Разработка и исследование планарных автоэмиссионных катодов из углеродных материалов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.04, кандидат физико-математических наук Лейченко, Александр Сергеевич
- Специальность ВАК РФ01.04.04
- Количество страниц 138
Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Лейченко, Александр Сергеевич
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА 1 ПЛАНАРНЫЕ АВТОЭМИССИОННЫЕ КАТОДЫ.
1.1. Материалы для автоэмиссионных катодов.
1.1.1. Электронная эмиссия.
1.1.2. Измерения и номенклатура.
1.1.3. Микроострия.
1.1.4. Композиты.
1.1.5. Тонкие пленки.
1.1.6. Алмаз и алмазоподобные пленки.
1.1.7. Графит и графитовые пасты.
1.1.8. Полимеры.
1.1.9. Углеродные волокна.
1.1.10. Углеродные нанотрубки.
1.1.11. Особые углеродные структуры и другие материалы.
1.2. Технология изготовления катодов.
1.2.1. Подложка.
1.2.2. Электроды катодного контакта и затвора.
1.2.3. Резистивные слои.
1.2.4. Изолятор модулятора и соответствующие технологические процессы.
1.2.5. Альтернативные триодные и тетродные конструкции.
1.2.6. Тонкопленочные краевые эмиттеры.
1.2.7. Приборы с поверхностной эмиссией.
1.2.8. Приборы на основе поверхностной проводимости.
1.3. Технологические процессы изготовления вакуумных приборов с автокатодами.
1.3.1. Очистка.
1.3.2. Спейсеры.
1.3.3. Вакуумная оболочка.
1.3.4. Поддержание вакуума в отпаянном приборе.
1.4. Особенности работы приборов па основе автокатодов.
1.4.1. Типы сбоев.
1.4.2. Рабочий режим.
1.4.3. Вопросы экологии.
1.5. Латеральные катоды из терморасширенного графита.
1.5.1. Преимущества латеральной конструкции катода.
1.5.2. Углеродные автокатоды и особенности их структуры.
1.5.3. Терморасширенный графит.
Краткие выводы.
ГЛАВА 2 МЕТОДИКА И ТЕХНИКА ЭКСПЕРИМЕНТА.
2.1. Методика эмиссионных испытаний автокатодов.
2.1.1. Анализ вольт-амперных характеристик.
2.1.2. Анализ анодно-сеточных характеристик.
2.1.3. Проведение долговременных автоэмиссионных испытаний.
2.1.4. Измерительный стенд.
2.2. Методики визуализации эмиссионных центров.
2.2.1. Анализ топографии катода с помощью растрового электронного микроскопа.
2.2.2. Анализ автоэмиссионного изображения катода.
2.2.3. Исследование распределения эмитирующих центров с помощью коронного разряда.
Краткие выводы.
ГЛАВА 3 СПОСОБЫ ФОРМИРОВАНИЯ ЭМИССИОННОЙ ПОВЕРХНОСТИ.
3.1. Исследование структуры ТРГ фольги.
3.2. Эмиссионные свойства ТРГ фольги.
3.3. Формирование эмиссионных центров при помощи лазера.
3.3.1. Физические предпосылки лазерного раскроя углеродных композиционных материалов.
3.3.2. Термическая обработка фольги из ТРГ лазерным излучением.
3.3.3. Установка лазерной резки.
3.3.4. ТРГ фольга после обработки импульсным лазерным излучением.
3.3.5. Испытания катода из ТРГ, изготовленного с помощью лазера.
3.3.6. Сравнение механической и лазерной обработки фольги из ТРГ.
3.4. Эмиссионные характеристики автокатодов из ТРГ фольги.
3.4.1. Долговременная стабильность.
3.4.2. Сравнение автоэмиссионных катодов из ТРГ и ПАН-волокон.
3.4.3. Предельно достижимые плотности тока катодов из ТРГ.
Краткие выводы.
ГЛАВА 4. МОДЕЛИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ С АВТОКАТОДОМ.
4.1. Применение метода конечных элементов для решения уравнения Лапласа.
4.2. Математическая модель электронно-оптической системы.
4.3. Элемент дисплейной матрицы на основе фольги из ТРГ.
Краткие выводы.
Рекомендованный список диссертаций по специальности «Физическая электроника», 01.04.04 шифр ВАК
Эмиссионные свойства и структура поверхности терморасширенного графита2004 год, кандидат физико-математических наук Никольский, Константин Николаевич
Исследование автоэлектронной эмиссии углеродных фольг2020 год, кандидат наук Вэй Зин Хлаинг
Автоэмиссионные свойства ориентированных углеродных структур2007 год, кандидат физико-математических наук Шерстнёв, Павел Владимирович
Эмиссионные свойства и структура поверхности графитовых фольг2005 год, кандидат физико-математических наук Ламанов, Александр Михайлович
Структура поверхности и эмиссионные свойства плоских автокатодов на основе углеродных материалов2004 год, кандидат физико-математических наук Чесов, Роман Геннадьевич
Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка и исследование планарных автоэмиссионных катодов из углеродных материалов»
Актуальность темы
Создание, исследование и применение автоэмиссионных катодов (АЭК) является одним из актуальных направлений современной науки и техники. В последнее время значительный интерес привлекают исследования автоэлектронной эмиссии из новых типов углеродных материалов. Отличительной особенностью углерода является его высокая устойчивость к воздействию разрушающих факторов эмиссионного процесса, а также возможность создания различных структур на его основе с уникальными эмиссионными свойствами.
С практической точки зрения особо актуальным является создание плоских автоэмиссионных источников света и дисплейных экранов. Для таких применений необходимо формировать большие массивы автоэмиссионных катодов (от нескольких кв. см до нескольких десятков, а то и сотен кв. см). Оптимизация параметров таких автокатодов требует понимания фундаментальных закономерностей их работы. При этом для создания катодных массивов большой площади необходимо учитывать не только параметры отдельного катода, но и взаимодействие элементов массива между собой.
Материал автокатода определяет его эмиссионные характеристики и свойства конечного прибора. В качестве АЭК были опробованы различные типы углеродных волокон, пиролитические графиты, мелкопористые графиты и другие углеродные материалы. Практически сразу с момента обнаружения нанотрубок в 1991 году было выявлено, что они обладают уникальными эмиссионными свойствами. Автокатоды на их основе получили широкое распространение. Таким образом, к настоящему времени исследован достаточно широкий спектр углеродных материалов для использования в качестве автокатодов. Однако для изготовления вакуумных приборов на их основе необходимо решить ряд задач, а именно, формирования планарного катода определенной формы и обеспечения достаточной повторяемости геометрических параметров, изготовления катодных массивов большой площади, получения развитой эмитирующей поверхности планарного катода и др.
Преодолеть вышеописанные проблемы можно, применив для изготовления АЭК материал с планарной структурированностью, способный обеспечить стабильную эмиссию с торцевой поверхности и устойчивый к воздействию остаточных газов. При этом он должен соответствовать технологическим требованиям, предъявляемым к вакуумным материалам и приборам, иметь высокую шероховатость поверхности, на которой происходило бы существенное усиление поля, а также должен существовать технологичный способ формирования из этого материала катодов большой площади с высокой повторяемостью эмиссионных свойств.
Одним из материалов, удовлетворяющих данным требованиям по структурным свойствам, является терморасширенный графит (ТРГ).
Целью работы являлось исследование возможностей применения терморасширенного графита в новом конструктивном решении - в качестве латерального автоэмиссионного катода - и изучение его эмиссионных свойств.
В работе решались следующие основные научно-технические задачи:
• определение физических особенностей процессов лазерной резки фольги из ТРГ с целью обеспечения контролируемого процесса изготовления катодов со стабильными и повторяемыми эмиссионными характеристиками;
• проведение сравнительного экспериментального исследования эмиссии электронов из автокатодов, прошедших различную предварительную обработку;
• определение предельно допустимых эмиссионных параметров катодов из ТРГ и пороговых напряженностей электрического поля, необходимых для работы катода;
• разработка катодно-модуляторных узлов с латеральным катодом из ТРГ и моделирование их электронно-оптических свойств.
Научная новизна.
В работе впервые предложен и апробирован новый метод изготовления автокатодов, а именно, — формирование катодных срезов заданной формы в планарном углеродном материале импульсным лазерным излучением. Предложенный метод обеспечивает стабилизацию эмиссионных характеристик при работе автокатода в условиях технического вакуума.
Впервые экспериментально продемонстрирована зависимость параметров автокатодов на основе фольги из ТРГ от способа предварительной обработки (механическая, лазерное излучение).
Для предварительной оценки качества изготовления автоэмиссионных катодов впервые применена визуализация областей катода с максимальным усилением электрического поля у поверхности при помощи коронного разряда на воздухе.
Разработана электронно-оптическая система и проведено компьютерное моделирование зависимости характеристик эмиссионного процесса от геометрических параметров системы. Результаты моделирования подтверждены экспериментально.
Научные результаты, выносимые на защиту:
1. Слоистая структура фольги из ТРГ с преимущественной ориентацией базисной плоскости кристаллической структуры графита параллельно плоскости прокатки обеспечивает формирование на ее срезе лезвийной структуры, обеспечивающей усиление электрического поля на микронеровностях поверхности.
2. Поверхностный характер и локальность лазерного воздействия приводят к созданию на поверхности автоэмиссионного катода слоя материала с измененным по отношению к основной массе структурно-фазовым составом (графитация) и увеличению открытой пористости, что приводит к формированию развитой эмиссионной поверхности с характерным размером шероховатости 100 нм.
3. Краевой эффект у катода в электронно-оптической системе латеральной конструкции с автоэмиссионным катодом в форме круглого отверстия и управляющим электродом, расположенным под отверстием, обеспечивает отклонение траекторий электронов к центру системы, что приводит к формированию локализованного автоэмиссионного изображения на аноде.
Практическая значимость работы заключается в применимости полученных результатов при разработке приборов эмиссионной электроники. Автокатоды в виде массивов отверстий в фольге из ТРГ позволяют создать на их основе различные устройства, для которых необходимы «засветка» электронами большой площади анода и компактность — плоские источники света, матричные дисплейные экраны. Также могут быть созданы электронные пушки для различных электровакуумных приборов, в частности, для рентгеновских трубок.
В процессе формирования автоэмиссионных катодов с помощью лазерной резки эмиссионная поверхность модифицируется, в результате чего существенно повышаются эмиссионные характеристики и долговечность автокатодов, что ведет к улучшению параметров конечных приборов на их основе, а именно, снижению рабочих напряжений, увеличению максимальной мощности, долговечности.
Коронный разряд на воздухе позволяет визуализировать области автоэмиссионного катода с максимальным усилением электрического поля и проводить анализ качества автоэмиссионного катода вне вакуумных условий.
На основе разработанных катодов были созданы прототипы матричного дисплея и плоского источника света триодной конструкции.
Внедрение результатов работы: научные подходы и научные результаты диссертации могут быть использованы в ведущих российских научных организациях, занимающихся теоретическими и экспериментальными работами в области вакуумной и автоэмиссионной электроникой: Институте радиоэлектроники Российской академии наук, Научно-исследовательском институте «Платан», Научно-исследовательском институте физических проблем им. Лукина, Институте общей физики Российской академии наук им. A.M. Прохорова, Научно-исследовательском институте «Волга», Научно-исследовательском институте «Исток».
Апробация работы. Основные положения диссертации докладывались на 21 научно-технической конференции: i. 5-я международная конференция «Углерод: фундаментальные проблемы науки, материаловедение, технология». Москва, 2006 ii. Joint 19th International Vacuum Nanoelectronics Conference and 50th International Field Emission Symposium (Объединенные международные 19-я конференция по вауумной наноэлектронике и 50-й симпозиум по полевой эмиссии). Гуйлин, Китай, 2006 iii. 16-я -18-я Международная научно-техническая конференция «Современное телевидение», Москва, 2008-2010 iv. ICHMS'07 и '09, Судак, 2007-2009 v. International Display Research Conference (Международная конференция по исследованиям в области дисплеев), Москва,2007 vi. 47-я - 54-я научная конференция МФТИ «Современные проблемы фундаментальных и прикладных наук». Долгопрудный, 2004 - 2009 vii. конференция «Нанотехнологии - производству 2007». Фрязино, 2007 viii. XIV научно-техническая конференция «Вакуумная наука и техника», Москва, МГИЭМ, 2007 ix. 51nd International Field Emission Symposium (50-й международный симпозиум по полевой эмиссии), 2008 x. XVIII Международное совещание «Радиационная физика твердого тела», Севастополь, 2008 xi. International Vacuum Electron Source Conference (Международная конференция по вакуумным источникам электронов), 2008
Основные результаты опубликованы в 4 статьях в журналах, рекомендованных Высшей аттестационной комиссией, и 9 тезисах международных конференций.
Личный вклад автора
Автором спроектирована и собрана экспериментальная установка, проведены экспериментальные исследования и численное моделирование свойств систем и их отдельных элементов, проведены расчеты и изготовление систем с автоэмиссионными катодами. Постановка задач исследований, определение методов их решения и интерпретация результатов выполнены совместно с научным руководителем и соавторами опубликованных работ при непосредственном участии соискателя.
Структура и объем диссертации. Диссертационная работа состоит из введения, четырех глав, заключения, списка литературы (из 157 наименований) и приложения. Диссертация изложена на 138 листах машинописного текста, включает 43 рисунка и 3 таблицы.
Похожие диссертационные работы по специальности «Физическая электроника», 01.04.04 шифр ВАК
Эмиссионные свойства автокатодов на основе углеродных наноструктурированных материалов2006 год, кандидат физико-математических наук Бормашов, Виталий Сергеевич
Эмиссионные свойства углеродных волокон и катодолюминесцентные источники света на их основе2007 год, кандидат физико-математических наук Лешуков, Михаил Юрьевич
Исследование и разработка высокостабильного и долговечного автоэмиссионного катода с электронно-оптической яркостью свыше 1.108 А.см-2.ср-1 для электронно-зондовой аппаратуры и других ЭВП, работающих в условиях высокого технического вакуума2007 год, кандидат физико-математических наук Иванов, Олег Владимирович
Экспериментальные исследования и моделирование автоэлектронной эмиссии из синтезированных тонких углеродных нанокластерных пленок2005 год, кандидат физико-математических наук Торгашов, Илья Геннадьевич
Создание матричных автоэмиссионных катодов из стеклоуглерода для приборов вакуумной электроники на основе комплекса лазерных технологических процессов2013 год, кандидат технических наук Попов, Иван Андреевич
Заключение диссертации по теме «Физическая электроника», Лейченко, Александр Сергеевич
Основные результаты диссертационной работы:
1. На основе фольги из ТРГ создан автокатод, эмиссионной поверхностью которого является срез. Проведено исследование его эмиссионных свойств.
2. Разработана методика формирования эмиссионной поверхности на срезе планарных углеродных материалов с помощью лазерного излучения ИК диапазона. Аналитически рассчитан и реализован на практике режим, позволяющий формировать на срезе обрабатываемого материала эмиссионную поверхность с высоким усилением электрического поля за счет развитой микрогеометрии.
3. Реализована методика визуализация областей автоэмиссионного катода с максимальным усилением электрического поля на основе коронного разряда на воздухе.
4. Проведено компьютерное моделирование электронно-оптической системы катодолюминесцентного источника света триодной конструкции с латеральным автоэмиссионным катодом. Определены и экспериментально реализованы конфигурации электронно-оптических систем с увеличенной крутизной анодно-сеточных характеристик, пониженным токоперехватом на управляющем электроде и большей локализацией автоэмиссионного изображения катода. Результаты моделирования подтверждены экспериментально.
5. Разработана комплексная методика измерений эмиссионных характеристик электронно-оптических систем триодной конструкции, позволяющая определять эмиссионные параметры катодов при работе в триодной конструкции: форм-факторы систем катод-модулятор и катод-анод, площадь эффективной эмитирующей поверхности.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Лейченко, Александр Сергеевич, 2010 год
1. А.А. Talin, К.A. Dean, J.E. Jaskie Field emission displays: a critical review
2. Solid state electronics. 2001. №45. p. 963-976
3. Шептан Е.П., Структура поверхности и автоэмиссионные свойства углеродных материалов. —М.: Издательствао МФТИ, 2001. — 288 с.
4. Н. Абаньшин, Н. Жуков, А. Кузнечихин Дисплеи с наноразмерными структурами: начало положено // Электроника: наука, технология, бизнес. 2007. №5. стр. 32-38.
5. Бондаренко Б.В., Шешин Е.П., Щука А.А., Приборы и устройства электронной техники на основе автокатодов. — В кн.: Зарубежная электронная техника. — М.: ЦНИИ «Электроника», 1979, № 2, с. 3 47
6. Бондаренко Б.В., Рыбаков Ю.Л., Шешин Е.П., Щука А.А., Автоэлектронные катоды и приборы на их основе. — Обзоры по электронной технике, сер. 4, «Электронные и газоразрядные приборы». —М.: ЦНИИ «Электроника», 1981, вып. 4,.58 с.
7. Spencer P.L., Electron device with a sharp edged cathode // Pat. 3109123 (USA), 29.10.63
8. Crandall W.E., Traveling wave tube amplifier employing field emission cathodes // Pat. 4091332 (USA), 23.05.78
9. Improvements in field emission guns // Pat. 1426509 (England), 3.03.78
10. Electron-beam microanalyses apparatus // Pat. 1389119 (England), 03.04.75
11. Christov A., Comparison of electron sources high-resolution Auger spectroscopy in an SEM // J.Appl.Phys., 1979, vol. 47, № 12, p. 5464 5466
12. Crewe A.V., Scanning electron microscope // Pat. 3191028 (USA), 22.06.65
13. Crewe A.V., Electron microscope using field emission source // Surf.Sci., 1975, vol. 48, № 1, p. 152 160
14. M. Tanaka,Y. Nohara, K. Tamaura et.al. // Tech. Digest of Society for Information Display (SID)'99, 818 821,199914. . J. OUELLETTE: The Industrial Physicist, 1997, Dec., 10-13.
15. A.P. BURDEN: Materials World, 2000, 8, no.7, 22-25
16. S.W. DEPP and W.E. HOWARD: Scientific American, 1993, Mar., 40-45
17. S.M. KELLY: 'Flat Panel Displays Advanced Organic Materials', RSC Materials Monographs, Royal Society of Chemistry 2000
18. P.D. RACK, A. NAMAN, P.H. HOLLO WAY, S.-S. SUN, and R.T. TUENGE: MRS Bulletin, 1996, Mar., 49-58.
19. O. PRACHE: Displays, 2001, 22, 49-56.
20. J.A. CASTELLANO: 'Handbook of display technology', 1 st edn; 1992, San Diego, Academic Press
21. R.W. WOOD: Phys. Rev., 1897, 5, 1-10
22. E.L. MURPHEY and R.H. GOOD: Phys. Rev., 1956, 102, 1464-1473
23. R.H. FOWLER and L. NORDHEIM: Proc. Roy. Soc. Ser A, 1928, 119,173-181
24. R. FORBES: Solid State Elec., 2001, 45, 779-808
25. C. WANG, A. GARCIA, D.C. INGRAM, M. LAKE, and M.E. KORDESCH: Electronic Letters, 1991, 27, 1459-1461
26. D. TEMPLE: Mater. Sei. & Eng., 1999, R24, 185-239
27. B.C. DJUBUA and N.N. CHUBUN: IEEE Trans. Elec. Dev., 1991, 38, 2314-2316
28. W.D. GOODHUE, P.M. NITISHIN, C.T. HARRIS, C.O. BOZLER, D.D. RATHMAN, G.D. JOHNSON, and M.A. HOLLIS: J. Vac. Sei. Technol. B,1994, 12, 693-696
29. P.I. BIRADAR and P.A. CHATTERTON: J. Phys. D, 1970, 3, 16531662
30. B.M. COX: J. Phys. D:, 1975, 8, 2065-2073
31. W.A. MACKIE, T. XIE, and P.R. DAVIS: J. Vac. Sei. Technol. B,1995, 13,2459-2463
32. V.V. ZHIRNOV, O.M. KUTTEL, O. GRONING, A.N. ALIMOVA, P.Y. DETKOV, P.I. BELOBROV, E. MAILLARD-SCHALLER, and L.SCHLAPBACH: J. Vac. Sei. Technol. B, 1999, 17, 666-669
33. A.F. MYERS, S.M. CAMPHAUSEN, J.J. CUOMO, J.J. HREN, J. LIU, and J. BRULEY: J. Vac. Sei. Technol. B, 1996, 14, 2024-2029
34. T. SUGINO, S. KAWASAKI, K. TANIOKA, and J. SHIRAFUJI: Appl. Phys. Lett., 1997, 71, 2704-2706
35. E.C. BOSWELL, M. HUANG, G.D.W. SMITH, and P.R. WILSHAW: J. Vac. Sei. Technol. B, 14, 1996, 1895-1898
36. M.S. MOUSA, C.E. HOLLAND, I. BRODIE, and C.A. SPINDT: Appl. Surf. Sei., 1993, 67, 218-221
37. JESSING J.R., PARKER D.L., and WEICHOLD M.H.: J. Vac. Sei. Technol. B, 14, 1996, 1899-1901
38. A.N. ALIMOVA, N.N. CHUBUN, P.I. BELOBROV, P. YA DETKOV, V.V. ZHIRNOV: J. Vac. Sei. Technol. B, 17, 715-718
39. A.O. CHRISTENSEN: US Patent 4 663 559, 1985
40. R.V. LATHAM: Phys. Technol., 1978, 9, 20-25
41. A.E.D. HEYLEN, A.E. GUILE, and D.V. MORGAN: IEE Proc., 1984, 131, 111-117
42. K.H. BAYLISS and R.V. LATHAM: Proc. R. Soc. Lond. A, 1986, 403,285-311
43. N.S. XU and R.V. LATHAM: J. Phys. D: Appl. Phys., 1986,19, 477482
44. C.S. ATHWAL and R.V. LATHAM: Physica, 1981, 104C, 46-49
45. R.J. NOER, Ph. NIEDERMANN, N. SANKARRAMAN and O. FISCHER: J. Appl. Phys., 1986, 59, 3851-3860
46. M. JIMENEZ, R.J. NOER, G. JOUVE, C. ANTOINE, J. JODET, and B. BONIN: J. Phys. D: Appl. Phys., 1993, 26, 1503-1509
47. A.N. OBRAZTSOV, A.P. VOLKOV, and I.Y. PAVLOVSKII: JETP Letters, 1998, 68, 59-63
48. S. BAJIC and R.V. LATHAM: J. Phys. D: Appl. Phys., 1988,21, 200204
49. A.P. BURDEN, H.E. BISHOP, M. BRIERLEY, J.M. FRIDAY, C. HOOD, P.G.A. JONES, A.Y. KHAZOV, W. LEE, RJ. RIGGS, V.L. SHAW, W. TAYLOR, and R.A. TUCK: Solid State Electronics, 2001,45, 987-996
50. M.I. ELINSON and D.V. ZERNOV: Radio Eng. & Elec. Phys., 1957, 2, 112-126
51. J. ROBERTSON: Thin Solid Films, 1997, 296, 61-65
52. A.T. SOWERS, J.A. CHRISTMAN, M.D. BREMSER, B.L.WARD, R.F. DAVIS, and R.J. NEMANICH: Appl. Phys. Lett., 1997, 71, 2289-2291
53. S.R.P. SILVA, R.D. FORREST, J.M. SHANNON, and B.J. SEALY: J. Vac. Sci. Technol. B, 1999, 17, 596-600
54. J. ROBERTSON, Pure & Appl. Chem., 1994, 66, 1789-1796
55. S.R.P. SILVA, R.D. FORREST, D.A. MUNINDRADASA, and G.A.J. AMARATUNGA: Diamond and Rel. Mater., 1998, 7, 645-650
56. B.S. SATYANARAYANA, A. HART, W.I. MILNE, and J. ROBERTSON: Appl. Phys. Lett., 1997, 71, 1430-1432
57. G.A.J. AMARATUNGA, M. BAXENDALE, N. RUPESINGHE, I. ALEXANDROU, M. CHHOWALLA, T. BUTLER, A. MUNINDRADASA, C.J. KILEY, L. ZHANG, and T. SAKAI: New Diam. Front. Carbon Tech., 1999, 9, 3151
58. I. ALEXANDROU, M. BAXENDALE, N.L. RUPESINGHE, G.A.J. AMARATUNGA, and C.J. KIELY: J. Vac. Sci. Technol. B, 2000, 18, 2698-2703
59. R.L. FINK, Z.L. TOLT, L.H. THEUSEN, Z. YANIV, K. KASANO, and K. TATSUDA: Proc. Int. Displays Workshop, 1999, FED 1-5, 911-912
60. M. WERNER and R. LOCHER: Rep. Prog. Phys., 1998, 61, 16651710
61. M.W. GEIS, J.C. TWICHELL, N.N. EFREMOW, K. KROHN, and T.M. LYSZCZARZ: Appl. Phys. Lett., 1996, 68, 2294-2296
62. K. OKANO, S. KOIZUMI, S.R.P. SILVA, and G.A.J. AMARATUNGA: Nature, 1996, 381, 140-141
63. J.E. JASKIE: MRS Bulletin, 1996, June, 59-64
64. V.V. ZHIRNOV and J J. HREN: MRS Bulletin, 1998, Sep., 42-47
65. M.W. GEIS, J.C. TWICHELL, and T.M. LYSZCZARZ: J. Vac. Sei. Technol. B, 1996, 14, 2060-2067
66. P.W. MAY, S. HOHN, W.N. WANG, and N.A. FOX: Appl. Phys. Lett., 1998,72,2182-2184
67. N.S. XU, Y. TZENG, and R.V. LATHAM: J. Phys. D: Appl. Phys., 1993, 26, 1776-1780
68. M.W. GEIS, J.C. TWICHELL, J. MACAULAY and K. OKANO: Appl. Phys. Lett., 1995, 67, 1328-1330
69. A.S. KUPRYASHKIN, V.A. SELIVERSTOV, A.G. SHAKHOVSKOY, and E.P. SHESHIN: Proc. 4th Int. Vac. Micro. Conf., 1991, 124
70. A.Y. TCHEREPANOV, A.G. CHAKHOVSKOI, and V.B. SHAROV: J. Vac. Sei. Technol. B 1995, 13, 482-486
71. T. ASANO, E. SHIBATA, D. SASAGURI, K., MAKIHIRA, and K. HIGA: Jpn. J. Appl. Phys., 1997, 36, L818-L820
72. I. MUSA, D.A.I. MUNINDRASDASA, G.A.J. AMARATUNGA, and W. ECCLESTON: Nature, 1998, 395, 362-365
73. Z. SUN, S.M. HUANG, Y.F. LU, J.S. CHEN, Y.J. LI, B.K. TAY, S.P. LAU, G.Y. CHEN, and Y. SUN: Appl. Phys. Lett., 2001, 78, 2009-2011
74. F.S. Baker, A.R. Osborn, J. Williams, Field emission from carbon fibers: A new electron source. // Nature, 1972, vol. 239, p. 96
75. M. ENDO: Chemtech, 1988, Sep, 568-576
76. F.S. BAKER, A.R. OSBORN, and J. WILLIAMS: Nature, 1972, 239, 96-97
77. E. BRAUN, J.F. SMITH, and D.E. SYKES: Vaccum, 1975, 25, 425426
78. R.V. LATHAM and D.A. WILSON: J. Phys. D: Appl. Phys., 1981, 14,2139-2145
79. R.V. LATHAM and D.A. WILSON: J. Phys. D: Appl. Phys., 1983, 16, 455-463
80. B.V. BONDARENKO, V.A. SELIVERSTOV, A.G. SHAKHOVSKOY, and E.P. SHESHIN: Soviet J. Comm. Technol. Electron., 1987, 32, 91-94
81. V.A. KSENOFONTOV, A.S. KUPRYASHKIN, A.G. SHAKHOVSKOI, and E.P. SHESHIN: Sov. Phys. Tech. Phys., 1991, 36, 687-689
82. A.G. CHAKHOVSKOI, E.P. SHESHIN, A.S. KUPRYASHKIN, and V.A. SELIVERSTOV: J. Vac. Sei. Technol. B., 1993, 11, 511-513
83. E.P. SHESHIN: Ultramicroscopy, 1999, 79, 101-108
84. N.M. RODRIGUEZ: J. Mater. Res., 1993, 8, 3233-3250
85. K.C. WALTER, H.H. KUNG, and C.J. MAGGIORE: Appl. Phys. Lett, 1997, 71, 1320-1322
86. A.G. RINZLER, J.H. HAFNER, P. NIKOLAEV, L. LOU, S.G. KIM, D. TOMANEK, P. NORDLANDER, D.T. COLBERT, and R.E. SMALLEY: Science, 1995, 269, 1550-1553
87. W.A. DE HEER, A. CHATELAIN, and D. UGARTE: Science, 1995, 270, 1179-1180
88. Y. SAITO, K. HAMAGUCHI, S. UEMURA, K. UCHIDA, Y. TASAKA, F. IKAZAKI, M. YUMURA, A. KASUYA, and Y. NISHINA: Appl. Phys. A, 1998, 67, 95-100
89. O. GRONING, O.M. KUTTEL, C. EMMENEGGER, P. GRONING, and L. SCHLAPBACH: J. Vac. Sei. Technol. B., 2000, 18, 665-678
90. Y. CHEN, S. PATEL, Y. YE, D.T. SHAW, and L. GUO: Appl. Phys. Lett.
91. O.M. KUTTEL, O. GRONING, C. EMMENEGGER, and L. SCHLAPBACH: Appl. Phys. Lett, 1998, 73, 2113-2115
92. A.M. RAO, D. JACQUES, R.C. HADDON, W. ZHU, C. BOWER and S. JIN: Appl. Phys. Lett., 2000, 76, 3813-3815
93. S. FAN, M.G. CHAPLINE, N.R. FRANKLIN, T.W. TOMBLER, A.M. CASSELL, andH. DAI: Science, 1999, 283, 512-514
94. J. LI, C. PAPADOPOULOS, J.M. XU, and M. MOSKOVITS: Appl. Phys. Lett., 1999, 75, 367-369
95. Z.F. REN, Z.P. HUANG, D.Z. WANG, J.G. WEN, J.W. XU, J.H. WANG, L.E. CALVERT, J. CHEN, J.F. KLEMIC, and M.A. REED: Appl. Phys. Lett., 1999,75, 1086-1088
96. J. HAN, W.-S. YANG, J.-B. YOO, and C.-Y. PARK: J. Appl. Phys., 2000, 88, 7363-7365
97. H. MURAKAMI, M. HIRAKAWA, C. TANAKA, and H. YAMAKAWA: Appl. Phys. Lett., 2000, 76, 1776-1778
98. S.-H. JEONG, H.-Y. HWANG, K.-H. LEE, and Y. JEONG: Appl. Phys. Lett., 2001, 78, 2052-2054
99. W.B. CHOI, D.S. CHUNG, J.H. KANG, H.Y. KIM, Y.W. JIN, I.T. HAN, Y.H. LEE, J.E. JUNG, N.S. LEE, G.S. PARK, and J.M. KIM: Appl. Phys. Lett., 1999, 75,3129-3131
100. Q.H. WANG, A.A. SETLUR, J.M. LAUERHAAS, J.Y. DAI, E.W. SEELIG and R.P.H. CHANG: Appl. Phys. Lett., 1998, 72,2912-2913
101. Y. NAKAYAMA and S. AKITA: Synthetic Metals, 2001, 117, 207210
102. Y. CHEN, D.T. SHAW, and L. GUO: Appl. Phys. Lett., 2000, 76, 2469-2471
103. P.G. COLLINS, K. BRADLEY. M. ISHIGAMI, and A. ZETTL: Science, 2000, 287, 1801-1804
104. K.A. DEAN and B.R. CHALAMALA: J. Appl. Phys., 1999, 85, 38323836
105. K.A. DEAN, P. VON ALLMEN, and B.R. CHALAMALA: J. Vac. Sci. Technol. B, 1999, 17, 1959-1969
106. K.A. DEAN and B.R. CHALAMALA: Appl. Phys. Lett., 2000, 76, 375-377
107. L.A. CHERNOZATONSKII, Y.V. GULYAEV, Z J. KOSAKOVSKAJA, N.I. SINITSYN, G.V. TORGASHOV, Y.F. ZAKHARCHENKO, E.A. FEDOROV and V.P. VAL'CHUK: Chem. Phys. Lett., 1995, 233, 63-68
108. B.F. COLL, J.E. JASKIE, J.L. MARKHAM, E.P. MENU, A.A. TALIN, and P.VON ALLMEN: MRS Symp. Proc., 1998, 498, 185-196
109. F.C.K. AU, K.W. WONG, Y.H. TANG, Y.F. ZHANG, I. BELLO, and S.T. LEE: Appl. Phys. Lett., 1999, 75, 1700-1702
110. J.D. CAREY and S.R.P. SILVA: Appl. Phys. Lett., 2001, 78, 347-349
111. L.S. PAM, T.E. FELTER, A. TALIN, D. OHLBERG, C. FOX, and S. HAN: US Patent 5,857,882 (filed 1996)
112. J.A. CASTELLANO: 'Handbook of display technology', 1st edn, 294; 1992, San Diego, Academic Press
113. H.K. PULKER: 'Coatings on glass', 2nd edn, 174-317; 1999, Amsterdam, Elsevier
114. S. ONOZUMI and K. NAITO: Proc. Int. Displays Workshop, 1998, 495-498
115. C. PY and R. BAPTIST: J. Vac. Sci. Technol. B, 1994, 12, 685-688
116. R.H. TAYLOR and J.D. LEVINE: US Patent 5,552,751
117. R.S. NOWICKI, H.H. BUSTA, J.E. POGEMILLER, A.R. FOROUHI, I. BLOOMER, W.M. CLIFT, J.L. YIO, and T. FELTER: SID 96 Digest, 1996, P-16, 456-458
118. A.F. JANKOWSKI and A.P. SCHMID: US Patent 6,154,119
119. J.C. HUANG: US Patent 5,578,896
120. J.B. CUI, J. ROBERTSON, and W.I. MILNE: J. Appl. Phys., 2001, 89, 3490-3493
121. T. HIRANO, S. KANEMARU, H. TANOUE, and J. ITOH: Jpn. J. Appl. Phys., 1995, 34, 6907-6911
122. C.-C. LEE, Y.-Y. CHANG, J.-R. SHEU, J.-C. HO, J.-H. LIAO, H.-C. CHENG, M.-C. HSIAO, C.-X. HAN, S.-M HUANG, and W.-C. WANG: SID 01 Digest, 2001,20.4,316-319
123. A.F. BERNHARDT, R.J. CONTOLINI, A.F. JANKOWSKI, V. LIBERMAN, J.D. MORSE, R.G. MUSKET, R. BARTON, J. MACAULAY, and
124. C. SPINDT: J. Vac. Sei. Technol. B, 2000, 18, 1212-1215
125. W.B. CHOI, Y.W. JIN, H.Y. KIM, S.J. LEE, M.J. YUN, J.H. KANG, Y.S. CHOI, N.S. PARK, N.S. LEE, and J.M. KIM: Appl. Phys. Lett., 2001, 78, 1547-1549
126. J.M. KIM, N.S. LEE, D.S. CHUNG, S.H. PARK, Y.W. JIN, J.H. KANG, Y.S. CHOI, H.Y. KIM, M.J. YUN, N.S. PARK, I.T. HAN, J.W. KIM, J.E. JUNG, J.H. YOU, C.G. LEE, S.H. JO, K.S. CHOI, E.J. CHI, S.J. LEE, AND H.G. PARK: SID 01 Digest, 2001, 20.1, 304-307
127. D.C. CHANG, A.J. LEARN, B.L. MACKEY, P.M. DRUMM, and
128. D.L. MORRIS: US Patent 6,176,754
129. B.R. JOHNSON, A.I. AIKINWANDE, and D. MURPHEY: J. Vac. Sei. Technol. B, 1997, 15, 535-538
130. H.P. KUO, S.F. BURRIESCI, J. LIN, and D.J. MILLER: J. Vac. Sei. Technol. B, 1997,15, 2782-2785
131. A. KASTALSKY, S. SHOKHOR, J. HOU, S. NAAR, N. ABANSHIN, and B. GORFINKEL: SID 01 Digest, 2001,14.4L, 201-203
132. M. SAGAWA, T. KUSUNOKI, M. SUZUKI, and K. TSUJI: SID 01 Digest, 2001, 14.2, 193-195
133. T. KOMODA, X. SHENG, and N. KOSHIDA: J. Vac. Sei. Technol. B, 1999,17, 1076-1079
134. K. SAKAI, I. NOMURA, E. YAMAGUCHI, M. YAMANOBE, S. IKEDA, T. HARA, K. HATANAKA, Y. OSADA, H. YAMAMOTO and T. NAKAGIRI: Proc. Euro Display, 1996,18.3L, 569-572
135. C.J. SPINDT, D.L. MORRIS, T.S. FAHLEN, A.P. SCHMID, and P.A. LOVOI: US Patent 5,746,635
136. К. TAMAI, N. ISHIMARU, Y. HIRAI, and T. KAMIHORI: Proc. Asia Display, 1998, 203-206
137. S.J. KWON, K.J. HONG, J.D. LEE, C.W. OH, J.S.YOO, and Y.B. KWON: J. Vac. Sci. Technol. B, 2000, 18,1227-1231
138. T.S. FAHLEN, R.M. DUBOC, and P.A. LOVOI: US Patent 5,667,418
139. D.-J. LEE, N.-Y. LEE, S.-J. JUNG, K.-S. KIM, Y.-H. LEE, J. JANG and B.-K. JU: J. Electrochem. Soc., 2000, 147, 2385-2388
140. J.-H. HAN, M.-G. KWAK, Y.-K. PARK, S.-C. LIM, I.-K. LEE, K.-I. CHO, and H.-J. YOO: J. Vacuum Sci. & Technol. B, 1998, 16,1236-1238
141. M. AMIOTTI and S. TOMINETTI: Vacuum Solutions, 1999, July/Aug, 25-28
142. Y. WEI, B.R. CHALAMALA, B.G. SMITH, and C.W. PENN: J. Vac. Sci. Technol. B, 1999, 17, 233-236
143. Y.-S. FRAN and T.-Y. TSENG: Mater. Chem. and Phys., 1999, 61, 166-168142. US Patent 7,129,626143. US Patent 5,818,166144. US Patent 6,023,126145. US Patent 7,088,049146. US Patent 7,067,971
144. Chung D.D.L., II J. Mater. Sci., 1987 Г89), vol. 22, p. 4190 4198\
145. Mathuz R. S., Bahl D. P., Nagpal K. S., // in 4th Baden-Baden Carbon Conferens, Ext. Abstr. Program, 1986, p. 499 501
146. Фиалков А. С., Малей JI. С., Некоторые аспекты технологии изготовления расширенного графита // в сб. Электроугольные и металлокерамические изделия для электротехники, М., Энерго'атомиздат, 1985, с. 65—72 (Научные труды ВНИИЭИ)
147. A. F. Bobkov, Е. V. Davidov, S. V. Zaitsev, А. V. Karpov,
148. Townsend J.S. The potentials required to maintain current between coaxial cylinders. Phil. Mag., v. 28, 1914, p. 83-87
149. Jones J.E., Davies M., Goldman A., Goldman M. A simple analytic alternative to Warburg's law. J. Phys. D: Appl. Phys., v. 23, 1990, p. 542-552
150. Шерстнёв П.В., Юшманов Б.А., Чёсов Р.Г. Исследование автоэмиссионного катода из терморасширенного графита// Тезисы докладов XLIV конференции МФТИ, 2001, часть V, стр. 6
151. Гуреев Д.М., Кузнецов С.И., Петров A.JI. Лазерный раскрой углеродных композиционных материалов// Известия Самарского научного центра Российской академии наук. 1999 . №2. С.255-264
152. Кузнецов С.И., Петров А.Л. Применение лазерного излучения для модификации поверхности и раскроя углеродных композиционных материалов и углеродных тканей// Известия Самарского научного центра Российской академии наук. 2003 . Т5, №1. С.46-54
153. Батурин А.С., Купряшкин А.С., Никольский К.Н., Чесов Р.Г. и др. «Эффект кольца» при интенсивной автоэлектронной эмиссии // Нано- и микросистемная техника. 2003. №7. стр. 8-10
Обратите внимание, представленные выше научные тексты размещены для ознакомления и получены посредством распознавания оригинальных текстов диссертаций (OCR). В связи с чем, в них могут содержаться ошибки, связанные с несовершенством алгоритмов распознавания. В PDF файлах диссертаций и авторефератов, которые мы доставляем, подобных ошибок нет.