Разработка, создание и исследование систем накачки лазеров на парах меди и эксимерного ArF на основе высоковольтного составного транзисторного коммутатора тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.13, кандидат технических наук Малашин, Максим Владимирович

• Малашин, Максим Владимирович
• кандидат технических наук
• 2010

Оглавление диссертации кандидат технических наук Малашин, Максим Владимирович

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. ГЕНЕРАТОРЫ ВЫСОКОВОЛЬТНЫХ НАНОСЕКУНДНЫХ

ИМПУЛЬСОВ ВОЗБУЖДЕНИЯ ГАЗОРАЗРЯДНЫХ ЛАЗЕРОВ (ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР).

1.1. Генераторы высоковольтных наносекундных импульсов на основе различных типов коммутирующих элементов.

1.2. Системы питания лазеров на парах меди.

1.3. Генерация высоковольтных наносекундных импульсов в системах питания эксимерного лазера.

ГЛАВА 2. ГЕНЕРАТОР ВЫСОКОВОЛЬТНЫХ НАНОСЕКУНДНЫХ

ИМПУЛЬСОВ НА ОСНОВЕ БИПОЛЯРНЫХ ТРАНЗИСТОРОВ С ИЗОЛИРОВАННЫМ ЗАТВОРОМ.

2.1. Высоковольтный твердотельный коммутатор.

2.2. Генератор наносекундных импульсов на основе высоковольтного транзисторного коммутатора и магнитного компрессора.

2.3. Расчет системы магнитного сжатия импульсов.

ГЛАВА 3. СИСТЕМА ПИТАНИЯ ЛАЗЕРА НА ПАРАХ МЕДИ НА ОСНОВЕ

ТВЕРДОТЕЛЬНОГО КОММУТАТОРА.

3.1. Структурная схема твердотельной системы накачки лазера на парах меди.

3.2. Конструкция лазера на парах меди с твердотельной системой накачки.

3.3. Оптимизация параметров системы питания лазера на парах меди.

ГЛАВА 4. ГЕНЕРАТОР ИМПУЛЬСОВ ВОЗБУЖДЕНИЯ ЭКСИМЕРНОГО

ЛАЗЕРА НА ОСНОВЕ ВЫСОКОВОЛЬТНОГО ТВЕРДОТЕЛЬНОГО КОММУТАТОРА.

4.1. Компьютерное моделирование работы генератора.

4.2. Схема и конструкция генератора накачки эксимерного лазера.

4.3. Результаты экспериментов.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка, создание и исследование систем накачки лазеров на парах меди и эксимерного ArF на основе высоковольтного составного транзисторного коммутатора»

Традиционно в качестве высоковольтного коммутирующего элемента генераторов высоковольтных импульсов возбуждения электроразрядных газовых лазеров используются тиратроны [1-12] и вакуумные модуляторные лампы [13,14], однако эти приборы имеют целый ряд недостатков, которые ограничивают их применение при создании технологичных и надежных лазерных систем.

По мере развития полупроводниковых приборов появляется все больше работ, направленных на создание генератора импульсов возбуждения на основе низковольтной (1-2 кВ) полупроводниковой элементной базы. Недостатком таких схем на основе твердотельных ключей является использование-высоковольтного повышающего трансформатора, что ограничивает максимальную длительность импульса и скорость нарастания тока через коммутатор. В результате требуется применение большого числа звеньев магнитного сжатия, что в свою очередь приводит к большим потерям и низкому коэффициенту полезного действия генератора.

Лазеры и технологии на их основе уже стали неотъемлемой частью современного промышленно развитого мира. Они находят широкое применение в машиностроении, медицине, точном приборостроении, военной технике, технологиях передачи информации и многих других областях промышленности, науки и техники [15,16,17,18,19,20]. Среди различных типов квантовых генераторов, лазеры на парах меди и эксимерные АгБ - лазеры занимают особое место, поскольку обладают набором уникальных характеристик.

Лазер на парах меди (ЛПМ) является одним из наиболее эффективных источников излучения в видимом диапазоне спектра среди всех известных на сегодняшний день газовых лазеров. ЛПМ имеет такое сочетание характеристик, которое делает его незаменимым в ряде областей науки, техники и медицины [15,16,21-25].

Эксимерный АгБ лазер является наиболее мощным источником вакуумного ультрафиолетового излучения. Благодаря высокой энергии фотонов и короткой длине волны излучение этого лазера поглощается практически во всех материалах [17,26-33].

Излучение эксимерного АгБ лазера может быть сфокусировано в пятно диаметром порядка длины волны, что позволяет получать высокую интенсивность и локальность воздействия лазерного луча на вещество, что особенно важно для его применений для микрообработки материалов и фотолитографии, является незаменимым инструментом в офтальмологии и нанесении брегговских решеток в световодах.

Наиболее эффективным способом создания инверсии заселенности для, большинства газовых лазеров на текущий момент являются электрический разряд в смеси рабочих газов. Такой разряд, как правило, инициируется импульсом высокого напряжения приложенного к активному элементу лазера [17], для создания импульса нужной формы применяют различные схемные решения называемые генераторами импульсов возбуждения. К недостаткам тиратронов можно отнести:

• малый ресурс (в лучшем случае единицы тысяч часов наработки),

• невозможность работы при высоких значениях частот повторения импульсов вследствие высокой вероятности загорания постоянного дугового разряда,

• деградацию характеристик в течение срока службы,

• нестабильность задержки между подачей импульса управления и переходом в проводящее состояние,

• невозможность управлять выключением тиратрона.

Модуляторная электронная лампа, в отличие от тиратрона, является полностью управляемым вакуумным прибором, однако обладает схожими недостатками:

• малый ресурс (в лучшем случае единицы тысяч часов наработки),

• деградацию характеристик в течение срока службы,

• сравнительно малые значения максимальной амплитуды импульсов анодного тока, вследствие существования тока насыщения.

На основании вышесказанного видно, что разработка и создание долговечных, надежных и эффективных систем накачки лазеров с использованием современной твердотельной элементной базы поможет избежать указанных недостатков и является актуальным направлением исследований.

По мере развития полупроводниковых приборов предпринимались попытки создать генератор импульсов возбуждения на основе полупроводниковой элементной базы. В литературе описаны разработки твердотельных генераторов импульсов возбуждения лазеров на тиристорах. [34], реверсивно включаемых динисторах (РВД) [35-41] и ЗОЭ-диодах [42-45].

Рекордные времена коммутации достигнуты в схемах обрыва больших значений токов с использованием индуктивного накопителя энергии и твердотельного коммутатора на РВД.

Выгодным отличием биполярных транзисторов с изолированным затвором (БТИЗ) является практически неограниченный ресурс работы при стабильности рабочих параметров в течение всего срока службы, способность работать при более высокой частоте повторения импульсов, полная управляемость прибора (как включение, так и выключение), простота схем управления и низкие энергозатраты, а также малые габариты и вес отдельного прибора.

Недостатками традиционных конструкций на основе полупроводниковых ключей является применение высоковольтного повышающего трансформатора, что ограничивает минимальную длительность импульса через коммутатор и в результате требует применения большого числа звеньев магнитного сжатия. Это в свою очередь приводит к большим потерям и низкому КПД генератора.

В Институте электрофизики и электроэнергетики (ИЭЭ РАН) были проведены оригинальные исследования, направленные на создание нового класса высоковольтных твердотельных коммутаторов, состоящих из последовательно соединенных БТИЗ и генераторов высоковольтных наносекундных импульсов на их основе. Такие генераторы находят широкое применение в системах питания различных электрофизических установок [46-60].

Объектом исследований являются системы накачки лазеров на парах меди и эксимерных АгБ лазеров.

Предметом исследований являются твердотельные генераторы высоковольтных наносекундных импульсов на основе составного коммутатора, состоящего из последовательно-параллельно соединенных биполярных транзисторов с изолированным затвором.

Основной целью настоящей диссертационной работы является разработка, создание и исследование твердотельных систем накачки импульсных и импульсно-периодических газоразрядных лазеров на парах меди и эксимерных АгБ лазеров на основе высоковольтного составного транзисторного коммутатора, состоящего из последовательно-параллельно соединенных биполярных транзисторов с изолированным затвором. Исследование электрофизических процессов в системе накачки лазера на парах меди и эксимерного АгБ лазера, определение оптимальных параметров элементов и режимов работы предложенных систем накачки.

Основной подход исследований состоит в применении нового составного высоковольтного твердотельного коммутатора на основе БТИЗ в сочетании со схемой удвоения напряжения^ за счет неполного разряда накопительного конденсатора и системой магнитной компрессии для создания генераторов высоковольтных наносекундных импульсов, способных эффективно накачивать широкий класс газоразрядных лазеров и других газоразрядных приборов.

Основными методами экспериментального исследования были измерения напряжений и токов соответствующими датчиками с субнаносекундным разрешением и системой сбора данных, а также измерение выходных параметров лазерного излучения с помощью термопарного измерителя и быстродействующего оптического детектора.

В ходе экспериментов проводилась регистрация токов, напряжений и тепловых потерь в схеме коммутатора при различных режимах работы (рабочее напряжение на коммутаторе, тип и величина нагрузки, частота повторения импульсов, параметры импульсов управления), а также измерение энергии и мощности выходного лазерного излучения, измерения его распределения, временной зависимости и разброса задержки между лазерным излучением И) синхроимпульсом.

При исследовании схем с параллельно-последовательным включением БТИЗ проводились измерения временных характеристик (разброс времени срабатывания, время нарастания и спада напряжения и тока, падение напряжение, распределение токов, потери) на отдельных транзисторах коммутатора.

Исследование импульсов напряжения проводилось на коллекторах БТИЗ коммутатора, импульсов тока — на выходе коммутатора. Импульсы напряжения измерялись высоковольтными щупами Tektronix Р6015А, импульсы тока -малоиндуктивными шунтами и датчиками тока.

Регистрация электрических сигналов с щупов и датчиков тока проводилась с помощью цифрового запоминающего осциллографа LeCroy Wave Runner 6051А с полосой пропускания 500 МГц и частотой дискретизации 5 Гвыборок/с.

Для оценки мощности потерь температура на элементах коммутатора регистрировались бесконтактным методом с применением инфракрасного пирометра Ray Tek MiniTemp.

В представленной работе впервые предложена, разработана и исследована полностью твердотельная система накачки лазера на парах меди на основе высоковольтного составного транзисторного коммутатора, состоящего из последовательно соединенных БТИЗ и работающего совместно с системой магнитного сжатия импульсов.

В результате исследований автором диссертации была произведена оптимизация параметров предложенной системы накачки ЛПМ с отпаянным саморазогревным активным элементом Ки1оп ЬТ-ЮСи. Достигнуты следующие параметры лазерной системы: средняя мощность - 12 Вт, длительность импульса - 17-20 не, частота повторения 15 кГц, коэффициент полезного действия лазера 0,7 %.

Впервые разработана и создана твердотельная система накачки эксимерного АгБ лазера с высоковольтным твердотельным коммутатором, состоящим из последовательно-параллельно соединенных БТИЗ.

Экспериментально исследована предложенная система накачки газоразрядной камеры эксимерного АгБ лазера модели СЬ5000. Результаты экспериментов показали надежную работу системы накачки лазера, при этом были достигнуты следующие выходные параметры лазера: энергия излучения в импульсе - 15 мДж, частота повторения импульсов - 2 кГц.

Разработанная и созданная автором работы полностью твердотельная система накачки лазера на парах меди позволила создать лазерные системы не только не уступающие по основным параметрам лазерным системам на основе традиционных схем накачки, но и по целому ряду эксплуатационных параметров их превосходящие.

Основными преимуществами предложенной системы накачки ЛПМ по сравнению с традиционными схемами, построенными на базе тиратрона и модуляторной лампы, являются: высокая надежность и долговечность, стабильность характеристик, низкие потери »и сравнительно малые габариты и вес. Применение предложенной системы накачки ЛПМ совместно с отпаянными саморазогревными активными лазерными элементами ФГУП «Исток» создает реальную возможность выпуска конкурентоспособных ЛПМ для лазерного рынка.

Твердотельная система накачки эксимерного ArF лазера на основе высоковольтного твердотельного коммутатора, также состоящего из последовательно-параллельно соединенных БТИЗ, позволяет изготавливать долговечные, надежные и компактные лазерные системы ультрафиолетового диапазона. Способность предложенной системы накачки работать с достаточно высокой частотой повторения открывает возможность ее применения в технологических эксимерных лазерах, работающих в импульсно-периодическом режиме.

Разработанные в настоящей работе генераторы импульсов для накачки; лазеров по своим характеристикам имеют перспективы применения в ряде других областей науки и техники.

Результаты диссертационной работы и опытные образцы разработанных твердотельных коммутаторов и систем накачки лазеров на-их основе использованы в Учреждениях Российской академии» наук Институте электрофизики и электроэнергетики, Центре физического приборостроения Института общей физики им. A.M. Прохорова Российской академии наук, Объединенном институте высоких температур Российской академии наук, Физическом институте имени П.Н.Лебедева Российской академии наук, Институте общей физики Российской академии наук, Институте автоматики и процессов управления Дальневосточного отделения Российской академии наук, а также РНЦ «Курчатовский институт», Научно-производственных объединениях «Астрофизика» и «Полюс», ООО «Алекс Лаб».

На защиту выносятся следующие положения: - Генератор импульсов на основе высоковольтного твердотельного коммутатора, состоящего из последовательно соединенных биполярных транзисторов с изолированным затвором, может эффективно использоваться для создания систем накачки лазеров на парах меди и представляет собой реальную альтернативу существующим системам, а по ряду параметров их превосходит;

- Оптимальные значения параметров режимов работы и величин элементов схемы генератора для предложенной полностью твердотельной системы накачки лазера на парах меди;

- Генератор высоковольтных наносекундных импульсов на основе высоковольтного твердотельного коммутатора состоящего из последовательно-параллельно соединенных биполярных транзисторов с изолированным затвором может эффективно использоваться для накачки эксимерного АгБ лазера;

- Высоковольтный твердотельный коммутатор на основе биполярных транзисторов с изолированным затвором обладает свойством масштабируемости характеристик методом их параллельно-последовательного соединения.

Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения и списка литературы. Диссертация содержит 120 страниц машинописного текста, 4 таблицы, 43 рисунка по тексту и список литературы, который состоит из 145 источников отечественных и зарубежных авторов.

Заключение диссертации по теме «Электрофизика, электрофизические установки», Малашин, Максим Владимирович

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В настоящей работе проводилась разработка, создание и исследование твердотельных систем накачки импульсных газоразрядных лазеров (лазеров на парах меди и эксимерных ArF лазеров) на основе высоковольтного составного транзисторного коммутатора, состоящего из БТИЗ, соединенных последовательно-параллельно. Получены следующие основные результаты:

1. Впервые предложена, разработана и создана полностью твердотельная система накачки лазера на парах меди на основе составного полупроводникового коммутатора, состоящего из последовательно соединенных биполярных транзисторов с изолированным затвором.

2. Проведены экспериментальные исследования и оптимизация параметров системы накачки лазера на парах меди. В результате оптимизации были достигнуты следующие выходные параметры системы накачки: амплитуда выходного напряжения - 14-46 кВ, амплитуда тока -180-^-220 А, время нарастания тока - 35 не, частота повторения импульсов - 15-^20 кГц.

3. Разработан и создан компактный лазер на парах меди на основе активного элемента Kulon LT-10Cu с полностью твердотельной системой накачки, обладающий повышенным ресурсом работы и надежностью в эксплуатации. Достигнуты следующие выходные параметры лазера: средняя мощность излучения - 12 Вт, длительность, импульса - 17-К20 не, частота повторения импульсов - 15 кГц, коэффициент полезного действия лазера 0,7 %.

4. Впервые разработана, создана и исследована система накачки эксимерного ArF лазера на основе высоковольтного твердотельного коммутатора состоящего из параллельно-последовательно соединенных биполярных транзисторов с изолированным^ затвором; работающего совместно с двухступенчатой системой магнитного сжатия импульсов.

Система возбуждения имеет следующие параметры: амплитудное напряжение обостряющего конденсатора - 20-К27 кВ, пиковый ток заряда обостряющего конденсатора - 1,2-Н,5 кА, длительность импульса тока по полувысоте - 70 не, время нарастания выходного напряжения (по уровню 0,1/0,9) - 60 не, частота повторения импульсов - 2 кГц, средняя мощность, отдаваемая в нагрузку — 2 кВт.

5. Экспериментально исследован эксимерный АгБ лазер с твердотельной системой накачки. Достигнуты следующие основные параметры лазера: длительность импульса - до 18 не, энергия излучения в импульсе — до 15 мДж, средняя мощность излучения на длине волны 193 нм - до 10 Вт при частоте повторения импульсов - 1 кГц, размер пучка - 5><12 мм, расходимость пучка - 2x4 мрад.

6. Экспериментально показано, что высоковольтный твердотельный коммутатор на основе биполярных транзисторов с изолированным затвором обладает свойством масштабируемости характеристик методом параллельно-последовательного соединения транзисторов.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Малашин, Максим Владимирович, 2010 год

1. Н.М. Лепехин, Ю.С. Присеко, В.Г. Филиппов Генератор наносекундных импульсов для возбуждения лазеров на парах меди. // Прикладная физика. 2001. №5. С. 46-49.

2. Г.С. Евтушенко, И.Д. Костыря, В.Б. Суханов, В.Ф. Тарасенко, Д.В, Шиянов Особенности накачки лазера на парах меди и бромида меди. // Квантовая электроника. 2001. Т.31. №8. С. 704-708.

3. Солдатов А.Н., Соломонов В.И. Газоразрядные лазеры на самоограниченных переходах в парах металлов. // Новосибирск. Наука. 1985. 152 с.

4. Little C.E. Metal vapour lasers: physics, engineering & applications. // Chichester, UK, John Wiley & Sons Ltd., 1998.

5. Astadjov D., Dimitrov K., Jones D. et al. Copper Bromide Laser Of 120-W Average Output Power. // IEEE J. Quantum.Electron. 1997. Vol.33. No.5 P.705.

6. Withford M., Brown D., Coutts D., Piper J. Increased efficiency of high-quality beam extraction from a copper vapor laser with H2-Ne admixtures. // IEEE J.Quantum.Electron. 1995. Vol.31. No.5 pp. 898-902.

7. Sabotinov N.V., Kostadinov I.K., Bergmann H.W. et al. Proc.XIII Intern. Symp. on Gas Flow and Chemical Lasers and High Power Laser Conference. Florence. Italy. 2001. Vol.4184. P.203.

8. Anderson R., Warner В., Larson C., Grove R. Digest of Technical Papers CLEO-81. //USA. 1981. P.50.

9. Ю.Держиев В.И., Кузнецов B.A., Михальцов Л.А., и др. Лазерное выделение высокообогащенного иттербия-168 в весовых количествах. //

10. Квантовая электроника. 1996. Т.23. №9. С. 771-772.

11. Withford М., Brown J., Piper J. Investigation of the effects of hydrogen and deuterium on copper vapour laser performance. // Optics Communications. 1994. Vol.110, issue 5-6 pp. 699-707.

12. Лосев В.Ф., Тарасенко В.Ф. // ЖТФ. 1976. Т.46. С.2202.

13. Батенин B.M., Бойченко A.M., Бучанов B.B., Казарян? M.A., Климовский И.И., Молодых Э.И. Лазеры на самоограниченных' переходах атомов металлов 2. М.: ФИЗМАТЛИТ. 2009. 544 с.

14. Григорьянц* А.Г., Казарян* М.А., Лябин Н.А. Лазеры на парах-меди: конструкция, характеристики и применения. М.: ФИЗМАТЛИТ. 2005. 312 с.

15. Excimer laser technology Ed. by D. Basting at al. Gottingen: Lambda Physik AG. 2001.292 pp.

16. Г.А. Месяц, B.B. Осипов, В.Ф. Тарасенко Импульсные газовые лазеры. М.: Наука. 1991. 272 с.

17. Gas Lasers / edited by Masamori Endo and Robert F. Walter. CRG Press. 2007. 538 pp.

18. H.-G. Rubahn Laser Applications, in Surface Science and Technology / John Wiley & Sons Ltd. 1996. 339 pp.

19. Исаев A.A., Михкельсоо В.Т., Петраш Г.Г., Пеэт В.Э., Пономарев И.В., Трещалов А.Б. // Квантовая электроника. 1988. Т.15. С.2510.

20. Исаев A.A., Казарян М.А., Петраш Г.Г. Эффективный импульсный лазер на парах меди с высокой средней мощностью. // ЖЭТФ (письма). 1972. Т. 16. С. 40-42.

21. Исаев A.A., Петраш Г.Г. Исследование импульсных газовых лазеров на атомных переходах. Импульсные газоразрядные лазеры на переходах атомов и молекул (Труды ФИАН. Т.81). М.: Наука. 1975. С. 3-87.

22. В.В. Атежев, С.К. Вартапетов, А.Н. Жуков, М.А. Курзанов, А.З. Обидин Эксимерный лазер с высокой когерентностью. // Квантовая электроника. 2003. Т.ЗЗ. №8. С. 689-694.

23. Atejev V.V., Vartapetov S. К., Zhukov A.N., Kurzanov М.А;, Obidin A.Z., Yamschikov V.A. // Tech. Program XI Conf. on Laser Opt. St. Petersburg. 2003: P.18.

24. Atejev V.V., Vartapetov S. K., Zhukov A.N., Kurzanov M.A., Obidin A.Z., Yamschikov V.A. // SPIE. 2004. Vol.5479 P.123.

25. Peters Р., Feenstra L., Bastiaens H. // SPIE. 2001. Vol.4184 P.338.

26. Borisov V., Khristoforov O., Kirykhin Yu., Vinokhodov A., Demin A., Vodchits V., Eltzov A. // SPIE. 2001. Voi.4184 P.348.

27. Kakizaki K., Saito Т., Mitsuhashi K., Arai M., Tada Т., Kasahara S., T. Igarashi, Hotta K. // SPIE. 2000. Vol.4000 P.1397.

28. T. Hofmann, B. Johanson, P. Das. Prospects for long pulse operation of ArF lasers for 193 nm microlithography. // SPIE. 2000. Vol.4000 pp. 511-518.

29. Enami Т., Wakabayashi O., Ishii K., Terashima K., Itakura Y., Watanabe Т., Ohta Т., Ohbu A., Kubo H., Tanaka H., Suzuki Т., Sumitanr A., Mizoguchi H: // SPIE. 2000: Vol.4000 P.1435.

30. Н.Г. Шубкин, С.П. Сычев, B.A. Визирь Магнитотиристорныйгенератор импульсов. // ПТЭ. 1990. №3. С. 96-98.

31. И.В. Грехов, C.B. Коротков, А.Г. Андреев, А.К. Козлов, И.А. Рольник, Н.С. Яковчук Мощный р.в.д.-генератор для эксимерного лазера. // ПТЭ. 1996. №3. С. 115-118.

32. I.V. Grekhov, G.A. Mesyats Physical basis for high-power semiconductor nanosecond opening switches. // IEEE Transactions on Plasma Science. 2000. Vol.28 No.5 pp. 1540-1544.

33. И.В. Грехов, Г.А. Месяц Полупроводниковые наносекундные диоды для размыкания больших токов. // Успехи физических наук. 2005. Т. 175. №7. С. 735-744.

34. Грехов И.В., Коротков C.B., Основные принципы построения мощных импульсных систем и высокочастотных генераторов на основе реверсивно включаемых динисторов. // Электротехника. 1991. №11. G.27.

35. Воронков В.Б., Грехов И.В., Козлов А.К. и-др. Полупроводниковый генератор высоковольтных наносекундных импульсов прямоугольной формы. // ПТЭг2007. №3. С. 78-80.

36. Грехов И*.В1, Козлов А.К., Коротков C.B. и др. Мощный' р.в.д.-генератор высоковольтных квазипрямоугольных импульсов с субмикросекундным фронтом. //ПТЭ. 1999. №6. С. 81-85.

37. I.V. Grekhov, A.K. Kozlov, S.V. Korotkov, A.L. Stepanyants High-voltage RSD switches of submegaampere current pulses of microsecond duration. // Instruments and Experimental Techniques. 2003. T.46. № 1. C. 48-53.

38. Любутин C.K., Месяц. Г.А., Рукин C.H., Словиковский Б.Г., Ульмаскулов М.Р., Шпак В.Г., Шунайлов С.А., Яландин М.И. Генерирование высоковольтных субнаносекундных импульсов пиковой мощности 700 МВт и частотой до 3,5 кГц. // ПТЭ. 2001. №5. С.80.

39. Котов Ю.А., Месяц F.A., Рукин С.Н., Филатов А.Л.' Твердотельный прерыватель тока для генерирования мощных наносекундных импульсов. // Доклады Академии наук. 1993. Т.ЗЗО. №3. С.315.

40. Коровин С.Д., Любутин С.К., Месяц Г.А. Генерирование субнаносекундных импульсов излучения диапазона 10 ГГц с высокой пиковой и средней мощностью. // Письма в "Журнал технической физики". 2004. Т.ЗО. №17. С.15.

41. Рукин С.Н. Генераторы мощных наносекундных импульсов с полупроводниковыми прерывателями тока (обзор) // ПТЭ. 1999. №4. С.5.

42. Е.В. Иванов, М. В. Малашин, С. И. Мошкунов, Хомич В. Ю. Создание и исследование генераторов накачки лазера на парах меди и эксимерного лазера на основе твердотельной элементной базы: отчет ИЭЭ РАН. М.: 2006. 38 с.

43. О.В. Грязнов, Е.В. Иванов, М. В. Малашин, С. И. Мошкунов, В. Ю. Хомич. Генератор накачки эксимерного лазера на основе высоковольтного твердотельного коммутатора. // Прикладная физика. 2008. № 5. С. 32-34.

44. М. В. Малашин, С. И. Мошкунов, Е. А. Шершунова, В. Ю: Хомич Разработка, создание и исследование лазера1 на парах меди с системой накачки на основе твердотельной элементной базы. Отчет ИЭЭРАН.1 М.: 2008. 36 с:

45. Иванов Е.В., Малашин М.В., Мошкунов С.И., Хомич В.Ю. Лазер на1 парах меди с полностью твердотельной> системой накачки. Тезисы докладов симпозиума "Лазеры на парах металлов" (ЛПМ-2008), Лоо, 2008. С.36.

46. Malashin M.V., Khasaya R.R., Khomich V. Yu., Yamschikov V.A. Possibility of increasing of the excimer lasers emission time duration: Book of abstracts, 17th International conference on advanced laser technologies. Antalya, Turkey. 2009. P.67.

47. V. Yu. Khomich, M. V. Malashin, S. I. Moshkhunov, E. A. Shershunova High voltage solid-state pumping source for excimer laser. Book of abstracts, 17th International conference on advanced laser technologies. Antalya. Turkey. 2009. P.68.

48. C.K. Вартапетов, OlB. Грязнов, M.B: Малашин, С.И.' Мошкунов, C.B. Небогаткин, P.P. Хасая, В.Ю. Хомич; В:А. Ямщиков: Электроразрядный ВУФ лазер с твердотельным генератором накачки. // Квантовая, электроника. 2009.39(8). С. 714-718.

49. М.В. Малашин, С.И. Мошкунов, В.Ю. Хомич. Разработка, создание и исследование лазера на парах меди с системой накачки на основе твердотельной элементной базы / Препринт ИЭЭ РАН. М.: 2009. 29 с.

50. М.В. Малашин, С.И. Мошкунов, В.Ю. Хомич Генератор накачки лазера на парах меди на основе высоковольтного твердотельного коммутатора. // Прикладная физика. 2010. № 5. С. 127-132.

51. Иванов Е.В., Мошкунов С.И., Хомич В.Ю. Разработка генератора высоковольтных наносекундных импульсов на основе биполярных транзисторов с изолированным затвором: Отчет ИПЭФ РАН. М.: ИПЭФ РАН. 2004. 55 с.

52. Е.В. Иванов, С.И. Мошкунов, В.Ю. Хомич. Генератор высоковольтных наносекундных импульсов на основе биполярных транзисторов с изолированным затвором. / Препринт ИПЭФ РАН. М.: РИИС ФИАН. 2004. 50 с.

53. Иванов Е.В., Мошкунов-С.И., Хомич В.Ю: Магнитотранзисторный генератор для питания лазера' на парах меди. // Приборы и* техника' эксперимента. 2006. №1. С. 88-90.

54. Иванов Е.В., Мошкунов С.И., Хомич В.Ю. Генератор высоковольтных наносекундных импульсов на основе составного твердотельного коммутатора. // Прикладная физика. 2006. №2. С. 122-125.

55. М.В. Малашин, С.И. Мошкунов, В.Ю: Хомич Система накачки лазера на' парах- меди- на основе составного твердотельного коммутатора. Тезисы докладов симпозиума "Лазеры на парах металлов" (ЛПМ-2010), Лоо; 2010:

56. П.А. Воронин Силовые полупроводниковые ключи: семейства,характеристики, применение. M.: Издательский дом Додэка-ХХ1. 2001. 384 с.

57. Горбатюк A.B., Грехов И.В., Короткое C.B. и др. // Письма в ЖТФ. 1982. Т.8.В.11: С. 685-688.

58. С. В. Коротков, Ю. В; Аристов, В. Б. Воронков; A. JE Жмодиков, А. К. Козлов, Д. А. Коротков, А. Г. Люблинский Р.В.Д.-коммутатор мощных импульсов тока. //ПТЭ. 2010. №1. С. 172-173.

59. Gorbatyuk A.V., Grekhov I.V., Nalivkin A.V. Theory of quasi-diode operation of reversely switched dinistors. // Solid-St. Electronics. 1988. Vol.31. No.10. pp. 1483-149.1.

60. Грехов И.В., Коротков C.B., Козлов A.K:, Степанянц А.Л. Генератор мощных высоковольтных импульсов на основе реверсивно включаемого динистора для систем питания-электрофильтров. //ПТЭ. 1997. №5. С. 125-127.

61. Грехов И.В., Коротков C.B., Андреев А.Г., Козлов А.К., Рольник И.А., Степанянц А.Л. Мощные р.в.д.-генераторы для электроразрядной очистки воды.//ПТЭ. 1997. №5. С. 128-131.

62. Воронков В.Б., Грехов И.В., Коротков C.B., Христюк Д.В. Мощный генератор квазипрямоугольных импульсов с большой длительностью и наносекундным фронтом нарастания на основе инверсно восстанавливающихся диодов. // ПТЭ. 2002. №3. С. 57-59.

63. Грехов И.В., Козлов А.К., Коротков C.B., и др. Формирование мощных импульсов наносекундной длительности при помощи р.в.д.-генераторов с обостряющими цепями на основе диодных прерывателей тока. // ПТЭ. 1999. №4. С. 101-105.

64. Воронков В.Б., Грехов И.В., Козлов А.К. и др. Высокочастотный полупроводниковый генератор высоковольтных наносекундных импульсов. // ПТЭ; 2007. №3. .С. 75-77.

65. А.В. Горбатюк, И.Е. Панайотти Пространственная динамика эффектов тепловой перегрузки кремниевых диодов и динисторов.// Письма в ЖТФ; 2006. Т.32. №22. С. 37-44.

66. А.И. Бушляков, С,К. Любутин, А.В. Пономарев и др. ПТЭ. 2006. №4.1. С.72.

67. S.K. Lyubutin, G.A. Mesyats, S.N. Rukin, B.G. Slovikovskii Repetitive nanosecond all-solid-state pulsers based on sos diodes. // IEEE Pulsed Power Conf. Albuquerque. N. Мех. 1993. pp. 134-139.

68. С.Ю. Соковнин Мощная импульсная техника. Изд.:ГОУ-ВПО УГТУ-УПИ. Екатеринбург. 2008. 65 с.

69. Е. Suekawa, М. Inoue, К. Mochizuki, М. Kawakami, Т. Minato and К. Satoh Well-tempered combination of ultra-high voltage lGBT and Diode rated 6.5 kV // Papers of Technical Meeting on Electron Devices, IEE Japan. 2003. Vol.EDD-03. No.50-59. pp. 19-23.

70. M. N. Nguyen, R. L. Cassel, J. E. deLamare, and G. C. Pappas Gate drive for high speed, high power IGBTs // Pulsed Power Plasma* Science, 2001. Digest of Technical Papers. Vol.2, pp. 1039-1042.

71. Д.В. Шиянов, Г.С. Евтушенко, В.Б. Суханов, В.Ф. Федоров Лазер на парах бромида меди с высокой частотой следования импульсов. // Квантовая электроника. 2002. Т.32. №8. С. 680-682.

72. Бохан П.А., Силантьев В.И., Соломонов. В.И. // Квантовая электроника. 1980. Т.7. С. 1264.

73. Яковленко С.И. // Квантовая электроника. 2000. Т.ЗО. С.501.

74. Hogan G.P., Webb С.Е. Pulsed metal vapor lasers // New York. Kluwer Acad. Publ. 1996. Vol.5. P.67.

75. Astadjov D.N., Dimitrov K.Di, Jones D.R., Kirkov V.K., Little C.E., Sabotinov N.V., Vuchkov N.K. // IEEE J. Quantum Electron. Vol.33. 1997. P.705.

76. Jones DiR., Maitlad A., Little C.E. // IEEE J. Quantum Electron. Vol.30.1994. Р.2385.

77. Withford M.J., Brown D.W., Piper J.A. // Opt. Lett. 1998. Vol.23. P.1538.

78. Marshall G.D., Coutts D.W. // IEEE J. Selected Topics Quantum Electron. 2000. Vol.6. P.623.

79. Jeff Hecht The laser guidebook. New York: McGraw-Hill. 1986. 498 pp.

80. A.N. Soldatov, V.F. Fedorov Copper vapor laser with 230-kHz pulse repetition rate. // Soviet Physics Journal. 1984. Vol.26. No.3. pp. 844-848. ,

81. Воронов В.И., Кирилов A.E., Солдатов A.H., Федоров В.Ф., Юдин H.A. Высокочастотная коммутация большой мощности. // ПТЭ. 1982. №1. С. 151-152.

82. Гарагатый С.Н., Пеленков В.П., Юдин H.A. Лазер на парах меди с независимым подогревом "Милан М/2Е". // Квантовая электроника. 1988. Т.15. С. 1974-1975.

83. Демкин В.П., Солдатов А.Н., Юдин H.A. Эффективность лазера на парах меди. // Оптика атмосферы и океана. 1993. Т. 16. №6. С. 659-665.

84. Солдатов А.Н., Федоров В.Ф., Юдин H.A. Эффективность лазера Hai парах меди с частичным разрядом накопительной емкости. // Квантовая электроника. 1994. Т.21(8). С. 733-734.

85. Фогельсон Т.Б., Бреусова Л.Н., Вагин Л.Н. Импульсные водородныетиратроны. М.: Советское радио. 1974. 212 с.

86. Меерович JI.A., Ватин И.М., Зайцев Э.Ф., Кандыкин В.М. Магнитные генераторы импульсов. М.: Советское радио. 1968. 476 с.

87. Birx D.L., Cook E.G., Hawkins S., Mayers A., Reginato L.L., Schmidt J.A., Smith M.W. Regulation and drive system for highrep rate magnetic pulse compressors. // IEEE Conference record of 1982 fifteens power modulator symposium, pp. 15-21.

88. Визирь B.A., Иванов C.B., Ковальчук Б.М., Манылов В.И., Шубкин Н.Г., Червяков В.В., Юрьев В.В., Бутаков Л.Д., Толмачев-В.И., Транзисторный модулятор сверхвысокочастотного магнетрона. // Приборы и техника эксперимента. 2004. № 4. С. 53-56.

89. Атежев В.В., Вартапетов С.К., Жуков А.Н., Курзанов М.А., Обидин А.З., Ямщиков В.А. // Квантовая электроника. 2003. Т.ЗЗ. № 8. С.677.

90. Атежев В.В., Вартапетов С.К., Жуков А.Н., Курзанов М.А., Обидин

91. A.З. //Квантовая электроника. 2003. Т.ЗЗ. № 8. С.689.

92. Вартапетов С.К., Жигалкин A.A., Лапшин К.Э., Обидин А.З., Хомич

93. B.Ю., Ямщиков В.А. // Квантовая электроника. 2006. Т.36. № 5. С.393':

94. Vartapetov S.K., Zhigalkin A.A., Lapshin K.E., Obidin A.Z., Khomich V.Yu., Yamshchikov V.A. // Quantum Electronics. 2006. Vol.36(5). P.393.

95. Larionov Y., Rybaltovsky A., Semjonov S., Bubnov M., Dianov E., Vartapetov S., Kurzanov M., Obidin A., Yamschikov V., // Optical Fiber Communication-OFC-2003. Tech.Digest. Vol.1. P.38.

96. Larionov Yu.V., Rybaltovsky A.A., Semjonov S.L., Bubnov M.M., Dianov E.M., Vartapetov S.K., Kurzanov M.A., Obidin A.Z., Yamschikov V.A., Guryanov A.N., Yashkov M.V., Umnikov A.A. Bragg Gratings, Photosensitivity and

97. Poling in Glass Waveguides (BGPP'2003). Monterey, California, USA, September 13. 2003. Technical Digest. MC4, P.46.

98. Осипов В.В.//УФН. 2000. T.170. №3. C.225.

99. Месяц Г.А., Осипов1 B.B., Тарасенко В.Ф. Импульсные газовые лазеры. М.: Наука. 1991.

100. Месяц Г.А. Генерирование мощных наносекундных импульсов. М.: Советское Радио. 1974.

101. В.В. Атежев, С.К. Вартапетов, А.В. Жуков, М.А. Курзанов, А. 3. Обидин, В.А. Ямщиков Условия эффективного возбуждения электроразрядного Г2-лазера. //Квантовая электроника. 2003. Т.ЗЗ. №7,8. С. 677-683.

102. С.К. Вартапетов, А.А. Жигалкин, К.Э. Лапшин, А.З. Обидин, В.Ю. Хомич, В.А. Ямщиков Исследование электроразрядного ВУФ лазера на молекулярном фторе. // Квантовая электроника. 2006. Т.36. №5. С.393.

103. М.А.М. El-Osealy, Т. Jitsuno, К. Nakamura, Y. Uchida, Т. Goto Oscillation and gain characteristics of longitudinally excited VUV F2 laser at 40 Torr total pressure. // Optics Communications. 2002. Vol.20. No.7. pp. 255-259:

104. Аполлонов В.В!, Ямщиков В.А. // Квантовая-электроника. 1997. №24. С. 483.

105. Andreas Gortler, Claus Strowitzki, Stephan Geiger, High repetition'rate 157nm Mini Eximer - Lasers. // XIII International Symposium on Gas Flow and Chemical Lasers and High Power Laser Conference. SPIE. 2001. Vol.4184.

106. S. I. Moshkunov A New Approach for Developing Highly effective Solid-State HV Pulse Generators for Laser Pumping. // The 17th International. Conference on Advanced Laser Technologies ALT'09. P.l 10.

107. ИЗ. С.И. Мошкунов Новый подход к созданию твердотельных систем накачки лазеров на парах металлов. Тезисы докладов симпозиума "Лазеры на парах металлов" (ЛПМ-2010), Ло'о, 2010.

108. A.R. Hefner An investigation of the drive circuit requirements for the power insulated gate bipolar transistor (IGBT). // IEEE Transactions on powerelectronics. 1991. Vol.6. No.2. pp. 208-219.

109. L. Dulau, S. Pontarollo, A. Boimond, J-F. Gamier, N. Giraudo, O. Terrasse A new gate driver integrated circuit for IGBT devices with advanced protections. // IEEE Transactions on power electronics. 2006. Vol.21. No.l. pp. 3844.

110. Бохан П.А., Герасимов B.A., Соломонов В.И. и др. О механизме генерации ОКГ на парах меди. Эффективные газоразрядные лазеры на парах металлов (Сборник статей). Томск.: Издательская лаборатория ИОА СО АН СССР, 1978. С. 133-159.

111. Галкин А.Ф., Климовский И.И. К вопросу об улучшении энергетических характеристик саморазогревных лазеров на парах меди. Трудове на първа национална конференция по оптика и лазерная техника -«Оптика'82». Панагюрище. 22-25 септембри. 1982. С. 127-129.

112. Соколов A.B., Свиридов A.B. // Квантовая электроника., 1981. Т.8. №8. С. 1686-1696.

113. Бабейко Ю.А., Васильев JI.A., Свиридов A.B. и др. // Квантовая электроника. 1979. Т.6. №5. С. 1102-1105.

114. Исаев A.A., Леммерман Г.Ю. Система питания импульсных лазеров на парах меди. Лазеры на парах металлов и их галогенидов (Труды ФИАН. Т.181). М.: Наука. 1987. С. 164-179.

115. Исаев A.A., Казарян М.А., Петраш Г.Г. // Журнал прикладной спектроскопии. 1973. Т. 18. В.З. С. 483-484.

116. Киселев Ю.В., Черепанов В.П. Искровые разрядники. М.: Советское радио. 1976.

117. Солдатов А.Н., Суханов В.Б., Федоров В.Ф., Юдин H.A. // Оптика атмосферы и океана. 1995. Т.8. №11. С. 1626-1636.

118. Кирилов А.Е., Кухарев В.Н., Солдатов А.Н., Тарасенко В.Ф. // Известия высших учебных заведений Физика. 1977. №10. С. 146-149.

119. Nerheim N.M., Bhanji A.M., Rüssel G.R. // IEEE J. Quantum

120. Electronics. 1978. Vol.QE-14. №9. pp. 686-693.

121. Лапшин К.Э., Обидин A.3., Токарев B.H., Хомич В.Ю., Шмаков В.А., Ямщиков В.А. // Российские нанотехнологии. 2007. Т.2. №11,12. С.59.

122. Лапшин К.Э., Обидин А.З., Токарев В.Н., Хомич В.Ю., Шмаков В.А., Ямщиков В.А. // Физика и химия обработки материалов. 2008. № 1. С.35.

123. Мешков А.Н., Шишко В.И., Еремин С.Н. Наносекундный импульсный генератор большой мощности. //ПТЭ. 1984. №4. С. 103-105.

124. Мешков А.Н., Скворцов А.Ф., Шишко В.И., Еремин С.Н. Наносекундный импульсный магнитный модулятор для источника5 электронов линейного ускорителя. //ПТЭ. 1990. №3. С.103-105.

125. В.В. Кремнев, Г.А. Месяц! Методы* умножения и? трансформации импульсов в сильноточной электронике. Новосибирск.: Наука. 1987.226 с.

126. Гордеев П.Г., Калинов А.А., Поляков Н.П*., Румянцев П.П., Гофман

127. B.Э., Синенко В*.В. Ярушкин Ю.П., Низьев В.Г. Источник питания мощностью-15 кВт с регулируемым и стабилизированным напряжением для импульсно периодических газовых лазеров. // Приборы и техника эксперимента. 1990. №5.1. C. 119-122.

128. IR1150S Data Sheet International Rectifier Corp., 2005.

129. IRAC1150-300W CCM Boost Converter for PFC Demo Board Documentation, International Rectifier Corp. 2005.

130. K.M.Smedley, S.Cuk, "One-Cycle Control of Switching Converters"

131. Z. Lai, K.M. Smedley A Family of Continuous Conduction Model Power Factor Correction Controllers Based on the General Pulse Width'odulator // IEEE Trans. On Power Electronics. 1988. Vol.13. No.2.

132. L.M.Smith, Z.Lai, K.M.Smedley A New PWM Controller with One-Cycle Response. // IEEE APEC'97 Conference Proceedings. Vol.2, pp. 970-976.

133. R.B. Ridley Average small-signal analysis of the boost power factor correction circuit. //VPEC Seminar Proceedings. 1989. pp. 108-120.

134. Chen Zhou, M.M. Jovanovic Design Trade-offs in continuous current-mode controlled boost power-factor correction circuits. // High-Frequency Power Conversion Conference Proceedings. 1992. pp. 209-220.

135. R.Brown, M.Soldano One Cycle Control 1С Simplifies PFC Designs. // APEC'05 Conference Proceedings.

136. R. Brown, B.Lu, M.Soldano Bridgeless PFC implementation using One Cycle Control Technique. // APEC'05 Conference Proceedings.

137. K.M.Smedley One Cycle Controlled Switching Circuit. U.S. Patent 5,278,490

138. L.Dixon, High Power Factor Preregulator for Off-Line Power Supplies. Unitrode Design Seminars Manual. SEM-700. 1990.

139. Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука. Гл. ред. физ.-мат. лит. 1992.