Измерение микро- и нанорельефа поверхности методами низкокогерентной интерферометрии тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.05, кандидат технических наук Сысоев, Евгений Владимирович

• Сысоев, Евгений Владимирович
• кандидат технических наук
• 2010

Оглавление диссертации кандидат технических наук Сысоев, Евгений Владимирович

Глава 1. Обзор и анализ интерференционных оптических методов и систем измерений рельефа поверхности.

1.1 Развитие и общая характеристика оптической интерференционной профилометрии с использованием частично когерентного света.

1.2 Формирование интерференционной картины.

1.2.1 Случай монохроматических волн.

1.2.2 Частично когерентные по времени волны.

1.2.3 Пространственная когерентность.

1.3 Анализ источников частично когерентного света.

1.4 Виды интерференции.

1.5 Оптические схемы интерферометров.

1.6 Интерференционные методы измерения рельефа поверхности.

1.7 Использование интерфенционных измерений в системах контроля качества промышленных изделий.

1.8 Выбор и обоснование направления работы.

Выводы к главе 1.

Глава 2. Измерение микро- и нанорельефа поверхности методами низкокогерентной интерферометрии.

2.1 Метод дифференциальных интерферограмм.

2.2 Адаптивный порог для обнаружения интерференции.

2.3 Трехзеркальный интерферометр частично когерентного света.

2.4 Пороговый контроль рельефа поверхности методом полизональной интерферометрии.

2.5 Метод измерения нанорельефа поверхности на основе частичного сканирования коррелограмм.

2.6 Программное обеспечение для экспериментальных исследований по измерению микро- и нанорельефа поверхностей.

Выводы к главе 2.

Глава 3. Исследование погрешностей измерения рельефа поверхностей методами низкокогерентной интерферометрии.

3.1 Анализ погрешностей измерения рельефа поверхностей методом дифференциальных интерферограмм.

3.1.1 Зависимость погрешности измерения от шага сканирования.

3.1.2 Влияние длины когерентности на погрешность измерений.

3.1.3 Влияние вибрации на погрешность измерений.

3.1.4 Выбор оптимального режима измерения.

3.2 Погрешности измерения нанорельефа поверхности методом частичного сканирования коррелограмм.

3.2.1 Зависимость разрешения и погрешности измерения от уровня шума в интерферограммах.

3.2.2 Влияния шероховатости поверхности на погрешность измерений.

3.2.3 Радикальное повышение разрешения по высоте при использовании атомно-гладких опорных зеркал.

3.2.4 Влияние хроматических аберраций оптической системы интерферометра на погрешности измерений.

Выводы к главе 3.

Глава 4. Реализация методов низкокогерентной интерферометрии для измерения микро- и нанорельефа поверхности.

4.1 Система ПРОФИЛЬ для контроля поверхности ТВЭЛ.

4.1.1 Состав и структура системы.

4.1.2 Оптическая схема системы ПРОФИЛЬ.

4.1.3 Режимы работы.

4.1.4 Управляющая программа.

4.1.5 Экспериментальное исследование системы ПРОФИЛЬ.

4.2 Микроскоп-профилометр для измерения микро- и нанорельефа поверхности МНП-1.

4.2.1 Общая схема микроскопа-профилометра.

4.2.2 Экспериментальные исследования микроскопа-профилометра.

4.2.3 Технические характеристики МНП-1.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Измерение микро- и нанорельефа поверхности методами низкокогерентной интерферометрии»

Актуальность работы

Измерение рельефа поверхности оптическими бесконтактными методами в автоматическом режиме с высокой точностью является важной задачей при контроле продукции промышленного производства. Интерференционные методы позволяют измерять рельеф "технических" поверхностей с разрешением менее 0,2 мкм, погрешностью менее 1 мкм и высокой производительностью (более 105 измеряемых точек в секунду) [1]. Такие возможности востребованы при контроле качества изделий для атомной промышленности [2]. Широкое использование нанотехнологий и наноматериалов в мировом и отечественном промышленном производстве, постоянно растущие требования по контролю качества промышленных изделий машиностроения, электроники и точной механики делают оптическую низкокогерентную интерферометрию одним из наиболее перспективных направлений современного приборостроения [3-12].

Существующие интерференционные методы и средства измерений рельефа применяются для решения широкого круга задач профилометрии в метрологии, промышленности и научных исследованиях. В настоящие время многие зарубежные фирмы (Zeiss - Германия, Zygo, Veeco - США и др.) предлагают широкий спектр микроскопов-профилометров на основе низкокогерентной интерферометрии. Но они в основном предназначены для работы в лабораторных условиях. В России также ведутся исследования по интерференционным измерениям рельефа поверхности [14]. Как правило, они ориентированы на применение уже известных методов для решения конкретных задач [15].

В связи с развитием оптико-электронной базы, компьютеров и программного обеспечения [23] аппаратура и методы низкокогерентной интерферометрии постоянно совершенствуются. Благодаря этому современная интерференционная профилометрия широко применяется в метрологии [24], промышленности [25] и научных исследованиях [26].

Однако, как показывает анализ публикаций [8, 26, 52-54, 60, 64-67], еще недостаточное развитие получили способы обнаружения интерференционных сигналов и быстродействующие методы измерения и контроля поверхности промышленных изделий. Оптико-электронные системы интерференционных профилометров с продольным фазовым сдвигом, базирующиеся на предположении о косинусоидальном характере интерференции и расчете абсолютного значения фазы [127], имеют низкую производительность [90], разрешающую способность по высоте [151] и большую погрешность измерений [8]. Необходимость обеспечения в большом диапазоне прецизионного механического сканирования в интерферометрах продольного сдвига приводит к заметному усложнению их конструкции. Высокая цена профилометров ограничивает их доступность для исследователей.

Это требует дальнейшего развития оптических схем интерферометров, обеспечивающих автоматическую работу интерференционных измерительных систем в производственных условиях, создания новых алгоритмов устойчивого обнаружения интерференции, поиска новых способов, позволяющих измерять рельеф поверхностей с высокой производительностью, меньшей погрешностью и большей разрешающей способностью. Поэтому совершенствование методов и аппаратуры измерения рельефа поверхностей, разработка перспективных схемотехнических решений с применением современной элементной оптико-электронной базы является актуальной задачей.

Проведенные в диссертации исследования посвящены не только выявлению преимуществ и недостатков существующих, но и исследованию преимуществ новых, предложенных методов измерения рельефа поверхности на основе низкокогерентной интерферометрии [129, 139,152], разработанных перспективных схемотехнических решений, с применением современной элементной оптико-электронной базы [153]. Разработанные средства контроля поверхности оболочки тепловыделяющих элементов ядерных энергетических установок (ТВЭЛ) отличаются высокой производительностью, достоверностью результатов измерений, надежной работой в производственных условиях [131]. На протяжении 8 лет они успешно эксплуатируются в производственных линиях на предприятиях Росатома, и до настоящего времени не имеют ни отечественных, ни зарубежных аналогов [154]. Результаты исследований автора и их практическое применение были востребованы на этапе разработки и дальнейшем совершенствовании универсального интерференционного микроскопа-профилометра МНП-1 для измерения микро- и нанорельефа поверхностей.

Диссертационная работа посвящена теоретическому и экспериментальному исследованию предложенных автором методов измерения рельефа поверхности на основе низкокогерентной интерферометрии.

Цель настоящей работы:

Разработка и исследование оптических методов низкокогерентной интерферометрии, программно-аппаратных средств для 3D автоматических измерений микро- и нанорельефа поверхностей с высоким быстродействием и разрешением, применение их для решения контрольно-измерительных задач в промышленности и в научных исследованиях.

Задачи исследования:

1. Разработка на основе низкокогерентной интерферометрии бесконтактных 3D методов измерения микро- и нанорельефа поверхностей, обеспечивающих высокую точность и быстродействие, а также большой динамический диапазон измерений по высоте.

2. Разработка программно-аппаратных средств исследования методов и средств низкокогерентной интерферометрии для измерения микро- и нанорельефа поверхности.

3. Разработка алгоритмов обработки интерферограмм для высокоточных измерений микро- и нанорельефа поверхности.

4. Анализ и оценка основных источников погрешностей при измерении микро- и нанорельефа поверхностей с использованием интерференции частично когерентного света и поиск путей их снижения.

5. Экспериментальные исследования методов и аппаратуры для измерения микро- и нанорельефа поверхностей разного класса чистоты.

6. Разработка быстродействующей оптико-электронной системы для автоматического измерения глубины и профиля микродефектов поверхности.

Методы исследования

Результаты исследований, представленные в диссертации, получены путем теоретического анализа, численного моделирования и физических экспериментов с использованием созданных образцов техники.

Научная новизна. Новыми результатами диссертации являются:

1. Быстродействующий метод измерения рельефа поверхностей промышленных изделий с разрешением по высоте менее 0,2 мкм в диапазоне не менее 10 мм на основе дифференциальных интерферограмм в частично когерентном свете, получаемых в процессе продольного сдвига интерферометра (защищен патентом).

2. Способ автоматического расчета адаптивного порога обработки интерферограмм для поверхностей с неравномерным рассеянием света по площади, который увеличивает диапазон обнаружения интерференции более чем в 10 раз и повышает вероятность ее определения до 96%.

3. Оптическая схема трехзеркального интерферометра, позволяющая получить полизональную интерференцию в частично когерентном свете, и её аналитическое описание. Метод допускового контроля на основе полизональной интерференции, дающий возможность обнаруживать предельные отклонения рельефа без сканирования по высоте, что на порядок повышает производительность измерений.

4. Высокоразрешающий бесконтактный интерференционный метод измерения нанорельефа поверхности на основе частичного сканирования коррелограмм в диапазоне менее 1 мкм, позволяющий получить разрешение по высоте менее 0,1 нм.

Основные положения, выносимые на защиту;

1. Метод измерения рельефа поверхностей на основе дифференциальных интерферограмм в частично когерентном свете позволяет получить разрешение по высоте менее 0,2 мкм в диапазоне не менее 10 мм (защищен патентом).

2. Способ обнаружения интерференции на основе адаптивного порога, рассчитываемого по интенсивности интерференционного фона, расширяет диапазон обнаружения интерференции более чем в 10 раз и повышает вероятность ее определения до 96%.

3. Трехзеркальный интерферометр частично когерентного света дает возможность измерять высоту рельефа технических поверхностей путем создания множества непересекающихся зон интерференции, разнесенных на заданное расстояние по высоте.

4. Метод допускового контроля технических поверхностей на основе полизональной интерференции позволяет на порядок повысить производительность измерений.

5. Метод бесконтактного измерения нанорельефа поверхностей на основе частичного сканировании коррелограмм в диапазоне менее 1 мкм обеспечивает разрешение по высоте менее 0,1 нм.

Практическая значимость работы и результаты внедрения:

1. Для решения задачи атомной отрасли по бесконтактному автоматическому 3D контролю дефектов оболочки ТВЭЛ впервые в России создан промышленный образец высокопроизводительной оптико-электронной системы "Профиль". Система сертифицирована и внесена в Государственный Реестр как тип средств измерений. Она внесена в перечень важнейших достижений СО РАН за 2002 г. Три образца системы с 2002 г. находятся в промышленной эксплуатации в производственных линиях предприятий Росатома.

2. Впервые в России создан универсальный автоматизированный интерференционный цифровой микроскоп-профилометр, обеспечивающий измерение рельефа поверхностей с микро- и наноразрешением, который может использоваться в научных исследованиях, промышленности, а также для решения различных метрологических задач. Разработка внесена в перечень важнейших достижений РАН за 2007 г. и СО РАН за 2007 г., 2009 г.

3. Разработано программное обеспечение, позволяющее моделировать измеряемые поверхности, параметры оптической схемы интерферометра, процессы регистрации и обработки интерферограмм, а также производить 3D реконструкцию микро- и нанорельефа поверхности. Созданное программное обеспечение может использоваться при разработке новых оптико-электронных измерительных систем, а также в учебном процессе.

4. Полученные результаты могут быть использованы при проектировании новых быстродействующих и высокоразрешающих измерительных систем на основе низкокогерентной интерферометрии.

Апробация работы и публикации

Основные результаты диссертационной работы докладывались на следующих международных и отечественных конференциях и семинарах: XVI IMEKO World Congress "Education and Training in measurement and Instrumentation", Vienna, Austria, Sept. 25-28, 2000; ISA 2001 Technical Conference "IMEKO Special Millennium Sessions", USA, Houston, Texas, September 10-13, 2001; Seventh International Symposium "Laser Metrology Applied to Science, Industry, and Everyday Life", Novosibirsk, Russia, September 9-13, 2002; LIII Международная научно-техническая конференция, "Современные проблемы геодезии и оптики", Новосибирск, 2003; Совещание главных метрологов Минатома России, Сочи, 6-11, октября 2003 г.; Научный конгресс Гео-Сибирь-2005 "Специализированное приборостроение, метрология", Новосибирск, 25-29 апреля, 2005; Международный конгресс Гео-Сибирь-2007, Новосибирск, 2007; Научно-техническая конференция ОАО "ТВЭЛ" (НТК-2008) "Ядерное топливо нового поколения для АЭС. Результаты разработки, опыт эксплуатации и направление развития", Москва, 19-21 ноября, 2008; The 9th International Symposium ISMTII-2009, Saint-Petersburg, Russia, June 29 - Jule 2, 2009.

Публикации

Основные результаты диссертации опубликованы в 21 научной работе, в том числе одном патенте РФ, 8 научных статьях (6 статей в журналах, входящих в перечень ВАК, 2 - в иностранных журналах), в трудах 8 международных конференций.

Объем и структура диссертации

Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, списка литературы и приложений. Общий объем - 136 страниц. Иллюстративный материал включает 62 рисунка и 5 таблиц. Список цитируемой литературы содержит 156 наименований.

Заключение диссертации по теме «Оптика», Сысоев, Евгений Владимирович

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ

1. Предложен и исследован быстродействующий метод измерения рельефа поверхности на основе дифференциальных интерферограмм в частично когерентном свете, позволяющий получить разрешение по высоте менее 0,2 мкм в диапазоне не менее 10 мм.

2. Разработана и исследована оптическая схема трехзеркального интерферометра, обеспечивающая формирование полизональной интерференции в частично когерентном свете. Впервые получено аналитическое выражение для этого вида интерференции.

3. Предложен и исследован метод допускового контроля, основанный на полизональной интерференции, дающий возможность обнаруживать предельные отклонения рельефа без сканирования по высоте, что на порядок повышает производительность работы.

4. Получено выражение для автоматического расчета адаптивного порога обнаружения интерференции для поверхностей с неравномерным рассеянием света по измеряемой площади. Использование адаптивного порога расширяет динамический диапазон обнаружения интерференции более чем в 10 раз и повышает вероятность ее нахождения до 96%.

5. Создан комплекс программ, позволяющий на моделях исследовать технические и программно-алгоритмические решения, ориентированные на применение их в оптической интерференционной микро- и нанопрофилометрии.

6. На основе предложенных методов, экспериментальных исследований и компьютерного моделирования предложены технические и программно-алгоритмические решения, положенные в основу разработанных оптико-электронных измерительных систем.

7. Впервые в России создана, сертифицирована и внедрена в ОАО «НЗХК» (Росатом) оптико-электронная система «Профиль» для автоматического контроля дефектов поверхности оболочки ТВЭЛ в технологических линиях их производства. Система позволяет измерять в автоматическом режиме глубину и профиль дефектов с погрешностью ±2,3 мкм и разрешением по глубине 0,4 мкм. Она отличается высокой производительностью, достоверностью результатов измерения, надежностью работы в производственных условиях. Три образца системы с 2002 г. успешно эксплуатируются в цеховых условиях предприятия, что позволило повысить качество выпускаемых 'тепловыделяющих сборок атомных реакторов ВВЭР и PWR.

8. Предложен и исследован высокоразрешающий бесконтактный интерференционный метод измерения нанорельефа поверхностей на основе частичного сканирования коррелограмм в диапазоне менее 1 мкм с разрешением по высоте менее 0,05 нм.

9. На основе предложенных методов измерения микро- и нанорельефа поверхности впервые в России создан опытный образец универсального интерференционного микроскопа-профилометра МНП-1, работающего в двух режимах: микро- и наноизмерений. В режиме микроизмерения МНП-1 обеспечивает 3D измерение в диапазоне до 10 мм по высоте с разрешением 0,1 мкм. В режиме наноизмерений разрешение по высоте составляет 0,1 нм, а диапазон - 50 мкм. Поперечное разрешение в двух режимах работы микроскопа-профилометра меняется от 0,3 мкм до 1,7 мкм, а площадь измерения - от 0,3 мм2 до 2,4 мм2.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Сысоев, Евгений Владимирович, 2010 год

1. Кирилловский В.К., Ле З.Т. Компьютеризированный интерферометрсдвига // Оптический журнал. — 2008. — Т. 75. 3. — с. 24-29.

2. Штань А.С. Автоматизированный контроль качества ТВЭЛов для АЭС // Приборы и системы управления. 1995. — №11. — с. 12-13.

3. Gordon S. Rino, Stanley S.C.Chim Mirau correlation microscope // Applied Optics. 1990. -V. 29. -N. 26.-p. 3775-3783.

4. Schmitt, J M Compact in-line interferometer for low-coherence reflectometry // Optics Letters. 1995. -V. 20. - Issue 4. - p. 419-421.

5. Jiang, Yi Wavelength-scanning white-light interferometry with a 3x3 coupler-based interferometer // Optics Letters. 2008. - V. 33. - Issue 16. - p. 1869-1871.

6. Sinclair, Michael B; de Boer, Maarten P; Corwin, Alex D Long-worlcing-distance incoherent-light interference microscope // Applied Optics. 2005. - V. 44.-Issue 36.-p. 7714-7721.

7. Papastathopoulos, Evangelos; Korner, Klaus; Osten, Wolfgang Chromatically dispersed interferometry with wavelet analysis // Optics Letters. 2006. - V. 31.-Issue 5. - p. 589-591.

8. Pavlicek, Pavel; Halouzka, Marek; Duan, Zhihui; Takeda, Mitsuo Spatial coherence profilometry on tilted surfaces // Applied Optics. 2009. - V. 48. -Issue 34. - p. H40-H47.

9. Watkins, Lionel R Interferometric ellipsometer // Applied Optics. 2008. - V. 47.-Issue 16.-p. 2998-3001.

10. Горшков В. А. Разработка и исследование интерференционных методов и средств контроля формы поверхностей крупногабаритных оптических деталей: Автореф. дисс. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук. -М. — 1981.

11. Дунин-Барковский И. В., Карташова А. Н. Измерения и анализ шероховатости поверхности, волнистости и некруглости поверхности. М.: Машиностроение, 1978.

12. Ломакин А.Г., Минаев В.Л. Измерения интегральных и локальных параметров зеркальных и фазовых объектов на автоматизированном интерференционном микроскопе Линника // Метрология. 2005. - №11. - с. 30-34.

13. Кононогов С.А., Лысенко В.Г., Гоголев Д.В., Золотаревский С.Ю. Эталонная база прецизионного машиностроения // Метрология. — 2009. — № З.-с. 3-47.

14. Гоголев Д. В., Лысенко В. Г. // Метрологическое обеспечение измерительных систем: Тр. V Междунар. науч.-техн. конф. Пенза. - 2008. - с. 22.

15. Кононогов С. А., Лысенко В. Г. // Метрология и измерительная техника: Тр. междунар. конф. Харьков. - 2004. - с. 97.

16. Кононогов С. А. и др. // Состояние и проблемы измерений: Тр. 9-й Всерос. науч.-техн. конф. М.: МГТУ им. Н. Э. Баумана. - 2004. - с. 52.

17. Линник В.П. Прибор для интерференционного исследования отражающих объектов под микроскопом // Докл. АН СССР. 1933. - №1. - с. 18-23.

18. Линник В.П. Прибор для интерференционного исследования микропрофиля поверхности "микропрофилометр" // Докл. АН СССР. - 1945. - т. 49. -№9.-с. 656-657.

19. Wyant, James С. Improved Interferometric Optical Testing // Optics and Photonics News. 2007. - V. 18. - Issue 7. - p. 32-37.

20. Peter de Groot, Jim Biegen, Jack Clark, Xavier Colonna de Lega, and David Grigg Optical interferometry for measurement of the geometric dimensions of industrial parts // APPLIED OPTICS. 2002. - V. 41. - N. 19. - p. 3853-3860.

21. Guilemany J.M., Miguel J.M., Armada S., Vizcaino S., Climent F. Use of scanning white light interferometry in the characterization of wear mechanisms in thermal-sprayed coatings // Materials Characterization. 2001. - T. 47. - № 3-4. - c. 307-314.

22. M. Laue, Annalen der Physik 23, 1, 795, (1907).

23. P.H. van Cittert, Physica 1, 1129, (1939).

24. D. Apostol, V. Damian, P. C. Logofatu NANOMETROLOGY OF MICROSYSTEMS: INTERFEROMETRY // Romanian Reports in Physics, Vol. 60, No. 3,P. 815-828, 2008

25. Maitreyee Roy, Joanna Schmit and Parameswaran Hariharan White-light interference microscopy: minimization of spurious diffraction effects by geometric phase-shifting // Optics Express. 2009. -V. 17. -N. 6. - p. 4495-4499.

26. Amaud Dubois, Laurent Vabre, Albert-Claude Boccara, and Emmanuel Beaurepaire High-Resolution Full-Field Optical Coherence Tomography with a Linnik Microscope//Applied Optics. 2002. - V. 41. - Issue 4. - p. 805-812.

27. F. Cernike, Physica 5, 785 (1938).

28. H.H. Hopkins, Proc. Roy. Soc. A208, 263 (1951).

29. E. Wolf, Proc. Roy. Soc. A230, 246 (1955).

30. A. Blanc-Lapierro, P. Dumontet, Rev. d'Opt. 34, 1 (1955).

31. М.Борн, Э.Вольф Основы оптики. М.: Наука, 1970. - с. 288.

32. М. Борн, Э. Вольф Основы оптики. М.: Наука, 1970. - с. 295.

33. Hitzenberger С. К. Measurement of corneal thickness by low-coherence interferometry // Applied Optics. 1992. - V. 31. - N. 31. - p. 6637.

34. Fercher A. F., Mengedoht K., Werner W. Eye-length measurement by interferometry with partially coherent light // Optics Letters 1988. - V. 13. - N. 3.-p. 18.

35. Fercher A. F., Hitzenberger С. K., Kamp G., El-Zaiat S. Y. Measurement of intraocular distances by backscattering spectral interferometry // Optics Communications. 1995. - N. 117. - p. 43.

36. Ветров А.А., Комиссаров С.С., Сергушичев А.Н. Малогабаритный унифицированный интегрированный модуль для оптических интерференционных датчиков // МНТК "Датчики и системы-2005", 6-10 июня 2005. г. Пенза. Сборник докладов. с. 192-195.

37. Yuan L., Ansari F. Embedded white light interferometer fibre optic strain sensor for monitoring crack-tip opening in concrete beams // Measurement Science and Technology. 1998. - T. 9. - № 2. - c. 261-266.

38. Pf'rtner, Andreas; Schwider, Johannes White-light interferometer with dispersion: an accurate fiber-optic sensor for the measurement of distance // Applied Optics. V. 44. - Issue 15. - p. 2978-2983.

39. Van Engen, Amelia G; Diddams, Scott A; Clement, Tracy S Dispersion Measurements of Water with White-Light Interferometry // Applied Optics. 1998. -V. 37. - Issue 24. - p. 5679-5686.

40. Galli, Matteo; Marabelli, Franco; Guizzetti, Giorgio Direct Measurement of Refractive-Index Dispersion of Transparent Media by White-Light Interferometry // Applied Optics. 2003. - V. 42. - Issue 19. - p. 3910-3914.

41. Creath, Katherine; Wyant, James С Testing spherical surfaces: a fast, quasi-absolute technique // Applied Optics. 1992. - V. 31. - Issue 22. - p. 4350-4354.

42. Creath, Katherine; Gilliand, Yves A; Hariharan, P Interferometric testing of high-numerical-aperture convex surfaces // Applied Optics. 1994. - V. 33. — Issue 13.-p. 2585-2588.

43. Y. Wang and P. Hassell "Measurement of Thermal Deformation of BGA Using Phase-shifting Shadow Moire," submitted to Post Conference Proceedings, SEM 97'Spring Conference, Bellevue, WA, June 2-4, 1997.

44. Лазарев Г.Л., Орлов Д.А., Мазалов И.Н., Иоселев O.K. Оценка микрорельефа гладких объектов с помощью прецизионногоинтерференционного микроскопа-профилометра МИМ-2 // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2007. — Т. 73. — № 4. — с. 39-44.

45. Li, Tianchu; Wang, Anbo; Murphy, Kent; Claus, Richard White-light scanning fiber Michelson interferometer for absolute position-distance measurement // Optics Letters. 1995. - V. 20. - Issue 7. - p. 785-787.

46. Schnell, U; Dandliker, R; Gray, S Dispersive white-light interferometry for absolute distance measurement with dielectric multilayer systems on the target // Optics Letters. 1996.-V. 21.-Issue 7.-p. 528-530.

47. Pfortner, Andreas; Schwider, Johannes Red-Green-Blue Interferometer for the Metrology of Discontinuous Structures // Applied Optics. 2003. - V. 42. - Issue 4.-p. 667-673.

48. Schulz, G; Schwider, J Precise Measurement of Planeness // Applied Optics. -1967.-V. 6.-Issue 6.-p. 1077-1084.

49. L. Montgomery Smith and Chris C. DobsonAbsolute displacement measurements using modulation of the spectrum of white light in a Michelson interferometer // Applied Optics. 1989. - V. 28. - Issue 16. - p. 3339-3342.

50. Creath, Katherine; Wyant, James С Absolute measurement of surface roughness // Applied Optics. 1990. - V. 29. - Issue 26. - p. 3823-3827.

51. Xu, Zhiguang; Shilpiekandula, Vijay; Youcef-toumi, Kamal; Yoon, Soon Fatt White-light scanning interferometer for absolute nano-scale gap thickness measurement//Optics Express.-2009.-V. 17.-Issue 17.-p. 15104-15117.

52. De Groot, Peter; Colonna de Lega, Xavier; Liesener, Jan; Darwin, Michael Metrology of optically-unresolved features using interferometric surface profiling and RCWA modeling // Optics Express.- 2008. V. 16. - Issue 6. - p. 3970-3975.

53. Fuji, Takao; Miyata, Motohisa; Kawato, Sakae; Hattori, Toshiaki; Nakatsuka, Hiroki Linear propagation of light investigated with a white-light Michelson interferometer//JOS А В.- 1997.-V. 14.-Issue 5.-p. 1074-1078.

54. Ch. Blanc, Y. Roques and G. Mankowski Application of phase shifting interferometric microscopy to studies of the behaviour of coarse intermetallicparticles in 6056 aluminium alloy // Corrosion Science. — 1998. — V. 40. Issue 6. -p. 1019-1035.

55. Carlsson Т.Е., Nilsson B. Measurement of distance to diffuse surfaces using non-scanning coherence radar // Journal of Optics. 1998. — T. 29. — № 3. - c. 146-151.

56. An W., Carlsson Т.Е. Speckle interferometry for measurement of continuous deformations // Optics and Lasers in Engineering. 2003. - T. 40. - № 5-6. - c. 529-541.

57. Liang, Yi; Grover, Chandler P Modified white-light Mach-Zehnder interferometer for direct group-delay measurements // Applied Optics. 1998. - V. 37. - Issue 19.-p. 4105-4111.

58. Wax, Adam; Yang, Changhuei; Izatt, Joseph A Fourier-domain low-coherence interferometry for light-scattering spectroscopy // Optics Letters. -2003. V. 28. - Issue 14. - p. 1230-1232.

59. Иванов А. П., Чайковский А. П., Кумейша А. А. Интерференционный метод исследования рассеивающих сред //ДАН БССР.-1979. 23—№6. с. 503.

60. Власов Н. Г., Семенов Э. Г., Соколова М. Э. Исследование рассеивающих сред и визуализация фазовых объектов в частично когерентном излучении // Голография и ее применение. Л.: ЛИЯФ. — 1986. с. 184.

61. Thomann, Isabell; Hollberg, Leo; Diddams, Scott A; Equall, Randy Chromium-Doped Forsterite: Dispersion Measurement with White-Light Interferometry //Applied Optics. 2003. -V. 42. - Issue 9. - p. 1661-1666.

62. Pual J. Caber, Stephen J. Martinek, Robert J. Niemann A new interferometric profilier for smooth and rough surfaces // Proceedings of SPIE. 1993. - V. 2088. - p. 195-203.

63. Kniittel, A; Schmitt, J M; Knutson, J R Low-coherence reflectometry for stationary lateral and depth profiling with acousto-optic deflectors and a CCD camera // Optics Letters. 1994. - V. 19. - Issue 4. - p. 302-304.

64. Peter J. De Groot, Xavier Colonna De Lega Scanning interferometry for thin film thickness and surface measurements US Patent 7324210, 2007.

65. Brundavanam, Maruthi M; Viswanathan, Nirmal K; Rao, D Narayana Nanodisplacement measurement using spectral shifts in a white-light interferometer // Applied Optics. 2008. - V. 47. - Issue 34. - p. 6334-6339.

66. Y.Morimoto and M.Fujisawa Fringe-pattern analysis by phase-shifting method using extraction of characteristic // Exp.Tech.20(4). 1996. - p. 25-29 .

67. Groot, Peter de; Deck, Leslie Three-dimensional imaging by sub-Nyquist sampling of white-light interferograms // Optics Letters. 1993. - V. 18. -Issue 17.-p. 1462-1464.

68. В. K. A. Ngoi, K. Venkatakrishnan, N. R. Sivakumar and T. Bo Instantaneous phase shifting arrangement for microsurface profiling of flat surfaces // Optics Communications. -2001.-V. 190.-Issues 1-6.-p. 109-116.

69. Schwider, J White-light Fizeau interferometer // Applied Optics. 1997. - V. 36.-Issue 7.-p. 1433-1437.

70. Fleischer, Matthias; Windecker, Robert; Tiziani, Hans J Theoretical Limits of Scanning White-Light Interferometry Signal Evaluation Algorithms // Applied Optics. 2001. - V. 40. - Issue 17. - p. 2815-2820.

71. Pan, Bing; Xie, Huimin; Wang, Zhaoyang; Qian, Kemao; Wang, Zhiyong Study on subset size selection in digital image correlation for speckle patterns // Optics Express. 2008. - V. 16. - Issue 10. - p. 7037-7048.

72. Zongtao Ge, Fumio Kobayashi, Shinichi Matsuda, and Mitsuo Takeda Coordinate transform technique for closed-fringe analysis by the Fourier-transform method//Applied Optics.-2001.-V. 40.-N. 10.-p. 1649-1657.

73. Katherine Creath Step height measurement using two-wavelength phase-shifting interferometry // Applied Optics. 1987. - V. 26. - Issue 14. - p. 28102816

74. Peter de Groot and Leslie Deck Three-dimesional imaging by sub-Nyquist sampling of white-light interferograms // Optics Letters. 1993. - V. 18. - N. 17. -p. 1462-1464.

75. Akiko Harasaki and James C. Wyant Fringe modulation skewing effect in white-light vertical scanning interferometry // Applied Optics. — 2000. -V. 39. N. 13.-p. 7334-7338.

76. Debnath, Sanjit Kumar; Kothiyal, Mahendra Prasad Improved optical profiling using the spectral phase in spectrally resolved white-light interferometry // Applied Optics. 2006. - V. 45. - Issue 27. - p. 6965-6972.

77. Pavlicek, Pavel; Hybl, Ondrej White-light interferometry on rough surfaces-measurement uncertainty caused by surface roughness // Applied Optics. — 2008. -V. 47. Issue 16.-p. 2941-2949.

78. O. Hybl, A. Berger, G. Hausler Information Efficient White-Light Interferometry // DGaO-Proceedings 2008. http://www.dgao-proceedings.de.

79. Kotov O.I., Liokumovich L.B., Markov S.I., Medvedev A.V., Nikolaev White-light fiber-optic intermode interferometer // V.M. Technical Physics Letters. 1999. - T. 25. - № 6. - c. 481-483.

80. Morgan CJ. Least squares estimation in phase-measurement interferometry // Optics Letters. 1982. - V. 7. - p. 368-370.

81. Wolfgang Osten White-light interferometry with higher accuracy and more speed Fringe 2005. 2005. - p. 605-612.

82. Surrel Y. Phase stepping: a new self-calibrating algorithm // Applied Optics. -1993.-V. 32.-p. 3598-3600.

83. Zhu Y, Gemma T. Method for designing error-compensating phase-calculation algorithms for phaseshifting interferometry // Applied Optics. 2001. -V. 40.-p. 4540-4546.

84. Hariharan P, Oreb BF, Eiju T. Digital phase-shifting interferometry: a simple error-compensating phase calculation algorithm // Applied Optics. 1987. - V. 26. -p. 2504-2506.

85. Nakata, Toshihiko; Watanabe, Masahiro Ultracompact and highly sensitive common-path phase-shifting interferometer using photonic crystal polarizers as a reference mirror and a phase shifter // Applied Optics. 2009. - V. 48. - Issue 7. -p. 1322-1327.

86. Matthias Fleischer, Robert Windecker, and Hans J. Tiziani Fast algorithms for data reduction in modern optical three-dimensional profile measurement systems withMMX technology // Applied Optics. -2000. -V. 39.-N. 8.-p. 2019-2023.

87. Ильиных С.П., Гужов В.И. Обобщенный алгоритм расшифровкиинтерферограмм с пошаговым сдвигом // Автометрия. 2002. - 38. - № 3. -с. 122-126.

88. Munteanu, Florin; Schmit, Joanna Iterative least square phase-measuring method that tolerates extended finite bandwidth illumination // Applied Optics. -2009.-Y. 48.-Issue 6.-p. 1158-1167.

89. Larkin, К G; Oreb, В F Design and assessment of symmetrical phase-shifting algorithms // JOS A A. 1992. - V. 9. - Issue 10. - p. 1740-1748.

90. Niehues, Jan; Lehmann, Peter; Bobey, Klaus Dual-wavelength vertical scanning low-coherence interferometric microscope // Applied Optics. 2007. - V. 46.-Issue 29.-p. 7141-7148.

91. K. Okada, A. Sato, J. Tsujiuchi Simultaneous calculation of phase distribution and scanning phase shift in phase shifting interferometry // Optics Communications. 1991.-V. 84. - Issue 3-4. - p. 118-124.

92. Pavlicek, Pavel; Soubusta, Jan Measurement of the Influence of Dispersion on White-Light Interferometry // Applied Optics. 2004.-V. 43.- Issue 4.-p.766-770.

93. Sun, Changsen; Yu, Longcheng; Sun, Yuxing; Yu, Qingxu Scanning white-light interferometer for measurement of the thickness of a transparent oil film on water // Applied Optics. 2005. - V. 44. - Issue 25. - p. 5202-5205.

94. Creath, Katherine; Slettemoen, Gudmunn A Vibration-observation techniques for digital speckle-pattern interferometry // JOSA 1985. - V. 2. - p. 1629-1636.

95. Chim, Stanley S C; Kino, Gordon S Phase measurements using the Mirau correlation microscope // Appl. Opt. 1991. - V. 30. - Issue 16. - p. 2197-2201.

96. Bhushan, Bharat; Wyant, James C; Koliopoulos, Chris L Measurement of surface topography of magnetic tapes by Mirau interferometry // Applied Optics. -1985. V. 24. - Issue 10. - p. 1489-1497.

97. M. Борн, Э.Вольф Основы оптики. -М.: Наука, 1970. с. 542.

98. М. Борн, Э. Вольф Основы оптики. -М.: Наука, 1970. с. 546.

99. Mandel L. Proc. Phys. Soc. (London). - 1959. - V. 74. - p. 223.

100. Albert A Michelson; Jean Rene Benoit; Ch -Ed Guillaume Determination experimental de la valeur du metre en longueurs d'ondes lumineuses // Gauthier-Villars et fils. Paris. - 1894. - p. 130.

101. Дж. Гудмен Статистическая оптика. М.: Мир, 1988. - с. 202.

102. Н.Д.Стоянов, Б.Е. Журтанов, А.П. Астахова, М.П. Михайлова, Ю.П. Яковлева Высокоэффективные светодиоды на остнове тирристорной гетероструктуры II типа n-GaSb/p-GaSb/n-GalnAsSb/p-AlGaAsSb // Физика и техника полупроводников. 2007. - Т. 41. - В. 7.

103. В.В. Иванов, В.А. Маркелов, М.А. Новиков, С.С. Уставщиков Дифференциальная низкокогерентная интерферометрия для in situ диагностики прозрачных микроструктур // Письма в ЖТФ. 2004. - Т. 40. -В. 9.-с. 82-87.

104. Cheng, Yeou-Yen; Wyant, James С Two-wavelength phase shifting interferometry // Applied Optics. 1984. - V. 23. - Issue 24. - p. 4539-4543.

105. Kinnstaetter, K; Lohmann, Adolf W; Schwider, Johannes; Streibl, Norbert Accuracy of phase shifting interferometry// Appl. Opt.-1988.-V. 27.-p.5082-5089.

106. Korner, T O; Sheridan, J T; Schwider, J Interferometric resolution examined by means of electromagnetic theory // JOS A 1995. - V. 12. - p. 752-760.

107. С. J. R. Sheppard and K. G. Larkin Effect of numerical aperture on interference fringe spacing // APPLIED OPTICS. 1995. - V. 34. - N. 22. - p. 4731-4734.

108. И.М. Нагибина Интерференция и дифракция света. Л.: Машиностроение, 1985.-с. 41.

109. В.К. Кирилловский Оптические измерения. Часть 3. СПб.:2005.-с. 45.

110. В.И. Гужов, С.П. Ильиных Компьютерная интерферометрия: учебное пособие. Новосибирск: изд-во НГТУ, 2004. - с. 75.

111. В.И. Гужов, С.П. Ильиных Компьютерная интерферометрия: учебное пособие. Новосибирск: изд-во НГТУ, 2004. — с. 91.

112. Harasaki, Akiko; Schmit, Joanna; Wyant, James С Improved Vertical-Scanning Interferometry // Applied Optics. 2000. - Vol. 39. - Issue 13. - p. 2107-2115.

113. Stanley S. C. Chim and G. S. Kino Correlation microscope // Optics Letters. -1990.-V. 15.-Issue 10.-p. 579-581.

114. Сысоев E.B. Метод частичного сканирования коррелограмм для измерения микрорельефа поверхностей. //Автометрия.-2007.^13.-№1.-с. 107.

115. David J. Aziz Interferometric measurement of surface roughness in engine cylinder walls // Optical Engineering. 1998. - V. 37. - p. 1429-1434.

116. Сысоев E.B., Голубев И.В., Чугуй Ю.В. Измерение поверхностных дефектов на основе низкокогерентной интерферометрии. // Датчики и Системы. 1999. -№ 6. - с. 25.

117. Thomas Dresel, Gerd Hausler, and Holger Venzke Three-dimensional sensing of rough surfaces by coherence radar // Appl. Opt. 1992. - V. 31. - p. 919-925.

118. Дж. Гудмен Введение в Фурье-оптику. М.: Мир, 1970. с. 153.

119. Лоудон Р. Квантовая теория света. М.: Мир, 1976. с. 319.

120. Joanna Schmit, Artur Olszak High-Precision Shape Measurement by White-Light Interferometry with Real-Time Scanner Error Correction // Applied Optics. -2002. V. 41. - Issue 28. - p. 5943-5950.

121. P. Andretzky, M. W. Lindner, G. Bohn, J. Neumann, M. Schmidt, G. Ammon, and G. Hausler "Modifications of the coherence radar for in vivo profilometry in dermatology"// SPIE. 1998. - V. 3567. - p. 88-96.

122. Сысоев E.B., Голубев И.В., Чугуй Ю.В., Шахматов В.А. Измерение локальных отклонений профиля поверхности на основе интерференции частично когерентного света // Автометрия. 2004. — 40. — № 4. - с. 4.

123. Evgeny V. Sysoev, Rodion V. Kulikov Microrelief measurements for white-light interferometer with adaptive algorithm interferogram processing // Proceedings of ISMTII-2009. V. 1. - p. 162-166.

124. H.C. Шестов Выделение оптических сигналов на фоне случайных помех. — М.: Советское радио, 1967. с. 94.

125. Дж. Гудмен, Статистическая оптика. М.: Мир, 1988. - с. 160.

126. Е. V. Sysoev, Nanorelief measurements errors for a white-light interferometer with chromatic aberrations //Key Engineering Materials—2010.-V. 437 -p. 51-55.

127. Peter Ettl; Berthold E. Schmidt; M. Schenk; Ildiko Laszlo; Gerd Haeusler Roughness parameters and surface deformation measured by coherence radar // Proc. SPIE. 1998. - V. 3407.-p. 133-140.

128. A.B. Латышев, А.Л. Асеев Моноатомные ступени на поверхности кремния //УФН.- 1998. -Т. 168. -№ 10.-с. 1117-1127.

129. С.С. Косолобов, А.Л. Асеев, А.В. Латышев In situ исследование взаимодействия кислорода с поверхностью кремния (111) методом сверхвакуумной отражательной электронной микроскопии // Физика и техника полупроводников. -2001. -Т. 35. В. 9. - с. 1084-1091.

130. Е. V. Sysoev, White-Light Interferometer with Partial Correlogram Scanning, // E.V. Sysoev // Optoelectronics, Instrumentation and Data Processing. 2007. -V. 43.-N. l.-p. 83-89.

131. Д. В. Щеглов, А. В. Латышев, В. Ю. Попков Кинетический фазовый контраст в атомно-силовой микроскопии // Вестник НГУ. Серия: Физика. -2008. Т. 3.-В. 1.-с. 91-99.

132. James F. Biegen Calibration requirements for Mirau and Linnik microscope interferometers // Applied Optics. 1989. - V. 28. - N. 11. - p. 1972-1974.

133. Andreas Pfortner and Johannes Schwider Dispersion error in white-light Linnik interferometers and its implications for evaluation procedures // Applied Optics. 2001. - V. 40. - N. 34. - p. 6223-6228.

134. Sandors, Patric; Devilers, Robert; Plata, Arturo Unambiguous profilometry by fringe-order identificiation in white-light phase-shift interferometry // Journal of Vodern Optics. 1997. -V. 44. -N. 3. - p. 519-534.

135. E.B. Сысоев, И.В. Голубев Способ измерения профиля поверхности. Патент РФ № 2245515, 2005.

136. Е.В. Сысоев, И.А. Выхристюк, Р.В. Куликов, А.К. Поташников, В.А.Разум, Л.М.Степнов Интерференционный микроскоп-профилометр // Автометрия—2010. — Т. 46.-№2.-с. 119-128.

137. Dubois, Arnaud; Selb, Juliette; Vabre, Laurent; Boccara, Albert-Claude Phase measurement with wide-apperture interferometers // Applied Optics. 2000. - V. 39.-N 14.-p. 2326-2331.