Методы повышения стабильности характеристик гиперболоидных масс-спектрометров типа трехмерной ионной ловушки с вводом ионизирующего электронного потока тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.09, кандидат технических наук Филиппов, Игорь Владимирович

• Филиппов, Игорь Владимирович
• кандидат технических наук
• 2000

Оглавление диссертации кандидат технических наук Филиппов, Игорь Владимирович

Введение.

Глава 1.

ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ И ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ ДИССЕРТАЦИОННОЙ РАБОТЫ.

1.1. Введение.

1.2. Классификация гиперболоидных электродных систем и принцип работы ГМС типа ТИЛ.

1.3. Обзор причин, приводящих к ухудшению параметров ГМС типа

1.4. Задачи диссертационной работы

Глава 2.

ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ОБРАЗОВАНИЯ ПОЛИМЕРНЫХ УГЛЕВОДОРОДНЫХ ПЛЕНОК НА ПОВЕРХНОСТИ ЭЛЕКТРОДОВ ПОД ДЕЙСТВИЕМ МЕДЛЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ

2.1. Введение

2.2. Экспериментальная установка для измерения работы выхода материалов при образовании на них углеводородных пленок загрязнений и методика проведения экспериментов.

2.3. Динамика изменения работы выхода металлов под действием электронной бомбардировки.

2.3.1. Влияние времени бомбардировки электронным потоком.

2.3.2. Влияние температуры поверхности на скорость изменения работы выхода поверхности

2.3.3. Влияние плотности бомбардирующего электронного потока на скорость изменения работы выхода поверхности.

2.3.4. Влияние энергии бомбардирующего электронного потока на скорость изменения работы выхода поверхности.

2.3.5. Электрические свойства образующихся полимерных углеводородных пленок

2.3.6. Выводы

Глава 3.

ИССЛЕДОВАНИЕ ОСОБЕННОСТЕЙ ДВИЖЕНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО ИОНИЗИРУЮЩЕГО ПОТОКА В РАБОЧЕМ ОБЪЕМЕ ГИПЕРБО-ЛОИДНОЙ ИОННОЙ ЛОВУШКИ

3.1. Введение.

3.2. Ввод электронного ионизирующего потока.

3.2.1 Уравнения движения электронов в рабочем объеме ГМС.

3.2.2. Радиальный ввод электронного ионизирующего потока.

3.2.2(а). Размеры отпечатка по оси Y.

3.2.2.(6). Размеры отпечатка по Z координате.

3.2.2.(в). Влияние поперечных скоростей на конфигурацию отпечатков электронного потока

3.2.2.(г). Изменение энергии электронов при их пролете через анализатор

3.2.3. Осевой ввод электронного ионизирующего потока

3.3. Компьютерное моделирование влияния полимерных углеводородных пленок, образующихся при вводе электронного ионизирующего потока на параметры

ГМС типа трехмерной ловушки

3.4. Деградация параметров ГМС в процессе работы.

3.5. Выводы.

Глава 4.

ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОХОЖДЕНИЯ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ ЧЕРЕЗ КАНАЛЫ ВВОДА/ВЫВОДА.

4.1. Введение.

4.2. Компьютерное моделирование прохождения электронов через узкую щель в кольцевом электроде с учетом влияния образующихся полимерных углеводородных пленок.

4.3. Экспериментальное исследование прохождения электронного потока через щель в кольцевом электроде.

4.3.1. Исследования токопрохождения в статическом режиме.

4.3 .2. Исследование особенностей токопрохождения при импульсном вводе электронного потока.

4.4. Источники электронов «ТУЛА»

4.5. Выводы.

Глава 5.

МЕТОДЫ УМЕНЬШЕНИЯ НЕГАТИВНОГО ВЛИЯНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО ИОНИЗИРУЮЩЕГО ПОТОКА.

5.1. Введение.

5.2. Оптимизация геометрии анализатора с каналами для ввода и вывода заряженных частиц.

5.2.1. Связь между размерами каналов в кольцевом и торцовых электродах.

5.2.2. Компьютерное моделирование полей, создаваемых электродными системами с каналами для ввода/вывода заряженных частиц.

5.3. Фокусировка вводимого электронного потока в выходной канал.

5.3Л. Исследование возможности фокусировки электронного потока в выходной канал при радиальном вводе.

5.3.2. Исследование возможности фокусировки электронного потока в выходной канал при осевом вводе.

5.3.3. Исследование работы ГМС типа трехмерной ловушки в условиях фокусировки электронного потока в выходной канал.

5.4. Способ уменьшения влияния пленок за счет нанесения легкоплавкого защитного покрытия.

5.5. Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Методы повышения стабильности характеристик гиперболоидных масс-спектрометров типа трехмерной ионной ловушки с вводом ионизирующего электронного потока»

Актуальность. Современный уровень науки и техники требует соответствующего развития существующих методов анализа вещества, которые находят все более расширяющееся применение в различных областях, например, в медицине, при контроле технологических процессов, охране окружающей среды, в космических исследованиях и т.д. Среди большого класса масс-спектрометров с гиперболоидными электродными системами, на ведущие позиции выходят гиперболоидные масс спектрометры (ГМС) типа трехмерной ионной ловушки (ТИЛ). Создание уникальной технологии производства тонкостенных, вибропрочных электродных систем, выделяет эти приборы в отдельный класс, в котором они лидируют не только по массо-габаритным показателям, но и обеспечивают высокие рабочие характеристики, что позволяет использовать такие приборы в составе мобильной аппаратуры, устанавливаемой на передвижных объектах. Однако, это накладывает и дополнительные требования: эти приборы должны иметь малое энергопотребление, большой срок службы, стойкость к механическим нагрузкам.

Поэтому проведение исследований, направленных на создание масс-спектрометров, способных работать в экстремальных условиях передвижных объектов, определение путей улучшения рабочих параметров, достижение их стабильности и воспроизводимости, является важной и актуальной задачей.

Цель диссертационной работы заключается в поиске и разработке путей улучшения параметров ГМС типа ТИЛ с вводом ионизирующего электронного потока.

Поставленная цель достигалась путем решения следующих задач: - изучение свойств полимерных углеводородных пленок, образующихся на рабочей поверхности электродов анализатора под действием ионизирующего электронного потока, и их влияния на параметры ГМС типа ТИЛ;

- изучение возможности резкого уменьшения скорости образования полимерных углеводородных пленок на рабочих поверхностях электродной системы за счет вывода электронного ионизирующего потока за пределы рабочего объема анализатора;

- поиск путей минимизации искажений электрического поля в анализаторах ТИЛ при наличии каналов для ввода электронного ионизирующего потока;

- разработка метода радикального увеличения срока службы анализаторов ТИЛ, для которых невозможно вскрытие и разборка электродной системы приборов.

Научная новизна результатов работы заключается в следующем:

- в работе впервые исследовано влияние полимерных углеводородных пленок, образующихся на электродах анализатора под действием электронного потока, на параметры ГМС типа трехмерной ловушки и сформулирован комплекс мер, позволяющих существенно улучшить параметры приборов;

- впервые рассмотрены особенности прохождения электронного потока через объем анализатора и решена задача нахождения конфигурации отпечатков электронного потока на поверхности электродов; найдены условия, соответствующие максимальному выводу ионизирующего электронного потока из рабочего объема анализатора и эти условия подтверждены экспериментально;

- впервые обнаружена возможность «фокусировки в точку» на кольцевом электроде ленточного электронного потока, вводимого в осесимметричный анализатор, и теоретические выводы подтверждены экспериментально;

- впервые получена зависимость коэффициента деградации параметров масс-спектрометра от режимов работы и показано, что при определенном режиме ввода ионизирующего электронного потока, коэффициент деградации может быть уменьшен практически до нуля;

- впервые экспериментально исследована динамика контактной разности потенциалов поверхности, бомбардируемой электронным потоком, и оценен предельный потенциал полимерных углеводородных пленок, образующихся на поверхности электродов анализатора ГМС типа трехмерной ловушки;

- сформулированы условия минимизации искажений электрического поля в анализаторе ГМС, имеющих канал для ввода электронного ионизирующего потока. Найденные условия подтверждены компьютерным моделированием;

- показана возможность радикального увеличения срока службы анализаторов ГМС типа ТИЛ (до 4-5 тыс. часов), для которых невозможна разборка и вскрытие электродной системы (например, в приборах бортового типа, для космических исследований, и т.д.).

Достоверность научных выводов работы подтверждается использованием дополняющих друг друга методов исследования механизмов образования и разрушения полимерных углеводородных пленок (измерение контактной разности потенциалов поверхности, покрытой полимерными углеводородными пленками, метод зонда Кельвина, масс-спектрометрия вторичных ионов, рентгеновский микроанализ), результатами испытаний ГМС типа ТИЛ, поверхность электродов которых покрыта защитным покрытием, нанесенным в соответствии с разработанной технологией.

Практическая значимость работы состоит в следующем:

- в работе исследованы основные причины, ограничивающие получение высоких значений параметров ГМС типа трехмерной ионной ловушки с вводом электронного потока и разработан комплекс мер, позволяющий резко улучшить параметры ГМС типа ТИЛ;

- найдено и обосновано соотношение, определяющее размеры канала для ввода электронного потока на кольцевом электроде и размеры компенсирующего отверстия в торцевых электродах, что позволяет создавать анализаторы с вводом ионизирующего потока с минимальными искажениями электрического поля;

- разработано защитное индиевое покрытие электродов анализатора, позволяющее осуществлять очистку поверхности электродов от полимерных углеводородных пленок без разборки электродной системы;

- разработан и исследован «ножевой» источник электронов для ГМС типа ТИЛ с радиальным вводом электронного потока.

Реализация результатов работы.

Результаты, полученные в диссертационной работе, использовались: при разработке и создании масс-спектрометров «ТУЛА-1» и «ТУЛА-2», «ГЕОХИ», «Марс-96», при чтении лекций по курсу «Физические основы современных методов анализа вещества» в Рязанской государственной радиотехнической академии (РГРТА); при создании лабораторных работ по указанному курсу.

Основные научные положения, выносимые на защиту

1. Полимерные углеводородные пленки, образующиеся на поверхности электродов под действием бомбардировки медленными электронами, изменяют работу выхода поверхности в диапазоне до 0.5-1 эВ для различных металлов и их поверхностный потенциал при зарядке электронным потоком достигает величины 20-25 В.

2. Зарядка полимерных углеводородных пленок, образующихся на стенках узких протяженных каналов, приводит к фокусировке в канале моноэнергетичного потока заряженных частиц, увеличивая коэффициент прохождения в 2-3 раза при малых энергиях вводимых электронов (10-20 эВ); при прохождении через каналы потока немоноэнергетичных заряженных частиц, возникает эффект запирания в канале медленных частиц этого потока. Эффект запирания исчезает, если минимальная энергия электронов в потоке превышает 20-25 эВ.

3. Наиболее удобной формой высокочастотного напряжения, подаваемого на электроды анализатора ГМС типа трехмерной ловушки, при котором через канал вывода можно вывести до 90% введенных электронов, является импульсное напряжение.

4. Вывод электронного потока после ионизации через выходной канал за пределы анализатора уменьшает скорость деградации параметров трехмерной ионной ловушки на 2-3 порядка.

5. Для уменьшения в 30-50 раз искажений электрического поля, возникающих вследствие выполнения в кольцевом электроде кольцевого канала для ввода ионизирующего потока, в торцовых электродах следует вводить компенсирующие отверстия, причем диаметр компенсирующего отверстия и ширина кольцевого канала должны быть связаны соотношением, приведенным в тексте диссертации.

Апробация работы. Основные результаты диссертационной работы докладывались на IX Республиканском семинаре по методам расчета ЭОС, Ташкент, 1988; на Всесоюзном Симпозиуме по эмиссионной электронике, Рязань, 1996; на Международной научно-технической конференции "Электрофизические и электрохимические технологии", Санкт-Петербург, СПбГТУ, 1997; на Международной конференция "Эмиссионная электроника, новые методы и технологии", Ташкент, 1997; на Всероссийской научно-технической конференции "Электроника и информатика", Москва, 1997; на 14-й Международной конференции по масс-спектрометрии, Тампере, Финляндия, 1997; на Международной конференции по тонким пленкам и поверхности твердых тел, Институт Эрстеда, Копенгаген, Дания, 1998.

Публикации. По материалам диссертационной работы опубликовано 20 печатных работ. Поданы 4 заявки на патент РФ.

Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения, 5 глав, заключения, списка цитируемой литературы из 93 наименований. Она изложена на 203 страницах машинописного текста, содержит 110 рисунок, 1 таблицу.

Заключение диссертации по теме «Электронно-оптические и ионно-оптические аналитические и структурно-аналитические приборы», Филиппов, Игорь Владимирович

5.5. Выводы

По результатам данной главы можно сделать следующие выводы:

1. Для обеспечения высокой стабильности рабочих параметров масс-спектрометра в процессе его работы, необходимо реализовать условия, при которых вводимый в анализатор электронный ионизирующий поток фокусировался в выходной канал.

2. Экспериментальная проверка условий фокусировки электронного потока в выходные каналы показывает полное совпадение полученных результатов с выводами теории. Была показана реальная возможность практически полного (до 90%) вывода ионизирующего электронного потока из рабочего объема ГМС типа ТИЛ путем его фокусировки в выходной канал. Определенные экспериментально максимумы коэффициента вывода электронов из анализатора при радиальном и осевом способах ввода соответствуют тем соотношениям между разностью потенциалов между электродами анализатора и ускоряющей разностью потенциалов, которые были получены теоретически в Главе 3. Проведенные исследования позволили выбрать режим работы масс-анализатора типа ТИЛ за счет выбора оптимального соотношения между разностью потенциалов между электродами анализатора и входной энергии электронного потока и обеспечить тем самым стабилизацию его рабочих параметров в течение длительного времени.

3. На основе метода скомпенсированных зарядов получено аналитическое выражение, связывающие геометрические размеры технологических каналов для ввода/вывода заряженных частиц, обеспечивающие минимальные искажения поля в анализаторе; проведено компьютерное моделирование электрических полей, создаваемых электродными системами с соответствующими технологическими каналами, результаты которого доказывают работоспособность полученного аналитического выражения (5.13). Было показано, что искажения электрического поля, появляющиеся вследствие введения кольцевой щели в кольцевом электроде для ввода ионизирующего электронного потока, могут быть минимизированы путем введения компенсационного отверстия (размеры которого определяются из выражения (5.13)) в торцовых электродах.

4. Разработана технология нанесения защитного индиевого покрытия, позволяющее увеличить число циклов восстановления свойств поверхности, и увеличивающее срок службы электродных систем до 4-5 тыс. часов.

На основе проведенных исследований, описанных в данной главе, сформулированы следующие научные положения:

- Наиболее удобной формой высокочастотного напряжения, подаваемого на электроды анализатора ГМС типа трехмерной ловушки, при котором через канал вывода можно вывести до 90% введенных электронов, является импульсное напряжение.

- Вывод электронного потока после ионизации через выходной канал за пределы анализатора уменьшает скорость деградации параметров трехмерной ионной ловушки на 2-3 порядка.

- Для уменьшения в 30-50 раз искажений электрического поля, возникающих вследствие выполнения в кольцевом электроде кольцевого канала для ввода ионизирующего потока, в торцовых электродах следует вводить компенсирующие отверстия, причем диаметр компенсирующего отверстия и ширина кольцевого канала должны быть связаны соотношением, приведенным в тексте диссертации.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Целью данной диссертационной работы являлись поиск и разработка путей повышения стабильности характеристик ГМС типа ТИЛ с вводом ионизирующего электронного потока.

В работе проведено исследование основных свойств полимерных углеводородных пленок, образующихся на рабочей поверхности электродов анализатора под действием бомбардировки электронным потоком, исследовано их влияние на параметры ТИЛ.

Было продемонстрировано, что негативное влияние полимерных углеводородных пленок практически полностью устраняется за счет вывода электронного ионизирующего потока за пределы рабочего объема анализатора. Получены аналитические выражения, устанавливающие связь между энергией вводимых электронов и разностью потенциалов между электродами анализатора, позволяющие осуществлять в объеме анализатора фокусировку электронного потока в выходной канал. Сформулированные по результатам теоретических и экспериментальных исследований рекомендации по режиму ввода электронного ионизирующего потока и параметрам питающих напряжений, позволили на 2-3 порядка повысить стабильность рабочих параметров прибора в процессе его работы.

В работе осуществлен поиск путей минимизации искажений электрического поля в анализаторах ТИЛ при наличии каналов для ввода и вывода заряженных частиц. Получено аналитическое выражение, связывающее геометрические размеры технологических каналов для ввода/вывода заряженных частиц, обеспечивающие минимальные искажения поля в анализаторе. Было проведено компьютерное моделирование электрических полей, создаваемых электродными системами с соответствующими технологическими каналами, результаты которого доказывают работоспособность полученного выражения.

В работе разработан метод очистки рабочей поверхности электродов анализатора от углеводородных пленок без вскрытия и разборки электродной системы, основанный на технологии нанесения двухслойного защитного индиевого покрытия, что позволило увеличить срок службы электродных систем до 4-5 тыс. часов.

Проведенные теоретические и экспериментальные исследования позволили сделать следующие выводы.

1. Искажения электрического поля, возникающие вследствие введения в кольцевом электроде канала для ввода ионизирующего электронного потока, уменьшаются в 30-50 раз за счет введения в торцовых электродах компенсирующих одиночных отверстий, геометрические размеры которых определяются по приведенному в работе аналитическому выражению.

2. Бомбардировка поверхности металлов медленными электронами изменяет работу выхода поверхности в диапазоне до 0.5-1 эВ вследствие образования полимерных углеводородных пленок, поверхностный потенциал которых при зарядке электронным током достигает величины 20-25 В.

3. Стабильность рабочих параметров ТИЛ возрастает на 2-3 порядка при осуществлении вывода ионизирующего электронного потока за пределы анализатора.

4. Обеспечение эффективного вывода (до 90%) электронного потока через выходной канал наиболее просто реализуется при импульсном питании электродов анализатора.

5. Зарядка полимерных углеводородных пленок, образующихся на внутренних стенках каналов ввода/вывода при прохождении потоков заряженных частиц, увеличивают коэффициент прохождения моноэнергетичных электронов в 2-3 раза при малых энергиях (10-20 эВ); при прохождении через каналы потока немоноэнергетичных заряженных частиц, возникает эффект запирания в канале медленных частиц этого

193 потока. Эффект запирания исчезает, если минимальная энергия электронов в потоке превышает 20-25 эВ.

Разработанные способы повышения стабильности характеристик ГМС ТИЛ и увеличения срока службы были использованы 1) при разработке и создании масс-спектрометров «ТУЛА», «ТУЛА-1»; 2) при разработке и создании прибора «ГЕОХИ» совместно с ГЕОХИ РАН; 3) при разработке и создании масс-анализатора по проекту «Марс-96» (см. приложения).

Теоретические результаты диссертационной работы используются при чтении лекций и создании лабораторных работ по курсу "Физические основы современных методов анализа вещества" в Рязанской государственной радиотехнической академии (РГРТА).

В заключение я выражаю глубокую благодарность моему научному руководителю д.т.н. проф. Шеретову Э.П., научному консультанту к.т.н. доц. Гурову B.C. за предоставленную тему диссертации, за помощь в работе и обсуждении полученных результатов.

Я также выражаю благодарность коллективу лаборатории масс-спектрометрии кафедры общей и экспериментальной физики за помощь и участие в работе.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Филиппов, Игорь Владимирович, 2000 год

1. Paul W., Raether M. Das elektrische Massenfilter // Z.Physik, Bd. 152 (1955) 143-182.

2. Мак-Лахлан H.B. Теория и приложения функций Матье. Ин. Литер., Москва, 1953.

3. Шеретов Э.П. Измерения, контроль, автоматизация, 11-12, (1980) 29-43.

4. Paul W. and Steinwedel Н. Ger. Pat. 944 900 (1956); US Pat. 2 939 952(1960).

5. Gunther K.G. Vacuum. 10(1960)293-309.

6. Слободенюк Г.И., Титов А.И., Воронин B.C. Ивашкин В.И.

7. Быстродействующий динамический квадрупольный масс»спектрометр // ПТЭ, 3 (1968) 141.

8. Аверина А.П., Линник Л.Н. Никитина Г.И, // ПТЭ, 4 (1965).

9. Paul W., Steinwedel Н. // Z. Natur. 8а (1953) 448.

10. Paul W., Reinchard H.P. and U. von Zahn // Z. Phys., 152 (1958) 143.

11. Dayton I.E., Shoemaker F.C. and Mozley R,F. // Rev. Sei. Instr. 25 (1954) 485.

12. U. von Zahn // Rev. Sei. Instrum. 34 (1963) 1.

13. Lever R.F. // I.B.M.J. Res. Develop., 10 (1966) 26.

14. Dawson P.H. and Whetten N.R. // Adv. Electr. Electron. Phys. 27, (1969)739.

15. Шеретов Э.П., Зенкин В.А., Могильченко Г.А. Исследование квадрупольного масс-спектрометра с накоплением, тезисы доклада // I Всесоюзная конференция по масс-спектрометрии. Ленинград, 1969.

16. Dawson P.H. Quadrupole Mass Spectrometry and its Applications. Elsevier, Amsterdam (1976).

17. Шеретов Э. П., Зенкин В.А., Болигатов О Н. // ПТЭ, 1 (1971) 166-168.

18. Шеретов Э. П., Зенкин В.А., Могильченко Г.А. // Отчет по НИР. Рязань, РРТИ, 1969.

19. Шеретов Э.П., Самодуров В.Ф., Колотилин Б.И., Тужилкин Н.К., Вееелкин Н.В. Трехмерный квадрупольный масс-спектрометр с эллиптическими электродами // ПТЭ, 1978. № 6.

20. Sheretov Е. P., Gurov V.S., Safonov М.Р., Philippov I. W. // Int. J. Mass Spectrom., 189 (1999) 9-17.

21. March R. E., Hughes R.J., and Todd J.F.J, Quadrupole Storage Mass Spectrometry. Wiley-Interscience, New York (1989).

22. Shaw E. // Phys. Rev. 44, 1933, 1009.

23. Stewart R. L. // Phys. Rev. 45, 1934, 488.

24. Heine M.E., Mulvey T. // J. Opt. Soc. Amer., 42, p.763 (1952).

25. Watson J.H.L. // J. Appl. Phys., 18, p. 153 (1947).

26. Konig H. //Naturwiss., 35,p.261 (1948).

27. Hillier J. // J. Appl. Phys., 19, p.226 (1947).

28. Konig H. //Z. Phys., 129, p.483 (1951).

29. Watson J.H.L., J. Appl. Phys., 18, p. 153 (1947).

30. Cosslett V.E. // J. Appl. Phys., 18, p. 844 (1947).

31. Ellis S.G., Paper read to Amer. E.M.Soc., Washington (November 1951).

32. Poole K.M. // Proc. Phys. Soc. (London) B66, 541, (1953).

33. Ennos A.E. // Brit. J. Appl. Phys, 4, 101 (1953).

34. Ennos A.E. // Brit. J. Appl. Phys, 5, 21 (1954).

35. Okamoto H. and Isihara A. // J.Polymer Sei. 20, 115, 1956.

36. Christy R.W., Formation of Thin Polymer Films by Electron bombardment//J. Appl. Phys., 1960, vol. 31, N9, p. 1680.

37. Kunze D., Peters O., Sauerbrey. Polymerisation Adsorbierter Kohlenwasserstoffe bei Elektronenbeschuss // Z. angew. Phys. 1967, Bd. 2, S. 69.

38. Филатов B.H., Сысоев A.A. // Химия высоких энергий, 1981, т. 15, №5, с.474.

39. Филатов В.Н., Сысоев A.A., Щуров А.Н., Колотыркин В.М. // Химия высоких энергий, 1983.

40. Черепнин Н.В. Сорбционные явления в вакуумной технике. М.: Советское радио, 1973, 384 с.

41. Buck D.A. and Shoulders K.R. // Proceedings of the Eastern Joint Computer Conference, 51 (1958).

42. Rochow E.G. Chemistry of the Silicones, John Wile & Sons, Inc., New York, 1946.

43. Mann H.T. Electrical properties of thin polymer films. Pt.I, Thickeness 500-2500 A. // J.Appl.Phys. 1964, v.35, N7, p.2173.

44. Christy R. W. Electrical properties of thin polymer films. Pt. II. Thickness 50-150 A // J. Appl. Phys. 1964, v.35, №7, p.2179.

45. Aston F.W. Mass Spectra and Isotopes. Longman's, Green and Co., NY, 1942.

46. LindholmE. //Rev.Sei. Inst, 31, 1960, 210.

47. Marmet P.et Morrison J.D. // J. Chem. Phys, 36, 1962, 1238.

48. Shulz G.J. //Phys. Rev. 112, 1958, 150.

49. Marmet P.et Kerwin L. // Can. J. Phys, 38, 1960, 787.

50. Hutchison D.A. // 13th Annual Conference on Mass Spectrometry, St Louis, 1964, pp. 134-140.

51. Simpson J.A. // Rev. Sei. Inst, 35, 1964, 1698.

52. Meyer V.D., Skerbelle A. et Lasettre E.M. // J. Chem Phys, 43, 1965, 805.

53. Petit-Clerk J., Calette J.D. Surface potential of metal surfaces under electron bombardment in high vacuum- «Vacuum», 1968, v. 18, №1, p.7.

54. A.c. (СССР) 1259887. Способ изготовления анализатора гиперболоидного масс-спектрометра типа трехмерной ловушки / Шеретов Э.П., Гуров B.C., Евдокимова М.И. и др. Опубл. 25.12.84.

55. Сысоев A.A., Чупахин М.С. Введение в масс-спектрометрию. M.: Атомиздат, 1977, 304 с.

56. Шеретов Э.П., Самодуров В.Ф., Колотилин Б.И., Тужилкин Н.К., Веселкин Н.В. Трехмерный квадрупольный масс-спектрометр с эллиптическими электродами // ПТЭ, 6 (1978)

57. Шеретов Э. П., Зенкин В.А., Терентьев В.И. Самодуров В.Ф., Колотилин Б.И., Могильченко Г.А. // Отчет по НИР 70010744. Рязань, РРТИ, 1971.

58. Шеретов Э.П. и др. Расчет конструктивных элементов и исследование факторов, влияющих на срок службы датчика ТКМ // Отчет по НИР 72031029. Рязань, РРТИ, 1974. 82 с.

59. Технология тонких пленок: Справочник. Под ред. JI. Маиссела, Р. Глэнга. М. : Советское радио, 1977. Т. 1, 2. 951 с.

60. A.C. (СССР) 1362352. Способ удаления полимерных углеводородных пленок с поверхностей электродных систем анализаторов масс-спектрометров и электронно- и ионнооптических систем. /Шеретов Э.П., Самодуров В.Ф., Евдокимова М.И., Ширяев А.Г. 1985.

61. A.C. (СССР) 801141. Квадрупольный трехмерный масс-спектрометр и способ его изготовления /Шеретов Э.П., Колотилин Б.И. Самодуров В.Ф. 1981.

62. Haefer R. A. Das Ionenbaffle, eine nenartige, elekrische Kohlenwasserstoff-Falle fur Olrotationspumpen. // «Vacuum Technik», 1961, Bd. 10, №4, S.96.

63. A.C. (СССР) 1521163. Способ изготовления и обработки электродных систем анализаторов масс-спектрометров и электронно- и ионно-оптических систем. /Шеретов Э.П., Ширяев А.Г., Овчинников С.П., Самодуров В.Ф. 1988.

64. Яценко С.Т. Индий. Свойства и применение. М. Наука, 1987.

65. Griffiths I. W., Quadrupole Ion Store (Quistor) Mass Spectrometry // Intern. J. Mass Spectrom. Ion Processes, 99 (1990) 79-98.

66. Quarmby S. T., Yost R. A. // Int. J. Mass Spectrom. 190/191 (1999) 81-102.

67. Шеретов Э.П. Основы теории, исследование и разработка гиперболоидных масс-спектрометров: Диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук. М., 1980. 398 с.

68. Holland L., Laurenson L., Priestland С. // Rev. Scient. Instrum. Vol. 34, (1963) 47-51.

69. Добрецов Jl.H. Гомоюнова M.B. Эмиссионная электроника. М.: Наука, 1966, 564 с.

70. Филиппов И.В. О методике подготовки экспериментального макета для измерения работы выхода материалов при образовании на них диэлектрических пленок // Научное приборостроение: Межвуз. сб. / Рязан. гос. радитех. акад. Рязань, 1994. с. 41-47.

71. Гуров B.C., Филиппов И.В., Дубков М.В. Исследование процессов, происходящих на поверхности металлов при облучении медленными ионами и электронами // Материалы Всероссийского симпозиума по эмиссионной электронике, Рязань, 1996.

72. Гуров B.C., Филиппов И.В., Дубков М.В. Исследование процессов, происходящих на поверхности металлов под действием медленных электронов // Международная конференция "Эмиссионная электроника, новые методы и технологии". Ташкент, 1997.

73. Шеретов Э.П., Гуров B.C., Филиппов И.В., Дубков М.В. Исследование свойств конструкционных материалов электронной техники, полученных методом электролитического формования // ВНТК "Электроника и информатика", Москва, 1997.

74. Gurov V.S., Philippov I.W. Electric Properties of Organic Polymer Films which are Caused by Slow Electrons // Ninth International Conference on Solid Films and Surfaces H.C. Orsted Institute, Copenhagen, Denmark, 1998.

75. Колотилин Б.И., Филиппов И.В., Овчинников С.П. Исследование влияния напряжения вывода на распределение по энергиям ионов, выводимых из трехмерной ловушки // Научное приборостроение: Межвуз. сб. / Рязан. радитех. инст. Рязань, 1986.

76. Колотилин Б.И., Овчинников С.П., Филиппов И.В. Метод подавления пиков осколочных ионов в спектре масс-спектрометров типа трехмерной ловушки // Тезисы доклада на IV Всесоюзной конференции по масс-спектрометрии, ПО «Электрон», г.Сумы, 1986.

77. Колотилин Б.И., Филиппов И.В. Метод выделения молекулярных ионов в спектре гиперболоидных масс-спектрометров типа трехмерной ловушки // Научное приборостроение: Межвуз. сб. Рязан. гос. радитех. акад. Рязань, 1994.

78. A.C. (СССР) 999865. Шеретов Э.П., Сафонов М.П. Датчик гиперболоидного масс-спектрометра типа трехмерной ловушки. 1982.

79. Гуров B.C., Сафонов М.П., Филиппов И.В. Оптимизация геометрии анализаторов гиперболоидных масс-спектрометров // Научное приборостроение: Межвуз. сб. / Рязан. гос. радиотех. акад. Рязань, 1998.

80. Колотилин Б.И., Сафонов М.П., Филиппов И.В., Овчинников С.П. Расчет параметров ионного потока, формируемогогиперболоидной высокочастотной ловушкой // Тезисы доклада IX Республиканского семинара по методам расчета ЭОС. Ташкент, 1988.

81. Safonov М.Р., Philippov I.W., Laktionov А.Е. Some Special Features in the Development of Quadrupole Mass Spectrometers // Proceedings of the 14th International Mass Spectrometry Conference. Tampere, Finland, 1997.

82. Гуров B.C., Филиппов И.В., Дубков M.B. О возможности нормализации свойств поверхности металлов, подвергшихся облучению заряженными частицами // Материалы Всероссийского симпозиума по эмиссионной электронике. Рязань, 1996.

83. Гуров B.C., Филиппов И. В. Восстановление свойств металлических поверхностей, подвергшихся бомбардировке заряженными частицами // Научное приборостроение: Межв. сб. /Рязан. гос. радиотех. акад. Рязань, 1997.

84. Гуров B.C., Филиппов И.В., Дубков М.В. О возможности восстановления свойств металлических поверхностей, подвергшихся облучению медленными электронами // Международная конференция "Эмиссионная электроника, новые методы и технологии". Ташкент, 1997.

85. Хансен Н, Андерко К. Структуры двойных сплавов. М:Металлургиздат, 1962 г. 425с.

86. Эспе В. Технология электровакуумных материалов. Т. 1, Материалы с металлической проводимостью. Москва, Ленинград: Энергоиздат, 1962, 631с.

87. Гуров B.C., Филиппов И.В., Дубков М.В. Исследование экзоэлектронной эмиссии с поверхности металлов под действием медленных электронов // Международная конференция "Эмиссионная электроника, новые методы и технологии". Ташкент, 1997.

88. Гуров B.C., Филиппов И.В., Дубков М.В. Вторично-эмиссионные свойства металлов, полученных методом электролитического формования // Материалы Всесоюзного Симпозиума по эмиссионной электронике, Рязань, 1996.

89. Гуров B.C., Филиппов И.В., Динамика изменения газовой среды в процессе образования и разрушения полимерных пленок загрязнений // Научное приборостроение: Межвуз. сб. / Рязан. гос. радитех. акад. Рязань, 1997.

90. Настоящим актом подтверждается, что основные результаты диссертационной работы, выполненной Филипповым И.В. в Рязанской государственной радиотехнической академии внедрены в процессе выполнения ниже перечисленных научно-исследовательских ОКР.

91. Копии писем ГЕОХИ РАН исх. №10-01.256/01 от 15.01.97 и исх. N813110-01.256/3 от 01.04.99 г., подтверждающих внедрение результатов НИР, прилагаются.

92. Перечисленные выше НИР выполнялись в рамках Федеральной космической программы России.

93. По отзыву ГЕОХИ РАН перечисленные выше приборы имеют высокие аналитические параметры и эксплутационные характеристики, позволяющие использовать их при проведении космических исследований.

94. Зав. кафедрой ОиЭФ д.т.н., профессор1. Шеретов Э.П.

95. Профессор кафедры ОиЭФ д.т.н., профессор1.м.1. Ко лота лин Б. И.1. РОССИЙСКАЯ академии илу л

96. ОРДЕНД ЛЕНИНА и ОРДЕНА ОКТЯБРЬСКОЙ РЕВОЛЮЦИИ

97. На Ваш N2175/58 от 19.12.96г.

98. Перечисленные выше приборы имеют высокие аналитические параметры и эксплуатационные характеристики, позволившие использовать их при проведении космических исследований.

99. Главный конструктор доктор физ.-мат.наукпрофессор . ^ Г7 Сурков Ю.А.1. РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НА УК

100. ОРДЕНА ЛЕНИНА и ОРДЕНА ОКТЯБРЬСКОЙ РЕВОЛЮЦИИ

101. ИНСТИТУТ ГЕОХИМИИ И АНАЛИТИЧЕСКОЙ ХИМИИ им. В.И. ВЕРНАДСКОГО (ГЕОХИ)117975 ГСП-1, Москва, B-334, улица Косыгина, 19 Для телеграмм: Москва, В-334,ГЕОХИ. Телефон:[phone]. Телекс: 4116333 TERRA RU. Телефакс^095) 938 20 541. Исх№ 13110 -с/.Же/з

102. J " ¿^сиГс 199,/г. Проректору РГРТА

103. В результате выполненной работы создан лабораторный макет аппаратуры "МАГ" для определения содержания летучих компонентов лунном грунте как составная часть внедряемого зонда проекта "ЛУНА-ГЛОБ" по государственному контракту от 12.09.97г. №026-5420/97.

104. В результате выполненных НИР в НПК «Гипермасс» выпущены малой серией действующие образцы масс-спектрометров «ТУЛА» и «ТУЛА-1» на базе гиперболоидных ионных ловушек, способных работать в составе мобильных передвижных объектов.

105. От НПК «Гипермасс» Зав. кафедрой ОиЭФк.т.н. д.т. н. профессор1. Шеретов Э.П.

106. Мы, нижеподписавшиеся, заведующий кафедрой общей и экспериментальной физики (ОиЭФ) Шеретов Э.П. и профессор кафедры ОиЭФ Колотилин Б,И. составили настоящий акт в том, что результаты работы ФИЛИППОВА И.В. внедрены в учебный процесс на кафедре