Рентгеновские дифракционные решетки на основе многослойных структур тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.01, кандидат физико-математических наук Коваленко, Николай Владимирович

• Коваленко, Николай Владимирович
• кандидат физико-математических наук
• 2005

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Коваленко, Николай Владимирович

Введение.

Глава 1. Рентгеновские многослойные дифракционные решетки (МДР) (обзор литературы).

1.1 Типы МДР.

1.2. Требования к структуре и анализ возможных методов изготовления

1.3 Описание дифракционных свойств МДР.

1.4. Исследования рентгенооптических свойств МДР.

1.5. Применение МДР.

Глава 2. Численное моделирование рентгенооптических свойств МДР.

2.1. Сравнение современных методов расчета рентгенооптических свойств МДР.

2.2. Результаты численного моделирования дифракционных свойств МДР.;.

Глава 3. Изготовление рентгеновских МДР.

3.1. Изготовление многослойных рентгеновских зеркал.

3.2. Метод голографической литографии.

3.2.1. Стенд для голографической записи дифракционных решеток.

3.2.2. Формирование маски для ионно-лучевого травления.

3.2.3. Ионно-лучевое травление МДР.

3.3 Особенности изготовления W/Si, Ni/C, и Ti/Be МДР.

Глава 4. Экспериментальное исследование дифракционных характеристик ' МДР.

4.1. Исследование дифракционной эффективности многослойных решеток в жестком рентгеновском диапазоне спектра (7-9 кэВ).

4.1.1. Регистрация характеристического спектра рентгеновской трубки с медным анодом в жесткой области (8 кэВ).

4.2. Исследование дифракционных характеристик многослойных решеток в мягком рентгеновском диапазоне (280 эВ).'.'. 101,%

Глава 5. Новые типы рентгеновских дифракционных решеток на основе многослойных структур.

5.1. Рентгеновская фазовая многослойная решетка скользящего падения.

Глава 6. Применение рентгеновских дифракционных решеток на основе многослойных структур для спектроскопии мягкого рентгеновского диапазона

6.1. Схема спектрометра MP излучения на основе многослойной фазовой дифракционной решетки скользящего падения для исследования контуров спектральных линий горячей плазмы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Рентгеновские дифракционные решетки на основе многослойных структур»

Проведение научных исследований, основывающихся на измерении рентгеновских спектров и дифрактограмм рентгеновского излучения, позволяет получать важную информацию о строении и состоянии вещества. Количество и качество получаемой информации при этом зависят от величины конечной ошибки, определяемой спектральным разрешением ДА, либо угловым или пространственным разрешением Д0 приборов.

В жестком рентгеновском диапазоне спектра электромагнитного излучения (энергия фотонов 5-30 кэВ и выше) в качестве рентгенооптических элементов традиционно используются различные совершенные кристаллы (Si, Ge и др.). При дифракции рентгеновского излучения на кристаллических плоскостях, определяемой условием Брэгга, происходит высокоэффективное (60-80%) отражение рентгеновского излучения. При этом из спектра падающего излучения выделяется малая область ДА/А « 10"4, отражаемая в узкий интервал углов - A0/tg(0) и 10"4, что позволяет достигать высокого спектрального и пространственного разрешения.

Мягкий рентгеновский (MP) диапазон спектра электромагнитного излучения (энергия фотонов 0.5 - 5.0 кэВ) обладает рядом особенностей, делающим его крайне сложным для исследований. Особенно остро такая проблема стоит для области энергий MP фотонов 0.5- 2.0 кэВ. Эта область-спектра характеризуется высоким поглощением излучения. Малая длина пробега фотонов во всех веществах (на нижней границе диапазона она находится в пределах 0.01-10 мкм) и необходимость использования высоковакуумных систем, значительно ограничивают возможности рентгеновской оптики для получения высокого спектрального и углового разрешения.

В настоящее время наиболее распространенными диспергирующими элементами, позволяющими достигать достаточно высокого спектрального

3 4 разрешения 10-10 при эффективности 5-20% в области энергий рентгеновского излучения 50-г500 эВ, являются дифракционные решетки скользящего падения. Недостатком таких решёток являются малые скользящие рабочие углы и, как следствие, низкая светосила приборов. Кроме того, эффективность и разрешение решеток скользящего падения быстро падают при энергиях больше 500 эВ. Попытки увеличения спектрального разрешения приводят к резкому возрастанию стоимости оборудования и наталкиваются на физические и технологические ограничения при их создании.

Использование обычных кристаллов, работающих в жестком диапазоне спектра, невозможно из-за малых значений межплоскостных расстояний. При этом, перестает выполняться условие Брэгга для отражения излучения кристаллом. Разрешающая способность и коэффициенты отражения неорганических кристаллов с большими значениями межплоскостных расстояний (таких как берилл, слюда, и т.п.), вследствие высокого поглощения, быстро падают с понижением энергии фотонов, что не дает возможность эффективного их использования при энергиях менее 1.5 кэВ.

Использование органических кристаллов (КАР, NaAP, RbAP и т.п) также крайне ограничено. Эти кристаллы, как правило, имеют несовершенную кристаллическую структуру, плохую радиационную и термическую стойкость, являются нестабильными соединениями, сильно подверженными влиянию внешней среды и имеют свойство разлагаться в вакууме. Максимальное спектральное разрешение в MP диапазоне реальных рентгенооптических схем на основе кристаллов не превышает 103 и, как правило, значительно ниже указанной величины. Кроме того, вследствие низкого интегрального коэффициента отражения кристаллов порядка 10"5 радиан, малая светосила спектральных приборов часто не обеспечивает потребности физического эксперимента при исследовании быстропротекающих процессов в таких областях, как, например, физика высокотемпературной плазмы.

Многослойные молекулярные плёнки, получаемые последовательным нанесением мономолекулярных слоев солей длинноцепочечных карбоновых кислот (стеарат бария, стеарат свинца, лаурат свинца и т.п.) на подложку с малой степенью микрошероховатости поверхности, могут работать вплоть до энергии квантов порядка 100 эВ. Такие структуры имеют коэффициенты отражения до 20% и спектральное разрешение 10 [1]. Плохая радиационная стойкость, механическая прочность, способность испаряться в условиях вакуума и сравнительно низкое спектральное разрешение значительно ограничивают возможности использования многослойных молекулярных пленок.

Многослойные рентгеновские зеркала (МРЗ) перекрывают весь диапазон MP и имеют в этой области коэффициенты отражения излучения от 5 до 70 %. Благодаря сравнительной простоте изготовления, возможности варьирования параметрами структуры и удобству в использовании многослойные зеркала в настоящее время нашли достаточно широкое применение. Тем не менее, МРЗ имеют существенный недостаток - малое (Х/АХ& 20-150), часто недостаточное спектральное разрешение, что ограничивает их использование в спектроскопических целях.

Получение высокого « 103-104) спектрального разрешения при. высокой эффективности отражения в дифракционные порядки (10-40%) в MP диапазоне спектра возможно с применением появившихся сравнительно недавно новых элементов рентгеновской оптики - многослойных дифракционных решеток (МДР). В области энергий рентгеновского излучения меньше 500 эВ МДР, в сравнении с обычными решетками скользящего падения, не дают существенного выигрыша. Но в "трудном" диапазоне, при энергии фотонов от 0.5 до 2-3 кэВ, спектральное разрешение этих решеток в 10-100 раз превосходит разрешение всех известных диспергирующих рентгенооптических элементов, используемых в настоящее время.

Кроме того, многослойные решетки одновременно с высокой эффективностью разлагают в спектр достаточно широкий диапазон относительная энергетическая ширина спектра ДЕ/Е ~ 0.01 - 0.1). Это дает возможность получения достоверной информации при проведении исследований нестационарных процессов с применением традиционных полихроматических рентгеновских методик, таких как XAFS, элементный анализ и т.п.

Таким образом, создание и исследование новых элементов рентгеновской оптики, таких как МДР, дающих возможность достигать высокого разрешения при большой светосиле, позволяет не только расширить спектральный диапазон и выбор объектов исследования, но и реализовать новые подходы в проведении рентгеновских исследований, неосуществимые при использовании традиционных рентгенооптических элементов.

Целью настоящей работы является исследование рентгенооптических свойств МДР. Достижение поставленной цели подразумевает решение широкого спектра задач. Одна часть этих задач состоит в разработке методов изготовления высококачественных МДР. Другая часть имеет отношение к развитию теоретических и экспериментальных методик исследования рентгенооптических свойств различных типов таких решеток и созданию на их основе новых рентгеноспектральных методов и приборов.

1. Рентгеновские многослойные дифракционные решетки (МДР) (обзор литературы)

1.1 Типы МДР

Первое упоминание о МДР можно отнести к 1981 году, когда Шпиллер [2] предложил для увеличения светосилы решеточных спектрометров напылять многослойное покрытие на обычные дифракционные решетки скользящего падения (Рис, I). Реализация данной идеи позволяет достигать не только большой светосилы и за счет увеличения рабочих углов, но и высокого спектрального разрешения в области мягкого и ультрамягкого рентгеновского излучения, за счет больших значений дифракционной эффективности при работе в высоких порядках решетки.

Рис. 1. Многослойная решетка, предложенная Шпиллером [2]. Многослойное зеркало напыляется на готовую рентгеновскую дифракционную решетку скользящего падения.

Результаты первых исследований МДР с многослойным покрытием [3] показали, что при нормальном падении ультрамягкого рентгеновского излучения (энергия фотонов 50 эВ) дифракционной эффективность таких решеток увеличивается в 3 раза. Исследования рентгенооптических свойств подобных решеток в области мягкого рентгеновского излучения (Еф -1.0 кэВ) [4,5] показали перспективу развития оптики многослойных решеток.

Рис. 2. Дифракционная решетка с многослойным покрытием, напыленным на подложку в виде фазовой решетки.

В работах [6,7] были сделаны попытки реализовать рентгеновские фазовые многослойные решетки посредством напыления многослойника на подложку в виде фазовой решетки (Рис.2). У таких решеток будет наблюдаться увеличение дифракционной эффективности по аналогии с фазовыми решетками видимого оптического диапазона.

Получение высоких значений светосилы и разрешения в MP диапазоне спектра возможно с применением новых типов дифракционных решеток на основе многослойных структур. В работах [8-9] было предложено применять решетки на основе срезанного многослойного зеркала (Рис. 3). Решетка формируется из многослойного зеркала, имеющего большое число периодов Nm=l 000-2000, срезанного под небольшим углом а. При этом на срезе формируется решетка с периодом D= d/sin(a). Апертура решетки будет А= Nm*D. Для угла порядка 10° и периода зеркала порядка 30 нм, период решетки составит D^ 170 нм, а полная апертура при 1000 слоях многослойного зеркала будет 0.17 мм. Отличительной особенностью реальных срезанных решеток

Рис, 3. Схематическое представление срезанной многослойной решетки. является переменный период штриха. Переменный период формируется за счет равномерного увеличения периода многослойного покрытия, что определяется особенностями напыления зеркал с большим числом слоев. Такая решетка будет фокусировать дифрагированное излучение аналогично Брэгг-Френелевской линзе [10]. Это дает возможность изготавливать очень компактные светосильные рентгеновские спектрометры [8, 11], обладающие большой светосилой и достаточно высоким спектральным разрешением Х/АХ =

Перспективными решетками для мягкого рентгеновского диапазона могут являться т.н. фазовые многослойные решетки скользящего падения предложенные автором [12, 13]. Многослойное зеркало, используемое в таких решетках в качестве подложки, на которой формируются полоски дифракционной решетки, позволяет в широких пределах менять фазу отраженного излучения. Это дает возможность достигать более точного выполнения амплитудно-фазовых соотношений для излучения отраженного от

1000. штрихов решетки и от многослойной подложки. Как следствие, существует возможность получать высокие (10-30%) значения дифракционной эффективности в мягкой области спектра рентгеновского излучения. Более подробно, свойства указанных решеток будут рассмотрены в данной работе в главе, посвященной разработке новых типов рентгеновских дифракционных решеток на основе многослойных структур.

Наиболее прогрессивным подходом к реализации многослойных решеток является изготовление решеток путем травления многослойных рентгеновских зеркал, это т.н. травленные МДР [14-17]. Схематическое представление такой решетки показано на рисунке 4. В общем случае это структура подобна

Падающее рентгеновское излучение

Излучение, дифрагирующее и "+Г порядок решетки б)

Рис. 4. Схематическое представление дифракции рентгеновского излучения наполностыо протравленной МДР. а)- случай дифракции излучения в "+1" порядок МДР (отражение от "косых " плоскостей (I;})), б)- дифракция в "-1" порядок (отражение от плоскостей (~1;1)).

Падающее рентгенииское излучение

Излучение, дифрагирующее в "-I" порядок решетки плоской дифракционной решетки с периодом D. Отражающие штрихи шириной L формируются с помощью современных методов микролитографии из высококачественного многослойного рентгеновского зеркала, имеющего период d. Рентгеновское излучение, падающее на решетку под углом 9,п, дифрагирует в порядки решетки под углом 0ОШ= Bjnzfc<p.

Следует отметить, что в области энергий рентгеновского излучения менее 500 эВ (Х> 25 нм), МДР не дают существенного выигрыша перед решетками скользящего падения, традиционно используемых в этой области спектра. Травленные МДР в указанной области имеют довольно низкую дифракционную эффективность, вследствие высокого поглощения излучения в материале многослойного покрытия [18-21]. Увеличение дифракционной эффективности в данной области спектра можно добиться путем формирования структуры "фазовой" решетки [7, 18, 22]. При травлении многослойного покрытия на определенную глубину- h формируется решетка, структура которой схематически показана на рисунке 5. а Г* k ■у

I у \

1

1< ■> —>

Рис. 5. Схематическое представление протравленной не на всю толщину многослойного зеркала ("фазовой ") МДР.

Свойства такой решетки будут определяться одновременным выполнением помимо вышеперечисленных дифракционных условий для полностью протравленной МДР дополнительного условия отражения от многослойного зеркала, находящегося на расстоянии - h от поверхности. В мягком рентгеновском диапазоне спектра, при больших рабочих углах, отражение излучения происходит в пределах одного штриха. В этом случае, свойства не полностью протравленной МДР аналогичны обычной фазовой решетке оптического диапазона. У такой решетки эффективность дифракционных порядков зависит от высоты штриха, и, при определенной высоте - h происходит аддитивное сложение частей излучения, отражаемых от протравленных штрихов (1) и от непротравленной части (2) (Рис. 5). Теоретические и экспериментальные исследования свойств таких решеток представлены в данной работе.

Заключение диссертации по теме «Приборы и методы экспериментальной физики», Коваленко, Николай Владимирович

Основные результаты и выводы диссертационной работы получены впервые и сводятся к следующему:

1. Изготовлены высокоэффективные МДР. Измеренная дифракционная эффективность полученных решеток превышает 35% при энергии рентгеновских фотонов 8.0 кэВ.

2. Создан пакет компьютерных программ для численного моделирования дифракционных характеристик МДР.

3. Впервые с использованием непрерывного спектра СИ проведены экспериментальные исследования дисперсионных свойств многослойных решеток в жесткой рентгеновской области спектра (энергия фотонов 7-9 кэВ). Показано, что дисперсия МДР линейна в исследованной области спектра и определяется параметрами дифракционной решетки.

4. Впервые с помощью • многослойной решетки получен характеристический спектр рентгеновской трубки с медным анодом в жестком диапазоне энергий излучения (8.0 кэВ).

5. Проведены исследования особенностей дифракционных характеристик "фазовых" (не полностью протравленных) МДР в ультрамягкой области энергий рентгеновского излучения (280 эВ).

6. Реализован новый тип рентгеновских, дифракционных решеток — фазовые многослойные решетки скользящего падения. Теоретические и экспериментальные исследования дифракционных характеристик показывают перспективность использования таких решеток в качестве диспергирующих элементов в рентгеновском диапазоне спектра.

7. На примере разработанных схем спектрометров MP диапазона продемонстрированы возможности применения МДР для исследований параметров горячей плазмы.

В заключении выражаю глубокую благодарность моему научному руководителю академику РАН Круглякову Эдуарду Павловичу.

Считаю своим приятным долгом поблагодарить всех моих коллег и сотрудников лаборатории 9-0, оказавших большую помощь в работе. А также, Сибирский центр синхротронного излучения в лице академика Кулипанова Геннадия Николаевича и Шеромова Михаила Александрович .за постоянный интерес к работе и за возможность проведения исследований на пучке СИ.

Особую благодарность хочу выразить Чернову Владимиру Александровичу, Мытниченко Сергею Васильевичу и Ерофееву Василию Ивановичу. Без заинтересованного участия которых не было бы возможно получения результатов представленных в данной работе и совместная работа с которыми доставила большое удовольствие и радость творчества.

Хочу поблагодарить Капитонова Валериана Александровича за огромный вклад в организацию и техническую поддержку работы. Кроме этого, хочу поблагодарить: Чхало Н.И, Чхало Е.Д, а также сотрудников оптического участка Шалькову Т.Г., Волохова А.И., работа которых сделала возможным создание высококачественных многослойных рентгеновских зеркал.

Заключение.

В соответствии со сформулированной целью работы в диссертации рассмотрен и исследован круг проблем, связанных с созданием, теоретическими и экспериментальными исследованиями рентгенооптических свойств МДР.

В рамках этого направления развит комплекс методов необходимых для изготовления МДР, позволяющий получать структуры с большой дифракционной эффективностью в рентгеновском диапазоне спектра. Разработаны экспериментальные методики исследования рентгенооптических свойств дифракционных решеток на основе многослойных структур. На основе предложенного метода численного расчета созданы компьютерные программы, позволяющие проводить численное моделирование дифракционных свойств различных типов МДР. •

Исследования рентгенооптических свойств различных типов МДР, проведенные в данной работе, демонстрируют большой потенциал применения этих элементов в различных рентгеноспектральных методах. На примере предложенных рентгенооптических схем спектрометров на основе МДР и выполненных расчетов их параметров, продемонстрированы преимущества применения МДР для спектроскопии мягкого рентгеновского диапазона.

Кроме этого в области жестких энергий рентгеновского излучения МДР, благодаря диспергирующим свойствам, позволяет использовать или записывать широкополосный спектр падающего рентгеновского излучения одновременно. Отсюда следует важный вывод, что одновременное использование оптики МДР и широкополосного источника рентгеновского излучения должно дать многократный выигрыш в светосиле по сравнению с использованием традиционной оптики кристаллов для „немонохроматических" спектральных методов (EXAFS спектроскопия, спектроскопия неупругого рентгеновского рассеяния и т.д.).

В процессе развития данного направления был предложен и реализован новый тип рентгеновских дифракционных решеток - фазовые многослойные решетки скользящего падения. Выполненные расчеты и проведенные экспериментальные исследования свойств этих решеток демонстрируют возможность эффективной работы таких решеток в рентгеновском диапазоне спектра.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Коваленко, Николай Владимирович, 2005 год

1. "Зеркальная рентгеновская оптика", Под общей редакцией А.В. Виногорадова, JL, "Машиностроение", Ленинградское отделение, 1989.

2. Spiller Е., Evaporated Multilayer Dispersion Element for Soft X-Rays, AIP Conf.Proc. V.75 (1981) 124-130

3. R.A. Keski-Kuha, Applied Optics, 23 (1984) 3534

4. W. Jark, Enhancement of Diffraction Grating Efficiencies in the Soft X-Ray Region by Multilayer Coating, Optics Comm. 60 (1986) 201-205

5. Troy W. Barbee, Jr, Combined Microstructure X-Ray Optics, Rev. Sci. Instr. 60 (1989) 1588-1595.

6. T.W. Barbee Jr., Applications of Thin-Film Multilayered Structures to Figured X-Ray Optics. Proc. SPIE. V.2-28 (1985) 563.

7. T.S. Ross, R.T. Perkins, L.V. Knight, Fabrication Process for Multilayer X-Ray Phase Grating, Optical Engineering, 29 (1990) 728.

8. V.E. Levashov and A.V. Vinogradov, Resonance diffraction efficiency enhancement in sliced multilayers, Applied Optics, 32 (1993) 1130.

9. V.E. Levashov, E.N. Zubarev, A.I. Fedorenko, V.V. Kondratenko, O.V. Poltseva,

10. S.A. Yulin, I.I. Struk, A.I. Vinogradov, High throughput and resolution compacttspectrograph for the 124-250 A range based on MoSi2-Si sliced multilayer grating, Optic Comm., 109 (1994) 1-4.

11. V.V. Aristov, A.I. Erko and V.V. Martynov, Principles of Bragg-Fresnel multilayer optics, Revue Phys. Appl., 23 (1988) 1623-1630.

12. Wilson Michele M., Zukic Muamer, Spectrograph design using a transmission sliced multilayer as a diffraction element for the x-ray region, Proc. SPIE Vol. 2517, (1995) pp.133-143

13. H.B. Коваленко, C.B. Мытниченко, В.А. Чернов, Рентгеновская фазовая многослойная решетка скользящего падения, Материалы совещания "Рентгеновская оптика -2001", Нижний Новгород, 19-22 феврвля 2001г., с. 183187.

14. V.A. Chernov, N.V. Kovalenko, S.V. Mytnichenko, An X-ray grazing incidence phase multilayer grating, Nucl. Instrum. and Meth., A470 (2001) pp.158-161.

15. Н.В. Коваленко, Э.П. Кругляков, С.В. Мытниченко, М.В. Федорченко, В.А. Чернов, Н.И. Чхало, Титан-бериллиевая многослойная решетка, Тезисы докладов конференции "Нанотехнология, наноэлектроника и криоэлектроника", с. 64-65, Барнаул 1992 г., Россия.

16. Н Berrouane, J-M. Andre, R. Barchewitz, Т. Moreno, A. Sammar, C. Khan Malek, B. Pardo and R Rivoira, Experimental and Theoretical Performances of an Etched Lamellar Multilayer Grating in the 1 keV Region, Nucl. Instr. and Meth., A 312(1992)521-530.

17. A.I. Ерко, В. Vidal, P. Vincent, Yu.A; Agafonov, V.V. Martynov, D.V. Roschupkin, M. Brunei, Multilayer Grating Efficiency: Numerical and Physical Experiments, Nucl. Instr. and Meth., A 333 (1993) 599-606.

18. V.A. Chernov, N.I. Chkhalo, N.V. Kovalenko, S.V. Mytnichenko, Fabrication and Performance Characteristics of a Ni/C Multilayer Grating for Hard X-Rays, Nucl. Instr. and Meth., A 359 (1995) 138-140.

19. V.I. Erofeev, N.V. Kovalenko, Numerical Studies of Multilayer Gratings Using the Method of Eigenvectors, Nucl. Instr. and Meth., A 405 (1998) 305-309.

20. V.A. Chernov, V.I. Erofeev, N.I. Chkhalo, N.V. Kovalenko, S.V. Mytnichenko, X-ray performance of multilayer gratings: recent advances at SSRC, Nucl. Instr. and Meth., A 405 (1998) 310.

21. В.И. Ерофеев, H.B. Коваленко, B.A. Чернов, Н.И. Чхало, C.B. Мытниченко, Оптика многослойных рентгеновских решеток применительно к синхротронному излучению, Поверхность, 1999, №1, стр. 124-129.

22. S. Вас, Ph. Troussel, С. Khan Malek, P.Boher, Ph. Guerin, F.R. Ladan, Ph. Houdy, D. Schirmann, R. Barchewiz, Fabrication and test of multilayer gratings in the soft x-ray region, J. Optics (Paris), 24 (1993) 88-96.

23. Y. Lixiang, F. Zhengxiu, C. Mingqi, F. Shaojun, Soft x-ray phase modulation multilayer dispersive element, Optical Engineering 34(05) (1995) 1508-1511.

24. W.K. Warburton, On the Diffraction Properties of Multilayer Coated Plane Gratings, Nucl. Instr. and Meth., A 291 (1990) 278-285.t

25. V.I. Erofeev, N.V. Kovalenko, Methods of Eigenvectors for Numerical Studies of Multilayer Gratings, J. X-ray Sci. Technol., 7 (1997) 71.

26. P.P. Nauloeau, E.H. Anderson, E.M. Gulliksson, J. Bokor, Fabrication of high-efficiency multilayer-coated binary blazed gratings in the EUV regime, Opt. Comm., 200 (2001) 27-34.

27. V.V. Martynov, H.A. Padmore, A. Yakshin, Yu.A. Agafonov, Lamellar multilayer grating with very high diffraction efficiency, SPIE, Vol. 3150 (1997) 2-8.

28. К. Tamura, К. Yamashita, Н. Kunieda, Т. Yoshioka, М. Watanabe and К. Naga, Developed of multilayer coated gratings for high-energy x-ray spectroscopy, SPIE Vol. 3766 (1999) 371-379.

29. H. Berrouane, J.-M. Andre, R. Barchewitz, C. Khan Malek, R. Rivoira, Soft-X-ray multilayer gratings with subhalfmicron period, Optic Comm., 76 (1990) 111115.

30. H. Berrouane, J.-M. Andre, R. Barchewitz, T.Moreno, A. Sammar, C. Khan Malek, B. Pardo, R. Rivoira, Experimental and theoretical performances of an etched lamellar multilayer grating in the 1 keV region, Nucl. Instrum. and Meth., A312 (1992) 521-530.

31. V.I. Erofeev, N.V. Kovalenko, E.P.Kruglyakov, O.K.Myskin, N.I.Chkhalo, High resolution instruments based on X-ray multilayer gratings, Plasma Devices and operations, 1999, Vol. 7, pp 173-180.

32. Rong-Chung Tyan, Pang-Chen Sun, Axel Scherer, and Yeshayahu Fainman, Polarizing beam splitter on the anisotropic spectral reflectivity characteristic of form-birefringent multilayer gratings, Optics Letters, 21 (1996) 761.

33. A.I. Chumakov, G.V. Smirnov, A.Q,R. Baron, J. Arthur, D.E. Brown, S.L. Ruby, G.S. Brown, and N.N. Salashcchenko, Phys. Rev. Lett., 71 (1993) 2489

34. V.A. Chernov, V.I. Erofeev, N.V. Kovalenko, Multilayer grating as a SR monochromator for Mossbauer spectroscopy, Nucl. Instrum. and Meth., A405 (1998) pp.337-340.

35. A.F. Buldygin, N.V. Kovalenko, S.A. Studenikin, P.P. Vil'ms, Experimental studies of magnetic superlattice on AlGaAs/GaAs geterostructure, in Proc. Int. Simp. "Nanostructure: Physics and Techniques ", 1994, 114-116, St. Petersburg, Russia.

36. B. Pardo, J.-M. Andre and A. Summar, J. Optics (Paris), 22 (1991) 141.

37. V.V. Aristov, A.I. Erko and V.V. Martynov, J. X-ray Sci. Technol., 3 (1992) 211.

38. Сайт центра рентгеновской оптики в Беркли: www-cxro.lbl.gov43. Теорема взаимности Джеймс

39. А.А. Maradudin, D.L. Mills, Scattering and absorption of electromagnetic radiation by semi-infinite medium in the presence of surface roughness, Phys. Rev. B, 11 (1975) 1392-1415.

40. B.B. Анашин, Н.Г. Гаврилов, Э.П. Кругляков, Н.И. Чхало, "Лазерная технология напыления многослойных рентгеновских зеркал", Препринт ИЯФ 91-59, Новосибирск, 1991.

41. А.И.Волохов, Э.П.Кругляков, Н.И.Чхало, "Подложки для многослойных рентгеновских зеркал", "Поверхность", 1 (1999) 130-132.

42. A.Labeyrie. Thesis. University of Paris. (1966)48. «Основы эллипсометрии», Новосибирск, Наука, 1974

43. А.Г.Вавилов,С.К.Водолазская, «Области примененияфоторезистов и режимы их обработки». М., 1978.

44. О.Д.Парфенов, «Технология микросхем», М, Высшая школа, 1982.

45. Ю.А.Микирчумов, «Защитные свойства пленок фоторезистов», М.,1986.52. Микроэлектроника53. «Плазменная технология в производстве СБИС»/ пер. с англ. Под ред. Н. Айнспрука, Д. Брауна, М.: Мир, 1987. t

46. Стогний А.И., Токарев В.В., Широкоапертурный источник ионов реактивных газов, Приборы и техника эксперимента, 3 (1990) 142-144.

47. Brief Description of SR Experimental Stations, Preprint INP, 90-92, Novosibirsk (1990).

48. Паспорт дифрактометра АДП-2

49. V.A. Chernov, E.D. Chkhalo, N.V. Kovalenko, S.V. Mytnichenko, High-resolution X-ray study of specular and diffuse scattering from Ni/C multilayer upon annealing, Nucl. Istrum. and Meth., A448 (2000) 276r281.

50. V.A. Chernov, N.V. Kovalenko, S.V. Mytnichenko, "An extended anomalous fine structure of X-ray quasi-Bragg diffuse scattering from multilayer", Nucl.1.strum. and Meth., A470 (2001) 210-214.

51. D. G. Stearns, J. Appl. Phys. 71 (1992) 4286.

52. N.I.Chkhalo, A.N.Kirpotin, E.P.Kruglyakov, E.P.Semenov, "Test bench for the precise testing of elements of the X-ray optics", Nucl. Instr. and Meth., A 405 (1998)

53. V. A. Belyakov, Yu. M. Aivazyan, JETP Lett., 7 (1968) 368

54. A.N.Artemiev, V.A.Kabannik, * G.N.Kulipanov, E.A.Mereshko, V.V.Sklyarevskiy, A.N.Skrinskiy, E.P.Stepanov, V.E.Khlestov, A.I.Chechin, Nucl. Instrum. Meth., 152 (1978) 235-241.

55. A.I.Chumakov, G.V.Smirnov, A.Q.R.Baron, J.Arthur, D.E.Brown, S.L.Ruby, G.S.Brown, and N.N.Salashchenko, Phys. Rev. Lett-., 71 (1993) 2489.

56. S.Berstein, E.C.Campbell, Phys. Rev. 132 (1963) 1625-1633.

57. J.P.Hannon, at all, Phys. Rev. Lett., 43 (1979) 636

58. V.A.Belyakov, I.V.Zhadenov, Nucl. lustrum. Meth. A, 359(1995)195-199

59. B.A. Беляков, "Дифракционная оптика периодических сред сложной структуры", М., "Наука", 1988.

60. А.И. Зайдель, Е.Я. Шрейдер, "Спектроскопия вакуумного ультрафиолета", М., "Наука", 1967.