Особенности структуры, фазовых состояний и магнитных свойств нанокристаллических композиционных пленок 3d-металлов, полученных сверхбыстрой конденсацией тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.11, доктор физико-математических наук Жигалов, Виктор Степанович

• Жигалов, Виктор Степанович
• доктор физико-математических наук
• 2003

Оглавление диссертации доктор физико-математических наук Жигалов, Виктор Степанович

Введение

1. Наноструктурные материалы (НСМ).

1.1. Классификация наноструктурных материалов.

1.2. Физические особенности НСМ

1.3. Изолированные наночастицы

1.3.1. Поверхностная энергия

1.3.2. Кристаллическая структура кластеров и порошков

1.3.3. Металлические наночастицы, оболоченные углеродом.

1.3.4. Магнитные свойства

1.4. Фрактальные образования

1.5. Компактные наноструктурные материалы

1.5.1. Материалы с высокодефектной структурой.

1.5.2. Компактированные (нанофазные) материалы

1.5.3. Мультислойные и нанокристаллические пленки

1.5.4. Свойства нанокристаллических пленок 3<1-металлов

1.5.5. Наногранулированные пленки системы металл-диэлектрик

1.6. Технические аспекты

1.6.1. Ретроспектива и перспективы

1.6.2. Технология материалов с НКС.

1.6.3. Вакуумные технологии

2. Технология пленок с нанокристаллической структурой (НКС)

2.1. Высокоскоростные методы испарения

2.2. Оборудование импульсно-плазменного распыления (ИПР).

2.3. Характеристики плазмы

2.4. Отработка технологических параметров ИПР

2.5. Лазерное напыление

2.6. Технология пленочных систем Fe - N

2.7. Технология пленочных систем Me - С

2.8. Методы исследования

2.9. Обсуждение

3. Исходное состояние пленок Зс1-металлов с нанокристаллической структурой (НКС)

3.1. Структурные исследования, химический состав

3.1.1. Электронно-микроскопический анализ свежеприготовленных пленок

3.1.2. Рентгеновская спектроскопия пленок, полученных методом ИПР.

3.1.3. Химический состав пленок, полученных методом ИПР

3.1.4. Фотоэлектронная спектроскопия

3.2. Электрические свойства пленок З^металлов с НКС

3.2.1 Исследование электропроводности в пленках кобальта в исходном состоянии

3.3. Магнитные свойства пленок Зс1-металлов с НКС

3.3.1. Намагниченность насыщения свежеприготовленных пленок Зс1-металлов

3.3.2. Коэрцитивная сила в пленках переходных металлов с НКС

3.3.3. СВЧ-свойства нанокристаллических пленок Fe и Со.

3.3.4. Эффект Мессбауэра в пленках железа, полученных методом ИПР

3.3.5. Эффект Керра в пленках Fe с НК структурой

3.3.6. Ядерный магнитный резонанс в пленках Со с НКС

3.4. Обсуждение свойств пленок Зс1-металлов с НКС.

3.4.1. Структура, модельные представления.

3.4.2. Нанокристаллический никель

3.4.3. Нанокристаллическое железо

3.4.4. Пленки нанокристаллического кобальта

3.4.5. Намагниченность 3<1-металлов с НКС

3.4.6. Пленки метастабильного железа (y-Fe и s-Fe)

3.4.7. Метастабильные фазы систем Fe-C, Со-С и Ni-C

3.4.8. Схема превращений и итоговая таблица ф 4. Структурная релаксация и превращения в пленках с НКС.

4.1. Модификация структуры нанокристаллических пленок железа после температурного воздействия

4.1.1. Технология и образцы

4.1.2. Экспериментальные результаты

1. Влияние температуры на структурные превращения в пленках Fe с НКС

2. Магнитные свойства в зависимости от термоотжига

3. Изменения Не и формы петли гистерезиса под влиянием температуры отжига ф 4. Мессбауэровские измерения в пленках Fe после температурной обработки

5. Изменение электрических свойств в пленках Fe при нагреве.

4.1.3. Обсуждение результатов

4.2. Влияние отжига на свойства нанокристаллических пленок кобальта

4.2.1. Технология, образцы

4.2.2. Экспериментальные результаты

1. Температурные исследования структурных свойств пленок Со с НКС

2. Магнитные свойства (намагниченность насыщения и коэрцитивная сила) ф в зависимости от температуры отжига

3. Ядерный магнитный резонанс в пленках Со, подвергнутых отжигу

4. Электрические свойства в пленках Со в зависимости от температуры отжига

4.2.3. Обсуждение результатов

5. Нанокомпозитные пленки системы металл-углерод

5.1. Введение

5.2. Фазовые и структурные переходы при температурной обработке пленок Fe, допированных углеродом

• 5.2.1. Карбиды железа

5.2.2. Технология, образцы.

5.2.3. Экспериментальные результаты

1. Изменение величины намагниченности насыщения (Js) от температуры отжига

2. Коэрцитивная сила в зависимости от температуры нагрева

3. Влияние температуры нагрева на электрические свойства

4. Исследование фазовых переходов с помощью эффекта Мессбауэра

5.2.4. Обсуждение результатов

• 5.3. Фазовые превращения в пленках Со с большим содержанием углерода

5.3.1. Карбиды кобальта

5.3.2. Технология, образцы

5.3.3. Экспериментальные результаты

1. Влияние температуры на магнитные свойства пленок системы Со-С

2. Электрические свойства в пленках Со-С в зависимости от температуры

3. Исследования фазовых превращений в пленках Со-С методом ядерного магнитного резонанса

• 5.3.4. Обсуждение результатов

6. Пленочные НСМ системы 3(1-металл-азот

6.1. Особенности синтеза нитридных соединений

• 6.1.1. Сплавы Fe-N

6.2. Нанокристаллические пленки железа, осажденные в атмосфере азота

6.2.1. Тонкие пленки системы Fe-N

6.2.2. Высокочастотные исследования нанокристаллических пленок системы Fe-N

6.2.3. Мессбауэровские исследования фазового состава пленок железа, осажденных в атмосфере азота.

6.3. Обсуждение результатов

6.4. Исследование нанокристаллических пленок никеля, осажденных в атмосфере азота

7. Пленочные нанокомпозитные материалы системы 3<1-металл-диэлектрик

7.1. Общие вопросы

7.1.1. Электронно-микроскопический анализ

7.2. Методика препарирования образцов

7.3. Свойства пленок пермаллоя в зависимости от содержания SiO

1. Внутренние макронапряжения в пленках (Fe-Ni)-SiO

2. Коэрцитивная в пленках пермаллоя, разбавленных SiO

3. Высокочастотные свойства пленок (Feo^Nio^-SiO

4. Эффект Фарадея в пленках (Fe-Ni)i-x(SiO)x

5. Электросопротивление в пленках (Fe-Ni)-SiO

7.4. Пленки ЗсЬметаллов, легированные SiO

7.4.1. Пермаллой-SiO

1. Намагниченность насыщения и температура Кюри в пермаллое, легированном SiO

2. Удельное электросопротивление в пленках (Fe-Ni), легированных SiO.

3. Магниторезистивный эффект в пленках (Fe-Ni)-SiO

7.4.2. Fe-SiO

7.5. Пленки Зс1-меташюв, разбавленные SiO

7.5.1. Магнитные и магнитооптические эффекты в пленках Fe, разбавленных SiO.

7.5.2. СВЧ-свойства пленок Feioo-x(SiO)x и Coioo-x(SiO)x

7.6 Наногранулированные пленки 3<1-металлов

7.7. Порядок фазовых превращений

7.8. Основные результаты

8. Эффекты нанокристаллического состояния в пленках 3<]-металлов, полученных сверхбыстрой конденсацией

8.1. О неравновесности материалов с НКС

8.2. Эффекты самоорганизации и синергетические процессы в нанокристаллических пленках Зс1-металлов

8.2.1. Дендритная кристаллизация в нанокристаллических пленках железа

8.2.2. Механизм множественного двойникования при взрывной кристаллизации нанокристаллических пленок Со

8.2.3. Фрактальное окисление нанокристаллических пленок железа

8.2.4. Явление самоорганизации при отслоениях в неравновесных пленочных системах

8.2.5. Самораспространяющийся высокотемпературный синтез в композитных пленках Зё-металлов и моноокиси кремния (SiO)

8.2.6. Особенности СВС в нанокристаллических пленках нитрида никеля и моноокиси кремния.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Особенности структуры, фазовых состояний и магнитных свойств нанокристаллических композиционных пленок 3d-металлов, полученных сверхбыстрой конденсацией»

Актуальность проблемы. В последнее время значительно вырос интерес к исследованию материалов с нанокристаллической структурой, так как обнаружилось, что уменьшение размера кристаллитов (или любых других структурных образований) ниже некоторой пороговой величины приводит к радикальному изменению физических свойств этих материалов. Проблема получения нанокристаллических и нанокомпозитных материалов, предназначенных для применения в различных областях техники, обсуждается в научной литературе уже более ста лет (со времен русского металлурга Чернова). На протяжении этого исторического этапа с научной точки зрения менялись терминология, физические представления о особенностях кристаллической и атомной структуры, с технологической - совершенствовались способы и приемы изготовления подобных материалов. При этом интерес материаловедов вызывали новые свойства, которые характерны для нанокристаллических материалов (прежде всего механические, тепловые и в меньшей степени -электрические и магнитные), а интерес инженеров заключался в практическом их использовании для конкретных устройств.

Началом новому витку исследований в этой области физического материаловедения послужили, с одной стороны, более высокие требования к материалам при разработке устройств электроники нанометрового масштаба; с другой стороны, появление основополагающих работ середины 80-х годов, в которых дана классификация таких материалов /1-4/. При этом заслугой Глей-тера (автора работ /1-2/) можно считать не только объединение большого класса различных материалов (таких, как ультрадисперсных, композиционных, гранулированных, порошков и т.д.) в единый класс наноструктурных материалов, объединенных одним свойством - размером структурных образований, но и выявление особенностей свойств, характерных для них. Глейтер также считает наноструктурными материалы, в которых ультратонкая микроструктура имеет высокую плотность дефектов (точечные дефекты, дислокации, межфазные и межзеренные границы), так что расстояния между ближайшими дефектами сопоставимы с межатомными параметрами. Эта особенность, как и размер нанокристаллитов, являются физической причиной многих необычных дисперсионных зависимостей, и различных свойств в данных материалах, например, высоких механических и химических свойств, таких как твердость, прочность, жаростойкость, с одной стороны, и сверхпластичность - с другой, каталитические свойства при высокой химической активности - с одной и высокая антикоррозийность - с другой стороны /1 -7/.

На пути миниатюризации электронных компонентов современная нано-технология добилась того, что стало возможным контролируемое изготовление устройств с характерными размерами элементов менее одной десятой доли микрометра. В таких устройствах могут наблюдаться яркие физические эффекты, определяющие новое направление современной физики, которое получило название «нанофизика». В рамках этого направления физических исследований значительную часть занимают магнитные материалы.

Интерес к магнитным материалам с нанокристаллической структурой (НКС) обусловлен рядом уже установленных причин. Во-первых, специфика материалов с НКС приводит к необычным кооперативным магнитным явлениям. Во-вторых, в нанокристаллических материалах атомная структура приграничных областей отличается от атомной структуры объема зерен, что является причиной новых явлений, например, появление ферромагнитного порядка в межкристаллитных областях нанокристаллических материалов, кристаллические аналоги которых не ферромагнитны. В-третьих, в нанокристаллических магнитных материалах нет доменной структуры в привычных представлениях, так как каждый кристаллит нанокристаллического образца является ферромагнитным монодоменом. В-четвертых, для нанокристаллических объектов характерны необычные магнитные, гистерезисные свойства, что влияет на процессы перемагничивания /5/. Все перечисленные факты могут иметь важные последствия для практического применения магнитных пленочных материалов в различных устройствах.

Нанокристаллические магнитные материалы могут быть как макроскопической системой, так и немакроскопической. В последнем случае параметры нанообразований не являются монотонной функций от числа атомов в них. При этом наиболее резкие изменения имеют место при прохождении так называемых «магических чисел», что приводит к повышению вероятности формирования нанообразований со строго определенным числом атомов {кластеров). К настоящему времени довольно широко изучены свойства свободных микрокластеров и кластерных пучков с хорошим выходом на практическое использование /5-7/, однако прогресс в изучении и использовании свободных микрокластеров все в большей мере связывается с возможностью их компак-тирования /7/.

Пленочные нанокристаллические и нанофазные (наногранулирован-ные) материалы являются одним из видов компактированных нанокристаллических материалов. Изучение особенностей свойств, связанных как с размером кристаллитов, так и с характером их пространственного распределения в пленочных образцах может быть проведено с привлечением более широкого круга методик, чем в случае объемных материалов.

При рассмотрении свойств нанокристаллических материалов всегда имеют в виду их метастабильность, которая является следствием высокой энергозагруженности таких материалов, при этом особенность нанокристал-лического состояния по сравнению с другими известными неравновесными метастабильными состояниями заключается в отсутствии соответствующего ему по структуре и развитости границ равновесного состояния. В этом плане метастабильность является мощным инструментом поиска новых материалов с новыми неизвестными свойствами, изучение которых может предопределить их практическое использование в устройствах.

Объектом интенсивных экспериментальных и теоретических исследований является проблема магнетизма в метастабильных структурах 3d-металлов, таких как ГЦК-Fe, ГТТУ-Fe, ОЦК-Со, ГПУ-Ni, т.е. в атомных структурах термодинамически неустойчивых в обычных условиях. Существует значительное количество теоретических работ, в которых самосогласованно (минимизация суммы энергий магнитной и упругой систем) изучается тип магнитного порядка и зависимость магнитного момента на атом от радиуса Вигнера-Зейтца или объема на атом. К настоящему времени появилось также большое число экспериментальных работ, посвященных изучению магнитного состояния метастабильных структур переходных металлов. Сюда входят фазы высокого давления ГПУ-Fe, включения ГЦК-Fe в матрице Си, пленки толщиной 3-7 моноатомных слоев: ГЦК-Fe, ОЦК-Со, ГПУ-Ni и т.д., полученные молекулярной эпитаксией.

Тем не менее, остается большое число нерешенных проблем, особенно в пленочных образцах, так как трудно предсказать свойства пленок, в которых значительную роль играют взаимодействия наночастиц между собой и с подложкой, при огромном влиянии размерных и поверхностных эффектов, накладываемых частицами, их границами и поверхностью пленок. Значительную сложность в изучении, среди различных типов НСМ, представляют нано-композитные пленки с гранулированной морфологией (нанокристаллиты, разделенные немагнитной прослойкой). Несмотря на большую предысторию их изучения, остаются многие нерешенные вопросы теоретического и прикладного плана. Перечисленные проблемы пленок магнитных материалов с нанок-ристаллической структурой являются предметом исследований в предложенной работе.

Таким образом, исследование магнитных нанокристаллических материалов и их пленочных аналогов является весьма актуальным в настоящее время, как в научном плане, так и для их практического использования.

Целью работы является получение способом высокоскоростной конденсации нанокристаллических пленочных образцов Зё-металлов в композиции с углеродом, азотом и диэлектриком и исследование в этих энергонасыщенных материалах особенностей свойств, атомной структуры и фазовых превращений.

Задачи настоящей работы можно сформулировать в виде:

1. Разработка технологии получения пленок переходных металлов с нанокри-сталлической структурой и пленок с наногранулированной морфологией со сверхвысокими скоростями конденсации (отработка параметров и условий получения однофазных карбидных и азотистых соединений).

2. Комплексное исследование свойств и структурных характеристик в исходном метастабильном состоянии.

3. Изучение последовательности фазовых и структурных превращений в нанокристаллических карбидных и азотистых соединениях 3(1-переходных металлов в результате температурного воздействия в виде нагрева, отжига, облучений (определение условий перехода структуры пленок в равновесное состояние).

4. Рассмотреть механизмы и модельные представления эффектов и явлений, сопровождающих фазовые переходы при температурной релаксации (влияние межфазных границ, синергетика и процессы самоорганизации).

5. Исследовать свойства, механизмы и порядок фазовых превращений в на-нокомпозитных пленках системы переходной металл-диэлектрик с наногранулированной структурой в зависимости от величины разбавления (концентрационные зависимости свойств и структурных превращений). Методы исследования. Для исследований по теме данной диссертации использовались современные спектрометры с использованием эффектов Мес-сбауэра, ядерного магнитного резонанса, высокочастотных резонансов (ФМР и СВР); оптические и магнитооптические измерения, методики электрических, рентгеновских, фотоэлектронных и других измерений, разработанные в лабораториях Института физики СО РАН, Института химии СО РАН, Института полупроводников СО РАН, Исследовательского центра синхротронного излучения Института ядерной физики СО РАН, Московского государственного университета, Физико-технологического института Красноярского государственного технического университета и многих других научных учреждений.

Достоверность результатов исследований обеспечивалась использованием высокотехнологичного бакуумного оборудования и лазерной техники, хорошо разработанной технологии для получения образцов, надежной их паспортизации и применением современного аналитического оборудования для исследования. В обсуждении использовались фундаментальные и материало-ведческие представления, анализ литературы и достаточно надежная апробация в виде докладов на многочисленных конференциях и опубликование основных результатов в центральных отечественных и зарубежных журналах. Научная новизна данного исследования заключается в следующем:

1. Разработанное оборудование и методика импульсно-плазменного распыления (ИПР) для получения образцов позволили максимально диспергировать кристаллическую структуру за счет дискретности технологического процесса, сверхвысоких скоростей импульсного распыления и охлаждения конденсатов. Методика распыления отвечает современным требованиям получения материалов с размером структурных образований нанометрового масштаба.

2. Изготовленные по данной технологии пленки метастабильных карбидных и азотных соединений ферромагнитных Зё-металлов устойчивы при комнатной температуре, при этом образцы имели толщины более 50 нм, что указывает на достижение собственного метастабильного состояния, удерживаемого активационным барьером, а не внешним воздействием.

3. Достигнутые степени пресыщения атомами углерода и азота в качестве примеси внедрения в нанокристаллических переходных металлах в десятки раз превышают растворимости, достижимые в равновесных растворах.

4. Установлено, что порядок и последовательности фазовых и структурных превращений в нанокристаллических пленках систем: 3^-металл - углерод, З^-металл - азот, 3^-металл - диэлектрик в ходе термической релаксации зависят от состава и способа изготовления образцов и отличаются от известных из научной литературы.

5. Возможность получения гомогенных пленок карбидных и нитридных соединений переходных Зс1-металлов, находящихся в метастабильном состоянии, позволила впервые определить их основные физические свойства.

Практическая значимость и реализация результатов работы.

1. Работа выполнялась в соответствии с научно-техническими программами ГКНТ при СМ СССР и планами научных исследований Института физики им. Л.В.Киренского СО РАН по теме «Новые магнитные материалы микроэлектроники», утвержденными ученым советом Института.

2. Технологические исследования, являющиеся частью диссертационной работы, были использованы при выполнении опытно-конструкторских (ОКР) и научно-исследовательских работ (НИР) с рядом ведущих предприятий страны по разработке и изготовлению датчиков слабых магнитных полей (темы 8104, 8301 и 8308) и по внедрению опытной технологии изготовления магнитометрических преобразователей (тема «Кречет» НПО «УРАН»). По результатам работ были оформлены 6 отчетов, копии актов о внедрении приложены.

3. Технологические исследования, включающие разработку технологии и оборудования импульсно-плазменного распыления, а также получение алма-зоподобных и карбонитридных пленочных материалов и исследование трибо-логических свойств, были выполнены в рамках Межвузовской научно-технической программы «Плазменные, ионные и электронные комплексные упрочняющие технологии» (П.Т.409. «ЭЛЕКТРОФИЗИКА 1998-2000») в 1998-1999 годах. По результатам работы опубликована статья и оформлен отчет.

4. Основные результаты исследований, предложения на внедрение, а также разработки новых технологий, оборудования и нанокомпозитных и магнитных материалов докладывались на научно-технических конференциях и семинарах страны. Сделано 43 доклада.

5. Работа автора в области научно-технических разработок заняла 1-е место в конкурсе прикладных работ, проводимых СО РАН, разработанные автором в соавторстве магнитные, многослойные материалы для магнитометрических приложений выставлялись на выставке достижений народного хозяйства СССР (ВДНХ), исследования по этим материалам вошли в том достижений Академии наук СССР за 1982-83 годы.

6. Предложенные в качестве носителей для записи информации и для ее считывания разработки некоторых магнитопленочных материалов системы 3dметалл-диэлектрик признаны изобретением, на которые получены 4-е авторских свидетельства.

7. В работе обнаружены и исследованы эффекты, которые предложены для практического использования: отсутствие напряжений в пленках определенного состава в системе металл-диэлектрик; нулевые значения термического коэффициента электросопротивления в пленках Fe-C, Со-С, низкокоэрцитивное состояние (< 0,2 Э) в образцах Fe-Ni-(SiO) с переходом в высококоэрцитивное (эффект предложен для устройств памяти на плоских магнитных доменах, для данных устройств проведены специальные исследования на эффективность продвижения доменов по каналам); высокие СВЧ-свойства (ДН < 20 Э на частоте/= 9ГТц); увеличение магниторезистивного эффекта с 1,8 до 4,1 % для пленок пермаллоя с добавкой SiO; увеличение магнитооптического вращения (2F) почти на 40 %, за счет этого увеличение магнитооптической добротности (2F/a) с 0,02 до 0,15; визуализация полей рассеяния, что позволяет проводить контроль как качества сред для записи информации, так и самой информации и т.д.

На защиту выносятся.

1. Разработанные технологические принципы импульсно-плазменного распыления проводящих материалов; инженерные решения, используемые при создании технологических установок, распылительных устройств; технологические условия изготовления образцов с заданными параметрами. Оборудование и технология обеспечивала получение образцов в условиях сверхбыстрой конденсации (более 104 нм/с) при длительности импульса ~ 10"4 с, с выо сокой скоростью охлаждения (порядка 10 К/с). Кроме этого, при данной технологии пленочные образцы имели сплошное заполнение на подложках при толщинах менее 2 нм, изготавливались без напуска рабочего газа, что позволило избежать неконтролируемых примесей.

2. Показанная возможность получения пленочных образцов 3(1-металлов, находящихся в метастабильном нанокристаллическом состоянии (с размером структурных образований менее 5 нм) и с пересыщенным раствором углерода или азота (более 20 ат.% при предельной растворимости в массивных материалах в равновесных условиях не более 0,2 ат.%). Достигнутое пересыщение и метастабильность являются устойчивыми при обычных условиях.

3. Выполненное исследование материалов с пересыщенными растворами, находящихся в метастабильном состоянии, установленные корреляции для данных материалов: свойства - размер кристаллитов, свойства - концентрация примесей внедрения (углерод, азот) и примесей замещения (моноокись кремния). Структурные особенности нанокристаллического состояния данных материалов.

4. Выявленные последовательности фазовых переходов в пленках пересыщенных растворов Зё-металлов в ходе релаксации в зависимости от температуры, от концентрации примеси углерода. Возможность синтеза метаста-бильных, гомогенных карбидных фаз железа, кобальта и никеля e-Fe^C (х = 2-8), #-Fe3C, /-Fe5C2, ^-Fe5C2, £-Ni3C, Co3C и Co2C; измеренные параметры атомной кристаллической решетки в данных фазах, а также основные электрические, магнитные характеристики, а также параметры эффекта Мес-сбауэра, ядерного магнитного резонанса и СВЧ-свойств.

5. Особенности физических свойств в синтезированных, метастабильных нитридных фазах типа e-Fe3N, e-Fe4N, e-Ni3N, e-Ni4N, £-Fe2N. Определение условий реализации фазового перехода e-Ni3N —> £-Ni4N. Структурные и магнитные параметры гомогенных нитридных фаз железа и никеля.

6. Аномальное влияние малого количества (менее 2 - 3%) немагнитных комплексов Si-О на электронную структуру и физические свойства 3d-металлов и их сплавов. Данное легирование в сплаве Fe-Ni сопровождается увеличением намагниченности насыщения, магнитооптических и магниторе-зистивных параметров; уменьшением напряжения, удельного электросопротивления, ширины линии ферромагнитного резонанса и величины коэрцитивной силы.

7. Последовательность фазовых превращений в системе Зс?-металл - моноокись кремния при изменении концентрации диэлектрика в них от 0 до 100 об.%.: легированные ферромагнетики —> разбавленные —> однодоменные (кластерная структура) —* суперпарамагнитное состояние —> парамагнетик —> диэлектрик. Магнитные, магнитооптические, электрические и оптические свойства каждой фазы, при этом границей перколяции является концентрация SiO-47 об.%.

8. Эффекты нанокристаллического состояния в метастабильных пленках 3£/-металлов: взрывная перекристаллизация наноструктуры в дендритную; множественное двойникование в нанокристаллических пленках железа и кобальта; образование фрактальной структуры при окислении, структурной перестройке; механические неустойчивости в виде отслоений синусоидального характера; самораспространяющейся высокотемпературный синтез в системе нанокристаллический ферромагнетик - моноокись кремния (SiO) или кремний (Si).

Диссертация состоит из Введения, восьми Разделов, Основных выводов и Заключения.

Заключение диссертации по теме «Физика магнитных явлений», Жигалов, Виктор Степанович

Результаты исследования особенностей магнитных свойств, структуры, фазовых состояний и их превращений в нанокристаллических и нанофазных пленках, полученных:

1) совместным испарением ферромагнитных металлов и диэлектрика (моноокиси кремния);

2) сверхбыстрой конденсацией переходных металлов (железо, никель, кобальт) в газовой среде углеродсодержащих паров, либо азота -обобщены в следующих выводах.

1. Синтезированы пленки гранулярных ферромагнитных металлов (Fe, NiFe) во всем диапазоне объемных долей металла, в которых в качестве изолирующей диэлектрической фазы впервые использовалась моноокись кремния. Изучены магнитные, электрические и магнитооптические свойства синтезированного нанокомпозита и обнаружены характерные особенности этих свойств:

- вблизи порога протекания (53 об.% металла), где осуществляется резкое увеличение удельного электросопротивления и обращение в нуль его температурного коэффициента, а также трансформация ферромагнитного состояния системы в суперпарамагнитное;

- в области ~ 70 об.% металла, где происходит переход атомной структуры металла от кристаллической к аморфной, сопровождаемый уменьшением константы обменного взаимодействия в 1,5 раза;

- в области малых добавок моноокиси кремния (2-3 об.%), приводящих к формированию нанокристаллического состояния металла, проявляющего себя в значительном уменьшении величины коэрцитивной силы (в 10-15 раз) и ширины линии ферромагнитного резонанса (~ на 20 %).

2. Обнаружено, что малые добавки моноокиси кремния в сплаве NiFe пермал-лоевой концентрации, помимо формирования нанокристаллического состояния, приводят к увеличению намагниченности насыщения сплава (на 10 %), уменьшению величины удельного электросопротивления (в 1,2 - 1,3 раза) и к увеличению магнитооптических и магниторезистивных эффектов (на 40 и 25%, соответственно).

3. Разработан и создан комплекс технологического оборудования для им-пульсно-плазменного распыления в вакууме металлических мишеней, включающий оригинальный способ создания и сохранения в течение ~ 10"4 с паро-плазменного сгустка распыляемого металла и позволяющий:

- вести конденсацию пленки металлов со скоростями роста ~ 104 нм/с за импульс за счет быстрой и дискретной подачи пароплазменных сгустков на подложку, что на три порядка превышает обычные скорости термической конденсации;

- получать конденсаты в нанокристаллическом состоянии, осуществляя формирование сплошного покрытия металла уже при толщине слоя 1 - 2 нм;

- проводить напыление металлов в ионизированной контролируемой атмосфере различных паров и газов, что позволило получать их пересыщенные твердые растворы;

- осуществлять регулируемую закалку со скоростями охлаждения конденсата ~ 10' К/с, что позволило получать и сохранять метастабильные состояния в образцах при температурах выше комнатной.

4. Изучено влияние физико-технологических параметров процесса конденсации в предложенной технологии (степени вакуума, скорости конденсации, температуры подложки, толщины пленки) на фазовое и структурное состояние синтезированных конденсатов.

Установлено:

- пленки железа толщиной до 100 нм, полученные в вакууме 10"9 мм рт.ст. на неподогреваемых подложках, характеризуются нанофазной структурой, составленной из равных объемных долей ферромагнитного феррита (ОЦК - Fe) и метастабильного парамагнитного аустенита (ГЦК - Fe);

- пленки железа толщиной до 150 нм, сконденсированные в вакууме 10"6 мм рт. ст. на неподогреваемые подложки, представляют собой ферромагнитные, нанокристаллические, пересыщенные твердые растворы с углеродом, характеризуемые ГЦК структурой. Содержание углерода превышает 20 ат.% (четырехкратное пересыщение ГЦК-Fe углеродом), что указывает на высокую химическую активность конденсата металла;

- пленки никеля, сконденсированные в аналогичных условиях, представляют собой нанокристаллический метастабильный ГПУ карбид Ni3C;

- пленки кобальта, сконденсированные при этом же вакууме, представляют собой нанофазную систему из пересыщенного ГЦК-Со(С) и метастабильных карбидов кобальта. Так пленки, полученные: на неподогреваемые подложки, либо на подогреваемые до 50 °С, состоят из пересыщенного ГЦК-Со(С) и ме-тастабильного карбида С03С, подогреваемые до 150 °С - из метастабильных карбидов С03С и С02С, подогреваемые до 250 °с и выше - из нанокристалли-ческого кобальта и графита.

- пленки железа и никеля, сконденсированные в газообразной среде бутана или азота, представляют собой карбидные (г-Fе3С) или нитридные (e-Fe3N) гомогенные фазы с нанокристаллической структурой.

5. Установлено, что в результате нагревания исходных наноконденсатов в них реализуются многочисленные фазовые и структурные превращения, подчиняющиеся обобщенному правилу ступеней Оствальда-Палатника, что позволяет получать новые метастабильные атомные структуры в конденсатах. Так при нагревании железных наноконденсатов осуществляется следующая цепь структурных превращений: njK-Fe(C) —> my-Fe(C) —> карбидные соединения —► OUK-Fe(C) + С. Однако порядок и последовательность этих превращений, а также их температуры зависят от содержания углерода в системе и от размера наночастиц.

6. Для метастабильных пересыщенных твердых растворов железа rilK-Fe(C), my-Fe(C) измерены основные структурные и, впервые, основные магнитные характеристики - намагниченность насыщения, константа обменного взаимодействия, температура Кюри, константа магнитной локальной анизотропии. Установлено, что отношение этих фундаментальных магнитных параметров для синтезированных полиморфных модификаций железа близко к отношению аналогичных параметров, описывающих магнитную систему полиморфных фаз кобальта. Показано, что ферромагнетизм метастабильных ГЦК- и ГПУ-фаз Fe(C) обусловлен их пониженной плотностью по сравнению с термически стабильным ГЦК и ГПУ железом. Величина объема на атом Fe в этих фазах составляет ~ 13 А3.

7. Для синтезированных метастабильных карбидных фаз железа, кобальта и никеля e-FejC (* = 2 - 8), 0-Fe3C, ^-Fe5C2, х -FesC2, £-Ni3C, Co3C и Co2C определены основные параметры атомной кристаллической решетки, а также основные магнитные характеристики — намагниченность насыщения, константа обменного взаимодействия, температура Кюри, поле локальной анизотропии, величины сверхтонких полей эффекта Мессбауэра, параметры ядерного магнитного резонанса и СВЧ-свойств. Для систем Fe - С, Со - С построены качественные фазовые диаграммы в координатах: концентрация углерода - энергия Гиббса.

8. Проведено исследование физических свойств в синтезированных, метастабильных нитридных фазах типа e-Fe3N, e-Fe4N, e-Ni3N, e-Ni4N, £-Fe2N. В этих гомогенных нитридных фазах измерены структурные и магнитные параметры. Установлены особенности синтеза фазы e-Ni3N и определены условия реализации фазового перехода e-Ni3N —► e-Ni4N.

9. Исследованы эффекты, обусловленные нанокристаллическим состоянием в пленках Зс1-металлов, которое обладает большим количеством запасенной энергии. Обнаружены и изучены эффекты:

• взрывной перекристаллизации наноструктуры в дендритную;

• множественного двойникования в нанокристаллических пленках железа и кобальта;

• образования фрактальной структуры при окислении, структурной перестройке;

• реализации отслоений синусоидального характера;

• самораспространяющегося высокотемпературного синтеза в системе на-нокристаллический ферромагнетик - моноокись кремния (SiO) или кремний (Si).

Все указанные процессы реализуются с высокими скоростями, а фронт процесса характеризуется температурой, достаточной для квазиплавления нанокристаллических материалов.

10. Разработанная технология и материалы обладают большими потенциальными возможностями для практического использования в устройствах магни-тоэлектроники и в настоящее время некоторые из них уже нашли практическое применение. Для магнитомягких материалов наиболее широкие разработки проведены при создании магниточувствительных элементов датчиков слабого магнитного поля. Для ряда материалов получены авторские свидетельства на изобретения и они могут быть рекомендованы:

• магнитожесткие с гранулированной морфологией и слабой обменной связью между наночастицами в качестве носителей памяти для продольной записи или в качестве магнитооптических сред;

• с увеличенным магниторезистивным эффектом для применения в устройствах считывания;

• магнитостатические свойства метапло-диэлектрических слоев позволяют визуализировать поля рассеяния от битов информации, от магнитных не-однородностей и т.д., ч+о позволяет осуществлять контроль за состоянием магнитных сред.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Дорогие коллеги !

Перед Вами лежит труд почти двадцати лет, посвященный исследованию модных в настоящее время композиционных наноструктурных материалов. Интерес к таким материалам был подогрет рядом обзорных статей, в которых были систематизированы в одну сразу несколько тем, рассматриваемых в литературе, как в фундаментальном, так и прикладном значении /1-4/. Это прежде все физика магнитных пленок, субструктуры из эпитаксиальных слоев, микропорошки, ультрадисперсные материалы, дисперсные включения, диспергирующие и дисперсно-твердеющие сплавы, упрочняющие покрытия, микрокластеры, фрактальные образования, высокодефектные материалы и т.д. В теоретическом плане - это проблемы размерных эффектов в свойствах, критических размеров и толщин, проблемы дефектности, дисперсии волн, туннелирования в электропроводности, оптических свойств частиц, конгломератов и т.д.

Систематизировав таким образом темы из самых широких областей физических знаний, авторы тем самым заложили основы новой науки, условно которую можно назвать «нанофизика», и которая призвана занять, на наш взгляд, место между физикой твердого тела (конденсированного состояния) и атомной физикой. Огромное число эффектов и явлений, необычных свойств, присущих нанокристаллическим, композиционным материалам, уже сейчас являются темами многочисленных статей обзоров и книг, находят применение в устройствах квантовой и электронной техники. То есть закладываются основы технологии будущего - «нанотехнологии».

Надеюсь, что, разработав технологию импульсно-плазменного распыления, автору этой работы удалось сделать некоторый вклад в способ получения метастабильных пересыщенных твердых растворов и в понимание нанокристаллического состояния, конкретно, в композиционных системах переходной ферромагнитный 3(1-металл - немагнитная матрица, в качестве которой выступают углерод, диэлектрик. Особенностями, в этом случае, являются то, что немагнитная матрица одновременно выступает в качестве легирующей примеси (внедрения, в одном случае, замещения — в другом) и изолирующей прослойки между наночастицами. Другая особенность образцов заключается в одновременном существовании воздействия, накладываемого пленочным и нанокристаллическим состояниями. Все это существенно осложнило понимание свойств образцов и процессов при температурной релаксации, а, с другой стороны, это явилось источником многочисленных структурных и фазовых превращений с образованием метастабильных карбидных и нитридных фаз.

Тема диссертации независимо разрабатывалась во многих коллективах лабораторий Института физики им. JI.B. Киренского СО РАН и легла в основу содержания кандидатских диссертаций Балаева А.Д., Жаркова С.М., Столяра С.В., Прокофьева Д.Е., Комогорцева С.В. Наиболее интенсивно этой темой занимались исследовательские группы Баюкова О.А., Квеглис Л.И., Балаева А.Д. Генератором ряда идей, моделей и предположений является Фролов Г.И., которому принадлежит также заслуга в написании некоторых статей. Основополагающая роль в руководстве, в обсуждениях результатов, в теоретическом обосновании многих фактов принадлежит Исхакову P.C.

Надеюсь, что поставленная точка в данном заключении не явится точкой в дальнейших исследованиях по данной теме.

Жигалов B.C.

Список литературы диссертационного исследования доктор физико-математических наук Жигалов, Виктор Степанович, 2003 год

1. Gleiter Н. Materials with ultrafine microstructures: retrospectives and perspectives // Nanostructured Materials, 1992, V. 1, P. 1-19.

2. Birringer R., Gleiter H., Nanocrystalline materials // Encyclopedia of Material Science and Engineering. Suppl. Vol.1 (Ed. R.W.Chan), Oxford: Pergamon Press., 1988, P. 339-349.

3. Siegel R.W. Ann. Rev. Mater. Sci., 1991, V. 21, P. 559.

4. Siegel R.W. Nanostruct. Mater., 1993, N. 3, P. 1-12 .

5. Нагаев Э.Л. Малые металлические частицы // УФН, 1992, Т. 162, № 9, С. 49-124.

6. Смирнов Б.М. Процессы в плазме и газах с участием кластеров // УФН,1997, Т. 167, № 11, С. 1169-1200.

7. Гусев А.И. Эффекты нанокристаллического состояния в компактных металлах и соединениях // УФН, 1998, Т. 168, № 1, С. 55- 83.

8. Gleiter Н. Nanostructured materials: state of the Art and perspectives // Nanostructured materials, 1995, V. 6, P. 3-14.

9. Наймарк О.Б. Нанокристаллическое состояние как топологический переходв ансамбле зернограничных дефектов // ФММ, 1997, Т. 84, В. 4, С. 5-21.

10. Бимберг Д., Ипатова И.П., Копьев П.С., Леденцов Н.Н., Малышкин В.Г., Щукин В.А. Спонтанное упорядочение полупроводниковых наноструктур // УФН, 1997, Т. 167, № 5, С. 552-556.

11. Арсентьева И.П. Роль размерного фактора при консолидации высокодисперсных порошков никеля //Из кн. «Ультрадисперсные порошки, наноструктуры, материалы» Красноярск, 1999, С. 143-155.

12. Averin D.V., Likharev К.К. In Mesoscopic Phenomena in Solids (Eds.B.L. Altshuler, P.A. Lee, R.A. Webb) (Amssterdam: Elsevier), 1991, P. 173-178.

13. Смирнов Б.М. Процессы в расширяющемся и конденсирующемся газе // УФН, 1994, Т. 164, № 7, С. 665-703.

14. Корзников А.В., Корзникова Г.Ф., Мышляев М.М. Эволюция структуры нанокристаллического Ni при нагреве // ФММ, 1997, Т.84, В.4, С. 133-139.

15. Ajayan P.M., Marks L.D. Quasimelting and phases of small particles// Phys. Rev. Lett., 1988, V. 60, N. 7, P. 585-587.

16. Joost Frenken W.M. and etc.all. Observation of surfase-iniated melting // Phys. Rev. B. (cons.mat.), 1986, V. 34, N. 11, P. 7506-7516.

17. Berry R.Stephen and ets.all. Melting of cluster and melting // Phys. Rev. A. (gener. phys.), 1984, V. 30, N. 2, P. 919-931.

18. Bufat Ph.and etc.all. Size effect on the melting temperature of gold particles // Phys. Rev .A. (gener.phys.), 1976, V. 13, N. 6, P. 2287-2298.

19. Schmidt M., Kusche R., Von Issendorf B. Irregular variations in the melting of size-selected atomic clusters // Nature, 1998, 21 may, P. 238-240.

20. Ефетов К.Б. Статистика уровней в мелких металлических частицах // ЖЭТФ, 1982, Т. 83, В. 2, С. 833-847.

21. Холл Е. О. Proc. Phys. Soc. Lond., 1951, В. 64, P. 747 753.

22. Petch N. J. J. Iron Steel Inst., 1953, V. 174, P. 25 28.

23. Chokshi A. H., Rosen A., Karch J. и Gleiter H. Scripta Metall, 1989, V. 23, P. 1679-1684.

24. Смирнов Б.М. Плавление кластеров с парным взаимодействием атомов // УФН,, 1994, Т. 164, № 11, С. 1165- 1185.

25. Гусев А.И. Нанокристаллические материалы: методы получения и свойства // УО РАН, Институт химии тверд, тела, Екатеринбург, 1998, 198 с. Седов B.JI. Антиферромагнетизм гамма-железа. Проблема инвара. М.: «Наука», 1987, 288 е.;

26. Methfessel М., van Schilfgaarde М., Scheffler S. Electronic structure and bonding in the metallocarbohedrene TigC^ // Phys. Rev. Lett., 1993, V. 70,1. N. 1,P. 29-32.1

27. Козлов Б.Н., Мамырин Б.А. Масс-спектроскопический анализ кластеров, образующихся при лазерном распылении образца//ЖТФ, 1999, Т. 69, В. 9, С. 81-84.

28. Смирнов Б.М., Елецкий А.В. Свойства кластерных ионов // УФН, 1989, Т. 159, В. 1,С. 45-81.

29. Ino S. Epitaxial growth of metals on rocksalt faces cleaved in vacuum // J. Phys. Soc. Japan, 1966, V. 21, N.2, P. 346-362.

30. Ogawa S., Ino S., Kato Т., Ota H. Epitaxial growth on face-centered cubic metals on alkalihalide crystals cleaved in ultrahigh vacuum. J. Phys. Soc. Japan, 1966, V. 21, N. 10, P. 1963-1972.

31. Saito Y., Yoshikawa Т., Okuda M., Fujimoto N., Sumiyama K., Suzuki K., Ka-suya A., Nashina Y. Carbon nanocapsules engaging metals and carbides // J. Phys. Chem. Solids, 1993, V. 54, N. 12, P. 1849-860.

32. Yosida Y., Shida S., Ohsuna Т., Shiraga N. Synthesis, dentification, and growth mechanism of Fe, Ni, and Co crystals encapsulated in multwalled carbon nanocages // J. Apll. Phys., 1994, V. 76, N. 8, P. 4533- 4539.

33. Saito Y., Yoshikawa Т., Okuda M., Fujimoto N., Yamamura S., Wakoh K., Sumiyama K., Suzuki K., Kasuya A., Nashina Y. Iron particles nesting in carbon cages grown arc dicharge.//Chem. Phys. Lett., 1993, V.212, N. 3, 4, P. 379-383.

34. Seraphin S., Zhou D., Jiao J., Minke M.A., Wang S„ Yadav Т., Withers J.C. Catalitic role of nickel, palladium, and platinum in the formation of carbon nanoclusters. // Chem. Phys. Lett., 1994, V.217, N. 3, P. 191-198.

35. Saito Y., Yoshikawa Т., Okuda M., Fujimoto N., Yamamura S., Wakoh K., Sumiyama K., Suzuki K., Kasuya A., Nashina Y. Cobalt particles wrapped in craphitic carbon prepared by an arc discharge method. // J. Apll. Phys., 1994, V. 75, N. 1, P. 134-137.

36. Вонсовский C.B. Магнетизм. M.: «Наука», 1971, 1030 с.

37. Bucher J.P., Douglas D.C., Bloomfield L.A. Magnetic properties of free Co bait clusters // Phus. Rev. Lett., 1991, V. 66, N. 23, P. 3052-3055.

38. De Heer W.A., Milani P., Chatelain A. Spin relaxation in small free iron clusters // Phus. Rev. Lett., 1990, V. 65, N. 4, P. 488-491.

39. Khana S.N., Linderoth S. Magnetic behavior of clusters of ferromagnetic transition metals // Phus. Rev. Lett., 1991, V. 67, N. 6, P. 742-745.

40. Зосимов B.B., Лямшев Л.М. Фракталы в волновых процессах // УФН, 1995, Т. 165,№4, С. 361-401.

41. Смирнов Б.М. Излучательные процессы с участием фрактальных структур // УФН, 1993, Т. 163, № 7, С. 51-63.

42. Смирнов Б.М. Фрактальные кластеры // УФН, 1979, Т. 149, В.2, С. 177-219.

43. Михайлов Е.Ф., Власенко С .С. Образование фрактальных структур в газовой фазе// УФН, 1995, Т. 165, №3, С. 263-283.

44. Мягков В.Г., Квеглис Л.И., Фролов Г.И. Фрактальная картина роста при взрывной кристаллизации аморфных пленок Dy-Co, Pr-Ni // ПОВЕРХНОСТЬ. Физ, хим, мех. 1992, № 9, С. 131-135.

45. Б.М.Смирнов. Системы атомов с короткодействующим взаимодействием // УФН, 1992, Т. 162, № 12, С. 97-150.

46. Андреева А.В. Граничные эффекты и процессы самоорганизации при синтезе ультрадисперсных систем // Из книги «Ультрадисперсные порошки, наноструктуры, материалы» Красноярск, 1999, С. 140-142.

47. Смирнова Н.А., Левин В.И., Пилюгин В.И. и др. Эволюция структуры ГЦК монокристаллов при больших пластических деформациях // ФММ, 1986, Т. 61, В. 6, С. 1170-1177.

48. Праттон М. Тонкие ферромагнитные пленки // Изд. «Судостроение» Ленинград, 1967, 263 с.

49. Саланский Н.М., Ерухимов М.Ш. Физические свойства и применение магнитных пленок // Изд. "Наука", Новосибирск, 1975, 220 с.

50. Исхаков Р.С. Шепета Н.А., Комогорцев С.В., Чеканова Л.А. Переход из мультислойного в гранулированное состояние в многослойных пленках на основе Со //. Из Кн. «Ультрадисперсные порошки, наноструктуры, материалы» Красноярск, 1999, С. 109-110.

51. Плога К. Молекулярно-лучевая эпитаксия и гетероструктуры. Под ред. Л.Ченга, М., Мир, 1989, 562 с.

52. Эдельман И.С., Кононов В.П. Магнитные ультратонкие пленки и структуры, получаемые методом МЛЭ. Препр. № 643 Ф, Красноярск, 1990, 31 с.

53. Херман М. Полупроводниковые сверхрешетки. М., Мир, 1989, 240 с.

54. Chizhov Р.Е., Petinov V.I., Grigorevski A.V. Impurity atoms in small metallic particles // Sol. St. Comm., 1982, V. 42, N. 4, P. 327-329.

55. Abrahams M.S., Buiocchi C.J., Rayl M. Wojtowicz P.E. Transition electron micro- scopi of granular Ni-Si02 cermet films // J. Appl. Phys., 1972, V. 43, N. 6, P. 2537-2541.

56. Sato H., Sakurai Т., Shimada Y., Y., Fukamichi K. Structure and magnetism of hep-Co fine particles // J. Appl. Phys., 1997, V. 81, No. 4, P. 1858-1862.

57. Bai H.L., Jiang E.Y., Wang C.D. Thermal evolution of carbon in annealed Co/C soft x-ray multilayyrs //J. Appl. Phys., 1996, V. 80, N. 3, P. 1428-1436.

58. Ganter G. et al. Localization of 3d and 4f electrons in small clusters: the "roots" of magnetism // Phys. Rev. Lett., 1996, V. 76, N. 26, P. 4975-4977.

59. Dupuis V. et al. From superparamagnetic to the magnetically ordered state in system of transition metal clusters embedded in matrices // J.Magn, Magn. Mater., 1997, V. 165, P. 42-46.

60. Parent F. Giant magnetoresistance in Co-Ag granular films // Phys. Rev. В., 1997, V. 55, N. 6, P. 3683-3687.

61. HanakJ.J. The "multiple-sample concept" in materials resarch: sinthesis, compositional analysis and testing of entire systems // J. Mat. Sci., 1970, V. 5, N. 11, P. 964-971.

62. Goldstein Y., Gittleman J.I. Ferromagnetism in granular nickel films // Sol. St. Comm., 1971, V. 9, No. 14, P. 1197-1200.

63. Lood D.E. Electrical properties of Cr-SiO cermet films // J. Appl. Phys., 1967, V. 38, No. 13, P. 5087-5089.

64. Gittleman J.I., Abeles В., Bozowski S. Superparamagnetism and relaxation effects in granular Ni-SiO and Ni-Al203 // Phys. Rev. В., (Sol. St.), 1974, V. 9, No. 9, P. 3891-3897.

65. Lissberger P.H., Saunders P.W. Optical and magneto-optical properties of thin film cermet // Thin Sol. Films, 1976, V. 34, No. 2, P. 323-333.

66. Harey R., Thomas B.W.S., Magneto-optic size effects in granular films // J. Appl. Phys., 1975, V. 8, No. 3, P. 336-341.

67. Chen Chen, Osamu Kitakami, Yutaka Shimada Particle size effects and surface anisotropy in Fe-based granular films // J. Appl. Phys., 1998, V. 84, No. 4, P. 2184-2188.

68. Cary R., Thomas B.W. Magneto-optic effect in granular films//J.Phys. D., 1975, V.8, P. 336-341.

69. Kawabata A., Kubo. Size effects in granular films // J. Phys. Soc. Jap., 1966, P. 1765-1778.

70. Технология тонких пленок / под общей ред. Майссела JL, Глэнга Р. М.: Сов. Радио, Т. 2, 1977, 585 с.

71. Ильинский А.И., Савченко И.А., Лях Г.Е. Влияние упрочняющей фазы на напряжение течения композиций никель-окись кремния // ФММ, 1978, Т. 46, В. 2, С. 421-423.

72. Коген (Cohen R.), Мецрих (Mezrich R.) Носители информации для магнитооптических запоминающих устройств // Заруб, р/электроника, 1973, № 11, С. 84-96.

73. Shi Jing, Gider S., Babcock К., Awschalom D.D. Magnetic clusters in molecular beams, metals, and semiconductors //// Science, 1996, V.271, P.937-941.

74. Alivisatos A.P. Semiconductor clusters, nanocrystals, and quantum dots // Science, 1996, V. 271, P. 933-937.

75. Servise R.F. Small clusters hit the big time // Science, 1996, V. 271, P.920-922.

76. Гусев Ф.И. Нанокристаллические материалы: методы получения и свойства //Екатеринбург, 1998, 198 с.

77. Палатник JI.C., Быковский Ю.А., Панчеха П.А. Дудоладов А.Г., Вер-чеико В.И., Марунько С.В. О механизме вакуумной конденсации при высокоскоростных методах испарения // ДАН СССР, 1980, Т.254, № 3, С.632-635.

78. Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные системы ионного распыления материалов (обзор) // ПТЭ, 1978, № 4, С. 7-17.

79. Данилин Б.С. Получение тонкопленочных элементов микросхем // Изд. «Энергия», 1977, С. 52

80. Гапонов С.В. Лазерное напыление пленок //Вестник АН СССР, 1984, № 12, С. 3-10.

81. Vancea J., Hoffmann Н., Kastner К. Mean free path and effective density of conduction electrons in polycrystalline metal films//Thin Sol. Films, 1984, V. 121, N. 3, P. 201-216.

82. Манухин B.H, Савельев В.А. Лазерные методы получения и обработки тонких пленок: обзор // Зарубежн. радиоэлектроника, 1977, № 1, С. 30-51.

83. Жигалов B.C., Кононов В.П., Фролов Г.И., Яковчук В.Ю. Вакуумная технология получения тонких магнитных пленок // Препринт № 406-Ф, 1987, Красноярск, Институт физики СО АН СССР, 47 с.

84. Бриггс Д., Сих М.П. Анализ поверхности методами Оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии // М.: «Мир», 1987, 600 с.

85. Отчет Сибирского международного центра синхротронного излучения за 1991-1992 г. //1993, Новосибирск, Институт ядерной физики им. Г.И. Буд-кера, 310с.

86. Вертхейм Г. Эффект Мессбауэра // М.: «Мир», 1966, 172 с.

87. Хрусталев Б.П., Поздняков В.Г. Резонансный спектрометр 2-мм диапазона // В сб. «Высокочастотные свойства магнитных пленок», Красноярск, 1978, С. 40-48.

88. Балаев А.Д. Измерение намагниченности в сильном магнитном поле // В сб. «Физика магнитных пленок», 1980, Иркутск, В. 14, С. 140-143.

89. Гинье А. Рентгенография кристаллов. Теория и практика // М.: «Физмат-гиз», 1961,604 с.

90. Фролов Г.И., Жигалов B.C., Польский А.И., Поздняков В.Г. Исследование электропроводности в нанокристаллических пленках кобальта // ФТТ, 1996, Т. 38, №4, С. 1208-1213.

91. Fujita Т., Oshima К., Wada N.J. J. Phys. Jap., 1969, V. 27, N. 6, P. 1459.

92. Бондаренко Г.В., Долгарев А.П. Аморфные пленочные сплавы переходных и редкоземельных металлов. Красноярск, 1988, 213 с.

93. Vancea J., Hoffmann Н., Kastner К. Mean free path and effective density of conduction electrons in polycrystalline metal films // Thin Sol. Films, 1984, V. 121, N. 3, P. 201-216.

94. Fuchs K. Proc. Cambridge Phil. Soc., 1938, V. 34, P. 100.

95. Mayadas A.F., Shatzkes M. Electrical resistivity model for polycrystallinefilms: the case of arbitrary revlection at external surfaces // Phys. Rev. В., 1970, V. 1, N. 4, P. 1382-1389.

96. Namba Y. Jap. J. Appl. Phys., 1970, V. 9, N. 11, P. 1326.

97. Reiss G., Vancea J., Hoffmann H. Phys. Rev. Lett., 1986, V. 56, N. 19, P. 2100

98. Vancea J., Pukowietz S., Reiss G., Hoffmann H. Phys. Rev., 1987, V. B35, N. 17, P. 9067.

99. Vancea J., Hoffmann H. Reduced density of effective electrons in metal films // Thin Sol. Films, 1982, V. 92, N. 3, P. 219-225.

100. Novakova A.A., Gan'schina E.A., Kiseleva T.Yu., Rodin L.R., Zhigalov V.S. Magnetic and structural state of thick iron film // Moscow Intern. Symp. on Magnetism, Abstr. of reports, 1999, Москва, МГУ, (23P3-3) P. 213-215.

101. Петров Ю.И. Физика малых частиц // М.: «Наука», 1982, 215 с.

102. Wright J.G. Amorphous transition metal films // IEEE Trans, magn., 1976, V. Mag-12, No. 2, P. 95-1020.

103. Фролов Г.И., Жигалов B.C., Баюков О.А. Фазовый состав нанокристаллических пленок железа, осажденных в атмосфере азота // ФТТ, 1999, Т. 41, В. 10, С. 1819-1821.

104. Dubois J.M., Le Gaer G. Electron diffraction and Mossbauer studies of the €-phase retained in splat-quenched Fe-C and Fe-C-Si alloys // Acta Metallurgies 1977, V. 25, N. 6, P. 609-618.

105. Новакова A.A., Киселев А.А., Кузьмин P.H., Сидорова Г.В. Анализ гетерогенной структуры поверхности аморфных сплавов с помощью эффекта Мессбауэра // Письма в ЖЭТФ, 1986, Т. 43, В. 7, С. 321-324.

106. Bauer-Grosse Е., Le Caer G., Fournes L. Hyperfine Interactions. 1986, V. 27, P. 297.

107. Жарков C.M., Жигалов B.C., Фролов Г.И. ГПУ фаза в пленках никеля // ФММ, 1996, Т. 81, В. 3, С. 170-173.

108. Бублик А.И., Пинес Б.Я. Фазовый переход при изменении толщины в тонких металлических пленках // ДАН СССР, 1952, Т. 87, В.2, С. 215-218.

109. Wright J.G., Goddart J. Electrodeposition of H.C.P. nickel // Philos. Mag. (GB), 1965, V. 11, P. 485-493.

110. Литвинцев B.H., Харинский Б.Н., Мороз В.А. Исследование аморфных конденсатов Fe, Ni, Со // ФММ, 1989, Т. 67, В. 5, С. 891-895.

111. Krishan R., Gupta Н.О., Sella С., Kaabouchi М. Magnetic and structural studies in sputtered Ni/C, Co/C and Fe/C multilayers // J. Magn. a. Magn. Mat., 1991, V. 93, P. 174-178.

112. Жигалов B.C., Фролов Г.И., Квеглис Л.И. Нанокристаллические пленки кобальта, полученные в условиях сверхбыстрой конденсации // ФТТ, 1998, Т. 40, № 11, С. 2074-2079.

113. Жарков С.М., Жигалов B.C., Квеглис Л.И., Лисица Ю.В., Ренская К.В., Фролов Г.И. Кластерная структура и сверхрешетки в пленках Со и Fe // Письма в ЖЭТФ, 1997, Т. 65, В. 12, С. 872-875.

114. Фролов Г.И., Баюков О.А., Жигалов B.C., Квеглис Л.И., Мягков В.Г. Электронномикроскопические и мессбауэровские исследования сверхрешетки в пленках железа // Письма в ЖЭТФ, 1995, Т. 61, № 1, С. 61-64.

115. Cohen-М., Knight W. // Phys/ Today, 1990, V. 12, N. 12, P. 42-50.

116. Мальцев В.К., Фиш Г.И., Цифринович В.И. Скачкообразное изменение спектра ядерного магнитного резонанса при нагревании аморфного соединения СоР // ФММ, 1981, Т. 52, № 2, С. 439-441.

117. Delaunay J.J., Hayashi Т., Tonita М., Hirono S. J. Appl. Phys., 1997, V. 82, N. 5, P. 2200.

118. Исхаков P.C., Комогорцев C.B., Столяр C.B., Прокофьев Д.Е., Жигалов

119. B.C., Балаев А.Д. Правило ступеней Оствальда в пленках метастабиль-ных нанокристаллических сплавов Fe-C, полученных методом импульс-но-плазменного испарения // Письма в ЖЭТФ, 1999, Т.70, В. 11, С.727-32.

120. Снигерев О.В., Тишин A.M., Гудошников С.А., Андреев К.Е., Бор Якоб. Магнитные свойства ультратонких пленок Ni // ФТТ, 1998, Т. 40, В. 9,1. C. 1681-1685.

121. Hasegawa Н., Kanamori J. An application of the coherent potential approximation to ferromagnetic alloys // J. Phus. Soc. Japan, 1971, V. 31, No. 2, P. 382-393.

122. Hasegawa H., Kanamori J. Calculation of electronic structure of Ni base fee ferromagnetic alloys in the coherent potential approximation // J. Phus. Soc. Japan, 1972, V. 33, No. 6, P. 1599-1606.

123. Parlebas J.C., Gautier F. Electronic structure of nickel-carbon interstitial alloys // Philos. Mag., 1977, V. 35, No. 3, P. 795-799.

124. Demangeat C., Gautier F., Parlebas J.C. Electronic structure and ordering of sp-defects in transition metals //J. Phus. F.: Metal Phus., 1978, V. 8, No. 9, P. 1879-1890.

125. Ishihara I.N., Nishitani S.R., Miyake H., Shingu P.H. Rapid Solidification and Metastable Phase Diagrams of the Fe-C, Co-C and Ni-C Systems // Intern. J. of Rap. Solid. 1984-5 V. 1, P. 51-58.

126. Крапошин B.C., Шахлевич K.B. Рентгенографическое исследование превращений метастабильных фаз в системе никель-углерод // ПОВЕРХНОСТЬ. Физика, химия, механика, 1990, № 4, С. 139-144.

127. Ершова Т.П., Каменетская Д.С., Ильина Л.П. // Изв. АН СССР Металлы, 1982, № 1, С. 153-160.

128. Фролов Г.И., Жигалов B.C., Квеглис Л.И., Жарков С.М., Баюков О.А., Басько А.Л. Структура и магнитные свойства нанокристаллических пленок железа // ФММ, 1999, Т. 88, № 2, С. 85-89.

129. Фролов Г.И., Жигалов B.C., Жарков С.М., Яруллин И.Р. Пленки железа с микрокластерной структурой // ФТТ, 1994, Т. 36, № 4, С. 970-972.

130. Мягков В.Г., Квеглис Л.И., Жигалов B.C., Фролов Г.И. Дендритная кристаллизация аморфных пленок железа // Изв. РАН, сер. физ., 1995, Т. 59, №2, С. 152-156.

131. Bernars Н., Campbell I.A., Fruchart R. Electronic exchange and the Moss-bauer effect in iron-based interstitial compounds // J. Phys. Chem. Sol., 1967, V. 28, No. 1,P. 17-24.

132. Шкловский В.А., Кузьменко B.M. Взрывная кристаллизация аморфных веществ // УФН, 1989, Т. 157, В. 2, С. 311-338.

133. Квеглис Л.И., Жарков С.М., Вершинин Ю.В., Басько A.JI. Модульные структуры и топологический фазовый переход в нанокристаллических пленках // В Сб. тез. 2-го Всероссийского семинара «Моделирование неравновесных систем 99», 1999, Красноярск, С. 58-59.

134. Бульенков Н.А. // Вестник Нижегородского университета им. Лобачевского Н.И. Сер. ФТТ, 1998, № 1, С. 19-30.

135. Мягков В.Г., Жигалов B.C., Жарков С.М. Фрактальное окисление аморфных пленок железа. ДАН, 1996, Т. 346, № 5, С. 612-615.

136. Мягков В.Г., Квеглис Л.И., Жигалов B.C., Фролов Г.И. Морфологические нестабильности при взрывной кристаллизации пленок железа // Поверхность. 1994. № 1. С. 105-109.

137. Исхаков Р.С., Комогорцев С.В., Столяр С.В., Прокофьев Д.Е., Жигалов B.C. Структура и магнитные свойства нанокристаллических конденсатов Fe, полученных методом импульсно-плазменного испарения // ФММ,1999, Т. 88, №3, С. 56-65.

138. Williamson D.L., Bukshpan S., Ingalls R. Search for magnetic ordering in hep-iron // Phys. Rev. В., 1972, V. 6, P. 4194-4206.

139. Палатник Л.С., Бронин C.B., Равлик А.Г., Дьяченко B.C. Электроно-графическое и электронно-микроскопическое исследование карбидов в железоуглеродистых пленках, конденсируемых в вакууме // ФММ, 1966, Т. 21, В. 2, С. 217-222.

140. Фролов Г.И., Жигалов B.C., Мальцев В.К. Влияние температуры на структурные превращения в нанокристаллических пленках кобальта // ФТТ, 2000, Т. 42, № 2, С. 326-328.

141. Исхаков Р.С., Столяр С.В., Чеканова Л.А., Артемьев Е.М., Жигалов B.C. Фазы высокого давления в нанокристаллических пленках Со(С), полученных методом импульсно-плазменного испарения // Письма в ЖЭТФ,2000, Т.72, В. 6, С. 457-462.

142. Исхаков Р.С., Столяр С.В., Артемьев Е.М., Жигалов B.C. Особенности структуры и магнитных свойств нанокристаллических (НК) пленок сплава Со(С), полученных методом импульсно-плазменного испарения

143. ИЛИ) // В сб. тез. XVII междунар. шк.-сем. «Новые магнитные материалы микроэлектроники», Москва, МГУ, 2000, С. 639-641.

144. Gangopadhyay S. Hadjipanayis G.C. Sorensen C.M. Klabunde K.J. // IEEE Trans. Magn., 1992, V. 28, P. 3174.

145. Nagakura S., Suzuki Т., Kusunoki M. Structure of the precipitated particles at the third stage of tempering of martensite iron-carbon steel studied by high resolution microscopy // Transactions of Jap. Inst, of metals, 1981, V. 22, N. 10, P. 699-709.

146. Чекин B.B. Мёссбауэровская спектроскопия сплавов железа, золота и олова// Энергоиздат, М., 1981, 107 с.

147. Максимов Ю.В., Суздалев И.П., Аренц Р.А. Исследование магнитных свойств х- и 9-карбидов железа с помощью мессбауэровской спектроскопии // ФТТ, 1972, Т. 14а В. 11, С. 3344-3347.

148. Григорович В.К. Электронное строение и термодинамика сплавов железа //М., «Наука», 1970,318 с.

149. Bauer-Grose Е., LeCaerG. Structural evolution of sputtered amorphous Fe,.xCxfilms for 0,19 < x < 0,49 //Phil. Mag. В., 1987, V.56, N. 4, P. 488-500.

150. Le Саёг G., Dubois J.M., Senateur J.P. Etude par spectrometrie Mossbauer des carbures de Fer Fe3C et Fe3C2 // J. Sol. St. Chem., 1976, V. 19, N. 1, P. 19-28.

151. Ляшенко Б.Г., Сорокин JI.M. Определение положения углерода в цементите нейтронографическим методом //Кристаллография, 1963, Т. 8,1. B. 3, С. 382-387.

152. Ino Н., Moriya Т., Fujita Е.Е., Maeda Y. Mossbauer effect in iron-carbon martensite structure and its changes after tempering // J. Phys. Soc. Jap., 1967, V. 22, No. 1, P. 346-347.

153. Нагаев Э.Л. Малые металлические частицы //УФН, 1992, Т. 162, № 9,1. C. 49-124.

154. Ray К., Durand J., Budnick J.I., Skalski S. NMR studies of metal and metalloid size hyperfine field distributions in magnetically ordered amorphous alloys // J. Appl. Phys., 1978, V. 49, N. 3, P. 1671-1676.

155. Granqvist C.G., Buhrman R.A. // J. Appl. Phys., 1976, V. 47, P. 2200.

156. Kum T.K, Takahashi M. Appl. Phys. Lett., 1972, V. 12, P. 492.

157. Shih K.K., Re M.E., Pove D.B. Appl. Phys. Lett., 1990, V. 57, P. 412.

158. Hsu C.-M., Lin H.-M., Tsai K.-R. High resolution transmission electron microscopy and magnetic properties of nanocrystalline iron particles with oxidi-red and nitrided surfaces // J. Appl. Phys., 1994, V. 76, N. 8, P. 4793-4799.

159. Тот Л. Карбиды и нитриды переходных металлов // М:,"Мир" 1974, 294 с.

160. Новое в химической фиксации азота: пер. с англ. //под ред. Дж.Чатта, Л. Камара Пины, Р. Ричардса, М.: Мир, 1983, 304 с.

161. Писаренко И.В. Фазовый состав и магнитные свойства пленок Fe-N // Автореф. диссерт. к.ф.-м.н., Владивосток, 2000, 24 с.

162. Балаев А.Д., Жигалов B.C., Комогорцев С.В., Столяр С.В. Магнитные свойства нанокристаллических тонких пленок железа // В сб. тез. XV Всерос. шк.-сем. «Новые магнитные материалы микроэлектроники», Москва, 1996, С.47-48.• 386

163. Chen G.M., Jaggl N.K., Butt J.B., Yeh, Schwartz L.H. Mossbauer and magne-tic studies of e-FexN 2 <x<3 // J. Phys. Chem., 1983, V.87, N.26, P. 326-5332.

164. Жигалов B.C., Фролов Г.И., Мягков В.Г., Жарков C.M., Бондаренко Г.В. Исследование нанокристаллических пленок никеля, осажденных в атмосфере азота // ЖТФ, 1998, Т. 68, № 9, С. 136-138.

165. Santos С.A., Barros B.A.S., SouzaJ.P., Baumvoll J.R. Iron and carbonitride phases in nitrogen implanted carbon steel //Appl. Phys. Lett., 1982, V. 41, No. 3,P. 237-239.

166. Chabanel M., Janot C., Motte J.P. Acad. Sc. Paris, 1968, V. 226, P. B419.

167. Bernier R. // Ann. de Chimie. 1951, N. 66, P. 104-161.

168. Terao N. // J. Phys. Soc. Jap. 1960. V. 15, N. 2, P. 227-232.

169. Philipp H.R. Optical properties of non-crystalline Si, SiO, SiOx // J. Phus. Chem. Sol., 1971, V. 32, No. 8, P. 1935-1945.m 172. Кононов В.П., Жигалов B.C. Тигельный испаритель для получения однородных тонких пленок // ПТЭ, 1975, № 1, С. 235-236.

170. Кононов В.П., Жигалов B.C., Осипова Р.Е. Тонкие пленки с минимальной дефектностью структуры. В кн.: «Радиотех., тонкие пленки, выч. техн.» Красноярск: Изд. ИФ СО АН СССР, 1973, Ч. 2, С. 66-70.

171. Жигалов B.C. Физические свойства пленок системы (Fe-Ni)-SiO // Кандидатская диссертация, 1982, 116 с.

172. Жигалов B.C., Фролов Г.И. Напряжения в керметных пленках системы

173. Fe-NOi.^SiO)* // ФММ, 1978, Т. 45, В. 6, С. 1289-1291.

174. Гоффман Р.У. Механические свойства тонких конденсированных пленок // В кн.: Физика тонких пленок, М.: Мир, 1976, Т. 3, С. 225-298.

175. Дубинин Г.Н., Авраамов Ю.С. Конструкционные проводниковые и магнитные материалы // М.: Машиностроение, 1973, 295 с.

176. Pivot J., Roger J.A., Morelli D. Mechanical properties of stoichometric SiOthin films: evidence ofplasticiti // Thin Sol. Films, 1976, V.34, N.2, P.205-09.

177. Фролов Г.И., Жигалов B.C. Коэрцитивная сила пленок системы (Fe-Ni)ioo-x(SiO)x И ФММ, 1975, Т. 40, В. 3, С. 518-523.

178. Саланский Н.М., Жигалов B.C., Фролов Г.И. Коэрцитивная сила разбавленных пленок пермаллоя // В кн. Научн. приборостр. для физ. иссл-й, Ч. 2, Красноярск, 1975, С. 43-38.

179. Жигалов B.C., Фролов Г.И., Величенко П.П. Магнитные и электрическиеш свойства пленок (Fe-Ni)ioo-x(SiO)x // В кн. Физ. магн. пл-к, Иркутск, 1975,1. С. 106-110.

180. Frolov G.I., Zhigalov V.S. Coercive force of (Fe-Ni),00-x(SiO)x // Abstr. the VII Inern.Colloq. on Magn. films, Regensburg 1975, P. 6B-6.

181. Бозорт P. Ферромагнетизм // M.: ИИЛ, 1956, 784 c.

182. Фролов Г.И., Жигалов B.C., Кан С.В., Киселев Н.Н., Федоров Ю.М. Особенности свойств железо-никелевых сплавов, легированных моноокисью кремния // В сб. тез. Всесоюзн. конф. по физике магнитн. явл-й, Донецк, 1977, С. 229.

183. Жигалов B.C., Федоров Ю.М., Фролов Г.И. Эффект увеличения намагниченности и фарадеевского вращения в пермаллоях, разбавленных диэлектриком // ФММ, 1977, Т. 44, В. 6, С. 1303-1305.

184. Игнатченко В.А., Исхаков Р.С., Попов Г.В. Закон приближения намагниченности к насыщению в аморфных ферромагнетиках // ЖЭТФ, 1982, Т.82, №. 5. С. 1518-1531.

185. Кринчик Г.С., Нурмухамедов Г.М. Экспериментальное исследование электронной структуры Ni магнитооптическим методом // ЖЭТФ, 1965, Т.48, В. 1,С. 34-39.

186. Афанасьева JI.A., Кириллова М.М. Оптические и магнитооптические свойства железа и кобальта // ФММ, 1967, Т. 23, В. 3, С. 472-476.

187. Brin М., Juretscke H.J. Dispersion of Faradeys rotation in the Ni and permalloy films // J. Appl. Phys., 1979, V. 50, No. 11, pt.2, P. 7469-7470.

188. Фролов Г.И., Польский А.И., Жигалов B.C., Середкин В.А. Новые магни-топленочные материалы и'их применение // В кн. «Физика твердого тела. Биофизика», 1982, Красноярское кн. изд-во, С. 62-65.

189. Ерухимов М.Ш., Жигалов B.C., Фролов Г.И. Точка Кюри пермаллоевых сплавов, разбавленных моноокисью кремния // В сб. тезисов Всесоюзн. конф. по физике магнитных явлений, Харьков, 1979, С. 290.

190. Ерухимов М.Ш., Жигалов B.C., Фролов Г.И. Температурное поведение намагниченности пермаллоевых сплавов при наличии примесных атомов //ФММ, 1980, Т. 49, В. 6, С. 1210- 1215.

191. By Динь Кы Анизотропия Ар эффекта в ферромагнитных металлах // ФММ, 1967, Т. 23, В. 3, С. 400-404.

192. Щербаков В.М., Жигалов B.C., Гринин Э.Ф., Середкин В.А., Фролов Г.И. Пленочные материалы для магнитооптических применений // В сб. «Совр. сост-е и персп. разв. функц. элек-ки», 1981, Красноярск, С. 28-30.

193. Середкин В.А., Фролов Г.И., Жигалов B.C. Новый материал для формирования низкокоэрцитивных каналов//В сб. тез. 16-го Всесоюзн. сов-я по маг. эл-м авт-ки и выч. тех-ки, Москва, 1979, С. 104-106.

194. Середкин В.А., Жигалов B.C., Фролов Г.И. Некоторые особенности свойств пленок железа, легированного моноокисью кремния. // В сб. тез. докл. 2-го Всесоюзн.объед.сем. по ЦМД, Москва, 1978, С. 34.

195. Середкин В.А., Ерухимов М.Ш., Жигалов B.C., Яковчук В.Ю. Каналы продвижения ПМД Fe-SiO и NiFe-NiFeMn // В кн. «Магнитные материалы для радиоэлектроники», 1982, Красноярск, С. 56-69.

196. А.с. 658990 СССР. Способ изготовления магнитооптического элемента иферромагнитный материал для его осуществления./ Середкин В.А., Жигалов B.C., Фролов Г.И. от 28 декабря 1978 г

197. А.с. 589627 СССР. Сплав для тонких магнитных пленок на основе железа. / Жигалов B.C., Середкин В.А., Фролов Г.И.- опубл. в Б.И.,1978, № 3.

198. Середкин В.А., Жигалов B.C. Кристаллическая структура и магнитооптические свойства пленок системы Fe-SiO // В сб. «Высокочастотные свойства магнитных пленок»,'Красноярск, 1978, С. 112-117.

199. Балаев А.Д., Жигалов B.C., Поздняков В.Г., Хрусталев Б.П. Магнитные свойства аморфных пленок Feioo-x(SiO)x // В кн. «Магнитные материалы для радиоэлектроники», 1982, Красноярск, С. 185-196.

200. Игнатченко В.А., Исхаков Р.С. Спиновые волны в случайно неоднородной анизотропной среде // ЖЭТФ , 1977, Т. 72, В. 3, С. 1005-1017.

201. А.с. 792978 СССР. Сплав для магнитных пленок на основе железа. / Середкин В.А., Гринин Э.Ф., Жигалов B.C., Фролов Г.И. от 1. 09. 1980 г.

202. Гоманьков В.И., Пузей И.Н. Проблемы магнетизма // М.:, «Наука», 1972, С. 161.

203. А.с. 687849. Состав для термомагнитного носителя записи./ Вершинина Л.И., Пынько В.А., Середкин В.А. от 18 декабря 1978 г.

204. Игнатченко В.А., Исхаков Р.С., Чеканова Л.А., Чистяков Н.С. Изучение дисперсионного закона для спиновых волн в аморфных пленках методом СВР // ЖЭТФ, 1978, Т. 75, В. 2(8), С. 653-657.

205. Sichel Е.К, Gittleman J.I., Abeles В. // Optical properties of granular magnesium films // Thin Sol. Films, 1978, V. 51, No. 1, P. 89-92.

206. Gittleman J.m, Goldstein Y., Bosowsky S. Magnetic properties of granular nickel films // Sol. St. Comm., 1972, V. 5, No. 9, P. 3609-3621

207. Хрусталев Б.П., Балаев А.Д., Поздняков В.Г., Вершинина Л.И. Обменное взаимодействие в ферромагнитных пленках Fe-SiO с кластерной структурой // ФТТ, 1985, Т. 27, В. 11, С. 3222-3229.

208. Балаев А.Д., Хрусталев Б.П. Электропроводность пленок Fe-SiO // Препринт № 766Ф, 1996, Красноярск, ИФ СО РАН, 25 с.

209. Хрусталев Б.П. Создание сильных магнитных полей и исследование неоднородных магнетиков в сильных магнитных полях // Докт. диссертация, Екатеринбург, 1994, 505 с.

210. Хрусталев Б.П., Балаев А.Д., Соснин В.М. Суперпарамагнетизм в нанок-ластерных пленках Fe-SiO // ФТТ, 1994, Т. 37, В. 6, С. 1676-1686

211. Хрусталев Б.П., Мельник А.С., Жигалов B.C., Балаев А.Д., Хрусталева Л.М., Оладо А.Г., Поздгяков В.Г. Магнитные свойства аморфных пленок Fei.^SiO)*// В сб. тезисов 2-го сем. По аморфн. магн., 1980, Красноярск, С. 89-90.

212. А.с. 656365 СССР. Сплав на основе никеля для магнитных пленок.// Жигалов B.C., Фролов Г.И., Кан С.В., Киселев Н.И. от 14 декабря 1978 г.

213. Van Saarlos W., Weeks J. P. Surface undulations in explosive crystallization: anonlinear analysis of a thermal instability // Physika. D. 1984, V.12, P.279-294.

214. Kurtze D., Van Saarlos W., Weeks J.D. Front propagation in self-sustained and laser -driven explosive crystal growth: stability analysis and morphological aspects //Phys. Rev. B. 1984, V. 30, N. 3, P. 1389-1415.

215. Liu В. X., Huang L. J., Tao К. H., Shang С. H., Li H. D. // Phys. Rev. Lett., 1987, V. 59, P. 745.

216. Gilmer G. H., Leamy H. J. // Laser and Electron-Beam Processing of Materials. N.Y.: Acad. Press., 1980, P. 227-232.

217. Gladis P. E., Gleeson I. Т., Finn P. L. Defects, Patterns and instabilities // Eds. Kliver, Walgrafed: Acad. Publ., 1990, P. 135-140.

218. De Cheveigne S., Guthman C. // Phys. France. 1992, V. 2, P. 193.

219. Kassner K., Misban C., Muller-Krumbhaar H. // Phys. Rev. Lett., 1991, V.67, P. 1551.

220. Coullet P. Looss G. Instabilities of the one-dimensional cellular patterns // Phys. Rev. Lett., 1990, V. 64, P. 866-869.

221. Харьков E. И., Лысов В. И., Цареградская Т. Л. Исследование процесса кристаллизации аморфных сплавов на основе Fe и Со // Металлофизика, 1993, Т. 15, С. 78-84.

222. Kim S. G., LeeN. Е. RaaH. Y. //J. Mat. Sci. 1991. V. 26. P. 6011.

223. Флеминг М.Ф. Процессы затвердевания. M.: Мир, 1977, 218 с.

224. Haneda К., Zhou Z., Morish А. Н. // Phys. Rev. В. 1992. V. 46. Р. 13832.

225. Scheurer F., Allenspach R., Xhonneux P., Courtens E. Magnetic coupling of structural microdomains in bcc Fe on Cu (001) // Phys. Rev. В., 1993, V. 48, N. 13, P. 9890-9893.

226. Trayanov A., Tossati E. Lattice theory of crystal surface melting // Phys. Rev. Lett., 1987, V. 59, N. 19, P. 2207-2210.

227. Joost Frenken W.M., van der Veen J.F. Observation of surface melting // Phys. Rev. Lett., 1985, V. 54, N. 2, P. 134-137.

228. Duneau M., Katz A. // Phys. Rev. Lett. 1985. V. 54. № 25. P. 2628.

229. Wang N., Chen H., Kuo K.H. Two-dimensional quasicrystal with eightfold rotational symmetry // Phys. Rev. Lett., 1987. V. 59. № 9. P. 1010-1014.

230. Келли А., Гровс Г. Кристаллография и дефекты в кристаллах. М.: Мир. 1974. 496 с.

231. Frolov G.I., Zhigalov V.S., Myagkov V.G., KveglisL.I. //Proc. 14 Intern. Colloq. on Mag. Films and Surf. Dusseldorf. Germany, 1994, P. 350.

232. Узоры симметрии. M.: Мир. 1969. С. 116.

233. Верма А., Кришна П. Полиморфизм и политинизм в кристаллах. М.: Мир. 1969. 60 с

234. Федер У. Фракталы. М.: Мир, 1991, С. 254.

235. Ben-Jacob Е., Scbochet О., Tenenbaum A., Cohen I., Czirok A., Vicsec Т. Generic modeling of cooperative growth patterns in bacterial colonies // Nature, 1994, V. 368, N. 6466, P. 46-49.щ 390

236. Bude A., Helvin S. Fractals and disordered systems//Eds. В.: Springer-Verlag, Berlm Heidelberg, 1991, P. 350.

237. Мягков В.Г., Квеглис Jl.И., Безрукова Г.Я. Морфологические нестабильности и фрактальный рост при окислении пленок Dy-Co // Поверхность физ. хим. мех., 1995, № 6, С. 46-52.

238. Vega F., Serna R., Afonso C.N. Relaxation and crystallization kinetics of amophous germanium films by nanosecond laser pulse // J. Appl. Phys., 1994,

239. V. 75, N. 11, P. 7267-7291.

240. Мягков В.Г., Бакшеев H.B. Тепловое излучение при автоволновом окислении пленок железа //Письма в ЖТФ, 1992, Т. 18, В. 6, С. 14-17.

241. Troian S.M., Herbolzheimer Е., Safran S.A., Joanny J.E. // Europhys. Lett., 1989, V. 10, N. 1,P. 25-30.

242. Huppert H.E. // Nature, 1982, V. 300, N. 5891, P. 427-429.

243. Jerett J.M., de Bruyn J.R. // Phus. Fluids, 1992, V. 4, N. 2, P. 234-242.

244. Мягков В.Г., Жигалов B.C., Середкин B.A. Осциллирующие нестабильности при распространении отслоений в тонких пленках // ДАН, 1999, Т. 366, № 4, С. 472-474.

245. Langer l.S. Instabilities and pattern formation in crystal growth // Rev. Mod. Phys., 1980, V. 52, P. 1-32.

246. Yuse A., Sano M. Transition between crack patterns in quenched glass plates // Nature (London), 1993, V. 362, P. 329-330.ч 252. Farder M. Instability of crack in a heated strip // Phys. Rev. E., 1994, V. 49,1,P. 51-55.

247. Hayakawa Y. Pattern selection of multicrack propagation in quenched crystals // Phys. Rev. E., 1994, V. 50, № 3. P. R1748- R1751.

248. Мягков В.Г., Жигалов B.C., Сердкин B.A. Явление самоорганизации при отслоениях в неравновесных пленочных системах // В сб. тез. 2-го Все-рос. сем. «Моделирование неравновесных систем-99», 1999, Красноярск,1. Ф С. 80-81.

249. Мягков В.Г., Жигалов B.C., Середкин В.А. Фрактальный рост и самоорганизация отслоений в тонких пленках//В сб. тез. 1-го Междисциплинарного семинара "Фракталы и прикладная синергетика", 1999, Москва, РФФИ, С. 115-117.

250. Жованник Е.В., Николаев И.Н., Уточкин Ю.А., Ставкин Д.Г. Адгезия при лазерном напылении пленок // Физ. и хим. обраб. матер., 1996, № 6.1. С. 72-77.

251. Волынский А.Л., Воронина Е.Е., Лебедева О.В., Баженов С.Л., Озе-рин Н.А., Бакеев Н.Ф. Пластическая деформация металлического покрытия при деформировании полимера-подложки // ДАН, 1998. Т. 360, № 2. С. 205 208.

252. Мержанов А.Г. Самораспространяющийся высокотемпературный синтез. В кн.: Физическая химия, сб. ст. под ред. Колотыркина. М.: Химия,1983, С. 6-45.

253. Корчагин М.А., Александров В.В., Неронов В.А. Фазовый состав промежуточных продуктов взаимодействия никеля с алюминием // Изв. Сиб. Отд. АН СССР, сер. хим. наук, 1979, № 14, В. 6 , С. 104-111.

254. Мягков В.Г., Быкова JI.E. Самораспространяющийся высокотемпературный синтез в тонких пленках // ДАН, 1997, Т. 354, № 6, С. 777-779.

255. Мягков В.Г., Жигалов B.C., Быкова JI.E., МальцевВ.К. Самораспространяющийся высокотемпературный синтез и твердофазные реакции в двухслойных тонких пленках // ЖТФ, 1998, Т. 68, № 10, С. 58-62.

256. Мягков В.Г., Жигалов B.C., Быкова JI.E., Бовина А.Ф., Бондаренко Г.Н. Самораспространяющийся высокотемпературный синтез силицида никеля в двухслойных пленках нитрида никеля и моноокиси кремния // ИЗВ. РАН. Неорг. мат., 1999, Т. 35, № 5, С. 600-603.

257. Кузьменко В.М., Мельников В.И. "Лавинная" кристаллизация аморфных металлов // ЖЭТФ, 1982, Т. 82, № 3, С. 803-809.

258. Самсонов Г.В. Нитриды. Киев: Наук, думка, 1969, 380 с.

259. Новиков Н.П., Боровинская И.П., Мержанов А.Г. Термодинамический анализ реакций самораспространяющегося высокотемпературного синтеза // Проц. гор. в хим. техн. и металлург. Черноголовка, 1975, С. 174-184.

260. Григорьева Э.В., Кориков П.П., Панеш A.M. Взаимодействие атомов меди с поверхностью оксидов и оксинитридов кремния // Журн. Физ. химии, 1992, Т. 66, № 5, С. 1365-1368.1. Всего 266.