Термо- и фотостимулированные превращения в наноразмерных пленках индия, оксида молибдена (VI) и системах на их основе тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 02.00.04, кандидат наук Рамазанова, Галина Олеговна

• Рамазанова, Галина Олеговна
• кандидат наук
• 2013

Оглавление диссертации кандидат наук Рамазанова, Галина Олеговна

СОДЕРЖАНИЕ

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1 ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ

1.1 Свойства индия

1.2 Исследование процессов окисления индия

1.3 Свойства оксида индия (III)

1.4 Свойства оксида молибдена (VI)

1.5 Модификация свойств оксида молибдена (VI) под действием различных энергетических факторов

1.6 Особенности процесса окисления металлов

ГЛАВА 2 МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА

2.1 Получение образцов

2.2 Определение толщины пленок

2.3 Спектрофотометрический метод исследования

2.4 Метод кварцевого микровзвешивания

2.5 Метод контактной разности потенциалов

2.6 Исследование электрофизических параметров

ГЛАВА 3 ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕРМО- И ФОТОСТИМУЛИРОВАННЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ В НАНОРАЗМЕРНЫХ ПЛЕНКАХ ИНДИЯ, ОКСИДА МОЛИБДЕНА (VI) И СИСТЕМАХ НА ИХ ОСНОВЕ

3.1 Термические превращения наноразмерных пленок индия

3.1.1 Оптические свойства пленок индия до и после термической обработки

3.1.2 Кинетические закономерности процесса термического превращения пленок индия

3.1.3 Исследование кинетических закономерностей термического превращения пленок индия методом кварцевого микровзвешивания

3.1.4 Изучение состояния поверхности пленок индия методом КРП

3.1.5 Модельные представления процесса термического окисления наноразмерных пленок индия

3.2 Фотостимулированные превращения в наноразмерных пленках индия

3.2.1 Спектры поглощения пленок индия до и после светового воздействия

3.2.2 Кинетические закономерности процесса фотостимулированного превращения пленок индия

3.2.3 Исследование фотостимулированных превращений пленок индия методом кварцевого микровзвешивания

3.2.4 Фотоэлектрические измерения и модельные представления фотостимулированных превращений в пленках индия

3.3 Исследование термостимулированных процессов в наноразмерных пленках оксида молибдена (VI)

3.3.1 Термостимулированные превращения в пленках Мо03

3.3.1.1 Оптические свойства пленок МоОз ДО и после термообработки

3.3.1.2 Кинетические закономерности термопревращений наноразмерных пленок оксида молибдена (VI)

3.3.1.3 Изучение состояния поверхности пленок оксида молибдена (VI) методом контактной разности потенциалов

3.3.1.4 Модельные представления процесса термостимул ированного превращения пленок МоОз

3.3.2 Термостимулированные превращения предварительно активированных пленок оксида молибдена (VI)

3.3.2.1 Оптические свойства предварительно активированных пленок оксида молибдена (VI) до и после термообработки

3.3.2.2 Кинетические закономерности термостимулированных превращений предварительно активированных пленок оксида молибдена (VI)

3.3.2.3 Модельные представления термостимулированных процессов в предварительно активированных пленках оксида молибдена (VI)

3.4 Фотостимулированные превращения наноразмерных пленок оксида молибдена (VI)

3.4.1 Спектры поглощения и отражения наноразмерных пленок оксида молибдена (VI) до и после светового воздействия

3.4.2 Кинетические закономерности фотостимулированных процессов в пленках оксида молибдена (VI)

3.4.3 Модельные представления фотостимулированных процессов в пленках

оксида молибдена (VI)

3.5 Термические превращения в наноразмерных системах 1п-Мо03

3.5.1 Оптические свойства пленок 1п-Мо03 до термической обработки

3.5.2 Термическая обработка систем 1п-МоОз

3.5.3 Кинетические закономерности термостимулированных процессов в наноразмерных системах 1п-МоОз

3.5.4 Исследование состояния контакта 1п-МоОз методом контактной разности потенциалов

3.5.5 Модельные представления процессов термостимулированного превращения в системах 1п-МоОз

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Термо- и фотостимулированные превращения в наноразмерных пленках индия, оксида молибдена (VI) и системах на их основе»

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность темы. Субмикронные и нанокристаллические металлические и оксидные материалы в настоящее время широко применяются в качестве конструкционных элементов и функциональных слоев в современных микроэлектронных устройствах (технологической основой современной твердотельной электроники являются планарные (20) технологии), деталях авиакосмической техники, в качестве твердых износостойких покрытий обрабатывающей промышленности. Тонкие пленки металлов, оксидов металлов и многослойные пленочные гетеросистемы находят широкое применение в технологии интегральных схем, служат основными элементами в устройствах для преобразования солнечной энергии в электрическую. Наноразмерные покрытия используют для увеличения прочностных характеристик конструкционных материалов, для повышения износостойкости узлов деталей машин. Покрытия из индия применяют для изготовления рефлекторов и зеркал, квантовых генераторов, солнечных батарей и жидкокристаллических экранов, транзисторов, электродов фото-проводящих элементов, инфракрасных детекторов, специальных стекол. В качестве компонента легкоплавких сплавов индий используют в предохранителях, сигнальных устройствах, в радиационных контурах ядерных реакторов, в тепловых котлах, в термостатирующих устройствах. Устройства на основе оксида молибдена (VI) могут быть рекомендованы к использованию в качестве электрохромных и фотохромных дисплеев, электрохромных зеркал или свето-перераспределяющих фильтров, сенсоров для контроля содержания газов в атмосфере. Основными регулирующими (регистрирующими) элементами в этих устройствах являются тонкие слои оксида молибдена (VI) [1-7, 33-44, 65-67].

Нанометровые пленки и покрытия из металлов, сплавов и соединений относят к виду консолидированных наноматериалов. При уменьшении размера структурного элемента до нанометрового диапазона материалы демонстрируют отличные от массивного новые физико-механические свойства. Как следствие, важным направлением становится разработка и изучение наноразмерных слоев, исследование их свойств в различных условиях.

Развитие современной техники предъявляет новые и все более жесткие требования к конструкционным материалам. От них требуется длительная и надежная работа в условиях высоких температур и давлений, агрессивных сред, высоких динамических и статических нагрузок. Наиболее широко используемыми материалами в различных сочетаниях таких экстремальных условий являются металлы и сплавы. В связи с этим особое значение приобретают всесторонние исследования химической устойчивости металлов в условиях окружающей среды, причем они должны быть непосредственно связаны с изучением различных характеристик продуктов окисления, образующихся на поверхности металлов [12-16].

Изучение закономерностей термо- и фотостимулированных процессов, протекающих в наноразмерных слоях 1п, М0О3,1п - М0О3 и на их поверхности, представляется необходимым как для решения группы научных задач, в частности, выяснения степени общности процессов, протекающих на границе между металлом, оксидом и окружающей атмосферой, так и в связи с необходимостью разработки принципиально новых материалов для полупроводниковой электроники, стабильных в условиях коррозионного воздействия окружающей среды.

Отмеченная практическая ценность, а также отсутствие к настоящему времени в отечественной и зарубежной литературе информации о систематических исследованиях влияния размерных эффектов на оптические свойства систем на основе индия и оксида молибдена (VI) ставят правомерной и своевременной задачу комплексного исследования индивидуальных слоев оксида молибдена (VI) и индия и двухслойных систем 1п - Мо03.

Работа выполнена в соответствии с Аналитической ведомственной целевой программой «Развитие научного потенциала высшей школы» (Мероприятие 1. «Проведение фундаментальных исследований в рамках тематических планов») по темам «Исследование физико-химических процессов в наноразмерных слоях А^03 и М0О3» и «Изучение механизма коррозии в наноразмерных пленках металлов при тепловом и световом воздействии» (код НИР

31.15.29), а также поддержана фантом Фонда содействия развития малых форм предприятий в научно-технической сфере в рамках проекта «Разработка нано-размерных отражающих покрытий на основе металлов и оксидов металлов, устойчивых к термическому и световому воздействию».

Целью работы является исследование закономерностей термо- и фото-стимулированных процессов, протекающих в условиях атмосферы в напораз-мерных пленках индия, оксида молибдена (VI) различной толщины и в системах на их основе.

В задачи работы входило:

1. Методом оптической спектроскопии установить основные закономерности влияния толщины, температуры и времени термической обработки на оптические свойства (поглощение, отражение) наноразмерных пленок индия (с1 = 2-150 нм; Т = 473-873 К), оксида молибдена (VI) (¿/=4-80нм; Т = 573-873 К) и систем 1п - Мо03 (Т = 473-873 К) в диапазоне длин волн А. = 190 - 1100 нм.

2. Методом оптической спектроскопии установить основные закономерности влияния интенсивности света и времени облучения на оптические свойства (отражение, поглощение) наноразмерных пленок индия (Х = 360 нм 1= (1,12-7)-10 квант-см"~-с") и оксида молибдена (VI) (А, = 320 нм, / = (1,12-7)-1015 квант-см"2-с"') в диапазоне длин волн?1= 190- 1100 нм.

3. Исследовать кинетические закономерности процессов термо- и фото-стимулированного изменения оптической плотности наноразмерных пленок индия и оксида молибдена (VI) различной толщины.

4. Установить кинетические закономерности изменения оптической плотности наноразмерных пленок Мо03 в системе 1п-Мо03 в процессе тепловой обработки (Т=473-873 К).

5. Определить значения термоэлектронной работы выхода до и после предварительного прогрева (Т = 550 К) наноразмерных пленок индия, оксида индия (III) и оксида молибдена (VI) при различных внешних условиях (Р= МО5, 1-Ю"5 Па; Т = 293 К).

6. Установить качественный состав конечного продукта, сформированного в процессе термической обработки (Т = 473-873 К) и светового облучения (А. = 360 нм, 1= (1,12-7)-1015 квант-см"2-с"') наноразмерных пленок индия различной толщины (¿/=2-150 нм).

Научная новизна работы:

1. Впервые проведены систематические исследования влияния термической обработки и воздействия светом на оптические свойства (поглощение, отражение) наноразмерных пленок индия, оксида молибдена (VI) разной толщины в атмосферных условиях, а также изучены кинетические особенности тер-

15 ^ 1

мо- (Т = 473-873 К) и фотостимулированных (/=( 1,12-7)-10 квант-см""-с" ) превращений пленок индия и оксида молибдена (VI) в диапазоне 1= 1901100 нм.

2. Впервые проведены систематические исследования оптических свойств (спектров поглощения и отражения) до и после термической обработки наноразмерных систем 1п - Мо03 (с разным соотношением толщины слоев) и кинетических особенностей их термопревращений при различных температурах Т = 473-873 К в диапазоне X = 190-1100 нм.

3. Определены значения контактных потенциалов (относительно платинового электрода сравнения) наноразмерных пленок индия, оксида индия (III).

4. Установлено, что посредством варьирования толщины подслоев и времени термообработки двухслойных систем 1п-Мо03 отражательная способность стеклянной подложки уменьшается практически до нулевого значения при определенных длинах волн в диапазоне X = 200 - 850 нм.

Практическая значимость работы. Полученные результаты могут служить основой для создания новых тонкослойных регистрирующих сред, индикаторов, термо- и светоотражающих и поглощающих покрытий, датчиков, тер-мохромных материалов, а так же позволят прогнозировать и направленно изменять поведение наноразмерных пленок индия и оксида молибдена (VI) за счет образования двухслойных объектов на их основе. Планируется разработка наноразмерных теплоотражающих и рефлекторных покрытий на основе иссле-

дуемых объектов, устойчивых к термическому и световому воздействию.

Положения, выносимые на защиту:

1. Вывод об основном продукте термо- (Т=473-873 К) и фотостимулиро-

15 ^ 1

ванных (А = 360нм, 1= (1,12 - 7)-10 квант-см'"-с" ) превращений наноразмер-ных пленок индия в атмосферных условиях, которым является оксид индия (III).

2. Установлена возможность управления оптическими свойствами (поглощение, отражение) стеклянных подложек путем нанесения наноразмерных пленок МоОз, 1п различной толщины, систем In-МоОз, термической обработкой и облучением образцов.

3. Выявлены основные факторы, влияющие на оптические свойства (поглощение, отражение) гетеросистем 1п-Мо03: толщина пленок индия и оксида молибдена (VI), время и температура термической обработки.

4. Выводы о подчиненности разных участков кинетических кривых степени термо- (Т=473-873 К) и фотостимулированного (А. = 360 нм, / = (1,1215 ^ I

7)-10 квант-см""-с" ) окисления наноразмерных пленок индия различным зависимостям: линейной, обратной логарифмической, параболической и логарифмической.

Апробация работы. Основные результаты диссертации опубликованы в сборниках докладов, докладывались и обсуждались на следующих конференциях: VI (XXXVIII), VII (XXXIX) и VIII (XL) Международная научно-практическая конференция студентов, аспирантов и молодых ученых «Образование, наука, инновации - вклад молодых исследователей», Кемерово, 2011, 2012, 2013; V VI и VII Всероссийская конференция «Исследования и достижения в области теоретической и прикладной химии», Барнаул, 2010, 2011, 2013; XV и XVI Всероссийская научно-практическая конференция «Научное творчество молодежи», г. Анжеро-Судженск, 2011, 2012; III (XXXV), I и II Международная Казахстанско-Российская конференция по химии и химической технологии, Казахстан, г. Караганда, 2011, 2012; XVIII и IX Международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых по фундаментальным наукам

«Ломоносов», Москва, 2011, 2012; III Всероссийская молодёжная конференция с элементами научной школы «Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества», Москва, 2012; IV Международная конференция с элементами научной школы для молодежи «функциональные наноматериалы и высокочистые вещества», Суздаль, 2012 г; V Школа - семинар сети центров коллективного пользования научным оборудованием «Исследование и метрология функциональных материалов», Томск, 2012; Всероссийская конференция «Химия и химическая технология: достижения и перспективы», Кемерово, 2012.

Публикации. Основные результаты работы опубликованы в 11 статьях в рецензируемых научных журналах из списка ВАК и в 32 публикациях в сборниках тезисов докладов и трудов международных и российских конференций. Полный список публикаций по теме диссертации включает 43 наименования и включен в список литературы.

Личный вклад автора Результаты, представленные в защищаемых положениях и выводах, получены лично автором. В основу диссертации легли результаты исследований, проведенные автором на кафедре неорганической химии КемГУ. Идея исследования, постановка задач, анализ результатов обсуждались совместно с научным руководителем.

Структура и объём диссертации. Диссертация состоит из введения, трех глав, заключения и списка цитируемой литературы. Объём работы составляет 155 страниц, включая 107 рисунков и 10 таблиц. Библиография содержит 128 наименований.

Во введении обоснована актуальность темы, сформулированы цель и задачи работы, основные положения, выносимые на защиту, показаны научная новизна и практическая значимость диссертационного исследования.

В первой главе приводится аналитический обзор имеющихся литературных данных по кристаллографическим, физическим, химическим, оптическим, электрическим свойствам индия (раздел 1.1), оксида молибдена (VI) (раздел 1.4) и предполагаемого продукта окисления слоев индия - оксида индия (III) (раздел 1.3). В разделе 1.2 приведены литературные данные исследования

процессов окисления индия в различных условиях. Влияние различных энергетических факторов (температура, облучение и др.) на оптические свойства оксида молибдена (VI) приведены в разделе 1.5. Раздел 1.6 посвящен термодинамической возможности и кинетике химического окисления металлов.

Во второй главе описана методика получения наноразмерных слоев 1п, Мо03, гетеросистем 1п - Мо03 методом термического испарения в вакууме (раздел 2.1), методы определения толщины пленок: гравиметрический, спек-трофотометрический, эллипсометрический, интерференционный и метод кварцевого микровзвешивания представлены в разделе 2.2, а также методики исследования образцов с использованием методов спектрофотометрии (раздел 2.3), кварцевого микровзвешивания (раздел 2.4), контактной разности потенциалов (раздел 2.5), электрофизического метода исследования (раздел 2.6).

В третьей главе представлены экспериментальные результаты исследований процессов термопревращений пленок 1п, Мо03, систем 1п - Мо03, фотопревращений пленок 1п и Мо03, их обсуждение и интерпретация.

Раздел 3.1 посвящен исследованию термостимулированных процессов в наноразмерных пленках индия. В разделе 3.1.1 рассмотрены характерные особенности спектров поглощения и отражения пленок индия различной толщины (2-150 им) до и после термообработки (Т = 473-873 К) в атмосферных условиях. Установлено, что оптические свойства пленок 1п существенно зависят от толщины. На основании рассчитанных коэффициентов поглощения и отражения показано, что при получении пленок индия методом термического испарения в вакууме на их поверхности формируется слой 1п203 и по мере уменьшения толщины оптические свойства пленок индия все в большей степени определяются наличием пленки 1п203 на их поверхности. В процессе термической обработки пленок индия наряду с уменьшением оптической плотности образца в интервале X = 330-1100 нм формируется спектр поглощения нового вещества. При изменении температуры обработки закономерности изменения спектров поглощения и отражения независимо от исходной толщины пленок 1п сохраняются. При одинаковой исходной толщине пленок 1п с увеличением температу-

ры имеет место возрастание эффектов изменения оптической плотности и коэффициента отражения. Показано, что независимо от толщины и температуры теплового воздействия наблюдается последовательное уменьшение эффектов изменения оптической плотности и коэффициента отражения 'образцов во всем исследованном спектральном диапазоне. В разделе 3.1.2 представлены кинетические кривые степени превращения пленок индия а = (Л^1 - Лобр) / (Л],,1-Л^оз1), рассчитанные с учетом истинного (вызванного поглощением света в веществе) значения оптической плотности (Ao6p =А + lg(l - R)). Отмечено, что уменьшение толщины пленки In (при постоянной температуре) и увеличение температуры обработки приводят к увеличению степени термического превращения, а участки кинетических кривых окисления пленок индия удовлетворительно описываются в рамках линейного, обратного логарифмического, параболического и логарифмического закона. В разделе 3.1.3 методом кварцевого микровзвешивания показано, что реакция окисления наноразмерных пленок индия разной толщины в исследованном интервале температур термообработки протекает в стехиометрических соотношениях, соответствующих образованию оксида индия (III). Кинетические кривые а =/(т) для пленок In, полученные по результатам измерений спектров поглощения и кварцевого микровзвешивания, совпадают. В разделе 3.1.4 изучено энергетическое состояние поверхностей методом контактной разности потенциалов (КРП) между образцами In (пленки, пластины) и относительным платиновым при различных условиях: давление 1-10" и 1-Ю5 Па, температура 293 и 550 К. Отмечено, что значения КРП для образцов In практически не зависят от изменения давления в экспериментальной ячейке. На основании изменений термоэлектронных работ выхода показано, что для образцов индия характерна адсорбция акцепторных молекул (Афт > 0). Построена диаграмма энергетических зон системы In - 1п2Оз- Предложена модель процесса окисления наноразмерных слоев индия толщиной 2-150 нм при термообработке (Т = 473-873 К), включающая адсорбцию кислорода на поверхности, перемещение к поверхности электронов и 1п3+ по междоузлиям оксида индия, ионизацию кислорода и взаимодействие 1п3+ и О2" (раздел 3.1.5).

Раздел 3.2 посвящен воздействию света на пленки индия. Рассмотрены оптические свойства (поглощение, отражение) пленок индия различной толщи-

15 ^ 1

ны (d = 2-32 нм) после воздействия света (/ = (1,12 - 7)-10 квант-см~"-с" ) в атмосферных условиях (раздел 3.2.1). Наблюдаемые изменения в значительной степени зависят от первоначальной толщины пленок индия, спектрального состава и интенсивности падающего света, времени облучения. Облучение образцов светом приводит к формированию спектра поглощения нового вещества, оцененная по длинноволновому порогу поглощения оптическая ширина запрещенной зоны которого составляет 3,4-3,5 эВ и удовлетворительно совпадает с шириной запрещенной зоны оксида индия (III). В разделе 3.2.2 приведены кинетические закономерности фотостимулированных превращений пленок индия. В разделе 3.2.3 приведены результаты исследования процесса фотостимулиро-ванного превращения пленок индия методом кварцевого микровзвешивания. При сопоставлении масс оксида индия (III) (полученного в процессе облучения пленок In светом разной интенсивности), определенных методом кварцевого микровзвешивания с массой оксида, рассчитанной по уравнению реакции окисления индия установлено их удовлетворительное совпадение. Представлены результаты фотоэлектрических измерений и модель фотостимулированных превращений в пленках индия (раздел 3.2.4).

В разделе 3.3 приведены результаты исследования процессов термости-мулированного изменения оптических свойств слоев оксида молибдена (VI) в результате предварительной активации (раздел 3.3.1) и последующей термообработки (раздел 3.3.2). Установлено (раздел 3.3.1.1), что вид спектров поглощения и отражения наноразмерных пленок М0О3 существенно зависит от их толщины (4 - 70 нм). В процессе термического воздействия (Т = 573-873 К) вид спектра изменяется. Причем характер изменения оптической плотности неодинаков в разных областях спектра. В коротковолновой области в диапазоне длин волн X = 300-480 нм оптическая плотность пленок М0О3 с максимумом при X = 350 нм (центр Ti) уменьшается (что приводит к смещению края полосы поглощения в коротковолновую область спектра), в длинноволновой области в

интервале X = 480-1000 нм возрастает с максимумом X = 870 нм (центр Т2). При изменении температуры обработки закономерности изменения спектров поглощения независимо от исходной толщины слоев М0О3 сохраняются. В длинноволновой области спектра характер изменений оптической плотности образца определяется его толщиной. При одинаковой исходной толщине слоев МоОз с увеличением температуры термообработки имеет место более быстрое возрастание эффектов изменения оптической плотности и уменьшение времени достижения ее предельного значения. В разделе 3.3.1.2 выведено выражение для степени термического превращения центра Т] в центр Т2: ее = (ЛТ11 -Лобр) / (/1x1' -Л-п1) и построены кинетические зависимости термости-мулированного превращения центра Т2. Результаты по изучению изменений термоэлектронных работ выхода пленок, порошков, таблеток оксида молибдена (VI) методом КРП представлены в разделе 3.3.1.3. Отмечено, что значения КРП для образцов Мо03 зависят от изменения давления (Р = 1 • 10"5-1 • 105 Па) и температуры (293-550 К) в экспериментальной ячейке. В раздел 3.3.1.4 предложена модель образования центров окраски, включающая формирование в процессе приготовления слоя МоОз центра [(Уа)++ е], термический переход электрона из валентной зоны на уровень центра, захват центром второго электрона [е (Уд)"4" е]. В разделе 3.3.2.1 приведены результаты исследований термо-стимулированных процессов в предварительно активированных (путем термообработки при Т = 573-873 К) слоев М0О3. В процессе термической обработки на спектрах поглощения предварительно активированных слоев М0О3 наблюдаются уменьшение оптической плотности образцов в интервале X = 400-1000 нм с максимумом X = 870 нм и незначительное увеличение поглощения в коротковолновом диапазоне X = 300-400 нм. При изменении температуры обработки независимо от исходной толщины слоев М0О3 наблюдается уменьшение оптической плотности в длинноволновой области спектра. Степень термического превращения предварительно активированных пленок Мо03 рассчитывали по формуле: а = (А0 — А) / (А0 - Ак). Результаты по зависимости степени превращения центра Т2 предварительно активированных слоев М0О3 от

толщины, температуры и времени обработки приведены в разделе 3.3.2.2. Модельные представления процессов термостимулированного превращения образованного в процессе предварительной активации [е (Уа)++ е]-центра, сопровождающаяся его ионизацией, переходом электронов в зону проводимости и их взаимодействием с Мо6+ представлены в разделе 3.3.2.3.

Раздел 3.4 посвящен исследованию фотостимулированного изменения оптических свойств пленок оксида молибдена (VI) различной толщины (8 - 80 нм). Установлено, что спектры поглощения и отражения пленок Мо03 при облучении образцов светом из области собственного поглощения (А, = 320 нм) в атмосферных условиях и Т = 293 К существенно изменяются. На спектрах поглощения образца можно выделить характерные коротковолновую А<400 нм и длинноволновую А,>400нм области поглощения (раздел 3.4.1). Установлено (раздел 3.4.2), что степень фотохимического превращения центра Т| в центр Т2 зависит от первоначальной толщины пленок Мо03, времени облучения и интенсивности падающего света. Независимо от толщины пленок Мо03 и интенсивности падающего света при увеличении времени облучения степень превращения возрастает. В разделе 3.4.3 предложен механизм фотохимического превращения пленок Мо03, включающий: генерацию электрон-дырочных пар, рекомбинацию части неравновесных носителей заряда, формирование центров [(е (Уа)++е], выделение продуктов фотолиза.

В разделе 3.5 приведены результаты систематических исследований термопревращений в системах на основе индия и оксида молибдена (VI). Для установления возможного взаимодействия между пленками индия и оксида молибдена (VI) в процессе приготовления систем 1п-Мо03, были сопоставлены экспериментальные спектры поглощения систем с рассчитанными спектрами поглощения, полученными суммированием при каждой длине волны значений оптической плотности индивидуальных пленок Мо03 и 1п аналогичной толщины. В результате чего было установлено, что рассчитанные и экспериментальные спектры поглощения всех исследованных систем 1п-Мо03 не совпадают, что может быть связано с формированием при приготовлении систем дополни-

тельного количества центров [е (Уа)^ е] (раздел 3.5.1). Термическая обработка образцов (раздел 3.5.2) 1п-Мо03 с толщиной подслоя МоОз 10-30 нм приводит к уменьшению оптической плотности образца во всем исследуемом диапазоне. Для систем с толщиной подслоя Мо03 порядка 30-70 нм при определенных временах прогрева коэффициент отражения в интервале длин волн А, = 200850 нм уменьшается практически до нулевого значения. В разделе 3.5.3 при-вдены кинетические зависимости термического превращения пленок Мо03, нанесенных на стеклянные подложки и пленки индия, при различных температурах термообработки. Установлено, что скорость превращения центра Т2 пленок Мо03 в системах 1п-Мо03 больше, чем в индивидуальных пленках М0О3.

На основании исследования фотоЭДС систем 1п - Мо03 (с учетом результатов исследования КРП) построена диаграмма энергетических зон гетероси-стем 1п - Мо03, объясняющая причины увеличения скорости процессов термопревращения пленок оксида молибдена (VI) слоем индия за счет перераспределения электронов на границе контакта 1п - Мо03 и потока электронов из индия в оксид молибдена (VI) (раздел 3.5.4 и 3.5.5).

Автор считает своим приятным долгом выразить глубокую и искреннюю благодарность научному руководителю д.х.н., профессору Суровому Э.П. за предоставленную тему и полезные дискуссии на всех этапах выполнения работы, к.х.н. Борисовой Н.В., к.х.н. Бину C.B., к.х.н., доценту Бугерко JI.H. за непосредственное участие в подготовке и проведении экспериментальных исследований и моральную поддержку.

ГЛАВА 1 ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ

1.1 Свойства индия

Индий относится к рассеянным элементам. Содержание его в земной коре 10"5 % по массе, в воде морей и океанов менее 0,02 мг/л. Известно пять природных минералов, включающих в свой состав индий - самородный индий, индит Ре1п284, рокезит Си1п82, джалиндит 1п(ОН)3, сакуранит (Си,гп,Ре)з(1п,8п)84. Индий является спутником цинка, олова, свинца, в меньшей мере — меди и железа. Присутствует в сфалеритах, касситеритах, галенитах, халькопиритах (10"-10"" %),

пиритах и пирротинах (до 10" %). Наибольшее содержание индия - в высокотемпературных гидротермальных месторождениях касситерит-сульфидного и олово-сульфосольного типов [4].

Структура индия. Индий обладает объемно-центрирванной тетрагональной (ОЦТ) кристаллической структурой с параметрами элементарной ячейки при комнатной температуре и нормальном давлении: а = 0,32512 нм, с = 0,49467 нм, с коэффициентом заполнения пространства к = 0,686 и пространственной группой 14/тшт [1,4]. Эту структуру также можно рассматривать и как тетрагонально искаженную гранецентрирванную кубическую (ГЦК) структуру с параметрами: а = 4,583 А; с = 4,936 А, отношение параметров с/а - 1,077 [2, 3].

Рис. 1.1.1 - Соотношение параметров тетрагональной ячейки индия в гранецен-трированном (а, с) и объемно-центрированном (а', с') представлениях

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Рамазанова, Галина Олеговна, 2013 год

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1. Яценко, С.П. Индий. Свойства и применение / С.П. Яценко. - М.: Наука, 1987.-256 с.

2. Филянд, М.А. Свойства редких элементов: Справочник / М.А. Филянд, Е.И. Семенова - М.: Металлургия, 1964. - 913 с.

3. Гемпель, К.А. Справочник по редким металлам / К.А. Гемпель; перевод с англ. под ред. В.Е. Плющева. - М: Мир, 1965. - 946 с.

4. Химическая энциклопедия: В 5 т.: Т. 2. / под ред. Кнунянц И.Л. и др. - М: Сов. энцикл., 1990. - 671 с.

5. Федоров, П.И. Индий. / П.И. Федоров, Р.Х. Акчурин. - М.: Наука, 2000. -276 с.

6. Федоров, П.И. Химия галлия, индия, таллия / П.И. Федоров, М.В. Мохосо-ев, Ф.П. Алексеев. - Новосибирск: Наука, 1977. - 224 с.

7. Сонгина, О.А. Редкие металлы / О.А. Сонгина. - М.: Металлургия, 1964. -568 с.

8. Свойства элементов: Справочник / Под ред. М.Е Дрица. - М.:Металлургия, 1985.-672 с.

9. Golovashkin, A.I. Optical properties of indium / A.I. Golovashkin, I.S. Levchenko, G.P. Motulevich, A.A. Shubin // Soviet Physics JETP. - 1967. -V. 24, №6.-P. 1093- 1100.

10. Мотулевич, Г.П. Оптические свойства поливалентных непереходных металлов / Г.П. Мотулевич // Успехи физ. наук. - 1969. - Т. 97, Вып. 2. -С. 211-256.

11. Hunter, W.R. On the optical constant of metals at wavelengths shorter that their critical wavelengths / W.R. Hunter // J. Phys. France. - 1964. - V. 25, № 1-2. -P. 154-160.

12. Anno, E. Size-dependent change in interband absorption and broadening of optical plasma-resonance absorption of indium particles / E. Anno, M. Tanimoto // J. Appl. Phys. - 2005. - У. 98. - P. 154 - 160.

13. Garcia, J.F. Kinetics model of the thermal oxidation of indium powder / J.F. Garcia, S. Sanchez, R. Metz // Oxidation of metals. - 2012. - V. 77, № 1-2. P. 1 -7.

14. Тамбасов, И.А. Структурные и оптические свойства тонких пленок 1пгОз, полученных автоволновым окислением / И.А Тамбасов и др. // ФТП. -2013. - Т.47, Вып. 4. - С. 546-550.

15. Ашхотов, О.Г. Влияние электронного облучения на процесс окисления индия / О.Г. Ашхотов, Д.А. Крымшокалова, И.Б. Ашхотова // ЖТФ. - 2011. -Т. 81, Вып. 5.-С. 111-114.

16. Денисова, J1.T. Окисление жидких сплавов индий-олово и индий-серебро / JI.T. Денисова, В.М. Денисов С.Д. Кирик, Т.В. Осипович // Журн. Сиб. федерального ун-та. Техника и технологии. - 2010. - Т.З, № 4. - С 422-429.

17. Лазарев, В.Б. Химические и физические свойства простых оксидов металлов / В.Б. Лазарев, В.В. Соболев, И.С. Шаплыгин. - М.: Наука, 1983. -239 с.

18. Рабинович, В.А. Краткий химический справочник / В.А.Рабинович, З.Я. Хавин. - Л.: Изд-во «Химия», 1991.-432 с.

19. Dawar, A.L. Semiconducting transparent thin films: their properties and applications / A.L. Dawar, J.C. Joshi // J. Matere. Sci. - 1984. - V. 19, № 1 -P.1-23.

20. Самсонов, Г.В. Физико-химические свойства окислов / Г.В. Самсонов, А.Л. Борисова, Т.Г. Жидкова и др. - М.: Металлургия, 1978. - 472 с.

21. Damodara Das, V. Optical and electrical investigations of indium oxide thin films prepared by thermal oxidation of indium thin films / V. Damodara Das, S. Kirupavathy, L. Damodare, N. Lakshminarayan // J. Appl. Phys. - 1996. -V. 79. - P. 8521-8530.

22. Форш E.A. Оптические, электрические и фотоэлектрические свойства на-нокристаллического оксида индия: Автореф. дис. ... канд. хим. наук. Москва: МГУ, 2013.-25 с.

23. Wieher, R.L. Optical properties of indium oxide / R.L. Wieher, R.P. Ley // J. Appl. Phys. - 1966. -V. 37. - P. 299-301.

24. Mizuhashi, M. Electrical properties of vacuum-deposited indium oxide and indium tin oxide films / M. Mizuhashi // Thin solid films. - 1980. - V. 70, № 1. -P. 90-100.

25. Tahar, R.B.H. Optical, structural, and electrical properties of indium oxide thin films prepared by the sol-gel method / R.B.H. Tahar, T. Ban, Y. Ohya, Y. Takahashi // J. Appl. Phys. - 1997. - V. 82. - P. 865-870.

26. Химическая энциклопедия: В 5 т.: Т. 3. / под ред. Кнунянц И.Л. и др. - М: Большая Российская энцикл., 1992. - 639 с.

27. Третьяков, Ю.Д. Химия нестехиометрических окислов / Ю.Д. Третьяков. -М.: Изд-во Московского ун-та, 1974. - 364 с.

28. Уэллс, А. Структурная неорганическая химии: в 3 т.: т. 2 / А. Уэллс. - М.: Изд-во «Мир», 1987. - 696 с.

29. Гончаров, И.Б. Ионный циклотронный резонанс в реакциях ионных кластеров оксида молибдена с аммиаком / И.Б. Гончаров, У.Ф. Фиалко // Журнал физической химии. - 2002. - Т. 76, № 9. - С. 1610-1617.

30. Sotani, N. Change in bulk and surface structure of mixed Mo03-ZnO oxide by heat treatment in air and in hydrogen / N. Sotani et al. // Journal of Materials Science. - 2000. - V. 36. - P. 703-713.

31. Перельман, Ф.В. Молибден и вольфрам / Ф.В. Перельман. - М.: Изд-во «Наука», 1968. - 140 с.

32. Школьник, А.Л. Оптические свойства МоОз / А.Л. Школьник // Известия АН СССР. Серия «Физика». - 1967. - Т. 31. № 12. - С. 2030-2051.

33. Борисова, Н.В. Термопревращения в наноразмерных слоях алюминия, оксида молибдена (VI) и системах на их основе: Автореф. дис. ... канд. хим. наук. Кемерово: КемГУ, 2007. - 25 с.

34. Лусис, А.Р. Электрохромные зеркала - твердотельные ионные устройства / А.Р. Лусис, Я.Я. Клеперис // Электрохимия. - 1992. - Т. 28, Вып. 10. -С. 1450-1455.

35. Tubbs, M.R. Optical properties, photographic and holographic applications of photochromic and electrochromic layers / M.R. Tubbs, // Brit. J. Appl. Phys. -1964. - V. 15. -P. 181-198.

36. Arnoldussen, Thomas C. Electrochromism and photochromism in M0O3 films / / T.C. Arnoldussen, // J. Electrochem. Sol.: Solid-State Science and Technology. - 1976.-V. 123.-P. 527-531.

37. Андреев, B.H. Исследование фотохромных кластерных систем на основе оксидов Мо методом ЭПР-спектроскопии / В.Н. Андреев, С.Е. Никитин // Физика твердого тела. - 2001. - Т. 43, Вып. 4. - С. 755-758.

38. Yang, Y.A. Microstructures of electrochromic M0O3 thin films colored by injection of different cations / Y.A. Yang, Y.W. Cao, B.N. Loo, J.N. Yao // J. Phys. Chem. - 1998. - V. 102. - P. 9392-9396.

39. Оксидные электрохромные материалы. - Рига: ЛГУ им. П.Стучки, 1981. -156 с.

40. Андреев, В.Н. Фотохромный эффект в кластерных системах оксидов молибдена / В.Н. Андреев, С.Е. Никитин // Физика твердого тела. - 1999. -Т. 41, Вып. 7.-С. 1323-1328.

41. Mahajan, S.S. Concentration dependent structural, optical and electrochromic properties of Mo03 thin films / S.S. Mahajan, S.H. Mujawar, P.S. Shinde, A.I. Inamdar, P.S. Patil // Int. J. Electrochem. Sci. - 2008. - №3. - P. 953 - 960.

42. Szekeres, A. Spectroscopic ellipsometry study of CVD molybdenum oxide films: effect of temperature / A. Szekeres, T. Ivanova, K. Gesheva // J. Solid State Electrochem. - 2002. - № 7. - P. 17 - 20.

43. McEvoy, Т. M. Electrochemical preparation of molybdenum trioxide thin films: effect of sintering on electrochromic and electroinsertion properties / T.M. McEvoy, K.J. Stevenson, J.T. Hupp, X. Dang // Langmuir. - 2003. - № 19. -P. 4316-4326.

44. Wang, Y. Hydrothermal synthesis of а-МоОз and the influence of later heat treatment on its electrochemical properties / Y. Wang, Y. Zhu, Z. Xing, Y. Qian // Int. J. Electrochem. Sci. - 2013. - № 8. - P. 9851 - 9857.

45. Стекольников, Ю.А. Физико-химические процессы в технологии машиностроения: Учеб. Пособие / Ю.А. Стекольников, Н.М. Стекольникова. -Елец: Издательство Елецкого государственного университета имени И.А. Бунина.-2008.- 136 с.

46. Томашов, Н.Д. Теория коррозии и защиты металлов / Н.Д. Томашов. - М.: Изд-во АН СССР, 1960. - 592 с.

47. Барре, П. Кинетика гетерогенных процессов / П. Барре. - М.: Изд-во «Мир», 1976.-400 с.

48. Технология тонких пленок: Справочник. Т. 1. / Под ред. JT. Майссела, Р. Гленга.-М.: Советское радио, 1977. - 664 с.

49. Минайчев, В.Е. Нанесение пленок в вакууме / В.Е. Минайчев. - М.: Высшая школа, 1989. - 110 с.

50. Метфессель, С. Тонкие пленки, их изготовление и измерение / С. Метфессель. - M. - JT.: Госэнергоиздат, 1963. - 272 с.

51. Борисова, Н.В. Методы получения, применение и исследование тонкослойных неорганических материалов: учебное пособие / Н.В. Борисова и др. - Кемерово: Кузбассвузиздат, 2006. - 140 с.

52. Титов, И.В. Исследование процесса окисления наноразмерных слоев меди: дисс... канд. хим. наук: 02.00.04 / Титов Илья Вячеславович. - Кемерово, 2006.- 118 с.

53. Верещагин, В.И. Полифункциональные неорганические материалы на основе природных и искусственных соединений / В.И. Верещагин, В.В. Козик, В.И. Сырямкин и др. - Томск: Изд-во Том. ун-та, 2002. - 359 с.

54. Матосов, М.В. Физика контактной разности потенциалов / М.В. Матосов; Ред. совет фак-та №4 Московского авиационного института. - Москва, 1987. - 188 с. - Библиограф. 186. - Деп. в ВИНИТИ 14.05.87., № 4470-В87.

55. Фоменко, B.C. Эмиссионные и адсорбционные свойства веществ и материалов: Справочник / B.C. Фоменко, И.А. Подчерняева. - М.: Атомиздат, 1975.-320 с.

56. Гаркуша, Ж.М. Основы физики полупроводников / Ж.М. Гаркуша. - М.: Высш. школа, 1982. — 245 с.

57. Бин, C.B. Релаксация тока в наноразмерных пленках оксида вольфрама (VI) / C.B. Бин, Н.В. Борисова, Э.П. Суровой и др. // Известия Томского политехнического университета. - 2006. - Т. 309, № 3. - С. 102-106.

58. Суровой, Э.П. Исследование релаксации тока в наноразмерных системах медь - оксид вольфрама (VI) - медь / Э.П. Суровой, C.B. Бин, Н.В. Борисова // Материаловедение. - 2007. - №4. - С. 23-29.

59. Суровой, Э.П. Направленное регулирование процесса фотолиза азидов свинца, серебра, таллия металлами и неорганическими полупроводниками: дисс... доктора хим. наук: 02.00.04 / Суровой Эдуард Павлович. - Кемерово, 2000.-310 с.

60. Уэйн, Р. Основы и применения фотохимии. - М.: Мир, 1991. - 304 с.

61. Рабек, Я. Экспериментальные методы в фотохимии и фотофизике. Т. 2. -М.: Мир, 1985.-544 с.

62. Эпштейн М.И. Измерения оптического излучения в электронике / М.И. Эпштейн. - Л.: Энергоатомиздат, 1990. - 256 с.

63. Гуревич, М.М. Фотометрия / М.М. Гуревич. - Л.: Энергоатомиздат, 1983. -272 с.

64. Афанасьев, В.А. Оптические измерения/ В.А. Афанасьев. - М.: Высшая школа, 1981.-229 с.

65. Геворкян, В.А. InAsSbP/InAs гетероструктуры для термофотовольтаиче-ских преобразователей: получение и свойства / В.А. Геворкян и др.// Письма в ЖТФ. - 2008. - Т. 34, № 2. - С. 55-62.

66. Lokhande, C.D. Contact angle measurements: an empirical diagnostic method for evaluation of thin film solar cell absorbers (CuInS2) / C.D. Lokhande, A. Barkschat, H. Tributsch// Sol. Energy Mater, and Sol. Cells. - 2003. - V. 79, № 3. P. 293-304.

67. Гайнутдинов, И.С. Влияние поверхностной проводимости на оптические свойства пленок окиси индия легированной оловом / И.С. Гайнутдинов и др. // Оптический журнал. - 2005. - Т. 72, № 10. - С. 63-69.

68. Логачева, В.А. Особенности пленок вольфраматов индия, полученных методом послойного напыления / В.А. Логачева и др. // Неорганические материалы. - 2008. - Т. 44, № 3. С 366-371.

69. Суровой, Э.П. Закономерности формирования наноразмерных пленок системы индий - оксид индия (III) / Э.П. Суровой, Г.О. Еремеева // Неорганические материалы. - 2012. -Т. 48, № 7. - С. 819-824.

70. Суровой, Э.П. Термопревращения в наноразмерных слоях индия / Э.П. Суровой, Г.О. Еремеева // Ползуновский вестник. - 2010. - № 3. - С 184-188.

71. Суровой, Э.П. Термостимулированные превращения в наноразмерных пленках индия / Э.П. Суровой, Г.О. Еремеева // Изв. вузов. Химия и химическая технология. - 2012. - Т. 55, № 12. - С. 63-67.

72. Еремеева, Г.О. Особенности термостимулированного окисления наноразмерных пленок индия / Г.О. Еремеева, Э.П. Суровой // Наноматериалы и наноструктуры. - 2013 г. - № 2,Т. 4. - С. 10-14.

73. Суровой, Э.П. Особенности термостимулированных превращений в наноразмерных системах индий - оксид индия (III) / Э.П. Суровой, Г.О. Еремеева // Химия и химическая технология: материалы I Международной Российско-Казахстанской конференции. - Томск: Изд-во ТПУ, 2011.-С. 175-178.

74. Еремеева, Г.О. Формирование оксида индия (III) на поверхности наноразмерных пленок индия / Г.О. Еремеева, Э.П. Суровой // Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества: материалы III Всероссийской молодёжной конференции с элементами научной школы. — М: ИМЕТ РАН, РХТУ им. Д.И. Менделеева, 2012. - С. 232-233.

75. Афанасьева, Г.В. Влияние термообработки при Т=573 К на оптические свойства наноразмерных пленок индия / Г.В. Афанасьева, Г.О. Еремеева //

Образование, наука, инновации - вклад молодых исследователей: материалы VI (XXXVIII) Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых. - Кемерово, 2011. - Вып. 12. — Т. 2 -С. 458-459.

76. Суровой, Э. П. Исследование состояния поверхности азидов свинца, серебра и таллия в процессе фотолиза методом КРП / Э. П. Суровой, И. В. Титов, JI. Н. Бугерко // Материаловедение. - 2005. - № 7. - С. 15-20.

77. Еремеева Г.О. Исследование наноразмерных систем In-МоОз и In-In203 / Г.О. Еремеева, Э.П. Суровой, С.В. Бин // Химия и химическая технология: материалы II Международной Казахстанско-Российской конференции. -Караганда: Изд.во КарГУ, 2012. - Т. 1. - С. 109-113.

78. Еремеева, Т.О. Термопревращения тонких пленок индия / Г.О. Еремеева // Химия и химическая технология в XXI веке: материалы XI Всероссийской научно-практической конференции студентов и аспирантов. — Томск, 2010. -Т. 1. - С. 42-44.

79. Еремеева, Г.О. Влияние тепловой обработки на оптические свойства наноразмерных пленок In и МоОз / Г.О. Еремеева // Образование, наука, инновации - вклад молодых исследователей: материалы III (XXXV) Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых. - Кемерово, 2008. - С. 364-365.

80. Еремеева, Г.О. Термопревращения наноразмерных пленок индия, оксида молибдена (VI) и систем на их основе / Г.О. Еремеева // Научное творчество молодежи: материалы XII Всероссийской научно-практической конференции. - Томск: Изд-во Том. ун-та, 2009. - Ч. 1.- С. 198-199.

81. Цыплакова, Е.Е. Исследование изменения оптических свойств наноразмерных пленок индия в результате тепловой обработки при Т = 450 К / Е.Е. Цыплакова, Г.О. Еремеева // Студент и научно-технический прогресс: материалы XLVIII Международной научной студенческой конференции. -Новосибирск, 2010. - С. 199.

82. Еремеева, Г.О. Влияние тепловой обработки на оптические свойства наноразмерных пленок In и Мо03 / Г.О. Еремеева, А.А. Хасанова // Научное творчество молодежи: материалы XI Всероссийской научно-практической конференции. - Томск: Изд-во Том. ун-та, 2008. - Ч. 1.- С. 163-165.

83. Еремеева, Г.О. Деградация наноразмерных пленок индия в процессе термообработки / Г.О. Еремеева, Э.П. Суровой, JI.H. Бугерко, Н.В. Гостюнина // Химия-ХХ1 век: новые технологии, новые продукты: материалы XII Международной научно-практической конференции. - Кемерово, 2009. -Ч. 1.- С. 45-47.

84. Новикова, Н.С. Изменение оптических свойств наноразмерных пленок индия в результате теплового воздействия при Т=873 К / Н.С. Новикова, Г.О. Еремеева // Научное творчество молодежи: материалы XV Всероссийской научно-практической конференции. - Томск: Изд-во Том. ун-та, 2011. -Ч. 1.- С. 296-298.

85. Журавлева, C.B. Термическая коррозия наноразмерных пленок In при Т = 473 К / C.B. Журавлева, Г.О. Еремеева // Научное творчество молодежи: материалы XVI Всероссийской научно-практической конференции. -Анжеро-Судженск, 2012. -Ч. 2.- С. 213-214.

86. Еремеева, Г.О. Исследование закономерностей термического окисления наноразмерных пленок индия / Г.О. Еремеева // Ломоносов 2012: материалы Международной конференции молодых ученых по фундаментальным наукам; фундаментальное материаловедение и наноматериалы. -М.: МАКС Пресс, 2012. - С. 46

87. Хауфе, К. Реакции в твердых телах и на их поверхности / К. Хауффе. - М.: Иностр. лит-ра, 1962. - 415 с.

88. Кубашевский, О. Окисление металлов и сплавов / О. Кубашевский, Б. Гопкинс. - М.: «Металлургия», 1965. - 428 с.

89. Волькенштейн, Ф.Ф. Физико - химия поверхности полупроводников. / Ф.Ф. Волькенштейн. - М.: Наука, 1972. - 399 с.

90. Борисова, Н.В. Закономерности формирования наноразмерных систем «алюминий - оксид алюминия» в процессе термической обработки пленок алюминия / Н.В. Борисова, Э.П. Суровой // Коррозия: материалы, защита. -2007.-№6.-С. 13-17.

91. Суровой, Э.П. Коррозия наноразмерных пленок свинца / С.В Бин, Н.В. Борисова, Э.П. Суровой // Коррозия: материалы, защита. - 2008. -№ 11.-С. 4-10.

92. Суровой, Э.П. Фотостимулированное формирование наноразмерной системы индий-оксид индия / Э.П. Суровой, Г.О. Рамазанова // Неорганические материалы. - 2013. - Т. 49, № 10. - С. 1065-1070.

93. Рамазанова, Г.О. Влияние облучения на оптические свойства наноразмерных пленок индия / Г.О. Рамазанова, Л.И. Шурыгина // Ползуновский вестник.- 2013г. -№ 1.-С.82-86.

94. Тюрина, Т.А. Фотостимулированные превращения в наноразмерных пленках МоОз, Тп и системах на их основе / Т.А. Тюрина, Г.О. Еремеева // Образование, наука, инновации - вклад молодых исследователей: материалы V (XXXVII) Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых. - Кемерово, 2010. - С. 396-397.

95. Потапова, Е.Ю. Исследование оптических свойств наноразмерных пленок индия в результате светового воздействия / Е.Ю. Патапова, Г.О. Еремеева // Студент и научно-технический прогресс: материалы XLVIII Международной научной студенческой конференции. - Новосибирск, 2010. -С. 194.

96. Почечуева, Л.Ю. Влияние световой обработки на оптические свойства наноразмерных пленок оксида молибдена (VI) / Л.Ю. Почечуева, Г.О. Еремеева // Научное творчество молодежи: материалы XV Всероссийской научно-практической конференции. - Томск: Изд-во Том. ун-та, 2011. -Ч. 1.-С. 298-299.

97. Потапова, Е.Ю. Фотостимулированное окисление наноразмерных пленок индия / Е.Ю. Патапова, Г.О. Еремеева // Ломоносов 2010: материалы Меж-

дународной конференции молодых ученых по фундаментальным наукам; фундаментальное материаловедение и наноматериалы. -М.: МАКС Пресс,

2010.-С. 67.

98. Почечуева, JI.IO. Изменение оптических свойств наноразмерных пленок In, МоОз и гетеросистем на их основе в результате светового воздействия / Л.Ю. Почечуева, Г.О.Еремеева // Ломоносов 2011: материалы Международной конференции молодых ученых по фундаментальным наукам; фундаментальное материаловедение и наноматериалы. - М.: МАКС Пресс,

2011.-С. 48.

99. Бескровных, Н.О. Изменение спектров поглощения и отражения наноразмерных пленок индия в результате воздействия / Н.О. Бескровных, Г.О. Рамазанова // Образование, наука, инновации - вклад молодых исследователей: материалы VIII (XL) Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых. - Кемерово, 2013. -Вып. 14.-С. 913.

100. Индутный, И.З. Фотостимулированные взаимодействия в структурах металл - полупроводник / И.З. Индутный, М.Т. Костышин, О.П. Касярум и др. - Киев: Наукова думка, 1992. - 240 с.

101. Кофстад, П. Отклонение от стехиометрии, диффузия и электропроводность в простых окислах металлов / П. Кофстад. - М.: Мир, 1975. - 399 с.

102. Халманн, М. Фотохимическая фиксация диоксида углерода // Энергетические ресурсы сквозь призму фотохимии и фотокатализа. — М.: Мир, 1986. -С. 549-578.

103. Груздков, Ю.А. Фотокатализ дисперсными полупроводниками / Ю.А. Груздков, E.H. Савинов, В.Н. Пармон // Фотокаталитическое преобразование солнечной энергии. Гетерогенные, гомогенные молекулярные структурно-организованные системы. - Новосибирск: Наука, 1991. — С. 138-179.

104. Порай-Кошиц, М.А. Кристаллохимия и стереохимия координационных соединений молибдена / М.А. Порай-Кошиц, JT.O. Атовмян. - М.: Изд-во «Наука», 1974.-232 с.

105. Yao, J.N. Enhancement of Photochromism and Electrochromism in M0O3/A11 and МоОз/Pt Thin Films / J.N. Yao, Y.A. Yang, B.H. Loo // J. Phys. Chem. B. -1998. - V. 102.-P. 1856-1860.

106. Суровой, Э.П. Термопревращения в наноразмерных слоях М0О3 / Н.В. Борисова, Э.П. Суровой // Журн. физ. химии. - 2008. - Т. 82, №11. - С. 21202125.

107. Панков, Ж. Оптические процессы в полупроводниках / Ж. Панков. - М.: Мир, 1973.-456 с.

108. Суровой, Э.П. Термическое модифицирование наноразмерных пленок оксида молибдена (VI) // Э.П. Суровой, Г.О. Рамазанова / Неорганические материалы. -2013г. - Т. 49, № 5. - С. 500-504.

109. Суровой, Э.П. Термостимулированные превращения в наноразмерных пленках оксида молибдена (VI) / Э.П. Суровой, Г.О. Еремеева // Ползунов-ский вестник.-2011. -№4-1. -С. 142-146

110. Еремеева, Г.О. Термостимулированные превращения в пленках оксида молибдена (VI) / Г.О. Еремеева, Э.П. Суровой // Функциональные наномате-риалы и высокочистые вещества: Сб. материалов III Всероссийской молодёжной конференции с элементами научной школы (28 мая - 1 июня 2012 г., г.Москва). - М: ИМЕТ РАН, РХТУ им. Д.И. Менделеева, 2012. -С. 234-235.

111. Заречнева, K.JI. Влияние термообработки при Т=773 К на оптические свойства наноразмерных пленок МоОз / K.JI. Заречнева, Г.О. Еремеева // Ломоносов 2011: материалы Международной конференции молодых ученых по фундаментальным наукам; фундаментальное материаловедение и нанома-териалы.-М.: МАКС Пресс, 2011.-С. 51.

112. Борисова, Н.В. Термопревращения предварительно активированных наноразмерных слоев оксида молибдена (VI) / Н.В. Борисова и др. // Ползунов-ский вестник. - 2009. - № 3. - С. 235-240

113. Ivanova, Т. Structure and optical properties of CVD molybdenum oxide films for electrochromic application / T. Ivanova, К. Gesheva, A Szekeres // J. Solid State Electrochem. - 2002. - V. 7, № 1. P. 21-24.

114. Бугерко, JI.H. Влияние облучения на оптические свойства Мо03 / JT.H. Бу-герко и др. // Ползуновский вестник. - 2013. - № 1. - С. 77-82.

115. Surovoi, E.P.Thermal Transformations in In-МоОз Nanofilms // E.P. Surovoi, G.O. Eremeeva // Inorganic Materials. - 2013. - V. 49, № 4. - P. 390-394

116. Рамазанова, Г.О. Влияние подслоя индия на термические превращения оксида молибдена (VI) в наноразмерной системе 1п-Мо03 / Г.О. Рамазанова, Л.И. Шурыгина // Ползуновский вестник. - 2013г. -№ 1. - С. 87-91.

117. Рамазанова, Г.О. Исследование изменения оптических свойств наноразмерных систем In-МоОз при термообработке / Г.О. Рамазанова, Э.П. Суровой, В.Э. Суровая // Химия и химическая технология: достижения и перспективы: материалы Всероссийской конференции. - Кемерово, 2012.-С. 55-58.

118. Еремеева, Г.О. Влияние термообработки на оптические свойства наноразмерных пленок индия, оксида молибдена (VI) и систем на их основе / Г.О. Еремеева // Образование, наука, инновации - вклад молодых исследователей: материалы IV (XXXVI) Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых. - Кемерово, 2009. - С. 372-373.

119. Жаравина, Н.С. Влияние термообработки при Т = 573 К на оптические свойства наноразмерных плёнок 1п-Мо03 / Н.С. Жаравина, Г.О. Еремеева // Студент и научно-технический прогресс: материалы XLVIII Международной научной студенческой конференции. - Новосибирск, 2010. - С. 181.

120. Заречнева, К.Л. Исследование оптических свойств наноразмерных систем на основе индия и оксида молибдена (VI) / К.Л. Заречнева, Г.О. Еремеева //

Научное творчество молодежи: материалы XV Всероссийской научно-практической конференции. - Томск: Изд-во Том. ун-та, 2011. - Ч. 1.- С. 281-283.

121. Терентьева, А.О. Исследование термопревращений систем на основе индия и оксида молибдена (VI) при Т=673 К / А.О. Терентьева, Г.О. Еремеева // Образование, наука, инновации - вклад молодых исследователей: материалы VI (XXXVIII) Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых. - Кемерово: ООО «ИНТ», 2011. -Вып. 12, Т.2-С. 525-526.

122. Еремеева Г.О. Термопревращения наноразмерных систем на основе индия и оксида молибдена (VI) / Г.О. Еремеева // Теоретическая и экспериментальная химия жидкофазных систем: материалы VI конференции молодых ученых. - Ивново, 2011. - Ч. 1.- С. 281-283.

123. Журавлева, C.B. Термические превращения наноразмерных пенок In, М0О3 и систем на их основе при Т = 473 К / C.B. Журавлева, Г.О. Еремеева // Образование, наука, инновации - вклад молодых исследователей: материалы VI (XXXVIII) Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых. - Кемерово, 2012. - Вып. 13 — С. 1046-1048.

124. Еремеева, Г.О. Термические превращения наноразмерных систем 1п-МоОз / Г.О. Еремеева, Э.П. Суровой // Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества: материалы IV Международной конференции с элементами научной школы для молодежи. - М: ИМЕТ РАН, 2012, - С 226-227.

125. Рамазанова, Г.О. Изменение оптических свойств наноразмерных пленок In - М0О3 в процессе термического воздействия / Г.О. Рамазанова // Исследования и метрология функциональных материалов: материалы V Школы-семинара сети центров коллективного пользования научным оборудованием. -Томск: Изд-во Том. ун-та, 2012. - С. 179-188.

126. Афанасьева, Г.В. Термопревращения при 573 К тонких пленок In, М0О3 и систем на их основе / Г.В. Афанасьева, Г.О. Еремеева // Научное творчест-

во молодежи: материалы XVI Всероссийской научно-практической ко: ренции. - Анжеро-Судженск, 2012. - Ч. 2.- С. 210-212.

127. Журавлева, C.B. Изменение оптических свойств наноразмерных пленок In, М0О3 и систем на их основе при Т = 473 К / C.B. Журавлева, Г.О. Еремеева // Ломоносов 2012: материалы Международной конференции молодых ученых по фундаментальным наукам; фундаментальное материаловедение и наноматериалы. - М.: МАКС Пресс, 2012. - С. 48.

128. Суровой, Э.П. Закономерности фотостимулированных превращений в наноразмерных пленках М0О3 / Э.П. Суровой и др. // Журнал физической химии.-2013.-Т. 87, № 12. - С. 2105-2109.