Разработка и исследование технологических основ создания углеродных нанотрубок методом каталитического пиролиза этанола тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.06, кандидат технических наук Симунин, Михаил Максимович

• Симунин, Михаил Максимович
• кандидат технических наук
• 2009

Оглавление диссертации кандидат технических наук Симунин, Михаил Максимович

Оглавление

Введение

Глава 1. Свойства углеродных нанотрубок, методы их получения и методики формирования устройств на их основе

1.1. Физико-химические свойства углеродных нанотрубок

1.1.1. Структура нанотрубок

1.1.2. Химия нанотрубок

1.1.3. Основные характеристики углеродных нанотрубок

1.2. Методы получения углеродных нанотрубок

1.2.1. Испарительные методы

1.2.2. Химическое осаждение из газовой фазы

1.3. Методы формирования устройств на основе углеродных нанотрубок

1.3.1. «Случайные методы»

1.3.2. Методы совмещённого формирования

1.4. Выводы 44 ;

Глава 2. Установка производства углеродных нанотрубок методом каталитического пиролиза из газовой фазы этанола

2.1. Установка для получения углеродных нанотрубок

2.1.1. Стандартный техпроцесс на установке CVDomna

2.1.2. Технические характеристики

2.2. Роль парогазовой смеси в технологии производства углеродных нанотрубок

2.2.1. Пиролиз этанол а

2.2.2. Поток в камере

2.2.3. Обоснование выбора парогазовой смеси

2.3. Роль и особенности поведения катализатора при росте углеродных нанотрубок

2.3.1. Механизм роста нанотрубок

2.3.2. Принцип выбора катализатора

2.4. Выводы

Глава 3. Метод производства углеродных ианотрубок каталитическим пиролизом из газовой фазы тганола

3.1. Металлические нанопорошки

3.2. Рост ианотрубок на каталитических подложках

3.3. Рост ианотрубок на золь-гель катализаторе

3.4. Рост ианотрубок на плёночных катализаторах

3.5. Рост углеродных ианотрубок на сэндвич-катализаторах

3.6. Концепция роста однослойных углеродных ианотрубок

3.7. Выводы

Глава 4. Исследования углеродных ианотрубок синтезированных каталитическим пиролизом этанола

4.1. Атомно-силовая микроскопия

4.2. Просвечивающая электронная микроскопия

4.3. Оже-спекфоскопия

4.4. Дифракция рентгеновских лучей

4.5. Качественная химическая реакция на наличие углеродных ианотрубок 98.

4.6. Выводы

Глава 5. Приложения синтезируемых углеродных ианотрубок

5.1. Цеолиты на основе углеродных напотрубок ]

5.2. Биосовместимые композиты на основе углеродных ианотрубок

5.3. Метаматериалы на основе мембран пористого оксида алюминия

5.4. Композитные фотоэлектроды на основе нанокристаллического оксида титана

5.5. Выводы 112 Заключение 113 Благодарности 115 Список литературы

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка и исследование технологических основ создания углеродных нанотрубок методом каталитического пиролиза этанола»

На сегодняшний день успехи кремниевой технологии трудно переоценить. Существующая технология накопила широкий спектр готовых решений для реализации тех или иных приборов и схемотехнических задач. Существующая на рынке продукция удовлетворяет основным тенденциям миниатюризации, однако, тенденции по расширению функциональности кремниевых электронных компонентов на сегодняшний день достигают предела. Для расширения функциональности электронных компонентов существуют два общих подхода. Первый - создание принципиально новой материальной базы электронных приборов, как например, молекулярная электроника. Не смотря на всю перспективность и глобальность такого подхода, его реализация является существенно ресурсозатратной деятельностью и в связи с этим в ближайшее время существенных технологических прорывов в данном направлении ждать не приходи гься.

Вторым подходом является замена функциональных частей в электронных и электромеханических компонентах на материалы с более подходящими свойствами для реализации их функций. Одним из перспективных материалов в создании таких гибридных приборов являются углеродные нанотрубки. Углеродные нанотрубки являются уникальным материалом, совокупность электрофизических, физико-химических и механических свойств определяет их применение в электронике п электромеханических системах. Интересным является тот факт, что каждый из способов получения углеродных нанотрубок в том или ином виде используется при произволе) вс электронных компонентов.

На сегодняшний день обозначены перспективы применения углеродных нанотрубок в композитах, наноэлектромеханических системах, датчиках и межсоединениях. Наиболее привлекательным методом получения углеродных нанотрубок являются процессы каталитического пиролиза из соображения внедрения в электронную технологию. Процессы каталитического пиролиза позволяют синтезировать нанотрубки с заданной ориентацией относительно других структурных компонентов. Испарительные методы (дуга, абляция) не позволяют вырастить нанотрубки в заданном месте, однако получаемый такими методами материал может быть нанесён на подложку и использован по назначению, в таком случае положение нанотрубок не контролируется.

Задачи, на решение которых направлена настоящая работа, занимают своё место в общей картине работ по технологии материала углеродных нанотрубок. В настоящее время технологии синтеза напотрубного материала не в достаточной мере учитывают роль катализатора, как при самом синтезе, так и позиционировании нанотрубок относительно других структурных компонент. В эюм контексте результаты проведённого в настоящей работе исследования представляют безусловный интерес. Из вышеизложенного следует, что исследования по данной тематике актуальны, они представляют научный и практический интерес.

Цель работы, задачи и положения, выносимые на защиту.

Целью данной работы является разработка технологии роста УНТ методом каталитического пиролиза этанола для создания электронных приборов на их основе. Для достижения данной цели были поставлены следующие задачи:

1. разработать установку для роста УНТ;

2. Определить технологические параметры, при которых происходит синтез УНТ;

3. изучить газодинамику течения газа в установке;

4. проанализировать химические реакции основных технологических процессов;

5. адапшровать выбранные модели роста УНТ к реально протекающим процессам;

6. сформулировать критерии выбора катализатора для роста УНТ;

7. исследовахь свойства производимого нанотрубного материала, с целью выявления их основных характеристических параметров.

Научная новизна работы

В ходе проведенных исследований впервые были получены следующие результаты:

1. В разработанной установке выявлены закономерности синтеза УНТ в зависимости от технологических параметров и типа катализаторов.

2. Проанализированы основные свойства УНТ, получаемых с помощью представленной технологии.

3. Сформулированы требования к катализаторам для синтеза УНТ, позволяющие эффективно подбирать катализатор для решения конкретных технологических задач.

4. На основе моделей поверхностной диффузии и современных моделей роста, углеродных нанотрубок, сформулирована и реализована концепция синтеза однослойных УНТ.

5. На основе газодинамических расчётов распространения парогазового реагента в обсуждаемой установке показана возможность формирования плёнок УНТ с необходимой однородностью на подложках диаметром до 80 мм, что было иодюерждено экспериментально.

Практическая значимость работы:

1. Разработана компактная и простая в эксплуатации установка для роста УНТ методом каталитического пиролиза этанола на подложках диаметром до 80 мм.

2. Предложена методика приготовления и использования золь-гель катализатора для синтеза УНТ на основе аммиачных комплексов переходных металлов.

3. Предложена качественная реакция на определение УНТ на основе характерного поведения нанотрубного материала.

4. Разработан композит на основе альбумина, компаундированного УНТ, биосовместимость которого подтверждена испытаниями in vivo.

5. Предложена методика формирования нанотрубок в пористых матрицах, включающая заполнение пор золь-гель катализатором на основе аммиачных комплексов переходных металлов.

6. Предложена методика формирования композитных солнечных элементов на основе оксида титана и углеродных нанотрубок с целью увеличения их КПД.

Личный вклад соискателя.

Автору принадлежит участие в постановке и разрешении задач в соответствии с целью исследований. Это заключалось в разработке установки синтеза УНТ. определении технологических параметров, при которых происходит синтез УНТ. изучении газодинамики течения газа в установке, формулировке критериев выбора катализатора для роста УНТ. и в разработке методик получения и использования катализатора, выполнении большей части экспериментов, анализе, интерпретации и суммировании результатов, формулировке научных положений и выводов, выносимых на защиту.

Исследования комплексного характера проводились по инициативе автора в рамках сотрудничества научно-образовательного центра «Зондовая микроскопия и нанотехнология» МИЭТ с Лабораторией электронной микроскопии МИЭТ, ЦКП «Синхротрон», IIK РАН, НИЛ «Технологии наноматериалов» и НОЦ «Биомедиципских технических систем».

Достоверность научных положений, результатов и выводов

Достоверность и обоснованность результатов работы подтверждена: комплексным характером проведенных исследований, сравнительными результатами сопоставительных анализов методами электронной и атомно-силовой микроскопии.

Полученные экспериментальные результаты и разработанные методики не противоречат известным теоретическим моделям и представлениям, которые были экспериментально подтверждены. Их корректность косвенно подтверждается результатами других исследователей. Все исследования проведены на сертифицированном оборудовании.

Внедрение результатов работы

Результаты диссертационной работы используются в ООО «РПСЛ» для производства установок синтеза углеродных ианотрубок. А также в учебном процессе ВУЗов: ВолГУ, МИЭТ и ТСХА.

Положения, выносимые на защиту

1. Закономерности синтеза УНТ методом каталитического пиролиза этанола, заключающиеся в том, что в отсутствии восстановителя, синтез УНТ проходит через этап конверсии парогазовой смеси в монооксид углерода с последующим его диспропорционированием.

2. Принцип выбора катализатора для синтеза УНТ с целью применения в композитах и структурах наносистемной техники, основан на совокупности требований к высокой удельной поверхности катализатора, адсорбции монооксида углерода на ней, растворимости углерода в самом катализаторе, а также взаимодействий с сопутствующими материалами.

3. Конструкция установки с вертикальным напуском позволяет синтезировать УНТ на всех каталитически активных участках подложки диаметром до 80 мм.

4. Методика получения и использования катализатора на основе аммиачных комплексов переходных металлов, позволяющая формировать УНТ на различных носителях.

Апробация работы

Материалы диссертации были представлены на 20 конференциях, семинарах, выставках и конкурсах научных работ:

S Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика» (Москва, 2005, 2006, 2008). •S Международная научно-техническая школа-конференция «Молодые ученые -науке, технологиям и профессиональному образованию в электронике» (Москва. 2005. 2006). •f Moscow-Bavarian Joint Advanced Student School «МВ-JASS». (Москва 2006, 2007)

•f Всероссийский молодёжный научно-инновационный конкурс-конференция

Электроника». (Москва. 2007) S Специализированная выставка нанотехнологий и материалов «NTMEX». (Москва 2006. 2007).

S Московский международный салон промышленной собственности «Архимед»,

Москва, 2007, 2008). •S Международный форум «Высокие технологии XXI века». (Москва, 2007, 2009) •S Петербургский международный экономпчес1шй форум (Санкт-Петербург, 2007, 2008)

S Biennial International Workshop Fullerenes and Atomic Clusters" (St. Petersburg, 2007. 2009)

S Микроэлектроника и наноннженерия - 2008 Международная научнотехническая конференция (Москва. 2008) S 1-й международный форум по нанотехнологиям. (Москва, 2009)

Структура диссертации

Диссертация состоит из введения, пяти глав, заключения, списка литературы, и изложена на 124 страницах, включает 45 рисунков и 10 таблиц. Список литературы содержит 92 источника. Во введении обоснована актуальность работы, сформулированы цель и задачи исследования, научная новизна и практическая значимость работы, а также основные положения, выносимые на защиту. В первой главе описывается обзор литературы о свойствах углеродных нанотрубок, методах их получения и методах формирования устройств на их основе. Во второй главе описывается разработанная установка синтеза углеродных нанотрубок и производятся основные оценки параметров её работы. В третьей главе описываются методики и катализаторы, используемые для синтеза углеродных нанотрубок. В четвёртой главе описываются свойства углеродного композита получаемого в установке, и описываются методики анализа нанотрубного материала. В пятой главе описываются основные применения разработанной технологии синтеза углеродных нанотрубок.

Заключение диссертации по теме «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники», Симунин, Михаил Максимович

5.5. Выводы

В данной главе описано существующее положение дел в приложениях производимого углеродного наноматериала. Все представленные концепции воплощены в реальные материалы и структуры, и проведены первичные основополагающие исследования.

Заключение

1. Предложена конструкция установки для синтеза УНТ методом каталитического пиролиза этанола с вертикальным напуском и осесимметричным потоком ПГС, которая предполагает возможность производства углеродных нанотрубок и нановолокон как па катализаторах произвольной формы, так и на пластинах диаметром до 80 мм, с предварительно сформированным рисунком катализатора.

2. Выявлены основные этапы реакции синтеза УНТ, где показано, что углерод, из которого состоит УНТ, образуется по совокупности реакций термоокпслительного разложения спирта и диспропорционирования угарного газа с последующим растворением углерода в катализаторе, из которого затем растёт УНТ.

3. На основе математических моделей и экспериментальных данных, показано, что движение газа в целом, во время технологического процесса в натекателе и камере установки подобно ламинарному, критерий подобия Реннольдса соответственно равен 0,61 и 0.019 соответственно.

4. Сформулирован принцип выбора катализатора для синтеза УНТ методом каталитического пиролиза этанола, заключающийся в удовлетворении требований по величине удельной поверхности, химической стойкости, растворимости углерода в катализаторе и адсорбции на нём монооксида углерода. На основе этого принципа были разработаны катализаторы для роста УНТ на основе аммиачных комплексов переходных металлов и катализаторы для латерального роста.

5. Определены все основные технологические диапазоны синтеза УНТ в технологии каталитического пиролиза этанола: диапазон давлений ПГС 5-20 кПа, диапазон температур синтеза 550-900 °С и диапазон геометрических параметров углеродных нанотрубок, получаемых по данной технологии (длины УНТ - до 50 мкм, диаметры УНТ - от 1 нм).

6. На основе представлений о поверхностной диффузии сформулирована концепция синтеза однослойных УНТ основанная на подавлении спекания наночастиц различными методами, например пх дистанцирования друг от друга или фиксировании их положения внешним воздействием.

7. На базе разработанной технологии синтеза УНТ и катализаторов предложены ряд методик подтверждающих её практическую ценность, такие как формирование УНТ в пористых матрицах, включающая заполнение пор золь-гель катализатором на основе аммиачных комплексов переходных металлов, лазерное формирование биосовместимых композитов на основе УНТ и альбумина, формирования композитных фотоэлектродов на основе УНТ и ТЮг, а также предложена структура сенсора на основе осциллирующих волокон.

Благодарности

Автор выражает глубокую благодарность и признательность Неволину В.К., чьи идеи легли в основу данной работы, за конструктивное участие в научной работе и материальную поддержку всех начинаний. Автор выражает благодарность Симунину Ю.А. и Гаврилову С.А. за предоставление литературы и помощь в её подборке и анализе для литературного обзора; Строганову А.А., за методическую и материальную поддержку проводимых работ; Бобринецкому И.И. за обучение работе на зондовом микроскопе и проведённые им АСМ-исследования; Хартову С.В. и Катаеву Э.Ю. за конструктивные правки и беседы в процессе написания диссертации; Кукину В.Н. за проведённые ПЭМ-исследования и подробное разъяснение проведённой им работы; Кириленко Е.П. и Кистанову И.А. за проведённые исследования Оже-спектра углеродных нанотрубок; Гаврилову С.А. и Ильичёву Э.А. за предоставленные каталитические структуры; Петрик В.И. за предоставленные металлические нанопорошки и углеродную смесь высокой реакционной способности. Автор выражает благодарность сотрудникам КНЦ РАН и ЦКП «Структурная диагностика материалов» ИКРАН за проведённые РЭМ-исследования. Автор благодарит всех сотрудников НОЦ «ЗМНТ» и НИЛ «Технологии паноматериалов» за всяческую оперативную поддержку, безотказность и отзывчивость при написании данной работы и получении результатов, которые легли в её основу.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Симунин, Михаил Максимович, 2009 год

1. Радушкевич Л.В., Лукъянович В.М. О структуре углерода, образующегося при термическом разложении окиси углерода на железном контакте Журнал Физической Химии, т. 26 вып. 1, 1952, с. 88-95.

2. Iijima S. Helical microtubes of graphitic carbon // Nature. 1991. V. 354. P.56.58.

3. Раков Э.Г. Заполнение углеродных нанотрубок // Успехи химии Т. 69 №1 С. 41-59 2000

4. Hirsch A. Functionalization of single-walled carbon nanotubes // Angew. Chem. Int. Ed. 2002. V. 41 № 11. P. 1853-1859

5. Раков Э.Г. Химия и применение углеродных нанотрубок // Успехи химии №70 С. 934-973 2001

6. Yang Q., Li L., Cheng H., Wang., Bai J. Inner-tubilar physicocheniical processes of carbon nanotubes // Chinese Sci. Bull. 2003. V. 48. № 22. P. 2395-2403

7. Froudakis G.E. Hydrogen and oxygen interaction with carbon nanotubes // Encyclopedia of Nanoscience and Nanotechnology. American Sci. Pub. 2004. V. 4.P. 1-11

8. Masenelli K., McRae E., Dupont-Pavlovsky N. Comparative adsorption of simple molecules on carbon nanotubes Dependence of the adsorption on the nanotube morphology //Appl. Surf. Sci. 196. 2002. P. 209-215.

9. Avouris Ph. Carbon nanotube electronics // Chem Phys. 2002. V. 281. P. 429-445

10. Никитин M.M. // Технология и оборудование вакуумного напыления. Москва: Металлургия, 1992.

11. Journet С.; Maser W. К.; Bernier P. et al Large-scale production of single-walled carbon nanotubes by the electric-arc technique // Nature (London). 1997. Vol. 388. P. 756-758.

12. Вейко В.П. Лазерные технологии в микроэлектронике. // Изд. Болгарской Академии Наук. 1991. С. 205-222.

13. Никишкип В.И. Лускинович П.Н. Нанотехнология и наноэлектроника// Электронная промышленность. 1991.

14. Arepalli S. Laser ablation process for single-walled carbon nanotube production // J. Nanosci. Nanotech. 2004 V. 4. № 4. P. 317-325

15. Акулёнок M.B. Эпитакснальные процессы в технологии микроэлектроники: Учебное пособие по курсу «Физико-химические основы технологии микроэлектроники» // М.: МИЭТ. 1993. С. 84

16. Будагян Б.Г., Айвазов А.А. Физико-химические основы базовой технологии получения аморфного гидрогенизированного кремния // Учеб. пособие. МИЭТ. 1996. С. 80

17. Царева С.Ю., Жариков Е.В., Аношкин И.В., Коваленко А.Н. Исследование влияния вида, размера, и концентрации частиц катализатора на образование углеродных нанотрубок при каталитическом пиролизе углеводородов // Электроника. 2003. №1 С. 20-24

18. Hamasaki T. KurataH. Hirose M. Osaka У. Low temperature crystallization of doped a-Si:H// Applied Physics Letters 1980 V. 37 N 12 P. 1084

19. Nikolaev P., Bronikowski M., Bradley J., Kelley R., Rohmund F., Colbert D.T., Smith K.A., Smalley R.E., Gas-phase catalytic growth of single-walled carbon nanotubes from carbon monoxide // Chemical Physics Letters, 313, (1,2), 1999

20. Zhou C., Kong J., Yenilmez E., and Dai H. Modulated Chemical Doping of Individual Carbon Nanotubes // Science 2000 № 290. P. 1552-1555

21. Lee J.U., Gipp P.P., and Heller C.M. Carbon nanotube p-n junction diodes //Applied Physics Letters. 2004. V. 85, P. 145-147

22. Rueckes Т., Kim K., Joselevich E., Tseng, G.Y., Cheung, C.L., Lieber C.M. Carbon nanotube-based nonvolatile random access memory for molecular computing. // Science 2000 V. 289 № 94 P. 1136-1139.

23. J.-M. Bonard., H. Kind., T. Stockli., L.-O. Nilsson. Field emission from carbon nanotubes: the first five years // Solid-State Electronics 2001 V. 45 P. 893-914.

24. Sarrazin P. et al. Field deployment of a portable X-ray diffraction/X-ray flourescence instrument on Mars analog terrain // Powder Diffraction 2005 V. 20. P. 128133

25. Bachtold A., Hadley P., Nakanishi Т., Dekker C. Logic circuits with carbon nanotube transistors // Science. 2001. V. 249. P. 1317-1320.

26. Bower C., Zhu W., Jin S., Zhou O. Plasma-induced alignment of carbon nanotubes // Appl. Phys. Lett. 2000. V. 77. № 6. P. 830-832.29. W002080360

27. Симунин M.M. Горшков K.B. Аспекты технологии получения нанострукгурированного углерода методом химического осаждения из газовой фазы // «Микроэлектроника и Информатика» Тезисы докладов. М.: МИЭТ, 2005, -С. 40

28. Неволнн В.К., Симунин М.М. Получение углеродных нанотрубок методом каталитического пиролиза из газовой фазы этанола (научно-популярная статья) // Наноиндустрия №3. 2007. С. 34-36.

29. Неволип В.К., Бобринецкий И.И., Симунин М.М., Строганов А.А., Горшков К.В. Учебно-исследовательский нанотехнологический комплекс // Российские нанотехнологии т. 3 №3-4 2008 С. 173-175.

30. Климовицкий А.Г., Милошевская А.В., Симунин М.М. Технология производства нанотрубок из этанола // «Индустрия наносистем и материалов» Материалы конференции. М.: МИЭТ, 2006, С. 195-196.

31. Бобринецкий И.И., Неволии В.К., Симунин М.М. Технология производства углеродных нанотрубок методом каталитического пиролиза из газовой фазы этанола // «Химическая технология» 2007 №2 С.58-62.

32. Комаров И.А., Симунин М.М., Шлегель И.В. Методики производства углеродных нанотрубок каталитическим пиролизом этанола // Нанотехнологии в электронике: Сборник научных трудов // Под. ред. А.А. Горбацевича. М.: МИЭТ, 2007.- 168 е.: ил.-С. 88-92.

33. Физические Величины // Справочник под ред И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. М. Энергоатомиздат 1991 1232 с.

34. Пригожин И., Кондепуди Д. Современная термодинамика. От тепловых двигателей до диссипативных структур: Пер. с англ. Ю.А. Данилова и В.В. Белого-М.: Мир, 2002.-461 с.

35. Ландау Л.Д. Лифшиц Е.М. Теоретическая физика // М.: Наука 1986 Т. 6 736 с.

36. Ландау Л.Д. Лифшиц Е.М. Теоретическая физика // М.: Наука 1976 Т. 5 Ч. 1 -584 с.

37. Tables of physical and chemical constants // Сотр. By G.W.C. Kaye, Т.Н. Laby. London, New York Toronto: Longmans, Green & CO 1956 1 183 c.

38. Катаев Э.Ю., Симунин M.M., Строганов A.A. Газодинамические расчёты в установке CVDomna методом конечных объёмов // Наноиндустрия №2. 2009. С. 14-17.

39. Алексеев Н.И. О механизме образования углеродных нанотрубок. I. Термодинамика образования капель расплава углерода в металлическом катализаторе // ЖТФ. 2004. Т. 74. № 8. С. 45-50.

40. Алексеев Н.И. Термодинамика образования углеродных нанотрубок из пересыщенных капель расплава // ЖТФ. 2004. Т. 74. № 9. С. 63-71.

41. Комаров И.А., Симунин М.М. Формирование наночастиц катализатора для роста углеродных нанотрубок в задачах электроники // «Микроэлектроника и Информатика» Тезисы докладов. М.: МИЭТ, 2008, С. 11.

42. Endo М; Kroto H.W. Formation carbon nanofibers // J. Phys. Chem. 1996. V. 96 № 17. P. 6941-6944

43. S. Amelinckx, X. B. Zhang, D. Bemaerls, X. F. Zhang, V. Ivanov, and J. B. Nagy A formation mechanism for catalytically grown helix-shaped graphite nanotubes // Science 1994 V. 265. № 5172, P. 635 639

44. Симунин М.М. Анализ температурного профиля полупроводникого образца в дилатометре с ИК-нагревом // «Микроэлектроника и Информатика» Тезисы докладов. М.: МИЭТ, 2004, С. 60

45. Глазов В.М., Павлова JI.M. Химическая термодинамика и. фазовые равновесия.2-е изд. перераб. и доп. М.: Металлургия. 1988. С.325.

46. Глазов В.М. Ломов А.Л. Поверхностные явления и адсорбция на границе раздела фаз: Учеб. Пособие // М.: МИЭТ 1980 71 с.

47. J. Gavillet, A. Loiseau, F. Ducastelle, S. Thair, P. Bernier, O. Stephan, J. Thibault, J.-C. Charlier «Microscopic mechanisms for the catalyst assisted growth of single-wall carbon nanotubes» // Carbon 2002 № 40 1649-1663

48. Лякишев Н.П. Диаграммы состояния двойных металлических систем. // М.: Машиностроение 2000.

49. Раков Э.Г. Получение тонких углеродных нанотрубок каталитическим пиролизом на носителе // Успехи химии т. 76, №1 2007.

50. Бессонова А.В., Колодий П.П., Симунин М.М. Выращивание углеродных волокон на золь-гель катализаторе методом пиролиза из газовой фазы этанола // «Индустрия наносистем и материалы» Материалы конференции. М.: МИЭТ, 2005, -С. 182.

51. Симунин М.М. Методы приготовления катализаторов для роста углеродных нанотрубок методом каталитического пиролиза этанола // Микроэлектроника и наноинженерия 2008 Международная научно-техническая конференция Тезисы докладов Москва 2008 С. 85-86.

52. Симунин М.М. Выращивание углеродных волокон на плёночных катализаторах методом пиролиза из газовой фазы этанола // «Микроэлектроника и Информатика» Тезисы докладов. М.: МИЭТ, 2006, С. 58.

53. Комаров И.А., Симунин М.М. Формирование наночастиц катализатора для роста углеродных нанотрубок в задачах электроники // «Микроэлектроника и Информатика» Тезисы докладов. М.: МИЭТ, 2008, С. 11.

54. Комаров И.А., Симунин М.М. Особенности роста углеродных нанотрубок на плёнках Ni при диспропорционнровании угарного газа // «Микроэлектроника и Информатика» Тезисы докладов. М.: МИЭТ, 2009, С. 10.

55. Гаврилов С.А., Ильичёв Э.А., Козлитин А.И., Полторацкий Э.А., Рычков Г.С., Дзбаиовский Н.Н., Дворкин В.В., Суетин Н.В. Латеральный эмиттер как элемент интегральной эмиссионной электроники // ПЖТФ т. 30 № 11 2004. С. 48-53.

56. Бобринецкий И.И., Симунин М.М., Неволин В.К., Хартов С.В. Селективный датчик газов на основе системы осциллирующих нановолокон // Патент на изобретение № 2317940 с приоритетом от 04 августа 2006 г. РФ.

57. Симунин М.М. Неволин В.К., Хартов С.В. Способ формирования селективного датчика газов на основе системы осциллирующих углеродных нанотрубок // Патент на изобретение №2314252 с приоритетом от 04 августа 2006 г. РФ.

58. Хартов С.В., Симунин М.М. Селективный датчик газов на основе системы осциллирующих углеродных нанотрубок // Электроника 2007 Всероссийская молодёжная конференция 2007 С. 13.68. US2002167375

59. Аксёнов A.M., Бобринецкий И.И., Неволин B.K., Симунин М.М. Температурные датчики на основе полупроводниковых углеродных нанотрубок // «Электроника и информатика 2005» Тезисы конференции. Москва. - С. 5-6.

60. Аксёнов А.И., Бобринецкий И.И., Неволин В.К., Симунин М.М. Химические сенсоры на основе пучков углеродных нанотрубок для обнаружения низких концентраций хлора в атмосфере // «Нано- и Микросистемная техника» 2005 №12 С. 12-15.

61. Аксёнов А.И., Бобринецкий И.И., Неволин В.К., Симунин М.М. Температурная зависимость электрического сопротивления структур на основе углеродных нанотрубок в атмосферных условиях // «Датчики и системы» 2006. №9. С. 60-63.

62. Бобринецкий И.И., Симунин М.М., Неволин В.К. Влияние сорбции паров спирта на проводимость структур на основе углеродных нанотрубок // Нано-и микросистемная техника. 2007. №5. С. 29-33.

63. Бобринецкий И.И. Формирование и исследование электрофизических свойств планарных структур на основе углеродных нанотрубок // Автореферат на соиск. к.т.н. . М.: МИЭТ 2004 26 с.

64. Комаров И.А., Симунин М.М. АСМ-исследования углеродных нанотрубок полученных на установке каталитического пиролиза этанола с подсистемой барбатажной дозации // «Микроэлектроника и Информатика» Тезисы докладов. М.: МИЭТ, 2007, С. 11.

65. Кукин В.Н., Боргардт И.И.,. Агафонов А.В, Кузнецов В.О. Исследования структуры углеситалла методами просвечивающей электронной микроскопии. // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2005. № 11. - С. 24-30.

66. Бобринецкий И.И., Кукин В.И., Неволип В.К., Симунин М.М. Исследование углеродного наноматернала методами атомно-силовой и электронной микроскопии // Известия вузов. Электроника. №4. 2007. С. 3-6.

67. Жданов С.П., Хвощев С.С., Самулевич Н.Н. Синтетические цеолиты. М.гХимия. 1981. 264с.

68. Тарасов Б.П. Гольдшлегер Н.Ф. Сорбция водорода углеродными наноструктурами // Саров Альтернативная энергетика и экология №3 2002.

69. Gregg S.J., Sing K.S.W. Adsorption, Surface Area.and Porosity. Academic press. 1982. 303 p.

70. Подгаецкий B.M., Савранский- В.В., Симунин М.М., Кононов М.А. Получение объёмных нанокомпозиций на основе водного раствора альбумина под действием лазерного излучения // Квантовая электроника 2007 37 №9 С. 801-803,

71. Гаврилов С.А., Белов А.Н. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники // М: Высшее образование, 2008. 257 с.