Разработка неразрушающих методов контроля структуры поверхности конструкционных материалов после энергетического воздействия тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.16.01, кандидат технических наук Сарычев, Сергей Михайлович

• Сарычев, Сергей Михайлович
• кандидат технических наук
• 2005

Оглавление диссертации кандидат технических наук Сарычев, Сергей Михайлович

Введение.

Глава 1 Постановка задачи.

1.1. Анализ современного состояния исследований и разработок 7 в области модифицирования поверхности.

1.1.1. Ионное азотирование.

1.2. Физико-химические основы процессов ионно-плазменного 21 модифицирования поверхности металлических материалов.

1.2.1. Диаграмма состояния Ti-N.

1.2.2. Ориентационные соотношения между нитридными фазами.

1.2.3. Свойства Ti-N нитридных фаз.

1.2.4. Анализ кристаллохимических особенностей фаз внедрения 25 на основе титана.

1.2.5. Механизм диффузии атомов внедрения в титане.

1.3. Исследования структуры и свойств модифицированных 37 слоев и покрытий.

1.4. Методы исследования покрытий.

1.4.1. Особенности рентгеновского измерения остаточных напряжений в тонких покрытиях.

1.5. Неразрушающий контроль поверхностных слоев материалов.

1.5.1. Измерение контактной разности потенциалов.

1.5.2. Методы измерения работы выхода электрона (РВЭ).

1.5.2.1. Метод контактной разности потенциалов.

1.5.3. Измерение толщины покрытий.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка неразрушающих методов контроля структуры поверхности конструкционных материалов после энергетического воздействия»

Актуальность работы.

Ионно-вакуумное модифицирование поверхности авиационных материалов является эффективным способом повышения их функциональных свойств. При использовании любого метода модифицирования поверхности наиболее важной проблемой является обеспечение воспроизводимости результатов обработки для различных изделий. Это связано с тем, что результат воздействия на деталь высокоэнергетическим потоком частиц зависит от множества параметров, таких как химический, фазовый состав и структурное состояние материала подложки, характеристики потока частиц. Эта проблема актуальна как для нанесения покрытий, когда в результате воздействия потока ионов металла в контролируемой атмосфере реакционного газа происходит плазмохимическая реакция образования фазы внедрения (в основном нитридов и карбидов переходных металлов), так и для ионного газонасыщения, когда на поверхности детали образуется твердый раствор внедрения на основе материала подложки. Кроме того, структурное состояние и свойства поверхностных слоев существенно изменяются в результате различных технологических операций, таких как резка, механическая и термическая обработка.

В этой связи получили развитие различные методы исследования и контроля поверхностных слоев, такие как измерение поверхностного потенциала, рентгеновские методы определения остаточных макронапряжений, фазового состава, параметров кристаллической решетки, дисперсности структуры и кристаллографической текстуры. Вместе с тем особенности формирования структуры поверхности при использовании ионно-вакуумных технологий требуют существенной модификации аппаратуры, стандартных методик и способов интерпретации результатов измерения.

Таким образом, исследования и разработки, направленные на совершенствование аппаратурного обеспечения и развитие новых методов исследования структуры и свойств поверхности конструкционных и функциональных материалов с покрытиями и модифицированными поверхностными слоями являются актуальными.

Научная новизна

1. Разработана методика определения поверхностного потенциала, основанная на измерении электрической составляющей поля над металлическим образцом, пропорциональной разности работ выхода электронов из измерительного зонда и измеряемого объекта.

2. Установлено, что ионное азотирование титановых сплавов приводит к изменению знака поверхностного потенциала с отрицательного на положительный вследствие уменьшения работы выхода электрона, что связано со сменой преобладающего ионного типа химической связи у оксидов титана на ковалентный у нитридов титана с соответствующим уменьшением эффективного заряда и размера аниона.

3. Разработана методика неразрушаю щего рентгеновского контроля толщины газонасыщенных слоев в сплавах титана на основе экспериментального измерения и расчетов интенсивностей рассеяния от диффузионных поверхностных слоев с переменным периодом решетки твердого раствора внедрения.

4. Разработана методика разделения рентгеновских дифракционных эффектов, возникающих от изменения состава твердого раствора внедрения и от упругих напряжений для металлов с кубической и гексагональной решетками. Методика позволяет одновременно определять химический состав и величину остаточных напряжений в поверхностных слоях.

5. Показано, что электроэрозионная резка никелевого жаропрочного сплава ЭП975ИД, сопровождающаяся оплавлением поверхностных слоев, приводит к насыщению этих слоев углеродом до

4,2 масс. %, образованию карбидной фазы с кубической решеткой (а = 4,25 - 4,27 А) и к возникновению остаточных растягивающих напряжений, достигающих величины 1200 МПа.

Практическая значимость работы.

Создано приспособление и разработаны методические рекомендации для неразрушающего контроля энергетического состояния поверхностных слоев материалов на различных стадиях ионно-вакуумной обработки, который нашел практическое применение при отработке технологии и неразрушаю щем контроле изделий авиационного и медицинского применения.

Разработана система аттестации ионно-вакуумных установок с использованием измерения КРП для определения эффективности операций ионной очистки и ионного азотирования.

На основе исследования остаточных напряжений, фазового и химического состава в поверхностных слоях никелевого жаропрочного сплава после электроэрозионной резки рекомендовано введение финишной операции удаления поверхностного слоя колеса турбины ТРД вспомогательного типа. Рекомендации использованы предприятием «Аэросила» (г. Ступино, Моск. обл.), что обеспечило повышение эксплуатационной надежности двигателя.

Заключение диссертации по теме «Металловедение и термическая обработка металлов», Сарычев, Сергей Михайлович

Общие выводы по работе

1. Разработана схема и изготовлено устройство для измерения поверхностного потенциала, основанное на измерении электрической составляющей поля над металлическим образцом, пропорциональном разности работ выхода электронов из измерительного зонда и измеряемого объекта.

2. Разработана методика неразрушающего определения протяженности газонасыщенных слоев в сплавах титана, основанная на измерении интенсивности рассеяния рентгеновского излучения от поверхностных слоев, характеризующихся градиентом состава и параметров решетки твердого раствора внедрения на основе титана.

3. Разработан метод определения остаточных напряжений в поверхностных слоях с изменяющейся по глубине концентрацией твердого раствора, основанный на разделении вклада в величину параметра решетки упругих напряжений и химического состава.

4. На основе исследования методом КРП распределения энергии электронного потока в объеме вакуумной камеры проведена аттестация установки «Булат-бТ», что позволило за счет корректировки параметров ионно-вакуумного процесса существенно снизить величину разброса поверхностного потенциала и повысить равномерность энергетического воздействия электронного нагрева в различных участках камеры.

5. Разработана методика оценки эффективности проведения технологических этапов очистки и активации поверхности процесса вакуумной ионно-плазменной обработки, позволившая по изменению величины поверхностного потенциала оптимизировать энергетические параметры этих важнейших этапов технологии.

6. С использованием разработанных методик установлены корреляции микротвердости на поверхности сплава ВТ6 с величиной поверхностного потенциала и характеристиками, полученными рентгеноструктурным методом, что позволило разработать комплексную методику оценки эффективности процесса ионного азотирования компонентов эндопротеза из сплава ВТ6, включающую измерение величины поверхностного потенциала на всех изделиях партии и дополнительный контроль тех из них, которые показали значения потенциала менее +100мВ.

7. Для никелевого жаропрочного сплава показано, что электроэрозионная резка, сопровождающаяся оплавлением поверхностных слоев, приводит к перераспределению в них легирующих элементов, насыщению углеродом и возникновению остаточных растягивающих напряжений 800-1200 МПа.

8. На основе выполненных исследований рекомендовано введение финишной операции удаления поверхностного слоя колеса турбины ТРД вспомогательного типа. Рекомендации использованы предприятием «Аэросила» (г. Ступино, Моск. обл.), что обеспечило повышение эксплутационной надежности двигателя.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Сарычев, Сергей Михайлович, 2005 год

1. Ионная химико-термическая обработка сплавов. Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана., 1999, 398.

2. Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками, (редакция Дж. М. Поута)., М. Машиностроение, 1987,424.

3. Григорянц А.Г., Сафонов А.Н., «Лазерная техника и технология» Кн. 3 Методы лазерной обработки., М., Высшая школа., 1987, ст. 191.

4. Григорянц А.Г., Сафонов А.Н., «Лазерная техника и технология» Кн. 6. Основы лазерного термоупрочнения сплавов. М., Высшая школа, 1988, 156.

5. Колачев Б.А., Габидуллин P.M., Пигузов Ю.В. «Технология термической обработки цветных металлов и сплавов», М., Металлургия, 1992, ст.272.

6. Buchanan R.A., Rigney E.D., Williams J.M.: Ion implantation of surgical Ti6A14V for improved resistance to wear-accelerated corrosion. J. Biomed. Mater. Res.21: 355, 1987.

7. Mekellop H. And Rostlunl N.: The wear behavior of ion-implanted Ti6A14V against HMWPE. J. Biomed. Mater. Res.24: 1413, 1990.

8. Y.Itoh, A. Itoh, H. Azuma, T. Hioki Improving the tribological properties of Ti-6A1-4V alloy by nitrogen-ion impantation // Surface and Coatings Technology 111, (1999) 172-176

9. B.A. Kehler, N.P. Baker et al. Tribological behaviour of high-density polyethylene in dry sliding contact with ion-implanted CoCrMo//Surface and Coatings Technology 114 (1999) 19-28.

10. Банных O.A., Зинченко B.M., Прусаков Б.А., Сыропятов В.Я., «Развитие азотирования в России. Четвертый период (1980- н.в.): новые направления НХТО», журнал "Металловедение и термическая обработка металлов", №4, 2001 г., ст. 3-8

11. П.Погрелюк И.Н., «К вопросу об интенсификации процесса азотирования титановых сплавов», журнал "Металловедение и термическая обработка металлов", №6, 1999г., ст. 9-12

12. Шашков Д.П., «Влияние азотирования на механические свойства и износостойкость титановых сплавов», журнал "Металловедение и термическая обработка металлов", №6, 2001 г., ст. 20-24

13. Петров Л.П., «Внутреннее азотирование жаропрочных сталей и сплавов», журнал "Металловедение и термическая обработка металлов", №1,2001г., ст. 10-14

14. J. Musil, J. VI ek, М. Ruzicka Recent progress in plasma nitriding// Vacuum 59 (2000) 940-951.

15. W. Moller, S. Parascandola, T. Telbizova et.al. Surface processes and diffusion mehanisms of ion nitriding of stainless steel and aluminium// Surface and Coatings Technology 136 (2001) 73-79.

16. Березкина Г.С. «Исследование структуры поверхностных модифицированных слоев титанового сплава ВТ6 при воздействии ионных пучков» Сб. тезисов докладов МНТК "XXIV Гагаринские чтения", М., МАТИ-РГТУ, 1998, с. 119-120.

17. Бецофен С.Я., Петров Л.М., Давыдова Г.С. «Структура и свойства Ti-N, Zr-N, Zr-Nb-N-C ионно-вакуумных покрытий на сталях и твердых сплавах.» Сб. тезисов докладов Российской НТК «Новые материалы и технологии», М.: МАТИ РГТУ, 1998, с 8-9.

18. Давыдова Г.С. «Формирование диффузионного слоя по границе металл- покрытие при ионно-вкуумной обработке.» Сб. тезисовдокладов МНТК

19. XXIII Гагаринские чтения", М., МГАТУ, 1999, с. 254.

20. Бецофен С.Я., Петров JI.M., Давыдова Г.С., Хикс У. «Исследование структуры поверхностных слоев сталей и титановых сплавов при воздействии ионных пучков.» Сб. «Научные труды МАТИ им. К.Э.Циолковского» вып.2(74), М.: Изд. ЛАТМЭС, 1999, с.68-72.

21. Лахтин Ю.М. «Современное состояние процесса азотирования» МиТОМ N7, 1993 г.ст.6-11.

22. Лахтин Ю.М., Коган Я.Д., Шпис Г.И., Бемер З.М. «Теория и технология азотирования», М., Металлургия, 1991, с. 319.

23. Лахтин Ю.М., Арзамасов Б.Н., Химико-термическая обработка металлов., Издательство «Металлургия», 1985, с. 255.

24. Б.Е. Патон, Б.И. Медовар, Г.М. Григоренко, К.Г. Григоренко Структура и свойства сплавов титана с азотом //МиТОМ Nl,1992,c.45-47.

25. Структура и коррозия металлов и сплавов: Атлас, Справ. Изд. / Под ред. Ульянина Е.А. М.: Металлургия, 1989,400с.

26. Федирко В.М. Погрелюк И.М. Азотирование титана и его сплавов. Киев: Наук, думка, 1995, 220с.

27. Кальнер В.Д., Вернер А.К. Влияние кислорода на свойства покрытия на основе нитрида титана, //МиТОМ N4, 1994, с. 10-12.

28. Новикова Е.Н., Лужников Л.П., Кононова В.Ф. «Влияние легирования на процесс азотирования титана и его сплава.», Титановые сплавы. Легирование и термическая обработкатитановых сплавов. Сборник статей (под редакцией Туманова А.Т.)., ОНТИ-1977.,Стр 89-96.

29. Т.А.Панайоти, Г.В. Соловьев / Особенности формирования диффузионных слоевы при ионном азотировании а- и (а+р)-титановых сплавов в интервале температур от 500 до 1000°С , //МиТОМ N6, 1994, с. 8-12.

30. A.D. Wilson, A. Leyland, A. Matthews A comparative study of the influence of plasma treatments, PVD coatings and ion implantation on the tribological performance of Ti-6A1-4V //Surface and Coatings Technology, 111(1999) p.70-80 )

31. S.Rudenija, Duplex TiN coatings deposited by arc plating for increased corrosion resistance of stainless steel substrates// Surface and Coatings Technology 114(1999) 129-136

32. T. Leyendecker and et. al./ The development of the PVD coating TiAIN as a commercial coating for cutting tools // Surface and Coatings Technology 48 (1991) pp. 175-178.

33. M. Zlatanovic and et. al. / Structural, mechanical and optical properties of TiN and (Ti,Al)N coatings // Materials Science vol. 352 (2000) pp. 3542.

34. H. Hasegava, A. Kimura, T. Suzuki TiNxAlxN, TibxZrxN and Tii.xCrxN films synthesized by the AIP method // Surface and Coatings Technology V.132, 2000, pp. 76-79.

35. M.Discerens, J.Patscheider, F.Levy Improving the properties of titanium nitride by incorporation of silicon // Surface and Coatings Technology 108-109(1998) pp. 241-246

36. M. Nose, M. Zhou, T. Nagae, T.Mae, M.Yokota, S. Saji Properties of Zr-Si-N coatings prepared by RF reactive sputtering // Surface and Coatings Technology 132 (2000) pp. 163-168.

37. D.B.Lewis, L.A.Donohue The influence of the yttrium content on structure and properties of Tiix.y.zAlxCryYzN PVD hard coatings //

38. D.B.Lewis, L.A.Donohue, Surface and Coatings Technology 114 (1999) pp.187-199

39. M.Leoni, P.Scardi, S.Rossi and et al. (Ti, Cr)N and Ti/TiN PVD coatings on 304 stainless steel substrates:Texture and residual stress // Thin Solid Films 345(1999) 263-269

40. S. Menzel, Th. Gobel, K. Bartsch., K. Wetzig. Phase transitions in PACVD (Ti, A1)N coatings after annealing // / Surface Coating and Technology, 124 (2000), pp. 190-195.

41. K.H. Lee, C.H.Park, Y.S. Yoon, J.J.Lee. Structure and properties of (Tii.xCrx)N coatings produced by the ion-plating method // /Thin Solid Films, 385 (2001), pp. 167-173.

42. J.O.Kim, J.D.Achenbach, P.B.Mirkarami, M.Shinn, S.A.Barnett, J.Appl.Phys. 72(1992) 1805

43. Da-Yung Wang, Chi-Lung Chang, Cheng-Hsun Hsu, Hua-Ni Lin Syntesis of (Ti,Zr)N hard coatings by unbalanced magnetron sputtering // Surface and Coatings Technology 130 (2000) pp. 64-68.

44. R.L. Boxman, V.N. Zhitomirsky, I. Grimberg, L. Rapoport, S. Goldsmith Structure and hardness of vacuum arc deposited multi-component nitride coatings of Ti, Zr, and Nb // Surface and Coatings Technology 125 (2000) pp.257-262.

45. J. Musil, P. Karvankova, J. Kasl / Hard and super Zr-Ni-N nanocomposite films // Surface and Coatings Technology 139 (2001) pp. 101-109.

46. K.N. Andersen, EJ. Bienk, K.O. Schweitz, H. Reitz, J. Chevallier Deposition, microstructure and mechanical and tribological properties ofmagnetron sputtered TiN/TiAIN multilayers / Surface Coating and Technology, 123 (2000), pp. 219-226.

47. T.S. Li, H. Li, F.Pan Microstructure and nanoidentation hardness of Ti/TiN multilayered films / Surface Coating and Technology, 137 (2001), pp. 225-229.

48. C.J. Tavares, L.Rebouta, M. Andritschky, A. Cavaleiro Mechanical and surface analysis of Ti0.4Al0.6N/Mo multilayers // / Vacuum, 60 (2001), pp. 339-346.

49. M. Zlatanovic, I. Popovic and S. Zlatanovic / Structural, Mechanical and Optical Properties of TiN and (Ti, A1)N Coatings // Materials Science Forum vol. 352 (2000), pp. 35-42.

50. D. Chocot, Y. Benarioua, J. Lesage Hardness measurements of Ti and TiC multilayers : a model // / Thin Solid Films, 359 (2000), pp. 228-235.

51. S. Tixier, P. Boni, h. Van Swygenhoven Hardness enhancement of sputtered Ni3Al/Ni multilayers // Thin Solid films 342 (1999) pp. 188193

52. Петров JI.M. "Формирование фазового состава, структуры и свойств функциональных ионно-плазменных покрытий для деталей широкого применения и инструмента", Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук, М., МАТИ, 2000 г.

53. Петров Л.М., Бецофен С.Я., Дервук В.В. Формирование композиционных износостойких покрытий: состав, технология, состояние подложки, структура. // Научные труды МАТИ, вып. 1(73), 1998 г., изд. Латмэс, С.67-71.

54. Петров Л.М., Лантух А.Ю. Некоторые аспекты поверхностных энергетических процессов, протекающих на катоде электродугового разряда вакуумных установок. // Научные труды МАТИ-60 лет, вып. 3(75), изд. Латмэс, 2000 г., С. 61-65.

55. Петров Л.М., Чертов С.И., Ильин А.А., Назимов О.П. Исследование влияния газонасыщения на структуру и свойства листов из титановых сплавов. // Тезисы докладов научно-методической конференции 25-летия СФМАТИ, Ступино, 1982 г., С. 2.

56. Х.Тж.Гольдшмидт Сплавы внедрения, вып.1, М., 1971, ст.423.

57. М.К. Hibbs, J.-E. Sundgren, B.O.Johansson, В.Е. Jacobson The microstructyre of reactively sputtered Ti-N films containing the Ti2N phase// Acta metall. 1985. Vol. 33. No.5. pp.797-803. (O.C.)

58. У.Пирсон «Кристаллохимия и физика металлов», изд.«Мир», М., 1977, част 2.66. «Физическое металловедение», под ред. Кана, Металлургия, 1987, т.2, 156с.

59. Vykhodets V.B., Kurennykh Т.Е. and Fishman A.Ya., «Identification of Heterogeneous State and Trajectories of Interstitials in the Titanium-Oxygen system using Precise Diffusion Experimenst», "Defect and Diffusion Forum Vols", 1997 г., ст. 143-147

60. Выходец В.Б., Куренных Т.Е., «Механизм атомных перескоков для кислорода в сс-Ti», ФММ, Т.78, №3, 1994 г., 116-122

61. Выходец В.Б., Клоцман С.М., Куренных Т.Е., «Температурная зависимость анизотропии коэффициентов диффузии кислорода в а-Ti», Доклад Академии наук СССР, Т.302, №6, 1988 г.

62. Выходец В.Б., Клоцман С.М., Куренных Т.Е., Лерх П.В., Павлов В.А., «Диффузия кислорода в a-Ti. Исследование диффузии кислорода в твердых растворах систем Ti-O методом ядерных реакций», ФММ, Т.64, №6, 1987 г.

63. V.B.Vykhodets, Т.Е. Kurennykh, A.Ya.Fishman, «Identification of heterogeneous state and trajectories of interstitials in the titanium-oxygen system using diffusion experiment», Defect and Diffusion Forum Vols. 143-147(1997) pp.79-84

64. К. Shinozuka, М. Susa, Т. Maruyama, К. Nagata, «Nitrogen diffusion in 5-TiN and a-Ti(N) at high pressures» Defect and Diffusion Forum Vols., 143-147(1997) pp. 1237-1242

65. Joo Seung Park, Tribological characteristis of ion nitrided sintered steels Surface and Coatings Technology 114 (1999) 169-173

66. P.Gutier, Tribological behaviour of N -or O-doped austenitic stainless-steel magnetron sputter-deposited coatings, Surface and Coatings Technology 114 (1999) 148-155

67. D.B.Lewis, L.A.Donohue, The influence of the yttrium content on structure and properties of Ti^.y.jAlxCryYzN PVD hard coatings, Surface and Coatings Technology 114 (1999)187-199

68. M.H.Shiao, F.S.Shieu Interfacial mechanical properties and fracture morphology of TiN-coated steel wire upon tensile loading, Thin Solid Films 358 (2000)159-165

69. W.D.Sproul Reactively sputtered nitrides and carbides of titanium, zirconium, and hafnium // Vac. Sci.TechnoI. 1986, A4(6), P. 2874-2878.

70. W.Palmer Elemental analysis of thin films and surfaces// Short courses 3rd Internat.Symp. on Trends and New Applications in Thin Films. Strasbourg, France, 1991, pp. 1-25.

71. H.Holleck Material selection for hard coatings // Vac. Sci.TechnoI. 1986, A4(6), P. 2661.

72. D.H.Buckley Ceramic microstructure and adhesion // Vac. Sci.TechnoI. 1985, A3(3), P. 762.

73. A.Matthews, A.R.Lefcow Problems in the physical deposition of titanium nitride // Thin Solid Films, 1985, v. 126, p.283.

74. G.J.Wolfe, C.J.Petrosky, D.T.Quinto The role of hard coatings in carbide milling tools // Vac. Sci.TechnoI. 1986, A4(6), P. 2747.

75. S.Vuorinen, E.Niemy, A.S.Korhonen Microstructural study of TiN-coated threading taps // J.Vac.Sci.Technol.A3(6), 1985, p.2445.

76. W.D.Sproul Reactively sputtered nitrides and carbides of titanium, zirconium, and hafnium // Vac. Sci.Technol. 1986, A4(6), P. 2874.

77. P.Mayr, H.-R.Stock Deposition of TiN and Ti(0,C,N) hard coatings by a plasma assisted chemical vapor deposition process // J.Vac.Sci.Technol.A4(6), 1986, p.2726.

78. A.J.Perry, M.Georgson, C.G.Ribbing The reflectance and color of titanium nitride // Vac. Sci.Technol. 1986, A4(6), P. 2674.

79. A.J.Perry The color of TiN and HfN: Aging effects // Vac. Sci.Technol. 1986, A4(6), P. 2670.

80. J.-E.Sundgreen Structure and properties of TiN coatings // Thin solid films. 1985 N128, p.21

81. D.S.Rikerby Internal stress and adherence of titanium nitride coatings // J.Vac. Sci. Technol. 1986, NA4, p.2809.

82. D.C.Rikerby, B.A.Bellamy, A.M.Jones Internal stress and microstructure of titanium nitride coatings // Surface Eng., 1987, v.3,N2, p.138.

83. L.Chollet, H.Boving, H.E.Hintermann Residual stress measurements of refractory coatings as a nondestructive evaluation // J.Mater. for Energy Systems, 1985, v.6, N 4, p. 293

84. A.J.Perry, L.Chollet States of residual stress both in films and in their substrates // J.Vac. Sci.Technol. 1986, A4(6), P. 2801.

85. H.Suzuki, H.Matsubara, A.Matsuo, K.Shibuki The residual compressive stresses in ion plated Ti(C,N) coatings on carbide alloys // J.Jap.Inst.of Metals, 1985, v.49, N9, P.773.

86. A.J.Perry Tempering effects in ion-plated TiN films: texture, residual stress,adhesion and color// Thin solid films, N 146, p. 165.

87. L.Chollet, A.J.Perry The stress in ion-plated HfN and TiN coatings // Thin solid films, N 123, p.223.

88. H.Dolle The influence of multiaxial stress states, stress gradients and elastic anisotropy on the evaluation of (residual) stresses by X-rays // J.Appl.Cryst., 1979, v.l2,p. 489.

89. H.Dolle, J.B.Cohen Evaluation of (residual) stresses in textured cubic metals // Metallurgical Trans. A , 1980, v. 11 A,p. 831.

90. J.M.Molarius, A.S.Korhonen, E.O.Ristolainen Ti-N phases formed by reactive ion plating // J.Vac. Sci.Technol. 1985, A3(6), P. 2419.

91. W.Konig, R.Fritsch Comparison of the performance of PVD-, PCVD and CVD coated hard metals // Proc.l3th Intern.Plansee Seminar'93, v.3,p.l.

92. Бецофен С.Я., Петров Л.М., Лазарев Э.М., Короткое Н.А. Структура и свойства ионно-плазменных TiN покрытий.// Изв. АН СССР. Металлы, 1990, N3, с. 158-165.

93. Бецофен С.Я., Петров Л.А. Особенности рентгеновского измерения остаточных напряжений в TiN тонких покрытиях.// Изв. АН СССР. Металлы, 1991, N1, с. 179-185.

94. Лазарев Э.М., Петров Л.М., Бецофен С.Я., Короткое Н.А. Структура, состав и термическая стабильность никель-фосфорных покрытий.// Изв. АН СССР. Металлы, 1991, N5, 128-132.

95. Betsofen S. Ya., Specificity of residual stress measurements in TiN coatings. Proceedings of 3rd International Symposium on Trends and New Applications in Thin Films, November 1991, Strasbourg, France, pp. 153-157.

96. Лазарев Э.М., Бецофен С.Я. Фазовый состав, структура, текстура и остаточные напряжения в покрытиях из нитрида и карбида титана на твердых сплавах и сталях. //Физика и химия обработки материалов. 1993, N6, с.60-65.

97. S.Ya.Betsofen. Nondestructive X-ray methods of quality control for thin ceramic coatings. Refractory Metals & Hard Materials , v. 14, (1996) 1-3, pp.213-221.

98. Физические величины, Справочник, Энергоатомиздат, М, 1991, с.567-569.

99. М. Грин "Поверхностные свойства твердых тел" М.: "Мир" 1972, стр195.

100. В.Т. Черепин, И.А. Васильев "Методы и приборы для анализа поверхности материалов. Справочник. Наукова думка. 1982 г. стр.33.

101. А.П. Кальницкий Г.А., А.И. Файнштейн. Измерительная техника" №5 1980 г. стр.56.

102. В.Т. Черепин "Итоги науки и техники. Металловедение и термическая обработка" том 14. М. 1980, стр. 19.

103. Бецофен С.Я., Петров JI.M. Прибор для неразрушающего определения толщины покрытий. Тезисы докладов научно-технической конференции "Покрытия, упрочнение, очистка. Экологически безопасные технологии и оборудование", Москва, 18-21 апреля 1995г., с.45.

104. S.Y.Betsofen Film Thickness Measurements Make TiN Coatings Reliable// TECHNICAL INSIGHTS, INC. Advanced Coatings & Surface Technology/ Copyright, Sept 1996, pp.3-4.

105. С.М. Сарычев, А.И. Чернявский, JI.M. Петров, B.C. Спектор Оценка энергетического состояния поверхности методом измерения контактной разности потенциалов. // Научные труды МАТИ, в.5(77), 2004, с. 96-100.

106. А.А.Ильин, С.Я.Бецофен, Л.М.Петров, А.Н.Луценко, С.М. Сарычев Исследование состояния поверхностных слоев никелевых сплавов после нанесения конденсационно-диффузионных покрытий. // Авиационная промышленность, 2003, №2, с.39-42.

107. С.Я.Бецофен, Л.М.Петров, С.М. Сарычев, В.С.Спектор Дифракционные методы исследования модифицированных поверхностных слоев титановых сплавов. // Научные труды МАТИ, вып.5(77), 2002, с.14-18.

108. С.Я.Бецофен, Л.М.Петров, С.М. Сарычев, А.Н.Луценко, И.О.Банных Формирование текстуры и остаточных напряжений в ионно-плазменных покрытиях. // Труды Всерос. н-т. конф. «Быстрозакаленные материалы и покрытия», М, 2002, с. 66-71.

109. W.B.Pearson "A Handbook of Lattice Spacings and Structures of Metals and Alloys" London, Pergamon Press, 1958, 1044 p.