Времяпролетная масс-спектрометрия с импульсной газоразрядной ионизацией в полом катоде для анализа твердотельных проб тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 02.00.02, кандидат технических наук Кузьменков, Михаил Александрович

• Кузьменков, Михаил Александрович
• кандидат технических наук
• 2006

Оглавление диссертации кандидат технических наук Кузьменков, Михаил Александрович

ВВЕДЕНИЕ

1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР

1.1. Масс-спектральные методы анализа твердотельных образцов

1.1.1. Искровая масе-спектрометрия

1.1.2. Масс-спектрометрия вторичных ионов и нейтральных 6 распыленных атомов

1.1.3. Масс-спектрометрия с лазерной абляцией

1.1.4. Резонансно-ионизационная масс-спектрометрия

1.1.5. Масс-спектрометрия с индуктивно-связанной плазмой

1.1.6. Масс-спектрометрия тлеющего разряда

1.1.6.1. Постоянного тока

1.1.6.2. Переменного тока (радиочастотный)

1.1.6.3. Импульсный

1.2. Газоразрядные источники, используемые в масс-спектральном 16 анализе твердотельных образцов

1.3. Типы масс-спектрометров

1.3.1. Времяпролетная масс-спектрометрия

2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ

2.1. Описание экспериментальной установки

2.2. Описание работы установки

2.3. Рабочие параметры времяпролетного масс-спектрометра

2.4. Конструкция газоразрядного интерфейса

3. ИССЛЕДОВАНИЕ И ОПТИМИЗАЦИЯ ПАРАМЕТРОВ СИСТЕМЫ С 48 ИМПУЛЬСНОЙ ИОНИЗАЦИЕЙ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ ОБРАЗЦОВ В ПОЛОМ КАТОДЕ И ВРЕМЯПРОЛЕТНЫМ ДЕТЕКТИРОВАНИЕМ ИОНОВ

3.1. Исследование и оптимизация параметров газоразрядного 48 интерфейса

3.1.1. Напряжение смещения пары катод - анод относительно 48 потенциала земли

3.1.2. Расстояние между сэмплером и скиммером

3.1.3. Частота следования импульсов разряда

3.1.4. Длительность импульсов разряда

3.1.5. Состав газовой смеси и давление в разрядной ячейке

3.1.6. Задержка выталкивающего импульса

3.1.7. Эффект памяти

3.2. Математическая обработка масс-спектров

4. АНАЛИЗ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ ОБРАЗЦОВ

4.1. Процедуры градуировки и протоколирования результатов 66 анализа

4.2. Анализ проводящих проб

4.2.1. Подготовка пробы к анализу

4.2.2. Анализ высокочистой меди

4.2.3. Анализ свинца

4.2.4. Анализ инструментальной стали 78 4.3. Анализ диэлектрических проб

4.3.1. Подготовка пробы к анализу

4.3.2. Анализ стекловидного шлака свинцового производства и 81 боросиликатного стекла

4.4. Пределы обнаружения и воспроизводимость результатов 84 анализа

ВЫВОДЫ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Времяпролетная масс-спектрометрия с импульсной газоразрядной ионизацией в полом катоде для анализа твердотельных проб»

Прямой анализ различных твердотельных материалов приобретает всебольшее значение в современной науке и промышленности. Его необходимостьобусловлена в первую очередь все возрастающими потребностями создания ипроизводства новейших высокотехнологичных материалов, используемых как внаукоемких, так и в повседневных областях человеческой деятельности. Восновном такие материалы представляют собой твердые образцы, требующиеэкспрессного и высокоточного анализа, причем часто диапазон определяемыхконцентраций лежит в очень широких пределах - от миллионных долей додесятков процентов масс. Это могут быть совершенно различные образцы - какпроводящие электрический ток, полупроводящие, так и диэлектрики. К примеру,в металлургии весьма актуален элементный анализ при производстве сплавовцветных металлов и сталей специального назначения с нормируемымсодержанием микропримесей (в том числе газообразных); в микроэлектроннойпромышленности - анализ сверхмалых содержаний примесей вполупроводниковых материалах (Si, Ge, AsGa и др.), а также послойный анализих распределения в слоистых структурах; в атомной промышленности элементный и изотопный анализ радионуклидов, продуктов распада, отходовпереработки ядерного топлива; в горнодобывающей отрасли - д л я анализа руди различных горных пород и минералов; в производстве и разработке новых иособо чистых материалов - элементный анализ содержания примесей припроизводстве металлов, оптических стекол, оптоволокна, сплавов,тонкопленочных покрытий, порошковых материалов и многих других областяхчеловеческой деятельности.На данный момент существующие методы анализа твердотельных образцовтакие как: атомно-эмиссионная спектроскопия, рентгено-флуоресцентнаяспектроскопия, а также масс-спектральные методы с различными источникамиионизации не отвечают всем требованиям современной науки и производства ине способны одновременно решать задачи проведения прямого экспрессного ивысокоточного элементного анализа твердотельных проводящих идиэлектрических образцов без или с минимальной пробоподготовкой. В связи сэтим, представляет большой интерес разработка анализатора, способногорешать весь комплекс поставленных задач.

Заключение диссертации по теме «Аналитическая химия», Кузьменков, Михаил Александрович

Выводы

1. Разработана и создана аналитическая система с ионизацией в импульсном газовом разряде в комбинированном полом катоде и времяпролетным детектированием ионов, предназначенная для анализа твердотельных образцов.

2. Исследованы и оптимизированы параметры газоразрядного источника ионов, такие как: напряжение смещения пары катод - анод относительно потенциала земли, расстояние между сэмплером и скиммером, давление газовой смеси в разрядной ячейке, величина задержки выталкивающего импульса, длительность импульса разряда, частота следования импульсов и др.

3. Предложен способ подавления газовых компонент в масс-спектре на основе добавления водорода как реакционного газа в газоразрядную смесь. Предложено физическое описание процессов, приводящих к данному явлению.

4. Разработана и введена в программное обеспечение спектрометра процедура математической обработки масс-спектров, включающая расчет на основании экспериментальных данных аппаратной функции прибора с последующей коррекцией формы масс-спектральных пиков.

5. Показана возможность прямого анализа как проводящих, так и не проводящих электрический ток материалов на примере металлов, сплавов и различных диэлектрических образцов и получены аналитические характеристики системы.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Кузьменков, Михаил Александрович, 2006 год

1. Boumans, P.W.J.М., Theory of Spectrochemical Information. // Bristol: Adam Hilger, 1966, p.37.

2. H.-J. Dietze, Massenspektrometrische Spurenanalyse. // Akademische Verlagsgesellschaft Geest & Portig K.G., Leipzig, 1975, p.1.

3. S.R. Taylor, Geochemical analysis by spark source mass spectrography. // Geochim. Cosmochim. Acta, 29 (1965) 1243-1261.

4. K.P. Jochum, Trace element analysis of geochemical and cosmochemical samples by modern spark source mass spectrometry using multi-ion counting. // Spectrosc. Eur., 9 (1997) 22-27.

5. J.S. Becker, H.-J. Dietze, State-of-the-art in inorganic mass spectrometry for analysis of high-purity materials. // Intern. Journ. of Mass Spectr., 228 (2003) 127-150.

6. P. Sigmund, R. Behrisch (Ed.), Sputtering by Patlicle Bombardment I. // Springer Verlag, Berlin, 1981, p. 18.

7. A. Benninghoven, K.T.F. Janssen, J. Tumpner, H.W. Werner (Ed.), Secondary Ion Mass Spectrometry, SIMS VIII. //Wiley, NewYork, 1992, p.3.

8. IN. Bock, H. Gnaser, H. Oechsner, SIMS X, Proceedings of the 10th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry, Muenster, Germany, 1—6 October 1995.

9. I.T. Platzner, Modern Isotope Ratio Mass Spectrometry. II Wiley, New York, 1997, p.139.

10. K. Habfast, Int. J. Mass Spectrom. Ion Processes, 161 (1997) 217-227.

11. M. Gastel, Rep. Res. Centre Juelich, 3248 (1996) 1-18.

12. U. Breuer, H. Holzbrecher, M. Gastel, J.S. Becker, H.-J. Dietze, Comparative studies of SIMS and SNMS analyses during the build up of sputter equilibriumunder oxygen and rare gas ion bombardment. // Fresenius J. Anal. Chem., 358 (1997) 47-50.

13. A. Benninghoven, K.T.F. Janssen, J. Tumpner, H.W. Werner (Eds.), Secondary Ion Mass Spectrometiy, SIMS VIII. //Wiley, New York, 1992, p. 3.

14. A. Virag, G. Friedbacher, M. Grasserbauer, H.M. Ortner, P. Wilhartitz, //Journ. of Materials Res., 3 (1988) 694-704.

15. R.E. Honig, J.R. Woolston, Laser-induced emission of electrons, ions, and neutral atoms from solid surfaces. // Appl. Phys. Lett., 2 (1963) 138-139.

16. Ю.А. Быковский, B.H. Неволим, Лазерная масс-спектрометрия. M.: Энергоатомиздат, 1985.

17. B.C. Jlemoxoe, Лазерная фотоионизационная спектроскопия. М.: Наука, 1987.

18. J. 77). Westheiede, J.S. Becker, R. Jager, H.-J. Dietze, J.A.C. Broekaert, Analysis of ceramic layers for solid oxide fuel cells by laser ablation inductively coupled plasma mass spectroscopy. // Journ. of Anal. At. Spectrom., 11 (1996) 661-666.

19. А.А. Сысоев, C.C. Потешин, А.И. Дрянное, И.В. Щёкина, В.И. Пятахин,

20. Р.А. Меньшиков, Лазерный времяпролетный масс-спектрометр. // Приборы и техника эксперимента, 4 (1997) 78-83.

21. J.S. Becker, H.-J.Dietze, Investigations on cluster and molecular ion formation by plasma mass spectrometry. // Fresenius J. Anal. Chem., 359 (1997) 338-345.

22. D.M. Grim, J. Allison, Identification of colorants as used in watercolor and oil paintings by UV laser desorption mass spectrometry. // Int. J. Mass Spectrom., 222(2003) 85-99.

23. А.А. Большаков, А.А. Ганеев, B.M. Немец, Перспективы аналитической атомной спектрометрии. II Успехи Химии, 75 (2006) 322-337.

24. M. Yorozu, Т. Yanagida, Т. Nakajyo, Y. Okada, A. Endo, Laser microprobe and resonant laser ablation for depth profile measurements of hydrogen isotope atoms contained in graphite //Appl. Opt., 40 (2001) 2043-2046.

25. K. Watanabe, K. Hattori, J. Kawarabayashi, T. Iguchi, Improvement of resonant laser ablation mass spectrometry using high-repetition-rate and short-pulse tunable laser system. // Spectrochim. Acta, Part B, 58 (2003) 1163-1169.

26. L.R. Karam, L. Pibida, C.A. McMahon, //Appl. Radiat. Isot., 56 (2002) 369-376.

27. K. Watanabe, K. Hattori, J. Kawarabayashi, T. Iguchi, Improvement of resonant laser ablation mass spectrometry using high-repetition-rate and short-pulse tunable laser system // Spectrochim. Acta, Part B, 58 (2003) 1163-1169.

28. S.S. Dimov, S.L. Chryssoulis, R.H. Lipson, //Anal. Chem., 75 (2003) 67236727.

29. M.R. Savina, M.J. Pellin, C.E. Tripa, I.V. Veryovkin, W.F. Calaway,

30. A.M. Davis, Analyzing individual presolar grains with CHARISMA. // Geochim. Cosmochim. Acta, 17 (2003) 3215-3225.

31. M.J. Pellin, W.F. Calaway, A.M. Davis, R.S. Lewis, S. Amari,

32. R.N. Clayton, //The 31st Lunar and Planetary Science Conference. (Abstracts of Reports). Houston, TX, (2000) 1917.

33. T. Jacksier; R.M. Barnes, Qualitative analysis of arsine by sealed inductively coupled plasma atomic emission spectrometry. II Journ. of Anal. At. Spectrom., 7 (1992) 839-845.

34. T. Jacksier, R.M. Barnes, Discharge container for the analysis of arsine by sealed inductively coupled plasma atomic emission spectroscopy. // Spectrochim. Acta Part B, 48 (1993) 941-945.

35. J.S. Becker, H.-J. Dietze, Ultratrace and precise isotope analysis by double-focusing sector field inductively coupled plasma mass spectrometry. // Journ. of Anal. At. Spectrom., 13 (1998) 1057-1065.

36. N.M. Reed, R.O. Cairns, R.C. Hutton, Y. Takaku, Characterization of polyatomic ion interferences in inductively coupled plasma mass spectrometry using a high resolution mass spectrometer. // Journ. of Anal. At. Spectrom., 9 (1994) 881-897.

37. N.S. Nonose, N. Matsuda, N. Fudagawa, M. Kubota, Some characteristics of polyatomic ion spectra in inductively coupled plasma mass spectrometry. II Spectrochim. Acta Part B, 49 (1994) 955-974.

38. J.S. Becker, G. Seifert, A.I. Saprykin, H.-J. Dietze, Spectrometry and theoretical investigations into the formation of argon molecular ions in plasma mass spectrometry. //Journ. of Analy. At. Spectrom., 10 (1996) 64-73.

39. A.J. Walder, P.A. Freedman, Isotopic ratio measurement using a double focusing magnetic sector mass analyser with an inductively coupled plasma as an ion source. //Journ. of Anal. At. Spectrom., 7 (1992) 571-577.

40. A. Bogaerts, R. Gijbels, //Analytical Chemistry News and Features, 32 (1997) 1154-1159.

41. W.W. Harrison, B.L. Bentz, Glow Discharge Mass Spectrometry. // Prog. Anal. Spectrosc., 11 (1988) 53-110.

42. D. Stuewer, G. Holland, A.N. Eaton, Glow discharge mass spectrometry -aspects of a versatile tool, in applications of plasma mass source mass spectrometry. // Cambridge: The Royal Society of Chemistry, 1992.

43. R.K. Marcus, Glow discharge spectroscopies. II New York: Plenum Press, 1993.

44. J.A.C. Broekaert, Glow Discharge Atomic Spectroscopy. // Appl. Spectrosc., 49 (1995) 12-17.

45. A.P. Mykytiuk, P. Semeniuk, S. Berman, Analysis of High Purity Metals and Semiconductor Materials by Glow Discharge Mass Spectrometry. // Spectrochim. Acta Rev., 13 (1990), 1-18.

46. A. Bogaerts, E. Neyts, R. Gijbels, J.V.D. Mullen, Gas discharge plasmas and their applications. II Spectrochim. Acta Part B, 57 (2002) 609-658.

47. S. De Gent, R. Van Grieken, W. Hang, W.W. Harrison, Comparison between direct current and radiofrequency glow discharge mass spectrometry for the analysis of oxide-based samples. // J. Anal. At. Spectrom., 10 (1995) 689-695.

48. W. Schelles, S. De Gent, K. Maes, R. Van Grieken, The use of a secondary cathode to analyse solid non-conducting samples with direct current glow discharge mass spectrometry: potential and restrictions. // Fresenius J. Anal. Chem., 355 (1996) 858-860.

49. W. Schelles, S. De Gent, V. Muller, R. Van Grieken, Evaluation of secondary cathodes for glow discharge mass spectrometry analysis of different nonconducting sample types, //Appl. Spectrosc., 49 (1995) 939-944.

50. J.W. Coburn, E. Taglauer, E. Kay, Glow-discharge mass spectrometry. Technique for determining elemental composition profiles in solids. II Journ. of Appl. Phys., 45 (1974) 1779-1786.

51. D.L. Donohue, W.W. Harrison, Radiofrequency cavity ion source in solids mass spectrometry. // Anal. Chem., 47 (1975) 1528-1535.

52. D.C. Duckworth, R.K. Marcus, Radio frequency powered glow discharge atomization/ionization source for solids mass spectrometry. //Anal. Chem., 61 (1989) 1879-1890.

53. A.I. Saprykin, J.S. Becker, H.-J. Dietze, Optimization of an rf-powered magnetron glow discharge for the trace analysis of glasses and ceramics. // Fresenius J. Anal. Chem., 355 (1996) 831-835.

54. J. Pisonero, J. Costa, R. Pereiro, N. Bordel, A. Sanz-Medel, Radiofrequency glow-discharge devices for direct solid analysis. // Anal, and Bioanal. Chem., 379(2004) 17-29.

55. R. Marcus, A. Anfone, W. Luesaiwong, T. Hill, D. Perahia, K. Shimizu, Radio frequency glow discharge optical emission spectroscopy: a new weapon in the depth profiling arsenal. //Anal, and Bioanal. Chem., 373 (2002) 656-663.

56. W.W. Harrison, W. Hang, X. Van, K. ingenery, Temporal considerations with a microsecond pulsed glow discharge. // J. Anal. At. Spectrom., 12 (1997) 891— 906.

57. W.W. Harrison, B.L. Bentz, Glow Discharge Mass Spectrometry. // Prog. Anal. Spectrosc., 11 (1988) 53-110.

58. R.E. Steiner, C.L. Lewis, F.L King, Time-of-Flight Mass Spectrometry with a Pulsed Glow Discharge Ionization Source. //Anal. Chem., 69 (1997) 17151721.

59. D.C. Duckworth, D.H. Smith, S.A. McLuckey, Improved signal-to-noise ratio in glow discharge ion trap mass spectrometry via pulsed discharge operation. // J. Anal. At. Spectrom., 12 (1997) 43-48.

60. С. Yang, М. Mohile, W. W. Harrison, Microsecond-pulsed grimm glow discharge as a source for time-of-flight mass spectrometry. // J. Anal. At. Spectrom., 15 (2000) 1255-1260.

61. W. Grimm, Eine neue glimmentladungslampe fur die optische emissionsspektralanalyse. // Spectrochim. Acta Part B, 23 (1968) 443-454.

62. M. Dogan, K. Laqua, H. Massman, Spektrochemische analysen mit einer glimmentladungslampe als lichtquelle-ll: Analytische anwendimgen. // Spectrochim. Acta Part B, 27 (1972) 65-88.

63. N. Jakubowski, D. Stuewer, W. Vieth, Performance of a glow discharge mass spectrometer for simultaneous multielement analysis of steel. II Anal. Chem., 59 (1987) 1825-1831.

64. M.J. Heintz, D.P. Myers, P.P. Mahoney, G. Li, G.M. Hieftje, Radio-Frequency-Powered Planar-Magnetron Glow Discharge as a Source for Time-of-Flight Elemental Mass Spectrometry. //Appl. Spectrosc., 49 (1995) 945-957.

65. W. Hang, C. Baker, B. W. Smith, J. D. Winefordner, W. W. Harrison, Microsecond-pulsed glow discharge time-of-flight mass spectrometry: analytical advantages. // J. Anal. At. Spectrom., 12(1997) 143-149.

66. C. Yang, M. Mohill, W.W. Harrison, Microsecond-pulse Grimm glow discharge as a source for time-of-flight mass spectrometry. // Journ. of Anal. At. Spectrom., 15(2000) 1255-1260.

67. Б.И. Москалев, Разряд с полым катодом. // М: Энергия, 1969.

68. B.C. Бородин, Ю.М. Каган, Исследование разряда в полом катоде. //ЖТФ, 36 (1966) 17-26.

69. А.И. Дробышев, Ю.И. Туркин, Спектральный анализ порошкообразных проб в источнике света с охлаждаемым полым катодом. //Журн. Прикл. Спектр., 22 (1975) 755-757.

70. А.И. Дробышев, Е.В. Горчакова, Ю.И. Туркин, Исследование источника света с охлаждаемым полым катодом для возбуждения спектра монолитных диэлектриков. //Журн. Прикл. Спектр., 36 (1982) 903-907.

71. A.I. Drobyshev, Yu.l. Turkin, A review of spectroanalytical investigations and applications of a cooled hollow cathode discharge. // Spectrochim. Acta, Part B, 36 (1981) 1153-1161.

72. A.A. Ganeev, S.E. Sholupov, A thin-walled metallic hollow cathode as an atomizer for Zeeman atomic absorption spectrometry. // Spectrochim. Acta Part B, 53 (1998) 471-486.

73. А.А. Ганеев, В.Н. Григорьян, А.И. Дробышев, М.Н. Сляднев, С.Е. Шолупов, Аналитическая резонансно-ионизационная спектроскопия с импульсной атомизацией пробы в полом катоде. //Журнал аналитической химии, 51 (1996)848-854.

74. Д.Е. Максимов, Н.К. Рудневский, Применение разряда в полом катоде для спектрального анализа веществ высокой чистоты. //Журн. Прикл. Спектр., 39 (1983) 5-12.

75. Д.Е. Максимов, Н.К. Рудневский, А.Н. Рудневский, Т.М. Шабанова, Спектральный анализ с применением разряда в полом катоде. // Горький: Изд-во Горьковского университета, 1983.

76. А.Г. Жиглинский, Т.Н. Хлопина, Исследование электрических и оптических характеристик разряда в полом катоде. // П. Оптика и спектроскопия, 32 (1972) 645-649.

77. Б.М. Бошняк, А.Г. Жиглинский, Г.Г. Кунд, Т.Н. Хлопина, Исследование электрических и оптических характеристик разряда в охлаждаемом полом катоде. // П. Оптика и спектроскопия, 33 (1972) 1032-1041.

78. С.П. Никулин, Тлеющий разряд с полым катодом в длинных трубках. // ЖТФ, 68 (1989) 20-24.

79. Г.А. Певцов, В.З. Красильщик, Определение примесей в окиси бериллия спектральным методом с использованием полого катода. //Журнал аналитической химии, 19 (1964) 1106-1109.

80. Г.А. Певцов, В.З. Красильщик, А.Ф. Яковлева, Спектральное определение примесей в хлориде титана (IV) с применением разряда в полом катоде. // Журнал, аналитической химии, 25 (1970) 580-581.

81. R. Shekhar, M.V. Balarama Krishna, J. Arunachalam, S. Gangadharan, Analysis of high purity antimony by glow disharge quadrupole mass spectrometry. // Atomic Spectrosc., 20 (1999) 25-29.

82. J.J. Thomson, II Phil. Mag., 48 (1899) 547-567.

83. J.J. Thomson, II Phil. Mag., 6 (1911) 752-767.

84. F.W. Aston, II Phil. Mag., 14 (1919) 513-522.

85. A.O. Nier, II Nat. Bur. Stand. Circ. (U.S.), 522 (1953) 29-36.

86. W.E. Stephens, II Phys. Rev., 69 (1946) 691-712.

87. W. Paul, H.Z. Steinwedel, II Naturforsch., 8 (1953) 448-450.

88. S.J. Ray, G.M. Hieftje, Mass analyzers for inductively coupled plasma time-of-flight mass spectrometry. // J. Anal. At. Spectrom., 16 (2001) 1206-1216.

89. J.M.B. Bakker, II J. Phis. E.: Sci. Instrum., 6 (1973) 785-795.

90. G. Li, G.M. Hieftje, // US Patent # 56147111, 1997.

91. W.C. Wiley, I.H. McLaren, Time-of-Flight Mass Spectrometer with Improved Resolution. // Rev. Sci. Instrum., 26 (1955) 1150-1157.

92. Б.А. Мамырин, В.И. Каратаев, Д.В. Шмикк, В.А. Загулин, Масс-рефлектрон: новый немагнитный времяпролетный масс-спектрометр высокого разрешения. // Журн. Эксперим. и Теоретич. Физики, 64 (1973) 8289.

93. D.P. Mayers, G.Li, P.P. Mahoney, G.M. Hieftje, II J. Am. Soc. Mass Spectrom., 5 (1994) 1008-1016.

94. H. Haberland,U. Buck, M. Tolle, II Rev. Sci. Instrum., 56 (1985) 1712-1716.

95. J. Pisonero, K. Turney, N. Bordel, A. Sanz-Medel, W.W. Harrison, A double microsecond-pulsed glow discharge ion source. // J. Anal. At. Spectrom., 18 (2003) 624-628.

96. Ю.П. Райзер, Физика газового разряда. // М.: Наука, 1992.

97. А.А. Ганеев, М.А. Кузьменков, С.В. Потапов, А.И. Дробышев, М.В. Воронов, Время-пролетная масс-спектрометрия с ионизацией пробы в импульсном разряде в полом катоде для анализа твердотельных проводящих образцов. // Масс-спектрометрия, 2 (2005) 2297-304.

98. V-D. Hodoroaba, Е. Steers, V. Hoffmann, W. Unger, W. Paatsch, K. Wetzig, Influence of hydrogen on the analytical figures of merit of glow discharge optical emission spectroscopy—friend or foe? //J. Anal. At. Spectrom., 18 (2003) 521527.

99. A. Menendez, J. Pisonero, R. Pereiro, N. Bordel, A. Sanz-Medel, The influence of added hydrogen to an argon direct current glow discharge for time of flight mass spectrometry detection. // J. Anal. At. Spectrom., 18 (2003) 557-564.

100. R.S. Mason, P.D. Miller, I.P. Mortimer, Anomalous loss of ionization in argon-hydrogen plasma studied by fast flow glow discharge mass spectrometry. // Phys. Rev. E, 55 (1997) 7462-7472.

101. Предполагается, что объём инвестиций, финансируемых за счёт средств федерального бюджета, останется на уровне текущего года, средства лее местного бюджета несколько возрастут.

102. Средства федерального бюджета являются одним из важнейших источников инвестирования строительства, так как за их счёт финансируется ряд федеральных целевых программ, влияющих на социально-экономическое положение области.

103. Администрацией области направлены Минэкономразвития РФ бюджетные заявки по отраслям на государственную поддержку по федеральной адресной инвестиционной программе.

104. Руководитель отдела масс-спектрометрии

105. Заместитель директора НПФ «Люмэкс»1. Ганеев А.А.1. Крашенинников А.А.

106. ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ1. СЕРТИФИКАТоб утверждении типа средств измерений

107. PATTERN APPROVAL CERTIFICATE OF MEASURING INSTRUMENTS1. RU.C.31.001.A 240821. N2

108. Настоящий сертификат удостоверяет, что на ос новании положительныхмасс-спектрометров времяпролетныхрезультатов испытании утвержден тип . .с газоразрядной ионизацией "ЛЮМАС-30"наименование средства намерений

109. ООО "ЛЮМЭКС", г.Санкт-Петербургнаименование пргапряятия-иэгпгрпйтслякоторый зарегистрирован в Государственном реестре средств измерений иод № 31837-06 и допущен к применению в Российской Федерации.

110. Описание типа средства измерений приведено в приложении к настоящему сертификату.1. Заместитель Руководителя1. Заместитель Руководителяу «О 'с^*,,1. Wvw «Г .4 » .» 'f1. JA. 200^ г.1. Продлен до200 г.