Исследование и разработка оптического метода бесконтактного контроля шероховатости поверхностей тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.13, кандидат технических наук Ким, Константин Юрьевич

• Ким, Константин Юрьевич
• кандидат технических наук
• 2009

Оглавление диссертации кандидат технических наук Ким, Константин Юрьевич

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. АНАЛИЗ И ОБОСНОВАНИЕ ОСНОВОПОЛАГАЮЩИХ ПРИНЦИПОВ ОПТИЧЕСКОГО МЕТОДА ИЗМЕРЕНИЯ ВЫСОТНЫХ ПАРАМЕТРОВ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ В УСЛОВИЯХ АВТОМАТИЗАЦИИ ПРОИЗВОДСТВА.

1.1. Анализ известных методов оптического дистанционного измерения высотных параметров шероховатости и построенных на их основе устройств контроля.

1. Метод зеркальной составляющей.

2. Метод диффузной составляющей.

3. Интерферометр ический метод.

1.2. Сопоставительный анализ технических характеристик современных оптических измерителей высотных параметров шероховатости.

1.3. Выводы.

ГЛАВА 2. МОДЕЛИРОВАНИЕ ПОВЕДЕНИЯ ОТРАЖЕННОГО ОТ ШЕРОХОВАТОЙ ПОВЕРХНОСТИ ОПТИЧЕСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ.

2.1. Анализ процесса отражения приближенно одномерно шероховатых поверхностей.

2.2. Оценка коэффициента отражения одномерно шероховатых поверхностей.

2.3. Расчетная модель коэффициента отражения приближенно одномерно шероховатой поверхности.

2.4. Проверка адекватности модели. Рекомендации по совершенствованию оптической^ схемы измерителя шероховатости.

2.5. Выводы.

ГЛАВА 3. РАЗРАБОТКА ПРИБОРА, ОБЕСПЕЧИВАЮЩЕГО ИЗМЕРЕНИЕ ПАРАМЕТРА ШЕРОХОВАТОСТИ Ra НЕПОСРЕДСТВЕННО В ХОДЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА.

3.1. Разработка конструкционно-технологических ограничений на прибор.

3.2. Формирование структуры прибора.

3.3. Разработка конструкции прибора.

3.4. Разработка алгоритмов и программных средств для микропроцессорной системы управления процедурой измерения параметра Ra шероховатой поверхности.

1. Режимы работы прибора.

2. Алгоритм оценки высоты микронеровностей.

3. Алгоритм измерения коэффициента отражения.

3.5. Оптико-конструкционный расчет.

3.6. Узел фотоприемников.

3.7. Клавиатура.

3.8. Расчет параметров модулятора.

3.9. Разработка печатной платы.

ЗЛО. Выводы.

ГЛАВА 4. РЕЗУЛЬТАТЫ ИСПЫТАНИЙ И ЭКСПЛУАТАЦИОННЫЕ ПОКАЗАТЕЛИ ПРИБОРА.

4.1. Апробация прибора в заводских условиях.

4.2. Эксплуатационные технические характеристики прибора.

4.3. Методика поверки оптического измерителя шероховатости "СПИКА-8".

4.4. Конкурентные преимущества.

4.5. Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование и разработка оптического метода бесконтактного контроля шероховатости поверхностей»

Диссертация выполнена при научной консультации профессора кафедры Систем Автоматизированного Управления и Контроля (САУиК) МИЭТ, к.т.н. Никулина В.Б., профессора каф. Микроэлектроники (МЭ) д.т.н. Грушевского A.M. и доцента ИВТ РАН к.т.н. Менделеева В .Я.

Разработка современных высокотехнологичных изделий, материалов и режимов их обработки, дающих новое качество перспективным изделиям ведущих отраслей промышленности, в том числе микроэлектроники, нуждается в эффективных методах и приборах контроля основных- показателей качества изделий непосредственно в процессе их изготовления в заводских условиях. Появление новых высоких технологий, связанных с производством изделий, не допускающих контакта с измерительным датчиком, требует использования бесконтактных дистанционных измерителей. Именно эти положения и определяют актуальность данной диссертации.

К числу наиболее объективных характеристик изделий, ориентированных на определяющие высокотехнологические показатели, следует отнести статистические характеристики шероховатости поверхности.

Шероховатость поверхности - совокупность повторяющихся неровностей малой величины (микронеровностей). Примерное отношение высоты неровностей к их шагу менее 50 [1,2].

Шероховатость поверхности определяет герметичность, коррозионную стойкость, характеристики трениями износа, теплопередающие, гидродинамические, радиационные, магнитоэлектрические и оптические свойства поверхности, а также дает возможность косвенно судить о состоянии материала и изделия в целом.

Наиболее востребованный диапазон высотных параметров шероховатости поверхности изделий, определяемый современными условиями развития высоких технологий, составляет 0.01-0.30 мкм по параметру Ra. Именно этот диапазон определяет перспективы мирового рынка измерителей шероховатости на ближайшие десятилетия.

Основные тенденции научных исследований и инженерных разработок методов и средств контроля шероховатости поверхности включают атомно-силовую микроскопию, контактную профилометрию, оптические методы микроинтерферометрии и реф-лектометрии.

Атомно-силовая микроскопия и оптическая микроинтерферометрия позволяют ( / получать топографию поверхности в интервале высот микронеровностей от десятитысячных долей до нескольких микрометров. Приборы этого типа весьма чувствительны к вибрациям и применяются только в лабораторных условиях.

Контактные профилометры, использующие в качестве датчика иглу, ощупывающую контролируемую поверхность, применяются для контроля поверхности с шероховатостями5 от тысячных долей до сотен микрометров. Приборы этого типа чувствительны к вибрациям, не позволяют контролировать поверхности мягких материалов (алюминищ медь, серебро и т.д.), не могут быть применены для-дистанционных измерений. В заводских условиях эти приборы позволяют контролировать плоские участки поверхности с высотой шероховатости более 0.05 мкм. Серьезной проблемой для этих приборов является контроль труднодоступных поверхностей (узкие и глубокие канавки иканалы).

Оптические рефлектометрические методы позволяют измерять шероховатость поверхности с высотами микронеровностей от тысячных долей до нескольких микрометров. По отношению к атомно-силовой микроскопии, контактной профилометрии и оптической микроинтерферометрии, рефлектометрические методы практически не имеют ограничений на; расстояние до контролируемой поверхности и имеют низкую чувствительность к вибрациям. Простота техническойреализации этого метода позволяет обеспечить малые габариты, удобство и надежность эксплуатации, возможность контроля шероховатости поверхности из мягких материалов и сложного профиля, в том числе в труднодоступных местах (узкие и глубокие канавки и каналы), интеграцию в автоматизированные технологические комплексы. Приборы этого типа имеют низкую стоимость по отношению к приборам атомно-силовой микроскопии и оптической микроинтерферометрии и по стоимости сопоставимы с самыми дешевыми контактными профилометрами.

В связи с этим разработка методов и создание приборов, позволяющих дистанционно (бесконтактно) контролировать показатели шероховатости поверхности является актуальной научной задачей, решение которой способствует повышению технологичности и конкурентоспособности изделий.

В настоящей диссертации сосредоточено внимание на разработке оптического устройства контроля шероховатости. При этом выполнен систематизированный анализ современных методов оптического контроля шероховатости плоских и профилированных, сферических и цилиндрических поверхностей в условиях автоматизации производства и на его основе сформулированы основные проблемы и пути их решения, в обеспечение широкой номенклатуры поверхностей в электронной промышленности за счет совершенствования оптической схемы и оптимизации алгоритма обработки оптического излучения: Проведены исследование и моделирование предлагаемого электронно-оптического метода, позволяющего автоматизировать^ повысить точность измерений высотных параметров, шероховатости; Разработаны алгоритмы и программные средства для микропроцессорной системы управления, процессом измерения высотных параметров шероховатости поверхности. Выработаны критерии конструктивного построения-прибора, обеспечивающего измерение высотных параметров.шероховатости поверхности непосредственно в ходе технологического процесса. Измеритель изготовлен и испытан в условиях реального автоматизированного производства. Проведена метрологическая аттестация прибора.

Разрабатываемый, измеритель шероховатости предназначается для дистанционного контроля шероховатости широкого диапазона измеряемых видов поверхностей в заводских условиях. Кроме того, разрабатываемый прибор «должен позволить реализовать уникальный экспресс-метод дистанционного контроля шероховатости кремниевых пластин при их утонении и-наноструктур на уровне 0.01 мкм и менее в современных нанотехнологиях.

Потенциальными областями применения предполагаемого метода и прибора на его основе являются микроэлектроника, машиностроение, энергетика, нефтеперерабаt тывающая, газовая, авиационная, автомобильная, станкостроительная и металлургическая промышленности, оборонная промышленность, а также ремонтные предприятия станочного оборудования, железнодорожного и автомобильного транспорта. Разрабатываемый прибор может использоваться для контроля шероховатости поверхности кремниевых пластин в производстве изделий микроэлектроники, поверхности фланцев, обеспечивающих герметичность, подшипников, коллекторов, валов, поршней и цилиндров двигателей, снарядов и стволов орудий, колесных пар железнодорожного транспорта, деталей станков и различных механических агрегатов, лазерных дисков для вычислительной и аудио техники, проката и валков прокатных станов, и т.д. В частности, высота Ra неровностей поверхности трубопроводов масляных систем, зеркала цилиндров ДВС, валков прокатных станов, алюминиевого проката - 0.1-0.3 мкм, колесных пар железнодорожного транспорта - 0.05-0.2мкм, коллекторов, коленчатых валов двигателей внутреннего4 сгорания(ДВС), рабочей поверхности поршней ДВС, лопаток турбин, стволов орудий составляет 0.01-0.05мкм, лазерных дисков - 0.01-0.02 мкм.

В условиях автоматизированного процесса измерения1 приборная база должна отвечать следующим основным требованиям [3-5]: дистанционно сть контроля (> 10мм); форма контролируемой зоны: плоскость, цилиндр, сфера; > оценка параметров Ra nRq, связанных соотношением Ra=0.8Rq [6]; диапазон измеренияшараметра Ra: 0,01 -1,0мкм; минимальные габариты измерителя; автономность прибора; приемлемые погрешности измерений (5-10%);

Производительность (>= 1 измерения в секунду);

Измеритель может быть использован как в автоматизированных системах контроля, так и для индивидуального контроля сотрудниками ОТК, метрологических лабораторий и рабочими, выполняющими технологические операции, связанные с контролем шероховатости поверхности.»

С метрологической точки зрения [7] метод состоит из трех основных компонентов: прибора (реализации метода), алгоритма измерения и оценки погрешностей метода. Исходя из этого, определяются следующие положения.

Цель диссертационной работы.

Исследование оптических методов измерения высотных параметров шероховатости и разработка на их основе прибора бесконтактного контроля шероховатости широкой номенклатуры поверхностей и материалов различной природы в условиях автоматизированного производства.

Для* реализации указанной цели «диссертационной работы необходимо решить следующие задачи.

Задачи диссертационной работы.

Провести систематизированный анализ методов оптического контроля шероховатости поверхности в условиях автоматизированных производств и на его основе определить наиболее рациональный метод бесконтактного оптического контроля; шероховатости» поверхностей широкой номенклатуры изделий; включая; изделия электронной промышленности;

Провести сравнительный анализ особенностей отражения от различных видов поверхностей' отражения и разработать физическую модель поверхности и процесса отражения, учитывающей реальные условия обработки.

Провести исследование и моделирование предлагаемого электронно-оптического метода; позволяющего автоматизировать, и повысить точность измерений! высотных параметров шероховатости.

Разработать алгоритмы и программные средства для микропроцессорной: системы управления процессом измерения высотных параметровшероховатостиповерхно-сти;

Выработать критерии. конструктивного; построения прибора, обеспечивающего измерение высотных. параметров шероховатости поверхности непосредственно в ходе технологического процесса;.

Изготовить,, испытать в условиях реального автоматизированного производства и провести метрологическую аттестацию прибора;

Научная новизна работы; Систематизированы существующие принципы оптического метода! измерения высотных параметров шероховатости поверхности. И на основе систематизации развиты; новые принципы оптического метода контроль высотных параметров шероховатости поверхности, обеспечивающие расширение: диапазона; измеряемых видов ; поверхностей в микроэлектронном производстве; зад счет совершенствования оптической схемы и оптимизации алгоритма обработки оптического излучения; Разработана новая математическая модель шероховатой поверхности; с учетом коэффициента отражения приближенно одномерной шероховатой поверхности; в направлении зеркального отражения» при нормальном падении зондирующего излучения;; ' Разработаны алгоритмы системы управления измерением высотных; параметров шеррховатости на основе вновь созданной модели;

Выявлены корреляционные зависимости; позволяющие прогнозировать взаимосвязь между параметрами шероховатости поверхностииструктурными свойствами кремниевых пластин при их утонении со сформированными активными элементами;

Практическая ценность.

1. Разработан прибор для контроля шероховатости поверхности, с возможностью интеграции в автоматизированный технологический процесс. Прибор сертифицирован в ГОССТАНДАРТе1 России, и утвержден как новый тип измерителен шероховатости поверхности" с заводским обозначением "СПИКА-8".

2. Реализация оптического метода измерения высотных параметров шероховатости на основе разработанного прибора позволяет расширить диапазон измеряемых видов поверхностей на следующие:

- Мягкие поверхности (алюминий, резина, и т.п.);

- Поверхности с низкой шероховатостью (зеркальные);

- Поверхности с низкой прочностью (утоненные структуры, Si мембраны, и т.п.);

- Поверхности со сложной формой (цилиндрические, сферические, и т.п.); I

- Труднодоступные поверхности (внутренние канавки, и т.п.); {•

Основные положения, выносимые на защиту.

Систематизированный анализ и эффективная* реализация принципов оптического метода измерения параметров шероховатости поверхности в условиях автоматизации производства; * Математическая модель шероховатой поверхности, с учетом коэффициента отражения приближенно одномерной шероховатой поверхности, в направлении зеркального отражения при нормальном падении зондирующего излучения; Алгоритмы и программные средства для микропроцессорной системы управления процессом измерения высотных параметров шероховатости поверхности; Конструкция прибора, обеспечивающего измерение высотных параметров шероховатости поверхности непосредственно в ходе технологического процесса;

1 Постановлением Правительства Российской Федерации от 17 июня 2004 г. №294 Госстандарт России переименован в Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии.

2 Сертификат RU.C.27.004.A №7944, тип измерителей шероховатости поверхности "Спика-8" №19608-00,22.05.2000г.

Заключение диссертации по теме «Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий», Ким, Константин Юрьевич

Общие выводы по диссертационной работе:

1. Произведен анализ возможностей различных методов контроля шероховатости поверхностей, позволивший установить что для реализации контроля в условиях автоматизированных процессов наиболее перспективным является использование бесконтактных методов оптического контроля.

2. Обоснованно, что существующая теория рассеяния излучения на одномерно шероховатых поверхностях не может быть использована для определения коэффициентов отражения приближенно одномерных шероховатых поверхностей.

3. Результаты теоретических исследований позволили обосновать и разработать новую физико-математическую модель шероховатых поверхностей как совокупность одномерно шероховатых поверхностей, позволяющую получить аналитическую зависимость для оценки коэффициентов отражения приближенно одномерной шероховатой поверхности в пределах дифракционного телесного угла в направлении зеркального отражения.

4. Проведенные экспериментальные исследования образцов приближенно одномерной шероховатости подтвердили возможность использования предложенной физико-математической модели и полученным» на ее основе соотношений для определения параметров шероховатости приближенно одномерных шероховатых поверхностей. Отличие значений экспериментальных и теоретических данных не более чем на 30%, что вполне удовлетворяет требованиям, предъявляемым к экспресс методам.

5. На основе результатов теоретических и экспериментальных исследований обоснованы основные конструктивные и эксплуатационные требования, которым должна отвечать аппаратная база, предназначенная для контроля шероховатости поверхности.

6. В соответствии с предложенной физико-математической моделью обосновано конструктивное решение макета прибора, пригодного к применению непосредственно в технологическом процессе.

7. Выполненный анализ адекватности физико-математической модели по результатам сопоставления данных рабочего эталона и разработанного макета прибора позволяет рекомендовать разработанный метод и реализующий его прибор к применению в производстве наравне со стандартными контактными измерителями высотных параметров шероховатости.

8. Определено, что использование настраиваемых вычислительных элементов в измерителе в совокупности с разработанным ПО для процесса контроля высотных параметров шероховатости позволяет гибко адаптировать возможности прибора под потребности автоматизированного процесса.

9. Сертификация прибора в Госстандарте РФ и утверждение его в качестве нового типа измерителя шероховатости поверхности позволяет расширить номенклатуру контролируемых типов поверхностей.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Выполнен систематизированный анализ методов оптического контроля шероховатости поверхности в условиях автоматизации производства и на его основе сформулированы основные проблемы и пути их решения, в обеспечение широкой номенклатуры поверхностей в электронном производстве.

В результате теоретической проработки обосновано, что наиболее перспективным в условиях автоматизации производства является метод, основанный на оценке зеркальной составляющей отраженного излучения.

Практическая реализация этого метода, с учетом соответствующей оптимизации^ схемы и алгоритма'измерения, показала его высокую эффективность. Прибор, реализующий метод зеркальной"составляющей, был^ опробован на практике в реальных заводских условиях.

На измеритель был получен сертификат метрологической аттестации (копия прилагается).

Прибор может использоваться для дистанционного контроля шероховатости поверхности непосредственно в технологических процессах в микроэлектронной, станкостроительной, металлургической, авиационной, автомобильной и других отраслях промышленности. Основные преимущества прибора: высокая точность измерения, большое расстояние до контролируемой поверхности, неразрушающий контроль поверхности, возможна интеграция- прибора с автоматизированными технологическими комплексами, результаты контроля не зависят от ориентации прибора относительно направления микронеровностей контролируемой поверхности, высокое быстродействие.

Работа поддержана грантом RPBR № 00-15-99098.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Ким, Константин Юрьевич, 2009 год

1. Госстандарт СССР.-23.04.1973.

2. Т. ГОСТ 25142-82. Шероховатость поверхности. Термины и определения//

3. Госстандарт СССР.- 18.02.1982.

4. Лукьянов В:С. Параметры шероховатости поверхности/ B.C. Лукьянов,, Я.А.Рудзит.- М.: Изд-во стандартов, 1979.- 162с.f

5. Беннетт.Д., Шероховатость поверхности и рассеяние/ Д.Беннетт, Л. Маттсонн,- Вашингтон: Оптическое общество Америки, 1999- 120с.

6. Чупырин В.Н. Технология технического контроля в машиностроении/ В.Н.Чупырин.- М.: Изд-во стандартов, 1990.

7. Хусу А.П. Шероховатость поверхностей. Теоретико-вероятностный подход/ АЛ.Хусу, КХР.Виттенберг, ВЛ.Пальмов.- М.: Изд-во "Наука", 1975.

8. ГОСТ Р 8.596-2002 ГСИ. Метрологическое обеспечениеизмерительных систем: Основные положения. М:: Изд-во стандартов, 20021- 11с.

9. Bennett Н.Е. Relation between surface roughness and specular reflectance at normal incidence/ H.E.Bennett, J.O.Porteus// Journal of the Optical Society of America.-1961.- T.51.- №2.- C.123-129.

10. Bennett J.M. Comparison of techniques .for measuring the roughness of optical surfaces/ J.M.Bennett.- Optical Engineering, 1985.- T.24.-№3.- C.380-387

11. Способы и устройства контроля шероховатостей поверхности. Отчет о патентных исследованиях. М.: ИВТАН, 1989.1.. Топорец А.С. Отражение света шероховатой поверхностью/ А.С.Топорец// ОМП, 1979, №1, С.34-46.

12. Менделеев В.Я. Дистанционный лазерный измеритель шероховатости поверхности изделий/ В.Я:Менделеев, С.Н.Сковородько// Стекло и Керамика.-1995, №3,С.25-27

13. Патент 1298535 СССР Кл. G01B 11/30. Устройство для контроля шероховатости поверхности/ Ю.Н.Клиентов Н.И.Лазарева Е.Б.Поклад

14. А.Н.Шестов.- НИИ Точной Механики и Оптики.- Заяв. 06.12.1984 Опубл. 23.03.1987.

15. Bennett Н.Е. Precision measurement of absolute specular reflectance with minimized systematic errors/ H.E.Bennett W.F.Koehler// Journal of the Optical Society of America, 1960.-T.50, №1, C.l-6.

16. Заявка №59-17364 Япония G01B 11/30. Оптический способ контроля шероховатости поверхности.

17. Hodjkinson IJ1 Journal of Physics E: Scientific Instruments/ I.J.Hodjkinson.- 1970.-№3, C.341http.7/www.iop.org/EJ/article/0022-3735/3/5/301/iev3i5p341.pdf (20.01.2005)

18. Топорец A.C. Оптика шероховатых поверхностей/ А.С.Топорец.- JI.: Машиностроение.- 1988.- 191с.

19. Патент №1395946 СССР Кл. G01B 11/30. Прибор для контроля шероховатости поверхности/Л.А.Михеенко, И.С.Мельник, М.Е.Тимашева. Заяв. 13.06.1986 Опубл. 15.08.1988.

20. Заявка ЕПВ JP 0101375 Кл-GOIB 11/30 Способ и устройство для бесконтактного измерения шероховатости поверхности.

21. Патент №4353650 США, G01B 11/30. Laser heterodyne surface profiler/ G.E. Sommargren. Заяв. 16.06.1980 Опубл. 12.10.1982.-https://www.delphion.cony details?pn=US04353650 (05.09.2003)

22. Проспект на гетеродинный профилометр Zygo. Модель 5500. США.-http://zygoserver.com/manuals/other/0218 A.pdf Г23.01.2005)

23. Ribbens W.B. Interferometric surface roughness measurement/ W.B.Ribbens// Applied Optics.- 1969.- T.8.- №11.- C.2173-2176.-http://ao.osa.org/abstract.cfm7id-16036 (05.09.2001)

24. Wang S. Portable laser roughometer/ S.Wang, J.Wu//Proceedings of SPIE.- 1998.-T.3558.- C.293-297.- http://bookstore.spie.org/mdex.cfm?fuseaction=DetailPaper& ProductId=318404 (11.08.2003)

25. Karabacak T. Large-Angle In-Plane Light Scattering from Rough Surfaces/ T.Karabacak, Y.Zhao, M.Stowe, B.Quayle, G.Wang, T.Lu// Applied Optics.- 2000.-T.39.- №25.- C.4658-4668.- http://ao.osa.org/abstract.cfm7id-62660 (11.05.2004)

26. Yandembroucq D. Light scattering from cold rolled aluminium surfaces / D.Vandembroucq, A.Tarrats, J.J.Greffet, S.Roux, F.Plouraboue /. Opt. Oommun.-2001.- T. 187.-№4-6.- C.289-294.

27. Bloechle W. Measuring Surface Roughness with an Optical Sensor/ W.Bloechle // Sensors Magazine.- 1999.- №4.- C. 19-20.httti://www.sensorsmag.com/articles/0499/0499 58/index.htm (11.05.2004)

28. Tomassini P. Novel optical sensor for the measurement of surface texture/ P.Tomassini, L.Rovati, G.Sansoni, F.Docchio //Review of Scientific Instruments.-2001.- T.72.- №4,- C.2207-2213.- http://scitation.aip.org/getabs/servlet/

29. GetabsServlet?prog-normal&id=-RSINAKQQQ072Q00004002207000001&idtype=cv ips&gifs=Yes (11.05.2004)

30. Wang S. Development of a Laser-Scattering-Based Probe for On-Line Measurement of Surface Roughness/ S.Wang, Y.Tian, C.Tay, C.Quan//Applied Optics.- 2003,-T.42.- №7.- C.l318-1324.- http://ao.osa.org/abstract.cfm?id=71373 (11.05.2004)

31. Миронченко В.И: Приборы бесконтактного*контроля шероховатости наружних'поверхностей деталей машиностроения в цеховых условиях'серии «Дозор»/ В.И. Миронченко // Измерительная техника.- 2005.- №.1- G.21.

32. Басс Ф.Г. Рассеяние волн на статистически неровной поверхности/ Ф.Г.Басс, И.М.Функс.-М* :Наука, 1972.-424с.

33. Allardyce К.J. Diffraction analysis of rough reflective surfaces/ К.J.Allardyce, N.George // Applied Optics.- 1987.- T.26. №12. C.2364.-http://ao.osa.org/abstract.cfm?id=30404 (22.03.2003)

34. Исакович M.A. Рассеяние волн статистически-шероховатой поверхностью / МА.Исакович // ЖЭТФ.- 1952.- Т.23.- №3,- С.305-314.

35. Beckmann P. The Scattering of Electromagnetic Waves from Rough Surfaces/ P.Beckmann, A.Spizzichino// Pergamon Press.- Oxford.- 1963.

36. Ким К.Ю. Теоретическая и экспериментальная оценка коэффициента отражения слабошероховатых поверхностей/ К.Ю.Ким, В.Я.Менделеев// Лазеры. Измерения. Информация: Тезисы доклада конференции.- СПб., 2004.-С.42.

37. O'DonnelbK.A. Polarization dependence of scattering from one-dimensional rough surfaces/K.A.O'Donnell, M.E.Knotts// JournaLof the Optical Society of America A-1991.- T.8.- C.l 126.- http://iosaa.osa.org/abstract.cfm7idM-106 (22.03.2003)

38. Mendez E.R. Photofabrication of one-dimensionarrough surfaces for light-scattering experiments / E.R.Mendez, M.A.Ponce, V.Ruiz-Cortes, Zu-Han Gu// Applied Optics.- 1991.- T.30.- №28. C.4103.-http://ao.osa.org/abstract.cfm7id-60916 (22.03.2003)

39. Mendez E.R. Statistics of the polarization properties of onedimensional randomly rough surfaces / E.R.Mendez, A.G.Navarrete, R.E.Luna // JOSA. A.- 1995.- T.12.-№11.- C.2507.

40. Bruce N.C. Scattering of light from surfaces with one-dimensional structure calculated by the ray-tracing method/ N.C.Bruce // JOSA. A.- 1997.- T.14.- №8.-C.1850.

41. Michel T.R. Stokes matrix of a-one-dimensional perfectly conducting rough surface/ T.R.Michel, M.E.Knotts, K.A.O'Donnell // JOSA. A.- 1992.-T.9.- №4.-C.585.

42. Knotts M.E. Measurements of light scattering by a series of conducting surfaces with one-dimensional.roughness / M.E.Knotts, K.A.O'Donnell // JOSA. A.- 1994.-T.ll.- №2 C.697.

43. Soto-Crespo J.M. Electromagnetic scattering from very rough random surfaces and deep reflection gratings / J.M.Soto-Crespo, M.Nieto-Vesperinas // JOSA. A.- 1989.-T.6.- C.367.

44. Marx E. Direct and inverse problems for light scattered by rough surfaces / E.Marx, T.V.Vorburger // Appl. Opt.- 1990.- T.29.- №25.- C.3613.

45. Dainty J.C. Measurements of light scattering by a characterised rough surface/ J.C.Dainty, N.C.Bruce, A.J.Sant // Waves in Random Media.- 1991.- №3.f

46. C.29-40.- http://optics.nuigalwav.ie/people/chris/chrispapers/Paper060.pdf (17.01.2005)

47. Bruce N.C. Mueller matrix elements for rough surface scattering using the

48. Mendeleev V.Y. Experimental study of a reason for depolarization of laser light scattered from a rough surface/ V.Y.Mendeleev, S.N.Skovorod'ko // Proc. SPIE.ii2002.- №4607.- C.275-280.

49. Mendeleev V.Ya. Why a rough-surface scattering incident polarized laser light can be perceived as the depolarizing system/ V.Y.Mendeleev, S.N.Skovorod'ko //Proc. SPIE.- 2002.- №.4680.- C.99-105.

50. Катыс Г.П. Восприятие и анализ оптической информации автоматической системой.- М., Машиностроение, 1986.- 416с.

51. Alimov S.I1 Portable optical sensor for surface roughness measurements / S.I.Alimov, K.Yu.Kim, V.Ya.Mendeleev, S.N.Skovorod'ko, V.N.Porotov// Steel Times International.- 2002.- T.26.- №26.- C.28.

52. Ким К.Ю. Оптический метод бесконтактного контроля шероховатости поверхностей/ К.Ю.Ким // Микроэлектроника и информатика 2002: Сб. тез. докл. межвуз. науч.-тех. конф., 17 апреля 2002г., МИЭТ.- М.- 2002.- С.230.

53. Ким К.Ю. Оптический метод бесконтактного контроля шероховатости при автоматизации технологического процесса / К.Ю.Ким, В.Б.Никулин, А.М.Грушевский //Известия высших учебных заведений. Электроника.- 2004.-№5.- С.79-83.

54. Ким К.Ю., Менделеев В.Я. "Теоретическая и экспериментальная оценка коэффициента отражения слабошероховатых поверхностей." Тезисы доклада конференции "Лазеры. Измерения. Информация.". Санкт-Петербург. 2004г. стр.42

55. Ким К.Ю., Никулин В.Б., Грушевский A.M. "Оптический контроль шероховатости поверхностей при автоматизации технологических процессов" Известия ВУЗов "Электроника", Вып.5, 2004. с.38-41