Рассеяние металлических ионов поверхностью твердых тел в области низких энергий тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.04, кандидат физико-математических наук Костина, Наталья Владимировна

• Костина, Наталья Владимировна
• кандидат физико-математических наук
• 2003

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Костина, Наталья Владимировна

Введение.

Глава 1. Модели и методы теоретического изучения рассеяния ионов поверхностью твердых тел.

Глава 2. Модель рассеяния ионов поверхностью кристаллов методом молекулярной динамики.

2.1 Физические основы создания модели.

2.2 Информационная структура программной модели.

Глава 3. Рассеяние щелочных ионов низких энергий поверхностными гранями монокристаллов тугоплавких металлов.

3.1 Рассеяние ионов Cs+ монокристаллами W и Мо.

3.2 Сравнение результатов моделирования рассеяния

Cs+—> W для двух потенциалов взаимодействия.

Выводы.

Глава 4. Рассеяние металлических ионов кристаллическими поверхностями собственных металлов (Ме+-> Me).

4.1 Рассеяние Ме+—> Me с ОЦК - решеткой.

4.2 Рассеяние Ме+—> Me с ГЦК - решеткой.

4.3 Сравнительное изучение рассеяния металлических ионов низких энергий с большим и малым атомными номерами поверхностью.

4.4 О методе анализа наноразмерных металлических пленок.

Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Рассеяние металлических ионов поверхностью твердых тел в области низких энергий»

В последние 20-30 лет особенно возрос интерес к исследованиям явлений и процессов, происходящих при взаимодействии атомных частиц с поверхностью твердого тела [1-4]. Актуальность таких исследований обусловлена развитием и внедрением в практику новых прогрессивных технологий, использующих методы ионного и ионно-плазменного напыления, ионной имплантации и молекулярной эпитаксии [5,6]. Необходимость изучения поверхностных явлений связана с проблемой «первой стенки» в управляемых термоядерных реакторах и ионных двигателях, а также с получением новых материалов с заданными свойствами [7,8], что требует применения эффективных методов контроля и, в частности, методов, основанных на диагностике поверхности ионными пучками [9-11]. Помимо уникальных физических экспериментов, проводимых учеными с целью изучения явлений, наблюдаемых на поверхности твердого тела при ионной бомбардировке, используются численные методы, приобретающие все более широкое распространение в связи с совершенствованием компьютерной техники [12,13].

Одним из наблюдаемых явлений является рассеяние атомных частиц поверхностью твердых тел. Наиболее полно изученными являются область сверхнизких или тепловых энергий (Ео=10"1-10° эВ), где отражение налетающих частиц от поверхности рассматривается как «от стенки» и учитывается эффект аккомодации, и область средних энергий (Ео=103-105 эВ), где отражение объясняется в рамках известной бинарной модели, в которой рассеяние интерпретируют как акт упругих столкновений бомбардирующего иона с отдельными несвязанными между собой атомами кристаллической решетки.

Менее изученной оказалась область энергий бомбардирующих частиц Е0, лежащих в диапазоне десятков и сотен эВ. Для этой области не существует однозначного подхода к механизму рассеяния ионов поверхностью. Одни исследователи стоят на позиции бинарных столкновений иона с атомами мишени [14,15], другие - на позиции многочастичных (групповых) взаимодействий [16,17].

В связи с этим цель настоящей диссертационной работы состоит в

1) установлении механизма взаимодействия ионов с поверхностью твердого тела в области низких энергий бомбардировки и определении границ его применимости;

2) создании методических основ анализа поверхности твердых тел и пленочных структур ионными пучками низкой энергии.

Для достижения поставленной цели были решены следующие задачи:

1. Развит метод численного моделирования рассеяния ионов упорядоченными структурами на основе молекулярной динамики с использованием дальнодействующих потенциалов взаимодействия.

2. Проведено компьютерное моделирование рассеяния щелочных ионов низких энергий поверхностными гранями монокристаллов тугоплавких металлов с применением дальнодействующего потенциала взаимодействия Циглера-Бирзака-Литтмарка. Изучены дифференциальные энергетические и угловые распределения ионов Cs+, рассеянных монокристаллами W и Мо.

3. Проведено компьютерное моделирование рассеяния металлических ионов кристаллическими поверхностями тех же металлов (Ме+-»Ме) в области низких энергий бомбардирующих частиц (Ео=40-г 500 эВ). Изучены дифференциальные энергетические распределения, угловые распределения интенсивности и угловые распределения по энергиям и интенсивности металлических ионов, рассеянных теми же металлами с ОЦК- и ГЦК-решеткой, а также проведено сравнительное изучение рассеяния одно- и двухзарядных ионов ванадия на ванадиевой мишени.

4. Изучена зависимость энергии рассеянных ионов от величины постоянной решетки и рассмотрен вопрос о возможности использования полученных результатов в прикладных аспектах.

Научная новизна

1. Впервые методом молекулярной динамики в процессе численного моделирования рассеяния ионов металлов поверхностью твердого тела (Ме+—>Ме) в области низких энергий бомбардирующих частиц (Ео=40-ь 500 эВ) выявлены факты, устанавливающие многочастичный характер взаимодействия тяжелых ионов с поверхностными атомами твердых тел: а) одновременное взаимодействие налетающего иона с несколькими атомами бомбардируемой мишени; б) увеличение доли энергии, сохраняемой рассеянным ионом, и рост числа атомов, участвующих во взаимодействии, с уменьшением энергии бомбардировки; в) отсутствие рассеяния «вперед», т.е. отсутствие проникновения ионов вглубь мишени; г) рассеяние в ограниченном интервале углов рассеяния щ д) эффект «зеркального отражения» ионов от поверхности мишени.

2. На основе полученных результатов моделирования выявлена сущность эффекта «зеркального отражения», заключающаяся в том, что при равенстве углов скольжения и вылета отражается от поверхности наибольшее количество ионов с наибольшей энергией. Этот эффект аналогичен отражению молекул с тепловыми энергиями от стенки при абсолютно упругом ударе и служит реальным подтверждением механизма многочастичного взаимодействия. Определены границы применимости механизма многочастичного взаимодействия по факту перехода рассеяния от зеркального к изотропному при скоростях налетающих частиц v0> 16800 м/с.

3. На основе результатов компьютерного эксперимента установлено, что малое изменение расстояния между поверхностными атомами мишени ведет к существенному изменению доли сохраняемой рассеянными ионами энергии и формы энергетических спектров. С использованием выявленной зависимости разработаны методические основы определения межатомных расстояний на толщинах в единицы атомных слоев в диапазоне энергий бомбардировки Ео=40-г-500 эВ.

Достоверность полученных результатов базируется на согласии рассчитанных на ЭВМ характеристик рассеяния и экспериментальных данных [16,18], а также результатов других исследований, где возможно проведение таких сравнений [19,20].

Научная и практическая значимость

1) Установленные закономерности рассеяния служат основой для понимания других процессов взаимодействия ионов с поверхностью. В частности, учет многочастичных эффектов существенно изменит интегральные характеристики распыления твердого тела ионной бомбардировкой вне зависимости от начальной энергии бомбардирующих частиц при описании процессов, предшествующих их остановке (Ео<100 эВ).

2) Полученные результаты служат основой для создания совершенно новых методов исследования поверхностей. Например, низкоэнергетическое рассеяние тяжелых ионов можно использовать как метод контроля плотности пленок нанометровой толщины и определения кристаллической структуры пленки в производстве пленочных изделий в микроэлектронике.

На защиту выносятся следующие положения:

1. Гипотеза о механизме многочастичного взаимодействия тяжелых низкоэнергетических ионов, имеющих кинетические энергии в области десятков и сотен эВ, с поверхностью твердого тела подтверждена результатами компьютерного моделирования процесса рассеяния ионов металлов упорядоченными структурами, согласующимися с экспериментальными данными и полученными на основе метода молекулярной динамики с использованием дальнодействующего потенциала взаимодействия Циглера-Бирзака-Литтмарка.

2. Границы применимости механизма группового взаимодействия определяются по факту перехода рассеяния от зеркального к изотропному при скоростях бомбардирующих частиц, превышающих 16800 м/с.

3. Новый способ определения межатомных расстояний пленочных структур на толщинах в единицы атомных слоев в диапазоне энергий бомбардировки от нескольких десятков до сотен эВ по виду энергетических спектров и значениям энергии рассеянных частиц в максимуме их энергетических распределений разработан на основе выявленной в процессе компьютерного эксперимента зависимости энергии отраженных ионов от постоянной решетки, заключающейся в том, что малое изменение расстояния между поверхностными атомами приводит к существенному изменению доли сохраняемой рассеянными ионами энергии и формы энергетических спектров.

Апробация работы: основные результаты данной работы докладывались на симпозиуме по эмиссионной электронике: термоэлектронная, вторично-электронная, фотоэлектронная эмиссии и спектроскопия поверхности твердого тела (Рязань, 1996), на межотраслевом семинаре «Взаимодействие плазмы с поверхностью» (Москва, 1999), на XIV международной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью ВИП-1999» (Звенигород, 1999), на международной конференции молодых ученых и студентов «Актуальные проблемы современной науки» (Самара, 2000), на IX международном семинаре «Диагностика поверхности ионными пучками» (Запорожье, Украина, 2000), на II международной конференции «Фундаментальные проблемы физики» (Саратов, 2000), на 7й Всероссийской конференции студентов-физиков и молодых ученых (Екатеринбург - Санкт-Петербург, 2001), на XV международной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью ВИП-2001» (Звенигород, 2001).

Публикации: по теме диссертации опубликовано 4 научные статьи, 8 тезисов и кратких содержаний докладов в сборниках материалов международных конференций, семинаров и симпозиумов.

Объем и структура диссертационной работы: диссертация состоит из введения, 4-х глав, заключения, списка литературы и одного приложения. Работа содержит 140 страниц машинописного текста, 40 рисунков и одну таблицу. Список литературы включает 104 наименования.

Заключение диссертации по теме «Физическая электроника», Костина, Наталья Владимировна

Выводы

1. Впервые полученные результаты компьютерного моделирования рассеяния Ме+-»Ме в области энергий бомбардировки Eo=40-s-500 эВ подтверждают многочастичный характер взаимодействия тяжелых ионов низкой энергии с поверхностью твердых тел: а) одновременное взаимодействие налетающего иона с несколькими атомами бомбардируемой мишени; б) увеличение доли сохраняемой рассеянным ионом энергии с ростом числа атомов, участвующих во взаимодействии (это имеет место с уменьшением энергии бомбардировки); в) сохранение отраженными ионами энергии, значительно превышающей величину, определяемую классической формулой для упругих парных соударений, и отсутствие в их составе низкоэнергетической группы; г) эффект «зеркального отражения» ионов от поверхности мишени.

2. Анализ результатов численного моделирования рассеяния Ме+—»Ме показал, что основополагающую роль в определении механизма взаимодействия низкоэнергетических ионов с упорядоченными структурами играет скорость бомбардирующих частиц. Уменьшение скорости иона, а значит, увеличение времени взаимодействия его с ближайшими атомами поверхности приводит к вовлечению в данный процесс все большего числа атомов кристаллической решетки через их связи. Поэтому область энергий в несколько десятков и сотен эВ является для частиц с высоким атомным номером областью многочастичных взаимодействий.

3. Реальным подтверждением механизма группового взаимодействия тяжелых ионов низкой энергии с бомбардируемой мишенью является обнаруженный эффект зеркального отражения, впервые достаточно полно исследованный в настоящей работе. Изучение указанного эффекта показывает, что многочастичные взаимодействия — это сугубо поверхностное явление, вероятность которого определяется скоростью налетающих ионов. Эффект зеркального отражения ионов с высоким атомным номером сохраняется при больших значениях энергии бомбардировки Е0, чем для ионов с малым атомным номером (или отсутствует в случае отражения легких ионов, сигнализируя об ином, т.е. парном, механизме взаимодействия).

4. Сравнение результатов моделирования рассеяния одно- и двухзарядных ионов ванадия ванадиевой мишенью позволяет говорить о влиянии зарядового состояния бомбардирующего иона на проявление эффекта группового взаимодействия. В случае Vй—»V данный эффект проявляется ярче - доля энергии Е/Е0, сохраняемая рассеянным двукратно заряженным ионом V** выше, чем у однократно заряженного иона V* при прочих равных условиях.

5. Результаты компьютерного эксперимента показывают, что малое изменение расстояния между поверхностными атомами мишени ведет к существенному изменению доли сохраняемой рассеянными ионами энергии и формы энергетических спектров. С использованием выявленной зависимости энергии рассеянных ионов от постоянной решетки созданы методические основы определения межатомных расстояний на толщинах в единицы атомных слоев в диапазоне энергий бомбардировки от нескольких десятков до сотен эВ. Таким образом, метод анализа поверхности твердых тел и структуры тонких пленок, основанный на явлении обратного рассеяния ионов низкой энергии, должен быть чувствительным и потому достаточно эффективным (при полном отсутствии разрушения поверхности исследуемого вещества под действием ионной бомбардировки).

96

Заключение

На основе метода молекулярной динамики с использованием дальнодействующего потенциала Циглера-Бирзака-Литтмарка разработана модель рассеяния металлических ионов низкой энергии поверхностью твердого тела, позволяющая выяснить механизм взаимодействия ионов с поверхностью твердого тела в области низких энергий бомбардировки, определить границы его применимости, оценить возможность использования низкоэнергетического рассеяния в качестве эффективного метода исследования физических свойств поверхности твердых тел. Полученные дифференциальные характеристики рассеяния хорошо согласуются с экспериментальными данными и данными численных расчетов других исследователей (там, где они имеются).

Изучены энергетические и угловые распределения ионов ряда элементов, рассеянных упорядоченными металлическими структурами в области энергий бомбардировки Ео=40 ч- 500 эВ. Установлены факты, однозначно доказывающие многочастичный характер взаимодействия тяжелых ионов с поверхностными атомами твердых тел. Впервые достаточно полно исследован эффект зеркального отражения бомбардирующих ионов поверхностью, который является прямым доказательством механизма многочастичного взаимодействия. Установлено, что указанный механизм начинает работать при скоростях налетающих ионов v<2*104 мс"1. При таких скоростях время взаимодействия иона и поверхностных атомов мишени таково, что отталкивающее действие ион испытывает не только от ближайших в момент столкновения атомов решетки, но и через межатомную связь от более удаленных атомов.

Полученные результаты открывают возможности их практического использования при изучении структуры и физических свойств поверхности твердых тел и наноразмерных металлических пленок.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Костина, Наталья Владимировна, 2003 год

1. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой/Под ред. Р. Бериша.-М.:Мир, 1984.-336 с.

2. Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел: Сб. статей; Под ред. Е.С. Машковой.-М.:Мир, 1989.-346 с.

3. Каминский М. Атомные и ионные столкновения на поверхности металла.-М.:Мир, 1967.-506 с.

4. Арифов У.А. Взаимодействие атомных частиц с поверхностью твердого тела.-М.:Наука, 1968.-370 с.

5. Вавилов B.C. Некоторые физические аспекты ионной имплантации//УФН.-1985.-т. 145, № 2.-е. 329-346.

6. Пранявичюс Л. Модификация свойств твердых тел ионными пучками/Л. Пранявичюс, Ю. Дубонис.-Вильнюс:Мокслас, 1980.

7. Исследование и разработка материалов для реакторов термоядерного синтеза/Под ред. В.Н. Агеева,-М.:Наука, 1981.

8. Готт Ю.В. Взаимодействие частиц с веществом в плазменных исследованиях.-М.:Атомиздат, 1978.-271 с.

9. Аброян И.А. Диагностика поверхности с помощью ионных пучков/И.А. Аброян, Н.Н. Петров.-Л.:ЛГУ, 1977.-160 с.

10. Методы анализа поверхности/Под ред. А. Зандерны.-М.:Мир, 1979.-582 с.

11. И. Машкова Е.С. Применение рассеяния ионов для анализа твердых тел/Е.С. Машкова, В.А. Молчанов.-М.:Энергоатомиздат, 1995.175 с.

12. Хеерман Д. Методы компьютерного эксперимента в теоретической физике.-М.:Наука, 1990.-175 с.

13. Экштайн В. Компьютерное моделирование взаимодействия частиц с поверхностью твердого тела.-М.:Мир, 1995.-319 с.

14. Парилис Э.С. Теория рассеяния атомов средних энергий поверхностью твердого тела/Э.С. Парилис, Н.Ю. Тураев, Ф.Ф. Умаров, СЛ. Нижная.-Ташкент:ФАН, 1987.-212 с.

15. Арифов У.А. Угловые закономерности взаимодействия атомных частиц с твердым телом/У .А. Арифов, А. А. Алиев.-Ташкент:ФАН, 1974.286 с.

16. Векслер В.И. Групповые и последовательные парные столкновения при рассеянии ионов Cs+ монокристаллом вольфрама/В.И. Векслер, В.В. Евстифеев//ЖЭТФ.-1973.-Т. 64, № 2.-С.568-575.

17. Векслер В.И. Вторичная эмиссия атомных частиц при бомбардировке металлов положительными ионами малых и средних энергий.-Ташкент:ФАН, 1970.-243 с.

18. Евстифеев В.В. Рассеяние тяжелых ионов низкой энергии поверхностью металлов: Дисс.доктора, ф.-м. наук: 01.04.07.-Защищена 22.06.94;Утв.11.11.94.-Москва, 1994.-342 с.

19. Евстифеев В.В. О влиянии вида потенциала на энергию рассеянных ионов/В .В. Евстифеев, И.В. Иванов, Н.М. Крылов, Л.Б. Кудряшова, А.С. Мосунов//ЖТФ.-1993.-Т. 63.-Вып. 11.-е. 35-41.

20. Евстифеев В.В. Компьютерное моделирование влияния ориентации монокристалла Мо на рассеяние низкоэнергетических ионов Cs+/B.B. Евстифеев, И.В. Иванов//ЖТФ.-1991.-Т. 61.-Вып. 12.-С.132-135.

21. Лейман К. Взаимодействие излучения с твердым телом и образование элементарных дефектов.-М.:Атомиздат, 1979.-286 с.

22. Бусленко Н.П. Метод статистических испытаний (метод Монте-Карло)/Н.П. Бусленко, Д.И. Голенко, И.М. Соболь и др.//М.:ГИФМЛ, 1962.

23. Ермаков С.М. Курс статистического моделирования/С.М. Ермаков, Г.А. Михайлов.-М.:Наука, 1976.-319 с.

24. Аккерман А.Ф. Система моделей для решения методом Монте-Карло задач прохождения ионов различных энергий через вещество//Материалы VIII Всесоюзной конференции «Взаимодействие атомных частиц с твердым телом».- Москва, 1987.-ч.2.-с. 6-7.

25. Юрасова В.Е. Анизотропия отражения ионов аргона от монокристалла меди/В.Е Юрасова, В. А. Бржезинский, Г.М. Иванов//ЖЭТФ.-1 964.-t.47, № 2(8).-с. 473-475.

26. Машкова Е.С. Структура энергетического спектра ионов, рассеянных монокристаллом/Е.С. Машкова, В.А. Молчанов, Э.С. Парилис, Н.Ю. Тураев//ДАНСССР.-1966.-№ 2.-е. 330-332.

27. Машкова Е.С. Анизотропия пространственного распределения ионов, рассеянных монокристаллом/Е.С. Машкова, В.А. Молчанов, Ю.Г. Скрипка //ДАНСССР.-1970.-т.190, № 1.-с. 73.76.

28. Аисса М. Анизотропия пространственного распределения ионов, рассеянных монокристаллом/М. Аисса, Е.С. Машкова, В.А. Молчанов, Ю.Г. Скрипка //ФТТ.-1970.-т.12, № 7.-е. 2070-2072.

29. Mashkova E.S. A mechanism of scattering by crystals/E.S. Mashkova, V.A. Molchanov, Yu.Q. Skxipka//Phys.Lett.-1970.-V.33A, № 6.-P. 373-374.

30. Арифов У.А. Влияние кристаллической структуры на угловое и энергетическое распределение ионов, рассеянных монокристаллом/У .А. Арифов, А.А. Алиев//ДАНСССР.-1969.-Т. 189, № 4.-е. 756-759.

31. До донов А.И. Пространственное распределение распыленного вещества при бомбардировке поликристаллов ионами/А.И. Додонов, Е.А. Крылова, Е.С. Машкова и др.//Поверхность. Физика, химия, механика.-1988.-№ 7.-е. 18-23.

32. Карпузов Д.С. Угловое и энергетическое распределение ионов, отраженных от монокристалла меди/Д.С. Карпузов, В.А. Эльтеков, В.Е Юрасова//ФТТ.-1966.-т.8,№ 7.-е. 2173-2181.

33. Юрасова В.Е. Отражение ионов от монокристалла при наклонном падении/В.Е. Юрасова, Д.С. Карпузов//ФТТ.-1967.-т.9, № 9.-е. 2508-2513.

34. Pabst H.J. On glancing scattering of light ions from tungsten single crystal surfaces//Radiat. Effects.-1977.-Vol. 31.-P. 197-202.

35. Yamamura Y. Large-angle surface scattering of low-energy ions in the two-atom scattering/Y. Yamamura, W. Takeuchi//Radiat. Effects.-1984.-Vol. 82.-P. 73-80.

36. Нижная СЛ. Азимутальная анизотропия в рассеянии атомов полуканалами на поверхности монокристалла/С.Л. Нижная, Ф.Ф. Умаров//Тезисы докладов Всесоюзного совещания-семинара «Диагностика поверхности ионными пучками».-Ужгород, 1985.-е. 243-244.

37. Nomura A. Analysis of the interaction between low energy light ions and solid atoms by Monte-Carlo simulation/A. Nomura, S. Kiyono//Jap. J. Appl.Phys.-1977.-Vol. 16, № 12.-P. 2245-2251.

38. Аккерман А.Ф. многократное рассеяние протонов с энергией до 200 кэВ в тонких мишенях/А.Ф. Аккерман, С.А. Аккерман//Изв. АН Каз.ССР, сер. физ.-мат.-1977.-№ 2.-е. 31-39.

39. Стриженов Д.С. Исследование взаимодействия ионов с поверхностью поликристаллов методом статистических испытаний/Д.С. Стриженов, Ю.А. Рыжов, Б.М. Калмыков//Изв. АН СССР, сер. физ.-1971.-т.35, № 2.-е. 398-401.

40. Robinson М.Т. Computer simulation of atomic displacement cascades in solids in the binare collision approximation/M.T. Robinson, I.M. Torrens//Phys. Rev.B.-1974.-V. 9, № 12.-P. 5008-5024.

41. Билер Дж. Моделирование на ЭВМ дефектов кристаллической решетки//В кн. Машинное моделирование при исследовании материалов.-М.:Мир, 1974.-415 с.

42. Балашова JI.J1. Энергетические спектры ионов, рассеянных поликристаллами/Л.Л. Балашова, В.А. Молчанов, Т.С. Пугачева// Поверхность. Физика, химия, механика.-1983.-№ 4.-е. 45-51.

43. Эльтеков В.А. Моделирование распыления монокристалла в приближении бинарного взаимодействия/В .А. Эльтеков, В.Н. Самойлов//Материалы VI Всесоюзной конференции «Взаимодействие атомных частиц с твердым телом».-Минск, 1981.-е. 9-11.

44. Пугачева Т.С. Исследование с помощью ЭВМ процесса распыления//Вопросы взаимодействия атомных частиц с твердым телом.-Ташкент, 1977.-е. 3-11.

45. Волков С.С. Динамика парного упругого соударения ион-атом в приближении кулоновского экранированного потенциала взаимодействия/С.С. Волков, Т.Н. Исаева//Поверхность.-1992.-№ 6.-е. 8391.

46. Никифоров В.И. Моделирование распыления многокомпонентных твердых тел ионной бомбардировкой: аттестация программной системы ПЕРСТ. ХФТИ87-58/В.И. Никифоров, В.И. Павленко, Р.П. Слабостецкий, И.В. Хирнов.-М.:ЦНИИатоминформ, 1987.

47. Машкова Е.С. Рассеяние ионов средних энергий поверхностями твердых тел/Е.С. Машкова, В.А. Молчанов.-М.:Атомиздат, 1980.-256 с.

48. Курнаев В.А. Отражение легких ионов от поверхности твердого тела/В.А. Курнаев, Е.С. Машкова, В.А. Молчанов.-М.:Энергоатомиздат, 1985.-192 с.

49. Карпузов Д.С. Рассеяние ионов монокристаллом при малых энергиях (50-500 эВ)/Д.С. Карпузов, В.Е. Юрасова//Изв. АНСССР. Сер. физ.-1971.- Т.35,№ 2.-С. 393-397.

50. Tongston L.L. Experimental study of low energy ion scattering from solid surfaces/L.L. Tongston, C.B. Cooper//Surf.sci.-1975.-Vol.52.-P. 263-269.

51. Niehus H. Quantitative aspects of ion scattering spectroscopy(IIS)/H. Niehus, E. Buer//Surf. Sci.-1975.-V. 47.-P. 222-233.

52. Heiland W. Low-energy ion scattering: elastic and inelastic effects/W. Heiland, E. Taglauer//Nucl. Instr. and Meth.-1976.-V. 132.-P. 535545.

53. Hart R.G. Investigation of the binary model of scattering of 1 kev to 25 ev Ar+ ions from a Cu surface/R.G. Hart, C.B. Cooper//Surf. Sci.-1979.-V. 82.-P. L283-L287.

54. Волков C.C. Спектроскопия обратно рассеянных ионов низких энергий/С.С. Волков, А.Б. Толстогузов.-Москва, 1981.-79 с.-(Обзоры по ЭТ. Сер. 7. Технология и организация пр-ва и оборудование/ЦНИИ «Электроника»; вып. 15(820)).

55. Аристархова А.А. Анализ структуры поверхности 1пР(100) методами спектроскопии низкоэнергетического ионного рассеяния и атомов отдачи/А.А. Аристархова, С.С. Волков, В.В. Трухин, Г.Н. Шуппе//Письма в ЖТФ.-1989.-т.15.-вып.19.-с. 81-84.

56. Арифов. У.А. К вопросу о рассеянии медленных ионов с поверхности металлов/У .А. Арифов, А.Х. Аюханов, Д.Д. Груич//Изв. АНСССР. Сер. Физ.-1960.-Т.24, № 7.-С. 710-714.

57. Евстифеев В.В. Угловые зависимости вида энергетических спектров медленных ионов Cs+ при рассеянии их гранями монокристалла вольфрама: Дисс.канд. ф.-м. наук: 01.04.04.-Ташкент, 1974.-116 с.

58. Ландау Л.Д. Механика/Л.Д. Ландау, Е.М. Лившиц.-М.:Изд-во физ.-мат. литературы, 1958.-286 с.

59. Кивилис В.М. Модель отражения ионов от монокристалла/В.М. Кивилис, Э.С. Парилис, Н.Ю. Тураев//Докл. АНСССР.-1967.-Т.173, № 4.-С. 805-807.

60. Кивилис В.М. К «эффекту цепочки» при рассеянии ионов гранью монокристалла/В.М. Кивилис, Э.С. Парилис, Н.Ю. Тураев//ДАН СССР.-1970.-Т. 192, № 6.-С. 1259-1262.

61. Парилис Э.С. К теории отражения ионов от грани монокристалла/Э.С. Парилис, Н.Ю. Тураев, В.М. Кивилис//Радиотехника и электроника.-1970.-Т. 15.-С. 214-217.

62. Линдхард И. Влияние кристаллической решетки на движение быстрых заряженных частиц//УФН.-1969.-т.99, № 2.-е. 249-296.

63. Евдокимов И.Н. Об экспериментальной проверке модели цепочки при рассеянии ионов/И.Н. Евдокимов, Е.С. Машкова, В.А. Молчанов//ДАН СССР.-1969,-т. 186.-е. 549-552.

64. Петров Н.Н. Вторичная эмиссия под действием ионов цезия и калия с накаленного металла//ФТТ.-1960.-Т.2, № 5.-С. 949-958.

65. Gibson J.B. Dynamics of radiation damage/J.B. Gibson, A.N. Goland, M. Milgrum, G.H. Vineyard//Phys. Rev.-1961.-V.120, № 4.-P. 12291253.

66. Шелякин Л.Б. Расчет рассеяния ионов поликристаллом по модели блока атомов и бинарной модели/Л.Б. Шелякин, А.С. Мосунов,

67. B.Е. Юрасова//Поверхность. Физика, химия, механика.-1983.-№ 5.-е. 3742.

68. Мосунов А.С. Численное моделирование рассеяния ионов низких энергий поликристаллической поверхностью//Пр.-т, НИВЦ АН СССР, Пущино.-1983.- 38 с.

69. Евстифеев В.В. К расчету потенциала взаимодействия K+-»W/B.B. Евстифеев, И.В. Иванов//Письма в ЖТФ.-1992.- Т.18, вып.18.1. C. 69-74.

70. Кларк Т. Компьютерная химия.-М.:Мир, 1990.- 370 с.

71. Фудзинага С. Метод молекулярных орбиталей.-М.:Мир, 1983.450 с.

72. Слэтер Дж. Методы самосогласованного поля для молекул и твердых тел.-М.:Мир, 1978.- 450 с.

73. Гамбош П. Статистическая теория атома и ее применения.-М.:ИЛ, 1951.-398 с.

74. Фирсов О.Б. Вычисление потенциала взаимодействия атомов//ЖЭТФ.-1957.- Т.ЗЗ.-С. 696-699.

75. Gay W.L. Computer simulation of collisions between Cu atoms in Copper lattice/W.L. Gay, D.E. Harrison//Phys. Rev.-1964.-V.135, № 6A.-P. 1780-1790.

76. Ашкрофт H. Физика твердого тела/Н. Ашкрофт, Н. Мермин.-М.:Мир, 1970.-400 с.

77. Грогоно П. Программирование на языке Паскаль.-М.:Мир, 1982.-384 с.

78. Born М. Zur Giftentheorie der Ionenkristalle/M. Born, J.F. Mayer// Z. Phys.-1932.-Bd. 75.-H. 1,2.-S. 1-18.

79. Andersen H.H. On the determination interatomic potentials in metals by electron irradiation experiments/H.H. Andersen, P. Sigmund//Riso Reports.-1965.-Vol. 103.-P. 1-22.

80. Ziegler J.F. The Stopping and Range of Ions in Solid/J.F. Ziegler, J.P. Biersack, U. Littmark//The Stopping and Ranges of Ions in Matter; Ed. by J.F. Ziegler.-N.Y.:Pergamon Press, 1985.-V.1.-P. 321.

81. Evstifeev V.V. Computer simulation of Cs+ scattering from a W (100) surface/V.V. Evstifeev, I.V. Ivanov//Surface Science.-1989.-217.-L 373376.

82. Hulpke E. Surface rainbow scattering of alkali ions from metal surfaces/E. Hulpke, K. Mann//Surf. Sci.-1983.-V. 133.-P. 171.

83. Hoek P.J. Hyperthermal alkali-ion scattering from a metal surface: A theoretical study of the potential/PJ. Hoek, A.D. Tenner, A.W. Kleyn, E.J. Baerends//Phys. Rev.-1986.-V. B34, № 8.-P. 5030-5042.

84. Эмсли Дж. Элементы.-М.:Мир, 1993.-256 с.

85. Самойлов В.Н. Расчет распыления монокристалла никеля при магнитном фазовом переходе/В.Н. Самойлов, В.А. Эльтеков, В.Е. Юрасова//Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3, Физика. Астрономия.-1986.-Т.27, № 2.-е. 87-89.

86. Girifalco L.A. Application of the Morse Potential function to cubic metals/L.A. Girifalco, V.G. Weiser//Phys. Rev.-1959.-V. 144, № 3.-P. 687-690.

87. Хайрер Э. Решение обыкновенных дифференциальных уравнений/Э. Хайрер, С. Нерсетт, Г. Ваннер.-М.:Мир, 1990.-512 с.

88. Деккер К. Устойчивость методов Рунге-Кутты для жестких нелинейных дифференциальных уравнений/К. Деккер, Я. Вервер.-М.:Мир, 1988.-332 с.

89. Турбо Паскаль 7.0: Учебное пособие.-Киев:Изд. группа «BHV», 1996.-288 с.

90. Крылов Н.М. Исследование рассеяния тяжелых ионов низких энергий на мишенях с различной атомной массой: Автореф. дисс. на соискание ученой степени канд. ф.-м. наук: 01.04.04.-Ташкент,1994.-18 с.

91. Базарбаев Н.Н. Влияние ориентации кристалла на энергию рассеянных ионов/Н.Н. Базарбаев, В.В. Евстифеев, Н.М. Крылов, Л.Б. Кудряшова//Письма в ЖТФ.-1990.- Т.16, вып. 7.-С. 88-91.

92. Евстифеев В.В. О влиянии плотности упаковки атомов на энергию рассеянных ионов/В .В. Евстифеев, Н.М. Крылов, Л.Б. Кудряшова//Поверхность.Физ.,хим.,мех-ка.-1994.-№ 5.-С. 8-13.

93. Костина Н.В. Компьютерное моделирование отражения материалов с высоким атомным номером/В.В. Евстифеев, Н.В. Костина//Вопросы атомной науки и техники. Сер. Термоядерный синтез.-1999.-Вып.1.-С. 69-73.

94. Костина Н.В. О зеркальном отражении ионов от поверхности в области низких энергий/В.В. Евстифеев, Н.В. Костина//Известия РАН. Серия физическая.-2000.- Т.64, № 4.-С. 771-776.

95. Костина Н.В. Компьютерное моделирование низкоэнергетического рассеяния Ме+—>Ме с ГЦК- решеткой/АГезисы докладов Международной конференции молодых ученых и студентов.-Самара, 12-14 сентября 2000 г.-С. 48.

96. Kostina N.V. Computer simulation of Me+->Me scattering with face-centered lattice/V.V. Evstifeev, N.V. Kostina//Proceeding of the IX International Workshop "Ion Beam Surface Diagnostics".- Zaporizhzhya, Ukraine, October 4-6, 2000.-P. 43-45.

97. Костина Н.В. Сравнительное изучение рассеяния одно- и двухзарядных металлических ионов поверхностью/В.В. Евстифеев, Н.В. Костина//Материалы II Международной конференции «Фундаментальные проблемы физики».-Саратов, 9-14 октября 2000 г.-С. 75-76.

98. Костина Н.В. О методе анализа наноразмерных металлических пленок/В.В. Евстифеев, Н.В. Костина//Материалы XV Международной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью».-Звенигород/Москва, 27-31 августа 2001 г.- Т.1.-С. 255-257.

99. Костина Н.В. Компьютерное моделирование рассеяния Ме+—>Ме с ГЦК- решеткой/В .В. Евстифеев, Н.В. Костина// Известия РАН. Серия физическая.-2002.- Т. 66, № 1.-С. 129-130.

100. Костина Н.В. О методе анализа наноразмерных металлических пленок/В.В. Евстифеев, Н.В. Костина//Известия РАН. Серия физическая.-2002.- Т. 66., № 7.-С. 1033-1035.109