Холоэллипсометрия in situ слоистых структур: основы, методы и средства тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.01, доктор физико-математических наук Кирьянов, Анатолий Павлович

• Кирьянов, Анатолий Павлович
• доктор физико-математических наук
• 2007

Оглавление диссертации доктор физико-математических наук Кирьянов, Анатолий Павлович

Введение: общая характеристика работы.

Глава 1. Основы традиционной эллипсометрии.

§1.1. Поляризация световых волн и схема эллипсометра.

§1.2. Основное уравнение эллипсометрии и нуль-эллипсометрия.

§ 1.3. Метрика эллипсометрических углов в нуль-эллипсометрии.

§1.4. Определение оптических параметров слоя в нуль-элл ипсометрии

§1.5. К автоматизации измерений в эллипсометрии.

§1.6. Ненулевые традиционные эллипсометры.

1.6.1. Поляризационные рефрактометры.

1.6.2. Эллипсометры с дискретным изменением состояния поляризации

1.6.3. Интерференционные эллипсометры.

§ 1.7. Спектроэллипсометрия и спектроэллипсометры.

Глава 2. Основы холоэллипсометрии слоистых структур.

§2.1. Мониторинг в высоких технологиях с позиций синергетики.

§2.2. Трудности традиционной эллипсометрии при измерениях in situ

§2.3. Общее представление о холоэллипсометрии.

§2.4. Уравнения холоэллипсометрии для оптически изотропного поглощающего слоя на изотропной подложке.

§2.5. Холоэллипсометрия с двуслойной оптически изотропной структурой на подложке.

§2.6. Холоэллипсометрия анизотропных слоев на подложке.

Глава 3. Холоэллипсометры как средства реализации холоэллипсометрии и их организация.

§3.1. Холоэллипсометр с двуслойной оптически изотропной структурой

§3.2. Холоэллипсометр с анизотропным слоем на подложке.

§3.3. Симметризация аппаратной функции холоэллипсометра.

§3.4. Гетеродинные холоэллипсометры.

§3.5. Обнаружительная способность холоэллипсометров.

Глава 4. Интерференционная спектрохолоэллипсометрия in situ в инфракрасном диапазоне волн.

§4.1. Интерференционная холоэллипсометрия.

§4.2. Основы фурье-спектрометрии в ИК области волн.

§4.3. Инфракрасная фурье-спектроэллипсометрия.

4.3.1. Организация ИК фурье-спектроэллипсометров.

4.3.2 Уравнения симметричной ИК фурье-спектроэллисометрии.

4.3.3. Быстрая ИК фурье-спектрохолоэллипсометрия.

4.3.4. ИК фурье-спектрохолоэллипсометрия с почти нормальным отражением потока от анизотропных монослоёв на подложке

4.3.5. Пороговая чувствительность ИК фурье-спектроэллипсометров . 148 4.4. Сверхбыстрая холоэллипсометрия in situ на основе СКВИДИКСтехники.

4.4.1. Основы СКВИДИКС-техники измерений.

4.4.2. Сверхбыстрая гильберт-спектрохолоэлипсометрия.

4.4.3. Гетеродинная СКВИДИКС-холоэллипсометрия.

4.4.4. Магнитная СКВИДИКС-фурье-спектрохолоэллипсометрия.

Глава 5. Результаты исследований и их обсуждение.

5.1. Расчёт холоэллипсометрических параметров слоистых структур

5.2. К проблеме учёта микроскопических свойств поверхностей.

5.3. К методике решения обратных задач холоэллипсометрии in situ

5.4. К мониторингу слоистых структур.

5.4.1. Определение in situ оптических параметров микроструктур.

5.4.2. Литографический мониторинг толщины резиста.

5.5. Холоэллипсометрия in situ в биологии, медицине и экологии.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Холоэллипсометрия in situ слоистых структур: основы, методы и средства»

Актуальность проблемы. Развитие естественных наук состоит в поиске знаний о природе и улучшении освоенных и изобретении новых методов и средств измерений. Ныне в научном эксперименте и технике востребованы многопараметрические измерения, проводимые параллельно с нужным для решения задач быстродействием. И узкое место здесь возникло в импульсных измерениях и получении материалов с заданными свойствами. Технологии породили проблемы не вполне достаточной повторяемости свойств материалов для микро- и наноэлектроники, низкого процента выхода планарных изделий с заданными свойствами и эффективности управления синтезом материалов. Проблемы эти обязаны, видимо, синергетической природе самоорганизации синтеза материалов с нужными свойствами, отличными от свойств компонент, взаимодействующих друг с другом на пространственном фронте синтеза материала во времени. Вся эта кинетика привязана к поверхностным областям слоистых структур. Актуальными становятся разработка концепции и освоение не только новой диагностики процессов при синтезе материалов с заданными свойствами и импульсных измерениях, но и их средств. И анализ методов и средств изучения и контроля кинетики в слоистых структурах на первый план по универсальности, бесконтактности, доступности и способности включаться в освоенные экспериментальные и технологические установки ставит методы и средства измерений оптических параметров слоистых структур в режиме in situ. Ответом на насущный запрос практики измерений и высоких технологий стало наше обращение к эллипсометрии.

Цель работы: разработка и развитие холоэллипсометрии in situ - метода эллипсометрии, позволяющего реализовать параллельные во времени многопараметрические бесконтактные измерения в режиме in situ для определения полного набора присущих слоистым структурам оптических параметров, меняющихся при этом в ходе специфических для них процессов.

Положения, выносимые на защиту.

1. Концепция холоэллипсометрии in situ как метода эллипсометрии слоистых структур в реальном времени протекающих в них функциональных и структурных изменений, который позволяет определять в режиме in situ бесконтактно и одновременно, параллельно во времени полный набор как эллипсо-метрических параметров, так и соответственных оптических параметров для любой конкретной слоистой структуры в процессе её движения, изменения.

2. Физико-технические принципы реализации холоэллипсометрии in situ конкретных слоистых структур.

3. Физико-технические принципы организации хомоэллипсометров in situ, которые обеспечивают реализацию холоэллипсометрии in situ и позволяют определять бесконтактно и одновременно, параллельно во времени полный набор эллипсометрических параметров и соответственных оптических параметров для функционально и структурно меняющихся со временем: (а) оптически изотропного поглощающего слоя (типа резиста) на подложке; (б) двуслойной изотропной структуры; (в) оптически анизотропного слоя.

3. Уравнения холоэллипсометрии in situ для конкретных слоистых структур как методологическая основа определения бесконтактно и одновременно, параллельно во времени полного набора как холоэллипсометрических параметров, так и оптических параметров для описания физико-химического состояния любой конкретной меняющейся во времени слоистой структуры.

4. Симметризация аппаратной функции холоэллипсометрии in situ как метод, позволяющий существенно снизить время и объём обработки результатов параллельных многопараметрических измерений в методе холоэллипсометрии in situ при использовании импульсного излучения, исключить при этом источники систематических погрешностей метода эллипсометрии и повысить точность и надёжность получаемых результатов.

5. Получение полного набора оптических параметров одно- и двуслойной анизотропной структуры с помощью гетеродинной холоэллипсометрии.

6. Физико-технические принципы реализации быстрой фурье-спектрохоло-эллипсометрии слоистых структур, позволяющие определять бесконтактно и одновременно, параллельно во времени полный набор спектров для оптических параметров конкретной функционирующей и изменяющейся во времени слоистой структуры, в частности, (а) оптически изотропного поглощающего слоя (типа резиста) на подложке; (б) двуслойной оптически изотропной поглощающей структуры; (в) оптически анизотропного поглощающего слоя.

7. Быстрая фурье-спектрохолоэллипсометрия при почти нормальном отражении потока волн как метод определения одновременно, параллельно во времени четырёх эллипсометрических параметров при почти нормальном отражении потока ИК волн от анизотропных атомных монослоёв на подложке.

8. Оценка обнаружительной способности холоэллипсометров in situ в одно-частотном лазерном и широкоочастотном фурье-спектрометрическом вариантах их осуществления.

9. Метод сверхбыстрой (пико- и фемтосекундной) спектрохолоэллипсомет-рии in situ на основе техники сверхпроводниковых квантовых интерференционных джозефсоновских интегральных контактных структур при низких температурах как метод определения бесконтактно и одновременно, параллельно во времени полного набора спектров поляризационных оптических параметров любой конкретной меняющейся со временем слоистой структуры за сверхкороткие времена со сверхрекордной чувствительностью.

10. Обеспечение на основе холоэллипсометрии in situ путём применения соответственного холоэллипсометра для измерений in situ мониторинга: (а) субмикронной и глубоко субмикронной литографии в микроэлектронных технологических линиях; (б) катализа в химических реакторах и (в) в биотехнологических реакторах; (г) экологического состояния окружающей среды.

11. Метод модуляционной электроадсорбционной фурье-спектрохолоэллип-сометрии особых анизотропных структур на металлизированной подложке.

Методы исследования. Решение задач, определённых целью диссертации, опиралось на современные методы экспериментальной физики и математического моделирования при изучении меяющих во времени и месту свои оптические параметры слоистых структур и устройств.

Достоверность научных положений, выводов и рекомендаций, представленных в диссертации, обеспечена: (а) корректностью постановки физических задач и их решения на основе эксперимента и математического моделирования с учётом граничных условий и законов распространения поляризованных электромагнитных волн в слоистых средах; (б) экспериментальной проверкой расчётных характеристик, в частности, литографического мониторинга и лазерных и интерференционных холоэллипсометров.

Научная новизна результатов диссертации состоит в том, что в работе впервые создан, последовательно и полно развит и апробирован метод холо-эллипсометрии in situ слоистых структур - эллипсометрии, позволяющей определять бесконтактно и параллельно во времени полный набор меняющихся во времени оптических параметров для любой слоистой структуры.

Практическая значимость полученных результатов состоит в том, что они, обеспечивая решение обратных задач холоэллипсометрии для слоистых структур в реальном времени при изменении во времени описывающих их оптических параметров, снимают серьёзные проблемы и в экспериментах с импульсным излучением, и литографического мониторинга в микро- и нано-электронике, каталитического мониторинга в химических и биотехнологических реакторах, экологического мониторинга окружающей среды.

Апробация работы. Результаты исследований, включённые в настоящую диссертацию, были представлены на нижеперечисленных конференциях и семинарах, а также и патентами РФ:

1. Кирьянов А.П. Фурье-спектроэллипсометрия в дальней ИК-области волн // Эллипсометрия: теория, методы, эксперименты -Новосибирск, 1987- с. 103.

2. Кирьянов А.П., Молчанов И.Б. Эффект Джозефсона в ВТСП // Тезисы I Всесоюзного совещания по ВТСП.- г. Харьков, декабрь. 1988 г.- т. 3, с.35.

3. Кирьянов А.П., Молчанов И.Б., Рзаев М.М. Эффект Джозефсона в мостиках из тонких плёнок ВТСП Y-Ba-Cu-О при температурах от 4,2 К до 83 К // II Всесоюзная конференция по высокотемпературной сверхпроводимости. -Тезисы докладов, Киев, 25-29 сентября 1989 г. - т. II, с.228-229.

4. Кирьянов А.П. Голоэллипсометрия как метод литографического мониторинга толщины резиста // Всероссийская научно-техническая конференция по твёрдотельной микро- и наноэлектронике. - Тезисы докладов. - Дивно-горек, 12-15 сентября 1996 г. - с.56.

5. Кирьянов А.П. Симметризация аппаратных функций голоэллипсометра для измерений in situ при литографическом мониторинге // Всороссийская научно-техническая конференция «Микро- и наноэлектроника-98». - Тезисы докладов, т.2. - Звенигород, пансионат «Липки», 1998. - Р2-44.

6. Кирьянов А.П. Гетеродинная голоэллипсометрия как метод реализации литографического мониторинга // Всероссийская научно-техническая конференция «Микро- и наноэлектроника-98».- Тезисы докладов, т.2. - Звенигород, пансионат «Липки», 1998. -Р2-45.

7. Кирьянов А.П. Голоэллипсометрия тонких плёнок // Материалы X Международного симпозиума «Тонкие плёнки в электронике», Ярославль, сентябрь 1999 г.-4.1.-с. 192-198.

8. Кирьянов А.П. Гетеродинный эллипсометр и диагностика in situ тонких плёнок // Материалы X Международного симпозиума «Тонкие плёнки в электронике». - 20-25 сентября 1999 г., г. Ярославль, Институт микроэлектроники РАН, часть 2. - с.293-297.

9. Кирьянов А.П. Голоэллипсометрия in situ быстрых процессов. - Доклад на научном семинаре кафедры общей физики МФТИ 17.03.2005 г.

10. Kiryanov A. On the ultrafast holoellipsometry // International Conference "Micro- and nano-electronics 2005". October 3-7, 2005, Moscow Zvenigorod, Russia.-Book of Abstracts. - P2-17.

11. Кирьянов А.П. Эллипсометрия полного набора оптических параметров слоистых структур в реальном времени. - Доклад на научном семинаре НТЦ УП РАН 13.09.2006 г.

12. Кирьянов А.П. Разработка и изготовление ИК фурье-спектрохолоэллип-сометра для измерений in situ полного набора оптических параметров объекта с целью создания оперативных систем и методов контроля в реальном времени состояния поверхностно-плёночных покрытий, используемых в изделиях электроники, авиационной промышленности и прорывных технологий. -Доклад на научно-практической конференции «Отчёты по проектам программы Президиума Российской академии наук "Поддержка инноваций" 2006 года», Москва 23 ноября 2006 года.

12. Кирьянов А.П. Способ определения эллипсометрических параметров объекта // Патент РФ № 2008652, Бюлл. изобр. № 4 от 28.02.1994.

13. Кирьянов А.П. Способ определения эллипсометрических параметров объекта // Патент РФ № 2149382, Бюлл. изобр. № 14 от 20.05.2000.

14. Вагин В.А., Кирьянов А.П. Устройсво определения эллипсометрических параметров объекта в реальном времени // Заявка от 15 апреля 2006 г.

Личное участие автора в выполнении работы. Автор диссертации напрямую участвовал во всех сторонах выполнения настоящей работы.

Структура и объём диссертации. Диссертация содержит введение, пять глав и заключение на 250 страниц текста, включая 61 рисунок, 1 таблицу и список цитируемый литературы на 161 наименование.

Заключение диссертации по теме «Приборы и методы экспериментальной физики», Кирьянов, Анатолий Павлович

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Основные научные результаты проведённых исследований, отражённых в настоящей диссертации, можно представлять следующими положениями.

1. В настоящей диссертации выявлены принципиальные затруднения для так называемой традиционной эллипсометрии с позиций возможностей её использования как метода измерений и контроля in situ в области высокотехнологических процессов в микро- и наноэлектронике при производстве планарных интегральных систем, в биотехнологии, биологии и медицине, в интересах экологического мониторинга состояния объектов окружающей среды, особенно значимых для обитания и жизнедеятельности человека.

2. Предложена впервые и последовательно и полно развита соответственно потребностями практики оптико-физических измерений в реальном времени при исследованиях быстротекущих и импульсных процессов и для контроля кинетических процессов в линиях высокотехнологических производств микро- и наноэлектроники и биотехнологических реакторах концепция холоэллипсометрии in situ слоистых структур как метода эллипсометрии в реальном времени слоистых структур, позволяющего определять одновременно, параллельно во времени и бесконтактно полный набор оптических параметров любых слоистых структур в процессе их функционального движения во времени, при этом такое одновременное, параллельное во времени бесконтактное многопараметрическое измерение эллипсометрических параметров слоистой структуры позволяет определять параллельно во времени необходимый для электродинамического описания произвольной слоистой структуры полный набор оптических параметров структуры при её функциональном движении во времени на основе решения обратной задачи холоэллипсометрии как задачи определения всего теоретически необходимого набора оптических параметров с целью описания свойств слоистой структуры и текущих в ней кинетических процессов независимо от каких-либо априорных допущениях относительно конкретных значений каких-либо оптических параметров слоистой покровно-плёночной структуры (слоистой ППС).

2. Предложены и применены физико-технические принципы реализации метода холоэллипсометрии in situ в одночастотном лазерном и широкополосном многочастотном спектрометрическом вариантах его реализации.

3. Разработаны впервые и применены физико-технические принципы организации экспериментальных и технических устройств или средств измерений - холоэллипсометров in situ, обеспечивающих определение в режиме in situ одновременно, параллельно во времени и бесконтактно полного набора оптических параметров любой фукциональной меняющейся во времени конкретной (в том числе оптически анизотропной) слоистой структуры, или, другими словами, обеспечивающих реализацию холоэллипсометрии in situ слоистых ППС.

4. Впервые получены и использованы основные уравнения холоэллипсометрии in situ слоистых структур в качестве целевой и научно-методологической основы разработки и функциональной, схемотехнической и конструктивной организации рабочих макетов и стендов экспериментальных установок по осуществлению метода холоэллипсометрических измерений в реальном времени различных конкретных слоистых структур, представленных по необходимости в ряде актуальных областей естественных наук и отраслей современной техники, в частности, а) холоэллипсометра in situ, работающего с ППС из оптически изотропного поглощающего слоя типа резиста, размещённого на изотропной подложке типа кремния; б) холоэллипсометра in situ, работающего с ППС из двух оптически изотропных слоёв, размещённой на изотропной подложке; в) холоэллипсометра in situ, работающего с оптически анизотропным слоем на подложке.

5. Впервые предложена и разработана методика соотнесения определяемого одновременно, параллельно во времени полного набора эллипсометрических параметров, определяемых с помощью применения соответственных холоэллипсометров in situ, с необходимым для электродинамического описания быстротекущих кинетических процессов набором оптических параметров слоистых ППС (в том числе и оптически анизотропных слоистых ППС).

6. Впервые рассмотрена и решена принципиальная проблема симметризации поляризационных аппаратных функций эллипсометров и, прежде всего, холоэллипсометров in situ слоистых структур с целью исключения источников систематических погрешностей в методе эллипсометрии и повышения точности и надёжности измерений оптических параметров слоистых ППС.

7. Предложен метод гетеродинной холоэллипсометрии in situ слоистых структур, а также показана ценная, свойственная гетеродинным холоэллипсо-метрам in situ, возможность самокорректировки алгоритма определения полного набора in situ оптических параметров слоистых структур.

8. Впервые предложены и детально рассмотрены физико-технические принципы осуществления быстрой фурье-спектрохолоэллипсометрии in situ слоистых структур, позволяющей определять с помощью применения быстрого фурье-преобразования полученных интерферограмм для поляризованных потокова РЖ волн одновременно, параллельно во времени и бесконтактно спектры для полного набора оптических параметров слоистых ППС.

9. Предложен и детально рассмотрен метод параллельного измерения четырёх эллипсометрических параметров оптически анизотропных атомных слоёв на чистой оптически изотропной кристаллической подложке при почти нормальном отражении зондирующего поляризованного потока ИК волн.

10. Предложены расчёты и даны оценки информационной способности и обнаружительной способности холоэллипсометров in situ слоистых структур как в лазерном, так и фурье-спектрометрического исполнении.

11. Впервые предложен и проанализирован метод сверхбыстрой (на уровне пико- и фемтосекунд) холоспектроэллипсометрии in situ слоистых структур на основе применения сверхбыстрой техники сверхпроводниковых квантовых интерференционных джозефсоновских интегральных контактных структур при низких температурах.

12. Проведён расчёт холоэллипсометрических параметров (rp, rs, Д) для типичных реализующихя в практике измерений in siru слоистых структур.

13. Проведено сопоставление результатов решения микроскопической задачи расчёта слоистых структур с непосредственно измеряемыми холоэл-липсометрическими параметрами (rp, rs, А) в случае слоистых структур с моноатомными слоями.

14. Проведён анализ возможностей применения холоэллипсометрии in situ как физико-технической основы мониторинга кинетики процессов на поверхности и границах раздела слоистых тел (в том числе и оптически анизотропных слоистых тел) в таких конкретных практически важных случаях как: а) литографический мониторинг толщины планарных интегральных систем в технологических линиях микроэлектроники и наноэлектроники, при этом предложен независящий от знания конкретных для рассматриваемого момента функционального состояния значений оптических параметров резиста как составного компонента слоистой ППС на основе текущих во времени результатов решения обратной задачи холоэллипсометри метод определения концовки литографического процесса по точке пересечения кривых временной зависимости для спектральных модулей грст комплексных амплитудных коэффициентов отражения г*рст для линейно поляризованных спектральных р-компонент потока ИК излучения с волновым числом о на слоистой ППС; б) мониторинг процессов катализа в химии и биотехнологии; в) экомониторинг объектов окружающей среды и экологически значимых объектов в промышленном производстве (например, в бумажной, кожевенной, пищевой отраслях промышленности и т. п.).

15. Обращено внимание на перспективу трансформировать хорошо проявивший себя в биологии и медицине метод иммунноэлектроадсорбционной пробы белковых веществ в метод модуляционной электроадсорбционной спектрохолоэллипсометрии, чтобы вести контроль технологических линий, имеющих дело с теми или иными белковыми или другими полимерными веществами при производсте бумаги, кожи и пищевой продукции.

В заключение автор настоящей диссертации пользуется приятной возможностью выразить свою осбую признательность и большую благодарность научным учреждениям и высшим учебным заведениям, большим и хорошим учёным, коллегам и друзьям, с которыми так или иначе приходилось встречаться и обсуждать различные научные вопросы, работать и сотрудничать в различных областях нашей совместной научной деятельности.

Автор не может отказывать себе в поклоне родному МФТИ, поддерживавшему интерес и любовь к научному поиску и воспитавшему как научного работника и преподавателя; в своём особом почтении светлой памяти великого учёного нашего времени академика П.Л. Капицы, воспитанником кафедры которого в МФТИ посчастливилось стать автору данной работы, а потом и работать в руководимом им Институте физических проблем; и в своём уважении и почтении светлой памяти научного руководителя и учителя член-корреспондента РАН профессора Н.Е. Алексеевского.

Ряд моментов настоящей работы был инициирован задачами микроэлектроники и наноэлектроники и поддержан и в постановке, и организации их решений академиком К.А.Валиевым во времена работы автора диссертации как в Московском физико-техническом институте (государственном университете), так и Физико-технологическом институте РАН.

И, конечно же, поддержка руководства Научно-технологического центра уникального приборостроения РАН в целом и лично его директора академика В.И Пустовойта и всего его творческого коллектива в лице зам. директора профессора Г.Н.Жижина, завотделом фурье-спектроскопии доктора технических наук А.А.Балашова помогла несомненно состояться настоящей работе в такой её конечной реализации.

Основные публикации по теме диссертации

1. Георгобиани А.Н., Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Можаев В.В., Тулайкова М.А., Шеронов А.А. К методике измерения характеристик монохроматора в субмиллиметровой области спектра // Краткие сообщения по физике: ФИАН. - 1972, № 8. - с.51-57.

2. Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Можаев В.В., Тулайкова М.А., Шеронов А.А. Интерферометр Майкельсона для исследований в субмиллиметровой области спектра// ПТЭ. - 1973, № 1. с.159-162.

3. Игошин Ф.Ф, Кирьянов А.П., Можаев В.В., Тулайкова М.А., Шеронов А.А. Измерение характеристик сеточных фильтров субмиллиметрового излучения поляризационным интерферометром Майкельсона // ПТЭ. - 1973, № 6. -с. 113—116.

4. Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Кузенков А.Ф., Можаев В.В., Рудаков В.В., Тулайкова М.А., Шеронов А.А. Измерение яркостной температуры атмосферы в субмиллиметровом диапазоне длин волн // Известия ВУЗов. Радиофизика. -1973, т.16, в.8.-с.1160-1164.

5. Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Можаев В.В., Тулайкова М.А., Шеронов А.А. Интерференционный метод измерения оптических констант некоторых полупроводников и диэлектриков в далёкой инфракрасной области спектра // Труды МФТИ, «Общая и молекулярная физика», №1. - М.: МФТИ,1973, с.23-29.

6. Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Можаев В.В., Тулайкова М.А., Шеронов А.А. Субмиллиметровый спектрорадиометр для исследования теплового излучения атмосферы // Труды МФТИ, «Общая и молекулярная физика», №1. - М.: МФТИ, 1973. - с.91-97.

7. Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Можаев В.В., Тулайкова М.А., Шеронов А.А. Измерения показателя преломления некоторых диэлектриков в субмиллиметровом диапазоне длин волн // Известия ВУЗов. Радиофизика. - 1974, т. 17, вып.4 . - с. 189-194.

8. Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Можаев В.В., Тулайкова М.А., Шероное А.А. Фазовая модуляция в субмиллиметровом интерферометре Майкельсона // Радиотехника и электроника. - 1974, т. 19, № 1. - с.220-224.

9. Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Кузенков А.Ф., Можаев В.В., Рудаков В.В., Тулайкова М.А., Шероное А.А. Спектр излучения атмосферы в субмиллиметровом диапазоне длин волн // Известия АН СССР. Физика атмосферы и океана. - 1974, т. 10, № 2. - с. 206-210.

10 .Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Можаев В.В., Тулайкова М.А., Шероное А.А. Измерения оптических констант материалов в диапазоне 4-30 см-1 с помощью интерферометра Майкельсона // Оптика и спектроскопия. - 1974, т.36, вып.6.-с.1146-1152.

11 .Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Можаев В.В., Тулайкова М.А., Шероное А.А. Измерение показателя преломления диэлектриков и полупроводников при помощи субмиллиметрового спектрометра // ПТЭ. - 1974, № 6. - с.148-151.

12. Иванникова Г.Е., Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Тулайкова М.А. Измерение порога чувствительности детекторов излучения из монокристаллов n-InSb в субмиллиметровой области спектра // Труды МФТИ, «Общая и молекулярная физика», № 9. - М.: МФТИ, 1977. - с. 27-33.

13. Иванникова Т.Е., Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П. Измерение комплексного показателя преломления антимонида индия n-типа в миллиметровом и субмиллиметровом диапазо-нах длин волн // Труды МФТИ, «Общая и молекулярная физика», № 10. - М.: МФТИ, 1978. - с. 6-11.

14. Великое JI.B., Витвинин Е.А., Иванникова Г.Е., Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Маркианов С.С. Резонансное поглощение субмиллиметровых волн в монокристаллах ортоферрита иттрия // ФТТ. - 1980, т.22, вып. 12- с. 3612-3615.

15. Витвинин Е.А., Иванникова Г.Е., Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Новосёлов П.П. Интерферометр Майкельсона далёкого инфракрасного диапазона с шаговым приводом, работающий в режиме «на линии» с электронной вычислительной машиной // ПТЭ. - 1981, № 3. - с. 186-188.

16. Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П. Резонансное поглощение далёкого инфракрасного излучения в порошкообразном DyVQt при 4,2 К // Физические методы исследования биологических объектов. Междувед. сб.- М.: изд. МФТИ, 1981, № 3. - с.186-188.

17. БагдасаровХ.С., Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Шалдин Ю.В. Резонансное поглощение субмиллиметровых волн в монокристаллах Ег20з при 4,2 К // ФТТ. - 1983, т. 25, вып.5. - с.1558-1560.

18. Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Маркианов С.С., Молчанов В.П. Спектропо-ляриметр для исследований эпитаксиальных образцов магнитоактивных поглощающих материалов // Автометрия, - 1983, № 2. - с.94-96.

19. Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Маркианов С.С., Молчанов В.П., Самарский Ю.А. Локальное распределение магнитооптических параметров по площади образцов эпитаксиальных ферритов-гранатов // Автометрия. - 1983, № 5. -с.101-102.

20. Кирьянов А.П. Фурье-спектроэллипсометрия в дальней ИК-области волн // Дифракция и распространение волн: Междувед. сб. - М.: МФТИ, 1985. -с.132—134.

21. Кирьянов А.П. Гетеродинная эллипсометрия в дальней ИК-области волн // Физические явления в электронных приборах: Междувед. сб. - М.: МФТИ, 1985.-с.31-35.

22. Кирьянов А.П. Фурье-спектрометрия ортоферритов в дальней инфракрасной области волн // В сб.: Система особых температурных точек твёрдых тел, под ред. Веневцева Ю.Н., Муромцева В.И. - М.: Наука, 1986. - с. 182-199.

23. Кирьянов А.П. Интерференционная фурье-спектрополяриметрия оптически активных веществ в дальней инфракрасной области волн // Оптика и спектроскопия. - 1986, т. 61, № 6. - с. 1340-1343.

24. Демарин Ю.Д., Иванникова Г.Е., Кирьянов А.П., Самарский Ю.А. Гетеродинная эллипсометрия в дальней ИК-области волн // Физические явления в электронных приборах: Междувед. сб. - М.: МФТИ, 1986. - с.31-35.

25. Кирьянов А.П. Фурье-спектроэллипсометрия в дальней ИК-области волн // Эллипсометрия: теория, методы, приложения. - Новосибирск: Наука, 1987.

- с.103-106.

26. Кирьянов А.П. Интерференционная поляриметрия Рождественского в дальней ИК-области волн // Оптика анизотропных сред: Междувед. сб. - М.: МФТИ, 1987. - с.158-162.

27. Витвинин Е.А., Демарин Ю.Д., Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П. Определение времени жизни и подвижности носителей в тонкослойных полупроводниках // Физические явления в приборах электронной и лазерной техники: Междувед. сб. - М.: МФТИ, 1987. - с.31-35.

28. Демарин Ю.Д., Кирьянов А.П, Маркианов С.С., Молчанов В.П. Интерференционный поляриметр //Автометрия. - 1988, № 1. - с.102-103.

29. Кирьянов А.П О восстановлении неискажённого спектра излучения при измерениях на фурье-спектрометре с поглощающей средой // Дифракция и распространение волн: Междувед. сб. - М.: МФТИ, 1988. - с. 132-134.

30. Кирьянов А.П. Растровая спектрометрия в дальней инфракрасной области волн // Прикладные задачи механикм сплошной среды и геокосмической физики: Междувед. сб. - М.: МФТИ, 1988. - с. 136-140.

31. Веденеев С.И., Казаков И.П., Кирьянов А.П., Максимовский С.Н. Эффект Джозефсона между монокристаллами ЕиВа2СизОх и Nb // Письма в ЖЭТФ.

- 1988, т. 47, в.З. - с. 159-162.

32. Веденеев С.И., Казаков И.П., Кирьянов А.П., Максимовский С.Н., Степанов В. А. Туннельные исследования EuBa2Cu307 // Письма в ЖЭТФ. - 1988, т. 47, в.6. - с.306-309.

33. Веденеев С.И., Казаков ИЛ., Кирьянов А.П., Максимовский С.Н., Степанов В.А. Туннельные исследования La2.xSrxCu04.y// ФТТ. -1988, т. 30, в Л1 с.2861-2864.

34. Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Молчанов В.П. Измерение толщины тонких поглощающих слоёв на подложке интерференционным методом // Оптика твёрдого тела: Междувед. сб. - М.: МФТИ, 1988. - с.36-44.

35. Иванникова Г.Е., Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Самарский Ю.А., Тулай-кова М.А. Круговой поляризатор для широкой полосы длин волн дальнего ИК-излучения // Электронная промышленность. - 1988, № 9. - с.28-36.

36. Кирьянов А.П. Туннельная спектроскопия металлооксидных сверхпроводников // Лазерная интерферометрия: Междувед.сб. - М.: МФТИ, 1989. - с.15.

37. Кирьянов А.П. Поведение уровня Ферми в антимониде индия в сильном квантующем магнитном поле // Физические явления в приборах электронной и лазерной техники: Междувед.сб. - М.: МФТИ, 1989. - с.38-43.

38. Кирьянов А.П., Тулайкова М.А. Циклотронный резонанс в InSb при нормальном отражении волн // Лазерная интерферометрия: Междувед.сб. - М.: МФТИ, 1989.-c.14.

39. Иванникова Г.Е., Кирьянова А.П., Тулайкова М.А. Дальняя ИК-эллипсо-метрия Рождественского как метод неразрушающего контроля «in situ» поверхности // Электронная промышленность. - 1989, № 1. - с.20-22.

40. Иванникова Т.Е., Кирьянов А.П. Импульсная эллипсометрия Брюстера в дальней ИК-области волн // Оптические поля и оптические методы обработки информации: Междувед.сб. - М.: МФТИ, 1991. - с.83-87.

41. Кирьянов А.П. Голоэллипсометрия // Лазерная интерферометрия: Междувед.сб. - М.: МФТИ, 1993. - с.62-68.

42. Кирьянов А.П. Разностная спектроинтерферометрия сверхмалых примесей // Лазерная интерферометрия: Междувед.сб. - М.: МФТИ, 1993.- с.91-96.

43. Кирьянов А.П. Инфракрасная термоспеклометрия // Лазерная интерферометрия: Междувед.сб. - М.: МФТИ, 1993. - с.96-100.

44. Кирьянов А.П. Способ определения эллипсометрических параметров объекта // Патент РФ № 2008652, Бюлл. изобр. № 4 от 28.02.1994.

45. Кирьянов А.П. К определению in situ толщины резиста интерференционным методом / Труды ФТИАН, т. 15. - Ионно-лучевая обработка материалов в микро- и нано-электронике. - М.: Наука, 1999. - с.148-152.

46. Кирьянов А.П. Голоэллипсометрия как метод литографического мониторинга / Труды ФТИАН, т. 15. - Ионно-лучевая обработка материалов в микро-и наноэлектронике. - М.: Наука, 1999. - с. 153-169.

47. Кирьянов А.П. Научно-технические проблемы естествознания. Конспект лекций: учебное пособие. - 2-е издание, дополненное и расширенное // М., 2003.-252 с.

48. Кирьянов А.П. Голоэллипсометрия in situ: основы и применения / М: ИИЦ МГУДТ, 2003.-220 с.

49. Кирьянов А.П. Физика. Часть 4. Волны: свет и звук // М., 2004. - 89 с.

50. Кирьянов А.П., Вагин В.А., Чурсин В.К, Маллашахбанов Ш.А., Шапкарин И.П. Интерференционная ИК фурье-спектрометрия в лёгкой промышленности // Наука и образование. Новые технологии. Межвузовский сборник научных трудов, выпуск № 6 (юбилейный) «Технологии и экономика». - М.: ИИЦ МГУДТ, 2004.-стр. 63-73.

51. Кирьянов А.П. Физические основы измерений; конспект лекций // М.: МГУДТ, 2005.- 115 с.

Список литературы диссертационного исследования доктор физико-математических наук Кирьянов, Анатолий Павлович, 2007 год

1. Drude P. Uber aberflucheshichten, 1.und III I Ann. Physik. - 1889, Bd В 36. -s.532, 865.

2. Malus E. L. Theorie de la double refraction de la lumiere dans les substances cristallisees. Memoire, ocurenue par lTnstitut dans la seaucc publique du 2 Janier 1810 par E.L.Malus/Paris, Garuter, 1810-p.302.

3. Brewster D. Treatise on optics / London, 1831.

4. Fresnel A.J. Euvres completes / Paris, 1866-1870.

5. Maxwell J. A treatise of electricity and magnetism de J.C. Maxwell. Vol. 1-2. / Oxford, Clarendon Press, 1893. Максвелл Дж.К. Избранные сочинения по теории электромагнитного поля. Пер. З.А.Цейтлина под ред. П.С.Кудрявцева / М.-Л., ГИТТЛ, 1952. 688 с.

6. Борн М., Вульф Э. Основы оптики / М.: Наука, 1980.

7. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Электродинамика сплошных сред / М.: Наука,1980.

8. Кирьянов А.П. Физика. Часть 4 Волны: свет и звук / М.: ИИЦ МГУДТ, 2003.

9. Rothen A. The Ellipsometer fs Apparatus to Measure Thickness of Thin Surface Films. // Rev.Sci.Instr. 1945, vol.16, № 2. - p.26-30.

10. Библиография по эллипсометрии / Новосибирск: Наука, 1980.

11. Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет / М.: Мир,1981.

12. Основы эллипсометрии. Под ред. Ржанова А.В. / Новосибирск: Наука, 1979.

13. Эллипсометрия метод исследования поверхности / Новосибирск: Наука, 1983.

14. Кирьянов А.П. Голоэллипсометрия in situ: основы и применения / М., 2003.-220 с.

15. Лорентц Г.А. Теория электронов и её применение к явлениям света и теплового излучения, пер. с англ. / М., 1953

16. Heavens C.S. Optical properties of thin solid films / London: butterworth's Sci. Publ., 1955.

17. Vasicek A. Optics of thin films / Amsterdam: Nord. Holl. Publ., 1960.

18. Авелес Ф. Оптические свойства металлических плёнок / В книге «Физика тонких плёнок». -М.: Мир, 1973. с.171

19. Беннет Х.Б., Беннет Дж.М. Прецизионные измерения в оптике тонких плёнок / В книге «Физика тонких плёнок». М.: Мир, 1970. - т.4.

20. Ellipsometric Tables of the Si—Si02 Systems for Mercury and He-Laser Spectral Lines, ed. G.Gergely / Akademiai Kiado, Budapest, 1971.

21. Archer R.J. Determination of the properties of films on silicon by the method of ellipsometry // Journ. Optic. Soc. Amer. 1962, vol. 52, № 9. - p.970-977.

22. Hauge P.S., Dill F.H. Design and operation of ETA, an automated ellipso-meter // IBM Journal Res. Develop. 1975, vol.17, №6. - p. 472^89.

23. Aspnes D.E. Precision bounds to ellipsometer system // Appl.Opt. 1975, vol.14, №5. - p.l 131-1136.

24. Блюмкина Ю.А. и др. Система автоматизации эллипсометрических измерений // Оптика и спектроскопия. 1976, т.40, вып.З. - с.596-589.

25. Блюмкина Ю.А. Современные проблемы и перспективы развития автоматизации эллипсометрических измерений // Эллипсометрия метод исследования поверхности. - Новосибирск: Наука, 1983. - с.103-116.

26. Алексеев С.А., Бронштейн И.Г., Прокопенко В.Г., Рондарев B.C. Автоматический эллипсометр с использованием СОг-лазера // Эллипсометрия -метод исследования поверхности. Новосибирск: Наука, 1983. - с.116 -118.

27. Воронцова Е.И., Григорьев В.К., Петровский В.И. Возможности фотометрического метода для автоматизации ИК-эллипсометра // Эллипсометрия -метод исследования поверхности. Новосибирск: Наука, 1983.- с.128-130.

28. Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Маркианов С.С., Молчанов В.П. Спектрометр-поляриметр для исследования эпитаксиальных образцов магнито-активных поглощающих материалов // Автометрия. 1983, в.2. - с.94 - 96.

29. Jle Галь А. Магнитооптические эффекты и материалы / в кн.: Фотоника. -М.: Мир, 1978.

30. Wemple S.H., Dillon J.E., Van Unitert L.G., Grodkiewicz W.H. Iron garnet crysrals for magnetooptic light modulators at 1,064 mem // App.Phys.Lett. 1973, vol.22.-p.311.

31. Conference on Ellipsometry-1. Ellipsometry in the measurement of surface and thin films // Symposium proceedings. Washington, 1963. - Nat.Bur.Stand. -1964, vol.256.-p.97.

32. Conference on Ellipsometry-II. // Proceedings of the Symposium on recent development in ellipsometry. Nebraska, 1968. - Surface Sci. - 1969, vol.16. -p.452.

33. Mathieu H.J., McClure Muller R.H. Fast self-compensating ellipsometer // Rev.Sci.Instr., 1974, vol.45, -p.798-808.

34. Menty D.N., Jerrard H.G. A universal ellipsometer // Surf.Sci. 1976, vol.56. -p.170-181.

35. Lowe A.C. Practical limitations to accurancy in nulling automatic wave-length-scanning ellipsometer // Surf.Sci. 1976, vol.56. - p.134-147.

36. Алгазин Ю.Б., Блюмкина Ю.А., Свиташёв K.K. Исследование и анализ рабочих характеристик автоматизированной эллипсометрической установки // Оптика и спектроскопия. 1977, т.43, вып.2. - с. 168-175.

37. Roberts E.E.J., Meadows A. A high precision automatic ellipsometer using grating goniometers // J.Phus.E: Sci.Instr. 1974, vol.7, №5. - p.379-386.

38. Matheson С.С. etc. A high precision polychromatic automatic ellipsometers // Surf.Sci. 1976, vol. 56. - p. 196-211.

39. Архипенко A.B., Блюмкина Ю.А., Свиташёв K.K. К теории модуляци-нной эллипсометрии // ДАН СССР. 1977, т.235, №2. - с.323-326.

40. Блюмкина Ю.А., Архипенко А.В. Прецизионная эллипсометрическая методика для исследования аморфных прозрачных материалов // Эллипсомет-рия метод исследования поверхности. - Новосибирск: Наука, 1983. -с.118-121.

41. Пеньковский А.И. Эллипсометрические методы измерения постоянных сред при НПВО // Эллипсометрия метод исследования поверхности. - Новосибирск: Наука, 1983.- с.140-142.

42. Ковалёв В.И. и др. Эллипсометрия с дискретной модуляцией состояния поляризации // Труды конференции «Эллипсометрия в науке и технике». -Новосибирск, 1987. с.43-49.

43. Елинсон М.И., Ковалёв В.И., Россуканый Н.М., Шаповалов В.И. Автоматический эллипсометр// Электронная промышленность. 1982, № 10-11. -с. 100-103.

44. Пилипко Д.Д., Пунько И.П. Прецизионный интерференционный эллипсометр // Эллипсометрия метод исследования поверхности. - Новосибирск: Наука, 1983.- с. 143-146.

45. Трофимов В.А. Интерференционная эллипсометрия // Эллипсометрия -метод исследования поверхности. Новосиб.: Наука, 1983. - с. 155-157.

46. Hozebrock Н.Е., Holecher А.А. Interferemetricellipsometer // Journ. Phys.E, 1973, vol.6, №9.-p.822-825.

47. Пестов Э.Г., Лапшин Г.М. Квантовая электроника / М.: Военизд., 1972.

48. Spectroscopic Ellipsometry // Horiba Group; www.jyhoriba.com

49. Николис Г., Пригожин И. Познание сложного / М.: Мир, 1990.

50. Хакен Г. Синергетика. Иерархия неустойчивостей в самоорганизующихся системах и устройствах / М.: Мир, 1985.

51. Кирьянов А.П., Радзиховская В.К. Квантовая парадигма как основа познания общности свойств физических, психических и социальных отношений // сб. Новые технологии. Вып.2. М.: изд. МГУДТ, 2000. -с.111-121.

52. Кирьянов А.П. Научно-технические проблемы естествознания // Конспект лекций. 2-ое изд. М.: изд. МГУДТ, 2003.

53. Валиев К.А. Физика субмикронной литографии / М.: Наука, 1990.

54. Физический энциклопедический словарь. Главный редактор A.M. Прохоров / М.: Советская энциклопедия, 1984.

55. Плешивцев И.В. Катодное распыление / М.: Атомиздат, 1968.

56. Ивановский Г.Ф., Маишев Ю.П., Иванов В.В., Алексеев В.В. Способ избирательного удаления диэлектрических плёнок // 1974, А.С. СССР, кл.Н01 17/00 № 494999.

57. Концевой Ю.А. Алмазоподобные плёнки технология. Свойства, применения // Фундаментальные проблемы Российской металлургии на пороге XXI века. - 1998, т.4. - с. 193-226.

58. Котенёв В.А. Методы фурье-оптики в эллипсометрической томографии неоднородных поверхностных слоёв // Тезисы 5 Всесоюзного симпозиума по вычислительной томографии. 4-8 ноября 1991 г. г.Звенигород, Моск. обл., Москва, 1991.-с. 196-197.

59. Кирьянов А.П. К определению in situ толщины резиста интерференционным методом // Труды ФТИАН. т. 15 «Ионно-лучевая обработка материалов в микро- и наноэлектронике». - М.: Наука, 1999. - с.148 - 152.

60. Кирьянов А.П. Голоэллипсометрия // Лазерная интерферометрия. Меж-вед. сб. М.: Изд-во МФТИ, 1993. - с.62 -68.

61. Кирьянов А.П. Способ определения эллипсометрических параметров объекта // Патент РФ № 2008652 от 28.02.1994. Бюлл.изобр. №4,1994.

62. Кирьянов А.П. Голоэллипсометрия как метод литографического мониторинга // Труды ФТИАН. т. 15 «Ионно-лучевая обработка материалов в микро- и наноэлектронике». - М.: Наука, 1999. - с. 153-159.

63. Кирьянов А.П. Голоэллипсометрия тонких плёнок // Материалы X Международного симпозиума «Тонкие плёнки в электронике», 20-25.09.1999, г. Ярославль. -чЛ, с. 192-198.

64. Кирьянов А.П. Способ определения эллипсометрических параметров объекта // Патент РФ № 2149382 от 23.10.1997. Бюлл. изобр. № 14, 2000.

65. Zeeman Е.С. Catastrophe theory: selected papers (1975-1977) / Massach., 1977.

66. Арнольд В.И. Теория катастроф / М.: изд-во МГУ, 1983.

67. Гилиор Р. Прикладная теория катастроф / М.: Мир, 1984.

68. Hadamard I. Le probleme de Cauchy et les equations aux derivees partielles hyberboliques / Paris, Hermann, 1932.

69. Некорректные задачи естествознания / M.: Изд-во МГУ, 1987.

70. Тамм И.Е. Основы теории электричества / М., 1976.

71. Гуревич А.Г. Магнитный резонанс в ферритах и антиферромагнетиках / М.: Наука, 1973.

72. Teitler S., Henvis В. Refraction in stratified, anisotropic media. Journ. Opt. Soc. Am. - 1970, vol.60, -p.830-834.

73. Berreman D. W., Scheffer T.J. Bragg Reflection of Light from Single-Domain Cholesteric Liquid-Ciystal Films // Phys.Rev.Lett. 1970, vol. 25. -p.577-581.

74. Berreman D.W. Optics in stratified and anisotropic media: 4x4 matrix formulation // Journ. Opt. Soc. Am. 1972, vol.62. - p.502-510.81. den Engelsen D. Ellipsometry of anisotropic films // Journ. Opt. Soc. Am. -1971, vol.61.-p.1460-1466.

75. Drennan Р.С., Smith B.W., Alexader D. Technique for the measurement of the in situ development rate // SPIE. 1994. Vol. 2196. P. 449-463.

76. Мустель E.P., Парыгин B.H. Методы модуляции и сканирование света / М.: Наука, 1976.

77. Кирьянов А.П., Демарин Ю.Д., Иванникова Г.Е., Самарский Ю.А. Гетеродинная эллипсометрия в дальней ИК-области // Физические явления в электронных приборах. Междув. Сб. - М.: изд. МФТИ, 1986. - с.31-35.

78. Кирьянов А.П. Гетеродинная голоэллипсометрия как метод реализации литографического мониторинга // Всероссийская научно-техническая конференция «Микро- и наноэлектроника-98». Тезисы докладов, т.2. - Звенигород, пансионат «Липки», 1998. - Р2-45.

79. Кирьянов А.П. Гетеродинный эллипсометр и диагностика in situ тонких плёнок // Материалы X Международного симпозиума «Тонкие плёнки в электронике». 20-25 сентября 1999 г., г. Ярославль, Институт микроэлектроники РАН, часть2. - с.293-297.

80. Burgwald G.M., Kruger W.P. An instant on laser for length measurement // Hewlett Packard Journal. 1970, vol.21, N2. - p.14

81. Коронкевич В.П., Соболев B.C., Дубинцев Ю.Н. Лазерная интерферометрия / Новосибирск: Наука, 1983.

82. Карташёв А.И., Эцин И.Щ. Методы измерения малых изменений разности фаз в интерференционных устройствах // УФН. -1972, т.106. с. 687-721.

83. Кирьянов А.П., Демарин Ю.Д. и др. Дальняя инфракрасная интерферометрия кристаллов. ч. 4: «Интерференционная эллипсометрия in situ» // Научно-технический отчёт МФТИ, № гос. регистрации 01860038747 - М.: МФТИ, 1989.-50 с.

84. Кирьянов А.П., Иванникова Г.Е., Тулайкова М.А. Дальняя ИК-эллипсометрия Рождественского как метод неразрушающего контроля in situ поверхности тел // Электронная промышленность. 1989, вып.2. - с.20.

85. Кирьянов А.П., Иванникова Г.Е. и др. Сверхбыстрая эллипсометрия поверхности жидких и твёрдых материалов // Научно-технический отчёт МФТИ по теме № 127/93. М.: МФТИ, 1995. - 64 с.

86. Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Можаев В.В., Тулайкова М.А., Шеронов А.А. Фазовая модуляция в субмиллиметровом интерферометре Майкельсона // Радиотехника и электроника. 1974, т. 19, №1. - с.220-223.

87. Георгобиани А.Н., Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Можаев В.В., Тулайкова М.А., Шеронов А.А. К методике измерения характеристик монохроматора субмиллиметровых длин волн // Краткие сообщения по физике. 1972, № 8. -с.51-56.

88. Игошин Ф.Ф, Кирьянов А.П., Можаев В.В., Тулайкова М.А., Шеронов А.А. Интерферометр Майкельсона для исследований в субмиллиметровой области спектра // ПТЭ, № 1,1973. с.159-161.

89. Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Можаев В.В., Тулайкова М.А., Шеронов

90. A.А. Субмиллиметровый спектрорадиометр для исследования теплового излучения атмосферы // Труды МФТИ. Серия «Общая и молекулярная физика». -М., 1973.-С.91-96.

91. Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Кузенков А.Ф., Можаев В.В., Рудаков

92. B.В.,Тулайкова М.А., Шеронов А.А. Измерение яркостной температуры атмосферы в субмиллиметровом диапазоне длин волн // Известия высших учебных заведений. Радиофизика. 1974, t.XVI, № 8. - с.1 160-1163.

93. Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Можаев В.В., Тулайкова М.А., Шеронов А.А. Измерение оптических материалов в диапазоне 4-гЗО см-1 с помощью интерферометра Майкельсона // Оптика и спектроскопия. 1974, t.XXXVI, вып.6.-с.1146-1151.

94. Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Можаев В.В., Тулайкова М.А., Шеронов А.А. Измерение показателя преломления некоторых диэлектриков в субмиллиметровом диапазоне длин волн // Известия высших учебных заведений. Радиофизика. 1974, т.ХУИ, № 2. - с.291- 293.

95. Беликов J1.B., Витвинин Е.А., Иванникова Г.Е., Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Маркианов С.С. Резонансное поглощение субмиллиметровых волн в монокристаллах ортоферрита иттрия. // Физика твёрдого тела. 1980. Т.22, вып.12. с.3612-3615.

96. Витвинин Е.А., Иванникова Г.Е., Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Новосёлов П.П. Интерферометр Майкельсона далёкого инфракрасного диапазона с шаговым приводом, работающим в режиме «на линии» с ЭВМ // ПТЭ. 1981, № 3. -с.186.

97. Витвинин Е.А., Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П. Сверхобменное взаимодействие в ЕГ3А15О12 при 4,2 К // Тезисы докладов. Всесоюзная конференция по физике магнитных явлений. - Тула, 9.09. 1983 г. - с. 198 - 199.

98. Кирьянов А.П. Фурье-интерферометрия ортоферритов в дальней ИК-области // Системы температурных точек в твёрдых телах. М.: Наука, 1987. -с.182 -199.

99. Купцов А.Х., Жижин Г.Н. Фурье-спектры комбинационного рассеяния и инфракрасного поглощения // М.: ФМЛ, 2001. 456 с.

100. Фурье Ж.Б. Аналитическая теория теплоты / Париж, 1822.

101. Титчмарщ Е. Введение в теорию интегралов Фурье /М.-Л.:ОГИЗ, 1948.

102. Мерц Л. Интегральные преобразования в оптике / М., 1969.

103. Харкевич А.А. Спектры и анализ / М.: ГТТИ, 1957.

104. Белл В.Дж. Введение в фурье-спектроскопию / М.: Мир, 1975.

105. Техника спектроскопии в дальней инфракрасной, субмиллиметровой и миллиметровой областях спектра / М.: Мир, 1970.

106. Дани С.Т., Фоскетт Ч.Т., Курбало Р., Гриффите П.Р. Фурье-спектроскопия в химических исследованиях / в сб.: Применение ЭВМ в химических и биохимических исследованиях. 1976, т. 1,4.IV. - с.88-151.

107. Котельников В.А. О пропускной способности «эфира» и проволоки в электросвязи// Материалы к 1-ому Всесоюзному съезду. ВЭК, 1933.

108. Roseler A. Spectroscic ellipsometry in the infrared // Infrared Physics. 1981, vol.21, №6.-p.349-356.

109. Кирьянов А.П. Фурье-спектроэллипсометрия в дальней ИК-области волн // Дифракция и распространение волн: Междувед. Сб. М.: изд. МФТИ, 1985.-С.132-134.

110. Кирьянов А.П. Интерференционная фурье-спектрополяриметрия оптически активных веществ в дальней инфракрасной области волн // Оптика и спектроскопия. 1986, т.61. - с. 1312.

111. Кирьянов А.П. Фурье-спектроэллипсометрия в дальней ИК-области волн // Эллипсометрия: теория, методы, эксперименты. Новосибирск: Наука, 1987.- с. 103-106

112. Кудрявцев Е.Н., Резвый P.P., Финарёв М.С., Коцевой Ю.А., Власов В.Н. Эллипсометр на длину волны 10,6 мкм и его применение. // Современные проблемы эллипсометрии. Новосибирск: Наука, 1980. - с.45 - 55.

113. Forman M.I. Fast Fourier transform technique and its application to Fourier spectroscopy// Journ.Opt.Soc.Amer,- 1966,vol.56.- p.978.

114. Cooley J.W., Tukey J.W. An algorithm for machine calculation and complex Fourier series // Math.Comp. = 1965, vol.19. = p.297.

115. Алексеевский H.E., Кирьянов А.П. К анизотропии вероятности эффекта Мёссбауэра на ядрах Sn-119 в решётке белого олова // Письма в ЖЭТФ. т.9, вып.З. - с.92-95.

116. Алексеевский Н.Е., Кирьянов А.П., Самарский Ю.А., Цебро В.И. Эффект Мёссбауэра на ядрах Sn-119 в осаждённых при 4,2°К плёнках олова // ДАН СССР. т. 186, № 6. - с. 1282 - 1287.

117. Ланцоши К. Практические методы прикладного анализа / М., 1961.

118. Валиев К.А., Кокин А.А. Квантовые компьютеры: надежды и реальность /М.-Ижевск: РХД, 2001.

119. Кизель В.А. Отражение света / М., 1973.

120. Гинзбург В.Л., Мотулевич Г.П. Оптические свойства металлов // УФН. 1955, т.55. -с.169.

121. Фок В.А. Проблемы дифракции и распространения электромагнитных волн / М., «Сов. радио», 1970. 517 с.

122. Волкова В.П., Горбунов Г.Г., Паршин П.Ф. Влияние точности снятия отсчётов с интерферограммы на вид аппаратной функции фурье-спектрометра //ЖПС.- 1972, т.17.-с.1108.

123. Josephson B.D. Possible new effects in superconducting tunneling // Phys. Lett.-1962, vol.1, N l.-p.251-253.

124. Josephson B.D. The discovery of tunneling supercurrent // Science. 1974, vol.84, -p.527. Перевод статьи: УФН. - 1975, т.116, вып.4. - с.998-1003.

125. Лихарев К.К., Ульрих В.Т. Системы с джозефсоновскими контактами. Основы теории / М.: изд-во МГУ, 1978.

126. Бароне А., Патерно Дж. Эффект Джозефсона: физика и применения / М.: Мир, 1984.

127. Кирьянов А.П. К электродинамическим свойствам ВТСП точечных контактов в поле СВЧ- и ИК-излучения // Распространение и дифракция волн в неоднородных средах. Междувед. сб. научных трудов. М.: изд-во МФТИ, 1989. -с.97-100.

128. Divin Yu.Yu. On Fourier Transform Far-Infrared Imaging by DC Josephson Effect // International Conference on Millimeter ang Far-Infrared Technology, Beijing, China; June 19-23,1989; p.71-74.

129. Кирьянов А.П. Физические основы измерений // М.: МГУДТ, 2005.

130. Kiryanov A. On the ultrafast holoellipsomery // International Conference "Micro- and nanoelectronics 2005". October 3th—7th, 2005, Moscow Zvenigorod, Russia. Book of Abstracts. - P2-17.

131. Биленко Д.И., Дворкин B.A., Полянская B.H. Краснобаев С.И. Эллипсометрия диэлектрических слоёв в процессе их формирования // Эллипсометия метод исследования поверхности. - Новосибирск, Наука, 1983. - с. 89-93.

132. Бродский A.M., Урбах М.И. Зависимость эллипсометрических параметров от микроскопических свойств // Эллипсометрия метод исследования поверхности. - Новосибирск, Наука, 1983. - с. 13-16.

133. Жижин Г.Н., Капуста О.И., Москалева М.А., Назин В.Г., Яковлев В.А. Спектроскопия поверхностных волн и свойства поверхности // УФН. 1975, т. 117, № 2. - с.573-574.

134. Brodsky A.M., Urbakh МЛ. On the dependence of light reflection from metals on adatom chacaracteristics // Phys. Stat. Sol. (B). 1977, vol. 88. - p.633-644.

135. Ibrahim M.M., Bashara N.M. Parameter-correlation and computational considerations in vultiple-angle tllipsometry // J.O.S.A. 1971, vol.61, №12. - p. 1622.

136. Hagi Т., Okuda Y., Ohkima T. Critical demension control using development end point detection for wafers with multiplayer structures // SPIE. 1991, v. 1464. -p.215-21.

137. Берндт K.C. Методы контроля толщины плёнок // Физика тонких плёнок. Т.З.-М.: Мир, 1968.-c.3-21.

138. Kennan D.W.A., Krefer M.F., Cise Р.Е., Thorquist L.A/ Film thickness mapping of advanced wafer production process // Microelectronic's manufacturing technology. 1991. Febr. P. 19-26.

139. Negren C., Crawbow J. Using develop end point detection to eliminate photo-lithografy process vation // Ibid. 1991. March. P. 24-30.

140. Игошин Ф.Ф., Кирьянов А.П., Молчанов В.П. Измерение толщины тонких поглощающих слоёв феррит-гранатов // Оптика анизотропных сред. -Межвед. сб. М.: изд-во МФТИ, 1988. с.20-25.

141. Rothen A. Immologic reactios carried out at a liquid-solid interfaced // Surface Science. 1976, vol.56, N11.- p. 109-116.

142. Blodgett K.B., Langmuir I. Bult-up Films of Barrium Stearate and Their Opt-cal Properties //Phys.Rev. 1937, vol.51, № 11. - p. 964-982.

143. Poste G., Moss C. The study of surface reactions in biological systems by el-lipsometry // Progress in surface science. 1972, vol.2. - p.139.

144. Vroman L., Adams A.L. Finding with the recording ellipsometer suggesting rapid exchange of specific plasma proteins at liquid solid interfaces // Surface Science.-1969, vol.16.-p.43 8.

145. Basic Immunology / ed. E.R.Gold and D.B.Peacock, Wright, Bristol, 1970.

146. Тибилов A.C., Кулик E.C. Импульсный эллипсометр с электрооптической модуляцией // Эллипсометрия метод исследования поверхности. - Новосибирск: Наука, 1983. - с.153 - 155.