Экспериментальное исследование воздействия плазмы высокочастотного емкостного разряда на поверхность полимерных материалов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.08, кандидат физико-математических наук Быканов, Александр Николаевич

• Быканов, Александр Николаевич
• кандидат физико-математических наук
• 1998

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Быканов, Александр Николаевич

Введение.

ГЛАВА I. Плазменные технологии, применяемые для обработки полимерных материалов (литературный обзор).

§1.1. Плазменныепроцессы в производстве полимерных газоразделительных мембран.

§ 1.2. Плазменные технологии для биомедицинских приложений.

§1.3. Особенности диагностики высокочастотных разрядов.

ГЛАВА II. Экспериментальное оборудование.

§2.1. Экспериментальный стенд для проведения экспериментов по модификации полимерных материалов в ВЧЕ разряде и диагностики ВЧЕ разряда.

§2.2. Автоматизированный стенд для измерения вольт-амперных характеристик зонда.

§2.3. Анализатор энергии ионов с осесимметричным полем

§2.4. Стенд для измерения газопроницаемости газоразделительных мембран.

§2.5. Выводы Главы II.

ГЛАВА III. Зондовая диагностика ВЧ разряда.

§3.1. Определение длины свободного пробега электронов и ионов в плазме газового разряда при давлении порядка 1 Тор.

§3.2. Теория Аллена-Бойда-Рейнольдса собирания ионов на цилиндрический зонд (теория АБР).

§3.3. Определение толщины призондового слоя; применимость зондовых теорий для диагностики разряда при давлении порядка 1 Тор.

§3.4. Определение параметров плазмы по ионной ветви зондовой характеристики.

§3.5. Моделирование погрешностей, возникающих при зондовых измерениях в ВЧ разряде.

§3.6. Экспериментальное определение ошибки измерения зондовых характеристик в ВЧ разряде.

§3.7. Измерение параметров плазмы ВЧ разряда.

§3.8. Энергетические характеристики ионных потоков, воздействующих на тонкие диэлектрические образцы, помещаемые в приэлектродный слой ВЧЕ разряда.

§3.9. Выводы Главы III.

ГЛАВА IV. Исследование результатов обработки полимерных газоразделительных мембран в плазме ВЧЕ разряда.

§4.1. Характеристика исследуемых мембран.

§4.2. Методика определения изменения диффузии и растворимости газоразделительных мембран при их плазменной модификации.

§4.3. Зависимость параметров газопроницаемости мембран, модифицированных в плазме, от их пространственного положения в приэлектродных слоях и времени обработки.

§4.4. Влияние добавок кислорода и S02 в плазмообразующий газ на газопроницаемость модифицированных мембран.

§4.5. Исследование состава и структуры поверхности модифицированных мембран методом РФЭС и сканирующей электронной микроскопии.

§4.6. Выводы Главы IV.

ГЛАВА V. Использование плазмы высокочастотного емкостного разряда для улучшения биосовместимости полимерных материалов в офтальмологии.

§5.1. Исследование влияния плазменной обработки на оптические параметры контактных линз.

§5.2. Исследование кинетики адгезии белков на поверхности, модифицированной в плазме ВЧЕ разряда.

§5.3. Исследование структуры поверхности образцов ПММА, обработанных в плазме, методом электронной микроскопии.

§5.4. Токсикологические исследования искусственных трансплантатов, модифицированных в плазме ВЧЕ разряда.

§5.5. Стерилизация полимерных материалов в плазме ВЧЕ разряда.

§5.6. Результаты биомедицинских и клинических исследований офтальмологических трансплантатов из искусственных материалов, прошедших обработку в ВЧЕ разряде.

§5.7. ВыводыГлавы5.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Экспериментальное исследование воздействия плазмы высокочастотного емкостного разряда на поверхность полимерных материалов»

В настоящее время наблюдается тенденция широкого использования плазменных технологий в разнообразных сферах науки, техники и производства [1.11.3]. Известны применениям микроэлектронике, где при изготовлении СБИС осуществляется травление поверхности, а также напыление различных проводящих и диэлектрических покрытий. Плазменные технологии позволяют наносить разнообразные защитные, адгезионные и оптические покрытия, алмазоподобные пленки, обрабатывать поверхность перед последующими стадиями производственного процесса и т.д. Во всех случаях технологических применений низкотемпературной плазмы отмечается уникальность этих процессов и реализация дополнительных возможностей по созданию новых материалов и изделий.

Следует отметить и тенденцию интенсивного развития мембранных технологий, используемых для разделения газов, очистки антропогенных выбросов, опреснения и очистки воды, биотехнологий и проч. При этом большинство применяемых мембран получают путем обычной полимеризации. Применение плазменных технологий в мембранном производстве может привести к созданию новых мембран с уникальными свойствами. Поэтому число исследований по применению плазменной полимеризации с целью создания газоразделительных мембран с каждым годом растет [1.4, 1.5]. Наряду с этим представляет интерес плазменная модификация уже имеющихся мембран, которая может быть включена как конечная стадия в имеющийся технологический цикл мембранного производства.

Еще одним возможным применением плазменной обработки является ее использование для создания трансплантатов, применяемых в офтальмологии. При офтальмологических операциях, например, в операциях кератопластики*,

Кератопластика - операция, имеющая целью изменение формы роговицы за счет применения трансплантатов. возникает необходимость имплантирования в ткани глаза различных элементов, которые не должны отторгаться после операции, при этом должны быть достаточно прозрачными. В настоящее время для этих целей используют донорскую роговицу (трупный материал). Однако это связано с целым рядом проблем этического, юридического, финансового и медицинского плана. Так, необходимо проводить анализ донорского материала на перенесенные вирусы гепатита, сифилиса, СПИДа и проч., на что часто у хирурга нет времени и средств. В мусульманских странах применение алотрансплантатов запрещено по религиозным соображениям. Поэтому перспективным является использование полимерных материалов для изготовления трансплантатов. Однако это затруднено высокой вероятностью отторжения трансплантата, на что указывают многочисленные медико-биологические исследования.

Таким образом, исследование возможностей плазменных технологий в решении задач модификации газоразделительных мембран с целью улучшения их свойств, а также для повышения биосовместимости полимерных материалов, используемых для изготовления офтальмологических трансплантатов является актуальной задачей.

Цели работы

В связи с вышесказанным, цель работы состоит в исследовании возможности применения высокочастотного емкостного (ВЧЕ) разряда для изменения свойств различных полимерных материалов.

Известны работы по нанесению полимерных покрытий для создания газоразделительного слоя [1.5], а также работы по модификации мембран в среде неполимеробразующих газов в плазме послесвечения СВЧ разряда [1.6]. В последнем случае было обнаружено увеличение селективности мембан по паре газов Не/СН4, связанное с «зашиванием» поверхности мембраны кислородными связками. В связи с этим представлялось интересным исследование основных закономерностей модификации мембран в среде неполимеробразующих газов в приэлектродных слоях ВЧЕ разряда.

Эти слои характеризуются высокоэнергетичными потоками ионов, что может существенно повлиять на механизм и результаты модификации. Поэтому в цели работы входило исследование зависимостей результатов модификации от пространственного положения мембраны в слое и выяснение механизма модификации мембран в приэлектродных слоях ВЧЕ разряда.

Кроме того, представлялось важным выяснение энергетических характеристик ионного потока, воздействующего на поверхность мембраны, расположенной в слое на различных расстояниях от электрода. Для этого была необходима разработка методов диагностики ионных потоков и усредненного по времени потенциала плазмы ВЧЕ разряда при давлении около 0.5 Тор.

На основании полученных данных о механизмах и закономерностях процесса модификации газоразделительных мембран предстояло разработать технологию обработки трансплантатов для офтальмологии с целью повышения их биосовместимости, а также провести исследование возможных физических факторов, влияющих на биосовместимость, которые могли изменяться под действием ВЧЕ разряда.

Научная новизна работы

Впервые были исследованы закономерности модификации газоразделительных мембран, помещенных в различных зонах приэлектродного слоя. Это позволило выявить влияние ионной компоненты на процесс модификации при прочих равных условиях. Разработан метод определения параметров диффузии и растворимости в модифицируемом слое полимерных мембран. Предложен метод определения усредненного по времени потенциала плазмы в ВЧЕ разряде и метод экспериментальной оценки абсолютной погрешности измерения вольт-амперной характеристики (ВАХ) зонда. Исследованы характеристики ионных потоков, воздействующих на тонкую диэлектрическую пленку, помещенную в приэлектродный слой ВЧЕ разряда. Получена аппроксимаци-онная формула для терии Аллена-Бойда-Рейнольдса (АБР) собирания ионов на цилиндрический зонд, позволяющая пользоваться этой теорией в широком диапазоне плазменных параметров. Разработан новый способ изготовления биосовместимых трансплантатов для офтальмологии.

Научная и практическая ценность работы

Научная ценность работы состоит в применимости разработанных подходов, в частности, зондовых методик, аппроксимационной формулы для теории АБР, методики определения параметров диффузии и растворимости для изучения других видов разряда и способов модификации газоразделительных мембран.

Найденные закономерности модификации полимеров в приэлектродных слоях ВЧЕ разряда могут найти применение на финальных стадиях химического производства для улучшения газоразделительных характеристик мембран, а также в производстве других изделий при необходимости создания уплотненного слоя на их поверхности, используя для этого материал самого полимера, а также для контролируемого процесса травления полимеров.

Создание биосовместимых материалов для офтальмологии имеет большую практическую ценность, так как только в нашей стране число различных офтальмологических операций с применением трансплантатов превышает 100 ООО в год. В настоящее время предложенная технология находит применение в офтальмохирургической практике. Получено решение Комитета по новой технике Минздравмедпрома РФ о необходимости разработки промышленных офтальмологических изделий по этой технологии.

Заключение диссертации по теме «Физика плазмы», Быканов, Александр Николаевич

Основные результаты, представленные в настоящей главе, опубликованы в [5.5-5.12].

Заключение

В результате проведенной работы был создан экспериментальный стенд, предназначенный для модификации полимерных материалов в ВЧЕ разряде при давлении около торра. Стенд оснащен средствами измерения ВЧ токов, напряжений, мощности разряда, расхода и давления газа, диагностическими устройствами (зонд Ленгмюра и анализатор энергии ионов). Разработанные разрядные устройства и технологические приспособления позволяют проводить обработку полимерных образцов различных форм и размеров с фиксацией положения в приэлектродных слоях разряда, а также выполнять модельные диагностические исследования. Разработан и изготовлен стенд для измерения проницаемости образцов мембран малого размера по восьми газам.

Отработана методика зондовых измерений в ВЧ разряде при давлении около торра. Рассмотрены вопросы погрешностей, вносимых в измерения вследствие детектирования ВЧ составляющей напряжения на призондовом слое. Предложены формулы, позволяющие оценивать характерные толщины слоев около зонда и делать заключение о применимости зондовых теорий в конкретных разрядных условиях. Оценки основаны на классических теориях, а также на теории Аллена-Бойда-Рейнольдса для собирания ионов. Проведено измерение параметров плазмы указанного диапазона давлений, а также характеристики ионных потоков в приэлектродных слоях ВЧЕ разряда, в том числе в присутствие тонкого диэлектрического образца, помещенного в слое.

Иследованы основные закономерности модификации газоразделительных мембран в приэлектродных слоях ВЧЕ разряда в среде неполимеробразующих газов. Показана роль ионных потоков в процессе модификации. Полученные закономерности модификации мембран позволили предложить технологию обработки трансплантатов для офтальмологии с целью повышения их биосовместимости.

Основные положения диссертации формулируются следующим образом.

1. Обнаружены три фазы модификации газоразделительных мембран в приэлектродных слоях ВЧЕ разряда, различающиеся временем воздействия.

Первая фаза — фаза очистки — заключается в плазменном травлении технологических загрязнений с поверхности, в результате чего производительность некоторых мембран может быть увеличена в 1.5-2 раза по сравнению с исходной. Вторая фаза связана с формированием уплотненного слоя и состоит в уменьшении проницаемости по различным газам, что приводит к увеличению селективности. Для некоторых мембран уровень селективности увеличивается в 3-5 раз по сравнению с исходным значением. Травление приводит к уменьшению толщины газоразделительного слоя, которое при определенном времени, зависящем от типа мембраны, условий обработки и положения мембраны в приэлектродном слое, приводит к третьей фазе — фазе резкого увеличения проницаемости и снижения селективности.

2. В результате проведенных исследований установлено, что при обработке полимерных материалов в приэлектродных слоях ВЧЕ разряда без добавок прлимеробразующих газов происходит процесс травления материала с одновременным формированием на поверхности тонкого уплотненного слоя. Этот слой образуется за счет увеличения количества сшивок между молекулами полимера в результате встраивания радикалов, источником которых может быть как плазмообразующий газ, так и продукты травления. Определяющую роль в этих процессах играют ионы, воздействующие на поверхность полимера.

3. Разработан метод определения параметров диффузии и растворимости модифицируемого слоя газоразделительных мембран, основанный на измерении проницаемости по 8 газам и статистическом анализе полученных результатов. Показано, что при обработке в ВЧЕ разряде в среде неполимеробразующих газов наибольшее изменение претерпевает фактор диффузии.

4. Экспериментально установлено, что энергия ионов, воздействующих на поверхность диэлектрической пленки, находящейся в приэлектродном слое ВЧЕ разряда, при давлении 0.3-0.8 Тор определяется усредненным по времени потенциалом границы приэлектродного слоя и расстоянием между пленкой и электродом. Максимальная энергия ионов при этом может достигать значений 100 эВ.

-1915. Получена аппроксимационная формула, позволяющая рассчитывать ионный ток на цилиндрический зонд в соответствии с теорией Аллена-Бойда-Рейнольдса (АБР) в широком диапазоне разрядных условий с точностью не хуже 1%. Найденные зависимости позволяют по зондовой характеристике определять температуру, концентрацию электронов и потенциал плазмы, а также корректно оценивать толщину призондового слоя.

6. Предложен способ экспериментального определения абсолютной погрешности измерения ВАХ электрического зонда в ВЧЕ разряде, возникающей вследствие детектирования ВЧ тока, протекающего через призондовый слой, что позволяет установить достаточность мер, принятых по устранению влияния ВЧ напряжения на результаты зондовых измерений.

7. Предложен способ изготовления трансплантатов для офтальмологии. Обработка трансплантатов из искусственных материалов в плазме ВЧЕ разряда приводит к повышению их биосовместимости с тканями организма вследствие очистки поверхности, создания на ней тонкого барьерного слоя, изменения адгезии белков, повышения гидрофильности и стерилизующего эффекта разряда. Трансплантаты для кератопластики, изготовленные с применением предложенной плазменной технологии, прошли длительные клинические испытания и находят применение в офтальмохирургической практике.

-192В заключений автор считает своим приятным долгом выразить искреннюю благодарность с.н.с. кафедры молекулярной физики МФТИ, к.ф-м.н. Брагину Владимиру Евгеньевичу за конструктивное руководство и талантливую координацию выполненной работы. Хочется поблагодарить Генерального директора НПО «Мединструмент» (г. Казань) д.т.н. Абдуллина Ильдара Шаукатовича за поддержку и ценные дискуссии, а также сотрудников кафедры молекулярной физики к.ф-м.н. Матюхина Владимира Дмитриевича и к.ф-м.н. Муравьева Валентина Федеровича за плодотворную совместную работу. Отдельные слова благодарности хочется высказать в адрес выпускников МФТИ Камаренцева Э.Н., раруйкина A.B., Ли K.M., Марданова В.И. и Гусева О.Н. за помощь в проведении экспериментов. Большая и интересная часть работы прошла в тесном сотрудничестве с хирургами-офтальмологами из Москвы и Караганды, без чьего профессионализма она была бы невозможна.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Быканов, Александр Николаевич, 1998 год

1. К Введению и Главе I

2. Ткачук Б.В., Колотыркин В.М. Получение тонких полимерных пленок из газовой фазы — М.: Химия, 1977. 216с.

3. Оулетт Р., Барбъе М., Черемисинофф П. Технология применения низкотемпературной плазмы. — М: ИЛ, 1983.

4. Плазменная технология в производстве СБИС/ Под ред. Н. Айнспрук, Д. Браун. — М.: Мир, 1987. 469 с.

5. Бердичевский М.Г., Марусин В.В. Нанесение покрытий, травление и модифицирование полимеров с использованием низкоэнтальпийной неравновесной плазмы/ Обзор РАН Сиб. отделение. Ин-т Теплофизики. — Новосибирск, 1993. 107 с.

6. ЯсудаХ. Полимеризация в плазме/ Пер. с англ. — М.: Мир, 1988. 376 с.

7. Арбатский А.Е., Вакар А.К., Голубев A.B., Крашенинников Е.Г., Ливенцов В.В, Маче-рет С.О., Русанов В.Д., Фридман A.A. О механизме модификации полимерных мембран в послесвечении плазмы неполимеризующихся газов// ДАН СССР. 1989. Т. 308, №2. С. 366-369.

8. Okita Koichi. Изготовление мембран с селективной проницаемостью. Заявка Японии 57-168986.28.11.80-8.02.86.

9. Okita Koichi. Селективные газопроницаемые мембраны и способ их получения. Пат. США 4483901. 18.04.83-20.11.84.

10. Okita Koichi. (Sumitomo Electric Industries Ltd.) Селективные газопроницаемые композитные мембраны. Заявка Великобритании 2121314. BOI D 13/04, 28.05.82-21.12.83. С.А., 100,140535.

11. Okita Koichi. Композитная мембрана с избирательной проницаемостью. Пат США 4533369. 28.05.82-6.08.85.

12. Shin-Etsu Chemicsl Industry Co., Ltd. Заявка Японии 59-69105. Композитные мембраны для газоразделения, В OI D 13/00. 12.10.82-19.04.84.

13. Cañera P., Nissia M., Munari S„ Bena G„ //Cim. Ind. — Milan, 1984. 66(4). 238-43.

14. Yamamoto Minoru, Sakata Iiro, Hirai Masarte. (Toyota)//! Appl. Polym. Sei. 1984. 29(10). 2981-7 (C.A., 101,192877).

15. Yamamoto Minoru, Sakata Iiro (Kabushiki Kaisha Toyota Chio Kenkuisho). Газоразделительные мембраны и метод их получения. Пат. США 4594079. BOI D 53/22. 17.12.8410.06.86, приоритет Японии 58-243600 (23.12.83).

16. Hagakushi Toshihide, е. a. I I Kitakyushu Koguo Koto Senmon Gakko Kenkyu Hokoku, 1986. 19. 101-7. (C.A. 105, 7548).

17. Sanches M., Schreiber H.P., Wertheimer M.R.II Polym. Mater. Sci. Eng. 1987. V. 56. P. 792-6. (C.A., 106, 214797).

18. Kramer P.W., Yasuda H.H Polym. Mater. Sci. Eng. 1987. V. 56. P. 812-16. (C.A. 106, 197484)

19. Inagaki N., Kawai H.H J. Polym. Sci., Part A: Polym. Chem. 1986. 24(12). P. 3381-91. (C.A. 106, 67774).

20. Inagaki Kunihiro (Mitsubishi Chemical Industries Co., Ltd.) Manufacture of Membranes. Заявка Японии 62-116776, С 23, С 16/50. 14.11.85-28.05.87. (C.A. 107, 177510).

21. Yamamoto Takehiro (NOK Corp.) Gas-separating membranes. Заявка Японии 62-68519. 20.09.85-28.03.87. C.A. 107,177515.

22. Inagaki Kunihiro (Mitsubishi Chemical Industries Co., Ltd.) Membrane Manufacturing, by Plasma Polymerisation of Hexaflouropropulene and Fatty Hydrocarbons. Заявка Японии 62-87209. В 01 D 13/04. 14.10.85-21.04.87.

23. Сапера P., Nicchia M., Munari S.ll Chim. Ind. — Milan, 1983. 65 (6). P. 393-7. (C.A., 99, 164408).

24. Сапера P., Nicchia M., Munari S.ll Proc. Austrian-Ital-Yugosl. Chem. Eng. Conf., 3rd. — 1982. 1. P. 331-8, (C.A., 100, 212256).

25. V.K. Ezhov, A.I. Mudragel, M.M. Gorelova, N.P. Aparina International simposium on membranes for gas and vapore separation. — Suzdal, USSR, 1989.

26. T.D. Radjabov, L.Ya. Alimova and I.E. Djamaletdinovall Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. —1989. B43. 176-180.

27. Повстугар В.К, Кодолов В.И., Михайлова С.С. Строение и Свойства поверхности полимерных материалов. — М.: Химия, 1988. 190 с.

28. ClarkD.T. ESCA applied to polymers// Adv in polym. Sci. 1977. V. 24. P. 125-188.

29. Kramer P.W., Yeh Y.-S., Yasuda H. Low temperature plasma for the preparation of separation membranes//J. Membr. Sci., 1989. №1. V. 46. P. 1-28.

30. Chawla A.S. Use of plasma polymerization for preparing siliconecoated membranes for possible use in blood oxygenators// Artif. Organs. 1979. 3. 92.

31. Chawla A.S. Preparation of silicone coated biomaterials using plasma polymerization and their preliminary evaluations//Trans. Amer. Soc. Artif. Intern. Organs. 1979. 25. 287.

32. Chawla A.S, Sipehia R. Characterization of plasma polymerized silicone coating useful as biomaterials// J. Biomed. Mater. Res. 1984. 18. 537.

33. Sipehia R, Chawla A.S. Albuminated polymer surfaces for biomedical application// Biomat. Med. Dev. Art. Org. 1982. 10(4). 229.

34. Sipehia R., Chawla A.S. Chang T.M.S. Enhanced albumin binding to polypropylene beads via anhydrous ammonia gaseous plasma// Biomaterials. 1986. 7. 471.

35. Domurado D„ Guidoin R., Marois M., Martin L., Gosselin G., Award J. Albuminated Da-cron prostheses as improved blood vessel substitutes// J. Bioeng. 1978. 2. 79.

36. Gott V.L., Whiffen J.D., Dutton R.C. Heparin bonding on colloidal graphite surfaces// Science. 1963. 142.1297.

37. Nguyen A.L., Wilkes C.L. A thromboresistant surface by enzyme immobilization// J. Biomed. Mater. Res. 1974. 8. 261.

38. Peyman G.A., Koziol J.E., Yasuda H. United States Patent. 4,312,575. Soft corneal contact lens with tightly cross-linked polymer coating and method of making the same. 1982. 26.

39. Товкач В.И., Петров А.К, Радченко А.Г., Наливайко Б.Ф. Имплантация интраокуляр-ных линз с модифицированной поверхностью// Офтальмологический журнал. 1992. Т. 2. С. 83-85.

40. Mopxam КВ. Интерламеллярная кератопластика. — Минск, 1980. 110 С.

41. Федоров С.Н. Оптико-реконструкционные операции глаза //Труды 4-конгресса офтальмологов СССР. — 1973. Т. 2. С. 571-581.

42. Barraquer J.I. Modification de la refraction au moyen d'inclusions intra-corneermes// Arch. Soc. Amer. Ophthal. 1963. 4. 229-262.

43. Barraquer J.I. Queratomileusis para la correction de la myopia// Arch. Soc. Amer. Ophtal. 1964.5.27-28.

44. Barraquer J.I. Modifications of refraction by means of intracorneal inclusions// Int. Ophthalmol. Clin. 1966. 6. 53-78.

45. Belau P.G., Dyer J.A., Ogle K.N., Henderson J.N. Correction of ametropia with intracorneal lenses; an experimental study// Arch. Ophthal. 1964. 72. 541-547.

46. McCarey B.E., Andrews D.M. Refractive keratoplasty with intrastromal hydrogel lenticular implants// Invest. Ophthalmol. Vis. Sci. 1981. 21(part 1). 107-115.

47. Refojo M.F. Artif. membr. for corneal surgery// J. Biomed. Mater. Res. 1969. 3. 333-347.

48. A.H. Мальцев, B.C. Королев/'/ Материалы конф. «Физика и техника плазмы». — Минск, Беларусь, 1994. Т. 2. С. 433-435.

49. Р.Х. Амиров, Э.К Асиновский, В.Б. Васин, КС. Самойлов, В.И. Трофимов Материалы конференции по физике низкотемпературной плазмы. — Петрозаводск, 1995. Ч.З. С. 433^435.

50. Langmuir I., Blodgett К.II Phys. Rev. 1923. V. 22. P. 347.

51. Langmuir I., Blodgett K./I Phys. Rev. 1924. V. 23. P. 49.

52. Langmuir I., Mott-Smith H.ll Gen. Elec.Rev. 1924. V. 27. P. 449.

53. Langmuir I., Mott-Smith H. The theory of collectors in gaseous discharges// Phys. Rev. 1926. V. 28. P. 727-763.

54. Langmuir I., Tonks L.I I Phys. Rev. 1029. V. 33 P. 954.

55. Langmuir I., Tonks L. Phys. Rev. 1929. V. 34 P. 876.

56. Чен Ф.Ф.Н В книге Диагностика плазмы/ Под ред. Р. Хаддлстоуна и С. Леонарда/ Пер. с англ. — М.: Мир, 1967. С. 94-164.

57. Козлов О.В. Электрический зонд в плазме. — М.: Атомиздат, 1969. 291 с.

58. Шотт JI. Электрические зонды// В кн. Методы исследования плазмы/ Под ред. В. Лохте-Хольтгревена. — М.: Мир, 1971. С. 459-505.

59. SviftJ.D., Schwar M.J.R. Electric probes for plasma diagnostics// Ilife Books. Lond, 1971.

60. Чан П., Тэлбот JI., Турян К. Электричские зонды в неподвижной и движущейся плазме (теория и применение)/ Пер. с англ. — М.: Мир, 1978. 201 с.

61. Иванов Ю.А., Лебедев Ю.А., Полак JI.C. Методы контактной диагностики в неравновесной плазмохимии. — М.: Наука, 1981. 143 с.

62. Райзер Ю.П. Физика газового разряда. — М.: Наука, 1987. 592 с.

63. Алексеев Б.В., Котельников В.А. Зондовый метод диагностики плазмы. — М.: Энерго-атомиздат, 1988. 240 с.

64. Allen J.E. Probe Theory — The Orbital Motion Approach // Physica Scripta. 1992. V. 45. P. 479-503.

65. Allen J.E. Probe theories and applications: modern aspects// Plasma Sources Science and Technology, Proc. of ESCAMPIG-XII. — Amsterdam, 1995. V. 4. P. 234-241.

66. Druyvesteyn M.J.II Der Niedervoltbogen Ztschr. Phys. 1930. V. 64, №6. P. 781-798.

67. Druyvesteyn M.J., WarmmoltzN.il Phyl. Mag. 1935. V. 17. №1.

68. Bohm D.// В кн. The Characteristics of Electrical Discharges in Magnetic Fields/ ed. A. Guthrie, R.K. Wakerling. —New York, Magrow Hill, 1949.

69. Bernstein I.B., Rabinowitz I. Theory of Electrostatic Probes in a Low-Density Plasma// Phys. Fluids. 1959. V. 2. P. 112-115.

70. Laframboise J.G.II Univ. of Toronto, Institute of Aerospace Studies. Report 100. 1966.

71. Петерсон E., Тэлбот JI. Измерения одиночными и двойными электростат. зондами в бесстолкн. плазме// Ракетн. техн. и космонавтика. 1970. Т. 8, №12. С. 126-132.

72. Кайл Р.Е. Теория электростатических зондов цилиндрической формы в свободномо-лекулярном потоке// Ракетная техника и космонавтика. 1968. Т. 6, №4. С. 161-167.

73. Allen J.E., Boyd R.L.F., Reynolds P. The Collection of Positive Ions by a Probe Immersed in a Plasma// Proc. Phys. Soc. B. — London, 1957. V. 70. P. 297.

74. Allen J.E., Boyd R.L.F., Reynolds P. The Collection of Positive Ions by a Probe Immersed in a Plasma// Proc. Phys. Fluids. 1959. B, №2. P. 112-116.

75. Сонин P.II Ракетная техника и космонавтика. 1966. №9.108.

76. Fernandez Palop J.I., Ballesteros J., Colomer V. and Hernandez M.A. Analitical approach to the ABR theory for cylindrical Langmuir probes// Abstracts Contributed papers of ES-CAMPIG 96. — Poprad, Slovakia, 1996. V. 20 E. Part B. P. 281-282.

77. Левитский C.M. Потенциал пространства и распыление электродов в высокочастотном разряде//ЖТФ. 1957. Т. XXVII. Вып. 5. С. 1001-1009.

78. Boschi A., Magistrelly F. Effect of a RF signal on the characteristics of a Langmuir probe// Nuovo cim. 1963. V. 29. P. 487-491.

79. Braithwaite N.St. J., Benjamin N.M.P. and Allen J.E. An electrostaric probe technique for RF plasma// J. Phys. E: Sci. Instrum. 1987. V. 20. P. 1046.

80. Gagne R.R.J. and CantinA. Investigation of an RF plasma with symmetrical and asymmetrical eletrostatic probes// J. Appl Phys. 1972. V. 43. P. 2639.

81. Annaratone B.M., Allen M. W., and Allen J.E. Ion currents to cylindrical Langmuir probes in RF plasma// J. Phys. D: Appl. Phys. 1992. V. 25. P. 417-424.

82. Dilecce G., Capitelli M., De Benedictis S., Gorse C. Langmuir probe measurements of electron energy distribution function in RF discharges // Proc. 9th Int. Symp. Plasma Chemistry (IUPAC). — Pugnochiuso V. 1. P. 411.

83. Chatterton P.A., Rees J.A., Wu W.L., and Al-Assadi K. A self compensating Langmuir probe for use in rf(13.56 MHz) plasma systems// Vacuum. 1990. V. 42. P. 489.

84. Annaratone B.M., Braithwaite N.St. J. A comparison of a passive (filtered) and an active (driven) probe for RF plasma diagnostics // Meas. Sci. Technol. 1991. V. 2. P. 795-800.

85. Ajit P. Paranjpe, James P. McVitte, Sidney A.D. A tuned Langmuir probe measurements in RF glow discharge// Self Journal of Applied Physics.1990. V. 67(11). P. 6718-6727.1. К Главе II

86. Берлин Г. С. Механотроны. — М.: Радио и связь, 1984. 248 с.

87. Галъперович Д. Я., Павлов А. А., Хренков Н.Н. Радиочастотные кабели. — М.: Энергоа-томиздат, 1990. 256 с.

88. Бонч-Бруевич A.M. Применение электронных ламп в экспериментальной физике. Изд. 4-е. — М.: Гос. изд-во технико-теоретической литературы, 1956. 654 с.

89. Байер М., Бек В., Меллер К, Цаенгель В. Техника высоких напряжений: теоретические и практические основы применения/ Пер. с нем. под ред. Ларионова В.П. — М.: Энер-гоатомиздат, 1989. 555 с.

90. Источник питания постоянного тока Б5-46-Б5-50. Техническое описание и инструкция по эксплуатации.

91. Левитский С.М. Потенциал пространства и распыление электродов в высокочастотном разряде//ЖТФ. 1957. Т. XXVII. В. 5. С. 1001-1009.

92. Розанов JI.H. Вакуумная техника — М.: Высшая школа, 1982.

93. Райзер Ю.П. Физика газового разряда. — М.: Наука, 1987. 592 с.

94. Абдуллин И.Ш., Брагин В.Е., Быканов А.Н., Гафаров КГ. Энергетические характеристики ионных потоков при плазменной модификации поверхностей металлов и диэлектриков//ВИП-XI. — Звенигород, 1993. Т. 2. С. 187-189.

95. Abdullin I.Sk, Bragin V.E., Bykanov A.N., Metal surface treatment and plasma deposition in RF glow discharge plasma//ICPIG-XXI. —Bochum, Germany, 1993. V. 2. P. 167-168.

96. Абдуллин К.Ш., Брагин B.E., Быканов A.H., Новиков А.А. Измерение параметров плазмы ВЧ разряда в процессе обработки металлов и диэлектриков// Тезисы докладов VII конференции по физике газового разряда. — Самара, 1994. Ч. 2. С. 215-216.

97. Abdullin I.Sk, Bragin V.E., Bykanov A.N., Gafarov I.G., Mironov MM, Husainov I.G. Application of RF discharge plasma for processes of metal surfaces saturation by nitrogen// Ab-tracts of ESCAMPIG-XII. — Eindhoven, The Netherlands, 1994. P. 418—419.

98. Abdullin I.Sk, Bragin V.E., Bykanov A.N., Mironov M.M., Husainov I.G. Application ofRF discharge plasma in processes of metals nitrogen saturation// EPCRLTP-10. — Stara Lesna, Slovakia, 1994. P. 25.

99. Абдуллин И.Ш., Брагин В.Е., Быканов А.Н., Миронов М.М., Хусаинов ИТ. Применение плазмы высокочастотного разряда в процессах азотирования// Труды конференции «Физика и техника плазмы». — Минск, 1994. Т. 2. С. 406-408.

100. Рейтлингер C.A. Проницаемость полимерных материалов. — M.: Химия, 1976. 368 с.1. К Главе III

101. Браун С. Элементарные процессы в плазме газового разряда. — М.: Госатомиздат, 1961. 323 с.

102. Dutton J. A Survey of Electron Swarm Data// J. Phys. Chem. Ref. Data. 1975. V. 4, №3.1. P. 577-856.

103. Л.Хаксли, P. Кромптон Диффузия и дрейф электронов в газах/ Пер. с англ. под ред

104. А.А. Иванова. — М.: Мир, 1977. 677 с.

105. Райзер Ю.П. Физика газового разряда — М.: Наука, 1987. 592 с.

106. Paranjpe А.Р., McVitte J.P., SelfS.A. A tuned Langmuir probe for measurements in RF glow discharge// J. Appl. Phys. 1990. V. 67 (11). P. 6718-6727.

107. Мак-Даниель К, Мезон Э. Подвижность и диффузия ионов в газах/ Пер. с англ. под ред. Б.М. Смирнова. — М.: Мир, 1976. 422 с.

108. Allen J.E., Boyd R.L.F., Reynolds P. The Collection of Positive Ions by a Probe Immersed in a Plasma// Proc. Phys. Soc. B. — London, 1957. V. 70. P. 297.

109. Allen J.E., Boyd R.L.F., Reynolds P. The Collection of Positive Ions by a Probe Immersed ina Plasma// Proc. Phys. Fluids. 1959. B, №2. P. 112-116.

110. Fernandez Palop J.I., Ballesteros J., Colomer V. and Hernandez M.A. Analitical approach to the ABR theory for cylindrical Langmuir probes// Abstracts Contributed papers of ESCAM-PIG-96. — Poprad, Slovakia, 1996. V. 20 E. Part B. P. 281-282.

111. Чан П., Тэлбот Л., Турян К. Электричские зонды в неподвижной и движущейся плазме (теория и применение)/ Пер. с англ. — М.: Мир, 1978. 201 с.

112. Boschi A., Magistrelly F. Effect of a RF signal on the characteristics of a Langmuir probe// Nuovo cim. 1963. V. 29. P. 487-491.

113. Иванов Ю.А., Лебедев Ю.А., Полак JI.C. Методы контактной диагностики в неравновесной плазмохимии. — М.: Наука, 1981.

114. Годяк В.А., Иванов А.Н., Кузовников А.А. Измерение плавающего потенциала ленг-мюровского зонда под действием переменного напряжения// ЖТФ. 1967. Т. XXXVII. Вып. 6. С. 1063-1067.

115. Годяк В.А., Попов О.А. О зондовой диагностике ВЧ плазмы// ЖТФ. Т. 47. Вып. 4. С. 766-771.

116. Jacobson L.A.II Computers in Physics. 1990. №4. P. 400-403.

117. Райзер Ю.П., Шнейдер M.H., Яценко Н.А. Высокочастотный емкостный разряд: Физика. Техника эксперимента. Приложения. — М., Изд-во МФТИ; Наука-Физматлит, 1995. 320 с.

118. Abdullin I.Sh, Bragin V.E., Bykanov A.N. Langmuir probe measurements in RF discharge// Abstracts of ESCAMPIG-XII. — Eindhoven, The Netherlands, 1994. P. 294-295.

119. Абдуллин И.Ш., Брагин B.E., Быканов A.H., Новиков A.A. Применение ленгмюровско-го зонда для измерения параметров плазмы ВЧ разряда// Труды конференции «Физика и техника плазмы». — Минск, 1994. Т. 1. С. 398-401.

120. Абдуллин И.Ш., Брагин В.Е., Быканов А.Н. Анализ искажений зондовых характеристик в ВЧЕ разряде// Материалы конференции «Физика низкотемпературной плазмы». — Петрозаводск, 1995. Ч. 3. С. 293-295.

121. Abdullin I.Sh, Bragin V.E., Bykanov A.N. Experimental estimation of Langmuir probe measurements accuracy under RF-discharge conditions// Contributed Papers of ICPIG-XXII. — Hoboken, New Jersey, USA, 1995. V. 2 P. 193-194.

122. I.Sh. Abdullin, V.E. Bragin, A.N. Bykanov Determination of plasma parameters from ion branch of probe characteristic// Contributed Papers of ICPIG-XXIII. — Toulouse, France, 1997. V. IV. P. 72-73.1. КГлаве IV

123. Жбанков P.Г., Козлов П.А. Физика целлюлозы и ее производных. — Минск: Наука и техника, 1983. 296 с.

124. Дытнерский Ю.И., Брыков В.П., Каграманов Г.Г. Мембранное разделение газов. — М.: Химия, 1991.344 с.

125. Тепляков В.В., Дургаръян С.Г. Корреляционный анализ параметров газопроницаемости полимеров// Высокомолекулярные соединения. 1984. Т. (А) 26, №7. С. 1498-1505.

126. Тепляков В.В., Дургаръян С.Г.// Высокомолекулярные соединения. 1984. Т. (А) 28, №3. С. 564-572.

127. Арбатский А.Е., Вакар А.К, Голубев A.B., Крашенинников Е.Г., Ливенцов В.В, Маче-рет С. О., Русанов В Д., Фридман A.A. О механизме модификации полимерных мембран в послесвечении плазмы неполимеризующихся газов// ДАН СССР. 1989. Т. 308, №2. С. 366-369.

128. Арбатский А.Е., Вакар А.К, Воробьев A.B. и др. Модификация пленочных полимерных материалов плазмой послесвечения СВЧ-разряда — Препринт ИАЭ-4722/7-1988 ДСП.

129. Анализ поверхности методами ожеи рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии/ Под ред. Д. Бриггса и М.П. Сирха. Пер. с англ. под ред. В.И. Раховского. — М.: Мир, 1987. 600 с.

130. Фелдман Л., Майер Д. Основы анализа поверхности тонких пленок/ Пер. с англ. под ред. В.В. Белошицкого — М.: Мир, 1989. 344 с.

131. Вудраф Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности/ Пер. с англ. под ред. В.И. Раховского — М.: Мир, 1989. 564 с.

132. Техника электронной микроскопии/ Под ред. Д. Кэя. Пер. с англ. — М.: Мир, 1987. 240 с.

133. Alov N. V., Bragin V.E., Bykanov A.N., Kamarentsev E.N., Oskolok К. V. Plasma modification of Polymer Seragel membrane surface in RF discharge. Contributed Papers of ICPIG-XXII. — Hoboken, New Jersey, USA, 1995. Y. 4. P. 49-50.

134. Севастьянов В.К, Калинин И.Д., Кулик Э.А., Эберхарт Р., Ким C.B. Влияние альбуми-низации поверхности на адсорбционные свойства гемосовместимых биоматериалов// Биосовместимость. 1993. Т. 1, №2. С. 95-108.

135. Севастьянов В.К, Друшляк КВ., Котов КН., Тремсина Ю.С., Эберхарт Р., Ким C.B. Влияние предадсорбции белков на адсорбцию альбумина на поверхность гемосовместимых полимеров и кварца // Биосовместимость. 1994. Т. 2, №2. С. 59-67.

136. Sevastianov V., KulikE., Kalinin I. The model of continuous heterogeneity of protein/surface interactions for human serum albumin and human immunoglobulin G onto quartz// J. Colloid Interface Sei. 1991. 145. 191-206.

137. Кулик Э.А., Калинин И.Д., Севастьянов В.И. Кинетика адсорбции сывороточного альбумина на поверхности аморфного кварца// ЖФХ. 1991. 65. 2230-2234.

138. Синтетическая контактная линза и способ ее изготовления/ Брагин В.Е., Быканов А.Н., Елисеева Е.В., Шустеров Ю.А. Патент России №2077873, приоритет 26 ноября 1993 года.

139. Брагин В.Е., Быканов А.Н., Елисеева Е.В, Шустеров Ю.А. Рефракционная тоннельная кератопластика эксплантатом// Тезисы докладов международной конференции, посвященной 60-летию Казахского НИИ глазных болезней. — Алма-Ата, 1993. С. 121-123.