СВС-прессование многокомпонентных катодов на основе систем Ti-C-Al и Ti-C-Al-Si для нанесения вакуумно-дуговых покрытий тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.17, кандидат технических наук Ермошкин, Андрей Александрович

• Ермошкин, Андрей Александрович
• кандидат технических наук
• 2012

Оглавление диссертации кандидат технических наук Ермошкин, Андрей Александрович

ВВЕДЕНИЕ

1 Литературный обзор

1.1 Вакуумно-дуговой метод нанесения износостойких покрытий

1.2 Получение, состав и свойства многокомпонентных покрытий на основе нитрида титана

1.3 Методы получения многокомпонентных катодов на основе титана

1.4 Общая характеристика процессов СВС и технологии СВС-прессования

1.5 СВС-материалы, получаемые в системах Т1-С-А1 и Т1-С-А1

2 Материалы, технологическое оборудование и методы исследования

2.1 Исходные порошковые компоненты. Приготовление шихтовых заготовок

2.2 Методика исследования термокинетических параметров экзотермических шихт

2.3 Технологическое оборудование

2.3.1 Технологическое оборудование для проведения СВС-прессования

2.3.2 Технологическое оборудование для получения вакуумно-дуговых покрытий

2.4 Методики исследования состава, структуры и свойств

2.4.1 Металлографический и химический анализ

2.4.2 Исследование фазового состава

2.4.3 Исследование механических свойств 43 2.5. Технологические основы процесса СВС-прессования

2.5.1 Базовая технологические оснастка

2.5.2 Технологические параметры процесса СВС-прессования

3 Разработка опытной технологии изготовления методом СВС-прессования многокомпонентных катодов электродуговых испарителей

3.1 Технологическая схема и устройство для получения СВС-прессованных катодов на металлическом основании

3.2 Базовые составы СВС-систем для синтеза рабочего слоя катода

3.3 Разработка опытной технологии СВС-прессования многокомпонентных катодов с титановым основанием

3.3.1 Физическая модель деформирования и уплотнения твердожидких продуктов СВС

3.3.2 Экспериментальные составы рабочего слоя и СВС-припоя

3.3.3 Результаты экспериментальных исследований СВС-прессования многослойных катодов с титановым основанием

3.4 Разработка опытной технологии СВС-прессования многокомпонентных катодов на стальном основании

3.4.1 Устройство для СВС-прессования многослойных катодов на стальном основании

3.4.2 Экспериментальные исследования процесса СВС-прессования трехслойных катодов

3.4.3 Экспериментальные исследования процесса СВС-прессования четырехслойных катодов

3.5 Разработка опытной технологии СВС-прессования полногабаритных многокомпонентных катодов

3.5.1 Закономерности процесса СВС-прессования среднега-баритных катодов

3.5.2 Влияние толщины дна основания на закономерности процесса СВС-прессования полногабаритных катодов

3.5.3 Влияние временных параметров цикла прессования на закономерности процесса СВС-прессования полногабаритных катодов

3.5.4 Влияние составов функциональных слоев на закономерности процесса СВС-прессования полногабаритных катодов

3.6 Выводы по главе

4 Фазовый состав, структура и функциональные свойства СВС-прессованных катодных материалов

4.1 Выбор расчетных составов рабочего слоя в СВС-системах ТьС-А1 и ТьС-А1

4.2 Фазовый состав и структура СВС-прессованных материалов систем ТьС-А1 и ТьС-А!^

4.2.1 Фазовый состав и структура СВС-прессованных материалов системы Т1-С-А

4.2.2 Фазовый состав и структура СВС-прессованных материалов системы Тл-С-А1

4.3 Состав переходных зон многослойных СВС-прессованных катодов

4.4 Функциональные свойства СВС-прессованных катодных материалов систем Т1-С-А1 и Т1-С-А1

4.5 Выводы по главе

5 Результаты исследования фазового состава, структуры и свойств вакуумно-дуговых покрытий, полученных из СВС-прессованных катодов

5.1 Фазовый состав, структура и свойства покрытий, полученных из СВС-прессованных катодов системы ТьС-А1 119 5.1.1 Морфологические характеристики поверхности вакуум-но-дуговых покрытий

5.1.2 Элементный состав вакуумно-дуговых покрытий

5.1.3 Микроструктура и фазовый состав вакуумно-дуговых покрытий \

5.1.4 Механические свойства вакуумно-дуговых покрытий 13 О

5.2 Фазовый состав, структура и свойства вакуумно-дуговых покрытий, полученных из СВС-прессованных катодов системы Ti-C-Al-Si

5.2.1 Морфологические характеристики поверхности вакуумно-дуговых покрытий

5.2.2 Элементный состав вакуумно-дуговых покрытий

5.2.3 Микроструктура и фазовый состав вакуумно-дуговых покрытий

5.2.4 Механические свойства вакуумно-дуговых покрытий

5.3 Эксплуатационные свойства режущего инструмента с покрытиями из СВС-катодов

5.4 Выводы по главе 153 ЗАКЛЮЧЕНИЕ 155 СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ 160 ПРИЛОЖЕНИЕ

Акты использования материалов диссертационной работы

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «СВС-прессование многокомпонентных катодов на основе систем Ti-C-Al и Ti-C-Al-Si для нанесения вакуумно-дуговых покрытий»

При большом разнообразии условий работы деталей машин и инструмента во многих случаях наиболее нагруженным является поверхностный слой. Повышение ресурса таких технических объектов достигается применением поверхностного упрочнения, в том числе нанесением покрытий. Среди существующих методов широко применяется метод формирования покрытий из потоков металлической плазмы вакуумной дуги. Наибольшее распространение получили вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида титана. Однако покрытия из одноэлементного нитрида титана практически исчерпали свой потенциал и не отвечают современным техническим требованиям. В последнее время интенсивно развиваются исследования по получению многокомпонентных и композиционных покрытий. Существенное повышение физико-механических и эксплуатационных свойств достигается при введении в покрытие из нитрида титана алюминия и/или кремния.

Получение многокомпонентных покрытий вакуумно-дуговым методом требует осаждения на подложку многокомпонентных потоков плазмы. Эти потоки могут быть получены одновременным испарением раздельных одно-компонентных катодов или одного многокомпонентного катода. При использовании раздельных катодов необходимый элементный состав потока достигается сложным и трудоемким подбором технологических режимов распыления каждого из катодов, состава и давления реакционного газа. Поэтому перспективными являются технологии, в которых многокомпонентные покрытия получают из одного катода, содержащего необходимые компоненты в нужном соотношении.

Главным недостатком вакуумно-дугового метода является наличие в плазме большого количества микрокапель испаряемого материала катода, существенно ухудшающих эксплуатационные свойства покрытий. Эта проблема решается путем использования разнообразных устройств для сепарации плазмы, что усложняет и удорожает вакуумно-дуговые установки. Количество капельной фазы уменьшается при росте температуры плавления катодного материала. В этой связи актуальной представляется разработка методов и технологий получения многокомпонентных катодов на основе ме-таллоподобных тугоплавких соединений титана.

Традиционно материалы на основе тугоплавких соединений получают спеканием или горячим прессованием. Эти технологии являются энергоемкими, многостадийными, требуют дорогостоящих печей с защитной атмосферой или вакуумом. Кроме того, сами тугоплавкие компоненты получают в основном также энергоемким печным синтезом. Альтернативой технологиям печного синтеза и спекания служит самораспространяющийся высокотемпературный синтез (СВС). В основе СВС лежат реакции экзотермического взаимодействия химических элементов или соединений, протекающих в режиме горения. Процесс синтеза целевого продукта идет за счет тепла химических реакций и не требует внешней энергии для нагрева. Высокоэкзотермические реакции позволяют вводить в порошковую смесь реагентов инертные компоненты и получать самые разнообразные по составу материалы.

Проведение в одной установке сначала СВС, а затем силового уплотнения горячих продуктов синтеза (технология СВС-прессования) позволяет в одну стадию получать высокоплотные заготовки из материалов на основе тугоплавких соединений. Синтез целевого материала из шихтовой заготовки в режиме горения происходит за 5-КО с, а продолжительность одного цикла СВС-прессования составляет не более 1(Н15 мин. Изготовление аналогичной заготовки спеканием инертных порошков под давлением длится несколько часов. Высокая производительность, низкая энергоемкость, простота основного оборудования и возможность синтеза разнообразных по составу материалов обуславливают актуальность проведения исследований по получению методом СВС-прессования многокомпонентных катодов на основе тугоплавких соединений титана.

В НИТУ «МИСиС» разработана СВС технология получения многослойных и функционально-градиентных мишеней на основе карбидов, боридов, силицидов, нитридов, оксидов методом СВС, совмещенная с напайкой продуктов синтеза к металлической пластине через слой припоя, для ионно-плазменного и ионно-лучевого напыления функциональных и многофункциональных покрытий. Ряд мишеней на основе боридов титана и хрома был успешно применен в технологии импульсного вакуумно-дугового осаждения покрытий.

При этом исследования по применению СВС - мишеней на основе карбида титана в технологии вакуумного катодно-дугового испарения до настоящего времени не проводились.

Научная новизна.

1. Изучены процессы горения и фазообразования, структура и функциональные свойства многокомпонентных СВС-прессованных катодных материалов в системе ТьС-А1-81 с содержанием 20, 25 и 30 % силумина состава А1-10% 8г. Установлено, что продукты СВС представляют собой композиты на основе МАХ-фазы состава Т13А1С2, содержание которой составляет 82 ^ 84%.

2. Экспериментально установлены закономерности влияния составов и масс функциональных слоев на их свариваемость при СВС-прессовании многокомпонентных катодов с титановым или стальным основанием при исполь-зованиии экзотермических припоев. Показана взаимосвязь массы рабочего слоя и технологических параметров получения бездефектных многослойных СВС-катодов.

3. Изучены морфология, фазовый состав, микроструктура и механические свойства вакуумно-дуговых нитридных покрытий, полученных из многокомпонентных СВС-катодов систем Тл-С-А1 и ТьС-А1-81. Несмотря на более высокий ток дуги у СВС-катодов, за счет высокой температуры плавления объем микрокапельной фазы у покрытий из многоэлементных нитридов титана (Тл,А1)Ы и (П,А1,81)1М в 1,5 3 раза меньше, чем у покрытия из одноэлементного нитрида титана Т11чГ.

Практическая значимость.

Разработана экспериментальная технология получения в одну стадию СВС-прессованных многослойных катодов на металлическом основании с водоохлаждаемой полостью. Определены составы и масса функциональных слоев и технологические параметры, обеспечивающие получение в одну стадию бездефектных СВС-катодов при различных составах и размерах рабочего слоя. В отличие от технологий пайки или диффузионной сварки при СВС-прессовании не используются специальные припои, нагревательные устройства с защитной атмосферой и отсутствуют энергозатраты на нагрев соединяемых слоев.

Использование многокомпонентных СВС-материалов на основе тугоплавких соединений титана позволяет без сепарации плазменного потока получать вакуумно-дуговые покрытия с малым содержанием микрокапельной фазы и высоким уровнем механических и эксплуатационных свойств.

СВС-прессованнные материалы, полученные в системах Т1-С-А1 и Тл-С-А1-81, расширяют номенклатуру многокомпонентных катодных материалов для получения вакуумных катодно-дуговых покрытий.

Достоверность полученных результатов диссертационной работы подтверждается применением современного оборудования и аттестованных методик исследований, значительным количеством экспериментальных данных и применением статистических методов обработки результатов, сопоставлением полученных результатов с результатами других авторов.

На защиту выносятся:

1. Закономерности влияния составов и масс функциональных слоев на их свариваемость при СВС-прессовании многокомпонентных катодов с титановым или стальным основанием при использованиии экзотермических припоев.

2. Результаты исследования фазового состава, структуры и функциональных свойств многокомпонентных СВС-прессованных катодных материалов в системе Т1-С-А1-81 с содержанием 20, 25 и 30% силумина состава А1-10% 81.

3. Результаты исследования морфологии, фазового состава, микроструктуры, механических и эксплуатационных свойств вакуумных катодно-дуговых нитридных покрытий, полученных из многокомпонентных СВС-катодов в системах ТЧ-С-А! и ТьС-А1-8ь

Апробация работы. Основные результаты и положения диссертации докладывались и обсуждались на следующих научных конференциях: Международный симпозиум по СВС (Аттика, Греция, 2011 г.); Международной научно-практической конференции «Технологии ремонта, восстановления и упрочнения деталей машин, механизмов, оборудования, инструмента и технологической оснастки от нано- до макроуровня» (С.-Петербург, 2011 г.); Всероссийская научно-техническая интернет-конференция с международным участием (Самара, 2008, 2009, 2010 г.г.); Международная конференция НПМ-2010 (Волгоград, 2010 г.); Международной научно-практической конференция «Исследование, разработка и применение высоких технологий в промышленности» (С.-Петербург, 2010 г.); Международной научно-технической конференции «Металлдеформ-2009» (Самара, 2009 г.); Международной молодежной научной конференции «Туполевские чтения» (Казань, 2009 г.)

Благодарности. Автор выражает благодарность научному руководителю доктору технических наук Федотову А.Ф., а также заведующему кафедрой «Металловедение, порошковая металлургия, наноматериалы» Самарского государственного технического университета доктору физико-математических наук профессору Амосову А.П. за всестороннее содействие и неоценимую помощь при проведении исследований в рамках настоящей работы.

1 ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР

Заключение диссертации по теме «Химическая физика, в том числе физика горения и взрыва», Ермошкин, Андрей Александрович

Результаты работы могут быть использованы при получении многокомпонентных СВС-катодов на основе других СВС-систем и для;, других установок оборудования по нанесению ионно-плазменных покрытий.

Из вышесказанного можно сделать основные выводы:

1. Исследованы закономерности горения порошковых смесей рабочего слоя Ti-C-Al и Ti-C-Al-Si, синтеза многокомпонентных продуктов горения и их взаимодействия с другими функциональными слоями.

2. На основе способа одностадийного СВС-прессования мнргослойных композиционных материалов разработана экспериментальная технология получения в одну стадию многокомпонентных СВС-катодов на стальном основании с синтезом рабочего слоя в системах Ti-C-Al и Ti-C-Al-Si. Бездефектные СВС-катоды при различных составах и массах рабочего слоя получаются при использовании оснований из стали 12Х18Н9Т с толщиной дна Ад = 1,75 ± 0,05 мм; СВС-припоя состава TiB2-45% Си массой 30 г и промежуточного слоя из порошка никеля массой 10 г. При СВС-прессовании полногабаритных катодов с массой рабочего слоя тРС = 200 г время задержки прессования должно составлять 10 -М5 с; время выдержки под давлением - не менее 3,5 минут. При получении малогабаритных катодов с тРС = 70 г время задержки прессования составляет 3 5 с; время выдержки под давлением -1,5 минуты.

3. Выполнены исследования фазового состава и микроструктуры многокомпонентных СВС-прессованных катодных материалов. Продукты синтеза системы Ti-C-Al являются двухфазными и на 95^98% состоят из МАХ-фазы состава Ti3AlC2. При содержании в СВС-шихте 20 и 25% алюминия в продуктах синтеза образуется 5 и 2% карбида титана TiC. Если СВС-шихта содержит 30% алюминия, то вместо карбида TiC образуется 2% интерметаллида Al3Ti. Продукты синтеза системы Ti-C-Al-Si состоят из МАХ-фазы Ti3AlC2, карбида TiC, алюминида титана Al3Ti и силицидов титана Ti5Si3 или TiSi2. В зависимости от расчетного содержания силумина состава Al-10% Si объемная доля МАХ-фазы Ti3AlC2 составляет 82 ^ 84%; карбида титана TiC -9 + 12%; алюминида титана Al3Ti - 2,8 7,8% и силицидов титана 1 ^ 1,6%. Причем с увеличением содержания силумина происходит уменьшение доли карбидов и увеличивается содержание алюминида и силицидов титана.

4. Из анализа термограммам горения получено, что температура плавления МАХ-фазы Ti3AlC2 составляет примерно 2100 °С и больше температуры плавления титана, равной 1660 °С. Более высокая температура плавления карбида Т13А1С2 обуславливает и более высокий ток дуги СВС-катодов по сравнению с титановым катодом. Вместе с тем для всех исследованных составов СВС-катодов функционирование установки «Юнион» происходит в штатном режиме и получены вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида титана.

5. Все покрытия, полученные из СВС-катодов, являются однофазными и представляют собой кубический нитрид титана состава (Т1, А1)К при использовании катодов системы Т1-С-А1 и состава (Т!, А1, для катодов системы Тл-С-А^ь По сравнению с титановым катодом использование многокомпонентных СВС-катодов обеспечивает повышение практически всех исследованных показателей качества и свойств покрытий. Несмотря на более высокий ток, объем микрокапельной фазы у покрытий из многоэлементных нитридов СП, А1)М и (Тл, А1, 81)И в 1,5-3 раза меньше, чем у покрытия из одноэлементного нитрида "ПИ. Микроструктура покрытий (Тл, А1)Ы и (Тл, А1, 81)Ы не фрагментирована на столбчатые элементы; размер субзерен в 2 -2,5 раза меньше, чем у покрытия ИМ При примерно одинаковой твердости покрытия из СВС-катодов за счет более низкого модуля упругости существенно превосходят покрытия из нитрида титана по стойкости к упругой деформации разрушения и сопротивлению пластической деформации. Покрытие, полученное из СВС-катода расчетного состава ТлС0,5-20% (А1-10% 81), имеет нанотвер-дость /7= 40 - 42 ГПа и является сверхтвердым.

6. Проведены опытно-промышленные испытания эксплуатационных свойств вакуумно-дугового покрытия (Тл, А1, 81)Ы, полученного из СВС-катода расчетного состава ПСо,5-20% (А1-10% 81). При фрезеровании вольф-рамо-медного сплава стойкость твердосплавных фрез с покрытием (Т1, А1, 81)Ы в 2-3 раза больше стойкости фрез с покрытием ТИМ, полученного из титанового катода с магнитной сепарацией плазменного потока.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Итак, в настоящей диссертации получены следующие результаты.

Рассмотрены две технологические схемы изготовления методом СВС-прессования многослойных катодов на металлическом основании. В первом варианте внутри водоохлаждаемой полости основания размещается металлическая опора с асбестовым теплоизолятором; во втором варианте полость заполняется сыпучим теплоизолятором. Соединение рабочего слоя катода с металлическим основанием осуществляется либо непосредственно СВС-припоем (трехслойный катод), либо через промежуточный слой и СВС-припой (четырехслойный катод).

СВС-прессование малогабаритных трехслойных катодов с рабочим слоем составов TiC0.5"28 % Al и Т1С0 5-50 % Tio^Al&ô осуществлено при использовании титановых оснований с размещением внутри полости основания металлической опоры. Установлено, что сварка практически по всей контактной поверхности основания происходит при использовании СВС-припоя состава TiB-25% Ti массой 45 г. Из-за краевого эффекта (отсутствие сварки в периферийной зоне) и высокой стоимости титана и его сплавов использование титановых оснований для изготовления СВС-прессованных катодов является нецелесообразным.

СВС-прессование четырехслойных катодов выполнено при использовании оснований из нержавеющей стали 12Х18Н9Т с заполнением полости основания сыпучим теплоизолятором и различными составами рабочего слоя в системах Ti-C-Al и Ti-C-Al-Si. При использовании СВС-припоя TiB2 - 45% Си массой 30 г и промежуточного слоя TiB2 - 75% (Си - 30% Ni) массой 15 г для систем TiCo.s-Al и TiCo.s-Al-Si впервые в одну технологическую стадию получены бездефектные малогабаритные СВС-прессованнные многослойные катоды на стальном основании.

В результате экспериментальных исследований на основе способа одностадийного СВС-прессования многослойных композиционных материалов разработана опытная технология получения в одну стадию СВС-прессованных катодов на стальном основании с синтезом рабочего слоя в системах Ti-C-Al и Ti-C-Al-Si. Бездефектные СВС-катоды при различных составах и массах рабочего слоя получаются при использовании-оснований из стали 12Х18Н9Т с толщиной дна Ад = 1,75 ± 0,05 мм; СВС-припоя состава TiB2-45% Cu массой 30 г и промежуточного слоя из порошка никеля массой 10 г. При СВС-прессовании полногабаритных катодов с массой рабочего слоя 200 г время задержки прессования должно составлять t3 = 10 + 15 с; время выдержки под давлением - не менее tB = 3,5 минут. При получении малогабаритных катодов с массой рабочего слоя 70 г время задержки прессования составляет t3 = 3 + 5 с; время выдержки под давлением может быть принято равным tB= 1,5 минуты.

Выполнены исследования фазового состава и микроструктуры многокомпонентных СВС-прессованных катодных материалов с 20, 25 и 30% массовым содержанием алюминия (система Ti-C-Al) или силумина состава Al-10% Si (система Ti-C-Al-Si). Действительный фазовый состав продуктов синтеза в рабочем слое отличается от расчетного состава.

Фазовый состав продукты синтеза системы Ti-C-Al-Si более сложный и они состоят из карбидов TÍ3AIC2 и TiC, алюминида титана Al3Ti и силицида титана Ti5Si3 или TiSi2. Причем с увеличением содержания силумина происходит уменьшение доли карбидов и увеличивается содержание алюминида и силицидов титана.

По результатам термометрических исследований выполнена приближенная оценка температуры плавления МАХ-фахы состава Ti3AlC2. Получено, что температура плавления этого соединения примерно равна 2100 °С и больше температуры плавления титана, равной 1660 °С. Более высокая температура плавления и теплопроводность МАХ-фазы Ti3AlC2 обуславливает и более высокий ток дуги СВС-катодов по сравнению с титановым катодом. Вместе с тем для всех исследованных составов СВС-катодов при токе дуги, равном 100 + 130 А, функционирование установки «Юнион» происходит в штатном режиме. Пористость рабочего слоя СВС-прессованных катодов всех исследованных составов меньше 5% и горение дуги происходит стабильно без резких скачков давления в вакуумной камере. Твердость рабочих слоев не превышает HRA 80 и не требуется особая технология шлифования заготовок катодов.

Выполнена апробация многокомпонентных СВС-прессованных материалов систем Ti-C-Al и Ti-C-Al-Si в качестве катодных материалов при получении вакуумно-дуговых покрытий на основе нитрида титана. Все покрытия, полученные из СВС-катодов, являются однофазными и представляют собой кубический нитрид титана состава (Т1,А1)Ы при использовании катодов системы Т1-С-А1 и состава (Тл,А1,81)К для катодов системы Т1-С-А1-8к Для всех покрытий характерной является преимущественная ориентация кристаллитов по плоскостям (111) и (220) параллельно напыляемой поверхности.

По сравнению с титановым катодом использование многокомпонентных СВС-катодов на основе соединений титана обеспечивает повышение практически всех исследованных показателей качества и свойств покрытий. Только по скорости роста покрытий более тугоплавкие многокомпонентные СВС-катоды уступают титановым катодам. Несмотря на более высокий ток дуги объем микрокапельной фазы у покрытий из многоэлементных нитридов (Т1,А1)М и (Т1,А1,81)М, полученных из СВС-катодов, в 1,5 3 раза меньше, чем у покрытия из одноэлементного нитрида Т1Ы. Микроструктура покрытий (Т1,А1)Ы и (Т1,А1,81)Ы не фрагментирована на столбчатые элементы; размер субзерен в 2 + 2,5 раза меньше, чем у покрытия Т1Ы и составляет 30 36 нм. При примерно одинаковой твердости, равной 26 30 ГПа, покрытия из СВС-катодов за счет более низкого модуля упругости существенно превосходят покрытия из нитрида титана по стойкости к упругой деформации разрушения и сопротивлению пластической деформации. Покрытие (Т1,А1,81)Ы, полученное из СВС-катода расчетного состава Т1Со,5-20% (А1-10% 81), имеет нанот-вердость Н= 40 -М2 ГПа и является сверхтвердым.

Проведены опытно-промышленные испытания эксплуатационных свойств вакуумно-дугового покрытия (Т1,А1,81)ТчГ, полученного из многокомпонентного СВС-катода расчетного состава Т1С0,5-20% (А1-10% 81). При фрезеровании вольфрамо-медного сплава стойкость твердосплавных фрез с покрытием (Т1,А1,81)М в 2 3 раза больше стойкости фрез с покрытием Т1Ы, полученного из титанового катода с магнитной сепарацией плазменного потока.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Ермошкин, Андрей Александрович, 2012 год

1. Григорьев, С.Н. Технология вакумно-плазменной обработки инструмента и деталей машин Текст. / С.Н. Григорьев, H.A. Воронин М.: «СТАНКИН», Янус-К, 2005. - 508 с.

2. Барвинок, В. А. Физические основы и математическое моделирование процессов вакуумного ионно-плазменного напыления Текст. / В.А. Барвинок, В.И. Богданович М.: Машиностроение, 1999. - 309 с.

3. Григорьев, С.Н. Нанесение покрытий и поверхностная модификация инструмента Текст. / Григорьев С.Н., Волосова М.А // М.: «СТАНКИН», Янус-К, 2007. 324 с.

4. Береснев, В.М. Нанокристаллические и нанокрмпозитные покрытия, структура, свойства Текст. / В.М. Береснев, А.Д. Погребняк, H.A. Азаренков, В.И. Фареник, Г.В. Кирик // Физическая инженерия поверхности. 2007. - Т. 5. - № 1-2. - С. 4-27.

5. Андреев, A.A. Свойства, применение и особенности получения наноструктурных покрытий методами физического осаждения в вакууме Текст. / A.A. Андреев, В.М. Шулаев, С.Н. Григорьев // Вестник машиностроения. 2005. - №9. - С. 38-42.

6. Береснев, В.М. Покрытия на основе тугоплавких соединений, осаждаемых из потоков металлической плазмы вакуумной дуги Текст. / В.М. Береснев, В.Т. Толок, В.И. Гриценко // Физическая инженерия поверхности. 2003. - Т. 1. - № 3-4. - С. 237-257.

7. Решетняк, E.H. Синтез упрочняющих наноструктурных покрытий Текст. / E.H. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение. 2008. - № 2. - С. 119-130.

8. Левашов, Е.А. Многофункциональные наноструктурированные пленки Текст. / Е.А. Левашов, Д. В. Штанский // Успехи химии. 2007. - Т. 76.-№ 5.-С. 501-509.

9. Погребняк, А.Д. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий Текст. / А.Д. Погребняк, А.П. Шпак, H.A. Азаренков, В.М. Береснев // Успехи физических наук. 2009. Т. 179. - № 1. -С. 35-64.

10. Дробышевская, A.A. Нанокомпозитные покрытия на основе нитридов переходных металлов Текст. / A.A. Дробышевская, Г.А. Сердюк, Е.В. Фурсова, В.М. Береснев // Физическая инженерия поверхности. 2008. -Т. 6. -№ 1-2.-С. 81-88.

11. Коротаев, А.Д. Наноструктурные и нанокомпозитные сверхтвердые покрытия Текст. / А.Д. Коротаев, В.Ю. Мошков, C.B. Овчинников и др. // Физическая мезомеханика. 2005. - Т. 8. - № 5. - С. 103116.

12. Андреев, A.A. Износостойкие вакуумно-дуговые покрытия на основе титана в инструментальном производстве Текст. / A.A. Андреев, С.Н. Григорьев // СТИН (Станки Инструмент). 2006. - №2. - С. 19-24.

13. Григорьев, С.Н. Технология комбинированного поверхностного упрочнения режущего инструмента из оксидно-карбидной керамики Текст. / С.Н. Григорьев, М.А. Волосова // Вестник машиностроения. 2005. - №9. -С. 32-36.

14. Дудник, С.Ф. Исследование характеристик трения и износа ионно-плазменных покрытий, полученных на алюминиевом сплаве Текст. / С.Ф. Дудник, А.П. Любченко, А.К. Олейник и др. // Физическая инженерия поверхности. 2004. - Т. 2.-№ 1.-С. 112-116.

15. Турбин, П.В. Нанокристалличекие покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом с использованием ВЧ напряжения Текст. / П.В.

16. Турбин, В.М. Береснев, О.М. Швец // Физическая инженерия поверхности. -2006. Т. 4. - № 3-4. - С. 198-202.

17. Шулаев, В.М. Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ Текст. / В.М. Шулаев, A.A. Андреев // Физическая инженерия поверхности. 2008. - Т. 6. - № 1-2. - С. 4-19.

18. Шулаев, В.М. Вакуумно-дуговое осаждение наноструктурных Ti-Si-N покрытий из многокомпонентной плазмы Текст. / В.М. Шулаев, A.A. Андреев, В.А. Столбовой и др. // Физическая инженерия поверхности. 2008. -Т. 6. -№ 1-2.-С. 105-113.

19. Мрочек, Ж.А. О некоторых особенностях вакуумного электродугового нанесения покрытий из сплава Ti-Si в среде азота Текст. / Ж.А. Мрочек, Б.А. Эйзнер, И.А. Иванов // Электронная обработка материалов. 1990. -№ 1. - С. 13-14.

20. Погребняк, А.Д. Многокомпонентные, нанокомпозитные покрытия на основе Ti-Si-N, их структура и свойства Текст. / А.Д. Погребняк, В.М. Береснев, Ф.Ф. Комаров и др. // Физическая инженерия поверхности. 2009. - Т. 7. - № 1-2. - С. 14-22.

21. Ширманов, H.A. Состав, структура и свойства ионно-плазменных покрытий на основе нитрида и карбонитрида титана Текст. / А.Н.

22. Ширманов, Н.Ю. Толубаев, В.Н. Кокорин // Технология металлов. 2008. -№ 4. - С. 40-42.

23. Табаков, В.П. Механические свойства ионно-плазменных износостойких покрытий Текст. / В.П. Табаков, М.Ю. Смирнов, A.B. Циркин, A.B. Чихранов // Упрочняющие технологии и покрытия. 2007. - № 7.-С. 50-52.

24. Табаков, В.П. Исследование механических свойств и напряженного состояния трехэлементных нитридных покрытий Текст. / В.П. Табаков, М.Ю. Смирнов, A.B. Циркин, A.B. Чихранов // Упрочняющие технологии и покрытия. 2009. - № 2. - С. 3-16.

25. Коваль, H.H. Структура и свойства нанокристаллических покрытий Ti-Si-N, синтезированных в вакууме электродуговым методом Текст. / H.H. Коваль, Ю.Ф. Иванов, И.М. Гончаренко и др. // Изв. вузов. Физика. 2007. - № 2. - С. 46-51.

26. Береснев, В.М. Влияние многокомпонентных и многослойных покрытий на процессы трения и износа Текст. / В.М. Береснев // Физическая инженерия поверхности. 2004. - Т. 2. - № 4. - С. 214-219.

27. Колачев, Б.А. Металловедение и термическая обработка цветных металлов и сплавов Текст. / Б.А. Колачев, В.А. Ливанов, В.И. Елагин. М.: Металлургия, 1972. - 480 с.

28. Решетняк, E.H. Синтез упрочняющих наноструктурных покрытий Текст. / E.H. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение. 2008. - № 2. - С. 119-130.

29. Шулаев, В.М. Вакуумно-дуговое осаждение наноструктурных Ti-Si-N покрытий из многокомпонентной плазмы Текст. / В.М. Шулаев, A.A. Андреев, В.А. Столбовой и др. // Физическая инженерия поверхности. 2008. -Т. 6.-№ 1-2.-С. 105-113.

30. Пат. 2196847 России, МКП С23С14/32. Катод электродугового испарителя Текст. / A.B. Лобанов, А.И. Семенчёнок, В.А. Лобанов (Россия). -№ 2000112484/02; Заяв. 18.05.2000; Опубл. 20.01.2003.

31. Пат. 2221079 России, МКП С23С14/00, B22D18/02. Катод электродугового испарителя и способ его получения Текст. / В.Д. Табаков

32. B.П., H.A. Ширманов, Н.Ю. Толубаев, A.B. Циркин. № 2001128913/02; Заяв. 26.10.2001; Опубл. 10.01.2004.

33. Левашов Е.А. Физико-химические и технологические основы самораспространяющегося высокотемпературного синтеза Текст. / Е.А. Левашов, A.C. Рогачев, В.И. Юхвид, И.П. Боровинская М.: Бином, 1999. -176 с.

34. Левашов Е.А. Получение композиционных мишеней в системе Ti-B-Si-Al методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза Текст. / Левашов Е.А., Сенатулин Б.Р., Leyland А., Matthews // Изв. вузов. Цветная металлургия. 2006. - № 1. С. - 66-72.

35. Левашов Е.А. Новые функциональные градиентные мишени на основе карбида и силицида титана для магнетронного распыления биосовместимых покрытий Текст. / Левашов Е.А., Б.Р. Сенатулин, Ю.К. Епишко // Цветные металлы. 2006. - № 9. - С. 91-100.

36. Левашов Е.А. Особенности горения смесей Ti-Si-B и формирования состава, структуры и свойств композиционных мишеней на основе TiB2 и Ti5Si3 Текст. / Е.А.Левашов, Р.Г. Рахбари // Цветные металлы. -2000.-№2.-С. 77-84.

37. Мержанов, А.Г. Процессы горения и синтез материалов Текст. / А.Г. Мержанов. Черноголовка: ИСМАН, 1998. - 512 с.

38. Погожев, Ю.С. Дисперсноупрочненные наночастицами электродные материалы и покрытия на основе карбида титана Текст. // Канд. дисс.: Москва. 2006. - 185 с.

39. Федотов, А.Ф. Моделирование процесса прессования порошковых материалов в условиях самораспространяющегося высокотемпературного синтеза Текст. / А.Ф. Федотов, А.П. Амосов, В.П. Радченко. М.: Машиностроение-1, 2005. - 282 с.

40. Merzhanov, A.G. Self-propagating high-temperature synthesis: Twenty years of search and findings Text. // Combustion and Plasma Synthesis of High-Temperature Materials. N.Y.: VCH Publ. - 1990. - P. 1-53.

41. Мержанов, А.Г. Твердопламенное горение Текст. / А.Г. Мержанов. Черноголовка: ИСМАН, 2000. - 224 с.

42. Мержанов, А.Г. Самораспространяющийся высокотемпературный синтез: теория и практика Текст. // Черноголовка: Территория, 2001. 432 с.

43. Питюлин А.Н. СВС-компактирование твердосплавных материалов и изделий Текст. // М.: ЦНИИ информации и ТЭИ, 1990. 72 с.

44. Амосов, А.П. Порошковая технология самораспространяющегося высокотемпературного синтеза материалов Текст. / А.П. Амосов, И.П. Боровинская, А.Г. Мержанов. М.: Машиностроение-1, 2007. - 567 с.

45. Коидзуми, К. Химия синтеза сжиганием Текст. / К. Коидзуми. -М.: Мир. 1998.-247 с.

46. Borisov, A.A. Self-propagating high-temperature synthesis of materials Text. / A.A. Borisov, L. De Luka, A.G. Merzhanov. New York: Taylor & Francis, 2002.-337 p.

47. Богатов, Ю.В. Однородные и градиентные сплавы на основе карбида титана (структурообразование, свойства, СВС технология) Текст. // Автореф. канд. дисс.: Куйбышев. - 1988. - 19 с.

48. Епишин, K.JI. Закономерности и механизм физико химических превращений при силовом СВС - компактировании Текст. // Автореф. канд. дисс.: Черноголовка. - 1986. - 20 с.

49. Кванин, B.JI. Разработка процесса получения крупногабаритных твердосплавных изделий (КГИ) методом силового СВС компакирования Текст. // Автореф. канд. дисс.: Черноголовка. - 1994. - 26 с.

50. Питюлин, А.Н. СВС прессование Текст. // Технология. Сервис. Оборудование, материалы, процессы. - 1988. - Вып. 1. - С. 34 - 44

51. Питюлин, А.Н. СВС компактирование твердосплавных материалов и изделий Текст. / А.Н. Питюлин - М.: ЦНИИ информации и ТЭИ.- 1990.-72 с.

52. Питюлин, А.Н. Силовое компактирование в СВС процессах Текст. // Самораспространяющийся высокотемпературный синтез: теория и практика. - Черноголовка: Территория. - 2001. - С. 333 - 353

53. Питюлин, А.Н. СВС прессование инструментальных твердых сплавов и функционально - градиентных материалов Текст. // Автореф. доктор, дисс.: Черноголовка. - 1996. - 43 с.

54. Щербаков, В.А. Макрокинетика самораспространяющегося высокотемпературного синтеза с участием жидкой фазы Текст. // Автореф. доктор, дисс.: Черноголовка. 1998. - 49 с.

55. Боровинская, И.П. Некоторые химические аспекты силового СВС компактирования Текст. / И.П. Боровинская, В.И. Ратников, Г.А. Вишнякова // Инженерно - физический журнал. - 1992. - Т.63. -№ 5. - С. 517 -524

56. Левашов, Е.А. Разработка технологических процессов получения новых керамических и керамико-металлических материалов методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза Текст. // Доктор. дисс.-М.- 1995.-97 с.

57. Коидзуми, К. Химия синтеза сжиганием Текст./ К. Коидзуми. -М.: Мир. 1998.-247 с.

58. LaSalvia, J.C. Synthesis in the Ti-C-Ni-Mo System: Part I. Micromechanisms Text. / J.C. LaSalvia, D.K. Kim, R.A. Lipsett, M.A. Meyers // Met. and Mater. Transactions. 1995. - V. 26a. November. - P. 3001 - 3009.

59. J.C. LaSalvia, J.C. Combustion Synthesis in the Ti-C-Ni-Mo System: Part II. Analyses Text. / J.C. LaSalvia, D.K. Kim, R.A. Lipsett, M.A. Meyers // Met. and Mter. Transactions. 1995. - V. 26a. November. - P. 3011 - 3018.

60. Fu, Z.Y. Fabrication of Al203-TiB2 Composites from SHS Raw Powders by Hot Pressing Text. / Z.Y. Fu, W.M. Wang, Y.H. Wang, H. Wang, R.Z. Yuan//Int. Journal of SHS. 1999. - V.8.- 1. - P. 125 - 132.

61. Fu, Z. Y Study on TiB2-Al FGM by SHS Method Text. / Z. Y. Fu, R. Z. Yuan, Z. L. Yang // Proc. 1 int. Simp. FGM. Japan. - 1990. - P. 175.

62. Fu, Z. Y. Fundamental Study on SHS Preparation of TiB2/Al Composites Text. / Z. Y. Fu, R.Z. Yuan, Z.A. Munir, Z.L. Yang // Int. Journal of SHS. 1992.-V.1. - № 1. - P. 119 - 128.

63. Min, X. Variation of Composition and Chemical Bond of (Ti, Nb)C-Ni Composite Formed by SHS Text. / X. Min, K. Cal, С. Nan and R.Z. Yuan // Int. Journal of SHS. 1998. - V.7. - № 4. - P. 539-544

64. Adashi, S. High -pressure Self-combustion Sintering of Alumina-Tutanium Carbide Composite Text. / S. Adashi, T. Wada, T. Minora, Y.

65. Miyamoto, M. Koizumi // J. Am. Ceram. Soc. 1990. - V. 73. - № 5. - P. 14511452.

66. Hoke, D.A. Consolidation of Combustion-Synthesized Titanium Diboride-Based Materials Text. / D.A. Hoke, M.A. Meyers // J. Am. Ceram. Soc. 1995. - V. 78. - № 2. - P. 275-284.

67. Koizumi, M. Functionally Gradient SHS Materials Текст. // Int. Journal of SHS. 1992. - V. 1. - № 1. - P. 80-89.

68. LaSalvia, J.C. Microstructure, Properties and Mechanisms of TiC-MoNi Cermets Produced by SHS Text. / J. C. LaSalvia, M. A. Meyers // Int. Journal of SHS. 1995. - V. 4. - № 1. - P. 43-57.

69. LaSalvia, J.C. Combustion Synthesis/Dynamic Densification of TiC-Ni Cermets Text. / J.C. LaSalvia, M.A. Meyers, D.K. Kim // J. Mater. Synthesis and Processing. 1994. -V. 2. -№ 4. - P. 255-273.

70. Miyamoto, Y. SHS/HIP Compaction Using Inorganic Fuels Text. // Int. Journal of SHS. 1992.-V. l.-№3.-P. 479^189.

71. Miyamoto, Y. Self-Propagating Combustion Sintering of Ceramics Text. // Function and materials. 1989. - V. 9. - № 1. - P. 8-15.

72. Miyamoto, Y. High-pressure Self-combustion Sintering for Ceramics Text. / Y. Miyamoto, M. Koizumi, O. Yamada // J. Am. Ceram. Soc. 1984. - V. 67.-№ 11.-P. 224-227.

73. Olevsky, E.A. Controlled Net Shape, Density, and Microstructure of TiC-NiTi Cermets Using Quasi-Isostatic Pressing Text. / E.A. Olevsky, E.R. Kristofetz, M.A. Meyers // Int. Journal of SHS. 1998. - V.7. - № 4. - P. 517528.

74. Miyamoto, Y. Pressure Combustion Sintering of TiB2-Ti-C and TiB2-SiC Ceramic Composites Text. / Y. Miyamoto, H. Ch Yi., Y. Takano, O. Yamada, M. Koizumi // J. Jpn. Soc. Powder & Powder Metallurgy. 1986. - V. 35,-№7.-P. 651-654.

75. Hoke, D.A. Reaction synthesis: dynamic compaction of titanium diboride Text. / D.A. Hoke, M.A. Meyers, L.M. Meyer, G.T. Gray // Metall. Trans. A. 1991. -V. 23. - P. 77-86.

76. Tang, Q. Structure and Formation Mechanism of Grain-Boundary Phases in TiC-Ni-Mo Alloy Produced by SHS Text. / Q. Tang, S. Yin, H. Lai // Int. Journal of SHS. 1995. - V. 4. - № 4. - P. 379-385.

77. Yamada, O. High-pressure Self-combustion Sintering of Silicon Carbide Text. / O. Yamada, Y. Miyamoto, M. Koizumi // Am. Ceram. Soc. Bull. 1985. - V. 64,-№2.-P. 319-321.

78. Yamada, O. High-pressure Self-combustion Sintering of Titanium Carbide Text. / O. Yamada, Y. Miyamoto, M. Koizumi // J. Am. Ceram. Soc. -1987. V. 70. - № 9. - P. 206-208.

79. Yamada, O. High-pressure Self-combustion Sintering of SiC from Fine Mixed Powders of Silicon and Carbon Text. / O. Yamada, Y. Miyamoto, M. Koizumi // J. Am. Ceram, Soc. 1986. - V. 94. -№ 5. - P. 512-516.

80. Yuan, R. Z. Composite Materials and Composting Process by SHS Tehnology Text. // Int. Journal of SHS. 1997. - V. 6. - № 3. - P. 265-275.

81. Zou, Z. Reaction Dynamic Process and Structure Formation Process in Self-Propagating High-Temperature Synthesis of TiC/Fe Text. / Z. Zou, Z. Fu, R.Z. Yuan // Int. Journal of SHS. 1998. - V.7. - № 4. - P. 529-538.

82. Левашов, Е.А. Получение композиционных мишеней в системе Ti-B-Si-Al методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза Текст. / Е.А. Левашов, Б.Р. Сенатулин, A.Leyland, A. Matthews // Изв. вузов. Цветная металлургия.2006.№1. С. 66-72.

83. Левашов, Е.А. Новые функциональные градиентные мишени на основе карбида и силицида титана для магнетронного распылениябиосовместимых покрытий Текст. / Е.А. Левашов, Б.Р. Сенатулин, Ю.К. Епишко // Цветные металлы. 2006. № 9. С. 91-100.

84. Левашов, Е.А. Особенности горения смесей Ti-Si-B и формирования состава, структуры, свойств композиционных мишеней на основе TiB2 и Ti5Si3 Текст. / Е.А. Левашов, Р.Г. Рахбари, Б.Р. Сенатулин, А.Н. Иванов // Цветные металлы. 2000. № 2. С. 77-84.

85. Григорян, А.Э. Формирование структуры и свойств композиционных мишеней при безгазовом горении в системе Ti-Si-C Текст. / А.Э. Григорян, Р.Г. Рахбари, A.C. Рогачев и др. // Изв. вузов. Цветная металлургия.2000. №1. С. 55-69.

86. Кирюханцев-Корнеев, Ф.В. Структура и свойства Ti-Si-N покрытий, полученных магнетронным распылением СВС-мишеней Текст. / Ф.В. Кирюханцев-Корнеев, Д.В. Штанский, А.Н. Шевейко и др. // Физика металлов и металловедение. 2004. Т. 97. № 3. С. 96-103.

87. Werner, Z. New types of multi-component hard coatings deposited by ARC PVD on steel pre-treated by pulsed plasma beams Text. / Z. Werner, J. Stanislawski, J. Pukoszewski, E.A. Levashov, W.Szywczyk // Vacuum. 2003. V. 70. № 2-3. P. 263-267.

88. Spencer, С.В. Fiber-Reinforced Ti3SiC2 and Ti2AlC MAX Phase Composites Text. / С. B. Spencer. // A Thesis of Master of Science in Materials Science and Engineering. Drexel University. -2010.-92 p.

89. Zhang, E. Phase Constitute and Micrography of Reaction Synthesis of Al+Ti+C System Text. / E. Zhang, S. Zeng, X. Zeng, Q. Li // Acta Metallurgica Sinica. 1995. - V. 8. - № 2. - P. 130-136.

90. Диаграммы состояния двойных металлических систем. Справочник: в 3 т. Т.1. Текст. / Под общ. ред. Н.П. Лякишева. М.: Машиностроение, 1996. - 992 с.

91. Ge, Z. Combustion synthesis of ternary carbide Ti3AlC2 in Ti-Al-C system Text. / Z. Ge, K. Chen, J. Guo, H. Zhou, Jose' M. F. Ferreira // Journal of the European Ceramic Society. 2003. - Vol. 23. - P. 567-574.

92. Jin, S. Morphology Evolution of TiCx Grains During SHS in an Al-Ti-C System Text. / S. Jin, P. Shen, B. Zou, Q. Jiang // Crystal Growth & Design. -2009. V. 9. - №. 2. - P. 646-649.

93. Khoptiar, Y. Ti2AlC ternary carbide synthesized by thermal explosion Text. / Y. Khoptiar, I. Gotman // Materials Letters. 2002. - V. 57. - № 1. - P. 72-76.

94. Вадченко, С.Г. Самораспространяющийся высокотемпературный синтез пористых материалов на основе Ti-Si-Al-C Текст. / С.Г. Вадченко,

95. B.И. Пономарев, А.Е. Сычев // Физика горения и взрыва. 2006. - т. 42. -№2. - С. 53-60.

96. C.-Петербург. 2006. - С. 71-74

97. Лавро, В.Н. Упрочнение и прогнозирование работоспособности режущего инструмента с ионно-плазменными покрытиями Текст. // Материалы международной научно-технической конференции «Современная технология в машиностроении». Тула. - 2007. - С. 137

98. Горелик, С.С. Рентгенографический и электронно-оптический анализ Текст. / С.С. Горелик, Ю.А. Скаков, Л.Н. Расторгуев М.: МИСИС, 1994.-328 с.

99. Русаков, A.A. Рентгенография металлов Текст. / A.A. Русаков -Атомиздат. 1977. - 280 с .

100. Ковальченко, М.С. Теоретические основы горячей обработки пористых материалов давлением Текст. / М.С. Ковальченко. К.: Наукова думка, 1980.-240 с

101. Щербаков, В.А. Макрокинетика процесса СВС-компактирования Текст. / В.А. Щербаков, А.Н. Грядунов, A.C. Штейнберг [Текст] // Инженерно-физический журнал. 1992. - Т. 63. - № 5. - С. 583-592.

102. Холлек, X. Двойные и тройные карбидные и нитридные системы переходных металлов. Справочник. Текст. / X. Холлек. М.: Металлургия, 1988.-319 с.

103. Кипарисов, С.С. Карбид титана: структура, свойства, применение Текст. / С.С. Кипарисов, Ю.В. Левинский, А.П. Петров. М.: Металлургия, 1987.-216 с.

104. Подлесов В.В., Радугин A.B., Столин A.M., Мержанов А.Г. Технологические основы СВС-экструзии Текст. // Инженерно-физический журнал. 1997. - Т. 63. - № 5. - С. 525-537.

105. Питюлин, А.Н. Силовое компактирование в СВС-процессах Текст. // Самораспространяющийся высокотемпературный синтез: теория и практика. Черноголовка: Территория, 2001. - С. 333-353.

106. Самсонов, Г.В. Бориды Текст. / Г.В. Самсонов, Т.И. Серебрякова, В.А. Неронов. М.: Атомиздат, 1975. - 376 с.

107. Белоус В.А., Васильев В.А., Лучанинов A.A. и др. Твердые покрытия Ti-Al-N, осажденные из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы Текст. // Физическая инженерия поверхности. 2009. Т. 7. № 3. С. 216.

108. Самсонов Г.В., Винницкий И.М. Тугоплавкие соединения Текст. / Г.В. Самсонов, И.М. Винницкий М.: Металлургия, 1976. - 560 с.

109. Физико-химические свойства элементов. Справочник Текст. // Ред. Г.В. Самсонов. К.: Наукова думка, 1965. - 808 с.

110. Лашко, C.B. Пайка металлов Текст. / C.B. Лашко, Н.Ф. Лашко. -М.: Машиностроение, 1988. 376 с.

111. Краткий справочник паяльщика Текст. / Под общ. ред. И.Е. Петрунина. М.: Машиностроение, 1991. - 224 с.

112. Колачев, Б.А. Металловедение и термическая обработка цветных металлов и сплавов Текст. / Б.А. Колачев, В.А. Ливанов, В.И. Елагин. М.: Металлургия, 1972. - 480 с.

113. Левашов Е.А. Перспективные материалы и технологии самораспространяющегося высокотемпературного синтеза Текст. / Е.А. Левашов, А.С. Рогачев, В.В. Курбаткина, Ю.М. Максимов, В.И. Юхвид. М. : Изд. Дом МИСиС. - 2011. - 377 с.

114. Вакуумные дуги Текст. / Под ред. Дж. Лафферти. М.: Мир, 1987. -215 с.

115. Эмсли, Дж. Элементы Текст. / Дж. Эмсли. М.: Мир, 2003. - 256 с.

116. Самсонов, Г.В. Тугоплавкие соединения (справочник) Текст. / Г.В. Самсонов, И.М. Винницкий. М.: Металлургия, 1976. - 560 с.

117. Самсонов, Г.В. Силициды Текст. / Г.В. Самсонов, Л.А. Дворина, П.В. Гельд. М.: Металлургия, 1979, - 272 с.

118. Wang, Х.Н. Layered Machinable and Electrically Conductive Ti2AlC and Ti3AlC2 Ceramics: a Review Text. / X.H. Wang, Y.C. Zhou // J. Mater. Sci. Technol.- 2010.-V. 26.-№5.-P. 385-416.

119. Ding X. Abrasive wear resistance of Til-xAlxN hard coatings deposited by a vacuum arc system with lateral rotating cathodes Text. / Ding X., Bui C.T., Zeng X.T. // Surf. And Coat. Technol. 2008. - Vol. 203. - P. 680-684.

120. Horling A. Mechanical properties and machining performance of Til— xALxN-coated cutting tools. Plating Text. / Horling A., Hultman L., Oden M., Sjolen J., Karlsson L. //Surf. And Coat. Technol. 2005. - Vol. 191. - P. 384-392.

121. Шпак А.П., Наконечна O.I., Куницький Ю.А., Соболь О.В. Мехашчш властивоси покритпв на ochobI титану. К.: ИМФ НАЛУ, 2005. -96 с.

122. Fox-Rabinovich G.S. Nano-crystalline filtered arc deposited (FAD) TiAIN PVD coatings for high-speed machining applications Text. / Fox-Rabinovich G.S., Weatherly G.C., Dodonov A.I. et al. //Surf. And Coat. Technol. -2004.-Vol. 177-178.-P. 800-805.

123. Hsu C.H. Filter effects on the wear and corrosion behaviors of arc deposited (Ti,Al)N coatings for application on coldwork tool steel Text. / Hsu C.H., Lee C.C., Ho W.Y. // Thin Solid Films. 2008. - Vol. 516. - P. 4826-4828.

124. Панин, A.B Исследование механических свойств тонких пленок Ag на кремниевой подложке методом наноиндентирования Текст. / A.B. Панин, А.Р. Шугуров, К.В. Оскомов // Физика твердого тела. 2005. - Т.47. -№ 11.- С. 1973-1978.

125. Погребняк, А.Д. Нанокристаллические покрытия, полученные вакуумно-дуговым методом с использованием ВЧ напряжения Текст. / П.В. Турбин, В.М. Береснев, О.М. Швец // Физическая инженерия поверхности. -2006. Т. 4. № 3-4. -С. 198-202.

126. Головин Ю.И. Наноиндентирование и механические свойства твердых тел в субмикрообъемах, тонких приповерхностных слоях и пленках Текст. // Физика твердого тела. 2008. - Т.50. - №12. - С. 2113-2143.