Повышение чувствительности оптико-физических измерений путем нелинейной обработки изображений тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.05, доктор технических наук Носков, Михаил Федорович

• Носков, Михаил Федорович
• доктор технических наук
• 2007

Оглавление диссертации доктор технических наук Носков, Михаил Федорович

Введение

1 Краткий аналитический обзор современного состояния 15 методики оптической обработки изображений

1.1 Определение понятий точности и чувствительности 15 интерференционных измерений

1.2 Оптические методы повышения чувствительности 27 интерференционных измерений

1.2.1 Условная классификация методов

1.2.2 Многопроходовая интерферометрия

1.2.3 Двухдлинноволновая интерферометрия

1.2.4 Многолучевая интерферометрия

1.3 Оптические и цифровые методы обработки изображений

1.3.1 Цифровые методы обработки изображений

1.3.2 Оптические методы обработки изображений

1.4 Обоснование преимущества фотографических слоев в сравнении с другими фотоприемниками

2 Теоретические исследования методов нелинейной обработки 52 изображений

2.1 Исследование чувствительности метода нелинейной фоторегистрации интерференционных картин при настройках на полосы конечной и бесконечной ширины

2.2 Исследование чувствительности метода дифференцирования 62 интерферограмм при настройке на полосы конечной ширины

2.3 Исследование чувствительности метода псевдоцветного 68 кодирования интерферограмм

2.4 Исследование возможности выявления невидимых 75 изображений на фотоснимках методом анализа в диффузно рассеянном свете

2.5 Исследование факторов, определяющих чувствительность 78 оптической многопроходовой интерферометрии

2.6 Исследование возможности инверсии интерференционной 81 картины в многолучевых интерферометрах

2.7 Исследование возможности наблюдения циркониевого 87 защитного слоя на рентгеновских снимках микроТВЭЛов

3 Экспериментальное исследование возможностей методов 92 нелинейной обработки изображений

3.1 Особенности техники эксперимента при фоторегистрации 92 интерференционных картин в нелинейном режиме

3.1.1 Обоснование интерференционной системы

3.1.2 Методика аппроксимации характеристических кривых

3.1.3 Выбор фотоматериалов для экспериментальных исследований метода нелинейной фоторегистрации 96 интерференционных картин

3.1.4 Экспериментальное исследование взаимосвязи параметров интерференционной картины, характеристической кривой фотоматериала, режима фоторегистрации и чувствительностью 97 измерений

3.2 Экспериментальное исследование возможностей наблюдения 108 фотоизображений при освещении наклонными пучками (выделение контуров полос на интерферограммах)

4 Практическое применение методов нелинейной обработки 110 изображений

4.1 Применение методов нелинейной фоторегистрации для 110 модернизации интерферометра для контроля астрооптики

4.1.1 Общие положения

4.1.2 Исследование формы металлооптического зеркала для 117 лазерного резонатора

4.1.3 Контроль формы вогнутого медного зеркала

4.1.4 Исследование формы крупногабаритной плоской 128 поверхности

4.1.5 Исследование формы выпуклой поверхности методом 130 муаровой интерферометрии

4.2 Повышение чувствительности микроинтерферометрии путем 142 применения нелинейной фоторегистрации

4.3 Нелинейная фоторегистрация многолучевых 143 интерференционных картин

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Повышение чувствительности оптико-физических измерений путем нелинейной обработки изображений»

Актуальность проблемы

К приоритетным направлениям развития науки, технологий и техники Российской Федерации относятся, в том числе, производственные технологии, в число которых входят оптические технологии. Например, раздел «Оптоэлектроника» входит в «Перечень критических технологий Российской Федерации». А в программе «Основные направления фундаментальных исследований в России» в подраздел 1.3 - «Оптика и лазерная физика» входит пункт 1.3.7 - «.Прецизионные оптические измерения».

Оптическая обработка изображений необходима для решения целого ряда задач:

- обработки фотографий интерференционных картин при исследовании параметров разреженных потоков в аэродинамических трубах [1-5], исследовании волновых аберраций прецизионных оптических элементов и систем [6-10], исследовании шероховатости сверхгладких поверхностей зеркал для мощных лазеров;

- выявлении малоконтрастных деталей изображений на рентгеновских снимках технических объектов, например, на рентгеновских снимках, так называемых, тепловыделяющих элементов, а также на астрономических снимках.

При помощи наиболее распространенной двухлучевой интерферометрии и визуальной оценки величины сдвига интерференционных полос можно производить измерения с погрешностью АУ20 - У 50, где X - длина волны используемого излучения. Для источников видимого диапазона погрешность измерений составляет около 10 нанометров, что вполне достаточно для большинства случаев.

Существует целый ряд задач, для решения которых чувствительность интерференционных измерений должна быть повышена при помощи простых средств на один или два порядка. К таким задачам, в частности, относится исследование обтекания тел на баллистических трассах малой плотности, то есть имитация полета искусственного спутника Земли в верхних слоях атмосферы, исследование формы зеркал уникальных телескопов, например, применяемых для коллимации излучения мощных лазеров, измерение интерференционными методами формы шероховатости полированных сверхгладких поверхностей с Яа менее 1 нанометра.

К настоящему времени разработано множество методов повышения чувствительности интерференционных измерений, но большинство из них имеют очень узкие рамки применения. Например, многолучевая интерферометрия [3-5] может быть применена только при исследовании поверхностей с коэффициентом отражения, близким к единице. Методы, основанные на многократном прохождении зондирующего излучения сквозь исследуемую среду, в большей степени подвержены влиянию вибраций и воздушных потоков, а также могут быть реализованы только в простейших схемах интерферометров (Майкельсона, Тваймана-Грина, Физо). Голографическим методам повышения точности и чувствительности измерений сопутствуют все ограничения голографии по вибрациям.

Отдельно следует отметить, что предлагаемые в данной работе методы оптической обработки изображений путем анализа фотослоя ни в коем случае не противопоставляются методам фотоэлектрической обработки изображений, а дополняют эти методы. Иными словами, оптические методы должны улучшать картину до такой степени, чтобы ее фотоэлектрическая обработка максимально упростилась.

Развитие и широкое применение автоматизированных сканирующих систем для интерферометрии, рентгеновской техники, тепловидения и других отраслей изменили представление о роли фотографических материалов в физических экспериментах и измерениях.

Фотоматериалы принято рассматривать как оптическое запоминающее устройство, способное не только накапливать, но и преобразовывать анализируемую информацию, в частности, преобразовывать рентгеновский, ультрафиолетовый и инфракрасный диапазоны в видимый, для обработки которого создано значительно большее число матриц и оптических устройств.

Разрешающая способность по полю фотослоев до сих пор на порядок превосходит разрешающую способность фотоприемных матриц. Например, при использовании в качестве фоторегистратора фотослоев типа МИКРАТ на 1 мм помещается 0,09 МПк, а на стандартном кадре размером 24x36 мм - уже 77,7 МПк.

Кроме того, в случае необходимости размер снимка может быть увеличен до 300x400 мм, и тогда на нем будет записано 10800 МПк.

Диссертанту неизвестны промышленно изготовляемые и доступные широкому кругу исследователей матрицы с аналогичными характеристиками.

В процессе выполнения данной работы автору пришлось ответить на следующие вопросы или конкретизировать их:

- всегда ли интерференционная картина может быть зарегистрирована в нелинейном режиме, и в каких случаях такая регистрация приводит к повышению точности и чувствительности измерений, а в каких - в лучшем случае бесполезна, а иногда даже вредна; что следует понимать под термином «высококонтрастная интерференционная картина»;

- от каких параметров интерферометра и лазера зависит коэффициент повышения точности и чувствительности измерений;

- как известные критерии чувствительности измерений связаны между собой в различных интерференционных методах;

- каким образом можно теоретически определить чувствительность и точность интерференционных измерений при нелинейной фоторегистрации;

- в каких областях интерференционных измерений целесообразнее всего использовать нелинейную фоторегистрацию;

- в каких областях интерференционных измерений целесообразно использовать метод дифференцирования (оконтуривания) интерференционных полос;

- фотоматериалы с какими характеристиками наиболее эффективны для применения метода дифференцирования интерференционных полос;

- в каких областях интерференционных и рентгеновских измерений наиболее эффективно использовать метод псевдоцветового кодирования измерений;

- какие характеристики псевдоцветной картины позволяют говорить о повышении чувствительности измерений по сравнению с исходной картиной.

Исходя из вышеперечисленного, были сформулированы цели настоящей работы.

Цель работы. Целью настоящей работы является:

- теоретическое и экспериментальное доказательство возможности повышения чувствительности интерференционных измерений путем обострения экстремумов полос за счет использования нелинейности характеристической кривой используемого при фоторегистрации фотоматериала;

- теоретическое и экспериментальное доказательство возможности повышения точности и чувствительности интерференционных измерений и повышения информативности рентгеновских изображений за счет псевдоцветового кодирования интерференционной картины при их освещении взаимно дополнительными цветами в прямом и рассеянном свете;

- теоретическое и экспериментальное доказательство возможности повышения точности и чувствительности интерференционных измерений за счет псевдоцветового кодирования интерференционной картины;

- разработка рекомендаций по регулированию чувствительности измерений путем выбора типа фотоматериала и режима его обработки; разработка методики проведения измерений повышенной чувствительности на стандартных двухлучевых интерферометрах и апробация разработанного метода при исследовании некоторых параметров оптических элементов; теоретическое обоснование превосходства абсорбционных светофильтров перед интерференционными при использовании протяженных источников света.

Достижение поставленных целей сопровождалось решением следующих задач:

- уточнение терминов «чувствительность» и «точность» интерференционных измерений применительно ко всем высокоточным методам интерференционных измерений, а также их взаимосвязи с параметрами интерференционной картины; анализ взаимосвязи между параметрами интерференционной картины, ее зарегистрированного образа - интерферограммы и характеристической кривой фотоматериала при нелинейном режиме фоторегистрации;

- анализ взаимосвязи между распределением интенсивности света в исходной интерференционной картине, ее интерферограмме и распределением интенсивности света при освещении интерферограммы монохроматическими наклонными пучками;

- теоретическое обоснование и экспериментальное исследование факторов, влияющих на чувствительность измерений и анализ распределения интенсивности цвета и его колориметрического состава при освещении интерферограммы двумя или более дополнительными цветами; разработка методики нелинейной фоторегистрации интерференционных картин, включающей в себя выбор фотоматериала и определение наиболее целесообразных для данных условий режимов нелинейной регистрации;

- разработка методики анализа интерферограмм в диффузном освещении монохроматическим светом, включающей в себя выбор материала по зернистости фотослоя, величины вуали и определении оптимального угла освещения интерферограмм;

- разработка методики псевдоцветового кодирования интерферограмм при освещении их по нормали и наклонным пучками дополнительных цветов.

Научная новизна исследований заключается в следующем:

1) теоретически и экспериментально обоснована возможность повышения чувствительности интерференционных измерений путем выделения экстремумов полос за счет нелинейного режима фоторегистрации;

2) теоретическими и экспериментальными исследованиями установлена взаимосвязь чувствительности интерференционных измерений с распределением интенсивности в полосах регистрируемой интерференционной картины, параметрами характеристической кривой фотоматериала и положением рабочей точки относительно характеристической кривой при нелинейном режиме фоторегистрации;

3) экспериментально подтверждена эффективность метода нелинейной фоторегистрации, обеспечивающего повышение чувствительности измерений более чем на порядок, то есть уменьшение погрешности измерений до величины Х/300;

4) теоретически и экспериментально обоснована возможность повышения чувствительности интерференционных измерений путем дифференцирования контуров полос;

5) теоретически и экспериментально обоснована возможность повышения чувствительности интерференционных измерений путем одновременного освещения интерферограммы двумя дополнительными цветами;

6) теоретически и экспериментально обоснована возможность повышения информативности многолучевых интерференционных картин за счет отфильтровывания составляющей нулевого порядка;

7) теоретически обосновано преимущество абсорбционных стеклянных светофильтров перед интерференционными при углах падения света на светофильтр более 10 градусов.

Практическая значимость работы заключается в том, что разработанные методики оптического анализа изображений и выработанные рекомендации по оптимальному применению методов позволяют повысить точность и чувствительность уже действующих, промышленно выпускаемых двух- и многолучевых интерферометров, рентгеновских аппаратов, фотометров, колориметров и микроколориметров без внесения значительных конструктивных изменений в оптические схемы приборов. Чувствительность серийно выпускаемых интерферометров может быть повышена примерно на порядок.

Разработанные методики позволяют контролировать форму зеркал лазерных резонаторов и трактов передачи излучения под нагрузкой. Методика псевдоцветового кодирования изображений позволяет повысить информативность снимков, полученных на уже существующих аппаратах. Методика выбора оптимального числа проходов зондирующего излучения сквозь исследуемую среду позволяет повысить чувствительность уже существующих спектрофотометров, фотометров и колориметров.

На защиту выносятся следующие основные научные положения:

1) критерий сравнительной чувствительности интерференционных измерений 8, определенный как предел отношения чувствительностей предлагаемых методов и базового метода, за который взята двухлучевая интерферометрия с видностью картины У=1 по всему полю интерференции;

2) способ повышения чувствительности интерференционных измерений путем выделения экстремумов полос на стадии фоторегистрации, основанный на использовании фотоматериалов с резко выраженной нелинейностью характеристической кривой;

3) аналитические зависимости, устанавливающие однозначную взаимосвязь между видностью интерференционной картины, параметрами характеристической кривой фотоматериала и сравнительной чувствительностью измерений;

4) способ повышения чувствительности интерференционных измерений путем дифференцирования интерференционных полос и их псевдоцветового кодирования;

5) способ повышения информативности черно-белых изображений путем их псевдоцветового кодирования;

6) способ инвертирования многолучевой интерференционной картины за счет отфильтровывания нулевого порядка.

Публикации и апробация работы. По теме диссертации опубликовано 40 работ. Из них 18 работ опубликовано в изданиях, определенных ВАК Минобрнауки РФ для соискателей ученой степени доктора наук, в том числе 9 изобретений, заявок на изобретения и патентов РФ, кроме того, 3 статьи опубликованы в США.

Основные результаты работы докладывались и обсуждались на Всесоюзном семинаре «Физические методы исследования прозрачных неоднородностей» в 1983-1984 гг. в Москве; на конференциях-конкурсах НИР Подольского научно-исследовательского и технологического института в 1985-1987 гг.; на конференции-конкурсе Объединенной Экспедиции в Семипалатинске в 1985 г.; на 50 и 51 научно-технических конференциях преподавателей СГГА в 2000-2001 гг.; на международном научном конгрессе «Гео-Сибирь 2006» и «Гео-Сибирь 2007».

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, четырех разделов, заключения, списка использованных источников и приложений. Она изложена на 179 страницах, содержит 34 рисунка, 2 таблицы, 2 приложения. Список использованных источников состоит из 88 наименований.

Заключение диссертации по теме «Оптика», Носков, Михаил Федорович

Выводы по разделу 4

1. Показано, что при решении ряда задач контроля формы прецизионных оптических изделий метод нелинейной фоторегистрации интерференционных картин дает возможность, по сравнению с известными методами, существенно (примерно в 10 раз) повысить чувствительность и, следовательно, уменьшить погрешность измерения максимального уклонения АКтах измерений, а именно:

- погрешность измерения формы вогнутого медного зеркала была снижена с величины 0,012Х до величины 0,002А,, то есть - в 6 раз; погрешность измерения формы крупногабаритной плоской поверхности при контроле в наклонных пучках методом муара была снижена с 0,05А, до 0,015А,, то есть - более чем в 3 раза;

- погрешность измерения формы выпуклой поверхности зеркала неустойчивого лазерного резонатора методом муара была снижена с величины 0,02Х до 0,004Х, то есть - в 5 раз.

2. Чувствительность двухлучевого микроинтерферометра с нелазерным источником излучения за счет применения нелинейной фоторегистрации была увеличена в 5 раз, что позволило измерять наибольшую высоту поверхностей профиля ДМтах с погрешностью 1 нанометр при доверительной вероятности измерений Р=0,99.

Введение в наблюдательную ветвь дополнительных разработанных автором спектральных светофильтров позволило при таких измерениях повысить пространственную когерентность источника излучения и увеличить количество полос, наблюдаемых в окуляре.

3. Показана принципиальная возможность применения разработанного метода нелинейной фоторегистрации интерференционных картин совместно с другим методом повышения чувствительности и точности измерений - а именно, с многолучевой интерферометрией. При сохранения прежней точности оказалось возможным, на выбор экспериментатора, либо снизить допуски на качество изготовления зеркальных поверхностей многолучевого интерферометра с А/100 до А/20 при сохранении чувствительности измерений Sa=10, либо повысить чувствительность измерений Sa в пять раз - с 2 до 10 при сохранении допуска на точность изготовления поверхности А/20.

4. Показана принципиальная возможность сочетания метода нелинейной фоторегистрации интерферограмм с одним из приборов для фотоэлектрической обработки интерференционных картин и интерферограмм - Zygo Mark 2, при этом чувствительность и точность измерений возрастают как за счет разработанного метода, так и за счет фотоэлектрической обработки интерферограммы.

5. Показана возможность при помощи оптической фильтрации инверсии многолучевой интерференционной картины, что позволило получать высококонтрастные интерференционные картины как в проходящем, так и в отраженном свете.

6. Экспериментально подтверждена возможность повышения точности и чувствительности измерений путем выделения контура интерференционных полос за счет наблюдения интерферограмм в рассеянном свете.

7. Экспериментально на примере интерферограммы и рентгенограммы подтверждена возможность повышения информативности черно-белых фотоснимков за счет псевдоцветового кодирования.

Заключение

На основании результатов выполненных научных исследований в работе решены следующие задачи.

1. Теоретически и экспериментально обоснована возможность повышения чувствительности интерференционных измерений примерно на порядок путем выделения экстремумов интерференционных полос при существенно нелинейном режиме фоторегистрации. Показано, что метод нелинейной фоторегистрации сочетает универсальность применения, простоту и возможность реализации на серийных приборах.

2. На основе анализа используемых в научно-технической литературе критериев чувствительности интерференционных измерений выявлена ограниченность их применения, связанная со способом получения интерференционной картины, способом настройки интерферометра и способом анализа интерференционной картины.

3. Предложен и обоснован обобщенный критерий чувствительности интерференционных измерений, на основе которого получены ранее использовавшиеся частные критерии.

4. Проанализирована взаимосвязь чувствительности измерений с контрастом и видностью интерференционной картины, величиной экспозиции, параметрами характеристической кривой фотоматериала и способом анализа самой интерферограммы. Теоретически обосновано положение о том, что принципиальным ограничением чувствительности разработанного метода является дифракция света на микродефектах оптики, не позволяющая повысить видность интерференционной картины до единицы.

5. Продемонстрирована возможность при помощи микроинтерферометра МИИ-4 измерять шероховатость полированных сверхгладких поверхностей и высоту ступенек на отражательной голографической решетке (элементе зеркала лазерного резонатора) с погрешностью около 1 нанометра.

6. Показана принципиальная возможность применения метода нелинейной фоторегистрации с методом многолучевой интерферометрии. При сохранении чувствительности измерений оказалось возможным, на выбор исследователя, либо снизить допуски на точность изготовления зеркальных поверхностей многолучевого интерферометра в 5 раз с А/100 до Х/20 при сохранении относительной чувствительности (по отношению к двухлучевой интерферометрии) измерений Sa=10, либо, при сохранении допусков на точность изготовления поверхности А/20, повысить чувствительность измерений Sa в пять раз - с величины 2 до 10.

7. Показана принципиальная возможность сочетаемости метода нелинейной фоторегистрации интерферограмм с одним из наиболее известных приборов для фотоэлектрической обработки интерферограмм -Zygo Mark 2, при этом чувствительность и точность измерений возрастают за счет суперпозиции обоих методов.

8. Показана возможность инверсии многолучевой интерференционной картины без нанесения на исследуемое зеркало асимметричного диэлектрического покрытия, что позволило, например, исследовать в отраженном свете реальные зеркала мощных лазеров.

9. Экспериментально подтверждена возможность повышения информативности интерференционных и рентгеновских измерений путем наблюдения фотоснимков в рассеянном свете.

10. На примере интерферограмм и рентгенограмм показана возможность повышения информативности путем псевдоцветового кодирования фотоснимков.

11. Показано, что чувствительность многолучевых интерферометров пропорциональна не первой степени резкости полос Б, а квадрату резкости, то есть Б2

12. Показано, что чувствительность многопроходовых интерферометров максимальна в том случае, когда максимально произведение видности интерференционной картины V на число проходов п.

Список основных научных работ Носкова М.Ф., опубликованных по теме диссертации

1*. Носков, М.Ф. Выделение экстремумов интерференционных полос при фотографической регистрации [Текст]//А.И. Кондратьев, М.Ф. Носков, В.Ф. Рахманов./Приборы и техника эксперимента.-1983.-№ 2.-С.218-220.

2*. Noskov, MF. Separation of the extrema of interference bands by photographic recording /Kondratev, A.I., Noskov, M.F., Rakhmanov, V.F. -//Instruments and Experimental Reviev. - 1983.-V. 26, № 2. - P. 481 -482.

3*. Носков, М.Ф. Нелинейная фоторегистрация двухлучевых интерференционных картин [Текст]/И.В. Скоков, М.Ф.Носков //Заводская лаборатория.-1984.-№ 1.-С.32-36.

4*. Носков, М.Ф. Методы интерференционных измерений повышенной чувствительности [Текст]//И.В.Скоков, М.Ф.Носков./ Измерения, контроль, автоматизация: Научно-техн. сб. обзоров/ЦНИИТЭИприборостроения. М., -1984.- Вып.4(52).-С.3-13.

5*. Noskov, MF. Nonlihear photographic recording of double beam interference patterns /1. V. Skokov, M. F. Noskov.// Ind. Lab. Reviev. 1984. - № 50(1).- p 42 -46.

6*. Носков, М.Ф. Оптимизация режимов фоторегистрации интерференционных картин [Текст]/М.Ф. Носков.//Приборы и техника эксперимента,-1985 .-№ 5 .-С.214-215.

7*. Noskov, MF. Optimization of photographic recording of interference patterns M F Noskov Instruments and Experimental Reviev. - 1986.-V. 28, № 5.-P. 1226- 1228.

8*. Носков, М.Ф. Способ фотографической регистрации двухлучевых интерференционных картин [Текст]/М.Ф.Носков.//Сб. "Передовой производственно-технич. опыт", серия "Приборостроение и контроль". М., ВИМИ.-1986.-№ 1.-С.48-49.

9*. A.c. СССР № 1452307. Способ анализа снимков при радиографическом контроле изделий с большим радиографическим контрастом. Носков М.Ф., Ордынцев В.А., Таубин M.JI. Заявка № 4280472 от 13 июля 1987 г., зарегистрировано 15 сент. 1988 г.

10*. Носков, М.Ф. В кн.: Скоков, И.В. Многолучевые интерферометры в измерительной технике. - М.: Машиностроение, 1989. - 256 с.

Стр. 8-13.

11*. A.c. СССР № 1651096, G 01 В 11/24. Способ интерференционного измерения формы поверхности оптических деталей [Текст]/Носков, М.Ф., Скоков, И.В., Соснов, А.Н., Трифонов, Е.Е.- Опубл. Бю л .//Открытия. Изобретения.-1991.-№ 19.

12*. A.c. СССР № 1705048, В 24 В 49/00. Способ доводки поверхностей [Текст]/Соснова, Н.К., Носков, М.Ф., Трифонов Е.Е.- Опубл. Бюл./Юткрытия. Изобретения.-1992.-№ 2.

13*. Пат. РФ № 1705048, В 24 В 49/00. Способ доводки поверхностей. [Текст]/ Носков,М.Ф., Соснова,Н.К., Трифонов Е.Е. Патентообладатель СГГА. Заявл. 13.02.1989. Опубл. 18. 11. 1993.

14*. Носков, М.Ф. К выбору путей программируемой обработки сложных несферических поверхностей [Текст]/М.Ф.Носков, Н.К.Соснова, А.Н.Соснов, Е.Е.Трифонов//Известия ВУЗов, Приборостроения.-1996.-№ 2.-С. 103-107.

15*. Пат. РФ № 2166730, G 01 В 11/24. Способ интерференционного измерения формы поверхности оптических деталей [Текст]/Носков М.Ф. Патентообладатель СГГА. Заявл. 09.10.98., опубл. 10.05.2001, Бюл.№ 13.

16*. Пат. РФ № 2224982, G 01 В 11/24. Способ интерференционного измерения формы поверхности оптических деталей [Текст]/Носков М.Ф. Патентообладатель ССГА. Заявл. 01.11.1999. Опубл. 27.02. 2004. Бюл. № 6.

17*. Заявка 2005136174 Российская Федерация, МКИ G 02 В 5/30. Способ наблюдения многолучевой интерференционной картины в отраженном свете при помощи интерферометра Фабри-Перо [Текст]/Носков М.Ф.(РФ); заявитель СГГА; пат. поверенный Тырышкина Е.П. Заявл. 21.11.2005. Патент на изобретение 2302612 от 10 июля 2007 г.

18*. Заявка 2006102950 Российская Федерация, МКИ G 02 В 5/30.Способ интерференционного измерения формы поверхности оптических деталей [Текст]/Носков М.Ф. (РФ); заявитель СГГА;пат. поверенный Тырышкина Е.П. Заявл. 01.02.2006.

19*. Носков, М.Ф.Выделение малоконтрастных элементов на фотографических снимках. Белоус, И.Н., Комбаров, М.С., Кузнецов, М.М., Носков, М.Ф. //"Тез. докл. Межд. научного конгресса ГЕС)-Сибирь-2006".-Новосибирск: СГГА, 2006, том 5, с. 82-85.

20*. Носков, М.Ф. Выделение малоконтрастных элементов на фотографических снимках. Белоус, И.Н., Комбаров, М.С., Кузнецов, М.М., Носков, М.Ф.//"Тез. докл. Межд. научного конгресса ГЕС)-Сибирь-2006".-Новосибирск: СГГА, 2006, том 6, с. 114-117.

21*. Носков, М.Ф. Двухлучевой интерферометр повышенной чувствительности для регистрации сверхмалых подвижек тектонических плит. М.М. Кузнецов, М.Ф. Носков //Горный журнал (Известия ВУЗов), 2007, №4.-С. 58-61.

22*. Носков, М.Ф. Способ псевдоцветового кодирования черно-белых фотографических снимков. Носков М.Ф., Кузнецов М.М., Петров П.И. //Фундаментальные исследования, 2007 г., № 6, с. 57-58.

23*. Носков, М.Ф. Способ выделения границ интерференционных полос при фотографической регистрации интерференционных картин. М.Ф.Носков, П.И. Петров //Современные наукоемкие технологии , 2007 г. № 7,с.78. .

24*. Носков, М.Ф. Повышение отношения сигнал / шум при создании высокочувствительных детекторов интерференционных волн. М.Ф.Носков.//Фундаментальные исследования, 2007г. № 6, с.57-58.

Кроме того, по теме диссертации опубликованы следующие работы (по мнению диссертанта, доступные не всем читателям)

1**. Носков, М.Ф. Исследование насыщения фотоприемников для повышения точности двухлучевых интерферометров [Текст] /М.Ф.Носков.// Сборник "Оптико-механические и электронно- оптические приборы".-Новосибирск, НИИГАиК, 1985.-С.66-73.

2**. Носков, М.Ф. О влиянии величины зазора между элементами мозаичных фотоприемников на их разрешающую способность [Текст]/М.Ф.Носков//Сборник "Оптические и оптико-электронные приборы".- Новосибирск, НИИГАиК, 1982.-том15(55).-С.150-153.

3**. Носков, М.Ф. Чувствительность оптических многоходовых интерферометров. М.Ф. Носков.// "Тез. Докл. L научно-техн. конф. СГГА".-Новосибирск: СГГА,2001.-С.151.

4**. Носков, М.Ф. Неравноплечий лазерный интерферометр: разработка и опыт эксплуатации [Текст]/М.Ф.Носков и др. Предприятие п/я А-1857, 1980, н/б 5051, 53 с.

5**. Носков, М.Ф. Разработка и экспериментальное исследование метода измерения деформаций отражающих поверхностей [Текст]/М.Ф.Носков и др. Предприятие п/я А-1857, 1981, н/б 5079, 27с.

6**. Носков,М.Ф. Разработка и экспериментальное исследование методов и средств измерения деформаций и рельефа отражающих поверхностей [Текст]/А.Б.Зензинов, А.В.Москалева, М.Ф.Носков, Н.В.Угнивенко, А.А.Щетников.// Сб. "Материалы конф.-конкурса НИР и ОКР ПНИТИ", сер. 2, вып. 1,- Подольск МО.- 1982.-С.144-150.

7**. Носков,М.Ф. Измерительный комплекс для контроля крупногабаритной оптики [Текст]/ А.Б.Зензинов, М.Ф.Носков, А.А.Щетников АЛЛ Сб. "Материалы конф.-конкурса НИР и ОКР ПНИТИ", сер. 2, вып. 3.- Подольск МО.- С. 226-230.

8**. Носков, М.Ф. Интерферометрия повышенной чувствительности с нелинейной фоторегистрацией [Текст]/М.Ф.Носков и др. Предприятие п/я А-1857, 1981, н/б 5364, 43 с.

9**. Носков, М.Ф. Отчет по спецтеме.[Текст]/М.Ф.Носков и др. Предприятие п/я А-1857, 1982, № 17896.

10**. Носков, М.Ф. Интерференционные методы повышенной чувствительности [Текст]/М.Ф.Носков и др. Предприятие п/я А-1857, 1983, н/б 5736, 32 с.

11**. Носков, М.Ф. Оптимизация режимов фоторегистрации интерференционных картин [Текст]/М.Ф.Носков. деп. в ЦНИИАтоминформ, 1984, рег.№ 966.

12**. Носков, М.Ф. Отчет по теме "Зодиак".[Текст]/Носков М.Ф. и др. Предприятие п/я А-1857, 1986, н/б 6538.

13**. Носков, М.Ф. Исследование оптического тракта системы "Комби" [Текст]/Носков М.Ф. и др. Предприятие п/я А-1857, 1987, н/б 6825, 16 с.

14**. Носков, М.Ф. Перемещение поверхности материалов при локальном тепловом воздействии [Текст]/Носков М.Ф. и др. Предприятие п/я А-1857, 1987, н/б 6879, 69 с.

15**. Носков, М.Ф. Оптическая обработка рентгеновских снимков. Экспериментальные исследования [Текст]/Носков М.Ф. Предприятие п/я А-1857, 1987, н/б 6931, 14 с.

16**. Носков, М.Ф. Разработка техпроцессов изготовления оптических деталей и методики контроля допусков формы и расположения поверхностей корпусных деталей [Текст]/Носков М.Ф., Соснов А.Н., Трифонов Е.Е. Отчет о НИР. № ГР 0188.0035817. Новосибирск, СГГА, 1988. Инв. № 0289.0050400, 11 с.

17**. Носков, М.Ф. Разработка технологий, методов и средств для медицинских и биохимических исследований [Текст]/Носков М.Ф., Лесных И.В. Новосибирск, СГГА, 1993. Отчет о НИР № ГР 0193.0001344.Инв. № 029.40003183.

Примечание — звездочкой отмечены основные работы по теме диссертации, двумя звездочками - дополнительные работы

Список литературы диссертационного исследования доктор технических наук Носков, Михаил Федорович, 2007 год

1. Вест Ч. Голографическая интерферометрия. : пер. с англ. М.: Мир, 1982-504 с.

2. Островский Ю.И., Бутусов М.М., Островская Г.В. Голографическая интерферометрия. М.: Наука, 1977. 339 с.

3. Скоков И.В. Многолучевые интерферометры. М. Машиностроение, 1969.-247 с.

4. Скоков И.В. Многолучевые интерферометры в измерительной технике. М.: Машиностроение, 1989. - 1989. - 256 е.: ил.

5. Скоков, И.В. Оптические спектральные приборы: Учеб. Пособие для вузов. М.¡Машиностроение, 1984. - 240 е., ил.

6. Кейсесент Д. Оптическая обработка информации.: пер. с англ. М.: Мир, 1980.-349 с.

7. Оптический производственный контроль. Под ред. Д. Малакары. Пер с англ. Под ред. Соснова А.Н. М. Машиностроение, 1985. - 400 с.

8. Коломийцов Ю.В. Интерферометры. Основы инженерной теории, применение. JI. Машиностроение. -1976. 296 с.

9. Гуревич С.М., В.Б. Константинов, В.К. Соколов, Д.Ф. Черных. Передача и обработка информации голографическими методами. М. Сов. Радио, 1978,- 304 е., ил.

10. Оптическая обработка изображений. Сборник научных статей. Под ред. Гуревич С.Б. Лен., Изд-во Наука, Ленингр. Отд. 1985. 137 с.

11. Гост 16263 Метрология, термины и определения. - М., Издательство стандартов, 1978.

12. Скоков И.В. к вопросу о чувствительности многолучевого интерферометра. Заводская лаборатория, 1967, № 5, с. 580 - 582.

13. Трофимова H.H. Интерферометры повышенной чувствительности. -Труды метрологических институтов СССР, 1968, т. 101, с.86.

14. Бараш В.Я., Эйдинов A.B. Исследование элементов интерферометров повышенной чувствительности. Труды метрологических институтов СССР, 1977, № 218, с.74.

15. Оптический производственный контроль/Под ред. Малакара Д.М., 1985, 400 е., ил.

16. Ляликов, A.M. Многоэкспозиционная голографическая интерферометрия с использованием вращения регистрирующей среды для исследования быстропротекающих процессов Оптика и спектроскопия, 2005, т. 100, №3, с. 511-515.

17. Ануфрик С.С., Зейликович И.С., Кукушкин В.Г., Пулькин С.А.Увеличение чувствительности измерений при обработке внутрирезонаторных спектрограмм. Оптика и спектроскопия, 1984, т.56, № 1, с. 123-127.

18. Белозеров А.Ф., Березкин А.Н., Мустафина JI.T., Разумовская А.И. Об использовании многопроходового голографического интерферометра для визуализации газовых потоков низкой плотности. Письма в ЖТФ, 1978, т.4., № 9, с. 522-525.

19. Белозеров А.Ф., Березкин А.Н., Мустафина JI.T. , Разумовская А.И. Голографическая интерферометрия в исследованиях газовых потоков низкой плотности. Тезисы докладов 3 Всесоюзной конференции по голографии. JL: с. 167-168.

20. Dameron D., Vest С. M. Fringe sharpening and propagation effects in nonlinear two exposure holography. Journal Optical Society Americe , 1976, 66. - № 12. C. 1418-1421.

21. Власов Н.Г., Галкин С.Г., Семенов Э.Г. Способ интерференционных измерений. A.C. 784460, заявл. 02.07.79., опубл. БИ, 1982,№ 3, с.277. М. Кл.1. G 01В 9/05.

22. Власов Н.Г., Галкин С.Г. Повышение чувствительности в голографической интерферометрии диффузно-отражающих объектов. -ЖТФ, 1983, т.53, № 7, с. 1380-1381.

23. Зейликович И.С., Пулькин С.А., Ануфрин С.С., Кукушкин В.Г. Увеличение чувствительности измерений при обработке внутрирезонаторных спектрограмм. Оптика и спектроскопия, 1984, т.56, № 1, с.123-127.

24. Зейликович И.С., Пулькин С.А. Апостериорная интерференционная спектроскопия большой чувствительности. Оптика и спектроскопия, 1982, т. 53, №4, с.588-589.

25. Гусев В.Г.// Оптический журнал. 1997. Т.64. № 11. С. 48 -52.

26. Ляликов,А.М. Повышение чувствительности определения деформации волнового фронта при оптической обработке голографических интерферограмм бокового сдвига. Оптика и спектроскопия, 2005, том 99, №1, с. 151-155.

27. Ляликов,А.М.Расширение диапазона регулирования чувствительности измерений в голографической интерферометрии бокового сдвига //Оптика и спектроскопия, 2002 Т.93 №. 3. С. 512-516.

28. Коломийцов Ю.В. Контрастность картины в двухлучевых интерферометрах при неравенстве интенсивности пучков лучей и при наличии рассеянного света. ОМП, 1961, № 11, с. 27-29.

29. Wada Hisashi, Hirabayshi Tsugio. Сэймицу кикай, 1977, V. 43, № 10, p. 1155- 1160.

30. Мустафин К.С., Селезнев В.А. Голографическая интерферометрия с изменяемой чувствительностью. Оптика и спектроскопия, 1972, т.32, вып.5, с. 993.

31. Matsuda К., Freund Н., Hariharan P. Phase-difference amplification using long-tudinlly reversed sheating interferometri an experimental studi.-Applied Optics , 1981, 20, № 16, p. 2763-2765.

32. Мустафин К.С. Использование нелинейных эффектов в голографической интерферометрии. Материалы 2 Всесоюзной школы по голографии. JL, 1971, с. 159.

33. Применение голографической интерферометрии и лазерной техники для контроля качества промышленных изделий. Руководящие технические материалы. Под ред. М.М. Бутусова. Горький, Горьковский филиал ВНИИНМАШ, 1975, 136 е., ил.

34. Tori Y., Hatsuzo T., Shinya N. Interpolation of contour intervals in moiré topographi by phase modulation. Optics Communication, 1982, V. 42„ № 6 p. 339 -402.

35. Matsumoto K. Analises of Holografic Multiple beam Interferometri. -Journal Optical Society Americe, 1971, V. 61, № 2, p. 176 181.

36. Bringdal О Multiple beam Interferometry by wavefront Reconstruction. Journal Optical Society Americe, 1969, V. 52, № 9, p. 1171-1175.

37. Мустафин K.C., Селезнев B.A., Штырков Е.И. Использование нелинейных свойств фотоэмульсии для повышения чувствительности голографической интерферометрии. Оптика и спектроскопия, 1970, т. 28, № 6, с.1186-1189.

38. ГОСТ 24865.1-81. Голография и голографические методы контроля качества. Термины и определения. М.: Изд-во стандартов, 1982. 40 с.

39. Зайдель А.Н., Островская Г.В., Островский Ю.И. Голографическая диагностика плазмы. ЖТФ, 1968, т.38, № 9, с. 1405-1419.

40. Козин Г.И., Кузнецов А.П. //Квантовая электроника. -1998. Вып. 25. № 12. С. 1079.

41. ИгнатовА.Б., Комисарова И.И., Островская Г.В., Шапиро Л.Л. Двухдлинноволновая одноэкспозиционная голографическаяинтерферометрия плазмы. ЖТФ, 1971, т.41, № 2, с.417-423.43

42. Скоков И.В. Многолучевые интерферометры. М.: Машиностроение, 1969. 247.с.

43. Скоков И.В. Многолучевые интерферометры для измерения малых разностей фаз в прозрачных объектах. ИКА, М.: 1976, № 2 (6), с. 9 20.

44. Скоков И.В. Оптические интерферометры. М.: Машиностроение, 1979, -128 с.

45. Троицкий Ю.В. Многолучевые интерферометры отраженного света. Новосибирск, Наука, Сибирское отделение.: 1985. 208 с.

46. Троицкий Ю.В. Одночастотная генерация в газовых лазерах. Новосибирск.: Наука, Сибирское отделение. 1975. 159 с.

47. Троицкий Ю.В. Отражающий интерферометр на основе согласованной металлической пленки. Письма в ЖЭТФ, 1970, т. 11, № 6, с. 281 -284.

48. Троицкий Ю.В. Оптимизация параметров и предельная чувствительность интерференционных детекторов гравитационных волн//Оптика и спектроскопия. 2001. Т. 90, № 2. С. 293-298.

49. Лямкина Н.Э., Троицкий Ю.В. Расчет комбинированного фазового параметра диэлектрических многослойников// Оптика и спектроскопия. 1985. Т. 58. С.157-161.

50. Троицкий Ю.В. Отражательный интерферометр с "трансмиссионной" характеристикой как элемент детекторов гравитационных волн// Оптика и спектроскопия. 2005. Т. 98. С. 135-141.

51. Белоус Ю.Л., Плюта В.Е., Зайцева В.А. и др. Комплекс "Гемма" с многозональной фотографической аппаратурой и системой автоматической регулировки экспозиции // Оптический журнал. 1998.- Т. 65, № 11. - С. 48

52. Науменко Е.К., Плюта В.Е. Выбор оптимальных экспозиций при съемке земной поверхности многозональной фотоаппаратурой. Журнал прикладной спектроскопии. 2000. — Т. 67, № 1. - С. 111-116.

53. Плюта В.Е., Зайцева В.А. Физические основы совместной работы фотографической и оптико-электронной аппаратуры в системах дистанционного зондирования Земли // Оптический журнал. 2000. - Т.67, № 11.-С. 88-92.

54. Мирошников, М.М. Классификация тематики "Оптического журнала"//Оптический журнал. 2000. - Т. 67, № 10. - С.90-103.

55. Мирошников, М.М. Совершенствование тематической рубрикации и классификации публикуемых статей// Оптический журнал. 2002. - Т.69. -№ 6.-С. 82-86.

56. Левин, Б.Р. Теоретические основы статистической радиотехники. -М.: Сов. Радио, кн. 2, 1975. 391 с.

57. Прокофьев, В.Н. Инвариантное правило некогерентного обнаружения сигнала на фоне шумов неизвестного уровня // Радиотехника и электроника. -1973. С. 547 -553.

58. Никитин, Я.Ю., Филимонов, Р.П. Локально наиболее мощное ранговое правило некогерентного обнаружения в шумах неизвестного уровня // Радиотехника и электроника. 1981. - Т. 26, № 1. - С. 87-91.

59. Филимонов, Р.П. Статистические алгоритмы решения экологических задач в условиях априорной неопределенности негауссовских помех // Оптический журнал. 1998. - Т. 65, № 5. С.79-83.

60. Атавин, Е.Г. Анализ метрологических характеристик сканера как микрофотометра // Приборы и техника эксперимента. 2003. - № 4. -С. 58 -62.

61. Трифонов, М.И., Макулов,В.Б. Автоматическое улучшение контраста изображений // Оптический журнал. 2006, том 73, № 10. С. 34 -40.

62. Носков, М.Ф. Выделение экстремумов интерференционных полос при фотографической регистрации Текст. // А.И. Кондратьев, М.Ф. Носков, В.Ф. Рахманов // Приборы и техника эксперимента. 1983. - № 2. - С. 218— 220.

63. Noskov, MF. Separation of the extrema of interference bands by photographic recording / Kondratev, A.I., Noskov, M.F., Rakhmanov, V.F. // Instruments and Experimental Reviev. 1983. - V. 26, № 2. - P. 481-482.

64. Носков, М.Ф. Нелинейная фоторегистрация двухлучевых интерференционных картин Текст. / И.В. Скоков, М.Ф. Носков // Заводская лаборатория. 1984. - № 1. - С. 32-36.

65. Носков, М.Ф. Методы интерференционных измерений повышенной чувствительности Текст. // И.В. Скоков, М.Ф. Носков // Измерения, контроль, автоматизация: научно-техн. сб. обзоров / ЦНИИТЭИприборостроения. М., 1984. - Вып. 4(52). - С. 3-13.

66. Noskov, MF. Nonlihear photographic recording of double beam interference patterns /1. V. Skokov, M. F. Noskov // Ind. Lab. Reviev. 1984. № 50(1).-P. 42-46.

67. Носков, М.Ф. Оптимизация режимов фоторегистрации интерференционных картин Текст. /М.Ф. Носков // Приборы и техника эксперимента. 1985. - № 5. - С. 214-215.

68. Noskov, MF. Optimization of photographic recording of interference patterns / M F Noskov // Instruments and Experimental Reviev. 1986. - V. 28, № 5. P. 1226-1228.

69. Носков, М.Ф. Способ фотографической регистрации двухлучевых интерференционных картин Текст. / М.Ф. Носков // Сб. «Передовой произволственно-технич. опыт», серия «Приборостроение и контроль». М.: ВИМИ,- 1986.-№ 1.-С. 48-49.

70. A.c. СССР № 1452307. Способ анализа снимков при радиографическом контроле изделий с большим радиографическим контрастомТекст.Носков М.Ф., Ордынцев В.А., Таубин M.J1. Заявка № 4280472 от 13 июля 1987 г., зарегистрировано 15 сент. 1988 г.

71. Носков, М.Ф. В кн.: Скоков, И.В. Многолучевые интерферометры в измерительной технике. М.: Машиностроение, 1989. - 256 с. Стр. 8-13.

72. A.c. СССР №1651096, G 01В 11/24. Способ интерференционного измерения формы поверхности оптических деталей Текст./ Носков ,М.Ф., Скоков, И.В., Соснов, А.Н., Трифонов ,Е.Е. Опубл. Бюл.//Открытия.Изобретения. -1991. -№ 19.

73. Носков,М.Ф. Выделение малоконтрастных элементов на фотографических снимках. Белоус, H.H., Комбаров, М.С., Кузнецов,М.М., Носков, М.Ф.//"Тез. докл. Межд. научного конгресса ГЕО-Сибирь-2006". -Новосибирск:СГГА, 2006, том 5, с.82-85.

74. Носков,М.Ф. Выделение малоконтрастных элементов на фотографических снимках. Белоус, И.Н., Комбаров, М.С., Кузнецов, М.М., Носков, М.Ф. Там же. Том 4, с. 114-117.

75. Заявка 2006102950 Российская Федерация, МКИ G 02 В 5/30. Способ интерференционного измерения формы поверхности оптических деталей Текст./Носков М.Ф. (РФ); заявитель СГГА; пат. поверенный Тырышкина Е.П. Заявл. 01.0202006.

76. Заявка 2005136174 Российская Федерация, МКИ G 02 В 5/30. Способ наблюдения многолучевой интерференционной картины в отраженном свете при помощи интерферометра Фабри-Перо Текст. /Носков

77. М.Ф.(РФ); заявитель СГГА; пат. поверенный Тырышкина Е.П. Заявл. 21.11.2005.

78. Наука и Жизнь, 2006, № 6, с.29 (по материалам выставки Высокие технологии-2006 в Экспоцентре на Красной Пресне).

79. Островский, Ю.И. Голография. Ленинград, изд. Наука, Ленинградское отделение, 1970.- 124 е., ил.

80. Редько, В.А. Специальные процессы обработки кинофотоматериалов. М., Искусство .- 1987. -208 е., ил.

81. Носков, М.Ф. Неравноплечий лазерный интерферометр: разработка и опыт эксплуатации Текст./Носков М.Ф. и др. Предприятие п/я А-1857, 1980, н/б 5051, 53 с.

82. Носков, М.Ф. Интерферометрия повышенной чувствительности с нелинейной фоторегистрацией Текст./Носков М.Ф. и др. Предприятие п/я А-1857, 1981, н/б 5364, 43 с.

83. Носков, М.Ф. Интерференционные методы повышенной чувствительности Текст./Носков М.Ф. и др. Предприятие п/я А-1857, 1983, н/б 5736, 32 с.

84. Носков, М.Ф. Перемещение поверхности материалов при локальном тепловом воздействии Текст./Носков М.Ф. и др. Предприятие п/я А-1857, 1987, н/б 6879, 69 с.

85. Методические указания. Методика выполнения голографических интерференционных измерений с устранением спекл-шума. РД-50-408-83. Государственный Комитет СССР по стандартам. М. Изд-во стандартов, 1984.