Разработка автоматизированных пьезоприводных средств определения метрологических характеристик приборов размерного контроля деталей в микрометрическом диапазоне тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.13, кандидат технических наук Вишнеков, Алексей Владленович

• Вишнеков, Алексей Владленович
• кандидат технических наук
• 2009

Оглавление диссертации кандидат технических наук Вишнеков, Алексей Владленович

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА I. АНАЛИЗ ПРОБЛЕМЫ СОЗДАНИЯ АВТОМАТИЗИРОВАННЫХ СРЕДСТВ КАЛИБРОВКИ (АСК) ПРИБОРОВ РАЗМЕРНОГО КОНТРОЛЯ В МИКРОМЕТРИЧЕСКОМ ДИАПАЗОНЕ.

1.1. Объекты, методы и эталонные средства метрологического обеспечения в области микрометрических измерений.

1.2. Анализ пьезоприводных устройств микроперемещений.

1.3. Постановка задач диссертационной работы.

Выводы по главе 1.

ГЛАВА 2. ТЕОРЕТИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК

ПРЕОБРАЗОВАНИЯ СТРУКТУРНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ И СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ ПЬЕЗОПРИВОДНЫХ АСК.

2.1. Математическое моделирование и исследование закономерностей статических характеристик преобразования.

2.2. Алгоритмическое обеспечение расчета статической характеристики пьезопривода.

2.3. Оценка погрешности воспроизведения микроперемещений в статике.

2.4. Разработка и исследование динамических характеристик разомкнутого пьезопривода.

2.5. Структурный синтез и параметрическая оптимизация системы управления АСК.

Выводы по главе 2.

ГЛАВА 3. РАЗРАБОТКА ТИПОВЫХ МОДЕЛЕЙ ПЬЕЗОПРИВОДНЫХ АСК ПРИБОРОВ РАЗМЕРНОГО КОНТРОЛЯ И РАСЧЕТ ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕМЕНТОВ.

3.1. Устройство и расчет параметров исполнительного механизма АСК.

3.2. Проектирование и расчет параметров элементов электронного блока управления.

3.2.1. Усилители высоковольтного напряжения.

3.2.2. Схема измерительного преобразователя.

3.3. Конструктивное исполнение и управление работой АСК.

Выводы по главе 3.

ГЛАВА 4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ

ХАРАКТЕРИСТИК ЭЛЕМЕНТОВ И СИСТЕМЫ.

4.1. Исследование нелинейных свойств статической характеристики пьезодвигателя.

4.2. Исследование и моделирование процесса ползучести исполнительных элементов пьезодвигателя.

4.3. Экспериментальная оценка параметров динамических характеристик исполнительного механизма АСК.

4.4. Экспериментальная оценка и нормирование метрологических характеристик типовых моделей АСК.

Выводы по главе 4.

ГЛАВА 5. РАЗРАБОТКА РЕКОМЕНДАЦИЙ ПО ПРИМЕНЕНИЮ АСК ПРИБОРОВ РАЗМЕРНОГО КОНТРОЛЯ ДЕТАЛЕЙ.

5.1. Разработка рекомендаций по поверке и калибровке измерительных преобразователей микроперемещений.

5.2. Разработка рекомендаций по контролю параметров настройки приборов размерного контроля.

Выводы по главе 5.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка автоматизированных пьезоприводных средств определения метрологических характеристик приборов размерного контроля деталей в микрометрическом диапазоне»

Перспективным направлением развития эталонной техники в области измерений размеров и перемещений является создание автоматизированных средств калибровки (АСК) приборов размерного контроля деталей, обеспечивающих определение их метрологических характеристик методом прямого воспроизведения перемещений на входе приборов по сигналу управления с нормированной точностью при высокой разрешающей способности. Применение АСК в качестве рабочих эталонов, а также средств проверки параметров настройки приборов размерного контроля позволит создавать высокопроизводительные автоматизированные поверочио-настроечные комплексы с использованием управляющих ЭВМ и микропроцессоров.

Наиболее актуальной является проблема создания АСК для приборов размерного контроля с диапазоном измерений от ± 3 мкм до ± 0,1 мм и нормированной основной погрешностью, составляющей десятые доли мкм. В соответствии с метрологическими нормами погрешность воспроизведения микроперемещений при определении метрологических характеристик приборов размерного контроля не должна превышать десятых, а в отдельных случаях и сотых долей мкм. С учетом дополнительных требований к линейности, плавности и равномерности воспроизведения микроперемещений возникают значительные трудности технической реализации автоматизированных средств, отвечающих перечисленным требованиям.

Одним из приемлемых технических решений проблемы автоматизации воспроизведения перемещений в микрометрическом диапазоне является создание АСК, выполненных на базе аналогового пьезопривода. Вместе с тем, имеется ряд факторов, ограничивающих точность и воспроизводимость микроперемещений посредством пьезопривода. Принципиальным предложением по улучшению метрологических характеристик пьезопривода является его оснащение эталонным обратным измерительным преобразователем микроперемещений. Однако, вопросы создания АСК на базе пьезопривода с обратными измерительными преобразователями требуют дальнейшего изучения, направленного на разработку эффективной структуры системы управления АСК и оптимизацию параметров ее элементов.

Действующие методики градуировки и поверки (калибровки) средств измерений размеров и перемещений с ценой деления шкалы от 1.0 мкм и более основаны на прямом измерении изменения размеров, воспроизводимых эталонными мерами с шагом дискретности 10 мкм. Для средств измерений с ценой деления шкалы 0,1; 0,2; 0,5 мкм применяют метод сличения показаний поверяемого и эталонного средств измерений путем одновременного воспроизведения на их входах изменения размера эталонными мерами более высокого разряда с шагом дискретности 1,0 мкм. Градуировка участков шкалы в пределах 1,0 мкм производится простым делением длины участка шкалы между оцифрованными метками. Необходимость применения мер чрезвычайно ограничивает производительность градуировочно-поверочных операций, делает их трудоемкими и требует высокой квалификации поверителя.

Не менее проблематичными являются вопросы настройки, а также проверки параметров настройки средств контроля размеров (приборы допускового контроля, контрольно-сортировочные устройства, приборы активного контроля). Настройка средств контроля производится, главным образом, с помощью аттестованных образцов контролируемых деталей, а проверка параметров настройки' - плавным двунаправленным контролируемым изменением размера на входе средства контроля. В последнем случае для воспроизведения изменения размера применяют клиновые приспособления, что в силу их механического устройства не снимает проблему низкой производительности. Кроме того, погрешность воспроизведения микроперемещений ограничена пределами ± 0,5 мкм, что в ряде случаев не достаточно для выполнения требований к достоверности полученных результатов.

Повышение производительности и достоверности поверочно-настроечных операций в микрометрическом диапазоне связано с решением проблемы автоматизированного воспроизведения перемещений с требуемой точностью и разрешающей способностью. Техническое решение проблемы заключается в создании высокоточного автоматизированного привода микроперемещений. Анализ метрологических требований и технических возможностей их реализации показывает, что наиболее приемлемым решением является создание автоматизированных калибраторов на базе аналогового пьезопривода линейных микроперемещений. Исполнительные элементы пьезопривода выполняются из многослойной пьезокерамики и при соответствующем выборе типоразмера и количества пьезоэлементов обеспечивают требуемый диапазон перемещений.

Высокая разрешающая способность пьезопривода, повторяемость характеристик преобразования при неизменных условиях их определения, обусловленные физической сущностью обратного пьезоэффекта, относительная простота и удобство управления с помощью электрического сигнала являются благоприятными факторами автоматизации воспроизведения микроперемещений. С другой стороны, имеется ряд факторов ограничивающих возможность применения пьезопривода для рассматриваемых целей. К их числу относятся нелинейность и многозначность статической характеристики преобразования, явление ползучести пьезокерамики, выражающееся в медленном изменении первоначально установившегося значения в течении нескольких минут, а так же временная нестабильность параметров пьезоэлементов. Именно по этой причине до настоящего времени пьезопривод не нашел своего применения для высокоточного воспроизведения микроперемещений.

Цель данной диссертационной работы — повышение производительности и достоверности операций определения метрологических характеристик приборов размерного контроля геометрических параметров деталей путем создания высокоточных АСК, выполненных на базе аналогового пьезопривода, конструктивно совмещенного с эталонным обратным измерительным преобразователем микроперемещений.

В работе решались следующие задачи: экспериментальное исследование и математическое моделирование статических характеристик пьезоприводных АСК; теоретическое исследование и оценка погрешности воспроизведения микроперемещений в позиционных режимах работы АСК; разработка математических моделей динамических характеристик пьезопривода АСК и исследование его динамического качества; разработка алгоритмического обеспечения для имитационного моделирования и исследования полных характеристик преобразования «управляющее напряжение — перемещение подвижного звена механизма»; разработка типовых конструкций исполнительных механизмов АСК с многослойными пьезокерамическими элементами и обратным преобразователем; разработка структурных схем построения АСК с обратным каналом компенсации ошибки; анализ и синтез параметров системы управления; разработка типовых моделей АСК и методики расчета и проектирования параметров их элементов.

Диссертация состоит из введения, пяти глав, заключения, списка литературы и приложений.

Заключение диссертации по теме «Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий», Вишнеков, Алексей Владленович

Основные выводы и результаты работы заключаются в следующем:

1. Экспериментально исследованы и математически описаны статические нелинейные свойства аналогового пьезопривода микроперемещений, выполненного на базе многослойной пьезокерамики, как многозначной нелинейности типа «гистерезис». Выявлены свойства функции чувствительности и рассчитаны ее значения.

2. Даны аналитические оценки погрешности воспроизведения микроперемещений для произвольной последовательности изменения управляющего напряжения и однопозиционного режима управления с предварительным переводом отображающей точки в начало координат.

3. Экспериментально исследован и математически описан процесс ползучести пьезокерамики при воспроизведении микроперемещений, выражающийся в медленном возрастании (уменьшении) первоначально установившегося перемещения в течении нескольких минут на 10 % от первоначально установившегося значения.

4. Разработаны математические модели динамических характеристик разомкнутого пьезопривода микроперемещений в форме: системы линейных дифференциальных уравнений с многозначной статической нелинейностью;

- передаточных функций с замещением отклонений от линейности эквивалентными возмущающими воздействиями; на основе которых исследованы характеристики переходного процесса, а так же частотные характеристики методом имитационного моделирования с помощью специального алгоритма.

5. Разработаны комбинированные структуры системы управления АСК, содержащих основной канал управления по задающему воздействию и канал компенсации ошибки между задающим воздействием и воспроизводимым микроперемещением, посредством интегратора. При этом показаны структурные возможности компенсации ошибки как по входу, так и по выходу комбинированной системы.

6. Получены передаточные функции предложенных вариантов комбинированных систем, на основе которых проведены исследования влияния параметров системы на устойчивость и точность воспроизведения микроперемещений при ограничениях на длительность и качество переходного процесса.

7. Представлены результаты разработки автоматизированных средств калибровки приборов размерного контроля и их элементов. Предложены типовые схемы конструкций исполнительных механизмов с пьезокерамическими исполнительными элементами (многослойный, биморфный), оснащенные встроенным обратным измерительным преобразователем микроперемещений.

8. Даны рекомендации по расчету и проектированию элементов АСК, а так же оптимальному выбору параметров системы управления.

9. В результате экспериментальных исследований подтверждена адекватность разработанных математических моделей реальным характеристикам преобразования системы.

10. В результате аттестации разработанных моделей АСК нормированы следующие метрологические характеристики. Для модели АК-1:

- диапазон перемещений ± 60 мкм,

- цена единицы младшего разряда 0,01 мкм,

- чувствительность 0,01 мкм/мВ, предел допускаемой основной погрешности воспроизведения микроперемещений в диапазоне ± 60 мкм - 0,2 мкм; ±18 мкм — 0,05 мкм; ± 3 мкм — 0,03 мкм,

- измерительное усилие не менее 100 Н. Для модели АК-2:

- диапазон перемещений ± 0,3 мм,

- цена единицы младшего разряда 0,1 мкм, предел допускаемой основной погрешности воспроизведения микроперемещений 0,2 мкм,

- измерительное усилие не более 300 сН. 11. Даны рекомендации по применению АСК при проведении операций настройки, градуировки и калибровки приборов размерного контроля и измерительных преобразователей микроперемещений. L

129

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Вишнеков, Алексей Владленович, 2009 год

1. Актуальные вопросы поверки специальных средств линейных и угловых измерений и применение средств вычислительной техники / В. Б. Коркин и др. - М.: Изд-во стандартов, 1989. — 120 с.

2. Артемьев Б. Г. Справочное пособие для специалистов метрологических служб / Б. Г. Артемьев, Ю. Е. Лукашов. М.: Изд-во стандартов, 2004. - 645 с.

3. Архангельская Е.А., Вишнеков А. В., Николаев Ю.Л., Фирстов В.Г. Алгоритмы оценивания характеристик погрешностей измерительно-поверочных комплексов с помощью процедуры статистического моделирования. Машиностроитель, № 11-12, 1998. — С. 55.

4. Афонин С. М. Гармоническая линеаризация обобщенной гистерезисной характеристики пьезоэлектрического привода для нано- и микроперемещений. Электричество, № 1, 2008. - С. 70-74.

5. Афонин С. М. Пьезопреобразователи для приводов микроперемещений. Приборы и системы управления, № 2, 1998. - С. 41-42.

6. Афонин С. М. Расчет статических и динамических характеристик пьезодвигателя наноперемещений. Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика, № 7, 2000. - С. 56-57.

7. Афонин С. М. Исследование и расчет механических и регулировочных характеристик составного пьезодвигателя наноперемещений. — Датчики и системы, № 8, 2002, С. 29-31.

8. Афонин С. М. Исследование и расчет гистерезисных характеристик составных пьезодвигателей наноперемещений. Датчики и системы, № 9, 2009. - С. 15-16.

9. Афонин С. М. Корректирующие устройства системы управления пьезоприводом нано п микроперемещений. — Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика, № 8, 2006. - С. 22-26.

10. Афонин С. М. Об обобщенных условиях абсолютной устойчивости системы автоматизированного управления пьезодвигателем наноперемещенин. Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика, № 4, 2005. - С. 28-31.

11. Афонин С. М., Афонин П. С. Программирование и моделирование характеристик пьезодвигателя наноперемещений. Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика, № 3, 2006. - С. 24-26.

12. Бессекерский В. А., Попов Е. П. Теория систем автоматического регулирования. -М.: Наука, 1975, 768 с.

13. Бирюков Г. С., Серко А. А. Измерение геометрических величин и их метрологическое обеспечение. М.: Изд-во стандартов, 1987. - 368 с.

14. Боднер В. А., Алферов А. В. Измерительные приборы. Издательство стандартов, 1986. 512 с.

15. Васильев А. С. Основы метрологии и технические измерения. -М.: Машиностроение, 1980. 192 с.

16. Веневцев Ю. Н. И др. Сегнето- и антисегнетоэлектрики семейства титаната бария. М.: Химия, 1985. - 256 с.

17. Виноградов Ю. О., Машинистов В. М., Розентул С. А. Электронные измерительные системы для контроля малых перемещений. -М.: Машиностроение, 1976. 142 с.

18. Вирцер А. Д., Николаев Ю. J1. Математическая модель статических характеристик пьезокерамических преобразователей. -Автоматика и телемеханика, № 11, 1992.-С. 172-185.

19. Вишнеков А. В. и др. Устройство для задания микроперемещений. А. с. СССР № 1674065. Б. и. № 31, 1990.

20. Вишнеков А. В. Моделирование статической нелинейности пьезоэлементов. / Всесоюзная конференция «Современные проблемы физики и ее приложений». Тезисы докладов. М.: ВИНИТИ АН СССР, 1990. - С. 112.

21. Вишнеков А. В. Особенности моделирования свойств исполнительных механизмов микроперемещений на основе пьезокерамических элементов. 6-ое Всероссийское Совещание-семинар «Инженерно-физические проблемы новой техники», Москва, 2001. С. 25.

22. Волосов С. С., Педь Е. И. Приборы для автоматического контроля размеров в машиностроении. М.: Изд-во стандартов, 1975. — 336 с.

23. Воронин Ю. В., Рубцов А. А, Контроль измерительных приборов и специального инструмента. М.: Машиностроение, 1981. - 200 с.

24. Глозман И. А. Пьезокерамика. М.: Энергия, 1972. - 228 с.

25. ГОСТ 8.051-81. ГСИ. Погрешности, допускаемые при измерении линейных размеров до 500 мм. М.: Изд-во стандартов, 1987. - 10 с.

26. Джагупов Р. Г., Ерофеев A. JI. Пьезокерамические элементы в приборостроении и автоматике JI.: Машиностроение, Ленингр. отделение, 1986.-256 с.

27. Джагупов Р. Г., Ерофеев А. Л. Пьезоэлектроиные устройства вычислительной техники, систем контроля и управления. / Справочник. -СПб.: Политехника, 1994. 286 с.

28. Дьяконов В. П. Справочник по алгоритмам и программам на языке Бэйсик для персональных ЭВМ. М.: Наука, 1989. - 240 с.

29. Ершов А. Г. Воспроизведение микроперемещений в динамическом режиме. / Всесоюзная конференция «Современные проблемы физики и ее приложений». Тезисы докладов. М.: ВИНИТИ АН СССР, 1990. -С. 110.

30. Ершов А. Г. Пьезорегуляторы положения стола инструментального микроскопа. М.: МГТЦНТИ и П. 1989. - 4 с.

31. Ершов А. Г., Николаев Ю. Л. Задатчик микроперемещений. А. с. СССР № 142736. Б. и. № 36, 1988.

32. Ершов А. Г., Николаев Ю. Л. Задатчик микроперемещений. А. с. СССР № 1513421. Б. и. № 37, 1989.

33. Ершов А. Г и др. Задатчик микроперемещений. А. с. СССР № 1587319. Б. и. №31, 1990.

34. Ершов А. Г., Николаев Ю. Л., Вишнеков А. В. Исследование и проектирование пьезорегуляторов положения с применением ЭВМ. / Тезисы докладов Международной молодежной научной конференции НОЕМВРИ -1989г. Варна, ВМЕИ, НРБ. 1989. -С. 9.

35. Клаасен К. Б. Основы измерений. Электронные методы и приборы в измерительной технике. М.: Постмаркет, 2000. - 352 с.

36. Коркин В. Б. Автоматизация линейных и угловых измерений: Конспект лекций. -М.: Изд-во стандартов, 1988. 68 с.

37. Лавриненко В. В. и др. Пьезоэлектрические двигатели / В. В. Лавриненко, И. А. Карташов, В. С. Вишневский. М.: Энергия, 1980. - 110 с.

38. Лукашкин В.Г., Гарипов В.К., Слепцов В.В., Вишнеков А. В. Автоматизация измерений, контроля и управления. М.: Машиностроение-1, 2005. 663 с.

39. Лукашкин В. Г., Вишнеков А. В. Нормализующие измерительные преобразователи / Научные труды X Международной научно-практической конференции «Фундаментальные и прикладные проблемы приборостроения, информатики и экономики, г. Сочи, 2007. С. 186 - 192.

40. Лукашкин В. Г., Ефимов П. В., Вишнеков А. В. Нормирование выходных сигналов первичных преобразователей. Приборы+автоматизация, №12, 2007.-С. 19-21.

41. Мезон У. Физическая акустика. Т. 1. Методы и приборы ультразвуковых исследований. М.: Мир, 1966. — 592 с.

42. Методические указания. Достоверность и требования к методикам поверки средств измерений МИ 187-86, МИ 188-86. М.: Изд-во стандартов, 1987.-39 с.

43. Методические указания. Результаты и характеристики погрешности измерений. Формы представления. Способы использования при испытаниях образцов продукции и контроле их параметров. МИ 1.317-86. -М.: Изд-во стандартов, 1986. 29 с.

44. Метрологическое обеспечение и эксплуатация измерительной техники / Под ред. В. А. Кузнецова. М.: Радио и связь, 1990. - 238 с.

45. Механизация и автоматизация линейно-угловых измерений: Материалы семинара. М.: МДНТП, 1985. - 150 с.

46. Назаров Н. Г. Измерения: планирование и обработка результатов. М.: ИПК Изд-во стандартов, 2000. — 301 с.

47. Назаров Н. Г. Метрология. Основные понятия и математические модели. М.: Высшая школа, 2002. - 348 с.

48. Н. Г. Назаров, Е. А. Архангельская. Современные методы и алгоритмы обработки измерений и контроля качества продукции. М.: Изд-во стандартов, 1995. - 163 с.

49. Неразрушающий контроль: Справочник. В 7 т. Под общ. ред. В. В. Клюева. Т. 1: Визуальный и измерительный контроль. М.: Машиностроение, 2003. - 560 с.

50. Николаев Ю. Л. Автоматизация воспроизведения микроперемещений на базе пьезоэлектрического привода. Автоматизация и современные технологии, № 3, 1997. — С. 6-12.

51. Николаев Ю. Л. Автоматизированные механизмы и системы с пьезокерамическими приводными элементами / V Всесоюзное совещание по робототехническим системам. Тезисы докладов. М.: Институт проблем механики АН СССР, ВИНИТИ АН СССР, 1990. - С. 145.

52. Николаев Ю. Л. Высокоточные системы микроперемещений / Всесоюзная конференция «Современные проблемы физики и ее приложений». Тезисы докладов. М.: ВИНИТИ АН СССР, 1990. - С. 112.

53. Николаев Ю. Л. Принципы конструирования пьезоэлектрических генераторов микроперемещений. Автоматизация и современные технологии, № 3, 2000. - С. 10-12.

54. Николаев Ю. Л, Пьезорегуляторы положения / Всесоюзная конференция «Современные проблемы механики и технологии машиностроения». Тезисы докладов. М.: ВИНИТИ АН СССР и ГКНТ, 1989.-С. 88.

55. Николаев 10. Jl. Пьезоэлектрические калибраторы микроперемещений отсчетных механизмов. М.: МГТЦ НТИ и П, 1989. - 4 с.

56. Николаев Ю. Л., Вишнеков А. В. Численные методы моделирования и исследования статических и динамических характеристик исполнительных пьезоэлементов. Измерительная техника, № 5, 1992. - С. 26-29.

57. Николаев Ю. Л., Вишнеков А. В., Лукашкип А. Г. Пьезоприводные калибраторы микроперемещений с комбинированной системой управления. Контроль и диагностика, № 6, 2009. - С. 35-39.

58. Николаев Ю. Л., Воронцов А. Л. Анализ силы закрепления и погрешностей позиционирования подвижных модулей в пьезоэлектрическом фиксаторе. Автоматизация и современные технологии, № 6, 1993. - С. 6-9.

59. Николаев Ю. Л., Ершов А. Г. Автоматизированный отсчетный механизм микроперемещений. Измерительная техника, № 2, 1990. С. 21-22.

60. Николаев Ю. Л., Ершов А. Г. Исполнительный механизм линейных перемещений. А. с. СССР № 1520484. Б. и. № 41, 1989.

61. Николаев Ю. Л., Ершов А. Г., Смирнов В. А., Петров О. И. Устройство для позиционирования. А. с. СССР № 1644094. Б. и. № 15, 1991.

62. Николаев Ю. Л., Ершов А. Г., Смирнов В. А., Петров О. И. Устройство для позиционирования исполнительного органа. А. с. СССР № 1645133. Б. и. №16, 1991.

63. Николаев Ю. Л., Ершов А. Г., Сапрыкин В. М., Вишнеков А. В. Исполнительный механизм микроперемещений. А. с. СССР № 1798767. Б. и. № 8, 1993.

64. Николаев Ю. Л., Ершов А. Г., Сапрыкин В. М., Вишнеков А. В. Исполнительный механизм микроперемещений. А. с. СССР № 1784949. Б. и. № 48, 1992.

65. Николаев Ю.Л., Гноенский Л.С., Вишнеков А. В. Разработка и исследование многоканальной системы перемещений и позиционирования. Научные труды межвузовской научно-технической конференции

66. Фундаментальные основы создания наукоемких и высокотехнологичных приборов», МГАПИ, Москва. 1997. С. 56.

67. Никольский А. А. Точные двухканальные следящие электроприводы с пьезокомпенсаторами. -М.: Энергоатомиздат, 1988. 160 с.

68. Основополагающие стандарты в области метрологического обеспечения. М.: Издательство стандартов, 1986. - 271 с.

69. Тищенко Ю. И., Успенский С. Д. Метрологическое обеспечение средств измерений в эксплуатации. М.: ВИСМ, 1990. - 102 с.

70. Плужников В. М., Семенов В. С. Пьезокерамические твердые схемы. -М.: Энергия, 1971. 168 с.

71. Попов Е. П., Пальтов И. П. Приближенные методы исследования нелинейных автоматических систем. М.: Физматгиз, 1960. — 792 с.

72. Прецизионные пьезомикроманипуляторы для миниатюрных устройств / А. А. Ерофеев, Т. А. Поплевкин, М. А. Салтхушвили, С. В. Бойцов. Л.: ЛДНТП, 1991. - 28 с.

73. Применение пьезоактивных материалов в промышленности / Под ред. В. В. Леманева. Л.: ЛДНТП, 1988. - 94 с.

74. Прогрессивные методы и средства измерений линейных и угловых величин / Украинский республиканский дом экономической и научно-технической пропаганды. Киев: б. и., 1990. - 19 с.

75. Рекомендации по метрологии Р 50.2.083-2004. Измерения прямые однократные. Оценивание погрешностей и неопределенности результата измерений. М.: ИПК изд-во стандартов, 2004. - 7 с.

76. Средства для линейных измерений / Б. М. Сорочкин и др. Л.: Машиностроение. Ленингр. отд-ние, 1978. - 263 с.

77. Средства контроля и измерений линейных и угловых размеров: Методики контроля и поверки / ВНИИизмерения. Кн. 2. Микрометрические приборы. -М.: 1991. 123 с.

78. Средства контроля и измерений линейных и угловых размеров: Методики контроля и поверки / ВНИИизмерения. Кн. 4. Головкиизмерительные, индикаторные, индикаторы и индикаторные приборы. М.: 1991.-210с.

79. Средства контроля и измерений линейных и угловых размеров: Методики контроля и поверки / ВНИИизмерения. Кн. 7. Поверочный инструмент. М.: 1991.- 161 с.

80. Федотов А. В. Приборы для автоматического контроля размерных параметров в машиностроении. Омск: Омский политехнический институт, 1975.-213 с.

81. Федотов А. В. Расчет и проектирование индуктивных измерительных устройств. М.: Машиностроение, 1979. - 173 с.

82. Фесенко Е. Г. и др. Новые пьезокерамические материалы / Е. Г. Фесенко, А. я. Данцигер, О. Н. Разумовская. Ростов н/Д: Изд-во Рост, ун-та, 1983.- 156 с.

83. Холин Н. Н., Николаев Ю. JT. Современные достижения и тенденции развития приборостроения. -М.: ВИНИТИ, 1990. 36 с.

84. Хомяков В. Д., Николаев Ю. JL, Шереметьев К. В. Борьба с вибрациями в прецизионной металлообработке. Техномир, № 1, 2006. - С. 80-83.

85. Шачнев Ю. JL, Парфенов Б. Г., Николаев Ю. JL, Смирнов В. А. Автоматическое управление точностью обработки при помощи пьезо-керамических исполнительных механизмов. — Технология производства, научная организация труда и управления, № 6. 1979. С. 18-20.

86. Шульга Н. А., Болкисев А. М. Колебания пьезоэлектричских тел. -Киев: Наук. Думка, 1990. 227 с.

87. Щепетов А. Г. Теория, расчет и проектирование измерительных устройств. М.: ФГУП «Стандартинформ», 2006. - 248 с.

88. Analysis of electrostatic comb-driver actutors in linear and nonlinear regions. / M. Tilleman. Int. J. Solid pieroelectric and Struct., № 18-19, 2004. - C. 4473-4502.

89. Embedded p ieroelectric с eramic trunduceres i n s andwiched b earns. / A. Madhav, S. Kiong. Smart Mater, and Struct., № 2, 2006. C. 538-549.

90. Lober C., Gtinter W/ Mikrorechntr in der Messtechnik. Berlin: Technik, 1983.-236 c.

91. Micropositioning device using impact forse of pieroelectric flying wires / L. Ying-Tier, Y. Yutaka, H. Tohiro. IEEE/ASMT Trans. Meliatron, № 6, 2005. - C. 692-696.

92. Mills A. A., Hurst A. W. A pieroceramic fmemovement control. J. Phys. E: Sci. Instrum., № 3, 1981. C. 295-296.

93. Piezoelectric ceramics. By B. Jaffe, R. Cook and H. Jaffe. 1974 -288 c.

94. Principles and application of ferroelectrics and related materials/ By M. E. Lines, A. M. Glass, Oxford, 1977. 723 c.

95. Sanguinetti В., Varcoe B. Use of a piezoelectric SQUIGGLE motor for positioning at 6K in a cryostat. Cryogenics, № 9, 2006. - C. 694-696.

96. Soft modes in ferroelectrics and antiferroelectrics/ By R. Blinc and B. Zekz (Amsterdam; New York), 1974. 395 c.

97. Trajectory tracking of piezoelectric positioning stages using a dynamic sliding-mode control. Shieh Hsin-Jnag, Huang Po-Kai. IEEE Trans. Ultrason., Ferroelec., and Freq. Contr. № 10, 2006. C. 1872-1882.1. СОГЛАСд&АШ

98. Элма" ТЗ. Г.Парфенов 1990г.1. УТВЩР^;:^^ Приложение 1.udUj .И.Н. Холин l '' -Щл: и ,1990 г.1. ПРОГРАММАметрологической аттестации автоматического калибратора микроперемещений модели АК-2

99. СОГЛАСОВАНО Гл.метролог I МЧЗд.Д.Евдокимовfl»-*. 1990 Г,1. СОГЛАСОВАНО

100. Гл.метролог НЩ "Элла" 1И«Ю.Криков1990г.1. СОГЛАСОВАНО Гд.шшхег МШ

101. Н.Ф. Гриделева " .^ск^г 1990г.1401. СОДЕРЖАНИЕ1. Вводная часть». 3

102. Перечень метрологичеоких характеристик,подлежащих аттестации.3

103. Операции метрологической аттестация.3

104. Средотва метрелогячеокой аттеотации.3

105. Условия проведения метрологической аттеотации. 3

106. Подготовка к метрологнчеокоЗ аттестаций.5

107. Порядок проведения метрологической аттестации.6

108. Оформление результатов метрологическойаттестации. 10

109. Установление порядка метрологического обслуживанияв условиях эксплуатации. 101. Жршюжение.II1. Вводная часть

110. Настоящая программа распространяется на автоматический калибратор микроперемещений АК-2 и устанавливает методы и средства его аттестации.

111. Аттестация АК-2 как рабочего нестандартизованного средства измерений проводится в метрологической лаборатории 1МЧЗ им. С.М.Кирова с 14 мая :, 1990 г. по 30 июня 1990 г.

112. В комплект документации» представленной вместе с аттестуемым калибратором, входят:- техническое описание АК-2;- программа метрологической аттестации АК-2;- проект методических указаний по методам и средствам поверки АК-2.

113. Перечень метрологических характеристик, подлежащих аттестации.

114. Операции метрологической аттестации.

115. Последовательность и объем исследований приведены в таблице I.

116. Средства метрологической аттестации.

117. Перечень средств метрологической аттестации приведен в таблице 2.

118. Уоловия проведения метрологической аттестации

119. Аттестацию следует проводить в условиях, изложенных в таблице 3.1. Наименование операции'