Абсорбционная микротомография и топо-томография слабопоглощающих кристаллов с использованием лабораторных рентгеновских источников тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.18, кандидат физико-математических наук Золотов, Денис Александрович

• Золотов, Денис Александрович
• кандидат физико-математических наук
• 2011

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Золотов, Денис Александрович

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. РЕНТГЕНОВСКИЕ МЕТОДЫ ВИЗУАЛИЗАЦИИ КРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ДЕФЕКТОВ. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР.

1.1. Рентгеновская абсорбционная микротомография.

1.1.¡.Абсорбционная томография.

1.1.2. Томография с применением рентгенооптических элементов.

1.2. Методы решения задачи компьютерной томографии.

1.2.1. Метод свертки и обратных проекций.

1.2.2. Алгебраические методы восстановления ART и SART.

1.3. Рентгеновская топография.

1.3.1. Метод Лауэ.

1.3.2. Метод Берга-Баррета.

1.3.3. Топография Ланга.

1.3.4. Метод Шульца.

1.3.5. Классификация типов контраста на топограммах.

1.4. Рентгеновская топо-томография.

ВЫВОДЫ ГЛАВЫ 1.

2. ОПИСАНИЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ УСТАНОВОК, МЕТОДИК ЭКСПЕРИМЕНТА И ОБРАБОТКИ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ДАННЫХ.

2.1.Выбор диапазона длин волн рентгеновского излучения.

2.2. Рентгеновский лабораторный микротомограф.

2.3. Лабораторный микротомограф с использованием асимметричных отражающих кристаллов.

2.3.1. Получение увеличенных изображений.

2.4. Получение дифракционных изображений.

2.5. Методы обработки экспериментальных данных.

2.5.1. Метод свертки и обратных проекций.

2.5.2. Алгебраический метод SART.

2.5.3. Улучшение качества реконструкции.

ВЫВОДЫ ГЛАВЫ 2.

ГЛАВА 3. МИКРОТОМОГРАФИЯ И ТОПО-ТОМОГРАФИЯ БИОЛОГИЧЕСКИХ И КРИСТАЛЛИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ.

3.1. Исследования волокнистых алмазов.

3.2. Томографические эксперименты с микронным разрешением.

3.2. Эксперименты по топо-томографии.

3.2.1. Исследования кристалла LiF.

3.3.2. Исследование природного алмаза.

3.3. Биологические применения микротомографа.

3.4. О возможности применения рентгеновской микротомографии для неразрушающего анализа изделий микроэлектроники.

ВЫВОДЫ ГЛАВЫ 3.

ВЫВОДЫ ДИССЕРТАЦИИ.

БЛАГОДАРНОСТИ.

ПУБЛИКАЦИИ ПО МАТЕРИАЛАМ ДИССЕРТАЦИИ.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Абсорбционная микротомография и топо-томография слабопоглощающих кристаллов с использованием лабораторных рентгеновских источников»

Бурный прогресс в современной микро- и наноэлектроники в значительной степени требует постоянного развития методов неразрушающего контроля изделий, как законченных изделий, так и материалов, по большей степени монокристаллических, которые используются для их производства. Такие дефекты структуры полупроводниковых материалов как дислокации, границы зерен и блоков уменьшают подвижность носителей и сокращают время их жизни. Эти дефекты структуры являются как причиной брака, так и ухудшения параметров и характеристик изделий микроэлектроники. В связи с этим неслучайно одной из важнейших задач структурных исследований монокристаллов вообще и в особенности полупроводников остаётся как можно более полное выявление дефектности их структуры и определение ее физической природы. Уже по одной этой причине развитие методов неразрушающего исследования внутренней структуры кристаллических объектов с все более высоким разрешением является весьма актуальным.

В настоящее время получение только лишь двумерных отображений внутренней структуры объектов уже не удовлетворяет исследователей. Во многих случаях требуется получить трехмерную модель объекта, описывающую не только распределение плотности (или рентгенооптической плотности) внутри исследуемого образца, но и примеси, дефекты, включения и т.д. Это возможно, если воспользоваться техникой компьютерной томографии. Данный метод является неразрушающим, как будет показано далее, прост в реализации, обладает высокой надёжностью и чувствительностью.

В последние годы большая часть исследований по этой тематике и разработка соответствующих методик проводятся с использованием синхротронного излучения. Это, безусловно, обеспечивает выигрыш во времени и качестве при проведении измерений, но повышает их стоимость и время принятия соответствующих технологических решений.

С учетом этих обстоятельств, чрезвычайно актуальным становится обоснование возможности применения лабораторных рентгеновских источников для получения 3-D1 распределения плотности и. дефектов в кристаллах. Этому и посвящена, данная работа. В ней- проведено развитие метода рентгеновской томографии с использованием лабораторных источников рентгеновского излучения. В процессе выполнения работы была создана лабораторная рентгеновская установка, позволяющая проводить исследования кристаллов, как методом традиционной абсорбционной томографии, так и методом топо-томографии. Важной особенностью данной установки является возможность увеличения рентгеновских изображений, причем в качестве увеличивающих рентгенооптических элементов используются асимметрично срезанные совершенные кристаллы. В ходе выполнения работы названными выше методами исследованы кристаллы природных алмазов и синтетические кристаллы фторида лития. Построено трехмерное распределение примесей и дефектов структуры, для названных образцов с разрешением на уровне от одного микрона од нескольких десятков микрон. Продемонстрированы возможности метода <для; неразрушающего контроля изделий микроэлектроники с тем же пространственным разрешением.

Цели работы.

Развитие методов рентгеновской микротомографии и топо-томографии с высоким пространственным разрешением, направленных на определение пространственной структуры кристаллических и некристаллических материалов с использованием лабораторных рентгеновских источников.

Научная новизна работы;

1. Впервые показана возможность реализации метода рентгеновской топо-томографии на лабораторном источнике.

2. Впервые показана возможность применения алгебраического метода реконструкции SAR.T (Simultaneous Algebraic Reconstruction Technique) для случая параллельного пучка с учетом наклона оси вращения для обработки топо-томографического экспреримента.

3. Проведено восстановление трехмерного распределения дефектной кристаллической структуры синтетического кристалла фторида лития с разрешением -20 мкм.

4. Методом рентгеновской томографии и топо-томографии впервые исследована структура природных алмазов с разрешением 1-20 мкм.

5. Исследована пространственная структура биологических объектов: зерен ячменного солода, а также опорно-двигательного аппарата гекконов в норме и в условиях микрогравитации.

Практическая значимость работы.

Автором проведено методическое развитие метода рентгеновской томографии с использованием лабораторных источников рентгеновского излучения. В процессе ее выполнения была создана лабораторная рентгеновская установка, позволяющая проводить исследования кристаллов, как методом традиционной абсорбционной томографии, так и методом топо-томографии. Важной особенностью данной установки является возможность увеличения рентгеновских изображений, причем в качестве увеличивающих рентгенооптических элементов используются асимметрично срезанные совершенные кристаллы. В ходе выполнения работы названными выше методами исследованы кристаллы природных алмазов и синтетические кристаллы^ фторида лития. Построено трехмерное распределение микровключений и дефектов структуры для названных образцов с разрешением на уровне от одного микрона до нескольких десятков микрон. Продемонстрированы возможности метода для неразрушающего контроля изделий микроэлектроники с тем же пространственным разрешением.

На защиту выносятся следующие положения:

1. Создание лабораторного рентгеновского микротомографа, позволяющего исследовать как некристаллические (органические) объекты, так и слабопоглощающие кристаллы с разрешением до 1 мкм.

Это разрешение достигается путем применения пары асимметрично срезанных отражающих монокристаллов.

2. Реализация метода рентгеновской топо-томографии на лабораторном источнике.

3. Возможность применения алгебраического метода реконструкции SART для случая параллельного пучка с учетом наклона оси вращения для обработки топо-томографического эксперимента.

4. Результаты восстановления внутренней трехмерной структуры ряда слабопоглощающих кристаллов и биологических объектов.

Апробация работы. Основные положения диссертационной работы докладывались и обсуждались на: молодежном конкурсе научных работ ИК РАН в 2007 году; Шестой национальной конференция по применению Рентгеновского, Синхротронного излучений, Нейтронов и Электронов для исследования материалов (РСНЭ-2007), Москва, 12-17 ноября 2007 г.; Workshop X-ray micro and nanoprobes: instruments, methodologies and applications, (XNMP

2007), Eriche, Italy, 2007; Ежегодной научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ, 19-29 февраля 2008 г.; High European Research Course of Users of Large Experimental Systems (HERCULES

2008), Grenoble, France, 17 Febmary-21 March 2008; 9th International Conference on X-Ray Microscopy (XRM-08), Zurich; Switzerland, 2008; Второй международной- молодёжной научной школе-семинаре «Современные методы анализа дифракционных данных (дифракционные методы для нанотехнологии)», Великий Новгород, 1-5 сентября 2008 г.; Ежегодной научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ24 февраля - 5 марта 2009 г.; Седьмой национальной конференция по применению Рентгеновского, Синхротронного излучений, Нейтронов и Электронов для исследования наносистем и материалов Нано-Био-Инфо-Когнитивные технологии (РСНЭ-НБИК 2009), Москва, 16-21 ноября 2009 г.; Ежегодной научно-техническая конференция, студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ, 17 февраля - 1 марта 2010 г.; 10th European Conference on Non-Destructive Testing. Moscow, June 7-11 2010 (ECNDT); Рабочем совещании «Рентгеновская оптика - 2010». ИПТМ РАН, г. Черноголовка. 20 - 23 сентября 2010 г.

Личный вклад автора в подготовке и проведении всех рентгеновских экспериментов был решающим. Идеология конструкции нового рентгеновского микротомографа разработана автором. Создание описанной в диссертации экспериментальной установки стало возможным в результате выполненных автором работ по повышению механической точности вращающихся частей микротомографа. Основные результаты, изложенные в тексте диссертации, получены соискателем лично или при его непосредственном участии. Автором разработана часть программ для обработки результатов рентгеновского томографического эксперимента.

Заключение диссертации по теме «Кристаллография, физика кристаллов», Золотов, Денис Александрович

ВЫВОДЫ ДИССЕРТАЦИИ

1. На основании теоретических расчетов и оценок сделано заключение, что диапазон длин волн рентгеновского излучения 0.5 - 2.3 А оптимален для исследования в лабораторных условиях, как биологических объектов, так и слабопоглощающих кристаллов с линейными размерами 0.01-10 мм.

2. Создан лабораторный рентгеновский микротомограф, позволяющий исследовать как некристаллические (органические и неорганические) объекты, так и слабопоглощающие кристаллы с разрешением до 1 мкм. Это разрешение достигается путем применения увеличивающей оптики на базе асимметрично срезанных отражающих кристаллов 81(220) с коэффициентом асимметрии 20. В отсутствии увеличивающей оптики разрешение определяется геометрическими размерами чувствительного элемента детектора (пикселя) и составляет ~13 мкм.

3. Для улучшения качества томографической реконструкции предложены и разработаны методики нахождения угла между осью вращения гониометра и столбцами рентгеночувствительных элементов детектора. Применение разработанных методик позволило выявить и уменьшить отрицательное влияние осевых биений гониометра на результаты восстановления, а в дальнейшем практически полностью их устранить, сведя до величины, не превосходящей 1 микрона.

4. Впервые теоретически и экспериментально показана как возможность использования лабораторного источника для проведения топо-томографических экспериментов, так и возможность применения томографических алгоритмов для реконструкции внутреннего строения кристаллических дефектов по дифракционным данным. Разработанный для этой цели подход реализован с применением модифицированного алгебраического метода реконструкции 8АКТ для случая параллельного пучка с учетом наклона оси вращения.

5. Проведены рентгеновские томографические эксперименты ряд^, природных волокнистых алмазов. Установлено, что примеси возникшие в этих алмазах в момент их образования распределены неравномерно, за. их плотность увеличивается к центральной части.

6. Впервые в лабораторных условиях выполнены топо-томографические исследования пространственной структуры двух кристаллов различно±5: природы, а именно синтетического фторида лития и природного алмаза. Установлено, что трещины в структуре фторида лития возникаьот преимущественно по кристаллической плоскости (111). Выявленная пр> и исследовании кристалла алмаза конфигурация ростовых дефектов, показывает, что рост алмазов происходил из единого центра.

7. Впервые выполнены томографические исследования различных классов образцов биологической природы. При детальном изучении костньзос тканей геккона Pachydactylus bibroni (около 40 образцов) в норме ис :в условиях микрогравитации методом рентгеновской микротомограф ион получены достоверные свидетельства того, что минеральный обмен не подвергается изменениям при воздействии микрогравитации. На примере зерновок ячменя показана возможность детального изучеши^я процессов солодоращения, не нарушая целостности зерна.

БЛАГОДАРНОСТИ

Автор выражает благодарность следующим людям:

Своему научному руководителю В.Е. Асадчикову, а также И.С. Смирнову, за постановку задачи, постоянную поддержку и участие в обсуждении работы;

P.A. Сенину (РНЦ «Курчатовский институт») и Чукалиной М.В. (ИПТМ РАН) за помощь на ранних стадиях работы;

A. В. Бузмакову (ИК РАН) и A.A. Ширяеву (ИФХЭ РАН), без участия которых эта работа могла бы и не состоятся;

B.Ю. Карасеву (ПТЦ «УралАлмазИнвест») за консультации, предоставленные образцы кристаллов алмаза и обсуждение результатов;

А.Э Волошину (ИК РАН) и И.А. Смирновой (ИФТТ РАН) за проведенные эксперименты по топографии;

A.C. Геранину (МГИЭМ) за изготовление асимметричных кристаллов и помощь в их юстировке;

A.A. Перцову (ФИАН) за предоставленный CCD-детектор и решение проблем, возникших по ходу работы;

Д.К. Погорелому и K.M. Подурцу (РНЦ. «Курчатовский институт») за возможность проведения экспериментов на синхротронном источнике;

C.B. Савельеву, Е.И. Фокину, В.Б. Никитину и В.И. Гулимовой (Институт морфологии человека РАМН), Т.Н. Данильчук (МГУ ПБ) за консультации по биологии и предоставленные образцы;

Автор хочет поблагодарить сотрудников лаборатории рефлектометрии и малоуглового рассеяния ИК РАН В.Н. Шкурко, Б.С. Рощина, И.В. Якимчука и других за дружеское отношение, помощь в работе и участие в обсуждении;

И, наконец, автор выражает особую благодарность своей супруге, близким и друзьям, оказывавшим моральную поддержку при, выполнении работы.

ПУБЛИКАЦИИ ПО МАТЕРИАЛАМ ДИССЕРТАЦИИ

1. Д.А. Золотов, A.B. Бузмаков, A.A. Ширяев, В.Е. Асадчиков. Рентгеновская компьютерная томография естественных алмазов и содержащихся в них микровключений. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2009. №9, с. 3-8.

2. В.Е. Асадчиков, A.B. Бузмаков, Д.А. Золотов, P.A. Сенин, A.C. Геранин. Лабораторные рентгеновские микротомографы на монохроматическом излучении. Кристаллография, 2010. т. 55. № 1, с. 167-176.

3. Д. А. Золотов, А. В. Бузмаков, В. Е. Асадчиков, А. Э. Волошин, В. Н. Шкурко, И. С. Смирнов. Исследование внутренней структуры монокристалла фторида лития методом рентгеновской топо-томографии в лабораторных условиях. // Кристаллография. 2011. т. 56. № 3. с. 426-430.

4. Д.А. Золотов, A.B. Бузмаков, A.A. Ширяев, P.A. Сенин, В.Е. Асадчиков. Рентгеновская томография природных алмазов на монохроматичном рентгеновском излучении // РСНЭ-2007 12-17 ноября 2007 ИК РАН, Москва, тезисы докладов с. 602.

5. A.B. Бузмаков, P.A. Сенин, Д.А. Золотов, A.A. Перцов, A.A. Коновко, A.C. Геранин, Ю.И. Дудчик, A.B. Андреев, В.Е. Асадчиков. Использование увеличивающих рентгенооптических элементов для лабораторной рентгеновской микротомографии //Москва 12117 ноября 2007, РСНЭ -2007 тезисы докладов, с. 570.

6. A.V. Buzmakov, V.E. Asadchikov, R.A. Senin, D.A. Zolotov, E.I. Fokin, V.l. Gulimova, S.V. Saveliev. Microtomography of biological objects using laboratory x-ray sources // Workshop: X-ray micro and nanoprobes: instruments, méthodologies and applications, p.50., 14-17 June 2007, Eriche, Italy.

7. Золотов Д.А. Рентгеновское томографическое исследование структуры естественных волокнистых алмазов // Ежегодная научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ, 19 -29 февраля 2008, тезисы докладов.

8. R.A.Senin, A.V.Buzmakov, Yu.I.Dudchik, A.S.Geranin, A.A.Konovko, I.S.Smirnov, D.A.Zolotov, V.E.Asadhikov. Two types of laboratory magnifying microtomographs. // HERCULES-2008 School, Grenoble, France, 17 February -21 March 2008.

9. Buzmakov, D. Zolotov, R. Senin, A. Shiriaev, E. Fokin, V. Nikitin, V. Asadchikov. Microtomography investigation of several organic and nonorganic samples on laboratory setups using monochromatic irradiation. // 9th International Conference on X-Ray Microscopy 2008 July 21 - 25, Ziirich, Switzerland, Book for abstracts p. 74.

10.V. Asadchikov, A. Buzmakov, D. Zolotov, R. Senin "X-ray microtomography on the laboratory sources using monochromatic irradiation." // 9th International Conference on X-Ray Microscopy 2008, July 21 - 25, Zurich, Switzerland, Book for abstracts p. 60.

11.Д.А. Золотов, A.B. Бузмаков, A.A. Ширяев, B.E. Асадчиков. «Рентгеновская микротомография природных кристаллов алмаза и анализ содержащихся в них включений» // Вторая международная молодёжная научная школа-семинар «Современные методы анализа дифракционных данных (дифракционные методы для нанотехнологии)» В. Новгород 1-5 сентября 2008 г., с. 92.

12.В.Е. Асадчиков, А.В. Бузмаков, Д.А. Золотов, В.Б. Никитин, Р.А. Сенин, Е.И. Фокин. Рентгеновская микротомография биологических объектов на лабораторных источниках с использованием монохроматичного излучения. // Вторая международная молодёжная научная школа-семинар «Современные методы анализа дифракционных данных (дифракционные методы для нанотехнологии)» Великий Новгород 1—5 сентября 2008 г., с. 68.

13.Н. Данильчук. В. Е. Асадчиков, А. В. Бузмаков, Д. А. Золотов. Рентгеновская томография при исследовании изменений структуры зерновок в процессе солодоращения // Пиво и напитки. №2, 2008, стр. 2021.

14. Золотов Д.А. Рентгеновская компьютерная томография кристаллических материалов // Ежегодная научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ, 24 февраля - 5 марта 2009. тезисы докладов.

15.A.C. Геранин, Д.А. Золотов, И.В. Якимчук, Ю.О. Волков, Б.С. Рощин, A.B. Бузмаков, И.С. Смирнов, В.Е. Асадчиков. Рефлектометрические и томографические эксперименты с применением кристаллов-монохроматоров различной степени совершенства // РСНЭ-НБИК 2009. 16-21 ноября. ИК РАН - РНЦ КИ. Москва. 2009. с. 572.

16.Д.А. Золотов, A.B. Бузмаков, В.Е. Асадчиков, А.Э. Волошин, И.А. Смирнова. Рентгеновская дифракционная томография кристаллов с применением лабораторных источников. // РСНЭ-НБИК 2009. 16-21 ноября. ИК РАН - РНЦ КИ. Москва. 2009, с. 583.

17. Золотов Д.А. Выявление пространственного распределения структурных дефектов в кристалле фтористого лития методом «топо-томографии». // Ежегодная научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ, 17 февраля - 1 марта 2010. тезисы докладов.

18.Asadchikov V.E., Buzmakov A., Zolotov D. X-Ray Tomography: From Micro iL to Nano.// 10 European Conference on Non-Destructive Testing. Moscow. June 7-11, 2010. Abstracts. Part 1. p.240

19.A.B. Бузмаков, В.Е. Асадчиков, Д.А. Золотов, P.A. Сенин, М.В. Чукалина. Обработка сигналов в томографии при использовании различных рентгенооптических схем // Рабочее совещание «Рентгеновская оптика — 2010». ИПТМ РАН, г. Черноголовка. 20 - 23 сентября 2010 г. сс. 168-169.

20.Д.А Золотов, В.Е. Асадчиков, A.B. Бузмаков, А.Э. Волошин, A.A. Ширяев, И.С. Смирнов. Рентгеновская томография и топо-томография слабопоглощающих кристаллов на лабораторных источниках // Рабочее совещание «Рентгеновская оптика - 2010». ИПТМ РАН, г. Черноголовка. 20 - 23 сентября 2010 г. сс. 174-176.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Золотов, Денис Александрович, 2011 год

1., Марусина М.Я., Казначеева А.О. Современные виды томографии.Учебное пособие. СПб: СПбГУ ИТМО, 2006. - 132 с.

2. Radon J. Uber die Bestimmung von Funktionen durch ihre Integralwerte langs gewisser Mannigfaltigkeiten. //Berichte Sachsische Akademie der Wissenschaften, Leipzig, Math.-Phys. Kl. 1917. Vol.69. P. 262-267.

3. Cormack A.M. Representation of a function by its line integrals, with some radiological applications. I. Appl. Physics 1963; 34: 2722-2727

4. G. N. Hounsfield. A method of and apparatus for examination of a body by radiation such as x-ray or gamma radiation. // Patent Specification 1283915, The Patent Office, 1972.

5. Hounsfield G.N. Computerized transverse axial scanning (tomography). Part I.: Description of system. Br. J. Radiol. 1973; 46: 1016

6. В. Календер. Компьютерная томография. Основы, техника, качество изображений в области клинического использования. Техносфера, Москва, 2006.

7. О. А. Якушина. Рентгеновская вычислительная микротомография: возможности метода при исследовании минерального сырья. Вестник Краунц. Серия наука о Земле. 2004. №4. с. 22-34.

8. R. A. Ketcham, W. D. Carlson. Acquisition, optimization and interpretation of X-raycomputed tomographic imagery: applications to the geosciences. Computers & Geosciences. 27. 2001. p. 381-400.

9. K.E. Kuper et al. Three-dimensional distribution of minerals in diamondiferous eclogites, obtained.by the method of high-resolution X-ray computed tomography // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A 575 (2007) 255-258

10. F. Pfeiffer, O. Bunk, C. Kottler, C. David. Tomographic reconstruction of three-dimensional objects from hard X-ray differential phase contrast projection images // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A580(2007) pp. 925-928

11. SkyScan (http://www.skyscan.be)

12. Xradia (http://xradia.com/Products/nanoxct.html)13. http://sales.hamamatsu.com/en/products/electron-tube-division/x-ray-products/microfocus-x-ray-source-mfx/productlist.php?&overview=2027 ~ i

13. Г.В.Фетисов. Синхротронное излучение. Методы исследов^ж^=иия структуры веществ. Под редакцией Л.А.Асланова Издательство зу : Физматлит -2007 672 с. - ISBN 978-5-9221-0805-8.

14. A.C.Как, М. Slaney. Principles of Computerized Tomographic imagine //1.EE Press, NY 1988

15. Ф. Hameppep. Математические аспекты компьютерной томографии^ :Мир 1990г17. http://www.mar-usa.com/18. http://www.photonic-science.co.uk/

16. U. Wiesemann. The Scanning transmission X-ray microscopy at BESS--

17. Dissertation for the degree of doctor of philosophy in physics. UniversüLof1. Göttingen, 2003.

18. Т. Weitkamp. Imaging and Tomography with High Resolution TL ^sing Coherent Hard Synchrotron Radiation, Cuvillier Verlag, Göttingen,and PhD thesis, Universität Hamburg, 2002.

19. А.В. Андреев, В.Е. Асадчиков, А.В. Бузмаков, А.А. Коновко, С.В. Кузин,

20. A.А. Перцов, Ю.В. Пономарев, Р.А. Сенин, И.С. Смирнов, С.В. Шестов,

21. B.Н. Шкурко. Двумерное увеличение изображения в рентгеновском микроскопе асимметричного отражения. // Письма в ЖЭТФ, том 85, вып. 1, 2007 г., с. 106-108

22. Withers P. J. X-ray nanotomography. Materials today. 2007 10: pp. 26-34.

23. S. Spector, C. Jacobsen and D.Tennant. Process optimization for production of sub-20 nm soft x-ray zone plates. // Journal of Vacuum Science and Technology B, Vol. 15, №6 pp.2872-2876. (1997).

24. Carolyn A. Larabell and Mark A. Le Gros. X-ray Tomography Generates 3D Reconstructions of the Yeast, Saccharomyces cerevisiae, at 60-nm Resolution" // Mol Biol Cell. 2004 March; 15(3): 957-962.

25. W.J. Bettinger, R.C.Dobbyn, H.E. Burdette and M.Kuriyama. Real Time Topography with X-Ray Image Magnification. // Nucl. Inst, and Meth. vol. 195. (1982) pp. 355-361.

26. R.D. Spal. Submicrometer resolution hard x-ray holography with the asymmetric Bragg diffraction microscope. // Physical Review Letters; vol 86, №14 pp. 3044-3046 (2001)

27. А. В. Андреев. Фокусировка пучков при отражении от кристаллов и, многослойных периодических структур с переменным периодом.// Письма в ЖЭТФ, Т.74, вып. 1, с. 8-11.

28. М. Stampanoni, G. Borchert, R. Abela, P. Ruegsegger. Bragg magnifier: A detector for submicrometer x-ray computer tomography. //Journal, Of Applied Physics, vol. 92, № 12 (2002). pp.7630-7635.

29. В.Е. Асадчиков, А.В. Андреев, Б.В. Мчедлишвили, Ю.В. Пономарев, А.А. Постное, Р.А. Сенин, Т.В. Цыганова. Рентгеновская микроскопия с использованием асимметричного отражения от монокристалла. // Письма в ЖЭТФ. т.73, вып.4, сс.205-209 (2001).

30. К.Е. Kuper et al. X-ray topography of natural diamonds on the VEPP-3 SR beam // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A 603 (2009) 170-173.

31. A. Rack et al. The micro-imaging station of the TopoTomo beamline at the ANKA synchrotron light source // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research В 267 (2009) 1978-1988

32. A.Snigirev, V.Kohn, I.Snigireva, B.Lengeler. A compound refractive lens for focusing high-energy X-rays. //Nature, Vol 384 (1996), pp.49-51.

33. B.Lengeler,A.Snigirev,C.Shroer et al. A microscope for hard x-rays based on parabolic compound refractive lenses. I I Appl. Phys. Let. vol- 74 .№26 pp. 3924-3926 (1999)

34. W. Leitenberger, T. Weitkamp, M. Drakopoulos, I. Snigireva, and A. Snigirev. Microscopic imaging and holography with hard X rays using Fresnel zone plates // Opt. Comm. 180 (2000) 233-238.

35. B.X. Yang. Fresnel and refractive lenses for X-rays. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 328, pp. 578-587 (1993)

36. Yu.I. Dudchik, NN. Kolchevsky. A microcapillary lens for X-rays. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A vol. 421, pp. 361-364 (1999).

37. Сенин P. А. Микротомография биологических объектов с использованием лабораторных рентгеновских источников // Диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. Москва. 2005.

38. Бузмаков А. В. Рентгеновская микротомография с использованием увеличивающих рентгенооптических элементов. Диссертация насоискание ученой степени кандидата физико-математических наук. Москва. 2009.

39. С. А. Терещенко. Методы вычислительной томографии. М.: Физматлит. 2004.

40. R.N. Bracewel. The Fourier Transform and Its Applications, 2nd ed., McGraw-Hill, Inc., 1986.

41. SIEMENS SOMATOM Definition AS/AS+ (,http://www.med.siemens.ru/260/272/452/1423/)48. www.mathworks.com/access/helpdesk/help/toolbox/images/iradon.html

42. R. Gordon, R. Bender, and G.T. Herman. Algebraic reconstruction techniques (ART) for three-dimensional electron microscopy and X-ray photography // J. Theoretical Biology, vol. 29, pp. 471-481, 1970.

43. Klaus Mueller. Fast and accurate three-dimensional reconstruction from cone-beam projection data using algebraic methods //The Ohio State University. Dissertation. 1998

44. S. Kaczmarz, "Angenäherte Auflösung von Systemen linearer Gleichungen. II Bull. Int. Acad. Pol. Sei. Lett., A, vol. 35, pp. 335-357, 1937.

45. С. Жданов. 75-летие открытия дифракции рентгеновских лучей // Успехи физических наук. Т. 153. вып. 4. 1987. с. 619-630

46. David R. Black and Gabrielle G. Long. X-Ray Topography. Materials Science and Engineering Laboratory. April 2004 p.53

47. Э.В. Суворов. Физические основы современных методов исследования реальной структуры кристалов, Черноголовка, филиал МГУ. 1999. с. 231.

48. Боуэн Д. К., Таннер Б.К. Высокоразрешающая рентгеновская дифрактометрия и топография / Перевод с англ. И.Л. Шульпиной и Т.С. Аргуновой. СПб.: Наука, 2002. - 274 с.

49. Berg, W.F. Über eine röntgenographische Methode zur Untersuchung von Gittstörungen in Kristallen. Naturwiss. 19, 1931, 391— 396.

50. Barrett, C.S. A new microscope and its potentialities. Trans. AIME. 161. 1945, 15-64.

51. Lang, A.R. "Direct observation of individual dislocations." J. Appl. Phys., 29, (1958), 597-598.

52. Lang, A.R. "The projection topograph: a new method in X-ray diffraction microradiography." Acta Cryst., 2, (1959), 249-250.

53. Schulz, L.G. "Method of using a fine-focus X-ray tube for examining the surface of a single crystal." J. Met., 6, (1954), 1082-1083.

54. Hart M.J. Synchrotron radiation—its applications to high-speed, highresolution X-ray diffraction topography. Appl. Cryst., 8, (1975), 436- 444.

55. T. Tuomi, K. Naukkarinen, P. Rabe. Use of synchrotron radiation in X-ray diffraction topography, Phys. Stat. Sol. (a) 25, 93-106 (1974)

56. Горелик C.C., Расторгуев JI.H., Скаков Ю.А. Рентгенографический и электроннооптический анализ, М., МИСИС, 2003

57. Takagi S. Dynamical theory of diffraction applicable to crystals with any kind of small distortion. Acta Cryst., 15, (1962), 1311-1312.

58. Takagi S. A dynamical theory of diffraction for a distorted crystal. J. Phys. Soc. Jpn., 26, (1969), 1239-1253.

59. Гинъе А. Рентгенография кристаллов. Теория и практика. Перевод с французского Е. Н. Беловой, С. С. Квитки, В. П. Тарасовой под редакцией академика Н. В. Белова" М. Наука 1961г. 604 с.

60. V.V.Aristov, E.V.Shulakov. Determination of algles between blocks from the topographs obtained by the Shulz method. J.Appl.Crys.(1975). 8, 445-451

61. A. Authier. Dynamical Theory of X-Ray Diffraction / IUCr monographs on crystallography, no. 11. Oxford University Press. 2nd edition 2003. ISBN 0-19-852892-2. p. 696

62. А.П. Петраков, A.A. Кряжев. Рентгеновские фазоконтраснтые исследования растворения кристаллов NaCl // Журнал технической физики. 2004. Т. 74. вып. 10 с. 134-136.

63. W. Ludwig et al. Three-dimensional imaging of crystal defects by 'topo-tomography'. J. Appl. Cryst. 2001. 34, p. 602-607.

64. J. Baruchel, J. Hartwig, P. Pernot-Rejmankova. Present state and perspectives of synchrotron radiation diffraction imaging. I I J. Synchrotron Rad. 2002. 9, 107-114.

65. L. A. Feldkamp, L. C. Davis, and J. W. Kress. Practical cone-beam algorithm. J. Opt. Soc. Am. A, Vol. 1, No. 6. June 1984.

66. H. Turbell. Cone-beam reconstruction using filtered backprojection. // Department of Electrical Engineering Linköpings universitet. Dissertation. 2001.

67. S. Kawado et al. Determination of the three-dimensional structure of dislocations in silicon by synchrotron white X-ray topography combined with a topo-tomographic technique// J. Synchrotron Rad. (2004). 11, 304-308.

68. S. Kawado et. al. Three-dimensional structure of dislocations in silicon determined by synchrotron white x-ray topography combined with a topo-tomographic technique //J. Phys. D: Appl. Phys. 38 (2005) A17-A22

69. K. Mizuno et al. Characterization of VGFB-grown ZnTe single crystals by means of synchrotron X-ray topo-tomographic technique// Journal of Crystal Growth.292.2006.pp.538-541

70. T. Mukaide et al. Three-dimensional visualization of the inner structure ofsingle crystals by step-scanning white X-ray section topography // J. Synchrotron Rad. (2006). 13, 484-488

71. W. Ludwig et al. High-resolution three-dimensional mapping of individual grains in polycrystals by topotomography. J. Appl. Cryst. 2007. 40. p. 905911.

72. W. Ludwig, S. Schmidt, E. M. Lauridsen and H. F. Poulsen. X-ray diffraction contrast tomography: a novel technique for three-dimensional grain mapping of polycrystals. I. Direct beam case // J. Appl. Cryst. 2008. 41. 302-309

73. Poulsen, H. F. Three-Dimensional X-ray Diffraction Microscopy: Mapping Polycrystals and their Dynamics. Springer Tracts in Modern Physics. Berlin: Springer (2004).

74. G.Johnson,A. King, M.G. Honnicke, J. Marrow and W. Ludwig. X-ray diffraction contrast tomography: a novel technique for three-dimensional grain mapping of polycrystals. II. The combined case. //J. Appl. Cryst. (2008).41.310-318.

75. Henke E.L., Lee P. et al. 11 Atomic and nuclear data tables. 1982. V. 27. P. 1; http ://w ww-cxro .lbl.gov/tools. html

76. В.Е. Асадчиков, A.B. Бузмаков, Д.А. Золотое, P.A. Сенин, A.C. Геранин. Лабораторные рентгеновские микротомографы на монохроматическом излучении. Кристаллография, 2010. т. 55. № 1. с. 167-176.87. http://fits. gsfc.nasa. gov/

77. A.M. Афанасьев, П.А. Александров, P.M. Имамов. Рентгенодифракционная диагностика субмикронных слоев. М. Наука, 1989, 152 с.89. http://sergey.gmca.aps.anl.gov/

78. З.Г. Пинскер. Динамическое рассеяние рентгеновских лучей в идеальных кристаллах. М. Наука. 1974.

79. A.C. Геранин, Ю.О. Волков, Б.С. Рощин и др. Реализация рентгеновских рефлектометрических схем с применением различных кристаллов-монохроматоров // Заводская лаборатория. 2010. т.76. №4. с. 34-39.

80. Шулъпина И.Л., Ратников В.В., Матвеев O.A. Рентгенодифракционное исследование изменения реальной структуры монокристаллов CdTe в результате лазерного облучения. // Журнал "Физика Твердого Тела" , 2001

81. Н. Данильчук. В. Е. Асадчиков, А. В. Бузмаков, Д. А. Золотое. Рентгеновская томография при исследовании изменений структуры зерновок в процессе солодоращения // Пиво и напитки. №2, 2008, с.20-21

82. Бокий Г.Б., Безруков Г.Н., Клюев Ю.А., и др. И Природные и синтетические алмазы. М.: Наука. 1986. С. 221.

83. С.В.Савельев, Л.В.Серова, Н.В.Бесова, А.Носовский. Влияние невесомости на развитие нейроэндокринной системы у крыс. //Авиакосмическая и экологическая медицина. 1998. Том 32. №2, сс. 36-42

84. Белянкина A.B., Созин Ю.И., Черепенина Е.С. //Синтетические алмазы. 1976. №2. С. 13.

85. Буланова Г.П., Барашков Ю.П., Талъникова С.Б., Смелова Г.Б. // Природный алмаз генетические аспекты. М.: Наука. 1993. С.166.

86. Lim, Jae S. II Two-Dimensional Signal and Image Processing. NJ.:

87. Englewood Cliffs. Prentice Hall. 1990. P. 469.

88. Mykolajewycz R., Kalnajs J. and Smakula A. II J. Appl. Phys. 1964. V. 35. P. 1773.

89. D.AT. Pogoreliy, KM. Podurets, N.S. Pavlova. Real-time phase-contrast imaging at the Kurchatov synchrotron radiation source. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A, 2009 vol. 603, p. 167-169.

90. J. Vierling, J. V. Gilfrich, and L. S. Birks. Improving the Diffracting Properties of LiF: Comparison with Graphite. // J. Apl. Spectroscopy. V. 23. N.4. 1969. P.342-345.

91. Афанасьев В.П., Елисеев А.П., Надолипный В.А. и др. Минералогия и некоторые вопросы генезиса алмазов V и VII разновидностей (по классификации Орлова) // Вестник Воронежского ун-та, 2000, №5, с. 8097.

92. Suzuki S., Lang A.R. Occurences of facetted re-entrants on rounded growth surfaces of natural diamonds // J. of Cryst. Growth. 1976. V.34. P.29-37.

93. Lang A.R. Space- filling by branching columnar single crystal growth: an example from crystallisation of diamond // J.of Cryst. Growth. 1974. V.23. P. 151-153.