Фокусирующая Френелевская оптика скользящего падения тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.01, кандидат физико-математических наук Кондаков, Аркадий Станиславович

• Кондаков, Аркадий Станиславович
• кандидат физико-математических наук
• 2000

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Кондаков, Аркадий Станиславович

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. ЭЛЕМЕНТЫ ФОКУСИРУЮЩЕЙ РЕНТГЕНОВСКОЙ

ОПТИКИ.

1.1. Капиллярная рентгеновская оптика.

1.1.1. Монокапиллярные рентгенооптические элементы.

1.1.2. Поликапиллярная оптика. Линзы Кумахова.

1.1.3. Микроканальные пластины.

1.2. Зеркальные рентгенооптические элементы скользящего падения.

1.3. Френелевские зонные пластинки.

1.3.1. Амплитудные зонные пластинки.

1.3.2. Фазовые зонные пластинки.

1.3.3. Амплитудно-фазовые зонные пластинки.

1.4. Брэгг-Френелевская оптика.

1.4.1. Брэгг-Френелевская кристаллооптика.

1.4.2. Брэгг-Френелевские линзы на многослойных рентгеновских зеркалах.

1.5. Рефракционная оптика.

Выводы к главе 1.

ГЛАВА 2. ФАЗОВЫЕ ЗОННЫЕ ПЛАСТИНКИ ФРЕНЕЛЯ

СКОЛЬЗЯЩЕГО ПАДЕНИЯ.

2.1. Теоретический расчет интенсивности излучения в точке фокуса ФЗПФСП.

2.2. Формирование изображения протяженного источника в фокальной плоскости ФЗПФСП.

2.3. Технология изготовления ФЗПФСП.

2.4. Фокусировка рентгеновского излучения ФЗПФСП.

2.4.1. Одномерная фокусировка рентгеновского излучения ФЗПФСП.

2.4.2. Рентгеновский микрозонд: двумерная фокусировка рентгеновского излучения

ФЗПФСП в схеме Киркпатрика-Баеза.

Выводы к главе 2.

ГЛАВА 3. ДИСКРЕТНЫЕ ФРЕНЕЛЕВСКИЕ ЛИНЗЫ

СКОЛЬЗЯЩЕГО ПАДЕНИЯ.

3.1. Теоретический анализ эффективности дифракционных порядков ДФЛСП.

3.2. Технологические аспекты изготовления ДФЛСП.

3.3. Фокусировка рентгеновского излучения ДФЛСП.

3.3.1. Одномерная фокусировка рентгеновского излучения ДФЛСП.

3.3.2. Рентгеновский микрозонд на основе ДФЛСП в схеме Киркпатрика-Баеза.

Выводы к главе 3.

ГЛАВА 4. РЕНТГЕНОАКУСТИЧЕСКИЙ ФОКУСИРУЮЩИЙ

ДЕФЛЕКТОР.

4.1. Теоретическая модель дифракции рентгеновского излучения на ФЗПФСП, промодулированной поверхностными акустическими волнами.

4.2. Экспериментальные исследования свойств рентгеноакустического фокусирующего дефлектора.

Выводы к главе 4.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Фокусирующая Френелевская оптика скользящего падения»

Рентгеновское излучение широко применяется для проведения различных исследований в микроэлектронике, диагностике материалов, медицине и биологии. Использование рентгеновского излучения позволяет осуществлять неразрушающий контроль различных процессов и материалов, открывает новые возможности для изучения различных веществ.

Актуальность темы диссертационной работы обосновывается тем, что важнейшей задачей рентгеновской оптики является разработка и создание новых высокоэффективных рентгенооптических элементов, позволяющих проводить локальный анализ различных материалов с субмикронным разрешением.

Большие перспективы имеет новый тип фокусирующей рентгеновской оптики - фазовая зонная оптика Френеля скользящего падения, которая показала высокую эффективность и возможность создания локального рентгеновского микрозонда. Использование такого микрозонда для локального флуоресцентного анализа с высоким пространственным разрешением и экспериментов по микродифракции позволит повысить эффективность проводимых научных исследований.

Также, большое значение имеет взаимодействие рентгеновского излучения с акустическими волнами. Высокая чувствительность рентгеновского излучения к искажениям кристаллической решетки, вызванных распространением акустических фононов в твердых телах, является основой для эффективного решения задач физической акустики, а дифракция рентгеновского излучения на поверхностных акустических волнах открывает возможность управления рентгеновским излучением посредством изменения параметров ультразвуковой сверхрешетки.

Таким образом, актуальность темы диссертационной работы обусловлена необходимостью изучения дифракционных свойств фазовой зонной оптики Френеля скользящего падения и исследования взаимодействия рентгеновского излучения с ультразвуковой сверхрешеткой.

Сказанное выше позволяет сформулировать цель данной диссертационной работы - теоретический анализ и экспериментальное исследование дифракционных свойств элементов фазовой зонной оптики Френеля скользящего падения в жестком рентгеновском излучении, а так же исследование дифракции рентгеновского излучения на фазовой зонной пластинке Френеля скользящего падения, промодулированной ультразвуковой сверхрешеткой.

Для достижения поставленной цели необходимо решить ряд следующих актуальных задач:

1. Провести теоретические и экспериментальные исследования по созданию рентгеновского микрозонда, основанного на двумерной фокусировке рентгеновского излучения фазовыми зонными пластинками Френеля скользящего падения в схеме Киркпатрика-Баеза.

2. Теоретически и экспериментально исследовать процесс фокусировки рентгеновского излучения дискретными Френелевскими линзами скользящего падения.

3. Провести теоретические и экспериментальные исследования двумерной фокусировки рентгеновского излучения и создания высокоэффективного рентгеновского микрозонда на основе дискретных Френелевских линз скользящего падения в схеме Киркпатрика-Баеза.

4. Экспериментально и теоретически изучить процесс фокусировки рентгеновского излучения фазовыми зонными пластинками Френеля скользящего падения, промодулированными поверхностными акустическими волнами.

Научная новизна результатов, полученных в диссертационной работе, заключается в следующем:

1. Впервые экспериментально продемонстрирована возможность двумерной фокусировки рентгеновского излучения фазовыми зонными пластинками Френеля скользящего падения в схеме Киркпатрика-Баеза, исследованы оптические характеристики полученного рентгеновского микрозонда.

2. Впервые созданы дискретные Френелевские линзы скользящего падения и исследованы их оптические свойства.

3. Впервые создан и исследован высокоэффективный рентгеновский микрозонд на основе дискретных Френелевских линз скользящего падения в схеме Киркпатрика-Баеза.

4. Впервые проведено исследование процесса дифракции рентгеновского излучения на фазовой Френелевской зонной пластинке скользящего падения, промодулированной поверхностными акустическими волнами.

Научное и практическое значение работы определяется тем, что:

Результаты теоретического и экспериментального исследования рентгеновского микрозонда на основе двух фазовых зонных пластинок

Френеля скользящего падения в схеме Киркпатрика-Баеза могут быть использованы в различных методах локального анализа.

Результаты исследования дифракционных свойств нового типа рентгенооптических элементов - дискретных Френелевских линз скользящего падения - доказывают возможность их широкого применения в различных рентгенооптических схемах.

Результаты экспериментально реализованного высокоэффективного рентгеновского микрозонда Киркпатрика-Баеза на основе двух скрещенных дискретных Френелевских линз скользящего падения открывают новые возможности в локальных методах анализа, микродифракции, микрофлуоресцентного анализа, как на лабораторных источниках, так и на источниках синхротронного излучения.

По результатам исследований дифракции рентгеновского излучения на фазовых зонных пластинках Френеля скользящего падения, промодулированных поверхностными акустическими волнами предложен и реализован новый элемент - рентгеноакустический фокусирующий дефлектор.

Основные положения, выносимые на защиту:

1. Результаты экспериментальных и теоретических исследований двумерной фокусировки рентгеновского излучения фазовыми зонными пластинками Френеля скользящего падения в схеме Киркпатрика-Баеза.

2. Результаты экспериментальных и теоретических исследований процесса фокусировки рентгеновского излучения дискретными Френелевскими линзами скользящего падения.

3. Результаты исследований двумерной фокусировки рентгеновского излучения на основе дискретных Френелевских линз скользящего падения в схеме Киркпатрика-Баеза.

4. Результаты экспериментальных и теоретических исследований процесса фокусировки рентгеновского излучения фазовыми зонными пластинками Френеля скользящего падения, промодулированными поверхностными акустическими волнами, послуживших основой для создания рентгеноакустического фокусирующего дефлектора.

Апробация работы. Основные результаты диссертации докладывались на следующих конференциях, совещаниях и семинарах:

1. 11-я Международная конференция по использованию синхротронного излучения СИ-96, Новосибирск, Россия, 1996.

2. 4-th Congress on Acoustics, Marseille, France, 1997.

3. Национальная конференция по применению рентгеновского, синхротронного излучений, нейтронов и электронов для исследования материалов РСНЭ-97, Дубна, Россия, 1997.

4. Всероссийское рабочее совещание "Рентгеновская оптика", Нижний Новгород, Россия, 1998.

5. Молодежная конференция, посвященная 15-летию ИПТМ РАН и 275-летию Российской Академии Наук, Черноголовка, Россия, 1998.

6. Всероссийское рабочее совещание "Рентгеновская оптика - 99", Нижний Новгород, Россия, 1999.

7. Всероссийское рабочее совещание "Рентгеновская оптика - 2000", Нижний Новгород, Россия, 2000.

10

Публикации. По результатам исследований опубликовано 15 научных работ, которые были использованы при написании диссертации.

Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, списка основных публикаций и списка цитированной литературы из 95 названий. Объем диссертации составляет 145 страниц, в том числе 45 рисунков.

Заключение диссертации по теме «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника на квантовых эффектах», Кондаков, Аркадий Станиславович

ОБЩИЕ ВЫВОДЫ И ЗАКЛЮЧЕНИЕ

1. Впервые проведены теоретические и экспериментальные исследования по созданию рентгеновского микрозонда на основе двумерной фокусировки рентгеновского излучения Френелевскими зонными пластинками скользящего падения в схеме Киркпатрика-Баеза. Экспериментально удалось получить в фокальном пятне = 16 % от интенсивности падающего излучения. На основе схемы Киркпатрика-Баеза создан рентгеновский микрозонд, работающий в лабораторных условиях.

2. Предложен новый тип рентгенооптических элементов дискретные Френелевские линзы скользящего падения. Разработана технология изготовления данных элементов.

3. Впервые теоретически и экспериментально исследован процесс фокусировки рентгеновского излучения дискретными Френелевскими линзами скользящего падения. Созданные и исследованные 4-х и 6-ти уровневые ДФЛСП обладают дифракционной эффективностью = 75 % и 85 %, соответственно, что является на данный момент лучшими параметрами в рентгеновской дифракционной оптике.

4. Впервые реализована схема рентгеновского микрозонда на основе двух скрещенных дискретных Френелевских линз скользящего падения в схеме Киркпатрика-Баеза. Экспериментально удалось собрать в фокальном пятне = 70 % от интенсивности падающего излучения.

5. Впервые предложен и реализован новый элемент -рентгеноакустический фокусирующий дефлектор, сочетающий в себе дифракцию на фазовых зонных пластинках Френеля скользящего падения с дифракцией на ультразвуковой сверхрешетке. Экспериментально исследованы его свойства.

133

6. Создана теоретическая модель процесса дифракции рентгеновского излучения на фазовых Френелевских зонных пластинках скользящего падения, промодулированными поверхностными акустическими волнами.

7. Впервые проведены экспериментальные исследования по пространственной модуляции сфокусированного рентгеновского излучения за счет изменения частоты возбуждения поверхностных акустических волн.

В заключении автор считает своим долгом выразить признательность всем тем, кто оказывал ему помощь в выполнении данной работы: прежде всего автор благодарен своему научному руководителю, доктору физико-математических наук, Рощупкину Дмитрию Валентиновичу за помощь в проведении, как экспериментальных исследований, так и в обсуждении результатов; автор выражает свою искреннюю признательность кандидату физико-математических наук Щелокову Игорю Александровичу за ценные советы и замечания, а также благодарит всех сотрудников лаборатории рентгеновской акустооптики за обсуждение работы и постоянную поддержку.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Кондаков, Аркадий Станиславович, 2000 год

1. Roshchupkin D.V., Tucoulou R., Schelokov I.A., Kondakov A.S., Brunei M., Acousto-Optique pour RayonsX, Proceedings of the 4-th Congress on Acoustics, Marseille, France, vol. 2, p.l 133-1136, 14-18 avril, 1997.

2. Roshchupkin D.V., Schelokov I.A., Tucoulou R., Kondakov A.S., Brunei M., X-ray focusing by a ID-grazing incidence Fresnel zone plate, modulated by a surface acoustic wave, Optics Communications, 146, p.25-30, 1998.

3. Roshchupkin D.V., Tucoulou R., Masclet A., Brunei M., Schelokov I.A., Kondakov A.S., X-ray diffraction by standing surface acoustic waves, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 142, p.432-436, 1998.

4. Schelokov I.A., Roshchupkin D.V., Kondakov A.S., Yakshin A.E., Tucoulou R., Brunei M., Two-dimensional X-ray focusing by grazing incidence phase Fresnel zone plates in Kirkpatrik-Baez scheme, Optics Communications, 155, p.l 15-124, 1998.

5. Schelokov I.A., Roshchupkin D.Y., Kondakov A.S., Irzhak D.V., Brunei M., Tucoulou R., Second generation of grazing-incidence-phase Fresnel zone plates, Optics Communications, 159, p.278-284, 1999.

6. Щелоков И.А., Рощупкин Д.В., Кондаков A.C., Якшин А.Е., Брюнель M., Двумерная фокусировка рентгеновского излучения фазовыми зонными пластинками Френеля скользящего падения в схеме136

7. Киркпатрика-Баеза, Поверхность, рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, №1, стр. 87-91, 1999.

8. Щелоков И.А., Рощупкин Д.В., Кондаков A.C., Брюнель М., Тукулу Р., Второе поколение Френелевских зонных пластинок скользящего падения, Материалы Всероссийского рабочего совещания "Рентгеновская оптика 99", Нижний Новгород, Россия, стр. 156-165,1999.

9. СПИСОК ЦИТИРУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ

10. Kreger D.R., Ree. Trans. Bot. Neerlandais 41, 603, 1948; Kreger D.R., in Selected Topics in X-Ray Crystallography, edited by Y. Bouman, Interscience, New York, 1951.

11. Carpenter D.A., X-Ray Spectr., 18,253, 1989.

12. Brewe D.L., Heald S.M., Barg В., Brown F.C., Kim K.H., Stern E.A., Proceeding of the SPIE, vol. 2516, p. 197-203, 1995.

13. Attaelmanan A., Voglis P., Rindby A., Larsson S., Engstrom P., Rev. Sei. Instrum., 66 (1), 1995.

14. Thiel D.J., Bilderback D.H., Lewis A., Stern E.A., Nucl. Instrum. Methods A 317, 597, 1992.

15. Thiel D.J., Bilderback D.H., Lewis A., Rev. Sei. Instrum. 64, 2872, 1993.

16. Hoffman S.A., Thiel D.J., Bilderback D.H., Opt. Eng. 33, 303, 1994.

17. Bilderback D.H., Hoffman S.A., Thiel D.J., Science 263, 201, 1994.

18. Bilderback D.H., Hoffman S.A., Thiel D.J., Syn. Rad. News 7, 27, 1994.

19. Hoffman S.A., Thiel D.J., Bilderback D.H., Nuclear Instr. & Methods in Phys. Research, vol. 347, iss. 1-3, p.384-389, 1994.

20. Engstroem P., Riekel C., Journal of Synch. Radiation, vol. 3, iss: pt.3, p. 97100, 1996.

21. Кумахов M. А., Излучение каналированных частиц в кристаллах. М.: Энергоатомиздат, 1986.

22. И.Аркадьев В. А., Коломийцев А. И., Кумахов М. А., Пономарев И. Ю., Ходеев И. А., Чертов Ю. П., Шахпаронов И. М., Широкополосная рентгеновская оптика с большой угловой апертурой, Успехи физ. наук, т. 157, вып. 3, 1989.

23. Kovantsev V.E., Pant J., Pantojas V., Nazaryan N., Hayes T.M., Persans P.D., Capillary based x-ray collector/collimator for diffraction applications, Appl. Phys. Lett., 62 (23), 1993.

24. Kardiawarman A., York B.R., Qian X.W., Xiao Q.F., MacDonald C.A., Gibson C.A., Application of a multifiber collimating lens to thin film structure analysis, Proceeding of the SPIE, vol. 2519, p. 197-206, 1995.

25. Kirkland J.P., Kovantsev V.E., Dozier C.M., Gilfrich J.V., Gibson W.M., Xiao Qi-Fan, Umezawa K., Wavelength-dispersive x-ray fluorescence detector, Rev. Sci. Instrum., 66 (2), 1995.

26. Vartanian M., Youngman R., Gibson D., Drumheller J., Frankel R., Polycapillary collimator for point source proximity x-ray lithography, J. Vac. Technol. B, 11 (6), 1993.

27. Ullrich J.B., Ponomarev I.Yu., Gubarev M.V., Gao N., Xiao Q.F., Gibson W.M., Development of monolithic capillary optics for X-ray diffraction applications, Proc. Of the SPIE, vol. 2278, p. 148-155, 1994.

28. Gao N., Ponomarev I.Yu., Xiao Q.F., Gibson W.M., Carpenter D.A., Monolithic polycapillary focusing optics and their applications in microbeam X-ray fluorescence, Appl. Rhys. Letters, vol. 69, iss. 11, p. 1529-1531, 1996.

29. Ullrich J.B., Gibson W.M., Gubarev M.V., MacDonald C.A., Nucl. Instrum. And Methods A, 347, 401, 1994.

30. Chapman H.N., Nugent K.A., Wilkins S.W., Davis T.J., X-ray Sci. Technol., 2, 117, 1990.

31. Kaaret, P.; Geissbuhler, P.; Chen, A.; Glavinas, E., X-ray focusing using microchannel plates, Applied Optics, Vol: 31 Iss: 34 p. 7339-43, 1992.

32. Chapman H.N., Nugent K.A., Wilkins S.W., Appl. Opt, 32, 6316, 1993.

33. Chapman H.N, Rode A, Nugent K.A, Wilkins S.W., Davis T.J, Appl. Opt, 32, 6333, 1993.

34. Kompton A.H, The total reflection of X-ray, Phil. Mag, 1923, vol. 45, N 270,p. 1121-1131.

35. Jentsch F, Optische Versuche mit Röntgenstrahlen, Phys. Zeit, 1929, B. 30, s. 268-273.

36. Ehrenberg W, X-ray optics, Nature, 1947, vol. 160, N 4062, p. 330-331.

37. Kirkpatrik P, Baez A. V, Formation of optical images by X-ray, J. Opt. Soc. Amer, 1948, vol. 38, N 9, p. 766-774.

38. Hagelstein, M.; San Miguel, A.; Fontaine, A.; Goulon, J, The beamline ID24 at ESRF for energy dispersive X-ray absorption spectroscopy, Journal de Physique IV Colloque., 1997, Vol: 7 Iss: C2 p. 303-308.

39. Wolter H, Spiegelsysteme streifenden Einfalls als abbildende Optiken fur Röntgenstrahlen, Ann. der Phys, 1952, t. 10, N 1, p. 94-114.

40. Виноградов А.В., Брытов И. А., Грудский А.Я. и др. Д.: Машиностроение, 1989.

41. Мишетт А., Оптика мягкого рентгеновского излучения, М.: Мир, 1989.

42. Bender J.W., Fabrication of a 1.4-meter flat synchrotron mirror, Proceedings of the SPIE The International Society for Optical Engineering, 1997, Vol: 3152 p. 258-264.

43. Ulmer M.P., Altkorn R., Krieger A., Parsignault D., Chung Y.-W., Grazing incidence and multilayer X-ray optical systems, Proceedings of the SPIE -The International Society for Optical Engineering, Vol: 3113 p. 267-74, 1997.

44. Franke A.E., Schattenburg M.L., Gullikson E.M., Cottam J., Kahn S.M., Rasmussen A., Super-smooth X-ray reflection grating fabrication, Journal of Vacuum Science & Technology В Microelectronics and Nanometer Structures., Vol: 15 Iss: 6 p. 2940-5, 1997.

45. Haizhang Li, Takacs P.Z., Oversluizen Т., Vertical scanning long trace profiler: a tool for metrology of X-ray mirrors, Proceedings of the SPIE The International Society for Optical Engineering Vol: 3152 p. 180-7, 1997.

46. Souvorov A., Snigireva I., Snigirev A., Mirror surface characterization by topography with coherent X-rays, Proceedings of the SPIE The International Society for Optical Engineering, Vol: 3113 p. 476-83, 1997.

47. Waldman G.S., Variations on the Fresnel zone plate, J. Opt. Soc. Am., 1966, v.56, p.215-218.

48. Рентгеновская оптика и микроскопия, под ред. Г. Шмаля и Д. Рудольфа, Москва, Мир, 1987.

49. Horman H., Chau H.M., Zone plate theory based on holography, Appl. Optics, v.6, N2, p.317, 1967.

50. Reylieigh L., Wave theory, Encyclopedia Britannica, 9-th ed., v.24, p. 429510, 1888.

51. Wood R.W., Philos. Mag., 1898, v.45, p.511.

52. Aristov V.V., Basov Yu.A., Goureev Т.Е., Snigirev A.A., Ishikawa Т., Izumi K., Kikuta S., Focusing properties of a linear Bragg-Fresnel lens, Jnp. J. Appl. Phys., 1992, v.31, p.2616-2620.

53. Miyamoto K., The phase Fresnel lens, J. Opt. Soc. Am., 1961, v. 51, N 1, p. 17-21.

54. Lai В., Yun В., White V., Di Fabrizio E. Et al., Hard X-ray phase zone plate fabricated by lithographic techniques, Appl. Phys. Lett., 1992, 61 (16), p.1877-1879.

55. Kamijo N., Tamura S., Suzuki Y., Kihara H., Fabrication and testing of hard x-ray sputtered-sliced zone plate, Rev. Sci. Instrum., 1995, v. 66 (2), p. 21322134.

56. Shulakov E.V., Aristov V.V., The kinematical theory of X-ray spherical wave diffraction, Acta Cryst., 1982, v.A38, p.454-463.

57. Шулаков E.B., Аристов B.B., Теория дифракционной рентгеновской топографии совершенных и дефектных кристаллов. Препринт ИФТТ, 1987, с.32.

58. Аристов В.В., Шехтман В.Ш., Свойства трехмерных голограмм. УФН, 1971, т.4, №1, с.51-57.

59. Aristov V.V., Snigirev А.А., Basov Yu.A., Nikulin A.Yu., X-ray Bragg optics. AIP Conf. Proc., 1986, №.147, p.253-259.

60. Aristov V.V., Basov Yu.A., Goureev Т.Е., Snigirev A.A., Ishikawa Т., Izumi K., Kikuta S., Focusing properties of linear-phase Bragg-Fresnel lens, Jpn. J. Appl. Phys., 1992, v.31, p.2616-2620.

61. Kuznetsov S.M., Snigireva I.I., Snigirev A.A., Engstrom P., Riekel C., Submicrometer fluorescence microprobe based on Bragg-Fresnel optics, Appl. Phys. Lett., 1994, v.65, iss.7, p.827-829.

62. Tarazona E., Elleaume P., Chavanne J., Hartman Ya.M., Snigirev A.A., Snigireva I.I., 2D imaging of an undulator source by phase circular Bragg-Fresnel lens, Rew. Of Sei. Instr., 1994, v.65, iss.6, p.l 959-1963.

63. Hartman Ya, Kohn V., Kuznetsov S., Singirev A., Snigireva I., Phase-contrast hard X-ray microtomography by Bragg-Fresnel optics, Nuovo Cimento D, 1997, v.19D, iss.2-4, p.571-576.

64. Aristov V.V., Basov Yu.A., Redkin S.V., Snigirev A.A., Yunkin V.A., Bragg zone plate for X-ray focusing, Nucl. Instr.&Meth., 1987, A261, p.72-74.

65. Aristova E.V., Freund A., Hartman Ya., Schmahl G., Snigirev A., Yunkin V., Phase circular Bragg-Fresnel lens based on germanium single crystal, Abst. Of 4-th Int. Conf. On X-ray Microscopy, September, 1993, Chegnogolovka, p.H-26.

66. Виноградов A.B., Зельдович Б.Я., Многослойные зеркала для рентгеновского и дальнего ультрафиолетового излучения, Оптика и спектроскопия, 1977, т.42, №4, с.709-714.

67. Spiller Е., Evaporated multilayer dispersion elements for soft X-rays, AIP Conf. Proc. №75, "Low energy X-ray diagnostics", 1981, p. 124-130.

68. Barbee T.W., Sputtered layered synthetic microstructure (LSM) dispersion elements, AIP Conf. Proc. №75, "Low energy X-ray diagnistics", 1981, p.131-145.

69. Gaponov S.V., Genkin V.M., Salashchenko N.M., Fraerman A.A., Scattering of neutrons and X radiation in the range 10-300 A by periodic structures with rough boundaries, Pis'ma Zh. Eksp. Teor. Fiz., 1985, v.41, №2, p.53-55.

70. DuMond J., Yowtz J.P., An X-ray method of determination rates of diffusion in the solid state, J. Appl. Phys., 1940, v.l 1, N4, p.357-365.

71. Chauvineau J.P., Corno Y., Naccache P., Nevot L.,Pardo В., Valiergue L., Fabrication controlee de nulticouches pour monochromateurs-reflecteurs en X-UV, J. Optics (Paris), 1984, v. 15, №4 bis, p.265-269.

72. Гапонов C.B., Гусев C.A., Платонов Ю.Я., Салащенко Н.Н., Искусственные многослойные отражающие элементы для мягкого рентгеновского излучения. I. Выбор пар материалов и расчет многослойных зеркал, ЖТФ, 1984, т.54, с. 747-754.

73. Dhez P. Metallic multilayers: New possibilities in X-UV optics, Adv. Space Res., 1983, v.2, №4.

74. Аристов B.B., Талонов C.B., Генкин B.M., Ерко А.И., Салащенко Н.Н., Фокусирующие свойства профилированных многослойных зеркал, Письма в ЖЭТФ, 1986, т.44, с.207-209.

75. Erko A., Khzmalian Е., Panchenko L., Redkin S., Zinenko V., Chevalier P., Dhez P., Khan-Malek C., Freund A., Vidal В., First test of Bragg-Fresnel multilayer X-ray fluorescence microscope at LURE, Preprint, Chernogolovka, 1992.

76. Dhez P., Erko A., Khzmalian E., Vidal В., Zinenko V., Kirkpatrik-Baez microscope based on Bragg-Fresnel multilayer lenses, Preprint, Chernogolovka, 1992.

77. Erko A., Agafonov Yu., Panchenko L., Yakshin A., Chevalier P., Dhez P., Legrand F., Elliptical multilayer Bragg-Fresnel lenses with submicron spatial resolution for X-rays, Opt. Comm., 1994, 106, p.146-150.

78. Chevallier P., Dhez P., Erko A., Firsov A., Legrand F., Populus P., X-ray microprobes, NIM B, 1996, v. 113, p. 122-127.

79. Firsov A., Svintsov A., Firsova A., Chevallier P., Populus P., Application of Bragg-Fresnel lenses for microfluorescent analysis and microdiffraction, NIM A, 1997, v.399, p.152-159.

80. Yunkin V.A., Fischer D., Voges E., Reactive ion etching of silicon submicron-sized trenches in SF6C2C13F3 plasma, Microelectronic Engineering, 1995, v.27, iss.1-4, p.463-466.

81. Kirkpatrik P., Baez A.V., Formation of optical images by X-ray, Journal of Optical Society of America, 1948, 38(9), p.766-774.

82. Michette A.G.,No X-ray lens, Nature, 1991, 353, 510.

83. Suehiro S., Miyaji H., Hayashi H., Refractive lens for X-ray focus, Nature, 1991, 352, p.385-386.

84. Yung B.X., Fresnel nad refractive lenses for X-rays, NIM A, 1993, v.328, p.578-587.

85. Snigirev A., Kohn V., Snigireva I., Lengeler B., A compound refractive lens for focusing high energy X-rays, Nature, 1996, v.384, p.49-51.

86. Snigirev A., Kohn V., Snigireva I., Souvorov A., Lengeler B., Allpied Optics, 1998, v.37, p.653-662.

87. Lengeler B., M. Richwin, C. Schroer, J. Tummler, M. Drakopoulos, Snigireva I., Snigirev A., to be published in Applied Physics Letters.

88. Basov Yu.A., Roshchupkin D.V., Yakshin A.E., Optics Comm. 1994. V. 109. P. 324.

89. Basov Yu.A., Roshchupkin D.V., Schelokov I.A., Yakshin A.E., Optics Comm. 1995. V. 114. P. 9.

90. Schelokov I.A., Basov Yu.A., J. Phys. 1996. V. D29. P. 129-133.

91. Bom M., Wolf E., Principles of Optics, 5th edn 1975, Elmsford, New York, Pergamon Press.