Исследование и разработка приборов контроля на основе бесконтактного линейного электроемкостного первичного измерительного преобразователя микроперемещений тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.13, кандидат технических наук Чепуштанов, Александр Александрович

• Чепуштанов, Александр Александрович
• кандидат технических наук
• 2000

Оглавление диссертации кандидат технических наук Чепуштанов, Александр Александрович

Введение.

Глава первая. ХАРАКТЕРИСТИКА СОСТОЯНИЯ И ОСНОВНЫХ

НАПРАВЛЕНИЙ РАЗВИТИЯ МЕТОДОВ И СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЯ МИКРОПЕРЕМЕЩЕНИЙ И ПОСТАНОВКА ЗА,ДАЧ ИССЛЕДОВАНИЙ.

1.1. Краткий обзор существующих методов и средств измерения микроперемещений и выбор направления исследований.

1.2. Краткий обзор бесконтактных трехэлектродных емкостных средств измерения микроперемещений заземленных поверхностей и постановка задач исследований.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование и разработка приборов контроля на основе бесконтактного линейного электроемкостного первичного измерительного преобразователя микроперемещений»

В современном производстве наличие и качество средств контроля в значительной мере определяет производительность труда, качество и надежность выпускаемой продукции, поэтому их количество возрастает. Как отмечено на европейской конференции «Евросенсор - IV», только в странах Западной Европы было выпущено около 3000 типов датчиков на сумму 8 млрд. германских марок в год.

Значительную часть производственных задач контроля составляет контроль линейно-угловых величин [1].

Так как в приборах контроля микроперемещений преобразование информации обычно производится в одном направлении, то их обобщенную структурную схему можно представить в виде последовательно включенных первичного измерительного преобразователя и измерительного устройства. Поэтом}' разработка приборов контроля линейно-угловых перемещений и, в частности, микроперемещений, включает в качестве первого звена получение первичной измерительной информации о параметрах технологического процесса.

Приходится констатировать, что из всей цепочки получения, обработки и использования информации до сих пор наиболее слабым остается именно это первое звено. Первичные измерительные преобразователи, в отличие от остальной части средств измерений, работают при повышенной вибрации, в агрессивных условиях, при больших колебаниях температуры и влажности. Поэтому около 80% отказов средств измерений происходит из-за выхода первичных измерительных преобразователей из класса точности [50]. На фоне бурного развития средств обработки и использования информации (вычислительной техники, кибернетики, робототехники и т.п.) отставание в разработке первичных измерительных преобразователей особенно заметно. Конечно, успехи в создании вычислительных устройств, в особенности широкое внедрение микропроцессорных комплексов, в определенной мере могут способствовать улучшению характеристик первичных измерительных преобразователей (линеаризация, периодическая поверка и коррекция передаточных характеристик, реализации совокупных и совместных измерений и т.д.). Однако этим путем вряд ли возможно решить упомянутую проблему совершенствования приборов контроля микроперемещений [2].

Перспективным направлением следует считать разработку и широкое внедрение в приборах контроля таких первичных измерительных преобразователей (далее первичных преобразователей), которые основаны на простых, хорошо изученных физических принципах, на принципиально линейных зависимостях «вход-выход», инвариантных по своей природе к влиянию неблагоприятных внешних воздействий, легко поддающихся расчету и воспроизведению, в том числе при массовом и серийном производстве, совершающих минимальное число измерительных преобразований в тракте, несложных в изготовлении, наладке и настройке. К числу таких перспективных устройств, пригодных для решения широкого круга задач контроля микроперемещений, можно отнести емкостные первичные преобразователи [2].

Следует отметить, что большинство нерешенных задач при преобразовании линейных величин в производственных условиях связано с бесконтактными микроперемещениями заземленных поверхностей (толщина фольг и лент, форма изделий, давление веществ в трубопроводе, вибрация и деформация изделий и др.).

Емкостные первичные преобразователи делятся на два вида: двухэлек-тродные и трехэлектродные. Преимуществами трехэлектродных первичных преобразователей перед двухэлектродными являются высокая стабильность, помехоустойчивость и нечувствительность к различного рода влияющим величинам [3].

Из трехэлектродных первичных преобразователей наилучшую линейность имеет первичный преобразователь с копланарными электродами [1]. Однако этот преобразователь имеет низкую абсолютную чувствительность.

От указанного недостатка свободен первичный преобразователь, основанный на изменении краевой емкости плоского конденсатора, т.е. П-образного тервичного преобразователя, имеющий более .высокую линейность статической сарактеристики, чем первичный преобразователь, выполненный в виде плоского конденсатора, но уступающий по этому показателю первичному преобразователю с копланарными электродами [1].

Целью настоящей работы является совершенствование приборов контроля микроперемещений с использованием емкостных первичных преобразователей через аналитические исследования емкостного П-образного первичного феобразователя микроперемещений и разработка на основе этих исследований фиборов контроля с первичным преобразователем, имеющим линейную статическую характеристику.

Идея работы: к известному нелинейному П-образному первичному пре->бразователю параллельно подключается такой дополнительный емкостной юрвичный преобразователь, при котором зависимость общей емкости первич-юго преобразователя от перемещения будет практически линейной.

Для достижения поставленной цели, исходя из идеи работы, можно формулировать в настоящей работе следующие задачи:

1. Произвести анализ емкостей П-образного и дополнительного первичных преобразователей микроперемещений и выбрать условия, при которых зависимость общей емкости первичного преобразователя от перемещения линейна.

2. Рассчитать емкость дополнительного первичного преобразователя.

3. Исследовать погрешность от линеаризации (аппроксимации) статической характеристики П-образного первичного преобразователя с дополнительными электродами при номинальных значениях влияющих величин.

4. Определить выражения для емкостей и погрешностей от линеаризации первичного преобразователя с дополнительными электродами с учетом различных влияющих величин.

5. Разработать методику проектирования первичного преобразователя микроперемещений с дополнительными электродами.

6. Провести экспериментальную проверку методик расчета и проектирования первичных преобразователей.

Для решения поставленных задач применяется метод конформных преобразований и непосредственного определения напряженности поля. Экспериментальные исследований выполнялись на приборах и специально изготовленных стендах.

Научная новизна выполненных исследований и разработок заключается в следующем:

1. Методом конформных преобразований и непосредственного определения напряженности поля получена точная формула для расчета емкости модели первичного преобразователя микроперемещений с дополнительными электродами.

2. Дан анализ емкостей П-образного и дополнительного первичных преобразователей и выбраны условия, при которых их суммарная емкость характеризуется линейной зависимостью от перемещения.

3. Исследована погрешность от линеаризации статической характеристики полученного линейного преобразователя.

4. Рассчитаны емкости и погрешности приборов контроля от линеаризации первичного преобразователя с дополнительными электродами с учетом различных влияющих величин.

5. Предложена методика проектирования приборов контроля на основе линейного П-образного первичного преобразователя микроперемещений с дополнительными электродами с приведенной погрешностью 0,026%; на конструкцию первичного преобразователя получен патент.

Автор защищает:

1. Результаты теоретических и аналитических исследований линейного емкостного П-образного первичного преобразователя микроперемещений с дополнительными электродами.

2. Расчеты емкостей и метрологических характеристик линейного первичного преобразователя микроперемещений с учетом различных влияющих величин.

3. Конструкцию, технологию изготовления, расчет и разработанную методику проектирования линейного первичного преобразователя микроперемещений с приведенной погрешностью 0,02% в приборах контроля.

Практическая ценность приведенной научно-исследовательской работы:

1. Получены точные выражения и таблицы с численными значениями, позволяющие с малой погрешностью определить параметры линейного первичного преобразователя микроперемещений.

2. Разработана конструкция линейного первичного преобразователя микроперемещений с изготовлением электродов методом фотолитографии.

3. Предложенные методики расчета емкостей сложных плоскопараллельных систем могут быть использованы при расчете образцовых конденсаторов и резисторов, конструировании печатных плат, интегральных схем, электрокондуктометров и других устройств.

Реализация результатов работы. На основе разработанного линейного тервичного измерительного преобразователя микроперемещений, защищенного патентом на изобретение, Барнаульским ОКБА НПО «Химавтоматика» разработаны, изготовлены и переданы Государственному оптическому институту им. ".И. Вавилова экспериментальные образцы прибора для измерения перемещений с диапазоном ± 400 мкм и приведенной погрешностью 0,1 % и с диапазоном ± 500 мкм и приведенной погрешностью 0,02 %, а НТЦ «Ангстрем» Алтай-л<ого филиала ИА РФ поставлены Выксунскому металлургическому заводу два измерителя объема (толщины) пористой металлической ленты Микрон-3 с о абсолютной погрешностью измерения 0,02 г/см .

Апробация работы. Материалы диссертационной работы докладывались я обсуждались на научно-технических семинарах кафедры «Информационные технологии» и кафедры «Теория электромагнитного поля и электроэнергосбе-эежения» Алтайского государственного технического университета им. И.И. Толзунова, докладывались на научно-технической конференции «Измерения и контроль при автоматизации производственных процессов» (г. Барнаул, 1997г.), Всероссийской научно-технической конференции «Методы и средства физических величин» (г. Нижний-Новгород, 1998г.), международном конгрессе хБиоэнергоинформатика» (г. Барнаул, 1998 г.), Международный научно-технический конференции «Датчик-98» (г. Москва), 6-й Всероссийский научно-технической конференции Московского государственного технического уни-зерситета им. Баумана (г. Москва, 1999г.), 57-й научно-технической конферен-дии АлтГТУ (г. Барнаул, 1999г.).

Работа изложена на 135 страницах машинописного текста, включая рисунки на 12 страницах, состоит из введения, трех глав, заключения, списка литературы из 115 наименований и приложений.

Во введении показана актуальность темы диссертации, сформулированы дель и задачи исследований, научная новизна работы, обоснована практическая ценность работы, отражена реализация результатов в народном хозяйстве, формулированы научные положения выносимые на защиту, приведены сведе-шя об апробации работы и публикациях, приведена структура диссертации и 1;ано краткое изложения научного материала по главам.

Актуальность сформулированной проблемы в теоретическом аспекте юдтверждается проведением исследований по планам важнейших научно-[сследовательских хоздоговорных работ, которые выполнялись на основании юстановлений Правительства с Государственным оптическим институтом гм. С.И. Вавилова и Выксунским металлургическим комбинатом.

В первой главе дан краткий анализ основных направлений развития методов и средств для измерения микроперемещений и показано, что наиболее точными средствами для бесконтактного измерения микроперемещений являются лазерные интерферометры. Емкостные приборы, уступая по точности оптическим, имеют более простую конструкцию, меньшие габариты, вес и энергопотребление, причем в них наиболее слабым звеном получения, обработки и использования информации являются первичные измерительные преобразователи. Существующие бесконтактные трехэлектродные и, в частности, П-образные первичные преобразователи, обладающие высокой стабильностью, помехоустойчивостью, повышенной абсолютной чувствительностью, имеют значительную нелинейность статической характеристики.

Во второй главе методом конформных преобразований и непосредственного определения напряженности поля получена точная формула для расчета емкости дополнительного преобразователя, рассчитаны на ЭВМ их численные значения. В результате анализа емкостей П-образного и дополнительного преобразователей определены условия, при которых емкость П-образного преобразователя с дополнительными электродами в зависимости от перемещения характеризуется третьим порядком малости. Проведено исследование погрешности от линеаризации статической характеристики предложенного линейного преобразователя методом наименьших квадратов при номинальных значениях влияющих величин; определены емкости и погрешности от линеаризации предложенного преобразователя с учетом различных влияющих величин.

В третьей главе предложена конструкция преобразователя с современной технологией изготовления, дан расчет и разработана методика проектирования преобразователя, проведены экспериментальные исследования методик расчета, проверено соответствие расчетных моделей реальным конструкциям преобразователей, которые подтвердили правильность полученных в данной работе теоретических результатов, приведен краткий обзор разработанных средств измерения микроперемещений.

Заключение диссертации по теме «Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий», Чепуштанов, Александр Александрович

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ

1. Краткий анализ основных направлений развития методов и приборов энтроля микроперемещений показал, что емкостные приборы, уступая по точ-ости лазерным интерферометрам, имеют более простую конструкцию, еньшие габариты, вес и энергопотребление.

2. В емкостных приборах контроля наиболее слабым звеном получения, бработки и использования информации являются первичные измеритель-ые преобразователи; существующие бесконтактные трехэлектродные и, в ча-гности, П-образные первичные преобразователи, обладающие высокой ста-ильностью, помехоустойчивостью, повышенной абсолютной чувстви-ельностью, имеют значительную нелинейность статической характеристики.

3. Методом конформных преобразований и непосредственного определе-ия напряженности поля получена точная формула для расчета емкости допол-ительного преобразователя, рассчитаны на ЭВМ ее численные значения.

4. В результате анализа емкостей П-образного и дополнительного преобра-ователей показано, что при достаточно большой высоте 2к потенциальных лектродов по сравнению с расстоянием 21 между ними и отношении длин низ-опотенциальных электродов указанных преобразователей равным 0,5 пре-;ельная нелинейность общей (суммарной) емкости П-образного преобразовате-я с дополнительными электродами в зависимости от перемещения с/ характе-»изуется третьим порядком малости.

5. Исследование погрешности от линеаризации статической характе-»истики предложенного линейного преобразователя, проведенное методом тименыних квадратов при номинальных значениях влияющих величин, пока-ывает, что при отношении /?// =1 и ёП =(0,18 - 0,28) преобразователь имеет тилучшие метрологические характеристики: абсолютную чувствительность

2 = 7,9 пф/м, относительную чувствительность ^ =1,5 и предельную

97 погрешность Ас1/с1= 0,021%.

6. Определены выражения для расчета емкостей и оценены погрешности от линеаризации предложенного преобразователя с учетом различных влияющих величин: а) высоты потенциальных электродов и расстояния между ними; б) ширины потенциальных электродов; в) потенциальных электродов разной высоты; г) смещения потенциального электрода; д) скругления краев электродов; е) высоты экрана; оценено влияние зазоров между потенциальными электродами и экранами на емкость преобразователя.

7. Предложена конструкция преобразователя с изготовлением электродов методом фотолитографии, дан расчет и разработана методика проектирования приборов контроля микроперемещений с приведенной погрешностью равной 0,026 %.

8. Проведены экспериментальные исследования соответствия расчетных моделей реальным конструкциям преобразователей, которые подтвердили правильность полученных в данной работе теоретических результатов.

9. На основе разработанного линейного преобразователя, защищенного патентом на изобретение, Барнаульским ОКБА ПОЛО «Химавтоматика» и НТЦ «Ангстрем» Алтайского филиала ИЛ РФ разработаны, изготовлены и переданы Государственному оптическому институту им. С.И. Вавилова экспериментальные образцы приборов для измерения микроперемещений с приведенными погрешностями 0,02 и 0,1%, а Выксунскому металлургическому комбинату -два измерителя объема пористой металлической ленты.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Чепуштанов, Александр Александрович, 2000 год

1. Горбова Г.М. Исследования и разработка бесконтактных трехэлектрод-ных емкостных первичных измерительных преобразователей микроперемещений: Дисс. к-татехн. наук: 05.11.13. - Защищена 25.12.93; Утв. 8.04.94

2. Гриневич Ф.Б., Новик А.И. Измерительные компенсационно-мостовые устройства с емкостными датчиками. Киев: Наукова думка, 1987. - 112 с.

3. Грохольский A.JI., Никулин В.И. О перспективах применения ёмкостных датчиков // Автометрия -1967.- № 1.- С.17-22.

4. Аш Ж. и др. Датчики измерительных емкостей. М.: Мир, 1992. - 480 с.

5. Лелянов Т.Я., ЧуличкинБ.Н. Преобразователь измерительный линейных перемещений фотоэлектрический растровый (ПИЛП-ФР).- Информ. лист. ВНИИМИ,- № 82 1213.- С. 2.

6. Скрыпник С.И. Емкостные средства измерения размеров в машиностроении: Обзор,- М.: ВНИИПИ, 1986.-54 с.

7. Пташенчук Ю.А. и др. Бесконтактный контроль размеров в машиностроении." М.: Машиностроение, 1975 160 с.

8. Тарбеев Ю.В., Герасимов Н.П., Краснов К.А. и др. Проблемы квантовой метрологии малых длин // Исследования в области линейных и угловых измерений,- Л., 1983.-59 с.

9. Ramsay J.V. A rapid-scanning Fabry-Perot interferometer with automatic parallelism control //Appl. Opt.-l 962,-Vol. 1 .-P. 411-413.

10. Smeethe M.J., James J.F. An electronically controlled Fabry-Perot spectrometer // J. Phys. E: Sci. Instrum.-1971.-Vol.4.-P. 429-34.

11. Витушкин Л.Ф., Ивановская М.И., Колосницын Н.И. Лазерно интер-ферометрические гравитационно-волновые антены // Проблемы теории гравитации и элементарных частиц.- М.,1981.- С. 102-111.

12. Цейтлин Я.М. Состояние и перспективы метрологического обеспечения контроля толщины особо тонких покрытий // Дефектоскопия.-1980.- № 6,-С. 78-81.

13. Преснухин JI.H., Шаньгин В.Ф., Шаталов Ю.А. Муаровые растровые положения и их применение.- М.: Машиностроение, 1977.- 150 с.

14. Абрамова Л.Ю., Баратов В.М., Шур В.Л. Аттестация лазерных интерферометров // Измерительная техника. — 1992. № 6. — С. 16-17.

15. Ультрапрецизионное координатное устройство для производства изделий микро- и наноэлектроники / П.И. Госьков, B.C. Серегин, Е.Б. Коротков и др. // Нанотехнология, наноэлектроника и криоэлектроника: Тез. докл. I межд. конф.-Барнаул, 1992.- С. 3-5.

16. Весельев В.Н., Лизунов В.Д., Загарских С.А. Лазерная дифракционная установка для измерения малых линейных размеров // Измерительная техника. 1990.-№ 2 .- С. 19-21.

17. Госьков П.И., Якунин А.Г. Оптоэлектронные преобразователи для автоматизации производственных процессов. Барнаул: АПИ, 1986. 100 с.

18. Госьков П.И. Оптоэлектронные информационные и контрольно-измерительные системы и устройства на основе координатно-чувствительных фотоприемников (КЧФ) // Нанотехнология, наноэлектроника и криоэлектроника: Тез. докл. I межд. конф.- Барнаул, 1992. С. 3-4.

19. Зак Е.А., Кравченко Н.П. Промышленное применение волоконно-оптических датчиков // Измерительная техника,- 1991. № 12. - С. 11-12.

20. Носков В.Я. Анализ автодинного СВЧ датчика для бесконтактного измерения и контроля размеров изделий // Измерительная техника,- 1992. - № 3,-С. 24-26.

21. Приборостроение и средства автоматики / Под ред. А.Н. Гаврилова. В пяти книгах. Кн.1. М.: Гос. научн. техн. изд-во машиностр. лит-ры, 1963. -568 с.

22. Евстигнеев В.В., Горбова Г.М., Хомутов О.И. Параметрические первичные измерительные преобразователи.- М.: Высшая школа, 1997.- 181с.

23. Гриневич Ф.Б., Левицкий А.С., Сурду М.Н. Прецизионные измерители перемещений емкосин.- Киев, 1987.- 44 с. (Препринт ИЭД АН УССР; № 493).

24. Ахметжанов А.А. Высокоточные системы передачи угла автоматических устройств. М.: Энергия, 1975.- 282 с.

25. Бычатин Д. А., Гольфман И .Я. Поворотный индуктосин,- Д.: Энергия, 1969. 100 с.

26. Брагинский В.Б., Полнарев А.Г. Удивительная гравитация (или как измеряют кривизну мира). М.: Наука, 1985. - 160 с.

27. Jones R.V., Richards J.C. The design and some applications of sensitive capacitance micrometers // J. Phys. E:Sci. Instrum.-1973.-Vol.6, № 7.- P. 589-676.

28. Gladwin M.T., Wolfe J. Linearity of capacitance displacement transducer // J. Rev. Sci. Instrum.-1975.-Vol.46, № 8.- P. 1099-1100.

29. Ono sokki. Non-contact thickness metters. Tokio: ONO SOKKI CO. LTD., 1986,-12 p.

30. Huang S.M., Stott A.L.,Green R.G., Beck M.S. Electronic transducers for industrial measurement of low value capacitances /7 J. Phys. E: Sci. Instrum.-1988.-Vol.21, № 4.- P. 242-250.

31. Schaible B. Entwicklung eines kapa-zitiven wegaufnehmers zur untersuchung von Fugenverbindungen // J. Indusrie-Anzeiger.-1975.-Vol.26, № 95.-P. 2026-2027.

32. Schaffer G. A new look at inspectation // J. American Machinist.-1979.-№ 8.-P. 103-126.

33. А.с. 1725070 СССР, МКИ5 в 01 В 7/00. Емкостный датчик микроперемещений / В.Г. Панов (СССР).- № 4822394/28; Заявлено 22.03.90.

34. А.с. 1768942 СССР, МКИ5 С 01 В 7/14. Емкостный измерительный преобразователь /В.П. Ананьев (СССР).- № 4749221/28; Заявлено 16.10.89.

35. А.с. 777400 СССР, МКИ3 в 01 В 7/00, в 01 В 7/30. Емкостный датчик / Л.П. Ульянов (СССР).- № 2708324/18-28; Заявлено 29.12.78; Опубл. 07.11.80, Бюл. № 41.

36. Пат. 2023847 Великобритании, МКИ2 С 01 В 7/12, 1978.

37. Пат. 3812424 США, МКИ4 в 01 В 7/00, 1991.

38. Пат. 2334089 Франции, МКИ3 О 01 В 7/30, 1982.

39. Пат. 2454084 Франции, МКИ3 в 01 В 7/00, 1984.

40. Пат. 2494835 Франции, МКИ3 в 01 В 7/02, 1985.

41. Пат. 1914045 ФРГ, МКИ2 в 01 В 7/00, 1978.

42. Пат. 2137545 ФРГ, МКИ2 0 01 В 7/12, 1980.

43. А.с. 273336 СССР, МКИ О 01 Г 27/26. Емкостный одностронний датчик для исследования твердых диэлектрических материалов / Э.В. Кузьмин (СССР).- № 1291764/18-10; Заявлено 23.12.68; Опубл. 15.06.70, Бюл. № 20.

44. Фот В.П., Горбова Г.М. Измеритель отклонения толщины металлической ленты ИТЛ 2. // Информ. лист. Алт. ЦНТИ. - № 440 - 93. - С. 2.

45. Лежоев Р.С. Расчет емкостей датчиков с плоскопараллельными электродами // Техническая электродинамика 1989. - № 3. - С. 107-110.

46. Горбова Г.М. Расчет частичной емкости трехэлектродного первичного измерительного преобразователя с плоскопараллельными электродами // Электромеханика. 1996. - № 1 -2. - С. 11-14.

47. Евстигнеев В.В., Хомутов О.И., Горбова Г.М. Расчет и проектирование бесконтактного емкостного измерителя микроперемещений // Ползуновский Альманах. 1999,- №2. С. 45-58.

48. Горбова Г.М. Расчет емкости, электрической и магнитной проводимо-стей плоскопараллельных систем.- Барнаул: изд-во АлтГТУ, 1996,- 40 с.

49. А. с. 1755034 СССР, МКИ в 01 В 7/00. Емкостный датчик перемещений / П.И. Госьков, Г. М. Горбова (СССР). № 4811010/28; Заявлено 07.02.90; Опубл. 17.10.90, Бюл. № 235.

50. Горбова Г.М. Аналитические исследования статических характеристик емкостного первичного измерительного преобразователя перемещений // Нанотехнология, наноэлектроника и криоэлектроника: Тез. докл. I межд. конф,- Барнаул, 1992. С. 67-68.

51. Госьков П.И., Горбова Г.М. Расчет емкостного первичного преобразователя микроперемещений плоской заземленной электропроводной поверхности // Измерение и контроль при автоматизации производственных процессов: Тез. докл.-Барнаул, 1991.-С. 129-130.

52. Горбова Г.М. Измеритель влажности микрокристаллической целлюлозы // Информ. лист. АлтЦНТИ. № 149-95. - С. 2.

53. Горбова Г.М. Расчет емкости копланарного первичного преобразователя для измерения микроперемещения // Измерение, контроль и автоматизация производственных процессов: Материалы IV междун. конф.- Барнаул, 1997.-Ч.2.-С. 100-101.

54. Госьков П.И., Горбова Г.М. Расчет емкости первичного преобразователя микроперемещений // Нанотехнология, наноэлектроника и криоэлектроника: Тез. док. Барнаул, 1992. - С. 172-175.

55. Горбова Г.М. Емкостные приборы на основе первичных измерительных преобразователей микроперемещений // Вестн. АлтГТУ. Ползуновский альманах. 1998. -№ 1. - С. 37-38.

56. Горбова Г.М. Расчет статической характеристики трехэлектродного первичного преобразователя микроперемещений // Ползуновский Альманах.-1998,-№ 1,- С. 37-38.

57. Горбова Г.М. Расчет частичной емкости трехэлектродного П-образного первичного измерительного преобразователя микроперемещений // Электромеханика. №3,- С. 90-91.

58. A.c. 625130 СССР, МКИ2 G 01 В 7/00. Емкостный датчик микроперемещений / В.Г. Панов (СССР).- № 2362164/25-28; Заявлено 17.05.76; Опубл. 25.09.78, Бюл. №35.

59. Горбова Г.М. Расчет статической характеристики первичного измерительного преобразователя микроперемещений объектов // Биоэнергоинформа-тика: Докл. Барнаул, 1998. - С. 259-261.

60. A.c. 1334050 СССР, МКИ4 G 01 L 9/12. Устройство для измерения давления веществ в трубопроводе / А.Л. Грохольский, Д.Г. Конев, С.Д. Тарасенко и др. (СССР).- № 3006764/18-10; Заявлено 20.11.80; Опубл. 30.08.87, Бюл. № 32.

61. Горбова Г.М., Иноземцев A.M. Расчет емкости линейного перекрестного преобразователя микроперемещений // Состояние и проблемы измерений : Тез. докл. 6-ой Всеросс. НТК,- М.: 1999,- С. 22-23.

62. Горбова Г.М., Иноземцев А.М. Расчет электрической емкости одной сложной плоскопараллельной системы // 57-я НТК студентов, аспирантов и преподавателей : Тез. докл.- Барнаул, 1999.-С. 54.

63. Горбова Г.М. Расчет статической характеристики трехэлектродного первичного преобразователя микроперемещений // Вестник Ассоциации Сибирских отд-ний МАЭН.- 1999.- № 1.- С. 43-45.

64. Госьков П.И. , Горбова Г.М. Расчет статической характеристики первичного преобразователя образцового прибора для измерения микроперемещений // Оптические сканирующие устройства и измерительные приборы на их основе: Тез. докл. Барнаул, 1990. - С. 55-56.

65. Иоссель Ю.Я., Кочанов Э.С., Струнский М.Г. Расчет электрической емкости. JX: Энергоиздат. Ленингр. отд-ние, 1981.- 288 с.

66. Семёнов Ю. П. О влиянии зазоров на ёмкость конденсаторов с прямоугольным поперечным сечением. // Тр. Метрологических ин-тов,- 1976. № 154-С. 91-100.

67. Lampard D.G. A new theorem in electrostatics with applications to calculable standards of capacitance // Proc. IEEE. 1957,- Vol. 104. - P. 271-280.

68. Пат. 1564727 Великобритании, МКИ4 G 01 В 7/08, 1980.

69. А.с. 989318 СССР, МКИ3 G 01 В 7/08, G 01 В 7/14. Дифференциальный емкостный датчик перемещения / А.Л. Грохольский, С.Д. Тарасенко, А.П. Козлов (СССР).- № 3303626/25-28; Заявлено 18.06.81; Опубл. 15.01.83, Бюл. № 2.

70. Heerens W.C. The solution of Laplace's equation in cylindrical and toroidal configurations with rectangular sectional shapes and rotation symmetrical boundary conditions // J. Appl. Phys. - 1976. - Vol.47. - P. 3740-3744.

71. Heerens W.C., Cuperus B. Hommes R. Analytical formulas for toroidal cross capacitances with rectangular sectional shapes, including gap correction formulas // Delft Progr. Rep. 1979. - Vol. 4. - P. 67-81.

72. Thompson A.M. The cylindrical cross capacitor as a calculable standard // Proc. The Institution of Electrical Engineers. - 1959,- Vol. 2887 M. - P. 307-310.

73. Makow D. A new computable capacitor // Metrología. 1969. - Vol.5. - P. 126-128.

74. Makow D. A new stable capacitor and its application to the measurement of angle // Radio Sci. 1971. - Vol.6. - P. 1-5.

75. Makow D., Campbell J.B. Circular four electrode capacitors for capacitance standarts // Metrología. 1972. - Vol. 8. - P.148-155.

76. Makow D., Campbell J.B. Calculation of the capacitance of a ring capacitor of rectangular cross section with no insulating gaps // J. Of Computational Physics. -1973,-Vol. 12.-P. 137-142.

77. Справочник по математике для инженеров и учащихся ВТУЗов / Бронштейн И.Н., Семендяев К.А. М.: Наука, 1980. - 947 с.

78. Горбова Г.М., Чепуштанов А.А. Методика выравнивания статической характеристики преобразователя прямой линией // Биоэнергоинформатика: Докл. Барнаул, 1998. - С. 247-249.

79. Горбова Г.М., Чепуштанов А.А. Расчет краевой частичной емкости первичного измерительного преобразователя микроперемещений биообъектов // Биоэнергоинформатика: Докл. Барнаул, 1998. - С. 251-258.

80. Горбова Г.М., Чепуштанов А.А. Прецизионные бесконтактные электроемкостные приборы для контроля линейных перемещений.- Барнаул: АлтГ-ТУ, 2000,- 11с. (Препринт №240 2000.

81. Горбова Г. М., Чепуштанов А.А. Исследования нелинейности статической характеристики емкостного первичного измерительного преобразователямикроперемещений // Методы и средства измерений физических величин: Тез. докл. Нижний Новгород, 1998. - С. 17.

82. Горбова Г.М., Чепуштанов A.A.- Расчет погрешностей емкостного преобразователя микроперемещений // Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления: Тез. докл. Москва, 1998.-С.56.57.

83. Пат. 2147726 RU, МКИ7 GOIB7/14, G 01 Д 5/24, 2000. Емкостный первичный измерительный преобразователь линейных микроперемещений / Г.М. Горбова, A.A. Чепуштанов.

84. Горбова Г.М., Чепуштанов A.A. Аналитический расчет сверхлинейного электроемкостного преобразователя микроперемещений // Измерение и контроль при автоматизации производственных процессов: Материалы IV междун. конф.- Барнаул, 1997.- С. 23-25.

85. Горбова Г.М., Чепуштанов A.A. Влияние высоты потенциальных электродов и расстояния между ними на погрешность линейного преобразователя микроперемещений // Состояние и проблемы измерений : Тез. докл. 6-ой Всеросс. НТК.- М.: 1999.- С. 20-21.

86. Струнский М.Г., Горбов М.М. Бесконтактные емкостные микромеры.-Д.: Энергоатомиздат. Ленингр. отд-ние, 1986.- 136 с.

87. Горбова Г.М., Чепуштанов A.A. Влияние разности высот потенциальных электродов на емкость преобразователя микроперемещений //57.я НТК студентов, аспирантов и преподавателей : Тез. докл.- Барнаул, 1999.-С. 51-53.

88. Maxwell J.C.A. A treatise оп electricity and magnetism.- Oxford: The Clarendon Press, 1873.

89. Грохольский A.JT., Горбов М.М., Струнский М.Г. и др. Емкостные первичные измерительные преобразователи диаметра неизолированного микропровода//Измерения, контроль, автоматизация.- 1978.- № 2,- С. 16-23.

90. Duinker S. Short wave lenght response of magnetic reproducing heads with rounded gap edges // Phillips Research Report.- 1961 Vol. 16, № 4.-P. 307-322.

91. Elnekave N. Deux etolons calcules de capacite electrique // Bulletin d' inform. du Bureau Nat. de Metrologie. 1973. Vol. 4, № 13,- P. 3-9.

92. Струнский M. Г., Горбов M. M. Расчёт частичных ёмкостей в одной плоско-параллельной системе электродов // Электричество. 1988.- № 9.- С. 4550.

93. Snow С. Effect of clearance and displacement of attracted disk and also of a certain arrangement of conducting hoops , upon the constant of an electrometer // Bureau of Standards. J. Res.-1928,- Vol. 1, № 4.-P. 513-530.

94. Moon C., Sparks M. Standards for low values of direct capacitance // J. Res. NBS. 1948. - Vol. 41. - P. 497 - 507.

95. Lauritzen J. I. The effective area of a guarded electrode // Ann. Rep. Conf. on Electr. Insul.- 1963.-P. 67-70.

96. Семенов Ю.П. Влияние некомпланарности электродов на емкость конденсатора с охранным кольцом // Исследование в области электрических измерений. Л., 1985. - С. 34-38.

97. Iijima Т. A consideration on the guard ring width of a standard for small capacitance // Дэнки сикэнсё ихо, Bull. Electroteclm. Lab. 1956. - Vol. 20, № 5. -P. 357-361.

98. Iijima 'Г. The effect of the supporter installed in a standard of small capacitance // Дэнки сикэнсё ихо, Bull. Electrotechn. Lab. 1956. - Vol. 20, № 5. -P. 361-364.

99. Чепуштанов А.А. Бесконтактный электроемкостный прибор для контроля пористой ленты.- Барнаул: АлтГТУ, 2000,- 11с. (Препринт № 241 2000.

100. Емкостные средства измерения диаметра протяженных цилиндрических изделий и линейных перемещений / П.П. Гришин и др. // Автоматизация химических производств. М.: НИИТЭХИМ - 1989. - № 4,- С. 34-37.

101. Thomson J. J. Notes on recent researches in electricity and magnetism . -Oxford : The Clarendon Press, 1893.1301. СПРАВКА

102. Приборы прошли ведомственную метролопмескую аттестацию, в них используется емкостный линейный перв^иный ^смертельный преобразователь, разработаштьм Горбовой Г.М и Чепуштановым А А1. СПРАВКА

103. В приборах используется патент на изобретение " Емкостный первичный измерительный преобразователь линейных микроперемещений" № 2147726 RU от 20.04.00 г. авторов Горбовой Г.М. и Чепупгганова A.A.1. А.Ю. Гаврилов1. Л/ч V С* '---Л

104. УТВЕРЖДАЮ •г,^Щектор 1|ТЦ ШГСТРЕМ^1. ЛНГСГРЕЦ.1. В.М.Тищенкод.еядЩ- 11992г. '1. П Р о т о к о лведомственной метрологической:аттестацииизмерителя'объема пористой металлической ленты МИКРОН-3

105. Комиссия провела метрологическую аттестацию приборов в соответс и с техническим заданием. ,

106. Результаты проведенных испытаний 4.1*- Определение основной абсолютной погрешности/п*'б.'2.4.ТЗ/.

107. Определение основной погрешности-проводилось в соответствииетодикой приведенной зз.разделе б технического описания на прибор»1езультатн.испытаний-приведены в. табл.I