Структурно-фазовые состояния поверхностных слоев никелида титана с покрытиями из молибдена и тантала, полученными магнетронным осаждением и модифицированными ионными пучками тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.07, кандидат физико-математических наук Дементьева, Марина Геннадьевна

• Дементьева, Марина Геннадьевна
• кандидат физико-математических наук
• 2010

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Дементьева, Марина Геннадьевна

Введение ^

1 Структура и свойства сплавов на основе никелида титана

1.1 Диаграммы состояния системы Ть№: структура и свойства

1.1.1 Параметры структуры В2-фазы в Тл№

1.1.2 Вторичные фазы

1.1.3 Низкотемпературные мартенситные фазы

1.1.4 Термоупругие мартенситные превращения в сплавах на основе Тл№ и их связь с физико-механическими свойствами

1.2 Принципы объемного легирования, фазовые диаграммы сплавов на основе Тл и N1, системы: Т1-Ме, №-Ме и Т1-№-Ме

1.2.1 Системы Тл-Ме

1.2.2 Системы М-Ме

1.2.3 Системы Ть№-Ме

1.3 Принципы поверхностного легирования и методы модификации поверхности металлов и сплавов

1.3.1 Методы магнетронного напыления покрытий

1.3.2 Ионно-лучевая модификация поверхности

1.4 Проблемы и возможности рентгеноструктурного анализа при исследовании материалов с покрытиями

Постановка задачи

2 Материалы, поверхностные обработки и методы рентгеноструктурных исследований

2.1 Составы сплавов, мишеней для магнетронного напыления и ионно-лучевой модификации

2.2 Методы поверхностных обработок, режимы нанесения покрытий и облучения ионными пучками 48 2.2.1 Режимы и условия магнетронного напыления покрытий

2.2.2 Режимы ионно-лучевой обработки образцов с покрытиями

2.3 Использование различных геометрических схем отражения рентгеновских лучей для исследования структуры поверхностных слоев

2.4 Измерение параметров элементарных ячеек исследуемых фаз

2.5 Определение размеров областей когерентного рассеяния и микронапряжений 2-го рода методом аппроксимаций

2.6 Измерение величин микродеформаций и напряжений 1-го рода методом «бш2^»

2.7 Оценка толщины эффективно рассеивающего слоя в образцах ни-келида титана с однокомпонентными покрытиями

3 Рентгеноструктурные исследования структурно-фазовых состояний поверхностных слоев сплава Тц^Т^о.з с покрытиями из молибдена и тантала

3.1 Дифракционные эффекты на рентгенограммах от образцов сплава Т149.5№5о.5 с покрытиями из молибдена и тантала

3.2 Количественная рентгеновская оценка толщины однокомпонент-ных металлических слоев и прилежащих к покрытию слоев сплава Тцэ.з^зо.э в композициях Мо/Тл№ и Та/П№

3.3 Параметры решеток ОЦК фаз материалов покрытий в образцах сплава И^.зМбо.з с покрытиями из молибдена и тантала

3.4 Закономерности изменения параметра решетки фазы В2 в образцах сплава Тц9.5№5о.5 с покрытиями из молибдена и тантала

3.5 Области когерентного рассеяния и микродеформации.решеток фаз ОЦК-Мо, ОЦК-Та и В2 в образцах сплава Т149.5№5о.5 с покрытиями

3.6 Закономерности формирования градиентных структур на основе ОЦК решетки в композиционных системах «покрытие/основа» на поверхности никелида титана

4 Влияние облучения потоками ионов на структурно-фазовые состояния в покрытиях из Мо и Та и прилежащих к ним слоях сплава Тц^Мзо^

4.1 Дифракционные эффекты на рентгенограммах от образцов сплава Т149 5N150.5 с покрытиями из молибдена и тантала, модифицированными ионными пучками

4.2 Закономерности изменения параметров решеток основных фаз в образцах сплава на основе TiNi с покрытиями из молибдена и тантала, модифицированными ионными пучками

4.3 Области когерентного рассеяния и микродеформации решеток фаз ОЦК-Мо, ОЦК-Та и В2 после ионно-лучевого воздействия

Выводы

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Структурно-фазовые состояния поверхностных слоев никелида титана с покрытиями из молибдена и тантала, полученными магнетронным осаждением и модифицированными ионными пучками»

Актуальность темы диссертации

Первые сведения о существовании интерметаллического соединения Т1№ вблизи эквиатомного состава были опубликованы в 30-е гг. [1] прошлого века, хотя его активное изучение начинается значительно в начале 60-х годов после обнаружения в нем эффектов памяти формы и сверхэластичности. Позднее, многочисленные исследования природы термоупругих мартенситных превращений и, обусловленных ими свойств сверхпластичности и памяти формы ни-келида титана [2-24], привели к созданию целого класса сплавов на его основе, нашедших практическое применение, в том числе в медицине [25-35].

При использовании сплавов на основе никелида титана в медицине на первый план выдвигается проблема создания защитных покрытий, которые, одновременно, препятствовали бы выходу ионов металлов в биосреду, не приводили к уменьшению эффектов сверхпластичности или памяти формы, и обладали бы высокими параметрами адгезии, коррозионной стойкости, биосовместимости. В то же время, для увеличения адгезии покрытия с подложкой, необходимо чтобы слои с различным химическим составом не имели резко выраженных границ раздела между собой. Наиболее привлекательным для решения такой сложной задачи представляется метод магнетронного напыления покрытий [36-40], использование которого в комплексе с ионно-лучевыми поверхностными обработками [41-72] обеспечивает формирование однородных покрытий с заданными химическим составом и толщиной.

Нанесение покрытия на металлы и сплавы, а также модификация их различными методами (ионно-, электронно-лучевая и др. обработки) приводят к легированию приповерхностных слоев этих материалов. Отмечалось, что легирующие элементы по-разному влияют на критические параметры, тип и последовательность мартенситных превращений в сплавах на основе титана [73-88]. При легировании ТТ№ молибденом или танталом можно ожидать сохранения В2 структуры, если атомы Мо или Та будут замещать атомы N1 или Тл в пределах концентраций, соответствующих областям гомогенности В2 фазы на диаграммах состояний Т1-№-Мо [89-96] и Тк№-Та [96-100].

Модификация поверхности никелида титана потоками заряженных частиц (ионы, электроны), в свою очередь, может приводить к изменению структурно-фазовых состояний в его поверхностных слоях [69]. Известно [7, 12-13, 17-23], что структура и свойства поверхностных слоев могут оказывать заметное влияние на объемные физико-механические свойства сплавов на основе "П№. В течение последних 10-15 лет ведутся интенсивные исследования взаимосвязи структурно-фазовых состояний, элементного состава, уровня внутренних напряжений в поверхностных слоях сплавов на основе никелида титана в зависимости от методов и условий их синтеза или модификации облучением. [69, 101105]. Накопленные экспериментальные данные показывают, что сформированные неравновесные состояния в приповерхностных областях материалов обеспечивают появление у последних новых нетипичных физических, химических, механических свойств [29,65-66,69].

Известно, что лучевые воздействия на поверхность материалов являются причиной возникновения полей внутренних упругих напряжений, локализованных в приповерхностных слоях [106]. Анализ характера распределения этих полей, количественная оценка их уровня и выявление механизмов релаксации имеют важнейшее значение, поскольку в зонах действия этих полей изменяются механические свойства (пластические свойства, хрупкость, усталостная прочность, твердость).

Очевидно, что наиболее строгая оценка уровня индуцированных внутренних напряжений и процессов, связанных с их релаксацией, возможна при использовании прямых структурных методов исследования без разрушения объекта исследования, таких как рентгеноструктурный анализ (РСА) [107-116]. В то же время, несмотря на хорошо развитые теоретические принципы и методы оценок упруго-напряженных состояний в материалах [119-123], решение этой задачи методами РСА является нетривиальным, требует прецизионного подхода, как к условиям получения дифракционных картин, так и их последующему анализу. В случае, когда объектом исследования является материал с градиентом структурно-фазовых состояний, эта задача еще более усложняется [121-123]. Цель работы'.

Изучение структурно-фазовых состояний в поверхностных слоях никели-да титана с однокомпонентными покрытиями из молибдена и тантала, полученными магнетронным осаждением и модифицированными потоками ионов углерода, кремния, молибдена.

Для достижения цели работы были сформулированы следующие задачи:

1. Провести детальные рентгеновские исследования структурных состояний фаз, образующих однокомпонентные покрытия из металлов - молибдена и тантала и основы из сплава Т149.5№50.5; изучить закономерности изменения основных параметров атомно-кристаллических структур в покрытиях, переходных и прилежащих к ним слоях никелида титана.

2. Изучить влияние воздействий ионными пучками средних энергий на структурно-фазовые состояния и закономерности изменения атомно-кристаллических параметров структур основных фаз, характеризующих покрытия и приграничные слои никелида титана.

3. Изучить закономерности формирования упруго-напряженных состояний фаз в сплаве Т149,5№50.5 с покрытиями из молибдена и тантала субмикронной толщины и влияния на них ионно-пучковых воздействий.

Основные положения, выносимые на защиту

1. Композиции «покрытие-основа» Мо/Т1№ и Та/П№, полученные методом магнетронного осаждения металлов (Мо, Та), состоят из нескольких, последовательно расположенных слоев, которые характеризуются одинаковым ОЦК-типом решетки основных фаз и атомно-кристаллическими параметрами, изменение которых при переходе от слоя к слою соответствует лучшему сопряжению кристаллических решеток фаз, образующих покрытия и материал-основу.

2. Ионная модификация не изменяет принцип организации поверхностных слоевых структур и объемное соотношение основных фаз в композициях «покрытие/основа» Мо/Т1№ и Та/П№, однако приводит к измельчению (фрагментации) структуры покрытий, а также изменению уровня остаточных напряжений 1 и 2— го рода преимущественно внутри материала покрытия, практически не затрагивая материал-основу (никелид титана).

3. В слоевых композициях Мо/Т1№ и Та/П№, полученных магнетронным осаждением, возникают градиентные поля остаточных упругих напряжений, соблюдается иерархия в их формировании - интегральные поля упругих напряжений в полном объеме материала (напряжения 1 рода) формируются путем суперпозиции полей упругих напряжений внутри отдельных зерен (напряжений 2 рода). Ионно-лучевое воздействие приводит к понижению среднего уровня остаточных напряжений или даже изменению знака компонентов этих напряжений.

Научная новизна

1. Построена картина эволюции атомно-кристаллической структуры при переходе от покрытий из молибдена и тантала, сформированных методом маг-нетронного осаждения, к прилежащим к ним слоям материала из никелида титана.

2. Обнаружено, что фаза В2 в наружном слое сплава ИМ в результате взаимодействия с материалом покрытия из Мо или Та характеризуется не двух-компонентным, а трехкомпонентными составами Т1М-Мо или Т1№-Та. В образцах Мо/Т1№ эта фаза сформирована путем замещения легирующим элементом (Мо) преимущественно атомов никеля, тогда как в образцах Та/П№ эта фаза сформирована путем замещения легирующим элементом (Та) преимущественно атомов титана.

3. Выявлена взаимная связь между значениями размеров областей когерентного рассеяния, микродеформациями, обусловленными напряжениями первого и второго рода в ОЦК фазах материалов покрытий и основы, возникающих как после осаждения покрытий, так и после их последующей ионной модификации. Показано существование иерархии в формировании полей упругих напряжений 1-го и 2-го рода.

Научная и практическая значимость работы

Разработанный подход для исследования градиентных структур, базирующийся на использовании комплекса современных методов РСА с применением дифрактометрических схем съемок с изменением угла скольжения рентгеновского пучка, позволяет провести одновременно:

- прецизионные исследования структурно-фазовых состояний в слоях, расположенных на различной глубине от поверхности;

- сделать количественную оценку величины микродеформации кристаллической решетки, обусловленной напряжениями 1-го или 2-го рода, вызванных способом осаждения покрытий и их последующей ионной модификацией.

Обнаруженные и детально исследованные эффекты фрагментации структуры покрытий, позволяют рекомендовать применение ионных пучков средних энергий для формирования в поверхностном слое нано- и субмикрокристаллической структуры.

Разработанные методы рентгеноструктурного анализа многослойных систем могут быть использованы в научно-исследовательских учреждениях и на физических факультетах университетов для проведения исследований, выполнения курсовых и дипломных работ.

Комплексные исследования, основные результаты которых представлены в диссертационной работе, проводились в рамках Г/б проектов 3.6.2.1. (2007—2009), 3.6.2.2. (2007-2009), № Ш.20.2.1. (2010-2012); комплексных интеграционных проектов СО РАН №91 (2007-2008), №2.3 (2007-2008), № 12.7(2007-2008), №57 (2009-2011); государственного контракта № 02.523.11.3007 (2007-2009).

Структура и объем диссертации

Диссертация состоит из введения, четырех разделов, выводов; всего 195 страниц, в том числе 77 рисунков, 22 таблицы и список цитируемой литературы из 253 наименований.

Заключение диссертации по теме «Физика конденсированного состояния», Дементьева, Марина Геннадьевна

выводы

1. Показано, что при использовании магнетронного метода создания на поверхности никелида титана однокомпонентных покрытий из молибдена и тантала формируются поверхностные композиции из ОЦК-фаз на основе осаждаемого химического элемента и компонентов сплава-основы в виде последовательности слоев:

- для композиций Мо/Т1№

Слой 1 {из фаз на основе Мо(С,0<20ат.%)}=> Слой 2 {из фазы ОЦК-Мо, Смо*Ю0 ат.%} => Слой 3 {из фазы (Мо+~40ат. %ТГ)} => Слой 4 {из трехком-понентоной В2 фазы Т1(№,Мо)} => { исходная фаза В2 сплава Т1М1}

- для композиций Та/ПМ:

Слой 1{ из фаз на основе Та(С,0<10ат.%)}=> Слой 2 {из фазы ОЦК-Та, Смо~80-90 ат.%} => Слой 3 {из фазы (Та+~13ат. %0)} Слой 4 {из трехком-понентоной В2 фазы (Ti,Ta)Ni} => { исходная фаза В2 сплава TiNi}

2. Обнаружено, что размеры ОКР, описывающие тонкую структуру основных фаз покрытий, зависят не от режимов магнетронного осаждения, а от осаждаемого химического элемента. В покрытиях из тантала эти размеры в ~3 раза меньше, чем в покрытиях из молибдена. Корреляция этих соотношений со значениями микродеформаций кристаллических решеток фаз ОЦК-Мо и ОЦК-Та, обусловленных напряжениями 2-го рода, указывает на то, что именно размеры ОКР оказывают влияние на уровень остаточных напряжений внутри отдельных зерен.

3. Установлено, что в композициях МоЛл№ и Та/П№ имеют место градиенты упругих напряжений 1-го рода. Основные фазы покрытий, независимо от их толщины, находятся в состоянии однородного растяжения в направлении, перпендикулярном к плоскости поверхности, и сжатия — в плоскостях, параллельных поверхности. Значения соответствующих микродеформаций монотонно уменьшаются в указанных направлениях. Это способствует лучшему сопряжению друг с другом структур ОЦК фаз, принадлежащих разным слоям.

4. Обнаружено, что после облучения образцов с покрытиями происходит уменьшение размеров ОКР и увеличение значений микродеформаций в" в основных фазах покрытий, что может быть обусловлено увеличением плотности границ раздела при внутризеренной фрагментации исходной структуры в результате ионной модификации.

5. Выявлена взаимная связь между величинами микродеформаций 1-го и 2-го рода в основных фазах, сохраняющаяся даже после их ионной модификации: большим значениям в11 соответствуют и большие средние значения в1. Это указывает на существование иерархии полей упругих напряжений, а именно -интегральные поля упругих напряжений в полном объеме материала формируются путем суперпозиции полей упругих напряжений внутри отдельных зерен.

6. Показано, что при переходе от слоя к слою в композициях Мо/ТТ№ и Та/ТТ№ для обеспечения плавного изменения параметров атомно-кристаллических структур основных фаз слоев необходимо, во-первых, уменьшить содержание легких элементов (кислорода, углерода) в слоях и, во-вторых, увеличить значение параметра решетки фазы В2 в наружном слое сплава на основе ТТ№, например, специальным выбором и предшествующей осаждению имплантацией легирующего элемента в его поверхностные слои.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Дементьева, Марина Геннадьевна, 2010 год

1. Lawes F., Wallbaum H.J. Crystal Chemistry of Titanium Alloys // Naturwissenschaften, 1939.-V. 27.-No. 3.-P. 674-681.

2. Корнилов И.И. Титан. Источники, составы, свойства, металлохимия и применение. М.: Наука. - 1975. - 310 с.

3. Никелид титана и другие сплавы с эффектом «памяти» / Корнилов И.И., Белоусов O.K., Качур E.B. -М.: Наука, 1977. 180 с.

4. Хачин В.Н., Гюнтер В.Э., Монасевич Л.А., Паскаль Ю.И. Безгистерезисные эффекты «памяти формы» в сплавах на основе TiNi // ДАН СССР, 1977. Т. 234. - №5. -С. 1059-1064.

5. Чернов Д.Б., Паскаль Ю.И., Гюнтер В.Э., Монасевич Л.А. О множественности структурных переходов в сплавах на основе TiNi // ДАН СССР, 1979. Т. 247. - №4. -С. 854-868.

6. Монасевич Л.А., Паскаль Ю.И. Превращение "мартенсит-мартенсит" в никелиде титана//ФММ, 1980.-Т. 49. -№4.-С.813-817.

7. Лотков А.И., Гришков В.Н., Анохин С.В., Кузнецов A.B. Влияние старения на температуру начала мартенситного превращения в интерметаллиде TiNi // Известия ВУЗов, Физика. 1982. -№ 10. - С. 11-16.

8. Сивоха В.П., Савиннов A.C., Воронин В.П. и др. Мартенситные превращения и эффект памяти формы в сплавах системы Tio.sNio.s-xPdx // ФММ. 1983. - Т.53. - Вып. З.-С. 542-546.

9. Паскаль Ю.И. Квазиравновесное описание мартенситных состояний // Изв. Высших учебных заведений. Физика. 1985. - №5 - С.41-53.

10. Хачин В.Н. Мартенситная неупругость сплавов // Изв. Высших учебных заведений. Физика. 1985. - №5 - С.88-103.

11. Лихачев В.А. Эффекты памяти формы. Проблемы и перспективы // Изв. Высших учебных заведений. Физика. 1985. — №5 - С.21-40.

12. Лотков А.И., Гришков В.Н. Никелид титана. Кристаллическая структура и фазовые превращения.// Изв. вузов. Физика. 1985. - Т. 27.- №5.- С. 68 - 70.

13. Гришков В.Н., Лотков А.И. Мартенситные превращения в области гомогенностиинтерметаллида TiNi//ФММ. 1985.-Т.60.-В.2. - С. 351 -355.

14. Хунджуа А.Г., Захарова М.И. Сорокин А.В. Мартенситное превращение в легированном никелиде титана // Металлофизика. 1986. - Т.8. - №2. - С.38-42.

15. Сивоха В.П., Хачин В.Н. Мартенситные превращения и эффект памяти формы в сплавах системы TiNi-TiAu // ФММ. 1986. - Т.62. - Вып. 3. - С. 530-540.

16. Tadaki Т., Otsuka К., Shimizu К. Shape memory alloys // Ann. Rev. Mater. Sci. -1988-V.18.-P. 25-45.

17. Лотков А.И., Гришков В.Н. Мартенситные превращения в Ti-Ni сплавах после отжига//Известия ВУЗов, Физика. 1989.-№ 2. - С. 106-112.

18. Сплавы с эффектами памяти формы / К. Ооцука, К. Симидзу, Ю. Судзуки и др./ Под ред. Фунакубо X.: Пер. с японского. М.: Металлургия, 1990. - 224 с.

19. Хачин В.Н., Пушин В.Г., Кондратьев В.В. Никелид титана. Структура и свойства. -М: Наука, 1992. 161 с.

20. Otsuka К., Wayman С.М. Shape memory materials. Cambridge University Press, Cambridge. 1998. - 284 p.

21. Пушин В.Г., Кондратьев В.В., Хачин В.Н. Предпереходные явления и мартенситные превращения. Екатеринбург: УрО РАН, 1998. -С.368.

22. Otsuka К., Ren X. Physical metallurgy of Ti-Ni-based shape memory alloys// Progress in Materials Science 2005 - V.50 - P. 511-678.

23. Tadaki Т., Shimidzu K. Review of studies on crystal structure of shape memory alloys //Mem. Inst. Sci. Ind. Pes. Osaka Univ., 1984. V.41. - P. 37-55.

24. Meisner L.L, Sivokha V.P. / Effect of applied stress on the shape memory behavior of TiNi-based alloys with different consequences of martensitic transformations // Physica B. -2004.-Vol.344.-P.93-98.

25. Сплавы с памятью формы в медицине / В.Э. Гюнтер, В.В. Котенко, М.Э. Миргазизов, В.К. Поленичкин, И.А. Витюгов, В.И. Итин, Р.В. Зиганыпин, Ф.Т. Темерханов. Томск: Изд-во Том. Ун-та, 1980. - 208 с.

26. Гюнтер В.Э., Котенко В.В., Поленичкин В.К., Итин В.И. Применение сплавов с памятью формы в медицине // Изв. Высших учебных заведений. Физика. 1985. - №5 - С.127-132.

27. Wang К. The use of titanium for medical applications in the USA // Mat. Science and Engineering. 1996. - V. 213 A. - P. 134- 200.

28. Rack H.J. and Qazi J.I. Titanium alloys for biomedical applications // Mat. Science & Engineering. 1996. - V. 26 C. - P. 1269-1302.

29. Ryhanen J. Biocompatibility evaluation of nickel-titanium shape memory metal alloy / J. Ryhanen. Oulun Yliopisto, 1999. - 118 pp.

30. Meisner L.L., Sivokha V.P. / Physical and biochemical principles of the application of TiNi-based alloys as shape memory implants // Shape Memory Implants (ed,: Yahia L.). -Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg. -2000. -352p.

31. Журавлев B.H., Пушин В.Г. Сплавы с термомеханической памятью и их применение в медицине Екатеринбург: УрО РАН, 2000. - 150 с.

32. Johnson A.D., Martynov V. and Gupta V. Applications of shape memory alloys: advantages, disadvantages, and limitations // Proc. SPIE. 2001 - V.4557. - P. 341 -351.

33. Никелид титана. Медицинский материал нового поколения / В.Э. Гюнтер, В.Н. Ходоренко, Ю.Ф. Ясенчук и др. Томск: Изд-во МИЦ, 2006. - 296 с.

34. Федоров А.В., Колеров М.Ю., Рудаков С.С., Королев Н.А. Применение нанотехнологически структурированного никелида титана в медицине // Хирургия. -2009-№2. С. 71-74

35. Narayan R. (ed.) Biomedical Materials. Springer Science+Business Media, 2009. -P. 41-81.

36. Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. М.: «РАДИО И СВЯЗЬ», 1982. - 72 с.

37. Musil J., Poulek., Dusek V. Adhesion of thin films prepared by reactive d.c. magnetron sputtering // Czech. J.Phys. 1984. - V.34. - P. 597-600.

38. Musil J. Physical and Mechanical Properties of Hard Nanocomposite Films Prepared by Reactive Magnetron Sputtering. Nanostructural coatings. - Springer New York, 2006. -P. 407-463.

39. Christie D.J. Fundamentals of high power pulsed magnetron sputtering Visualization of mechanisms for rate reduction and increased ion fraction //Czech. J. Phys., 2006. V. 56. - P. 93-97.

40. Bogaerts A., Kolev I., Buyle G. Modeling of the magnetron discharge. Reactive Sputter Deposition. - Springer Berlin Heidelberg, 2008. - V.109. - P. 61-130.

41. Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками / Под ред. Дж.М. Поута, Г.Фоти, Д.К.Джекобсона. Перевод с англ. под ред. A.A. Углова. М.: Машиностроение, 1987. - 424 с.

42. Фундаментальные вопросы ионной имплантации: (материалы III Всесоюзной школы, 17-23 июня 1985 г. Алма-Ата) Алма-Ата: Наука, 1987. -236 с.

43. Погребняк А.Д., Ремнев Г.Е., Чистяков С.А., Лигачев А.Е. Модификация свойств металлов мощными ионными пучками // Известия ВУЗов. Физика. 1987. - №1. -С.52-65.

44. Ионная имплантация и лучевая технология /Под ред. Вильямса Дж.С., Поута Дж.М. Пер. с англ. Под общ. ред. О. В. Снитько. Киев: Наукова Думка. -1988.-360с.

45. Белый A.B., Карпенко Г.Д„ Мышкин Н.К. Структура и методы формирования износостойких поверхностных слоев. М.: Машиностроение, 1991. - 208 с.

46. Быковский Ю.А., Неволин В.Н., Фоминский В.Ю. Ионная и лазерная имплантация металлических материалов. М.: Энергоатомиздат, 1991. - 240 с. - ISBN 5-28303921-8.

47. Комаров Ф.Ф. Эффекты высокоэнергетической ионной имплантации в металлы // Изв. Высших учебных заведений. Физика. 1994. - Т.37. - №5. - С. 23-40.

48. Тюменцев А.Н., Коротаев А.Д., Бугаев С.П. Закономерности структурно-фазовых превращений в металлических сплавах при высокодозной ионной имплантации // Изв. Высших учебных заведений. Физика. 1994. - Т.37. - №5. - С. 59-71.

49. Шулов В.А. Влияние ионной имплантации на химический состав и структуру поверхностных слоев жаропрочных сплавов // Изв. Высших учебных заведений. Физика. 1994.-Т.37. - №5.-С. 72-91.

50. Шаркеев Ю.П., Диденко А.Н., Козлов Э.В. Дислокационные структуры и упрочнение ионно-имплантированных металлов и сплавов // Изв. Высших учебных заведений. Физика. 1994. - Т.37. - №5. - С. 92-108.

51. Коротаев А.Д., Тюменцев А.Н. Аморфизация металлов методами ионной имплантации и ионного перемешивания // Изв. Высших учебных заведений. Физика.- 1994.-№8.-С. 3-30.

52. Peraud S., Villechaise P., Mendez J., Delafond J. Influence of thin coatings deposited by a dynamic ion mixing technique on the fatigue life of TITANIUM ALLOYS // J. Mater. Sci. 1999 - V. 34 - P. 1003-1008.

53. Бойко В.И., Валяев А.Н., Погребняк А.Д. Модификация металлических материалов импульсными мощными пучками частиц // УФН. 1999. - Т.169. - №11. -С. 1243-1271.

54. Грибков В.А., Григорьев Ф.И., Калин Б.А., Якулгин B.JI. Перспективные радиационно пучковые технологии обработки материалов. - М.: Круглый год, 2001.- 528 с.

55. Komarov A. F. The Simulation of Two-Beam High-Dose Ion Implantation into Solid Targets // Technical Physics. 2001 - V. 46 - P. 1465-1469.

56. Meisner L.L., Sivokha V.P., Lotkov A.I., Derevyagina L.A. Surface morphology and plastic deformation of the ion-implanted TiNi alloy // PHYSICA B, 2001. V. 307. - P. 251 -257.

57. Pelletier H., Muller D., Mille P., Grob J.J. Effect of high energy argon implantation into NiTi shape memory alloy // Surface & Coatings Technology. 2002 - V. 158-159 - P. 301 -308.

58. Гугля А.Г., Малыхин Д.Г., Марченко И.Г., Неклюдов И.М. Методические аспекты формирования двухкомпонентных материалов с использованием имплантаци-онно-стимулирующей технологии // Металлофизика и новейшие технологии. 2002. -Т.24. - №9. С.1295-1304

59. Легостаева Е.В. Закономерности формирования градиентных микро- и мезо-структур при трении и их роль в изнашивании ионно-имплантированных сталей: Кандидат, дис. д-ра ф.-м. наук. Томск, 2003. - 248 с.

60. Meisner L.L., Sivokha V.P., Lotkov A.I. and Barmina E.G. Effect of the ion implantation on shape memory characteristics // J. Phys. IV France, 2003. V. 112. — P. 663-666.

61. Диденко A.H., Шаркеев Ю.П., Козлов Э.В., Рябчиков А.И. Эффекты дальнодействия в ионно-имплантированных металлических материалах. — Томск: Изд-во НТЛ, 2004. 328 с.

62. Мейснер Л.Л. Механические и физико-химические свойства сплавов на основе никелида титана с тонкими поверхностными слоями, модифицированными потоками заряженных частиц // Физическая мезомеханика. 2004. - №7 - 4.2 - С. 169-172.

63. Ионно-лучевая и ионно-плазменная модификация материалов: Монография / К.К. Кадыржанов, Ф.Ф. Комаров, А.Д. Погребняк, B.C. Русаков, Т.Э. Туркебаев. М.: Изд-во МГУ, 2005.-640 с.

64. Лотков А.И., Мейснер Л.Л., Гришков В.Н. Сплавы на основе никелида титана: ионно-лучевая, плазменная и химическая модификации поверхности // Физика металлов и металловедение. 2005. - Т.99. - №5. - С. 66-78.

65. Nastasi M., Mayer J.W. Ion Implantation and Synthesis of Materials. Springer: Verlag Berlin Heidelberg, 2006. - 257 p.

66. Курзина И.А., Божко И.А., Калашников М.П., Сивин Д.О., Степанов И.Б., Шаркеев Ю.П., Козлов Э.В. Структурно-фазовое состояние поверхностных слоев никеля, имплантированных ионами титана // Изв. РАН. Сер. Физ. 2006. - Т.70. - №4. С. 591-592.

67. Schmidt В. Nanostructures by ion beams // Radiation Effects & Defects in Solids. -2007-V. 162-No. 3-4-P. 171-184.

68. Shalnov K.V., Koukhta V.K., Uemura К., Ito Y. and Bryukhov V.V. Materials modification with heavy ions implantation // 9 th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows: Proceedings. Russia, Tomsk:

69. Publishing house о the IAO SB RAS, 2008. P. 439-443.

70. Погребняк А.Д., Братушка С.Н., Маликов JI.B., Левинтант Н., Ердыбаева Н.К., Плотников С.В., Гриценко Б.П. Влияние высоких доз ионов N*, N++Ni+, Mo'VW* на физико-механические свойства TiNi // ЖТФ. 2009. - Т.79. - №5. - С. 65-72.

71. Корнилов И.И., Пыляева Е.Н. Система Ti-Ni-Ta // Журнал неорганической химии. 1958. - Т.З. - № 3. - С. 673.

72. Гибало И.М. Аналитическая химия ниобия и тантала. М: «Наука», 1967 - 177 с.

73. Никелид титана и другие сплавы с эффектом «памяти» / Корнилов И.И., Белоусов O.K., Качур Е.В. М.: Наука, 1977. - 180 с.

74. Федотов С.Г., Башанова Н.Н., Жебынева Н.Ф.Влияние легирования на температурный интервал мартенситного превращения никелида титана// Изв.АН СССР. Металлы. 1981. - №4. - С.147-148.

75. Сивоха В.П., Савиннов А.С., Воронин В.П. и др. Мартенситные превращения и эффект памяти формы в сплавах системы Tio.5Nio.5-xPdx // ФММ. 1983. - Т.53. - Вып. З.-С. 542-546.

76. Лихачев В.А., Кузьмин С.Л., Каменцева З.П. Эффект памяти формы. Л.: Изд-во Ленингр. ун-та, 1987. - 210 с.

77. Danilenko V. М., Prima S. В., Kartuzova L N., et al. Complex investigation of the system titanium-molybdenum-nickel, in: Present-Day Problems of Materials Science, Institut Problem Materialovedeniya AN Ukrainy, Kiev, 1993. 126-144 pp.

78. Cheng Xiulan, Xu Dong, Chen Jian, Cai Bingchu, Ding Guifu Effect of microstructure of TiNi-Si diaphragm on thermal-actuating performance // Proc. SPIE. 2001 - V.4601. - P. 147-152.

79. Nam Т., Chung D., Noh J., Lee H. Phase transformation behavior and wire drawing properties of Ti-Ni-Mo shape memory alloys //J. Mat. Sci., 2001. -No.36. P. 4181-4188.

80. Tae-Hyun Nam, Dae-Won Chung, Ji-Soon Kim, Seung-Baek Kang. Phase transformation behaviors and shape memory characteristics of Ti-Ni-Mo alloys // Materials Letters. -2002 V.55 - P.234-239.

81. Tae-Hyun Nam, Dae-Won Chung, Hee-Woo Lee, Jae-Hoon Kim, Mi-Seon Choi. Effect of the surface oxide layer on transformation behavior and shape memory characteristics of Ti-Ni and Ti-Ni-Mo alloys // J. Mater. Sci. 2003 - V. 38 - P. 1333-1338.

82. Дементьева М.Г. Николаев A.A. Сплавы Ti5oNi50-x.yCuxMoy/ Структурно-фазовые состояния и механические свойства // Материалы Всероссийской научной конференции молодых ученых "Наука. Технологии. Инновации." 8-11 декабря 2005 г. Новосибирск, с. 99-101.

83. Сплавы никелида титана с памятью формы. 4.1. Структура, фазовые превращения и свойства / Под ред. В.Г. Путина. Екатеринбург: УрО РАН, 2006. - 438 с.

84. Дементьева М.Г./ Система Ti-Ni Си. Сплавы с эффектом памяти формы Ti(Ni50-x-yCuxMoy) // Сборник материалов X Российской научной студенческой конференции "Физика твердого тела". 4-6 мая 2006 г. Россия, Томск, с. 44-46.

85. Клопотов А.А., Ясенчук Ю.Ф., Абзаев Ю.А., Дементьева М.Г., Козлов Э.В., Потекаев А.И., Солоницина Н.О. Система Ti-Ni. Кристаллогеометрические особенности // Известия высших учебных заведений. Физика. 2008. - №3. С.7 - 17.

86. Хансен М., Андерко К. Структуры двойных сплавов. Т 2. Пер. с англ. / Под ред. Новикова Н.Н., Рогельберга H.JI. М.: Гос. Научно-техническое изд-во литературы по черной и цветной металлургии, 1962 . - 500 с.

87. Структуры двойных сплавов: Справочник / Ф Шанк. М.: Металлургия, 1973. -760 с.

88. Predel В. Li-Mg Nd-Zr. - Springer Vertag, 1997. - V. 5H.

89. Коллингз Е.В. Физическое металловедение титановых сплавов: Пер. с англ. / Под ред. Веркина Б.И., Москаленко В.А. М.: Металлургия, 1998. - 224 с.

90. Диаграммы состояния двойных металлических систем: Справочник: В 3 т.:Т.З. Кн.2 / Под общ. Ред. Н.П. Лякишева. М.: Машиностроение, 2000. - 448 с.

91. Диаграммы состояния двойных металлических систем: Справочник: В 3 т.:Т.З. Кн.1 / Под общ. Ред. Н.П. Лякишева. — М.: Машиностроение, 2001. 872 с.

92. Franke P., Neuschutz and Scientific Group Thermodata Europe. Binary Systems. Part.4.: Binary Systems from Mn-Mo Y-Zr - Springer Berlin Heidelberg, 2006. - V.19B4.

93. Prima S.B., Semukhin B.S. Homogeneity ranges of the MeNi3 phase in the Ti-Ni-Mo system // Poroshkovaya Metallurgiya, 1983. No. 11. - P. 65-68.

94. Еременко B.H. Многокомпонентные сплавы титана. Киев: Изд. Академии наук Украинской ССР, 1962. - 110 с.

95. Eremenko V.N., Tret'yachenko L.A., Prima S.B., and Semenova E.L. Constitution diagrams of titanium-nikel-groups IV-VIII transition metal systems // Poroshkovaya Metallurgiya. 1984. - No.8. - V.260 - P.46-55.

96. Kanchibhotla S., Munroe N., Kartikeyan T. Amorphization in Ni-Ti-Ta system through mechanical alloying // J Mat. Sci., 2005. P. 1845-1852.

97. Du Yong, Xu Honghui, Zhou Yichun, Ouyang Yifang, Jin Zhanpeng. Phase equilibria of the Ni-Ti-Ta system at 927 °C // Materials Science and Engineering. 2007 - V. 448 - P. 210-215.

98. Shabalovskaya S. On the nature of the biocompatibility and on medical applications of NiTi shape memory and superelastic alloys // Bio-Medical Materials and Engineering. -1996.-V.6.-267-289.

99. Shabalovskaya S.A. Physicochemical and biological aspects of Nitinol as a biomaterial // International Materials Review. 2001. - V.46. - 233-250.

100. Shabalovskaya S.A. Surface, corrosion and biocompatibility aspects of Nitinol as an implant material // Bio-Medical Materials and Engineering. 2002. -V.12. - 69-109.

101. Методы исследования материалов: Структура, свойства и процессы нанесения неорганических покрытий./ Тушинский Л.И., Плохов A.B., Токарев А.О., Синдеев В.И. -М.: Мир, 2004.-384 с.

102. Желдак М., Курдюмов Г., Протопопов А. О рентгенографическом определении остаточных напряжений // Заводская Лаборатория 1934. - № 3. С. 631-640.

103. Китайгородский А.И. Рентгеноструктурный анализ. М.: ГИТ-ТЛ, 1950. 651 с.

104. Блохин М.А. Физика рентгеновских лучей. М: Гос., Изд-во Технико-теоретической литературы, 1957. - 518 с.

105. Уманский Я.С. Рентгенография металлов. М.: Металлургииздат, 1961. - 496 с.

106. Миркин Л. И. Справочник по рентгеноструктурному анализу поликристаллов. -М: Гос. изд-во физ. мат. литературы, 1961. - 863 с.

107. Масальский Т.Б. Структура твердых растворов // Физическое металловедение. Под ред. Р. Кана. М.: «Мир», вып.1., 1967. - С. 83-88.

108. Уманский Я.С. Рентгенография металлов и полупроводников. М.: Металлургия, 1969.-496 с.

109. Савицкая Л.К. Методы рентгеноструктурных исследований: Учебное пособие. — Томск: ТГУ, 2003. 258 с.

110. Теоретический расчет рентгенограммы поликристалла: Описание работы по курсу «Рентгеноструктурный анализ» / Сост.: Т.В. Панова, В.И.Блинов.; Омск: Омск, гос. ун-т. Омск, 2004. - 20 с.

111. Головчинер Я. М. Вопросы методики определения напряжений II рода и размеров блоков мозаичности // Заводская Лаборатория. 1960. - Т.26. - №4. С. 431-444.

112. Баррет Ч.С., Массальский Т.Б. Структура металлов. М.: Металлургия. - 1984. -500 с.

113. Haiik V.M., Vaessen G.J.H. Residual stress evaluation with X-rays in steels having preferred orientation // Metallurgical transactions A. 1984 - V. 15A. - 1407-1414.

114. Вайнштейн А. А. Методика определения расчетных характеристик микродеформаций в изотропных поликристаллах (обобщающая статья) // Заводская лаборатория. -1998.-№12. С. 32-35.

115. Welzel U., Leoni M. and Mittemeijer J. The determination of stress in thin films; modelling elastic grain interaction // Philosophical magazine. 2003 - V. 83. - No5.- P. 603-630.

116. Genzel Ch. Diffraction stress analysis in thin films and coatings problems, methods and perspectives // J. of Neutron Research. - 2004. - V. 12. - P. 233-241.

117. Genzel Ch. X-ray residual stress analysis in thin films under grazing incidence basic aspects and applications // Materials Science and Technology. - 2005. - V. 21. - Nol. -P.10-18.

118. Матвеева H.M., Козлов Э.В. Упорядоченные фазы в металлических системах -М.: Наука, 1989.-247 с. ISBN 5-02-005894-7

119. Binary alloy phase diagrams / T.B. Massalski, H Okamoto, P.R. Subramanian, L Kacprzak. Materials Park, OH: ASM Internationa editors. - 2nd edition. - vol. 3.1. - 1990. -2874 p.

120. Макаров E.C. Кристаллохимия простых соединений / E.C. Макаров. M.: Изд-во АН СССР, 1947.-200 с.

121. Путин В.Г., Кондратьев В.В., Хачин В.Н. Предпереходные явления и мартен-ситные превращения в сплавах на основе никелида титана // Изв. Высших учебных заведений. Физика. 1985. - №5 - С.5-20.

122. Багаряцкий Ю.А., Носова Г.И., Тагунова Т.В. О кристаллической структуре и природе со-фазы в сплавах титана с хромом // ДАН СССР.-1955.-Т. 105. Вып. 6.- С. 12-25.

123. Козлов Э.В., Мейснер JI.JL, Клопотов А.А., Тайлашев А.С. Неупругость кристаллической решетки накануне структурных фазовых переходов // Изв. Высших учебных заведений. Физика. 1985. - №5 - С. 118-126.

124. Otsuka К. Introduction to the R-phase transition I I Engineering Aspects of Shape Memory Alloys. Butterman-Heinmann, 1990. - P. 36-45.

125. Кузнецов A.B., Гришков B.H., Лотков А.И. Новое фазовое превращение в TiNi? // Металлофизика. 1990. - Т. 12. - №3. - С. 66 - 70.

126. Ильин А.А. Механизмы и кинетика фазовых и структурных превращений в титановых сплавах. М.: Наука, 1994. 304с.

127. Козлов Э.В., Дементьев В.М., Кормин Н.М., Штерн Д.М. Структуры и стабильность упорядоченных фаз. Томск: ТГУ. - 1994. - 247 с.

128. Predel В. Ni-Nb Pt-Zr - Springer Vertag, 1998. - V. 51.

129. Воронин В.И., Найш В.Е., Новоселова Т.В., Пушин В.Г., Сагарадзе И.В./Структуры моноклинных фаз в никелиде титана I. Каскад превращений В2—» В19—> В19' // ФММ. -2000.- Т.89.- №1. С. 16-22.

130. Потекаев А.И., Клопотов А.А., Козлов Э.В., Кулагина В.В. Слабоустойчивые предпереходные структуры в никелиде титана / Под общ. ред. А.И. Потекаева. -Томск: Изд-во НТЛ, 2004. 296 с.

131. Sittner P., Landa М., Lukas P., Novak V. R phase transformation phenomena in thermomechanically loaded NiTi polycrystals.// Mechanics of Materials - 2006 - V.38 - P. 475-492.

132. Особенности структуры и свойств перспективных материалов / Под'общ. ред. А.И. Потекаева Томск: Изд-во НТЛ, 2006. - 392 с.

133. Kim K.S., Jee К.К., Kim W.C., Jang W.Y., Han S.H. Effect of heat treatment temperature on oxidation behavior in Ni-Ti alloy // Materials Science & Engineering. 2007 -V.59-P. 568-276.

134. Лободкж В.А., Эстрин Э.И. Мартенситные превращения. М.: ФИЗМАЛИТ, 2009.-352 с.

135. Варлимонт X., Дилей JT. Мартенситные превращения в сплавах на основе меди, серебра и золота. М.:Наука, 1980. - 206 с.

136. Лихачев В.А. Эффект памяти формы // Соросовский образовательный журнал. -1997-№3. С. 107-114.

137. Nam Т., Chung D., Noh J., Lee H. Phase transformation behavior and wire drawing properties ofTi-Ni-Mo shape memory alloys // J. Mat. Sci., 2001. -No.36. -P. 4181-4188.

138. Невитт M.B. Различные структуры с постоянной стехиометрией. В кН.: Интерметаллические соединения / Пер. с англ. - М.: Металлургия, 1970. - 162 с.

139. Клопотов А.А., Гюнтер В.Э., Дементьева М.Г., Долидчик А.И./ Влияние выделения частиц второй фазы на структурно фазовые состояния в никелиде титана// Фундаментальные проблемы современного материаловедения.№3 - 2005- с.24 - 27.

140. Prokoshkin S.D., Korotitskiy A.V., Gundyrev V.M., Zeldovich V.I. Low-temperature X-ray diffraction study of martensite lattice parameters in binary Ti-Ni alloys // Materials Science & Engineering. 2007 - V.59 - P. 243-260.

141. Scalzo O., Turenne S., Gauthier M., Brailovski V. Mechanical and microstructural characterization of porous NiTi shape memory alloys // Metal. Mat. Transact., 2009. -V.40A. P.2061-2070.

142. Michal G.M., Sinclair R. The structure of TiNi martensite// Acta Met. Cryst. — 1981. — V. B37.-P. 1803-1807

143. Tadaki Т., Wayman C.M. The structure of TiNi // Scr. Met. 1980. - V. 14. - No.8. -P. 911-914.

144. Бычков В.А., Копылов Р.В., Милосердии В.Ю. и др. Влияние облучения гамма-квантами на структурное состояние и характеристики эффекта памяти формы никелида титана//ФММ. 1989. - Т.68. - Вып.З. - С.565-569.

145. Chandra К., Purdy G.R. Observation of thin crystals of TiNi in premartensitic states // J. Appl. Phys., 1968. V. 4. - №5. - P. 2176-2181.

146. Pushin V.G., Valiev R.Z., Zhu Y.T., Gunderov D.V., Kourov N.I., Kuntsevich Т.Е., Uksusnikov A.N., Yurchenko L.I. Effect of severe plastic deformation on the behavior of TiNi shape memory alloys // Mat. Transactions. — 2006 V. 47. - No3- P. 694-697.

147. Лотков А.И., Гришков B.H., Дударев Е.Ф., Гирсова Н.В., Табаченко А.Н. Формирование ультрамелкозернистого состояния, мартенситные превращения и неупругие свойства никелида титана после «аЬс»-пресования // Вопросы материаловедения.-2008.-№1 -С. 161-165.

148. Predel В. Ru-Re Zn-Zr. - Springer Vertag, 1998. - V. 5J.

149. Dobromyslov A. V., Dolgikh G. V., Dutkevich Ya., Trenogina T. L. Phase and Structural Transformations in Ti-Ta Alloys // The Physics of Metals and Metallography, 2009.-V. 107.-No. 5.-P. 502-510.

150. By water K.A., Christian J.W. Martensitic transformations in titanium-tantalum alloys // Phil. Mag. A. 1972. -V. 25A. -P. 1249-1273.

151. Murray, J.L. Phase Diagrams of Binary Nickel Alloys. ASM Internationl: Materials Park, 1991.-300 s.

152. Okamoto H. Mo-Ni (Molybdenum-Nickel) // J Phase Equilibria, 1991. V. 12. - No. 6.-P.703.

153. Chen M.F., Douglass D.L. Effect of some ternary addition on the sulfidation of Ni-Mo alloys // Plenum Publishing Corporation, 1990. P.103-133.

154. Tawancy H.M., Abbas N.M. Effect of long-range ordering on the corrosion properties of an Ni-Mo alloy//J Mat. Sci., 1989.-V. 24.-P. 1845-1852.

155. Мильман Ю.В., Ристик M.M., Гриднева И.В., Лоцко Д.В., Кристанович И, Гончарук В.А. Структура и твердость синтезированных Mo-Ni сплавов // Порошковая металлургия. 1986. - Т.290. - №2. С. 55-59.

156. Li Yan, Wei Songbo, Cheng Xiangqian, Zhang Tao, Cheng Guoan Corrosion behavior and surface characterization of tantalum implanted TiNi alloy // Surface & Coatings Technology. 2008 - V.202- P. 3017 - 3022.

157. Nash A. and Nash P. The Ni-Ta (Nickel-Tantalum) system // Bulletin of Alloy Phase Diagrams, 1984.-V. 5.-No. 3.-P. 259-265.

158. Okomoto H. Ni-Ta (Nickel Tantalum) // J Phase Equilibria, 2000. - V. 21. - No. 5. - 497 p.

159. Бусев А.И. Аналитическая химия молибдена. М: Изд. Академии наук СССР, 1962.- 153 с.

160. Хунджуа А.Г. Введение в структурную физику сплавов с эффектами памяти формы // А.Г. Хунджуа. М.: МГУ, 1991. - 230 с.

161. Коломыцев В.И. Структурные фазовые превращения в сплавах переходных металлов TiNi-Me и Cu-Al-Ме: Автореф. дисс. докт. физ.-мат. наук. — Киев, 1996. 24 с.

162. Шаболовская С.А. Экспериментальное исследование изменения электронной структуры при фазовых превращениях в TiNi: дис. канд. физ.-мат. наук. Томск: ТГУ, 1981 -360 с.

163. Cheng Y. Cai W. Li H. Т. Zheng Y. F. Surface modification of NiTi alloy with tantalum to improve its biocompatibility and radiopacity // J Mater Sci 2006 - V. 41 - P. 4961-4964.

164. Кирюханцев-Корнеев Ф.В., Шевейко A.H., Левашов E.A., Штанский Д.В. Перспективные наноструктурные покрытия для машиностроения // Вопросы материаловедения. 2008. - №2(54). С. 187-201.

165. Zheng Y.F., Lia С., Li С.J., Cai W., Zhao L.C. Surface characteristics and biological properties of paclitaxel-embedding PLGA coatings on TiNi alloy // Materials Science and Engineering. 2006 - V. 438-440 - P. 1119-1123.

166. Muralidhar G.K., Window В., Sood D.K., Zmood R.B. Structural and compositional studies of magnetron-sputtered Nd-Fe-B thin films on Si(100) // J. Mar. Sci., 1998. V. 33. -P. 1349-1357.

167. Liu Y S, Xu D, Jiang В H, Yuan Z Y and Van Houtte P. The effect of crystallizing procedure on microstructure and characteristics of sputter-deposited TiNi shape memory thin films // J. Micromech. Microeng. 2005. - V. 15 - P. 575 - 579.

168. Du Hejun and Fu Yongqing Characterization and MEMS application of sputtered TiNi shape memory alloy thin films // Proc. SPIE. 2001 - V.4601. - P. 138-146.

169. Barshilia H.C., Rajam K.S. Deposition of TiN/CrN hard superlattices by reactive d.c. magnetron sputtering // Bull. Mater. Sci., 2003 V. 26. - No. 2. - P. 233-237.

170. Мейснер Л.Л., Лотков А.И., Сергеев В.П., Дементьева М.Г., Миронов Ю.П., Прозорова Г.В., Нейман A.A. Структурно-фазовые состояния в поверхностных слоях никелида титана с покрытиями из Мо // Деформация и разрушение. 2009. - №6. С. 32-36

171. Мейснер Л.Л., Лотков А.И., Нейман A.A., Мейснер С.Н., Дементьева М.Г., Прозорова Г.В. Структура поверхностных слоев и свойства никелида титана с покрытиями из молибдена и тантала // Материаловедение. 2009. - №12. С. 29-40.

172. Dhara S. Formation, Dynamics, and Characterization of Nanostructures by Ion Beam Irradiation // Critical reviews in Solid State and Materials Sciences. 2007. - V.32- P.l-50.

173. Мейснер JI.JI., Сивоха В.П., Лотков А.И., Бармина Е.Г., Гирякова Ю.Л. Пластические свойства сплавов TiNi с тонкими поверхностными слоями, модифицированными облучением // «Материловедение». 2003. - №4. - С. 43 - 47.

174. Грехов М.М. Структурные и текстурные изменения под воздействием ионно-плазменного облучения в сплавах на основе Zr по данным рентгеновского исследования: Кандидат. Автореферат дис. д-ра ф.-м. наук. Москва, 2009. — 24 с.

175. Poon R.W.Y., Yeung K.W.K., Liu X.Y., Chu P.K., Chung C.Y., Lu W.W., Cheung K.M.C., Chan D. Carbon plasma immersion ion implantation of nickel-titanium shape memory alloys // Biomaterials. 2005 - V.26 - P. 2265-2272.

176. Beams and Plasma Flows: Proceedings. Russia, Tomsk: Publishing house о the IAO SB RAS, 2008. P. 265-267.

177. Мейснер JI.JI., Лотков A.M., Сивоха В.П., Турова A.M., Бармина Е.Г. Влияние модификации поверхности и ее структурно фазового состояния на коррозионные свойства сплавов на основе TiNi // Физика и химия обработки материалов. - 2003. -№1. - С. 78-84.

178. Stepanov A. L., Abdullin S. N., Petukhov V. Yu., Osin Yu. N., Khaibullin R. I. and Khaibullin I. B. Formation of metal-polymer composites by ion implantation //Philosophical Magazine Part B. 2000 - V.80. - No 1 - P. 23 - 28.

179. Горелик С.С., Скаков Ю.А., Расторгуев Л.Н. Рентгенографический и электронно-оптический анализ. М.: МИСИС, 1994. - 328 с.

180. Липсон Г., Стипл Г. Интерпретация порошковых рентгенограмм. М.: «МИР», 1972.-384 с.

181. Иверонова В.И., Ревкевич Г.П. Теория рассеяния рентгеновских лучей. М.: Изд. МГУ,1978.-277 с.

182. Бокий Г.Б., Порай-Кошиц М.А. Рентгеноструктурный анализ. М.: Изд. МГУ, 1964.489 с.

183. Порай-Кошиц М.А. Практический курс рентгеноструктурного анализа. М.: Изд. МГУ. 1960. 632 с.

184. Порай-Кошиц М.А. Основы структурного анализа химических соединений. М.: «Высшая школа». 1982.- 151 с.

185. Гинье А. Рентгенография кристаллов. -М.:Физматгиз,1961.-604 с.

186. Кривоглаз М.А. Теория рассеяния рентгеновских лучей и тепловых нейтронов реальными кристаллами. -М.: Физматгиз, 1967.-336 с.

187. Джеймс Р.Д. Оптические принципы дифракции рентгеновских лучей / Перевод с англ. Г,А. Гольдера, И.М. Шаскольской. Под ред. В.И. Ивероновой. М.: Изд. Иностр. Литературы, 1950.-572 с.

188. Сироткин Ю.И., Шаскольская М.П. Основы кристаллофизики. М.: «Наука», 1979.-639 с.

189. Wilson A. J.C. On variance as a measure of line broadening in diffractometry //Proc. Phys. Soc.-1962.-V.80.-P.286-294.

190. Ягодкин Ю.Д. Рентгенографическое исследование структуры поверхностного слоя материалов методом скользящего отраженного пучка // Заводская лаборатория. -1989.-Т. 55.-№2. С. 72-73.

191. Paterson М. S. X-Ray diffraction by face-centered cubic crystals with deformation faults // J. Appl. Phys.-1952.-V.23.-P.805-811.

192. Warren B.E., Averbach B.L. The separation cold-work distortion and particle size broadening in x-ray patterns //J.Appl.Phys.-1952.-V.23.-P.497-512.

193. Van Berkum J.G.M., Delhez R., Keijser Th.H., Mittemeijer E.J. Diffraction-Line broadening due to strain fields in materials: fundamental aspects and methods of analysis //Acta Cryst.-1996.-V.A52.-P.730-747.

194. Langford J.I., A Rapid Method for Analysing the Breadths of Diffraction and Spectral Lines using the Voigt Function //J. Appl. Cryst.-1978.-V.l 1.-P. 10-14.

195. Rietveld H. M. A profile refinement method for nuclear and magnetic structures //J. Appl. Cryst.-1969.-V.2.-P.65-71.

196. Васильев Д. M., Трофимов В. В. Современное состояние рентгеновского способа измерения макронапряжений (обзор) // Заводская лаборатория. 1984. - Т.50. - №7. С.20-29.

197. Коновальцев В.И. Гуляев А.Н., Никитин В.В. Исследование азотирования непосредственно в процессе насыщения // Металловедение и термическая обработка металлов. 1982. - №4. - С. 28 - 33.

198. Дроздова Н.Ф., Евграфов A.A., Назарян Н.Х., Полиэктов Ю.И., Чирков Г.Г. Экспрессивный рентгеновский метод определения толщины покрытия на кристаллической подложке // Заводская лаборатория. 1985. - Т.51. - Вып. 6 - С. 48-50.

199. Колеров О. К., Юшин В. Д., Скрябин В. Г. Рентгеноструктурный метод неразру-шающего контроля послойного исследования поликристаллов // Заводская лаборатория. 1987. - Т.53 - №12. С. 44-49.

200. Куксенова Л. И., Рыбакова Л. М. Рентгеноструктурный и триботехнический методы контроля качества антифрикционных покрытий // Заводская Лаборатория. -1999. -Т.65. -№1. С. 19-25.

201. Куксенова Л. И, РыбаковаЛ. М. Применение рентгеноструктурного метода для послойной оценки качества тонких поверхностных слоев при трении в активных смазочных средах // Заводская лаборатория. 1995. - Т.61. - №11.С. 34-40.

202. Иванов А. Н., Ягодкин Ю. Д. Рентгеноструктурный анализ поверхностного слоя (обзор) // Заводская лаборатория. 2000. - Т.66. - №5. С.24-35.

203. Миронов Ю.П., Мейснер Л.Л., Лотков А.И. Рентгеноструктурные исследования сплавов TiNi с градиентом параметров микроструктуры в поверхностных слоях // Фундаментальные проблемы современного материаловедения. 2007. - №2. - С. 63 - 68.

204. Миронов Ю.П., Мейснер Л.Л., Лотков А.И. Структура поверхностных слоев никелида титана, сформированных импульсным электронно-лучевым плавлением // Журнал технической физики. 2008. - Т. 78. - Вып.7 - С. 118- 126.

205. Вишняков Я.Д. Современные методы исследования структуры деформированных кристаллов / Я.Д.Вишняков. М.: Металлургия, 1975. - 160 с.

206. Klaus М., Genzel Ch., Holzschuli Н. X-ray residual stress analysis in CVD multilayer systems: Influence of steep gradients on the line profile shape and symmetry // Z. Kristallogr. Suppl. 2008. - No.27. - P.273-285.

207. Genzel Ch. X-ray stress analysis in presence of gradients and texture // Adv. X-Ray Anal. 2001 - V.44. - P. 247-256.

208. Уманский M.M. Аппаратура рентгеноструктурных исследований. M: Гос. изд-во физ.-мат. литературы, 1960.-348с.

209. Физические величины: Справочник / А.П. Бабичев, И.А. Бабушкина, A.M. Братковский и др. Под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1991.- 1232 с.

210. Лотков А.И., Мейснер Л.Л., Сергеев В.П., Прозорова Г.В., Нейман A.A., Дементьева М.Г. Адгезионная прочность и физико-химические свойства покрытий из молибдена и тантала для никелида титана // Деформация и разрушение. 2009. - №5. С. 26-31

211. Дементьева М.Г, Мейснер J1.JL, Миронов Ю.П., Лотков А.И. Рентгенодифракцион-ные исследования никелида титана с наноструктурными пленками из Мо на поверхности // Перспективные материалы, Специальный выпуск (7), июнь 2009. С. 98-102.

212. Миркин Л.И. Рентгеноструктурный контроль машиностроительных материалов: Справочник. -М.: Машиностроение, 1979. 134 с.

213. Milillo F.F., Potter D.I. Interstitial ordering and precipitation in dilute Ta-0 alloys at 100 to 270 // Metallurgical transactions A. 1978 - V. 9A. - P. 283-290.

214. Мейснер Л.Л. Механические и физико-механические свойства сплавов на основе никелида титана с тонкими поверхностными слоями, модифицированными потоками заряженных частиц: Автореферат дис. д-ра ф.-м. наук. Томск: ТГУ, 2004. - 32 с.

215. Томашов Н.Д. Развитие теории структурной электромеханической коррозии металлов и сплавов // Защита металлов. 1986. - Т.22. - №6. - С. 865-878.

216. Сергеев В.П., Федорищева М.В., Сергеев О.В., Воронов А.В. Влияние ионнойбомбардировки на структуру и трибомеханические свойства магнетронных покрытий на основе системы Ti-Al-N// Перспективные материалы. 2006. - №1. - С. 73-78.