Коррекция статических характеристик полупроводниковых измерительных преобразователей информационно-измерительных систем тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.16, кандидат технических наук Полищук, Игорь Николаевич

• Полищук, Игорь Николаевич
• кандидат технических наук
• 2003

Оглавление диссертации кандидат технических наук Полищук, Игорь Николаевич

ПЕРЕЧЕНЬ ИСПОЛЬЗОВАННЫХ СОКРАЩЕНИЙ

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1 ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ

1.1 Общие сведения о полупроводниковых датчиках давления

1.2 Датчики и системы измерения давления

1.3 Характеристики полупроводниковых измерительных преобразователей и методы компенсации их температурных зависимостей

1.3.1 Влияние температуры на аддитивную и мультипликативную составляющие температурной погрешности тензометрических преобразователей давления

1.3.2 Схемные методы компенсации температурных погрешностей ИТП

ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ

ГЛАВА 2 АЛГОРИТМИЧЕСКИЕ СПОСОБЫ КОРРЕКЦИИ

СТАТИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ

2.1 Математическая модель многоканального измерительного преобразователя

2.2 Преобразователь с двумя измерительными каналами

2.3 Измерительный преобразователь с тремя каналами преобразования

2.4 Обработка экспериментальных данных, содержащих выбросы и промахи

2.5 Способ градуировки измерительных преобразователей с интегрированным чувствительным элементом

2.6 Нейросетевой способ коррекции статических характеристик измерительных преобразователей

ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ

ГЛАВА 3 ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ

3.1 Назначение и структурная схема 87 3.1.1 Измерительные цепи датчиков давления и температуры

3.2 Алгоритм работы МТУ

3.3 Технические характеристики МТУ 99 ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ

ГЛАВА 4. ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ И РЕЗУЛЬТАТЫ

ИСПЫТАНИЙ МТУ

4.1 Назначение и возможности программного обеспечения 110 4.1.1 Определение параметров математической модели 111 4.12 Работа с измерительным преобразователем давления

4.2 Результаты испытаний МТУ 118 4.2.1 Эксплуатационные испытания 119 ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Коррекция статических характеристик полупроводниковых измерительных преобразователей информационно-измерительных систем»

Актуальность. Информационно-измерительные системы (ИИС) получили широкое распространение в нефтяной и газовой промышленности. Диапазон их применения чрезвычайно велик. Почти все технологические операции, начиная с процессов бурения скважин и заканчивая транспортировкой нефтепродуктов, не мыслимы без использования высокоточной измерительной техники. ИИС применяются для определения параметров газонефтеконденсатных месторождений, характера движения нефти и газа по продуктивным пластам, гидропроводности, пьезопроводности пласта и многих других геологических параметров. Они не заменимы при выборе режима эксплуатации скважины, а также для оперативного контроля работы длинноходовых насосных установок, штанговых глубинных насосных установок и своевременного определения аварийных ситуаций.

Конструктивно ИИС состоят из большого количества элементов, однако их точность, работоспособность и надежность зависят, в основном, от измерительных преобразователей (ИП) и, в частности, от правильного выбора и изготовления датчиков.

В качестве чувствительных элементов ИИС используются разные по своей физической природе датчики. Однако, наибольшее распространение получила технология производства датчиков, использующая полупроводниковые материалы, благодаря высокой чувствительности электрических характеристик полупроводников к различным внешним воздействиям. С помощью полупроводниковых приборов можно преобразовать практически все известные виды энергии. К преимуществам таких преобразователей относятся использование технологии интегральных схем при изготовлении полупроводниковых чувствительных элементов, высокая надежность и долговременная стабильность их параметров.

Достоинства полупроводниковых преобразователей являются вместе с тем и их недостатками. Поскольку чувствительный элемент подобных преобразователей способен воспринимать сразу несколько влияющих величин, измерительная информация оказывается в итоге искаженной, т.е. появляется дополнительная погрешность, вносимая неинформативными параметрами. В качестве примера таких преобразователей можно привести тензометрические преобразователи давления, усилия, датчики Холла, характеристики которых имеют существенную зависимость от изменения температуры окружающей среды.

Перспективным считается применение многоцелевых преобразователей нескольких параметров, что становится возможным за счет выделения в измерительном преобразователе измерительных каналов по числу влияющих величин. Сюда же можно отнести и группы преобразователей, работающих в составе единой измерительной цепи. Особенностями подобных преобразователей являются нелинейность их измерительных каналов, а также взаимное влияние этих каналов друг на друга, что, в свою очередь, приводит к серьезному искажению измерительной информации.

Указанные обстоятельства обусловливают актуальность разработки методов и способов компенсации погрешностей измерительных преобразователей с интегрированным чувствительным элементом, линеаризации функций преобразования их измерительных каналов и повышения точности информационно-измерительной системы в целом.

Целью настоящей работы является разработка и исследование методов компенсации погрешностей, вызванных нелинейностью и взаимным влиянием измерительных каналов ИП друг на друга, а также апробация их при создании ИИС, не уступающим по метрологическим характеристикам существующим аналогам.

Задачи исследования. Для достижения поставленной цели в работе сформулированы и решены следующие задачи:

1.Исследование характеристик и определение влияющих внешних и внутренних факторов на метрологические характеристики полупроводниковых измерительных преобразователей с интегрированным чувствительным элементом.

2.Теоретический анализ и систематизирование известных методов и способов коррекции статических характеристик интегральных измерительных преобразователей с целью установления их потенциальных возможностей.

3.Разработка алгоритмических методов уменьшения погрешностей многоканальных измерительных преобразователей физических величин от влияния неинформативных параметров.

4.Разработка, испытание и исследование метрологических ИИС с целью подтверждения правильности заложенных алгоритмов.

Методы исследования. Поставленные в работе задачи решены с использованием классической теории электрических цепей, теории погрешностей и помехоустойчивости, методов статистической обработки результатов измерений, теории вероятности и численных методов решения нелинейных алгебраических систем уравнений.

На защиту выносятся следующие результаты исследования:

1. Метод коррекции статических характеристик многоканальных измерительных преобразователей.

2. Способ коррекции статических характеристик ИП, позволяющий обрабатывать экспериментальные данные, содержащие промахи и выбросы.

3.Метод градуировки измерительных преобразователей с интегрированным чувствительным элементом.

4. Измерительный преобразователь давления МТУ, разработанный при непосредственном участии автора и внедренный в промышленность.

Научная новизна результатов работы заключается в следующем:

1. Разработанный алгоритмический метод коррекции статических характеристик измерительных преобразователей с произвольным числом влияющих друг на друга измерительных каналов позволяет не только устранить влияние неинформативных параметров на результаты измерения, но и выделить влияющие факторы в качестве дополнительных измеряемых параметров.

2.Разработанный способ обработки экспериментальных данных позволяет упростить процесс определения параметров математической модели измерительного преобразователя путем автоматической коррекции выборок данных, содержащих выбросы и промахи, вплоть до полного исключения их из процедуры расчета.

3.Разработанная методика градуировки измерительных преобразователей с интегрированным чувствительным элементом позволяет ускорить и упростить процесс определения параметров их математических моделей за счет исключения процедуры стабилизации и измерения значений влияющих факторов.

4.Предложенный метод коррекции статических характеристик измерительных преобразователей с помощью обучающихся систем на основе искусственных нейронных сетей позволяет добиться высоких метрологических характеристик преобразователей в широком диапазоне влияющих величин, а также учесть прогрессирующую погрешность датчиков.

Практическая ценность и внедрение результатов работы.

Разработана ИИС МТУ, представляющая собой программно-аппаратный комплекс и предназначенная для измерения давления и температуры на нефтегазодобывающих и нефтеперерабатывающих предприятиях, предприятиях теплоэнергетики и водоснабжения, а также для работы в составе систем обнаружения утечек магистральных продуктопроводов.

В настоящее время ИИС внедрена на предприятиях:

1. ОАО «Сургутнефтегаз», г. Сургут;

2. ОАО «Газсбытсервис», г. Саратов;

3. ОАО «ЮганскНИПИнефть», г. Юганск;

4. ЗАО «Геотрансгаз», г. Уренгой;

5. ЗАО «Ханты-Мансийская нефтяная компания», г. Ханты-Мансийск;

6. НПО «Буран», г. Москва;

7. ОАО «Самотлорнефтегаз», г. Нижневартовск;

8. ОАО «ТНК-Нижневартовск», г. Нижневартовск;

9. Hi 111 «Элмаш», г. Владимир;

10. ОАО «Уренгойская НГРЭ», г. Уренгой;

И. ООО«Чегис-М», г. Чернушка;

12. СП «Татех», г. Альметьевск;

13. ООО «Нефть Поволжья», г. Саратов;

14. ОАО «Югтрансгаз», г. Саратов;

15. ТНПВО «Сиам», г. Томск;

16. ООО «Баштрансгаз», г. Уфа;

17. ООО «Башнефть», г. Уфа;

18. ЗАО «Газэнерготехника», г. Белгород.

Годовой экономический эффект от внедрения МТУ только по ОАО «Сургутнефтегаз» составил 2834562 рубля на один прибор.

Апробация работы. Основные положения проведенных исследований и результаты работы докладывались на следующих конференциях:

- XI научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов «Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления» (Гурзуф, 1999);

- 50 научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых ученых (Уфа, УГНТУ, 1999);

- XII научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов «Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления» (Гурзуф, 2000);

- Международная научно-техническая конференция «Методы, средства и технологии получения и обработки измерительной информации» (Пенза, 2000);

- XIII научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов «Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления» (Гурзуф, 2001);

- Международная научно-техническая конференция «Датчики и системы» (Санкт-Петербург, 2002);

- XIV научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов «Датчики и преобразователи информации систем. измерения, контроля и управления» (Гурзуф, 2002);

- Международная научно-техническая конференция «Методы и средства измерения в системах контроля и управления», посвященная памяти заслуженного деятеля науки и техники, д.т.н., профессора Е.П. Осадчего (Пенза, 2002).

Публикации. По результатам исследований опубликовано 15 печатных работ, из которых 2 статьи, 10 тезисов докладов, 1 положительное решение о выдаче патента и 2 патента РФ на изобретение.

Структура и объем диссертации. Диссертационная работа состоит из введения, четырех глав, заключения, списка литературы и приложений. Общий объем работы составляет ^ ^ страницы, кг рисунков и таблиц.

Заключение диссертации по теме «Информационно-измерительные и управляющие системы (по отраслям)», Полищук, Игорь Николаевич

Основные результаты теоретических, практических и экспериментальных исследований сводятся к следующему:

1. На основании анализа характеристик интегральных тензопреобразователей и схемных методов компенсации аддитивных и мультипликативных составляющих температурных погрешностей ИТП сделан вывод об актуальности алгоритмических способов коррекции статических характеристик измерительных преобразователей.

2. Разработан алгоритмический метод коррекции статических характеристик преобразователей с интегрированным чувствительным элементом, а также его общий случай для преобразователя с произвольным числом влияющих друг на друга нелинейных измерительных каналов. Подана заявка на выдачу патента.

3. Разработан и апробирован способ обработки экспериментальных данных с выбросами и промахами, повышающий точность определения параметров математической модели измерительного преобразователя. Способ защищен патентом РФ на изобретение №2199088 от 20 февраля 2003 г.

4. Предложена методика градуировки измерительных преобразователей с интегрированным чувствительным элементом, позволяющая ускорить и упростить процесс определения параметров их математических моделей путем исключения процедуры стабилизации и измерения значений влияющих факторов. Получено положительное решение о выдаче патента на изобретение от 24 декабря 2002 года по заявке №2002121952/28(023559) от 16 августа 2002 года.

5. Предложен метод коррекции статических характеристик измерительных преобразователей с помощью обучающихся систем на основе искусственных нейронных сетей, позволяющий добиться высоких метрологических характеристик преобразователей в широком диапазоне влияющих величин. Способ защищен патентом РФ на изобретение №2199089 от 20 февраля 2003 г.

6. При непосредственном участии автора разработан измерительный преобразователь давления МТУ. На прибор получено заключение о взрывоза-щищенности в ЦС ВЭ ИГД, проведены эксплуатационные испытания. Во ВНИИМ им. Менделеева проведены испытания с целью утверждения типа средства измерения и внесения преобразователей в Государственный реестр средств измерения. Там же успешно пройдены испытания с целью получения сертификата соответствия требованиям безопасности по системе сертификации ГОСТ Р.

7. Разработано программное обеспечение для измерительного преобразователя давления МТУ, соответствующее современным требованиям на программные продукты. В рамках ПО реализован способ градуировки измерительных преобразователей с интегрированным чувствительным элементом и обработка экспериментальных данных, содержащих выбросы и промахи.

8. В настоящее время приборы внедрены на нефтегазовых предприятиях, таких как ОАО «Сургутнефтегаз», ЗАО «Газэнерготехника», ОАО «Юганск-НИПИнефть» и др.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Диссертационная работа посвящена разработке методов и способов коррекции статических характеристик полупроводниковых измерительных преобразователей с интегрированным чувствительным элементом, входящих в состав информационно-измерительных систем.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Полищук, Игорь Николаевич, 2003 год

1. Соколов JI.B. О новых исследованиях и разработках в области сенсорных МЭМС устройств/ Л.В. Соколов// Датчики и системы. — 1999. - № 3. - С. 58.

2. Pressure and temperature transducers. Каталог/ National Semiconductor: Б. И. 1980, 33 с.

3. Пат. РФ № 2130194, МКИ G 01 R 35/00. Способ коррекции статических характеристик измерительных преобразователей/ С.В.Емец. Опубл. Б.И. №13,1999.

4. Ганцев А.О. Автономные информационно-измерительные системы для исследования скважин: Автореф. дисс. на соискание степени канд. техн. наук: 05.11.16/ УГНТУ. Уфа, 2001. - 16 с.

5. Емец. С.В., Полищук И.Н., Латыпов О.А, Коррекция статических характеристик многоканальных измерительных преобразователей систем управления длинноходовыми насосными установками// Прогрессивные технологии в добыче

6. Емец. С.В., Полищук И.Н, Гидравлический динамометр// Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления: Сборник материалов XIV Научно-технической конференции. Под ред. Проф. Азарова В.Н. М.: МГИЭМ, 2002. - С. 128-129.

7. Ваганов В.И. Интегральные тензопреобразователи/ В.И. Ваганов. -М.: Энергоатомиздат, 1983. 136 с.

8. Емец. С.В., Полищук И.Н., Латыпов О.А. Многоканальный измерительный преобразователь для расходомера переменного перепада давления:

9. Сборник материалов научно-технической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых/ УГНТУ. Уфа, 1999. - С. 24-25.

10. Емец. С.В., Латыпов О.А., Полищук И.Н. Алгоритм коррекции статических характеристик многоканальных измерительных преобразователей: Сборник материалов научно-технической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых/ УГНТУ. Уфа, 1999. - С. 23-24.

11. Полищук И.Н., Латыпов О.А., Емец. С.В. Расходомер переменного перепада давления// Методы, средства и технологии получения и обработки измерительной информации: Сборник трудов международной научно-технической конференции. — Пенза, 2000, — С. 107-108.

12. Полищук И.Н., Мамаев Р.Ф., Емец. С.В. Возможность коррекции статических характеристик многоканальных измерительных преобразователей// Датчики и системы: Сборник докладов международной конференции. Том III. -СПб.: Изд-во СПбГПУ, 2002. С. 192-195.

13. Zias A.R., Hare W. F. J. Integration brings a generation of lowcost transducers. -Electronics. 1972, v. 45, № 25, P. 83-88.

14. Цапенко М.П. Измерительные информационные системы/ М.П. Ца-пенко. М.: Энергия, 1974. - 292 с,

15. Левшина Е.С., Новицкий П.В. Электрические измерения физических величин: (Измерительные преобразователи) // Учеб. Пособие для вузов. Л.: Энергоатомиздат. Ленинград, отд-ние, 1983. - 320 е., ил.

16. Дьяченко Ю.Н. Коррекция температурных погрешностей тензорези-сторных датчиков/ Ю.Н. Дьяченко. Сб.: Средства автоматизации технологических процессов в нефтяной промышленности. - Уфа, 1987, С.59-65.

17. Хлесткин Н.А., Латышев Л.Н. Схемная термокомпенсация тензоре-зистивных преобразователей давления// Приборы и устройства автоматики для нефтяной и газовой промышленности: Сб. Уфа, 1989, С. 156-160.

18. Хлесткин Н.А., Латышев Л.Н. Коррекция температурных погрешностей тензорезисторных датчиков давления// Измерительные элементы и системы управления в нефтяной и газовой промышленности: Сб. Уфа, 1988, С. 39-44.

19. Федоров В.Н. Коррекция температурных погрешностей тензорезисторных датчиков// Измерительные элементы и системы управления в нефтяной и газовой промышленности: Сб. Уфа, 1988, С. 45-50.

20. Мэзон У. Полупроводниковые тензопреобразователи. В кн.: Физическая акустика/ Под ред. У. Мэзона, т. 1, часть Б - Методы и приборы ультразвуковых исследований. Пер. с англ, -М.: Мир, 1967, С. 139-186.

21. Коловертнов Ю.Д., Коловертнов Г.Ю., Краснов А.Н., Загитов М.Ф.,

22. В.Н.Зимин, Н.Л. Данилова, В.В. Панков, Д.В. Шабратов Базовые конструкции интегральных тензопреобразователей на ряд давлений от 0,01 до 40 МПа// Датчики и системы. 1999. - № 2, С. 52.

23. Датчики теплофизических и механических параметров: Справочник в трех томах. Т. I/ Под общ. ред. Ю.Н, Коптева; Под ред. Е.Е. Багдатьева, А.В. Гориша, Я.В. Малкова. М.: ИПРЖР, 1998. - 512 е.: ил.

24. Классификация и методы уменьшения температурных погрешностей датчиков на основе твердотельных структур// Датчики и системы. 2001. - № 12, С. 6.

25. Буровцева Т.И., Звягинцев А.М. Коррекция погрешности датчиков методами нечеткой логики// Датчики и системы. 1999. - № 7-8, С. 14.

26. Рыбаков М.М., Юровский А.Я. Об одном способе уменьшения аддитивной температурной погрешности в мостовых тензорезистивных схемах// Датчики и системы. 1999. - № 7-8, С. 33.

27. Суханов В.И. Исследование температурной погрешности тензопреобразователей давления с двухслойной мембраной// Датчики и системы. 1999. -№7-8, С. 45.

28. Трэнклер Х.-Р., Каноун О. Современное состояние сенсорной техники// Датчики и системы. -2001. — №11, С. 53.

29. Амеличев В.В., Галушков А.И., Чаплыгин Ю.А., Шорин М.В. МОП элемент Холла с малым температурным коэффициентом магниточувствитель-ности// Датчики и системы. 1999. - № 9, С. 27.

30. Былинкин С.Ф., Вавилов В.Д., Лешев В.Т., Лосев В.В. Интегральные акселерометры прямого измерения// Датчики и системы. 2000. - № 6, С. 30.

31. Чернецов В.И. Способы повышения помехоустойчивости средств измерений с нелинейными функциями преобразования// Датчики и системы. -2000.-№ 10, С. 19.

32. Бонкарев Ю. М. Современные проблемы производства датчиков технологических параметров// Приборы и системы управления, 1990. - № 6, С. 23.

33. Семенов Ю.П. Датчиковая аппаратура в ракетно-космической технике// Приборы и системы управления. 1990. - № 10, С. 12.

34. Мокров Е.А. О тенденциях развития датчиков специального назначения// Приборы и системы управления. 1990. -№ 10, С 14.

35. Исакович Р. Я. Технологические измерения и приборы. М.: Недра, 1979.-344 с.

36. Орнатский П.П. Автоматические измерения и приборы. Киев: Ви-ща школа, 1980. - 560 с.

37. Петров Б.Н., Викторов В.А., Лункин Б.В., Совлуков А.С. Принцип инвариантности в измерительной технике. М.: Наука, 1976. - 243 с.

38. Туричцн A.M. Электрические измерения неэлектрических величин. -М. Л.: Энергия, 1966. - 690 с.

39. Гридчин В.А., Любимский В.М., Сарина М.П. Тензопреобразователь для датчика давления на основе поликремния// Измерительная техника. 1991.- № 5. С. 9-21.

40. Интегральный кремниевый преобразователь давления с подстроеч-ными резисторами на кристалле/ В.И. Ваганов, В.В. Беклемишев, Н.И. Гочаро-ва, А.Б. Носкин// Измерительная техника. 1980. - № 5. - С. 28-30.

41. Бушев Е.Е., Никитин А.А., Стучебников В.М. Серийные датчики избыточного давления МИДА-ДИ-01П с чувствительными элементами на основе структур КНС // Микроэлектроника в машиностроении: Тез. докл. науч.-техн. конф. Ульяновск, 1992. - С. 71.

42. Данилова Н.А., Зинин В.Н., Шабратов Д.В. и др. Серия интегральных преобразователей давления на нормальный ряд от 0,4 до 300 атмосфер // Измерительная техника. 1994. - № 2. - С. 35-37.

43. Соколов Л.В. Полупроводниковый датчик давления повышенной точности // Микроэлектроника в машиностроении: Тез. докл. науч.-техн. конф.- Ульяновск, 1992. С. 24.

44. Белоглазов А. В., Стучебников В.М., Хасиков В.В. и др. Полупроводниковые тензопреобразователи давления на основе структур "Кремний на сапфире"// Приборы и системы управления. 1982. - № 5, С. 21 - 27.

45. Раков В.А., Щеренко А.П., Тимошенко В.Г. Повышение технического уровня измерителей давления// Матер, отрасл. научн.-техн. конф. по ин-форм.-измер. системам, применяемым при летных испытаниях авиационной техники (ИИС 87). - ЛИИ, 1988. - С. 76.

46. Евдокимов В.И., Суханов В.И. Измерительные преобразователи давления высокотемпературных сред// Измерения, контроль, автоматизация. -1989.-№2.-С. 45.

47. Стучебников В.М., Суханов В.И., Хасиков В.В. Тензорезисторные чувствительные элементы на основе структур "Кремний на сапфире" в преобразователях давления для высоких температур// Приборы и системы управления. 1981. - № 3, С. 23-24.

48. Берлинский А.С., Гридчин В.А., Макаров Е.А. Применение операционных усилителей для термокомпенсации полупроводниковых тензометриче-ских мостов// Метрология. -1977. № 6. - С. 33.

49. Многофункциональные датчики: Метод, рекомендации/ РАСХН. Сиб. отд-ние ФТИ. Новосибирск, 1991. - 36 с.

50. Белоглазов А.В., Евдокимов В.И., Суханов В.И., Котляревская Е.В., Кешевой О.П. Малогабаритные датчики абсолютного давления// Приборы и системы управления. -1995. -№ 9. С. 8-10.

51. Баталов В.И., Носкин А.Б. Исследование зависимости характеристик интегральных преобразователей от потребляемой мощности//Приборы и системы управления. 1981. -№ 3, С. 26-28.

52. Pressure transducers. Каталог/ Kulite Semicondactor: Б. И., 1981.

53. Авт. свид. СССР № 1404850. Полупроводниковый преобразователь / Евдокимов В.И., Стучебников В.М., Суханов В.И, и др. Открытия, изобретения, 1988, № 23.

54. Стучебников В.М. Тензорезисторные преобразователи на основе ге-тероэпитаксиальных структур "Кремний на сапфире"// Измерения, контроль, автоматизация. 1982. - № 4, С. 15-26.

55. Тензопреобразователь, Техническое описание и инструкция по эксплуатации. ВМИУ.408854.007 ТО. Орел: Изд-во ЗАО «Орлекс», 1996. - 19 с.

56. Analog Devices, Data Sheet. USA, Analog Devices Inc., 1992-1996.

57. Analog Devices, Design In Reference Manual. - USA, Analog Devices Inc., 1994.

58. Новицкий П.В., Зограф И.А. Оценка погрешностей результатов измерений. JL: Энергоатомиздат. Ленинградское отделение, 1985. - 248 с.

59. Microchip, Embedded control handbook, vol. 1, Microchip Tech. Inc.,1997.

60. PCF8583, Clock/calendar with 240 x 8-bit RAM, Data Sheey, Philips,1997.

61. Беклемишев B.B. Схема температурной компенсации мостовых тен-зопреобразователей// Электронная измерительная техника/ Под ред. А.Г. Филиппова. М.: Атомиздат, 1981, вып. 3. - С. 24-27.

62. Пат. 3836796 (США). Semiconductor pressure transducer employing novel temperature compensation means/ Solomon J.E., Zias A.R.

63. Эрлер В, Вальтер Л. Электрические измерения неэлектрических величин полупроводниковыми тензорезисторами/ Пер. с англ. М.: Мир, 1974, 34 с.

64. Сгибов А.П., Трухачев Б.С., Носовский А.В. Температурная компенсация ухода нуля мостового тензопреобразователя// Приборы и системы управления. 1975. - № 11, С. 24-26.

65. Castle P.F. A temperature compensated silicon strain transducer. Strain,1974, v. 10, № 1, P. 22-25.

66. Spenser W.H. An improved transducer temperature-compensation technique. IEEE Trans., 1972 v. IECI-19, № 2, P. 30-33.

67. An 1С Piezoresistive Pressure Sensor for Biomedical Instrumentation/ Samaun, K.D. Wise, E.D. Nielsen, J.B. Angell. 1971 IEEE ISSCC, Digest of Techn. Papers, P. 104-105.

68. Ваганов В.И., Беклемишев В.В. Схема температурной компенсации интегрального преобразователя давления// Измерительная техника. 1977. - № 5, С. 24.

69. Bretschi J. Temperaturstabilisierung von integrierten piezoresistiven halbleiter-messumformen. Feinwerktechnik und Messtechnik, 1976 Bd 87, S. 335-338.

70. Пат. 3898695 (CILLA). Semiconductor pressure transducer employing novel temperature compensation means/ Solomon J.E., Zias A.R.

71. Пат. 3886790 (США). Semiconductor Pressure Transducer Employing Temperature Compensation Circuits and Novel Heater Circuitry/ Billete R.J., Van-nard J.

72. Берлинский A.C. К расчету параметров сложных термокомпенсаторов. В кн.: Физика и техника полупроводников/ Новосибирск: Изд. НЭТИ,1975, С. 33-39.

73. Берлинский А.С. Расчет термокомпенсатора мостовой тензочувстви-тельной схемы. Там же, С. 39-46.

74. Шаблина Т.В., Манский В.П. Температурная компенсация выходного сигнала мостоврй схемы с полупроводниковыми тензорезисторами. Там же, С. 87-95.

75. Гридчин В.А., Берлинский А.С. Сравнение эффективности некоторых схем температурной компенсации. Там же, С. 56-66.

76. Гридчин В.А., Бердинский А.С. Расчет термокомпенсатора для температурной компенсации тензомоста// Метрология. 1975. - № 6, С. 17.

77. Яковлев О.В., Евдокимов В.И., Сгибов А.П. Компенсация температурного изменения чувствительности полупроводниковых тензопреобразователей. Труды МВТУ. - 1976. - № 247, С, 48-55.

78. Пат. 3831042 (США). Temperature compensation circuit for sensor of physical variables such as temperature and pressure/ La Claire P.A.

79. Пат. 3808469 (США). Temperature compensation circuit for sensor of physical variables such as temperature and pressure/ Raymond W.R., Haag F.K., La Claire P.A.

80. Кривоносов А.И, Термодиоды и термотриоды. М.: Энергия, 1970, С.9

81. Levigion М. Temperatur-Kompensation elektrischer Groben. Arch. Techn. Mess., 1973, S. 177-180.

82. Кольцов А.А., Коловертнов Ю.Д. К анализу бесконтактных автоматических мостов из линейных элементов. Труды VIII конференции. Том И. Автоматический контроль и методы электрических измерений. Новосибирск: изд-во Наука, 1971, С. 74-78.

83. Коловертнов Г.Ю. Стационарные информационно-измерительные системы для исследования скважин (развитие теории, разработка): Автореф, дисс. на соискание степени канд. техн. наук. УГНТУ, Уфа, 1997,16 с.

84. Решение о выдаче патента РФ на изобретение. Способ градуировки измерительных преобразователей с интегрированным чувствительным элементом/ Емец С.В., Полищук И.Н. 2002121952/28(023559); Заявлено 24.13.02; Опубл. 16.08.02.

85. Гутников B.C. Тенденции развития электронных измерительных преобразователей для датчиков.//Приборы и системы управления. -1990. -№10, С.32-35.