Эффективные источники вынужденного и спонтанного излучения с накачкой от индуктивных и емкостных накопителей энергии тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.21, доктор физико-математических наук Панченко, Алексей Николаевич

• Панченко, Алексей Николаевич
• доктор физико-математических наук
• 2012

Оглавление диссертации доктор физико-математических наук Панченко, Алексей Николаевич

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА I. ФОРМИРОВАНИЕ ОБЪЕМНЫХ САМОСТОЯТЕЛЬНЫХ 21 РАЗРЯДОВ В ГАЗОВЫХ СМЕСЯХ ВЫСОКОГО ДАВЛЕНИЯ

§ 1.1. ОСНОВНЫЕ ПРОЦЕССЫ В ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЕ

§ 1.2. СИСТЕМЫ НАКАЧКИ САМОСТОЯТЕЛЬНЫМ РАЗРЯДОМ 25 С ЕМКОСТНЫМИ НАКОПИТЕЛЯМИ ЭНЕРГИИ

§ 1.3. СИСТЕМЫ НАКАЧКИ НА ОСНОВЕ ГЕНЕРАТОРОВ С

ИНДУКТИВНЫМИ НАКОПИТЕЛЯМИ ЭНЕРГИИ

ГЛАВА II. МЕТОДИКИ ИЗМЕРЕНИЙ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ 35 АППАРАТУРА

§ 2.1. ИЗМЕРЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ ИЗЛУЧЕНИЯ ЭКСИЛАМП И 35 ЛАЗЕРОВ

§ 2.2. ИЗМЕРЕНИЕ ИМПУЛЬСОВ ТОКА И ПАДЕНИЯ 40 НАПРЯЖЕНИЯ НА РАЗРЯДНОМ ПРОМЕЖУТКЕ

§ 2.3. ПРИГОТОВЛЕНИЕ ГАЗОВЫХ РАБОЧИХ СМЕСЕЙ

§ 2.4. ПОГРЕШНОСТИ ИЗМЕРЕНИЙ

§ 2.5. КОНСТРУКЦИИ ИСТОЧНИКОВ СПОНТАННОГО ИЗЛУЧЕНИЯ

2.5.1. Мощные эксилампы барьерного разряда.

2.5.2. Мощные эксилампы с возбуждением поперечным самостоятельным 43 разрядом

2.5.3. Мощные эксилампы тлеющего разряда

§ 2.6. КОНСТРУКЦИИ ЛАЗЕРОВ С ФОРМИРОВАНИЕМ 46 ОБЪЕМНОГО РАЗРЯДА ГЕНЕРАТОРАМИ С ЕМКОСТНЫМИ НАКОПИТЕЛЯМИ ЭНЕРГИИ

2.6.1. ХеС1* - лазеры с промышленными коммутаторами

2.6.1.1. Мощные лазеры «ЛИДА-101» и «ЛИДА-КТ»

2.6.1.2. Лазер «ЛИДА-Д» с переменной длительностью импульса 48 излучения

2.6.1.3. Длинноимпульсный ХеС1 - лазер «ЛИДА-М»

2.6.2. Универсальные лазеры «ФОТОН»

2.6.3. Многоволновой лазер «ДИЛАН»

§ 2.7. КОНСТРУКЦИИ ЛАЗЕРОВ НА ОСНОВЕ ГЕНЕРАТОРОВ С 58 ИНДУКТИВНЫМИ НАКОПИТЕЛЯМИ ЭНЕРГИИ И ПРЕРЫВАТЕЛЯМИ ТОКА РАЗЛИЧНЫХ ТИПОВ

2.7.1. Лазер с накачкой от генератора с плазменно-эрозионным 58 прерывателем тока

2.7.2. Лазеры с накачкой от генераторов с прерывателями тока на основе 60 промышленных диодов типа СДЛ

2.7.3. Лазеры с накачкой от генераторов с полупроводниковыми 61 прерывателями тока на основе SOS - диодов

2.7.3.1. Лазеры с искровой предыонизацией

2.7.3.2. Широкоапертурный азотный лазер с рентгеновской 64 предыонизацией

2.7.3.4. Лазеры с возбуждением продольным разрядом

ГЛАВА III. ЭФФЕКТИВНЫЕ ИСТОЧНИКИ УФ - СПОНТАННОГО 68 ИЗЛУЧЕНИЯ НА ОСНОВЕ САМОСТОЯТЕЛЬНЫХ РАЗРЯДОВ В СМЕСЯХ ИНЕРТНЫХ ГАЗОВ И ГАЛОГЕНОВ

§ 3.1. ЭКСИЛАМПЫ С НАКАЧКОЙ НОРМАЛЬНЫМ ТЛЕЮЩИМ 69 РАЗРЯДОМ

3.1.1. Цилиндрические эксилампы на молекулах XeF*, XeCl*, KrCl*

3.1.2. Коаксиальные эксилампы на молекулах XeCl и KrCl

§ 3.2. XeCl* И KrCf - ЭКСИЛАМПЫ С НАКАЧКОЙ 81 ПОДНОРМАЛЬНЫМ ТЛЕЮЩИМ РАЗРЯДОМ

§ 3.3. КОАКСИАЛЬНЫЕ БАРЬЕРНЫЕ ЭКСИЛАМПЫ С 85 ПОВЫШЕННОЙ ЭНЕРГИЕЙ ИЗЛУЧЕНИЯ В ИМПУЛЬСЕ

§ 3.4. МОЩНЫЕ ЭКСИЛАМПЫ С НАКАЧКОЙ ПОПЕРЕЧНЫМ 91 САМОСТОЯТЕЛЬНЫМ РАЗРЯДОМ

3.4.1. Спектральный состав излучения эксилампы

3.4.2. Вольтамперные и излучательные характеристики поперечного 94 объемного разряда

ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ III

ГЛАВА IV. ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫЕ ЛАЗЕРЫ С ЕМКОСТНЫМИ 103 ГЕНЕРАТОРАМИ НАКАЧКИ

§ 4.1. УПРАВЛЕНИЕ ЭНЕРГЕТИЧЕСКИМИ, ВРЕМЕННЫМИ И

ПРОСТРАНСТВЕННЫМИ ХАРАКТЕРИСТИКАМИ ИЗЛУЧЕНИЯ

XeCI* - ЛАЗЕРОВ

§ 4.2. ЭФФЕКТИВНЫЕ РЕЖИМЫ РАБОТЫ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНОГО 116 ЛАЗЕРА НА МОЛЕКУЛАХ KrCl*

§ 4.3. ЭФФЕКТИВНЫЕ НЕЦЕПНЫЕ HF(DF) - ЛАЗЕРЫ С 133 НАКАЧКОЙ ОБЪЕМНЫМ САМОСТОЯТЕЛЬНЫМ РАЗРЯДОМ ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ IV

ГЛАВА V. ЭФФЕКТИВНЫЕ ЛАЗЕРЫ УФ И ВИДИМОГО ДИАПАЗОНА 156 С НАКАЧКОЙ ОТ ГЕНЕРАТОРОВ С ИНДУКТИВНЫМИ НАКОПИТЕЛЯМИ ЭНЕРГИИ И ПРЕРЫВАТЕЛЯМИ ТОКА РАЗЛИЧНЫХ ТИПОВ

§ 5.1. МОДЕЛИРОВАНИЕ РАБОТЫ ПЛАЗМЕННО-ЭРОЗИОННОГО 157 ПРЕРЫВАТЕЛЯ ТОКА

§ 5.2. ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫЕ ЛАЗЕРЫ С НАКАЧКОЙ ОТ 165 ГЕНЕРАТОРА С ПЛАЗМЕННО-ЭРОЗИОННЫМ ПРЕРЫВАТЕЛЕМ ТОКА

§ 5.3. ЛАЗЕРЫ С НАКАЧКОЙ ПОПЕРЕЧНЫМ 169 САМОСТОЯТЕЛЬНЫМ РАЗРЯДОМ ОТ ГЕНЕРАТОРОВ С ПОЛУПРОВОДНИКОВЫМИ ПРЕРЫВАТЕЛЯМИ ТОКА (ГПТ)

5.3.1. Особенности работы полупроводниковых прерывателей тока в 169 импульсных генераторах

5.3.2. Пеннинговский плазменный лазер на смеси неона с водородом

5.3.3. Лазер на атомарных переходах фтора (FI - лазер)

5.3.4. Эффективные лазеры на галогенидах инертных газов с большой 184 длительностью импульса излучения

5.3.4.1. Расчетные модели электроразрядных XeCI* - и KrF* - лазеров с 184 накачкой от генераторов с полупроводниковыми прерывателями тока

5.3.4.2. XeF* - лазер с накачкой от ГПТ

5.3.4.3. KrF - лазер с накачкой двойным разрядом от генератора с ГПТ

5.3.4.4. XeCI* - лазер с накачкой двойным разрядом от ГПТ на основе

SOS - диодов с длительностью импульса накачки 150 не

5.3.4.5. Длинноимпульсные XeCI - лазеры с накачкой двойным 211 разрядом от ГПТ

5.3.4.6. Задающий генератор на основе длинноимпульсного ХеС1* - 220 лазера с накачкой от ГПТ ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ V

ГЛАВА VI. ЭФФЕКТИВНЫЕ АЗОТНЫЕ, С02 - И НЕЦЕПНЫЕ 225 ХИМИЧЕСКИЕ ЛАЗЕРЫ С НАКАЧКОЙ ОТ ГЕНЕРАТОРОВ С ПОЛУПРОВОДНИКОВЫМИ ПРЕРЫВАТЕЛЯМИ ТОКА

§ 6.1. ЛАЗЕРЫ С ПРОДОЛЬНЫМ РАЗРЯДОМ, ВОЗБУЖДАЕМЫЕ 225 ГЕНЕРАТОРАМИ С ПОЛУПРОВОДНИКОВЫМИ

ПРЕРЫВАТЕЛЯМИ ТОКА

§ 6.2. МОЩНЫЕ ДЛИННОИМПУЛЬСНЫЕ АЗОТНЫЕ ЛАЗЕРЫ С 235 ПОЛУПРОВОДНИКОВЫМИ ПРЕРЫВАТЕЛЯМИ ТОКА

6.2.1. Расчетная модель лазера на смесях азота с электроотрицательными 239 газами

6.2.2. Параметры генерации азотного лазера и характеристики объемного 245 разряда в смесях азота с электроотрицательными газами

6.2.3. Режимы работы азотного лазера на смесях азота с 8Р6 и №

6.2.4. Широкоапертурный электроразрядный азотный лазер

§ 6.3. ЭФФЕКТИВНЫЕ С02 - ЛАЗЕРЫ С НАКАЧКОЙ ОТ 264 ГЕНЕРАТОРОВ С ПОЛУПРОВОДНИКОВЫМИ ПРЕРЫВАТЕЛЯМИ ТОКА

§ 6.4. НЕЦЕПНЫЕ ХИМИЧЕСКИЕ ЛАЗЕРЫ С НАКАЧКОЙ ОТ 270 ГЕНЕРАТОРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫМИ ПРЕРЫВАТЕЛЯМИ

ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ VI

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Эффективные источники вынужденного и спонтанного излучения с накачкой от индуктивных и емкостных накопителей энергии»

Общая характеристика работы. Диссертационная работа посвящена исследованию физических процессов в рабочих средах источников вынужденного и спонтанного излучения (лазеров и эксиламп) на основе газовых смесей различного состава при накачке самостоятельными электрическими разрядами, формируемыми источниками импульсного и постоянного напряжения, а также определению энергетических, спектральных и временных характеристик излучения данных источников. Основное внимание в работе уделено исследованию характеристик лазерного излучения, генерируемого в поперечных объемных самостоятельных разрядах, формируемых импульсными генераторами на основе емкостных ЬС -генераторов и генераторов с прерывателями тока различных типов, а также параметров спонтанного излучения молекул галогенидов благородных газов в тлеющем и барьерном разрядах.

Актуальность работы. В настоящее время газоразрядные источники спонтанного (эксилампы) и вынужденного (лазеры) излучения находят широкое применение при проведении исследований взаимодействия излучения с веществом, в многочисленных технологических приложениях, медицине, биологии, при синтезе новых материалов и модификации их свойств, фотостимулирования различных химических процессов, в фотобиологии, фотомедицине, т.д. [1, 2]. Поэтому создание источников излучения, улучшение их рабочих параметров, поиск новых эффективных режимов работы данных источников является актуальной задачей, имеющей большое научное и практическое значение.

К началу настоящей работы было обнаружено излучение гетероядерных возбужденных молекул, состоящих из атома инертного газа и галогена или кислорода, которые были названы эксиплексами и положили начало развитию эксиплексных лазеров и эксиламп на молекулах галогенидов благородных газов (ГБГ) [3]. Интенсивная флуоресценция молекул Ю(* {Я - атом инертного газа, X - атом галогена) впервые обнаружена при взаимодействии атома инертного газа в о метастабильном состоянии Р2 с галогеносодержащими молекулами [4, 5]. Первый экиплексный лазер был запущен на молекулах ХеВг* в 1975 г. [6]. Несколько позже * * была получена генерация и на молекулах ХеБ , ХеС1 и КгБ [7, 8].

С этого времени также начались исследования, направленные на получение спонтанного ультрафиолетового или вакуумного ультрафиолетового излучения эксиплексных молекул. Было показано, что ряд эксимерных и эксиплексных сред, на которых не достигается порог лазерной генерации, пригодны для формирования спонтанного излучения при различных условиях возбуждения. В ряде работ изучались излучательные характеристики импульсного тлеющего и поперечного объемного разрядов в смесях инертных газов и галогенов высокого давления. Получена люминесценция молекул АгО , АгС1 , ХеС1 , ХеВг , ХеБ и Хе1 [9-12]. Эффективность излучения в импульсных разрядах была крайне низка из-за развития контракции объемного разряда. Существенное повышение излучательных характеристик эксиламп на молекулах ГБГ было достигнуто при накачке тлеющим разрядом постоянного тока [13]. Максимальная эффективность свечения молекул ХеСГ и КгС1* достигала 10% при мощности излучения около 10 Вт, однако исследования, направленные на дальнейшее увеличения КПД и мощности излучения эксиламп данного типа, не проводились. Сравнимые значения мощности излучения и эффективности имеют эксилампы барьерного разряда [14, 15]. Для возбуждения эксиламп данного типа используются относительно короткие импульсы, следующие с большой частотой. При этом возможность повышения пиковой мощности эксиламп барьерного разряда практически не исследовалась. Объемный поперечный разряда также используется для получения мощного спонтанного УФ - и ВУФ - излучения [12, 16]. Однако приведенные в литературе параметры таких источников спонтанного излучения крайне низки. Тем не менее, повышение характеристик эксиламп, в которых рабочая излучающая среда формируется самостоятельными разрядами различных типов, актуально в силу растущих потребностей в мощных и недорогих источниках УФ - и ВУФ - излучения в различных областях науки и техники, а улучшение параметров эксиламп требует дополнительных исследований.

Формирование и поддержание объемного поперечного самостоятельного разряда также весьма важно при создании эффективных импульсных газовых лазеров. В настоящее время для формирования самостоятельных разрядов и накачки импульсных электроразрядных лазеров широко используются генераторы, основанные на емкостных накопителях энергии (ЕНЭ) различных конструкций. Применение генераторов накачки с ЕНЭ на основе ЬС - контуров позволило создавать лазеры с высокой импульсной и средней мощностью излучения на переходах различных атомов и молекул [17-26 ]. При использовании ЬС - генераторов для создания мощных эффективных лазеров приходится решать ряд сложных проблем, связанных с повышением мощности накачки, формированием однородного объемного разряда и эффективной передачей в создаваемую активную среду энергии, запасенной в генераторе накачки. При этом к электрической цепи генератора предъявляются жесткие и зачастую противоречивые требования: минимизировать индуктивность разрядного контура, обеспечить высокое напряжение на разрядном промежутке на стадии формирования разряда и значительно более низкое напряжение на стадии ввода основной энергии в разряд и т.п. Удовлетворение вышеприведенных требований, как правило, сопряжено с серьезными трудностями, которые приводят к заметному усложнению конструкции импульсного генератора. При этом накачка от генераторов с емкостными накопителями энергии не всегда позволяет реализовать эффективные режимы работы источников спонтанного и вынужденного излучения. Также для ряда активных сред не определены параметры импульсов возбуждения, формируемых генераторами с емкостными накопителями, и составы газовых смесей, позволяющие достичь предельных эффективностей работы источников вынужденного излучения.

Вместе с тем уже достаточно давно известны методы генерации импульсов высокого напряжения с помощью индуктивных накопителей энергии (ИНЭ) и прерывателей тока различных типов [27]. В этом случае определенная часть энергии первичного емкостного накопителя (накопительной емкости Со) передается в индуктивность цепи генератора, а затем при срабатывании прерывателя тока может быть использована для создания активной лазерной среды на основе объемного самостоятельного разряда. В генераторе накачки прерыватель выполняет (совместно с ИНЭ) функции усилителя мощности, умножителя напряжения, а также обострителя фронта импульсов тока и мощности накачки. Таким образом, применение прерывателя тока позволяет более широко использовать потенциальные возможности LC - генератора накачки, а перечисленные свойства делают ИНЭ и прерыватель важными инструментами при решении проблем, связанных с формированием объемного разряда и эффективной передачей энергии в активную среду, что, в свою очередь, может обеспечить эффективную лазерную генерацию в различных рабочих газовых смесях. Несмотря на перечисленные достоинства генераторов с ИНЭ к началу выполнения настоящей работы подробные исследование характеристик объемного разряда и лазерных параметров в рабочих газовых смесях высокого давления при накачке генераторами с прерывателями тока (ГПТ) практически не проводились. Основная причина этого связана с отсутствием простых и надежных прерывателей тока, способных работать в импульсно-периодическом режиме. Ситуация изменилась после открытия эффекта наносекундного обрыва тока в промышленных силовых диодах типа СДЛ и КЦ и создания на основе этого эффекта специального прерывателя тока - SOS - диода (от англ. Semiconductor Opening Switch). SOS - диоды позволяют переключать на нагрузку токи в десятки килоампер за единицы наносекунд с частотой повторения в несколько килогерц. При этом они компактны, способны выдерживать многократные перегрузки по току и напряжению, имеют практически неограниченный срок службы. Поэтому возможности, которые открывает применение прерывателя в генераторах накачки, в сочетании с уникальными свойствами современных полупроводниковых прерывателей тока (ППТ) делают генераторы с ИНЭ и ППТ весьма привлекательными для возбуждения импульсных газовых лазеров.

Таким образом, к началу выполнения настоящей работы актуальными оставались следующие направления исследований и создания газоразрядных источников спонтанного и вынужденного излучения. Во-первых, исследование физических процессов в плазме самостоятельных разрядов с целью получения максимальных эффективностей газоразрядных источников спонтанного излучения с рабочими средами на основе смесей инертных газов с галогенами при использовании различных режимов возбуждения. Во-вторых, исследование параметров объемного самостоятельного разряда и вынужденного излучения в различных рабочих газовых смесях при накачке от ЬС - генераторов и поиск режимов возбуждения, в которых реализуются максимальные эффективности работы электроразрядных лазеров. В-третьих, широкие исследования режимов работы электроразрядных газовых лазеров с накачкой генераторами с индуктивными накопителями и прерывателями тока различных типов, включая ранее не использовавшиеся для этой цели. В связи с этим, тематика настоящей диссертационной работы, связанная с исследованием протекающих в различных газовых рабочих средах физических процессов, направленных на достижение максимальных выходных параметров источников вынужденного и спонтанного излучения, является актуальной.

Цель и задачи диссертационной работы. Целью работы было изучение физических процессов, протекающих в активных и рабочих средах газоразрядных источников вынужденного и спонтанного излучения при их возбуждении самостоятельными разрядами различных типов для повышения их выходных характеристик: эффективности, энергии, мощности и длительности импульсов излучения. При этом основное внимание уделено рабочим средам источников вынужденного излучения при формировании объемного самостоятельного разряда генераторами с прерывателями тока и источников спонтанного излучения на основе тлеющих разрядов различных типов.

Достижение цели работы предполагало решение следующих задач: * *

1). Исследование эксиламп на молекулах ХеБ , ХеС1 и КгС1 , возбуждаемыми нормальным и поднормальным тлеющими разрядами, а также барьерным и поперечным разрядами, определение влияния частоты следования и формы импульсов тока разряда, а также состава рабочих газовых смесей на эффективность работы различных эксиламп.

2). Определение оптимальных условий возбуждения поперечным объемным разрядом с УФ - предыонизацией электроразрядных лазеров на молекулах KrCl* и HF (DF), при которых достигаются максимальные эффективности генерации лазерного излучения.

3). Проведение исследований работы плазменного прерывателя тока и генератора с ИНЭ и прерывателем данного типа, исследование накачки ХеС1*, азотного лазеров и лазера на смеси, Ne-Нг данным ГПТ для определения возможности использования генераторов с ИНЭ для накачки импульсных газовых лазеров.

4). Определение параметров импульсов возбуждения, формируемых генератором с полупроводниковым прерывателем тока на основе SOS - диодов, при которых достигается максимальная длительность существования объемной стадии разряда в активных газовых смесях эксиплексных XeF*- , KrF*- , XeCl* - лазеров и в смесях гелия с фтором и трифторидом азота.

5). Экспериментальное и теоретическое исследование характеристик объемного разряда и параметров вынужденного излучения на молекулах галогенидов инертных газов и азота при различных режимах накачки рабочих газовых смесей генераторами с полупроводниковыми прерывателями тока.

6). Исследование возможности получения новых эффективных режимов работы лазеров на молекулах азота, С02, HF (DF) при формировании объемного самостоятельного разряда генераторами с полупроводниковыми прерывателями тока.

Методы исследований. Основным методом исследований является физический эксперимент. Для определения характеристик разряда использовались стандартные методики измерения и регистрации осциллограмм импульсов тока разряда, напряжения на плазме объемного самостоятельного разряда, свечения разряда и стандартные методики оценки ошибок эксперимента. Для интерпретации полученных экспериментальных данных использовалось математическое моделирование работы ряда источников излучения на основе кинетических моделей, разработанных в Лаборатории газовых лазеров и Лаборатории теоретической физики Института сильноточной электроники СО РАН и оценочные расчеты.

На защиту выносятся следующие научные положения:

1. В положительном столбе нормального и поднормального тлеющего разряда в смесях Хе(Кг) : С1г= (6-3): 1 при давлении до р ~ 10 мм рт.ст. при добавках легких инертных газов (гелия и (или) неона) при содержании /?Не добавки pG < pnt < -^Pg> где pa - парциальное давление хлора и возбуждении импульсами длительностью *

10" с < t < 10" с достигается КПД излучения эксиплексных молекул KrCl и ХеС1

IO 1 до 20% за счет высокой (до ~10 см с ) скорости их образования в гарпунных реакциях и низкой (~1017 см~3с~') скорости их безызлучательной релаксации в активном объеме эксилампы.

2. При накачке смесей Хе(Кг) : С12 = (150-100) : 1 при давлении 100-200 мм рт.ст. объемным барьерным разрядом максимальная эффективность 8-10% свечения молекул ХеС1* и KrCl* достигается при удельной энергии накачки 0,1-0,2 мДж/см3 в течение импульса возбуждения длительностью не более 500 не.

3 3

Увеличение энергии накачки с 0,2 мДж/см до 1 мДж/см приводит к уменьшению КПД эксиламп барьерного разряда с 8-10% до 3%, связанному с падением скорости образования эксиплексных молекул в гарпунной реакции из-за роста потерь возбужденных атомов инертного газа в процессе ступенчатой ионизации и ростом скорости тушения эксиплексных молекул в столкновениях с электронами.

3. При накачке активной среды, состоящей из Ne, Кг и HCl с соотношением компонентов Kr : HCl = (100 - 200) : 3 мм рт.ст. при давлении Ne 3-5 атм, объемным самостоятельным разрядом длительностью 40-120 не в квазистационарной стадии разряда реализуется генерация на молекулах KrCl* с эффективностью 2-2,5% при удельных мощностях накачки PyJX = 2-7 МВт/см .

4. В смесях SFö с водородом и дейтерием в соотношении SFö:H2(D2) = 8:1 при давлениях смеси 20-50 мм рт.ст. достигаются предельные КПД генерации нецепных электроразрядных HF - и DF - лазеров до 7-10% при длительности импульса тока объемного самостоятельного разряда не более 100-150 не и удельной энергии накачки 30-70 Дж/л, что связано с появлением каскадных переходов, увеличивающих количество лазерных линий в спектре выходного излучения лазера.

5. Использование высоковольтного предымпульса с временем нарастания тф= 10-20 не, обеспечивающего приведенную напряженность поля на лазерном промежутке не менее Е/р = 5 кВ/(смхатм), скорость нарастания тока разряда dl/dt =2-3 кА/нс и удельную мощность накачки не менее 1 МВт/см , является условием формирования устойчивого объемного разряда в смесях Ne-Kr-F2, Ne-Xe-NF3 при соотношении компонент смеси Kr : F2 = 60 : 1,5 мм рт.ст, Хе : NF3 = (6-3) : (1,5-0,5) мм рт.ст. и в смесях Не - F2(NF3) при содержании F2(NF3) 1,5-3 мм рт.ст. и давлении буферного газа неона или гелия до 3 атм с длительностью до 150 не. В этих условиях достигается лазерная генерация на В-Х переходах молекул KrF ,

XeF* с эффективностью до 3% и реализуются максимальные мощность (до 400 кВт) и энергия (до 8 мДж) излучения на атомарных переходах фтора с длительностью импульса излучения до 150-200 не.

6. В газовых смесях Ne - Хе - HCl при соотношении компонентов смеси Хе : HCl = (12-10) : (1,2-1,0) мм рт.ст. и давлении буферного газа до 3 атм формируется устойчивый объемный разряд с полной длительностью до t = 550 не, и реализуется эффективная генерация на молекулах ХеСГ с энергией до Q = 1,5 Дж, КПД 7/0=1,5% и длительностью лазерного импульса на полувысоте до ¿ш = 300 не при использовании предымпульса, обеспечивающего на лазерном промежутке максимальное значение параметра Е/р не менее 5 кВ/(смхатм), скорость нарастания тока разряда не менее 4 кА/нс и мощность накачки не менее 2 МВт/см3.

7. При возбуждении объемным поперечным разрядом смесей азота с добавками NF3 и SF6 при давлении азота р{N2) = 30 - 60 мм рт.ст. и содержании добавки (0,1-0,25)x/?(N2), максимальном значении параметра Е/р на лазерном промежутке не менее 200 В/(смхмм рт.ст.) и активной длине лазера / не менее 70 см реализуется режим работы азотного лазера на ^=337,1 нм с двумя пиками излучения в течение одного импульса накачки из-за увеличения напряжения горения объемного разряда за счет прилипания к электоротрицательным молекулам. При увеличении / до 90 см и Е/р до 300 В/(смхмм рт.ст.) достигается режим генерации прямоугольных импульсов на X = 337,1 нм с длительностью >50 не при максимальной энергии и эффективности генерации азотного лазера, а дополнительная разгрузка уровня ВзПё вынужденными переходами на полосе B3ng-A3Su+ азота увеличивает длительность импульсов генерации на X = 337,1 нм до 100 не.

8. При формировании объемного разряда в смесях Не : С02 : N2 =3:1:1 атмосферного давления предымпульсами, обеспечивающими максимальное значение параметра Е/р на лазерном промежутке не менее 35 кВ/(смхатм) и скорость нарастания тока разряда не менее 2 кА/нс, реализуется режим накачки при оптимальном для заселения верхнего лазерного уровня С02 - лазера значении параметра Е/р <15 В/(смхмм рт.ст.) и достигается мощная (до Q = 6,2 Дж и Рлаз = 45 МВт) эффективная (до rjint = 20%) генерация на Я = 10,6 мкм.

Достоверность результатов исследований обусловлена применением общепринятых методик измерения параметров электрических импульсов и характеристик лазерного и спонтанного излучения, использованием современной регистрационной аппаратуры и современных методик эксперимента, современных аналитических и численных методов; количественным совпадением экспериментальных данных с результатами модельных расчетов, согласованием полученных результатов с данными, полученными другими авторами в подобных условиях эксперимента. Использованная в экспериментах аппаратура позволяла проводить измерения импульсов с временным разрешением не хуже 10 не, максимальная относительная ошибка измерений энергии (мощности) излучения и КПД лазеров не превышала ±10% и ±15%, соответственно, относительная ошибка измерения мощности и КПД эксиламп составляла ±25%, спектральная полуширина аппаратной функции спектральных приборов не превышала 2,5 нм.

Научная новизна работы заключается в том, что впервые:

1). Предложены рабочие среды газоразрядных источников спонтанного излучения с накачкой тлеющим разрядам, состоящие из смесей Хе-С1г и Кг-С^ с добавками Не и (или) Ne, в которых достигается увеличение эффективности спонтанного излучения молекул XeCl* и KrCl* по сравнению с ранее использовавшимися смесями. (Патент Российской Федерации RU 2089962 С1. Опубл. 09.10.1997 г.);

2). Определены оптимальные для достижения максимальной эффективности работы KrCl* - и XeCl* - эксиламп тлеющего разряда формы импульса возбуждения, частота их следования и плотность тока разряда. Измерена эффективность свечения молекул XeCl* и KrCl* в положительном столбе тлеющего разряда. (Патент РФ RU №2089971 С1. Опубл. 9.10.1997 г., Патент РФ RU №2096863 С1, H01J61/02, H01J61/64. Опубл. 20.11.1997 г., US Patent 6376972 Bl. Publ. April 23, 2002);

3). Измерена эффективность свечения эксиплексных молекул в поднормальном тлеющем разряде в смесях инертных газов с хлором. Сделаны предположения о причинах высокого КПД свечения эксиплексных молекул в разряде данного типа. Предложено использовать поднормальный тлеющий разряд для создания эффективных источников УФ - излучения. *

4). Предложен механизм ограничения эффективности свечения молекул KrCl , XeCl в объемном барьерном разряде в смесях ксенона или криптона с хлором при повышении мощности возбуждения.

5). Определены условия возбуждения поперечным объемным разрядом смесей SF6 с водородосодержащими молекулами и дейтерием, обеспечивающие максимальные КПД работы нецепных HF - и DF - лазеров.

6). Определены условия, при которых достигаются максимальные скорости обрыва тока в эрозионной лазерной плазме, создаваемой импульсами ХеС1 - лазера. Предложено использовать плазменно-эрозионный прерыватель с лазерной плазмой в генераторе с индуктивным накопителем для накачки газовых лазеров.

7). Предложено использовать генераторы с прерывателями тока на основе полупроводниковых SOS - диодов газовыми лазерами для возбуждения двойным разрядом различных рабочих газовых смесей. Показано, что ГПТ повышает стабильность и длительность горения объемной стадии самостоятельного разряда в смесях инертных газов с HCl, NF3 и F2, в смесях N2-SF6 (NF3) и He-C02-N2 и увеличивает энергию излучения и длительность импульса генерации на В-Х * * переходах молекул XeF , KrF , XeCl , на переходах первой и второй положительных системах молекулы азота и атомарных переходах фтора.

8). Показано, что при накачке смесей N2-SF6 (NF3) объемным самостоятельным разрядом значение параметра Е/р на лазерном промежутке в квазистационарной стадии разряда за счет прилипания электронов к электроотрицательным молекулам достигает значений, достаточных для увеличения времени

3 3 существования инверсии на переходе С Пи-В Пё молекулы азота.

9). Реализованы новые режимы генерации азотного лазера в смесях азота с SF6(NF3): -с двумя пиками излучения в течение одного импульса накачки;

-режим генерации прямоугольных импульсов с большой длительностью; -режим каскадной генерации, позволяющий увеличивать длительность лазерных

3 3 3 импульсов на полосе С Пи-В Пё за счет разгрузки уровня В Пё вынужденными переходами на полосе В3Пё-А3£и+.

10). Найдены условия, при которых использование ГПТ расширяет диапазон длительностей импульса и удельной энергии накачки нецепных химических HF (DF) - лазеров, в которых реализуется эффективная генерация.

Научная ценность полученных в работе результатов состоит в том, что:

1). Сделано предположение о причине повышения КПД эксиламп тлеющего разряда в тройных смесях He(Ne)-Xe(Kr)-HCl, связанное с увеличением коэффициента вторичной эмиссии для ионов Не+ и Ne+ по сравнению с ионами Хе+ и Кг+, что снижает катодное падение и увеличивает энерговклад в положительный столб тлеющего разряда.

2). Показано, что высокая скорость образованием эксиплексных молекул в гарпунных реакциях и низкая скорость их безызлучательной релаксации в плазме разряда является физической причиной высокой (до 15%) эффективности свечения эксиплексных молекул в положительном столбе нормального тлеющего разряда.

3). Определена оптимальная удельная энергия возбуждения барьерных эксиламп. Показано, что причиной падения эффективности эксиламп барьерного разряда при увеличении удельной энергии накачки является падение скорости образования эксиплексных молекул и рост скорости их в столкновительного тушения.

4) Измерены энергетические параметры излучения молекул ArCl*, KrCl*, XeCl* в поперечном объемном самостоятельном разряде. На основе проведенных исследований и результатов других работ сделан вывод, что причиной низкой эффективности свечения молекул ArCl* может служить их предиссоциация.

5). Установлены оптимальные условия накачки KrCl* - лазера поперечным объемным разрядом и определен максимальный КПД лазерной генерации на молекулах KrCl*.

6). Показана возможность разгрузки нижнего уровня перехода С Пи-В Пё вынужденными переходами первой положительной системы азота B3ng -А3£и+, позволяющая увеличить длительность излучения на А.=337,1 нм до 100 не при накачке смесей N2~SF6 объемным самостоятельным разрядом, формируемым ГПТ.

7) Определены условия и предложен механизм повышения устойчивости объемного разряда, формируемого ГПТ, в активных газовых смесях лазеров на эксиплексных молекулах.

Практическая значимость работы состоит в том, что:

1). Существенно улучшены выходные параметры эксиламп с накачкой тлеющим * разрядом. Созданы KrCl - и XeCl - эксилампы с мощностью излучения до 500 Вт и КПД до 15%.

2). Созданы импульсные источники ВУФ - и УФ - спонтанного излучения с повышенной плотностью мощности излучения: а) импульсные барьерные XeCl* - и KrCl* - эксилампы с энергией излучения до 25 мДж, пиковой мощностью излучения до 150 кВт при удельной мощности УФ -излучения на поверхности эксилампы до «100 Вт/см и КПД «10%. б) эксилампы на молекулах XeCl*, KrCl*, ArCl* с накачкой поперечным объемным разрядом с плотностью мощности излучения до »2 кВт/см при энергии в импульсе до Q « 3 мДж. Данные источники излучения были использованы в компании INVAP (Аргентина).

3). Разработаны образцы электроразрядных эксиплексных и азотных лазеров, которые использовались для проведения исследований в различных учреждениях (Институте общей физики АН СССР (г. Москва), Институте физики АН УССР (г. Киев), Сибирском физико-техническом институте (г. Томск), Институте физики АН БССР (г. Минск), Физико-энергетическом институте (г. Обнинск), Научно-исследовательском кабельном институте (г. Томск), Институте сильноточной электроники (г. Томск), НИИ полупроводниковых приборов (г. Томск)).

4). Созданы электроразрядные эксиплексные KrCl* - лазеры (к = 222 нм) с энергией излучения до Q = 0,6 Дж и КПД до 0,8%.

4). Созданы нецепные электроразрядные HF(DF) - лазеры с предельной эффективностью и энергией излучения до 4 Дж.

5). Создан электроразрядный XeCl* - лазер с длительностью импульса излучения на полувысоте до 300 не при полной длительности импульса излучения 550 не и плотности энергии излучения >150 мДж/см для использования в качестве задающего генератора в мощной лазерной системе, поставленной в Китайский Северно-западный институт ядерной технологии (СИЯТ), г. Сиань, КНР.

Сведения о внедрении результатов и предложения по их использованию. При участии автора созданы и внедрены лазеры «ДИЛАН», «ЛИДА - KT», «ЛИДА - 101», «ЛИДА - Т», «ФОТОН», мощные импульсные эксилампы с возбуждением барьерным и поперечным разрядами, генераторы с полупроводниковыми прерывателями тока для накачки лазеров, длинноимпульсные XeCl* - лазеры с накачкой ГПТ, которые были переданы в научные и коммерческие организации, как в России, так и за рубежом. Так, лазеры серии «ЛИДА» были внедрены в Институте физики АН УССР (1986 г.), Институте физика АН БССР (1986 г.), Институте общей физики АН СССР, г.Москва, (1990 г.), Сибирском физико-техническом институте, г. Томск (1989 г.). Мощные импульсные

XeCl - KrCl - лампы были поставлены в компанию INVAP (Аргентина). Длинноимпульсный XeCl* - лазер использовался в качестве задающего генератора в мощной лазерной системе. Генератор с полупроводниковым прерывателем тока для накачки лазеров был поставлен в компанию Beams Inc., Япония. Акты внедрения и копии контрактов включены в Приложение диссертации.

Полученные результаты могут быть использованы при создании электроразрядных лазеров на различных переходах атомов и молекул, мощных эффективных эксиламп непрерывного и импульсного действия, а также газоразрядных источников спонтанного излучения повышенной импульсной мощности.

Реализация результатов работы. Диссертационная работа выполнялась в рамках госбюджетных НИР, проводившихся в Лаборатории оптических излучений (ЛОИ) ИСЭ СО РАН в период 1986 - 2011 гг., а также в ходе проведения ряда работ в области фундаментальных и прикладных исследований, поддержанных:

1). Проектами РФФИ: «Эффективное излучение эксиплексных молекул в электроразрядной плазме низкого давления», № 96-02-16668-а (1996-1998 гг.); «Исследование и создание эффективных газоразрядных источников спонтанного излучения в ВУФ области спектра», № 05-08-33621-а (2005 - 2007 гг.), № 06-08-01196-а «Комплексное исследование лазерной абляции твердых материалов при воздействии импульсами ИК - и УФ - излучения различной длительности: механизмы и пути управления» (2006-2008 гг.), 09-08-00880-а «Физико-химические механизмы формирования плазмы при импульсном лазерном пиролизе органических полимеров» (2008 - 2010 гг.), 10-08-00916-а «Поиск путей управления параметрами лазерного абляционного факела на жидкометаллической мишени» (2010-2012 гг.), 11-08-00427-а «Формирование микроструктур на поверхности жидких металлов при лазерной абляции» (2011-2012 гг.).

2). Проектом INTAS № 96-0351 (1997 - 1999 гг.).

3). Проектами МНТЦ (ISTC): № 1270 (2001-2003 гг.), № 2706 (2004-2006 гг.), № 3583р (2007-2010 гг.).

4). Средствами по контрактам с зарубежными компаниями: INVAP, Аргентина (2 контракта, 2004 г.); Всекитайская компания «Синь Ши Дай», Северо-западный институт ядерных технологий, КНР (2 контракта, 1999-2001 гг.); компания Beams Inc., Япония (1 контракт, 2003 г.).

5). Средствами по хоздоговорам с Институтом физики АН БССР, г. Минск, (1986 г.), Институтом физики АН УССР, г. Киев (1983 г.), Физико-энергетическим институтом, г. Обнинск (1991 г.), Институтом общей физики, г. Москва (1990 г.).

Личный вклад автора. В исследованиях, представленных в настоящей диссертационной работе, автору принадлежит выбор направлений исследований в рамках общего направления и постановка задач, анализ и интерпретация полученных результатов. Результаты исследований получены автором лично или при его определяющем участии. На различных этапах в работе принимали участие сотрудники ЛОИ ИСЭ СО РАН: М.И. Ломаев, Э.А. Соснин - при исследовании эксиламп тлеющего разряда; А.Е. Тельминов, Е.Х. Бакшт - при проведении исследований электроразрядных лазеров с ГПТ. Моделирование эксиламп тлеющего разряда было выполнено A.M. Бойченко, С.И. Яковленко, А.Н. Ткачевым (Институт общей физики РАН, г. Москва). Разработка численных моделей эксиплексных ХеСГ-KrF* - лазеров с накачкой от ГПТ и моделирование работы лазеров проведены А.Г. Ястремским, Ю.И. Бычковым и С.А. Ямпольской (Лаборатория газовых лазеров ИСЭ СО РАН). Моделирование работы азотного лазера на смесях с электроотрицательными газами проведено А.И. Сусловым (Лаборатория теоретической физики, ИСЭ СО РАН). Часть экспериментов проводилась с использованием широкоапертурного лазера, разработанного И.Н Коноваловым (Лаборатория газовых лазеров ИСЭ СО РАН). Решающее влияние на выбор общего направления исследований и возможность проведения большинства исследований, представленных в настоящей диссертационной работе, было оказано заведующим Лабораторией оптических излучений ИСЭ СО РАН В.Ф. Тарасенко.

Публикации. По материалам диссертации опубликовано более 100 работ, включая 75 публикаций в журналах из списка ВАК и 14 патентов, из них один международный.

Апробация результатов работы. Результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались на следующих конференциях, совещаниях и симпозиумах: Всесоюзном совещании «Инверсная населенность и генерация на переходах в атомах и молекулах» (г. Томск, Россия, 1986 г.); Nonlinear Optical Processes in Solids: Icono'91 (Санкт-Петербург, Россия, 1991), Gas and Chemical Lasers (San Jose, California, USA, 1996 г.), LASERS'97 (New Orleans, Louisiana, 1997), Excimer Lasers, Optics, and Applications (San Jose, California, USA, 1997 г.), LASERS"98 (Tucson, Arizona, USA, 1998 г.); LASERS'99; LASERS'2000 (Albuquerque, New Mexico, USA, 1999, 2000 гг.), Gas and Chemical Lasers and Intense Beam Applications (San Jose, California, USA, 1998 г.), Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing III-V (San Jose, California, USA, 1998, 1999, 2000 гг.), High-Power Laser Ablation II - VII (Santa Fe, New Mexico, USA, 1998, 2000 гг., Taos,

New Mexico, USA, 2002, 2004, 2006, 2008 гг.), Laser Beam Control and Applications th

San Jose, California, USA, 2006 г.), 13 International Symposium on Gas Flow and Chemical Lasers and High Power Laser Conference (Florence, Italy, 2000 г.), Conferences on Lasers, Applications, and Technologies (LAT), (Minsk, Belarus, 2007 г., Kazan, Russia, 2010 г.), XIV, XV, XVIII International Symposiums on Gas Flow, Chemical Lasers, and HighPower Lasers (Wroclaw, Poland, 2002 г., Prague, Czech Republic, 2004 г., Sofia, Bulgaria, 2010 гг.), 1-Х Международных конференциях «Импульсные лазеры на переходах атомов и молекул» (г.Томск, Россия, 1992, 1995, 1998, 1999, 2001, 2003, 2005, 2007, 2009, 2011 гг.); the 5Ш (2000 г.) and 7Ш (2004 г.) Russian-Chinese Symposium on Laser

Physics and Laser Technologies (Tomsk, Russia); 13- - 16- Intern. Symposium on High Current Electronics (Tomsk, Russia, 2004, 2006, 2008, 2010 гг.); 13ш International Conference on Radiation Physics and Chemistry of Inorganic Materials (Tomsk, Russia, 2006 г.); 24th Summer School and International Symposium on the Physics of Ionized Gases (Novi Sad, Serbia, 2008 г.), VI International Symposium on Laser Technologies and Lasers (Smolyan, Bulgaria, 2009 г.), 10th International Conference on Laser Ablation (COLA-2009) (r. Singapore, Singapore, 2009 г.), на IX и X Харитоновских чтениях -международной конференции «Мощные лазеры и исследования физики высоких плотностей энергии», РФЯЦ-ВНИИЭФ (г. Саров, Россия, 2006, 2008 г.); XIII - XV Международных конференциях по методам аэрофизических исследований (ICMAR) (г. Новосибирск, Россия, 2007, 2009, 2011 гг.), International Symposium on Laser Interaction with Matter (LIMIS 2010) (Changchun, China, 2010 г.).

Структура и объем работы.

Структура и объём диссертации. Диссертация включает Введение, 6 Глав, Заключение, Приложение, список цитированной литературы из 396 наименований, из них 74 - работы автора. Объём диссертации составляет 353 страницы, включая 164 рисунка и 12 таблиц.

Заключение диссертации по теме «Лазерная физика», Панченко, Алексей Николаевич

Основные результаты диссертационной работы заключается в следующем: 1. Проведен цикл исследований эксиламп на основе смесей криптона и ксенона с хлором и возбуждением нормальным и поднормальным тлеющим разрядом: а) определено, что небольшие добавки легких инертных газов в рабочую смесь эксиламп тлеющего разряда увеличивает эффективность свечения молекул ХеС1 -и КгСГ - эксиламп, которая в положительном столбе тлеющего разряда достигает 15 - 20%. Высокие параметры эксиламп с возбуждением тлеющим разрядом связаны с эффективным образованием эксиплексных молекул в гарпунных реакциях и низкой скоростью безызлучательной релаксации рабочих молекул в плазме разряда; б) экспериментально исследованы зависимости выходных характеристик КгС1*-, ХеСГ - эксиламп тлеющего разряда от режима протекания тока. Установлено, что максимальный КПД эксиламп достигается при использовании для питания тлеющего разряда однополярных импульсов напряжения с длительностью 10"5 с <

2 2 2 X < 10" с, обеспечивающих среднюю плотность тока разряда в пределах 10" А/см

1 О у <10" А/см и длительность протекания тока ¿1 в диапазоне 0,251 < 1\ < 0,71. Повышение мощности излучения эксилампы при питании тлеющего разряда пульсирующим напряжением связано с эффективным перемешиванием и охлаждением рабочей смеси в паузах между импульсами тока. Перегрев рабочей смеси при накачке постоянным током приводит к концентрации токового канала в центре трубки, где из-за сильной диссоциации молекул хлора наблюдается сильное падение скорости формирования и высвечивания эксиплексных молекул, в) Показано, что поднормальный тлеющий разряд в смесях инертных газов с хлором может служить эффективным источником УФ - излучения. Поднормальный тлеющий разряд заполняет весь рабочий объем и обеспечивает высокую однородность распределения мощности спонтанного излучения на поверхности разрядной трубки. Получена мощность излучения до 7 Вт на Я « 222 и 308 нм при эффективности до 20%. Высокая эффективность эксиламп с возбуждением поднормальным тлеющим разрядом определяется относительно малым прикатодным падением напряжения из-за высокого сопротивления положительного столба разряда и влиянием излучения самого разряда на эмиссию электронов из катода.

2. Проведены исследования излучения эксиплексных молекул Кг С Г и XeCl* в барьерном разряде в смесях ксенона или криптона с хлором при повышенных мощностях возбуждения. а) Определена оптимальная мощность возбуждения для барьерной эксилампы, которая составляет Руд = 0,1 - 0,2 мДж/см . Дальнейшее увеличение вкладываемой энергии приводит к быстрому падению эффективности свечения эксиплексных молекул, связанное с падением скорости их образования в гарпунной реакции и роста скорости тушения в процессах столкновения с электронами. б) Созданы импульсные барьерные ХеСГ - и KrCl* - эксилампы с энергией излучения до Qw = 25 мДж, пиковой мощностью излучения до Р = 150 кВт при удельной мощности УФ - излучения на поверхности эксилампы до Рул ~ 100 Вт/см2 и КПД до 10%,.

3. Исследованы параметры УФ - и ВУФ - излучения поперечного объемного разряда в газовых смесях Ne - Xe(Kr, Ar) - НС1. а) Показано, что спектр излучения объемного разряда в основном состоит из относительно узких полос переходов D - X и В - X молекул хлоридов инертных газов. б) Получена пиковая мощность УФ - излучения на поверхности выходного окна эксилампы до ~ 2 кВт/см при энергии в импульсе до Qw = 3 мДж; в) Показано, что в объемном разряде в смеси Ne - Ar - НС1 эффективно образуются и излучают молекулы ArCl , а такой разряд является источником мощного ВУФ - излучения. Полная энергия (£>п =- 0,6 мДж) и мощность (PyR = 0,4 кВт/см2) ВУФ - излучения на Я = 175 нм может достигать 25% от соответствующих характеристик излучения объемных разрядов в смесях Ne -Xe(Kr) - НС1 на Я = 222 и 308 нм.

4. Проведены исследования параметров вынужденного излучения на молекулах

KrCl при накачке самостоятельным объемным разрядом. Определена мощность накачки, при которой достигается максимальная эффективность работы электроразрядного KrCl* - лазера, которая достигает 2 - 2,5% при удельных мощностях накачки Руа = 2-7 МВт/см3,. ;

5. Реализован предельный внутренний КПД rjmt = 7 - 10% нецепных HF(DF) лазеров при накачке смесей элегаза с водородом и дейтерием. Обнаружено, что в газовых смесях на основе SFó при длительности импульса возбуждения не более 100 - 150 не, удельной энергии накачки Евл = 30 - 70 Дж/л, использовании профилированных электродов и подсветке рабочей смеси формируется однородный объемный разряд, что обеспечивает максимальный на сегодняшний день электрический КПД HF - лазеров до щ = 6,4% и DF - лазеров до щ = 5%. В этих условиях накачки реализуется интенсивная каскадная генерация, существенно расширяющая спектр генерации нецепных лазеров на молекулах HF и DF. Каскадная генерация существенно изменяет распределение энергии излучения по колебательно-вращательным линиям и является одной из причин повышения КПД генерации нецепного лазера за счет увеличения эффективности извлечения лазерных фотонов из активной газовой среды. На основе проведенных исследований разработаны эффективные нецепные лазеры с энергией излучения в импульсе Q > 1 Дж и максимальными на сегодняшний день КПД.

6. Созданы генераторы с прерывателями тока (ГПТ) различных типов (плазменно-эрозионные и полупроводниковые) и проведены исследования и моделирование параметров лазерного излучения и объемного разряда при накачке различных рабочих газовых смесей генераторами данного типа. В ходе исследований: а) Определено, что максимальная скорость обрыва тока в плазменно-эрозионном прерывателе достигается при использовании плазмы из элементов с малым атомным весом; б) Впервые получена генерация на молекулах азота и XeCl* и в смеси Ne - Н2 при накачке генератором с плазменно - эрозионным прерывателем, показана перспективность таких генераторов для накачки в) Определены условия формирования устойчивого объемного разряда при накачке ГПТ рабочих газовых смесях инертных газов с НС1, NF3 и F2. Установлено, что высокое начальное напряжение на лазерном промежутке и быстрое нарастание тока разряда при использовании ГПТ повышает стабильность и длительность горения объемного самостоятельного разряда и увеличивает энергию излучения и длительность импульса генерации на В - X переходе молекул * * *

ХеБ , КгЕ , ХеС 1 и атомарных переходах фтора; г) При накачке от ГПТ реализованы максимальные энергия и импульсная мощность генерации лазера на красных линиях атомарного фтора. Достигнуто увеличение энергии генерации и пиковой мощности излучения Пеннинговского плазменного лазера на смеси неона и водорода. Получены лазерные импульсы на молекулах

ХеБ с полной длительностью до 200 не при длительности на полувысоте до 100 не. *

Реализованы эффективный режимы работы ХеР - и КгР - лазеров с длительностью импульса ~ 100 не и энергией излучения до £) = 0,65 Дж при электрическом КПД до щ= 1,6%. д) Реализован режим работы ХеС1 - лазера с длительностью импульса излучения на полувысоте до = 300 не при энергии изучения на молекулах ХеС Г > 1Дж и электрическом КПД лазера щ > 1%.

7. При использовании ГПТ получены новые режимы генерации азотного лазера на полосе С3Пи - В3Пё в смесях азота с 8Р6 и №3. Создана теоретическая модель лазера на смеси азота с электроотрицательными газами №3 и 8Рб, позволяющая рассчитывать параметры лазерного излучения на переходах С3Пи —> В3Пё и В3Пё —> А 2и и прогнозировать условия получения максимальной энергии излучения. В ходе исследований: а) впервые получен режим генерации сдвоенных импульсов азотного лазера. При этом второй пик генерации появляется в установившейся, квазистационарной стадии разряда. В данном режиме достигнуты максимальные энергии излучения. Показано, что причиной появления второго пика является повышение напряжения в квазистационарной стадии разряда за счет прилипания электронов к электроотрицательным молекулам; б) реализован режим генерации прямоугольных импульсов УФ - генерации на л "5

С Пи - В Пё. с полной длительностью лазерного импульса более 50 не и высоким КПД; в) Показана возможность разгрузки нижнего уровня перехода С;'Пи - В3Пё.

3 3 + вынужденными переходами второй положительной системы В Пё - А £и , позволяющая увеличить длительность излучения на Я = 337,1 нм до 100 не; г) достигнуты максимальные энергии и мощность лазерного излучения на первой положительной системе азота, достигающие, соответственно, <2 = 21 мДж и Рлга = 0,7 МВТ. Получены максимальные на сегодняшний день энергетические характеристики азотного лазера с накачкой поперечным разрядом. Энергия излучения на Л = 337,1 нм достигала Q = 110 мДж в импульсе при пиковой мощности до /'лаз = 6 МВт; д) реализован эффективный режим генерации на молекулах С02 с малой длительностью импульса излучения на полувысоте (менее 50 не), высокой пиковой мощностью излучения (до Рпаз = 45 МВт) и КПД до 15 - 20%; е) увеличен диапазон длительности импульса накачки и удельной энергии, вложенной в активную среду, в которых реализуется эффективная генерация на молекулах HF (DF) в рабочих газовых смесях SF6 - С2Н6 и SF6 - D2. Получена энергия излучения до Q - 4,5 Дж (удельная энергия излучения 8 Дж/л или 150 Дж/(лхатм) при КПД до щ = 4,4%.

8. При проведении работы разработаны и созданы: а) электроразрядные лазеры «ФОТОН», «ДИЛАН», «ЛИДА»; б) эффективные эксилампы на основе нормального и поднормального тлеющего разряда; в) эксилампы барьерного разряда с пиковой мощностью до 150 кВт и энергией излучения в импульсе до = 25 мДж; г) эксилампы на хлоридах инертных газов с накачкой объемным самостоятельным разрядом с пиковой мощностью излучения до 2 кВт/см ; д) эффективные XeF* - и KrF* - лазеры с длительностью импульса излучения до 200 не и КПД до -Hint = 3%; е) нецепные химические HF (DF) - лазеры с предельным КПД и энергией излучения до Q = 4 Дж; ж) лазеры на первой и второй положительных системах азота с максимальными на сегодняшний день длительностью импульсов, энергией и пиковой мощностью излучения; е) длинноимпульсные XeCl* - лазеры с рекордными параметрами (длительность импульса на полувысоте ty2 = 300 не, полная длительность генерации до 500 не, удельная энергия излучения до Qya = 150 мДж/см ). Таким образом, можно заключить, что при проведении настоящей работы решена крупная научно-техническая задача создания газоразрядных источников спонтанного и вынужденного излучения, работающих в диапазоне длин волн от вакуумного ультрафиолета до инфракрасной области спектра с максимальными эффективностью, энергетическими и временными параметрами генерируемого излучения. Разработан метод формирования объемных разрядов в различных рабочих газовых смесях высокого давления с использованием генераторов с индуктивными накопителями энергии и прерывателями тока. На основе этого метода реализованы как новые режимы работы, так и получены максимальные эффективности, длительности импульсов и энергия излучения электроразрядных лазеров, работающих на различных рабочих газовых смесях.

Результаты научно - исследовательской работы внедрены в Томском государственном университете, Институте общей физики им. A.M. Прохорова РАН, (г. Москва), Институте кардиологии ТНЦ РАМН, (г. Томск), Институте сильноточной электроники СО РАН, (г. Томск), Институте физики АН БССР (г. Минск), Институте физики АН УССР (г. Киев), Физико-энергетическом институте (г. Обнинск), а также в зарубежных организациях: компаниях INVAP (Аргентина), Северо - западном институте ядерных технологий (КНР), Beams, Inc. (Япония).

В заключение автор выражает глубокую признательность научному консультанту - д.ф.-м.н., профессору В.Ф. Тарасенко, а также коллегам по Лаборатории оптических излучений ИСЭ СО РАН - М.И. Ломаеву, B.C. Скакуну, Е.Х. Бакшту, Д.В. Шитцу, Д.В. Рыбке, Д.А. Сорокину, Э.А. Соснину, А.Е. Тельминову и М.В. Ерофееву и сотрудникам Лаборатории газовых лазеров ИСЭ А.Г. Ямстемскому, С.А. Ямпольской, Ю.И. Бычкову, И.Н. Коновалову и Лаборатории теоретической физики А.И. Суслову за помощь, оказанную при выполнении настоящей работы.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

На основе плазмы различных объемных самостоятельных разрядов созданы многочисленные эффективные источники мощного спонтанного и вынужденного излучения. Поэтому газоразрядная плазма широко используется в качестве рабочих и активных сред и в этом качестве является объектом интенсивных исследований. Объемные самостоятельные разряды позволяют создавать источники излучения, работающие, как в режиме однократных импульсов, так и в импульсно-периодическом режиме. Использование для формирования разрядов импульсных генераторов с емкостными накопителями энергии и генераторов с прерывателями тока дает возможность в широких пределах изменять длительность, удельные энергетические, пространственные, а также спектральные характеристики генерируемого газоразрядной плазмой излучения. В настоящей работе проведены широкие исследования излучательных характеристик различных самостоятельных разрядов, которые позволили улучшить различные параметры созданных на основе данных исследований источников спонтанного и вынужденного излучения.

Список литературы диссертационного исследования доктор физико-математических наук Панченко, Алексей Николаевич, 2012 год

1. Oppenlander Т. Photochemical Purification of Water and Air. Weincheim: W1.EY-VCH Verlag. 2003. - 368 p.

2. Laser Ablation and its Applications. Edited by Claude Phipps. Springer Science+Business Media LLC. New York, USA. 2007 588 p.

3. Birks J.B. The exciplex. N.Y.-San-Francisco-L.: Acad. Press, 1975. - P.39-74.

4. Velazco, J.E., and Setser D.W. Bound free emission spectra of diatomic xenon halides

5. Journal of Chemical Physics. 1975. - Vol.62. - No. 5. - P. 1990-1991.

6. Velazco J.E., and Setser D.W. Quenching studies of Xe 3P2 metastable atoms // IEEE Journal of Quantum Electronics. 1975.-Vol. 11.-No.8.-P.708-709.

7. Searles S.K., and Hart G.A, Stimulated emission at 281,8 nm from XeBr // Applied Physics Letters. 1975 - Vol.27. -No.4. - P.243-245.

8. Ewing J.J., and Brau C.A. Laser action on the 2X+i/2 2X+i/2 bands of KrF and XeCl // Applied Physics Letters. - 1975. - Vol.27. - No. 6. - P.350-352.

9. Brau C.A., and Ewing J.J. 354 nm laser on XeF // Applied Physics Letters. 1975. -Vol.27.-No.8.-P.435-437.

10. Golde M. F., Thrush B. A. Vacuum UV emission from reactions of metastable inert gas atoms: Chemiluminescence of ArO and ArCl // Chemical Physics Letters. 1974. -Vol.29. - No.4. - P.486-489.

11. Brau C.A., Ewing J.J. Emission spectra of XeBr, XeCl, XeF and KrF // Journal of Chemical Physics. 1975. - Vol.63. - No.l 1. - P.4640-4647.

12. Kumagai H, and Obara M., Theoretical and experimental study of KrF fluorescence in a multimicrosecond longitudinal discharge // IEEE Transactions on Plasma Science. -1988. Vol.16. - No.4. - P.453-458.

13. Головицкий А.П. Возможности создания эффективных ультрафиолетовых излучателей на основе непрерывного тлеющего разряда в смесях инертных газов и галогенов // Письма в Журнал технической физики. 1992. - Т. 18. - Вып.8. - С.73 -76.

14. Zhang J.Y., Boyd I.W. Efficient excimer ultraviolet sources from a dielectric barrier discharge in rare-gas/halogen mixtures // Journal of Applied Physics. 1996. - Vol.80. No.2. - P.633-638.

15. Эксимерные лазеры./Под ред. Ч.Роудза, М.: Мир. 1981.-245 с.

16. Little С.Е. Metal Vapour Lasers: Physics, Engineering & Applications. Chichester, UK, John Wiley & Sons Ltd. 1998. 620 p.

17. Газовые лазеры. / под ред. Мак-Даниеля И. и Нигена У. М.: Мир. 1986. 548 с.

18. Веденов А.А. Физика электроразрядных С02-лазеров. М.: Энергоатомиздат. 1982. 111 с.

19. Солдатов А.Н., Соломонов В.И. Газоразрядные лазеры на самоограниченных переходах в парах металлов. Новосибирск: Наука. 1985. 548 с.

20. Петраш, Г.Г. Импульсные газоразрядные лазеры // Успехи физических наук. -1971. Т. 105. - Вып.4. - С.645-676.

21. Баранов В.Ю., Борисов В.М., Степанов Ю.Ю. Электроразрядные эксимерные лазеры на галогенидах инертных газов. М.: Энергоатомиздат. 1988. 216 с.

22. Месяц Г.А., Осипов В.В., Тарасенко В.Ф. Импульсные газовые лазеры. М.: Наука. 1991.-272 с.

23. Газовые лазеры: сборник научных трудов. / под ред. Арутюняна В.М. Ереван: издательство Ереванского университета. 1989. 200 с.

24. Месяц Г.А. Генерирование мощных наносекундных импульсов. М.: Советское Радио. 1974.-256 с.

25. Javan A. Possibility of production of negative temperature in gas discharges // Physical Review Letters. 1959. - Vol.3. - No.2.- P.87-89.

26. Javan A, Bennett W.R., Jr, Herriott D.R. Population inversion and continuous optical maser oscillation in a gas discharge containing a He-Ne mixture // Physical Review Letters. 1961. - Vol.6. - No.3. - P. 106-110.

27. Beaulieu A.J. Transversely excited atmospheric pressure C02 lasers // Applied Physics Letters. 1970. - Vol.16. - No. 12. - P.504-505.

28. Laflame A.K. Double discharge excitation for atmospheric pressure C02 lasers // Review of Scientific Instruments. 1970. - Vol.41. - No. 11. - P. 1578-1581.

29. Мик Дж., Крэгс Дж. Электрический пробой в газах. / Пер. с англ. под ред. В.С.Комелькова. М.: Издательство иностранной литературы. 1960. - 564 с.

30. Ретер Г. Электронные лавины и пробой в газах. / Пер. с нем. под ред. В.С.Камелькова. М.: Мир. 1968. - 390 с.

31. Palmer А.О. A physical model on the initiation of atmospheric-pressure glow discharges // Applied Physics Letters. 1974. - Vol.25. - No.3. - P. 138-140.

32. Levatter J.I., and Lin S.C. Necessary condition for the homogeneous formation of pulsed avalanche discharges at high gas pressures // Journal of Applied Physics. 1980. -Vol.51. - No. 1.-P.210-222.

33. Королев Ю.Д., Месяц Г.А. Физика импульсного пробоя газов. М.: Наука. 1991. -224 с.

34. Осипов В В Самостоятельный объемный разряд // Успехи физических наук. -2000. Т.170. - Вып.З. - С. 225-245.

35. Stappaerts Е.А. A novel analytical design method for discharge laser electrode profiles // Applied Physics Letters. 1982. - Vol.40. - No. 12. -P. 1018-1019.

36. Makarov M., Bonnet J., Pigache D. High efficiency discharge-pumped XeCl laser // Appl. Phys. B: Lasers and Optics. 1998. - Vol.66. -No.4. -P.417-426.

37. Yampolskaya S.A., and Yastremsky A.G. Two-dimensional simulation of initiation and evolution of a plasma channel in the XeCl laser pumping discharge // Laser and Particle Beams. 2003. - Vol.21. - No.2. - P.233-242.

38. Houtman H., Cheuck A., Elezzabi A.Y., Ford J.E., Laberge M., Liese W., Meyer J., Stuart G.C., Zhu Y. High-speed circuits for ТЕ discharge lasers and high-voltage applications // Review of Scientific Instruments. 1993. - Vol.64. - No.4. - P.839-853.

39. Long W.H., Plummer J., Stappaerts E.A. Efficient discharge pumping of an XeCl laser using a high-voltage prepulse // Applied Physics Letter. 1983. - Vol.43. - No.8. -P.735-737.

40. Fischer C.H., Kushner M.J., De Hart Т.Е., McDaniel J.P., Petr R.A., and Ewing J.J. High efficiency XeCl laser with spiker and magnetic isolation // Applied Physics Letter. -1986. - Vol.48. -No.23. - P.1574-1576.

41. Taylor R.S., Leopold K.E. Ultralong optical-pulse corona preionized XeCl laser // Journal of Applied Physics. 1989. - Vol.65. - No. 1. -P.22-29.

42. Taylor R.S., Leopold K.E. Magnetic-spiker excitation of gas-discharge lasers // Applied Physics B: Lasers and Optics. 1994. - Vol.59. -No.5. - P.479-508.

43. Fyodorov A.I., Tarasenko V.F. Transverse discharge excitation of copper vapor laser with pulsed vapor generation // Proceeding of SPIE. 1993. - Vol.2110. - P.100-103.

44. Артамонов И.И., Барихин Б.А., Боровков B.B., Кашинцов В.И. Конструкция и метод расчета индуктивного накопителя для накачки лазеров // Квантовая электроника. 1979. - Т.6. - № 1. - С. 127-132.

45. Вул Б.М., Карасик В.Р., Копыловский Б.Д., Курганов Г.Б., Высоцкий B.C., Пронкин Д.В., Ефимов Ю.А., Агапов Г.И. Сверхпроводящий индукШвный накопитель энергии для питания систем накачки ОКГ // Квантовая электроника. -1974. Т. 1. - №.9 - С. 1983-1987.

46. Бычков Ю.И., Коновалов И.Н., Тарасенко В.Ф. Лазер на смеси Ar:Xe:NF3 с разрядом, стабилизированным короткоимпульсным пучком электронов // Квантовая электроника. 1979. - Т.6. - № 5. - С. 1004-1009.

47. Бычков Ю.И., Коновалов И.Н., Тарасенко В.Ф. Лазер на смеси Аг : Хе : NF3 с разрядом, стабилизированным короткоимпульсным пучком электронов // Квантовая электроника. 1979. - Т.6. -№ 5. - С. 1004-1009.

48. Lakdawala V.K., Moruzzi J.Y. Measurements of attachment coefficients in NF3 N2 and NF3 - rare gas mixtures using swarm techniques // Journal of Physics D: Applied Physics. - 1980. - Vol.13. - No.3. - P.377-385.

49. Артеев M.C., Ковальчук Б.M., Кокшенев B.A., Сулакшин С.С., Тарасенко В.Ф. Накачка газового лазера мощным ионным пучком в ускорителе с индуктивным накопителем и плазменным прерывателем тока // Квантовая электроника. 1988. -Т.15. - № 12. - С.2502-2504.

50. Бычков Ю.И., Иванов Н.Г., Лосев В.Ф. Ускоритель электронов с индуктивным накопителем энергии и плазменным прерывателем тока как источник накачки газовых лазеров // Журнал технической физики. 1989. - Т.59. - Вып.8. - С. 7577.

51. Хаутиев Э.Ю., Анциферов П.С., Дорохин Л.А., Кошелев К.Н., Сидельников Ю.В. Плазменный фокус как коммутатор тока для капиллярного разряда // Журнал технической физики. 1998. - Т. 68. - Вып. 11. - С. 110-113.

52. Vereschagin N.M., Bochkov V.D., and Kruglov S.A. A pseudospark gap in the inductive-energy-storage circuit // Instruments and Experimental Techniques. 2002. -Vol. 45. -N0.6. -P.780-783

53. Верещагин Н.М., Круглов В.А. Генератор высоковольтных импульсов с индуктивным накопителем энергии и тиратроном // Приборы и техника эксперимента. 2002. - Вып.6. - С.82-85.

54. Бычков Ю.И., Котов Ю.А., Лосев В.Ф., Тарасенко В.Ф. Применение колебательного контура с прерывателем тока для возбуждения лазеров на самоограниченных переходах // Квантовая электроника. 1976. - Т.З. - № 7. -С.1607-1608.

55. Arefjev A.S., Vereschagin N.M., Gorlov A.A., Kruglov S.A., and Kun I.I. Nitrogen laser pumped from inductive energy store // Proceedings of SPIE. 2002. - Vol.4644. -P.355-358.

56. Гуревич M.M. Фотометрия (теория, методы и приборы). JI.: Энергоатомиздат. 1983.-272 с.

57. Калантаров П.JI., Цейтлин J1.A. Расчет индуктивностей. Справочная книга. Издание третье, переработанное и дополненное. Ленинград: Энергоатомиздат, Ленинградское отделение. 1986. 488 с.

58. Рабинович С.Г. Погрешности измерений. Л.: Энергия, 1978. - 262 с.

59. Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф., Коаксиальные эксилампы, возбуждаемые барьерным разрядом, с повышенной энергией излучения в импульсе // Квантовая электроника. 2008. - Т.38. - №1. - С.88-91.

60. Коваль Б.А., Скакун B.C., Тарасенко В.Ф., Фомин Е.А., Янкелевич Е.Б. / Мощная широкоапертурная эксиплексная лампа // Приборы и техника эксперимента. -1992. № 4. - С.244-245.

61. Boichenko A.M., Skakun V.S., Tarasenko V.F., Fomin E.A., and Yakovlenko S.I., Powerful exciplex flashlamps // Laser Physics. 1993. - Vol.3. - No.4. - P.838-843.

62. Бойченко A.M., Скакун B.C., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф., Яковленко С.И. Характеристики эксиплексной KrCl-эксилампы, накачиваемой объемным разрядом // Квантовая электроника. 1996. - Т.23. - №4. - С.344-348.

63. Коваль Б.А., Панченко А.Н., Скакун B.C., Тарасенко В.Ф., Фомин А.Е., Янкелевич Е.Б. Импульсная широкоапертурная лампа // Авторское свидетельство СССР, SU 1792196 А1, 6 H01J61/80, опубликовано: 20.08.1995.

64. Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Планарная эксилампа на хлоридах инертных газов с накачкой поперечным самостоятельным разрядом // Квантовая электроника. -2006. Т.36. № 2 - С. 169-174.

65. Панченко А.Н., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф. Способ накачки лампы тлеющего разряда с электроотрицательными газами в рабочей смеси // Патент Российской Федерации № RU 2089971 CI. H01J61/80, H01J61/067. Опубликовано: 9 октября 1997.

66. Панченко А.Н., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф. Мощная лампа тлеющего разряда // Патент Российской Федерации № RU 2096863 CI, H01J61/02, H01J61/64. Опубликовано 20 ноября 1997.

67. Tarasenko V.F., Panchenko A.N., Sosnin Е.А., Skakun V.S., Wang F.T., Myers B.R., Adamson M.G. Powerfull glow discharge excilamp // United States Patent 6376972 B, H01J 17/26, issued on April 23, 2002.

68. Mel'chenko S.V., Panchenlco A.N., Tarasenko V.F. High power Raman conversion of a discharge XeCl laser // Optics Communications. - 1985. - Vol. 56. -No.l. -P.51 -52.

69. Тарасенко В.Ф., Панченко А.Н., Мельченко C.B., Белокриницкий Н.С., Антоненко М.П., Ступак Ю.И., Волошина Г.А., Ткачук O.A. Мощный компактный ХеС1 -лазер с накачкой самостоятельным разрядом // Квантовая электроника. 1987. - Т. 14. -№12. - С.2450-2451.

70. Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Компактный электроразрядный ХеС1-лазер с энергией излучения 1 Дж и длительностью импульса 100-300 не // Квантовая электроника. 1993. - Т.20. - № 7. - С.663-664.

71. Панченко А.Н.; Тарасенко В.Ф. Импульсный лазер с поперечным разрядом // Авторское свидетельство СССР № SU1816175 Al, кл. H01S3/097. Опубликовано 20.07.1995.

72. Ломаев М.И., Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Импульсные лазеры на плотных газах с накачкой самостоятельным разрядом // Известия Академии Наук. Сер. Физическая. 1994. - Т.58. - № 6. - С.55-59.

73. Lomaev M.I., Panchenko A.N., Tarasenko V.F. Versatile pulsed FOTON, LIDA-D and LIDA-M model lasers // Proceedings of SPIE. 1995. Vol.2619. - P.2-7.

74. Панченко A.H., Тарасенко В.Ф. Импульсные лазеры с накачкой самостоятельным разрядом // Известия ВУЗов. Физика. 2000. - № 5. - С.45-53.

75. Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф., Тельминов А.Е. Рентгеновское излучение искровой системы предыонизации и плазмы объемного разряда в лазере с индуктивным накопителем энергии // Квантовая электроника. 2007. - Т.37. -№1. - С.103-107.

76. Верховский B.C., Ломаев М.И., Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Универсальные импульсные лазеры серии «Фотон» // Квантовая электроника. 1995. - Т.22. - №1. - С.9-11.

77. Ломаев М.И., Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф., Газовый импульсно-периодический лазер с накачкой поперечным разрядом. Авторское свидетельство СССР № SU 1498350 Al, приоритет 30.11.87., per. в Государственном реестре изобретений СССР 1.04.89.

78. Верховский B.C.; Панченко А.Н.; Тарасенко В.Ф. Импульсно-периодический газовый лазер с накачкой поперечным разрядом // Авторское свидетельство СССР № SU1816178 А1, кл. H01S3/0977. Опубликовано 27. 02.1996.

79. Ломаев М.И., Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Электроразрядный многоволновой лазер ДИЛАН // Приборы и техника эксперимента. 1990. - №1. - С. 179-180.

80. Тарасенко В.Ф., Панченко А.Н. Газовый импульсно-периодический лазер с накачкой поперечным разрядом. Авторское Свидетельство СССР № SU 1498349 А1, приоритет 30.11.87.

81. Букатый Е.В., Верховский B.C., Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Устройство для возбуждения разряда в импульсном газовом лазере. Авторское Свидетельство СССР № SU 1588233 А1, приоритет 12.12.88., per. в Государственном реестре изобретений СССР 22.04.90.

82. Osborne H.R., Smith P.W., and Hutchinson M.H.R. The effect of pulse forming line impedance on the performance of an X ray preionized XeCl discharge laser // Optics Communications. - 1985. - Vol.52. - No.6. - P.415-420.

83. Месяц Г.А., Панченко A.H., Тарасенко В.Ф. Лазеры на смеси Ne Хе - НС1 и азоте при накачке генератором с плазменным прерывателем // Доклады Академии Наук СССР. - 1989. - Т.307. - №4. - С.869-872.

84. Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Газовые лазеры с накачкой от генератора с плазменным прерывателем тока и индуктивным накопителем // Квантовая электроника, 1990. - Т. 17. - № 1.-С.32-34.

85. Котов Ю.А., Месяц Г.А., Рукин С.Н., Филатов А.Л. Твердотельный прерыватель тока для генерирования мощных наносекундных импульсов // Доклады Академии Наук. 1993. - Т. 330. -№ 3. - С. 315-317.

86. Рукин С.Н. Генераторы мощных наносекундных импульсов с полупроводниковыми прерывателями тока // Приборы и техника эксперимента. -1999. № 4. - С.5-36.

87. Baksht Е.Н., Panchenko A.N., and Tarasenko V.F. Discharge lasers pumped by generators with inductive energy storage // IEEE Journal of Quantum Electronics. -1999. Vol.QE-35. - No.3. - P.261-265.

88. Panchenko A.N. and Tarasenko F.V. Pulsed gas lasers pumped by generators with inductive energy storage//Laser Physics. -2006. Vol.16. -No.l. - P. 23-39.

89. Бойченко A.M., Панченко A.H., Тельминов A.E., Феденев А.А. Пеннинговский лазер на неоне с возбуждением от волны размножения электронов фона // Краткие сообщения по физике ФИАН. 2008. - №5. - С.20-29.

90. Басов В.А., Коновалов И.Н. Электроразрядный ХеС1-лазер с КПД 4% и энергией генерации 14 Дж // Квантовая электроника. 1996. - Т.23. - №9. - С.787-790.

91. Балбоненко Е.Ф., Басов В.А., Коновалов И.Н., Сак К.Д., Червяков В.В. Источник мягкого рентгеновского излучения для электроразрядного эксимерного лазера // Приборы и техника эксперимента. 1994. - №4. - С. 112-114.

92. Бакшт Е.Х., Визирь В.А., Панченко А.Н, Тарасенко В.Ф., Червяков В.В. Импульсные лазеры с накачкой продольным разрядом от индуктивного накопителя энергии // Оптика атмосферы и океана. 1997. - Т.10. - №11. -С.1285-1289.

93. Коновалов И.Н., Тарасенко В.Ф. Излучение смесей Ar (Ne) : Хе : C2F4Br2 (NF3) при возбуждении электронным пучком // Журнал прикладной спектроскопии. -1981. Т.34. - Вып.1. -С. 177-179.

94. Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Шевера И. В. Многоволновая электроразрядная лампа на галогенидах инертных газов // Приборы и техника эксперимента. 1998. -№ 3. - С. 142-144.

95. Shuaibov А.К., Dashchenko A.I., and Shevera I.V. Conditions of simultaneous formation of chlorides of krypton and xenon in a low-pressure glow discharge // High Temperature. 2002. - Vol.40. -No.2. - P.309-311.

96. Sasaki W., Kubodera S., Kawanaka J. Efficient VUV light sources from rare gas excimer and their applications // Proceedings of SPIE. 1997. - Vol.3092. - P.378-381.

97. Головицкий А.П., Кан C.H. Характеристики ультрафиолетового эксимерного излучения непрерывного тлеющего разряда низкого давления // Оптика и спектроскопия. 1993. - Т.75. - Вып.З. - С.604-609.

98. Eliasson В., Kogelschatz U. UV excimer radiation from dielectric barrier discharges // Applied Physics B: Lasers and Optics. 1988. - Vol.46. -No.4. - P.299-303.

99. Taylor R.S., Leopold K.E., and Tan K.O. Continuous В—>X excimer fluorescence using direct current discharge excitation // Applied Physics Letters. 1991. - Vol.59. -No.5. - P.525-527.

100. Шуаибов А.К. Оптические характеристики плазмы поперечного объемного разряда в С12 и смеси Не/С12 // Журнал технической физики. 2000. - Т.70. -Вып. 10. - С.117-119.

101. Шуаибов А.К., Миня А.И., Шимон Л.Л. Излучение плазмы поперечного разряда на смеси гелий—криптон—элегаз // Журнал прикладной спектроскопии. -2002. Т.69. - №6. - С.792-795.

102. Nakamura I., Kannari F., Obara M. Improvement of the KrF(B-X) excimer lamp with 248 and 193 nm dual wavelength emission using an Ar buffer // Applied Physics Letters.- 1990. Vol.57. - No.20. - P 2057-2059.

103. Furusawa H., Okada S., Obara M. High-efficiency continuous operation HgBr excimer lamp excited by microwave discharge // Applied Physics Letters. 1995. - Vol. 66. -No.15. - P.1877-1879.

104. Ломаев М.И., Скакун B.C., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф., Шитц Д.В. Отпаянные эффективные эксилампы, возбуждаемые емкостным разрядом // Письма в Журнал технической физики 1999. - Т.25. - Вып.21. - С.27-32.

105. Ломаев М.И., Панченко A.H., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф. Цилиндрические эксилампы с накачкой тлеющим разрядом // Журнал технической физики. 1998.- Т.68. №2. - С.64-68.

106. Ломаев М.И., Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Спектры излучения тлеющего разряда в смесях инертный газ-СН3Вг и 12 // Оптика атмосферы и океана. 1997. -Т.10.-№11.-С.1271-1273.

107. Ломаев М.И., Панченко А.Н., Скакун B.C., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф. Мощные источники излучения с накачкой импульсными и непрерывными разрядами // Оптика атмосферы и океана. 1996. - Т.9. - №2. - С. 199-206.

108. Бойченко A.M., Держиев В.И., Жидков А.Г., Карелин А.В., Коваль А.В., Середа О.В., Яковленко С.И. Кинетические модели некоторых плазменных лазеров с накачкой жестким ионизатором // Труды Института Общей Физики АН СССР. -1989. Т.21. - С.44-115.

109. Пеэт В.Э., Сливинский Е.В., Трещалов А.Б. Диагностика электроразрядного KrCl-лазера // Квантовая электроника. 1990. Т. 17. - № 4. - С.438^143.

110. Boichenko A.M., Panchenko A.N., Tarasenko V.F., and Yakovlenko S.I. Efficient emission of Xe-C12(HC1) and Kr-C12(HC1) mixtures pumped by a glow discharge // Laser Physics. 1995. - Vol.5. - No.6. - P.l 112-1115.

111. Бойченко A.M., Панченко A.H., Тарасенко В.Ф., Яковленко С.И. Эффективное излучение смеси He-Xe-NF3, накачиваемой тлеющим разрядом // Квантовая электроника. 1996. - Т.23. -№5. - С.417-419.

112. Flannery M.R., Yang T.P. Ionic recombination of rare-gas atomic ions X+ with F~ in a dense-gas // Applied Physics Letters. 1978. - Vol.32. - No.5. - P.327-329.

113. Hokazono H., Midorikawa K., Obara M., and Fujioka T. Theoretical analysis of a self-sustained discharge pumped XeCl laser // Journal of Applied Physics. 1984. -Vol.56. - No.3. - P.680-690.

114. Treshchalov A.B., Peet V.E., Mihkelsoo, V.T. Formation dynamics of excited components in discharge XeCl laser plasma from the data of dye laser absorption probing // IEEE Journal of Quantum Electronics. 1986. - Vol.22. -No.l. - P.51-57.

115. Kolts J.H., Velazco J.E., Setser D.W. Reactive quenching studies of Xe (6s, Зрг) metastable atoms by chlorine containing molecules // Journal of Chemical Physics. -1979. Vol.71. - No.3. - P.1247-1263.

116. Chang R.S.F. Xe(3P2)+HCl(v = 1): Vibrational enhancement of XeCl* formation // Journal of Chemical Physics. 1982. - Vol.76. - No.6. - P.2943-2948.

117. Головицкий А.П., Лебедев C.B. Радиальное распределение плазменно-оптических характеристик эксимерных ультрафиолетовых излучателей тлеющего разряда в смеси Хе+СЬ- Оптика и спектроскопия. 1997. - Т. 82. - Вып. 2. -С.251-255.

118. Панченко А.Н.; Соснин Э.А.; Тарасенко В.Ф. Рабочая среда лампы тлеющего разряда низкого давления // Патент Российской Федерации № RU 2089962 Cl. Опубликовано 09.10.1997.

119. Грановский В.А. Электрический ток в газе. Установившийся ток. М.: Наука. 1971.- 543 с.

120. Schwabedissen A., and Bôtticher W. UV radiation of low pressure XeCl* and KrCl* glow discharges // Contributions to Plasma Physics. 1995. - Vol.35. - No.6. - P.517-535.

121. Tiedtke K., Schwabedissen A., Schroder G., and Bôtticher W. Gas density distributions and reduced field strenghts of the positive column of low pressure XeCl* glow discharges // Contributions to Plasma Physics. 1995. Vol.35. - No.6. - P.537-550.

122. Boichenko A.M., and Yakovlenko S.I. Simulation of KrCl (222 nm) and XeCl (308 nm) excimer lamps with Kr/HCl(Cl2) and Xe/HCl(Cl2) binary and Ne/Kr/Cl2) ternary mixtures excited by glow discharge // Laser Physics. 2004. - Vol.1. - No.2. - P. 1-14.

123. Panchenko A.N., Sosnin E.A., Tarasenko V.F. Improvement of output parameters of glow discharge UV excilamps // Optics Communications. 1999. - Vol. 161. -No.3. -P.249-252.

124. Зуев B.C., Канаев A.B., Михеев Л.Д. Измерения абсолютного квантового выхода люминесценции при возбуждении ВУФ излучением смесей С12 с Аг, Кг и Хе // Квантовая электроника. 1984. - T.l 1. -№2. - С.354-365.

125. Райзер Ю.М. Физика газового разряда. М.: Наука. 1987. 592 с.

126. Бойченко A.M., Ломаев М.И., Панченко А.Н., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф. Ультрафиолетовые и вакумно-фиолетовые эксилампы: физика, техника, и прменения. Томск: Издательство "Scientific & Technical Translations". 2011. -511 е., на с.67-68.

127. Таблицы физических величин. / Под ред. И.К. Кикоина. М.: Атомиздат. 1976. -1008 с.

128. Ломаев М.И., Скакун B.C., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф., Шитц Д.В., Ерофеев М.В. Эксилампы эффективные источники спонтанного УФ и ВУФ излучения // Успехи физических наук. - 2003. - Т.173. - №2. - С.201-217.

129. Вдовин С.С., Проектирование импульсных трансформаторов. 2-е изд., перераб. и доп. - Л.: Энергоатомиздат. Ленинградское отделение, 1991. - 208 с.

130. Визирь В.А., Скакун B.C., Сморудов Г.В., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф., Фомин Е.А., Червяков В.В. Коаксиальные эксилампы, накачиваемые барьерным и продольным разрядами // Квантовая электроника. 1995. - Т.22. - №5. - С.519-522.

131. Boichenko A.M., Skakun V.S., Sosnin E.A., Tarasenko V.F., and Yakovlenko S.I. Emission efficiency of exciplex and excimer molecules pumped by a barrier discharge // Laser Physics. 2000. - Vol.10. - No.2. - P.540-552.

132. Levin L.A., Moody S.E., Klosterman E.L., Center R.E., and Ewing J.J. Kinetic model for long-pulse XeCl laser performance // IEEE Journal of Quantum Electronics. -1981. Vol.QE-17. -No.12. - P.2282-2289.

133. Ерофеев M.B., Ломаев М.И., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф. Импульсная KrCl эксилампа с плотностью мощности 1 kW/cm2 // Журнал технической физики. -2001.-Т. 71. Вып. 10. - С. 37-140.

134. Gerber Т., Liithy W., Burkhard P. High efficiency KrF excimer flashlamp // Optics Communications. 1980. - Vol.35. -No.2. -P.242-244. •

135. Шуаибов A.K., Шимон Л.Л., Дащенко А.И., Неймет Ю.Ю., Шевера И.В. Образование молекул ArCl (В) в поперечном объемном разряде // Письма в Журнал технической физики. -1999. Т.25. - Вып.11. - С.29-32.

136. Шуаибов А.К., Дащенко А.И. Условия одновременного образования хлоридов Аг, Кг и Хе в многоволновом излучателе с накачкой поперечным разрядом // Квантовая электроника. 2000. - Т.30. - №3. - С.279-281.

137. Andrew J.E., Dyer Р.Е., and Roebuck J. Improved energy output from discharge pumped ArF and KrCl laser // Optics Communications. 1984. - Vol.49. - No.3. -P.149-152.

138. Sadeghi N., Cheaib M., and Setser D.W. Comparison of the Ar(3P2) and Ar (3P0) reactions with chlorine and fluorine containing molecules: Propensity for ion-core conservation // Journal of Chemical Physics. 1989. - Vol.90.- No.l. - P.219-231.

139. Tsuji M., Ide M., Muraoka Т., and Nishimura Y. Formation of ArCl(B, C), Ar(3P2), and CI* by the three-body ionic-recombination reaction of Ar+(2P3/2) + СГ + Ar // Journal of Chemical Physics. 1994. - Vol.101. - No.l. - P.328-337.

140. Nakamura K. Time-resolved population measurement of excited Kr atoms in a KrCl excimer laser//Journal of Applied Physics. 1988. - Vol.83. -No.6. - P. 1840-1845.

141. Panchenko A.N., and Tarasenko V.F. Maximum performance of discharge pumped exciplex laser at X = 222 nm // IEEE Journal of Quantum Electronics. - 1995. - Vol.31. -No.7. - P. 1231-1236.

142. Panchenko A.N., Tarasenko V.F., Belokurov A.N., Mendoza P., Rios I. Planar KrCl* -excilamp pumped by transverse self-sustained discharge with optical system for radiation concentration //Physica Scripta. -2006. Vol.74. - No.l. - P. 108-113.

143. Авдошин E.C. Полые световоды ИК диапазона // Оптико-механическая промышленность. 1990. -№1. - С.65-69.

144. Ewing J.J. Excimer Laser Technology Development // IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics. 2000. - Vol.6. - No.6. - P. 1061-1071.

145. Basting D., Marowsky G. (Eds.) Excimer Laser Technology. Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2005.-433 p.

146. Верховский B.C., Ломаев М.И., Мельченко C.B., Панченко A.H., Тарасенко В.Ф. Управление энергетическими, временными и пространственными характеристиками излучения ХеС1 лазера // Квантовая электроника. - 1991. -Т. 18. -№11. - С. 1279-1285.

147. Мельченко С.В., Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Электроразрядный ХеС1 лазер с длительностью импульса излучения 1 мкс // Квантовая электроника. 1984. -Т.11, -№11. - С.1490-1492.

148. Franceschini М.А., Pini R., Salimbeni R., and Vannini M. Auto-prepulse operation of a long-pulse XeCl laser // Applied Physics B: Lasers and Optics. 1992. - Vol.54. -No.4. - P.259-264.

149. Chaltakov I.V., Pir R., Salimbeni R., Vannini M. Efficient low-voltage operation of a reverse-biased autoprepulse XeCI laser // Applied Physics B: Lasers and Optics. 1995. -Vol.60. - No.6. - P.529-533.

150. Efthimiopoulos Т., Radzewiczt C., and Katharakis M. An auto-pre-pulse and longpulse XeCl laser // Measurement Science and Technology. 1995. - Vol.6. - No.2. -P.167-169.

151. Riva R., Legentil M., Pasquiers S., and Puech V. Experimental and theoretical investigation of a XeCl phototriggered laser // Journal of Physics D: Applied Physics. -1995. Vol.28. - No.5. - P.856-872.

152. Мельченко С.В., Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф., Импульсный газовый лазер, Авторское свидетельство СССР № SU 1277855 А, приоритет 5.03.85, per. в Государственном реестре изобретений СССР 5.08.86.

153. Верховский B.C., Гончаров С.А., Мельченко С.В., Таранов С.В., Тарасенко

154. B.Ф., Федоров А.Ю. Системы для ангиопластики на основе электроразрядного XeCl лазера // Известия АН СССР. Сер. Физическая. - 1990. - Т.54. - №.12.1. C.2458-2460.

155. Ананьев Ю.А. Оптические резонаторы и проблемы расходимости лазерного излучения. М.: Наука. 1979. - 328 с.

156. Артемьев М.Ю., Грасюк А.З., Дементьев В.Г., Нестеров В.М. Неоднородности активной среды и расходимость излучения электроразрядного XeCl лазера // Препринт ФИАН № 212. Москва. 1988. 33 с.

157. Дж. Райнтжес. Нелинейные оптические параметрические процессы в жидкостях и газах. М.: Мир. 1987. - 512 с.

158. Кузнецов Л.А., Кузьменко Н.Е., Кузяков Ю.Я., Пластинин Ю.А. Вероятности оптических переходов электронно-колебательно-вращательных спектровдвухатомных молекул // Успехи физических наук. 1974. - Т.113. - Вып.2. - С. 285-325.

159. Peet V.E., Treshchalov А.В., Slivinskij E.V., Diagnostics of a compact discharge-pumped XeCl laser with BC13 halogen donor // Applied Physics B: Photophysics and Laser Chemistry. 1991. - Vol.52. - No.3. - P.234-243.

160. Жупиков А.А., Ражев A.M. Эксимерный ArF-лазер с энергией 0.5 Дж на основе буферного газа Не // Квантовая электроника. 1997. - Т.24. - №8. - С.683-687.

161. Жупиков А.А., Ражев A.M. Эксимерный KrF-лазер на основе буферного газа Не с энергией 0.8 Дж и КПД 2% // Квантовая электроника. 1998. - Т. 25. - №8. -С.687-689.

162. Sze R.C.and Scott Р.В. Intense lasing in discharge excited noble-gas monochlorides // Applied Physics Letters. 1978. - Vol.33. - No.5 - P.419^121.

163. Sze R.C. Rare-gas avalanche discharge lasers // IEEE Journal Quantum Electronics. 1979.-Vol.QE-15.-No 12. - P.1338-1347.

164. McKee T.J., James D.J, Nip W.S., Weeks R.W., Willis C. Lifetime extension of XeCl and KrCl lasers with additives // Applied Physics Letters. 1980. Vol.36. - No. 12. -P.943-945.

165. Верховский B.C., Мельченко C.B., Тарасенко В.Ф. Генерация на молекулах ArF*, XeF*, KrF*, XeCl* и XeF* при возбуждении быстрым разрядом // Квантовая электроника. -1981. Т. 8. - № 2. - С.417-419.

166. Armandillo Е., Luches A., Hassisi V., Perrone M.R. Improved lasing performance of KrCl excimer laser // Applied Physics Letters. 1983. - Vol.42. - No. 10. - P.860 - 861.

167. Armandillo E., Luches A., Hassisi V., Perrone M.R. Gain measurements in the KrCl excimer laser // Applied Optics. 1985.- Vol.24. No. 1. - P. 18 - 21.

168. Luches A., Nassisi V., Perrone M.R. Performance study of the KrCl discharge laser with liquids chlorine donors // Optics Communication. 1984, - Vol. 51, No. 5. -P.315-318.

169. Hueber J-M., Fontaine B.L., Bernard N., Forestier B.M., Sentis M.L., and Delaporte Ph.C. Long pulse KrCl excimer laser at 222 nm // Applied Physics Letters. 1992. -Vol.61.-No.l9.-P.2269-2271.

170. Casper L.C., Bastiaens H.M.J., Peters P.J.M., Boiler K.-J., and Hofstra R.M. Longpulse KrCl laser with a high discharge quality // Applied Physics B: Lasers and Optics. -2007. Vol.88. - No.l. - P.61-66.

171. Casper L.C., Bastiaens H.M.J., Peters P.J.M., Boiler K.J., Hofstra R.M. Gain of a long-pulse KrCl excimer laser // Journal of Applied Physics. 2007. - Vol.102. - No.5. Paper No.053110. 6 pages.

172. Мельченко С.В.,.Панченко A.H, Тарасенко В.Ф. Электроразрядный КгС1*-лазер с энергией излучения 0,6 Дж // Письма в журнал технической физики. 1986. -Т.12. - Вып.З. - С.171-175.

173. Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф., Букатый Е.В. Мощная генерация на X = 222 нм при накачке газовой среды Ne(He) Кг - НС1 самостоятельным разрядом // Квантовая электроника. - 1989. - Т.16. - №12. - С.2409-2412.

174. Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Эффективный электроразрядный KrCl лазер "Фотон" // Квантовая электроника. - 1999. - Т.28. - №2. - С. 136-138.

175. Johnson Т.Н., Cartland Н.Е., Genoni Т.С., and Hunter A.M. A comprehensive kinetic model of the electron-beam-excited xenon chloride laser // Journal of Applied Phyics.- 1989.-Vol. 66. -No.12. P.5707-5725.

176. Boichenko A.M., Tarasenko V.F., and Yakovlenko S.I. Exciplex rare-halide lasers // Laser Physics. 2000. - Vol.10. - No.6. - P. 1159-1187.

177. Баранов В.Ю., Борисов B.M., Христофоров О.Б. Эксимерный электроразрядный лазер с плазменными электродами // Квантовая электроника. -1981. Т.8. - №1. - С. 165-167.

178. Карлов Н. В. Лекции по квантовой электронике. М.: Наука. 1983. с.56-59.

179. Luches A., Nassisi, V.and Perrone M.R. Determination of the unsaturated losses and of the saturation intensity in the KrCl excimer laser // Applied Physics. B. 1986. -Vol.40.-No.l.-P.l 15-120.

180. Casper L.C, Bastiaens H.M.J., Peters P.J.M., Boiler K.-J., and Hofstra R.M. A compact three-electrode discharge system for long-pulse KrCl excimer lasers // Plasma sources science and technology. 2008. - Vol.17. - No.l. - Paper No.015009. 5 pages.

181. Ражев A.M., Жуликов А.А. Исследование влияния удельной мощности накачки на энергию излучения и КПД эксимерного газоразрядного KrCl-лазера (223 нм) // Квантовая электроника. 2008. - Т.38. - №11. - С. 1005-1008.

182. Zhong D., Setser W., Sobczynski R., and Gadomski W. Conservation of the2

183. Кг ( P 1/2) state in the reactive quenching of Kr(5s'l/2.o) atoms by halogen-containing molecules // Journal of Chemical Physics. 1996. Vol.105. - No. 12. -P.5020-5036.

184. Sze R.C. Improved lasing performance of XeCl using Ar and Ne diluent // Journal of Applied Physics. 1979. - Vol. 50. - No.7. - P.4596^1598.

185. Tsuji M, Muraoka T, Kouno H, and Nishimura Y. Comparison of the1. Ь 2 н~ 2

186. Rg ( РшУСГ/Не and RgT(''P3/2)/C17He three-body ionic-recombination reactions for the formation of RgCl*, Rg*, and CI* // Journal of Chemical Physics. 1992. - Vol.9. -No.2.-P. 1079-1086.

187. Shimauchi M., Miura Т., and Oikawa K. Absorption lines in the KrCl laser spectrum and the spontaneous emission of the medium related to KrCl // Japanese Journal of Applied Physics. 1986. Vol.25. - Part 1. - No. 10. - P. 1556-1562.

188. Mandl A. Electron photodetachment cross sections of СГ and Br~ // Physical Review A. 1976. - Vol. 14. - No.l. - P.345-348.

189. Bahou M., Chung Ch-Yu, and Lee Y-P. Absorption cross sections of HC1 and DC1 at 135 232 nanometers: Implications for photodissociation on Venus // Astrophysical Journal. - 2001. - Vol.559. - No.2. - P.L 179-L182.

190. Химические лазеры. / Под ред. Гросса Р. и Ботта Дж. М.: Мир. 1980. - 432 с.

191. Химические лазеры. / Под ред. Басова Н.Г. М.: Наука. 1982. - 400 с.

192. Kompa K.L., and Pimentel G.C. Hydrofluoric acid chemical laser // Journal of Chemical Physics. 1967. - Vol.47. - No.2. - P.857-858.

193. Ultee C. Pulsed hydrogen fluoride lasers // IEEE Journal of Quantum Electronics. -1970. Vol.6. - No. 10. - P.647-648.

194. Jensen R.J., and Rice W.W. Electric discharge initiated SF6 H2 and SF6 - HBr chemical lasers // Chemical Physics Letters. - 1970. - Vol. -No.6. - P.627-629.

195. Pummer H., Breitfeld W., Wedler H., Klement G., and Kompa K.L. Parameter study of a 10-J hydrogen fluoride laser // Applied Physics Letters. 1973. - Vol.22. - No.7. -P.319-320.

196. Midorikava K., Sumida S., Sato Y., Obara M., and Fujioka T. Efficient operation of the low-ipedanse Blumlein discharge initiated HF/DF chemical laser // IEEE Journal of Quantum Electronics. 1979. - Vol. QE-15. - No.3. - P. 190-194.

197. Anderson N., Bearpark Т., Scott S.J. An X-ray preionised self sustained discharge HF/DF laser // Applied Physics B: Lasers and Optics. 1996. - Vol.63. - No.6. - P.565-573.

198. Баранов В.Ю., Высикайло Ф.И., Демьянов A.B. Малюта Д.Д., Толстов В.Ф. Параметрические исследования импульсного нецепного HF-лазера // Квантовая электроника. 1984.-Т. 11.-№ 6.-С. 1173-1178.

199. Аполлонов B.B., Казанцев С.Ю., Орешкин В.Ф., Сайфулин А.В., Фирсов К.Н. Объемный самостоятельный разряд для инициирования широкоапертурных нецепных HF(DF)^a3epoB // Известия Академии Наук. Сер. Физическая. 2000. -Т.64,-№7.-С. 1439-1445.

200. Lacour В., Pasquiers S., Postel С., Puech V. Importance of pre-ionisation for the non-chain discharge-pumped HF laser // Applied Physics B: Lasers and Optics. 2001. - Vol.72. - No.3. - P.289-299.

201. Булаев В.Д., Гусев B.C., Казанцев С.Ю., Кононов И.Г., Лысенко С.Л., Морозов Ю.Б., Познышев А.Н., Фирсов К.Н. Электроразрядный импульсно периодический HF лазер с большой энергией излучения // Квантовая электроника. - 2010. - Т.40. - №7. - С.615-618.

202. Bulaev V.D., Gusev V.S., Firsov K.N., Kazantsev S.Yu., Kononov I.G., Lysenko S.L., Morosov Yu.B., and Poznyshev A.N. High power pulse-periodical electrochemical HF laser // Chinese Journal of Optics. 2011. - Vol.4. - No. 1. - P.26-30.

203. Тарасенко В.Ф., Орловский B.M., Панченко A.H. Энергетические характеристики и устойчивость разряда нецепного HF лазера с накачкой самостоятельным разрядом // Квантовая электроника. 2001. - Т.31. - №12. -С.1035-1037.

204. Панченко А.Н., Орловский В.М., Тарасенко В.Ф., Бакшт Е.Х. Эффективные режимы генерации HF лазера с накачки нецепной химической реакцией,инициируемой самостоятельным разрядом // Квантовая электроника. 2003. -Т.ЗЗ. -№5. - С.401-407.

205. Панченко А.Н., Орловский В.М., Тарасенко В.Ф. Эффективный нецепной лазер, возбуждаемый самостоятельным разрядом // Журнал технической физики. -2003. Т.73. - Вып.2. - С.136-138.

206. Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Об эффективности нецепных электроразрядных HF (DF) лазеров // Известия ВУЗов. Физика. - 2004. - Т.47. - №5. - С.93-94.

207. Панченко А.Н., Орловский В.М., Тарасенко В.Ф. Спектральные характеристики нецепных электроразрядных HF- и DF- лазеров в эффективных режимах возбуждения // Квантовая электроника. 2004. - Т.34. - №4. - С.320-324.

208. Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Эффективные HF(DF) лазеры, с накачкой нецепной химической реакцией, инициируемой самостоятельным разрядом // Письма в журнал технической физики. 2004. - Т.30. - Вып.11. - С.22-28.

209. Аполлонов В.В., Белевцев А.А., Казанцев С.Ю., Сайфулин А.В., Фирсов К.Н. Самоинициирующийся объемный разряд в нецепных HF-лазерах на смесях SF6 с углеводородами // Квантовая электроника. 2000. - Т. 30. -№ 3. - С.207-214.

210. Аполлонов В.В., Белевцев А.А., Казанцев С.Ю., Сайфулин А.В., Фирсов К.Н. Особенности развития самоинициирующегося объемного разряда в нецепных HF-лазерах // Квантовая электроника. 2002. - Т.32. - №2. - С.95-100.

211. Wlodarczyk G. A photopreionized atmospheric pressure HF laser // IEEE Journal of Quantum Electronics. Vol.QE-14. - No. 10. - P.768-771.

212. Brink D.J., and Hasson V. Compact megawatt helium-free TEA HF/DF lasers // Journal of Physics E: Scientific Instruments. 1980. - Vol.13. -No.5. - P.553-556.

213. Белевцев А.А., Казанцев С.Ю., Сайфулин А.В., Фирсов К.Н. Еще раз о роли УФ подсветки в нецепных электроразрядных HF(DF) лазерах // Квантовая электроника. - 2004. - Т.34. - №2. - С. 111-114.

214. Perry D.S., Polanyi J.C. Energy distribution among reaction products. IX. F + H2, HD and D2 // Chemical Physics. 1976,- Vol.12. - No.4. - P. 419-431.

215. Deka В., Dyer P. Mode control and performance studies of a pulsed unstable resonator HF/DF laser // IEEE Journal of Quantum Electronics. 1978. - Vol.14. -No.9. - P.661-673.

216. Voignier F., and Gastaud M. Improved performance of a double discharge initiated pulsed HF chemical laser // Applied Physics Letters. 1974. - Vol.25 - No. 11. - P.649-650.

217. Serafetinides A.A., Papadopoulos D.N., and Chourdakis G. Performance studies of a TEA-TEA HF oscillator-amplifier laser system with semiconductor and corona preionization // Optics Communications. 2002. Vol.206. - No.4-6. - P.379-388.

218. Osche G.R. Optically cascaded pulsed DF chemical laser // Applied Physics Letters. 1977,-Vol.31.-No.L-P.29-31.

219. Гордон Е.Б., Матюшенко В.И., Репин П.Б. Энергетическая цена образования атома фтора в импульсном электрическом разряде в молекулярных газах // Химическая физика. 1989. -Т.8. -№9. С.1212-1218.

220. Gross R.W.F., and Wesner F. Electron-beam-initiated chemical laser in SF6 H2 mixtures // Applied Physics Letters. - 1973. - Vol.23. - No. 10. - P.559-561.

221. Arnold G.P., and Wenzel R.G. Improved performance of an electrically initiated HF laser//IEEE Journal Of Quantum Electronics. 1973. - Vol.9. - No.4. - P.491-493.

222. Manke G.C., and Hager G.D. A review of recent experiments and calculations relevant to the kinetics of the HF laser // Journal of Physical and Chemical References Data.-2001.-Vol.30.-No.l -P.713-733.

223. Ben-Shaul A., Feliks S., Kafri O. Time evolution of the pulsed HF chemical laser system. I. Kinetic modeling rotational non-equilibrium // Chemical Physics. -1979. -Vol.36.-No.3.-P.291-305.

224. Ястремский А.Г. Энергетические характеристики и пространственная структура разрядов в смесях газов с НС1 и SF6. Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук. Томск. 2008. -33 с.

225. Bychkov Yu. I., and Yastremskii A.G. Kinetic processes in the electric discharge in SF6 // Laser Physics. 2006. - Vol. 16. - No. 1. - P. 146-154.

226. Бычков Ю.И., Горчаков С.Л., Ястремский А Г. Однородность и устойчивость объемных электрических разрядов в смесях газов на основе SF6 // Квантовая электроника. 2000. - Т.30. - № 8. - С.733-737.

227. Суладзе К.В., Цхадая Б.А., Плютто A.A., Особенности формирования интенсивных пучков электронов в ограниченной плазме // Письма в ЖЭТФ. -1969. Т. 10. - №6. - С.282-285.

228. А.Н.Панченко, В.Ф.Тарасенко. Стабильные обрывы тока при разряде через плазму, созданную ХеС1-лазером // Журнал технической физики. 1988. - Т.58. -Вып.8. - С.1551-1554.

229. Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Стабильная работа плазменного прерывателя с током переключения до 10 кА // Физика плазмы. 1990. - Т. 16. - Вып.9. - С. 10611067.

230. Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф., Ефремов A.M. Плазменный переключатель тока. Авторское свидетельство СССР № SU1455983, приоритет 13.06.86, per. 1.10.88.

231. Быковский Ю.А., Козырев Ю.П., Козловский К.И., Цыбин A.C. Влияние столкновений потоков лазерной плазмы в конусных мишенях на ее параметры на поздних стадиях разлета // Квантовая электроника. 1978. - Т.5. - №2. - С.337-343.

232. Мхеидзе Г.П., Плютто A.A., Короп Е.Д. Ускорение ионов при протекании тока через плазму // Журнал технической физики. 1971. - Т.41. - №5. - С.952-959.

233. Ottinger P.P., Goldstein S.A., Meger R.A. Theoretical modelling of the plasma erosion opening switch for inductive storage applications // Journal of Applied. Physics. 1984. - Vol.50. - No.3. - P.774 - 784.

234. Кремнев B.B., Месяц Г.А. Методы умножения и трансформации импульсов в сильноточной электронике. Новосибирск: Наука. 1987. - 225 с.

235. Иваненков Г.В., Двойные слои в сильноточном плазмонаполненном диоде // Физика плазмы. 1982. - Т.8. - №6. - С. 1184-1191.

236. Иваненков Г.В. Формирование и рост двойных слоев в сильноточном плазменном размыкателе // Физика плазмы. 1986. -Т. 12. - Вып. 6. - С.733-741.

237. Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф., Яковленко С.И. Несимметричное прохождение тока через сгусток лазерной плазмы // Журнал технической физики. 1999. - Т.69. -Вып.З. - С.77-79.

238. Савин Б.Б., Тарасенко В.Д., Бычков Ю.И. Исследование переходной стадии разряда в азотном лазере // Журнал технической физики. 1976. - Т.46- Вып.1. -С. 198-201.

239. Geller М., Altman D.E., De Temple Т.А. Some consideration in the design of highpower pulsed N2 laser // Applied Optics. 1968. - Vol. 7. - No. 11. - P. 2232-2237.

240. Тарасенко В.Ф., Лосев В.Ф., Бычков Ю.И. ОКГ на азоте с поперечным разрядом АИЛ 3 // Квантовая электроника. - 1974. - Т.1. - №10. - С. 2312-2315.

241. Гудзенко Л.Н., Яковленко С.И. Плазменные лазеры. М.: Атомиздат. 1978. - 253 с.

242. Ломаев М.И., Тарасенко В.Ф. Генерация на длинах волн 585,3; 540.1 неона и на 428 нм иона азота при накачке поперечным разрядом // Оптика и спектроскопия. -1986. Т.61. - Вып.5. - С.1102 - 1105.

243. Бакшт Е.Х., Ломаев М.И., Панченко А.Н., Рыбка Д.В., Тарасенко В.Ф., Кришнан М., Томпсон Дж. Мощный источник спонтанного излучения в УФ области спектра: режимы возбуждения // Квантовая электроника. 2005. - Т.35. -№ 7. - С.605-610.

244. Levatter J.I., Robertson K.L., and Lin S.-C. Long pulse behavior of the avalanche/self-sustained discharge pumped XeCl laser // Applied Physics Letters. -1981. Vol.39. - No.4. - P.297-299.

245. Salamon T.I., Schmieder D. The Inversion mechanism of the 585.3 nm neon laser // Optics Communications. -1987. Vol.62. -No.5. - P. 323-327.

246. Yakovlenko S.I. Plasma Lasers // Laser Physics. 1991. - Vol.1. -No.6. - P.565-589.

247. Ломаев М.И., Панченко A.H., Тарасенко В.Ф. Исследование генерации в неоне при накачке самостоятельным разрядом с УФ предыонизацией // Квантовая электроника. 1987. - Т. 14. - №5. - С.993-996.

248. Ломаев М.И., Тарасенко В.Ф. Генерация в инертных газах при накачке поперечным разрядом // Письма в Журнал технической физики. 1988. - Т. 14. -Вып.11.-С. 1045-1048.

249. Бойченко A.M., Панченко А.Н., Тельминов А.Е., Феденев А.А. Пеннинговский лазер на неоне с возбуждением от волны размножения электронов фона. Препринт №1 ИОФ РАН, Москва, 2008. 21 с.

250. Boichenko A.M., Panchenko A.N., Tel'minov A.E., and Fedenev A.A. Penning plasma Neon laser pumped by the background-electron multiplication waves // Physics of Wave Phenomena. 2008. - Vol.16. -No.4. - P.283-291.

251. Kovacs M.A., and Ultee C.J. Visible laser action in fluorine I // Applied Physics1.tters-1970. Vol. 17,- No. 1. - P.39-40.

252. Hatakeyama Т., Kannari F., and Obara M. Theoretical study of a vacuum ultraviolet F2 excimer lamp (157 nm) excited by microwave discharge // Applied Physics Letters -1991. Vol.59. - No.4. - P.387-389.

253. Demyanov A.V., Feenstra L., Peters P.J.M., Napartovich A.P., Witteman W.J. Kinetic modelling of a discharge-pumped ArF excimer laser and the effects of discharge fllamentation // Applied Physics B: Laser and Optics. 2001. - Vol.72. -No.7. - P.823-833.

254. Parvin P., Mehravaran H., and Jaleh B. Spectral lines of the atomic-fluorine laser from 2 psi (absolute) to 5,5 atm // Applied Optics. 2001,- Vol.40.- No.21. - P.3532-3538.

255. Razhev A.M., Mkhitaryan V.M., Churkin D.S. 703-to 731-nm FI laser excited by a transverse inductive discharge // JETP Letters. 2005. - Vol.82. - №5. - P.259-262.

256. Смирнов Б.М. Физика атома и иона, М.: Энергоатомиздат. 1986. 215 с.

257. Morton D.C. Atomic data for resonance absorption lines. I Wavelengths longward of the Lyman limit // Astrophysical Journal. Supplement Series. - 1991. - Vol.77. - No.l. -P. 119-202.

258. Schaefer G. Fast Plasma Mixing-A new excitation method for CW gas lasers // IEEE Journal of Quantum Electronics. 1986. - Vol.22. -№10. - P.2022-2025.

259. Zaeferani M.S., Parvin P., Sadighi R. Pressure dependence of the spectral lines of high power, high pressure atomic fluorine laser punped by a charge transfer from He2+ // Optics & Laser Technology. 1996. - Vol.28.- No.3. - P.203-205.

260. Collins C.B., Lee F.W., and Carroll J.M. An atomic-fluorine laser punped by charge transfer from He2+ at high pressure // Applied Physics Letters. 1980. - Vol.37. -No.10. - P.857-859.

261. Chapovsky P.L., Kochubei S.A., Lisitsyn V.N., and Razhev A.M. Excimer ArF/XeF Lasers Providing High-Power Stimulated Radiation in Ar/Xe and F Lines // Applied Physics A: Materials Science & Processing. 1977. - ol.l4. - 2,- P.231-233.

262. Koprinkov I.G., Stamenov K.V., and Stankov. K.A. Intense laser generation from an atomic-fluorine laser // Applied Physics B: Photophysics and Laser Chemistry. 1984. - Vol.33. - No.4. - P.235-238.

263. Панченко A.H., Тарасенко В.Ф. Мощные электроразрядные лазеры на плотных газах с накачкой от генераторов с полупроводниковыми прерывателями тока // Оптика атмосферы и океана. 2010. - Т.23. - № 10. - С.865-872.

264. Jonson Т.Н., Palumbo L.J., Hunter A.M. Kinetics simulation of high-power gas lasers // IEEE Journal of Quantum Electronics. 1979. - Vol.QE-15. - No.5. - P.289-301.

265. Fletcher C.A.J. Computational Galerkin Methods. Springer -Verlag, New York, 1984.-309 p.

266. Kushner M.J. Microarcs as a tremination mechanism of optical pulses in electric-discharge-excited KrF excimer laser // IEEE Transactions on Plasma Science. 1991. -Vol.19. - No.2. - P.387-399.

267. Mathew D., Bastianes H.M.J., Boiler K.-J., and Peters P.J.M. Current filamentation in discharge-excited F2-based excimer laser // Applied Physics Letters. 2006. - Vol. 88 -No. 10.-paper No. 101502, 3 pages.

268. Burnham R., Powell F.X., and Djeu N. Efficient electric discharge lasers in XeF and KrF // Applied Physics Letters. 1976. -Vol.29. -No.l. - P.30-32.

269. Sarjeant W.J., Alcock A.J., and Leopold K.E. A scalable multiatmosphere highpower XeF laser // Applied Physics Letters. 1977. -Vol.30. - No. 12. - P.635-637.

270. Kumagai H., Obara M. Output energy enhancement of discharge-pumped XeF(B->X) lasers with the two-component halogen donor mixtures // IEEE Journal of Quantum Electronics. 1989. - Vol.QE-25. - No.8. - P. 1874-1878.

271. Панченко A.H., Тарасенко В.Ф., Тельминов A.E. Эффективный электроразрядный XeF лазер с накачкой от генератора с индуктивным накопителем энергии // Квантовая электроника. - 2006. - Т.36. - №5. - С.403-407.

272. Баранов В.Ю., Борисов В.М., Кирюхин Ю.Б., Степанов Ю.Ю. Об изменении характеристик электроразрядного XeF лазера при увеличении давления // Квантовая электроника. - 1978. -т.5. - №10. - с.2285-2289.

273. Trentelman М., Peters P.J.M., Mei Q.-C., and Witteman W.J.Gas-discharge XeF (B—>X) laser excited by a prepulse-main-pulse circuit with magnetic switching // Journal of Optical Society of America B. 1995. - Vol.12. - No.l 2. - P.2494-2501.

274. Coutts J., and Webb C.E. Stability of transverse self-sustained discharge-excited long-pulse XeCl lasers.// Journal of Applied Physics. 1986. - Vo.59. - No.3. - P.704-710.

275. Mei Q.-C., M.Peters P.J., Trentelman M., and Witteman W.J. Optimisation of the pulse duration of a discharge-pumped XeF (B—>X) excimer laser // Applied Physics B: Lasers and Optics. B. - 1995. - Vol.60. - No.3. - P.553-556.

276. Sadighi-Bonabi R., Lee F.W., and Collins C.B. Gain, saturation, and optimization of the XeF discharge laser // Journal of Applied Physics. 1982. - Vol.52. - No.12. -P.8508-8515.

277. Mandl A., and Litzenberger L. XeF laser at a high electron beam pump rate // Applied Physics Letters. 1987. - Vol.51. - No.13. - P.955-957.

278. Nishida N., and Tittel F.K. Intrinsic efficiency comparison in various low-pressure XeF laser mixtures pumped at high excitation rates and with short-pulse electron beam pumping // Applied Physics Letters. - 1988. - Vol.52. -No.22. - P.1847-1849.

279. Mandl A. XeF(B X) long-pulse laser studies // Journal of Applied Physics. - 1992. - Vol.71. - No.4. - P.1630-1637.

280. Watanabe S., Endoh A. Wide aperture discharge KrF and XeCl lasers // Applied Physics Letters. 1982. - Vol.41. - P.799-801.

281. Watanabe S., Acock A.J., Leopold K.E., Taylor R.S. Spatially resolved gain measurements in UV preionized homogenous discharge XeCl and KrF lasers // Applied Physics Letters. 1981. - Vol.38. - No. 1. - P.3-6.

282. Watanabe S., Shiratori S., Sato Т., Kashivagi H. Efficient amplification of a discharge-pumped KrF laser // Applied Physics Letters. 1978. - V.33. - P.141-143.

283. Borisov V.M., Bragin I.E., Vinokhodov A.Yu., Vodchits V.A. Pumping rate of electric-discharge excimer lasers // Quantum Electronics. 1995. - Vol.25. - No.6. -P.507- 510.

284. Ражев A.M., Щедрин А.И., Калюжная А.Г., Рябцев A.B., Жупиков А.А. Влияние интенсивности накачки на эффективность эксимерного электроразрядного KrF-лазера на смеси He-Kr-F2 // Квантовая электроника. -2004. Т.34. - №10. -С.901-906.

285. Baksht Е.Н., Panchenko A.N., Tarasenko V.F., Matsunaga Т., and Goto Т. Longpulse discharge XeF and KrF lasers pumped by a generator with inductive energy storage // Japanese Journal of Applied Physics. 2002. - Vol.41. - N0.6A. - P.3701-3703.

286. Жупиков А.А., Ражев A.M. Эксимерный KrF-лазер на основе буферного газа Не с энергией 0,8 Дж и КПД 2% // Квантовая электроника. 1998. - Т.25. - № 8. -С.687-689.

287. Бакшт Е.Х., Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Эффективный длинноимпульсный ХеС1 лазер с предимпульсом формируемым индуктивным накопителем энергии // Квантовая электроника. 2000. - Т.30. - №6. - С.506-508.

288. Bychkov Yu.I., Baksht Е.Н., Panchenko A.N., Tarasenko V.F., Yampolskaya S.A., and Yastremsky A.G. Formation of pumping discharge of XeCl laser by means of semiconductor opening switch // Proceeding of SPIE. 2001. - Vol.4747. - P.99-105.

289. Abdullin E.N., Ivanov N.G., Kovalchuk В.М., Konovalov I.N., Losev V.F., Panchenko A.N., Panchenko Yu.N., Skakun V.S., Tarasenko V.F., and Yastremsky A.G. High-power excimer laser systems // Laser Physics. 2006. - Vol.16. - No.l. - P. 104115.

290. Литвинов E.A., Мельченко C.B., Панченко A.H., Тарасенко В.Ф. Объемный разряд в смесях инертных газов с галогенами // Теплофизика высоких температур.- 1985. Т.23. - №2. -С.392-394.

291. Osborne M.R., and Huntchinson M.H.R. Long pulse operation and preliminary termination of a high-power discharge-pumped XeCl laser // Journal of Applied Physics.- 1986.-Vol.59.-No.3--P.711-715.

292. Legentil M., Pasquiers S., Puech V., and Riva R. Spectroscopic diagnostics of the onset of discharge instabilities in a XeCl phototriggered laser.// Applied Physics B: Lasers and Optics. 1994. - Vol.38. -No.6. - P.515-517.

293. Makarov M. Effect of electrode processes on the spatial uniformity of the XeCl laser discharge // Journal of Physisc D: Applied Physics. 1995. - Vol.28. - No.6. - P.1083-1093.

294. Бакшт E.X., Панченко A.H., Тарасенко В.Ф., Феденев А.В. Импульснй газовый лазер на смесях инертных газов с галогенами // Патент Российской Федерации № RU 2216836С2, H01S3/097, H01S3/22. Приоритет 04.01.02. Опубликовано 20.11.2002.

295. Owadano Y., Matsumoto I., Matsushima I., Matsushima I., Takahashi E., Miura E., Yashiro H., Tomie Т., Kuwahara K., Shinbo M. Overview of "Super-ASHURA" KrF laser program // Fusion Engineering and Design. 1999. - Vol.44. - No. 1-4. - P.91-96.

296. Батенин B.M., Бучанов B.B., Казарян M.A., Климовский И.И., Молодых Э.И. Лазеры на самоограниченных переходах металлов. М: «Научная книга». 1998. -544 с.

297. Технологические лазеры. Справочник в 2 т. Т.1: Расчет, проектирование и эксплуатация. / Под ред. Абильсиитова Г.А. М: Машиностроение. 1991. 432 с.

298. Бакшт Е.Х., Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Азотный лазер с накачкой продольным разрядом от индуктивного и емкостного накопителей энергии // Квантовая электроника. 1998. - Т.24. - №12. - С. 1087-1090.

299. Mathias L.E.S., and Parker J.T. Stimulated emission in the band spectrum of nitrogen // Applied Physics Letters. 1963. Vol.3. - No.l. - P. 16-17.

300. Heard H.G. Ultra-violet gas laser at room temperature // Nature. 1963. -Vol.200. -No.4907.-P. 667.

301. Kunabenchi R.S., Gorbal M.R., and Savadatti M.I. Nitrogen lasers // Progress in Quantum Electronics. 1984. - Vol.9. - No.4. - P.259-329.

302. Ali A.W., Kolb A.C., and Anderson A.D. Theory of the pulsed molecular nitrogen laser// Applied Optics. 1967. - Vol.6. - No. 12. -P.2115-2125.

303. Гущин Е.М.,.Миханчук H.A, Покачалов С.Г. Фотоэмиссия электронов под действием излучения лазера на молекулярном азоте // Письма в Журнал технической физики. 2005. - Т.31. - Вып. 17. - С.42-47.

304. Ozga К. UV-induced optical features of oligoetheracrylate photopolymers // Optics & Laser Technology. 2007. - Vol.39. - No.6. - P. 1162-1165.

305. Бычков Ю.И., Лосев В.Ф., Савин B.B., Тарасенко В.Ф. Увеличение длительности импульса излучения в лазерах на самоограниченных переходах // Известия ВУЗов. Физика. 1978. -№ 1. - С.81-86.

306. Levatter J.I., Lin S.-C. High-power generation from a parallel-plates-driven pulsed nitrogen laser // Applied Physics Letters. 1974. - Vol.25. - No. 12. - P.703-705.

307. Rebhan U., Hildebrandt J., and Skopp G. A high power N2-laser of long pulse duration // Applied Physics A: Material Science&Processing. 1980. - Vol.23. - No.4. -P.341-344.

308. Буранов C.H., Горохов B.B., Карелин В.И., Репин П.Б. Электроразрядный N2-лазер с добавками SF6 и Не // Квантовая электроника. 1990. - Т. 17. - №2. -С.161-163.

309. Armandillo Е., Kearsley A.J. High-power nitrogen laser // Applied Physics Letters. -1982. Vol.41. - No.7. - P.611-613.

310. Sanz F.E. and Guerra Perez J. M. A high power high energy pure N2 laser in the first and second positive systems // Applied Physics B: Potophysics and Laser Chemistry. -1991. Vol.52. - No. 1. - P.42-45.

311. Мухибов Н., Орлов В.К., Турсунов А.Т., Хасанов Г., Эшкобилов Н.Б. УФ лазер на азоте с двумя активными объемами // Квантовая электроника. 1987. - Т.14. -№6.-0.1215-1216.

312. Козырев А.В., Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф., Тельминов А.Е. О неоднородности плотности мощности излучения в выходном пучке азотного лазера // Квантовая электроника. 2008. - Т.38. -№8. - С.731-735.

313. Коновалов И.Н., Панченко A.H., Тарасенко В.Ф., Тельминов Е.А. Широкоапертурный электроразрядный азотный лазер // Квантовая электроника. -2007. Т.37. - №7. - С.623-627.

314. Генин Д.Е., Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф., Тельминов А.Е. Влияние добавок SF6 и NF3 на режимы УФ и ИК генерации в азоте // Квантовая электроника. 2011. -Т.41. -№4. - С.360-365.

315. Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Т. III, под ред. Фортова В.Е., М.: Наука. 2000, нас.263.

316. Makuchovsky J., and Pokora L. Theoretical model of TEA nitrogen laser excited by electric discharge.l. Problem formulation // Optica Applicata. 1993. - Vol.23. - No.2-3. - P.113-129.

317. Калюжная А.Г., Рябцев A.B., Щедрин A.M. Особенности функции распределения электронов в тлеющем разряде с полым катодом в смесях азота с электроотрицательными газами // Журнал технической физики. 2003. - Т.48. -Вып.1. - С.42-45.

318. Herron J.T. Evaluated chemial kinetics data for reactions of N(2D), N(2P), and N2. (A3E+u) in the gas phase // Journal of Physical and Chemical Reference Data. 1999. -Vol.28.-No. 5. - P.1453-1483.

319. Химия плазмы. Под ред. Б.М. Смирнова. / М.: Энергоатомиздат. 1983. -Вып.10. - С. 108.

320. Kossyi I.A., Kostinsky A.Yu.,.Matveyev А.А, and.Silakov V.P Kinetic scheme of the non-equilibrium discharge nitrogen-oxygen mixtures // Plasma Sources Science and Technology. 1992. - Vol.1. -No.3. -P.207-220.

321. Nandi D., Rangwala S.A., K. Kumar S.V., and Krishnakumar E. Absolute cross sections for dissociative electron attachment to NF3 // International Journal of Mass Spectrometry. 2001. - Vol.205.- No. 1 -3. - P. 111-117.

322. Christophorou L.G., and Olthoff J.K. Electron attachment cross sections and negative ion states of SF6 // International Journal of Mass Spectrometry 2001. - Vol.205. -No.l. -P.27^11.

323. Brunet H., and Rocca-Serra J. Model for a glow discharge in flowing nitrogen // Journal of Applied Physics. 1985. - Vol.57. -No.5. - P. 1574-1581.

324. Химия плазмы. / Под ред. Б.М. Смирнова, М.: Энергоатомиздат. 1987. Вып. 14.-С. 227-255.

325. Смирнов Б.М. Комплексные ионы. М.: Наука. 1983. 159 с.

326. Александров H.JI., Кончаков A.M., Шачкин Л.В., Шашков B.M. Диссоциативная и тройная электрон-ионная рекомбинация в газоразрядной плазме С02 // Физика плазмы. 1986. - Т. 12. -№10. - С. 1218-1224.

327. Смит К., Томсон Р. Численное моделирование газовых лазеров. М.: Мир. 1981. -515 с.

328. Александров Н.Л. Трехчастичное прилипание электрона к молекуле // Успехи физических наук. 1988. - Т. 154. -№2. - С. 177-206.

329. Словецкий Д.И. Механизмы химических реакций в неравновесной плазме. М.: Наука. 1980.-310 с.

330. Силаков В.П. Влияние процессов ассоциативной ионизации электронно-возбужденных метастабилей на электрическую прочность слабоионизированногомолекулярного азота высокого давления // Физика плазмы. 1988. - Т. 14. -Вып.10.-С.1209- 1212.

331. Trainor, D.W., Jacob, J.H. Electron dissociative attachment rate constants for F2 and NF3 at 300° and 500°K // Applied Physics Letters. 1979. - Vol.35. - No. 12. - P.920-922.

332. Asinovskii E.I., Vasilyak L.M., and Tokunov Yu.M. A Double peak of the radiation from a coaxial nitrogen laser // Soviet Journal of Quantum Electronics. 1988. -Vol.15.-No.8.-P.1548- 1551.

333. Geller M., Altman D.E., and De Temple T.A. Some considerations in the design of a high power, pulsed N2 laser // Applied Optics. 1968. - Vol.7. - No.ll. - P.2232 -2237.

334. Лисицын B.H., Сорокин A.P., Телегин Г. Г. Исследование инфракрасной генерации N2 лазера с поперечным разрядом // Квантовая электроника. 1975. -Т.2. -№8. - С. 1710 - 1714.

335. Yasuda Y., Sokabe N., and Murai A. Excitation process of the N2 IR (B3ng-A3Iu+) laser transition // Jpn. J. Appl. Phys. 1980. - Vol.19. - No.6. - P. 1143 - 1146.

336. Scaffardi L., Schinca D., Tocho J.O. H.F.Ranea-Sandoval, and M.Gallardo, "Cascade population mechanism in nitrogen lasers // Applied Optics. 1985. - Vol.11. - No.6. -P.22-25.

337. Тарасенко В.Ф., Бычков Ю.И. Инфракрасный азотный лазер с поперечным разрядом // Журнал технической физики. 1974. - Т.44. - Вып.5. - С.1100 - 1101.

338. Лобанов А.Н., Сучков А.Ф. Функция распределения и баланс энергии электронов в электроионизационном лазере на двуокиси углерода // Квантовая электроника. 1974. - Т. 1. - №7. - С. 1527-1536.

339. Levine J.S., and Javan A. Observation of laser oscillation in 1-atm C02-N2-He laser pumped by an electrically heated plasma generated via photoionisation // Applied Physics Letters. 1973. - Vol.22. - No.l. - P.55-57.

340. Lind R.C., Wada J.Y., Dunningand G.J., and Clark W. Jr. A long-pulse high-energy C02 laser pumped by an ultraviolet-sustained electric discharge // IEEE Journal of Quantum Electronics. 1974. - Vol.10. - No. 10. - P.818-821.

341. Mesyats G.A., Osipov. V.V., Tarasenko V.F. Pulsed gas lasers. Washington, USA: SPIE Press. 1995.-374 p.

342. Taylor R.S., and Leopold K.E. Magnetic-spiker sustainer discharge excitation of a wide aperture small-gap TEA C02 laser // Review of Scientific Instruments. 1992. -Vol.63. - No. 10. - P. 4467-4468.

343. Satyanarayana D.V., Mohan M.S, and Nundy U. All solid state switched high efficiency pulser sustainer TEA C02 laser // Review of Scientific Instruments. 1995. -Vol.66. -No.3. - P.2391-239.

344. Morikawa E. Effect of low-ionisation gas additive along with UV photoionisation on C02 TEA laser operation // Journal of Applied Physics. 1977. - Vol.48. - No.3. -P.1229-1239.

345. Бакшт E.X., Орловский B.M., Панченко A.H., Тарасенко В.Ф. Эффективный электроразрядный С02 лазер с предымпульсом формируемым генератором с индуктивным накопителем энергии // Письма в Журнал технической физики. -1998. Т.24. - Вып.4. - С.57-61.

346. ВитгеманВ. С02-лазер. М.: Мир. 1990.-360 с.

347. Gibson A.F., Kimmitt M.F., and Norris В. Generation of bandwidth-limited pulses from a TEA C02 laser using p-type germanium // Applied Physics Letters. 1974. -Vol.24. - No.7. - P.306-307.

348. Kwok H.S., and Yablonovich E. 30-psec C02 laser pulses generated by optical free induction decay // Applied Physics Letters. 1977. - Vol.30. - No.3. - P. 158-160.

349. Дембовецкий B.B., Матвеева M.B., Сурдутович Г.И., Шурупова Н,П. Теоретическое и экспериментальное исследование С02-лазера в режиме пассивной синхронизации мод // Квантовая электроника 1990. - Т. 17. - №2. С. 142-149.

350. Alexandrov B.S., Arsenjev A.V., Azarov М.А., Drozdov V.A., Koretsky J.P., Mashendzhinov V.I., Revich V. E., and Troshchinenko G.A. Wide-aperture powerful high-pressure C02 laser with optical pumping // Proceeding of SPIE. 2001. -Vol.4644.-P.301-306.

351. Баранов Г.А., Кучинский А.А. Мощные импульсные С02-лазеры высокого давления и их применения // Квантовая электроника. 2005. - Т.35. - № 9. -С.867-872.

352. Баранов Г.А., Кучинский А.А., Томашевич П.В. Широкоапертурный С02-усилитель сверхатмосферного давления с накачкой объемным самостоятельным разрядом // Журнал технической физики. 2008. - Т.78. - Вып. 10. - С.53-58.

353. Иващенко М.В., Карапузиков А.И., Шерстов И.В. Формирование коротких импульсов излучения TEA С02-лазера при использовании газовой смеси C02-N2-Н2 // Квантовая электроника. 2001. - Т.31. -№11. - С.965-969.

354. Yanzhao Lu, Xinbing Wang, Xueling Zhang, and Ju Dong. Pulse behavior of a short pulse discharged TEA C02 laser // Proceedings of SPIE. 2009. - Vol.7276. - Paper No.72760T. 5 pages.

355. Орловский В.М., Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Электроразрядный С02 лазер с высокой пиковой мощностью излучения // Квантовая электроника. 2010. - Т.40. -№3,-С. 192-194.

356. Novak J.P., and Frechette М. F. Transport coefficients of SF6 and SF6-N2 mixtures from revised data // Journal of Applied Physics. 1984. - Vol.55. - No.l. - P.107-119.

357. Бортник И.М. Физические свойства и электрическая прочность элегаза. / М.: Энергоатомиздат. 1988 99 с.

358. Phelps V., and Van Brunt R.J. Electron transport, ionization, attachment, and dissociation coefficients in SF6 and its mixtures // Journal of Applied Physics. 1988. -Vol.64. - No.9. - P.4269-4277.

359. Riccardi C., Barni R., de Colle F., and Fontanesi M. Modeling and diagnostic of an SF6 RF plasma at low pressure // IEEE Transactions on Plasma Science. 2000. -Vol.28.-No.l.-P.278-287.

360. Xiao D.M., Zhu L.L., and Chen Y.Z. Electron swarm parameters in SF6 and helium gas mixtures // Journal of Physics D: Applied Physics. 1999. - Vol.32. - No.5. -P.L18-L19.

361. Кумпяк E.B., Ломаев М.И., Месяц Г.А., Панченко АН, Поталицын Ю.Ф., Тарасенко В.Ф Запуск искрового разрядника лазерным ультрафиолетовым излучением, передаваемым по световоду // Приборы и техника эксперимента. -1987. -№ 2. -С. 171-173.

362. Мельченко C.B., Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. ВКР преобразование излучения электроразрядного ХеС1-лазера // Квантовая электроника. - 1986. -Т.13. - №7. - С.1496-1500.

363. Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Экспериментальное исследование образования и разлета плазмы при облучении металлов УФ-лазером // Физика плазмы. 1988. -Т.14.-Вып.6.-С.761-764.

364. Панченко А.Н., Тарасенко В.Ф. Управление длительностью импульса излучения ХеС1-лазера плазменным затвором // Физика плазмы. 1987. - Т.13. -Вып.4. - С.497-498.