Исследование и разработка технологии диффузионной сварки сегнетомягкой пьезокерамики с металлами тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.03.06, кандидат технических наук Прокопьев, Сергей Викторович

• Прокопьев, Сергей Викторович
• кандидат технических наук
• 2003

Оглавление диссертации кандидат технических наук Прокопьев, Сергей Викторович

Введение

1 .Состояние вопроса, цели и задачи исследования

1.1 .Изготовление пьезокерамических элементов.

1.2. Изготовление пьезоэлектрических датчиков.

1.3. Взаимодействие керамических и металлических материалов в твердой фазе.

1.4. Диффузионная сварка. 24 1.5.3ащитные среды, используемые при сварке. 27 1.6. Поляризация пьезокерамики. 29 Выводы. Задачи работы 34 2. Методы исследования. Оборудование и применяемые материалы 37 2.1 .Установка для диффузионной сварки.

2.2. Приспособление и нагреватель для сварки образцов-имитаторов

2.3. Пьезокерамика ЦТСНВ

2.4.1.Медь Ml.

2.4.2.Железосодержащие сплавы

2.5. Подготовка образцов к сварке

2.6. Определение граничных условий основных параметров сварки и поляризации.

2.7. Планирование и проведение экспериментов 59 2.9. Методы исследований диффузионного соединения ЦТСНВ-1+медь

2.9.1. Металлографические исследования

2.9.2. Микрорентгеноспектральный анализ зоны соединения

2.9.3. Рентгеноструктурный анализ

2.9.4. Термографические исследования

2.10.Основные пьезоэлектрические параметры пьезопреобразователей и их измерение.

2.11. Контроль качества диффузионных соединений пьезокерамики с металлами.

2.12. Методы и оборудование для испытания механических свойств сварных соединений пьезокерамики с металлами 80 Выводы по разделу

3. Влияние технологических параметров сварки на качество изготовления пьезодатчиков. Исследование физико-химических процессов взаимодействия пьезокерамики ЦТСНВ-1 с медью

3.1. Влияние технологических параметров сварки на прочность сварного соединения.

3.2. Металлографический анализ соединения пьезокерамики ЦТСНВс медью М-1.

3.3. Микроренгеноспектральный анализ зоны соединения пьезокерамики ЦТСНВ-1 с медью

3.4. Термографический анализ соединения пьезокерамики с медью.

3.5. Влияние защитной среды в сварочной камере на стехиометрический состав пьезокерамики. Микрорентгеноструктурный анализ поверхностного слоя пьезокерамики.

4. Повышение прочности соединения пьезокерамики с металлом

4.1. Уменьшение остаточных сварочных деформаций.

4.2. Влияние режимов поляризации на пьезоэлектрические характеристики датчиков 115 Выводы по экспериментальной части

5. Разработка технологического процесса и оборудования для диффузионной сварки пьезопреобразователей 122 5.1. Технологический процесс диффузионной сварки пьезопреобразователей

5.2. Приспособление для диффузионной сварки пьезопреобразователей.

5.3. Устройство для поляризации пьезокерамики.

6.4. Уст] Заключение 135 Список используемой литературы 137 Приложения

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование и разработка технологии диффузионной сварки сегнетомягкой пьезокерамики с металлами»

Применение пьезокерамических элементов на основе сегнето - и пьезома-териалов открывает широкие перспективы в различных областях науки и техники. Пьезокерамические элементы, как элементы функциональной электроники- используются в радиоэлектронике, устройствах автоматики, вычислительной, измерительной и медицинской технике. Развитие этого нового научно-технического направления привело к созданию высокоэффективных пьезоэлек-тронных источников высокого и низкого напряжения, пьезоприводных устройств широкого назначения с поступательным, вращательным и сложным видом движений; пьезокерамических матриц и запоминающих устройств. Применение пьезоэлементов эффективно и вместе с тем достаточно просто решает многие проблемы измерения различных физических величин электрической и неэлектрической природы. Пьезоэлементы также широко используют в качестве экономичных преобразователей энергии сигналов в системах различного назначения.

Основой создания различных по функциональному назначению пьезоэлементов являются эффекты и явления пьезоэлектрической среды, составляющие базу для интеграции функции. Пьезоэлектрические эффекты эквивалентны множеству взаимосвязанных между собой элементных компонентов, за счет чего можно значительно уменьшить массогабаритные показатели устройств, снизить их стоимость и повысить надежность. Пьезокерамические элементы и устройства являются твердотельными, могут быть выполнены в объемном, плоском и интегральном видах и характеризуются высокой помехазащищенностью, малым уровнем собственных шумов, повышенной радиационной стойкостью, технологичностью изготовления [1].

Широкое использование пьзокерамических материалов в ответственных узлах сдерживается в настоящее время отсутствием надежных методов их соединения с металлами. В связи с этим особое значение приобретает задача получения надежного соединения пьезокерамики с металлами при сохранении исходных электроакустических и механических свойств.

Применяемые в настоящее время методы соединения металлов с пьезоке-рамикой пайкой и склеиванием не в полной мере удовлетворяют требованиям, предъявляемым к пьезопреобразователям, поскольку используемые промежуточные вспомогательные материалы (клеи, флюсы, припои) значительно снижают рабочие характеристики пьезопреобразователей.

Перспективным направлением для получения соединений пьезокерамики с металлами являются технологии на основе диффузионной сварки [2, 3].

Целью диссертационной работы является разработка технологии диффузионной сварки сегнетомягкой пьезокерамики с металлами, обеспечивающей высокопрочное неразъемное их соединение и сохранение пьезосвойств, удовлетворяющих требованиям пьезопреобразователей различного назначения.

Методы исследований:

При проведении экспериментальных исследований сваренных образцов применялись теоретические и экспериментальные методы исследований, включающие рентгеноструктурный, микрорентгеноспектральний, металлографический и термографический анализы. Использовались стандартизированные методы испытаний механических свойств соединений и пьезоэлектрических характеристик пьезопреобразователей. Использовался метод математического планирования эксперимента.

Научная новизна работы:

1. Исследованы физико-химических процессов на границе раздела свариваемых материалов. Установлено, что увеличение диффузионного массооб-мена оказывает противоположное влияние на конечное качество пьезопреобра-зователя - увеличивает прочность сварного соединения и одновременно ухудшает пьезоэлектрические характеристики. Определены оптимальные условия протекания процесса диффузионной сварки сегнетомягкой пьезокерамики с металлами, которые позволяют обеспечить необходимые прочностные и пьезоэлектрические характеристики пьезопреобразователей.

2. Установлено, что реакции взаимодействия между пьезокерамикой и медью, необходимые для образования соединения протекают в интервале температур 1033. 1133 К и формируют переходную зону от 10 до 60 мкм. Рассчитанные коэффициенты диффузии позволили определить соотношения степени влияния технологических параметров сварки на скорость диффузии Си, Ti и Zr, формирующих переходную зону.

3. Установлено влияние на механическую прочность соединения температуры, давления и времени выдержки, которое количественно описывается полученным уравнением регрессии.

4. Исследовано влияние вакуума и защитных сред на свойства поверхностного слоя пьезокерамики и определено, что сварка в среде аргона позволяет сохранить ее исходный фазовый состав.

5. Предложен и экспериментально обоснован способ диффузионной сварки с наложением электрических полей в период формирования соединения, позволяющий повысить прочность соединения пьезокерамики с металлом.

Практическое значение работы:

1. Разработан производственный технологический процесс изготовления пьезопреобразователей с получением соединений металл - сегнетомягкая пье-зокерамика (ЦТСНВ-1+29НК (обмедненный) методом диффузионной сварки, позволяющий создавать новые перспективные конструкции пьезопреобразователей.

2. Разработан способ неразрушающего контроля качества диффузионной сварки пьезокерамики с металлом, основанный на контроле и сравнении пьезоэлектрических характеристик сваренного и эталонного образцов.

3. Разработано оборудование и технологическая оснастка, позволяющие осуществлять технологический процесс диффузионной сварки металла с пьезо-керамикой, снимать остаточные напряжения в пьезопреобразователях и производить их поляризацию.

4. Создана и испытана технологическая оснастка для изготовления пье-зодатчиков стержневого типа с созданием сварочного давления за счет разности температурных коэффициентов линейного расширения (TKJTP) свариваемых материалов и элементов приспособления, что позволяет проводить диффузионную сварку в обычных печах с контролируемой средой.

Результаты диссертационной работы внедрены на предприятиях п/я Г -4367, НПО ПМ и ЛФ НИИ «Импульс», а также предложены к внедрению на предприятии Сибирский научно исследовательский институт технологии машиностроения и в Независимом инженерном центре технической диагностики, экспертизы и сертификации "Регионтехсервис" (г. Красноярск).

Результаты исследований используются в учебном процессе СибГАУ при изучении дисциплин «Специальные методы сварки» и «Специальные технологии диффузионной сварки», а также включены в методические указания по курсовому и дипломному проектированию для студентов специальности «Оборудование и технология сварочного производства».

Апробация работы:

Результаты работы обсуждались на Всесоюзных конференциях по диффузионному соединению металлических и неметаллических материалов (г. Москва, 1984, 1987, 1991 гг.). Международной научно - технической конференции "Ультразвук в технологии машиностроения 91" ( г. Архангельск, 1991 г.), Всероссийской с международным участием научно - технической конференции по перспективным путям развития сварки и контроля - "Сварка и контроль - 2001" (г. Воронеж, 2001 г.). Всероссийской научной конференции, посвященной памяти Генерального конструктора ракетно - космических систем академика М. Ф. Решетнева, проводимой в составе первого Международного Сибирского Авиакосмического салона "САКС - 2001" (г. Красноярск, 2001 г.), на конференциях и семинарах в СибГАУ.

Работа демонстрировалась на всероссийской выставке Минвуза РСФСР, ВДНХ СССР "Машиностроительная технология - 87" и была награждена за актуальность, новизну, теоретическую и практическую ценность дипломом первой степени.

Публикации:

По теме диссертации опубликовано 41 научная работа, в том числе получено 4 авторских свидетельства.

Структура и объем:

Диссертация состоит из введения, пяти глав, выводов по работе, списка используемой литературы и приложения. Общий объем работы 146 машинописных страниц, в том числе 41 рисунок, 9 таблиц. Список литературы включает 97 наименований использованных литературных источников.

Заключение диссертации по теме «Технология и машины сварочного производства», Прокопьев, Сергей Викторович

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

1. Предложена и экспериментально исследована технология изготовления пьезоэлектрических преобразователей из сегнетомягкой пьезокерамики с применением диффузионной сварки, обеспечивающая получение изделия с заданными свойствами. Разработаны методики проведения экспериментов.

2. Исследовано влияние технологических параметров процесса сварки и параметров поляризации на механические и пьезоэлектрические характеристики пьезопреобразователей. Установлена зависимость механической прочности сварного соединения и пьезоэлектрических характеристик пьезопреобразователей от величины переходной зоны между пьезокерамикой и медью. Определен механизм формирования переходной зоны.

3. Исследовано влияние защитной среды на изменение фазового состава поверхностного слоя пьезокерамики. Выявлено, что при нагреве в вакууме на поверхности пьезокерамики в слое ~ 0,5 мм происходит частичное разложение фазы Pb2(Ti,Zr)03 с образованием фаз TiZr04 и РЬТЮз, чего не происходит в среде аргона.

4. На основе математического планирования эксперимента определены и экспериментально подтверждены оптимальные режимы сварки, экспериментально получены режимы поляризации пьезопреобразователей:

Т = 1103 ± 5 К; Р = 7 ± 0,5 МПа; т = 40 ± 3 мин.

Un. = 0,35 ±0,01 МВ/м; ТН.П = 493±5К; т=15±2мин.

5. Разработаны и предложены технологические рекомендации по увеличению механической прочности соединения пьезокерамики с металлом за счет воздействия на пьезокерамику электрического поля 1,5 мВ/м, с длительностью импульсов 0,8.0,12 с и периодом следования 1,6.2,4 с в период формирования соединения, а также подбора материала и толщины металлического электрода.

6. Разработан технологический процесс диффузионной сварки сегнето-мягкой пьезокерамики ЦТСНВ-1 с обмедненным коваром 29НК, который позволил:

• повысить механическую прочность соединения пьезокерамики ЦТСНВ-1 с электродом;

• исключить применение токсичных клеев;

• получить датчики с требуемыми пьезоэлектрическими и механическими свойствами.

7. Спроектирована и изготовлена специальная оснастка для выполнения данного технологического процесса, которая позволила изготавливать пьезо-датчики как на специальном, так и на стандартном оборудовании.

8. Результаты исследований использованы на предприятии п/я Г - 4367, НПО ПМ, ЛФ НИИ «Импульс», СибНИИТМ, в независимом инженерном центре технической диагностики, экспертизы и сертификации "Регионтехсервис", в учебном процессе на кафедре «Сварка летательных аппаратов» СибГАУ.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Прокопьев, Сергей Викторович, 2003 год

1. Джогупов Р. Г., Ерофеев А. А. Пьезокерамические элементы в приборостроении и автоматике. Л.: Машиностроение, Ленинград. Отделение, 1986.-256 с.

2. Способ создания электроакустического контакта / И. С. Беляева, А. А. Свицин // Авт. св. СССР, №453199, МКИ В 23 К 11/28, 1975, Бюлл. №46.

3. Способ создания электроакустического контакта / И. С. Беляева, В. Г. Новиков, А. А. Свицин // Авт. св. СССР, №555918, МКИ В 06 В 1/06, 1977, Бюлл. №16.

4. Метелкин И. И., Павлова М. А., Поздеева Н. В. Сварка керамики с металлами. М.: Металургия, 1977. - 160 с.

5. Казаков Н. Ф. Диффузионная сварка материалов. Справочник. - М.: Машиностроение, 1986. - 184 с.

6. Глозман И. А. Пьезокерамика. М.: Энергия, 1967. - 272 с.

7. Способ поляризации пьезокерамических элементов / Н. Б. Фельдман, Т. Н. Лозгинцева // Авт.св. СССР, №182428, МКИ В 23 К 1/06, 1986, Бюлл. №11.

8. Способ поляризации пьезокерамических элементов / Л. Н. Боровикова, В. И. Москалев. Н. А. Куприянов, В. А. Исупов // Авт. св. СССР, №292218, МКИ Н 03 h/14, 1971, Бюлл. №4.

9. Кочетыгов В. В., Холопов В. С., Ибраимов Н. С. Исследование способа поляризации вблизи точки Кюри пьезоэлементов из материалов ЦТСНВ-1 и ЦТБС-3 .-Электронная техника. Сер. Радиодетали и радиокомпоненты., 1977, вып. 21211, с. 89.92.

10. Ю.Способ поляризации пьезокерамических элементов / А. А. Олейников // Авт. св СССР, № 492997, мки Н 03 h/14, 1975, Бюлл. №43.

11. П.Кочетыгов В. В., Турыкин Г. В., Холопов В. С. Опыт применения поляризации вблизи точки Кюри в производстве пьезокерамических элементов.-Электронная техника. Сер. Радиодетали и радиокомпоненты., 1982, вып. 1, с. 71.72.

12. Ротарь И. Ф., Кочетыгов В. В., Имбраимов Н. С. О возможности скоростного метода поляризации вблизи точки Кюри.-Электронная техника. Сер. Радиодетали и радиокомпоненты, 1975, вып. 5, с. 102.105.

13. Ибраимов Н. С., Кочетыгов В. В., Мотин П.Е. Влияние поляризации на деформацию и механическую прочность пьезокерамики. Известия АН СССР. Сер. Неорганические материалы, 1978, т. 14, №1, с. 116.119.

14. Металловедение и термическая обработка сталей: Справ. Изд.-З-е изд., перераб. И доп. В 3-х т. Т1. Методы испытаний и исследования / Под ред. Берштейна Л. М., Рохштадта А. Г.-М.Металлургия, 1983. 352 с.

15. Уэндлонд У. Термические методы анализа: Пер с япон. / Под ред. В. А. Степанова и В. Л.Берштейна. М.: Мир, 1978. - 526 с.

16. Поляков А. А. Технология керамических радиоэлектронных материалов. М.: Радио и связь, 1989. - 200 с.

17. П.Казаков Н. Ф., Новиков В. Г., Екимов А. И. Влияние электрического поля на качество соединения сварных соединений пьезокерамики с металлами. Автоматическая сварка, 1983, №5, с. 71-72.

18. Михеев А. А.-Диффузионные соединения. Контроль качества, испытания, исследования. М.: Стандарт, 1992, - 180 с.

19. Способ создания электроакустического контакта. / Н. С. Беляева, В. Г. Новиков, А. И. Екимов // Авт. св. СССР, № 833332, МКИ В 06 В 1/06, 1981, Бюлл. №20.

20. Новиков В. Г., Екимов А. И., Прокопьев С. В. Достижения и перспективы развития диффузионной сварки. Материалы конференции. - М.: МДНТП им. Ф. Э. Дзержинского, 1987, с. 111.

21. Бачин В. А., Красницкий В. Ф., Котельников Д. И., и др. Теория, технология и оборудование диффузионной сварки. - М.: Машиностроение, 1991.-352 с.

22. Диффузионная сварка материалов. / Под ред. Н. Ф. Казакова. М.: Машиностроение, 1981.-271 с.

23. Ультразвуковые пьезопреобразователи для неразрушающего контроля. / Под общ. ред. И. Н. Ермолова. М.: Машиностроение, 1986. - 280 с.

24. Поляков А. А. Технология керамических радиоэлектронных материалов. М.: Радио и связь, 1989. - 200 с.

25. Жуков В. Я. Технология производства радиоаппаратуры. М.: Гос-энергоиздат, 1959. - 168 с.

26. Казаков Н. Ф. Диффузионная сварка материалов. М.: Машиностроение, 1976.-312 с.

27. Каракозов Э. С. Соединение металлов в твердой фазе. М.: Металлургия, 1976. - 264 с.

28. Красулин Ю. JI. Взаимодействие металла с полупроводником в твердой фазе. М.: Наука, 1971. - 119 с.

29. Шоршоров М. X., Дрюнин С. С. Кинетика соединения материалов в твердой фазе. Физика и химия обработки материалов, 1981, №1. с.75-85.

30. Булгаков Т. И. Реакции в твердых телах. М.: МГУ, 1972. - 76 с.

31. Третьяков Ю. Д. Твердофазные реакции. М.: Химия, 1978. - 359 с.

32. Метелкин И. И., Павлова М. А. "Электронная техника". Сер 1. 1972, вып. 5. с. 17-26 с.

33. Бачин В. А. Диффузионная сварка стекла и керамики с металлами. -М.: Машиностроение, 1986. 184 с.

34. Н. Ф. Казаков, В. Г. Новиков и др. Определение области оптимальных режимов диффузионной сварки пьезокерамики ЦТС-19 с алюминиевым сплавом Амгб // Автоматическая сварка. - 1982. - №8. - С. 24-26.

35. Способ поляризации пьезоэлектрических материалов / О. П. Крамаров, А. И. Секалло, В. А. Хренкин, Ю. А. Вусевкер // Авт. св. СССР, № 788230, МКИ Н 01 L 41/22, 1980, Бюлл. №46.

36. Способ изготовления пьезоэлементов / В. Г. Новиков, А. И. Екимов, Л. Г. Семичева // Авт. св. СССР, № 963573, МКИ В 06 В1/06, 1982, Бюлл. №37.

37. Методические рекомендации по планированию эксперимента в технологии стройматериалов/ Н. А. Сенчищев.- Урал НИИ стромкомпроект, 1973.- 183 с.

38. Новиков В. Г., Прокопьев С. В., Фаворская М. Н. Исследование и разработка технологических процессов диффузионной сварки и поляризации пьезокерамических блоков. Отчет по хоз. договору, № Гос. регистрации 01.89.0013493. - Красноярск, 1989. - 115 с.

39. Способ получения сварного соединения / В. Г. Новиков, А. И. Екимов, С. В. Прокопьев, Н. С. Беляева // Авт. св. СССР, № 1139598, МКИ В 23 К 28/00, 1985, Бюлл. №6.

40. Способ создания пьезоакустического контакта / А. И. Екимов, А. Г. Черноусов, С. В. Прокопьев // Авт. св. СССР, № 1527747, 1989.

41. ГОСТ 12370-80 Материалы пьезокерамические. Методы испытаний. М. 1980.

42. Федченко Е. Д., Веригина 3. С., Фомичев В. А. Исследование микроструктуры сегнетокерамики марки ЦТС-19. Неорг. материалы, 1972, т. 8, №5, с. 904-907.

43. Способ уменьшения остаточных сварочных деформаций / М. Б. Жуков, Л. В. Карасева // Авт. св. СССР, № 580965, МКИ В 23 К 28/00, 1977, Бюлл. №43

44. Способ уменьшения остаточных деформаций и напряжений при сварке / Л. С. Канель, Л. А. Сивков // Авт. св. СССР, № 539713, МКИ В 23 К 28/00, 1976, Бюлл. №47.

45. Ренне В. Т., Электрические конденсаторы. М.: Госэнергоиздат, 1947.-210 с.

46. Новиков В. Г., Екимов А. И., Прокопьев С. В., Семичева JI. Г. Исследование и разработка технологии диффузионной сварки пьезокерамики с металлами. Отчет по хоз. договору, № Гос. регистрации 7506103О.Красноярск, - 1983. 94 с.

47. Krumhellen A., Renaut Paul W., Ferroelektric Ceramics. Sylvania Tech-nol, 1960, V.3, №13, p. 82-89.

48. Froemel I. G. IRE, National Convention Record, 1957, p. 9, 28-35. 49.0кадзаки К. Технология керамических диэлектриков. М.: Энергия,1976.-336 с.

49. Глозман И. А. Пьезокерамика. М.: Энергия, 1972. - 288 с.

50. Способ создания электроакустического контакта / Н. С.Беляева, А. А.Свицын // Авт. св. СССР, № 453199, 1975, Бюлл. №46.

51. Пат. 2127236 СССР, МКИ 6С04 В37/02. Способ клееносборного соединения керамики и металла / А. Н. Тарасов, Ю. М. Горбачев, Н. А. Масленников, А. М. Кузин. №96116591; Заявлено 13.08.96; Опубл. 10.03.99, Бюлл №7.

52. Способ изготовления пьезокерамических блоков / А. Г. Кадученко, В. М. Грабовский // Авт. св.СССР, № 871844, 1981, Бюлл. №38.

53. А.С. 1672690 / А. А. Суслов, Л. Л. Благутина

54. Способ соединения керамики с металлом / Н. Я. Диденко, А. Л. Шапиро, И. Н. Сергеев // Авт. св. СССР, № 1807042, МКИ 5С04 В37/02, 1993, Бюлл. №13.

55. Пат. 2041776. СССР, МПК 6В23 К1/00. Способ пайки керамики с металлом/ Ю. Э. Паэранд, В. А. Кулик. №5040092/08; Заявлено 27.04.92; Опубл. 20.08.95, Б.И.№23.

56. Способ соединения деталей / А. Я. Каждан // Авт. св. СССР, № 485095, МКИ С04Ь 37/00, 1975, Бюлл. №35.

57. Способ пайки керамики с металлом / А. Я. Чеботарев, Ф. Д. Каминский, С. Н. Котов // Авт. св. СССР, № 795784, МКИ В23К 1/12; В23К 35/38, 1981, Бюлл. №2.61.A.c.N 1688754

58. Преснов В. А., Любимов М. Д., Строганова В. В. Керамика и ее спаи с металлом в технике. М.: Атомиздат, 1969. - 232 с.63 .Гельман А. С. Основы сварки давлением. М.: Машиностроение, 1970. -312 с.

59. Седых В. В., Соннов А. П. // Физика и химия обработки материалов. -1970.-№2.-С. 6-13.

60. Николаев Г. А., Ольшанский Н. А. Специальные методы сварки. М.: Машиностроение, 1975. - 232 с.

61. Красулин Ю. JI. Взаимодействие металла с полупроводником в твердой фазе. М.: Наука, 1971. - 120 с.

62. Тосио Эндзе. Влияние окисных пленок на начальной стадии процесса соединения при диффузионной сварке // Есэцу гаккайси. 1982. - Т. 52.- №3. С. 272-279.

63. Палацкий А. И. Техническая керамика. М.: Госэнергоиздат, 1959. -176 с.

64. ГОСТ 13927-80. Материалы пьезокерамические. Технические условия.- М.: Изд-во стандартов, 1980. 10 с.

65. Эспе В. Технология электровакуумных материалов: Пер. с нем. М.: Энергия, 1968. - Т. 1-2.

66. Соловьева Н. А., Юдкевич М. И., Пастернак И. И., Короткова Т. Г. // Вопросы радиоэлектроники. 1963. - Сер. 4. - вып. 9. - С. 97-107.

67. Налимов В. В. Теория эксперимента. М.: Наука, 1971. - 208 с.

68. Адлер Ю. П., Маркова Е. В., Грановский Ю. В. Планирование эксперимента при поиске оптимальных условий. М.: Наука, 1976. - 280 с.

69. Биркс JI. С. Рентгеновский микроанализ с помощью электронного зонда. Пер. с англ. / Под ред. К. И. Нарбутта. М.: Металлургия, 1966. -264 с.

70. Горелик С. С., Расторгуев JI. Н., Скаков Ю. А. Рентгенографический и электроннооптический анализ. М.: Металлургия, 1970. - 368 с.

71. Бокий Г.Б., Порай-Кошиц М. А. Рентгеноструктурный анализ. 2-е изд. -М.: Изд. Московского ун-та, 1964, Т. 1.

72. Кристаллография, рентгенография и электронная микроскопия / Я. С. Уманский, Ю. А. Скаков, А. Н. Иванов, JI. Н. Расторгуев. М.: Металлургия, 1982. - 632 с.83 .Михеев А. А. Композиционные диффузионные соединения. М.: СИП РИА, 1998.- 112 с.

73. Процессы взаимной диффузии в сплавах / И. Б. Боровский, К. П. Гуров и др. М.: Наука, 1973. - 359 с.

74. Левин Б. Е., Третьяков Ю. Д., Летюк Л. М. Физико-химические основы получения, свойства и применение ферритов. М.: Металлургия, 1979. - 472 с.

75. Уэндланд У. Термические методы анализа: Пер. с япон. / Под ред. В. А. Степанова В. Л. Берштейна. М.: Мир, 1978. - 526 с.

76. Kohler G., Vester J., Fischer В. Diffusionsschweiben von Pie-zokeramiken.// Wiss. Koll. TH Hmenau. 1983. - C. 13-15.

77. Яффе Б., Кук К., Яффе Г. Пьезоэлектрическая керамика. М.: Мир, 1974.-288 с.

78. Павлов В. С., Турков С. К., Бессонова Э. Н. Влияние концентрации точечных дефектов на внутреннее трение поликристалического циркона-та-титаната свинца // Физика твердого тела. -1971.-Т. 13.- Вып. 3. -С.897-900.

79. Бокштейн Б. С. Диффузия в металлах. М: Металлургия, 1978. - 248 с.

80. Практическая металлография. Методы изготовление образцов. Вашуль X.: Пер. с нем. М.: Металлургия, 1988. - 320 с.

81. Панченко Е. В., Скаков Ю. А., Криляр Б. И. и др. Лаборатория металлографии. М.: Металлургия, 1965. - 440 с.

82. Устройство для автоматического регулирования температурного режима процесса диффузионной сварки // Информ. листок № 263-85. -Красноярск: ЦНТИ. 1985. 2 с.

83. ГСП. Прибор автоматический следящего уравновешивания КСП 4. паспорт.

84. Вакуумметр ионизационно термопарный. Паспорт. - М.: В/О "Маш-приборинторг", 1984. - 48 с.

85. Лямин Я. В., Мусин Р. К. Напряженно деформированное состояние металлических прокладок при сварке давлением керамических материалов // Сварочное производство. - 1999. - № 4 - С.3-5.