Глубокая очистка некоторых летучих соединений III-V групп Периодической системы: На примере кремнийорганических соединений и алкоголятов металлов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.17.01, кандидат химических наук Рябцева, Марина Викторовна

• Рябцева, Марина Викторовна
• кандидат химических наук
• 2003

Оглавление диссертации кандидат химических наук Рябцева, Марина Викторовна

1 .ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР.

1.1.ОБЗОР МЕТОДОВ ПОЛУЧЕНИЯ ОСОБО ЧИСТЫХ АЖОГОЛЯТОВ

III-V ГРУПП.

1.2.ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА И МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ НЕКОТОРЫХ КРЕ МНИЙЭ ЛЕ МЕ НТООРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ (КЭОС).

1.2.1.ФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА.

1.2.2.МЕТОДЫ С1ШТЕЗА.

1.2.3.ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛОКСАНА.

1.2.4.ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАЗАНА.

1.3.ОБЗОР МАТЕМАТИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ, ПРИМЕНЯЕМЫХ ДЛЯ РАСЧЕТА ПРОЦЕССОВ РАВНОВЕСИЙ ПАР-ЖИДКОСТЬ И ЖИДКОСТЬ-ТВЕРДОЕ.

1.4.АЗЕОТРОПНЫЕ СИСТЕМЫ. РАСЧЕТ АЗЕОТРОПНЫХ СОСТАВОВ. ГРАНИЦЫ ОБЛАСТЕЙ РЕКТИФИКАЦИИ.•.

1.5.МЕТОДЫ РАСЧЕТА ПРОЦЕССА МНОГОКОМПОНЕНТНОЙ ПЕРИОДИЧЕСКОЙ РЕКТИФИКАЦИОННОЙ ОЧИСТКИ.,.

2.ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ.

2.1 .ПОВЕДЕНИЕ ПРИМЕСЕЙ (ГЕНЕЗИС И ПРЕВРАЩЕНИЯ) НА ПРИМЕРЕ КРЕМНИЙЭЛЕМЕНТООРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ.

2.1.1.ИЗУЧЕНИЕ ФАЗОВОГО РАВНОВЕСИЯ ЖИДКОСТЬ-ПАР В СИСТЕМЕ ГМДСА-ГМДСО-ТМСО.

2.1.2. РЕКТИФИКАЦИЯ СМЕСИ ГМДСА-ГМДСО-ТМСО.

2.2.МЕТОДИКА РАСЧЕТА ДАВЛЕНИЯ НАСЫЩЕННОГО ПАРА И

КОЭФФИЦИЕНТОВ РАЗДЕЛЕНИЯ НА ПРИМЕРЕ СОЕДИНЕНИЙ МЫШЬЯКА, СУРЬМЫ, ВИСМУТА И ИХ АЛКОГОЛЯТОВ.

2.3.РАСЧЕТ ОПТИМАЛЬНОГО РЕЖИМА РАБОТЫ СИСТЕМЫ 2-х КОЛОНН НЕПРЕРЫВНОЙ РЕКТИФИКАЦИИ ПРИ ГЛУБОКОЙ - ОЧИСТКЕ ВЕЩЕСТВ.

2.3.1.РАСЧЕТ ОПТИМАЛЬНЫХ РЕЖИМОВ НЕПРЕРЫВНОЙ РЕКТИФИКАЦИИ ДЛЯ НЕКОТОРЫХ РЕАЛЬНЫХ СИСТЕМ.

ВЫВОДЫ.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Глубокая очистка некоторых летучих соединений III-V групп Периодической системы: На примере кремнийорганических соединений и алкоголятов металлов»

Для развития передовых направлений современной техники, таких как микро- и оптоэлектроника, оптика и волоконно-оптические линии связи, нанотехнологические системы и др. необходимы химические материалы высокой степени чистоты [1,2]. В микроэлектронике важнейшими стадиями производства интегральных микросхем являются процессы плазмохимического и пиролитического осаждения тонких диэлектрических слоев различного функционального назначения (защитных, маскирующих, пассивирующих, легирующих и др.). Для этих целей широко применяются пленки двуокиси кремния, нитрида и оксинитрида кремния, легированной (атомы бора, фосфора, сурьмы и др.) двуокиси кремния. Важнейшим компонентом новейших конструкционных высокотемпературных керамических и металлокерамических материалов V является порошкообразный высокочистый нитрид кремния [3-7].

Требования по содержанию примесей в исходных соединениях определяются конкретными технологическими процессами в которых они используются. Как правило, они составляют п*(10"5-10"7)% масс, по отдельным примесям.

Рядом зарубежных фирм [8-12] освоен выпуск широкого ассортимента соединений указанной чистоты. Существенную часть его составляют кремнийорганические соединения (гексаметилдисилазан, гекса-метилдисилоксан и др.) и алкоголяты элементов Ш-У групп Периодической системы (бор, алюминий, кремний, германий, мышьяк и др.). На основе этих соединений создан ряд технологических процессов получения высокочистых элементов и их соединений.

Однако в настоящее время существует необходимость в дальнейших исследованиях химических и физико-химических процессов, происходящих в сложных системах на основе данных соединений с целью оптимизации и усовершенствования этих процессов.

В качестве объектов изучения нами были выбраны кремнийэлемен-тоорганические соединения, в частности гексаметилдисилазан, а также ал-коголяты мышьяка и их аналоги и производные. Это позволило предложить модели для определения параметров глубокой очистки веществ и эк-периментально проверить адекватность этих моделей.

Результаты проведенных расчетов и экспериментов были использованы для разработки технологии глубокой очистки ряда летучих соединений, в том числе кремнийэлементоорганических соединений, алкоголятов, органических растворителей.

1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР

Заключение диссертации по теме «Технология неорганических веществ», Рябцева, Марина Викторовна

ВЫВОДЫ:

Исследована диаграмма состояния «жидкость-пар» тройной системы «гексаметилдисилазан — гексаметилдисилоксан - триметилсиланол» и выявлено существование в ней тройного азеотропа в области высоких концентраций гексаметилдисил азана.

На основании изучения кинетики процесса гидролиза гексаметилдиси-лазана доказано, что процесс протекает через стадию образования три-метилсиланола, стабильность которого зависит от содержания в растворе примеси аммиака.

Предложена математическая модель оптимального режима процесса ректификационной очистки в системе из 2-х колонн и показана адекватность ее применения для глубокой очистки летучих органических и кремнийэлементоорганических соединений.

Проведена оценка возможности сравнительного расчета коэффициентов разделения для примесей в системах «жидкость-пар» и «твердое-пар» на основе молекулярных констант веществ. Показано, что при отсутствии межмолекулярного взаимодействия коэффициенты разделения, в основном, зависят от структуры разделяемых соединений. Определены коэффициенты разделения в системах «жидкость-пар» и «твердое-пар» на основе гексаметилдисилазана, алкоголятов элементов и элементарного мышьяка. Установлены примеси, лимитирующие процессы очистки этих веществ дистилляционными и сублимационными методами.

На основании данных по коэффициентам разделения в системах на основе гексаметилдисилазана и алкоголятов элементов определены оптимальные режимы процессов их очистки дистилляционно - ректификационными методами. Показано, что для очистки алкоголятов в большинстве случаев более приемлема простая дистилляция, тогда как для очистки гексаметилдисилазана необходима высокоэффективная ректификация.

7. Разработаны и освоены в производстве экологически чистые процессы получения особо чистых гексаметилдисилазана и гексаметилдисилок-сана для микроэлектроники мощностью до 2-х тонн в год, полностью обеспечивающие промышленность России и Беларуси.

8. По результатам расчета на основе предложенных математических моделей была повышена эффективность работы технологических схем глубокой очистки органических растворителей на Шосткинском ЗХР, что обеспечило повышение производительности на 8 12%.

Список литературы диссертационного исследования кандидат химических наук Рябцева, Марина Викторовна, 2003 год

1. Девятых Г.Г., Еллиев Ю.Е. Введение в теорию глубокой очистки веществ. М.: Наука, 1981, 200с.

2. Степин Б.Д., Горштейн И.Г., Блюм Г.З. и др. Методы получения особо чистых неорганических веществ. JL: Химия, 1969, 480с.

3. Воронков М.Г., Сулимин А.Д., Ячменев В.В. и др. Плазмохимическое получение пленок нитрида кремния из гексаметилдисилазана. // ДАН СССР, 1980, т.251, № 5, с. 1156-1159.

4. Воронков М.Г., Сулимин А.Д., Ячменев В.В. и др. Получение пленок нитрида кремния из гексаметилциклотрисилазана в высокочастотном тлеющем разряде. // ДАН СССР, 1981, т.259, № 5, С.1130-1132.V

5. Воронков М.Г., Сулимин А.Д., Ячменев В.В. и др. Свойства пленок фос-форсиликатного стекла, полученных при разложении трис-(триметилсилил)фосфата в кислородной высокочастотной плазме. // ДАН СССР, 1979, т.244, № 1, с.127-130.

6. Воронков М.Г., Сулимин А.Д., Ячменев В.В. и др. Плазмохимическое получение пленок боросиликатного стекла на основе трис-(триметилсилил)бората. //ДАН СССР, 1978, т.241, № 6, с.1363-1366.

7. Каталог фирмы "ICN", США, 1998 г.

8. Каталог фирмы "Aldrich США, 2000-2001 г.

9. Каталог фирмы "Lancaster", ФРГ, 1997-1999 г.

10. Каталог фирмы "Fluka", ФРГ, 1999/2000 г.

11. П.Каталог фирмы "Merck", ФРГ, 2000 г.

12. Ргрсшадзе В.Т. Мышьяк. М.: Металлургия, 1969, 190с.

13. Федоров В. А., Пашинкин A.C., Ефремов A.A., Гринберг Е.Е. Физико-химические основы получения высокочистого мышьяка из сульфидных руд. //Высокочистые вещества, 1991, № 5, с.7-30.

14. Федоров В.А., Ефремов A.A., Жуков Э.Г. и др. ЖРХО им. Д.И.Менделеева, 1995, t.XXXIX, № 4, с.46-57.

15. Гидриды, галиды и металлоорганические соединения особой чистоты. М.: Наука, 1976,152с.

16. Ефремов В.А., Ефремов A.A., Каретников Г.С., Зелъвенский Я.Д. Исследование влияния примеси воды на процессы глубокой очистки треххло-ристого мышьяка. // Труды МХТИ, М., 1972, вып.69, с. 159-162.

17. Ефремов A.A., Ефремов В.А., Морозова JI.B. и др. Физико-химические основы глубокой очистки треххлористого мышьяка. // Электронная техника, сер. Материалы, 1972, вып.7, с.92-98.

18. Ефремов A.A., Морозова Л.В., Потепалов А.П. и др. О примесях углерода в треххлористом мышьяке различного происхождения. // там же, с.99-102.

19. Ефремов A.A., Ахмадеев В.Я., Микляев А.Д. и др. Адсорбция микропримесей серы из треххлористого мышьяка. // там же, 1972, вып.З, с.96-99.

20. Ефремов A.A., Федоров В.А., Ефремов В.А., Филиппов Э.П. Равновесие жидкость-пар бинарных растворов, образованных треххлористым мышьяком с некоторыми хлоралканами. // там же, 1973, вып.4, с.42-47.

21. Ефремов A.A., Зельвенский Я.Д., Иванов В.Н. Сорбционная очистка мышьяковистого водорода. // Сб. науч. трудов по проблеме микроэлектроники. М.: 1972, вып. 13, с.96-101.

22. Потепалов В.П., Ефремов A.A., Егурнов В.Я., Гринберг Е.Е. Ректификационная очистка арсина. Сообщение 1. // Электронная техника, сер. Материалы, 1974, вып.2, с.49-51.

23. Потепалов В.П., Ефремов A.A., Егурнов В.Я. и др. Ректификационная очистка арсина. Сообщение 2. // там же, с. 103-107.

24. Девятых Г.Г., Зорин АД. Летучие неорганические гидриды особой чистоты. М.: Наука, 1974,206с.

25. Потепалов В.П., Гринберг Е.Е., Ефремов A.A. и др. Поведение примесей серы и селена в процессе синтеза арсина. // Электронная техника, сер. Материалы, 1974, № 8, с.61-65.

26. Ефремов A.A., Габисиани Г.Г., Гринберг Е.Е. и др. Термическое разложение триалкиларсенитов. // Высокочистые вещества, 1992, № 2, с.91-104.

27. Черная Н.Г. Технология особо чистых алкоголятов бора и германия. // дисс. .канд. хим. наук, М., 1991, 156с.

28. Семин А. А. Технология получения веществ особой чистоты с применением алкоголятов. // дисс. канд. техн. наук, М., 2002,112с.

29. Габисиани Г.Г. Получение особо чистого мышьяка из триалкиларсени-тов. //дисс. .канд. хим. наук, М, 1988,169с.

30. Молоканов Ю.К., Кораблина Т.П., Клейновская М.А., Щелкунова М.А. Разделение смесей кремнийорганических соединений. JI.: Химия, 1986, 26с.

31. Гольдина О.А., Кузнецова Ю.С., Иванова Т.Г. и др. Химические реактивы и высокочистые химические вещества. Каталог. М.: Химия, 1990, 688с.

32. Алексеев П.Г. и др. Свойства кремнийорганических жидкостей. М.: Энергоатомиздат, 1997, 325с.

33. Алексеев П.Г. и др. Теплофизические свойства кремнийорганических соединений. М.: Энергоатомиздат, 1993,240с.

34. Peppard D.F., Brown W.G.,Jonson W.C. Preparation and Synthetic Applications of Alkyl Chlorosilicates I I J. Am. Chem. Soc. 1946. v.68. № 1. p.70-72.

35. Brewer S.D., Haber C.P. Alkylsilazanes and Some Related Compaunds // J. Am. Chem. Soc. 1948. v.70. № 11. p.3888-3891.

36. Андрианов KA.f Румба Г.Я. О реакциях переаминирования полиме-тилциклосилазанов анилином // ЖОХ, 1962, т.32, № 6, с. 1993-1997.

37. Anderson Н.Н. The Redistribution Reaction in Substituted Fluorosilanes. Jodofluorosilanes // J. Am. Chem. Soc. 1950. v.72. № 5. p.2091-2093.

38. Breed L. W., Haggerly W.J. Aryl and Alkylchlorodialkoxysilanes // J. Org. Chem. 1960. v.25. № 1. p.126-128.

39. Андрианов K.A., Голубцов СЛ., Лобусевич И.П. О симметризации метилэтоксихлорсиланов // ЖОХ, 1956, т.26, № 1, с.197-199.

40. Андрианов К.А. Методы элементоорганической химии. М.: Наука, 1968, 699с.

41. Weyenberg D.R., Bey А.Е., Stewart H.F. and Atwell W.H. The redistribution of chlorine, fluorine, or methoxy with hydrogen on silicon I I J. Organometal. Chem. 1966. v.6. № 5. p.583-586.

42. Андрианов К А., Котрелев Г.В., Котов В.М. Аммонолиз высших алкил-трихлорсиланов //ЖОХ, 1965, т.35, № 12, с.2176-2180.

43. Андрианов К.А., Кононов A.M., Макарова Н.Н. О реакции аммонолизаvтриалкил(арил)хлорсиланов//ЖОХ, 1966, т.36, № 5, с.895-900.

44. Андрианов К.А., Румба Г.Я. О гидролизе циклических полиметилсила-занов // ЖОХ, 1961, т.31, № 12, с.4038-4042.

45. Андрианов К.А., Хайдук И., Хананашвили JI.M. Образование полициклосилазанов при аммонолизе диметилдихлорсилана // ЖОХ, 1964, т.34, № 3, с.912-914.

46. Орлов Н.Ф., Долгов Б.Н., Воронков М.Г. Сб. Химия и практическое применение кремнийорганических соединений, вып.1, изд. ЦБТИ, 1958, 172с.

47. Andrianov КА., Ismailov В.А., Kononov A.M., Kotrelev G. V. Reactions of organocyclosilazanes with electrophilic and nucleophilic reagents I I J. Organometal. Chem. 1965. v.3. № 2. p.129-137.

48. Дроздов В.А., Крешков А.П., Романова АД. Исследование взаимодействия некоторых алкил(арил)фторсиланов с диметилформамидом // ЖОХ, 1970, т. 40, № 2, с.2581-2584.

49. Ястребов В.В., Чернышев А.И. Кинетика и механизм каталитического расщепления Si-OC связи четыреххлористым кремнием. Кинетика и "катализ, вып. 4,1973, с.933-938.

50. Жинкин Д.Я., Семенова Е.А., Андрианов К А. О реакциях гидролиза алкилгидроциклосилазанов и диалкилциклосилазанов // Изв. АН СССР, сер. хим., 1963, №11, с.1989-1992.

51. Андрианов КА., Базов В.А., Котрелев Г.В. Органоциклосилазаны, их структура и свойства // ДАН СССР, 1967, т. 176, № 3, с.579-582.

52. Андрианов К.А., Румба Г.Я. О перегруппировках гексаметил- и октаметилциклосилазанов //ДАН СССР, 1962, т.145, № 5, с.1049^1051.

53. Fessenden R., Fessenden J.S. The Chemistry of Silicon-Nitrogen Compounds // Chem. Rev. 1961. v.61. № 4. p.361-388.

54. Van Wazer J.R., Mocdritzer K. Molecular Distributions at Equilibrium // J. Chem. Phys., 1964. v.41. № 10. p.3122-3126.

55. Ayleh B.I. Silicon-Nitrogen Compounds // Preparative Inorg. Reactions, 1965, № 2, p.93-138.

56. Silbiger J., Fuchs J., Gesundheit N. Some Reactions of Chlorosilazanes // Inorg. Chem., 1967. v.6. № 2. p.399-401.

57. Breed L. W., Wiley J.C. New Cyclodisilazane Derivatives // Inorg. Chem., 1972. v.ll. № 7. p. 1634-1638.

58. Варежкин Ю.М., Моргунова M.M., Жинкин Д.Я. Взаимодействие орга-ноциклодисилазанов с хлористым водородом // ЖОХ, 1980, т.50, № 6, с.1355-1359.

59. Май JI.A., Румба Г.Я. О природе связей кремний-азот в силазанах // Изв. АН Латв.ССР, 1964, № 1, с.23-27.

60. Андрианов К.А., Котрелев Г.В., Казакова В.В., Тебенева Н.А. Новыеперегруппировки органоциклосилазанов и силоксанов // ДАН СССР, 1977, т.233, № 2, с.353-356.

61. Андрианов К.А., Тебенева Н.А., Петрова И.М., Котрелев Г.В. Поликонденсация Лг,Л^-бис-(органоаминосилил)-циклодисилазанов с а,со-дигидроксиполидиметилсилоксанами // ДАН СССР, 1975, т.222, № 5, с.1101-1103.

62. Белоусова Л.И., Власова Н.Н., Воронков М.Г. Взаимодействие бис(трисметилсилил)-сульфата с гексаметилдисилазаном, ацетамидом и гидрохлоридом гуанидина // ЖОХ, 1998, т.68, № 3, с.427-429.

63. Андрианов К.А., Кононов А.М., Школьник М.И. О синтезе органотрисилазанов // Изв. АН СССР, сер. хим., 1969, № 9, с.2052-2053.

64. Андрианов К.А., Астахин В.В., Кочкин ДА., Суханова И.В. О взаимодействии гексаметилдисил азана с галогенидами алюминия и титана//ЖОХ, 1961, т.31, № 10, с.3410-3411.

65. Андрианов К.А., Ильин М.М., Таланов В.Н., Жураковская И.И. Реакция соаммонолиза четыреххлористого кремния с триметилхлорсиланом // Изв. АН СССР, сер. хим., 1976, № И, с.2614-2616.

66. Андрианов К.А., Сырцова Ж.С., Копылов В.М. О реакциях алкилсилазанов с едким кали и метилатом калия в метаноле // ДАН СССР, 1969, т. 186, № 2, с.321-324.

67. Варежкин Ю.М., Жинкин Д.Я., Моргунова М.М., Бочкарев В.Н. Гидролиз 1,3-бис(диметилхлорсилил)-2,2,4,4-тетраметилциклодисилаза-на и 1,3-бис(диметиламиносилш1)-2,2,4,4-тетраметилциклодисилазана // ЖОХ, 1975, т.45, № 11, с.2455-2459.

68. Гиббс Д.В. Термодинамические работы. М.-Л.: Гостехтеоретиздат, 1950.492с.

69. Праузнитц Дж. Машинный расчет парожидкостного равновесия многокомпонентных смесей. М.: Химия, 1971. 215с.

70. Коган В.Б. Гетерогенные равновесия. JL: Химия, 1968. 431с.

71. Oliver E.D. Multicomponent Margules Equation // Ind. Eng. Chem. 1968. v.7. № 2. p.335-339.

72. Хала Э. и др. Равновесие между жидкостью и паром. М.: ИЛ, 1962. 438с.

73. Ветохин В.Н. Разделение многокомпонентных смесей // Итоги науки и техники. Серия «Процессы и аппараты химической технологии». М.: ВИНИТИ. 1973. с.62-106.

74. Wilson G.M. Vapor-liquid Equilibrium. XIA new expression for the Express Three Energy of Mixing // J. Am. Chem. Soc. 1964. v.86. № 2. p.127-130.

75. Bruin S. Activity Coefficient Relations in Miscible and Partially Miscible Multicomponent Systems // Ind. and Eng. Chem. Fundam. 1970. v.9. № 3. p.305-314.

76. Платонов B.M., Петлюк Ф.Б., Аветъян B.C. Исследование уравнения Вильсона для описания неидеального поведения бинарных растворов // Теор. основы хим. технол. 1971. т.5. № 1. с.122-127.

77. Eckert СЛ. Parameters in Wilson Equation // Ind. Eng. Chem. Process Des. Develop. 1972. v.ll. № 4. p.631-633.

78. Abrams D.S., Prausnitz J.M. Statistical Thermodynamics of Liquid Mixtures: A new Expression for the Excess Gibbs Energy of Partly or Completely Miscible Systems //AJChE Journal. 1975. v.21. № 1. p.l 16-128.

79. Kemeni S., Manzinger Т., Treatment of binary vapor-liquid equilibrium data //Chem. Eng. Sci. 1978. v.33. № 1. p.71-76.

80. Tassios D., The number of roots its NRTL and LIMF equations and the effect for their performance // Ind. Eng. Chem. Pr. Des. Dev. 1979. v. 18. № 1. p.181-186.

81. Silkerman N., Tassios D. The number of effect roots in the Wilson equation and its effection vapor-liquid equilibrium calculations // Ind. Eng. Chem. Pr. Des. Dev. 1977. v.16. № 1. p.13-20.

82. Аристович В.Ю. и др. Аналитические уравнения для расчета равновесия жидкость-пар и условия их неприменимости // Ж. физ.химии. 1969. т.32. с. 1531-1534.

83. Николаев Е.С. и др. Проверка адекватности при описании равновесия жидкость-пар уравнением Вильсона // ТОХТ. 1976. т. 10. с.289-292.

84. Anderson T.F., Prausnitz J.M. Application of the UNIQUAC equation tovcalculation of multicomponent phase equilibria // Ind. Eng. Chem. Pr. Des. Dev. 1978. v.17. № 4. p.552-561.

85. Fredenslund A., Russell L.J. and. Prausnitz J.M. Group-Contribution Extinction of Activity Coefficients in Nonideal Liquid Mixtures // AJChE Journal. 1975. v.21. № 6. p. 1086-1099.

86. Derr E.L., Deal C.H. Analytical Solutions of Groups: Correlation of Activity Coefficients through structural Group Parameters // Inst. Chem. Engrs. Symp. Ser. 1969. № 32. p.340-351.

87. Бояринов А.И., Ветохин B.H., Кафаров В.В. и др. Особенность констант уравнений равновесия //Ж. физ. химии. 1973. т.47. № 4. с. 1011-1012.

88. Ветохин В.Н., Глебов М.Б. Системный анализ азеотропной экстрактивной ректификации // Итоги науки и техники. Сер. «Процессыи аппараты химической технологии». М: ВИНИТИ. 1979. т.6. сЛ 16-185.

89. Кафаров В.В., Глебов М.Б. Математическое моделирование основных процессов химических производств. М.: Высшая школа, 1991. 400с.

90. Кафаров В.В. Методы кибернетики в химии и химической технологии. М.: Химия, 1985. 464с.

91. Кафаров В.В., Ветохин В.Н. Основы построения операционных систем в химической технологии. М.: Наука, 1980. 432с.

92. Кафаров В.В., Мешалкин В.П., Перов B.JI. Математические основы автоматизированного проектирования химических производств. М.: Химия, 1979. 320с.

93. Кафаров В.В., Перов В. Jl.t Мешалкин В.П. Принципы математическогомоделирования химико-технологических систем. М.: Химия, 1974. 343с.

94. Benedict М., Webb G.B., Rubin L.C. An empirical Equation for thermodynamic Properties of light Hydrocarbons and . their Mixtures // Chem. Eng. Progr. 1951. v.47. № 8. p.419-422.

95. Bruin S.f Prausnitz J.M. One-Parameter Eg for Excess Gibbs Energy of Strongly Nonideal Liquid Mixtures // Ind. Eng. Chem. Process Des. Develop. 1971. v.10. № 4. p.562.

96. Огородников C.K, Лестева T.M., Коган В.Б. Азеотрогшые смеси. Справочник. Л.: Химия, 1971. 848с.

97. Meissner Н.Р., Greenfeld S.H. Composition and Boiling Points of Binary Azeotropes // Ind. and Eng. Chem. 1948. v.40. № 3. p.438-442.

98. Shorr L.M. A correlation Method for binary Azeotrope Data // J. Appl. Chem. 1964. V.14. № 9. p.376-382.

99. Rajn B.N. Indian Chemical Engineer. 1967. v.9. № 3. p.88.

100. Хорсли JI. Таблицы азеотропных смесей. M. : ИЛ, 1951. 291 с.

101. Барбой В.М., Гарбер Ю.Н., Шашков Ю.И. Расчет азеотропного предела//ТОХТ. 1971. т.5. № 2. с.308-312.

102. Denyer KL., Filder F.A. and Lowry R.A. Azeotrope Formation between Thiols and Hydrocarbons // Ind. and Eng. Chem. 1949. v.41. №12. p.2727-2737.

103. Маленко Ю.И., Молодеико П.Я. Диаграммы трехкомпонентных азеотропных систем. JL: ЛГУ, 1971. 86с.

104. Аристович В.Ю., Степанова Э.Н. Расчетное определениеьмногокомпонентных азеотропов по данным бинарных систем // Ж. Прикл. Химии. 1970. т.43. №10. с.2192-2200.

105. Коган В.Б. Азеотропная и экстрактивная ректификация. JL: Химия, 1971.432с.

106. Ewell R.H., Harrison J.M. and Berg J. Azeotropic Distillation // Ind. and Eng. Chem. 1944. v.36. №10. p.871-875.

107. Skolnik H. Correlation of Azeotropic Date // Ind. and Eng. Chem. 1948. v.40. №3. p.442-450.

108. Nakanishi K. Vapor-Liquid Equilibria of binary Systems Containing Alcohols: Prediction of Azeotropic Temperature and Composition // J. Chem. Eng. Of Jap. 1969. v.2. №1. p. 14-19.

109. Свентославский B.B. Азеотропия и полиазеотропия. М: Химия, 1968. 243с.

110. Стяжкин В.Н. Синтез схем разделения с учетом термодинамических особенностей многокомпонентных смесей.//Дисс. канд. техн. наук., М.:МХТИ, 1981, 168с.

111. Бояринов А.И., Кафаров В.В. Методы оптимизации в химической технологии. М.: Химия, 1975, 575с.

112. Николаев Е.С. Разработка элементов системы автоматизированного проектирования установок ректификации многокомпонентных азеотропных смесей.// Автореф. канд. дисс. М.: МИТХТ, 1976, 20с.

113. Гартман Т.Н. Некоторые вопросы математического моделирования процесса азеотропной ректификации.// Автореф. канд. дисс. М.: МХТИ, 1973,24с.

114. Стронгин Р.Г. Численные методы в многоэкстремальных задачах. М.: Наука, 1978, 367с.

115. Ракитский Ю.В., Устинов С.М., Чериоруцкий И.Г. Численные методы решения жестких систем. М.: Наука, 1979, 208с.

116. Фетисов Ю.М., Фалин В.А., Ефремов A.A. Математические методы в производстве особо чистых веществ.// Химическая промышленность. Серия: Реактивы и особо чистые вещества, М.: НИИТЭХИМ, 1983, 44с.

117. Фетисов Ю.М., Фалин В.А., Ефремов A.A. // В кн.: Реактивы и особо чистые вещества: Тр. ИРЕА, М.: ИРЕА, 1976, вып.ЗЗ, с. 179-185.

118. Фетисов Ю.М., Фалин В.А., Ефремов A.A. //В кн.: Исследования в области химии и технологии особо чистых веществ: Науч. тр., М.:1. ИРЕА, 1979, с.72-79.

119. Москвин A.M., Фалин В.А., Фетисов Ю.М. // В кн.: Химия и технология особо чистых веществ для волоконной оптики : Науч. тр., М.: ИРЕА, 1980, с.106-113.

120. Герасимович А.И., Матвеева Я.И. Математическая статистика. М.: Высш. школа, 1978, 267с.

121. Понтрягин JI.C. и др. Математическая теория оптимальных процессов. М.: Физматгиз, 1961, 391с.

122. Фалин В.А., Москвин A.M., Фетисов Ю.М. И В кн.: Новые процессы и оборудование для получения веществ реактивной квалификации. Днепропетровск: Проминь, 1982, с. 103-109.

123. Протасова Л.В., Бессарабов A.M., Гринберг Е.Е. Ефремов А.А.,V

124. Макаров В.В., Родина Г.Л., Абузин Ю.М., Нечаева Г.Ю. Моделирование процессов дистилляционной очистки кремнийорганических соединений в области микроконцентраций // Высокочистые вещества, 1991, № 2, с. 121-124.

125. Нисельсон Л.А., Ярошевский А.Г., Кочуров A3. Металлические монокристаллы. М.: Наука, 1990, с.60-67.

126. Донцов А.П., Сергеев С.С., Гринберг Е.Е. Давление насыщенного пара гомологов элементоорганических соединений // Высокочистые вещества, 1993, № 3, с. 115-118.

127. Shannon R.D. Revised Effective Ionic Radii and Systematic Studies of Interatomic Distances in Halides and Chalcogenides // Acta Cryst. 1976. A32. p.751-767.

128. Выражаю глубокую благодарность д.х.н. Е.Е.Гринбергу, к.т.н. Ю.И.Левину, к.х.н. Н.Г.Черной и всему коллективу отдела технологии глубокой очистки и регенерации веществ за ценное, обсуждение результатов и помощь в работе.