Развитие методик рентгеновской микроскопии и томографии на источнике синхротронного излучения ВЭПП-3 тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.01, кандидат физико-математических наук Купер, Константин Эдуардович

• Купер, Константин Эдуардович
• кандидат физико-математических наук
• 2011

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Купер, Константин Эдуардович

Оглавление

Введение

Глава 1. Современное состояние рентгеновской микроскопии

1.1. Источники излучения для рентгеновской микроскопии

1.1.1. Рентгеновские трубки

1.1.2. Источники синхротронного излучения

1.2. Детекторы, используемые в рентгеновской микроскопии

1.2.1. Аналоговые рентгеновские детекторы

1.2.2. Цифровые рентгеновские детекторы

1.3. Используемые оптические элементы в рентгеновской микроскопии

1.3.1. Элементы, работающие с использованием отражающей оптики

1.3.2. Элементы, работающие с использованием преломляющей оптики

1.3.3. Элементы, работающие с использованием дифракционной оптики

1.3.4. Асимметрично срезанные кристаллы

Глава 2. Станция СИ «Микроскопия и томография» в

ИЯФ

2.1. Источник излучения

2.2. Монохроматор

2.3. Экспериментальный объем

2.4. Схемы получения рентгеновских изображений

2.5. Система управления и обработка данных

Глава 3. Качество получаемых цифровых изображений

3.1. Пространственное разрешение рентгеновских изображений, получаемых в схеме без увеличения

3.2. Пространственное разрешение рентгеновских изображений, получаемых в схеме с асимметрично срезанными кристаллами

3.3. Рефракционный контраст в схеме с асимметрично срезанными

кристаллами

3.3. Шумы в получаемых изображениях

3.4. Алгоритм получения трехмерных изображений с использованием

вычислительной рентгеновской томографии

Глава 4. Рентгеновская микроскопия и томография с микронным разрешением

4.1. Результаты исследований, полученные методами рентгеновской микроскопии и топографии с микронным пространственным разрешением

4.1.1. Экспресс-метод контроля рентгеношаблонов для глубокой рентгенолитографии

4.1.2. Исследование морфологии кристаллической структуры природных алмазов методами рентгеновской топографии

4.2. Результаты исследований трехмерной структуры образцов методами вычислительной рентгеновской томографии

4.2.1. Получение трехмерного распределения алмазов в ксенолитах глубинных пород

4.2.2. Исследования микроструктуры энергетических материалов

4.2.3. Исследование уникальных археологических находок методом

ВРТ

Заключение

Литература

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Развитие методик рентгеновской микроскопии и томографии на источнике синхротронного излучения ВЭПП-3»

Введение

Рентгеновская микроскопия ведет свое начало с открытия Вильгельмом Рентгеном в 1895 году икс-лучей (рентгеновское излучение) [1]. Высокая проникающая способность рентгеновского излучения дала в руки исследователей инструмент неразрушающего контроля изучаемых объектов. Рентгеновская интроскопия стала актуальна во многих областях науки, таких как медицина, геология, материаловедение, археология и др. Исследование, проводимое с помощью рентгеновского излучения, является очень удобным, а иногда и единственным способом изучения уникальных объектов, не требующим их разрушения.

В настоящий момент большое количество научных групп во всем мире занимаются развитием методов рентгеновской микроскопии [1-8]. Такой интерес вызван несколькими факторами, повлиявшими на развитие этой области.

Во-первых, это создание в середине прошлого века сверх-ярких в рентгеновском диапазоне источников синхротронного излучения (СИ) на основе ускорительных комплексов заряженных частиц [9]. К неоспоримым достоинствам СИ можно отнести:

• высокую интенсивность и яркость источника, на много порядков превышающие эти параметры для рентгеновских аппаратов;

• непрерывный спектр излучения, простирающийся от инфракрасного до жесткого рентгеновского диапазона;

• малую угловую расходимость, составляющую тысячные доли радиана;

• естественную поляризацию излучения (в плоскости орбиты — линейная, выше и ниже левая и правя спиральная).

Все вышеперечисленные качества сделали СИ незаменимым источником излучения во многих экспериментах с использованием рентгеновской микроскопии и позволили получать данные о структуре объекта с микронным и субмикронным разрешением за доли секунды.

Во-вторых, с развитием современной микроэлектроники стало возможным создание цифровых детекторов с высоким пространственным разрешением, позволяющих получать изображение в рентгеновском диапазоне в течение нескольких секунд [10-12]. Несомненным преимуществом цифровых детекторов является высокий динамический диапазон регистрации, который значительно увеличивает информативность рентгеновских изображений. А тот факт, что изображение существует в цифровом виде, дает исследователю безграничные возможности в проведении любой математической обработки данных.

И наконец, третьим стимулирующим фактором развития стало создание рентгенооптических элементов, позволяющих еще больше повысить качество и пространственное разрешение получаемых изображений [13-16]. Технология производства рентгенооптических элементов бурно развивается в последнее время, используя новейшие достижения, полученные в областях материаловедения, микроэлектроники и нанотехнологий. К неоценимому качеству рентгеновской оптики можно отнести тот факт, что она позволяет получать не только амплитудно-модулированные (теневые), но и изображения, сформированные изменением фазы падающей электромагнитной волны в объекте [17-18]. Это свойство рентгенооптических элементов делает возможным регистрацию слабоконтрастных деталей (менее 1%) в рентгеновском диапазоне.

Одной из методик, родившихся вследствие перечисленных факторов, стала вычислительная рентгеновская томография (ВРТ). Хотя ее математические основы были заложены еще 1917 году, математиком И.

Радоном [19], развитие метод получил только с появлением быстродействующих ЭВМ. В 1963 г. А. Кормак повторно решил задачу томографического восстановления [20], а в 1969 г. Г. Хаунсфилд создал первый рентгеновский томограф [21], за что в 1979 г. они были удостоены Нобелевской премии. Предпосылкой для появления ВРТ послужили недостатки обычной рентгенографии, породившие идею получения не одного, а ряда снимков, выполненных под разными ракурсами, и построения по ним путем математической обработки трехмерного распределения плотностей в исследуемом объекте. Преимуществом ВРТ по сравнению с традиционной двухмерной съемкой являются:

• отсутствие теневых наложений в изображении объекта;

• более высокая точность измерения геометрических соотношений деталей в объекте;

• более высокая чувствительность, чем при обычной съемке;

• возможность получения полной информации об объекте без его разрушения.

В ИЯФ СО РАН рентгеновской микроскопией с использованием СИ начали заниматься с 70-х годов прошлого столетия [109]. Однако экспериментальной установки, включающей в себя современные цифровые детекторы и рентгенооптические элементы, позволяющие существенно поднять пространственное разрешение, не существовало до 2005 г. Поэтому создание новой станции СИ «Микроскопия и томография» стало актуальной задачей для нашего института.

Данная работа посвящена разработке и созданию методик на основе рентгеновской микроскопии и микротомографии для исследования уникальных образцов в области минералогии, археологии, изучению энергетических материалов и контролю качества изготовления рентгеношаблонов, используемых в ЬЮА-процессе и т.д.

Созданная нами установка позволяет получать данные о трехмерной структуре объектов в поли- и монохроматическом излучении СИ (с возможностью перестройки в диапазоне длин волн от 2 до 0.3 А). Пространственное разрешение регистрируемых изображений зависит от геометрических размеров изучаемых объектов и составляет 100 мкм для

о

образцов с габаритами до 45x45x50 мм .

Разработанный и реализованный микроскоп на основе увеличителя с использованием асимметрично срезанных кристаллов позволяет получать трехмерные фазоконтрастные изображения объектов с габаритами до 2x2x2 мм3 и пространственным разрешением не хуже 3 мкм.

На защиту выносятся следующее положения:

1. Разработка методики проведения томографических исследований на источнике синхротронного излучения ВЭПП-3 с пространственным разрешением от 3 мкм до 100 мкм.

2. Создание установки для вычислительной рентгеновской томографии и микроскопии с использованием увеличения изображения на основе отражения от асимметрично срезанных кристаллов.

3. Результаты исследований, полученных методом рентгеновской микроскопии, для аттестации рентгеношаблонов, использующихся в ЬЮА-процессе.

4. Результаты исследований трехмерной структуры энергетических материалов, полученных методом ВРТ.

5. Результаты исследований методом рентгеновской топографии морфологии природных алмазов из кимберлитовых трубок и россыпей Якутской алмазоносной провинции,

6. Результаты томографических исследований, проведенных для уникальных археологических находок и геологических образцов.

Заключение диссертации по теме «Приборы и методы экспериментальной физики», Купер, Константин Эдуардович

• Результаты исследования археологических объектов методами ВРТ дают основание считать, что появился новый мощный инструмент для неразрушающего изучения внутренней структуры уникальных образцов.

В заключение автор считает своим приятным долгом поблагодарить всех сотрудников лаборатории, принимавших участие в обсуждениях и создании новой станции СИ для вычислительной рентгеновской томографии и микроскопии. Особую благодарность хотелось бы выразить моим научным руководителям Геннадию Николаевичу Кулипанову, Константину Владимировичу Золотареву и Валерию Федоровичу Пиндюрину за многолетнюю помощь и поддержку. Автор благодарен коллективу накопительного комплекса ВЭПП-3 за возможность использования синхротронного излучения, а также коллегам из других Институтов: Д.А. Зедгенизову, A.JI. Рагозину, B.C. Шацкому, К.А. Тену, Э.Р. Прууэлу, В.Е.

Зарко, Н.В. Полосьмак, |E.JI. Гольдбергу, И.Ю. Слюсаренко за совместные исследования. За неоценимый вклад в работу и плодотворное сотрудничество хотелось бы выразить признательность моим ближайшим коллегам: М.А. Шеромову, В.И. Кондратьеву, А.Д. Пиколенко, Б.Г. Гольденбергу, Б.П. То л очко.

Заключение

Результатом выполненных работ стало:

1. Создание установки для рентгеновской микроскопии и томографии, работающей с использованием СИ накопительного комплекса ВЭПП-3.

2. Автоматизация созданной автором станции «Микроскопия и томография» обеспечивает синхронизацию всех процессов, необходимых для томографической съемки.

3. Разработка и создание в рамках проводимых исследований, увеличителя на асимметрично срезанных кристаллах, позволило повысить пространственное разрешение до 2-3 мкм. Чувствительность установки к направлению излучения, прошедшего через объект, обеспечило регистрацию образцов, слабоконтрастных в рентгеновском диапазоне. Рефракционный контраст позволяет получать качественные изображения объектов, для которых величина рентгеновского ослабления не превышает 0.1%.

4. Проведение совместных исследований с использованием созданной установки с сотрудниками различных академических институтов, которые позволили получить новые интересные результаты:

• Реализация метода оперативного неразрушающего контроля качества создаваемых в институте рентгеношаблонов, необходимых для работ по созданию микроструктур методом ЬЮА-технологий. Полученные данные дали информацию о дефектах, не выявляемых методами электронной и оптической микроскопии.

• Информация о неоднородности строения кристаллической решетки природного алмаза с использованием трехкристальной топографической схемы позволила получить данные, необходимые сотрудникам ИГиМ СО РАН для реконструкции процессов кристаллизации, происходивших в земной коре много миллионов лет назад.

• Исследования, проведенные методом ВРТ совместно с геологами, оптимизировали изыскания при определении минерального состава и текстурно-структурных особенностей ксенолитов алмазоносных пород. Достоинством наших исследований является их недеструктивность, простота процедуры съемки, отсутствие этапа предварительной подготовки объекта.

• Полученные результаты с использованием увеличителя на основе асимметрично срезанных кристаллов являются актуальными для исследования энергетических материалов, слабоконтрастных в рентгеновском диапазоне. Проведенные исследования позволили охарактеризовать чувствительность к детонации ВВ и твердого ракетного топлива на основе данных о распределении микронеоднородностей в объеме изучаемых объектов.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Купер, Константин Эдуардович, 2011 год

Литература

1. RöntgenW. ÜbereineneueArtvonStrahlen, //SitzungsberichtederPhysikalisch-medizinischenGesellschaitzuWürzburg, c. 132—41 (1895).

2. A. L. D. Kilcoyne, T. Tyliszczak, W. F. Steele, et al., Interferometer-controlled scanning transmission X-ray microscopes at the Advanced Light Source //J. Synchrotron Rad. vol 10, pp. 125-136, (2003).

3. T. Beetz, M. Feser, H. Fleckenstein, et al., Soft x-ray microscopy at the NSLS // Synchr. Rad. News 16, no. 3, pp. 11-15, (2003).

4. M.Awaji, Y. Suzuki, A. Takeuchi, et al., X-ray imaging microscopy at 25keV with Fresnel zone plate optics // Nucl. Inst, and Meth. Sect. A, Vol: 467-468, Part 2, July 21, pp. 845-848 (2001).

5. M. Kiskinova. Chemical Specific Imaging and Spectroscopy of Interfaces and Dynamic Surface Processes with Synchrotron-Based X-ray Microscopy //J. Surf. Sei. Nanotechn. 1 (2003)

6. Berglund, L. Rymell, M. Peuker, T. Wilhein, and H. M. Hertz. Compact water-window transmission X-ray microscopy //Journal of Microscopy 197, pp.268-273 (2000).

7. A. Sasov, D. Van Dyck, Desktop X-ray microscopy and microtomography Journal of Microscopy, vol. 191, no. 2, pp. 151-158 , August (1998).

8. R.A. Ketcham, W.D. Carlson, Acquisition, optimization and interpretation of X-ray computed tomographic imagery: applications to the geosciences //Computers & Geosciences, vol. 27, pp. 381-400, (2001).

9. Elder F. R., Langmuir R. V., Pollock H. C., Radiation from Electrons in a Synchrotron //Phys. Rev, 71, 829-830 (1947).

10. Photonic Science, scientific detector systems [Электронныйресурс] // photonic-science.co.uk.

11. Hamamatsu inc.[Электронныйресурс] //jp.hamamatsu.com/products/x-ray/index_en.html.

12. Rayonix High-performance X-ray technology inc.[Электронный ресурс] // www.rayonix.com.

13. P. Dhez, A. Erko, E.K. Khzmalian, B. Vidal, V. Zinenko, Kirpatrik-Baez microscope based on a Bragg-Fresnel x-ray multilayer focusing system. // Appl. Optics vol.3,1 № 31, November (1992)

14. B. Lengeier C.G. Schroer, M. Richwin, J. Tuemmler, A microsope for hard x-rays based on parabolic compound refractive lenses // Appl. Phys. Letters vol. 74, p.3924-3926, № 26, June (1999)

15. D. H. Bilderback, D. J. Thiel, R. Pähl and К. E. Brister, X-ray Applications with Glass-Capillary //Optics J. Synchrotron Rad.№l,p. 37-42, (1994).

16. A. Snigirev, A. Bjeoumikhov, A. Erko, I. Snigireva, M. Grigoriev, V. Yunkin, M. Erko and S. Bjeoumikhova, Two-step hard X-ray focusing combining Fresnel zone plate and single-bounce ellipsoidal capillary // J. Synchrotron Rad. № 14, p. 326-330 (2007)

17. M. Stampanoni, G. Borchert, R. Abela, P. Ru, Bragg magnifier: A detector for submicrometer x-ray computer tomography, //Jour, of Appl. Phys., Vol. 92, № 12, p. 7630-7635, (2002).

18. T. Weitkamp, A. Diaz, C. David, F. Pfeiffer, M. Stampanoni, P. Cloetens, E. Ziegler, X-ray phase imaging with grating interferometer. //Opt. Expr. № 13, p. 6296-6304 (2005).

19. J. Radon, Uber die Bestimmung von Funktionen durch ihre Integralwerte längs gewisser Mannigfaltigkeiten. //Berichte Sachsische Akademie der Wissenschaften, Leipzig, Math.-Phys. Vol.69. -P.262-267. (1917.

20. A.M. Cormack, Representation of a function by its line integrals, with some radiological applications. III. Appl. Physics, № 34, p. 2722-2727 (1963).

21. G. N. Hounsfield, A method of and apparatus for examination of a body by radiation such as x-ray or gamma radiation. //Patent Specification 1283915, The Patent Office, (1972).

22. Rump W., EnergiemessungenanRoentgenstrahlen //Zs. f. Phys., 43,254 (1927).

23. Kramers H.A., On the theory of X-ray absorption and of the continuous X-ray spectrum //Philos. Mag., 46, 836-871 (1923).

24. Kulenkampff H., Schmidt L. Die EnergieverteilungimSpektrum der Roentgen Bremsstrahlung. // Ann. Phys. Leipzig, 43, 494-512 (1943).

25. Moseley H.G.J., High-frequency spectra of the elements // Phil. Mag., 26, 1025-1034 (1913).

26. Webster D.L., Experiments on the Emission Quanta of Characteristic X-ray //Phys. Rev., 7, 519 (1917).

27. Siegbahn M., Relation between the К and L Series of the High Frequency Spectra // Nature, 96, 676 (1916).

28. Ebel H., X-ray Tube Spectra //X-ray spectrum. 28, 255-266 (1999).

29. Electron storage ring BESSY II [Электронныйресурс] // www.helmholtz-berlin.de/zentrum/grossgeraete/elektronenspeicherring

30. European Synchrotron Radiation Facility [Электронныйресурс] //www.esrf.eu

31. Super Photon Ring-8 GeV (SPRing 8) [Электронныйресурс] // www.spring8.or.jp

32. Иваненко Д.Д. и Соколовым A.A., К теории светящегося электрона // ДАН СССР., № 9, 59 1551-1554, (1948).

33. Schwinger J. On the classical Radiation of Accelerated Electrons // Phys. Rev., 75, 1912-1925, (1949).

34. Байер B.H., Катков B.M., Страховенко B.M. Излучение релятивистских частиц при квазипериодическом движении//ЖЭТФ, 80, 1348-1360, (1981).

35. Алферов Д.Ф., Башмаков Ю.А., Черенков П.А., Излучение релятивистских электронов в магнитном ондуляторе // УФН, 157, 389436 (1989).

36. Agfa Health Care [Электронный ресурс] // www.agfa.com.

37. Basic imaging properties of a computed radiographic system with photostimulable phosphors // Med. Phys. 16 (1), Jan/Feb (1989).

38. YoshiykiAmemiya, Imaging plates for Use with Synchrotron radiation // J. Synchrotron Rad., 2, 13-21 (1995).

39. G. Charpak, R. Boucher, T. Bressani, J. Favier and S. Zupansis., The use of multiwire proportional counters to select and localize charged particles. //Nucl. Inst, and Meth.,Vol 62, Iss 3, Pages 262-268, (1968).

40. S.E. Barn, A.G. Khabakhpashev, I.R. Makarov, G.A. Savinov, L.I. Shekhtman, V.A. Sidorov, Digital X-ray imaging installation for medical diagnostics. //Nucl. Inst. andMeth., A238, p. 165, (1985).

41. E.A. Babichev, S.E. Baru, V.R. Groshev, et al., Usage of two type of high pressure Xenon chambers for medical radiography. // Nucl. Inst, and Meth., A461, p. 430-434,(2001).

42. W.S. Boyle, G.E. Smith, Charge coupled semiconductor devices //Bell Syst. Tech. J. №496 p. 587(1970).

43. Ж.М. Рабаи, А. Чандракасан, Б. Николич Цифровые интегральные схемы. Методология проектирования //2-е изд. М.: «Вильяме»,с. 912. (2007).

44. Dexela inc. [Электронный ресурс] //www.dexela.com.

45. А.В. Виноградов и др., Зеркальная рентгеновская оптика // JL, Машиностроение, (1989).

46. A.G. Michette, Optical system for soft X-ray. //М.,Мир, (1989).

47. В. А. Аркадьев, А. И. Коломийцев, M. А. Кумахов, И. Ю. Пономарев, И. А. Ходеев, Ю. П. Чертов, И. М. Шахпаронов. Широкополосная

рентгеновская оптикас большой угловой апертурой. //УФН, 157, с. 529537 (1989).

48. A.R. Woll, J. Mass, С. Bisulca, R. Huang, D.H. Bilderback, S. Gruner, N. Gao, Development of confocal X-ray fluorescence (XRF) microscopy at the Cornell high energy synchrotron source. //Appl. Phys. A, Vol. 83, № 2, p. 235-238, (2006).

49. Г.С. Ландсберг, Оптика //M, «Наука», (1976).

50. R.W. James, The optical principles of diffraction of X-ray. //M. Изд. иностр. лит, (1950).

51. И.А. Артюков, В.Е. Асадчиков, А.И. Виленский, А.В. Виноградов, В.Е. Левашов, Б. В. Мчедлишвили, А.В. Попов, А.А. Постнов, И.И. Струк, Получение изображений фильтрационных каналов в трековых мембранах с помощью рентгеновского микроскопа Шварцшильда //Доклады академии наук, т.372, №5, с.608-611. (2000).

52. A. Snigirev, V. Kohn, I. Snigireva, В. Lengeler, A compound refractive lens for focusing high-energy X-rays. //Nature, Vol 384, p.49-51, (1996).

53. B.Lengeler,A.Snigirev,C.Shroer et al, A microscope for hard x-rays based on parabolic compound refractive lenses. //Appl. Phys. Let. vol 74 .№26 p. 3924-3926 (1999).

54. V. Nazmov, E. Reznikova, A. Last, J. Mohr; V. Saile, M. DiMichiel, J. Gottert, Crossed planar X-ray lenses made from nickel for X-ray micro focusing and imaging applications. // Nucl. Inst, and Meth. Sect. A, p. 120122, (2007).

55. A. Snigirev, I. Snigireva, V. Kohn, V. Yunkin, S. Kuznetsov, M. B. Grigoriev, T. Roth, G. Vaughan, C. Detlefs, X-Ray Nanointerferometer Based on Si Refractive Bilenses. //Phys. Rev. Lett, vol. 103, p. 1-4, (2009).

56. В. Lengeler, С. G. Schroer, В. Benner, A. Gerhardus, T. F. Gtinzler, M. Kuhlmann, J. Meyer, C. Zimprieh, Parabolic refractive X-ray lenses, //J. Synchrotron Rad, № 9, p. 119-124, (2002).

57. В.Г. Кон, К теории рентгеновской преломляющей оптики. Точное решение для параболической среды. //Письма в ЖЭТФ, т. 76, в. 10, с. 701-704, (2002).

58. В. Nieman, D. Rudolph, G. Schmahl, Soft x-ray imaging zone plates with large zone numbers for microscopic and spectroscopic applications. //Optics Communications Vo. 12(2), p. 160-163, (1974).

59. . Aritome, K. Nagata, S. Namba, Fabrication of x-ray zone plates with a minimum zone width smaller than lOOnm by electron beam lithography. // Microelectronic Eng., Vol. 3, p. 459-466, (1985).

60. P. Dhez, P. Chevallier, Т. B. Lucatorto, C. Tarrio,Instrumental aspects of x-ray microbeams in the range above 1 keV. //Rev. Sci. Instrum. Vol. 70, p. 1907 (1999).

61. I. Fankuchen, A condensing monochromator for n-rays. //Nature, Vol. 139, p. 193 (1937).

62. K. Hirano, Application of x-ray image magnifier and demagnifier to parallel beam x-ray computed tomography, // Jour. Phys. D,Appl. Phys., Vol. 44, p. 1-4,(2011).

63. M. Stampanoni, G. Borchert, R. Abela, P. Ruegsegger. "Bragg magnifier a detector for submicrometer x-ray computer tomography, //Jour, of Appl. Phys, Vol. 92, № 12, p.7630-7635, (2002).

64. А.А. Постнов, P.А. Сенин, T.B. Цыганова, Рентгеновская микроскопия с использованием асимметричного отражения от монокристалла, //Письма в ЖЭТФ. т.73, вып.4, с.205-209 (2001).

65. Н.А.Мезенцев., С.И. Мишнев и др, Отчет Сибирского международного центра синхротронного излучения за 1991-1992 г. Новосибирск, 1993, с.42

66. P. Kirkpatrick, а. V. Baez, Formation of optical images by x-rays //J. Opt. Soc. Amer., Vol. 38, p. 766-773 (1948).

67. M.L. Giger, K. Doi, Analysis of MTFs, Wiener spectra, and signal-to-noise ratios of digital radiographic imaging systems. // Med. Phys. Monograph № 12, AIP, NY, (1985).

68. V. Kaftandjian, Y.M. Zhu, G. Rozeiere, G. Peix, D. Babot, A comparison of the ball, wire, edge, and bar/space pattern technique for Modulation Transfer Function measurements of liner X-ray detectors, // Jour, of X-ray Seien, and Tech., Vol. 6, p. 205-221, (1996).

69. I.A. Cunningham, A. Fenster, A method for modulation transfer function determination from edge profiles with correction for finite-element differentiation, //Med, Phys, Vol. 14(4), p. 533-537, (1987).

70. P. Modregger,D. Lübbert, P. Schäfer, R. Köhler, Magnified x-ray phase imaging using asymmetric Bragg reflection: Experiment and theory //Phys. Rev. B, №74(5)6 054107, (2006).

71. R.D. Spal, Submicrometer resolution hard x-ray holography with the asymmetric Bragg diffraction microscope. // Phys. Rev. Letters, Vol 86, №14 p. 3044-3046(2001).

72. G.A. Korn, T,M. Korn, Mathematical handbook for scientists and engineers, //M. «Наука», (1974).

73. AM. Gambaccini, A. Taibi, A.D. Guerra, M. Marziani, A. Tuffanelli, MTF evaluation of a phosphor-coated CCD for x-ray imaging, //Phys. Med. Biol, Vol. 41, p. 2799-2806, (1996).

74. Дж. Бендат, А.Пирсол, Прикладной анализ случайных процессов, // М. «Мир», (1989).

75. J. Beutel, H.L. Kundel, R.L. Van Metter, Handbook of Medical Imaging, //SPIE Press, USA (2001).

76. S. Fluegge, Handbuch der Physik, //M. Изд. Иностр. Лит., под редакцией М.А. Блохина, (1960).

77. G.T. Herman, Image reconstruction from projection, The fundamentals of computerized tomography, //M. «Мир», (1983).

78. И.Н. Троицкий, Статистическая теория томографии, //М. «Радио и связь», (1989).

79. R.H.T. Bates, M.J. Mcdonnell, Image Restoration and Reconstruction, //M. «Мир», (1989).

80. N. Strumas, O. Antonyshyn et al., Computered tomography artefacts: an experimental investigation of causative factors, // Can. J. PlastSurg, vol. 6(1), p. 23-29,(1998).

81. R.A. Ketcham, Three-dimensional grain fabric measurements using highresolution X-ray computed tomography, // Jour, of Struct. Geology, Vol. 27, p. 1217-1228, (2005).

82. E.B. Петрова, Б.Г. Гольденберг, В.И. Кондратьев, Л.А. Мезенцева, В.Ф.Пиндюрин, А.Н. Генцелев, B.C. Елисеев, В.В.Ля, Создание рентгеношаблонов на толстой подложке для глубокой рентгеновской литографии, //Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, №6, стр. 14-16, (2007).

83. Б.Г. Гольденберг, А.Ю. Абрамский, А.Г. Зелинский, А.И. Маслий, Е.А. Максимовский, В.И. Кондратьев, В.П. Корольков, К.Э. Купер, Е.В. Петрова, В.Ф. Пиндюрин, Особенности изготовления шаблонов для глубокой рентгеновской технологии в сибирском центре синхротронного и терагерцевого излучения, // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования., № 2, с. 62-68,(2011).

84. Б.Г. Гольденберг, К.Э Купер, В.И. Кондратьев, Д.С. Сороколетов, С.К. Голубцов, Экспресс-метод контроля рентгеношаблонов для глубокойренттенолитографин // XVIII международная конференция по использованию синхротронного излучения, СИ-2010 книга тезисов, ИЯФ им. Г.И. Будкера СО РАН; СЦСиТИ, с. 32, (2010).

85. D.K. Bowen, В.К. Tanner, High resolution X-ray diffraction and topography, //С.-П, «Наука», (2002).

86. A.L. Ragozin, V.S. Shatsky, D.A. Zetgenizov and S.I. Mityukhin, Evidence for evolution of diamond crystallization medium in eclogite xenolith from the Udachnayakimberlite pipe, Yakutia, //Doklady Earth Sciences, Vol. 407(2), p. 465-468, (2005).

87. K.E. Kuper, D.A. Zedgenizov, A.L. Ragozin, V.S. Shatsky, X-ray topography of natural diamonds on the VEPP-3 SR beam, // Nucl. Inst, and Meth. Sect. A, Vol. 603, p. 170-173, (2009).

88. B.C. Шацкий, Д.А. Зедгинизов, A.JI. Рагозин, К.Э. Купер, В.В. Калинина, Округлые алмазы из россыпей северо-востока Сибирской платформы, //Международный симпозиум посвященный 100-летию B.C. Соболева, книга тезисов, ИГиМ им. B.C. Соболева СО РАН, с. 113, (2008).

89. С.Ю. Скузоватов, Д.А. Зедгенизов, B.C. Шацкий, А.Л. Рагозин, К.Э. Купер, Особенности состава облакоподобных микровключений в октаэдрических алмазах из кимберлитовой трубки интернациональная (Якутия) //Геология и геофизика, т. 52, № 1, с. 107-121, (2011).

90. А.С. Степанов, B.C. Шацкий, Д.А. Зедгенизов, Н.В. Соболев, Причиныразнообразияморфологии и примесногосостава алмазов из эклогита трубки удачная, // Геология и геофизика, т. 48, № 9, с. 974-988, (2007).

91. S. Simakov, L.A. Taylor, Geobarometry for mantle eclogites: Solubility of Ca-tschermaks in elinopyroxene, //Intl. Geol. Review, Vol. 42, p. 534-544, (2000).

92. L.A.Taylor, R.A. Keller,G.A. Snyder, W. Wang, W.D. Carlson, E.H. Hauri, T. McCandless, K.R. Kim, N.V. Sobolev, S.M Bezborodov, Diamonds and their mineral inclusions and what they tell us: A detailed "pull-apart" of a diamondiferous eclogite, //Inter. Geol. Review, Vol. 42, №. 12, p. 10621086, (2000).

93. K.E. Kuper, D.A. Zedgenizov, A.L. Ragozin, V.S. Shatsky, V.V. Porosev, K.V. Zolotarev, E.A. Babichev, S.A. Ivanov, Three-dimensional distribution of minerals in diamondiferous eclogites, obtained by the method of highresolution X-ray computed tomography, // Nucl. Inst, and Meth. Sect. A, Vol. 575, p. 255-258, (2007).

94. С.Г. Андреев, A.B. Бабкин, Ф.А. Баум, H.A. Имховик, И.Ф. Кобылкин, В.И. Колпаков, С.В. Ладов, В.А. Одинцов, Л.П. Орленко, идр., Физикавзрыва, //М. «Наука/Интерпериодика», (2004).

95. Н. Eyring, R.E. Powell, G.H. Duffy, R.B. Parlin, The Stability of Detonation, //Chem. Rev., Vol. 45 (1), p. 69-181, (1949).

96. K.E. Kuper, K.A. Ten, E.R. Pruuel, High explosives examination by highresolution x-ray computed tomography on the vepp-3 synchrotron radiation, //Physics of Extreme States of Matter -2009, сборниктрудовконференции, Черноголовка, ОИВТРАН, с. 130-132, (2009).

97. V.E. Zarko, V.N. Simonenko, A.A. Kvasov, A.I. Ancharov, K.E. Kuper X-ray diffraction and microscopy studies of the structure of molecular compound FTDO-DNAP, //40th International annual conference of ICT: Energetic materials. Characterisation, modeling and validation, Karlsruhe, Abstracts, Karlsruhe: Inst. Chem. Technologies, (2009).

98. В.Е. Зарко, A.A. Квасов, В.Н. Симоненко, E.H. Чесноков, К.Э. Купер, П.И. Калмыков, В.П. Цппплев, Определение порога лазерного инициирования кристаллизованных смесей фуразанотетразин диоксида и динитродиазапентана, // Забабахинские научные чтения: X Междунар. конф, книга тезисов, Снежинск, РФЯЦ - ВНИИТФ, с. 156, (2010).

99. К.Э. Купер, К.А. Тен, Э.Р. Прууэл, Ю.А. Аминов, Б.Г. Лобойко, Е.Б. Смирнов, А.К. Музыря Рентгеновская микротомография на пучках СИ зарядов ТАТБ, // Забабахинские научные чтения: X Междунар. конф., книга тезисов, Снежинск, РФЯЦ-ВНИИТФ, с. 101, (2010)

100.В.М. Титов, Б.П. Толочко, К.А. Тен, Л.А. Лукьянчиков, Э.Р. Прууэл, Использование синхротронного излучения для исследования детонации, // XVI международная конференция по использованию синхротронного излучения, СИ-2006 книга тезисов, ИЯФ им. Г.И. Будкера СО РАН; СЦСиТИ, с. 54, (2006)

101.К.А. Тен, В.М. Титов, Э.Р. Прууэл, Л.А. Лукьянчиков, Б.П. Толочко, К.Э. Купер, Исследование быстропротекающих процессов с помощью синхротронного излучения, // 22-я Всероссийская конференция по численным методам решения задач теории упругости и пластичности, Барнаул, ИТПМ СО РАН им. С.А. Христиановича, (2011).

102.В.Е. Зарко, В.Н. Симоненко, П.И. Калмыков, A.A. Квасов, E.H. Чесноков, К.Э. Купер Лазерное инициирование кристаллизованных смесей фуразанотетразиндиоксида и динитродиазапентана, // Физика горения и взрыва, т. 45, № 6, с. 131-134, (2009)

103.К.Э. Купер, Д.А. Зедгенизов, А.Л. Рагозин, B.C. Шацкий, К.А. Тен, Э.Р.

Прууэл, В.Е. Зарко, А.А. Квасов, Б.Г. Гольденберг, [Е.Л. Гольдберг|, И.Ю. Слюсаренко, Обзор работ, проводимых на станции СИ «Рентгеновская микроскопия и томография» накопителя ВЭПП-3 //

XVIII международная конференция по использованию синхротронного излучения, СИ-2010 книга тезисов, ИЯФ им. Г.И. Будкера СО РАН; СЦСиТИ, с. 30-31, (2010).

104.Н.В. Полосьмак, Стерегущие золото грифы, //Новосибирск, «Наука», (1994).

105.Н.И. Быков, И.Ю. Слюсаренко, A.A. Тишкин, Анатомический анализ древесины изделий из памятников гунно-сарматской эпохи Алтая, //Проблемы археологии, этнографии, антропологии Сибири и сопредельных территорий, Новосибирск, ИАЭТ СО РАН, т. XIV, с. 139144, (2008).

106.1E.JI. Гольдберг], К.Э. Купер, И.Ю. Слюсаренко, Предварительные результаты использования метода вычислительной рентгеновской томографии для анализа археологических деревянных изделий, // Проблемы археологии, этнографии, антропологии Сибири и сопредельных территорий, Новосибирск, ИАЭТ СО РАН, т. XVI, с. 176-181,(2010).

107.Н.В. Полосьмак, К.Э. Купер, Изучать, не разрушая, //Наука из первых рук, Новосибирск, № 5., с. 84, (2010).

108.К.Е. Kuper, V.E. Zarko, A.A. Kvasov,K.A. Ten, E.R. Pruuel, Highresolution X-ray Computed Tomography of Low-contrast Samples with the Use of Synchrotron Radiation, //6th World Congress on Industrial Process Tomography, сборниктрудовконференции, Пекин, с. 451-456, (2010).

109. Г.Н. Кулипанов, А.Н. Скринский, Использование синхротронного излучения: состояние и перспективы, //УФН, т. 122, № 3, с. 369-417, (1977).

110. Г.Н. Кулипанов, Изобретение B.JI. Гинзбургом ондуляторов и их роль в современных источниках синхротронного излучения и лазерах на свободных электронах, //УФН, т. 177, № 4, с. 384-393, (2007).

111. Л.А. Арцимович, И.Я. Померанчук, Излучение быстрых электронов в магнитном поле, //ЖЭТФ, т. 16, №5, сю 379-389 (1946).