N методом электродугового испарения на протекающие в них фазовые и структурные превращения // Вестник ПГТУ. Машиностроение, материаловедение. 2010. Т. 12, № 5. С. 86-92.

279. Каменева А.Л., Сошина Т.О. Закономерности изменения параметров структуры и фазового состава пленок на основе Ti-Al-N, формируемых магне-тронным распылением, в зависимости от давления газовой смеси // Технологии упрочнения нанесения покрытий и ремонта: теория и практика: материалы 14-й междунар. науч.-практ. конф. СПб., 2012. С. 169-175.

280. Каменева А.Л., Карманов В.В. Влияние фазового и элементного состава Tii^Al^N системы на ее физико-механические свойства // Технология металлов. 2012. № 11. С. 31-36.

281. Каменева А.Л., Сошина Т.О. Закономерности изменения параметров структуры и фазового состава пленок на основе Ti-Al-N, формируемых магне-тронным распылением, в зависимости от давления газовой смеси // Технологии

упрочнения нанесения покрытий и ремонта: теория и практика: материалы 14-й междунар. науч.-практ. конф. 2012. С. 169-175.

282. Каменева А.Л., Житковский В.Д., Александров Д.В., Самойлович М.И. Изучение физико-химического взаимодействия на границах раздела фаз в слоистых материалах и покрытиях // Высокие технологии в промышленности России: материалы IX междунар. науч.-техн. конф. М., 2003. С. 158-167.

283. Анциферов В.Н., Каменева А.Л. Изучение физико-химических процессов получения ионно-плазменных наноструктурированных покрытий с заданными свойствами // Современные информационные и электронные технологии: тр. девятой междунар. науч.-практ. конф. / Одес. нац. политехи, ун-т. Одесса, 2008. С. 117.

284. Каменева А.Л., Гусельникова Л.Н. Способы улучшения поверхностных свойств упрочняемых изделий путем стабилизации структуры и свойств осаждаемых ионно-плазменных пленок // Народное хозяйство Республики Коми: науч.-техн. журн. / Воркут. горн, ин-т, филиал С.-Петерб. гос. горн, ин-та им. Г.В. Плеханова (техн. ун-та). Воркута, 2011. Т. 20, № 1. С. 98-102.

285. Каменева А.Л. Роль структуры и фазового состава в формировании физико-механических и трибологических свойств пленок на основе TiN // Вопросы материаловедения. 2012. № 1 (69). С. 58-67.

286. Каменева А.Л. Влияние структуры и фазового состава ионно-плазменных поликристалических пленок, формируемых методом магнетронного распыления, на их трибологические, физико-механические и коррозионные свойства // Вестник РГУПС. 2012. № 1. С. 15-22.

287. Каменева А.Л. Изучение влияния технологических условий формирования пленок на основе ZrN методом магнетронного распыления на их структуру и свойства // Вестник МГТУ им. Г.И. Носова. Магнитогорск, 2009. № 4. С. 40-46.

288. Анциферов В.Н., Каменева А.Л. Исследование структуры и свойств ион-но-плазменных мультислойных покрытий на основе ZrN, Ti-Zr-N, Ti-B-Si-N // HighMatTech: тр. междунар. конф. Киев, 2007. С. 467.

289. Ханов A.M., Каменева А.Л., Маточкин В.Ф., Ташкинова Л.А. Структура и свойства покрытий, полученных ионно-плазменным напылением // Вестник ПГТУ. Механика и технология материалов и конструкций. 2000. № 3. С. 4-9.

290. Каменева А.Л. Структура и свойства покрытий, получаемых в условиях низкотемпературного плазменного синтеза на быстрорежущих сталях и твердых сплавах: дис. ... канд. техн. наук/Перм. гос. техн. ун-т. Пермь, 2002. 189 с.

291. Каменева А.Л. Зависимость физико-механических и трибологических свойств твердого сплава от состава и структуры многокомпонентных пленок на основе Ti-Zr-N // Коррозия: материалы, защита. 2012. № 12. С. 28-35.

292. Kameneva A.L., Karmanov V.V.Physical and mechanical properties of the Tij Zri_,N // Thin films Journal of Alloys and Compounds. 2013. Vol. 546. P. 20-27.

293. Каменева А.Л., Замалетдинов И.И., Шебеко E.A. Исследование структуры и свойств пленок на основе Ti-Al-N, формируемых методом магнетронного распыления // Конструкции из композиционных материалов. 2009. № 3. С. 62-67.

294. Замалетдинов И.И., Кичигин В.И., Каменева А.Л., Клочков А.Ю. Влияние покрытий TiN на коррозионное поведение сплава ВК8 // Коррозия: материалы, защита. 2011. № 6. С. 32-38.

295. Замалетдинов И.И., Кичигин В.И., Каменева А.Л., Онянов A.A., Клочков А.Ю. Влияние покрытий ZrN, нанесенных магнетронным распылением, на коррозию сплава ВК8 // Коррозия: материалы, защита. 2011. № 10. С. 35-41.

296. Замалетдинов И.И., Кичигин В.И., Каменева А.Л., Онянов A.A., Клочков А.Ю. Влияние покрытий ZrN на коррозионное поведение сплава ВК8 // Коррозия: материалы, защита. 2010. № 7. С. 34-43.

297. Каменева А.Л., Замалетдинов И.И., Кичигин В.И. Коррозионная стойкость твердого сплава ВК8 с пленками на основе нитридов титана и циркония // Коррозия: материалы, защита. 2013. № 1. С. 29-35.

298. Каменева А.Л., Замалетдинов И.И., Калабина Е.В. Повышение коррозионной стойкости режущего инструмента в горнодобывающей промышленности // Упрочняющие технологии и покрытия. М.: Машиностроение, 2010. № 5. С. 11-16.

299. Каменева А.Л., Шестаков Е.А., Вдовин С.М., Трофимов Е.М. Методы улучшения адгезионных свойств функциональных тонкопленочных покрытий // Молодежная наука Верхнекамья: материалы третьей регион, конф. / Березн. фил. ПГТУ. Березники, 2006. С. 66-70.

300. Каменева А.Л., Демин Д.Ю., Журавлев A.A., Норин А.Н., Трофимов Е.М. Изучение влияния подготовки модифицируемой поверхности перед процессом формирования наноструктурированного покрытия на величины адгезии и сплош-

ности покрытия // Молодежная наука Верхнекамья: материалы второй регион, конф. / Березн. фил. ПГТУ, Березники. 2005. С. 61-64.

301. Панфилов Ю.В., Беликов А.И., Гладышев И.В., Каменева А.Л., Демин Д.Ю., Кирюханцев-Корнеев Ф.В., Трофимова Л.А., Оборин А.П., Ужегов П.А., Трофимов Е.М. Наноструктурированные износостойкие многокомпонентные тонкопленочные покрытия // Упрочняющие технологии и покрытия. М.: Машиностроение. 2005. № 4. С. 30-34.

302. Каменева А.Л., Караваев Д.М, Сошина Т.О. Улучшение износостойких и антифрикционных свойств пленок на основе Т1К путем оптимизации технологии их формирования методом магнетронного распыления // Упрочняющие технологии и покрытия. 2012. № 3. С. 34-38.

303. Каменева А.Л., Трофимова Л.А., Оборин А.П., Ужегов П.А., Демин Д.Ю., Трофимов Е.М. Экспериментальное изучение свойств упрочняющих тонкопленочных покрытий на основе различных нитридов // Молодежная наука Верхнекамья: материалы второй регион, конф. / Березн. фил. ПГТУ. Березники, 2005. С. 67-71.

304. Каменева А.Л., Шестаков Е.А., Вдовин С.М., Трофимов Е.М. Пути улучшения эксплуатационных свойств функциональных тонкопленочных покрытий за счет изменения условий формирования покрытий ионно-плазменными методами // Молодежная наука Верхнекамья: материалы третьей регион, конф. / Березн. фил. ПГТУ. Березники, 2006. С. 62-66.

305. Каменева А.Л., Караваев Д.М., Каменева Д.В. Повышение износостойких и антифрикционных свойств пленок на основе ПН оптимизацией технологии электродугового испарения // Конструкции из композиционных материалов. 2012. № 2. С. 26-30.

306. Каменева А.Л., Караваев Д.М., Сошина Т.О. Выявление количественных соотношений триб о логических свойств пленок ZrN с технологическими условиями их формирования методом магнетронного распыления // Вестник МГТУ. 2012. № 2. С. 46-49.

307. Каменева А.Л. Трибологические, физико-механические и коррозионные свойства пленок на основе в зависимости от технологических и температурных параметров процесса их формирования методом магнетронного распыления // Конструкции из композиционных материалов. 2012. № 1. С. 51-56.

308. Каменева A.JI., Прогнозирование трибологических и физико-механических свойств пленок по технологическим и температурным условиям их формирования методом магнетронного распыления // Высокие технологии в промышленности России: материалы XVI междунар. науч.-техн. конф. М., 2011. С. 204-210.

309. Каменева А.Л., Караваев Д.М. Улучшение трибологических характеристик пленок на основе ZrN путем оптимизации технологических условий процесса магнетронного распыления // Освоение минеральных ресурсов Севера: проблемы и решения: материалы 9-й междунар. науч.-практ. конф. Воркута, 2011. С. 289-293.

310. Каменева А.Л., Караваев Д.М., Каменева Д.В. Установление характера изменения износостойких и антифрикционных свойств пленок на основе ZrN в зависимости от технологических условий их формирования методом электродугового испарения //Инженерный журнал с приложением. 2012. № 5 (182). С. 15-19.

311. Каменева А.Л., Александров Д.В., Житковский В.Д. Влияние состава и технологии формирования на свойства и применение многофункциональных покрытий на основе ZrN, TiBSiN // Тонкие пленки в электронике: материалы XVI междунар. симп. М., 2004. С. 335-339.

312. Каменева А.Л., Шестаков Е.А., Вдовин С.М., Трофимов Е.М. Повышение надежности и долговечности изделий путем осаждения защитных покрытий ваку-умно-дуговым методом // Современные технологии в машиностроении: материалы IX науч.-практ. конф. / Приволж. дом знаний. Пенза, 2005. С. 56-59.

313. Каменева А.Л. Роль фазового и элементного состава Ti^Zr^N системы в формировании ее трибологических свойств // Изв. ТулГТУ. Технические науки, 2012. Вып. 3. С. 15-24.

314. Каменева А.Л. Влияние фазового и элементного состава Ti^Zr^N системы на ее физико-механические свойства // Изв. Самар. науч. центра РАН. 2012. Т. 14, №4. С. 130-135.

315. Каменева А.Л., Карманов В.В. Влияние фазового и элементного состава Ti^Zri-jN системы на ее физико-механические свойства // Технология металлов. 2012. № 8. С. 20-27.

316. Каменева А.Л. Триб о логические свойства многокомпонентных пленок в зависимости от их фазового и элементного состава // Высокие технологии в промышленности России: материалы XVIII междунар. науч.-техн. конф. М., 2012. С. 279-284.

317. Каменева А.JI. Улучшение эксплуатационных свойств технологического инструмента, деталей машин и пар трения путем осаждения многофункциональных покрытий // Геология и полезные ископаемые Западного Урала: материалы регион, науч.-практ. конф. Пермь, 2006. С. 230-231.

318. Житковский В.Д., Каменева А.Л., Александров Д.В., Смагин A.C. Методы повышения стойкости технологического инструмента, используемого при производстве радиоаппаратуры // Системы и средства связи, телевидения и радиовещания: науч.-техн. журн. М., 2003. № 1, 2. С. 58-61.

319. Каменева А.Л., Маточкин В.Ф. Поверхностное упрочнение режущего инструмента и деталей машин путем нанесения ионно-плазменных покрытий // Вакуумные технологии и оборудование: сб. докл. 6-й междунар. конф. Харьков, 2003. С. 162-168.

320. Каменева А.Л., Каменева Д.В. Упрочнение инструмента и пар трения путем нанесения упрочняющих и антифрикционных ионно-плазменных пленок // Освоение минеральных ресурсов Севера: проблемы и решения: материал 9-й междунар. науч.-практ. конф. Воркута, 2011. С. 283-288.

321. Каменева А.Л., Трофимов Е.М. Методы повышения износостойкости и срока службы деталей машин и механизмов, работающих в условиях интенсивного абразивного и ударно-абразивного изнашивания // Геология и полезные ископаемые Западного Урала: материалы регион, науч.-практ. конф. Пермь, 2005. С. 354-359.

322. Каменева А.Л. Упрочнение мелкоразмерного инструмента ионно-плаз-менным напылением // 100-летие изобретения сварки по методу Н.Г. Славянова и современные проблемы развития сварочного производства: сб. науч. тр. [Всесо-юз. науч.-техн. конф., 1988]. Пермь, 1990. Ч. 3. С. 157-160.

323. Каменева А.Л., Трофимов Е.М. Многокомпонентные наноструктуриро-ванные тонкопленочные покрытия на основе сложных нитридов для упрочнения технологического инструмента // Народное хозяйство Республики Коми: науч.-техн. журн. / Воркут. горн. ин-т. Воркута, 2005. Т. 14, № 2. С. 370-373.

324. Каменева А.Л., Трофимов Е.М., Вдовин С.М., Шестаков Е.А. Использование тонкопленочных покрытий на основе ZrN, Ti-Zr-N, TiZrON, TiBSiN для упрочнения инструмента из Р6М5, применяемого при обработке нержавеющих сталей // Перспективные материалы. 2006. № 6. С. 80-87.

325. Каменева A.JI., Житковскнй В.Д., Александров Д.В., Маточкин В.Ф. Повышение технологических и эксплуатационных свойств инструмента из быстрорежущей стали Р6М5 // Технологическое обеспечение качества машин и приборов: материалы всерос. науч.-практ. конф. Пенза, 2004. С. 33-36.

326. Разработка, исследование и внедрение на промышленных предприятиях пермского края многофункциональных наноструктурированных покрытий с особыми физико-химическими свойствами и повышенным уровнем эксплуатационных характеристик: отчет о НИОКР: в 4 ч. / М-во пром. и природ, ресурсов Перм. края и Перм. гос. техн. ун-т; рук. Анциферов В.Н.; исполн. 1-й части: Ханов A.M., Каменева А.Л.; исполн. 2-й и 3-й частей: Каменева А.Л.; исполн. 4-й части: Каменева А.Л., Новиков P.C., Клочков А.Ю. Пермь, 2006. 151 с.

327. Каменева А.Л., Трофимов Е.М., Штина A.C. Совершенствование эксплуатационных свойств многофункциональных упрочняющих покрытий // Освоение минеральных ресурсов Севера: проблемы и решения: 2-й междунар. Сев. соц.-эколог. конгр. Воркута, 2006. Т. 1. С. 289-294.

328. Каменева А.Л., Ханов A.M., Маточкин В.Ф., Кузнецов C.B. Улучшение эксплуатационных характеристик инструмента путем нанесения износостойких покрытий // Оборудование технологии термической обработки металлов и сплавов в машиностроении: сб. докл. второго междунар. симп. Харьков, 2001. С. 118-122.

329. Каменева А.Л., Лимонов Н.В., Трофимова Л.А., Вдовин С.М., Шеста-ков Е.А., Трофимов Е.М. Повышение эффективности обработки сильвинитовой руды упрочненным твердосплавным инструментом // Наноструктурные функциональные покрытия для промышленности: материалы Харьк. нанотехнол. ассамблеи. Харьков, 2006. С. 374-376.

330. Анциферов В.Н., Каменева А.Л., Ханов A.M., Вдовин С.М., Шестаков Е.А. Уменьшение температуры в зоне резания путем нанесения износостойких покрытий на инструмент // Актуальные проблемы трибологии: тр. междунар. науч.-техн. конф. Самара, 2007. Т. 1. С. 27-37.

331. Анциферов В.Н., Каменева А.Л., Шестаков Е.А., Вдовин С.М., Трофимов Е.М. Повышение эффективности обработки калийных руд путем упрочнения и защиты твердосплавного инструмента // Освоение минеральных ресурсов Севера: проблемы и решения: тр. 5-й межрег. науч.-практ. конф. Воркута, 2007. С. 6-9.

332. Каменева A.JI., Коновалов С.И., Маточкин В.Ф. Нанесение износостойких покрытий на режущий инструмент // Наука в решении проблем Верхнекамского промышленного региона: сб. науч. тр. / Березн. фил. ПГТУ. Березники, 2002. Вып. 2. С. 214-218.

333. Каменева А.Л. Получение, исследование и внедрение ионно-плазменных наноструктурированных покрытий в оборонной промышленности // Rusnanotech-08: сб. тез. докл. науч.-технол. секций Междунар. форума по нанотехнологиям. М.: Изд-во РОСНАНО, 2008. С. 314-316.

334. Анциферов В.Н., Каменева А.Л., Вдовин С.М., Трофимов Е.М., Шеста-ков Е.А. Упрочнение твердосплавного инструмента, работающего в условиях сухого трения и агрессивной среды // Тр. 5-й междунар. конф. ТПКММ. М., 2008. С. 222-227.

335. Андриевский Р.А. Синтез и свойства фаз внедрения // Успехи химии. 1997. № 66 (1). С. 57-76.

336. Patsalas P. Complex conducting nitrides: Synthesis, structure, properties and applications. URL: http://xxv.physics.auth.gr/pdf/Ill.pdf.

337. Ikeda Т., Satoh H. Phase formation and characterization of hard coatings in the Ti-Al-N system prepared by the cathodic arc ion plating method // Thin Solid Films. 1991. Vol. 195. P. 99-110.

338. Григорьев C.H. Способ ионно-плазменной обработки изделий: пат. 2029796 РФ: МПК С23С14/46. Опубл. 27.02.1995.

339. Barsoum M.W., Schuster J.С. Comment on "New Ternary Nitride in the Ti-Al-N System" //J. American Ceramic Society. 1998. Vol. 81, № 3. P. 785-789.

340. Хан Ю Син. Фазовые равновесия в системах азот-алюминий-переходный металл IV-V групп: дис. ... канд. физ.-мат. наук / МГУ им. М.В. Ломоносова; Ин-т металловедения и физики металлов им. Г.В. Курдюмова; ЦНИИЧЕРМЕТ им. И.П. Бардина. М., 2004. 138 с.

341. Caron М., Gagnon G., Fortin V., Currie J., Ouellet L., Tremblay Y., Biberger M., Reynolds R. Calculation of a Al-Ti-O-N quaternary isotherm diagram for the prediction of stable phases in TiN/Al alloy contact metallization // J. Appl. Phys. 1996. Vol. 79, № 8. P. 4468-4470.