Выделение пространственных неоднородностей в оптических полях, рассеянных на технологически обработанных поверхностях тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.03, кандидат физико-математических наук Проскурин, Дмитрий Константинович

• Проскурин, Дмитрий Константинович
• кандидат физико-математических наук
• 2000

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Проскурин, Дмитрий Константинович

Введение

1. АНАЛИЗ ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ И МЕТОДОВ ОПТИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ СТАТИСТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИ ОБРАБОТАННЫХ

ПОВЕРХНОСТЕЙ

1.1. Анализ особенностей применения дифракционных теорий рассеяния оптических волн на технологически обработанных поверхностях

1.1.1. Общая модель Кирхгофа.

1.1.2. Дифракционная модель рассеяния Релея-Райса.

1.1.3. Сравнительный анализ дифракционных теорий для технологически обработанных поверхностей

1.2. Спектральный подход к анализу качества технологически обработанных поверхностей

1.3. Исследование формирования "разделяемого" спектра рассеяния на примере синусоидальной фазовой решетки

1.4. Особенности оптических спектров рассеяния на грубо обработанных поверхностях

1.5. Математические модели описания структуры рассеянных полей на поверхностях с дефектами

1.6. Анализ методов оценки статистических характеристик рассеивающей поверхности и выделения дефектов

1.7. ВЫВОДЫ

2. ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ДИФРАКЦИОННОЙ МОДЕЛИ ПРОЦЕССОВ РАССЕЯНИЯ В ИССЛЕДОВАНИИ СТРУКТУРЫ РАССЕЯННЫХ ПОЛЕЙ ОТ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИ ОБРАБОТАННЫХ ПОВЕРНОСТЕЙ

2.1. Представление контролируемых технологически обработанных поверхностей в качестве случайного модулирующего звена когерентной подсветки

2.1.1. Общие замечания по совмещению теории процессов рассеяния и теории модулирующих процессов систем обработки информации.

2.1.2. Аналитическое представление рассеянной волны в виде шумовой компоненты в сигнальном источнике о состоянии гладкой поверхности

2.1.3. Аналитическое представление рассеянной волны в виде шумовой компоненты в сигнальном источнике о состоянии грубой поверхности

2.2. Исследования особенностей структуры рассеянных полей на технологически обработанных поверхностях

2.3. Влияние анизотропии корреляционных свойств обработанных поверхностей на форму оптических спектров рассеяния

2.4. Использование вероятностной модели процессов рассеяния в анализе оптического спектра рассеяния при наличии периодической компоненты в рельефе

2.5. Исследование эффекта асимметрии спектров рассеяния в амплитудно — фазовом приближении

2.6. ВЫВОДЫ

3. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ДЕФЕКТОВ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИ ОБРАБОТАННЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ НА СТРУКТУРУ РАССЕЯННЫХ ВОЛН ОПТИЧЕСКОГО ДИАПАЗОНА

3.1. Общие вопросы влияния дефектов на характеристики рассеянного поля

3.2. Обоснование использования корреляционно — спектрального анализ рассеянного излучения на поверхности с дефектами

3.3. Соотношение оптических спектров рассеяния от грубой подстилающей поверхности и дефекта

3.4. Исследование процессов рассеяния на поверхности с дефектами в ближней и промежуточной волновых зонах

3.5. Компьютерное моделирование процессов рассеяния на поверхности с дефектами

3.5.1. Численный синтез одно и двумерных случайных процессов с заданными характеристиками. Теоретическое обоснование

3.5.2. Численный синтез одно- и двумерных случайных процессов с заданными характеристиками. Программная реализация

3.5.3. Синтез моделей случайных поверхностей с дефектами

3.5.4. Численное моделирование процессов рассеяния на случайных поверхностях с дефектами

3.5.5. Численное моделирование рассеяния оптической волны на поверхности с дефектами в дальней зоне

3.5.6. Численное моделирование рассеяния оптической волны на поверхности с дефектами в ближней и промежуточной волновых зонах

3.6. ВЫВОДЫ

4. РАЗРАБОТКА МЕТОДОВ ОПТО-ЦИФРОВОГО КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИ ОБРАБОТАННЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ С

ВОЗМОЖНОСТЬЮ ОБНАРУЖЕНИЯ ДЕФЕКТОВ

4.1 Системные представления процессов рассеяния на поверхности

4.2 Системные представления процессов рассеяния на поверхности с дефектами

4.3 Исследования отношения сигнал-пгум рассеянных полей от ТОП с дефектами в ближней и дальней волновых зонах

4.4 Методы обработки сигнала рассеяния в пространственной спектральной плоскости подстилающей поверхности

4.4.1 Методы обработки сигналов рассеяния в спектральной плоскости соответствующей подстилающей поверхности

4.4.2 Методы обработки анизотропных спектров рассеяния

4.5 Обоснование методов обработки широкополосных спектров рассеяния от поверхности с дефектами.

4.6 Принципиальные схемы систем обработки рассеянных полей в дальней зоне

4.7 Применение методов оптоэлектронной обработки рассеянных полей в зоне формирования спектров рассеяния дефектов

4.8 ВЫВОДЫ

5. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ПРОЦЕССОВ РАССЕЯНИЯ НА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИ ОБРАБОТАННЫХ ПОВЕРХНОСТЯХ С ДЕФЕКТАМИ

5.1 Описание контактных измерений статистик случайных рассеивателей и дефектов

5.2 Экспериментальные исследования процессов рассеяния

5.2.1 Описание лабораторного стенда

5.2.2 Анализ спектров рассеяния от кромок стекла, подвергшегося термическому и механическому разрушению

5.2.3 Анализ спектров рассеяния кремниевых пластин с эпитаксиальным напылением

5.3 ВЫВОДЫ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Выделение пространственных неоднородностей в оптических полях, рассеянных на технологически обработанных поверхностях»

В последнее время в связи с широким распространением оптоциф-ровых устройств обработки информации, ряд задач автоматического контроля и управления получили свое развитие на основе построения гибридных АСУ, где решающая часть представлена цифровыми устройствами, а приемная и обрабатывающая- оптоэлектронными элементами. Достаточно широко такие системы используются при обработке пространственных сигналов оптических длин волн.

Синтез таких АСУ имеет следующие особенности: •первичное представление информации в виде пространственного сигнала;

•необходимость предварительной обработки первичной информации для выделения полезных сигналов на фоне шумов;

•использование телевизионных методов преобразования и отображения полученной информации и автоматизация функционирования системы в целом с помощью вычислительных устройств высокой степени интеграции;

Такие системы оптоцифровой обработки информации включают в себя два основных звена:

•звено предварительной оптоцифровой обработки информации; • звено цифровой обработки сигнала, полученного после первичной обработки на предмет присутствия полезной информации с последующей выдачей управляющей или визуальной информации;

Одним из основных преимуществ использования микропроцессорных систем в данном случае является их адаптивность к искажающим факторам, присутствующим на различных участках каналов передачи информации, а также их гибкость в условиях изменения свойств измеряемых параметров объекта, вызванных технологическими факторами.

В свою очередь преимуществами первичной пространственной обработки сигналов являются :

•высокоскоростная двумерная обработка информационных массивов пространственных сигналов;

•возможность реализации комплексной симметричной передаточной функции;

Практическая ценность обозначенных выше оптоэлектронных систем контроля и управления в промышленности определяется крутом инженерных задач, решаемых с их помощью. В настоящее время существует необходимость контроля качества поверхностей изделий, получаемых после различных технологических операций в ряде современных производств. Жесткие ограничения, по времени накладываемые на операцию получения информации о состоянии поверхностей, являются определяющими в выборе физических принципов дистанционного контроля качества. При этом существует необходимость в оценке как статистических характеристик контролируемой поверхности в целом, так и обнаружения и оценки параметров присутствующих дефектов. Информация такого рода может быть использована для принятия решения о дальнейшей обработке изделия, его отбраковке или в каналах обратной связи систем управления режимами процессов получения контролируемых поверхностей.

Одной из таких задач является технологический контроль качества поверхности стеклоизделий, подвергшихся термическому разрушению посредством воздействия мощного С02 лазера. Сходные проблемы контроля качества продукции существуют в полупроводниковой промышленности, где предъявляются высокие требования к качеству кремниевой подложки, а также эпитаксиального слоя на ней.

С развитием элементной базы оптоэлектронных устройств обработки информации, в частности, динамически программируемых пространственных модуляторов света, а также с появлением источников электромагнитных волн с высокой пространственной когерентностью оптического и инфракрасного диапазонов перспективными представляются методы пространственной обработки оптических волн, рассеянных на контролируемых технологически обработанных поверхностях. Следует отметить, что существующие системы, основанные на данном принципе, носят в основном экспериментальный характер или направлены на работу в производствах с малой интенсивностью выпуска изделий контроль кремниевых пластин с эпитаксиальным напылением в электронной промышленности).

Теоретические аспекты оптических принципов контроля поверхностей связаны с решением дифракционной задачи на случайном амплитудно-фазовом транспаранте. В то время как для статистически однородных рассеивающих поверхностей существуют хорошо разработанные аналитические методы анализа структуры рассеянных полей (метод возмущений Релея, метод Кирхгоффа) в зависимости от характера шероховатостей рассеивателя, влияние поверхностных дефектов на результирующие спектры рассеяния изучены слабо. Прежде всего, это связано с невозможностью описания процессов рассеяния на поверхностях с дефектами исключительно в рамках корреляционно — спектральной теории ввиду их очевидной нестационарности. Аддитивное представление результирующей поверхности с дефектом по аналогии с представлением смеси сигнал-шум в теории обработки информации не позволяет адекватно моделировать процесс модуляции подсвечивающей волны таким результирующим рассеивателем из-за нарушения геометрии дефекта при его сложении с подстилающей поверхностью. В свою очередь, только аппликативное представление процессов рассеяния на подстилающей поверхности и на дефекте не позволяет учитывать эффекты когерентности, возникающие при взаимодействии волн, рассеянных от соответствующих частей рассеяивателя. Фактор когерентности может оказывать существенное влияние на результирующие спектры рассеяния в случае трендовых и "коротких" дефектов.

Присутствие дополнительно амплитудной модуляции волны на грубом рассеивателе, обусловленное непостоянством коэффициента отражения Френеля для больших углов наклона граней рассеивателя также усложняет анализ результирующих спектров рассеяния.

Отдельный интерес представляют исследования изменения структуры рассеянных полей, например, их корреляционных свойств и распределения интенсивности, с изменением расстояния от контролируемой поверхности. В настоящее время методы контроля в основном ориентированы на обработку спектров рассеяния в дальней волновой зоне. Вместе с тем анализ структуры рассеянных полей в ближней волновой зоне и дальше, показывает ряд преимуществ при их использовании в качестве входного сигнала в задачах обнаружения и оценки дефектов.

Экспериментальные методы исследования процессов рассеяния на поверхности с дефектами затруднены ввиду технических сложностей по подготовке образцов с точно выполненной геометрической структурой дефекта и статистиками подстилающей поверхности.

Наряду с изучением влияний свойств технологически обработанных поверхностей и дефектов на структуру рассеянных полей, построение систем дистанционного контроля требует решения вопросов, связанных с выбором методов обработки пространственных сигналов рассеяния и оценки эффективности таких методов.

Рассматривая задачу обнаружения дефектов и оценки их параметров как процесс выделения некоторых пространственных неоднородно-стей в результирующих рассеянных полях, отметим следующее. Учитывая некоторую неопределенность значений параметров дефектов (глубина, высота, и т.д.) ввиду случайной природы их образования, о полезном сигнале целесообразно говорить как о классе сигналов с изменяющимися в некотором диапазоне характерными параметрами. Таким образом, возникает необходимость в построении пространственных фильтров квазиоптимизированных некоторым образом на класс полезных сигналов, что одновременно позволяет избавиться от многоканальной схемы обработки. Как следствие, при этом требуется оценивать эффективность синтезируемого фильтра в сравнении с оптимальным, так как некоторый проигрыш, например, в выходном отношении сигнал-шум, возникающий при квазиоптимизации, может влиять на точность полученной информации о наличии дефекта и его параметрах. Задача синтеза пространственных фильтров усложняется также тем обстоятельством, что структура как технологически обработанных подстилающих поверхностей, так и некоторых типов случайных дефектов анизотропная, вследствие чего пространственная структура соответствующих частей результирующих спектров рассеяния не радиально симметричная.

Таким образом, целью работы является разработка оптоэлектрон-ных методов реального времени дистанционного контроля качества технологически обработанных поверхностей различной степени грубости. При этом необходимо решение следующих задач:

•Анализ влияния состояния технологически обработанных поверхностей, а так же их поверхностных дефектов на структуру рассеянных волн оптического диапазона в различных дифракционных приближениях; •Выбор форм пространственных сигналов рассеяния от поверхности для обнаружения и оценки на их основе параметров локальных неоднород-ностей;

•Разработка методов пространственной обработки сигналов рассеяния в ближней, около ближней и дальней волновых зонах формирования рассеянных полей от контролируемых поверхностей с дефектами; •Квазиоптимизация пространственных фильтров на классы сигналов рассеяния, соответствующие различным типам дефектов. При этом квазиоптимизация должна учитывать возможно анизотропный характер как подстилающей поверхности, так и локального дефекта; •Оценка эффективности предлагаемых методов обработки пространственных сигналов рассеяния.

Научная новизна диссертации заключается в полученных теоретических и экспериментальных результатах влияния состояния технологически обработанных поверхностей и дефектов на структуру спектров рассеяния в различных приближениях дифракционной задачи и обоснование эффективности оптоцифровых методов обработки результирующих спектров рассеяния на основе квазиоптимальной пространственной фильтрации.

Практическая ценность работы.

1.Полученные аналитические зависимости между скоростью трансформации рассеянных полей с расстоянием и степенью грубости технологически обработанных поверхностей могут быть положены в основу принципиально новых методов дистанционного контроля качества поверхностей, не требующих дорогостоящих устройств в отличие от существующих оптоэлектронных систем реального времени;

2.На основе найденных соотношений между спектрами рассеяния подстилающих поверхностей и различных типов дефектов, а также предлагаемых методов квазиоптимизации соответствующих пространственно-частотных фильтров, число обрабатывающих каналов систем дистанционной контроля может быть сокращено без заметного проигрыша в отношении сигнал-шум на выходе таких устройств;

3.Результаты анализа эффективности применения динамически программируемых модуляторов оптических волн в различных плоскостях формирования сигналов рассеяния могут быть использованы при разработке оптоэлектронных систем дистанционного контроля реального времени, ориентированных как на пространственно-спектральную обработку рассеянных полей, так и на конволюционную обработку в ближней волновой зоне относительно подстилающей поверхности.

Достоверность полученных в работе аналитических и численных моделей процессов рассеяния на технологически обработанных поверхностях с дефектами подтверждена результатами экспериментов, проведенных как в рамках диссертационной работы, так и найденных в современной литературе. На защиту выносятся:

1.Корреляционно-спектральный анализ структуры полей, рассеянных на технологически обработанных поверхностей с различными типами локальных неоднородностей;

2.Аналитическая модель трансформации рассеянных полей с расстоянием от поверхностей различной грубости с дефектами;

З.Численный синтез нормальных профилей и изотропных или анизотропных случайных поверхностей с заданными корреляционными и дисперсными свойствами и процессов рассеяния на них в различных приближениях задачи дифракции;

4.Разработка пространственных фильтров, квазиоптимизированных на характерный параметр класса сигналов рассеяния, анизотропных в том числе, соответствующих различным типам поверхностных дефектов, и оценка их эффективности;

5.Обоснование фазовой обработки широкополосных спектров рассеяния поверхностных дефектов;

1. Анализ физико — математических моделей и методов оптических измерений статистических свойств технологически обработанных поверхностей

В основе современных оптоэлектронных методов контроля качества технологически обработанных поверхностей (ТОП) лежат различные физические принципы и математические модели их описания. В связи с этим анализ основных научных и прикладных вопросов, касающихся современных оптических измерений состояния ТОП, необходим для уточнения цели данного исследования.

Заключение диссертации по теме «Радиофизика», Проскурин, Дмитрий Константинович

Общие выводы по работе

На основании полученных в диссертационной работе результатов, можно сделать следующие основные теоретические и практические выводы:

1. Структура спектров рассеяния определяется статистическими характеристиками рассеивающих поверхностей и может быть использована в качестве информационного источника в системах дистанционного контроля качества ТОП. В частности, для грубых ТОП (кромки стекла после термического разрушения) эффективная ширина спектров рассеяния определяется величиной среднего наклона граней. Для гладких ТОП (кремниевых пластин с эпитаксиальным напылением), спектры рассеяния зависят от своей корреляционной длины. Спектры рассеяния позволяют определять наличие анизотропии исследуемой поверхности.

2. Асимметрия спектров рассеяния на грубых ТОП, обусловленна как ненулевым углом подсветки так и присутствием амплитудной модулирующей компоненты. При этом отклонение максимума спектра рассеяния от зеркального направления функционально связано с величиной среднего наклона граней для грубых ТОП.

3. Спектрально-корреляционный анализ скорости формирования спектров рассеяния с расстоянием от поверхности показывает определяющее значение в этом процессе степени грубости рассеивателя (характерного параметра), на основании чего может быть построен принципиально новый метод измерения качества ТОП.

4. Предлагаемая численная модель структуры рассеянных полей от ТОП различной структуры с локальными дефектами дает хорошее совпадение с известными теоретическими и практическими результатами теории ПР оптических волн. Одновременно на ее основе могут проводится численные эксперименты по исследованию влияния дефектов различной структуры на характеристики рассеянных полей, а также анализировать эффективность методов обработки рассеянных полей на предмет обнаружения дефектов в различных дифракционных приближения ПР.

5. Сравнительная оценка по критерию сигнал—шум оптимальной и квазиоптимальной обработки класса пространственных сигналов рассеяния, в качестве которого выступают дефекты одной структуры с одновременно различными значениями характерных параметров, показывает перспективность применения полосовых квазиоптимальных пространственных фильтров. Предложены радиально усредненные фильтры при анизотропных спектрах рассеяния как подстилающей поверхности, так и дефекта. Оценен проигрыш по критерию сигнал шум на выходе таких устройств в сравнении с оптимальными.

6. Показана эффективность фазовой обработки широкополосных спектров рассеяния дефектов с волнообразной структурой на высоких пространственных частотах. Использование фазовых фильтров позволят получать высокие значения корреляционных выбросов на выходе при неизменной мощности подсвечивающего излучения.

7. Предложены принципиальные схемы обработки рассеянных полей в различных зонах формирования спектров рассеяния как дефектов, так и подстилающих поверхностей на основе современных динамически программируемых модуляторов света. Использование последних позволяют реализовать конволюционную систему обнаружения дефектов в зоне их качественного формирования спектров рассеяния, где отношение сигнал-шум результирующего сигнала рассеяния невелико и становится возможным определить координаты дефекта.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Проскурин, Дмитрий Константинович, 2000 год

1. Басс Ф.Г., Фукс И.М. Рассеяние волн на статистически не ровной поверхности. -М.: Наука, 1972, 424с., ил.

2. Beckmann P. Spizzichino A. The scattering of electromagnetic waves from rough surfaces. Pergamon, New York, 1963.

3. Ахманов C.A., Дъяков Ю.Е., Чиркин A.C. Введение в статистическую радиофизику и оптику. М: Наука, 1981, 640с.

4. Гудмен Дж. Введение в фурье-оптику. М: "Мир", 1970, 364с.

5. Кондратенков Г.С. Обработка информации когерентными оптическими системами. М: "Советское радио", 1972, 208с.

6. Гудмен Дж. Статистическая оптика. М: "Мир", 1988, 528с.

7. Peters J., Lehmann P. Measuring rougness with dichromatic speckle correlation.// Proc. SPIE 1996, vol. 2782, p 58.

8. Kotlyar V., Pankov I. The scattering of laser light from a relief surface with finite conductivity.// Proc. SPIE 1995, vol 2648, p. 509.

9. Рытов C.M., Кравцов Ю.А., Татарский В.И. Введение в статистическую радиофизику. Москва: Наука, 1976.

10. Stover John С. Optical Scattering Measurement and Analysis. Second Edition. - Washington, USA: SPIE Optical Engineering Press, 1995, 322c.

11. Takakura Y., Schon U., Meyrueis P. Very high angular selectivity system for measuring backscatter from rough surfaces.// Proc. SPIE 1993, vol. 1995, p. 213.

12. Schiff T.F., Stover J.C., Surface statistics determined from IR scatter.// Proc. SPIE, vol. 1165, p. 52.

13. Kotlyar V.V., Pankov I.A., Zalylov O.K. The scattering of laser light from a relief surface with finite conductivity. //Proc. SPIE 1996, vol. 2648, p 509.

14. Котельников B.A. Теория потенциальной помехоустойчивости. Госэнергоиздат, 1956 г.

15. Davies Н. The reflection of electromagnetic waves form rough surfaces. //Proc. IEEE 1954, vol. 101, p. 209.

16. Топорец A.C. Оптика шероховатой поверхности. A.: "Машиностроение", 1988, 191с.

17. Harvey J.E. Surface scatter phenomena: a linear, shift — invariant process. Ph.D. dissertation, Univ. Arizona 1976.

18. DeSanto J.A., Wombell R.J. Some computational result for rough surface scattering.// Proc. SPIE 1991, vol. 1558, p. 202.

19. Mainguy S. Plane —wave expansions methods applied to the calculation of the optical scattering by one — dimensinal randomly rough dielectric surfaces. //Proc SPIE 1993, vol. 1995, p. 45.

20. Altshuler G.B., Beleshenkov N.R. Back —scattered light diagnostics of enamel and dentin surfaces. //Proc. SPIE 1996. Vol. 2732, p. 199.

21. Nebeker В., Starr G. Light scattering from patterned surfaces and particles on surfaces. //Proc SPIE 1995, vol. 2638, p. 274.

22. Rothe H., Duparre A., Truckenbrodt H. Real time detection of surface damage by direct assessment of the В RDF. //Proc. SPIE 1993, vol. 1995, p 168.

23. Truckenbrodt H., Duparre A. Roughness and defect characterization of optical surfaces by light scattering measurements. //Proc. SPIE 1992, vol. 1781, p. 139.

24. Gebhart M., Truckenbrodt H., Harnisch B. Surface defect detection and classification with light scattering. //Proc. SPIE 1991, vol. 1500, p. 135.

25. Bischoff J., Hehl K. Single feature metrology by means of light scatter analysis. //Proc. SPIE 1997, vol. 3050, p.574.

26. Lewis I., Ledebuhr A. Stray light implication of scratch/dig specification. //Proc. SPIE 1991, vol. 1530, p. 22.

27. Coulot C., Kohler —Hemmerlin S., Dumont C. Lighting study for an optimal defect detection by artificial vision. //Proc SPIE 1997, vol. 3029, p. 69.

28. Kylner C., Ingers J. Mattsson L. Scattering signature of isolated surface features. //Proc. SPIE 1993, vol. 1995, p. 66.

29. Josse M. Sensitivity of far —field speckle pattern to the small local changes of the rough surface geometry. //Proc. SPIE 1997, vol 3141, p. 32.

30. Leskova T.A., Maradudin A.A., Shchegrov A.V., Mendez E.R. Spectral changes of light scattered from bound medium with random surface. /Physical Rev. Letters 79, 1997, plOlO.

31. Shchegrov A.V., Maradudin A.A. Scattering of electromagnetic waves from a one — dimensional random metal surface with a localized defect. /Physical Rev. Letters 78, 1997, p. 4269.

32. Shchegrov A.V. Interaction of classical waves with rough surfaces. Ph.D. dissertation, Univ. California, Irvine 1998.

33. Harvey J.E., Lewotsky K.L. Scattering form multilayer coatings: a linear system model. //Proc. SPIE 1991, vol.1530, p. 35.

34. Castonguay R.J. A new generation high speed, high resolution, hemispherical scatterometer. //Proc. SPIE 1993, vol. 1995, p.152.

35. Church E.L., Jenkinson H.A., Javada J.M. Measurement of the finish of diamond —turned metal surfaces by differential light scattering. //Optical Engine, vol. 16, № 4, p. 360.

36. Kalinushkin V.P., Murin D.I., Yuryev V.A. Application of IR laser light scattering for non — destructive control of near —surface regions in semiconductor substrates. //Proc. SPIE 1993, vol. 2332, p. 146.

37. Очин Е.Ф. Вычислительные системы обработки изображений. Энергоатомиздат 1989, 132с.

38. Laude V. Characterization of SLM coding domains for implementation of optimal trade-off filters. //Proc. SPIE 1994, vol. 2297, p. 60.

39. Miller P.C., Royce M., Vigro P. Evaluation of an optical correlator automatic target recognition system for acquisition and tracking in densely clutter natural scenes. //Opt. Eng. 1999, vol. 38 (11), p. 1814.

40. Харалик P.M. Статистический и структурный подход к описанию текстур. //ТИИЭР. № 5 1979, том 67, с 98-121.

41. Прэтт У. Цифровая обработка изображений. Часть I, М: Мир 1982, 312с.

42. Прэтт У. Цифровая обработка изображений. Часть II, М: Мир 1982, 480с.

43. Ямпольский Э.М. Вариационные принципы согласования сигналов с каналом связи.-Москва: Радио и связь 1987, 136с.

44. Baumgart J.W., Truckenbrodt Н. Scatterometry of honed surfaces. //Optical Engineering 1998, vol. 37, № 5, p. 1435.

45. Mendez E.R., Ponce M.A., Ruiz V. Light scattering from one — dimensional surfaces with an even profile. //Proc. SPIE 1990, vol. 1331, p. 18.

46. Kissel A. Surface finish assessment of synthetic quartz glass. //Proc. SPIE 1996, vol. 2775, p. 140.

47. Мачулка Лазерная обработка стекла. -Москва:"Сов.радио",1979, 136с.

48. Разрушение. / Под ред. Г. Либовица. Том 7. Разрушение не металлов и композитных материалов. Ч. I. Неорганические материалы. М: "Мир", 1975, 635с.

49. Хусу А.П. Витенберг Ю.Р. Пальмов В.А. Шероховатость поверхности. -М.: "Наука", 1975, 343с.

50. Мидлтон Д. Введение в статистическую теорию связи. Часть I -М.: "Советское радио" 1962, 831с.

51. Мидлтон Д. Введение в статистическую теорию связи. Часть II -М.: "Советское радио" 1962, 831с.

52. Harvey J.E., Vernold C.L. Transfer function characterization of scattering surfaces : Revisited. //Proc. SPIE 1997, vol. 3141, p. 113.

53. Vernold C.L., Harvey J.E. Comparison of Harvey—Shack scatter theory with experimental measurements. //Proc. SPIE 1997, vol. 3141, p. 128.

54. Левин Б.P. Теоретические основы статистической радиотехники. -Часть II -М.: "Советское радио", 1966, 728с.

55. Wang Н., Mi Н. Inspection of diamond turning process by the combination of light scattreing and angular deflection techniques: a proposed method. //Opt. Eng. 1997, vol. 36, № 9, p. 2536.

56. Папулис А. Теория систем и преобразований в оптике. М: "Мир", 1971, 496с.

57. Вентцель Е.С. Теория вероятности. М: "Физ-мат. лит.", 1962, 565с.

58. Kuzmin S.Y., Ul'yanov S.S. Dynamic speckles formed by focused coherent fields scattering form rough surfaces with non — gausian statisitics. //Proc. SPIE1995, vol. 2544, p. 317.

59. Левин Б.P. Теоретические основы статистической радиотехники. -Часть I -М.: "Советское радио", 1966, 728с.

60. Беннет В.Р. Теория шумов. /Сб. статей Современная радиолокация, анализ, расчет и проектирование систем, под. ред. Кобзарева Ю.Б., Сов. Радио, Москва 1969.

61. Monagan М.В. Geddes К.О. Maple V. Programming Guide.- Springer,1996, 380c.

62. Такер М.Г. Анализ записи флюктуирующего сигнала конечной длительности. Сборник статей под редакцией В.И. Чайковского, Тех. литература УССР, Киев 1962.

63. Proskurin D.K., Khromykh V.G., Orlov A.S. Optoelectronic methods for detecting a surface defect and estimation of their parameters by coherent illumination. /Proc SPIE. In press.

64. Хромых В.Г., Орлов А.С., Проскурин Д.К. Использование когерентной подсветки в определении макрогеометрии поверхности. /Научно —техн. конф. Распознавание образов и анализ изображений: новые информационные технологии. Н. Новгород, 1997.

65. Хромых В.Г., Орлов А.С., Проскурин Д.К. Обоснование использования пространственного коррелятора при измерении макрогеометрии поверхности стекла после лазерной резки. /Научно—техн. конф. Современные проблемы сварочной науки и техники. Воронеж 1997.

66. Хромых В.Г., Орлов А.С., Проскурин Д.К. Обнаружение дефектов на грубой поверхности в отраженной электромагнитной волне оптическогодиапазона. /Всероссийская научно —техн. конф.

67. Компьютерные технологии в соединении материалов. Тула 1998.

68. Хромых В.Г., Орлов А.С., Проскурин Д.К. Оценка качества поверхности реза стекла с помощью когерентной подсветки. /Международная научно —техн. конф. Научно — технические проблемы в области стекла и стеклокристаллических материалов. Белгород 1997.

69. Хромых В.Г., Орлов А.С., Проскурин Д.К., Маковий В.А. Моделирование процессов рассеяния в решении задач контроля качества поверхностей. /Международная научно —техн. конф. Авиация XXI века. Воронеж 1999.

70. Khromykh V.G., Orlov A.S., Proskurin D.K. Use of coherent illumination in determination of surface macrogeometry. Pattern recognition and image analysis.// Vol. 8, № 3, 1998, p. 458-459.

71. Proskurin D.K., Khromykh V.G., Orlov A.S. Optoelectronic methods of surface control. Optical Engineering Bulletin (SPIE/UA).№ 4, 2000.

72. Лазеры в технологии. Под редакцией М.Ф. Стельмаха. Москва,-Энергия, 1975, 216 с.

73. Ламберт Л. Оптическая корреляция. /Сб. статей Современная радиолокация, анализ, расчет и проектирование систем, под. ред. Кобзарева Ю.Б., Сов. Радио, Москва 1969.

74. Кук Ч. Сжатие импульсов с линейной частотной модуляцией. /Сб. статей Современная радиолокация, анализ, расчет и проектирование систем, под. ред. Кобзарева Ю.Б., Сов. Радио, Москва 1969.

75. Гуткин Л.С. Теория оптимальных методов радиоприема при флуктационных помехах. -М:"Сов. радио", 1972, 448с.

76. Левшин В.А. Обработка информации в оптических системах пеленгации. М: "Машиностроение", 1978, 168с.

77. Аблеков В.К. Зубков П.И. Фролов А.В. Оптическая и оптоэлектронная обработка информации. М: "Машиностроение", 1976, 256с.

78. Кейсесент Д. Оптическое когерентное распознавание образов. //ТИИЭР. № 5 1979, том 67, с 131-149.

79. Левшин В.Л. Некоторые соотношения оптимальной пространственной фильтрации. В кн. Анализ и синтез систем автоматического управления. М.: Наука 1968, с 173-179.

80. Левшин В.Л. Характеристики подоптимальных пространственных фильтров. /В кн. Анализ и синтез систем автоматического управления. М.: Наука 1968, с 180-188.

81. Ананов Н.И., Кирдяшев К.П. Оптимальная и подоптимальная фильтрация пространственных сигналов при коррелированных шумах. //Радиотехника и электроника 1964, № 3, с 1127.

82. Кирдяшев К.П. О пространственной изотропной фильтрации коррелированного шумового фона. Радиотехника и электроника 1966, № 4, с 1127.

83. Bains S. Programmable image rotator has no moving parts. //OE Reports № 175, 1998.

84. Davis J.A., Cottrell D.M., Tiangco R.P. Analysis of the phase-only filter. //Proc. SPIE 1995, vol. 2490, p.77.

85. Kumar V., Hendrix C.D. Phase-only filters that best approximate the classical matched filters outputs. //Proc. SPIE 1992, vol. 1701, p. 112.

86. Ahouzi E., Compos J. Binary amplitude phase —only filter with high multiobject discrimination capability. //Opt. Eng. 1998, vol. 37 № 8, p. 2351.

87. Hasenplaugh W.C., Neifeld M.A. Image binarization techniques for correlation-based pattern recognition. //Opt. Eng. 1999, vol. 38 № 11, p. 1907.

88. McClain J.L., Don A. Gregory. Phase encoded vs. intensity encoded inputs to optical correlators. //Proc. SPIE 1995, vol. 2490, p. 222.

89. Егорова С.Д. Колесник B.A. Оптико-электронное цифровое преобразование изображений. М: "Радио и связь", 1991, 207с.

90. Отнес Р., Эноксон Л. Прикладной анализ временных рядов. Часть I. Основные методы М.: "Мир" 1982, 428с., ил.