Строение поверхностей аморфных и монокристаллических материалов, отличающихся по типу химической связи, и нанесённых на них многослойных покрытий по данным рентгеновской рефлектометрии тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.07, кандидат физико-математических наук Рощин, Борис Сергеевич

  • Рощин, Борис Сергеевич
  • кандидат физико-математических науккандидат физико-математических наук
  • 2009, Москва
  • Специальность ВАК РФ01.04.07
  • Количество страниц 133
Рощин, Борис Сергеевич. Строение поверхностей аморфных и монокристаллических материалов, отличающихся по типу химической связи, и нанесённых на них многослойных покрытий по данным рентгеновской рефлектометрии: дис. кандидат физико-математических наук: 01.04.07 - Физика конденсированного состояния. Москва. 2009. 133 с.

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Рощин, Борис Сергеевич

Введение

Глава 1. Получение и анализ поверхностного нанорельефа

Литературный обзор)

1.1. Рентгеновские методы контроля параметров нанорельефа

1.2. Рентгеновская рефлектометрия

1.3. Атомно-силовая микроскопия

1.4. Нанорельеф на поверхностях кристаллов.

Глава 2. Методика проведения экспериментов и обработка экспериментальных данных.

2.1. Рентгеновские эксперименты.

2.2. Атомно-силовая микроскопия

Рекомендованный список диссертаций по специальности «Физика конденсированного состояния», 01.04.07 шифр ВАК

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Строение поверхностей аморфных и монокристаллических материалов, отличающихся по типу химической связи, и нанесённых на них многослойных покрытий по данным рентгеновской рефлектометрии»

Достигнутые в последние десятилетия успехи в ряде областей науки и техники (к которым в первую очередь относятся физика полупроводников и микроэлектроника, лазерная техника, оптика видимого, ультрафиолетового п рентгеновского диапазонов) в значительной мере определяются прогрессом в области технологии изготовления сверхгладких поверхностей и нанесения на них тонкоплёночных и многослойных покрытий. Структура поверхности подложки, а именно её шероховатость, регулярность и равномерность нано-рельефа могут значительно влиять на условия роста наносимых плёночных структур. Методы контроля этих параметров структуры поверхности можно разделить на два класса:

• методы, основанные на дифракции электромагнитного излучения на неоднородной границе раздела сред (оптические и рентгеновские), в частности, метод рентгеновского рассеяния в условиях полного внешнего отражения (РР) [1-6];

• прямые методы контроля микрорельефа: механическая профиломет-рия, атомно-силовая (АСМ) и туннельная микроскопия [7-10].

Перспективность рентгеновских методов определяется тем, что длина волны жёсткого рентгеновского излучения сравнима с характерными размерами изучаемого рельефа. Кроме этого, возможность изменять глубину проникновения зондирующего пучка (путём изменения угла скольжения) от нескольких нанометров в области полного внешнего отражения, до нескольких микрон вне её, делает рентгеновское излучение незаменимым инструментом для исследования тонких плёнок и многослойных структур, в том числе непосредственно в процессе их изготовления.

Похожие диссертационные работы по специальности «Физика конденсированного состояния», 01.04.07 шифр ВАК

Заключение диссертации по теме «Физика конденсированного состояния», Рощин, Борис Сергеевич

Основные результаты и выводы

1. Разработана методика контроля параметров регулярных нанострукту-рироваиных поверхностей с высотой шероховатости на уровне 0,1-1 нм, основанная на анализе углового распределения рассеянного рентгеновского излучения в условиях полного внешнего отражения. Получены теоретические выражения, позволяющие описать особенности рентгеновского рассеяния на ступенчатых наноструктурах. Созданная методика позволяет с точностью до 1 градуса установить ориентацию периодического нанорельефа, определить его средний период и степень разунорядочепностп по всей исследуемой поверхности, а также эффективную высоту шероховатости поверхности.

2. Установлено, что при периоде повторяемости нанорельефа до 200 нм, его нерегулярность по поверхности для ряда образцов не превосходит 15% от величины периода иа площади порядка 100 мм2, при этом эффективная высота шероховатости не превосходит 0,2 нм. Показано, что экспериментальные результаты, полученные по данным рентгеновского рассеяния и атомно-силовой микроскопии, находятся в хорошем соответствии. При этом, воспроизводимость рентгеновских измерений подтверждается исследованиями, проведёнными на двух разных установках.

3. На базе двухкристального рентгеновского топографического спектрометра создана новая экспериментальная установка для контроля параметров шероховатости, позволившая расширить угловой диапазон измерений и в результате увеличить диапазон пространственных частот, где измеряются функции спектральной плотности мощности высот шероховатости с 5 до 10 мкм-1 при минимальном значении 0,05 мкм-1.

4. В рамках международного проекта УАМАБ А10 в 20 различных лабораториях, в том числе при участии автора впервые выполнено рефлекто-мстрическое исследование идентичных образцов, обладающих стохастическим распределением шероховатости. Установлено, что экспериментальные данные, полученные российским участником проекта, на отечественном оборудовании, созданном при участии автора, позволяют точно восстановить распределение электронной плотности в сложной многослойной структуре. Проведённые работы позволили выработать проект международных рекомендаций по проведению рефлектометри-ческих измерений.

5. При участии автора разработана технология обработки поверхности монокристаллов теллурида кадмия, позволяющая получить шероховатость поверхности менее 1 нм, что соответствует шероховатости сколов данных монокристаллов и иа сегодняшний день является предельно достижимым значением. Эта технология нашла применение при изготовлении первых в нашей стране стриповых детекторов ионизирующего излучения на осиовс теллурида кадмия.

6. При исследовании зеркал для лазерных гироскопов было впервые установлено, что коэффициент отражения этих зеркал как в оптическом, так и в рентгеновском диапазоне зависит от шероховатости подложки. В результате работы удалось уменьшить шероховатость подложки до 0,25 нм, что привело к увеличению коэффициента отражения зеркал в оптическом диапазоне на длине волны 633 нм с 0,998 до 0,9989.

Благодарности

Автор выражает благодарность:

Своему научному руководителю Асадчикову Виктору Евгеньевичу, который направлял его научную работу на протяжении более 5 лет;

Занавескину Максиму Леонидовичу, Грищенко Юлии Викторовне, Муслимову Арсену Эмирбеговичу за проведение атомно-силовых измерений и помощь в обработке полученных данных;

Иванову Юрию Михайловичу и Павлюк Марине Дмитриевне за предоставленные образцы кристаллов теллурида кадмия и сотрудничество в области обработки их поверхностей;

Волкову Юрию Олеговичу и Якимчуку Ивану Викторовичу за помощь в проведении рентгеновских экспериментов;

Кожевникову Игорю Викторовичу за ценные консультации по теоретическим вопросам;

Островскому Борису Исааковичу за ценные советы по работе и обсуждение её результатов;

Акчурину Марату Шихаповичу за предоставленные данные по микротвердости кристаллов теллурида кадмия и помощь в их интерпретации;

Шкурко Владимиру Николаевичу за помощь по части аппаратного обеспечения;

Миренскому Анатолию Вениаминовичу, Шишкову Владимиру Анатольевичу, Арсентьеву Андрею Сергеевичу, а также другим сотрудникам СКВ ИК РАН, без которых была бы невозможна модификация установок, и, следовательно, выполнение всей экспериментальной части работы.

Публикации по материалам диссертации

1. M.L. Zanaveskin, Yu.V. Grishchenko, A.L. Tolstikhina, V.E. Asadchikov, B.S. Roshchin, V.V. Azarova. The surface roughness investigation by the atomic force microscopy, x-ray scattering and light scattering // Proceedings of SPIE. Micro- and Nanoelectronics. — 2005. — Vol. 6260.

- Pp. 62601A-1-62601A-9.

2. B.M. Каневский, Ю.М. Иванов, A.H. Поляков, М.Д. Зенкова, М.Ш. Ак-чурин, В.Е. Асадчиков, Б.С. Рогцин, И.В. Кожевников, Р.В. Гайиут-динов, М.Л. Занавескин. Исследование итероховатости поверхности иод-ложек из совершенных монокристаллов CdTe // Поверхность. Рентгеновские, нейтронные и синхротрониые исследования. — 2006. — №12.

С. 12-14.

3. М.Л. Занавескин, И.С. Занавескина, Б.С. Рощин, В.Е. Асадчиков, И.В.Кожевников, В.В. Азарова, Ю.В. Ррищенко, А.Л. Толстихина. Исследование шероховатости поверхности методами атомно-силовой микроскопии, рентгеновского рассеяния и дифференциального рассеяния света // Вестник московского университета. Серия 3. Физика. Астрономия. — 2006. — №3. — С. 80-82.

4. И.В.Кожевников, В.Е.Асадчиков, А.С.Воронов, Б.С.Рош^ин, К.Н.Медников, А.С.Пирожков, Е.Н.Рагозин, Джаисян Ванг, Джанг Джонг, Фенгли Ванг. Конструирование, изготовление и исследование многослойных широкополосных зеркал рентгеновского диапазона // Кристаллография. — 2006. — Т.51,№6. - С. 1146-1152.

5. B.S. Roshchin, V.E. Asadchikov, A.V. Buzmakov, I.V. Kozhevnikov, R.A. Senin. Diffraetometer With a Mobile X-Ray Tube-Detector System // Proceedings of the 13th International Conference on Experimental Mechanics. Experimental Analysis of Nano and Engineering Materials and Structures / Ed. by E. Gdoutos.- 2007.— P. 919.

6. B.E. Асадчиков, А.В. Вуташин, Ю.О. Волков, Ю.В. Грищенко, А.Ы. Дерябин, М.Л. Занавескин, В.М. Каневский, И.В. Кожевников, B.C. Рощин, Е.О. Тихонов, А.Л. Толстихина, В.А. Фёдоров. Неразруша-ющие методы контроля нанорельефа поверхности на примере сапфировых подложек // Заводская лаборатория. — 2008. — Т.74,№10. — С. 21-24.

7. М.Л. Занавески,н, B.C. Рощин, Ю.В. Грищенко, В.В. Азарова, В.Е. Асадчиков, А.Л. Толстихина. Связь шероховатости подложки с потерями света на интерференционных зеркальных покрытиях // Кристаллография. - 2008. - Т.53,№4. - С. 701-707.

8. И.В. Якимчук, B.C. Рощин, И.В. Кожевников, В.Е. Асадчиков, Дж. Ванг. Исследование эффекта шепчущей галереи на сферической поверхности в жестком рентгеновском диапазоне // Кристаллография. — 2008.

- Т.53,№6. - С. 1111-1117.

9. А.Е. Благое, П.А. Просеков, Ю.В. Грищенко, М.Л. Занавескин, B.C. Рош^н, А.В. Вуташин, В.А. Федоров, В.М. Каневский, В.Е.Асадчиков. Особенности рентгеновской дифракции на монокристаллах сапфира с наноструктурированной поверхностью // Поверхность. — 2009. — №6.

- С. 30-33.

5.3. Заключение

Получаемые в рентгеновских экспериментах параметры РНС позволяют достаточно полно охарактеризовать образцы. Информация о разбросе периода РНС и её направлении важна, когда планируется использование таких подложек для выращивания на них как плёночных структур, так и различных нанокомплексов. В настоящее время проводятся работы по созданию па базе описанных структур дифракционных решёток оптического диапазона.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Рощин, Борис Сергеевич, 2009 год

1. А.В. Виноградов, И.В. Кожевников. Рентгеновское рассеяние на слабо-птероховатых поверхностях / / Труды ФИ АН. — 1989. — Т. 196. — С. 31.

2. B.E. А садчиков, И. В. Кожевников, Ю.С. Кривоносое. Рентгеновские исследования поверхностных шероховатостей // Кристаллография. — 2003. — № 48.- С. 897-911.

3. J. Als-Nielsen, D. McMorrow. Elements of Modern X-ray Physics. — Wiley, 2000. P. 336.

4. M. Tolan. X-Ray Scattering from Soft-Matter Thin Films. — Springer-Verlag Telos, 1999. P. 197.

5. П.А. Арутюнов, А.Л. Толспгихина. Сканирующая зондовая микроскопия (туннельная и силовая) в задачах метрологии наноэлектроники // Микроэлектроника. — 1997. — Т. 26, № 6. — С. 426-439.

6. И.В. Яминский, В. Г. Еленский. Сканирующая зондовая микроскопия: библиография (1982-1997). — М.: Научный мир., 1997. — С. 318.

7. G. Binning, H. Rohrer, Oh. Gerber, E. Weibel. Surface studies by scanning tunneling microscopy // Phys. Rev. Lett.— 1982. — Vol. 49.— Pp. 57-61.

8. Бухараев А.А., Овчинников Д.В., Бухараева А.А. Диагностика поверхности с помощью сканирующей силовой микроскопии (обзор) // Заводская лаборатория. — 1997. — Т. 5, № 1. -- С. 10-27.

9. М. Борн, Э. Вольф. Основы оптики, — М.: Наука, 1970, — С. 856.

10. Л.Д. Ландау, Е.М. Лифшиц. Электродинамика сплошных сред.— М.: Наука, 1982. С. 624.

11. S.K. Sinha, Е. V. Sirota, S. Gnroff. X-ray and neutron scattering from rough surfaces // Physical Review B. 1988. — Vol. 38. — Pp. 2297-2336.

12. M. Rauschcr, T. Salditt, H. Spohn. Small-angle X-ray scattering under grazing incidence: the cross section in the distorted-wave Born approximation // Physical Review B. 1995. - Vol. 52, no. 23. - Pp. 16855-16863.

13. J. Daillant, A. Gibaud. X-ray and neutron reflectivity: principles and applications. — Springer, 2009. — P. 348.

14. А.А. Андронов, M.A. Леонтович. К теории молекулярного рассеяния света на поверхности жидкости // Сбор, трудов А.А. Андронова. — Изд-во АН СССР, 1956.- С. 5-18.

15. P. Beckmann, A. Spizzichino. The scatteing of electromagnetic waves of rough surfaces. — N.Y.: Pergamon press, 1963.— P. 503.

16. Ф.Г. Басс, И.М. Фукс. Рассеяние волн на статистически неровной поверхности. — М.: Наука, 1972,— С. 424.

17. А.В. Виноградов, И.А. Бритое, А.Я. Грудский и др. Зеркальная рентгеновская оптика. — 463 изд.— Л.: Машиностроение, 1989.

18. L.G. Parratt. Surface Studies of Solids by Total Reflection of X-Rays // Phys. Rev. 1954. - Vol. 95. - Pp. 359-369.

19. V. Holy, J. Kubena, I. Ohlidal et al. X-ray reflection from rough layered systems // Phys. Rev. В. 1993,- Vol. 47, no. 23,— Pp. 15896-15903.

20. И.В.Кожевников, В.Е.Асадчиков, А.С.Воронов и др. Конструирование, изготовление и исследование многослойных широкополосных зеркал рентгеновского диапазона // Кристаллография. — 2006. — Т. 51, N2 6. — С. 1146-1152.

21. P. Colombi, D.K. Agnihotii, V.E. Asadchikov et a,I. Reproducibility in X-ray refiectometry: results from the first world-wide round-robin experiment // Journal of Applied Crystallography.— 2008.— Vol. 41.— Pp. 143-152.

22. W. Ehrenberg. X-ray optics: Imperfection of optical flats and their effect of reflection of X-rays // J. Amer. Opt. Soc.— 1949,— Vol. 39, no. 9.— Pp. 746-750.

23. Ю. С. Кривоносое. Определение шероховатости подложек и тонких пленок по рассеянию рентгеновских лучей в условиях внешнего отражения: Кандидатскаядиссертация / Москва. — 2003. — С. 125.

24. Л.А. Смирнов, Т.Д. Сотникова, Ю.И. Коган. Диффузное рассеяние при полном внешнем отражении рентгеновских лучей от шероховатой поверхности // Оптика и спектроскопия. — 1985. — Т. 58. — С. 400-405.

25. L. Névot, P. Grose. Caractérisation des surfaces par réflexion rasante de rayons X. Application à létude du polissage de quelques verres silicates // Revue de Physique Appliquée. — 1980. — Vol. 15, no. 3. — Pp. 761-779.

26. H. Kiessig. Interferenz von Rôontgenstrahlen an dônnen Schichten // An-nalen der Physik. 1931. - Vol. 10. — Pp. 769-791.

27. L. G. Parrat. Surface studies of solids by total reflection of X-rays // Physical Review. 1954. - Vol. 95, no. 4. - Pp. 359-369.

28. И.И. Самойленко. Интерпретация данных рентгеновской и нейтронной рефлетометрии тонких пленок с применением глобальной минимизации: Кандидатскаядиссертация / Москва.— 1999.— С. 144.

29. З.С.Аранови~*1,, В.А.Марченко. Обратная задача теории рассеяния.— Харьков, Изд-во Харьковского университета, 1960. — С. 268.

30. В. К. Tanner, V. Wormington, T.P.A. Hase, I. Pape, nterface effects in grazing incidence X-ray scattering from transiton metal magnetic multilayers // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. — 1996. — № 3-4. — С. 10-20.

31. T.L. Crowley, Е.М. Lee, E.A.Simistcr. R.K.Thomas. The use of contrast variation in the specular reflection of neutron from interfaces // Physica B. 1991. - Vol. 173. - Pp. 143-156.

32. C.F. Majkrzak, N.F. Berk. The use of contrast variation in the specular reflection of neutron from interfaces // Physica В1996,— Vol. 221.— Pp. 520-523.

33. G. Reiss. Phase effects in neutron reflection by microemulsions and polymers 11 Physica B. 1996. - Vol. 221. - Pp. 533-537.

34. X.L. Zhou, S.H. Chen. Model independent method for reconstruction of scattering-lenght-density profiles using or X-ray reflectivity data // Physical Review. — 1993. — Vol. 47. — Pp. 3174-3190.

35. F. Rieutard, J.J. Benattar, R. Rivoira et al. X-ray phase determination in multilayers // Acta Crys. 1992. - Vol. 25. - Pp. 129-145.

36. I. V. Kozhevnikov. Physical analysis of the inverse problem of X-ray refiec-tometry // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A.— 2003.-Vol. 508,- Pp. 519-541.

37. D.L. Windt. IMD: Software for modeling the optical properties of multilayer films // Computers m Physics.— 1998, — Vol. 12, — Pp. 360-370.

38. J.E. Dennis, R/B. Schnabel. Numerical Methods for Unconstrained Optimization and Nonlinear Equations.— NJ, 1983.— P. 378.

39. Michihiro Uchikawaa, Masahiko Ishidaa, Koji Miyakea et al. Defect-induced Si(100) dimer buckling structures studied by scanning tunneling microscopy // Surface Science. 1996. - Vol. 357-358. - Pp. 468-471.

40. B. Sus. M. Giersiga, R. Czajkaa, M. Kaminski. Atomic image of BiiSr^CaC>U20%+x cleaved surface // Physica. C: Superconductivity. — 2003.- Vol. 387, no. 1-2,- Pp. 221-224.

41. A.B. Латышев, А. Л. Асеев. Моноатомные ступени на поверхности кремния // Успехи физических наук.— 1998.— Т. 168, № 10.— С. 1117-1127.

42. F.J., Giessibl, S. Hembacher. Н. Bielefeldt. Subatomic features on the silicon (111)-(7X7) surface observed by atomic force microscopy // Science. — 2000. Vol. 279, no. 5478. — Pp. 422-425.

43. J. Cui, A. Sun, M. Reshichkov et al. Preparation of Sapphire for High Quality Ill-Nitride Growth // MRS Internet J. Nitride Semicond. Res. — 2000. Vol. 5, no. 7. - Pp. 1-6.

44. O. Kurnosikov, L. Pham Van, J. Сои,sty. About anisotropy of atomic-scale height step on (0001) sapphire surface // Surface Science. — 2000.— Vol. 459.- P. 256.

45. Y. Shiratsuchi, M. Yamamoto, Y. Kamada. Surface structure of self-organized sapphire (0001) substrates with various inclined angles // Japanese J. Applied Physics. — 2002. — Vol. 41. — P. 5719.

46. Т. Т. T. Nguyen, D. Bonamy, L. Pham Van et al. Coarsening of two-dimensional .4/2Оз islands on vicinal (1, -1, 0, 2) sapphire surfaces during annealing in air // Surface Science. — 2008. — no. 602. — Pp. 3232-3238.

47. А.А. Чернов. Процессы кристаллизации // Современная кристаллография. М: «Наука», 1980. - Т. 3. - С. 5.

48. G.H. Lee. Realization of ultrasmooth surface with atomic scale step structure on LiNbO?, and LiTaO3 substrates // Optics Express. — 2002. — Vol. 10. P. 556.

49. G.B. Cho, M. Yamamoto, Y. Kamada. Morphology of Fe film grown on self-organized SrTiOs (001) substrates with inclined angles // Japanese J. Applied Physics. 2002. — Vol. 41. — P. 5713.

50. J. Wang, A. Howard, R.G. Egdell et al. Arrangement of rotational domains of the (л/31хл/31)Д±9° reconstruction of у1/2Оз(0001) revealed by non-contact AFM // Surface Science. — 2002. — Vol. 515, no. 2-3. — Pp. 337-343.

51. G. В. Cho. Y. Kamada, , M. Yamamoto. Morphology of Fe Film Grown on Self-Organized SrTi03(001) Substrates with Inclined Angles // Jpn. J. Appl Phys. — 2002. — Vol. 41, no. 9A. — Pp. 5713-5718.

52. Song Han, Xiaolei Liu, Chongwu Zhou. Template-Free Directional Growth of Single-Walled Carbon Nanotubes on a- and r-Plane Sapphire //J. Am. Ghem. Soc. 2005. - Vol. 127, no. 15. - Pp. 5294-5295.

53. Ariel Ismach, David Kantorovich, , Ernesto Joselevich. Carbon Nanotube Graphoepitaxy: Highly Oriented Growth by Faceted Nanosteps // J. Am. Ghem. Soc. 2005. - Vol. 127, no. 33. - Pp. 11554-11555.

54. A.B. Зотов, А.А. Саранин, Д.В. Грузнев, Д.А. Цуканов. Как вырастить нанопроволоку // Природа. — 2009. С. 26-34.

55. В. Nikoobakht, С. A. Michaels, S.J. Straniek, М. Vaudin. Horizontal growth and in situ assembly of oriented zinc oxide nanowires // Applied, Physics Letters. 2004. - Vol. 85, no. 12. - Pp. 3244-3246.

56. R. Bachelet, G. Nahelou, A. Boulle et, al. Control of the morphology of oxide nano-islands through the substrate miscut angle // Progress in Solid State Chemistry. 2005,- Vol. 33, no. 2-4, — Pp. 327-332.

57. E. Thune, A. Boulle, D. Babonneau et al. Nanostructured sapphire vicinal surfaces as templates for the growth of self-organized oxide nanostruc-tures // Applied Surface Science. — 2009. — Vol. In Press.

58. B.E. Асадчиков, В. Г. Б абак. A.B. Вузмаков и др. Рентгеновский ди-фрактометр с подвижной системой излучатель-детектор / / Приборы и техника эксперимента. — 2005. — № 3. — С. 99-107.

59. B.S. Roshchin, V.E. Asadchikov, A.V. Buzmakov et al. Diffractometer With a Mobile X-Ray Tube-Detector System // Experimental Analysis of Nano and Engineering Materials and Structures / Ed. by E. Gdoutos. — 2007. — P. 919.

60. M.JI. Занавескин. Атомно-силовая микроскопия в исследовании шероховатости наноструктурированных поверхностей: Кандидатскаядиссср-тащгя / Москва. — 2008. — С. 129.

61. А.А. Ахсахалян, А.Д. Ахсахалян, Е.Б. Клюенков и др. Многослойные рентгеновские зеркала для формирования пучков субнанометрово-го диапазона длин волн // Известия РАН. Сер. физическая. — 2005. — Т. 69, № 2,- С. 174-181.

62. С. С. Горелик, Ю.А. Скаков, JI.H. Расторгуев. Рентгенографический и электронно-оптический анализ. — М.: МИСИС, 2002.— С. 360.

63. P.F. Fewster. Reciprocal Space Mapping // Critical Reviews in Solid State and Materials Sciences. — 1997, —Vol. 22, no. 2. — Pp. 69-110.

64. PLC545 Контроллер управления ШД в станках ЧГ1У. http:// purelogic.ru/PDF/Controller/PLC545.pdf.

65. Л. Ридико. Раз шажок, два шажок // Основы схемотехники. — 2001. — № 6,- С. 13.

66. Lab VIEW Development Systems, http://www.ni.com/labview/.

67. Inpout32.dll for Windows 98/2000/NT/XP. http://logix4u.net/ LegacyPorts/ParallelPort.html.

68. Versailles Project on Advanced Materials and Standards (VAMAS). http: //www.vamas.org/.

69. Бережной А. И. Ситаллы и фотоситаллы.— М.: Машиностроение, 1981. — С. 348.

70. Р. Циммерман, К. Гюнтер. Металлургия и материаловедение. Справ, изд. Пер. с нем. — М.: Металлургия, 1982.— С. 480.

71. U. Roessler, J. Gutowski, К. Sebald, Т. Voss. New Data and Updates for II-VI Compounds. Springer, 2008. - P. 158.

72. F. Aronowitz. Fundamentals of the ring laser gyro // Optical gyros and their application. RTO-AG-339, 1999. — Pp. 3-45.

73. Ф. Ароновиц. Лазерные гироскопы // Применения лазеров. — M.: Мир, 1974. С. 182-270.

74. С. Г. Зейгелъ, Ю.Л. Климаптович. Волновые и флуктуациоиные процессы в лазерах. — М.: Наука, 1974. — С. 416.

75. С.И. Бычков, Д.П. Лукьянов, А.И. Бакаляр. Лазерный гироскоп. — М.: Советское радио, 1975. — С. 424.

76. Д.П. Лукьянов. Лазерные измерительные системы. — М.: Радио и связь, 1981.-С. 465.

77. П. С. Ланда, Е.Г. Ларионцев. Режимы биений и синхронизации встречных волн во вращающемся кольцевом лазерном гироскопе // Радиотехника и электроника. — 1970. — Т. 15, № 6. — С. 1214-1226.

78. И.А. Андронова, И.Л. Бернштейн. Экспериментальное исследование обратных связей на работу кольцевого лазера // Известия Вузов СССР, Радиофизика. 1971. - Т. 14, № 5. - С. 698-704.

79. I. Kataoka, Y. Kawahara. Dependence of lock-in threshold and winking pattern on the phase-interaction of scattering waves in the ring laser // Japanese Journal of Applied Physics. — 1986. — Vol. 25, no. 9. — Pp. 1365-1372.

80. B.B. Азарова, Ю.Д. Голяев, В. Г. Дмитриев. Кольцевые газовые лазеры с магнитооптическим управлением в лазерной гироскопии // Квантовая электроника. — 2000. — Т. 30, № 2. — С. 96.

81. M.L. Zanaveskin, Yu.V. Grishchenko, A.L. Tolstikhina et al. The surface roughness investigation by the atomic force microscopy, x-ray scattering and light scattering // Micro- and Nanoelectronics. —■ Vol. 6260. — 2005. — Pp. 62601A-1-62601A-9.

82. М.Л. Занавескин, B.C. Рощин, Ю.В. Грищенко и др. Связь шероховатости подложки с потерями света на интерференционных зеркальных покрытиях // Кристаллография. — 2008. — Т. 53, № 4. — С. 701-707.

83. V.I. Ostashcv, V. Е. Asadchikov, I. N. Bukreeva et al. Experimental study of the whispering gallery effect in soft X-ray spectral range // Optics Communications. — 1998. — Vol. 155. — Pp. 17-22.

84. C. Liu, J.A. Golovchenko. Surface Trapped X Rays: Whispering-Gallery Modes at A = 0.7 A // Phys. Rev. Lett. — 1997. Vol. 79. - Pp. 788-791.

85. И.В. Якимчук, B.C. Рощин, И.В. Кожевников и др. Исследование эффекта шепчущей галереи на сферической поверхности в жестком рентгеновском диапазоне // Кристаллография. — 2008. — Т. 53, № 6. — С. 1111-1117.

86. P. Fougeres, P. Siffert, М. Hageali et al. CdTe and CdTei-xZnxTe for nuclear detectors: facts and fictions // Nuclear Instruments and Methods in Physics research A. — 1999. — Vol. 428, no. 1,— Pp. 38-44.

87. V.A. Gnalyk, T. Aoki, Nakanishi Y. Surface state of CdTe crystals irradiated by KrF excimer laser pulses near the melting threshold // Surface Science В.— 2003,- Vol. 542, no. 1-2, — Pp. 142-140.

88. Ho Ryul Ryu, Choong Kyun Rhee. A Morphological Study on a Spontaneous Photoelectrochemical Process of Cleaved CdTc(100) // Bulletin of Korean Chemical Society. — 1999. Vol. 20, no. 1. — Pp. 19-21.

89. Yu.M. Ivanov. The growth of single crystals by the self-seeding technique // J. of Cryst. Growth. B. — 1998. Vol. 194. - P. 309.

90. C. Schciber. CdTe and CdZnTe detectors in nuclear medicine // Nucl. lustrum. Methods. Phys. Res. A. — 2000. Vol. 448. — Pp. 513-524.

91. O. Limousin. New trends in CdTe and CdZnTe detectors for X- and gamma-ray applications // Nucl. Instrum. Methods. Phys. Res. A. — 2003.— Vol. 504. Pp. 24-37.

92. B.M. Каневский, Ю.М. Иванов, A.H. Поляков и др. Исследование параметров шероховатости подложек из совершенных монокристаллов CdTe // Поверхность: рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. — 2006. — № 12. — С. 1-3.

93. Т. Takeuchi, Т. Kore-eda, А. ЕЫпа. Surface barriers formation mechanism of the chemically etched CdTe(lll) polar surfaces and gold interfaces // Appl. Surf. Sci. 1996. - Vol. 100. - Pp. 596-600.

94. M.D. Pavlyuk, Yu.M. Ivanov, V.M. Kanevsky et al. The CdTe and CdZnTe single crystals growth essential X-ray imaging // Proceedings of 11th European Symposium on Semiconductor Detectors.— 2009. — June.

95. S. Blonski, S.H. Garofalini. Molecular Dynamics Simulations of a-aluminia and 7-aluminia Surfaces //' Surface Science. — 1993. — Vol. 205, no. 1-2. — Pp. 263-274.

96. A.E. Благов, П.А. Просеков, Ю.В. Гршценко и др. Особенности рентгеновской дифракции на монокристаллах сапфира с наноструктуриро-ванной поверхностью // Поверхность. Рентгеновские, нейтронные и синхротронные исследования. — 2009.— № 6.— С. 30-33.

97. В.Е. Асадчиков, А.В. Буташин, Ю.О. Волков и др. Неразрушаюгцие методы контроля нанорельефа поверхности на примере сапфировых подложек // Заводская лаборатория. — 2008. — Т. 74, № 10. — С. 21-24.

Обратите внимание, представленные выше научные тексты размещены для ознакомления и получены посредством распознавания оригинальных текстов диссертаций (OCR). В связи с чем, в них могут содержаться ошибки, связанные с несовершенством алгоритмов распознавания. В PDF файлах диссертаций и авторефератов, которые мы доставляем, подобных ошибок нет.