Методы уменьшения инструментальных погрешностей интерферометров с совмещенными ветвями тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.07, кандидат технических наук Симонова, Галина Владимировна

• Симонова, Галина Владимировна
• кандидат технических наук
• 2005

Оглавление диссертации кандидат технических наук Симонова, Галина Владимировна

ОГЛАВЛЕНИЕ

Глава 1. Оптические схемы интерферометров и источники погрешностей интерференционных измерений.

1.1 Оптические схемы интерферометров для контроля формы поверхности оптических деталей.

1.2 Источники погрешностей интерференционных измерений и методы их устранения.

1.2.1 Систематические погрешности интерференционных измерений.

1.2.2 Случайные погрешности интерференционных измерений.

1.3 Выводы.

Глава 2. Технические методы коррекции погрешностей.

2.1 Регулировка равномерной освещенности интерференционной картины.

2.2 Коррекция остаточной аберрации освещающей ветви интерферометра.

2.3 Регулировка контраста интерференционной картины.

2.4 Формирование специальной выборки интерферограмм.

2.5 Выводы.

Глава 3. Конструктивные элементы оптической схемы универсального интерферометра.

3.1 Комплект сменных фокусирующих объективов.

3.2 Особенности конструирования оптической схемы интерферометра для контроля крупногабаритных деталей.

3.3 Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Методы уменьшения инструментальных погрешностей интерферометров с совмещенными ветвями»

Значение качества оптики возрастает с каждым годом. Оптические резонаторы, интерферометры, спектрометры, астрономическая оптика требуют высокоточных поверхностей, изготовленных с максимальной погрешностью менее чем сотая доля длины волны излучения X. Для создания качественных оптических поверхностей необходимо решить две проблемы: создать количественные методы контроля формы поверхности и автоматизированную оптическую технологию, которая использовала бы результаты методов контроля. Задачи контроля в оптическом производстве отражены в работах Д.Т. Пуряева, Г.И. Креопаловой, Ю.И. Островского, М.И. Гришина, Э.А. Витриченко, Б. Ма1асага и их соавторов. Известны различные методы контроля формы поверхности: метод Фуко, Ронки, Гартмана, но наиболее точным является интерференционный метод. Обработка интерферограмм осуществляется с погрешностью менее Я/100, в то время как реально достигаемая аппаратная погрешность современных интерферометров больше, чем Я/40. Это обусловлено различными факторами, влияющими на формирование интерференционной картины -инструментальной погрешностью самого интерферометра, нестабильностью работы источника излучения, отдельных электрических и механических устройств, воздействием внешних факторов. Поэтому проектирование оптических схем высокоточных интерферометров требует оптимизации конструкции интерферометра с учетом условий формирования и обработки интерференционной картины, внешних условий. В связи с этим поиск новых методов и технических решений при проектировании интерференционной техники, позволяющих корректировать возникающие погрешности при интерференционных высокоточных измерениях, является актуальной задачей.

Целью работы является улучшение качества формирования интерференционной картины и повышение точности интерференционных измерений посредством применения новых методов и технических решений для совершенствования интерференционных приборов контроля формы оптических поверхностей.

Рассматривались следующие задачи

1. Обоснование выбора рациональной конструкции оптической схемы универсального интерферометра для измерения формы поверхности оптических деталей.

2. Систематизация погрешностей, влияющих на точность интерференционных измерений, и источников их возникновения.

3. Разработка рекомендаций по оптимизации конструкции функциональных узлов интерферометра.

4. Создание и расчет отдельных функциональных узлов универсального интерферометра и оценка их влияния на точность интерференционных измерений.

Научная новизна работы заключается в следующем

1. Проанализированы источники погрешностей и выявлены те, влияние которых может быть уменьшено только применением новых технических решений.

2. Впервые предложена методика самокалибровки остаточной аберраций осветительной ветви интерферометра с совмещенными ветвями, использующая адаптивное зеркало[65].

3. На основе теоретического анализа установлена возможность регулировки контраста интерференционной картины [73] путем использования электрохромного покрытия на эталонной поверхности интерферометра.

4. В результате численного анализа определены значения параметров формирования интерферограмм в условиях неоднородной освещенности, обеспечивающие погрешность измерения менее одной сотой длины волны.

5. В численном эксперименте установлен диапазон перестройки интерферометра, в котором возможно формирование выборки интерферограмм, обеспечивающей погрешность измерения не более одной сотой длины волны.

6. Предложен универсальный подход для изменения расходимости светового пучка рабочей ветви крупногабаритного интерферометра в диапазоне ±2,4° с целью расширения номенклатуры контролируемых деталей [58].

Практическая ценность работы заключается в следующем

1. Найденные подходы к проектированию позволяют уменьшить погрешность интерференционных измерений в 1,5-И,8 раза.

2. Разработанная оптическая схема крупногабаритного интерферометра позволяет проводить аттестационный контроль крупногабаритных оптических деталей как плоской, так и сферической выпуклой и вогнутой поверхностей.

3. Комплект сменных фокусирующих объективов позволяет расширить возможности применения интерферометра для контроля прецизионных оптических деталей широкой номенклатуры.

4. Разработанная оптическая схема крупногабаритного интерферометра для контроля плоских поверхностей позволяет не только проводить контроль формы поверхности оптических деталей, но и проводить физический эксперимент для исследования неоднородности в воздушных вихрях и потоках.

5. Численные исследования позволили сформулировать требования к условиям формирования интерферограмм для высокоточных измерений.

Защищаемые положения

1. Введение коллиматора-трансфокатора в освещающую ветвь интерферометра обеспечивает погрешность контроля не более одной сотой длины волны за счет приведения ширины гауссова пучка в соответствие с числом интерференционных полос.

2. Метод самокалибровки освещающей ветви интерферометра посредством адаптивного зеркала на порядок уменьшает неустранимую остаточную аберрацию и обеспечивает погрешность измерения менее одной сотой длины волны. 3. Контроль широкой номенклатуры крупногабаритных деталей обеспечивается введением в рабочую ветвь интерферометра универсального корректора, состоящего из сферического зеркала и линзового компенсатора, перемещающегося относительно базового блока интерферометра и стационарно закрепленного сферического зеркала. Достоверность результатов диссертационной работы подтверждается натурными и замкнутыми численными экспериментами, обоснованными предположениями и выводами, основанными на теории оптических систем, актами о внедрении и патентом на изобретение.

По теме диссертации опубликовано десять работ. Три из них опубликованы в рецензируемых отечественных изданиях, шесть - в сборниках SPIE. Получено положительное решение от 14.01.05 о выдаче патента по заявке №2004100908/28 (000694) от 9.01.04. Материалы диссертации докладывались и обсуждались на конференциях, симпозиумах:

• Научно-техническая конференция "Применение лазеров в науке и технике" (Тольятти, 1989);

• VII International Symposium on Laser Metrology Applied to Science, Industry and Everyday Life (Новосибирск, 2002);

• IX, X, XI международные симпозиумы "Оптика атмосферы и океана. Физика атмосферы" (ИОА СО РАН, Томск, 2002, 2003, 2004);

• XI Conference on Laser Optics (Санкт-Петербург, 2003);

• VII Международная научно-техническая конференция "Оптические методы исследования потоков " ( Москва, 2003).

В работе использованы результаты, полученные лично автором или при его непосредственном участии в проведении теоретических расчетов, экспериментальных исследований, направленных на решение задач проектирования и технической разработки интерференционной техники.

Диссертация состоит из введения, трех глав, заключения, приложения и списка использованной литературы. Объем диссертации -129 стр., включая 38 рисунков и 13 таблиц. Библиография содержит 100 наименований.

Заключение диссертации по теме «Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы», Симонова, Галина Владимировна

Основные результаты, полученные в данной работе, заключаются в следующем:

1. Систематизированы источники погрешностей интерференционных измерений. Выявлены погрешности, которые могут быть уменьшены только при применении новых технических решений.

2. Предложены и теоретически обоснованы технические методы коррекции погрешностей:

• метод регулировки освещенности интерференционной картины при использовании коллиматора-трансфокатора;

• метод самокалибровки остаточной аберрации осветительной ветви интерферометра посредством адаптивного зеркала;

• метод регулировки контраста интерференционных полос при использовании электрохромного покрытия на эталонной поверхности.

3. Разработаны элементы функциональных узлов интерферометра и дана оценка их влияния на погрешность интерференционных измерений:

• коллиматор-трансфокатор,

• сменные фокусирующие объективы,

• универсальный корректор для контроля крупногабаритных деталей.

4. Сформулированы требования к условиям формирования интерферограмм при высокоточных измерениях:

• при полуширине освещающего пучка не менее диаметра контролируемой детали, число интерференционных полос не менее 20;

• максимально допустимое нормированное среднеквадратическое отклонение аддитивного шума 7% при видности, равной единице;

5. Разработанные подходы к проектированию позволяют уменьшить погрешность интерференционных измерений в 1,5—1,8 раза по сравнению с существующими приборами.

Заключение

В ходе разработки технических решений позволяющих улучшить качество формирования интерференционной картины, спроектирована оптическая схема интерферометра с совмещенными ветвями (рис. 4), позволяющая расширить функциональные возможности интерферометра, а именно обеспечить:

1) регулировку освещенности контролируемой детали;

2) самокалибровку остаточной аберрации освещающей ветви интерферометра;

3) регулировку контраста интерференционной картины;

4) универсальность контроля крупногабаритных деталей. Суммарная погрешность интерференционного измерения состоит из частичных остаточных погрешностей, значения которых представлены в табл. 4.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Симонова, Галина Владимировна, 2005 год

1. A.c. 1341495 СССР, МКИ 4 G 01 В 9/00. Интерферометрический способ контроля качества оптических поверхностей/ В.А Тартаковский, В.П. Лукин, С.И. Лелюхин, В.Л. Голубчик и Л.С. Гуревич (СССР).

2. N 3825166/24-28; заяв. 20.10.84; опубл. 01.06.87. Бюль. N 36. С.190.

3. A.c. 1483311 СССР, МКИ 4 G 01 М 11/00, G 01 В 9/02. Способ интерференционного контроля формы оптических изделий / В.П. Лукин, В.А. Тартаковский (СССР). N 4143268/24-10; заяв. 06.11.86; опубл. 30.05.89. Бюл. N 20. С.162.

4. Аганин A.B. Дифракционные ослабители для выравнивания интенсив-ностей интерферирующих пучков в двухлучевых интерферометрах // ОМП. 1985. N6. С. 52-53.

5. Агурок И.П. Универсальный интерферометр ИКД-110 // ОМП. 1990.N 4. С.7-11.

6. Агурок И.П., Родионов С.А. Анализ влияния погрешностей оптической системы интерферометра на точность измерения формы поверхности.// ОМП. 1988. N8. С. 3-6.

7. Ахманов С.А., Никитин С.Ю. Физическая оптика: Учебник. М.: Изд-во МГУ, 1998.310 с.

8. Афанасьев В.А. Оптические измерения. М., 1981. 59 с.

9. Борн М., Вольф Э. Основы оптики: Пер. с англ. М.: Наука, 1970. 855 с.

10. Бутиков Е.И. Оптика. Учебное пособие для студентов физических специальностей вузов. 2-е изд., перераб. и доп. СПб.: Невский Диалект; БХВ- Петербург, 2003. 283 с.

11. Витриченко Э.А. Методы исследования астрономической оптики. М.: Наука, 1980.152 с.

12. Влияние осевого смещения контрольного прибора на точност определения формы поверхности больших зеркал / Араев И.П. и др. / ОМП. 1984. N 1.С. 9-13.

13. Влияние погрешностей сборки и установки корректора на результат контроля формы поверхности несферических зеркал /Агурок И.П. и д //ОМП. 1980.N3. С. 16-19.

14. Воронцов М.А., Кудряшов A.B., Назаркин С.И. Гибкое зеркало дл адаптивных систем формирования световых пучков // Кв. Электр. 198 Т.П. N6. С. 1247-1249.

15. Воронцов М.А., Гнедой С.А., Кудряшов A.B., Самаркин В.В., Якуни В.П. Шмалъгаузен В.И. Управляемые зеркала на основе полупассивны биморфных пьезоэлементов. Препринт / АН ССР. НИЦТЛ-Шатур 1987. С. 29-33.

16. Вычислительная оптика. Справочник / М.М. Русинов, А.П. Граммати П.Д. Иванов и др.; Под ред. Русинова М.М. Л.: Машиностроени Ленингр. отд-ние, 1984. 423 с.

17. Въено Ж.-Ш., Смигилъский П., Руайе А. Оптическая голограф развитие и применение: Пер. с фран. М.: Мир, 1973. 61 с.

18. Гавршюк А.И., Секушин Н.С. Электронный и фотохромный эффект оксидах вольфрама и молибдена. Л.: Наука, 1990. 112 с.

19. Ган М.А., Устинов С.И., Котов В.В. Исследование точное восстановления волнового фронта при обработке интерферограмм ОМП. 1990. N8. С. 17-20.

20. Ган М.А. О погрешности определения средней квадратичной ошиб волнового фронта // Оптический журнал 1993. N 1. С. 42-44.

21. Горшков В.А. Автоматизированные методы контроля оптическ поверхностей // ОМП. 1980. N 2. С. 37^10.

22. Губин В.Б., Шаронов В.Н. Определение ошибок сферическ поверхностей при интерферометрии со сферическим пучком // О 1990. N8. С. 32-35.

23. Губин В.Б. Алгоритм аттестации сферического зеркала по трем интер-ферограммам // ОМП. 1992. N 4. С. 16-19.

24. Губин В.Б. Базис для обработки интерферограмм от сферических зеркал // Оптический журнал. 1992. N 7. С. 47-50.

25. Губин В.Б. Влияние децентрировок сферических зеркал на точность стандартной модели интерферограммы // Оптический журнал. 1992. N10. С. 32-34.

26. Губин В.Б. Восстановление деформаций поверхности шара по интерферограммам ее частей // Оптический журнал. 1992. N 9.1. С. 71-74.

27. Губин В.Б., Шаронов В.Н. Абсолютная калибровка сферических поверхностей // ОМП. 1990. N 9. С. 41-43.

28. Губин В.Б., Шаронов В.Н. Алгоритм восстановления формы оптических поверхностей по результатам экспериментальных данных // ОМП. 1990. N 3. С. 19-22.

29. Духопел H.H., Симоненко Т.В. Деформация интерференционных полос при неточной фокусировке на исследуемый объект // ОМП. 1977. N11. С. 18-21.

30. Жданова JJ.A. Дихроматические интерференционные фазосдвигающие устройства// Оптический журнал. 1992. N 7. С. 76-78.

31. Желтое O.A. Автоматизированная система контроля волнового фронта //ОМП. 1988. N9. С. 21-23.

32. Заказное Н.П., Кирюшин С.И., Кузичев В.И. Теория оптических систем. М.: Машиностроение. 1992. 78 с.

33. ЗапрягаеваЛ.А., Свешникова И.С. Расчет и проектирование оптических систем. М.: Логос. 2000. 156 с.

34. Зверев В.А. Дисторсия интерференционного поля в интерферометре // ОМП. 1987. N2. С. 22-26.

35. Зверев В.А. Автоматизация обработки интерферограмм при контроле оптических систем // ОМП. 1978. N 9. С. 7.

36. Интерференционный контроль качества главного зеркала БТА / Е.С. Коломийцова и др. // ОМП. 1976. N 12. С. 3-6.

37. Кандидов В.П., Кудряшов A.B., Ларионова КВ., Попов В.В., Чистяков И.М. Интерференционное исследование управляемого упругого зеркала для компенсации низших аберраций фазы // Квант. Электр. 1990. Т. 17. N6. С. 801-804.

38. Кандидов В.П. Гибкое зеркало для коррекции простейших аберраций // Оптический журнал. 1992. N 6. С. 51-55.

39. Каталог продукции АО JIOMO. Санкт-Петербург, 1994.

40. Киселев Б.А., Фотеева И.И. Амплитудные и фазовые искажения интерферограммы, вызванные дефектами оптики в реальном двухлучевом интерферометре // ОМП. 1975. N 4. С. 3-6.

41. Климков Ю.М. Прикладная лазерная оптика. М.: Машиностроение, 1985. 16 с.

42. Коломийцов Ю.Д. Интерферометры. JL: Машиностроение, Ленинг. отделение, 1987. 296 с.

43. Коломийцова Т.С., Константиновская Н.В., Гойко H.A. Искажения интерференционной картины при контроле сферических поверхностей //ОМП. 1990. N 12. С. 15-18.

44. Колъер Р., Беркхард К, Лин Л. Оптическая голография /Пер. с англ., под ред. Ю.И.Островского. М.: Мир, 1973. 687 с.

45. Коронкевич В.П., Ленкова Г.А, Инструментальная погрешность дифракционного интерферометра // Автометрия. 2003. Т 39. N 6. С.26-38.

46. Коронкевич В.П., Ленкова Г.А., Маточкин А.Е. Синтетическое пробное стекло // Автометрия. 2002. Т 38. N 3. С.20-32.

47. Креопалова Г.В., Лазарева Н.Л., Пуряев Д.Т. Оптические измерения. Учебник для вузов /Под ред. Пуряева Д.Т. М.: Машиностроение 1987. 264 с.

48. Кривовяз JIM., Пуряев Д.Т., Знаменских М.А. Практика оптической измерительной лаборатории. М.: Машиностроение, 1974. 332 с.

49. Круг.В, Вайде Г.Г. Применение научной фотографии: Пер. с нем. М.: Мир, 1975. 19 с.

50. Кудряшов A.B., Тихонов В.А., Шмальгаузер В.И. Динамические функции отклика биморфных зеркал // Оптика атмосферы. 1988. Tl. N 3. С.61-65.

51. Кузнецов В.А., Ялунина Г.В. Общая метрология. М: ИПК. Издательство стандартов. 2001. 174 с.

52. Лазарева H.JI., Пуряев Д. Т. Анализ погрешностей интерферометра для контроля высокоапертурных вогнутых сферических поверхностей // ОМП. 1983. N6. С. 1-5.

53. Максимов В.Г., Половцев КГ. Влияние остаточных аберраций на погрешность интерферометра с совмещенными ветвями // Оптика атмосферы и океана. 1996. Т 9. N 8. С. 1131-1134.

54. Максимов В.Г., Половцев И.Г. Влияние положения плоскости наблюдения на погрешность интерферометра с совмещенными ветвями // Оптика атмосферы и океана. 1998. Т 11. N 4. С. 394-396.

55. Максутов Д.Д. Изготовление и исследование астрономической оптики. 2-е изд. М.: Наука, Главная редакция физико-математической литературы. 1989. 272 с.

56. Новицкий П.В., Зограф И.А. Оценка погрешностей результатов измерений. Л.: Энергоатомиздат. Ленингр. отделение, 1981. 248 с.

57. Оптический производственный контроль / Под ред. Д. Малакары; Пер. с англ. Е.В. Мазуровой и др; Под ред. А.Н. Соснова. М.: Машиностроение, 1985. 400 с.

58. Патент 5502566 США, МПК 6 G01B 9/02. Способ и устройство для абсолютной калибровки оптических плоских поверхностей / Wyno Corp, Chiaen, Wyant James С, Shao Lian (США).

59. Патент МПК 7 в 01 В9/02, 11/24. Интерферометр для контроля формы выпуклых, вогнутых сферических и плоских поверхностей крупногабаритных оптических деталей / Г.В. Симонова (РФ) -2004100908/28; заяв. 09.01.04; решение о выдаче от 14.01.05.

60. Погарее Г.В., Киселев Н.Т. Оптические котировочные задачи. Справочник. 2-е изд., перераб. и доп. Л.: Машиностроение. Ленингр. отделение, 1989. 260 с.

61. Половцев КГ. Высокоточные измерения радиусов кривизны оптических поверхностей с применением цифровой интерферометрии // Оптика атмосферы и океана. 1999. Т 12. N 2. С. 163-165.

62. Половцев И.Г. Особенности аппаратурной реализации в цифровой интерферометрии высокоапертурных поверхностей: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Томск, 1998. 128 с.

63. Половцев И.Г., Симонова Г.В. О влиянии остаточных аберраций прибора на качество контроля оптических деталей //Оптика атмосферы. 1989. Т 2. N5. С. 527-531.

64. Половцев И.Г., Симонова Г.В. Устройство для контроля шаровых опор с малым радиусом кривизны //Применение лазеров в науке и технике. Тез. докл. Тольятти. 1989. С. 56-59.

65. Половцев И.Г., Симонова Г.В. Крупногабаритный интерферометр на базе сферического зеркала // Труды конференции ОМИП-2003, Москва, 2003. С. 160-163.

66. Половцев И.Г., Симонова Г.В., Тартаковский В.А. Компенсация остаточных аберраций освещающей ветви интерферометра посредством адаптивного зеркала // Оптика атмосферы и океана. 2002. Т5.К 12. С. 1095-1097.

67. Половцев И.Г., Шараев А.И. Лазерный интерферометр для контроля крупногабаритных оптических деталей //Применение лазеров в науке и технике. Тез. Докл. Иркутск: ОЛТФ ИНЦ СО РАН. 1994. С. 49-52.

68. Прикладная физическая оптика: Учебник для вузов// И.М. Нагибина, В.А. Москалев, Н.А. Полушкина, И.Л. Зудин. 2-е изд., испр. и доп. М.: Высш. шк., 2002. 203 с.

69. Применение метода дискретизации интерференционной картины для измерения перемещения сферической поверхности / И.П. Гуров и др. // ОМП. 1988. N9. С. 35-38.

70. Проблемы оптического контроля / Э.А. Витриченко, В.П. Лукин, Л.А. Пушной, В.А. Тартаковский. Новосибирск: Наука. Сиб. отд-ние, 1990. 351 с.

71. Пуряев Д.Т. Исследование оптических систем и их контроль. М.: Машиностроение, 1978. 155 с.

72. Пуряев Д.Т. Методы контроля оптических асферических поверхностей. М.: Машиностроение, 1976. 262 с.

73. Пуряев Д.Т., Горшков В.А. Интерферометр ИКАП-2 для контроля качества астрономических зеркал // ОМП. 1980. N 12. С. 17.

74. Симонова Г.В. Contrast optimization in a high-precision interferometer // SPIE. 2004. V. 5743. P. 282-287.

75. Скоков И.В. Многолучевые интерферометры в измерительной технике. М.: Машиностроение, 1989. 98 с.

76. Слюсарев Г.Т. Расчет оптических систем. Л.: Машиностроение, Ленингр. отд-ние, 1975. 600 с.

77. Сокольский М.Н. Допуски и качество оптического изображения. Л.: Машиностроение. Ленигр. отд-ние, 1989. 221 с.

78. Сороко JI.M. Основы голографии и погрешность оптики. М.: Наука, 1971.616 с.

79. Справочник конструктора оптико-механических приборов / М.Я. Кругер, В.А. Панов, В.В. Кулагин и др.; под ред. М.Я. Кругера и В.П. Панова. Л .: Машиностроение, 1987. 67 с.

80. Справочник оптика-технолога / П.Я. Бубис, В.А. Вейденбах, И.И. Духопел и др.; Под ред. С.М. Кузнецова и М.А. Окатова., Ленингр. отделение, 1983. 414 с.

81. Чунин Б.А. О контрастности интерференционной картины при контроле профиля асферических поверхностей //ОМП. 1990. N 11. С. 48-51.

82. Чунин Б.А., Шиитов Е.А. Методы контроля асферических поверхностей //ОМП. 1990.N 11. С. 38-41.

83. Analysis and removal of the systematic phase error in interferograms. / Yu Qiteng, Andersen Claus, Osten Wolfgang, Jeuphther Werner. P. // Opt. Eng. 1994. V. 33. N 5. P. 1630-1637.

84. Dainty J.C., Koryabin A.V., Kudryashov A.V. Low-order adaptive deformable mirror //Appl. Opt. 1998. V37. N 21. P. 4663-4668.

85. Creath K., Wyant J.C. In "Applied Optics and Optical Engineering," (R. Shannon and J. Wyant, eds.). Academic Press, New York. 1992. V. XI.1. P. 28-39.

86. Hariharan P. Interferometric measurements of small-scale irregularities: highly reflectiong surfaces // Opt.Eng. 1998. V. 37. N 10. P. 2751-2753.

87. Jozwieki Romuald, Kujawinska Malgozzata, Salbut Leszek A, New contra old Wave front measurement concepts for interferomatric Optical testing // Opt. Eng. 1992. V. 31. N 3. P. 422-433.

88. Klaus R. Freischlad. Adsolute interferometric testing based on reconstruction of rotational shear // Appl. Opt. 2001. V. 40. N 10. P. 16371648.

89. Kudryashov A.V., Seliverstov A.V. Adaptive stabilized interferometer with laser diode // Optics Communications 120. 1995. P. 241-244.

90. Kuo Chin-Po. Optical tests of an intelligently deformable mirror for space telescope technology // Opt. Eng. 1994. V. 33. N 3. P. 791-800.

91. Lars A. Selberg. Radius measurement by interferometry // Optical Eng.-1992. V. 31. N9. P. 1961-1966.

92. Maximov V.G., Polovtsev I.G., Simonova G.V., Tartakovsky V.A. An approach to an ideal interferometer // SPIE. 2002. V. 4900. P. 1285-1291.

93. Lassahh Gordon D., Lassahn Jeffrey K., Taylor Paul L. A Multiphase fringe analysis with unknown phase shifts // Opt. Eng. 1994. V. 33. N 6.1. P. 2039-2044.

94. Polovtsev LG., Simonova G.V., Tartakovsky V.A. Adaptive elements in a precision laser interferometer// SPIE. 2003. V. 5396. P. 127-131.

95. Polovtsev I.G., Simonova G.V., Tartakovsky V.A. Correction of residual wave aberration of the illuminating branch of an interferometer with aligned braches an adaptive mirror // SPIE. 2002. V. 5026. P. 150-154.

96. Polovtsev I.G., Simonova G.V., Tartakovsky V.A. Power components of a large-dimension interferometer // SPIE. 2003. V. 5478. P. 261-265.

97. Preparation, characterization and properties of sputtered electrochromic and thermochromic devices / C. Sella, M. Maaza, O. Nemraoui, J. Lafait, N. Renard, Y. Sampeur // Surface and coatings technology. 1998. P. 14771482.

98. Product News, February, 1982. Zygo Metrology Instrumentation Products Enhanced By New Additions.

99. Testing aspheric surfaces using multiple annular interferograms / Melozzi, Mauro; Pezzati, Luis; Mazzoni, Alessandro // Opt. Eng. 1993. V 32. N 5.1. P. 1073-1079.

100. Willey Gilbert W., Patchin Rory J. Optical design analysis incorporating actual system interferometric data // Opt. Eng. 1993. V. 32. N 2. P. 401-409.

101. Xiang Yang, Xiang Caixin, Zhang Guodong. Birefringent common-path interferometer for testing large convex spherical surfaces // Opt. Eng. 1993. V. 32. N5. P. 1080-1083.