Экстремумы свойств тонкопленочных разбавленных твердых растворов на основе железа и никеля на монокристаллическом кремнии тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 02.00.21, кандидат химических наук Ветрова, Елена Николаевна

• Ветрова, Елена Николаевна
• кандидат химических наук
• 2004

Оглавление диссертации кандидат химических наук Ветрова, Елена Николаевна

Введение.

ГЛАВА 1. ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ НА ОСНОВЕ ЖЕЛЕЗА, НИКЕЛЯ И ИХ ОКСИДОВ

1.1 Железо и никель, их свойства и соединения

1.1.1 Строение атомов железа и никеля

1.1.2 Физико-химические свойства железа и никеля

1.1.3 Диаграмма состояния Ре-№„.

1.2 Методы получения и формирования тонких пленок.

1.2.1 Краткая характеристика методов получения тонких пленок

1.2.1.1 Термическое испарение пленок в вакууме

1.2.1.2 Ионное распыление

1.2.2 Особенности кристаллической структуры тонких пленок

1.2.3 Влияние дефектов свободной поверхности на свойства металлов и сплавов

1.2.3.1 Роль дефектов атомно-кристаллического строения в формировании свойств металлов

1.2.3.2 Влияние свободной поверхности на распределение точечных дефектов в металле

1.3 Окисление металлов. Окисление железа, никеля и их сплавов:

1.3.1 Законы роста оксидных пленок

1.3.1.1 Линейный закон роста пленок

1.3.1.2 Параболический закон роста пленок

1.3.1.3 Сложные законы роста пленок

1.3.2 Факторы, влияющие на скорость окисления

1.3.2.1 Зависимость скорости окисления от температуры.

1.3.2.2 Влияние давления и состава газа на скорость окисления.

1.3.3 Образование и рост оксидной фазы на поверхности металла

1.3.3.1 Краткая характеристика основных стадий взаимодействия с поверхностью металла. Кинетика островкового роста оксидной фазы

1.3.3.2 Применение модели решеточного газа для процессов окисления металлов

1.3.3.3 Определение закона изменения толщины образующейся оксидной пленки от времени

1.3.4 Кинетика и механизм окисления железа. Диаграмма состояния Ре-О.

1.3.4.1 Оксидные пленки на поверхности железа

1.3.4.2 Основные принципы окисления железа

1.3.4.3 Окисление железа с учетом образования пор, трещин и пузырей.

1.3.5 Окисление никеля. Диаграмма состояния системы N1-0.

1.3.6 Процесс окисления металлических сплавов на основе железа и никеля.

ГЛАВА 2. МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА

2.1 Синтез пленок железа, Ре-№ и №-Ре методом магнетронного напыления

2.2 Методика приготовления составной мишени

2.3 Оксидирование тонких пленок в печи резистивного нагрева

2.4 Характеристика эллипсометрического метода

2.5 Методика измерения электрофизических свойств тонкопленочных твердых растворов

ГЛАВА 3. ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТАМ

3.1 Анализ состава образцов

3.2 Определение качества поверхности пленок

3.3 Оксидирование тонких пленок железа и твердых растворов железа с никелем в потоке кислорода при атмосферном давлении

3.3.1 Кинетика оксидирования тонких пленок железа

3.3.2 Кинетика оксидирования тонких пленок Ре-№ и №-Ре

3.4 Изучение фазового состава окисленных пленок

3.5 Термодинамический анализ протекания возможных химических превращений при окислении железных и железо-никелевых пленок

3.6 Изучение аномалий некоторых характеристик железо-никелевых пленок

3.6.1 Аномальные свойства системы Ре-№

3.6.2 Аномальные свойства системы М-Бе

3.7 Физико-химическая модель возникновения особых свойств тонких пленок твердых растворов железо-никель

ВЫВОДЫ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Экстремумы свойств тонкопленочных разбавленных твердых растворов на основе железа и никеля на монокристаллическом кремнии»

Актуальность темы диссертационной работы обусловлена тем, что железо и никель широко используются в современной индустрии, в частности, для изготовления сталей. Известно, что никель придает стали твердость, коррозионную стойкость, высокие магнитные свойства и др. Он является одной из основных легирующих добавок к нержавеющей стали. Свойство нержавения1 стали осуществляется при существенном содержании никеля 10ат.%). Также известно, что при образовании разбавленных твердых растворов для ряда систем; вблизи чистого компонента возникают области с «аномальными» свойствами, которые проявляются в возникновении экстремумов на зависимостях состав-свойство. Не исключено, что повышение коррозионной стойкости железа может происходить и при сравнительно небольших добавках никеля.

С научной точки зрения выбранная система интересна тем, что позволяет расширить представления о взаимодействии двух металлов, тем более, что железо и никель - переходные металлы (относятся к (¿-элементам) и характеризуются близкими значениями атомных радиусов, близостью кристаллохимического строения и одинаковым типом химической связи. Все это позволяет получить твердые растворы замещения и использовать модель кластерообразования для объяснения их "особых" свойств, вблизи чистых компонентов.

На современном этапе развития химии твердого тела наиболее перспективным является исследование материалов, находящихся в тонкопленочном состоянии. С одной стороны, это обусловлено требованием современных технологий, а, с другой стороны, именно тонкопленочное состояние открывает возможности для более корректного исследования свойств твердых растворов, так как в тонких пленках значительно более просто достичь однородности и однофазности исследуемых объектов.

Таким образом, тема диссертационной работы характеризуется высокой степенью актуальности.

Цель работы. Синтез и исследование физико-химических свойств тонких пленок разбавленных твердых растворов железо-никель вблизи чистых компонентов, как со стороны железа, так и со стороны никеля. Для достижения этой цели были сформулированы и решены следующие задачи:

- синтез однородных тонких пленок разбавленных твердых растворов в системе железо-никель в области составов вблизи чистых компонентов;

- изучение физических и физико-химических свойств полученных пленок;

- исследования процессов оксидирования тонких пленок Рех№]х и №хРе]х (0,1< х<7 ат.%);

- интерпретация результатов на основе модели кластерообразования.

Научная новизна заключается в том, что:

- впервые магнетронным способом сформированы тонкие пленки разбавленных твердых растворов в системе железо-никель в интервале концентраций второго компонента 0,1-7ат.% на монокристаллическом кремнии;

- экспериментально установлены области концентраций второго компонента, в которых твердые растворы проявляют "аномальные" свойства, заключающиеся в существовании локальных экстремумов на зависимостях состав-свойство;

- впервые экспериментально исследована кинетика оксидирования тонких пленок разбавленных твердых растворов железо-никель. Обнаружено, что в разбавленных твердых растворах Ре-№, соответствующих "аномальным" областям, наблюдаются изменения скорости роста оксида и существенно изменение эффективной энергии активации процесса. Предложена теоретическая интерпретация наблюдаемых явлений в рамках транспортной модели формирования оксидов;

- полученные экспериментальные результаты объяснены на основе модели формирования разбавленных твердых растворов, учитывающей процессы образования малочастичных примесных кластеров

Практическая ценность полученных в работе результатов заключается в возможности управления коррозионными свойствами тонких металлических пленок за счет введения малых добавок второго металла.

Достоверность результатов работы подтверждается применением в работе современных методов исследования, многократным повторением экспериментов и высокой степенью воспроизводимости результатов.

Основные положения и результаты, выносимые на защиту:

- Методика формирования тонких пленок разбавленных твердых растворов на основе железа и никеля, основанная на использовании магнетронного метода, позволяющая получать тонкие пленки, характеризующиеся высокой степенью однородности сразу после напыления и не требующие дополнительного гомогонезирующего отжига.

- На основании исследования оптических, электрофизических свойств и кристаллической структуры тонких пленок разбавленных твердых растворов Fe-Ni установлено, что при содержании концентрации второго компонента около 1ат.% существуют локальные экстремумы на зависимостях состав-свойство.

- Скорость оксидирования и эффективная энергия активации разбавленных твердых растворов Fe-Ni при содержании второго компонента, соответствующего "аномальным" областям, существенно изменяются, что связано с влиянием примеси второго компонента на процесс массопереноса ионов металла в реакционную область.

- Возникновение локальных экстремумов на зависимостях состав-свойство для тонких пленок разбавленных твердых растворов Fe-Ni может быть адекватно объяснено взаимодействием атомов примеси с собственными точечными дефектами кристалла и формированием малочастичных кластеров.

Апробация работы. Основные результаты работы представлены; и доложены на IX Национальной конференции по росту кристаллов (НКРК-2000) (Москва, 2000); 4 Internatinal Conference Single Cristal Growth, Strength Problems and Heat Mass Transfer (ICSC-01) (Obninsk, 2001).

Публикации. Основное содержание работы изложено в 9 публикациях, в том числе 7 статей опубликовано в рецензируемых научных журналах.

Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения, трех глав, заключения, списка литературы, включающего 96 наименований, а также из 4 приложений. Работа изложена на 174 страницах основного текста, иллюстрирована 78 рисунками и содержит 33 таблицы.

Заключение диссертации по теме «Химия твердого тела», Ветрова, Елена Николаевна

ВЫВОДЫ

1. Магнетронный способ напыления при использовании составной мишени позволяет сформировать тонкие пленки разбавленных твердых растворов Ре-№:с содержанием второго компонента до 7 ат.% как со стороны железа, так и со стороны никеля, которые характеризуются высокой степенью однородности, не требующей дополнительного гомогенезирующего отжига.

2. Для тонких пленок разбавленных твердых растворов железо-никель при концентрации в районе 1 ат.% никеля на зависимостях состав-свойство появляются! экстремумы, связанные со структурными особенностями твердых растворов. Экстремум удельной электропроводности для, твердого раствора вблизи чистого железа: связан с немонотонным изменением подвижности носителей, что обусловлено наличием экстремума постоянной решетки в этой же области концентрации никеля.

3. Для тонких пленок разбавленных твердых растворов железо-никель, со стороны никеля были обнаружены экстремумы в области 1ат.% железа, которые проявляются при исследовании оптических свойств (коэффициента преломления, коэффициента поглощения)

4. Скорость формирования оксидной пленки при концентрациях второго компонента около 1 ат.% имеет немонотонный характер зависимости от состава, что связано с изменением характера влияния массопереноса ионов металла к реакционной области за счет изменения коэффициента диффузии вследствие изменения структуры твердых растворов, из-за связанных с возникновением комплексов собственная вакансия-примесный атом. Это подтверждается;и-зависимостью эффективной, энергии: активации процесса оксидирования от концентрации второго компонента.

5. Возникновение экстремумов на зависимостях состав-свойство для разбавленных твердых растворов вблизи чистого компонента может быть интерпретировано на. основе рассмотрения процессов взаимодействия атомов; примеси с собственными дефектами в- матрице основного компонента с образованием малочастичных кластеров. Как следует из данных численного анализа, в разбавленном твердом растворе Бе-М при общей концентрации никеля 1,5 ат.% в кластеризованном состоянии содержится до 70% атомов никеля. При увеличении концентрации примеси число кластеризованных атомов уменьшается, а затем стабилизируется.

Список литературы диссертационного исследования кандидат химических наук Ветрова, Елена Николаевна, 2004 год

1. Угай Я.А. Общая и неорганическая химия: Учеб. пособие / Я.А. Угай. -М.: Высш. Шк., 1997. - 527 с.

2. Степин Б.Д. Неорганическая химия: Учеб. пособие / Б.Д. Степин, A.A. Цветков; Под ред. Б.Д. Степина. М.: Высш. шк., 1994. - 608 с.

3. Корнилов И.И. Никель и его сплавы / И.И. Корнилов. Москва: Изд-во академии наук СССР, 1958. - 340 с.

4. Эмсли Дж. Элементы / Дж. Эмсли; Пер. с англ. Е.А. Краснушкиной; Под ред. O.A. Реутова. М.: Мир, 1993. - 256 с.

5. Третьяков Ю.Д. Химия и технология твердофазных материалов / Ю.Д. Третьяков, X. Лепис; Под ред. Ю.Д. Третьякова. М.: Изд-во Моск. ун-та, 1985.-256 с.

6. Перельман Ф.М. Кобальд и никель / Ф.М. Перельман, А.Я. Зворыкин; Под ред. Ф.М. Перельмана. М.: Наука, 1975. - 215 с.

7. Петров Д.А. Двойные и тройные системы / Д.А. Петров. М.: Металлургия, 1986. - 255 с.

8. Барабаш О.М. Структура и свойства металлов и сплавов: Справоч. пособие / О.М. Барабаш, Ю.Н. Коваль; Под ред. О.М. Барабаша. Киев: Наукова Думка, 1986.-450 с.

9. Кубашевски О. Диаграммы состояния двойных систем на основе железа: Справочник. / О. Кубашевски. М.: Металлургия, 1985. - 184 с.

10. Атомная структура и состав монослоев, поверхностной области сплава FeNi3 (111) / M.А. Васильев, A.M. Бобырь, С.Д. Городецкий // Поверхность. 1991. - №11. - С. 52-60.

11. Казаков В.Г. Тонкие магнитные пленки / B.F. Казаков // Соросовский образовательный журнал. 1997. - №1. - С. 107-114.

12. Минайчев В.Е. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Нанесение пленок в вакууме: Учеб. пособие / В.Е. Минайчев. -М.: Высш. шк., 1989. 110 с.

13. Данилин Б.С. Магнетронные распылительные системы / Б.С. Данилин, В.К. Сырчин; Под. ред. Б.С. Данилина. М.: Радио и связь, 1982. - 72 с.

14. Праттон М. Тонкие ферромагнитные пленки / М. Праттон; Пер. с англ. Е.О. Брянской; Под. ред. Е.О. Брянской, H.H. Калинина. Л.: Судостроение, 1967. - 268 с.

15. О механизме образования пленок, получаемых реакционным ионно-плазменным осаждением / А.Н. Пилянкевич, В.Ю. Куликовский, Л.Р. Шагинян//Поверхность. 1991. -№12. - С. 24-28.

16. Палатник Л.С., Механизмы образования и структура конденсированных пленок / Л.С. Палатник, М.Я. Фукс, В.М. Косевич; Под. ред. Л.С. Палатника. М.: Наука, 1972. - 320 с.

17. Колбасников Н.Г. О роли вакансий в формировании свойств металлов / Н.Г. Колбасников // Металлы. 1998. - №6. - С. 80-90.

18. Фельдман Э.П. Кинетика сегрегации примесей на поверхностях раздела в твердых телах / Э.П. Фельдман, В.М. Юрченко // Поверхность. 1990. -№12. С. 138-147.

19. Беляев И.В. Обобщенный коэффициент распределения многокомпонентных сплавов твердых растворов / И.В. Беляев // Металлы. - 1998. -№2. - С. 106-108.

20. Девятко Ю.Н. Влияние свободной поверхности на распределение точечных дефектов в металле / Ю.Н. Девятко, О.В. Тапинская // Поверхность. 1991. - Т., №12. - С. 92-97.

21. Семенова И.В. Коррозия и защита от коррозии / И.В. Семенова, Г.М.Флорианович A.B. Хорошилов; Под. ред. И.В. Семеновой. М.: ФИЗМАТЛИТ, 2002. - 336 с.

22. Колобов H.A. Диффузия и окисление полупроводников / H.A. Колобов, М.М Самохвалов; Под. ред. H.A. Колобова. М.: Металлургия, 1975. -456 с.

23. К. Хауффе Реакции в твердых телах и на их поверхности: в 2 т. / К. Хауффе; Пер. с. нем. А.Б. Шехтера; Под. ред. Л.Г. Чучукиной. М.: ИИЛ, 1962. -Т.1.-416 е., 1963. - Т.2. - 276 с.

24. Соколовская Е.М. Физико-химия композиционных материалов / Е.М.Соколовская, Л.С. Гузей; Под. ред. Е.М.Соколовской. М.: Изд-во МГУ, 1978.-310 с.

25. Ормонт Б.Ф. Структура неорганических веществ / Б.Ф. Ормонт. М.: Гостехиздат, 1950. - 968 с.

26. Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия* эпитаксия. Под ред. Р.Бургера и Р. Донована. М.: Мир, 1969. -452 с.

27. Назаренко И.Н. Физико-химическая модель оксидирования полупроводников и металлов / И.Н. Назаренко.- Воронеж: Изд-во Воронеж, гос. технол. акад., 1997. 73 с.

28. Ховив A.M. Лазерный метод формирования оксидных пленок на поверхности проводящих твердых тел / A.M. Ховив. Воронеж: Изд-во ВГАУ, 1997.-82с.

29. Кинетика начальной стадии островкового роста оксидной фазы на поверхности металла / В.Д.Борман, Е.П. Гусев, Ю.Н. Девятко и др. // Поверхность. 1990. - №8. - С. 22-30.

30. Кинетика взаимодействия кислорода с поверхностью. Образование и рост оксидной фазы на поверхности металла / Ю.Н. Девятко, C.B. Рогожкин, В.Н. Тронин и др. // Поверхность. 1991. - №10. - С. 128-131.

31. Гусев Е.П. Начальная стадия окисления металлов в модели решеточного газа / Е.П. Гусев, А.П. Попов // Поверхность. 1991. - №2. - С. 33-46.

32. Доильницына В.В. О закономерностях процесса окисления металлов / В.В. Доильницына // Металлы. 1999. - №5. - С. 27-32.

33. Лазарев В.Б., Химические и физические свойства простых оксидов металлов / В.Б. Лазарев, В.В. Соболев, И.С. Шаплыгин; Под ред. В.Б. Лазарева. М.: Наука, 1983. - 239 с.

34. Кофстад П. Отклонение от стехиометрии, диффузия и электропроводность в простых окислах металлов / П. Кофстад. М.: Мир, 1975. - 400 с.

35. Нестехиометрические соединения / Под ред. Л.Манделькорна. М.: Химия, 1971.-608 с.

36. Лыкасов А.А Физико-химические свойства вюстита и его растворов / A.A. Лыкасов, К. Карел, А.Н. Мень; Под ред. A.A. Лыкасова. Свердловск: Изд-во АН СССР Урал. науч. центр, 1987. - 226 с.

37. Ч.Н.Р. Pao Новые направления в химии твердого тела: структура, свойства, реакционная способность и дизайн материалов / Ч.Н.Р. Pao, Дж. Гопалакришнан; Пер с англ. В.Е. Федорова; Под ред. Ф.А. Кузнецова -Новосибирск: Наука, 1990. 520 с.

38. Эллиот Р.П. Структуры двойных сплавов: В 2 т. / Р.П. Эллиот; Пер. с англ. A.M. Захарова; Под ред. И.И. Новикова, И.Л. Рогельберга М.: Металлургия, 1970. - Т. 2. - 472с.

39. Кириллова М.М. О Межполосных переходах электронов в никеле / М.М. Кириллова//ЖЭТФ. 1971. - Т. 61, №1. С. 336-344.

40. Сасовская И.И. Оптические свойства никеля / И.И. Сасовская, М.М. Носков // ФММ. 1974. - Т. 32, №4. - С. 723-727.

41. Носков М.М. Оптические и магнетооптические свойства металлов / М.М Носков. Свердловск: Изд-воУНЦ АН ССР, 1981. - 220 с.

42. Ховив A.M. О влиянии динамики потока осушенного кислорода на кинетику термического окисления кремния / A.M. Ховив, Л.А. Малевская // Журнал физической химии. 1995. - Т. 69, №2. - С. 344-346.

43. Enhahced oxidation of nickel in atomic oxiden / S.A. Pasporov, A.G. Gusacov, A.G. Voropaev // J. Alloys and Compounds., 1995. №1. - P. 5-9.

44. Yonggand Wu. Inverstigation of oxidation of Ni thin films deposited on glass sudstrates / Wu Yonggand, Wu Guangming // Proc. 17 th. Int. Congr. Glass, Beijing, 1995. Vol.4. - C. 85-90.

45. Спектральные зависимости оптических констант тонких пленок никеля и его силицидов. Эллипсометрия: теория, методы, приложения: / G.H. Свиташева, В.А. Усова, В.А. Колосанов; Под ред. С.Н. Свиташевой. -Новосибирск: Наука. Сиб. отд., 1991. 227 с.

46. Точицкий Е.Ф. Исследование механизма формирования дефектов кристаллической решетки в электролитических пленках никеля на меди / Е.Ф: Точицкий //Металлы. 1998. -№1. - С. 116-120.

47. Ховив В.Н. Оксидирование тонких пленок твердых растворов медь-никель / В.Н. Ховив, E.H. Удодова // Труды молодых ученых ВГУ. 2000. -Вып.2. - G. 119-121.

48. Оксидирование тонких пленок твердых растворов медь-никель / В.Н. Ховив, Е.Г. Гончаров, Е.Н.Удодова // Конденсированные среды и межфазные границы .- 2001. -Т.З, №2. С. 161-163.

49. Оксидирование тонких пленок никеля и твердых растворов медь-никель / Гончаров Е.Г., Ховив В.Н., Назаренко H.H. и др. // Поверхность. 2002. — №3. - С. 11-16.

50. Ховив В.Н. Синтез и свойства тонких пленок разбавленных твердых растворов медь-никель. Дисертация. Воронеж. 2001. 129 с.

51. Особенности оксидирования тонкопленочного никеля в структуре Ni/Si02/Si / В.Н. Ховив, Е.Г. Гончаров, Н.К. Монакова // Конденсированные среды и межфазные границы. 1999. - Т.1, №4. - С. 321-323.

52. Исследование взаимодействия железа и палладием с титаном и цирконием / Е.М. Соколовская, Т.П. Лобода, У.М. Маканов // Металлы. 1992. - №6. С. 166-168.

53. Образование фаз лавеса в сплавах железа / Ю.И. Установщиков, М.С. Широбокова, А.В. Рац // Металлы, 1992. №3. - С.103-109.

54. Structure and magnetic properties of nanocristalline mechanically alloyed Fe-10%Ni and Fe-20%Ni / R. Hamzaoui, O. Elkedim, N. Fenineche // Materials Sciense and Engineering. 2003. - V. 360. - P. 299-305.

55. Растворение интерметаллидов в каскадах смещения при нейтронном облучении дисперсионно-твердеющих сплавов / В.В. Сагарадзе, В.М. Колосков, В.А. Шабашов и др. // Письма в ЖТФ. 2001. - Т.27, вып.6. - С. 26-33.

56. Начальные стадии распада твердых растворов и сплавов систем Fe-Ti и Fe-Nb / Ю.И. Установщиков, Чен Ширен, М.С. Широбокова // Металлы. -1993.- №4. С. 226-230.

57. Структура и механические свойства сплавов Fe-Mn / Г.Е. Звигинцева, А.А. Круглов, В.А. Радченко и др. // Металлы. 1990. - №3. - С. 86-89.

58. Установщиков Ю.И. Структура сплавов Fe-Cr / Ю.И. Установщиков, М.С. Широбокова//Металлы. 1995. - №2. - С. 82-89.

59. Cr et al Threedimensional characterization and modelling of spinodally decompozed iron-cromium alloys 7 Hyde J.M., Cerezo A., Hetherington M. 7/ Surf. Sci. 1992. -V. - 226., №1. - P. 370-377.

60. Phase separation process in Fe-Cr alloys studied by neutron small angle scattering 7 M. Furusaka, Y. Ishikawa, S. Yamaguchi // J. Phys. Soc. Jap. -1986. V.55, №7. - P. 2253-2269.

61. Мирзабабаев P.M. Получение и анализ чистых сплавов Pd-57Fe / P.M. Мирзабабаев // Металлы. 1994. - №2. - С. 121-126.

62. Термодинамические свойства p-твердых растворо железа с марганцем / А.И. Зайцев, М.А. Земченко, Б.М. MoiyraoB // Металлы. 1990. - №6. - С. 38-43.

63. Судавцова B.C. Термодинамические свойства расплавов систем Fe-Ni-О и Fe-Ni-O-Ta-Si / B.C. Судавцова, Н.О. Шаркина // Металлы. 1992. - №2. -С. 233-235.

64. Система Ti-TiFe-TiNi / С.П. Алисова, П.Д. Будберг, Т.И. Бармина и др., // Металлы. 1994. -№1. - С. 158-163.

65. Структурное состояние сплавов системы Ti-TiFe-TiNi в условиях быстрой закалки / С.П. Алисова, Ю.К. Ковнеристый, Н.В. Луцкая и др. // Металлы. 1995. — №1. - С. 158-161.

66. Банных О.А. Структурное состояние закаленных железоникелевых сплавов при низких температурах / О.А. Банных, В.Е. Данильченко // Металлы. 1996. - №3. - С. 77-84.

67. Обработка пучками ионов Аг+ и Хе+ конструкционных сплавов на основе Ni и Fe / В.Г. Григорьян, A.A. Дальский, К.М. Пастухов и др. // Поверхность. 1990. - №4. - С. 130-134.

68. Влияние состава поверхности и границ зерен на механические и магнитные свойства сталей на основе Fe-Ni / Ф.З. Гильмутдинов, О.М. Канунникова, А.В. Загайнов // Металлы. 1997. - №2. - С. 73-77.

69. Наблюдение 360-градусной доменной границы в Fe-Ni-пленках / В.П. Панаэтов, В.М. Подчекаев, Ю.А. Симонов // Поверхность. 2000. - №9. -С. 94-96.

70. Laurence P.J. Chemical and magnetic interactions in f. с. c. Fe-Ni alloys using the cluster variation method / P.J. Laurence, P.L. Rossiter // J. Phys. F. 1986. -V. 16, №3.-P. 543-547.

71. Neutron diffuse scattering investigations of different states of local order in 62Nio.765Fe0.235 / S. Lefebre, F. Bley, M. Fayard // Acta metallurgies 1981. V. 29, №4. - P. 749-754.

72. Atomic short-rang order in a Ni-Fe invar alloy / P. Genedese, F. Bley, S. Lefebre // Mater. Res. Soc. Simp. Proc. 1983. V. 21, №1. - P. 242-245.

73. Взаимосвязь объемов смешения двух и трехкомпонентных сплавов Ni-Fe-Мо / В.В. Леонов, Г.А. Никифоров, Е.Ю. Бельмач // Металлы, 1993. №1.- С. 49-52.

74. Наблюдение выделений в сплаве железо-никель-титан с помощью сканирующей туннельной микроскопии / В.JI. Арбузов, К.В. Шальнов, С.Е. Данилов и др. // Письма в ЖТФ. 1999. - Т.25, вып.4. - С. 24-27.

75. Топоров А.Ю. Распределение намагниченности в массивах субмикронных антиточек, приготовленных методом травления железо-никелевой пленки сфокусированным ионным пучком / А.Ю. Топоров // Журнал технической физики. 2002. - Т.72, вып.9. - С. 136-139.

76. Ренгеноэлектронное исследование продуктов разрядной реакции химического источника тока на основе системы Li-NiFe / Ю.И. Никоноров, Т.В. Липец, Е.Р. Волков // Неорганические материалы. 1991.- Т.27, №5. С. 1102-1103.

77. Белащенко Д.К. Компьютерное исследование структуры и свойств некристаллическ Третьяков их оксидов системы Fe0-Fe203 / Д.К. Белащенко // Металлы. 1993. - №3. - С. 46-55.

78. Магнитные свойства и структура оксидов железа после пластического течения под давлением / В.А. Жорин, A.B. Петинова, А.Г. Книжник и-др. // Неорганические материалы. 1990. - Т.26, №4. - С. 843-848.

79. Гаврилюк А.Г. Структура и магнитные свойства ультродисперсных частиц железа с оксидной > пленкой / А.Г. Гаврилюк, P.A. Садыков // Неорганические материалы. 1994. - Т.30, №12. С. 1523-1526.

80. Влияние ультрозвуковой обработки при высоких температурах на реальную структуру и реакционную способность a-Fe203 / А.Е. Баранчиков, H.H. Олейников, А.Н. Баранов и др. // Неорганические материалы. 1999. - Т.35, №3. - С. 352-355.

81. Компьютерное исследование структуры и свойств оксидов системы FeO-Si02 / Д.К. Белащенко, И.Е. Гопенгауз, А.Б. Гриценко и др. // Металлы. -1991.-№5.-С. 47-53.

82. Фазовый состав нанокристаллических пленок железа, осажденных в атмосфере азота / Г.И. Фролов, B.C. Жигалов, O.A. Баюков7/ ФТТ. 1999. - Т.41, №10. - С. 1819-1821.

83. Пшеницын В.И. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях / В.И. Пшеницын, М.И. Абаев, Н.Ю. Лызлов; Под ред. В.И. Пшеницына. -Л.: Химия, 1986. 152 с.

84. Азам Р. Эллипсометрия и поляризованный свет / Р. Азам, Н. Башара; Под ред. Р. Азама. М.: Мир, 1981. - 583с.

85. Урывский Ю.И. Современные проблемы эллипсометрии / Ю.И. Урывский, К.А. Лаврентьев, А.Н. Седов; Под ред. Ю.И. Урывского. Новосибирск: Наука, 1980. - 171с.

86. Назаренко И.Н. Решение обратной задачи эллипсометрии для слоя с изменяющимся по толщине комплексным показателем преломления / И.Н. Назаренко, Д.Л. Дорофеев // Вестник Воронеж, ун-та. Сер. Химия, биология. 2001. - №1. - С. 137-143.

87. Термическое оксидирование кремния с учетом самоорганизации переходного слоя на межфазной границе раздела / A.M. Ховив, И.Н. Назаренко, Л.А. Малевская // Неорг. материалы. 1997. - Т. 33, №11. С. 1294-1297.

88. Кукушкин С.А. Самоорганизация при зарождении многокомпонентных пленок / С.А. Кукушкин, A.B. Осипов // ФТТ. 1995. - Т. 37, №7. - С. 21272132.

89. Краткий справочник физико-химических величин / Сост. Н.М. Барон и др.; Под ред. К.П. Мищенко. 4-е изд., перераб. и доп. - М.: Химия, 1995.158с.

90. Справочник термодинамических величин / Сост. Г.Б. Наумов и др.; Под ред. Г.Б. Наумова. М.: Атомиздат, 1971 - 239с.

91. Основные термодинамические константы неорганических и органических веществ. Справочник. / М.Х. Карапетьянц и др.; Под ред. М.Х. Карапетьянц. М.: Химия, 1968. - 250с.

92. Третьяков Ю.Д. Твердофазные реакции / Ю.Д. Третьяков. М.: Химия, 1978.-328с.

93. Ветрова E.H. Эволюция фазового состава в оксидных пленках железа при термооксидировании / E.H. Ветрова // Конденсированные среды и межфазные границы. 2003. - Т. 5, №3. С. 303-305.

94. Ветрова E.H. Окисление и изучение фазового состава тонкопленочных твердых растворов Ni-Fe / E.H. Ветрова, Э.А. Долгополова // Вестн. Воронеж. Ун-та. Сер. Химия, биология, фармация. 2003. - №2. - С. 18-20.