Высокоточные низкочастотные акселерометры для систем управления движением изделий ракетно-космической техники тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.16, кандидат технических наук Алексеева, Вера Владимировна
- Специальность ВАК РФ05.11.16
- Количество страниц 160
Оглавление диссертации кандидат технических наук Алексеева, Вера Владимировна
Введение.
1 Сравнительный анализ метрологических характеристик высокоточных акселерометров и определение направлений исследований.
1.1 Оценка технического уровня существующих образцов высокоточных акселерометров производства ОАО «НИИФИ» в сравнении с лучшими отечественными и зарубежными аналогами.
1.2 Предварительный анализ модели стабильности коэффициента преобразования акселерометров уравновешивающего преобразования.
1.3 Определение предельных значений температурной нестабильности коэффициента преобразования высокоточного акселерометра с магнитоэлектрическим уравновешиванием.
1.4 Анализ методов обеспечения стабильности смещения нуля.
1.5 Исследование влияния маловероятных факторов на метрологическую надежность высокоточных акселерометров.
1.6 Выводы.
2 Исследование способов компенсации температурной нестабильности коэффициента преобразования высокоточных акселерометров.
2.1 Анализ существующих способов компенсации температурной нестабильности коэффициента преобразования.
2.2 Моделирование процесса термокомпенсации коэффициента преобразования высокоточных акселерометров и обоснование выбора схемы канала термокомпенсации.
2.3 Выводы.
3 Исследование источников и способов снижения нестабильности смещения нуля высокоточных низкочастотных акселерометров.
3.1 Исследование влияния дрейфа источников опорного напряжения на стабильность смещения нуля прецизионных акселерометров с частотных выходом.
3.2 Исследование термоэлектрических механизмов возникновения дрейфа смещения нуля.
3.3 Исследование влияния контактных напряжений в сборках ЧЭ.
3.4 Исследование влияния несимметрии конфигурации упругого подвеса маятника на стабильность пространственного положения измерительной оси.
3.5 Оценка влияния маловероятных факторов на воспроизводимость результатов испытаний при оценке метрологических характеристик высокоточных акселерометров.
3.6 Выводы.
4 Результаты экспериментального подтверждения основных научных положений диссертации.
4.1 Экспериментальное подтверждение повышения стабильности смещения ПНЧ.
4.2 Экспериментальное подтверждение действенности рекомендаций по повышению стабильности пространственной ориентации измерительной оси акселерометра.
4.3 Разработка рекомендаций к методам испытаний, обеспечивающим повышение воспроизводимости результатов измерений.
4.4 Разработка методики температурной компенсации коэффициента преобразования акселерометров.
4.5 Разработка малогабаритных высокоточных акселерометров
АЛЕ 055М, АЛЕ 057.
4.6 Выводы.
Рекомендованный список диссертаций по специальности «Информационно-измерительные и управляющие системы (по отраслям)», 05.11.16 шифр ВАК
Алгоритмы и методики расчёта тепловых полей низкочастотных микромеханических акселерометров2009 год, кандидат технических наук Скаморин, Денис Анатольевич
Развитие теории, программно-аппаратные средства и алгоритмическая коррекция погрешностей иклинометрических и термоманометрических скважинных систем2004 год, доктор технических наук Коловертнов, Геннадий Юрьевич
Измерительные цепи емкостных МЭМС-датчиков для ракетно-космической техники2010 год, кандидат технических наук Калинин, Михаил Александрович
Интегральный акселерометр компенсационного типа2002 год, кандидат технических наук Былинкин, Сергей Федорович
Разработка микросистемного акселерометра2006 год, кандидат технических наук Вавилов, Иван Владимирович
Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Высокоточные низкочастотные акселерометры для систем управления движением изделий ракетно-космической техники»
Актуальность работы. Совершенствование и развитие информационно-измерительных и управляющих систем (ИИУС) изделий ракетно-космической техники (РКТ) является одним из эффективных путей поддержания необходимого уровня обороноспособности страны. Процессы измерения ускорений на платформенных (с конструктивной защитой от воздействия механических и температурных влияющих величин) и бесплатформенных системах управления движением базируются на низкочастотных акселерометрах уравновешивающего преобразования как их неотъемлемой части. Комплекс современных требований к акселерометрам ИИУС объектов РКТ требует высокоточного измерения ускорения (не хуже 0,005 %) в интервале от десятых долей м-с" и до 600 м-с" , высокой стабильности коэффициента преобразования (до ±0,001 %/°С) в условиях воздействия изменений температуры окружающей среды в интервале от минус 65 до +65 °С, вибрационных и ударных процессов значительной амплитуды. Общим недостатком известных в настоящее время акселерометров для бесплатформенных систем управления (серия QA «Honeywell», серии МА и JA-5 «Japan Aviation Electronics», серия AT ОАО «Темп-Авиа», серия КИНД «НИИПМ им. академика В. И. Кузнецова», серия AJIE ОАО «НИИФИ», серия АК «НПЦ АП им. академика Н. А. Пилюгина») является неудовлетворительная температурная стабильность коэффициента преобразования, а для их малогабаритных вариантов (QA, JA-5, АЛЕ и AT) к ней добавляется нестабильность смещения нуля.
Исследованиям методов повышения точности цепей уравновешивающего преобразования посвящены работы В. С. Гутникова, Е. С. Левшиной, П. В. Новицкого (СПбТУ), Е. А. Мокрова (ОАО «НИИФИ», г. Пенза), Э. К. Шахова, В. М. Шляндина (ЛГУ), У. М. Сиберта (Массачусетский технологический институт, США). Развитию методологии проектирования уравновешивающих акселерометров, устойчивых к воздействию жестких условий эксплуатации на изделиях РКТ, посвящено значительное число работ В. Ф. Коновалова (МГТУ им. Н. И. Баумана) и А. А. Папко (ОАО «НИИФИ», г. Пенза).
Однако разработанные принципы и рекомендации не учитывают того, что при серийном выпуске высокоточных акселерометров представления о реальных процессах их функционирования и механизмах возникновения возможных дефектов существенно изменяются не только при ужесточении требований к точности, но и по мере накопления статистических данных о поведении конкретных приборов на всех этапах жизненного цикла. То, что на единичных образцах может быть исключенным из ряда измерений как промах, повторяясь в серийном производстве и эксплуатации в виде самоустраняющихся дефектов, является следствием проявления влияния сочетания маловероятных факторов, обусловленных специфическими условиями высокоточных измерений, и приводит к необходимости уточнения схемно-конструктивных решений, математических моделей, методов контроля и испытаний акселерометров.
В этой связи разработка высокоточных низкочастотных акселерометров для ИИУС изделий РКТ на основе новых технических решений, обеспечивающих соответствие каждого образца установленным требованиям в процессе серийного производства и эксплуатации, является актуальной задачей.
Актуальность решаемой задачи подтверждается включением исследований по созданию элементов систем управления движением в утвержденные перечни приоритетных направлений развития науки, техники и критических технологий РФ.
Целью диссертационной работы являются разработка и исследование возможностей и путей повышения стабильности и воспроизводимости метрологических характеристик малогабаритных высокоточных акселерометров с частотным выходом для ИИУС изделий РКТ.
Для достижения поставленной цели необходимо решить следующие задачи:
- исследовать функцию влияния изменений температуры окружающей среды на коэффициент преобразования акселерометра с частотным выходом;
- исследовать способы и алгоритмы повышения температурной стабильности коэффициента преобразования акселерометра;
- исследовать новые технические решения по уменьшению влияния нестабильности смещения нуля на достоверность оценки метрологических характеристик акселерометра;
- разработать рекомендации и методы испытаний, обеспечивающие воспроизводимость их результатов при определении параметров функции преобразования акселерометра в процессе изготовления и в составе ИИУС;
- подтвердить экспериментально эффективность результатов исследования схемно-конструктивных решений, рекомендаций и методов испытаний, обеспечивающих повышение стабильности, и разработать высокоточные акселерометры для ИИУС изделий PKT.
Методы исследований. При решении поставленных задач использованы методы интегрального и дифференциального исчисления, математического моделирования, теории измерений, теоретической и практической метрологии. Теоретические и экспериментальные исследования проводились с использованием пакета программ MathCAD, Maple, ANSYS.
Достоверность научных положений, выводов и рекомендаций диссертационной работы подтверждена результатами экспериментальных исследований образцов высокоточных низкочастотных линейных акселерометров в процессе производства и эксплуатации в составе ИИУС изделий PKT.
Научной новизной обладают:
1. Результаты исследования функции влияния изменений температуры окружающей среды на коэффициент преобразования акселерометра с частотным выходом, позволившие впервые установить, что возрастание или убывание функции зависит от температурных характеристик цепи уравновешивания, а параметры наклона — от температурных характеристик узлов, не охваченных обратной связью.
2. Уточненная математическая модель процесса компенсации температурной нестабильности коэффициента преобразования, отличающаяся учетом влияния нормированных изменений температурных характеристик термодатчика и регулирующих элементов и позволяющая обосновать предельные возможности различных конфигураций схемы термокомпенсации и условия выбора номинальных значений сопротивлений регулирующих элементов, определяющих характеристики ИИУС изделий PKT.
3. Схемные и конструктивные решения, обеспечивающие повышение стабильности параметров функции преобразования акселерометра с частотным выходом за счет уменьшения числа резистивных делителей и источников опорного напряжения в преобразователе «напряжение - частота» (ПНЧ).
4. Обоснование взаимосвязи между воспроизводимостью результатов измерений при определении параметров функции преобразования акселерометра с частотным выходом и сочетанием маловероятных самоустраняющихся дефектов, вызванных влиянием индустриальных помех по цепям питания и несанкционированным нарушением режимов работы выходных каскадов, в процессе изготовления и эксплуатации ИИУС изделий PKT.
Практическое значение имеют:
1. Решение задачи компенсации температурной погрешности акселерометра путем введения в схему дополнительного операционного усилителя с термодатчиком и регулирующими элементами, конфигурация включения которых в схему зависит от знака и значения компенсируемой f температурной погрешности, и применения нового алгоритма процесса термокомпенсации. ч
2. Разработка схемы, миниатюрной СБИС ПНЧ с улучшенными метрологическими характеристиками за счет внедрения результатов исследований, обосновывающих возможность исключения из нее несовместимых с технологиями изготовления СБИС одного резистивного делителя и одного источника опорного напряжения.
3. Повышение воспроизводимости и стабильности параметров ИИУС за счет внедрения методов испытаний, исключающих недостоверную идентификацию маловероятных отказов при серийном производстве и проведении входного контроля в составе ИИУС.
4. Модернизация акселерометров AJIE 055 и разработка акселерометров AJIE 055М, AJIE 057 с температурными характеристиками до 0,001 %/°С, что вдвое меньше, чем у лучшего отечественного аналога, на два порядка меньше, чем у серийных отечественных аналогов, и на порядок меньше, чем у лучшего зарубежного аналога.
На защиту выносятся:
1. Уточненная математическая модель процесса компенсации температурной нестабильности коэффициента преобразования акселерометра на основе учета нормируемых пределов изменения температурных характеристик элементов цепи термокомпенсации, позволяющая сформулировать условия выбора ее конфигурации и снизить трудоемкость процесса термокомпенсации.
2. Конструктивные решения, обеспечивающие повышение стабильности пространственной ориентации измерительной оси акселерометра, улучшающие стабильность смещения нуля акселерометров для ИИУС изделий PKT.
3. Новые рекомендации и методы испытаний, обеспечивающие повышение воспроизводимости результатов- измерений при оценке параметров функции преобразования и уменьшающие вероятность возникновения самоустраняющихся дефектов при изготовлении и эксплуатации высокоточных акселерометров с частотным выходом в составе ИИУС.
4. Разработка высокоточных миниатюрных акселерометров АЛЕ 055М и разработка АЛЕ 057 с высокой температурной стабильностью коэффициента преобразования и временной стабильностью смещения нуля.
Реализация и внедрение результатов работы. Результаты проведенных научных исследований использованы для модернизации прецизионных низкочастотных акселерометров АЛЕ 055 и разработки акселерометров нового поколения АЛЕ 055М, внедренных в ИИУС реактивных систем залпового огня (РСЗО) 9Б174 и акселерометров АЛЕ 057, предназначенных для эксплуатации в составе ИИУС разгонных блоков 8К82КМ и системы управления движением узлов комплекса 1Т142.
Похожие диссертационные работы по специальности «Информационно-измерительные и управляющие системы (по отраслям)», 05.11.16 шифр ВАК
Разработка микромеханических акселерометров и анализ динамики чувствительных элементов при вибрационных и ударных воздействиях2012 год, кандидат технических наук Федоров, Максим Вячеславович
Температурные возмущения бесплатформенной инерциальной навигационной системы с волоконно-оптическими гироскопами2004 год, кандидат технических наук Пылаев, Юрий Константинович
Разработка технологии калибровки гироинерциальных блоков на основе МЭМС датчиков2024 год, кандидат наук Крылов Алексей Анатольевич
Алгоритмы обработки информации при определении коэффициентов полиномиальных моделей измерительных преобразователей давления для АСУ ТП2011 год, кандидат технических наук Попов, Андрей Евгеньевич
Основы разработки безобогревных термоинвариантных измерителей угловых скоростей и кажущихся ускорений для систем управления ракетно-космическими объектами2017 год, кандидат наук Скоробогатов, Вячеслав Владимирович
Заключение диссертации по теме «Информационно-измерительные и управляющие системы (по отраслям)», Алексеева, Вера Владимировна
4.6 Выводы
4.6.1 По результатам статистической обработки результатов контроля нестабильности ПНЧ акселерометров получено уменьшение ее разброса после внедрения предложенных решений более, чем в 10 раз.
4.6.2 Статистическая обработка результатов контроля разориентации измерительной оси акселерометра с подвесом полукруглой формы показывает, что ее математическое ожидание не превышает 4,5 угл. мин., а нестабильность пространственного положения измерительной оси не превышает 0,5 угл. мин. Полученные значения соответствуют перспективным требованиям и подтверждают значимость рекомендаций по доработке КД подвеса с полукруглым профилем.
4.6.3 Результаты контроля различия значений коэффициентов преобразования, определенных в различное время, на различном оборудовании, различными операторами и на различных предприятиях, до и после внедрения решений по увеличению воспроизводимости результатов измерений подтверждает, что реализация рекомендаций, уточняющих методы испытаний по оценке воспроизводимости, позволила уменьшить относительные различия коэффициентов преобразования уК1 и укг не менее, чем в 1,3 раза.
4.6.4 Разработан усовершенствованный метод испытаний при термокомпенсации коэффициента преобразования акселерометра, обеспечивающий достижение значений коэффициента влияния изменений температуры окружающей среды на коэффициент преобразования менее 0,001 %/°С за два цикла испытаний, из которых первый предназначен для определения собственных температурных характеристик акселерометра.
4.6.5 Разработаны высокоточные акселерометры с магнитоэлектрическим уравновешиванием типа АЛЕ 055М, АЛЕ 057 с температурной стабильностью коэффициента преобразования К(< 0,001 %/°С, превышающей более чем на два порядка аналогичную характеристику отечественных аналогов и более, чем на порядок - зарубежных аналогов. По стабильности смещения нуля и значению разориентации измерительной оси вновь разработанные акселерометры находятся на уровне лучших зарубежных аналогов и значительно превосходят отечественные аналоги.
137
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
1. При выполнении работы установлено, что известные высокоточные акселерометры для ИИУС изделий РКТ отличаются значительной собственной' температурной нестабильностью коэффициента преобразования, достигающей значений (0,012 - 0,025) %/°С. В зависимости от вычислительных возможностей системы управления осуществляется либо температурная коррекция коэффициента преобразования, либо' используется встроенная термокомпенсация. При этом использование известных цепей термокомпенсации на основе операционных усилителей приводит к значительной трудоемкости и непредсказуемости результатов процесса термокомпенсации.
2. Проведено исследование функции* влияния изменений температуры окружающей среды на коэффициент преобразования акселерометра с частотным выходом, в результате чего впервые установлено, что возрастание или убывание функции влияния изменений температуры окружающей среды на коэффициент преобразования зависит от температурных характеристик цепи уравновешивания, а параметры наклона - от температурных характеристик узлов, не охваченных обратной связью.
3. Уточнение математической модели способа термокомпенсации коэффициента преобразования путем учета нормируемых изменений температурных характеристик термодатчика и регулирующих элементов позволило обосновать предельные возможности различных вариантов схем термокомпенсации, уточнить условия выбора номинальных значений сопротивлений регулирующих элементов и разработать методику, обеспечивающую достижение установленного уровня коэффициента влияния изменений температуры окружающей среды на коэффициент преобразования.
4. В результате исследования нестабильности смещения нуля, определяющей пределы воспроизводимости параметров функции преобразования акселерометра, выявлены новые механизмы влияния на него и разработаны пути повышения стабильности смещения нуля за счет сокращения числа источников опорного напряжения и резистивных делителей в ПНЧ и реализации механической колебательной системы на основе подвесов трапецеидальной формы.
5. Разработаны методы испытаний для определения метрологических характеристик акселерометров при изготовлении и эксплуатации в составе ИИУС, учитывающие специальные рекомендации по обеспечению устойчивости применяемых эталонных средств измерений к воздействию индустриальных помех, что значительно улучшило показатели ИИУС.
6. Разработаны высокоточные акселерометры с магнитоэлектрическим уравновешиванием типа АЛЕ 05 5М, АЛЕ 057 с температурной стабильностью коэффициента преобразования К( < 0,001 %/°С, превышающей более чем на два порядка аналогичную характеристику отечественных аналогов и более, чем на порядок - зарубежных аналогов. По стабильности смещения нуля вновь разработанные акселерометры находятся на уровне лучших зарубежных аналогов и значительно превосходят отечественные аналоги.
7. Акселерометры АЛЕ 055, АЛЕ 055М внедрены в ИИУС РСЗО 9Б174, акселерометры АЛЕ 057 - в ИИУС разгонных блоков 8К82КМ и системы управления движением узлов комплекса 1Т142.
Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Алексеева, Вера Владимировна, 2011 год
1. Абрамов И.И. Проблемы и принципы физики и моделирования приборных структур микро- и наноэлектроники. Часть 1. Основные положения // Нано- и микросистемная техника. № 8. - 2006., с. 34-37.
2. Акселерометры АТ 1104, АТ 1105. Информационные материалы ОАО "Арзамасское научно-производственное объединения "Темп-Авиа".
3. Алексеева В. В. Отработка алгоритмов компенсации температурной нестабильности коэффициента преобразования высокоточных акселерометров, //• Датчики, и системы: сб. докл. XXX науч.-техн. конф. молодых, ученых и специалистов. Пенза : ОАО «НИИФИ», 2011.
4. Алексеева В. В., Папко А. А., Калинин М. А., Кирянина И. В., Шепталина С. В. Повышение разрешающей способности и стабильности метрологических характеристик микромеханических акселерометров // Измерительная техника. — 2011. -№3.-С.16-19.
5. Андреева Л;Е. Упругие элементы приборов. М.: Машиностроение, 1981.-392с.
6. Бельцев А. В., Богатов В. В., Каржавин А. В. и др. Термоэлектрические преобразователи температуры. Теория, практика, развитие // Приборы, 2004. № 3 (45). с. 53-63.
7. Бессонов Л:А. Теоретические основы электротехники. М: Высшая школа, 1996. - 5 80 с.
8. Васильев В: Ю. Процессы релаксации тонких слоев борофосфороси-ликатных стекол при термически активированном вязком течении на ступенчатом рельефе интегральных, микросхем;//Микроэлектроника; 2003. Том 32, № 3. с. 163-176. ■
9. Галин JI. А. Контактные задачи теории упругости и вязкоупругости. М.: Наука, 1980. 303 с.
10. ГОСТ 13109-97. Электрическая энергия. Совместимость технических средств электромагнитная. Нормы качества электрической энергии в системах электроснабжения общего назначения. М. : Изд-во стандартов, 1999. 35 с.
11. ГОСТ 18955-73. Акселерометры низкочастотные линейные. Термины и определения. М. : Изд-во стандартов, 1973. 12 с.
12. ГОСТ Р В.20.39.304-98 Комплексная система общих технических требований. Аппаратура, устройства и оборудование военного назначения. Требования стойкости к внешним воздействующим факторам. Издание официальное ГОССТАНДАРТ России, Москва.
13. ГОСТ Р ИСО 5725-1-2002-ГОСТ Р ИСО 5725-6-2002 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. М.: ИПК Изд-во стандартов, 2002.
14. Гутников B.C. Интегральная электроника в измерительных устройствах. -JI: Энергоатомиздат, 1988. 304 с.
15. Демкин Н. Б., Измайлов В. В. Развитие учения о контактной жесткости // Инженерный журнал, 2003. № 9 // Приложение к журналу. Справочник. — с. 7-10.
16. Демкин Н. Б. Теория контакта реальных поверхностей и трибология // Трение и износ, 1995. Т. 16, № 6. с. 1003-1024.
17. Ицкович Э. Современные датчики и тенденции их развития // Электронные компоненты.-2003,-с.23-26.
18. Кашкаров А.П. Фото- и • термодатчики в электронных схемах. М: «Альтекс»; 2004. - 222 с.
19. Колганов В.Н., Папко A.A., Трофимов А.Н. Особенности решения проблемы взаимодействия градуировочных и измерительных средств при разработке и серийном производстве линейных акселерометров // Датчики и системы. 2000. - № 7. - с. 70-71.
20. Космические навигационные системы / Под редакцией Романова JI.M.-MO РФ, 1994.-632С.
21. Кофлин Р., Дрискол Ф. Операционные усилители и линейные интегральные схемы. М: Мир, 1979. - 360 с.
22. Левшина Б. С., Фетисов М. М. Вопросы расчета компенсационных приборов-для измерения обобщенной механической силы. Приборостроение, 1964. № I.e. 1-5.
23. Левшина Б. С., Новицкий.П. В. Электрические измерения физических величин. Измерительные преобразователи. Л.: Энергоатомиздат, Ленингр. отд-ние, 1983. 320 с.
24. Левшина Б. С. Некоторые вопросы расчета погрешностей магнитоэлектрических обратных преобразователей. Труды ЛПИ им. М.И. Калинина, 1961, № 3. с. 83-90.
25. Ленк Дж. Руководство для пользователей операционных усилителей. -М: Связь, 1978.-326 с.
26. Можаев A.C. Автоматизированное логико-вероятностное моделирование технических систем. СПб.: Военный инженерно-технический университет, 1999. - 63 с. :
27. Можаев A.C. Общий логико-вероятностный: метод анализа надежности сложных систем. Л-: BMA, 1988. - 67 с. .
28. Можаев A.C. Современное состояние и некоторые паправления.разви-тия; логико-вероятностных методов? анализа систем. 4.1 // Теория и информаци- . онная технология: моделирования безопасности сложных систем. Вып.Г. СПб;: ИПМАШ РАН, 1994. с.21 -53
29. Можаев A.C. Теоретические основы общего логико-вероятностного метода автоматизированного моделирования систем. СПб: БИТУ, 2000. — 145 с.
30. Можаев A.C. Учет временной; последовательности отказов элементов в логико-вероятностных моделях надежности // Межвузовский сборник:. Надежность систем энергетики. Новочеркасск НИИ, 1990; - с.94-103
31. Мокров Е. А. Датчики и преобразующая аппаратура НИИ физических измерений для авиационно-космической'техники и других отраслей народного хозяйства // Электронные компоненты.-2003;-№2.-с.35-40.
32. Мокров Е. А., Папко А. А., Колганов В. Н. Технологии микромеханики в акселерометрах НИИ физических измерений. Труды международной научно-технической конференции. "Искусственный интеллект", 2001. № 3.с. 658-670.
33. Мокров Е. А. Папко А. А. Об оптимизации функций обратных преобразователей компенсационных акселерометров. Измерительная техника, 2004. №5. с. 41-43.
34. Мокров Е. А., Папко А. А. О фликер-шумах в компенсационных акселерометрах // Научно-технический сборник. Совершенствование датчиков физических величин. Сер. VI, Методы и средства преобразования сигналов / М.: ЦНТИ "Поиск". 1990. Вып. 2. с. 42-47.
35. Мокров Е. А., Папко А. А. Предельно достижимая разрешающая способность в компенсационных акселерометрах // Радиотехника, 1996. № 2. с. 102-104.
36. Мокров Е. А., Папко А. А. Статико-динамические акселерометры для ракетно-космической техники. Пенза : ПАИИ, 2004. 164 с.
37. Мокров Е. А. Состояние и перспективы развития акселерометров НИИ< физических измерений // Актуальные проблемы авиационных и аэрокосмических систем: процессы, модели, эксперимент, 1998. № 1. с. 6-24.
38. Основные термины в области метрологии. Словарь-справочник. Юдин М. Ф. и др. Под ред. Ю. В. Тарбеева. М.: Изд-во стандартов, 1989. 113 с.
39. Острейковский В.А., Швыряев Ю.В. Безопасность атомных станций. Вероятностный анализ. М.: Физматлит, 2008. — 352 с.
40. Папко А. А., Калинин М. А., Алексеева В. В. Оптимизация структур микромеханических акселерометров // Измерительная техника. 2011. - № 3. - С. 1921.
41. Прочность. Устойчивость. Колебание. Справочник в 3 т.- 2 / Под ред. И. А. Биргера и Я. Г. Пановко. М. : Машиностроение, 1968. 463 с.
42. РМГ 29-99. Метрология. Основные термины и определения.
43. Развитие теории контактных задач в СССР / Под редакцией JI. А. Галина. М.: Наука, 1976. 612 с.
44. Распопов В. Я. Микромеханические приборы. Учебное пособие. Тул. Гос. Университет. Тула, 2002. 392 с.
45. Рябинин И.А. Надежность и безопасность сложных систем. СПб.: Политехника, 2000. - 248 с.66: Сиберт У. М. Цепи, сигналы, системы: в 2-х ч. М.: Мир, 1988. - 336 с.
46. Скаморин Д. А., Алексеева В. В. Метод компенсации температурной погрешности коэффициента преобразования прецизионных акселерометров / // Известия высших учебных заведений. Поволжский регион. Технические науки. — 2009.-№1.- С. 118-124.
47. Соколов JT.B., Архипов C.B., Школьников В.М. Исследование механизма глубинного анизотропного химического травления при формированииобъемных микромеханических структур в кремнии (100) // Микроэлектроника. -2003. Том 32. -№ 3. -С.194-201.
48. Суслов А. F., Аверченков В. И., Горленко О. А. и др. Технологическое обеспечение и повышение контактной жесткости и износостойкости деталей // Инженерный журнал, 2003. № 9. Приложение к журналу, с. 2-7.
49. Сысоева С. Теоретические основы инерциальной навигации // Компоненты'и технологии. 20 И. - №2.-с. 28-32.
50. Туричин А. М., Новицкий П. В., Левшина Е. С. и др. Электрические измерения неэлектрических величин. Л:: Энергия, 1975. 576 с. •
51. Туричин А М; Электрические измерения неэлектрических величин. М.-Л.: Энергия, 1966. 690 с.
52. Фрайден Дж. Современные датчики. М.: Техносфера, 2005. - 588 с.
53. Черкасов Г.И. Логико-вероятностные методы расчета надежности структурно-сложных систем- // Качество и надежность изделий; - М.: Знание, 1991. — Вып.3
54. Шахов Э.К., Михотин В;Д. Интегрирующие развертывающие преобразователи напряжения.-М:Э)нергоатомиздат, 1986. 142 с.
55. Штрапенин F. Интегральные датчики температуры фирмы National Semiconductor//Компоненты и технологии. 2005. - №3. - с. 46-49
56. Щербаков В ¡И., Грездов Г.И. Электронные схемы на операционных усилителях. Киев: Техника, 1983. - 213 с.
57. Электрические измерения неэлектрических величин / Под редакцией Новицкого П. В. Л. : Энергия, Ленингр. отд-ние, 1975. 576 с.
58. Impact sensor for vehicle safety restraint system. United States Patent 5,177,370. Опубл. 5.01.1993.
59. Magnetically biased velocity change sensor. United States Patent 4,329,549. Опубл. 11.05.1982 (Breed Corporation)
60. Mini-Q Accelerometers. Allied Signal. For more information.
61. Mozhaev A.S. Theory and practice of Automated structural-logical Simulation of system. International Conference on Informatics and Control, torn 3. St. Petersburg SPNRAS, 1997. — p.l 109-1118.
62. Passenger compartment sensor requiring substantial velocity change. United States Patent 4,573,706. Опубл. 4.03.1986 (Breed Corporation).
63. Servo Accelerometer Type JA-5. Japan Aviation Electronics Industry, Limited.
64. Q-Flex QA-3000 Accelerometer. Honeywell. For more informations.
65. Velocity change sensor. United States Patent 4,284,863. Опубл. 18.08.1981. (Breed Corporation)
66. Velocity change sensor with spring bias. United States Patent 5,031,931. Опубл. 16.07.1991 (Breed Automotive Corporation).
Обратите внимание, представленные выше научные тексты размещены для ознакомления и получены посредством распознавания оригинальных текстов диссертаций (OCR). В связи с чем, в них могут содержаться ошибки, связанные с несовершенством алгоритмов распознавания. В PDF файлах диссертаций и авторефератов, которые мы доставляем, подобных ошибок нет.